JPH04141619A - 面倒れ補正機能を有する走査光学系 - Google Patents
面倒れ補正機能を有する走査光学系Info
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- JPH04141619A JPH04141619A JP2263751A JP26375190A JPH04141619A JP H04141619 A JPH04141619 A JP H04141619A JP 2263751 A JP2263751 A JP 2263751A JP 26375190 A JP26375190 A JP 26375190A JP H04141619 A JPH04141619 A JP H04141619A
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- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 6
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/125—Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0025—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
- G02B27/0031—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は、主としてレーザビームプリンターレーザ製版
等に用いられる走査光学系における光ビームを反射する
回転多面鏡等の偏向反射面の傾斜に伴う走査線の走査直
角方向（副走査方向）についてのピッチムラを除去する
ことのできる面倒れ補正走査光学系に関するものである
。
等に用いられる走査光学系における光ビームを反射する
回転多面鏡等の偏向反射面の傾斜に伴う走査線の走査直
角方向（副走査方向）についてのピッチムラを除去する
ことのできる面倒れ補正走査光学系に関するものである
。
［従来の技術］
従来、第１結像光学系、回転多面鏡等の偏向反射面、第
２結像光学系（ｆθレンズ）の順に配置された光ビーム
走査光学系を用いて、光源から射出された例えばレーザ
光を第１結像光学系にて偏向反射面上またはその近傍に
線状に結像させ、これを回転多面鏡を回転させて機械的
に走査し、第２結像光学系で集光することにより被走査
面上を光ビーム走査することが知られている。
２結像光学系（ｆθレンズ）の順に配置された光ビーム
走査光学系を用いて、光源から射出された例えばレーザ
光を第１結像光学系にて偏向反射面上またはその近傍に
線状に結像させ、これを回転多面鏡を回転させて機械的
に走査し、第２結像光学系で集光することにより被走査
面上を光ビーム走査することが知られている。
このとき、回転多面鏡等の偏向反射面とその回転軸また
は取付軸との平行誤差に基づく偏向反射面の傾斜、いわ
ゆる面倒れが生じると、被走査面上における走査線の走
査直角方向（副走査方向）にピッチムラを生し、走査線
画像の画質に悪影響を与える。
は取付軸との平行誤差に基づく偏向反射面の傾斜、いわ
ゆる面倒れが生じると、被走査面上における走査線の走
査直角方向（副走査方向）にピッチムラを生し、走査線
画像の画質に悪影響を与える。
そこで、この面倒れが生じた場合、この面倒れを光学的
に補正し、改善するために、走査直角方向について偏向
反射面と被走査面とを光学的に共役な位置に配置する光
学系が種々提案されている。
に補正し、改善するために、走査直角方向について偏向
反射面と被走査面とを光学的に共役な位置に配置する光
学系が種々提案されている。
例えば、特開昭４８−９８８４４号公報には、偏向反射
面と被走査面との間の第２結像光学系を偏向反射面側か
ら順に、等速走査を実現するための歪み特性を有する球
面レンズ系と長尺シリンドリカルレンズから構成した光
学系が記載されている。
面と被走査面との間の第２結像光学系を偏向反射面側か
ら順に、等速走査を実現するための歪み特性を有する球
面レンズ系と長尺シリンドリカルレンズから構成した光
学系が記載されている。
また、前記のシリンドリカルレンズをシリンドリカルミ
ラーに置き換えた光学系が特開昭６１−８４６２０号公
報等に記載されている。
ラーに置き換えた光学系が特開昭６１−８４６２０号公
報等に記載されている。
さらに、特開昭５６−３６６２２号公報、特開昭５７−
３５８２３号公報、特開昭６３−５０８１４号公報にお
いては、等速走査を実現するための歪み特性を有するレ
ンズ系の構成に面倒れ補正機能を持つトーリック面を有
するレンズを備えることで、ト記の長尺シリンドリカル
レンズまたは長尺シリンドリカルミラーを不要とし、コ
ンパクト化を実現している。
３５８２３号公報、特開昭６３−５０８１４号公報にお
いては、等速走査を実現するための歪み特性を有するレ
ンズ系の構成に面倒れ補正機能を持つトーリック面を有
するレンズを備えることで、ト記の長尺シリンドリカル
レンズまたは長尺シリンドリカルミラーを不要とし、コ
ンパクト化を実現している。
しかしながら、特開昭４８−９８８４４号公報に記載の
球面レンズ系と長尺シリンドリカルレンズとからなるレ
ンズ構成では、多量に発生する像面彎曲を補正するため
シリンドリカルレンズを被走査面に近づけて配置せねば
ならず、走査幅が長くなるにつれシリンドリカルレンズ
も長尺になり、コンパクトな構成が実現できない。
球面レンズ系と長尺シリンドリカルレンズとからなるレ
ンズ構成では、多量に発生する像面彎曲を補正するため
シリンドリカルレンズを被走査面に近づけて配置せねば
ならず、走査幅が長くなるにつれシリンドリカルレンズ
も長尺になり、コンパクトな構成が実現できない。
また、前記のシリンドリカルレンズをシリンドリカルミ
ラーに置き換えた特開昭６］−８４６２０号公報等に記
載の光学系では、この像面彎曲量はシリンドリカルレン
ズを使用したものに比べて僅か改善され、その位置もシ
リンドリカルレンズよりはやや被走査面から離して配置
することができ、僅か小型化が可能であるが、光ビーム
をシリンドリカルミラーで折り曲げなくてはならないた
め、配置上の制約を受は易いという欠点があった。
ラーに置き換えた特開昭６］−８４６２０号公報等に記
載の光学系では、この像面彎曲量はシリンドリカルレン
ズを使用したものに比べて僅か改善され、その位置もシ
リンドリカルレンズよりはやや被走査面から離して配置
することができ、僅か小型化が可能であるが、光ビーム
をシリンドリカルミラーで折り曲げなくてはならないた
め、配置上の制約を受は易いという欠点があった。
さらに、特開昭５６−３６６２２号公報、特開昭５７−
３５８２３号公報、特開昭６３−５０８１４号公報にお
ける光学系では、レンズ系の構成に面倒れ補正機能を持
つトーリック面を有するレンズを備えることにより、上
記の長尺シリンドリカルレンズまたは長尺シリンドリカ
ルミラーを不要とし、コンパクト化を実現しているが、
偏向反射面側から順に球面またはシリンドリカル面によ
り構成された単レンズと、トーリック面を有し、かつ走
査面内で正のパワーを有する単レンズの２枚で成り立っ
ており、走査面内でのレンズ系のハ）クツオーカスが焦
点距離よりも長くなり、走査光学系から被走査面までの
光路長をさらに短縮し、装置全体をよりコンパクトにす
ることは困難である。
３５８２３号公報、特開昭６３−５０８１４号公報にお
ける光学系では、レンズ系の構成に面倒れ補正機能を持
つトーリック面を有するレンズを備えることにより、上
記の長尺シリンドリカルレンズまたは長尺シリンドリカ
ルミラーを不要とし、コンパクト化を実現しているが、
偏向反射面側から順に球面またはシリンドリカル面によ
り構成された単レンズと、トーリック面を有し、かつ走
査面内で正のパワーを有する単レンズの２枚で成り立っ
ており、走査面内でのレンズ系のハ）クツオーカスが焦
点距離よりも長くなり、走査光学系から被走査面までの
光路長をさらに短縮し、装置全体をよりコンパクトにす
ることは困難である。
本発明は、偏向反射面の倒れによる走査線の走査直角方
向の移動を小さくした面倒れの補正光学系であって、良
好な面倒れ補正効果および像面彎曲の縮小化を維持し、
かつコンパクトな走査光学系を提供することを目的とす
るものである。
向の移動を小さくした面倒れの補正光学系であって、良
好な面倒れ補正効果および像面彎曲の縮小化を維持し、
かつコンパクトな走査光学系を提供することを目的とす
るものである。
［課題を解決するための手段〕
前記目的を達成するために、本発明にがかる面倒れ補正
機能を有する走査光学系は、光源からの光束を偏向器の
偏向反射面上またはその近傍に線状に結像する第１結像
光学系と前記偏向器で偏向された光束を被走査面上に結
像する第２結像光学系とを備えた面倒れ補正機能を有す
る走査光学系において、前記第２結像光学系は偏向器側
から順にトーリック面を有し、かつ走査面内で正の屈折
力を有する第１単レンズと、球面または円筒面からなり
、かつ走査面内で負の屈折力を有する第２の単レンズと
から構成されていることを特徴とするものである。
機能を有する走査光学系は、光源からの光束を偏向器の
偏向反射面上またはその近傍に線状に結像する第１結像
光学系と前記偏向器で偏向された光束を被走査面上に結
像する第２結像光学系とを備えた面倒れ補正機能を有す
る走査光学系において、前記第２結像光学系は偏向器側
から順にトーリック面を有し、かつ走査面内で正の屈折
力を有する第１単レンズと、球面または円筒面からなり
、かつ走査面内で負の屈折力を有する第２の単レンズと
から構成されていることを特徴とするものである。
〔作用］
このような構成とすることにより、偏向反射面の倒れに
よる走査線の走査直角方向におけ゛る変動量および像面
湾曲量を小さく維持すると共に、走査面内でのレンズ系
のパックフォーカスを焦点距離よりも短くすることが可
能となり、光路長の短縮化が図れ、装置の更なるコンパ
クト化が実現できる。
よる走査線の走査直角方向におけ゛る変動量および像面
湾曲量を小さく維持すると共に、走査面内でのレンズ系
のパックフォーカスを焦点距離よりも短くすることが可
能となり、光路長の短縮化が図れ、装置の更なるコンパ
クト化が実現できる。
本発明に係る走査光学系の態様を示す第１図において、
１は光源、２は該光源１からの光束を線状に結像する第
１結像光学系としてのシリンドリカルレンズ、３ば該シ
リンドリカルレンズ２による線像の近傍に配置した回転
多面鏡等の偏向器、４は該偏向器３の偏向反射面、５と
６は偏向器３で偏向された光束を被走査面７上に結像す
る第２結像光学系、８は走査面である。
１は光源、２は該光源１からの光束を線状に結像する第
１結像光学系としてのシリンドリカルレンズ、３ば該シ
リンドリカルレンズ２による線像の近傍に配置した回転
多面鏡等の偏向器、４は該偏向器３の偏向反射面、５と
６は偏向器３で偏向された光束を被走査面７上に結像す
る第２結像光学系、８は走査面である。
光源１からのレーザビーム等の光束は、シリンドリカル
レンズ２により偏向器３の偏向反射面４の近傍または偏
向反射面４上に線状に結像される。
レンズ２により偏向器３の偏向反射面４の近傍または偏
向反射面４上に線状に結像される。
さらに、偏向反射面４により反射偏向された光束は第２
光学系５，６を介して被走査面７上に結像される。偏向
器３が回転方向Ｃに高速回転することにより、被走査面
７上の結像光は方向Ａに主走査される。
光学系５，６を介して被走査面７上に結像される。偏向
器３が回転方向Ｃに高速回転することにより、被走査面
７上の結像光は方向Ａに主走査される。
このとき、被走査面７を走査直角方向（副走査方向）Ｂ
に副走査を行い、光を変調することにより画像が形成さ
れる。
に副走査を行い、光を変調することにより画像が形成さ
れる。
本発明における第２結像光学系は、トーリック面を有し
、かつ走査面８内で正の屈折力を有する第１単レンズ５
と、球面または円筒面からなり、かつ走査面８内で負の
屈折力を有する第２単レンズ６とからなる。
、かつ走査面８内で正の屈折力を有する第１単レンズ５
と、球面または円筒面からなり、かつ走査面８内で負の
屈折力を有する第２単レンズ６とからなる。
第１単レンズ５は、偏向器３側の面が円筒面かトーリッ
ク面であることが望ましく、被走査面７例の面がトーリ
ック面であることが望ましい。なお、トーりンク面は主
走査方向と副走査方向とで屈折力が異なる面である。第
１単レンズ５は、走査面８内において、正の屈折力を有
するもので、偏向器３例の面は走査面８内で偏向器３側
に向かって凹または凸の曲線、直線をなす面のいずれで
もよいが、被走査面７例の面は走査面８内で被走査面７
側に向かって凸の曲線をなす面であることが望ましい。
ク面であることが望ましく、被走査面７例の面がトーリ
ック面であることが望ましい。なお、トーりンク面は主
走査方向と副走査方向とで屈折力が異なる面である。第
１単レンズ５は、走査面８内において、正の屈折力を有
するもので、偏向器３例の面は走査面８内で偏向器３側
に向かって凹または凸の曲線、直線をなす面のいずれで
もよいが、被走査面７例の面は走査面８内で被走査面７
側に向かって凸の曲線をなす面であることが望ましい。
第１単レンズ５は、走査面８と垂直な面（副走査方向断
面）内において、偏向器側の面は偏向器３側に向かって
凹の曲線をなす面を有し、被走査面７例の面は走査面８
と垂直な面内において被走査面７側に向かって凸の曲線
をなす面を有する正の屈折力を有するメニスカスレンズ
であることが望ましい。
面）内において、偏向器側の面は偏向器３側に向かって
凹の曲線をなす面を有し、被走査面７例の面は走査面８
と垂直な面内において被走査面７側に向かって凸の曲線
をなす面を有する正の屈折力を有するメニスカスレンズ
であることが望ましい。
また、第２単レンズ６は、偏向器３例の面も被走査面７
例の面も球面または円筒面であることが望ましい。第２
単レンズ６は、走査面８内において、負の屈折力を有す
るもので、偏向器３側の而は走査面８内で偏向器３側に
向かって凹の曲線をなす面で、被走査面７例の面は走査
面８内で被走査面７側に向かって凸の曲線をなす面であ
ることが望ましい。第２単レンズ６は、走査面８と垂直
な面（副走査方向断面）内において、偏向器３例の面は
偏向器３側に向かって凹の曲線または直線をなす面を有
し、被走査面７側の面は走査面８と垂直な面内において
、被走査面７側に向かって凸の曲線または直線をなす面
を有するレンズであることが望ましい。
例の面も球面または円筒面であることが望ましい。第２
単レンズ６は、走査面８内において、負の屈折力を有す
るもので、偏向器３側の而は走査面８内で偏向器３側に
向かって凹の曲線をなす面で、被走査面７例の面は走査
面８内で被走査面７側に向かって凸の曲線をなす面であ
ることが望ましい。第２単レンズ６は、走査面８と垂直
な面（副走査方向断面）内において、偏向器３例の面は
偏向器３側に向かって凹の曲線または直線をなす面を有
し、被走査面７側の面は走査面８と垂直な面内において
、被走査面７側に向かって凸の曲線または直線をなす面
を有するレンズであることが望ましい。
本発明においては、さらに次の条件を満足することが望
ましい。
ましい。
０．２＜ ｆｖ／ｆ＜０．５
ただし
ｆｖ ：走査直角方向（副走査方向）断面での第２結像
光学系５，６の合成焦点距離 「 ：走査面８内での第２結像光学系５．６の合成焦点
距離 この条件式は第２結像光学系の走査直角方向断面と走査
面８内での合成焦点距離の比を規定するものである。
光学系５，６の合成焦点距離 「 ：走査面８内での第２結像光学系５．６の合成焦点
距離 この条件式は第２結像光学系の走査直角方向断面と走査
面８内での合成焦点距離の比を規定するものである。
この条件の下限を越えると、副走査方向断面での偏向反
射面４と被走査面７間の結像倍率の絶対値が大きくなり
、結像性能に対する偏向反射面４の位置精度の影響が拡
大されてしまい、偏向反射面４に非常に高度な位置精度
が要求され、また像面湾曲が大きくなり、被走査面７」
二で均一なスポットサイズが得られなくなってしまうと
いう欠点ダウンがはかれなくなる。
射面４と被走査面７間の結像倍率の絶対値が大きくなり
、結像性能に対する偏向反射面４の位置精度の影響が拡
大されてしまい、偏向反射面４に非常に高度な位置精度
が要求され、また像面湾曲が大きくなり、被走査面７」
二で均一なスポットサイズが得られなくなってしまうと
いう欠点ダウンがはかれなくなる。
以下、本発明の数値実施例を示す。
本発明の走査光学系における第２結像光学系５゜６は、
その基本レンズ構成を示す走査面８内断面図である第２
図（イ）に示すように、走査面８内断面は被走査面７側
の面は被走査面７側に凸面を向けた正の屈折力のレンズ
と被走査面７側に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス
レンズとからなっており、その基本レンズ構成を示す走
査直角方向（副走査方向）断面図である第２図（ロ）に
示すように、走査直角方向（副走査方向）断面は被走査
面７例の面は被走査面７側に凸面を向けた正の屈折力の
メニスカスレンズと偏向器３例の面は偏向器３側に向か
って凹または直線をなし、被走査面７側の面は被走査面
７側に向がって凸または直線をなすレンズとからなって
いる。
その基本レンズ構成を示す走査面８内断面図である第２
図（イ）に示すように、走査面８内断面は被走査面７側
の面は被走査面７側に凸面を向けた正の屈折力のレンズ
と被走査面７側に凸面を向けた負の屈折力のメニスカス
レンズとからなっており、その基本レンズ構成を示す走
査直角方向（副走査方向）断面図である第２図（ロ）に
示すように、走査直角方向（副走査方向）断面は被走査
面７例の面は被走査面７側に凸面を向けた正の屈折力の
メニスカスレンズと偏向器３例の面は偏向器３側に向か
って凹または直線をなし、被走査面７側の面は被走査面
７側に向がって凸または直線をなすレンズとからなって
いる。
以下の数値実施例の説明において、
ｍ：物体側より順次数えた面番号
ｒ：走査面内における曲率半径
ｒｖ ：走査直角方向（副走査方向）断面における曲率
半径 ｄ：レンズ厚みまたは空気間隔 ｎ：波長７８０ ｎｍにおける屈折率 離 ｆ：走査面内での第２結像光学系５．６の合成焦点距離 ｆｖ ：走査直角方向（副走査方向）断面での第２結像
光学系５．６の合成角点距離 Ｂｆ：走査面内での第２結像光学系５，６の合成バンク
フォーカス とする。
半径 ｄ：レンズ厚みまたは空気間隔 ｎ：波長７８０ ｎｍにおける屈折率 離 ｆ：走査面内での第２結像光学系５．６の合成焦点距離 ｆｖ ：走査直角方向（副走査方向）断面での第２結像
光学系５．６の合成角点距離 Ｂｆ：走査面内での第２結像光学系５，６の合成バンク
フォーカス とする。
なお、第３〜１２圀における歪曲収差は次代により定義
される値である。
される値である。
ｒ・θ
ただし、
θ：走査角（単位 ラジアン）
第２図の基本レンズ構成において、第１実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトルリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
球面と球面とからなる。第１実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトルリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
球面と球面とからなる。第１実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
ｍ ｒ ｒｖｄ ｎｌ −２６
９，９６７−２７，３９８１２，０３１，７１２２２２
−４２，９７０−１０，６７４９，１３３−２３，３１
５−２３，３１５１０，９１１，７６５９３４−３０，
１１６−３０，１１６ ｄ、 ＝１７．３０ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎ＋ａｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３２４ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝９８．０８ この具体的構成による収差曲線は第３図の如くなる。こ
の収差曲線図における球面収差図と歪曲収差図とは走査
面８内における収差図であり、非点収差図のＳは副走査
方向成分、Ｔは走査方向成分の像面を表す収差図である
。以下の収差図も同様である。
９，９６７−２７，３９８１２，０３１，７１２２２２
−４２，９７０−１０，６７４９，１３３−２３，３１
５−２３，３１５１０，９１１，７６５９３４−３０，
１１６−３０，１１６ ｄ、 ＝１７．３０ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎ＋ａｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３２４ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝９８．０８ この具体的構成による収差曲線は第３図の如くなる。こ
の収差曲線図における球面収差図と歪曲収差図とは走査
面８内における収差図であり、非点収差図のＳは副走査
方向成分、Ｔは走査方向成分の像面を表す収差図である
。以下の収差図も同様である。
第２図の基本レンズ構成において、第２実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面と
球面とからなる。第２実施例の具体的構成は、下表のと
おりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面と
球面とからなる。第２実施例の具体的構成は、下表のと
おりである。
ｍ ｒ ｒｖ
ｄ ｎｌ ■ −３０，４２４
１４，２８１，７１２２２２−４７，１３５−１１，３
６５３，６１３−３６，１４０−３６，１４０１０，９
０１，７６５９３４−５０，０７３−５０，０７３ ｄｏ ＝ １８．０４ 半画角 θ−４５，２
゜ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３４２ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ
＝９７．５９ この具体的構成による収差曲線は第４図の如くなる。
ｄ ｎｌ ■ −３０，４２４
１４，２８１，７１２２２２−４７，１３５−１１，３
６５３，６１３−３６，１４０−３６，１４０１０，９
０１，７６５９３４−５０，０７３−５０，０７３ ｄｏ ＝ １８．０４ 半画角 θ−４５，２
゜ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３４２ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ
＝９７．５９ この具体的構成による収差曲線は第４図の如くなる。
第２Ｖの基本レンズ構成において、第３実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面ととトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面
と球面とからなる。第３実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面ととトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面
と球面とからなる。第３実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
ｍ ｒ ｒｖ
ｄ ｎｌ （１） −３６，１２９
１４，２８１，７１２２２２ −４６．９８４
−１２．０８２ ４．６５３ −３９．６３９
−３９．６３９ １０．９０ １．７６５９３４
−５６．６４６ −５６．６４６ｄ、 ＝２０
．３０ 半画角 θ＝４５．２０ｆ＝１００
波長 λ−７８Ｏｎ＋ｎｆｖ／ ｆ ＝
０．２４４４ Ｆ／ＮＯ＋５０Ｂｆ ＝９４．６
９ この具体的構成による収差曲線は第５図の如くなる。
ｄ ｎｌ （１） −３６，１２９
１４，２８１，７１２２２２ −４６．９８４
−１２．０８２ ４．６５３ −３９．６３９
−３９．６３９ １０．９０ １．７６５９３４
−５６．６４６ −５６．６４６ｄ、 ＝２０
．３０ 半画角 θ＝４５．２０ｆ＝１００
波長 λ−７８Ｏｎ＋ｎｆｖ／ ｆ ＝
０．２４４４ Ｆ／ＮＯ＋５０Ｂｆ ＝９４．６
９ この具体的構成による収差曲線は第５図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第４実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面ととトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面
と球面とからなる。第４実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面ととトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面
と球面とからなる。第４実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
ｍ ｒ ｒｖｄ ｎｌ ω
−５６，８５３１６，５３１，７１２２２２−５４
，４６９−１６，５６０１２，７９３−４９，３３４−
４９，３３４６，３２１，７６５９３４−６４，６９２
−６４，６９２ ｄｏ ＝３３．８２ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ−７８０１ｆｖ／
ｆ ＝０．３１１ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝８３．２３ この具体的構成による収差曲線は第６図の如くなる。
−５６，８５３１６，５３１，７１２２２２−５４
，４６９−１６，５６０１２，７９３−４９，３３４−
４９，３３４６，３２１，７６５９３４−６４，６９２
−６４，６９２ ｄｏ ＝３３．８２ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ−７８０１ｆｖ／
ｆ ＝０．３１１ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝８３．２３ この具体的構成による収差曲線は第６図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第５実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトーリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
球面と球面とからなる。第５実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトーリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
球面と球面とからなる。第５実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
ｍ ｒ ｒｖ ｄ ｎｌ
７５０．９１１ −５４．５２３ ２１．００ １
．７１２２２２ −５６．１４０ −１７．６４４
１４．３６３ −５０．３４０ −５０．３４０
３．７５ １．７６５９３４ −７０．４７９ −７
０．４７０ｄ、 ＝３７．５０ 半画角 θ−
４５，２’ｆ＝１００ 波長 λ−７８
０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．３３０１ Ｆ／ＮＯ：５
０Ｂｆ ＝７９．１７ この具体的構成による収差曲線は第７図の如くなる。
７５０．９１１ −５４．５２３ ２１．００ １
．７１２２２２ −５６．１４０ −１７．６４４
１４．３６３ −５０．３４０ −５０．３４０
３．７５ １．７６５９３４ −７０．４７９ −７
０．４７０ｄ、 ＝３７．５０ 半画角 θ−
４５，２’ｆ＝１００ 波長 λ−７８
０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．３３０１ Ｆ／ＮＯ：５
０Ｂｆ ＝７９．１７ この具体的構成による収差曲線は第７図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第６実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面と
円筒面とからなる。第６実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に球面と
円筒面とからなる。第６実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
ｍ ｒ ｒｖ ｄ ｎｌ
ω −４４，８５５１３，５３１，７１，２２
２２−４６，６７８−１０，４２０５，４１３−３９，
４８７−３９，４８７１２，０３１，７６５９３４−５
７，１０２ω ｄ、 ＝２０．３０ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ＝ ７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２１９２ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝９３．４８ この具体的構成による収差曲線は第８図の如くなる。
ω −４４，８５５１３，５３１，７１，２２
２２−４６，６７８−１０，４２０５，４１３−３９，
４８７−３９，４８７１２，０３１，７６５９３４−５
７，１０２ω ｄ、 ＝２０．３０ 半画角 θ−４５，２゜
ｆ＝１００ 波長 λ＝ ７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２１９２ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ
＝９３．４８ この具体的構成による収差曲線は第８図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第７実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒面
と円筒面とからなる。第７実施例の具体的構成は、下表
のとおりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒面
と円筒面とからなる。第７実施例の具体的構成は、下表
のとおりである。
ｍ ｒ ｒｖ ｄ ｎｌ
ω −３３，６４９１４，２１１，７１２２２
２−４５，２４２−１３，１８９４，８０３−３９，９
０２Ｃｏ １０．８１ １．７６５９３４ −
５９．７７６ ■ ｄｏ ””２０．３０ 半画角 θ−４５，２
＠ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３６３ Ｆ／ＮＯ＋５０Ｂｆ
＝９３．６７ この具体的構成による収差曲線は第９図の如くなる。
ω −３３，６４９１４，２１１，７１２２２
２−４５，２４２−１３，１８９４，８０３−３９，９
０２Ｃｏ １０．８１ １．７６５９３４ −
５９．７７６ ■ ｄｏ ””２０．３０ 半画角 θ−４５，２
＠ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．２３６３ Ｆ／ＮＯ＋５０Ｂｆ
＝９３．６７ この具体的構成による収差曲線は第９図の如くなる。
第２Ｍの基本レンズ構成において、第８実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒面
と球面とからなる。第８実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面と
からなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒面
と球面とからなる。第８実施例の具体的構成は、下表の
とおりである。
ｍ ｒ ｒＶ
ｄ ｎｌ ω −３２，１７１
１４，２７１，７１２２２２ −４４．８３０
−１６．６７４ ４．７９３ −３９．８４５
■ １０．９０ １．７６５９３４
−６０．３４８ −６０．３４８ｄｏ ＝２０．３
０ 半画角 θ＝４５．２゜ｆ＝１００
波長 λ＝ ７８０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．
２５３０ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ ＝９３．５５ この具体的構成による収差曲線は第１０図の如くなる。
ｄ ｎｌ ω −３２，１７１
１４，２７１，７１２２２２ −４４．８３０
−１６．６７４ ４．７９３ −３９．８４５
■ １０．９０ １．７６５９３４
−６０．３４８ −６０．３４８ｄｏ ＝２０．３
０ 半画角 θ＝４５．２゜ｆ＝１００
波長 λ＝ ７８０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．
２５３０ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ ＝９３．５５ この具体的構成による収差曲線は第１０図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第９実施例は第１単
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトーリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
円筒面と球面とからなる。
レンズ５が偏向器３側から順にトーリック面とトーリッ
ク面とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に
円筒面と球面とからなる。
第９実施例の具体的構成は、下表のとおりである。
ｍ ｒ ｒｖｄ ｎｌ ７５
２．７３７ −４０．０２５ ２１．０５ １．７１２
２２２ −５５．４７９ −２３．４３２ １４．０
２３ −４９．７７２ （Ｘ） ３．７６
１．７６５９３４ −７０．４６４ −７０．４６
４ｄ、 ＝３７．５９ 半画角 θ−４５，２
゜ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．３４３４ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ
＝７９．４３ この具体的構成による収差曲線は第１１図の如くなる。
２．７３７ −４０．０２５ ２１．０５ １．７１２
２２２ −５５．４７９ −２３．４３２ １４．０
２３ −４９．７７２ （Ｘ） ３．７６
１．７６５９３４ −７０．４６４ −７０．４６
４ｄ、 ＝３７．５９ 半画角 θ−４５，２
゜ｆ＝１００ 波長 λ−７８０ｎｍｆ
ｖ／ ｆ ＝０．３４３４ Ｆ／ＮＯ：５０Ｂｆ
＝７９．４３ この具体的構成による収差曲線は第１１図の如くなる。
第２図の基本レンズ構成において、第１０実施例は第１
単レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒
面と球面とからなる。第１０実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
単レンズ５が偏向器３側から順に円筒面とトーリック面
とからなり、第２単レンズ６が偏向器３側から順に円筒
面と球面とからなる。第１０実施例の具体的構成は、下
表のとおりである。
ｍ ｒ ｒｖｄ ｎｌ （
Ｘ） −２１，４９０１５，４１１，７１２２２
２−６０，７９６−１４，０６６５２，２９３−５０，
５７１（Ｘ） １５．０４ １．７６５９３４
−６２．２６９ −６２．２６９ｄ、 ＝２８．６６
半画角 θ＝４５．２゜ｆ＝１００
波長 λ−７８０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．４１
３５ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ ＝３３．７７ この具体的構成による収差曲線は第１２図の如くなる。
Ｘ） −２１，４９０１５，４１１，７１２２２
２−６０，７９６−１４，０６６５２，２９３−５０，
５７１（Ｘ） １５．０４ １．７６５９３４
−６２．２６９ −６２．２６９ｄ、 ＝２８．６６
半画角 θ＝４５．２゜ｆ＝１００
波長 λ−７８０ｎｍｆｖ／ ｆ ＝０．４１
３５ Ｆ／Ｎｏ ：５０Ｂｆ ＝３３．７７ この具体的構成による収差曲線は第１２図の如くなる。
なお、上記各実施例において、第１、第２結像光学系と
もそのレンズの形状は短冊形をなしている。
もそのレンズの形状は短冊形をなしている。
上記実施例においては、走査面内でのレンズ系曲線図に
おける諸収差は、充分に実用に供されるものであること
を示している。
おける諸収差は、充分に実用に供されるものであること
を示している。
以上の説明から明らかなように、本発明の走査光学系に
よれば、面倒れに伴う画質の劣化と、像面湾曲を改善で
きると共に、ハックスフオーカスの短いコンパクトな走
査レンズが提供できるので、装置のコンパクト化が図ら
れる。
よれば、面倒れに伴う画質の劣化と、像面湾曲を改善で
きると共に、ハックスフオーカスの短いコンパクトな走
査レンズが提供できるので、装置のコンパクト化が図ら
れる。
第１図は本発明における走査光学系の斜視図、第２図（
イ）、第２図（ロ）は第２結像念曇光学系のレンズ基本
構成図、第３図は第１実施例の収差曲線図、第４図は第
２実施例の収差曲線図、第５回は第３実施例の収差曲線
図、第６図は第４実施例の収差曲線図、第７図は第５実
施例の収差曲線図、第８図は第６実施例の収差曲線図、
第９図は第７実施例の収差曲線図、第１０図は第８実施
例の収差曲線図、第１１図は第９実施例の収差曲線図、
第１２図は第１０実施例の収差曲線図である。 ｄ ： Ｓ： Ｔ： 光源 ２：第１結像光学系 偏向器 ４：偏向反射面 ６：第２結像光学系 被走査面 走査面内における曲率半径 ：走査直角方向（副走査方向）断面における曲率半径 レンズ厚みまたは空気間隔 ：偏向反射面からレンズ第１面までの距離 走査直角方向成分像面 走査方向成分像面 第 図 紅ξ０何効ｊ （ロ） 第 図 第 図 第 図 １勅−禮 １Ｆ、り、１１７鷺 ４Ｆ曲りヌ秀 第 図 抹面申見 歌、色、１４７九 企ＵｉＩ７ＰＬ −０，０５ ０，０５ −ｕ、ｂ （Ｊ、 ：） −／ａ 第 ア 図 体面卿１ １￥、へ氷見 千曲坩Ａ 第 図 第 図 第 １０図 体面取外 １Ｆ、ｔ、琳九 歪曲琳欠 一〇、５ ０５’／。 第 図 昔馴Ｘ升 第１２図 ４？、七ヌ芳− 爺昭４
イ）、第２図（ロ）は第２結像念曇光学系のレンズ基本
構成図、第３図は第１実施例の収差曲線図、第４図は第
２実施例の収差曲線図、第５回は第３実施例の収差曲線
図、第６図は第４実施例の収差曲線図、第７図は第５実
施例の収差曲線図、第８図は第６実施例の収差曲線図、
第９図は第７実施例の収差曲線図、第１０図は第８実施
例の収差曲線図、第１１図は第９実施例の収差曲線図、
第１２図は第１０実施例の収差曲線図である。 ｄ ： Ｓ： Ｔ： 光源 ２：第１結像光学系 偏向器 ４：偏向反射面 ６：第２結像光学系 被走査面 走査面内における曲率半径 ：走査直角方向（副走査方向）断面における曲率半径 レンズ厚みまたは空気間隔 ：偏向反射面からレンズ第１面までの距離 走査直角方向成分像面 走査方向成分像面 第 図 紅ξ０何効ｊ （ロ） 第 図 第 図 第 図 １勅−禮 １Ｆ、り、１１７鷺 ４Ｆ曲りヌ秀 第 図 抹面申見 歌、色、１４７九 企ＵｉＩ７ＰＬ −０，０５ ０，０５ −ｕ、ｂ （Ｊ、 ：） −／ａ 第 ア 図 体面卿１ １￥、へ氷見 千曲坩Ａ 第 図 第 図 第 １０図 体面取外 １Ｆ、ｔ、琳九 歪曲琳欠 一〇、５ ０５’／。 第 図 昔馴Ｘ升 第１２図 ４？、七ヌ芳− 爺昭４
Claims (1)
- 光源からの光束を偏向器の偏向反射面上またはその近傍
に線状に結像する第１結像光学系と前記偏向器で偏向さ
れた光束を被走査面上に結像する第２結像光学系とを備
えた面倒れ補正機能を有する走査光学系において、前記
第２結像光学系は偏向器側から順にトーリック面を有し
、かつ走査面内で正の屈折力を有する第１単レンズと、
球面または円筒面からなり、かつ走査面内で負の屈折力
を有する第２の単レンズとから構成されていることを特
徴とする面倒れ補正機能を有する走査光学系。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263751A JP2864286B2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 |
| US07/770,476 US5206755A (en) | 1990-10-03 | 1991-10-03 | Optical beam scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263751A JP2864286B2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04141619A true JPH04141619A (ja) | 1992-05-15 |
| JP2864286B2 JP2864286B2 (ja) | 1999-03-03 |
Family
ID=17393786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2263751A Expired - Fee Related JP2864286B2 (ja) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2864286B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100558328B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2006-10-04 | 삼성전기주식회사 | 광주사장치 |
| KR100856163B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2008-09-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 광주사장치 및 화상형성장치 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3117524B2 (ja) * | 1992-02-05 | 2000-12-18 | 富士写真光機株式会社 | 面倒れ補正機能を有する走査光学系 |
| JPH08240768A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Minolta Co Ltd | 走査光学系 |
| DE69706964T2 (de) * | 1996-03-07 | 2002-04-04 | Accu-Sort Systems, Inc. | Dynamisches fokussierungsgeraet fuer optische abbildungssysteme |
| JP4015065B2 (ja) * | 2003-05-29 | 2007-11-28 | 株式会社リコー | 光走査装置及び画像形成装置 |
| JP2008083688A (ja) * | 2006-08-28 | 2008-04-10 | Canon Inc | 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4379612A (en) * | 1979-09-04 | 1983-04-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning optical system having a fall-down correcting function |
| JPS57144516A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-07 | Canon Inc | Scan optical system having fall compensating function |
| US4919502A (en) * | 1986-07-14 | 1990-04-24 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Tilt error corrective scanning optical system |
| JP2682675B2 (ja) * | 1988-11-07 | 1997-11-26 | 株式会社リコー | 走査光学系 |
| US5015050A (en) * | 1988-12-22 | 1991-05-14 | Ricoh Company, Ltd. | Fθ lens system in optical scanner |
| JP2718735B2 (ja) * | 1989-01-13 | 1998-02-25 | 株式会社リコー | 光走査装置におけるｆθレンズ系 |
| JP2804512B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1998-09-30 | 株式会社リコー | 光走査装置におけるｆθレンズ系 |
| JP3061829B2 (ja) * | 1990-02-14 | 2000-07-10 | 株式会社リコー | 光走査装置におけるｆθレンズ系 |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP2263751A patent/JP2864286B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-10-03 US US07/770,476 patent/US5206755A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100558328B1 (ko) * | 1998-06-29 | 2006-10-04 | 삼성전기주식회사 | 광주사장치 |
| KR100856163B1 (ko) * | 2005-05-26 | 2008-09-03 | 캐논 가부시끼가이샤 | 광주사장치 및 화상형성장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5206755A (en) | 1993-04-27 |
| JP2864286B2 (ja) | 1999-03-03 |
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