JP2718735B2 - 光走査装置におけるfθレンズ系 - Google Patents

光走査装置におけるfθレンズ系

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JP2718735B2
JP2718735B2 JP1006473A JP647389A JP2718735B2 JP 2718735 B2 JP2718735 B2 JP 2718735B2 JP 1006473 A JP1006473 A JP 1006473A JP 647389 A JP647389 A JP 647389A JP 2718735 B2 JP2718735 B2 JP 2718735B2
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光走査装置におけるfθレンズ系に関す
る。
[従来の技術] 光走査装置は、光束の走査により情報の書き込みや読
み取りを行う装置として知られ、レーザープリンターや
ファクシミリ等に使用されている。このような光走査装
置のうちに、光源からの光束を主走査対応方向に長い線
像に結像させ、その線像の結像位置の近傍に反射面を有
する回転多面鏡により上記光束を等角速度的に偏向し、
この偏向光束を結像レンズ系により被走査面上にスポッ
ト状に結像させて被走査面を光走査する方式の装置があ
る。
回転多面鏡を用いる光走査装置には面倒れの問題があ
り、また、偏向される光束は角速度が一定となるので被
走査面の走査が定速的に行われる様に工夫する必要があ
る。fθレンズ系は、この、被走査面の定速的な走査を
光学的に実現する様にしたレンズ系であり、入射角θを
もって入射する光束の像高が焦点距離をfとしてfθと
なるようにするfθ機能を有する。
また、面倒れの問題を解決する方法としては、回転多
面鏡と被走査面との間に設けられるレンズ系をアナモフ
ィック系とし、副走査方向に関して、回転多面鏡の反射
位置と被走査面とを共役関係に結び付ける方法が知られ
ている。
[発明が解決しようとする課題] fθレンズ系自体をアナモフィックとし、定速的な走
査と面倒れの問題の解決とを困ったものは種々知られて
いる。例えば、特開昭63−19617号公報には2枚構成の
アナモフィックなfθレンズ系が開示されている。この
fθレンズ系は像面湾曲の補正が必ずしも十分ではな
く、被走査面上に於ける結像スポットの径が走査位置に
より可なり大きく変動するので、高密度の光走査の実現
が困難である。
また、特開昭61−120112号公報には像画湾曲を良好に
補正するために所謂鞍型トーリック面を使用したfθレ
ンズ系が開示されている。しかし、このfθレンズ系は
3枚構成でありコストが高くつくし、光走査装置の小型
化も難しくなる。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであっ
て、主・副走査方向の像面湾曲の十分な補正と、回転多
面鏡における面倒れの問題の解決を可能ならしめた新規
なfθレンズ系の提供を目的とする。
[課題を解決するための手段] 以下、本発明を説明する。
本発明のfθレンズ系は、「光源からの光束を主走査
対応方向に長い線像に結像させ、その線像の結像位置の
近傍に反射面を有する回転多面鏡により上記光束を等角
速度的に偏向し、この偏向光束を結像レンズ系により被
走査面上にスポット状に結像させて被走査面を光走査す
る光走査装置において、回転多面鏡により偏向された光
束を被走査面上に結像させるレンズ系」であって、「副
走査方向に関しては、回転多面鏡の反射位置と被走査面
とを共役関係に結び付ける機能」を持ち、「主走査方向
に関しては、fθ機能」を有する。
また、このfθレンズ系は回転多面鏡の側から被走査
面側へ向かって第1、第2の順に配備される第1および
第2のレンズにより構成される2群・2枚構成であり、
上記回転多面鏡の側から教えて各レンズ面を第1乃至第
4面とするとき、これらのレンズ面の偏向面内での形状
が第1面から第4面に向かって、順次「円弧、直線、直
線、円弧」であり、偏向面に平行な面内では、上記第1
のレンズが負、第2のレンズが正の屈折力を持つ。
上記第1乃至第4図は、第1面が偏向直交面内の曲率
半径が光軸から離れるに従い大きくなる鞍型トーリック
面、第2面が平面、第3面が偏向直交面内にのみ屈折力
を持つ凹のシリンダー面、第4面が偏向直交面内に強い
曲率を持つ凸のトーリック面である。
偏向直交面内における合成焦点距離をfS、偏向直交面
内に於ける上記第1,第3,第4面の曲率半径を▲r
▼,▲r ▼,▲r ▼とするとき、これら
は、 2.20<{(1/▲r ▼)+(1/▲r ▼)−(1/▲
▼)}・fS<3.51 (I) なる条件を満足する。
ここで第1図を参照して、本発明のfθレンズ系の各
レンズ面を説明する。第1図に於いて、図の左側は回転
多面鏡の側、右側は被走査面の側であり、従ってレンズ
は左側が第1のレンズ、右側が第2のレンズを表してお
り、レンズ面は左から右へ向かって順次第1乃至第4面
である。また、第1図の上側の図は、fθレンズ系の偏
向面内でのレンズ形状、下側の図は、偏向直交面内での
レンズ形状を表している。
ここに「偏向面」とは、回転多面鏡により理想的に偏
向された光束の光軸光線が掃引することにより形成され
る面をいい、「偏向直交面」とはfθレンズ系の光軸を
通り上記偏向面に直交する面を言う。偏向面はその被走
査面との交線が理想的な主走査方向に対応するので、第
1図各図の上の図は「主」と表示してある。同様に、偏
向直交面は副走査方向と対応するので第1図各図の下の
図は「副」と表示してある。
偏向面内におけるレンズ面形状は第1図各図の上の図
のように第1ないし第4レンズ面が、順に円弧、直線、
直線、円弧であり、偏向面に平行な面内での屈折力は、
第1のレンズが負、第2のレンズが正である。
第1図各図にはまた、上記偏向面、偏向直交面内での
レンズ機能が「凸」であるか「凹」であるかを表示して
ある。
[作用] 以下、上記条件(I)に付き説明する。
上記の如きレンズ面構成でfθレンズ系を構成するこ
とにより主・副走査方向の像面湾曲の良好な補正が可能
になる。
しかし副走査方向の像面湾曲の補正には、さらに上記
条件(I)の充足が必要となる。
即ち、上記の面構成でレンズ構成して面倒れの補正を
行うと、条件 2.20<{(1/▲r ▼)+(1/▲r ▼)−(1/▲
▼)}・fS<3.51 (I) の下限を越えると副走査方向の像面湾曲がアンダーにな
り、上限を越えるとオーバーとなる。従って条件(I)
を外れた場合、副走査方向の像面湾曲が大きくなりすぎ
てしまう。
次ぎに、第2図を参照すると、この図は、fθレンズ
系を用いた光走査装置の1例を説明図的に略示してい
る。また、第3図は、第2図の光学配置を副走査方向か
ら見た状態、即ち偏向面内での様子を示している。
第2図に於いて、光源もしくは光源と集光装置とから
なる光源装置1からの平行光束は線像結像光学系たるシ
リンダーレンズ2により、回転多面鏡3の反射面3aの近
傍に偏向面と略平行な線像LIとして結像する。この線像
の長手方向は主走査対応方向である。
回転多面鏡3により反射された光束は、fθレンズ系
により、被走査面6上にスポット状に結像され、回転多
面鏡3の矢印方向への等速回転に従い、被走査面6を等
速的に走査する。
fθレンズ系は第1レンズ4と第2レンズ5とにより
構成され、レンズ4は回転多面鏡3の側、レンズ5は被
走査面6の側にそれぞれ配設される。偏向面内で見ると
第3図に示すように、レンズ4,5によるfθレンズ系は
光源側の無限遠と被走査面6の位置とを共役関係に結び
付けている。これに対し偏向直交面内で見ると、即ち副
走査方向に関してはfθレンズ系は回転多面鏡3の反射
位置と被走査面6とを略共役関係に結び付けている。従
って、第4図に示すように反射面3aが符号3a′で示すよ
うに面倒れを生じてもfθレンズ系による、被走査面6
上の結像位置は、走査方向(第4図上下方向)には殆ど
移動しない。従って面倒れは補正される。
さて、回転多面鏡3が回転すると反射面3aは軸3Aを中
心として回転するため、第5図に示すように反射面の回
転に伴い線像の結像位置Pと反射面3aとの間に位置ずれ
ΔXが生じ、fθレンズ系による線像の共役像の位置
P′は被走査面6からΔX′だけずれる。
このずれ量ΔX′はfθレンズ系の副走査方向の横倍
率をβとして、周知の如くΔX′=βΔXで与えられ
る。
偏向面内で、fθレンズ系のレンズ光軸と偏向光束の
主光線とのなす角をθとする時、θと上記ΔXとの関係
を示したのが第6図及び第7図である。第6図は固有入
射角α(第8図参照)を90度とし、回転多面鏡3の内接
円半径Rをパラメーターとして描いている。また、第7
図では上記内接円半径Rを40mmとし、固有入射角αをパ
ラメーターとして描いている。
第6,7図から分かるように、ΔXは内接円半径Rが大
きいほど、また固有入射角αが小さいほど大きくなる。
また、反射面の回転に伴う線像の位置と反射面との相
対的な位置ずれは、偏向面内で2次元的に生じ、且つレ
ンズ光軸に対しても非対象に移動する。従って、第2図
の如き光走査装置ではfθレンズ系の主、副走査方向の
像面湾曲を良好に補正する必要がある。また、主走査方
向に関してはfθ特性が良好に補正されねばならないこ
とは言うまでもない。
ここで前述の固有入射角αにつき説明すると、第8図
において、符号aは回転多面鏡に入射する光束の主光線
を示し、符号bは回転多面鏡3による反射光束がfθレ
ンズ系の光軸と平行に成ったときの主光線を示してい
る。固有入射角αは、図の如く主光線a,bの交角として
定義される。
回転多面鏡3の回転軸位置を原点として図のごとくX,
Y軸を定め、主光線a,bの交点の位置座標をXc,Ycとす
る。
前述した、線像位置と反射面との位置ずれ量のΔXの
変動をなるべく少なくする為には周知のごとく、 0<Xc<Rcos(α/2) 0<Yp<Rsin(α/2) なる条件をXc,Xcに課せばよい。
また、入射光束の主光束aが有効主走査領域外に存在
し、被走査面6からの戻り光がゴースト光として被走査
面の主走査領域に再入射しないようにするには、回転多
面鏡3の面数をN、偏向角をθとして、上記αに対し、 θ<α<(4π/N)−θ なる条件を課すれば良い。
次に、本発明の特徴の一端をなす鞍型トーリック面に
付き説明する。
良く知られているようにトーリック面とは、円弧を、
この円弧を含む平面内で円弧の曲率中心を通らない直線
の回りに回転して得られる面である。第9図を参照する
とAVBを通る曲線は位置C1を曲率中心とする円弧であ
る。この円弧を直線X1Y1を軸として回転させると第10図
に示すような鞍型の曲面STが得られる。この面STが鞍型
トーリック面である、この面STをレンズ面として使用す
る際に凸面として使用する場合と凹面として使用する場
合とが可能であり、本発明では第1面に凹の鞍型トーリ
ック面を使用するのである。
X1,Y1に直交する面内における鞍型トーリック面の曲
率半径を見ると、これはC2点を軸方向に離れるに従って
小さくなっており、この曲率半径は軸X1,Y1と円弧AVBと
の距離に等しい。
本発明では、従って軸X1Y1の方向を偏向面内で主走査
方向と平行にするのである。
[実施例] 以下、具体例な実施例を13例挙げる。
各実施例においてfMはfθレンズ系の主走査方向に関
する合成焦点距離、即ち偏向面に平行な面内における合
成焦点距離を表し、この値は100に規格化される。またf
Sは偏向直交面内での合成焦点距離即ち副走査方向に関
する合成焦点距離を表す。2θは偏向角(単位:度)、
αは上記固有入射角(単位:度)、βは偏向直交面内の
横倍率を表す。
rixは回転多面鏡の側から教えてi番目のレンズ面の
偏向面内の曲率半径、即ち第1図各図で「主」と表示さ
れた図に現れたレンズ面形状の曲率半径、riYはi番目
のレンズ面の偏向直交面内の曲率半径、即ち第1図各図
で「副」と表示された図に現れたレンズ面形状の曲率半
径で特に、r1Y,r3Y,r4Yは条件(I)に於いて▲r
▼,▲r ▼,▲r ▼として説明したものであ
る。従って第1面に関し、r1xは第9図のVC1間の距離、
r1YはVC2間の距離を表す。diはi番目のレンズ面間距
離、d0は回転多面鏡の反射面から第1レンズ面までの距
離、njはj番目のレンズの屈折率を表す。
さらに、K1をもって、上記条件(I)における{(1/
▲r ▼+(1/▲r ▼)−(1/▲r ▼)}・
fSを表す。
実施例 1 fM=100,fS=16.963,β=−7.205,α=54,2 θ=63.1 K1=2.592,d0=7.816 i riX riY di j ni 1 −112.654 8.057 5.531 1 1.71221 2 ∞ ∞ 10.943 3 ∞ −14.911 6.373 2 1.67500 4 − 46.055 −10.445 第11図に、実施例1に関する収差図・fθ特性を示
す。像画湾曲図は、回転多面鏡の回転に伴うものであ
り、破線は主走査方向のもの、実線が副走査方向のもの
を表している。
また、fθ特性は理想像高をfM・θ、実際の像高をh
とするとき、(h−fM・θ)・100/(fM・θ)で定義さ
れる。
実施例 2 fM=100,fS=16.468,β=−7.515,α=54,2 θ=63.1 K1=2.558,d0=7.816 i riX riY di j ni 1 −112.654 7.564 5.531 1 1.71221 2 ∞ ∞ 10.943 3 ∞ −13.227 6.373 2 1.67500 4 − 46.055 −10.127 第12図に、実施例2に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 3 fM=100,fS=16.754,β=−7.332,α=54,2 θ=63.1 K1=2.580,d0=7.816 i riX riY di j ni 1 −112.654 7.84 5.531 1 1.71221 2 ∞ ∞ 10.943 3 ∞ −14.189 6.373 2 1.67500 4 − 46.055 −10.317 第13図に、実施例3に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 4 fM=100,fS=17.142,β=−8.000,α=54,2 θ=63.4 K1=2.510,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −113.348 6.012 4.209 1 1.71221 2 ∞ ∞ 13.468 3 ∞ −16.498 6.012 2 1.67500 4 − 46.536 −10.098 第14図に、実施例4に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 5 fM=100,fS=16.486,β=−8.441,α=54,2 θ=63.4 K1=3.486,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −113.348 5.610 4.209 1 1.71221 2 ∞ ∞ 13.468 3 ∞ −14.430 6.012 2 1.67500 4 − 46.536 − 9.756 第15図に、実施例5に関する収差図、fθ特性を示
す。
実施例 6 fM=100,fS=16.783,β=−8.235,α=54,2 θ=63.4 K1=3.501,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −113.348 5.786 4.209 1 1.71221 2 ∞ ∞ 13.468 3 ∞ −15.392 6.012 2 1.67500 4 − 46.536 − 9.927 第16図に、実施例6に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 7 fM=100,fS=12.371,β=−10.496,α=54,2 θ=63.4 K1=2.802,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −71.179 4.816 3.968 1 1.67500 2 ∞ ∞ 9.800 3 ∞ −10.702 5.291 2 1.76605 4 −44.973 − 8.906 第17図に、実施例7に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 8 fM=100,fS=12.580,β=−10.283,α=54,2 θ=63.4 K1=2.823,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −71.179 4.939 3.968 1 1.67500 2 ∞ ∞ 9.800 3 ∞ −11.303 5.291 2 1.76605 4 −44.973 − 8.906 第18図に、実施例8に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 9 fM=100,fS=12.299,β=−10.560,α=54,2 θ=63.4 K1=2.794,d0=5.411 i riX riY di j ni 1 −71.179 4.771 3.968 1 1.67500 2 ∞ ∞ 9.800 3 ∞ −10.462 5.291 2 1.76605 4 −44.973 − 8.838 第19図に、実施例9に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 10 fM=100,fS=15.000,β=−7.698,α=54,2 θ=62.7 K1=2.221,d0=9.019 i riX riY di j ni 1 −114.48 8.297 3.006 1 1.71221 2 ∞ ∞ 11.303 3 ∞ −12.025 4.449 2 1.60909 4 −41.245 − 9.035 第20図に、実施例10に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 11 fM=100,fS=15.076,β=−7.647,α=54,2 θ=62.7 K1=2.230,d0=9.019 i riX riY di j ni 1 −114.48 8.377 3.006 1 1.71221 2 ∞ ∞ 11.303 3 ∞ −12.265 4.449 2 1.60909 4 −41.245 − 9.085 第21図に、実施例11に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 12 fM=100,fS=15.310,β=−7.503,α=54,2 θ=62.7 K1=2.255,d0=9.019 i riX riY di j ni 1 −114.48 8.628 3.006 1 1.71221 2 ∞ ∞ 11.303 3 ∞ −12.987 4.449 2 1.60909 4 −41.245 − 9.224 第22図に、実施例12に関する収差図・fθ特性を示
す。
実施例 13 fM=100,fS=14.902,β=−7.750,α=54,2 θ=62.7 K1=2.209,d0=9.019 i riX riY di j ni 1 −114.48 8.195 3.006 1 1.71221 2 ∞ ∞ 11.303 3 ∞ −11.712 4.449 2 1.60909 4 −41.245 − 8.963 第23図に、実施例13に関する収差図・fθ特性を示
す。
各実施例とも、収差が良好であり特に、像面湾曲は主
・副走査方向とも極めて良好に補正されている。またf
θ特性も良好である。
[発明の効果] 以上、本発明によれば新規なfθレンズ系を提供でき
る。このfθレンズ系は、上述の如き構成となっている
ので、回転多面鏡の面倒れを良好に補正しつつ、主・副
走査方向の像面湾曲を良好に補正して光走査を実現で
き、従って高密度の光走査が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のfθレンズ系の形状を説明するため
の図、第2図乃至第8図は光走査装置を説明するための
図、第9図および第10図は鞍型トーリック面を説明する
ための図、第11図乃至第23図は、各実施例に関する収差
図・fθ特性図である。 1……光源装置、2……シリンダーレンズ、3……回転
多面鏡、4,5……fθレンズ系を構成する第1および第
2レンズ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源からの光束を主走査対応方向に長い線
    像に結像させ、その線像の結像位置の近傍に反射面を有
    する回転多面鏡により上記光束を等角速度的に偏向し、
    この偏向光束を結像レンズ系により被走査面上にスポッ
    ト状に結像させて被走査面を光走査する光走査装置にお
    いて、回転多面鏡により偏向された光束を被走査面上に
    結像させるレンズ系であって、 副走査方向に関して回転多面鏡の反射位置と被走査面と
    を略共役関係に結び付ける機能を持つとともに、主走査
    方向に関してfθ機能を有し、 回転多面鏡の側から被走査面側へ向かって第1、第2の
    順に配備される、第1および第2のレンズにより構成さ
    れる2群・2枚構成であり、 上記回転多面鏡の側から教えて各レンズ面を第1乃至第
    4面とするとき、これらのレンズ面の偏向面内での形状
    が第1面から第4面に向かって順次、円弧、直線、直
    線、円弧であり、偏向面に平行な面内では、上記第1の
    レンズが負、第2のレンズが正の屈折力を持ち、 上記第1面は偏向直交面内の曲率半径が光軸から離れる
    に従い大きくなる鞍型トーリック面、第2面は平面、第
    3面は偏向直交面内にのみ屈折力を持つ凹のシリンダー
    面、第4面は偏向直交面内に強い曲率を持つ凸のトーリ
    ック面であり、 偏向直交面内における合成焦点距離をfS、偏向直交面内
    に於ける上記第1,第3,第4面の曲率半径を▲r ▼,
    ▲r ▼,▲r ▼とするとき、これらが、 2.20<{(1/▲r ▼)+(1/▲r ▼)−(1/▲
    ▼)}・fS<3.51 (I) なる条件を満足することを特徴とするfθレンズ系。
JP1006473A 1989-01-13 1989-01-13 光走査装置におけるfθレンズ系 Expired - Lifetime JP2718735B2 (ja)

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