JPS61120112A - 走査光学系 - Google Patents
走査光学系Info
- Publication number
- JPS61120112A JPS61120112A JP59240461A JP24046184A JPS61120112A JP S61120112 A JPS61120112 A JP S61120112A JP 59240461 A JP59240461 A JP 59240461A JP 24046184 A JP24046184 A JP 24046184A JP S61120112 A JPS61120112 A JP S61120112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- lens
- optical system
- constitution
- cylindrical surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はレーザービーム等の走査光学系、特に光偏向
面の倒れ角補正用の光学素子を有する走査光学系 （従来技術） レーザービーム走査光学系において、ポリゴン等Ｏ光偏
向面の鯛れ角を補正するための光学系として、回転対称
面からなる結像面をと澹面とＯ関に、副走査方向面内で
Ｑ不屈折力を有するシリンドリカル面を或いは同効υト
ロイダル面を有する面をを配設し、副走査方向面内にお
いて、光偏向面と橡面とを＆側光学的に共役胸保におい
たものが広く用いられている。
面の倒れ角補正用の光学素子を有する走査光学系 （従来技術） レーザービーム走査光学系において、ポリゴン等Ｏ光偏
向面の鯛れ角を補正するための光学系として、回転対称
面からなる結像面をと澹面とＯ関に、副走査方向面内で
Ｑ不屈折力を有するシリンドリカル面を或いは同効υト
ロイダル面を有する面をを配設し、副走査方向面内にお
いて、光偏向面と橡面とを＆側光学的に共役胸保におい
たものが広く用いられている。
しかし、走嚢装＊を小型化するために、偏向ｆＩ４ｔ−
広角化し、これに伴い光学系上広ｒｊｈ肉化しようとす
れは、派−湾曲、特にサジタル方向０ＬｌｔｈＩ丙曲の
補正不達が間組となる。
広角化し、これに伴い光学系上広ｒｊｈ肉化しようとす
れは、派−湾曲、特にサジタル方向０ＬｌｔｈＩ丙曲の
補正不達が間組となる。
９’ｌｊえは、結像素子として嗅玉ｆθ面をとシリンド
リカル面をを用いたもの（特開昭５８−９３０２１号）
は、これを広絢化するため一五ｆυ面をを複数枚にして
も、副走査方向くサジタル方向）υ皺ｔｈ１湾曲は補正
困難であシ、広画角化に制限がある。
リカル面をを用いたもの（特開昭５８−９３０２１号）
は、これを広絢化するため一五ｆυ面をを複数枚にして
も、副走査方向くサジタル方向）υ皺ｔｈ１湾曲は補正
困難であシ、広画角化に制限がある。
結鍬素子を凸面をで構成すれば、一般ＶＣ津Ｉｆｏ湾曲
は補正不足となる。このとき、＃＆ｌｌ走査方向のビー
ムウェストｉは光軸外では小さくなる。
は補正不足となる。このとき、＃＆ｌｌ走査方向のビー
ムウェストｉは光軸外では小さくなる。
一方、歇向湾曲によってビームウェスト泣置と被走ｔｔ
ｈＩははなれているため、デフォーカスによって被走査
面でのスポットａはビームウェスト匝より大きくなる。
ｈＩははなれているため、デフォーカスによって被走査
面でのスポットａはビームウェスト匝より大きくなる。
この現象を利用して光軸中心部と一外邸で■ビームｆｆ
１ｔ−一定範囲におさめることが出来るが、この方法を
用いることが出来るのは１１１１Ｍが小さい場診である
。
１ｔ−一定範囲におさめることが出来るが、この方法を
用いることが出来るのは１１１１Ｍが小さい場診である
。
シリンドリカル面をに代えてトーリック面をを用いるこ
とも提案されているが（列えば物＠昭５９−１４７３１
６号）広画角を実現してはいるも０のトーリック面の精
ｋが会費であり、製作が難しいという一点があるＯシリ ンドリカル面をを湾曲させてトロイダル面とし、ビーム
径を均一にする提案もあるが、（％開昭５８−１７９８
１３号、同１８５Ｂ−１７９８１４号）広角画題この方
法で対応することは難しい。
とも提案されているが（列えば物＠昭５９−１４７３１
６号）広画角を実現してはいるも０のトーリック面の精
ｋが会費であり、製作が難しいという一点があるＯシリ ンドリカル面をを湾曲させてトロイダル面とし、ビーム
径を均一にする提案もあるが、（％開昭５８−１７９８
１３号、同１８５Ｂ−１７９８１４号）広角画題この方
法で対応することは難しい。
（発明の目的）
この発明は、偏向角Ｗが駆めて大きく、８ｉｎｗ／２
カｏ、７ｍｒｉｔＶｃ及ぶ走査光学系で、サジタル像
面湾曲が良く補正され、しかも車用する光学素子は容易
に低コストで製作出来るものｔ−得ようとするも０であ
る。
カｏ、７ｍｒｉｔＶｃ及ぶ走査光学系で、サジタル像
面湾曲が良く補正され、しかも車用する光学素子は容易
に低コストで製作出来るものｔ−得ようとするも０であ
る。
（発明のｍ胞）
この発明の光字系は、ＱＫ１図にその主走査方向のＩ＃
１面図を（ａ）に、銅走嚢方向Ｏ断面図を示すように、
ポリゴン等ｏｊｔ、ｍ向向と被走食面２との間に結鵬面
を３及び変形シリンドリカル面を４を配置したものであ
る口 変形シリンドリカル面を４は七〇ＩＦ１図ｔｖｇｚ図（
ａ） Ｋ、その主走査方向町面ｔ−同図（ｂ）に示す口 変形シリンドリカル面を４■屈折面４は、第２図（ｂ）
で軸線ｔｔ−中心とした曲線４０回転曲面である。曲＆
１４は義宜の関数ｘ＝７（至）でおり、元軸上で（０１
１１ｍ ４へ０朕謝をｙ鴨とすれは、軸外点Ｐでｏｙ＝
ｏからのずれをΔＸとすると、サジタル方向０曲率０３
は ヘーΔＸ 煽は光軸における剃走査方向面内の曲率半匝となシ、軸
外に行くに従ってＣ８は小さくなる◎一般に、サジタル
縁面は補正不足となるので、塊）Ｑ’７）ときはＸ＝−
ｆ（ｙ）Ｃ）関数は軸外で偏向器側に変位し、凡（［７
）ときは像側に変位する形状がサジタル隊面θ輛正不址
が改良される方向である。そして、サジタ゛ル縁面が補
止されると同時にビームウェストもほぼ均一となシ、縁
面上でほぼ均一な副走査方向のビーム径が得られる口 こＯような変形シリンドリカル面は、第３図に示すよう
に、被加工材’ｌ ｙ＃ａに午行な６１ｔ ＣＰＩＬ？
とじて回軸させ、バイト５をＸ方向に移動さぜると共に
Ｘ＝ｆ（７）ｆ：）関係となるようにＸ方向に前後させ
ればよい口或いは、パイ）５Ｃ１ればよい。このように
して構成される屈折面４は、Ｃｓ二１／ＲＯで一定であ
るシリンドリカル面及びトロイダル面とは相違している
。
１面図を（ａ）に、銅走嚢方向Ｏ断面図を示すように、
ポリゴン等ｏｊｔ、ｍ向向と被走食面２との間に結鵬面
を３及び変形シリンドリカル面を４を配置したものであ
る口 変形シリンドリカル面を４は七〇ＩＦ１図ｔｖｇｚ図（
ａ） Ｋ、その主走査方向町面ｔ−同図（ｂ）に示す口 変形シリンドリカル面を４■屈折面４は、第２図（ｂ）
で軸線ｔｔ−中心とした曲線４０回転曲面である。曲＆
１４は義宜の関数ｘ＝７（至）でおり、元軸上で（０１
１１ｍ ４へ０朕謝をｙ鴨とすれは、軸外点Ｐでｏｙ＝
ｏからのずれをΔＸとすると、サジタル方向０曲率０３
は ヘーΔＸ 煽は光軸における剃走査方向面内の曲率半匝となシ、軸
外に行くに従ってＣ８は小さくなる◎一般に、サジタル
縁面は補正不足となるので、塊）Ｑ’７）ときはＸ＝−
ｆ（ｙ）Ｃ）関数は軸外で偏向器側に変位し、凡（［７
）ときは像側に変位する形状がサジタル隊面θ輛正不址
が改良される方向である。そして、サジタ゛ル縁面が補
止されると同時にビームウェストもほぼ均一となシ、縁
面上でほぼ均一な副走査方向のビーム径が得られる口 こＯような変形シリンドリカル面は、第３図に示すよう
に、被加工材’ｌ ｙ＃ａに午行な６１ｔ ＣＰＩＬ？
とじて回軸させ、バイト５をＸ方向に移動さぜると共に
Ｘ＝ｆ（７）ｆ：）関係となるようにＸ方向に前後させ
ればよい口或いは、パイ）５Ｃ１ればよい。このように
して構成される屈折面４は、Ｃｓ二１／ＲＯで一定であ
るシリンドリカル面及びトロイダル面とは相違している
。
こＱような変形シリンドリカル面をは、５絨面近くに配
設すればその許容誤差を比較的大きくしても、すれによ
る影響が比較的小さく、製造が容易となシ ＆成肉脂で
成型する場縫に有利である。
設すればその許容誤差を比較的大きくしても、すれによ
る影響が比較的小さく、製造が容易となシ ＆成肉脂で
成型する場縫に有利である。
このため、ｆを主走査方向面内の走査元学系（Ｍ−面を
と変形シリンドリカル面をとからなる光学系）の焦点馳
駆、ｄ？ｌ−光軸上の変）レジリントリカル面位置と結
渫位置左の間隔としたとき、 ／ｆ（０，６ を信地する位置に配置することが淑ましい。この上限を
越えると変形シリンドリカル面をの許各隘差が厳しくな
ってｔｋｆましくない。
と変形シリンドリカル面をとからなる光学系）の焦点馳
駆、ｄ？ｌ−光軸上の変）レジリントリカル面位置と結
渫位置左の間隔としたとき、 ／ｆ（０，６ を信地する位置に配置することが淑ましい。この上限を
越えると変形シリンドリカル面をの許各隘差が厳しくな
ってｔｋｆましくない。
また、実施列１においては結線面を３は２枚υ凸面をか
−ら信地されている。よくｆθしンズとして使用される
凹凸の構成であるとバックフォーカスが長くなシ、コン
パクト化が難しくなる。逆に凸凹の構成では、歪曲収差
の補正が困難となる。
−ら信地されている。よくｆθしンズとして使用される
凹凸の構成であるとバックフォーカスが長くなシ、コン
パクト化が難しくなる。逆に凸凹の構成では、歪曲収差
の補正が困難となる。
なお、この結鐵系■一部にシリンドリカル面、トーリッ
クｌＴ＋を含ませてもよく、変形シリンドリカル面を複
ＷＩＬｍ用してもよい。史１ｃ、ｆ＆面をト変形シリン
ドリカル面をを別体として設けるのでなく、１川−面を
中に言まぜることも出来る。
クｌＴ＋を含ませてもよく、変形シリンドリカル面を複
ＷＩＬｍ用してもよい。史１ｃ、ｆ＆面をト変形シリン
ドリカル面をを別体として設けるのでなく、１川−面を
中に言まぜることも出来る。
（実施向とその効果Ｊ
実施向１は、第１図に示す光学系を示す。変形シリンド
リカル面をＯ走を向＠面は非球面であシ、王として歪曲
収差の補正に用いられる。
リカル面をＯ走を向＠面は非球面であシ、王として歪曲
収差の補正に用いられる。
実施ガ２は結縁面を３を暎面をとしたガである。
この両実施ＨＥおいて入射ビーム匝は、主走査方向二人
射に位置のビーム匝１．８６ ｍｍＩＩ走倉方向二人射
−から５２ ｍｍ 面を側でビーム匝０．３２ ｍｔｎ 出射ビームは 主走葺方向： ０．０８０ ｍｍ ｍ１１走査方向： ０．１２０ ｍｍ である。
射に位置のビーム匝１．８６ ｍｍＩＩ走倉方向二人射
−から５２ ｍｍ 面を側でビーム匝０．３２ ｍｔｎ 出射ビームは 主走葺方向： ０．０８０ ｍｍ ｍ１１走査方向： ０．１２０ ｍｍ である。
実施例１
ｆ ＝ １ ５ ０ ｍｍ
入射−と第１面の間隔３７．５ ｍｍ
７ 走量面
φ２＝ｙ２＋ｚ２
一同千面ヒ畿直面で元軸を含む曲率半匝＝ １６．５
ｍｍこＯ走査系の性能 まず歪曲収差 入射瞳面に偏向面があるとし回転角をθとすると ｓｉｎθ＝ ０．０ ０．２１ ０．３５ ０．４９
０，６３ ０．７０理想位置０．０３１．６１６
５３４３２７６Ｂ２２１０１．８４５１１５Ｊ３７に０
．０−０．０１８−０．０１６ ０．００ ０．０６
５ −＋−０，０３こＱように理想結隊と■差はＭ Ａ
Ｘ ０．０７ ｍｍ以下であり、広画にもかかわらず
非常にすぐれている。
ｍｍこＯ走査系の性能 まず歪曲収差 入射瞳面に偏向面があるとし回転角をθとすると ｓｉｎθ＝ ０．０ ０．２１ ０．３５ ０．４９
０，６３ ０．７０理想位置０．０３１．６１６
５３４３２７６Ｂ２２１０１．８４５１１５Ｊ３７に０
．０−０．０１８−０．０１６ ０．００ ０．０６
５ −＋−０，０３こＱように理想結隊と■差はＭ Ａ
Ｘ ０．０７ ｍｍ以下であり、広画にもかかわらず
非常にすぐれている。
又■面湾曲は第４１四に示す口
もし５面全変形シリンドリカルにしなかったときは同図
い）となシ、これと比較すると非常な改良が見られる。
い）となシ、これと比較すると非常な改良が見られる。
＊施卸２
ｆ ＝ １ ５ １．４ ０ ｍｍ
入射雛と第１面の藺ｗ６２９．Ｏｍｍ λ＝７８０Ｊ
ｎ ３１］ｋｌ 変形シリンドリカル向 −同向に自直な光軸を含む曲率半匝１７．３０ ｍｍ入
射ビーム 主走査方向 入射瞳面にビームクエストＭ −＝０．９２ｍｍ 副走査方向 入射瞳面よシ面を側に４０ｍｍＫＭ 主走査方向 −＝ ０．０４０ ｍｍＩＢ 副走査方向 −＝ ０．０６０ ｍｍｄ＝１向絢 ４、 図面Ｏ簡嚇な説餉 第１図はこの発明の走査光学系の１実施的の・構成ｗｔ
面図、第２図は鴬形シリンドリカル面をの概Ｓ図、第３
図は七゛の製造法の説明図、第４図、第５図はその収差
１１！靭図である。
ｎ ３１］ｋｌ 変形シリンドリカル向 −同向に自直な光軸を含む曲率半匝１７．３０ ｍｍ入
射ビーム 主走査方向 入射瞳面にビームクエストＭ −＝０．９２ｍｍ 副走査方向 入射瞳面よシ面を側に４０ｍｍＫＭ 主走査方向 −＝ ０．０４０ ｍｍＩＢ 副走査方向 −＝ ０．０６０ ｍｍｄ＝１向絢 ４、 図面Ｏ簡嚇な説餉 第１図はこの発明の走査光学系の１実施的の・構成ｗｔ
面図、第２図は鴬形シリンドリカル面をの概Ｓ図、第３
図は七゛の製造法の説明図、第４図、第５図はその収差
１１！靭図である。
１：光偏向面 ２：被走査面 ３：結歇面を ４：変形
シリンドリカル面を ５：バイトト 特許出纏人 小西六写真１嫉味式会仕出龜人代理人
弁理士 佐 藤 文 彰（ほか１名） ＃Ｅ１図 ａに ：！ 図
シリンドリカル面を ５：バイトト 特許出纏人 小西六写真１嫉味式会仕出龜人代理人
弁理士 佐 藤 文 彰（ほか１名） ＃Ｅ１図 ａに ：！ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）光ビームを偏向走査する光偏向装置と、被走査面と
の間に配置され、偏向光を上記被走査面上に結像させる
と共に、副走査方向面内において上記偏向面と被走査面
とを幾何光学的に略共役関係に置く走査光学のなかに、
副走査方向（サジタル方向）面内における曲率が、光軸
から離れるに従い小となる変形シリンドリカル面を含む
ことを特徴とする走査光学系 ２）上記変形シリンドリカル面は光軸に平行で主走査方
向に直角な面内の形状が円弧であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項の走査光学系
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59240461A JPS61120112A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 走査光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59240461A JPS61120112A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 走査光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120112A true JPS61120112A (ja) | 1986-06-07 |
| JPH0349408B2 JPH0349408B2 (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=17059845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59240461A Granted JPS61120112A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 走査光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120112A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63124018A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-27 | Canon Inc | 走査装置 |
| JPH01169422A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Tokyo Electric Co Ltd | ポストオブジエクテイブ型光走査装置 |
| US4866459A (en) * | 1987-02-27 | 1989-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image scanner with a non-spherical fθ lens system |
| JPH0240610A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系 |
| US4971411A (en) * | 1988-11-07 | 1990-11-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system |
| US5005928A (en) * | 1988-07-15 | 1991-04-09 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system |
| US5015050A (en) * | 1988-12-22 | 1991-05-14 | Ricoh Company, Ltd. | Fθ lens system in optical scanner |
| US5031979A (en) * | 1988-12-13 | 1991-07-16 | Ricoh Company, Ltd. | f θ Lens system in optical scanner |
| US5062679A (en) * | 1989-01-13 | 1991-11-05 | Ricoh Company, Ltd. | fθ Lens system in optical scanner |
| US5064261A (en) * | 1989-05-31 | 1991-11-12 | Ricoh Company, Ltd. | Fθ lens systems in optical scanner |
| US5148304A (en) * | 1990-02-28 | 1992-09-15 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Optical beam scanning system |
| US5453870A (en) * | 1993-02-04 | 1995-09-26 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning system |
| US5745277A (en) * | 1994-05-23 | 1998-04-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Scanner optics and image formation apparatus using the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58179813A (ja) * | 1982-03-21 | 1983-10-21 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
| JPS60133416A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-07-16 | Ricoh Co Ltd | 面倒れ補正走査光学系用シリンドリカルレンズ |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP59240461A patent/JPS61120112A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58179813A (ja) * | 1982-03-21 | 1983-10-21 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
| JPS60133416A (ja) * | 1983-12-22 | 1985-07-16 | Ricoh Co Ltd | 面倒れ補正走査光学系用シリンドリカルレンズ |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0746175B2 (ja) * | 1986-11-14 | 1995-05-17 | キヤノン株式会社 | 走査装置 |
| JPS63124018A (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-27 | Canon Inc | 走査装置 |
| US4866459A (en) * | 1987-02-27 | 1989-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image scanner with a non-spherical fθ lens system |
| JPH01169422A (ja) * | 1987-12-25 | 1989-07-04 | Tokyo Electric Co Ltd | ポストオブジエクテイブ型光走査装置 |
| JPH0786595B2 (ja) * | 1987-12-25 | 1995-09-20 | 株式会社テック | ポストオブジエクテイブ型光走査装置 |
| US5005928A (en) * | 1988-07-15 | 1991-04-09 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system |
| JPH0240610A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Ricoh Co Ltd | 走査光学系 |
| JP2598473B2 (ja) * | 1988-08-01 | 1997-04-09 | 株式会社リコー | 走査光学系 |
| US4971411A (en) * | 1988-11-07 | 1990-11-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical scanning system |
| US5031979A (en) * | 1988-12-13 | 1991-07-16 | Ricoh Company, Ltd. | f θ Lens system in optical scanner |
| US5015050A (en) * | 1988-12-22 | 1991-05-14 | Ricoh Company, Ltd. | Fθ lens system in optical scanner |
| US5062679A (en) * | 1989-01-13 | 1991-11-05 | Ricoh Company, Ltd. | fθ Lens system in optical scanner |
| US5064261A (en) * | 1989-05-31 | 1991-11-12 | Ricoh Company, Ltd. | Fθ lens systems in optical scanner |
| US5148304A (en) * | 1990-02-28 | 1992-09-15 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Optical beam scanning system |
| US5453870A (en) * | 1993-02-04 | 1995-09-26 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning system |
| US5745277A (en) * | 1994-05-23 | 1998-04-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Scanner optics and image formation apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0349408B2 (ja) | 1991-07-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3072061B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JPH0627904B2 (ja) | レーザービームの走査光学系 | |
| JPS61120112A (ja) | 走査光学系 | |
| JPH0338572B2 (ja) | ||
| JP2563260B2 (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JP3222498B2 (ja) | 走査光学系 | |
| US4925279A (en) | Telecentric f-θ lens system | |
| JPH06230308A (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JP3620767B2 (ja) | 反射型走査光学系 | |
| JPH07113950A (ja) | 光ビーム走査装置及び結像レンズ | |
| JP2673591B2 (ja) | ｆθレンズ及びそれを用いたレーザー走査光学系 | |
| JP2865009B2 (ja) | 走査レンズ及び光走査装置 | |
| JP2804512B2 (ja) | 光走査装置におけるｆθレンズ系 | |
| US5148304A (en) | Optical beam scanning system | |
| JPH0545602A (ja) | レ−ザ走査装置 | |
| JPH1090620A (ja) | 光走査光学装置 | |
| JPH08122635A (ja) | 光走査光学系 | |
| JP3943155B2 (ja) | 光走査装置 | |
| JPH0447286B2 (ja) | ||
| JPH11281911A (ja) | 光走査光学系 | |
| JP3752004B2 (ja) | 走査レンズ | |
| JPS63142317A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JPH02109012A (ja) | 光走査装置 | |
| JP2553882B2 (ja) | 走査結像光学系 | |
| JP3538273B2 (ja) | 走査レンズ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |