JP3752004B2 - 走査レンズ - Google Patents

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    • G02B26/10—Scanning systems
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザープリンター等の走査光学系に用いられる走査レンズに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の走査レンズは、例えば特開昭62−172317号公報に開示される。この公報に開示される走査レンズは、偏向器であるポリゴンミラー側から順に配列した第1、第2、第3レンズから構成されている。
【0003】
上記公報に記載の走査レンズの第1レンズは、副走査方向の負のパワーが主走査方向におけるより強い負のアナモフィックレンズ、第2レンズは、両面が球面の正レンズ、第3レンズは、副走査方向の正のパワーが主走査方向におけるより強い正のアナモフィックレンズである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した公報に記載された走査レンズは、走査幅に対して副走査方向の像面湾曲が大きな割合で発生しているため、副走査方向のスポット径の変化が大きく、高い描画精度が要求されるシステムには適さないという問題がある。
【0005】
この発明は、上述した従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、副走査方向の像面湾曲を良好に補正することができる走査レンズの提供を目的とし、さらには、マルチビーム用の走査光学系に用いるのに適した走査レンズを提供することを目的とする。
【0006】
マルチビーム用の走査光学系に用いるためには、光軸上を通らない軸外の走査線の湾曲を小さく抑える必要がある。しかしながら、従来例のような3枚構成の走査レンズでは、副走査方向の像面湾曲の補正と軸外の走査線の湾曲の補正とを両立させることが困難である。例えば、上記公報に記載された走査レンズは、軸外の走査線の湾曲は比較的小さいが、副走査方向の像面湾曲が大きい。反対に、副走査方向の像面湾曲を良好に補正したとすると、軸外の走査線の湾曲が大きくなる。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明にかかる走査レンズは、上述した目的を達成させるため、偏向器側から、主走査方向、副走査方向に共に負のパワーを持つ第1レンズ、主走査方向、副走査方向に共に正のパワーを持つ第2レンズ、主走査方向、副走査方向共に正のパワーを持つ第3レンズが順に配列して構成される3枚構成の走査レンズの走査対象面側に、副走査方向に負のパワーを持つシリンドリカル面を有する第4レンズを付加して構成されている。
【0008】
この構成によれば、第1、第2、第3レンズの3枚のレンズを副走査方向の像面湾曲が低く抑えられるよう構成し、像面湾曲を抑えた場合に3枚構成では補正できない軸外の走査線の湾曲を、第4レンズのシリンドリカル面により補正することができる。
【0009】
第4レンズが設けられていない場合、像面湾曲が低く抑えられるよう補正すると、軸外の走査線が主走査方向の周辺部で軸上の走査線に近接するように湾曲する。第4レンズのシリンドリカル面は、主走査方向の周辺部ほど軸外の走査線を軸上の走査線から離す方向に作用するため、上記の湾曲が打ち消され、走査線の湾曲が小さく抑えられる。
【0010】
シリンドリカル面の副走査方向のパワーは、主走査断面における光線の入射角度が大きいほど大きく作用する。したがって、副走査方向に負のパワーを持つシリンドリカル面を第4レンズに設けた場合、第4レンズに対して主走査方向の周辺部から入射する入射角度の大きい光線ほど負のパワーを大きく受ける。そして、その結果、主走査方向の周辺部ほどシリンドリカル面の発散力を強く受けて軸外の走査線が軸上の走査線に対して副走査方向に離れることとなり、第4レンズが配置されない場合に発生する軸外の走査線の湾曲を補正することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明にかかる走査レンズの実施形態を説明する。この発明にかかる走査レンズは、例えば図1に示されるように、レーザープリンター等の走査光学系の結像光学系として使用される。図1(A)は副走査断面、(B)は主走査断面を示す。
【0012】
半導体レーザー等の光源1から発してコリメートレンズ2により平行光束とされたレーザー光は、副走査方向にのみパワーを持つシリンドリカルレンズ3を介してポリゴンミラー4に入射し、ポリゴンミラー4で走査、偏向されて走査レンズである4枚構成のfθレンズ5を介して被走査面である描画面6上に結像する。
【0013】
シリンドリカルレンズ3は、光源から発する光束をポリゴンミラー4のミラー面の近傍で線状に結像させるために副走査方向に正のパワーを有する。fθレンズ5は、副走査方向においてミラー面近傍で線状に結像された光束を像面上にほぼ円形のスポットとして再結像させる。このようにミラー面と像面とをほぼ共役とすることにより、ポリゴンミラー4の面倒れ誤差による走査線ズレを低減させることができる。
【0014】
fθレンズ5は、ポリゴンミラー4側から描画面6側に向けて順に、主走査方向、副走査方向の両方向に関してそれぞれ負、正、正のパワーを有する第1、第2、第3レンズ5a,5b,5cと、副走査方向にのみ負のパワーを有し、主走査方向にパワーを持たない第4レンズ5dとが配列して構成される。
【0015】
第1レンズ5aは、ポリゴンミラー4側が負のパワーを持つ球面、描画面6側が副走査方向にのみ負のパワーを持つシリンダー面である負レンズであり、主走査方向に比較的弱い負のパワーを有すると共に、副走査方向に比較的強い負のパワーを有する。
【0016】
第2レンズ5bは、ポリゴンミラー4側が凹の球面、描画面6側が正のトーリック面であり、主走査、副走査両方向に正のパワーを有するメニスカスレンズである。第2レンズ5bのトーリック面は、主走査方向に比較的弱い正のパワーを有し、副走査方向に比較的強い正のパワーを有する。
【0017】
第3レンズ5cは、ポリゴンミラー4側が凸の球面、描画面6側が正のトーリック面または球面であり、主走査、副走査両方向に正のパワーを有する両凸レンズである。第3レンズ5cがトーリック面を持つ場合には、主走査方向に比較的弱い正のパワーを有し、副走査方向に比較的強い正のパワーを有する。
【0018】
第4レンズ5dは、一方の面が平面、他方の面が副走査方向にのみ負のパワーを有するシリンドリカル面であり、副走査方向に負のパワーを有する平凹のシリンドリカルレンズである。
【0019】
【実施例】
以下、この発明の具体的な数値構成例を4例説明する。
【0020】
【実施例1】
図1は、実施例1にかかるfθレンズを適用した走査光学系の要部であり、その具体的構成は表1に示される。表中の記号Ryは主走査方向の曲率半径、Rzは副走査方向の曲率半径(回転対称面の場合には省略)、dは面間の光軸上の距離、nはレンズの屈折率である。
【0021】
表中、第1、第2面がシリンドリカルレンズ3、第3面がポリゴンミラー4のミラー面、第4、第5面がfθレンズ5の第1レンズ5a、第6、第7面が第2レンズ5b、第8,9面が第3レンズ5c、第10,11面が第4レンズ5dを示す。図2は、実施例1の構成による走査光学系の(A)直線性誤差、(B)像面湾曲(M:主走査方向、S:副走査方向)、(C)軸外の走査線(走査中心で軸上の走査線から0.12mm副走査方向に離れた点を走査する走査線)の副走査方向の湾曲を示す。各グラフの縦軸Yは像高(描画面6での光軸からの主走査方向の距離)、横軸は各収差の発生量であり、単位は全てmmである。
【0022】
【表1】
面番号 Ry Rz d n
1 ∞ 43.410 4.000 1.51072
2 ∞ - 84.910
3 ∞ - 62.433
4 -117.431 - 10.000 1.71230
5 ∞ 80.815 5.000
6 -521.322 - 13.033 1.58252
7 -139.757 -110.120 1.286
8 1698.602 - 18.000 1.71230
9 -159.933 -38.787 1.000
10 ∞ - 10.000 1.51072
11 ∞ 167.453 371.756
【0023】
【実施例2】
図3は、実施例2にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示し、(A)が副走査断面、(B)が主走査断面を示す。面番号とレンズの対応等は実施例1と同一である。実施例2の具体的な数値構成は、表2に示される。図4は、実施例2の構成による走査光学系の(A)直線性誤差、(B)像面湾曲、(C)軸外走査線の湾曲を示す。
【0024】
【表2】
面番号 Ry Rz d n
1 ∞ 43.410 4.000 1.51072
2 ∞ - 84.910
3 ∞ - 71.268
4 -149.392 - 10.000 1.70608
5 ∞ 69.034 5.000
6 -587.331 - 12.809 1.58252
7 -163.585 - 1.356
8 1612.714 - 18.000 1.70486
9 -178.004 -36.313 1.000
10 ∞ - 10.000 1.51072
11 ∞ 156.635 359.495
【0025】
【実施例3】
図5は、実施例3にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示し、(A)が副走査断面、(B)が主走査断面を示す。面番号とレンズの対応等は実施例1と同一である。実施例3の具体的な数値構成は、表3に示される。図6は、実施例3の構成による走査光学系の(A)直線性誤差、(B)像面湾曲、(C)軸外走査線の湾曲を示す。
【0026】
【表3】
面番号 Ry Rz d n
1 ∞ 43.410 4.000 1.51072
2 ∞ - 84.910
3 ∞ - 72.139
4 -151.195 - 10.000 1.71230
5 ∞ 60.291 5.000
6 -674.205 - 13.234 1.58252
7 -163.941 -123.641 3.238
8 1761.439 - 18.000 1.71230
9 -184.834 -36.067 1.000
10 ∞ -123.110 10.000 1.51072
11 ∞ - 360.622
【0027】
【実施例4】
図7は、実施例4にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示し、(A)が副走査断面、(B)が主走査断面を示す。面番号とレンズの対応等は実施例1と同一である。実施例4の具体的な数値構成は、表4に示される。図8は、実施例4の構成による走査光学系の(A)直線性誤差、(B)像面湾曲、(C)軸外走査線の湾曲を示す。
【0028】
【表4】
面番号 Ry Rz d n
1 ∞ 43.410 4.000 1.51072
2 ∞ - 84.910
3 ∞ - 64.676
4 -116.049 - 10.000 1.60910
5 ∞ 62.644 5.134
6 -793.448 - 15.112 1.51072
7 -129.796 -95.128 2.306
8 1456.936 - 18.000 1.63552
9 -176.931 -34.956 1.000
10 ∞ - 10.000 1.48261
11 ∞ 117.632 365.937
【0029】
図2,4,6,8から理解できるように、実施例のfθレンズ5では、いずれも±160mmというA3サイズの原稿をカバーできる広い走査幅に亙り、副走査両方向の像面湾曲が小さく抑えられ、かつ、軸外の走査線の湾曲も小さく抑えられている。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、副走査方向の像面湾曲を小さく抑えることにより、高い描画精度を得ることができ、しかも、軸外の走査線の湾曲も小さいため、マルチビーム用の走査光学系に適した走査レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施例1にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示すレンズ図であり、(A)が副走査断面の説明図、(B)が主走査断面の説明図である。
【図2】 実施例1の走査光学系の収差図であり、(A)が直線性誤差、(B)が像面湾曲、(C)が軸外の走査線の湾曲を示す。
【図3】 この発明の実施例2にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示すレンズ図であり、(A)が副走査断面の説明図、(B)が主走査断面の説明図である。
【図4】 実施例2の走査光学系の収差図であり、(A)が直線性誤差、(B)が像面湾曲、(C)が軸外の走査線の湾曲を示す。
【図5】 この発明の実施例3にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示すレンズ図であり、(A)が副走査断面の説明図、(B)が主走査断面の説明図である。
【図6】 実施例3の走査光学系の収差図であり、(A)が直線性誤差、(B)が像面湾曲、(C)が軸外の走査線の湾曲を示す。
【図7】 この発明の実施例4にかかる走査レンズを適用した走査光学系の要部を示すレンズ図であり、(A)が副走査断面の説明図、(B)が主走査断面の説明図である。
【図8】 実施例4の走査光学系の収差図であり、(A)が直線性誤差、(B)が像面湾曲、(C)が軸外の走査線の湾曲を示す。
【符号の説明】
3 シリンドリカルレンズ
4 ポリゴンミラー
5 fθレンズ(走査レンズ)
5a 第1レンズ
5b 第2レンズ
5c 第3レンズ
5d 第4レンズ
6 描画面

Claims (7)

  1. 偏向器により偏向された光束を被走査面上に結像させる走査レンズにおいて、
    主走査方向、副走査方向に共に負のパワーを持つ第1レンズと、
    主走査方向、副走査方向に共に正のパワーを持つ第2レンズと、
    主走査方向、副走査方向に共に正のパワーを持つ第3レンズと、
    副走査方向に負のパワーを持つシリンドリカル面を備える第4レンズとが前記偏向器側から順に配列して構成されることを特徴とする走査レンズ。
  2. 前記第1レンズは、副走査方向に負のパワーを持つシリンドリカル面を備えることを特徴とする請求項1に記載の走査レンズ。
  3. 前記第3レンズは、副走査方向に強い正のパワーを持つトーリック面を備えることを特徴とする請求項1に記載の走査レンズ。
  4. 前記第4レンズは、一方のレンズ面が平面であり、他方のレンズ面が前記シリンドリカル面であることを特徴とする請求項1に記載の走査レンズ。
  5. 前記第1レンズの前記偏向器側のレンズ面は、凹の球面であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の走査レンズ。
  6. 前記第2レンズは、前記走査対象面側に凸となるメニスカスレンズであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の走査レンズ。
  7. 前記第3レンズは、前記偏向器側のレンズ面が凸の球面であり、前記走査対象面側のレンズ面が凸のトーリック面であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の走査レンズ。
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