JPH08190062A - 走査レンズ及び光走査装置 - Google Patents

走査レンズ及び光走査装置

Info

Publication number
JPH08190062A
JPH08190062A JP7003492A JP349295A JPH08190062A JP H08190062 A JPH08190062 A JP H08190062A JP 7003492 A JP7003492 A JP 7003492A JP 349295 A JP349295 A JP 349295A JP H08190062 A JPH08190062 A JP H08190062A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
optical axis
deflection
plane
deflecting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7003492A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2865009B2 (ja
Inventor
Akira Ota
明 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Business Innovation Corp
Original Assignee
Fuji Xerox Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Xerox Co Ltd filed Critical Fuji Xerox Co Ltd
Priority to JP7003492A priority Critical patent/JP2865009B2/ja
Priority to US08/585,564 priority patent/US5710654A/en
Publication of JPH08190062A publication Critical patent/JPH08190062A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2865009B2 publication Critical patent/JP2865009B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Laser Beam Printer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 1枚レンズ構成で、高性能かつ設計、製造を
容易にする走査レンズ及び光走査装置を得る。 【構成】 半導体レーザ10、アパチャ12、コリーメ
ータ14、シリンドリカルレンズ16、ポリゴンミラー
18、及びプラスチックの非晶質ポリオレフィンで形成
された1枚のfθレンズ22が配置される。fθレンズ
22のポリゴンミラー18側のレンズ面S1は回転軸非
対称の非球面で形成され、感光ドラム26側のレンズ面
S2は回転軸対称の非球面で形成されている。レンズ面
S1は、偏向面内では光軸近傍の曲率半径R1Mが正の
ためにポリゴンミラー18側に凸状、偏向直交面内では
曲率半径R1Sが負のためにポリゴンミラー18側に凹
状のアナモルフィック非球面形状である。レンズ面S2
は、偏向面内では感光ドラム側に凸状、偏向直交面内で
は感光ドラム側に凸状となる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、走査レンズ及び光走査
装置に係わり、特に、レーザ走査光学系にfθレンズと
して使用される1枚構成の走査レンズ、及びこの走査レ
ンズを備えた光走査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光走査装置は、光プリンタやデジタル式
の複写機等に広く使用されている。このような光走査装
置には、入射された光束を主走査方向と対応する方向に
等角速度で偏向させるポリゴンミラー等の偏向器と、走
査レンズとしてのfθレンズとが使用されている。fθ
レンズは、偏向器で偏向された、主として半導体レーザ
等を光源とするレーザビームを、感光体ドラムや感光体
ベルト等の被走査面上に光スポットとして集光させると
共に、この光スポットを被走査面上で略等速で移動させ
る、という2つの機能を持っている。
【0003】さらに、fθレンズは、偏向されたレーザ
ビームによって形成される面と直交する面内において偏
向器上の偏向点の位置と被走査面上の光スポットの位置
とを共役関係にする機能を持たせることが多く、偏向器
のレーザビーム入射側に配置されかつ副走査方向と対応
する方向にレンズパワーを有するシリンドリカルレンズ
等と共に、偏向器の反射面の傾きを光学的に補正しかつ
光スポットを略円形にするための面倒れ補正光学系を構
成している。
【0004】このfθレンズとしては、特に、レンズ構
成枚数が2枚以上の光学系が数多く実用化されている
が、構成が複雑になる、という問題がある。これに対し
て簡素な光学系としてレンズ構成が1枚のfθレンズが
提案されている。
【0005】特開昭57−144518号、特開昭63
−50812号及び特開平3−55513号の各公報に
は、一方の面がトーリック面でかつ他方の面が球面、シ
リンダ面、またはトーリック面で形成された1枚構成の
fθレンズが開示されている。また、特開昭62−13
8823号、特開平4−50908号及び特開平5−4
5580号の各公報には、非球面を備えたfθレンズが
開示されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
特開昭57−144518号公報に記載されたトーリッ
ク面のみから構成されたfθレンズは、主走査面でみれ
ば1枚の球面レンズと同等の性能しか得ることができな
いため、設計の自由度が少なく、fθ特性、像面湾曲と
いう結像性能の確保に限界があり、高解像力が得られな
い、という問題がある。また、無理に結像性能を確保し
ようとすると、特開昭63−50812号及び特開平3
−55513号公報に記載されているように、レンズの
中心厚を厚くしなければならず、製造が困難で高価にな
る。
【0007】上記欠点を解消するために、特開昭62−
138823号公報及び特開平4−50908号公報に
記載されているfθレンズは、非球面を導入して結像性
能の改善を図っているが、その面形状が複雑であり一つ
の式では曲面が表現できず設計及び製造が非常に困難で
ある。さらに特開昭62−138823号公報において
は波面収差を考慮した設計を行っておらず高解像には不
向きである。特開平4−50908号公報においては入
射光束として略平行光でなく収束光が必要であり偏向器
の形状精度が要求される。また、特開平5−45580
号公報のfθレンズにおいては主走査方向断面の形状は
被走査面側に凸のメニスカス形状をしており、回転軸を
持つ非球面を用いているが、偏向器であるホゾ型ミラー
の光入射側の光学系において集光光学系を必要としかつ
fθ特性は等速度とは言えず、電気的な補正を必要とし
ており、装置が複雑で高価になる、という欠点を有して
いる。
【0008】本発明は上記問題点を解消するためになさ
れたもので、高性能でかつ設計、製造が容易な1枚構成
の走査レンズ及びこの走査レンズを備えた光走査装置を
提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の発明における入射された光束を所定方向
に等角速度で偏向させる偏向手段と被走査面との間に配
置され、光スポットが等速で走査されるように入射され
た光束を被走査面上に収束させる1枚の走査レンズは、
前記偏向手段側から順に、前記偏向手段によって偏向さ
れた光束の主光線によって形成される偏向面内における
形状が光軸近傍において偏向器側に凸の非球面形状で、
かつ前記偏向面と直交し光軸を含む偏向直交面内におけ
る形状が光軸近傍において偏向器側に凹の非球面形状を
有する第1のレンズ面と、前記偏向面内に位置しかつ走
査レンズの光軸と直交する回転軸を持ち、前記偏向面と
交わって形成される曲線が光軸近傍にて被走査面側に凸
の非球面形状で、かつ前記偏向直交面と交わって形成さ
れる曲線が被走査面側に凸の円形状で形成された第2の
レンズ面と、を含み、前記第1のレンズ面の偏向面内の
光軸近傍の曲率半径をR1M、該レンズ面の偏向直交面
内での光軸近傍の曲率半径をR1S、前記第2のレンズ
面の偏向面内の光軸近傍の曲率半径をR2M、該レンズ
面の偏向直交面内での曲率半径をR2S、走査レンズの
偏向面内における焦点距離をfとし、曲率半径の符号は
入射光束が入射する側に凸の場合を正、入射光束が進む
側に凸の場合を負とするとき、前記第1のレンズ面及び
前記第2のレンズ面が、 0.598<R1M/f<1.475 −0.128<R2S/f<−0.104 を満たすように形成されている。
【0010】請求項1の発明の非球面は、前記第1のレ
ンズ面は、光軸と第1のレンズ面との交点を原点としか
つ光軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向面内に想定し、
X軸を偏向直交面内に想定したとき、光軸方向の面の位
置Zは以下のI式で表せる曲面であり、前記第2のレン
ズ面は、光軸と第2のレンズ面との交点を原点としかつ
光軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向面内に想定したと
き、以下のII式で表せる曲線を原点からR2S離れたY
軸に平行な直線を回転軸として得られる面とすることが
できる。
【0011】
【数5】 ただし、KXは光軸を含む偏向直交面内における非球面
形状の円錐定数、KYは光軸を含む偏向面内における非
球面形状の円錐定数、AR、BR、CR、DR、AP、
BP、CP、DPは高次の非球面係数である。
【0012】
【数6】 ただし、Kは円錐定数、A、B、C、Dは高次の非球面
係数である。
【0013】請求項3の発明の光走査装置は、光源から
の光束を略平行光束にするためのコリメート手段と、前
記略平行光束を主走査方向と対応する方向に長い線像と
して結像させる結像手段と、前記線像の結像位置または
該結像位置の近傍に反射面を持ち入射された光束を主走
査方向と対応する方向に等角速度で偏向させる偏向手段
と、前記偏向手段と被走査面との間に配置され、前記偏
向手段側のレンズ面が、前記偏向手段によって偏向され
た光束の主光線によって形成される偏向面内における形
状が光軸近傍において偏向器側に凸の非球面形状で、か
つ前記偏向面と直交し光軸を含む偏向直交面内における
形状が光軸近傍において偏向器側に凹の非球面形状を有
する非球面で形成されると共に、前記被走査面側のレン
ズ面が、前記偏向面内に位置しかつ走査レンズの光軸と
直交する回転軸を持ち、前記偏向面と交わって形成され
る曲線が光軸近傍にて被走査面側に凸の非球面形状で、
かつ前記偏向直交面と交わって形成される曲線が被走査
面側に凸の円形状で形成され、光スポットが略等速度で
走査されるように入射された光束を前記被走査面に収束
させる1枚の走査レンズと、を含んで構成されている。
【0014】請求項3の発明の非球面は、上記請求項1
の発明で説明した非球面とすることができ、また請求項
3の発明の走査レンズは請求項1の発明で説明した条件
を満たすように形成することができる。
【0015】
【作用】上記請求項1〜請求項5の発明の作用について
説明する。本発明の走査レンズは、1枚のレンズで構成
され、かつ1つの式で表現される回転軸非対称非球面と
回転軸対称非球面を備えている。本発明によれば、偏向
面内の形状は2つの非球面形状の曲線で形成されてお
り、円弧以外の曲線であるため、走査レンズを球面のみ
から構成したときの設計の自由度の制限による結像性能
の不足をこの2つの曲線の形状により改善し、fθ特性
及び主走査方向の像面湾曲を良好に補正することができ
る。また偏向面内にて両凸形状とすることにより各レン
ズ面のパワーを分散し曲率半径を緩やかにすることが可
能となりレンズ中心厚を低減させかつレンズ小型化が可
能となっている。メニスカス形状ではレンズの焦点距離
を確保するためにはより小さな曲率半径を用いざるを得
ない。または入射光束を収束光としてレンズが負担する
パワーを低減させる必要があるが、ジッターを抑えるた
め偏向器の精度が厳しく要求されるようになり好ましく
ない。
【0016】また、走査レンズの偏向直交面内における
形状は一方の断面は非球面形状の曲線であり他方の断面
形状は円弧形状から構成されている。このとき第1のレ
ンズ面の偏向直交面内の光軸近傍の曲率半径R1Sの絶
対値の方が第2のレンズ面の偏向直交面内の曲率半径R
2Sより大きくすることにより、偏向点と非走査面の共
役関係を保ちながら像面湾曲を小さくすることが可能と
なる。
【0017】0.598<R1M/f<1.475の条
件は、主に主走査方向の性能を良好に保つための条件で
あり、下限を越えると主走査方向像面湾曲が大きくな
り、またfθ特性が像が大きくなるほうに膨らみ、高次
の非球面によっても負のわい曲収差をもたせる補正が困
難になる。上限を越えるとfθ特性が像が小さくなるほ
うに変化し正のわい曲収差をもたせる補正が困難にな
る。またレンズ端部の余裕が減少し中心厚を大きくする
必要が生じ製造上好ましくない。
【0018】−0.128<R2S/f<−0.104
は上記条件と逆の作用を持ち、下限を越えるとfθ特性
が像が小さくなるほうに変化し正のわい曲収差をもたせ
る補正が困難になる。またレンズ端部の余裕が減少し中
心厚を大きくする必要が生じ製造上好ましくない。上限
を越えると主走査方向像面湾曲が大きくなり、またfθ
特性が像が大きくなるほうに膨らみ、高次の非球面によ
っても負のわい曲収差をもたせる補正が困難になる。
【0019】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に
説明する。
【0020】本実施例の光走査装置は、図4に示すよう
に、光源としての半導体レーザ10を備えており、この
半導体レーザ10のレーザビーム射出側には、アパチャ
12及び半導体レーザ10から射出されたレーザビーム
を略平行レーザビームに整形するためのコリーメータ1
4が順に配置されている。コリメータ14のレーザビー
ム射出側には、副走査方向と対応する方向にレンズパワ
ーを有し、略平行レーザビームを主走査方向(矢印で示
す方向)と対応する方向に長い線像として結像させるシ
リンドリカルレンズ16が配置されている。この線像の
結像位置または結像位置の近傍に反射面20が位置する
ように、入射されたレーザビームを反射して主走査方向
と対応する方向に等角速度で偏向させるポリゴンミラー
18が配置されている。ポリゴンミラー18のレーザビ
ーム反射側には、被走査面である感光ドラム26表面に
略円形の光スポットが等速度で走査されるように収束さ
れる。プラスチックの非晶質ポリオレフィンで形成され
た1枚の走査レンズであるfθレンズ22が配置されて
いる。fθレンズ22と感光ドラム26との間には、実
装上の理由によりfθレンズ22から射出されたレーザ
ビームを感光ドラム26方向に反射するための反射鏡2
4が配置されている。
【0021】本実施例によれば、半導体レーザ10から
射出されたレーザビームは、ポリゴンミラー18の入射
側に配置されるプレポリゴン光学系であるシリンドリカ
ルレンズ16により反射面20上に主走査方向に対応す
る方向に長い線像として結像される。このレーザビーム
は、ポリゴンミラー18により主走査方向と対応する方
向に等角速度で偏向され、fθレンズ22により感光ド
ラム26上に主走査方向に等速度で走査される。また、
fθレンズ22の作用で面倒れ補正が行われて副走査方
向のピッチむらが補正され、またシリンドリカルレンズ
16の作用で感光ドラム26上のビームスポットは略円
形になる。
【0022】図1(a)は、fθレンズ22の偏向面
(ポリゴンミラー18により偏向されたレーザビームの
主光線が形成する平面)内におけるレンズ形状を示し、
図1(b)は、偏向直交面(レンズの光軸を含みかつ偏
向面に直交する平面)内におけるレンズ形状を示してい
る。fθレンズ22のポリゴンミラー18側、すなわち
偏向手段側のレンズ面S1は回転軸非対称の非球面で形
成され、感光ドラム26側、すなわち被走査面側のレン
ズ面S2は回転軸対称の非球面で形成されている。
【0023】このレンズS1面の非球面は、図2(a)
に示すように、光軸Aとレンズ面S1との交点を原点0
としかつ光軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向面内に想
定し、X軸を偏向直交面内に想定したとき、光軸方向の
面の位置Zは以下の(1)式で表せる曲面である。
【0024】
【数7】 ただし、R1Sは偏向直交面内の非球面の光軸近傍の曲
率半径、R1Mは偏向面内の非球面の光軸近傍の曲率半
径、KXは光軸を含む偏向直交面内における非球面形状
の円錐定数、KYは光軸を含む偏向面内における非球面
形状の円錐定数、AR、BR、CR、DR、AP、B
P、CP、DPは高次の非球面係数である。
【0025】この面は偏向面内、すなわちX=0の面内
における位置Zは以下の(2)式で表せる。
【0026】
【数8】 同様に偏向直交面内、すなわちY=0の面内における位
置Zは以下の(3)式で表せる。
【0027】
【数9】 と表現できる。それぞれは通常の非球面を表現する式の
形をしている。
【0028】またX=0、Y=0以外の平面内での形状
は図2(b)で示す断面の方向で考えるとX=Rcos
θ、Y=Rsin θ、Z=Zを代入し円柱座標に変換する
ことにより次の(4)式で表現できる。
【0029】
【数10】 上記(4)式についてRを外に出して整理すると、以下
の(5)式で表現できる。
【0030】
【数11】 この(5)式は、R方面断面内にて通常の非球面の形式
である。
【0031】レンズ面S1は、(2)式から理解される
ように偏向面内では光軸近傍の曲率半径R1Mが正(入
射されるレーザビームが入射する向き「来る向き」に測
定した距離を正、入射されるレーザビームが進む向きに
測定した距離を負とする)であるため、ポリゴンミラー
18側に凸状となり、(3)式から理解されるように偏
向直交面内では曲率半径R1Sが負であるため、ポリゴ
ンミラー18側に凹状すなわち感光ドラム側に凸状の形
状となるアナモルフィック非球面形状を構成している。
【0032】レンズ面S2の非球面は、図3に示すよう
に、光軸Aとレンズ面S2との交点を原点0としかつ光
軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向面内に想定し、X軸
を偏向直交面内に想定したとき、光軸方向の面の位置Z
は以下の(6)式で表せる曲線を原点からR2S離れた
Y軸に平行な直線を回転軸R2として得られる。
【0033】
【数12】 ただし、Kは円錐定数、A、B、C、Dは高次の非球面
係数である。
【0034】レンズ面S2は、偏向面内では感光ドラム
側に凸状すなわちポリゴンミラー18側に凹状の非球面
形状となり、偏向直交面内では感光ドラム側に凸状の形
状すなわちポリゴンミラー18側に凹状の円形状とな
る。
【0035】本実施例の1枚のfθレンズで中心厚を厚
くせずにfθ特性、結像特性のバランスをとるために
は、曲率半径R1M,R2Sを焦点距離f近傍に抑える
ことが好ましい。従って、下記の条件を満たすようにf
θレンズを設計するのが好ましい。
【0036】0.598<R1M/f<1.475 −0.128<R2S/f<−0.104
【0037】表1に、非晶質ポリオレフィンを使用して
作成した本実施例のfθレンズ22の各部の寸法、R1
M/f,及びR2S/fの値を示す。表1において、n
は非晶質ポリオレフィンの屈折率、d1はレンズ面S
1、S2間の光軸上の間隔、d0はポリゴンミラー18
の反射面20からfθレンズ22のポリゴンミラー18
側のレンズ面S1までの光軸上の距離、d2はfθレン
ズ22の感光ドラム26側のレンズ面S2から感光ドラ
ム26の表面までの光軸上の距離(d0、d1、d2に
ついては図1(a)を参照)、f(focal len
gth)は偏向面内におけるfθレンズ22の焦点距
離、θは最大画角、λはレーザビームの波長である。ま
た各部の寸法の単位は円錐係数KX、KY、K、非球面
係数AR、BR、CR、DR、AP、BP、CP、D
P、A、B、C、D、屈折率n、最大画角θ、波長λを
除きmmである。また、−0.9094e−5という表
現は、−0.9094×10-5を意味するものとする。
【0038】また、ポリゴンミラー18の回転中心から
反射面20までの距離は17mm、ポリゴンミラーへの
入射光は光軸方向から入射させたものである。これは実
施例を簡単に説明するためのものであり、その他の角度
で入射させた場合もほぼ同様である。入射光束は偏向直
交面内においては反射面20近傍に収束する光束であ
り、偏向面内では平行光束である。
【0039】表1に示したfθレンズの像面湾曲を図6
(a)に示し、fθ特性を理想からの位置ずれ量で表し
て図6(b)に示す。図6(a)の破線は主走査方向の
像面湾曲であり、実線は副走査方向の像面湾曲である。
【0040】また、表2〜表8に図4に示した光走査装
置と同一の光走査装置に使用されるfθレンズの実施例
2〜実施例8の各部の寸法、R1M/f,R2S/fの
値を示し、図7(a)、(b)〜図13(a)、(b)
に実施例2〜実施例8の像面湾曲、fθ特性を各々示
す。
【0041】この実施例2〜実施例5は、実施例1と同
様に、光学材料としてプラスチックの非晶質ポリオレフ
ィンを使用し、曲率半径R1Mをパラメータとして変化
させたものである。fθ特性の基準となる理想焦点距離
は143.2394488mmである。実施例1から実
施例5の曲率半径R1Mは85、105、135、16
0、210mmと連続して変化させた時の設計例であ
る。このとき曲率半径R2Sも−14.8883、−1
5.5992、−16.7585、−16.9093、
−17.4844mmと連続して変化しており焦点距離
fで割って正規化すると 0.598<R1M/f<1.475 −0.128<R2S/f<−0.104 の条件を満たしていることがわかる。
【0042】実施例6はレンズ中心厚を実施例2〜実施
例5より厚くした設計例であるが、上記条件を満たして
いる。
【0043】実施例7〜実施例8は入射光束を略平行光
束とした設計例であり、表7、8に示すOBJがその収
束程度を示す。実施例7においては1301.33mm
だけポリゴンミラー18の反射面20からfθレンズの
方向にはなれた点に収束する光を用いている。実施例8
においては3268.43mmだけポリゴンミラー18
の反射面20からfθレンズの方向にはなれた点に収束
する光を用いている。いずれも、上記条件を満たしてい
る。
【0044】また、実施例1〜実施例8に対応する偏向
面で切断した断面図を図5(1)〜(8)に示す。
【0045】図7(a)、(b)〜図13(a)、
(b)から理解されるように、像面湾曲は良好に補正さ
れている。また、fθ特性を示す理想からの位置ずれ量
は、いずれも0.2mm程度以内であり、良好な結果が
得られている。
【0046】
【表1】 f=141.908 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=85 R1S=−1511.2 d0=29.5819 d1=10 KY=−29.2966 KX=−36886.8 AR=−0.909483e−5 AP=−0.61952 BR= 1.576860e−10 BP= 0.242927 CR=−1.340449e−9 CP=−1.04 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−530.474 R2S=−14.8883 d2=137.593 K=87.8426 A=−0.313320e−5 B= 1.501854e−9 C=−8.419649e−13 D= 2.121955e−16 R1M/f=0.5989 R2S/f=−0.1049
【0047】
【表2】 f=142.086 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=105 R1S=−1635.03 d0=31.7728 d1=10 KY=−35.6949 KX=−48180.1 AR=−0.107262e−4 AP=−0.757251 BR=−4.071718e−11 BP= 0.902483 CR=−2.001258e−10 CP=−1.04029 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−239.872 R2S=−15.5992 d2=138.52 K=14.304 A=−0.1653e−5 B= 3.321373e−10 C=−2.400104e−13 D=−7.395970e−17 R1M/f=0.7389 R2S/f=−0.1097
【0048】
【表3】 f=142.76 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=135 R1S=−1632.93 d0=35.5114 d1=10 KY=−43.8768 KX=−46712.1 AR=−0.151934e−4 AP=−0.866582 BR=−3.430736e−11 BP= 0.727522 CR= 1.026158e−11 CP=−1.13725 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−160.163 R2S=−16.7585 d2=139.599 K= 2.2757 A=−0.909397e−6 B= 1.230951e−10 C=−1.071974e−13 D=−3.660726e−17 R1M/f=0.9456 R2S/f=−0.1173
【0049】
【表4】 f=142.279 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=160 R1S=−1596.07 d0=36.044 d1=10 KY=−56.2459 KX=−49316.9 AR=−0.163338e−4 AP=−0.865254 BR=−2.913672e−11 BP= 0.645518 CR= 1.379688e−11 CP=−1.15072 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−134.27 R2S=−16.9093 d2=139.436 K= 1.28843 A=−0.739220e−6 B= 7.796818e−11 C=−9.932522e−14 D=−2.096697e−17 R1M/f=1.1245 R2S/f=−0.1188
【0050】
【表5】 f=142.42 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=210 R1S=−1557.28 d0=37.9511 d1=10 KY=−70.9272 KX=−52336.4 AR=−0.162639e−4 AP=−0.872811 BR=−1.880175e−11 BP= 0.440916 CR= 1.471565e−11 CP=−1.16363 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−112.255 R2S=−17.4844 d2=139.949 K=−0.246558 A=−0.512030e−6 B= 3.155340e−11 C=−8.710767e−14 D= 7.447563e−18 R1M/f=1.47451 R2S/f=−0.1227
【0051】
【表6】 f=142.803 θ=42° λ=785nm n=1.519139 R1M=208.617 R1S=−1572.38 d0=38.0522 d1=14 KY=−74.8707 KX=−49604.5 AR=−0.198754e−4 AP=−0.866806 BR=−1.972725e−12 BP=−0.05763 CR= 1.381908e−11 CP=−1.19253 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−112.365 R2S=−18.2827 d2=139.631 K=−0.511844 A=−0.579343e−6 B= 2.177109e−11 C=−6.230545e−14 D= 1.856493e−17 R1M/f=1.4608 R2S/f=−0.1280
【0052】
【表7】 f=155.387 θ=42° λ=785nm n=1.519139 OBJ=−1301.33 R1M=162.851 R1S=−335.056 d0=36.4434 d1=9.65663 KY=−42.0852 KX=−2208.41 AR=−0.179569e−4 AP=−0.929814 BR=−3.572071e−11 BP= 0.616369 CR=−5.767452e−13 CP=−0.647933 DR=−1.775172e−17 DP=−0.977536 R2M=−156.608 R2S=−17.1725 d2=134.132 K=−8.90965 A=−0.653622e−6 B=−4.423474e−11 C=−1.936905e−14 D=−3.926459e−17 R1M/f=1.0480 R2S/f=−0.1105
【0053】
【表8】 f=146.733 θ=42° λ=785nm n=1.519139 OBJ=−3268.43 R1M=181.097 R1S=−380.865 d0=35.639 d1=10.461 KY=−73.1673 KX=−3227.72 AR=−0.208489e−4 AP=−0.8844 BR=−2.39969e−09 BP=−1.11019 CR=−9.741431e−14 CP=−0.159761 DR=−1.775165e−17 DP=−0.977537 R2M=−128.883 R2S=−16.78 d2=137.306 K= 5.02795 A=−4.077485e−7 B= 1.460861e−10 C=−3.653439e−15 D=−4.816441e−17 R1M/f=1.2342 R2S/f=−0.1143
【0054】以上説明したように、偏向方向に非球面形
状を採用しているのでfθ特性や像面湾曲の結像性能が
良好なfθレンズを得ることができる。また、非球面形
状を採用することによりなだらかな連続性を確保するこ
とができ、波面収差を極力抑えることができる。さら
に、fθレンズの両面の主要な曲率半径を略一致させる
と共にパワーを分散させることによって、中心厚を薄く
することができ、またFナンバーの一様性を確保するこ
とができる。
【0055】なお、上記ではプラスチックの非晶質ポリ
オレフィンで形成する例について説明したが、他のプラ
スチック材料、たとえばアクリル、ポリカーボネイト
等、またはガラスで形成しても良い。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ンズ面に非球面を用いた単純な形状にしているので、高
性能でかつ設計、製造が容易な1枚構成の走査レンズを
提供することができる、という効果が得られる。
【0057】また、レンズ面に非球面を用いた単純な形
状で高性能でかつ設計、製造が容易な1枚構成の走査レ
ンズを使用しているので、光走査装置の小型化、低コス
ト化を図ることができる、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は実施例1のfθレンズの偏向面内にお
ける形状を示す断面図である。(b)は実施例1のfθ
レンズの偏向直交面内における形状を示す断面図であ
る。
【図2】本実施例のfθレンズの偏向器側の面形状を説
明するための説明図である。
【図3】本実施例のfθレンズの被走査面側の面形状を
説明するための説明図である。
【図4】本実施例を示す斜視図である。
【図5】(1)〜(8)は実施例1から8のfθレンズ
の偏向面内における形状を示す断面図である。
【図6】(a)は実施例1の像面湾曲を示す収差図であ
る。(b)は実施例1のfθ特性を示す収差図である。
【図7】(a)は実施例2の像面湾曲を示す収差図であ
る。(b)は実施例2のfθ特性を示す収差図である。
【図8】(a)は実施例3の像面湾曲を示す収差図であ
る。(b)は実施例3のfθ特性を示す収差図である。
【図9】(a)は実施例4の像面湾曲を示す収差図であ
る。(b)は実施例4のfθ特性を示す収差図である。
【図10】(a)は実施例5の像面湾曲を示す収差図で
ある。(b)は実施例5のfθ特性を示す収差図であ
る。
【図11】(a)は実施例6の像面湾曲を示す収差図で
ある。(b)は実施例6のfθ特性を示す収差図であ
る。
【図12】(a)は実施例7の像面湾曲を示す収差図で
ある。(b)は実施例7のfθ特性を示す収差図であ
る。
【図13】(a)は実施例8の像面湾曲を示す収差図で
ある。(b)は実施例8のfθ特性を示す収差図であ
る。
【符号の説明】
10 半導体レーザ 14 コリメータ 16 シリンドリカルレンズ 18 ポリゴンミラー 22 fθレンズ 26 感光ドラム

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射された光束を所定方向に等角速度で
    偏向させる偏向手段と被走査面との間に配置され、光ス
    ポットが等速で走査されるように入射された光束を被走
    査面上に収束させる1枚の走査レンズであって、 前記偏向手段側から順に、前記偏向手段によって偏向さ
    れた光束の主光線によって形成される偏向面内における
    形状が光軸近傍において偏向器側に凸の非球面形状で、
    かつ前記偏向面と直交し光軸を含む偏向直交面内におけ
    る形状が光軸近傍において偏向器側に凹の非球面形状を
    有する第1のレンズ面と、 前記偏向面内に位置しかつ走査レンズの光軸と直交する
    回転軸を持ち、前記偏向面と交わって形成される曲線が
    光軸近傍にて被走査面側に凸の非球面形状で、かつ前記
    偏向直交面と交わって形成される曲線が被走査面側に凸
    の円形状で形成された第2のレンズ面と、 を含み、 前記第1のレンズ面の偏向面内の光軸近傍の曲率半径を
    R1M、該レンズ面の偏向直交面内での光軸近傍の曲率
    半径をR1S、前記第2のレンズ面の偏向面内の光軸近
    傍の曲率半径をR2M、該レンズ面の偏向直交面内での
    曲率半径をR2S、走査レンズの偏向面内における焦点
    距離をfとし、曲率半径の符号は入射光束が入射する側
    に凸の場合を正、入射光束が進む側に凸の場合を負とす
    るとき、前記第1のレンズ面及び前記第2のレンズ面
    が、 0.598<R1M/f<1.475 −0.128<R2S/f<−0.104 を満たすように形成されている走査レンズ。
  2. 【請求項2】 前記第1のレンズ面は、光軸と第1のレ
    ンズ面との交点を原点としかつ光軸方向をZ軸とするY
    Z平面を偏向面内に想定し、X軸を偏向直交面内に想定
    したとき、光軸方向の面の位置Zは以下のI式で表せる
    曲面であり、 前記第2のレンズ面は、光軸と第2のレンズ面との交点
    を原点としかつ光軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向面
    内に想定したとき、以下のII式で表せる曲線を原点から
    R2S離れたY軸に平行な直線を回転軸として得られる
    面である、請求項1の走査レンズ。 【数1】 ただし、KXは光軸を含む偏向直交面内における非球面
    形状の円錐定数、KYは光軸を含む偏向面内における非
    球面形状の円錐定数、AR、BR、CR、DR、AP、
    BP、CP、DPは高次の非球面係数である。 【数2】 ただし、Kは円錐定数、A、B、C、Dは高次の非球面
    係数である。
  3. 【請求項3】 光源からの光束を略平行光束にするため
    のコリメート手段と、 前記略平行光束を主走査方向と対応する方向に長い線像
    として結像させる結像手段と、 前記線像の結像位置または該結像位置の近傍に反射面を
    持ち入射された光束を主走査方向と対応する方向に等角
    速度で偏向させる偏向手段と、 前記偏向手段と被走査面との間に配置され、前記偏向手
    段側のレンズ面が、前記偏向手段によって偏向された光
    束の主光線によって形成される偏向面内における形状が
    光軸近傍において偏向器側に凸の非球面形状で、かつ前
    記偏向面と直交し光軸を含む偏向直交面内における形状
    が光軸近傍において偏向器側に凹の非球面形状を有する
    非球面で形成されると共に、 前記被走査面側のレンズ面が、前記偏向面内に位置しか
    つ走査レンズの光軸と直交する回転軸を持ち、前記偏向
    面と交わって形成される曲線が光軸近傍にて被走査面側
    に凸の非球面形状で、かつ前記偏向直交面と交わって形
    成される曲線が被走査面側に凸の円形状で形成され、光
    スポットが略等速度で走査されるように入射された光束
    を前記被走査面に収束させる1枚の走査レンズと、 を含む光走査装置。
  4. 【請求項4】 前記偏向手段側のレンズ面は、光軸と該
    レンズ面との交点を原点としかつ光軸方向をZ軸とする
    YZ平面を偏向面内に想定し、X軸を偏向直交面内に想
    定したとき、光軸方向の面の位置Zは以下のI式で表せ
    る曲面であり、 前記被走査面側のレンズ面は、光軸と該レンズ面との交
    点を原点としかつ光軸方向をZ軸とするYZ平面を偏向
    面内に想定したとき、以下のII式で表せる曲線を原点か
    らR2S離れたY軸に平行な直線を回転軸として得られ
    る面である、請求項3の光走査装置。 【数3】 ただし、KXは光軸を含む偏向直交面内における非球面
    形状の円錐定数、KYは光軸を含む偏向面内における非
    球面形状の円錐定数、AR、BR、CR、DR、AP、
    BP、CP、DPは高次の非球面係数である。 【数4】 ただし、Kは円錐定数、A、B、C、Dは高次の非球面
    係数である。
  5. 【請求項5】 前記走査レンズは前記偏向手段側のレン
    ズ面の偏向面内の光軸近傍の曲率半径をR1M、該レン
    ズ面の偏向直交面内での光軸近傍の曲率半径をR1S、
    前記被走査面側のレンズ面の偏向面内の光軸近傍の曲率
    半径をR2M、該レンズ面の偏向直交面内での曲率半径
    をR2S、走査レンズの偏向面内における焦点距離をf
    とし、曲率半径の符号は入射光束が入射する側に凸の場
    合を正、入射光束が進む側に凸の場合を負とするとき、
    前記第1のレンズ面及び前記第2のレンズ面が、 0.598<R1M/f<1.475 −0.128<R2S/f<−0.104 を満たすように形成されている請求項4の光走査装置。
JP7003492A 1995-01-12 1995-01-12 走査レンズ及び光走査装置 Expired - Fee Related JP2865009B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7003492A JP2865009B2 (ja) 1995-01-12 1995-01-12 走査レンズ及び光走査装置
US08/585,564 US5710654A (en) 1995-01-12 1996-01-16 Scanning lens and an optical scanner using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7003492A JP2865009B2 (ja) 1995-01-12 1995-01-12 走査レンズ及び光走査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08190062A true JPH08190062A (ja) 1996-07-23
JP2865009B2 JP2865009B2 (ja) 1999-03-08

Family

ID=11558843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7003492A Expired - Fee Related JP2865009B2 (ja) 1995-01-12 1995-01-12 走査レンズ及び光走査装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5710654A (ja)
JP (1) JP2865009B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11237569A (ja) * 1998-02-23 1999-08-31 Toshiba Corp 露光装置
US6069724A (en) * 1997-02-17 2000-05-30 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning lens and optical scanning apparatus
US6201561B1 (en) 1998-10-16 2001-03-13 Fuji Xerox Co., Ltd. Optical scanner, scanning lens and image forming apparatus

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6141133A (en) * 1995-10-25 2000-10-31 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning device and a scanning lens therefor
US5875051A (en) * 1995-10-25 1999-02-23 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning device and a scanning lens therefor
JP2000019444A (ja) * 1998-07-06 2000-01-21 Canon Inc 光走査光学系及びそれを用いた画像形成装置
JP3673644B2 (ja) * 1998-07-06 2005-07-20 キヤノン株式会社 光走査光学系及びそれを用いた画像形成装置
US6396599B1 (en) 1998-12-21 2002-05-28 Eastman Kodak Company Method and apparatus for modifying a portion of an image in accordance with colorimetric parameters
US6596985B2 (en) * 2000-02-22 2003-07-22 Rioch Company, Ltd. Multi-beam scanning device, multi-beam scanning method, light source device, and image forming apparatus
JP4012007B2 (ja) * 2002-08-09 2007-11-21 キヤノン株式会社 走査型表示光学系、走査型画像表示装置および走査型画像表示システム
KR100484199B1 (ko) * 2003-03-26 2005-04-20 삼성전자주식회사 광주사 장치

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57144518A (en) * 1981-03-03 1982-09-07 Canon Inc Scan optical system having fall compensating function
JPS62138823A (ja) * 1985-12-12 1987-06-22 Seiko Epson Corp 光走査装置
JPH0727123B2 (ja) * 1986-08-21 1995-03-29 ミノルタ株式会社 面倒れ補正走査光学系
US5162938A (en) * 1987-08-26 1992-11-10 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Light scanning system
JPH0355513A (ja) * 1989-07-25 1991-03-11 Nec Corp 走査光学系レンズ
US5128795A (en) * 1989-08-14 1992-07-07 Ricoh Company, Ltd. Scanning lens and scanning apparatus using scanning lens
JPH07111501B2 (ja) * 1990-06-15 1995-11-29 キヤノン株式会社 fθレンズ及びそれを用いた画像形成装置
JPH0545580A (ja) * 1991-08-21 1993-02-23 Ricoh Co Ltd 光走査用レンズおよび光走査装置
TW209276B (en) * 1993-03-11 1993-07-11 Ind Tech Res Inst Single scanning lens

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6069724A (en) * 1997-02-17 2000-05-30 Ricoh Company, Ltd. Optical scanning lens and optical scanning apparatus
JPH11237569A (ja) * 1998-02-23 1999-08-31 Toshiba Corp 露光装置
US6201561B1 (en) 1998-10-16 2001-03-13 Fuji Xerox Co., Ltd. Optical scanner, scanning lens and image forming apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
US5710654A (en) 1998-01-20
JP2865009B2 (ja) 1999-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2865009B2 (ja) 走査レンズ及び光走査装置
JP3191538B2 (ja) 走査レンズ及び光走査装置
JP2804512B2 (ja) 光走査装置におけるfθレンズ系
JP3713085B2 (ja) 反射型走査光学系
JPH07174997A (ja) 光走査装置
JP2623147B2 (ja) 光ビーム走査用光学系
JP2000267030A (ja) 光走査装置
JPH08240768A (ja) 走査光学系
JPH08248308A (ja) 走査レンズ及び光走査装置
JP3680896B2 (ja) 光走査装置
JPH11281911A (ja) 光走査光学系
JP3804886B2 (ja) 光走査装置用結像光学系
JP3196709B2 (ja) 走査レンズ及び光走査装置
JP2775434B2 (ja) 走査光学系
JPH1152277A (ja) 光走査装置
JP3680921B2 (ja) 光走査装置
JP3680895B2 (ja) 光走査装置
JP2743176B2 (ja) 光走査装置
JPH07146437A (ja) 光ビーム走査用光学系
JPH02109012A (ja) 光走査装置
JP4445059B2 (ja) 走査結像レンズおよび光走査装置
JP2790839B2 (ja) 光走査装置におけるfθレンズ系
JP2718743B2 (ja) 光走査装置におけるfθレンズ系
JP3729286B2 (ja) 光走査装置
JP2602716B2 (ja) 光ビーム走査用光学系

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071218

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081218

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees