JPS63267910A - 光ビ−ム走査用レンズ - Google Patents

光ビ−ム走査用レンズ

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JPS63267910A
JPS63267910A JP10179987A JP10179987A JPS63267910A JP S63267910 A JPS63267910 A JP S63267910A JP 10179987 A JP10179987 A JP 10179987A JP 10179987 A JP10179987 A JP 10179987A JP S63267910 A JPS63267910 A JP S63267910A
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lens
light beam
scanning
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optical axis
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永田 信一
Shigeru Sasada
笹田 滋
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、揺動ミラーあるいは回転ミラー等の偏向手段
と走査レンズとにより、光ビームを被走査面に結像し走
行させて、線順次に走査を行う光ビーム偏向走査手段に
関し、特に、複数本の光ビームを共通の偏向手段により
並列的に偏向させて。
複数個の走査線を同時に走査する装置において、光ビー
ムの偏向手段と被走査面との間に配置され、光ビームを
被走査面上に結像するレンズ(以下。
走査用レンズという)に関する。
[従来の技術] 光ビーム走査手段は公知であり、また、複数本の光ビー
ムを共通の偏向手段により、同時に並列的に偏向させる
走査装置も、たとえば、米国雑誌rElectronc
sJ (1985年10月7日発行)第40〜42ペー
ジや、特開昭5111−211735号公報(発明の名
称「複数ビーム走査装置」)等に記載されたように公知
である。
これらの従来装置では、被走査面における投射光点の走
行速度を一定値とするために、一般に。
fOレンズ、すなわち被走査面を走行する光ビームの投
射点の移動量が、偏向点における光ビームの光軸からの
偏向角0に比例するような特性を備えるレンズを、光ビ
ームを偏向させる揺動あるいは回転ミラーと被走査面と
の間に配設している。
[発明が解決しようとする問題点] 上記光ビーム走査装置の走査レンズにfOレンズを使用
すると、光ビームを偏向面内で入射させて走査を行う場
合には、走査軌跡が直線となるが。
後段で詳述するように、光ビームが偏向面外から入射す
る場合には、走査軌跡が湾曲する問題がある。なお、偏
向面とは、レンズの光軸を含み、かつ、偏向器を回転あ
るいは揺動させる軸に垂直な面として、定義する。
したがって、走査用光ビームが1本のみの場合は、その
偏向面内から光ビームを入射させることが可能であると
しても、その設定のためには、きわめて厳密な調整作業
が必要であって、生産性が低下する。
また、複数本の光ビームを並列的に使用する際には、偏
向面内から入射可能な光ビームは、その中の1本のみで
あり、残りのものは偏向面内から入射できないことにな
る。したがって、ニオしらの複数本の光ビームによる走
査軌跡は、たとえば第19図示のように、1本の光ビー
ムの走行軌跡のみが直線となり、その他は、端部が外方
へ開いたrつづみ状」を呈することになり、走査により
複製される画像に歪みを生じ、多色印刷等の高い寸法精
度が要求される作業には、適用し難い問題がある。
一本発明は、光ビーム走査装置の走査レンズにおいて、
入射ビームが偏向面外から入射された場合でも、走査軌
跡が直線となる特性を備える走査レンズに関する。
[問題を解決するための手段] 偏向手段側から順に、負の焦点距離を持つ第1群レンズ
と、正の焦点距離を持つ第2群レンズとで樋成されるレ
ンズで、その3次歪曲収差係数Vが、V=1、またはそ
れに近い値を持つレンズである9 [作用] 後段で証明するように、3次歪曲収差係数■が、V=1
なる値を持つレンズは、走査光ビームの投射点と光軸と
の距離が、偏向点における光ビーム偏向角の正弦(si
n)に比例する特性を有する。(以下、このような特性
を持つレンズを、f sinθレンズという)そして、
fsir+0レンズを走査レンズとして適用すれば、光
ビームの偏向面内がら光ビームを入射させる場合はもち
ろん、偏向面外から光ビームを入射させた場合において
も、被走査面に投射される光点の走行軌跡が直線となる
。したがって、複数本の光ビームを並列的に使用する場
合に、第18図示のように、各光ビームの走行軌跡がす
べて直線となり、従来のfOレンズ使用時のような複製
画像の歪みが生じない。
[実施例] 第17図は、光ビーム偏向型走査装置の概略を示す説明
図である。
紙面に垂直な軸回りに揺動するミラー(1)に、光源側
からの光ビーム(L、)が入射しく0)点で反射して、
走査レンズ(2)を介して、被走査面(3)上に結像し
て投射され、揺動ミラー(1)の揺動にともなって、被
走査面(3)に沿って走行する。
従来の走査装置で、一般に走査レンズ(2)として適用
されているfθレンズでは、偏向点(0)において、光
軸から(θ)radianの角度で反射する光ビーム(
L工)が落射する点と光軸との距離を「y′」すると、
’I’=fOである特性を有する。
かかるfθレンズでは、偏向面外から入射したビームの
走査軌跡が、直線とならないことを説明する。
第20図は、光ビーム偏向型走査装置の光路を、x−y
−z直交座標系により模式的に表わした斜視図であり、
従来のfOレンズと、本発明によるf sinθレンズ
の両方の説明に共通して使用する。
揺動ミラーはX軸回りに揺動し、走査レンズは、その光
II++&をZ軸に一致させて配置する。
四辺形”ABCD”は、走査レンズの主平面の一部を。
また、四辺形′″A’ B’ C’ D’″′は、被走
査面の一部を示す。2個の四辺形は、それぞれ光軸(Z
軸)に直交し、かつ相似形をなしている。
主走査方向はY軸方向であり、(0) (A) (A’
 ) (D)(D’ ) (E) (F’ ) (H)
 (7)各点は、Y−Z面、すなわち偏向面上に位置し
ている。
” +10 D E ”は、Y−Z面内で揺動ミラーに
入射し。
揺動ミラー上の点(0)で反射して、Y−Z面内で偏向
し、点(E)に落射する第1光ビームであり。
また、” G OCF ”は、Y−Z面に対して角度(
α)傾いて下方から揺動ミラーに入射し、(0)点で反
射し。
点(F)に落射する第2光ビームである。点(F′)は
、点(F)からA’D’線に下ろした垂線の足である。
ここで、 第1光ビームと光軸との角度: β 第2光ビームと光軸との角度: θ 四辺形”A B CD ”及び+IAI BI CI 
DI I7の対角線のX−2面からの角度: γ AD間の距離:        m CD間の距M:n A’F’間の距R二M Ff”’間の距離二        NOA間の距離:
        a とすると、(α)(β)(γ)(θ)(m)(n)CM
)(N)(a)の各社の間には、以下の関係が成立する
tanβ=−一部   畳・・・(2)tanγエ □
   ・・・・(4) 走査レンズが「fθレンズ」である場合は。
A’F間の距離は、fθレンズの特性により括弧を付し
て示す「fθ」である故、 M=fθcosγ N=fθsinγ (1)(2)両式よりn、mを求め、(4)式に代入し
て、 sinβ 下表は、上記式により、具体的な数値を適用して計算し
た結果を示す。
f  = 800mm、   a  = 6.55”の
とき。
f  = 800mm、   a  = 3.27”の
とき、f  = 800mm、   α = 122.
47”のとき、ただし、Noはβ=0のときのNの値。
すなわち、走査レンズとして一般的なfθレンズを適用
した場合には、レンズの光軸を外れた位置を通過する光
ビームの走行軌跡は、直線とならないことが理解される
。これは、光ビームの本数が多い場合はもちろん、ビー
ム本数が少なくても。
個々のビーム径が大きい場合には、角度αが大きくなり
、N  No が無視できなくなるため、不適である。
本発明は前述のように、第17図での光ビームの落射点
と走査レンズの光軸との距離(()が、偏向点における
光ビームと光軸との角度(0)の正弦に比例する特性を
備えるf sinθレンズを、走査レンズとして使用す
るものである。
以下、f sin Oレンズについて、上述と同様に第
20図に基いて検討する。
A’F間の距離は、fsinlllレンズの特性に基づ
き、r f sinθ」であるため、 M =  f−sinθ’ cosγ  −−−・(5
)N =  f−sirl・5iny   ”(6)(
1)及び(2)式より、n、mを求め、(3)式に代入
して、 (4)式に代入して、 したがって、 これに(7)式を代入し、a理して、 これに(8)式を代入し、整理して、 sinβ tan α sinγ =−−一−−−−− ノ七an’ α + sun’ β = f+CO6α@Sinβ 一方、x−7面上の偏向角βがOoの場合には、第2光
ビームは、線A″B′上の(Fo)点に投射される。(
Fo)点の光軸からの距離を(No)とすると、f s
in Oレンズの特性により、 N0==fsina である。
また、X−Z面から角度α傾いた第2光ビームによる走
査軌跡の曲がり量は、(N−N、)で求められる。
N−N0=fISjnα−f−8jnα=Oすなわち、
光ビームの偏向点と被走査面との間に、f sinθレ
ンズを配設した走査光学系にあっては、光ビームの通過
位置が、f sin Oレンズの光軸を外れる場合でも
、その走査軌跡に曲がりがなく、厳密に直線となること
が理解される。
次に、上述の特性を備えるf sinθレンズの具体的
構成について説明する。
基本的には、f sinθレンズは、3次歪曲収差係数
Vの値が「1」である光学系である。
すなわち、一般に、光束がレンズにより結像される場合
の像高(y″)は、レンズに入射する光束の入射角(O
)の関数で表わされ、A人を定数とし。
レンズの焦点距離(f)を1とすると、像高(y″)は
、次の式で表わされる。なお、以下の論理式は、文献「
レンズ設計法」(松居吉哉著、1972年、共立出版社
発行)及び特開昭53−137631号公報に基づ(。
4aθ 3次の歪曲収差係数をVとすると、その係数と歪曲との
関係は、次式で表わされる。
tan O ・・・・(1i) (i)式を(n)式に代入し、4次以上の項を無視して
整理すると。
・・・・・・・・(iii) ここで、0の値に係わらず(■)式が成立するためには
、 すなわち、3次収差の領域において実現可能な像高(y
′)は、 y’= 0 +AJ03     ・・・・(V)で表
オ〕され、そのときの3次の歪曲収差係数は。
V=2(−−A、)    ・・・・(vi)となる。
一方、 sinθ= 0−一”(vii) である故、?’=sinθの特性を持つレンズにおいて
は、(V)式から A□=−一 になる。これを(vi)式に代入すると、V=1 すなわち、3次の歪曲収差係数Vは、「1」となる。
実際には、高次の項の影響により、■が「1」に近い、
その前後の値であっても、使用可能である。
−なお、理想結像位置が)’ = f sinθになる
レンズとしては、従来より正射影レンズやフーリエ変換
レンズが知られており、これらのレンズの3次の歪曲収
差係数Vも「1」である。しかし、これらのレンズを、
本発明の走査レンズとして転用することはできない。そ
の理由は、本発明の走査レンズは、レンズ系の光源側(
正射影レンズやフーリエ変換レンズでは被写体側に対応
する)に偏向器(正射影レンズやフーリエ変換レンズで
は絞りに対応する)を配置する必要があるが、正射影レ
ンズやフーリエ変換レンズの絞りの位置は、レンズ系の
中や、レンズ系より像側にあるからである。
f sin Oレンズの具体的構成としては、偏向器(
揺動ミラー等)側から見て、負の焦点距離を持つ第1群
レンズと、正の焦点距離を持つ第2群レンズで構成され
、全体の焦点距離を(f)、第1群レンズの後側主点と
第2群レンズの前側主点との間隔を(l)としたとき。
Q≧O,18f なる条件を満足する光学系である。Qがこの値より小さ
いと、第2群レンズに入射する主光線の入射高が低くな
り、?’=fsiΩ0の特性を得ることが困難になる。
以下、f sin Oレンズの具体的実施例を、図面に
基いて説明する。
第1図ないし第16図の(A)は、それぞれ本発明に基
づくfsinOレンズの実施例の構成図を示す。また、
線図(B)は球面収差で、収差の値を横軸に、入射高を
縦軸にとって示してあり、(C)は非点収差、(D)は
歪曲収差で、それぞれ収差の値を横軸に、画角θを縦軸
にとって示している。線図(C)において、点線はメリ
デイオナル像面を、実線はサジッタル像面を示す。
線図(D)は、歪曲収差の値 ・・・・(幅) で表わしたもので、実施例レンズの歪曲特性が、どの程
度、理想像高0’=fsin(+)に忠実であるかを記
したものである。
−なお、レンズ面は、偏向器側から順に1,2゜3・・
・・n面とし、第1面(又は、1≦λ≦nなる整数)の
曲率半径をrλ、第1面と第(λ+1)面の中心間隔を
dλ、第1面と第(λ+1)面の間の媒質の屈折率をn
λと表記する。
ただし、doは、偏向器とレンズ径第1面との間隔を表
わす。
rの符号は、偏向器側からみて、凸面のとき正、凹面の
とき負とする。
屈折率nλは、1のときは記載を省略する。
また、3次歪曲収差係数を「V」、第1鮮魚点距離を「
fl」、第2鮮魚点距離を「f□」、第1群と第2群の
主点間距離を「Q」と表記する。
以下の実施例において、 第1、第2及び第15実施例は、第1群レンズは第ルン
ズで、第2群レンズは第2レンズで構成されている。
第3〜第8及び第16実施例は、第1群レンズは第ルン
ズで、第2群レンズは第2レンズと第3レンズで構成さ
れている。
第9〜第11実施例は、第1群レンズは第ルンズと第2
レンズで、第2群レンズは第3レンズと第4レンズで構
成されている。
第12〜第14実施例は、第1群レンズは第ルンズと第
2レンズで、第2群レンズは第3レンズから第5レンズ
で構成されている。
○第1実施例(第1図): レンズ枚数    2枚構成 焦点距Di      f =100 mmFナンバー
    F/60 全画角      2(1=60’ −3次歪曲収差係数 V=0.84 1〜2群主点間隔 R=0.18f 第1群焦点距離f 、=−134,4mm第2群焦点距
離  f2=  65.2mm0第2実施例(第2図)
: レンズ枚数    2枚構成 焦点距離     f =100 mmFナンバー  
  F/60 全画角      2θ=60゜ ×第3面は非球面で、その定数は下記のとおりk = 
6.863777 A4=−6,9746X 1O−7 A、= 1.80604 X 10−”ただし、k、 
A4. A、は、光軸方向にZ軸を、半径方向にY軸を
とったときに、その面を1+Jl−c“(k十1)y− と表示したときの定数である。また、c=−j である。
V =o、9o    M =0.21 ff 、 =
 −57,5mm f2=  50.1mm O第3実施例(第3図) レンズ枚数    3枚構成 焦点距離     f = 100 m+。
fナンバー    F/ 16.7 全画角      2θ= 40’ V=0.97    Q=0.22f f、=  67.2mm f、=  53.2no++ Q第4実施例(第4図) レンズ枚数    3枚構成 焦点距離     f = 100111mFナンバー
    F/25 全画角      2θ= 50’ V=0.95   12 =0.22ff、= −72
,3mm f2=  54.7mm 0第5実施例(第5図) レンズ枚数    3枚構成 焦点距離     f = 100 mmFナンバー 
   F/25 全画角      20=60゜ V =0,93    Q=0.21ff 、 = −
71,2mm f2=  53.7mm 0第6実施例(第6図) レンズ枚数    3枚構成 焦点距離     f = 100 mmFナンバー 
   F/25 全画角      2θ= 60’ V =0.93    2 =0.22ff 、 = 
−79,4mm f、=  56.6mm O第7実施例(第7図) レンズ枚数     3枚構成 焦点距離      f = 100 mmFナンバー
     F/20 全画角       2Q=60’ ×第6面は非球面で、その面形状を と表わしたとき、 k=−3,302,c =  − S である。ただし、Z軸を光軸方向、Y軸を半径方向とす
る。
V=0.94     Q=O,12ff 、 = −
66,1m+++ f、=  52.3mm 0第8実施例(第8図) レンズ枚数     3枚構成 焦点距離      f = 100 mmFナンバー
     F/25 全画角       20=700 ※第6面は非球面で、その面形状を と表わしたとき、 1(= −4,197 C=   − である。ただし、Z軸を光軸方向、Y軸を半径方向とす
る。
V =0.93    Q =0.24 ff 、 =
 −71,5mm f 、 =  55.4 mm O第9実施例(第9図) レンズ枚数   4枚構成 焦点距離    f = 100 mmfナンバー  
 F/ 12.5 全画角     2θ=40゜ V= 0.97    Q = 0.35ff□==−
84,4mm+ f、=  64.6mm 0第10実施例(第10図) レンズ枚数    4枚構成 焦点比fttl      f=loOmmFナンバー
    F/ 12.5 全画角      2θ= 40” V= 0.97   Q = 0.22ff 、 = 
−63,7mm f、=  52.3mm 0第11実施例(第11図) レンズ枚数    4枚構成 焦点距離     f ’= 100 mmFナンバー
    F/15 全画角      2θ=50゜ V= 0.95    Q = 0.24ff 1= 
−70,9mm f2=:  55.5mm 0第12実施例(第12図) レンズ枚数    5枚構成 焦点比Hf = 100 mm Fナンバー    F/ 12,5 全画角      2θ= 40’ V= 0.98   Q= 0.26ff 、 = −
74,5mm。
f2=  57.7mm O第13実施例(第13図) レンズ枚数    5枚構成 焦点圧′af=loomm Fナンバー    F/ 16.7 全画角      2θ=60゜ V= 0.97   Q = 0.28ff 、 = 
−76,4mm fz=  59.2ma+ 0第14実施例(第14図) レンズ枚数    5枚構成 焦点圧K      f=loomm Fナンバー    F/ 16.7 全画角      2θ=60゜ V= 0.97    fl = 0.28ff□=−
75,7mm f2=59.0mm 0第15実施例(第15図) レンズ枚数     2枚構成 焦点距離      f = 100 mmFナンバー
     F/60 全画角       20=60゜ ×各面は非球面で、光軸方向にY軸を、半径方向にY軸
をとって、面形状を、 表示したときの、各面の非球面係数は、以下のとおりで
ある。
第1面 c= −k= −486,17A4=O第2面
 c = −k = 15.719  A4= O第3
面 c = −k =−2,3X 104A4= −8
,513X 10−8 第4面 c =−k = −0,2931A、=−4,
962X10−8 v=  1,08         R=  0.55
ff 、 = −87,On+m f2==   75.9mm ○第16実施例(第16図) レンズ枚数     3枚構成 焦点距離      f = 100 mmFナンバー
     F/25 全画角       2θ=40゜ ※第2、第3及び第5各面は、非球面で、光軸方向にZ
軸を、半径方向にY軸をとって1面形状をと表示したと
きの、各面の非球面係数は以下のとおりである。
第2面  c = −k =10.74第3面  c 
= −k =11.136第5面  c = −k =
 −23,587V=1.00     m =0.2
2ff工=−58,7 f 、 =  50.5 各実施例要目データ一覧表 上記各実施例では、第1又は第2群レンズを1枚ないし
3枚で構成しているが、本発明は、構成レンズの枚数を
これに限定するものではない。
[発明の効果コ (1)光ビーム偏向走査において、光ビームが偏向面外
から入射する場合でも、その走査軌跡が直線となるため
、光ビームの偏向面をレンズ光軸に厳密に整合させる必
要がなく、調整が容易である。
(2)特に、高速描画のために、複数本の光ビームを並
列に使用するマルチビーム走査において、各光ビームの
走査軌跡がそれぞれ平行な直線となるため、走査により
記録される画像に歪みがなく。
寸法精度の高い複製画像を記録できる。
この特徴は、特に網目版画像の記録において、網点サイ
ズに誤差を生じることがなく、画面全体にわたってムラ
のない均質な階調を表現することを可能とする。
【図面の簡単な説明】
第1図から第16図までの各図は、それぞれ本発明の走
査レンズの実施例で、各図中、(A)はレンズの構成図
、(B)は球面収差を示すグラフ、(C)は非点収差を
示すグラフで、点線は(vii )式で定義したメリデ
ィオナル像面を、実線はサジッタル像面を示し、(D)
は歪曲特性を示すグラフである。第17図は光ビーム偏
向型走査装置の概要を示す説明図、第18図は本発明の
f sinθレンズを走査レンズとして使用したときの
、複数本の光ビームの走査軌跡を示す図、第19図は従
来のfθレンズによる走査軌跡を示す図、−第20図は
光ビーム偏向型走査装置の光路を示す模式図である。 (1)・・・・揺動ミラー、  (2)・・・・走査レ
ンズ。 v x迅 F/co       θ=300      θ=3
02Y2阻 v31図 (A) (8)         (c>         <
v>F/+6.り         θ= 20”  
       θ=20”¥4目 (A) (ら)          (l)         
 (D)F/25       e=25@e=25゜
−0,500,5m#I−L)、タ Oo、5ユ   
−6S o  σ、5りF/zr      e =a
o1o =30’−O,f  O11,54@#   
 −0,566,54+Im    −o、j  0 
 0.に%v6図 (ES)          (C)        
  (D)F/25      θ=30′     
  θ=30゛〜(1500,S、、−0,5Q   
e)、rh−q    −(j、5 0  0.5%7
IXI F/、)(7θ= 30’     θ−36゜−O,
j  Q   Oオ門−0,906,31T+、+I−
Q、5 0  0りX¥8図 F/25     θ−,35’      61=3
.5’斥← 序 91] (ES)           (cン       
   CO>F/r 2.5       e = 2
o0      θ=20’−o、+   0  0.
Iw+w+     −0,100,Im−−0IOO
,1%墓/lコ (B)       (c)       Co)F/
lz、s      θ= 20”     0 = 
20’−+7.1   +   +、+′lIB@−u
、I   KJ   u、l+”l    −oIo 
  6.7%!//閉 (6)       (C)      (p)’/l
s      e =zs’     e= 25’(
らノ          (リ           
(D)F/ノ2,5           θ =;2
o#           θ:2o・−0−100,
1,−+    −Ol  0  0.1.、−o、1
 0  0.l’yg穿/31里 −070(ljmz    −6,206,1my  
  −0,200j%¥7411 F//6.7      e =soゝo −3oa−
02002e*ms    −6,206,Zwm  
  −0,20a、2%VCt s ri (f3)              (C)(T)2
F/6o      θ=15°    ρ=15゜ソ
/6■ (A) 算!7図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光ビームを偏向手段により偏向させて、被走査面
    を走査する装置における、前記光ビーム偏向手段と被走
    査面との間に配置される走査用レンズであって、 偏向手段側から順に、負の焦点距離を持つ第1群レンズ
    と、正の焦点距離を持つ第2群レンズとからなり、その
    3次歪曲収差係数Vが、V=1又はそれに近い値を持つ
    ようにして、被走査面に投射される光ビームの投射点と
    、光軸との距離が、偏向点における光ビームと光軸との
    角度の正弦に比例する特性を備えさせた光ビーム走査用
    レンズ。
  2. (2)全体の焦点距離を(f)、第1群レンズの後側主
    点と第2群レンズの前側主点との間隔を(l)としたと
    き、 l≧0.18f であることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項に記
    載の光ビーム走査用レンズ。
JP10179987A 1987-04-27 1987-04-27 光ビ−ム走査用レンズ Granted JPS63267910A (ja)

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US07/186,386 US4861983A (en) 1987-04-27 1988-04-26 Optical system for flying-spot scanning system
DE88106659T DE3883056T2 (de) 1987-04-27 1988-04-26 Optisches System für ein Lichtpunktabtastsystem.
EP88106659A EP0288970B1 (en) 1987-04-27 1988-04-26 Optical system for flyingspot scanning system

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