CN101339365B - 感放射线性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件 - Google Patents
感放射线性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101339365B CN101339365B CN2008101250988A CN200810125098A CN101339365B CN 101339365 B CN101339365 B CN 101339365B CN 2008101250988 A CN2008101250988 A CN 2008101250988A CN 200810125098 A CN200810125098 A CN 200810125098A CN 101339365 B CN101339365 B CN 101339365B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- methyl
- multipolymer
- pigment
- unsaturated
- weight portions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 0 CO[N+]([N-])[N+](**)[O-] Chemical compound CO[N+]([N-])[N+](**)[O-] 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/039—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
- G03F7/0392—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition
- G03F7/0397—Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition the macromolecular compound having an alicyclic moiety in a side chain
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
本发明提供着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件,该着色层形成用感放射线性组合物可以以高的产品成品率形成不产生“烧屏”的彩色滤光片,另外,可以形成干燥后在洗涤溶剂中的溶解性高、并且在碱显影液中的溶解性也高的涂膜。该着色层形成用感放射线性组合物含有:(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂,其中,(B)碱可溶性树脂是含有(b1)选自不饱和羧酸、其酸酐和不饱和酚化合物中的一种、(b2)N-取代马来酰亚胺、以及(b3)下述式(1)表示的不饱和化合物而形成的不饱和化合物的共聚物。
Description
技术领域
本发明涉及着色层形成用感放射性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件,更详细地,涉及用于形成着色层的感放射线性组合物、具备使用该感放射线性组合物而形成的着色层的彩色滤光片、以及具备该彩色滤光片的彩色液晶显示元件,所述着色层在透射型或反射型的彩色液晶显示元件、彩色摄像管元件等中使用的彩色滤光片中是有用的。
背景技术
作为使用着色感放射线性组合物形成彩色滤光片的方法,已知通过如下步骤获得各色像素的方法,所述步骤为:在基板上或者预先形成了期望的图案的遮光层的基板上形成着色感放射线性组合物的涂膜,通过具有期望图案形状的光掩模照射放射线(以下称为“曝光”),再利用碱显影液进行显影,溶解除去未曝光部分,然后使用净化烘箱或热板进行后烘(ポストベ一ク)(例如,参照专利文献1、专利文献2)。
近年来,由于用于形成彩色滤光片的基板尺寸大型化,感放射线性组合物的涂布方法逐渐由使用中央滴下型的旋转涂布机的方式变更为使用狭缝喷嘴的方式,所述狭缝喷嘴的用于涂布感放射线性组合物的液突出部为更小的直径。后者的狭缝喷嘴方式中,由于液突出部的直径小(狭小),因此在涂布结束之后的喷嘴前端部的周边大多残留有感放射线性组合物,该残留的感放射线性组合物干燥后在下一次的涂布时成为干燥杂质而落到彩色滤光片上,从而使彩色滤光片的品质显著降低,因此通常在涂布之前向喷嘴前端部喷出洗涤溶剂,进行喷射洗涤,但即使这样也不能有效防止由于干燥杂质引起的彩色滤光片的品质降低,成为产品成品率降低的重要原因。
因此,为了应对这样的问题,近年来,要求采用溶剂洗涤的洗涤性,也就是即使干燥后在洗涤溶剂中的溶解性也高的彩色滤光片用感放射线性组合物。
另外,伴随着彩色液晶显示元件的高色纯度化,着色感放射线性组合物中含有的着色剂的浓度变高时,涂膜对于碱显影剂的溶解性有显著降低的倾向。因此,采用喷淋显影法进行时,剥离除去的未曝光部分的涂膜在显影槽中不能完全溶解,而是浮游于显影槽,在彩色滤光片上作为杂质再次附着,成为产品成品率降低的重要原因。
近年来,要求具备彩色滤光片的彩色液晶显示元件长寿命化,由此,对于彩色滤光片的防烧屏能力的要求日益增强。
可是,“烧屏”是彩色液晶显示元件显示不良的一种,是本来不该显示的图像显示在画面上,或者黑色或白色的“烟霭”状的图像重叠显示在本来要显示的图像上的现象。这样的现象被认为是由于下述原因造成的,即,液晶中带有电荷的杂质在液晶内扩散,为了使液晶分子取向而施加的电位差不能保持规定的时间。最近进一步明确了该杂质不仅是在制造液晶分子时带来的,而且从形成的彩色滤光片中也溶解析出。并且,为了防止“烧屏”,例如专利文献3所公开的那样,虽然已知提高颜料纯度是有效的,但杂质也有可能来自于着色感放射线性组合物中颜料以外的成分,因此只是提高颜料纯度不能说是充分的。
因此,近年来,正在强烈谋求开发出满足制造彩色滤光片时的高产品成品率的要求,并且不会产生“烧屏”的改良的着色感放射线性组合物。
[专利文献1]特开平2-144502号公报
[专利文献2]特开平3-53201号公报
[专利文献3]特开2000-329929号公报
发明内容
本发明的课题在于提供着色层形成用感放射线性组合物等,其可以以高的产品成品率形成不产生“烧屏”的彩色滤光片,并且可以形成干燥后在洗涤溶剂中的溶解性高,对碱显影液的溶解性也高的涂膜。
本发明的第一方面在于,提供一种着色层形成用感放射线性组合物,该组合物含有:(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂,其中,(B)碱可溶性树脂是含有(b1)选自不饱和羧酸、其酸酐和不饱和酚化合物中的一种、(b2)N-取代马来酰亚胺、以及(b3)下述式(1)表示的不饱和化合物而形成的不饱和化合物的共聚物(以下称为“共聚物(B1)”),
式中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数2~4的亚烷基,R3表示氢原子、碳原子数1~20的烷基或碳原子数7~20的芳烷基,n表示1~10的整数。
本发明的第二方面在于,提供一种彩色滤光片,其具有使用上述着色层形成用感放射线性组合物而形成的着色层。
本发明的第三方面在于,提供一种彩色液晶显示元件,其具备上述彩色滤光片。
本发明的第四方面在于,上述共聚物(B1)。
本发明的着色层形成用感放射线性组合物可以以高的产品成品率形成不产生“烧屏”的彩色滤光片,并且在干燥后在洗涤溶剂中的溶解性也高,适合于例如采用狭缝喷嘴的涂布。此外,即使是在着色感放射线性组合物中含有的着色剂的浓度高的情况下,涂膜在碱显影剂中的溶解性也高,适合于例如采用喷淋显影法的显影。
另外,本发明的共聚物(B1)作为着色层形成用感放射线性组合物中使用的碱可溶性树脂有用。
本发明中所说的“着色层”,是指包括像素和/或黑矩阵的层。
具体实施方式
下面,对本发明进行详细地说明。
着色层形成用感放射线性组合物
-(A)着色剂-
本发明中的着色剂没有特别的限定,可以是颜料、染料或天然色素中的任一种,但由于彩色滤色片要求高纯度且高透光性的发色,或者要求高的遮光性和耐热性,因此优选颜料,特别优选有机颜料或炭黑。
作为上述有机颜料,可以举出例如,在染料索引中被分类为颜料的化合物,具体的是下述的带有染料索引(C.I.)号的物质。
C.I颜料黄12、C.I.颜料黄13、C.I.颜料黄14、C.I.颜料黄17、C.I.颜料黄20、C.I.颜料黄24、C.I.颜料黄31、C.I.颜料黄55、C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄93、C.I.颜料黄109、C.I.颜料黄110、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄153、C.I.颜料黄154、C.I.颜料黄155、C.I.颜料黄166、C.I.颜料黄168、C.I.颜料黄211;
C.I.颜料橙5、C.I.颜料橙13、C.I.颜料橙14、C.I.颜料橙24、C.I.颜料橙34、C.I颜料橙36、C.I.颜料橙38、C.I.颜料橙40、C.I.颜料橙43、C.I.颜料橙46、C.I.颜料橙49、C.I.颜料橙61、C.I.颜料橙64、C.I.颜料橙68、C.I.颜料橙70、C.I.颜料橙71、C.I.颜料橙72、C.I.颜料橙73、C.I.颜料橙74;
C.I.颜料红1、C.I.颜料红2、C.I.颜料红5、C.I.颜料红17、C.I.颜料红31、C.I.颜料红32、C.I.颜料红41、C.I.颜料红122、C.I.颜料红123、C.I.颜料红144、C.I.颜料红149、C.I.颜料红166、C.I.颜料红168、C.I.颜料红170、C.I.颜料红171、C.I.颜料红175、C.I.颜料红176、C.I.颜料红177、C.I.颜料红178、C.I.颜料红179、C.I.颜料红180、C.I.颜料红185、C.I.颜料红187、C.I.颜料红202、C.I.颜料红206、C.I.颜料红207、C.I.颜料红209、C.I.颜料红214、C.I.颜料红220、C.I.颜料红221、C.I.颜料红224、C.I.颜料红242、C.I.颜料红243、C.I.颜料红254、C.I.颜料红255、C.I.颜料红262、C.I.颜料红264、C.I.颜料红272;
C.I.颜料紫1、C.I.颜料紫19、C.I.颜料紫23、C.I.颜料紫29、C.I.颜料紫32、C.I.颜料紫36、C.I.颜料紫38;
C.I.颜料蓝15、C.I.颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料蓝60、C.I.颜料蓝80;
C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58;
C.I.颜料棕23、C.I.颜料棕25;
C.I.颜料黑1、C.I.颜料黑7。
这些有机颜料中,优选选自C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I颜料黄150、C.I.颜料黄180、C.I.颜料红177、C.I.颜料红254、C.I颜料蓝15:3、C.I.颜料蓝15:4、C.I.颜料蓝15:6、C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿58、C.I.颜料紫23、C.I.颜料蓝60和C.I.颜料蓝80中的至少一种。
上述有机颜料可以单独或者混合2种以上使用,另外还可以将有机颜料和炭黑混合使用,在形成像素时,优选使用有机颜料,在形成黑矩阵时,优选使用2种以上的有机颜料和/或炭黑。
在本发明的组合物中,着色剂为颜料时,优选如下制备:在溶剂中、分散剂存在下,使用例如珠磨机、辊磨机等将该颜料边粉碎边进行混合、分散,制成颜料分散液,再将该颜料分散液与后述的(B)成分、(C)成分和(D)成分混合,根据需要再添加、混合追加的溶剂或后述的其他添加剂。
作为在上述颜料分散液的制备中使用的分散剂,可使用例如阳离子类、阴离子类、非离子类或两性等适当的分散剂,但优选含有具有氨基甲酸酯键的化合物(以下,称为“氨基甲酸酯类分散剂”)的分散剂。
上述氨基甲酸酯键通常可存在于用R-NH-COO-R4(其中,R和R4是脂肪族、脂环族或芳香族的1价或多价的有机基团,该多价的有机基团结合在其他的具有氨基甲酸酯键的基团或其他基团上。)表示的、氨基甲酸酯类分散剂中的亲油性基团和/或亲水性基团中,还可以存在于氨基甲酸酯类分散剂中的主链和/或侧链中,另外,氨基甲酸酯类分散剂中可以存在1个以上所述氨基甲酸酯键。在氨基甲酸酯类分散剂中存在2个以上氨基甲酸酯键时,各氨基甲酸酯键可以相同也可以不同。
作为这样的氨基甲酸酯类分散剂,可举出例如二异氰酸酯类和/或三异氰酸酯类与一个末端具有羟基的聚酯类和/或两末端具有羟基的聚酯类的反应产物。
作为上述二异氰酸酯类,可举出例如苯-1,3-二异氰酸酯、苯-1,4-二异氰酸酯等苯二异氰酸酯类;甲苯-2,4-二异氰酸酯、甲苯-2,5-二异氰酸酯、甲苯-2,6-二异氰酸酯、甲苯-3,5-二异氰酸酯等甲苯二异氰酸酯类;1,2-二甲苯-3,5-二异氰酸酯、1,2-二甲苯-3,6-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,5-二异氰酸酯、1,3-二甲苯-4,6-二异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,5-二异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,6-二异氰酸酯等二甲苯二异氰酸酯类等其他的芳香族二异氰酸酯类等。
作为上述三异氰酸酯类,可举出例如苯-1,2,4-三异氰酸酯、苯-1,2,5-三异氰酸酯、苯-1,3,5-三异氰酸酯等苯三异氰酸酯类;甲苯-2,3,5-三异氰酸酯、甲苯-2,3,6-三异氰酸酯、甲苯-2,4,5-三异氰酸酯、甲苯-2,4,6-三异氰酸酯等甲苯三异氰酸酯类;1,2-二甲苯-3,4,5-三异氰酸酯、1,2-二甲苯-3,4,6-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4,5-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-2,4,6-三异氰酸酯、1,3-二甲苯-4,5,6-三异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,3,5-三异氰酸酯、1,4-二甲苯-2,3,6-三异氰酸酯等二甲苯三异氰酸酯类等其他芳香族三异氰酸酯类等。
这些二异氰酸酯类和三异氰酸酯类可以分别单独使用或者混合2种以上使用。
作为上述在一个末端具有羟基的聚酯类和在两末端具有羟基的聚酯类,可举出例如,在一个末端或两末端具有羟基的聚己内酯、在一个末端或两末端具有羟基的聚戊内酯、在一个末端或两末端具有羟基的聚丙内酯等在一个末端或两末端具有羟基的聚内酯类;在一个末端或两末端具有羟基的聚对苯二甲酸乙二醇酯、在一个末端或两末端具有羟基的聚对苯二甲酸丁二醇酯等在一个末端或两末端具有羟基的缩聚聚酯类等。
这些在一个末端具有羟基的聚酯类和在两末端具有羟基的聚酯类可以分别单独使用或者混合2种以上使用。
作为本发明的氨基甲酸酯类分散剂,优选芳香族二异氰酸酯类与在一个末端具有羟基的聚内酯类和/或在两末端具有羟基的聚内酯类的反应产物,特别优选甲苯二异氰酸酯类与在一个末端具有羟基的聚己内酯和/或在两末端具有羟基的聚己内酯的反应产物。
作为这样的氨基甲酸酯类分散剂的具体例,用商品名表示时,可举出例如,Disperbyk161、Disperbyk170(以上为ビツクケミ一(BYK)公司制造)、EFKA(エフカ一ケミカルズビ一ブイ(EFKA)公司制造)、デイスパロン(楠本化成(株)制造)等系列产品。
本发明的氨基甲酸酯类分散剂的Mw通常为5000~50000,优选为7000~20000。
上述氨基甲酸酯类分散剂可以单独使用或者混合2种以上使用。
另外,优选包含(甲基)丙烯酸类单体的(共)聚合物的(甲基)丙烯酸类分散剂作为分散剂。
作为这样的(甲基)丙烯酸类分散剂的具体例,以商品名表示时,可举出Disperbyk2000、Disperbyk2001(以上为ビツクケミ一(BYK)公司制造)等。
上述(甲基)丙烯酸类分散剂可以单独使用或者混合2种以上使用。
制备颜料分散液时的分散剂的使用量,相对于100重量份颜料,通常为100重量份以下,优选为0.5~100重量份,更优选为1~70重量份,特别优选为10~50重量份。此时,分散剂的使用量如果超过100重量份,则显影性等可能受损。
作为制备颜料分散液时使用的溶剂,可举出例如,与后述的感放射线性组合物的液态组合物所列举的溶剂相同的溶剂。
制备颜料分散液时的溶剂的使用量,相对于100重量份颜料,通常为200~1200重量份,优选为300~1000重量份。
使用珠磨机制备颜料分散液时,例如可如下进行:使用直径0.5~10mm左右的玻璃珠或氧化钛珠,优选边用冷却水等进行冷却边将包含颜料、溶剂和分散剂的颜料混合液混合、分散。
此时,珠的填充率通常为磨机容量的50~80%,颜料混合液的注入量通常为磨机容量的20~50%左右。处理时间通常为2~50小时,优选为2~25小时。
使用辊磨机进行制备时,例如可如下进行:使用3辊磨机或2辊磨机等,优选边用冷却水等冷却边对颜料混合液进行处理。
此时,辊间距优选为10μm以下,剪切力通常为108dyn/秒左右。另外,处理时间通常为2~50小时,优选为2~25小时。
-(B)碱可溶性树脂-
本发明的碱可溶性树脂含有共聚物(B1),即含有(b1)选自不饱和羧酸、其酸酐和不饱和酚化合物(以下,将这些化合物统称为“不饱和化合物(b1)”)中的至少一种、(b2)N-取代马来酰亚胺(以下称为“不饱和化合物(b2)”)和(b3)上述式(1)表示的不饱和化合物(以下称为“不饱和化合物(b3)”)而成的不饱和化合物的共聚物,并且该碱可溶性树脂在形成着色层时的显影处理步骤中使用的碱显影液中具有可溶性。
不饱和化合物(b1)中,作为不饱和羧酸或其酸酐,可举出例如:
(甲基)丙烯酸、巴豆酸、α-氯丙烯酸、肉桂酸等不饱和单羧酸类;
马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸、柠康酸酐、中康酸等不饱和二羧酸或其酸酐类;
3元以上的不饱和多元羧酸或其酸酐类;
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧乙基〕酯等2元以上的多元羧酸的单[(甲基)丙烯酰氧烷基]酯类;
ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等的两末端具有羧基和羟基的聚合物的单(甲基)丙烯酸酯类等。
这些不饱和羧酸或其酸酐中,琥珀酸单(2-丙烯酰氧乙基)酯和邻苯二甲酸单(2-丙烯酰氧乙基)酯分别以ライトエステルHOA-MS和ライトエステルHOA-MPE(以上,为共栄社化学(株)制造)的商品名在市场上销售。
另外,作为不饱和酚化合物,可举出例如:
邻乙烯基苯酚、间乙烯基苯酚、对乙烯基苯酚、2-甲基-4-乙烯基苯酚、3-甲基-4-乙烯基苯酚、邻异丙烯基苯酚、间异丙烯基苯酚、对异丙烯基苯酚等不饱和苯酚类;
2-乙烯基-1-萘酚、3-乙烯基-1-萘酚、1-乙烯基-2-萘酚、3-乙烯基-2-萘酚、2-异丙烯基-1-萘酚、3-异丙烯基-1-萘酚等不饱和萘酚类等。
在本发明中,作为不饱和化合物(b1),优选(甲基)丙烯酸、对乙烯基苯酚等,特别优选(甲基)丙烯酸。
作为不饱和化合物(b2),可举出例如:
N-苯基马来酰亚胺、N-邻羟苯基马来酰亚胺、N-间羟苯基马来酰亚胺、N-对羟苯基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯、N-(吖啶基)马来酰亚胺等。
这些N-取代马来酰亚胺类中,优选N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等,特别优选N-苯基马来酰亚胺。
在共聚物(B1)中,不饱和化合物(b2)可以单独使用或者混合2种以上使用。
在本发明中,通过在碱可溶性树脂中共聚上述式(1)表示的不饱和化合物(b3),可以得到如下的着色层形成用感放射线性组合物,该着色层形成用感放射线性组合物能够形成干燥后在洗涤溶剂中的溶解性高,并且在显影液中的溶解性也高的涂膜。
在式(1)中,作为R3的碳原子数1~20的烷基,例如、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、正十二烷基、环戊基、环己基等直链、支链或环状烷基。
在式(1)中,作为R3的碳原子数7~20的芳烷基,可举出苄基、苯乙基、α-甲基苄基、2-苯基丙烷-2-基等苯基C1-6烷基。
在式(1)中,作为R3,优选碳原子数7~20的芳烷基,特别优选2-苯基丙烷-2-基。
另外,在式(1)中,作为R2的碳原子数2~4的亚烷基,可举出亚乙基、亚丙基、三亚甲基、亚丁基、四亚甲基等,特别优选亚乙基、亚丙基。
另外,在式(1)中,n优选为1~6,特别优选为1~4。
作为不饱和化合物(b3),可举出例如:
苯酚的环氧乙烷(EO)改性(甲基)丙烯酸酯、对枯基苯酚的EO改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚的EO改性(甲基)丙烯酸酯或环氧丙烷(PO)改性(甲基)丙烯酸酯等。
这些不饱和化合物(b3)中,苯酚的EO改性丙烯酸酯以商品名アロニツクスM-101A(n=约2)、M-102(n=约4)销售;对枯基苯酚的EO改性丙烯酸酯以商品名アロニツクスM-110(n=约1)销售;壬基苯酚的EO改性丙烯酸酯以商品名アロニツクスM-111(n=约1)、M-113(n=约4)被销售;壬基苯酚的PO改性丙烯酸酯以商品名アロニツクスM-117销售(以上均为东亚合成(株)制造)。
在本发明中,共聚物(B1)的合成中使用的不饱和化合物除了不饱和化合物(b1)、不饱和化合物(b2)和不饱和化合物(b3)以外,还可以含有能够与它们共聚的其他不饱和化合物(以下,称为“不饱和化合物(b4)”)。
作为不饱和化合物(b4),可举出例如:
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、邻甲氧基苯乙烯、间甲氧基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、邻乙烯基苄基甲基醚、间乙烯基苄基甲基醚、对乙烯基苄基甲基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚等芳香族乙烯基化合物;
茚、1-甲基茚等茚类;
聚苯乙烯、聚(甲基)丙烯酸甲酯、聚(甲基)丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷等聚合物分子链的一个末端具有(甲基)丙烯酰基的大分子单体(以下,简称为“大分子单体”)类:
(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸3-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸3-羟丁酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙基酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基丙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙基酯、丙三醇(甲基)丙烯酸酯等不饱和羧酸酯类;
(甲基)丙烯酸2-氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-二甲基氨基乙基酯、(甲基)丙烯酸2-氨基丙基酯、丙烯酸2-二甲基氨基丙基酯、(甲基)丙烯酸3-氨基丙基酯、(甲基)丙烯酸3-二甲基氨基丙基酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类;
(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类;
醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯基酯类;
乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等其他不饱和醚类;
(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物;
(甲基)丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、N-2-羟基乙基(甲基)丙烯酰胺等不饱和酰胺类;
1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯、异戊二烯磺酸等脂肪族共轭二烯类等。
这些不饱和化合物(b4)中,优选苯乙烯、大分子单体类、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、丙三醇单(甲基)丙烯酸酯等,另外,大分子单体中,特别优选聚苯乙烯大分子单体、聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体。
在共聚物(B1)中,不饱和化合物(b4)可以单独或混合2种以上使用。
在共聚物(B1)中,不饱和化合物(b1)的共聚比例优选为10~40重量%,特别优选为10~25重量%;不饱和化合物(b2)的共聚比例优选为10~50重量%,特别优选为15~40重量%;不饱和化合物(b3)的共聚比例优选为5~50重量%,特别优选为10~40重量%;不饱和化合物(b4)的共聚比例优选为5~70重量%,特别优选为10~60重量%。
在本发明中,通过使共聚物(B1)中的各不饱和化合物的共聚比例为上述范围,可以得到灵敏度、与基板的密合性、采用有机溶剂的洗涤性、在碱显影液中的溶解性等均优异的着色层形成用感放射性组合物。
在本发明中,可以将共聚物(B1)与其他的碱可溶性树脂并用。
作为上述其他的碱可溶性树脂,只要对于在形成着色层时的显影处理步骤中使用的碱显影液具有可溶性,则没有特别限定,可举出例如,选自上述不饱和化合物(b1)中的至少一种与选自上述不饱和化合物(b2)和不饱和化合物(b4)中的至少一种的共聚物等。
在本发明中,共聚物(B1)和其他碱可溶性树脂的Mw优选为1000~25000,更优选为3000~20000,特别优选为3000~12000。
另外,共聚物(B1)和其他碱可溶性树脂的Mw/Mn分别优选为1.0~2.2,更优选为1.0~2.0,特别优选为1.0~1.8。
在本发明中,通过使用具有上述特定的Mw和/或Mw/Mn的共聚物(B1),或者将该共聚物(B1)与具有上述特定的Mw和/或Mw/Mn的其他碱可溶性树脂并用,可得到显影性优异的感放射线性组合物,由此,可以形成具有尖锐的图案边缘的像素和黑矩阵,同时,由于采用有机溶剂的洗涤性高,在制造彩色滤光片时不会产生干燥异物,可以实现高的产品成品率,并且可以更有效地防止彩色滤光片“烧屏”。
另外,根据本发明人,如果在(B)碱可溶性树脂中使上式(1)表示的不饱和化合物(b3)共聚,则有聚合转化率降低的倾向。如果聚合转化率降低,未反应的不饱和化合物残留,则得到的着色层的电特性有恶化的可能,因此,需要控制未反应的不饱和化合物。在共聚物(B1)的制造中,优选使其聚合转化率为80重量%以上,更优选为90%重量%以上,特别优选为95重量%以上。在此,聚合转化率是指,聚合反应得到的共聚物(B1)的重量与供聚合反应的构成共聚物(B1)的各成分的总重量的比例。
作为将共聚物(B1)的Mw、Mn和聚合转化率控制在上述范围的制造方法可列举出活性自由基聚合。活性自由基聚合可通过下述方法实施,即,在2,2’-偶氮二异丁腈、2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮二(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等自由基聚合引发剂,吡唑-1-二硫代甲酸氰基(二甲基)甲酯、吡唑-1-二硫代甲酸苄酯、四乙基秋兰姆二硫醚、双(吡唑-1-基硫羰基)二硫醚、双(3-甲基吡唑-1-基硫羰基)二硫醚、双(4-甲基吡唑-1-基硫羰基)二硫醚、双(5-甲基吡唑-1-基硫羰基)二硫醚、双(3,4,5-三甲基吡唑-1-基硫羰基)二硫醚、双(吡咯-1-基硫羰基)二硫醚、双硫代苯甲酰基二硫醚、双(正辛基巯基-硫羰基)二硫醚、双(正十二烷基巯基-硫羰基)二硫醚、双(苄基巯基-硫羰基)二硫醚等作为引发转移终止剂(iniferter)起作用的分子量控制剂的存在下,在惰性溶剂中聚合各不饱和化合物,反应温度通常为0~150℃,优选为50~120℃。
在本发明中,共聚物(B1)可以单独或者混合2种以上使用,另外,其他的碱可溶性树脂也相同。
在本发明中,相对于(A)着色剂100重量份,碱可溶性树脂的总使用量通常为10~1000重量份,优选为20~500重量份。此时,碱可溶性树脂的总使用量低于10重量份时,可能出现例如碱显影性降低、或者在未曝光部的基板上或者遮光层上发生浮垢或残膜,另一方面,如果超过1000重量份,则由于着色剂浓度相对降低,因此有时薄膜往往难以达到目标色浓度。
另外,碱可溶性树脂中的共聚物(B1)的使用比例优选为10~100重量%,特别优选为30~100重量%。此时,共聚物(B1)的使用比例低于10重量%时,本发明的期望的效果有可能受到损害。
-(C)多官能性单体-
本发明的多官能性单体是具有2个以上聚合性不饱和键的单体。
作为多官能性单体,可举出例如:
乙二醇、丙二醇等烷二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
聚乙二醇、聚丙二醇等聚烷二醇的二(甲基)丙烯酸酯类;
丙三醇、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇等3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯类或它们的二羧酸改性物;
聚酯、环氧树脂、氨基甲酸酯树脂、醇酸树脂、有机硅树脂、螺烷树脂等低聚(甲基)丙烯酸酯类;
两末端羟基聚-1,3-丁二烯、两末端羟基聚异戊二烯、两末端羟基聚己内酯等两末端羟基化聚合物的二(甲基)丙烯酸酯类、
三[2-(甲基)丙烯酰氧乙基]磷酸酯等。
这些多官能性单体中,优选3元以上的多元醇的聚(甲基)丙烯酸酯类或它们的二羧酸改性物,具体地是三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、
下述式(2)表示的化合物、
下述式(3)表示的化合物等,
三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯的着色层强度高,着色层的表面平滑性优异,并且在未曝光部的基板上和遮光层上难于发生浮垢、残膜等,是特别优选的。
上述多官能性单体可以单独或混合2种以上使用。
相对于(B)碱可溶性树脂100重量份,本发明的多官能性单体的使用量通常为5~500重量份,优选为20~300重量份。此时,如果多官能性单体的使用量过少,则着色层的强度或表面平滑性有可能降低,另一方面,如果过多,则可能出现例如碱显影性降低、或者在未曝光部的基板上或者遮光层上发生浮垢、残膜等。
另外,在本发明中,还可以将部分多官能性单体替换成具有1个聚合性不饱和键的单官能性单体。
作为上述单官能性单体,例如与(B)碱可溶性树脂中列举的不饱和化合物(b1)或不饱和化合物(b4)的化合物同样的化合物,可举出N-(甲基)丙烯酰吗啉、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基-ε-己内酰胺、以及作为市售品的M-5600(商品名,东亚合成(株)制造)等。
这些单官能性单体可以单独或混合2种以上使用。
相对于多官能性单体和单官能性单体的总和,单官能性单体的使用比例通常为90重量%以下,优选为50重量%以下。此时,如果单官能性单体的使用比例过多,则得到的着色层的强度或表面平滑性有可能不充分。
相对于(B)碱可溶性树脂100重量份,本发明的多官能性单体和单官能性单体的总使用量通常为5~500重量份,优选为20~300重量份。此时,如果该总使用量过少,则着色层的强度或表面平滑性有可能降低,另一方面,如果过多,则可能出现例如碱显影性降低、或者在未曝光部的基板上或者遮光层上易发生浮垢、残膜等。
-(D)光聚合引发剂-
本发明的光聚合引发剂是利用可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等放射线的曝光,产生能够引发上述(C)多官能性单体和根据情况使用的单官能性单体的聚合的活性种的化合物。
作为这样的光聚合引发剂,可举出例如:苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物、O-酰基肟类化合物、鎓盐类化合物、苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、多核醌类化合物、呫吨酮类化合物、偶氮类化合物、亚胺磺酸酯类化合物等。这些化合物是通过曝光产生活性自由基或活性酸、或者产生活性自由基和活性酸两者的成分。
在本发明中,光聚合引发剂可单独或混合2种以上使用,作为本发明的光聚合引发剂,优选选自苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物、三嗪类化合物、邻酰基肟类化合物中的至少一种。
在本发明中,相对于(C)多官能性单体和单官能性单体的总和100重量份,光聚合引发剂的一般使用量通常为0.01~120重量份,优选为1~100重量份。此时,如果光聚合引发剂的使用量过少,则曝光产生的固化不充分,难以获得着色层图案按照规定的排列配置的彩色滤光片,另一方面,如果过多的话,则形成的着色层在显影时可能容易从基板上脱落。
本发明中优选的光聚合引发剂中,作为苯乙酮类化合物的具体例,可举出2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、1-羟基环己基·苯基酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1,2-辛烷二酮等。
这些苯乙酮类化合物中,特别优选2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、1,2-辛烷二酮等。
上述苯乙酮类化合物可以单独或混合2种以上使用。
在本发明中,相对于(C)多官能性单体和单官能性单体的总和100重量份,使用苯乙酮类化合物作为光聚合引发剂时的使用量通常为0.01~80重量份,优选为1~70重量份,进一步优选为1~60重量份。此时,如果苯乙酮类化合物的使用量过少,则曝光产生的固化不充分,难以获得着色层图案按照规定的排列配置的彩色滤光片,另一方面,如果过多的话,则形成的着色层在显影时可能容易从基板上脱落。
另外,作为上述联咪唑类化合物的具体例,可举出2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四(4-乙氧羰基苯基)-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2-溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三溴苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等。
这些联咪唑类化合物中,优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑、2,2’-双(2,4,6-三氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑等,特别优选2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑。
这些联咪唑类化合物在溶剂中的溶解性优异,不会产生未溶解物、析出物等杂质,并且灵敏度高,利用能量小的曝光就可以充分地进行固化反应,同时在未曝光部不产生固化反应,因此曝光后的涂膜明确地被区分为对显影液不溶的固化部分和对显影液具有高溶解性的未固化部分,由此,可以形成着色层图案按照规定的排列配置的没有咬边(undercut)的高精细的彩色滤光片。
上述联咪唑类化合物可以单独或者混合2种以上使用。
在本发明中,相对于(C)多官能性单体和单官能性单体的总量100重量份,使用联咪唑类化合物作为光聚合引发剂时的使用量通常为0.01~40重量份,优选为1~30重量份,更优选为1~20重量份。此时,如果联咪唑类化合物的使用量过少,则曝光产生的固化不充分,难以获得着色层图案按照规定的排列配置的彩色滤光片,另一方面,如果过多的话,则在显影时形成的着色层可能容易从基板上脱落或者带来着色层表面的膜粗糙化。
在本发明中,使用联咪唑类化合物作为光聚合引发剂时,考虑到进一步改善灵敏度,优选并用下述的供氢体。
这里所说的“供氢体”是指相对通过曝光由联咪唑类化合物产生的自由基,可以供给氢原子的化合物。
作为本发明中的供氢体,优选下述定义的硫醇类化合物、胺类化合物等。
上述硫醇类化合物是以苯环或杂环为母核,并具有1个以上、优选具有1~3个,更优选具有1~2个直接键合在母核上的巯基的化合物(下面称作“硫醇类供氢体”)。
上述胺类化合物是以苯环或杂环为母核,并具有1个以上、优选具有1~3个,更优选具有1~2个直接键合在母核上的氨基的化合物(下面称作“胺类供氢体”)。
另外,这些供氢体还可以同时具有巯基和氨基。
下面,对供氢体更具体地进行说明。
硫醇类供氢体可以分别具有1个以上的苯环或杂环,另外,还可以具有苯环和杂环两者,具有2个以上这些环时,可以形成稠环也可以不形成稠环。
另外,硫醇类供氢体具有2个以上巯基时,只要残留至少一个游离的巯基,剩余的一个以上巯基也可以用烷基、芳烷基或芳基取代;而且,只要残留至少一个游离的巯基即可,还可以具有如下的结构单元:2个硫原子通过亚烷基等2价的有机基团键合的结构单元;或者2个硫原子以二硫醚的形式键合的结构单元。
而且,硫醇类供氢体还可以在巯基以外的位置,利用羧基、烷氧羰基、取代烷氧羰基、苯氧羰基、取代苯氧羰基、氰基等取代。
作为这样的硫醇类供氢体的具体例,可举出2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2,5-二巯基-1,3,4-噻二唑、2-巯基-2,5-二甲基氨基吡啶等。
这些硫醇类供氢体中,优选2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑,特别优选2-巯基苯并噻唑。
另外,胺类供氢体可以分别具有1个以上的苯环或杂环,另外,还可以具有苯环和杂环两者,具有2个以上这些环时,可以形成稠环也可以不形成稠环。
另外,胺类供氢体的一个以上的氨基可以被烷基或取代烷基取代,另外,在氨基以外的位置还可以利用羧基、烷氧羰基、取代烷氧羰基、苯氧羰基、取代苯氧羰基、氰基等取代。
作为这样的胺类供氢体的具体例,可举出4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4-二乙基氨基苯乙酮、4-二甲基氨基苯丙酮、乙基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲腈等。
这些胺类供氢体中,优选4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
另外,胺类供氢体在使用联咪唑类化合物以外的自由基发生剂的情况下,还具有增敏剂的作用。
在本发明中,供氢体可以单独或混合2种以上使用,但考虑到形成的着色层在显影时难于从基板上脱落,并且着色层强度和灵敏度高,优选组合使用一种以上的硫醇类供氢体和一种以上的胺类供氢体。
作为硫醇类供氢体和胺类供氢体的组合的具体例,可举出2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮等,更优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、2-巯基苯并噁唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮,特别优选的组合是2-巯基苯并噻唑/4,4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。
硫醇类供氢体和胺类供氢体的组合中的硫醇类供氢体和胺类供氢体的重量比通常为1∶1~1∶4,优选为1∶1~1∶3。
在本发明中,相对于(C)多官能性单体和单官能性单体的总量100重量份,在将供氢体与联咪唑系化合物并用时的使用量优选为0.01~40重量份,更优选为1~30重量份,特别优选为1~20重量份。此时,如果供氢体的使用量过少,则灵敏度的改善效果有降低的倾向,另一方面,如果过多,则形成的着色层在显影时倾向于易于从基板上脱落。
另外,作为上述三嗪类化合物的具体例,可列举2,4,6-三(三氯甲基)-均三嗪、2-甲基-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪、2-(4-N-丁氧基苯基)-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪等具有卤甲基的三嗪类化合物。
这些三嗪类化合物中,特别优选2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲基)-均三嗪。
上述三嗪类化合物可以单独或者混合2种以上使用。
在本发明中,相对于(C)多官能性单体和单官能性单体总量100重量份,使用三嗪类化合物作为光聚合引发剂时的使用量优选为0.01~40重量份,更优选为1~30重量份,特别优选为1~20重量份。此时,如果三嗪类化合物的使用量过少,则曝光产生的固化不充分,难以获得着色层图案按照规定的排列配置的彩色滤光片,另一方面,如果过多的话,则形成的着色层在显影时可能容易从基板上脱落。
另外,作为上述O-酰基肟类化合物的具体例,可举出1-[4-(苯基硫代)苯基]庚烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰肟)、1-[4-(苯甲酰基)苯基〕-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮1-(O-乙酰肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮1-(O-乙酰肟)、1-(9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基)-乙酮1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等。
这些O-酰基肟类化合物中,特别优选1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯甲酰肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-乙酮1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基〕-1-(O-乙酰肟)、乙酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]-1-(O-乙酰肟)等。
上述O-酰基肟类化合物可以单独或混合2种以上使用。
在本发明中,使用O-酰基肟类化合物作为光聚合引发剂时,其使用量相对于(C)多官能性单体和单官能性单体的总量100重量份优选为0.01~80重量份,更优选为1~70重量份,特别优选为1~60重量份。此时,如果O-酰基肟类化合物的使用量过少,则曝光产生的固化不充分,难以获得着色层图案按照规定的排列配置的彩色滤光片,另一方面,如果过多的话,则形成的着色层在显影时可能容易从基板上脱落。
-其他添加剂-
本发明的着色层形成用感放射线性组合物以上述(A)~(D)成分为必須成分,根据需要还可以含有其他添加剂。
作为上述其他添加剂,可举出例如,玻璃、氧化铝等填料;聚乙烯醇、聚(氟烷基丙烯酸酯)类等高分子化合物;非离子型表面活性剂、阳离子型表面活性剂、阴离子型表面活性剂等表面活性剂;乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-氨丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷等密合促进剂;2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚等抗氧化剂;2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮类等紫外线吸收剂;聚丙烯酸钠等抗凝剂;丙二酸、己二酸、衣康酸、柠康酸、富马酸、中康酸等残渣改良剂等。
液态组合物的制备
本发明的着色层形成用感放射线性组合物通常配合溶剂而配制成液态组合物。
作为上述溶剂,只要分散或溶解构成感放射线性组合物的(A)~(D)成分或其他添加剂成分,并且不与这些成分反应,具有适度的挥发性,则可以适当选择使用。
作为这样的溶剂,可举出例如:
丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙醚等丙二醇单烷基醚类;
乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单正丙基醚乙酸酯、乙二醇单正丁基醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯、二丙二醇单乙醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯等(聚)烷二醇单烷基醚乙酸酯类;
二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二乙醚等(聚)烷二醇二醚类;
四氢呋喃等其他醚类;
甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类;
二丙酮醇(即,4-羟基-4-甲基戊烷-2-酮)、4-羟基-4-甲基己烷-2-酮等酮醇类;
乳酸甲酯、乳酸乙酯等乳酸烷基酯类;
2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基酢酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基酢酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、酢酸乙酯、酢酸正丙酯、酢酸异丙酯、酢酸正丁酯、酢酸异丁酯、甲酸正戊酯、酢酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其他酯类;
甲苯、二甲苯等芳香族烃类;
N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺等酰胺类等。
这些溶剂中,从溶解性、颜料分散性、涂布性等观点考虑,优选丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单正丙醚乙酸酯、乙二醇单正丁醚乙酸酯、二甘醇单甲醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二丙二醇单甲醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇甲基乙基醚、二丙二醇二甲醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、酢酸正丁酯、酢酸异丁酯、甲酸正戊酯、酢酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。
上述溶剂可以单独或混合2种以上使用。
另外,还可以与上述溶剂同时并用苄基乙基醚、二正己基醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯、乙二醇单苯醚乙酸酯等高沸点溶剂。
上述高沸点溶剂可以单独或混合2种以上使用。
溶剂的使用量没有特别限定,但从得到的液态组合物的涂布性、稳定性等观点考虑,除该组合物的溶剂以外的各成分的总浓度优选为5~50重量%,特别优选为10~40重量%。
彩色滤光片的形成方法
接着,对于使用本发明的着色层形成用感放射线性组合物形成本发明的彩色滤光片的方法进行说明。
形成彩色滤光片的方法通常至少包含下述(1)~(4)的步骤。
(1)在基板上形成本发明的着色层形成用感放射线性组合物的涂膜的步骤;
(2)对该涂膜的至少一部分曝光的步骤;
(3)将曝光后的涂膜显影的步骤;
(4)对显影后的该涂膜进行热处理(下面称为“后烘”)的步骤。
下面,依次对这些步骤进行说明。
-(1)步骤-
首先,在基板的表面上根据需要形成遮光层,使形成像素的部分分开,在该基板上涂布例如含有红色颜料的着色层形成用感放射线性组合物的液态组合物,然后进行预烘,使溶剂蒸发,形成涂膜。
作为在该步骤中使用的基板,例如有玻璃、硅、聚碳酸酯、聚酯、芳香族聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚醚砜以及环状烯烃的开环聚合物或其加氢物等。
另外,在这些基板上根据需要还可以进行利用硅烷偶合剂等的药剂处理、等离子体处理、离子喷镀、溅射、气相反应法、真空蒸镀等适当的前处理。
将液态组合物涂布在基板上时,可以采用旋涂、流涂、辊涂、利用狭缝喷嘴的涂布等适当的涂布法,本发明的感放射线性组合物干燥后在洗涤溶剂中的溶解性高,适用于利用狭缝喷嘴的涂布。
预烘的条件通常为70~110℃、2~4分钟左右。
涂布厚度以除去溶剂后的膜厚计,通常为0.1~10μm,优选为0.2~8.0μm,更优选为0.2~6.0μm。
-(2)步骤-
然后,对形成的涂膜的至少一部分进行曝光。对涂膜的一部分进行曝光时,一般通过具有适当图案的光致掩模来进行曝光。
作为在该步骤中使用的放射线,可使用例如可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等,但优选波长为190~450nm范围的放射线。
放射线的曝光量通常为10~10000J/m2左右。
-(3)步骤-
然后,对曝光后的涂膜优选用碱显影液进行显影,溶解除去涂膜的未曝光分,形成图案。
作为上述碱显影液,优选例如碳酸钠、氢氧化钠、氢氧化钾、四甲基氢氧化铵、胆碱、1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烯等的水溶液。
上述碱显影液中,可以适当添加例如甲醇、乙醇等水溶性有机溶剂或表面活性剂等。另外,碱显影后通常进行水洗。
作为显影处理法,可使用喷淋显影法、喷射显影法、浸渍显影法、液浸(划水)显影法等,本发明的感放射线性组合物在碱显影液中的溶解性高,适用于利用喷淋显影法进行的显影。
显影条件优选在常温下进行5~300秒左右。
-(4)步骤-
然后,通过对显影后的涂膜进行后烘,可以得到包含感放射线性组合物的固化物的像素图案以规定的排列配置的基板。
后烘的条件优选在180~230℃下进行20~40分左右。
这样形成的像素的膜厚通常为0.5~5.0μm,优选为1.5~3.0μm。
另外,通过使用含有绿色或蓝色的颜料的着色层形成用感放射线性组合物的各液态组合物反复进行上述(1)~(4)的步骤,将绿色的像素图案和蓝色的像素图案形成在同一基板上,由此,可以在基板上形成红色、绿色和蓝色的三原色的像素图案以规定的排列配置的着色层。但是,本发明的各色像素图案的形成順序并不限于上述的顺序。
另外,黑矩阵除了使用含有黑色颜料的着色层形成用感放射线性组合物的液态组合物以外,可与上述像素图案的形成进行同样的处理而形成。
彩色滤光片
本发明的彩色滤光片具有使用本发明的着色层形成用感放射线性组合物而形成的着色层。
本发明的彩色滤光片对于例如透射型或反射型的彩色液晶显示元件、彩色摄像管元件、彩色传感器等是极为有用的。
彩色液晶显示元件
本发明的彩色液晶显示元件具有本发明的彩色滤光片。
本发明的彩色液晶显示元件可以采用适当的结构。例如可以采用如下的结构:在不同于配置有薄膜晶体管(TFT)的驱动用基板的其他的基板上形成彩色滤光片,驱动用基板和形成有彩色滤光片的基板通过液晶层相对配置;还可以采用如下结构:在配置有薄膜晶体管(TFT)的驱动用基板的表面上形成了彩色滤光片的基板和形成了ITO(掺杂了锡的氧化铟)电极的基板通过液晶层相对配置。后者的结构具有如下优点:可以显著提高开口率,并可以获得明亮、高精细的彩色液晶显示元件。
实施例
下面,举出实施例更具体地说明本发明的实施方式。但本发明并不限定于下述实施例。
下述各合成例得到的树脂的Mw和Mn通过下述的凝胶渗透色谱法(GPC)测定。
装置:GPC-101(昭和电工(株)制造)。
柱:组合GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804使用。
流动相:含有0.5重量%磷酸的四氢呋喃。
碱可溶性树脂的合成
合成例1
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈2重量份、吡唑-1-二硫代甲酸氰基(二甲基)甲酯4重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着,加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、对枯基苯酚的EO改性丙烯酸酯(东亚合成制造的アロニツクスM-110)30重量份以及苯乙烯20重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈1重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率99%)。该共聚物的Mw=6000、Mw/Mn=1.4。将该共聚物作为“共聚物(S-1)”。
这里所说的聚合转化率,是表示供聚合反应的的溶剂以外的成分中,在聚合反应中消耗的量所占的比例,具体地,通过下述式子计算。
聚合添加率(%)=共聚物溶液的固体成分浓度(%)×所有成分的加入总重量/溶剂以外的成分的加入总重量
共聚物溶液的固体成分浓度如下计算:在铝皿中称量共聚物溶液,在180℃的热板上加热1小时,测定加热前后的重量,通过(加热后的重量×100/加热前的重量)。
合成例2
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈3.5重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、对枯基苯酚的EO改性丙烯酸酯30重量份、苯乙烯20重量份和α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂)10重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈1.5重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率87%)。该共聚物的Mw=17000、Mw/Mn=2.1。将该共聚物作为“共聚物(S-2)”。
合成例3
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈3.5重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、对枯基苯酚的EO改性丙烯酸酯30重量份、苯乙烯20重量份和α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂)10重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈3.5重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率92%)。该共聚物的Mw=22000、Mw/Mn=1.9。将该共聚物作为“共聚物(S-3)”。
合成例4
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈2重量份、吡唑-1-二硫代甲酸氰基(二甲基)甲酯4重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份和苯乙烯20重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈1重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率99%)。该共聚物的Mw=6500、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(S-4)”。
合成例5
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异丁腈2重量份、吡唑-1-二硫代甲酸氰基(二甲基)甲酯4重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份、对枯基苯酚的EO改性丙烯酸酯(东亚合成制造的アロニツクスM-110)30重量份以及苯乙烯20重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈1重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率99%)。该共聚物的Mw=7000、Mw/Mn=1.5。将该共聚物作为“共聚物(S-5)”。
合成例6
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异戊腈7重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份、苯乙烯20重量份和α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂)10重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈3重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率99%)。该共聚物的Mw=6300、Mw/Mn=2.3。将该共聚物作为“共聚物(S-6)”。
合成例7
在装备有冷却管、搅拌机的烧瓶中加入2,2’-偶氮二异戊腈3.5重量份和二丙二醇二甲醚200重量份,接着加入甲基丙烯酸20重量份、N-苯基马来酰亚胺30重量份、甲基丙烯酸苄酯30重量份、苯乙烯20重量份和α-甲基苯乙烯二聚物(分子量控制剂)10重量份,氮气置换后,慢慢搅拌,将反应溶液升温至80℃,保持该温度进行2小时聚合。然后,将反应溶液升温至100℃,追加2,2’-偶氮二异戊腈1.5重量份,再继续进行2小时聚合,由此得到共聚物溶液(聚合转化率99%)。该共聚物的Mw=16000、Mw/Mn=2.0。将该共聚物作为“共聚物(S-7)”。
[显影液浸渍试验]
实施例1
利用金刚石微粉磨机(ダイヤモンドフアインミル)(商品名,三菱マテリアル(株)制造的珠磨机(珠直径1.0mm)将由160重量份作为(A)着色剂的C.I.颜料红254和C.I.颜料黄139的50/50(重量比)混合物、40重量份(以固体成分换算)作为分散剂的Disperbyk2001以及800重量份作为溶剂的3-乙氧基丙酸乙酯构成的混合液混合、分散12小时,制备颜料分散液。
接着,将600重量份该颜料分散液、70重量份(以固体成分换算)作为(B)碱可溶性树脂的共聚物(S-1)、80重量份作为(C)多官能性单体的二季戊四醇六丙烯酸酯、50重量份作为(D)光聚合引发剂的2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮以及作为溶剂的800重量份丙二醇单甲醚乙酸酯和200重量份乙二醇单正丁基醚乙酸酯混合,制备液态组合物(r-1)。
接着,将液状组合物(r-1)旋涂在直径4英寸的钠玻璃基板上,该钠玻璃基板的表面形成用来防止钠离子溶解析出的SiO2膜,然后在80℃的净化烘箱内进行10分钟的预烘,在基板上形成3.0μm的涂膜。
接着,将该基板在通过磁力搅拌器进行搅拌的1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,此时,涂膜完全溶解。
实施例2
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-2)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-2),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜完全溶解。
实施例3
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-3)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-3),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜完全溶解。
比较例1
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-4)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-4),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜不能完全溶解,在液体中观察到大量的不溶解的块状物。
比较例2
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-5)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-5),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜完全溶解。
比较例3
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-6)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-6),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜不能完全溶解,在液体中观察到大量的不溶解的块状物。
比较例4
除了使用70重量份(以固体成分换算)共聚物(S-7)代替共聚物(S-1)以外,与实施例1同样地,制备液态组合物(r-7),并在钠玻璃基板上形成涂膜。
接着,与实施例1同样地,将该基板在1000毫升含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍2分钟,结果,涂膜不能完全溶解,在液体中观察到大量的不溶解的块状物。
由实施例1~3和比较例1~4可知,通过在(B)碱可溶性树脂中共聚上述式(1)表示的不饱和化合物,可以形成在显影液中的溶解性高的涂膜。
[溶剂浸渍试验]
实施例4
将液状组合物(r-1)旋涂在直径4英寸的表面形成了防止钠离子溶解析出的SiO2膜的钠玻璃基板上,然后在23℃的净化烘箱内放置12小时进行干燥,形成涂膜。
接着,将该基板在100毫升丙二醇单甲醚乙酸酯中浸渍2分钟,结果,涂膜完全溶解。
实施例5
除了使用上述液态组合物(r-2)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜完全溶解。
实施例6
除了使用上述液态组合物(r-3)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜不能完全溶解,观察到少量的杂质。
比较例5
除了使用上述液态组合物(r-4)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜完全溶解。
比较例6
除了使用上述液态组合物(r-5)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜完全溶解。
比较例7
除了使用上述液态组合物(r-6)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜完全溶解。
比较例8
除了使用上述液态组合物(r-7)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例4同样地进行溶剂浸渍试验,结果,涂膜不能完全溶解,观察到大量杂质。
由实施例5~6和比较例8可知,通过在(B)碱可溶性树脂中共聚上述式(1)表示的不饱和化合物,具有提高干燥后的着色层形成用感放射线性组合物在洗涤溶剂中的溶解性的效果。
[电压保持率的评价]
实施例7
将液状组合物(r-1)旋涂在钠玻璃基板上,该钠玻璃基板的表面形成了用来防止钠离子溶解析出的SiO2膜,并进一步蒸镀规定形状的ITO(铟-氧化锡合金)电极,然后在90℃的净化烘箱内进行10分钟的预烘,在基板上形成2.0μm的涂膜。
接着,使用高压水银灯不通过光致掩模对涂膜以5000J/m2的曝光量照射包含365nm、405nm和436nm的各波长的放射线。然后,将该基板在23℃的含有0.04重量%氢氧化钾水溶液的显影液中浸渍1分钟,显影后用超纯水洗涤并风干,再于250℃下进行30分钟的后烘,使涂膜固化,在基板上形成红色的像素。该像素的膜厚为1.6μm。
接着,用混合了0.8mm的玻璃珠的密封剂将形成了该像素的基板和只是蒸镀了规定形状的ITO电极的基板贴合,然后注入メルク制造的液晶MLC6608(商品名),制作液晶盒。
接着,将液晶盒放入到60℃的恒温槽中,利用东阳テクニカ制造的液晶电压保持率测定系统VHR-1A型(商品名)测定液晶盒的电压保持率。此时的施加电压为5.5V的方形波,测定频率为60Hz。这里所说的电压保持率是(16.7毫秒后的液晶盒电位差/第0毫秒施加的电压)的值。其结果,电压保持率为95%。
如果液晶盒的电压保持率不到90%,则意味着液晶盒在16.7毫秒的时间不能使施加电压保持在规定水平,不能使液晶充分取向。因此,具有使用液态组合物(r-1)形成的彩色滤光片的液晶显示元件几乎不用担心会引起“烧屏”。
实施例8
除了使用液态组合物(r-2)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为90%。因此,具有使用液态组合物(r-2)形成的彩色滤光片的液晶显示元件几乎不用担心会引起“烧屏”。
实施例9
除了使用液态组合物(r-3)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为93%。因此,具有使用液态组合物(r-3)形成的彩色滤光片的液晶显示元件几乎不用担心会引起“烧屏”。
比较例9
除了使用液态组合物(r-4)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为95%。因此,具有使用液态组合物(r-4)形成的彩色滤光片的液晶显示元件几乎不用担心会引起“烧屏”。
比较例10
除了使用液态组合物(r-5)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为95%。因此,具有使用液态组合物(r-5)形成的彩色滤光片的液晶显示元件几乎不用担心会引起“烧屏”。
比较例11
除了使用液态组合物(r-6)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为47%。因此,具有使用液态组合物(r-6)形成的彩色滤光片的液晶显示元件引起“烧屏”的可能性高。
比较例12
除了使用液态组合物(r-7)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例7同样地制作液晶盒,并测定电压保持率,结果,电压保持率为91%。因此,具有使用液态组合物(r-7)形成的彩色滤光片的液晶显示元件引起“烧屏”的可能性低。
由实施例1~3和比较例1~4可知,通过控制(B)碱可溶性树脂的Mw、Mw/Mn和聚合转化率,可提高电压保持率。
[显影性的评价]
实施例10
将液状组合物(r-1)旋涂在直径4英寸的表面形成了防止钠离子溶解析出的SiO2膜的钠玻璃基板上,然后用90℃的热板进行2分钟的预烘,形成膜厚2.5μm的涂膜。接着,将基板冷却到室温,使用高压水银灯通过光致掩模(狭缝宽度90μm)对涂膜照射包含365nm、405nm和436nm的各波长的紫外线。此时的曝光量为100mJ/cm2。然后,以1kgf/cm2的显影压力(喷嘴直径1mm)向涂膜喷出23℃的0.04重量%氢氧化钾水溶液,进行喷淋显影,然后在220℃下进行30分钟的后烘,在基板上形成红色的条状像素图案。
用光学显微镜观察基板上的像素阵列,结果在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
实施例11
除了使用液态组合物(r-2)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
实施例12
除了使用液态组合物(r-3)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
比较例13
除了使用液态组合物(r-4)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
比较例14
除了使用液态组合物(r-5)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上发现显影残渣,并且发现在像素图案的边缘出现了缺损。
比较例15
除了使用液态组合物(r-6)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
比较例16
除了使用液态组合物(r-7)代替液态组合物(r-1)以外,与实施例10同样地进行显影性的评价,结果,在未曝光部的基板上未发现显影残渣,并且未发现像素图案的边缘缺损。
由实施例10~12和比较例13~16可知,通过在(B)碱可溶性树脂中共聚N-取代马来酰亚胺,可以得到具有优异的显影性的着色层形成用感放射线性组合物。
这里对使用了红色颜料的感放射线性组合物进行评价,但使用了蓝色、绿色、黄色或黑色颜料的感放射线性组合物的情况也得到同样的结果。
由上述(1)显影液浸渍试验、(2)溶剂浸渍试验、(3)电压保持率的评价和(4)显影性的评价可知:配合了作为(B)碱可溶性树脂的含有(b1)、(b2)和(b3)的共聚物的组合物的这些所有评价结果都良好,为可以以高的产品成品率形成不产生“烧屏”的彩色滤光片,另外,可以形成干燥后在洗涤溶剂中的溶解性高,并且在碱显影液中的溶解性也高的涂膜的着色层形成用感放射线性组合物。
Claims (5)
1.着色层形成用感放射性组合物,该组合物含有:(A)着色剂、(B)碱可溶性树脂、(C)多官能性单体和(D)光聚合引发剂,其特征在于,
(B)碱可溶性树脂是含有(b1)选自不饱和羧酸、其酸酐和不饱和酚化合物中的一种、(b2)N-取代马来酰亚胺、以及(b3)下述式(1)表示的不饱和化合物而形成的不饱和化合物的共聚物,
式中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数2~4的亚烷基,R3表示氢原子、碳原子数1~20的烷基或碳原子数7~20的芳烷基,n表示1~10的整数,
其中,构成(B)碱可溶性树脂的共聚物通过凝胶渗透色谱法GPC测定的聚苯乙烯换算重均分子量Mw为1000~25000,并且Mw与通过凝胶渗透色谱法GPC测定的聚苯乙烯换算数均分子量Mn之比Mw/Mn为1.0~2.2,上述共聚物的聚合转化率为80重量%以上。
2.权利要求1所述的感放射性组合物,其中,(B)碱可溶性树脂是通过活性自由基聚合而得到的共聚物。
3.使用权利要求1或2所述的感放射性组合物而形成的彩色滤光片。
4.具备权利要求3所述的彩色滤光片的彩色液晶显示元件。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007-177971 | 2007-07-06 | ||
JP2007177971 | 2007-07-06 | ||
JP2007177971 | 2007-07-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101339365A CN101339365A (zh) | 2009-01-07 |
CN101339365B true CN101339365B (zh) | 2013-06-12 |
Family
ID=40213462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2008101250988A Active CN101339365B (zh) | 2007-07-06 | 2008-07-07 | 感放射线性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5298653B2 (zh) |
KR (1) | KR101488529B1 (zh) |
CN (1) | CN101339365B (zh) |
SG (1) | SG148983A1 (zh) |
TW (1) | TWI444762B (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5151446B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2013-02-27 | 日立化成工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法 |
JP5047057B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2012-10-10 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ |
JP5124341B2 (ja) * | 2008-05-20 | 2013-01-23 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用感光性着色組成物及びカラーフィルタ |
TWI459131B (zh) * | 2008-05-20 | 2014-11-01 | Toyo Ink Mfg Co | 彩色濾光片用感光性著色組成物及彩色濾光片 |
JP2012012602A (ja) * | 2010-07-05 | 2012-01-19 | Lg Chem Ltd | アルカリ可溶性樹脂重合体およびこれを含むネガ型感光性樹脂組成物 |
JP6009774B2 (ja) * | 2011-02-22 | 2016-10-19 | 東京応化工業株式会社 | 感光性樹脂組成物、並びにそれを用いたカラーフィルタ及び表示装置 |
JP5934664B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-06-15 | 富士フイルム株式会社 | 着色感放射線性組成物、着色硬化膜、カラーフィルタ、着色パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子、及び画像表示装置 |
JP6694230B2 (ja) * | 2014-10-22 | 2020-05-13 | 株式会社日本触媒 | アルカリ可溶性樹脂ならびにそれを含む硬化性樹脂組成物 |
CN104650281A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-05-27 | 北京鼎材科技有限公司 | 一种彩色滤光片用碱溶性树脂聚合物及光敏性树脂组合物 |
JP6669439B2 (ja) * | 2015-04-13 | 2020-03-18 | 株式会社日本触媒 | アルカリ可溶性樹脂を含む、フォトスペーサー形成用硬化性樹脂組成物 |
JP7010093B2 (ja) * | 2018-03-19 | 2022-01-26 | Jsr株式会社 | 感放射線性組成物 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006004158A1 (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-12 | Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物とそれを用いたドライフィルム、及びその硬化物 |
WO2006008995A1 (ja) * | 2004-07-15 | 2006-01-26 | Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd. | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物 |
JP2006154740A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-06-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
CN1881082A (zh) * | 2005-03-18 | 2006-12-20 | Jsr株式会社 | 感放射线性树脂组合物、凸起和间隔体及液晶显示元件 |
CN1916761A (zh) * | 2005-08-16 | 2007-02-21 | Jsr株式会社 | 感光性树脂组合物、显示面板用隔垫和显示面板 |
CN1947057A (zh) * | 2004-04-26 | 2007-04-11 | 三菱化学株式会社 | 滤色器用蓝色组合物、滤色器和彩色图像显示装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005316388A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-11-10 | Jsr Corp | カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示装置 |
JP4923496B2 (ja) * | 2005-02-18 | 2012-04-25 | Jsr株式会社 | カラーフィルタ用感放射線性樹脂組成物およびカラーフィルタ |
JP2006235371A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Nitto Denko Corp | 感光性樹脂組成物およびそれを用いて得られるソルダーレジストを有する配線回路基板 |
JP4705426B2 (ja) * | 2005-07-14 | 2011-06-22 | 互応化学工業株式会社 | プリント配線板製造用アルカリ現像型感光性レジストインキ組成物、その硬化物およびプリント配線板 |
JP4923894B2 (ja) * | 2006-09-15 | 2012-04-25 | 東洋インキScホールディングス株式会社 | カラーフィルタ用着色組成物、およびそれを用いたカラーフィルタ |
-
2008
- 2008-06-16 JP JP2008156482A patent/JP5298653B2/ja active Active
- 2008-07-02 TW TW097124946A patent/TWI444762B/zh active
- 2008-07-02 SG SG200804975-1A patent/SG148983A1/en unknown
- 2008-07-04 KR KR20080064989A patent/KR101488529B1/ko active IP Right Grant
- 2008-07-07 CN CN2008101250988A patent/CN101339365B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1947057A (zh) * | 2004-04-26 | 2007-04-11 | 三菱化学株式会社 | 滤色器用蓝色组合物、滤色器和彩色图像显示装置 |
WO2006004158A1 (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-12 | Taiyo Ink Mfg. Co., Ltd. | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物とそれを用いたドライフィルム、及びその硬化物 |
JP2006154740A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-06-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性組成物、パターン形成材料、感光性積層体、並びにパターン形成装置及びパターン形成方法 |
WO2006008995A1 (ja) * | 2004-07-15 | 2006-01-26 | Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd. | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物及びその硬化物 |
CN1881082A (zh) * | 2005-03-18 | 2006-12-20 | Jsr株式会社 | 感放射线性树脂组合物、凸起和间隔体及液晶显示元件 |
CN1916761A (zh) * | 2005-08-16 | 2007-02-21 | Jsr株式会社 | 感光性树脂组合物、显示面板用隔垫和显示面板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009037219A (ja) | 2009-02-19 |
TWI444762B (zh) | 2014-07-11 |
KR20090004763A (ko) | 2009-01-12 |
KR101488529B1 (ko) | 2015-01-30 |
CN101339365A (zh) | 2009-01-07 |
TW200914992A (en) | 2009-04-01 |
JP5298653B2 (ja) | 2013-09-25 |
SG148983A1 (en) | 2009-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101339365B (zh) | 感放射线性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件 | |
CN100380141C (zh) | 着色层形成用感放射线性组合物、彩色滤光片及液晶显示屏 | |
CN101630124B (zh) | 着色层形成用感射线性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN100443931C (zh) | 感放射线性组合物及其调制法 | |
CN102103328B (zh) | 着色组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101930177B (zh) | 着色组合物、滤色器及彩色液晶显示元件 | |
CN101046630B (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101042532B (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物以及滤色器 | |
CN100383565C (zh) | 形成着色层用的感放射线性组合物、彩色滤光器和彩色液晶显示板 | |
CN101403858B (zh) | 着色层形成用放射线敏感性组合物、滤色器及彩色液晶显示元件 | |
CN1532566B (zh) | 用于滤色器的辐射敏感组合物 | |
CN101324753B (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101666975A (zh) | 着色感射线性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101256356B (zh) | 放射线敏感性组合物、彩色滤光片和液晶显示元件 | |
CN101526739A (zh) | 用于形成绿色像素的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101124518A (zh) | 放射线敏感性树脂组合物和滤色器 | |
CN101105627A (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101726999B (zh) | 着色组合物、着色剂分散液、滤色器及彩色液晶显示元件 | |
CN102540711A (zh) | 滤色器用着色组合物、滤色器、显示元件以及滤色器用颜料分散液 | |
CN102213916A (zh) | 着色组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
CN101256359A (zh) | 放射线敏感性组合物、彩色滤光片和彩色液晶显示元件 | |
CN103499911A (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物、滤色器和彩色液晶显示元件 | |
JP2008249987A (ja) | 感光性レジスト組成物およびカラーフィルター | |
CN101266406A (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性组合物 | |
CN101135848A (zh) | 用于形成着色层的放射线敏感性树脂组合物及滤色器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |