CN101307397A - 铜铟镓硒光伏材料真空熔炼方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明是一种铜铟镓硒光伏材料真空熔炼方法和装置,是将铜Cu、铟In、镓Ga、硒Se四种原料装在同一个坩埚中,在真空条件下加热,随着温度升高,熔点最低的Ga与In先熔化成液体,接着Se开始熔化。液态的Se与液态的In、Ga发生剧烈的化合反应,放出大量的热,使坩埚内温度急速上升,高温下Se、In、Ga继续与Cu发生化合反应,并放出大量的热,最后使Cu全部熔化并参与化合反应,形成稳定的铜铟镓硒CuInxGa1-xSe2化合物。

Description

铜铟镓硒光伏材料真空熔炼方法和装置
技术领域:
本发明涉及一种生产太阳能电池材料的生产方法和装置,特别是一种生产铜铟镓硒光伏材料的熔炼方法和装置。
背景技术:
能源危机、环境污染已成为人类急需面对和解决的重大问题。许多国家,特别是一些发达国家,都把开发和利用绿色能源作为国策,给予大力支持和鼓励。太阳能不仅是取之不尽、用之不竭的天然能源,而且能量密度大(在赤道附近太阳能密度约为1千瓦/平方米),便于人类采用;另外,太阳能还是洁净能源,在太阳能电池发电过程中不会产生任何污染。因此,太阳能是人类重点开发的新能源,太阳能电池是利用太阳能发电的有效设备,所以也就成了各国大力研究开发的对象。近年来太阳能电池产业得到了快速发展。
铜铟镓硒材料是指由铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)四种元素或Cu、In(或Ga)、Se三种元素合成的化合物,它们的分子式分别为:CuInxGa1-xSe2、CuInSe2和CuGaSe2,通常简称(写)为:CIGS、CIS和CGS,或CuIn(Ga)Se2。CIGS、CIS和CGS属于化合物型半导体材料,具有光电转换功能,且转换效率高。主要用作薄膜太阳能电池(第二代太阳能电池)的吸收层材料,因此也被称为光伏材料。
单晶硅和多晶硅太阳能电池是第一代太阳能电池,它们的市场占有率大于87%;薄膜电池是第二代太阳能电池,它们的占有率小于13%,其中硅薄膜电池又占有绝对多数的比例。
单晶硅、多晶硅太阳能电池需要消耗大量的高纯硅材料,而生产高纯硅需要消耗大量的能源并造成环境污染。理论上计算,生产1公斤高纯硅,要产生1.57公斤的二氧化碳,实际生产时产生的二氧化碳要比这个数大得多。生产高纯硅消耗的能量约等于硅电池3~4年的发电量。
薄膜太阳能电池消耗的光伏材料少得多,制造成本低,有着广阔的发展前景。但是,硅薄膜太阳能电池转换效率太低(~5%),发展前景有限。碲化镉(CdTe)薄膜电池具有较高的转换效率和较低的生产成本,受到较多的关注,目前已进入批量生产阶段,但因含有剧毒的镉(Cd),废旧电池将会造成严重的环境污染,发展前景不容乐观。
铜铟镓硒CuInxGax-1Se2薄膜太阳能电池是薄膜电池中最有发展潜力的电池。它不仅无毒,对环境没有污染,而且具有更高的转换效率(实验室结果已达到19.3%),因此,受到世界各国的高度重视,并投入大量人力和财力进行研究开发。但是CuInSe2和CuInxGax-1Se2化合物直接制取非常困难。目前主要采取“硒化”的方法制取CuInSe2和CuInxGax-1Se2化合物薄膜。“硒化”法的具体做法是:先把Cu-In-Ga熔炼成合金,并制作成可以用于溅射的靶材,然后通过溅射工艺,在钼(Mo)层上面形成Cu-In-Ga薄膜,再将Se加热蒸发成气体,使Se原子沉积在Cu-In-Ga层上,并通过原子扩散与Cu-In-Ga进行反应生成CuInxGax-1Se2化合物,此过程称为“硒化”。
硒化法制备CuInxGax-1Se2化合物薄膜的缺点是:
1、生产周期长,生产效率低:硒化过程一般不少于6小时;
2、耗能多:Se的沸点是685℃,硒化的温度高于685℃;
3、消耗Se多:只有部分Se蒸汽能够与Cu-In-Ga层接触;
4、Se的蒸汽有剧毒,容易造成安全事故:气态的Se遇水(包括空气中的水)即形成气态H2Se(是一种毒气);另外,气态Se对其他金属具有很强的腐蚀性,容易泄露出Se蒸汽;
5、硒化法制备的CuInxGax-1Se2化合物薄膜中,Se的分布不均匀,存在梯度:靠近钼(Mo)层处Se含量低。
由于硒化法制造CIGS薄膜电池成本太高,所以目前CIGS电池发展缓慢,生产的少量电池仅用在一些需要高转换效率,不计成本的高端领域。
生产CIGS薄膜电池理想的方法是一步溅射法,就是将已经制备好的CIGS材料(靶)通过一次溅射即可制得成份均匀的CIGS薄膜。由于一步溅射法不需要硒化过程,所以与硒化法相比具有明显的优势:
1、大大缩短了生产周期,减少了生产设备;
2、避免了生产过程中的环境污染和潜在的危险;
3、提高了电池质量;
4、降低了生产成本。
目前,多晶硅电池的制造成本约为2.25美元/瓦,消耗能源回收期为3~4年;硒化法制造的CIGS电池(尚未能批量生产)成本估计在3美元/瓦以上,能源回收期为3年左右;一步溅射法制造的CIGS电池成本估计小于1美元/瓦,能源回收期不到1年,而实现一步溅射法生产CIGS薄膜电池的前提条件是必须具有已经制备好的CIGS材料。
但是,Cu、In、Ga、Se四种元素的熔点、沸点相差太大,如表1:
表1         四种元素的熔点和沸点
  元素   Cu   In   Ga   Se
  熔点℃   1085   157   30   221
  沸点℃   2563   2073   2205   685
Se的沸点只有685℃,比Cu的熔点还要低400℃。这意味着,一起熔炼时Cu还是固态,而Se早已全部变为气态了。
2、在熔炼过程中,Se与其他三种元素之间会发生剧烈的反应而产生爆炸。
3、Se的蒸汽对人有剧毒。
4、这四种元素之间可以形成10余种化合物,而可以用来制作CIGS电池的化合物仅有Cu2Se、CuInSe2和CuInxGax-1Se2
基于以上原因,目前全世界范围内还没有采用一次熔炼法制得的CIGS材料。
发明内容:
鉴于上述生产高效无污染太阳能电池CIGS原材料的现状和需要,本发明的目的是设计一种能满足一步溅射法制造CIGS电池所需的CIGS化合物原料的制备方法和装置。
本发明铜铟镓硒光伏材料真空熔炼方法的具体内容如下:
A、CIGS合金材料的制备过程
一、将铜(Cu)、铟(In)、镓(Ga)、硒(Se)四种熔炼原料按照如下的重量百分比
铜      15~21
铟      20~40
镓      0~9
硒      45~55
装在同一个坩埚中,坩埚置于真空容器中,真空容器置于井式电炉中,或坩埚直接置于井式真空电炉中;
二、对坩埚、真空容器或井式真空电炉抽真空,真空度为1×10-1~1×10-3Pa,然后封死抽气管或关闭真空阀,加热过程不再抽真空;
三、对电炉加热
加热温度为550~800℃,持续时间2~4小时;
四、降温、取出合金材料
待炉温降低到50℃以下,打开真空容器或真空电炉炉盖,取出坩埚中熔炼的合金,即得到本发明方法生产的铜铟镓硒CIGS四种元素合成的合金材料,当镓的原料重量为下限0时,所得合金为铜铟硒CIS三种元素合成的合金材料。
本发明的工作原理是:
(1)利用反应热使高熔点的Cu熔化
Cu、In、Ga、Se四种原料装在同一个坩埚中加热,随着温度升高,熔点最低的Ga与In先熔化成液体,接着Se开始熔化。液态的Se与液态的In、Ga便发生剧烈的化合反应,放出大量的热,使坩埚内温度急速上升,高温下Se、In、Ga继续与Cu发生化合反应,并放出大量的热,最后使Cu全部熔化并参与化合反应,形成稳定的CuInxGa1-xSe2化合物。这正是本发明希望得到的化合物半导体材料。
(2)利用高温使其他化合物分解
熔炼过程中会产生多种亚稳定化合物,在高温条件下又会被分解掉。最后得到的熔炼产物是CuInxGa1-xSe2化合物。
(3)利用真空容器解决熔炼的安全问题
Se的沸点仅685℃,熔炼过程中会有Se挥发出来,但在真空容器中Se的蒸气达到一定压力时,即可达到动态平衡,不会再继续挥发。因此Se的挥发量是有限的。熔炼结束后,等到温度降到室温再打开真空容器,Se蒸汽早已凝结成固相,解决了Se蒸汽对操作人员的危害问题。熔炼过程中反应剧烈,会产生断断续续的爆炸。由于特制的真空容器具有足够的强度和塑性,不会在熔炼时破裂,因此解决了由于爆炸引起的安全问题。在真空容器中或真空电炉中熔炼,不仅避免了Se的大量挥发和安全问题,而且也避免了高温时材料的氧化。
本发明成功地解决了CIGS材料的制备技术难题,为高效、低成本的CIGS薄膜太阳能电池的工业化生产创造了关键性条件,而CIGS薄膜太阳能电池将逐步取代现有的硅电池。因此本发明对解决能源危机、环境污染问题具有重大意义。
附图说明
图1是熔炼装置含有真空容器的结构示意图
图2是熔炼装置无真空容器的结构示意图
具体实施方式
材料成分与熔炼工艺实施例1~实施例8如表2:
表2                材料成分与熔炼工艺实施例
Figure A20081004421000071
熔炼装置实施例1
图1所示的含有真空容器熔炼装置的结构示意图中,加热设备由坩埚6、真空容器5和井式电阻炉9组成,坩埚6置于真空容器5的底座上,真空容器5置于井式电炉9底座上,坩埚有盖2,坩埚与坩埚盖密封连接,坩埚盖上有通气孔3,真空容器顶部是沿焊缝4焊接上去的盖,盖上有抽气管1,抽真空后将抽气管焊封起来,坩埚和坩埚盖采用纯度≥99.99%的石英材料制作,真空容器采用2~5mm厚钢板制作,井式电阻炉壁上有均匀排列的电热丝,7是置于坩埚中的炉料。
熔炼装置实施例2
图2所示的无真空容器的熔炼装置结构示意图中。加热设备由坩埚和立式真空电阻炉组成,坩埚6置于井式真空电阻炉9中,坩埚上口有通气孔4,坩埚上有盖5,井式真空电阻炉有真空阀1,坩埚6和坩埚盖5密封连接,均采用纯度≥99.99%的高纯度的石墨材料制作,井式真空电炉炉体上有均匀排列的电热丝,7是置于坩埚中的炉料。

Claims (3)

1、铜铟镓硒光伏材料真空熔炼方法,其特征在于铜铟镓硒合金材料的制备过程如下:
一、将铜Cu、铟In、镓Ga、硒Se四种熔炼原料按照如下的重量百分比
铜    15~21
铟    20~40
镓    0~9
硒    45~55
装在同一个坩埚中,坩埚置于真空容器中,真空容器再置于井式电炉中,或坩埚直接置于井式真空电炉中;
二、对坩埚、真空容器或井式真空电炉抽真空,真空度为1×10-1~1×10-3Pa,然后封死抽气管或关闭真空阀,加热过程不再抽真空;
三、对电炉加热
加热温度为550~800℃,持续时间2~4小时;
四、降温、取出合金材料
待炉温降低到50℃以下,打开真空容器或真空电炉炉盖,取出坩埚中熔炼的合金,即得到本发明方法生产的铜铟镓硒四种元素合成的合金材料,当镓的原料重量为下限0时,所得合金为铜铟硒三种元素合成的合金材料。
2、根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒光伏材料的熔炼装置,其特征在于该装置由坩埚、真空容器和井式电炉组成,坩埚置于真空容器中,真空容器置于井式电炉中,真空容器顶部有抽气管或真空阀,坩埚采用纯度≥99.99%的高纯度的材料如高纯石英坩埚、高纯三氧化二铝坩埚、高纯度高密度石墨坩埚,真空容器采用2~5mm厚钢板制作,炉体上有均匀排列的电热器件。
3、根据权利要求1所述的制备铜铟镓硒光伏材料的熔炼装置,其特征在于该装置由坩埚和井式真空电炉组成,坩埚置于井式真空电炉中,井式真空电炉顶部有真空阀,坩埚采用纯度≥99.99%的高纯度的材料如高纯石英坩埚、高纯三氧化二铝坩埚、高纯度高密度石墨坩埚,井式真空电炉炉体上有均匀排列的电热器件。
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Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102071329A (zh) * 2010-11-25 2011-05-25 广东先导稀有材料股份有限公司 一种铜铟镓硒合金的制备方法
CN102145385A (zh) * 2010-02-10 2011-08-10 昆山正富机械工业有限公司 不含界面活性剂及溶剂的铜铟镓硒浆料的调配方法
CN101671847B (zh) * 2009-10-20 2011-10-12 山东大学 硫族化合物多晶原料的两步合成方法
CN101667610B (zh) * 2009-09-09 2011-12-21 柳州百韧特先进材料有限公司 薄膜太阳能电池吸收层用关键材料的制备方法
CN102054897B (zh) * 2009-10-27 2012-03-28 成都先锋材料有限公司 多元素合金单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
CN102730751A (zh) * 2012-06-13 2012-10-17 成都先锋材料有限公司 铜锌锡硫光伏材料、及其制备方法和制备装置
CN103236472A (zh) * 2013-04-28 2013-08-07 柳州百韧特先进材料有限公司 Cigs薄膜太阳能电池硒化物的制备方法
CN103255367A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 柳州百韧特先进材料有限公司 太阳能电池cigs吸收层靶材的制备方法
CN103290249A (zh) * 2013-06-21 2013-09-11 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103311425A (zh) * 2013-06-21 2013-09-18 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103334020A (zh) * 2013-06-19 2013-10-02 中国核动力研究设计院 一种含有毒蒸汽合金的熔炼方法
WO2013170716A1 (zh) * 2012-05-17 2013-11-21 广东先导稀材股份有限公司 铜铟合金的制备方法
CN103409724A (zh) * 2013-08-16 2013-11-27 宁夏东方钽业股份有限公司 一种铜铟镓硒合金的制备工艺
CN103421974A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 广东先导稀材股份有限公司 铜铟镓合金的制备方法
CN103449383A (zh) * 2013-09-06 2013-12-18 谈逊 一种铜铟镓硒合金的制备方法
CN104925760A (zh) * 2015-07-02 2015-09-23 成都先锋材料有限公司 CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法
CN105070791A (zh) * 2015-08-25 2015-11-18 成都先锋材料有限公司 掺杂铋化合物的cigs及其掺杂方法
CN105118878A (zh) * 2015-07-28 2015-12-02 成都先锋材料有限公司 Cigs的锑化合物掺杂方法
CN107245632A (zh) * 2017-06-07 2017-10-13 广东先导稀材股份有限公司 铜铟镓硒合金的制备方法
WO2019237545A1 (zh) * 2018-06-15 2019-12-19 米亚索乐装备集成(福建)有限公司 一种铜铟镓合金粉末的制备方法

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101667610B (zh) * 2009-09-09 2011-12-21 柳州百韧特先进材料有限公司 薄膜太阳能电池吸收层用关键材料的制备方法
CN101671847B (zh) * 2009-10-20 2011-10-12 山东大学 硫族化合物多晶原料的两步合成方法
CN102054897B (zh) * 2009-10-27 2012-03-28 成都先锋材料有限公司 多元素合金单一靶材制备薄膜太阳能电池的方法
CN102145385A (zh) * 2010-02-10 2011-08-10 昆山正富机械工业有限公司 不含界面活性剂及溶剂的铜铟镓硒浆料的调配方法
CN102071329B (zh) * 2010-11-25 2012-04-25 清远先导材料有限公司 一种铜铟镓硒合金的制备方法
CN102071329A (zh) * 2010-11-25 2011-05-25 广东先导稀有材料股份有限公司 一种铜铟镓硒合金的制备方法
WO2013170716A1 (zh) * 2012-05-17 2013-11-21 广东先导稀材股份有限公司 铜铟合金的制备方法
CN103421974B (zh) * 2012-05-17 2015-11-25 广东先导稀材股份有限公司 铜铟镓合金的制备方法
CN103421974A (zh) * 2012-05-17 2013-12-04 广东先导稀材股份有限公司 铜铟镓合金的制备方法
CN102730751A (zh) * 2012-06-13 2012-10-17 成都先锋材料有限公司 铜锌锡硫光伏材料、及其制备方法和制备装置
CN103236472B (zh) * 2013-04-28 2015-09-30 柳州百韧特先进材料有限公司 Cigs薄膜太阳能电池硒化物的制备方法
CN103236472A (zh) * 2013-04-28 2013-08-07 柳州百韧特先进材料有限公司 Cigs薄膜太阳能电池硒化物的制备方法
CN103255367A (zh) * 2013-04-28 2013-08-21 柳州百韧特先进材料有限公司 太阳能电池cigs吸收层靶材的制备方法
CN103334020A (zh) * 2013-06-19 2013-10-02 中国核动力研究设计院 一种含有毒蒸汽合金的熔炼方法
CN103311425A (zh) * 2013-06-21 2013-09-18 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103290249A (zh) * 2013-06-21 2013-09-11 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103311425B (zh) * 2013-06-21 2015-12-02 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103290249B (zh) * 2013-06-21 2016-03-02 成都先锋材料有限公司 生产热电转换材料的方法、装置及生产溅射靶材的方法
CN103409724A (zh) * 2013-08-16 2013-11-27 宁夏东方钽业股份有限公司 一种铜铟镓硒合金的制备工艺
CN103449383A (zh) * 2013-09-06 2013-12-18 谈逊 一种铜铟镓硒合金的制备方法
CN103449383B (zh) * 2013-09-06 2015-05-13 谈逊 一种铜铟镓硒合金的制备方法
CN104925760A (zh) * 2015-07-02 2015-09-23 成都先锋材料有限公司 CIGS的Na掺杂方法、及其溅射靶材的制作方法
CN105118878A (zh) * 2015-07-28 2015-12-02 成都先锋材料有限公司 Cigs的锑化合物掺杂方法
CN105070791A (zh) * 2015-08-25 2015-11-18 成都先锋材料有限公司 掺杂铋化合物的cigs及其掺杂方法
CN107245632A (zh) * 2017-06-07 2017-10-13 广东先导稀材股份有限公司 铜铟镓硒合金的制备方法
WO2019237545A1 (zh) * 2018-06-15 2019-12-19 米亚索乐装备集成(福建)有限公司 一种铜铟镓合金粉末的制备方法

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