CN101274534A - 液滴喷射涂敷装置及涂敷体的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可抑制喷射不良的液滴喷射涂敷装置。液滴喷射涂敷装置(1)备有：喷射从液体收容部(21)供给的液体的液滴喷射头(H)、从液体收容部(21)通过液体供给流路(31)向液滴喷射头(H)供给液体的液体供给部(P1)、设在液体供给流路(31)中的比液体供给部(P1)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第1缓冲液体储存部(19)、将液体从液滴喷射头(H)通过液体返回流路(32)返回到液体收容部(21)或第1缓冲液体储存部(19)的液体返回部(P3、P4)、以及设在液体返回流路(32、33)中的比液体返回部(P3)靠近液滴喷射头(H)侧并使流入的液体滴下的第2缓冲液体储存部(20)。

Description

液滴喷射涂敷装置及涂敷体的制造方法

技术领域

本发明涉及将若干液滴喷射涂敷到涂敷对象物上的液滴喷射涂敷装置及涂敷体的制造方法。

背景技术

液滴喷射涂敷装置，除了用于图像信息的印刷外，例如还用于液晶显示装置、有机EL(Electro Luminescence)显示装置、电子发射显示装置、等离子显示装置及电泳显示装置等各种平面型显示装置的制造工序。

该液滴喷射涂敷装置，备有把墨水等的液体作为液滴从若干个喷嘴分别向基板等的涂敷对象物喷射的液滴喷射头(例如喷墨头)，用该液体喷射头使若干液滴落到涂敷对象物上，形成预定的涂敷图案，制造各种涂敷体。

墨水通过配管(墨水流路)从墨水槽供给到液滴喷射头。在该配管上设有阀、泵等。另外，为了防止墨水从喷嘴泄漏等，液滴喷射头内的墨水的液压被保持为负压(例如参见专利文献1)。

在该液滴喷射涂敷装置中，由于使用含有难溶材料的墨水，所以，由于墨水的时效变化，该材料产生沉淀，因沉淀而引起喷射不良。为了解决这一问题，提出了使墨水在液滴喷射头与墨水槽之间循环的液滴喷射涂敷装置(例如参见专利文献2)。

专利文献1：日本特开2006-192638号公报

专利文献2：日本特开2004-230652号公报

发明内容

但是，在上述的液滴喷射涂敷装置中，因阀、泵的驱动，压力的变动通过配管内的墨水作用到液滴喷射头上，所以，产生墨水泄漏、空气的吸入等。因此，产生了墨水从喷嘴面渗出、或气泡吸入液滴喷射头内的问题，造成不喷射等的喷射不良。

本发明是鉴于上述问题而做出的，其目的是提供能抑制喷射不良的液滴喷射涂敷装置及涂敷体的制造方法。

本发明实施方式的第1特征是，在液滴喷射涂敷装置中，备有液体收容部、液滴喷射头、液体供给流路、液体供给部、第1缓冲液体储存部、液体返回流路、液体返回部、和第2缓冲液体储存部；上述液体收容部收容液体；上述液滴喷射头，具有供从液体收容部供给的液体通过的内部流路，把通过内部流路的液体作为液滴从喷嘴喷射；上述液体供给流路，将液体收容部与液滴喷射头的内部流路连通，把液体从液体收容部供给到液滴喷射头；上述液体供给部，设在液体供给流路中，把液体从液体收容部通过液体供给流路供给到液滴喷射头；上述第1缓冲液体储存部，设在液体供给流路中的、比液体供给部靠近液滴喷射头侧的位置，使从液体供给流路流入的液体滴下，储存流入的液体；上述液体返回流路，将液滴喷射头的内部流路与液体收容部或第1缓冲液体储存部连通，把通过了液滴喷射头的内部流路的液体，从液滴喷射头返回到液体收容部或第1缓冲液体储存部；上述液体返回部，设在液体返回流路中，把通过了液滴喷射头的内部流路的液体，从液滴喷射头通过液体返回流路，返回到液体收容部或第1缓冲液体储存部；上述第2缓冲液体储存部，设在液体返回流路中的、比液体返回部靠近液滴喷射头侧的位置，使从液体返回流路流入的液体滴下，储存流入的液体。

本发明实施方式的第2特征是，在液滴喷射涂敷装置中，备有液体收容部、液滴喷射头、液体供给流路、液体供给部、第1缓冲液体储存部、液体返回流路、液体返回部、开闭阀、加压部、液槽、移动机构、和控制机构；上述液体收容部收容液体；上述液滴喷射头，具有供从液体收容部供给来的液体通过的内部流路以及形成了与内部流路连通的喷嘴的喷嘴面，把通过内部流路的液体作为液滴从喷嘴喷射；上述液体供给流路，将液体收容部与液滴喷射头的内部流路连通，把液体从液体收容部供给到液滴喷射头；上述液体供给部，设在液体供给流路中，把液体从液体收容部通过液体供给流路供给到液滴喷射头；上述第1缓冲液体储存部，设在液体供给流路中的、比液体供给部靠近液滴喷射头侧的位置，使从液体供给流路流入的液体滴下，储存流入的液体；上述液体返回流路，将液滴喷射头的内部流路与液体收容部连通，把通过了液滴喷射头的内部流路的液体，从液滴喷射头返回到液体收容部；上述液体返回部，设在液体返回流路中，把通过了液滴喷射头的内部流路的液体，从液滴喷射头返回到液体收容部；上述开闭阀开闭液体返回流路；上述加压部，通过第1缓冲液体储存部，对液滴喷射头的内部流路内的液体进行加压；上述液槽收容浸渍液滴喷射头的喷嘴面的液体；上述移动机构，使液滴喷射头和液槽相对移动，把液滴喷射头的上述喷嘴面浸渍到液槽内的液体中；上述控制机构，进行循环准备控制，在该循环准备控制中，把开闭阀关闭，在开闭阀关闭着的状态下，用加压部将液滴喷射头的内部流路内的液体从喷嘴排出，使其作为球状的液球附着在喷嘴的前端，用移动机构把附着了液球的液滴喷射头的喷嘴面浸渍到液槽内的液体中，在液滴喷射头的喷嘴面浸渍在液槽内的液体中的状态下，将开闭阀打开。

本发明实施方式的第3特征是，在涂敷体的制造方法中，具有采用上述第1或第2特征的液滴喷射涂敷装置、对涂敷对象物喷射涂敷液滴的工序。

根据本发明，能抑制喷射不良的发生。

附图说明

图1是表示本发明第1实施方式的液滴喷射涂敷装置的概略构造的立体图。

图2是表示与图1所示液滴喷射涂敷装置的墨水循环有关的各部的概略构造的示意图。

图3是表示图1所示液滴喷射涂敷装置进行的墨水循环动作流程的流程图。

图4是表示与本发明第2实施方式的液滴喷射涂敷装置的墨水循环有关的各部的概略构造的示意图。

图5是具有与图4所示墨水循环有关的各部的液滴喷射涂敷装置进行的墨水循环动作流程的流程图。

图6是说明图5所示墨水循环动作流程中的压力清除的说明图。

图7是表示本发明第3实施方式的液滴喷射涂敷装置的概略构造的立体图。

具体实施方式

(第1实施方式)

下面，参照图1至图3说明本发明的第1实施方式。

如图1所示，本发明第1实施方式的液滴喷射涂敷装置1备有墨水涂敷盒2和墨水供给盒3。墨水涂敷盒2把液体即墨水作为液滴涂敷到涂敷对象物的基板K上。墨水供给盒3向墨水涂敷盒2供给墨水。该墨水涂敷盒2和墨水供给盒3相邻地固定在架台4的上面。

在墨水涂敷盒2的内部，设有保持基板K并使之在X轴方向及Y轴方向移动的基板移动机构5、具有向基板移动机构5上的基板K喷射液滴的液滴喷射头H的液滴喷射头单元6、使该液滴喷射头单元6在X轴方向移动的单元移动机构7、以及清扫液滴喷射头H的头维护单元8。

基板移动机构5包括Y轴方向导板9、Y轴方向移动台10、X轴方向移动台11及基板保持台12。这些Y轴方向导板9、Y轴方向移动台10、X轴方向移动台11及基板保持台12是平板状，重叠地设在架台4的上面。

Y轴方向导板9固定地设在架台4的上面。在该Y轴方向导板9的上面，沿Y轴方向形成了若干导槽9a。这些导槽9a在Y轴方向导引Y轴方向移动台10。

Y轴方向移动台10，在其下面具有分别与各导槽9a卡合的若干突起部(图未示)，可在Y轴方向移动地设在Y轴方向导板9的上面。另外，在Y轴方向移动台10的上面，沿X轴方向形成了若干导槽10a。该Y轴方向移动台10，借助采用进给丝杠及驱动马达的进给机构(图未示)，沿各导槽9a在Y轴方向移动。

X轴方向移动台11，在其下面具有与各导槽10a卡合的突起部(图未示)，可在X轴方向移动地设在Y轴方向移动台10的上面。该X轴方向移动台11，借助采用进给丝杠及驱动马达的进给机构(图未示)，沿各导槽10a在X轴方向移动。

基板保持台12固定地设在X轴方向移动台11的上面。该基板保持台12备有吸附基板K的吸附机构(图未示)，用该吸附机构将基板K固定保持在上面。吸附机构例如采用空气吸附机构等。

单元移动机构7，具有立设在架台4的上面的一对支柱13A、13B、连接在该支柱13A、13B的上端部之间并在X轴方向延伸的X轴方向导板14、和可在X轴方向移动地设在该X轴方向导板14上并且支承液滴喷射头单元6的基座板15。

一对支柱13A、13B以在X轴方向夹着Y轴方向导板9的方式设置。另外，在X轴方向导板14的前面，沿X轴方向形成了导槽14a。该导槽14a在X轴方向导引基座板15。

基座板15，在其背面具有与导槽14a卡合的突起部(图未示)，可在X轴方向移动地设在X轴方向导板14上。该基座板15借助采用进给丝杠及驱动马达的进给机构(图未示)，沿导槽14a在X轴方向移动。在该基座板15的前面，安装着液滴喷射头单元6。

液滴喷射头单元6，如图1及图2所示，备有向基板保持台12上的基板K表面喷射若干液滴的液滴喷射头H、和固定地设在基座板15上并可移动地支承液滴喷射头H的支承移动机构16。

液滴喷射头H备有喷嘴板T(见图2)和若干压电元件(图未示)。在喷嘴板T上具有喷射液滴用的若干个喷嘴(贯通孔)N，上述压电元件分别与各喷嘴N对应地设置着。各喷嘴N以一定的间距排列成一直线地设在喷嘴板T上。该喷嘴板T的外面作为喷嘴面Ta。喷嘴N的数目例如是64个、128个或256个左右。喷嘴N的直径例如为20μm至60μm左右，喷嘴N的间距例如为0.5mm左右。当对各压电元件施加驱动电压时，该液滴喷射头H从各喷嘴N向基板K喷射液滴(墨水滴)，把液滴涂敷到基板K的表面，形成预定的涂敷图案。

支承移动机构16，如图2所示，包括支承液滴喷射头H的支承部件17和Z轴方向移动机构18。该Z轴方向移动机构18使支承部件17在垂直于基板保持台12上的基板K的涂敷面方向、即Z轴方向移动。这样，液滴喷射头H可在Z轴方向移动。

支承部件17是通过安装部件17a支承液滴喷射头H的部件。液滴喷射头H借助安装部件17a，安装在支承部件17的靠基板保持台12一侧的面上。在该支承部件17上，设有收容墨水的第1缓冲槽19和第2缓冲槽20。这些第1缓冲槽19及第2缓冲槽20并排载置在与液滴喷射头H安装面相反侧的面上。

Z轴方向移动机构18，备有安装着支承部件17并可在Z轴方向移动的移动台18a、使该移动台18a在Z轴方向移动的进给丝杠即丝杠轴18b、以及作为该丝杠轴18b的驱动源的马达M。该Z轴方向移动机构18，借助被马达M驱动的丝杠轴18b的旋转，使移动台18a在Z轴方向移动，使支承在支承部件17上的液滴喷射头H在Z轴方向移动。

再如图1所示，头维护单元8设在架台4的上面，在液滴喷射头单元6的移动方向延长线上，离开Y轴方向导板9。该头维护单元8用于清扫液滴喷射头单元6的液滴喷射头H。另外，在液滴喷射头H停止在与头维护单元8相向的维护位置的状态下，头维护单元8自动地清扫液滴喷射头H。

在墨水供给盒3的内部，设有收容墨水的墨水槽等的液体收容部21、和作为墨水流动源的泵部22。借助泵部22的驱动，将液体收容部21内的墨水供给到液滴喷射头H。另外，墨水可采用各种墨水。例如，墨水包括作为残留物残留在基板K上的溶质、和使该溶质溶解(分散)的溶剂。该溶液例如使用含有水、吸水性低蒸气压溶剂(例如EG等)及水溶性膜材料等的墨水。

在架台4的内部，设有控制各部的控制装置23。该控制装置23，备有集中控制各部的CPU等控制部、以及储存有关对基板K涂敷液滴的涂敷信息及各种程序等的存储部(图中均未示)。另外，控制装置23连接着供操作者操作的输入部(图未示)。另外，涂敷信息包含有涂敷图案(例如点图案)、基板K的运送速度及喷射时间等，是与对基板K的涂敷动作有关的信息。

控制装置23根据涂敷信息及各种程序，控制Y轴方向移动台10的移动、X轴方向移动台11的移动、基座板15的移动及支承移动机构16的驱动等。这样，可以使基板保持台12上的基板K与液滴喷射头H的相对位置作各种变化。另外，控制装置23根据涂敷信息及各种程序，控制液滴喷射头H的驱动及泵部22的驱动。

例如，进行涂敷动作时，控制装置23根据涂敷信息及各种程序，控制基板移动机构5及单元移动机构7，使液滴喷射头H位于与基板K相向的涂敷开始位置，然后，一边使基板保持台12在X轴方向移动，一边控制液滴喷射头H，向基板保持台12上的基板K涂敷液滴。这时，液滴喷射头H朝着在X轴方向移动的基板K喷射液滴，在X轴方向依次形成沿Y轴方向排列的点阵，在基板K上涂敷预定的涂敷图案。

下面，详细说明液滴喷射涂敷装置1的、与墨水循环有关的各部。

如图2所示，液滴喷射头H具有内部流路Ha，从液体收容部21供给来的墨水通过该内部流路Ha。液滴喷射头H把通过该内部流路Ha的墨水作为液滴从喷嘴N喷射。

在液体收容部21与液滴喷射头H之间，设有将液体收容部21与液滴喷射头H的内部流路Ha连通的液体供给流路31。该液体供给流路31，是把墨水从液体收容部21供给到液滴喷射头H的流路。该液体供给流路31例如采用管道、管等。

在该液体供给流路31中(途中)，从液体收容部21侧起，依次设有液体供给部P1和第1缓冲槽(第1缓冲液体储存部)19。因此，液体供给流路31包含第1缓冲槽19，包括连通液体收容部21与第1缓冲槽19的流路31a、和连通第1缓冲槽19与液滴喷射头H的流路31b。

液体供给部P1是把墨水从液体收容部21通过液体供给流路31供给到液滴喷射头H的装置。该液体供给部P1例如采用液体用泵等。该液体供给部P1设在泵部22内并与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。

第1缓冲槽19是把液滴喷射头H内的墨水的液压形成为负压的负压槽。该第1缓冲槽19，设在液体供给流路31中的、比液体供给部P1靠近液滴喷射头H侧的位置，使从液体供给流路31的流路31a流入的墨水滴下，储存该流入的墨水。该第1缓冲槽19使墨水沿其内部的内壁面流动，储存沿其内壁面流入的墨水。这时，即使液体供给流路31中存在着气泡，该气泡也能被去除掉。尤其是，也能够去除由于液滴喷射头H的更换等作业而侵入液体供给流路31的流路31a内的气泡。这样，第1缓冲槽19作为从流路31a的墨水中去除气泡的气泡除去部起作用。另外，在第1缓冲槽19内存在空气层。该空气层作为吸收因液体供给部P1及第2液体返回部P4的驱动而引起的压力变动的吸收层起作用。

该第1缓冲槽19，通过排气管19a连接着将槽内减压的减压部P2。该减压部P2设在泵部22内并与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。另外，在排气管19a的路径上，设有压力控制用的调节器R1。减压部P2例如采用真空泵等。借助该减压部P2产生的负压，调节液滴喷射头H的各喷嘴N的墨水液面(弯液面)。这样，可防止墨水的泄漏、喷射不良。

另外，在第1缓冲槽19上，安装着检测其内部液面的液面传感器F。该液面传感器F与控制装置23电连接，当检测到第1缓冲槽19内的墨水小于等于预定量时，将检测信号送到控制装置23。液面传感器F例如采用超声波式的液位计等。

然后，在液滴喷射头H与液体收容部21之间，设有将液滴喷射头H的内部流路Ha与液体收容部21连通的第1液体返回流路32。该第1液体返回流路32，是把通过了液滴喷射头H的内部流路Ha的墨水从液滴喷射头H返回到液体收容部21的流路。第1液体返回流路32例如采用管道、管等。

在该第1液体返回流路32中，从液滴喷射头H侧起，依次设有第2缓冲槽(第2缓冲液体储存部)20、第1阀V1、和第1液体返回部P3。因此，第1液体返回流路32包含第2缓冲槽20，包括连通液体喷射头H与第2缓冲槽20的流路32a、和连通第2缓冲槽20与液体收容部21的流路32b。

第1液体返回部P3，是把通过了液滴喷射头H的内部流路Ha的墨水、从液滴喷射头H通过第1液体返回流路32、返回到液体收容部21的装置。该第1液体返回部P3例如采用液体用泵等。第1液体返回部P3设在泵部22内并与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。第1阀V1是开闭第1液体返回流路32的阀。该第1阀V1与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。

第2缓冲槽20，设在液体返回流路32中的、比第1液体返回部P3靠近液滴喷射头H侧的位置，使从液体返回流路32的流路32a流入的墨水滴下，储存该流入的墨水。该第2缓冲槽20使墨水沿其内部的内壁面流动，储存沿其内壁面流入的墨水。这时，即使液体返回流路32中存在着气泡，该气泡也能被去除掉。尤其是，也能去除由于液滴喷射头H的更换等作业而侵入液体返回流路32的流路32a内的气泡。这样，第2缓冲槽20作为从流路32a的墨水中去除气泡的气泡除去部起作用。另外，在第2缓冲槽20内存在空气层。该空气层作为吸收因第1液体返回部P3及第2液体返回部P4的驱动而引起的压力变动的吸收层起作用。

该第2缓冲槽20连接着大气开放用的排气管20a。在排气管20a的路径上，设有开闭该排气管20a的第2阀V2。该第2阀V2与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。

另外，在液滴喷射头H与第1缓冲槽19之间，设有将液滴喷射头H的内部流路Ha与第1缓冲槽19连通的第2液体返回流路33。该第2液体返回流路33，是把通过了液滴喷射头H的内部流路Ha的墨水、从液喷射头H返回到第1缓冲槽19的流路。第2液体返回流路33例如采用管道、管等。

在该第2液体返回流路33上，从液滴喷射头H侧起，依次设有第2缓冲槽20、第3阀V3和第2液体返回部P4。因此，第2液体返回流路33包含第2缓冲槽20，包括连通液体喷射头H与第2缓冲槽20的流路32a、和连通第2缓冲槽20与第1缓冲槽19的流路33a。流路32a和第2缓冲槽20，都与第1液体返回流路32共用。

第2液体返回部P4，是把通过了液滴喷射头H的内部流路Ha的墨水、从液滴喷射头H通过第2液体返回流路33、返回到第1缓冲槽19的装置。该第2液体返回部P4例如采用液体用泵等。第2液体返回部P4设在泵部22内并与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。第3阀V3是开闭第2液体返回流路33的阀。该第3阀V3与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。

下面，说明上述液滴喷射涂敷装置1的墨水循环动作。液滴喷射涂敷装置1的控制装置23，按照各种程序，执行墨水循环处理。另外，控制装置23，根据液面传感器F的检测结果，控制液体供给部P1，使墨水不少于预定量地从液体收容部21向第1缓冲槽19供给墨水。

如图3所示，根据液滴喷射涂敷装置1的起动，控制装置23将第3阀V3打开，将第2液体返回部P4开启(步骤S1)。这样，第1缓冲槽19内的墨水，从第1缓冲槽19通过流路31b流向液滴喷射头H的内部流路Ha，从该内部流路Ha通过流路32a流向第2缓冲槽20，再从该第2缓冲槽20通过流路33a循环到第1缓冲槽19(第1循环流路)。该第1循环流路的墨水循环常时地(待机中、涂敷动作中等)进行着。

接着，控制装置23判断液滴喷射头H是否停止了例如5分钟或10分钟的预定待机时间(步骤S2)，等待液滴喷射头H停止预定的待机时间(步骤S2的NO)。这里，为了等待基板K从前工序的装置中运送过来、或者处于换产调整中等，液滴喷射头H有时要停止预定的待机时间。

当判断为液滴喷射头H已停止了预定的待机时间时(步骤S2的YES)，打开第1阀V1，开启第1液体返回部P3(步骤S3)。这样，墨水除了在第1循环流路中循环外，还从液体收容部21通过流路31a流向第1缓冲槽19，从第1缓冲槽19通过流路31b流向液滴喷射头H的内部流路Ha，从该内部流路Ha通过流路32a流向第2缓冲槽20，再从第2缓冲槽20通过流路32b循环到液体收容部21(第2循环流路)。

然后，判断是否经过了例如数分钟左右的预定循环时间(步骤S4)，等待经过预定的循环时间(步骤S4的NO)。当判断为已经过了预定的循环时间时(步骤S4的YES)，将第1阀V1关闭，将第1液体返回部P3关闭(步骤S5)，返回步骤S2的处理。这样，第2循环流路的墨水循环停止，第1循环流路的墨水循环继续。

这样，墨水在第1循环流路及第2循环流路中循环。另外，第1循环流路的墨水循环常时地进行着。这样，可以抑制墨水中所含的材料(墨水中的材料)沉淀。结果，可以防止因墨水中的材料沉淀而引起的液滴喷射头H的喷射不良。

另外，在第1缓冲槽19中，流入的墨水沿内壁面流下并储存起来。这时，即使液体供给流路31的流路31a中存在着气泡，该气泡也被去除掉。另外，由于空气层吸收因液体供给部P1及第2液体返回部P4的开启关闭等的驱动所引起的压力变动，所以，可抑制该压力变动通过流路内的墨水作用到液滴喷射头H上。这样，可以防止因压力变动引起的墨水泄漏或空气的吸入等。

另外，第2缓冲槽20也同样地，使流入的墨水沿内壁面流下并储存起来。这时，即使液体返回流路32的流路32a中存在着气泡，该气泡也被去除掉。另外，由于空气层吸收因第1液体返回部P3及第2液体返回部P4的开启关闭等的驱动所引起的压力变动，所以，可抑制该压力变动通过流路内的墨水作用到液滴喷射头H上。这样，可以防止因压力变动引起的墨水泄漏或空气的吸入等。

如上所述，根据本发明的第1实施方式，使从液体供给流路31的流路31a流入的墨水滴下的第1缓冲槽19，设在液体供给流路31中的、比液体供给部P1靠近液滴喷射头H侧的位置。另外，使从液体返回流路32、33的流路32a流入的墨水滴下的第2缓冲槽20，设在液体返回流路32、33中的、比液体返回部P3、P4靠近液滴喷射头H侧的位置。这样，由于第1缓冲槽19和第2缓冲槽20的各空气层吸收因液体供给部P1、液体返回部P3、P4的驱动所引起的压力变动，所以，可防止因压力变动引起的墨水泄漏或空气吸入等。另外，由于墨水在液滴喷射头H的内部流路Ha、液体供给流路31、第1液体返回流路32及第2液体返回流路33内循环，所以，可以抑制墨水内所含的材料沉淀。由此，可以抑制因墨水中的材料沉淀而引起的喷射不良，另外，可以抑制因液体渗出或气泡吸入而引起的喷射不良。

另外，第1缓冲槽19和第2缓冲槽20作为气泡除去部起作用，所以，将气泡从墨水中去除掉，可防止因墨水内的气泡引起的喷射不良。尤其是也能够去除由于液滴喷射头H的更换等作业而侵入流路31a、32a及液滴喷射头H的内部流路Ha中的的气泡。

尤其是，第1缓冲槽19，使从液体供给流路31的流路31a流入的墨水沿其内壁面流动，收容沿内壁面流入的墨水。同样地，第2缓冲槽20，也使从液体返回流路32的流路32a流入的墨水沿其内壁面流动，收容沿内壁面流入的墨水。这样，可用简单的构造，切实地从墨水中去除掉气泡。另外，可以防止空气从流路31a、32a的开口部吸入等。

用上述的液滴喷射涂敷装置1，对作为涂敷对象物的基板K喷射涂敷液滴，不产生喷射不良，可制造例如滤色器、黑底(滤色器的边框)等的各种涂敷体，所以，可防止涂敷体的制造不良，可得到可靠性高的涂敷体。

(第2实施方式)

下面，参照图4至图6，说明本发明的第2实施方式。

本发明的第2实施方式是第1实施方式的变形例。因此，只说明与第1实施方式不同的部分、即液滴喷射涂敷装置1的与墨水循环有关的各部及墨水循环动作。在第2实施方式中，与第1实施方式相同的部分，其说明从略。

在本发明第2实施方式的液滴喷射涂敷装置1中，如图4所示，在液体供给流路31中，从液体收容部21一侧起，依次设有液体供给部P1、第4阀V4、和第1缓冲槽19(第1缓冲液体储存部)。因此，液体供给流路31包含第1缓冲槽19，包括连通液体收容部21与第4阀V4的流路31c、连通第4阀V4与第1缓冲槽19的流路31d、和连通第1缓冲槽19与液滴喷射头H的流路31e。这些流路31c～31e例如采用管道、管等。

这里，墨水例如采用含有间隔粒子的墨水。该墨水涂敷在基板上并干燥后，间隔粒子残留在基板上。间隔粒子是将液晶注入制造液晶显示装置用的2块基板之间时，在该基板间形成均匀间隙的粒子，是具有数微米粒径的刚体。该间隔粒子由树脂等形成，该粒子的比重、粒径比用于着色的颜料大，在墨水内容易沉淀。

在液体收容部21，设有搅拌该液体收容部21内的液体的第1搅拌机构41。第1搅拌机构41备有可旋转地设在液体收容部21内的搅拌部件即螺旋桨41a、和使该螺旋桨41a旋转的驱动源即马达41b。马达41b与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。该第1搅拌机构41相应于控制装置23的控制，驱动马达41b，使浸渍在液体收容部21内的液体中的螺旋桨41a旋转，搅拌液体。

在第1缓冲槽19中，设有搅拌该第1缓冲槽19内的液体的第2搅拌机构42。第2搅拌机构42备有可旋转地设在第1缓冲槽19内的底部的搅拌部件即转动件(搅拌件)42a、和使该转动件42a旋转的搅拌台42b。转动件42a例如是杆状的永磁铁转动件，搅拌台42b例如是用旋转磁力使转动件42a旋转的搅拌器。搅拌台42b设在支承部件17上，第1缓冲槽19设置在该搅拌台42b上。搅拌台42b与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。该第2搅拌机构42相应于控制装置23的控制，驱动搅拌台42b，使沉在第1缓冲槽19内的底部的转动件42a旋转，搅拌液体。

第1缓冲槽19作为将液滴喷射头H内的墨水的液压形成为负压的负压槽起作用，另外，也作为将液滴喷射头H内的墨水的液压形成为正压的正压槽起作用。与该第1缓冲槽19连接着的减压部P2作为减压装置起作用，另外，也作为借助调节器R1的压力调节、通过排气管19a对槽内加压的加压装置(加压部)起作用。因此，根据需要(例如进行压力清除时等)，在第1缓冲槽19内，借助调节器R1的压力调节施加压力，将墨水从液滴喷射头H的各喷嘴N挤出。另外，在第1缓冲槽19上，也可以连接负压调节槽来代替调节器R1和减压部P2。

在第1液体返回流路32中，从液滴喷射头H侧起，依次设有第5阀V5、第6阀V6、和第1液体返回部P3。因此，第1液体返回流路32包含连通液滴喷射头H与第5阀V5的流路32c、连通第5阀V5与第6阀V6的流路32d、以及连通第6阀V6与液体收容部21的流路32e。另外，连通第4阀V4与第6阀V6的流路34设在它们之间。这些流路32c～32e、34例如是采用管道、管等。

这里，第4阀V4和第6阀V6是三通阀，是切换流路用的切换阀。这些第4阀V4和第6阀V6与控制装置23电连接，它们的驱动由控制装置23控制。第5阀V5是开闭第1液体返回流路32的阀。该第5阀也与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。第4阀V4、第5阀V5、第6阀V6例如采用电磁阀等。

头维护单元8(参见图1)，备有收容墨水或溶剂等液体的液槽单元43。液槽单元43备有收容墨水或溶剂等液体的液槽43a、和使该液槽43a在Z轴方向移动的液槽移动机构43b。液槽移动机构43b与控制装置23电连接，其驱动由控制装置23控制。该液槽单元43利用液槽移动机构43b使液槽43a靠近停止在维护位置状态的液滴喷射头H，将液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a的液体内。另外，这里，是使用液槽移动机构43b，但并不限定于此，例如也可以使用Z轴方向移动机构18，使液滴喷射头H靠近液槽43a，将液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中。

下面，说明上述液滴喷射涂敷装置1的墨水循环动作。液滴喷射涂敷装置1的控制装置23，按照各种程序执行墨水循环动作。墨水循环动作可在任意时间执行。所谓的任意时间，例如是液滴喷射涂敷装置1在预定时间未起动时的时间、或者由操作者选择的时间等。例如，在输入部的开始按钮等被操作者按下时，就执行墨水循环动作。另外，控制装置23通常是根据液面传感器F的检测结果来控制液体供给部P1，即，使得墨水不少于预定量地、从液体收容部21向第1缓冲槽19供给墨水。该墨水的供给，是在第4阀V4被控制、流路31c与流路31d连接、液体收容部21与第1缓冲槽19连通的状态下进行的。

如图5所示，控制装置23在任意时间，驱动第4阀V4和第6阀V6，将流路31c、流路34及流路32e连接，形成第1循环流路(步骤S11)，将第1液体返回部P3开启(步骤S12)。然后，控制装置23判断是否经过了预定时间(例如数分钟)(步骤S13)，等待预定时间的经过(步骤S13的NO)。这样，液体收容部21内的墨水，通过第1循环流路，循环返回到液体收容部21。该墨水循环进行预定时间，在第1循环流路内，可防止液体所含的材料(粒子等)沉淀。

当判断为经过了预定时间时(步骤S13的YES)，将第5阀V5关闭，进行压力清除(见图6)(步骤S14)，使球状的液球附着在停止在维护位置状态的液滴喷射头H的各喷嘴N的前端，接着，把附着了液球的喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中(步骤S15)，将第5阀V5打开(步骤S16)。

具体地说，作为墨水循环的准备工作，控制装置23将第5阀V5关闭，在第5阀V5关闭着的状态，通过第1缓冲槽19进行压力清除(加压)，通过该压力清除，如图6所示，把液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体从各喷嘴N排出，并使其成为球状的液球附着在各喷嘴N的前端，借助液槽移动机构43b、把附着了液球的液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中，在液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍在液槽43a内的液体中的状态下，打开第5阀V5，这样地进行循环准备控制。另外，压力清除的压力设定为，将液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体从各喷嘴N排出、使其成为球状的液球附着在各喷嘴N前端的压力。

通常，为了防止墨水泄漏等，对喷嘴N前端的液面施加负压，喷嘴N的前端的液面(弯液面)是朝内侧凹的状态。如果在该状态，将液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中，则在喷嘴N的前端会产生气泡，该气泡通过喷嘴N侵入液滴喷射头H的内部。为了防止这一点，使球状的液球附着在喷嘴N的前端，然后，把液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中。这样，使球状的液球附着在喷嘴N的前端，由于喷嘴N的前端的液面成为朝外侧隆起的状态，所以，在液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中时，不产生气泡。

另外，通常由于阀、泵的驱动，压力的变动通过配管内的墨水作用在液滴喷射头H上。但是，由于在墨水循环动作之前，把液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中，所以，即使因压力的变动造成墨水从液滴喷射头H的各喷嘴N泄漏，该泄漏的墨水也被收容在液槽43a内，另外，也能防止从各喷嘴N吸入空气等。另外，也防止因墨水循环的波动而导致气泡从喷嘴N混入。另外，通过在压力清除前关闭第5阀V5，能对所有的各喷嘴N均匀地施加压力，所以，借助压力清除，可以将墨水稳定地从各喷嘴N挤出。

接着，控制装置23驱动第4阀V4和第6阀V6，将流路31c和流路31d连接，将流路32d和流路32e连接，形成第2循环流路(步骤S17)。然后，控制装置23判断是否经过了预定时间(例如数分钟)(步骤S18)，等待预定时间的经过(步骤S18的NO)。这样，液体收容部21内的墨水通过第2循环流路，返回到液体收容部21进行循环。该墨水循环进行预定时间，在第2循环流路内，可防止液体所含的材料(粒子等)沉淀。这时，虽然第1缓冲槽19内的液体减少，但是，根据液面传感器F的检测结果，液体供给部P1被驱动，使得墨水不少于预定量地、从液体收容部21向第1缓冲槽19供给墨水。

当判断为经过了预定时间时(步骤S18的YES)，将第1液体返回部P3开启(步骤S19)，把液滴喷射头H的喷嘴面Ta从液槽43a内的液体中提起(步骤S20)，将第5阀V5关闭，再次进行预定时间的压力清除，最后将第5阀V5打开(步骤S21)。然后，液滴喷射头H的喷嘴面Ta被头维护单元8清扫，液滴喷射头H等待着进行涂敷动作。另外，第1液体返回部P3关闭时，判断为墨水循环动作已停止。

具体地说，控制装置23，在墨水循环动作停止了时，借助液槽移动机构43b、把液滴喷射头H的喷嘴面Ta从液槽43a内的液体中提起，将第5阀V5关闭，在第5阀V5关闭着的状态，通过第1缓冲槽19进行压力清除(加压)，借助该压力清除，将液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体从各喷嘴N挤出，将第5阀V5打开，这样进行循环完成控制。然后，控制装置23用头维护单元8清扫液滴喷射头H的喷嘴面Ta。

通常，在墨水循环时，由于喷嘴N附近的墨水流动停滞，所以，在该部分，液体所含的材料(粒子等)沉淀。为了防止这一点，在泵送液停止时、即墨水循环完成时，利用压力清除，进行墨水的挤出、即把墨水从各喷嘴N挤出。这样，液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体，从各喷嘴N垂流地排出，所以，可防止喷嘴N附近的液体所含的材料(粒子等)沉淀。

除了该墨水循环外，控制装置23相应于液滴喷射涂敷装置1的起动，驱动第1搅拌机构41和第2搅拌机构42，搅拌液体收容部21内的液体和第1缓冲槽19内的液体。这样，液体收容部21内的液体和第1缓冲槽19内的液体被常时地搅拌，可以抑制液体中所含的材料(粒子等)沉淀，所以，可以防止因该沉淀引起的喷射不良。

如上所述，根据本发明的第2实施方式，作为墨水的循环准备，在第5阀V5关闭着的状态，用压力清除(加压)将液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体从各喷嘴N排出，使其作为球状的液球附着在各喷嘴N的前端(见图6)，借助液槽移动机构43b、把附着了液球的液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中，这样，在墨水循环动作之前、液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中，即使因压力变动造成墨水从液滴喷射头H的各喷嘴N泄漏，该泄漏的墨水也收容在液槽43a内，另外，也防止从各喷嘴N吸入空气等。另外，由于墨水在第1循环流路和第2循环流路中循环，所以，可以抑制墨水所含的材料(粒子等)沉淀。另外，也能防止墨水循环动作时因墨水循环的波动而造成的气泡从喷嘴N混入。基于上述因素，可以抑制因墨水中的材料沉淀引起的喷射不良，另外，也可抑制因液体渗出或气泡吸入等引起的喷射不良。

尤其是，使球状的液球附着在喷嘴N的前端后，再将液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中。因此，在喷嘴N的前端附着了球状的液球时，喷嘴N的前端的液面成为朝外侧隆起的状态，所以，在液滴喷射头H的喷嘴面Ta浸渍到液槽43a内的液体中时，不产生气泡。这样，可切实防止因气泡吸入而引起的喷射不良。

另外，在墨水循环动作停止了时，在第5阀V5关闭着的状态，借助压力清除(加压)，把液滴喷射头H的内部流路Ha内的液体从各喷嘴N排出，这样，墨水循环时停滞着的、喷嘴N附近的墨水，被从喷嘴N挤出。这样，可防止因喷嘴N附近的墨水停滞引起的材料(粒子等)沉淀，所以，可保持墨水中的材料浓度，切实防止因喷嘴N附近的墨水中材料的沉淀引起的喷射不良。

另外，由于设置了搅拌液体收容部21内的液体的第1搅拌机构41、和搅拌第1缓冲槽19内的液体的第2搅拌机构42，所以，液体收容部21内的液体和第1缓冲槽19内的液体被常时地搅拌，可抑制液体所含的材料(粒子等)沉淀，因此，可切实防止因该沉淀引起的喷射不良。另外，第1搅拌机构41和第2搅拌机构42也可用于第1实施方式。另外，也可以把第1搅拌机构41和第2搅拌机构42中的任一方设置在第1实施方式的第2缓冲槽20内。

另外，与前述第1实施方式同样地，第1缓冲槽19作为气泡除去部，由于从墨水中去除了气泡，所以，可防止因墨水内的气泡引起的喷射不良。尤其是，也可以去除掉因液滴喷射头H的更换等作业而侵入流路31d中的气泡。尤其是，第1缓冲槽19使得从液体供给流路31的流路31d流入的墨水沿内壁面流动，收容沿内壁面流入的墨水，这样，可用简单的构造，切实地从墨水中去除气泡。另外，可防止从流路31d的开口部吸入空气等。

另外，用前述的液滴喷射涂敷装置1，对作为涂敷对象物的基板K喷射涂敷液滴，不产生喷射不良，可制造在具有例如滤色器等的基板上涂敷了球状间隔的涂敷体，可防止涂敷体的制造不良，可得到可靠性高的涂敷体。

(第3实施方式)

下面，参照图7说明本发明的第3实施方式。

本发明的第3实施方式是第1实施方式的变形例。因此，只说明与第1实施方式不同的部分、即排出机构51。在该第3实施方式中，与第1实施方式中相同的部分，其说明从略。

在本发明第3实施方式的液滴喷射涂敷装置1中，如图7所示，在墨水涂敷盒2内设有排出机构5。该排出机构5，把液滴喷射头H试涂敷(试喷射)了液滴的试涂敷基板(试涂敷用的涂敷对象物)Ka排出到外部。被该排出机构51排出的试涂敷基板Ka，由取出用试样取出盒52接收。

排出机构51备有载置试涂敷基板Ka的台51a、和将该台51a在X轴方向移动到墨水涂敷盒2外的排出移动机构51b。该排出移动机构51b使台51a从设在墨水涂敷盒2上的可开闭闸门2a移动到外部，把台51a上的试涂敷基板Ka排出。该排出移动机构51b例如采用进给丝杠机构、线性马达机构等。

试样取出盒52将从墨水涂敷盒2的闸门2a排出的试涂敷基板Ka与台51a一起加以接收，并具有可开闭的闸门52a。该试样取出盒52的内部环境保持为与墨水涂敷盒2同样的环境状态(温度、湿度等)。在试涂敷基板Ka的排出时，墨水涂敷盒2的闸门2a被打开，试涂敷基板Ka被排出机构51从墨水涂敷盒2排出到试样取出盒52内。这时，即使墨水涂敷盒2的闸门2a是打开的状态，也保持着墨水涂敷盒2及试样取出盒52的气密性。采用该试样取出盒52，可以抑制因试涂敷基板Ka的排出、即墨水涂敷盒2的闸门2a的开闭而引起的墨水涂敷盒2内的环境改变。

在此，墨水例如采用含有间隔粒子的墨水。该墨水涂敷在基板上并干燥后，间隔粒子残留在基板上。间隔粒子是将液晶注入制造液晶显示装置用的2块基板之间时，在该基板间形成均匀间隙的粒子，是具有数微米粒径的刚体。该间隔粒子由树脂等形成，该粒子的比重、粒径比用于着色的颜料大，在墨水内容易沉淀。

在上述的液滴喷射涂敷装置1中，液滴喷射头H移动到与排出机构51的台51a上的试涂敷基板Ka相向的位置，对该试涂敷基板Ka进行试涂敷用的液滴涂敷。该试涂敷，在正式涂敷前(制造涂敷前)进行，另外，根据需要，例如可在每预定时间进行、或制造涂敷结束时等进行。试涂敷后，墨水涂敷盒2的闸门2a打开，台51a移动到墨水涂敷盒2的外部、即试样取出盒52的内部，台51a上的试涂敷基板Ka被排出到试样取出盒52内。然后，墨水涂敷盒2的闸门2a关闭。最后，试样取出盒52的闸门52a打开，试涂敷基板Ka被作业员或机械手等从试样取出盒52中取出，运送到检查装置，由该检查装置检查。这时，检查例如液滴的弹射位置、液滴的弹射面积等。尤其是在使用含有间隔粒子的墨水时，在涂敷了液滴的试涂敷基板Ka由干燥装置干燥后，进行间隔粒子在预定范围(预定的弹射面积)是否存在预定数目等的间隔个数检查。如果检查结果合格，则液滴喷射涂敷装置1进行制造涂敷。

如上所述，根据本发明的第3实施方式，可得到与第1实施方式同样的效果。另外，由于设置了排出机构51，根据需要可将试涂敷基板Ka排出装置外，所以，可进行利用该试涂敷基板Ka的涂敷检查。尤其是在使用含间隔粒子的墨水时，在涂敷了液滴的试涂敷基板Ka由干燥装置干燥后，可进行间隔个数检查，所以，可准确地进行间隔个数检查。通常，对于在液滴完全干燥前、光学地检查该液滴中所含的间隔个数，由于溶剂的折射率差、反射率差极小，很难分辨。

(其它实施方式)

本发明不限定于上述实施方式，在不脱离其要旨的范围内可作各种变更。

例如，在前述实施方式中，在液体供给流路31、第1液体返回流路32及第2液体返回流路33中，未设置去除杂质等的过滤器，但是并不限定于此，也可以设置过滤器。另外，在液体供给流路31、第1液体返回流路32及第2液体返回流路33中，也可以设置去除墨水中的溶解气体的脱气部。

另外，在前述实施方式中，是常时地将第3阀V3打开、将第2液体返回部P4开启，但并不限定于此，例如，也可以在每预定时间等的时间，将第3阀V3打开、将第2液体返回部P4开启。另外，也可以常时地将第1阀V1打开、将第1液体返回部P3开启。

另外，在前述实施方式中，在涂敷动作时，是使基板K相对于液滴喷射头H移动，但并不限定于此，也可以使液滴喷射头H相对于基板K移动，只要使液滴喷射头H和基板K相对移动即可。

另外，在前述实施方式中，只设置了一个液滴喷射头H，但并不限定于此，也可以设置若干个液滴喷射头H，其数目没有限定。

最后，在前述实施方式中，例举了各种数值，但是这些数值仅作为例示，并不受限定。

Claims (8)

1.一种液滴喷射涂敷装置，其特征在于，备有液体收容部、液滴喷射头、液体供给流路、液体供给部、第1缓冲液体储存部、液体返回流路、液体返回部、和第2缓冲液体储存部；

上述液体收容部收容液体；

上述液滴喷射头具有供从上述液体收容部供给来的液体通过的内部流路，把通过上述内部流路的上述液体作为液滴从上述喷嘴喷射；

上述液体供给流路，将上述液体收容部与上述液滴喷射头的上述内部流路连通，把上述液体从上述液体收容部供给到上述液滴喷射头；

上述液体供给部，设在上述液体供给流路中，把上述液体从上述液体收容部通过上述液体供给流路供给到上述液滴喷射头；

上述第1缓冲液体储存部，设在上述液体供给流路中的、比上述液体供给部靠近上述液滴喷射头侧的位置，使从上述液体供给流路流入的上述液体滴下，储存流入的上述液体；

上述液体返回流路，将上述液滴喷射头的上述内部流路与上述液体收容部或上述第1缓冲液体储存部连通，把通过了上述液滴喷射头的上述内部流路的上述液体，从上述液滴喷射头返回到上述液体收容部或上述第1缓冲液体储存部；

上述液体返回部，设在上述液体返回流路中，把通过了上述液滴喷射头的上述内部流路的上述液体，从上述液滴喷射头通过上述液体返回流路，返回到上述液体收容部或上述第1缓冲液体储存部；

上述第2缓冲液体储存部，设在上述液体返回流路中的、比上述液返回部靠近上述液滴喷射头侧的位置，使从上述液体返回流路流入的上述液体滴下，储存流入的上述液体。

2.如权利要求1所述的液滴喷射涂敷装置，其特征在于，上述第1缓冲液体储存部，使从上述液体供给流路流入的上述液体沿内壁面流动，收容沿上述内壁面流入的上述液体；上述第2缓冲液体储存部，使从上述液体返回流路流入的上述液体沿内壁面流动，收容沿上述内壁面流入的上述液体。

3.一种液滴喷射涂敷装置，其特征在于，备有液体收容部、液滴喷射头、液体供给流路、液体供给部、第1缓冲液体储存部、液体返回流路、液体返回部、开闭阀、加压部、液槽、移动机构、和控制机构；

上述液体收容部收容液体；

上述液滴喷射头具有供从上述液体收容部供给来的液体通过的内部流路以及形成了与内部流路连通的喷嘴的喷嘴面，把通过上述内部流路的上述液体作为液滴喷射；

上述液体供给流路，将上述液体收容部与上述液滴喷射头的上述内部流路连通，把上述液体从上述液体收容部供给到上述液滴喷射头；

上述液体供给部，设在上述液体供给流路中，把上述液体从上述液体收容部通过上述液体供给流路供给到上述液滴喷射头；

上述第1缓冲液体储存部，设在上述液体供给流路中的、比上述液体供给部靠近上述液滴喷射头侧的位置，使从上述液体供给流路流入的上述液体滴下，储存流入的上述液体；

上述液体返回流路，将上述液滴喷射头的上述内部流路与上述液体收容部连通，把通过了上述液滴喷射头的上述内部流路的上述液体，从上述液滴喷射头返回到上述液体收容部；

上述液体返回部，设在上述液体返回流路中，把通过了上述液滴喷射头的上述内部流路的上述液体，从上述液滴喷射头返回到上述液体收容部；

上述开闭阀开闭上述液体返回流路；

上述加压部，通过上述第1缓冲液体储存部，对上述液滴喷射头的上述内部流路内的上述液体进行加压；

上述液槽收容浸渍上述液滴喷射头的喷嘴面的液体；

上述移动机构，使上述液滴喷射头和上述液槽相对移动，把上述液滴喷射头的上述喷嘴面浸渍到上述液槽内的上述液体中；

上述控制机构，进行循环准备控制，在该循环准备控制中，把上述开闭阀关闭，在上述开闭阀关闭着的状态下，用上述加压部将上述液滴喷射头的上述内部流路内的上述液体从上述喷嘴排出，使其作为球状的液球附着在上述喷嘴的前端，用上述移动机构把附着了上述液球的上述液滴喷射头的上述喷嘴面浸渍到上述液槽内的上述液体中，在上述液滴喷射头的上述喷嘴面浸渍在上述液槽内的液体中的状态下，将上述开闭阀打开。

4.如权利要求3所述的液滴喷射涂敷装置，其特征在于，上述控制机构进行循环完成控制，在该循环完成控制中，在使上述液体循环的循环动作停止了时，将上述开闭阀关闭，在上述开闭阀关闭着的状态下，用上述加压部将上述液滴喷射头的上述内部流路内的上述液体从上述喷嘴排出，将上述开闭阀打开。

5.如权利要求3所述的液滴喷射涂敷装置，其特征在于，上述第1缓冲液体储存部，使从上述液体供给流路流入的上述液体沿内壁面流动，收容沿上述内壁面流入的上述液体。

6.如权利要求1所述的液滴喷射涂敷装置，其特征在于，备有搅拌上述液体收容部内的上述液体的第1搅拌机构、和搅拌上述第1缓冲液体储存部内的上述液体的第2搅拌机构。

7.如权利要求1所述的液滴喷射涂敷装置，其特征在于，备有排出机构，该排出机构把用上述液滴喷射头试涂敷了上述液滴的试涂敷用涂敷对象物排出到外部。

8.一种涂敷体的制造方法，其特征在于，具有采用权利要求1至7中任一项所述的液滴喷射涂敷装置，对涂敷对象物喷射涂敷液滴的工序。

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