CN112757796A - 一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统与方法 - Google Patents

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Abstract

本发明属于喷墨印刷制造技术相关领域，并公开了一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统，其包括基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块、膜厚检测模块以及控制模块，并通过这多个模块的设计配合来实现空基板检测、喷孔检测、飞行墨滴检测、液膜检测和固化膜检测等一系列操作。本发明还公开了相应的显示器件喷印制造全过程质量检测方法。通过本发明，有效弥补了现有技术中仅检测单个环节而未考虑全局的不足，实现对显示器件喷墨印刷制造过程各个环节的高精度质量检测，并显著提高了显示器件产品的质量和良品率。

Description

一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统与方法
技术领域
本发明属于喷墨印刷制造技术相关领域，更具体地，涉及一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统与方法。
背景技术
新型显示器件正朝着超高分辨率、大尺寸、轻薄柔性和低成本方向发展，传统的基于真空镀膜的显示器制造技术存在制备工艺复杂、高成本、高能耗等问题，而以按需压电喷墨及新兴的电流体喷印技术为主流的印刷显示技术，不仅是高精度的图案化制造技术，而且具有低成本、柔性化、可大面积生产等显著特点，因此是未来新型显示产业的重要发展方向之一。
目前喷墨印刷技术用于显示器件制造所面临的一个关键问题是如何减少打印缺陷，提高显示器件的良品率。具体而言，在喷印制造各类显示器件尤其是新型显示器件的过程中，空基板缺陷、喷孔缺陷、墨滴异常等多个技术问题都可能导致喷墨印刷的器件在液膜、固化膜阶段出现缺陷，最终形成显示器件产品的缺陷。相应地，有必要对喷墨制造的各个环节进行全面质量检测，并通过闭环反馈控制提高喷墨印刷质量。
现有技术已经提出了一些涉及喷墨印刷过程中缺陷检测的技术方案，但基本上都是关注于其中某一个环节来进行检测未形成系统化的综合设计，并未充分考虑环节之间的关联，或是检测对象和实现技术尚不够完善，因而无法从整个喷墨印刷过程层面给出妥当的缺陷整体控制方案。例如，现有技术中关于玻璃基板缺陷检测的技术方案，侧重于基板本身的检测却未考虑基板缺陷对后续喷墨印刷质量的影响；现有技术对于喷孔的检测仅关注了喷孔定位问题，却未对喷孔制造缺陷、墨液残留等问题进行检测，更没提出根据喷墨印刷缺陷反推喷孔缺陷的解决手段；现有的墨滴检测技术多是进行单视角检测，所测参数不全，等等。
此外，现有技术中涉及喷墨印刷液膜的检测方案较少，一般是对固化膜进行检测，并未涉及到与液膜缺陷的定义和缺陷检测算法等相关的液膜检测方案。对于固化膜检测而言，现有的在线检测方案一般仅通过相机拍照无法测得精确的膜厚和体积，白光干涉技术目前仅用在离线测量阶段，无法在线测量液膜和固化膜厚度等信息。现有技术中对于液膜、固化膜的检测，均未给出通过闭环控制调节前段工艺从而减少缺陷的解决方案。
相应地，如何对喷墨印刷制造的各个环节进行有效的全面在线检测，形成显示器件喷墨印刷制造的全过程质量高精度检测，并综合考虑各环节检测结果来进行系统化的质量控制，正构成为本领域亟待解决的关键技术需求。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或技术需求，本发明的目的在于提供一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统与方法，其中一方面通过对全过程质量检测的关键组成模块构造及其工作方式进行全新的设计，能够高效实现包括空基板检测、喷孔检测、飞行墨滴检测、液膜检测和固化膜检测等一系列操作的全面系统化质量检测，弥补了现有技术中仅检测单个环节而未考虑全局的不足；另一方面，本发明还进一步对各个检测环节的检测算法和工艺步骤进行了研究改进，并在整个喷印制造过程中形成检测和控制闭环，相应可实现更高精度和更为完善的质量检测和调控，显著提高显示器件产品的良品率，因而尤其适用于各类超高分辨率、大尺寸、轻薄柔性的新型显示器件加工制造应用场合。
相应地，按照本发明的一个方面，提供了一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统，其特征在于，该系统包括基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块、膜厚检测模块以及控制模块，其中：
该基板检测模块包括大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)和高分辨率视觉单元(11)，其中所述大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)均设置在具有Y2、Z2自由度也即第二水平纵向自由度、第二竖直方向自由度的运动部件上，并分别用于对喷墨印刷前的空基板进行粗定位检测和精定位检测；所述高分辨率视觉单元(11)设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷墨印刷前的空基板、喷射至基板上的液膜或者固化膜进行视觉质量检测；
该喷孔检测模块包括大视野上视单元(21)和高倍数上视单元(22)，其中所述大视野上视单元(21)、高倍数上视单元(22)均设置在具有X1自由度也即第一水平横向自由度的运动部件上，并分别用于对执行喷墨印刷的喷头喷孔进行定位检测和视觉质量检测；
该墨滴检测模块包括呈夹角α布置的两套水平视觉单元，这两套水平视觉单元同步工作以构成双目视觉系统，其设置在具有X2自由度也即第二水平横向自由度的运动部件上，并用于对喷头所喷射的飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测；
该膜厚检测模块包括一套白光干涉视觉单元，其同所述高分辨率视觉单元(11)一样设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷射至基板上的墨水在固化前后分别进行包括膜厚、体积和均匀性在内的实时视觉检测；
该控制模块包括实时处理控制器(32)、运动控制器(31)、同步触发控制卡(33)和喷头控制卡(34)，其中所述运动控制器(31)分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，并对这些模块控制其运动且获取位置反馈信息；所述喷头控制卡(34)用于控制喷头喷孔开闭及设置驱动波形，由此控制喷孔喷射并输出喷射触发信号至同步触发控制卡(33)；所述同步触发控制卡(33)接收喷射触发信号，并延时触发所述墨滴检测模块工作，由此对飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时检测；所述实时处理控制器(32)分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，用于控制其工作并获取对应的图像数据进行处理以获得包括空基板缺陷、喷孔缺陷、液膜缺陷和固化膜缺陷在内的多个检测结果；此外，该实时处理控制器(32)还分别与所述运动控制器(31)、同步触发控制卡(33)和喷头控制卡(34)信号相连，并根据检测结果对整个显示器件喷印制造过程形成闭环控制。
作为进一步优选地，对于所述基板检测模块而言，它的大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)均配置有相机、镜头和同轴点光源，并且该大视野下视单元(12)优选设置在喷墨印刷设备的喷头模组上。
作为进一步优选地，对于所述喷孔检测模块而言，它的大视野上视单元(21)、高倍数上视单元(22)均配置有相机、镜头和同轴点光源，并且该喷孔检测模块优选设置在基板吸附平台处。
作为进一步优选地，对于所述墨滴检测模块而言，它的两套水平视觉单元各自优选配置有同轴布置的相机、镜头、准直透镜和光源，并可根据需求增设由四块反射镜共同形成潜望式光路的反射镜组。
作为进一步优选地，对于所述膜厚检测模块而言，它的白光干涉视觉单元优选配置有相机、镜头、同轴点光源和干涉物镜，同时在Z1自由度也即第一竖直方向自由度上增设有优选为亚微米分辨率的光栅尺作为位置反馈装置。
按照本发明的另一方面，还提供了相应的质量检测方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
(a)采用所述基板检测模块，对喷墨印刷前的空基板执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成空基板缺陷特征库和分布图；
(b)采用所述喷孔检测模块，对执行喷墨印刷的喷头喷孔执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成喷孔缺陷特征库；
(c)采用所述墨滴检测模块，对喷头所喷射的飞行墨滴执行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测，并记录形成墨滴参数特征库；
(d)采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板上的液膜质量状况和液膜厚度执行视觉检测，并记录形成液膜缺陷特征库和分布图；
(e)再次采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板且完成固化后的固化膜质量状况和固化膜厚度执行视觉检测，并记录形成固化膜缺陷特征库和分布图；
(f)预设空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜的缺陷判定标准，并基于以上步骤所分别形成的多个缺陷特征库和参数特征库来形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环，以及所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环；然后，基于固化膜缺陷来反推确定具体的缺陷来源并执行相应的优化调节，由此实现整个喷印制造过程的质量闭环反馈控制。
作为进一步优选地，对于上述步骤(a)而言，其优选包括下列操作工序：
(a1)启动所述基板检测模块，首先采用所述大视野下视单元(12)找到空基板上的至少2个定位标记，切换至所述高倍数下视单元(13)进行定位标记的位置检测，由此计算出空基板的安装位置和倾斜角度；
(a2)空基板沿着X1方向也即第一水平横向方向依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对空基板进行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后空基板沿X1反向运动，如此交替运动直至整块空基板采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(a3)对相邻图像进行拼接得到完整的空基板图像，对其进行图像处理并建立空基板缺陷特征库和分布图，然后依照以下公式(一)来计算空基板缺陷判断指标Cb，其中当Cb大于预设的允许值Cb0时则判断为缺陷基板：
Figure BDA0002872623260000061
在公式(一)中，N表示为空基板的缺陷种类数；Ti、Ni、bi分别为第i类缺陷的判断阈值、缺陷数量和加权系数，Dj表示测得的缺陷特征参数且Dj＞Ti；i、j表示分别取1～N、1～Ni的整数。
作为进一步优选地，对于上述步骤(b)而言，其优选进一步包括下列操作工序：
(b1)启动所述喷孔检测模块，首先采用所述大视野上视单元(21)找到喷头喷孔的至少2个定位标记，切换至所述高倍数上视单元(22)进行定位标记的位置检测，由此计算出喷孔的初始位置；
(b2)所述高倍数上视单元(22)对各喷孔区域进行采图并获得包括轮廓点在内的喷孔轮廓信息，接着测量喷孔尺寸并依照以下公式(二)来计算喷孔缺陷指标Cn，其中当Cn大于预设的允许值Cn0则判断喷孔存在缺陷：
Figure BDA0002872623260000062
在公式(二)中，N表示轮廓点数量，xi、yi分别表示编号为i的轮廓点的位置坐标，并且i取从1到N的整数；γ1、γ2分别为预设的加权系数；x0、y0分别表示喷孔圆心点的位置坐标；x、y分别表示多个轮廓点中任一点的位置坐标；r表示喷孔所对应圆的半径。
作为进一步优选地，对于上述步骤(c)而言，其优选包括下列操作工序：
(c1)启动所述墨滴检测模块，同步触发所述两套水平视觉单元以频闪方式采集多个时刻的飞行墨滴图像，直至完成全部喷孔的飞行墨滴检测；
(c2)对所述飞行墨滴图像进行双目标定和图像处理，然后对墨滴形状进行分类，同时进行包括体积、速度、角度在内的一系列墨滴参数测量，并依照以下公式(三)来计算墨滴缺陷指标Cd，其中当Cd大于预设的允许值Cd0则判断为缺陷墨滴：
Figure BDA0002872623260000071
在公式(三)中，V0、v0、
Figure BDA0002872623260000072
及θ0分别表示预设的墨滴体积阈值、速度阈值和两个角度阈值；d1、d2、d3、d4分别表示预设的加权系数；V表示所测得的飞行墨滴实际体积，v表示所测得的飞行墨滴实际速度；
Figure BDA0002872623260000073
及θ表示所测得的飞行墨滴实际方位角和俯仰角。
作为进一步优选地，在子步骤(c2)中，所述飞行墨滴实际体积V优选采用下列流程来测得：
针对所述两套水平视觉单元分别获得的飞行墨滴图像，对其墨滴轮廓进行高度对齐，并根据同一高度平面内的4个轮廓点采用3次Hermite曲线插值构造如下公式(四)表示的封闭曲线；
接着计算所构造封闭曲线的包围面积S，并通过体积分法依照以下公式(五)和(六)计算飞机墨滴实际体积V：
Figure BDA0002872623260000074
Figure BDA0002872623260000075
V＝Δh∑Si公式(六)
其中，H(x)表示两个轮廓点之间的构造曲线，并且在同一高度平面内的4个轮廓点之间构造4段曲线H1、H2、H3、H4；(x1,y1)、(x2,y2)分别表示构造Hermite曲线的相邻2个轮廓点的坐标值；y1′、y2′分别表示点(x1,y1)、(x2,y2)处的导数；k1、k2、k3、k4分别表示对用Hermite曲线近似表示墨滴轮廓的误差进行修正的修正系数；Δh表示相邻高度平面之间的高度差；Si表示第i个高度平面内的封面曲线包围面积。
作为进一步优选地，对于上述步骤(d)而言，其优选包括下列操作工序：
(d1)将执行喷墨打印后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至液膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(d2)对相邻图像进行拼接得到完整的带液膜基板图像，对其进行背景减除和图像处理，并建立液膜缺陷特征库和分布图；
(d3)启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出液膜厚度分布和液膜体积；
(d4)依照以下公式(七)和(八)来计算液膜局部均匀性Ulocal、液膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷质量：
Figure BDA0002872623260000081
Figure BDA0002872623260000091
其中，Slocal表示所定义的带液膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure BDA0002872623260000092
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；λ1表示预设的液膜局部均匀系数，λ2表示预设的液膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure BDA0002872623260000093
表示这K个感兴趣区域的液膜中心厚度的均值。
作为进一步优选地，对于上述步骤(e)而言，其优选包括下列操作工序：
(e1)将执行喷墨打印且固化后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至固化膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(e2)对相邻图像进行拼接得到完整的带固化膜基板图像，对其进行背景减除，并建立固化膜缺陷特征库和分布图；
(e3)启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出固化膜厚度分布和固化膜体积；
(e4)依照以下公式(九)和(十)来计算固化膜局部均匀性Ulocal、固化膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷固化后质量：
Figure BDA0002872623260000101
Figure BDA0002872623260000102
其中，Slocal表示所定义的带固化膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure BDA0002872623260000103
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；μ1表示预设的固化膜局部均匀系数，μ2表示预设的固化膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure BDA0002872623260000104
表示这K个感兴趣区域的固化膜中心厚度的均值。
作为进一步优选地，对于上述步骤(f)而言，形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
对比所述喷孔缺陷特征库和墨滴参数特征库，判断喷孔缺陷对墨滴缺陷的影响，并关闭因喷孔缺陷导致无法正常使用的喷孔；
其中判断喷孔缺陷对墨滴缺陷影响的标准设定如下：若某喷孔及其喷射的墨滴均无缺陷，则判断该喷孔可正常使用；若某喷孔有缺陷但其喷射的墨滴无缺陷，则判断此喷孔缺陷不造成墨滴缺陷，喷孔可正常使用；若某喷孔喷射的墨滴有缺陷，调节驱动波形后再次进行墨滴检测，若此时墨滴无缺陷则判断该喷孔自身不造成墨滴缺陷，可正常使用，否则判断该喷孔缺陷不可接受并关闭缺陷喷孔。
作为进一步优选地，对于上述步骤(f)而言，形成所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
针对采集形成的所述空基板缺陷特征库、喷孔缺陷特征库、墨滴参数特征库、液膜缺陷特征库和固化膜缺陷特征库，对比这些特征库来判断缺陷来源，然后对空基板缺陷、喷孔缺陷、墨滴缺陷、液膜缺陷的判断标准相应进行调整；
其中判断缺陷来源及对判断标准相应进行调整的操作如下：对比液膜缺陷特征库与固化膜缺陷特征库，若固化膜缺陷处不存在液膜缺陷，则判断缺陷来源于固化过程或需要降低液膜缺陷判断标准；若存在液膜缺陷则进一步分析喷墨打印过程，并寻找参与打印此有固化膜缺陷像素坑的喷孔；
对比空基板缺陷特征库与液膜缺陷特征库，若液膜缺陷处存在空基板缺陷，则进一步排查空基板缺陷对液膜缺陷的影响；若空基板缺陷会导致液膜缺陷，则降低空基板缺陷判断的允许值Cb0，若不存在空基板缺陷则判断缺陷来源于喷射过程或需要降低空基板缺陷判断标准，并进一步分析喷射过程；
查看墨滴参数特征库，若参与打印有缺陷像素坑的喷孔所喷射的墨滴无缺陷，则需降低墨滴缺陷判断的允许值Cd0，否则按照所述喷孔、墨滴检测闭环方法判断缺陷是否来源于喷孔；若缺陷来源于喷孔但喷孔缺陷特征库中该喷孔无缺陷，则降低喷孔缺陷判断的允许值Cn0；
作为进一步优选地，对于上述步骤(f)而言，形成整个喷印制造过程的质量闭环反馈控制优选采用下述方式：
设置驱动波形控制喷头喷射，设置空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜的缺陷判断标准并执行相应质量检测，按照喷孔、墨滴检测闭环以及空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜检测闭环反推缺陷来源，并调整对应环节的缺陷判断标准以降低缺陷的漏检率和误检率，若固化膜缺陷是由喷孔缺陷导致的则关闭缺陷喷孔，若是由驱动波形导致的则调整驱动波形。
作为进一步优选地，所述显示器件优选为具备超高分辨率、大尺寸和轻薄柔性特征的新型显示器件。
总体而言，按照本发明的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统及方法与现有技术相比，主要具备以下的技术优点：
1、本发明通过对全过程质量检测的关键组成模块构造及其工作方式进行全新的设计，能够准确实现包括空基板检测、喷孔检测、飞行墨滴检测、液膜检测和固化膜检测等一系列操作的全面系统化在线质量检测，有效弥补了现有技术中仅检测单个环节而未考虑全局的不足；
2、本发明还进一步对各个检测环节的检测算法和工艺步骤进行了研究改进，可以实现对相应缺陷的快速、准确检测，并形成缺陷特征库和分布图，便于后续进行缺陷分析；
3、本发明还结合显示器件喷印制造的实际工况和需求，在全过程质量检测工艺中对空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜中的特征参数和缺陷进行了研究，并设计了参数化的缺陷判断标准，相应能够更为直观、精确地反映喷墨印刷制造过程各个环节的质量问题；
4、本发明还能够将基于白光干涉法的膜厚测量集成到喷墨印刷制造过程中，实现对喷墨印刷的液膜和固化膜厚度、体积、均匀性等参数进行在线准确精确测量；
5、本发明综合考虑了喷墨印刷制造过程各个环节的质量检测结果，在整个喷印制造过程中形成检测和控制闭环，并通过对比各个缺陷特征库，可以对各环节的测量结果进行印证以及调整缺陷判断标准，同时分析缺陷来源，相应可实现更高精度和更为完善的质量检测和调控，显著提高显示器件产品的良品率，因而尤其适用于各类超高分辨率、大尺寸、轻薄柔性的新型显示器件加工制造应用场合。
附图说明
图1是按照本发明所构建的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的整体系统组成示意图；
图2是按照本发明所构建的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的整体方法流程图；
图3A是按照本发明优选实施方式的大面积基板采图流程示意图；
图3B是按照本发明优选实施方式的空基板检测方法流程示意图；
图4A是按照本发明优选实施方式的喷孔检测方法流程示意图；
图4B是按照本发明优选实施方式的喷孔边缘圆检测原理示意图；
图5A是按照本发明优选实施方式的墨滴检测中双目标定方法示意图；
图5B是按照本发明优选实施方式的墨滴图像处理方法流程图；
图5C是按照本发明优选实施方式的墨滴形状及三维参数检测方法的流程图；
图5D是按照本发明优选实施方式的墨滴体积三维重建原理示意图；
图6A是按照本发明优选实施方式的液膜检测方法流程示意图；
图6B是按照本发明优选实施方式的白光干涉膜厚检测方法流程示意图；
图7是按照本发明优选实施方式的固化膜检测方法流程示意图；
图8是按照本发明优选实施方式的喷孔和墨滴检测闭环示意图；
图9是按照本发明优选实施方式的空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜检测闭环示意图；
图10是本发明优选实施方式的喷印制造全过程质量闭环反馈控制示意图。
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或结构，其中：
11-高分辨率视觉单元，12-大视野下视单元，13-高倍数下视单元；21-大视野上视单元，22-高倍数上视单元；31-运动控制器，32-实时处理控制器，33-同步触发控制卡，34-喷头控制卡；41-墨滴检测模块光源，42-准直透镜，43-反射镜组，44-墨滴检测模块镜头，45-墨滴检测模块相机；51-干涉物镜，52-膜厚检测模块光源，53-膜厚检测模块镜头，54-膜厚检测模块相机。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
图1是按照本发明所构建的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的整体系统组成示意图。如图1所示，按照本发明的系统主要包括基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块、膜厚检测模块以及控制模块，下面将对这些关键模块的具体组成和工作方式逐一进行具体说明。
首先对于该基板检测模块而言，它包括大视野下视单元12、高倍数下视单元13和高分辨率视觉单元11等。其中大视野下视单元12、高倍数下视单元13均设置在具有Y2、Z2自由度也即第二水平纵向自由度、第二竖直方向自由度的运动部件上，并分别用于对喷墨印刷前的空基板进行粗定位检测和精定位检测；高分辨率视觉单元11设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷墨印刷前的空基板、喷射至基板上的液膜或者固化膜进行视觉质量检测。
更具体地，参看图1示范性所示，大视野下视单元12譬如可包括一相机、一镜头、一同轴点光源，在本发明的一个优选实施例中，镜头根据具体需要优选可采用0.8倍放大倍数的MML镜头，具有较大的视野范围，用于对基板进行粗定位检测。高倍数下视单元13譬如可包括一相机、一镜头、一同轴点光源，在本发明的一个优选实施例中，镜头根据具体需求可采用4倍放大倍数的MML镜头，具有较高的测量精度，用于对基板进行精定位检测，此外也可用于执行对基板局部区域缺陷检测。大视野下视单元12、高倍数下视单元13均设置在具有Y2、Z2自由度的运动部件上，优选地可以设置在喷墨打印设备的喷头模组上。高分辨率视觉单元11譬如可包括一高分辨率相机、一镜头、一同轴光源，在本发明的一个优选实施例中，相机根据需求可采用2900万像素的SVS高分辨率工业相机，具有更大的视野范围从而提高检测效率，用于对空基板、液膜、固化膜进行快速质量检测，优选地可以设置多套高分辨率视觉系统11以提高检测效率，设置在具有Y1、Z1自由度的运动组件上。
对于喷孔检测模块而言，它包括大视野上视单元21和高倍数上视单元22，其中所述大视野上视单元21、高倍数上视单元22均设置在具有X1自由度也即第一水平横向自由度的运动部件上，并分别用于对执行喷墨印刷的喷头喷孔进行定位检测和视觉质量检测。
更具体地，如图1中示范性所示，大视野上视单元21譬如可包括一相机、一镜头、一同轴点光源，在本发明的一个优选实施例中，镜头根据需要优选可采用0.8倍放大倍数的MML镜头，具有较大的视野范围，用于对喷头进行粗定位检测。高倍数上视单元22譬如可包括一相机、一镜头、一同轴点光源，在本发明的一个优选实施例中，镜头根据需求优选可采用4倍放大倍数的MML镜头，具有较高的测量精度，用于执行喷孔质量检测，大视野上视单元21、高倍数上视单元22均设置在具有X1自由度的运动部件上，更优选地可以设置在基板吸附平台处。
对于墨滴检测模块而言，它包括呈夹角α布置的两套水平视觉单元，这两套水平视觉单元同步工作以构成双目视觉系统，其设置在具有X2自由度也即第二水平横向自由度的运动部件上，并用于对喷头所喷射的飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测。
更具体地，如图1中示范性所示，其中第一相机45-1、第一镜头44-1、第一反射镜组43-1、第一准直透镜42-1、第一光源41-1中心线同轴布置，第二相机45-2、第二镜头44-2、第二反射镜组43-2、第二准直透镜42-2、第二光源41-2中心线同轴布置。在本发明的一个优选实施例中，镜头根据需求优选可采用14倍放大倍数的Navitar镜头，具有较高测量精度。第一相机45-1、第二相机45-2、第一光源41-1、第二光源41-2同步工作，形成双目视觉系统。由于在进行墨滴观测时，要求观测区域靠近喷头下表面，在本发明的一个优选实施例中，第一反射镜组43-1、第二反射镜组43-2各可包括四块反射镜，用以形成潜望式光路，避免所述第一镜头44-1、第二镜头44-2与喷头模块干涉，在其他实施例中，若不存在机械干涉，也可选择去除第一反射镜组43-1、第二反射镜组43-2。第一光源41-1、第二光源41-2为大功率频闪光源，优选地可采用脉冲激光光源或大功率频闪LED。第一准直透镜42-1、第二准直透镜42-2对光路进行准直，将具有一定发散角的光路调整为接近平行光以保证成像亮度。墨滴检测模块具有X2自由度，用于检测飞行墨滴体积、速度、角度、形状。
对于膜厚检测模块而言，它包括一套白光干涉视觉单元，其同所述高分辨率视觉单元11一样设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷射至基板上的墨水在固化前后分别进行包括膜厚、体积和均匀性在内的实时视觉检测。
更具体地，如图1中示范性所示，该白光干涉视觉单元譬如具体可包括一相机54、一镜头53、一同轴点光源52、一干涉物镜51，在本发明的一个优选实施例中，根据需求可采用20倍放大倍数的镜头和集成式干涉物镜，优选地可采用Mirau干涉物镜，内部含有参考镜和分光镜。膜厚检测模块用于检测固化前后墨水薄膜厚度、体积、均匀性，具有Y1、Z1自由度，优选地可以与基板检测模块的高分辨率视觉系统11设置在一起，Z1为带高分辨率位置反馈装置的高精度运动自由度，优选地可以采用亚微米分辨率的光栅尺作为位置反馈装置。
此外，对于控制模块而言，它包括实时处理控制器32、运动控制器31、同步触发控制卡33和喷头控制卡34，其中所述运动控制器31分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，并对这些模块控制其运动且获取位置反馈信息；所述喷头控制卡34用于控制喷头喷孔开闭及设置驱动波形，由此控制喷孔喷射并输出喷射触发信号至同步触发控制卡33；所述同步触发控制卡33接收喷射触发信号，并延时触发所述墨滴检测模块工作，由此对飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时检测；所述实时处理控制器32分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，用于控制其工作并获取对应的图像数据进行处理以获得包括空基板缺陷、喷孔缺陷、液膜缺陷和固化膜缺陷在内的多个检测结果；此外，该实时处理控制器32还分别与所述运动控制器31、同步触发控制卡33和喷头控制卡34信号相连，并根据检测结果对整个显示器件喷印制造过程形成闭环控制。
更具体地，同步触发控制卡33接收喷射触发信号，并以一定的延时以外部触发方式触发墨滴检测模块第一光源41-1、第二光源41-2和第一相机45-1、第二相机45-2工作，触发频率与喷射频率相同，实现飞行墨滴图像采集，在本发明的一个优选实施例中，同步触发控制卡33为FPGA控制电路板，具有20ns的时间分辨率。实时处理控制器32优选地为工控机，与各检测模块相连，控制其工作并获取图像数据进行处理。实时处理控制器32与运动控制器31、喷头控制卡34、同步触发控制卡33相连，实现参数设置和数据获取，根据检测结果对喷墨印刷过程形成闭环控制。
作为本发明的另一关键改进，还提供了相应的质量检测方法，相应可以实现对相应缺陷的快速、准确检测，并形成缺陷特征库和分布图，便于后续进行缺陷分析。此外，本发明还针对性对各检测工序给出了具体的检测算法和缺陷定义，以及缺陷判断标准的参数化表达。
参看图2，显示了按照本发明所构建的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的整体方法流程图。如图2中所示，按照本发明的用于显示器件喷印制造全过程质量检测的方法主要包括下列步骤，下面将逐一对其进行原理和操作等方面的解释说明。
首先，是空基板质量检测步骤。
采用所述基板检测模块，对喷墨印刷前的空基板执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成空基板缺陷特征库和分布图。
更具体而言，参看图3A-3B，启动所述基板检测模块，首先采用所述大视野下视单元12找到空基板上的至少2个定位标记，切换至所述高倍数下视单元13进行定位标记的位置检测，由此计算出空基板的安装位置和倾斜角度；
参看图3A，空基板沿着X1方向也即第一水平横向方向依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元11对空基板进行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元11沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后空基板沿X1反向运动，如此交替运动直至整块空基板采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
空基板采图完成后，对相邻图像进行拼接得到完整的空基板图像，对其进行图像处理并建立空基板缺陷特征库和分布图，然后依照以下公式(一)来计算空基板缺陷判断指标Cb，其中当Cb大于预设的允许值Cb0时则判断为缺陷基板：
Figure BDA0002872623260000181
在公式(一)中，N表示为空基板的缺陷种类数；Ti、Ni、bi分别为第i类缺陷的判断阈值、缺陷数量和加权系数，Dj表示测得的缺陷特征参数且Dj＞Ti；i、j表示分别取1～N、1～Ni的整数。其中Cb0、bi、Ti均为经验值，可以根据实际情况人为设定。此外，在一些优选实施例中可采用高倍数下视系统13对检出的基板缺陷进行进一步精确检测。
按照本发明的一个优选实施方式，在上述操作中，对所述空基板图像的图像处理优选进一步可以包括下列流程：定义感兴趣区域；进行滤波降噪，优选地采用中值滤波；模板匹配划分像素坑邻域，优选地采用基于形状的模板匹配方法；自适应阈值分割获取像素坑及缺陷区域；形态学操作；提取像素坑及缺陷区域数学特征，优选地提取面积、长宽比、平均灰度等特征；基于支持向量机的缺陷分类。这些图像处理的原理和具体方式为本领域所熟知，因此在此不再赘述。
按照本发明的另一优选实施方式，空基板缺陷特征库譬如可记录缺陷序号、类型、位置、尺寸等信息，空基板缺陷分布图则标示出缺陷位置和序号，具体示例可参考下表一所示。
序号 缺陷类型 位置 尺寸 …
1 特征缺失 (x<sub>1</sub>,y<sub>1</sub>) S<sub>1</sub>
2 颗粒 (x<sub>2</sub>,y<sub>2</sub>) S<sub>2</sub>
3 划痕 (x<sub>3</sub>,y<sub>3</sub>) S<sub>3</sub>
…
表一
接着，是喷孔质量检测步骤。
在该步骤，需要采用所述喷孔检测模块，对执行喷墨印刷的喷头喷孔执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成喷孔缺陷特征库。
更具体地，参看图4A-4B，启动所述喷孔检测模块，首先采用所述大视野上视单元21找到喷头喷孔的至少2个定位标记，切换至所述高倍数上视单元22进行定位标记的位置检测，由此计算出喷孔的初始位置；
所述高倍数上视单元22对各喷孔区域进行采图并获得包括轮廓点在内的喷孔轮廓信息，接着测量喷孔尺寸并依照以下公式(二)来计算喷孔缺陷指标Cn，其中当Cn大于预设的允许值Cn0则判断喷孔存在制造缺陷或墨液残留等缺陷：
Figure BDA0002872623260000201
在公式(二)中，N表示轮廓点数量，xi、yi分别表示编号为i的轮廓点的位置坐标，并且i取从1到N的整数；γ1、γ2分别为预设的加权系数；x0、y0分别表示喷孔圆心点的位置坐标；x、y分别表示多个轮廓点中任一点的位置坐标；r表示喷孔所对应圆的半径。在一些优选实施例中，Cn0、γ1、γ2均为经验值，可以根据实际情况人为设定。进一步地，可以在同一驱动波形下采用墨滴检测模块对各喷孔形成的半墨滴凸起进行检测，验证喷孔质量。
按照本发明的一个优选实施方式，在上述步骤中，对喷孔图像的预处理优选可以包括设置感兴趣区域、降噪等操作。此外，测量喷孔尺寸的操作优选进一步譬如可包括下列流程：通过Hough圆弧检测获得较完整的圆弧，得到喷孔圆心和半径的初值→给定半径变动范围，得到圆环作为喷孔真实边缘所处的区间→将圆环之内的轮廓点视为喷孔边缘同时将圆环之外的视为缺陷边缘→对筛选后的喷孔轮廓点进行最小二乘圆拟合，得到精确的喷孔圆心和半径。然后计算喷孔缺陷指标Cn用于描述喷孔质量，形成喷孔缺陷特征库。
按照本发明的另一优选实施方式，喷孔缺陷特征库譬如可记录喷孔序号、圆心、半径、喷孔缺陷指标Cn、缺陷判断结果等信息，具体示例可参考下表二所示。
喷孔序号 圆心 半径 C<sub>n</sub> 缺陷 …
1 (x<sub>1</sub>,y<sub>1</sub>) r<sub>1</sub> C<sub>n1</sub> Y or N
2 (x<sub>2</sub>,y<sub>2</sub>) r<sub>2</sub> C<sub>n2</sub> Y or N
3 (x<sub>3</sub>,y<sub>3</sub>) r<sub>3</sub> C<sub>n3</sub> Y or N
…
表二
接着，是飞行墨滴检测步骤。
在该步骤中，需要采用所述墨滴检测模块，对喷头所喷射的飞行墨滴执行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测，并记录形成墨滴参数特征库。
更具体而言，首先启动所述墨滴检测模块，同步触发所述两套水平视觉单元以频闪方式采集多个时刻的飞行墨滴图像，直至完成全部喷孔的飞行墨滴检测。接着，对所述飞行墨滴图像进行双目标定和图像处理，然后对墨滴形状进行分类，同时进行包括体积、速度、角度在内的一系列墨滴参数测量，并依照以下公式(三)来计算墨滴缺陷指标Cd，其中当Cd大于预设的允许值Cd0则判断为缺陷墨滴：
Figure BDA0002872623260000211
在公式(三)中，V0、v0、
Figure BDA0002872623260000212
及θ0分别表示预设的墨滴体积阈值、速度阈值和两个角度阈值；d1、d2、d3、d4分别表示预设的加权系数；V表示所测得的飞行墨滴实际体积，v表示所测得的飞行墨滴实际速度；
Figure BDA0002872623260000213
及θ表示所测得的飞行墨滴实际方位角和俯仰角。
如图5A-5D示范性具体所示，首先可通过同步触发控制卡33对墨滴检测模块第一光源41-1、第二光源41-2以及第一相机45-1、第二相机45-2进行外部触发，设置相对于喷射的滞后时间t1，以频闪方式采集时刻1墨滴图像，设置相对于喷射的滞后时间t2，以频闪方式采集时刻2墨滴图像，通过X2、Y2运动实现对全部喷孔的检测。
按照本发明的一个优选实施方式，由于对高放大倍数下的小视场、小景深场景，常规的基于标定板的方法效果不佳，优选地采用300um直径的雷尼绍标准球对双目视觉系统进行标定，具体参见图5A，在喷头模组上安装一标准球，控制其在墨滴检测模块视场范围内运动并记录其位置记为(x,y,z)，通过神经网络进行双目标定，得到第一相机45-1、第二相机45-2图像中标准球坐标(X1,Y1)、(X2,Y2)到运动坐标系三维坐标(x,y,z)的变换关系，所设计的神经网络优选地为两层神经网络。
接着参见图5B，按照本发明的另一优选实施方式，可以按下述流程进行墨滴图像处理：对时刻1、时刻2墨滴图像定义感兴趣区域；通过灰度反转将墨滴区域由低灰度区域转换为高灰度区域；优选地采用中值滤波方式进行降噪滤波；通过自适应分割获取墨滴可能存在的区域；通过连通处理及特征筛选获得墨滴粗区域，优选地根据区域面积和圆度特征进行筛选；扩充墨滴粗区域作为精分割的感兴趣区域，优选地采用形态学膨胀的方式获得扩充区域；通过高斯拉普拉斯滤波求感兴趣区域梯度的散度；通过过零检测得到墨滴的候选轮廓；区域填充及形态学操作得到最终墨滴轮廓。
然后参见图5C，按照本发明的另一优选实施方式，可以按下述方法进行墨滴体积、速度、角度、形状检测：譬如可通过支持向量机对墨滴形状进行分类，识别球形墨滴、卫星墨滴、拖尾等，然后进行墨滴参数测量，根据双目标定结果分别重建时刻1、时刻2墨滴三维位置，从而计算墨滴三维速度、角度，对第一相机45-1、第二相机45-2图像中的墨滴轮廓进行高度对齐，根据同一高度平面内的4个轮廓点采用3次Hermite曲线插值构造封闭曲线，计算构造的封闭曲线包围面积，通过体积分法计算墨滴体积，根据实际情况人为设置体积阈值V0、速度阈值v0、角度阈值
Figure BDA0002872623260000221
及θ0，以及加权系数d1、d2、d3、d4，计算墨滴缺陷指标Cd用于筛选缺陷墨滴，形成墨滴参数特征库。
然后参看图5D，按照本发明的另一优选实施方式，所述飞行墨滴实际体积V优选可以采用下列流程来测得：
针对所述两套水平视觉单元分别获得的飞行墨滴图像，对其墨滴轮廓进行高度对齐，并根据同一高度平面内的4个轮廓点采用3次Hermite曲线插值构造如下公式(四)表示的封闭曲线；接着计算所构造封闭曲线的包围面积S，并通过体积分法依照以下公式(五)和(六)计算飞机墨滴实际体积V：
Figure BDA0002872623260000231
Figure BDA0002872623260000232
V＝Δh∑Si 公式(六)
其中，H(x)表示两个轮廓点之间的构造曲线，并且在同一高度平面内的4个轮廓点之间构造4段曲线H1、H2、H3、H4；(x1,y1)、(x2,y2)分别表示构造Hermite曲线的相邻2个轮廓点的坐标值；y1′、y2′分别表示点(x1,y1)、(x2,y2)处的导数；k1、k2、k3、k4分别表示对用Hermite曲线近似表示墨滴轮廓的误差进行修正的修正系数；Δh表示相邻高度平面之间的高度差；Si表示第i个高度平面内的封面曲线包围面积。
此外，按照本发明的另一优选实施方式，墨滴参数特征库可以记录墨滴对应的喷孔序号、墨滴形状分类结果、体积、速度、方位角、俯仰角、墨滴缺陷指标Cd、墨滴缺陷判断结果等信息，具体示例可参考下表三。
Figure BDA0002872623260000233
表三
接着，是液膜检测步骤。
在该步骤中，需要采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板上的液膜质量状况和液膜厚度执行视觉检测，并记录形成液膜缺陷特征库和分布图。
更具体地，如图6A-6B所示，在液膜检测步骤中，首先将执行喷墨打印后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元11对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元11沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至液膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
液膜采图完成后，对相邻图像进行拼接得到完整的带液膜基板图像，对其进行背景减除和图像处理，并建立液膜缺陷特征库和分布图。在此操作过程中，按照本发明的一个优选实施方式，对图像的处理过程可以包括设置感兴趣区域、降噪等操作；通过模板匹配按像素坑排列方式划分网格，优选地采用基于形状的模板匹配方法；对每个像素坑对应网格区域内的液膜图像提取轮廓；进一步提取液膜图像数学特征，优选地包括位置、面积、长宽比、平均灰度等特征；通过支持向量机对坑内填充不足、墨液溢出、坑内体积不足、坑内体积过盈、坑间桥接、散点等缺陷进行识别等。上述图像处理的原理和具体方式为本领域所熟知，因此在此不再赘述。
启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出液膜厚度分布和液膜体积。在此操作过程中，按照本发明的另一优选实施方式，如图6B示范性所示，譬如可以各个像素坑邻域为感兴趣区域，按照白光干涉原理对感兴趣区域中的液膜进行检测，膜厚检测模块沿Z1扫描，相机54采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的Z1值，遍历各帧干涉条纹图像，获得每一像素点灰度随高度的分布曲线，对每一像素点对应的灰度分布曲线求包络线，优选地可采用基于希尔伯特变换的方法求包络线，然后确定每一像素点对应的灰度分布曲线包络线的峰值，峰值对应的高度Z1值即为该像素点的零光程差高度，由于白光干涉法测得的是各点的零光程差高度而非绝对高度，故将各像素点位置及相应的零光程差高度(X1,Y1,Z1)减去参考点位置及其零光程差高度得到薄膜表面三维点坐标，进而计算液膜厚度，同时优选采用体积分法计算液膜体积。
此外，依照以下公式(七)和(八)来计算液膜局部均匀性Ulocal、液膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷质量：
Figure BDA0002872623260000251
Figure BDA0002872623260000252
其中，Slocal表示所定义的带液膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure BDA0002872623260000253
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；λ1表示预设的液膜局部均匀系数，λ2表示预设的液膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure BDA0002872623260000254
表示这K个感兴趣区域的液膜中心厚度的均值。
此外，按照本发明的另一优选实施方式，液膜缺陷特征库可以记录缺陷序号、缺陷类型、缺陷所属像素坑坐标、缺陷位置、尺寸等信息，对于坑内体积不足和体积过盈缺陷，还可记录其体积，液膜缺陷分布图标示出缺陷位置和序号，具体示例可参看下表四。
缺陷序号 缺陷类型 像素坑坐标 位置 尺寸 体积 …
1 坑内填充不足 (R<sub>1</sub>,C<sub>1</sub>) (x<sub>1</sub>,y<sub>1</sub>) S<sub>1</sub>
2 墨液溢出 (R<sub>2</sub>,C<sub>2</sub>) (x<sub>2</sub>,y<sub>2</sub>) S<sub>2</sub>
3 坑内体积不足 (R<sub>3</sub>,C<sub>3</sub>) (x<sub>3</sub>,y<sub>3</sub>) S<sub>3</sub> V<sub>3</sub>
4 坑内体积过盈 (R<sub>4</sub>,C<sub>4</sub>) (x<sub>4</sub>,y<sub>4</sub>) S<sub>4</sub> V<sub>4</sub>
5 坑间桥接 (R<sub>5</sub>,C<sub>5</sub>) (x<sub>5</sub>,y<sub>5</sub>) S<sub>5</sub>
6 散点 (R<sub>6</sub>,C<sub>6</sub>) (x<sub>6</sub>,y<sub>6</sub>) S<sub>6</sub>
…
表四
接着，是固化膜检测步骤。
在此步骤中，需要再次采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板且完成固化后的固化膜质量状况和固化膜厚度执行视觉检测，并记录形成固化膜缺陷特征库和分布图。
更具体地，如图7所示，首先可以将执行喷墨打印且固化后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元11对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元11沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至固化膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
固化膜采图完成后，对相邻图像进行拼接得到完整的带固化膜基板图像，对其进行背景减除，并建立固化膜缺陷特征库和分布图。在此操作中，按照本发明的一个优选实施方式，对图像的处理过程可以包括设置感兴趣区域、降噪等操作；通过模板匹配按像素坑排列方式划分网格，优选地采用基于形状的模板匹配方法；对每个像素坑对应网格区域内的固化膜图像提取轮廓；进一步提取固化膜图像数学特征，优选地包括位置、面积、长宽比、平均灰度等特征；通过支持向量机对坑内填充不足、墨液溢出、坑内体积不足、坑内体积过盈、坑间桥接、散点等缺陷进行识别等。上述图像处理的原理和具体方式为本领域所熟知，因此在此不再赘述。
接着，启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出固化膜厚度和固化膜体积。在此操作过程中，按照本发明的另一优选实施方式，譬如可以各个像素坑邻域为感兴趣区域，按照白光干涉原理对感兴趣区域中的固化膜进行检测，膜厚检测模块沿Z1扫描，相机54采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的Z1值，遍历各帧干涉条纹图像，获得每一像素点灰度随高度的分布曲线，对每一像素点对应的灰度分布曲线求包络线，优选地可采用基于希尔伯特变换的方法求包络线，然后确定每一像素点对应的灰度分布曲线包络线的峰值，峰值对应的高度Z1值即为该像素点的零光程差高度，由于白光干涉法测得的是各点的零光程差高度而非绝对高度，故将各像素点位置及相应的零光程差高度(X1,Y1,Z1)减去参考点位置及其零光程差高度得到薄膜表面三维点坐标，计算固化膜厚度，并优选地采用体积分法计算固化膜体积。
接着，依照以下公式(九)和(十)来计算固化膜局部均匀性Ulocal、固化膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷固化后质量：
Figure BDA0002872623260000271
Figure BDA0002872623260000272
其中，Slocal表示所定义的带固化膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure BDA0002872623260000281
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；μ1表示预设的固化膜局部均匀系数，μ2表示预设的固化膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure BDA0002872623260000282
表示这K个感兴趣区域的固化膜中心厚度的均值。
此外，按照本发明的另一优选实施方式，固化膜缺陷特征库记录缺陷序号、缺陷类型、缺陷所属像素坑坐标、缺陷位置、尺寸等信息，对于坑内体积不足和体积过盈缺陷，还可记录其体积，固化膜缺陷分布图标示出缺陷位置和序号，与液膜缺陷特征库及分布图形式相同，具体示例可参看上表四。
最后，是质量检测和闭环反馈控制步骤。
在此步骤中，预设空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜的缺陷判定标准，并基于以上步骤所分别形成的多个缺陷特征库和参数特征库来形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环，以及所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环；然后，基于固化膜缺陷来反推确定具体的缺陷来源并执行相应的优化调节，由此实现整个喷印制造过程的质量闭环反馈控制过程。
更具体地，参看图8示范性所示，按照本发明的一个优选实施方式，形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
对比所述喷孔缺陷特征库和墨滴参数特征库，判断喷孔缺陷对墨滴缺陷的影响，并关闭因喷孔缺陷导致无法正常使用的喷孔；其中判断喷孔缺陷对墨滴缺陷影响的标准设定如下：若某喷孔及其喷射的墨滴均无缺陷，则判断该喷孔可正常使用；若某喷孔有缺陷但其喷射的墨滴无缺陷，则判断此喷孔缺陷不造成墨滴缺陷，喷孔可正常使用；若某喷孔喷射的墨滴有缺陷，调节驱动波形后再次进行墨滴检测，若此时墨滴无缺陷则判断该喷孔自身不造成墨滴缺陷，可正常使用，否则判断该喷孔缺陷不可接受并关闭缺陷喷孔。
此外，如图9示范性所示，按照本发明的另一优选实施方式，形成所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
针对采集形成的所述空基板缺陷特征库、喷孔缺陷特征库、墨滴参数特征库、液膜缺陷特征库和固化膜缺陷特征库，对比这些特征库来判断缺陷来源，然后对空基板缺陷、喷孔缺陷、墨滴缺陷、液膜缺陷的判断标准相应进行调整；其中判断缺陷来源及对判断标准相应进行调整的操作如下：对比液膜缺陷特征库与固化膜缺陷特征库，若固化膜缺陷处不存在液膜缺陷，则判断缺陷来源于固化过程或需要降低液膜缺陷判断标准；若存在液膜缺陷则进一步分析喷墨打印过程，并寻找参与打印此有固化膜缺陷像素坑的喷孔；对比空基板缺陷特征库与液膜缺陷特征库，若液膜缺陷处存在空基板缺陷，则进一步排查空基板缺陷对液膜缺陷的影响；若空基板缺陷会导致液膜缺陷，则降低空基板缺陷判断的允许值Cb0，若不存在空基板缺陷则判断缺陷来源于喷射过程或需要降低空基板缺陷判断标准，并进一步分析喷射过程；查看墨滴参数特征库，若参与打印有缺陷像素坑的喷孔所喷射的墨滴无缺陷，则需降低墨滴缺陷判断的允许值Cd0，否则按照所述喷孔、墨滴检测闭环方法判断缺陷是否来源于喷孔；若缺陷来源于喷孔但喷孔缺陷特征库中该喷孔无缺陷，则降低喷孔缺陷判断的允许值Cn0。
参看图10，按照本发明的另一优选实施方式，可以采用下述方法进行喷墨印刷制造全过程质量闭环反馈控制。设置驱动波形控制喷头喷射，设置空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜的缺陷判断标准，对空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜采用相应的检测方法进行检测并形成对应的缺陷特征库、参数特征库，按照喷孔、墨滴检测闭环以及空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜检测闭环，对喷墨打印并固化后的固化膜缺陷反推缺陷来源，并调整空基板缺陷、喷孔缺陷、墨滴缺陷、液膜缺陷的判断标准以降低缺陷的漏检率和误检率，若固化膜缺陷是由喷孔缺陷导致的则关闭缺陷喷孔，若是由驱动波形导致的则调整驱动波形，形成喷墨印刷制造全过程质量的闭环反馈控制。
综上，按照本发明的喷墨印刷制造全过程质量检测系统与方法，通过设计多个视觉模块和控制模块，以及相应的质量检测算法，可以实现对空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜的在线质量检测，通过对比分析缺陷特征库、参数特征库，可以对各个环节的检测结果进行印证以及调整缺陷判断标准，并分析喷墨印刷制造过程中的缺陷来源，实现对喷墨印刷制造全过程质量的系统化检测和调控。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于显示器件喷印制造全过程质量检测的系统，其特征在于，该系统包括基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块、膜厚检测模块以及控制模块，其中：
该基板检测模块包括大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)和高分辨率视觉单元(11)，其中所述大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)均设置在具有Y2、Z2自由度也即第二水平纵向自由度、第二竖直方向自由度的运动部件上，并分别用于对喷墨印刷前的空基板进行粗定位检测和精定位检测；所述高分辨率视觉单元(11)设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷墨印刷前的空基板、喷射至基板上的液膜或者固化膜进行视觉质量检测；
该喷孔检测模块包括大视野上视单元(21)和高倍数上视单元(22)，其中所述大视野上视单元(21)、高倍数上视单元(22)均设置在具有X1自由度也即第一水平横向自由度的运动部件上，并分别用于对执行喷墨印刷的喷头喷孔进行定位检测和视觉质量检测；
该墨滴检测模块包括呈夹角α布置的两套水平视觉单元，这两套水平视觉单元同步工作以构成双目视觉系统，其设置在具有X2自由度也即第二水平横向自由度的运动部件上，并用于对喷头所喷射的飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测；
该膜厚检测模块包括一套白光干涉视觉单元，其同所述高分辨率视觉单元(11)一样设置在具有Y1、Z1自由度也即第一水平纵向自由度、第一竖直方向自由度的运动组件上，并用于对喷射至基板上的墨水在固化前后分别进行包括膜厚、体积和均匀性在内的实时视觉检测；
该控制模块包括实时处理控制器(32)、运动控制器(31)、同步触发控制卡(33)和喷头控制卡(34)，其中所述运动控制器(31)分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，并对这些模块控制其运动且获取位置反馈信息；所述喷头控制卡(34)用于控制喷头喷孔开闭及设置驱动波形，由此控制喷孔喷射并输出喷射触发信号至同步触发控制卡(33)；所述同步触发控制卡(33)接收喷射触发信号，并延时触发所述墨滴检测模块工作，由此对飞行墨滴进行包括体积、速度、角度和形状在内的实时检测；所述实时处理控制器(32)分别与所述基板检测模块、喷孔检测模块、墨滴检测模块和膜厚检测模块信号相连，用于控制其工作并获取对应的图像数据进行处理以获得包括空基板缺陷、喷孔缺陷、液膜缺陷和固化膜缺陷在内的多个检测结果；此外，该实时处理控制器(32)还分别与所述运动控制器(31)、同步触发控制卡(33)和喷头控制卡(34)信号相连，并根据检测结果对整个显示器件喷印制造过程形成闭环控制。
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，对于所述基板检测模块而言，它的大视野下视单元(12)、高倍数下视单元(13)均配置有相机、镜头和同轴点光源，并且该大视野下视单元(12)优选设置在喷墨印刷设备的喷头模组上；
对于所述喷孔检测模块而言，它的大视野上视单元(21)、高倍数上视单元(22)均配置有相机、镜头和同轴点光源，并且该喷孔检测模块优选设置在基板吸附平台处。
对于所述墨滴检测模块而言，它的两套水平视觉单元各自优选配置有同轴布置的相机、镜头、准直透镜和光源，并可根据需求增设由四块反射镜共同形成潜望式光路的反射镜组；
对于所述膜厚检测模块而言，它的白光干涉视觉单元优选配置有相机、镜头、同轴点光源和干涉物镜，同时在Z1自由度也即第一竖直方向自由度上增设有优选为亚微米分辨率的光栅尺作为位置反馈装置。
3.一种采用如权利要求1或2所述的系统执行显示器件喷印制造全过程质量检测的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
(a)采用所述基板检测模块，对喷墨印刷前的空基板执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成空基板缺陷特征库和分布图；
(b)采用所述喷孔检测模块，对执行喷墨印刷的喷头喷孔执行定位检测和视觉质量检测，并记录形成喷孔缺陷特征库；
(c)采用所述墨滴检测模块，对喷头所喷射的飞行墨滴执行包括体积、速度、角度和形状在内的实时视觉检测，并记录形成墨滴参数特征库；
(d)采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板上的液膜质量状况和液膜厚度执行视觉检测，并记录形成液膜缺陷特征库和分布图；
(e)再次采用所述基板检测模块和所述膜厚检测模块，分别对喷射至基板且完成固化后的固化膜质量状况和固化膜厚度执行视觉检测，并记录形成固化膜缺陷特征库和分布图；
(f)预设空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜的缺陷判定标准，并基于以上步骤所分别形成的多个缺陷特征库和参数特征库来形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环，以及所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环；然后，基于固化膜缺陷来反推确定具体的缺陷来源并执行相应的优化调节，由此实现整个喷印制造过程的质量闭环反馈控制。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(a)而言，其优选包括下列操作工序：
(a1)启动所述基板检测模块，首先采用所述大视野下视单元(12)找到空基板上的至少2个定位标记，切换至所述高倍数下视单元(13)进行定位标记的位置检测，由此计算出空基板的安装位置和倾斜角度；
(a2)空基板沿着X1方向也即第一水平横向方向依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对空基板进行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后空基板沿X1反向运动，如此交替运动直至整块空基板采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(a3)对相邻图像进行拼接得到完整的空基板图像，对其进行图像处理并建立空基板缺陷特征库和分布图，然后依照以下公式(一)来计算空基板缺陷判断指标Cb，其中当Cb大于预设的允许值Cb0时则判断为缺陷基板：
Figure FDA0002872623250000041
在公式(一)中，N表示为空基板的缺陷种类数；Ti、Ni、bi分别为第i类缺陷的判断阈值、缺陷数量和加权系数，Dj表示测得的缺陷特征参数且Dj＞Ti；i、j表示分别取1～N、1～Ni的整数。
5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(b)而言，其优选进一步包括下列操作工序：
(b1)启动所述喷孔检测模块，首先采用所述大视野上视单元(21)找到喷头喷孔的至少2个定位标记，切换至所述高倍数上视单元(22)进行定位标记的位置检测，由此计算出喷孔的初始位置；
(b2)所述高倍数上视单元(22)对各喷孔区域进行采图并获得包括轮廓点在内的喷孔轮廓信息，接着测量喷孔尺寸并依照以下公式(二)来计算喷孔缺陷指标Cn，其中当Cn大于预设的允许值Cn0则判断喷孔存在缺陷：
Figure FDA0002872623250000042
在公式(二)中，N表示轮廓点数量，xi、yi分别表示编号为i的轮廓点的位置坐标，并且i取从1到N的整数；γ1、γ2分别为预设的加权系数；x0、y0分别表示喷孔圆心点的位置坐标；x、y分别表示多个轮廓点中任一点的位置坐标；r表示喷孔所对应圆的半径。
6.如权利要求3-5任意一项所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(c)而言，其优选包括下列操作工序：
(c1)启动所述墨滴检测模块，同步触发所述两套水平视觉单元以频闪方式采集多个时刻的飞行墨滴图像，直至完成全部喷孔的飞行墨滴检测；
(c2)对所述飞行墨滴图像进行双目标定和图像处理，然后对墨滴形状进行分类，同时进行包括体积、速度、角度在内的一系列墨滴参数测量，并依照以下公式(三)来计算墨滴缺陷指标Cd，其中当Cd大于预设的允许值Cd0则判断为缺陷墨滴：
Figure FDA0002872623250000051
在公式(三)中，V0、v0、
Figure FDA0002872623250000052
及θ0分别表示预设的墨滴体积阈值、速度阈值和两个角度阈值；d1、d2、d3、d4分别表示预设的加权系数；V表示所测得的飞行墨滴实际体积，v表示所测得的飞行墨滴实际速度；
Figure FDA0002872623250000053
及θ表示所测得的飞行墨滴实际方位角和俯仰角。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，在子步骤(c2)中，所述飞行墨滴实际体积V优选采用下列流程来测得：
针对所述两套水平视觉单元分别获得的飞行墨滴图像，对其墨滴轮廓进行高度对齐，并根据同一高度平面内的4个轮廓点采用3次Hermite曲线插值构造如下公式(四)表示的封闭曲线；
接着计算所构造封闭曲线的包围面积S，并通过体积分法依照以下公式(五)和(六)计算飞机墨滴实际体积V：
Figure FDA0002872623250000054
Figure FDA0002872623250000061
V＝Δh∑Si 公式(六)
其中，H(x)表示两个轮廓点之间的构造曲线，并且在同一高度平面内的4个轮廓点之间构造4段曲线H1、H2、H3、H4；(x1,y1)、(x2,y2)分别表示构造Hermite曲线的相邻2个轮廓点的坐标值；y1′、y2′分别表示点(x1,y1)、(x2,y2)处的导数；k1、k2、k3、k4分别表示对用Hermite曲线近似表示墨滴轮廓的误差进行修正的修正系数；Δh表示相邻高度平面之间的高度差；Si表示第i个高度平面内的封面曲线包围面积。
8.如权利要求3-7任意一项所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(d)而言，其优选包括下列操作工序：
(d1)将执行喷墨打印后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至液膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(d2)对相邻图像进行拼接得到完整的带液膜基板图像，对其进行背景减除和图像处理，并建立液膜缺陷特征库和分布图；
(d3)启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出液膜厚度分布和液膜体积；
(d4)依照以下公式(七)和(八)来计算液膜局部均匀性Ulocal、液膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷质量：
Figure FDA0002872623250000071
Figure FDA0002872623250000072
其中，Slocal表示所定义的带液膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure FDA0002872623250000073
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；λ1表示预设的液膜局部均匀系数，λ2表示预设的液膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure FDA0002872623250000074
表示这K个感兴趣区域的液膜中心厚度的均值。
9.如权利要求3-8任意一项所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(e)而言，其优选包括下列操作工序：
(e1)将执行喷墨打印且固化后的基板沿着X1方向也即第一水平横向方向根据位置反馈依次运动至预设的标记位置，同时所述高分辨率视觉单元(11)对此时的基板执行采图，X1方向运动结束后，所述高分辨率视觉单元(11)沿着Y1方向也即第一水平纵向方向运动一段预设的距离，然后基板沿X1反向运动，如此交替运动直至固化膜采图完成，在此过程中保证各次采图所获得的相邻图像存在一定重叠区域；
(e2)对相邻图像进行拼接得到完整的带固化膜基板图像，对其进行背景减除，并建立固化膜缺陷特征库和分布图；
(e3)启动所述膜厚检测模块，将其沿着Z1方向也即第一竖直方向执行扫描，采集各高度位置的一系列干涉条纹图像并记录相应的竖直方向位置值，基于白光干涉原理计算得出固化膜厚度和固化膜体积；
(e4)依照以下公式(九)和(十)来计算固化膜局部均匀性Ulocal、固化膜整体均匀性指标Uglobal，并基于这两个指标来评价喷墨印刷固化后质量：
Figure FDA0002872623250000081
Figure FDA0002872623250000082
其中，Slocal表示所定义的带固化膜基板检测图像的感兴趣区域的面积；Sh表示从该感兴趣区域的中心开始寻找厚度h满足
Figure FDA0002872623250000083
的区域的面积，其中hc表示该感兴趣区域的中心厚度；μ1表示预设的固化膜局部均匀系数，μ2表示预设的固化膜整体均匀系数；K表示计算整体均匀性时抽样确定的感兴趣区域的数量；hc,k、Uk分别表示第k个感兴趣区域的中心厚度和局部均匀性，其中k取从1到K的整数；
Figure FDA0002872623250000084
表示这K个感兴趣区域的固化膜中心厚度的均值。
10.如权利要求3-9任意一项所述的方法，其特征在于，对于上述步骤(f)而言，形成所述喷孔与墨滴之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
对比所述喷孔缺陷特征库和墨滴参数特征库，判断喷孔缺陷对墨滴缺陷的影响，并关闭因喷孔缺陷导致无法正常使用的喷孔；
其中判断喷孔缺陷对墨滴缺陷影响的操作设定如下：若某喷孔及其喷射的墨滴均无缺陷，则判断该喷孔可正常使用；若某喷孔有缺陷但其喷射的墨滴无缺陷，则判断此喷孔缺陷不造成墨滴缺陷，喷孔可正常使用；若某喷孔喷射的墨滴有缺陷，调节驱动波形后再次进行墨滴检测，若此时墨滴无缺陷则判断该喷孔自身不造成墨滴缺陷，可正常使用，否则判断该喷孔缺陷不可接受并关闭缺陷喷孔。
此外，形成所述空基板、喷孔、墨滴、液膜和固化膜之间的检测闭环优选包括下列操作工序：
针对采集形成的所述空基板缺陷特征库、喷孔缺陷特征库、墨滴参数特征库、液膜缺陷特征库和固化膜缺陷特征库，对比这些特征库来判断缺陷来源，然后对空基板缺陷、喷孔缺陷、墨滴缺陷、液膜缺陷的判断标准相应进行调整；
其中判断缺陷来源及对判断标准相应进行调整的操作设定如下：对比液膜缺陷特征库与固化膜缺陷特征库，若固化膜缺陷处不存在液膜缺陷，则判断缺陷来源于固化过程或需要降低液膜缺陷判断标准；若存在液膜缺陷则进一步分析喷墨打印过程，并寻找参与打印此有固化膜缺陷像素坑的喷孔；
对比空基板缺陷特征库与液膜缺陷特征库，若液膜缺陷处存在空基板缺陷，则进一步排查空基板缺陷对液膜缺陷的影响，若空基板缺陷会导致液膜缺陷，则降低空基板缺陷判断的允许值Cb0；若不存在空基板缺陷则判断缺陷来源于喷射过程或需要降低空基板缺陷判断标准，并进一步分析喷射过程；
查看墨滴参数特征库，若参与打印有缺陷像素坑的喷孔所喷射的墨滴无缺陷，则需降低墨滴缺陷判断的允许值Cd0；否则按照所述喷孔、墨滴检测闭环方法判断缺陷是否来源于喷孔，若缺陷来源于喷孔但喷孔缺陷特征库中该喷孔无缺陷，则降低喷孔缺陷判断的允许值Cn0；
形成整个喷印制造过程的质量闭环反馈控制优选采用下述方式：
设置驱动波形控制喷头喷射，设置空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜的缺陷判断标准并执行相应质量检测，按照喷孔、墨滴检测闭环以及空基板、喷孔、墨滴、液膜、固化膜检测闭环反推缺陷来源，并调整对应环节的缺陷判断标准以降低缺陷的漏检率和误检率，若固化膜缺陷是由喷孔缺陷导致的则关闭缺陷喷孔，若是由驱动波形导致的则调整驱动波形。
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