CN101193811A - 基板搬运装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板搬运装置,其可抑制设置面积的增加。本发明的基板搬运装置具备:第一操作装置(6)及第二操作装置(7),其是从收纳多片玻璃基板(3)的一玻璃基板包装箱(2)中取出玻璃基板(3);第一输送带(9),其运送通过第一操作装置(6)所取出的玻璃基板(3);以及第二输送带(10),其运送通过第二操作装置(7)所取出的玻璃基板(3),并且第一操作装置(6)及第二操作装置(7)分别设置于一玻璃基板包装箱(2)的两侧附近,交替取出玻璃基板(3)。
Description
技术领域
本发明涉及从收纳有多片液晶面板用的玻璃基板等的基板包装箱中将基板搬运的装置。
背景技术
近年来,由于用于液晶面板等的平面型的显示装置的玻璃基板逐渐大型化,所以作为卡车运输等时的玻璃基板包装箱,如图4所示,是使用倾斜堆叠的托板2,该倾斜堆叠的托板2将多片玻璃基板3及该玻璃基板3所夹的作为缓冲材料的隔层纸4以倾斜重叠状态装载,以降低搬运成本。其次,作为从托板2将玻璃基板3逐片取出,并搬运至加工生产线的装置,通常使用如图5所示的玻璃基板搬运装置20。
如图所示,玻璃基板搬运装置20,具备:放置托板2的转台21、取出玻璃基板3的操作装置22、除去隔层纸4的去除隔层纸装置23、将取出的玻璃基板3搬运至洗净装置等的传送带24。
图6是表示使用如此的玻璃基板搬运装置20取出玻璃基板3并放置在传送带24上的步骤以及所需时间的时序图。首先,针对操作装置22的动作进行说明。动作22a为操作装置22的拿取动作,是指将前往拿取玻璃基板3的动作自开始至将玻璃基板3保持于操作臂25上,该动作所需时间为14秒。动作22b为操作装置22的搬运动作,是指将保持的玻璃基板3取出并搬运至输送带24的动作,该动作所需时间为8秒。动作22c为操作装置22的放置动作,是指将玻璃基板3放开并放置在输送带24上,该动作所需时间为1 0秒。动作22d为操作装置22的返回动作,是指将玻璃基板3自放置于输送带24并将操作臂25返回到拿取动作22a的开始位置,该动作所需时间为8秒。因此,操作装置22的将前去拿取玻璃基板3的动作开始,至返回,共费时40秒。
其次,针对去除隔层纸装置23的动作进行说明。动作23a为去除隔层纸装置23的拿取动作,是指将前去拿取隔层纸4的动作开始至将隔层纸4保持于操作臂26上,该动作所需时间为3秒。具体而言,该去除隔层纸装置23的拿取动作23a,是于操作装置22的拿取动作22a自完成而开始(如箭头E所示)。动作23b为去除隔层纸装置的搬运动作,是指将取出的隔层纸4搬运至隔层纸投入箱27的动作,该动作所需时间为5秒。动作23c为去除隔层纸装置23的放置动作,是指将隔层纸4放开至隔层纸投入箱27,并投入至隔层纸投入箱27,该动作所需时间为7秒。动作23d为去除隔层纸装置23的返回动作,是指将隔层纸4自投入隔层纸投入箱27至将操作臂26返回到拿取动作23a的开始位置,该动作其所需时间为5秒。因此,去除隔层纸装置23由前往拿取隔层纸的动作开始,至返回为止,共费时20秒。
另外,作为与本发明有关的现有技术文献,可以举出(日本国)特开2000-351449号公报。
为了使用该玻璃基板搬运装置20增加取出玻璃基板3的片数,通常会如图7所示,增设一台玻璃基板装置20,构成玻璃基板搬运装置28。图8是使用如此的两台玻璃基板搬运装置20所组成的玻璃基板搬运装置28,将玻璃基板3取出并放置于输送带24、24上的步骤及其所需时间的时序图。
然而,伴随着玻璃基板的大型化,构成如此的玻璃基板搬运装置的操作装置、去除隔层纸装置、输送带等亦逐渐大型化,因此期望抑制因增设所带来的设置面积的增加。
发明内容
因此,本发明所欲解决的问题即为提供可抑制设置面积增加的基板搬运装置。
为解决上述问题,本发明提供一种基板搬运装置,其特征在于,包括:第一操作装置及第二操作装置,其从收纳有多片基板的一基板包装箱中取出该基板;第一输送带,其搬运由所述第一操作装置所取出的基板;以及第二输送带,其搬运由所述第二操作装置所取出的基板,其中,所述第一操作装置及所述第二操作装置分别配置于所述一基板包装箱的两侧附近,交替取出所述基板。
在此情况下,所述基板包装箱是将多片基板及由该基板所夹的缓冲材料以重叠状态装载的托板,此外,还具备除去所述缓冲材料的一缓冲材料除去装置,并且该缓冲材料除去装置配置于所述第一操作装置与所述第二操作装置之间的附近。
进而,重复进行如下步骤,当所述第一操作装置结束拿取基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束搬运该缓冲材料的动作时,所述第二操作装置开始拿取下一个基板的动作,当该第二操作装置结束拿取该基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取下一个缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束该缓冲材料的搬运动作时,所述第一操作装置开始拿取再下一个基板的动作。
根据具有上述结构的基板搬运装置,由于采用如下结构,即,包括:第一操作装置及第二操作装置,其从一基板包装箱中取出该基板;第一输送带,其搬运由所述第一操作装置所取出的基板;以及第二输送带,其搬运由所述第二操作装置所取出的基板,其中,第一操作装置及第二操作装置分别配置于所述一基板包装箱的两侧附近,交替取出基板,所以相较于现有技术的增设,缩小了一个基板包装箱的设置面积,可抑制因增设所带来的基板搬运装置设置面积的增加。
在此情况下,由于采用如下结构,即,基板包装箱是将多片基板及由该基板所夹的缓冲材料以重叠状态装载的托板,此外,还具备除去缓冲材料的一缓冲材料除去装置,并且该缓冲材料除去装置配置于第一操作装置与第二操作装置之间的附近,所以相较于现有技术的增设,可缩小一台除去缓冲材即隔层纸的装置的设置面积,可抑制因增设所带来的基板搬运装置设置面积的增加。
进而,由于采用如下结构,即,重复进行如下步骤,当所述第一操作装置结束拿取基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束搬运该缓冲材料的动作时,所述第二操作装置开始拿取下一个基板的动作,当该第二操作装置结束拿取该基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取下一个缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束该缓冲材料的搬运动作时,所述第一操作装置开始拿取再下一个基板的动作,因此,能够提高缓冲材料除去装置的运转率。
附图说明
图1是表示本发明一实施方式的玻璃基板搬运装置的概略结构的图;
图2是表示图1的玻璃基板搬运装置动作的步骤及其所需时间的时序图;
图3是表示图1所示的转台的变形例的图;
图4是表示以往所使用的由多片玻璃基板及该玻璃基板所夹的隔层纸,以倾斜重叠状态装载的倾斜堆叠托板的概略结构的图;
图5是表示以往所使用的玻璃基板搬运装置的概略结构的图;
图6是表示图5的玻璃基板搬运装置的动作步骤及其所需时间的时序图;
图7是表示将图5的玻璃基板搬运装置增设为两台的玻璃基板搬运装置的图;
图8是表示图7的玻璃基板搬运装置的动作步骤及其所需时间的时序图。
具体实施方式
以下将针对本发明的基板搬运装置的实施方式,参照附图进行详细说明。图1是本发明的一实施方式的玻璃基板搬运装置的概略结构,图2是表示玻璃基板搬运装置的动作步骤及其所需时间的时序图。此外,本实施例中所使用的玻璃基板包装箱,即为现有技术说明中图4的倾斜堆叠托板2。
图示的玻璃基板搬运装置1具备:放置托板2的一台转台5;取出玻璃基板3的两台的第一操作装置6与第二操作装置7;除去隔层纸4的一台去除隔层纸装置8;以及将取出的玻璃基板3搬运至下一工序的两台的第一输送带9与第二输送带10。
转台5是切换装置,其上侧放置将取出玻璃基板3的托板2,在下侧托板2清空后,使转台5旋转而切换上侧与下侧的托板2。此外,也可使用如图3所示的托板搬运装置11取代转台5。该托板搬运装置11具备:第一托板搬运传输带12,其由コ字形传输带构成;以及第二托板搬运传输带13,其在该第一托板搬运传输带12的中间部、设置了操作装置6、7及去除隔层纸装置8的取出工作场14之间来回搬运。
图1所示的第一操作装置6及第二操作装置7,可由例如多关节产业用机器人所形成,在三条操作臂15表面分别设置了未图示的多个吸盘。自托板2取出玻璃基板3,是通过该操作臂15将吸盘压附于玻璃基板3上而逐片支承玻璃基板3,再将操作臂15旋转而进行。取出的玻璃基板3被放置于设置在下游的输送带9、10,分别通过输送带9、10搬运至例如洗净装置等。
去除隔层纸装置8也可由例如多关节产业用机器人所形成,在一条操作臂16的表面设置未图示的吸盘。自托板2除去隔层纸4,是利用操作臂16将吸盘压附于隔层纸4上而逐片支承隔层纸4,再将操作臂16旋转而进行。除去的隔层纸4则投入设于附近的隔层纸投入箱17,进行回收。
图2是表示使用上述玻璃基板搬运装置1,自托板2取出玻璃基板3并放置于输送带9、10的步骤以及所需时间的时序图。首先,针对第一操作装置6的动作进行说明。动作6a为第一操作装置6的拿取动作,是指从前往拿取玻璃基板3的动作开始至将玻璃基板3保持于操作臂15上,该动作所需时间为14秒。动作6d为第一操作装置6的搬运动作,是指将被保持的玻璃基板3取出并搬运至第一输送带9的动作,该动作所需时间为8秒。动作6c为第一操作装置6的放置动作,是指将玻璃基板3放开并放置在第一输送带9上,该动作所需时间为10秒。
此外,动作6d为第一操作装置6的返回动作,是指从将玻璃基板3放置于第一输送带9至将操作臂15返回到拿取动作6a的开始位置,该动作所需时间为8秒。因此,第一操作装置6的将前去拿取玻璃基板3的动作开始至返回,共费时40秒。另一方面使用第二操作装置7与第二传输带10进行拿取的动作7a、搬运动作7d、放置动作7c、返回动作7d,其情形同样。
其次,针对去除隔层纸装置8的动作进行说明。动作8a为去除隔层纸装置8的拿取动作,是指将从前去拿取隔层纸4的动作开始至将隔层纸4保持于操作臂16上,该动作所需时间为2秒。动作8b为去除隔层纸装置8的搬运动作,是指将取出的隔层纸4搬运至隔层纸投入箱17的动作,该动作所需时间为4秒。动作8c为去除隔层纸装置8的放置动作,是指将隔层纸4放开并投入至隔层纸投入箱17,该动作所需时间为10秒。动作8d为去除隔层纸装置8的返回动作,是指将隔层纸4自投入隔层纸投入箱17至将操作臂16返回到拿取动作8a的开始位置,该动作所需时间为4秒。因此,去除隔层纸装置8从前往拿取隔层纸4的动作开始,至返回为止,共需时20秒。
如此的玻璃基板搬运装置1,如图1所示具有如下结构,即,第一操作装置6及第二操作装置7分别配置于一托板2两侧附近,交替取出玻璃基板3。具体而言,如图2所示,当第一操作装置6结束拿取玻璃基板3的动作6a后,去除隔层纸装置8便开始拿取隔层纸4的动作8a(如箭头A所示)。当去除隔层纸装置8结束搬运该隔层纸4的动作8b时,第二操作装置7开始拿取下一个玻璃基板3的动作7a(如箭头B所示)。第二操作装置7结束拿取该玻璃基板3的动作7a时,去除隔层纸装置8开始拿取下一个隔层纸4的动作8a(如箭头C所示)。然后,去除隔层纸装置8结束搬运该隔层纸4的动作8b时,第一操作装置6开始拿取下一个玻璃基板3的动作6a(如箭头D所示)。以下以相同步骤,第一操作装置6与第二操作装置7交替取出玻璃基板3。
比较本图2的时序图与现有技术当中说明的图6或图8的时序图可知,去除隔层纸装置的运转率获得提高。现有技术的玻璃基板搬运装置的结构中,针对一台操作装置具备一台去除隔层纸装置,相对于此,本发明的玻璃基板搬运装置,是针对两台操作装置具备一台去除隔层纸装置,由此提高了去除隔层纸装置的运转率,可以削减其台数。
此外,比较图1的玻璃基板搬运装置1的设置面积及现有技术中所说明的图7的玻璃基板搬运装置28的设置面积,可知两者取出玻璃基板的处理能力相同,但设置面积缩减。原因在于削减了转台及去除隔层纸装置各一台。不仅如此,由于此削减,也降低了玻璃基板搬运装置的成本。
根据上述所说明的本发明的一实施方式的玻璃基板搬运装置,由于其构成是第一操作装置与第二操作装置分别配置于一玻璃基板包装箱的两侧附近,交替取出玻璃基板,所以相较于现有技术的单纯增设,可减少转台等托板搬运装置的设置面积,可抑制由于增设所带来的玻璃基板搬运装置设置面积的扩大。
进而,即使玻璃基板包装箱是利用隔层纸的倾斜堆叠托板的情况,也能提高使用的去除隔层纸装置的运转率,所以相较于现有技术的增设,可因削减去除隔层纸装置的台数,使得设置面积得以缩小。此外,本发明并不限于此种实施方式,在不脱离本发明宗旨的范围内,可以实施各种方式。例如,除了玻璃基板外,尚可适于树脂制基板的搬运。进而,作为缓冲材料的隔层纸,亦可以由树脂或布制等材料取代,并不限于隔层纸。此外,基板堆叠于托板上的状态,除了倾斜堆叠,也适于水平堆叠,并不限于上述的实施方式。
Claims (3)
1.一种基板搬运装置,其特征在于,包括:第一操作装置及第二操作装置,其从收纳有多片基板的一基板包装箱中取出该基板;第一输送带,其搬运由所述第一操作装置所取出的基板;以及第二输送带,其搬运由所述第二操作装置所取出的基板,其中,所述第一操作装置及所述第二操作装置分别配置于所述一基板包装箱的两侧附近,交替取出所述基板。
2.如权利要求1所述的基板搬运装置,其特征在于,所述基板包装箱是将多片基板及由该基板所夹的缓冲材料以重叠状态装载的托板,此外,还具备除去所述缓冲材料的一缓冲材料除去装置,并且该缓冲材料除去装置配置于所述第一操作装置与所述第二操作装置之间的附近。
3.如权利要求2所述的基板搬运装置,其特征在于,重复进行如下步骤,当所述第一操作装置结束拿取基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束搬运该缓冲材料的动作时,所述第二操作装置开始拿取下一个基板的动作,当该第二操作装置结束拿取该基板的动作时,所述缓冲材料除去装置开始拿取下一个缓冲材料的动作,当该缓冲材料除去装置结束该缓冲材料的搬运动作时,所述第一操作装置开始拿取再下一个基板的动作。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102502260A (zh) * | 2011-10-18 | 2012-06-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板存储搬运系统以及玻璃基板存储平台 |
US9004839B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-04-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Glass substrate storage and transportation system and a glass substrate storage platform |
CN106315210A (zh) * | 2015-07-10 | 2017-01-11 | 上海微电子装备有限公司 | 一种片盒存取设备及方法 |
CN106335791A (zh) * | 2016-08-24 | 2017-01-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 叠片装置、叠片方法和基板强化设备 |
WO2017161675A1 (zh) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板的分流方法、分流装置及加工系统 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7117193B2 (ja) | 2018-08-23 | 2022-08-12 | 川崎重工業株式会社 | ロボット及びそれを備えるロボットシステム |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5710940A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-20 | Toshiba Corp | Supplying method for lead frame |
JPH0236368Y2 (zh) * | 1985-09-28 | 1990-10-03 | ||
JPH065293Y2 (ja) * | 1988-03-31 | 1994-02-09 | 日産自動車株式会社 | パネルの積込み装置 |
JPH0734025Y2 (ja) * | 1991-02-13 | 1995-08-02 | ナショナル住宅産業株式会社 | ワーク搬出装置 |
JPH07137830A (ja) * | 1993-11-12 | 1995-05-30 | Daiwa Kogyo Kk | 製品整列機 |
DE19650689A1 (de) * | 1996-12-06 | 1998-06-10 | Focke & Co | Vorrichtung zum Handhaben von Zuschnittstapeln |
DE19815434A1 (de) * | 1998-04-07 | 1999-10-14 | Focke & Co | Hubvorrichtung (Palettierer) mit Schwenkarm |
DE19922873A1 (de) * | 1999-05-19 | 2000-11-23 | Krones Ag | Vorrichtung zum Einbringen und/oder Ausbringen von Behältern |
JP4282827B2 (ja) * | 1999-06-11 | 2009-06-24 | 三島光産株式会社 | ガラス基板搬送装置 |
JP2004284772A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial System Corp | 基板搬送システム |
-
2006
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- 2006-05-04 TW TW095115916A patent/TW200740678A/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102502260A (zh) * | 2011-10-18 | 2012-06-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板存储搬运系统以及玻璃基板存储平台 |
CN102502260B (zh) * | 2011-10-18 | 2013-11-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 玻璃基板存储搬运系统以及玻璃基板存储平台 |
US9004839B2 (en) | 2011-10-18 | 2015-04-14 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Glass substrate storage and transportation system and a glass substrate storage platform |
CN106315210A (zh) * | 2015-07-10 | 2017-01-11 | 上海微电子装备有限公司 | 一种片盒存取设备及方法 |
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