CN101185032A - 图像处理装置 - Google Patents

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Abstract

一种图像处理装置，能实现对描绘用栅格数据的目测检查的省力化。在通过RIP处理把表示在基板上直接描绘的布线图形的矢量形式的图像数据(戈博数据)展开为描绘用栅格数据之前，若指示布线图形的栅格显示，则把戈博数据向低分辩率栅格数据展开，把戈博数据所表示的布线图形整体作为低分辩率的整体形象图像而显示在栅格显示画面内的整体形象显示区域，若在整体形象图像上指定详细显示对象的单件或片材或任意详细显示范围，则只把戈博数据中的与指定了的详细显示范围相当的数据向高分辨率的栅格数据展开，将其作为表示详细显示范围内的布线图形的详细显示图像而显示在栅格显示画面内的详细显示区域。还有，若在详细显示图像上指示指定了的2点间的距离的运算·显示，则运算、显示指定了的2点间的距离。

Description

图像处理装置
技术区域
本发明涉及图像处理装置，特别是涉及与在基板上直接描绘描绘用栅格数据所表示的布线图形的描绘装置连接，进行把表示输入了的布线图形的矢量形式的图像数据展开为描绘用栅格数据的RIP处理的图像处理装置。
背景技术
作为作成印刷布线基板(PWB：Print Wired Board)、平板显示器(FPD)的基板等时的描绘模式，以前是把在基板上应该形成的布线图形一次在薄膜上曝光，从而作成掩膜，之后，用该掩膜在基板上对上述布线图形进行面曝光，从而进行描绘，这种方式(称为模拟描绘模式)是一般的，而近几年兴起的是不作成掩膜，基于表示布线图形的数字数据(描绘用栅格数据)而在基板上直接描绘布线图形的所谓数字描绘模式(例如参照专利文献1)。
在以数字描绘模式进行描绘的描绘系统中，设有对基板进行描绘的描绘装置和与该描绘装置连接的图像处理装置，图像处理装置具有以下功能：输入利用CAD(Computer Aided Design)/CAM(ComputerAided Manufacturing)而作成的图像数据(表示在基板上应该形成的布线图形的矢量形式且是一定格式的数据)，进行把输入了的图像数据向描绘用栅格数据展开的RIP(Raster Image Processor)处理，把通过RIP处理而获得的描绘用栅格数据供给到描绘装置。
专利文献1：特开2004-184921号公报
发明内容
发明打算解决的课题
在基板上描绘布线图形时，为了避免由于描绘了的布线图形有某种问题而浪费基板，最好在描绘装置在基板上描绘布线图形之前，事前目测检查该布线图形的情况。在现有模拟描绘模式中，是用在薄膜上按布线图形进行曝光而作成的掩膜进行上述目测检查，而在数字描绘模式中不作成掩膜，因而上述目测检查是在显示单元上显示描绘用栅格数据所表示的布线图形来进行的。
但是，描绘用栅格数据与显示单元相比，分辩率极高，显示单元上可显示的布线图形只限于描绘用栅格数据所表示的布线图形中的一部分。因此，在描绘用栅格数据所表示的布线图形的目测检查中，需要一边适当地滚动该布线图形中的让显示单元显示的部分一边反复进行检查，操作繁杂，并且难以把握显示单元上现在显示的部分是描绘用栅格数据所表示的布线图形整体中的哪个部分，这是存在的问题。
还有，描绘用栅格数据是以与描绘装置所涉及的描绘相同的高分辨率来表示在基板上应该形成的布线图形的数据，因而数据量庞大，RIP处理要花费长的时间，在通过目测检查而检测到布线图形有问题的场合，为消除检测到的问题而修正图像数据之后，需要再次进行花费时间的RIP处理，因而对基板制造等作业的进展带来很大的不良影响，这是存在的问题。
本发明是考虑到上述事实而形成的，其目的在于获得能实现对描绘用栅格数据的目测检查的省力化的图像处理装置。
用于解决课题的方案
为了达成上述目的，权利要求1记载的发明所涉及的图像处理装置，与在基板上直接描绘描绘用栅格数据所表示的布线图形的描绘装置连接，进行把表示输入了的上述布线图形的矢量形式的图像数据向上述描绘用栅格数据展开的RIP处理，其特征在于，还具备：低分辩率图像显示控制单元，基于上述图像数据，生成以低分辩率表示上述布线图形的低分辩率布线图形图像，在显示单元上显示生成了的低分辩率布线图形图像；展开单元，在由上述低分辩率显示控制单元在上述显示单元上显示了的低分辩率布线图形图像上通过指定单元而指定了扩大显示对象区域的场合，把上述图像数据中的与上述扩大显示对象区域相当的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成以高分辨率表示上述扩大显示对象区域内的布线图形的高分辨率布线图形图像；以及高分辨率图像显示控制单元，在上述显示单元上显示由上述展开单元生成了的高分辨率布线图形图像。
权利要求1记载的发明所涉及的图像处理装置，与在基板上直接描绘描绘用栅格数据所表示的布线图形的描绘装置连接，其中输入表示上述布线图形的矢量形式的图像数据，进行把输入了的图像数据向描绘用栅格数据展开的RIP处理。在这里，在权利要求1记载的发明中，由低分辩率图像显示控制单元基于图像数据来生成以低分辩率表示布线图形的低分辩率布线图形图像，把生成了的低分辩率布线图形图像显示在显示单元上。还有，展开单元，在由低分辩率显示控制单元在显示单元上显示了的低分辩率布线图形图像上通过指定单元而指定了扩大显示对象区域的场合，把图像数据中的与扩大显示对象区域相当的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成以高分辨率表示扩大显示对象区域内的布线图形的高分辨率布线图形图像。并且高分辨率图像显示控制单元在显示单元上显示由展开单元生成了的高分辨率布线图形图像。
这样，在权利要求1记载的发明中，在显示单元所显示的低分辩率布线图形图像上通过指定单元来指定扩大显示对象区域，从而能把图像数据所表示的布线图形中的希望的部分作为高分辨率布线图形图像而显示在显示单元上，能一边把握该部分在布线图形整体上的位置，一边进行目测检查，因而与一边使显示单元所显示的部分适当地滚动一边进行目测检查的场合比较，操作变得简单，并且能效率很好地进行目测检查。因此，根据权利要求1记载的发明，能实现对描绘用栅格数据的目测检查的省力化。
还有，在权利要求1记载的发明中，是把图像数据中的与指定了的扩大显示对象区域相当的数据向高分辨率栅格数据(高分辨率布线图形图像)展开而显示在显示单元上，因而在高分辨率布线图形图像的显示之前不必进行RIP处理。这样，在目测检查中检测到布线图形有问题的场合，也不必多次进行花费时间的RIP处理数，因而能避免对基板制造等作业的进展带来不良影响。
另外，在权利要求1记载的发明中，如果由上述描绘装置在基板上描绘的布线图形是配置多个片材而构成的，该片材是排列多个与单一电路图形相当的相同单位布线图形而成的，则例如权利要求2记载的，低分辩率图像显示控制单元生成、显示以低分辩率表示布线图形整体的图像，将其作为低分辩率布线图形图像，展开单元，在表示布线图形整体的低分辩率布线图形图像上作为上述扩大显示对象区域而指定了特定的片材的场合，只把图像数据中的与特定的片材内的单一特定单位布线图形相当的数据向高分辨率栅格数据展开，只对上述特定单位生成显示布线图形的图像作为特定片材的高分辨率布线图形图像，这是优选的构成。
如果由描绘装置在基板上描绘的布线图形(布线图形整体)是配置多个片材而构成的，该片材是排列多个与单一电路图形相当的相同单位布线图形而成的，则目测检查通常只对布线图形整体内的各单位布线图形中的1个进行。基于此，在权利要求2记载的发明中，在相同单位布线图形被排列多个而成的特定的片材被指定作为扩大显示对象区域的场合，只把特定的片材内的与单一特定单位布线图形相当的数据向高分辨率栅格数据展开，生成只显示特定单位布线图形的图像作为特定片材的高分辨率布线图形图像，因而能在短时间生成·显示作为扩大显示对象区域而指定了的特定的片材的高分辨率布线图形图像。
还有，在权利要求1记载的发明中，如果由上述描绘装置在基板上描绘的布线图形是配置多个片材而构成的，该片材是排列多个与单一电路图形相当的相同单位布线图形而成的，则例如权利要求3记载的，低分辩率图像显示控制单元生成、显示以低分辩率表示布线图形整体的图像，将其作为低分辩率布线图形图像，展开单元，在表示布线图形整体的低分辩率布线图形图像上作为上述扩大显示对象区域而指定了特定的片材的场合，把图像数据中的与特定的片材内的单一特定单位布线图形以外的其他单位布线图形相当的数据从向高分辨率栅格数据的展开对象中除外，对于这些特定单位布线图形以外的其他单位布线图形，生成只显示表示外缘的框线的特定片材的高分辨率布线图形图像，这是优选的构成。这样，与权利要求2记载的发明一样，能在短时间生成·显示作为扩大显示对象区域而指定了的特定的片材的高分辨率布线图形图像。
还有，在权利要求1记载的发明中，例如权利要求4记载了的，优选的是还具备距离运算·显示单元，该距离运算·显示单元在由高分辨率图像显示控制单元在显示单元上显示了的高分辨率布线图形图像上，通过指定单元指定了距离测量对象的2点的场合，运算指定了的2点间的距离，将其显示在显示单元上。
在数字描绘模式中，描绘用栅格数据所表示的布线图形以某分辩率被描绘在基板上，因而描绘用栅格数据所表示的布线图形、在基板上实际被描绘的布线图形中的各部分的位置，由于化整误差的影响，相对于图像数据所表示的布线图形，会以描绘时的分辩率上邻接的像素的距离为最大而变动。因此，优选的是，对于在布线图形中面积不满给定值的针孔区域是不是存在，布线图形中邻接的图形互相重叠的区域的幅度不满给定值的图形是不是存在，布线图形中邻接的图形的间隙不满给定值的图形是不是存在等，是在展开图像数据而获得的高分辨率栅格数据所表示的布线图形上最终进行检查。
在权利要求4记载的发明中，在高分辨率布线图形图像上距离测量对象的2点被指定的话，则运算指定了的2点间的距离，将其显示在显示单元上，因而在以高分辨率布线图形图像为基础的布线图形的目测检查中，对于最终检查面积不满给定值的针孔区域的有无，邻接的图形互相重叠的区域的幅度不满给定值的图形的有无，邻接的图形的间隙不满给定值的图形的有无等，能正确且容易地进行，能实现目测检查的省力化。
然而，在采用通过RIP处理而获得的描绘用栅格数据，实际在基板上描绘布线图形而作成基板时，例如在邻接的图形的间隙不足等布线图形的问题发生了的场合，为使得在基板上实际形成的布线图形中不发生问题而修正图像数据之后，需要再次进行花费时间的RIP处理、对基板的描绘等后工序，所以对基板制造等作业的进展带来很大的不良影响，并且浪费基板，这是存在的问题。考虑到上述情况，在权利要求1至权利要求4中的任意一项记载的发明中，优选的是例如权利要求5记载的，还具备检查单元，该检查单元在对输入了的图像数据进行RIP处理之前，检查图像数据中是不是有在经过描绘装置所涉及的描绘工序而作成的基板上发生问题的缺陷的检查单元。
根据权利要求5记载的发明，即使输入了的图像数据中有使经过描绘装置所涉及的描绘工序而作成的基板发生问题的缺陷，该缺陷也会在对图像数据进行RIP处理之前由检查单元检测到，基于检测到的缺陷而修正图像数据之后进行RIP处理，从而能防止因为图像数据而使基板发生问题。并且，能在进行RIP处理之前检测成为上述错误、问题的原因的图像数据的缺陷，因而不必无用地重复RIP处理、描绘装置所涉及的描绘等工序，能防止输入了的图像数据的缺陷对基板制造等作业的进展带来很大的不良影响，或者由于上述缺陷而浪费基板。
另外，经过描绘装置所涉及的描绘工序而作成的基板是不是因为图像数据而发生问题，还依赖于描绘装置在基板上描绘布线图形时所适用的描绘条件。考虑到这一点，在权利要求5记载的发明中，检查单元优选的是例如权利要求6记载的，在检查图像数据中是不是有缺陷时，取得描绘装置在基板上描绘布线图形时适用的描绘条件，按照取得的描绘条件来设定在上述检查中用于判断缺陷的阈值，采用设定的阈值进行检查。
在由CAD/CAM系统作成·生成图像数据的时点，描绘装置在基板上描绘布线图形时的描绘条件是不定的，因而即使由该工序检查了图像数据的缺陷的有无，也难以有效地降低上述问题。相比之下，RIP处理是把图像数据向与描绘装置在基板上描绘布线图形时的描绘条件(例如分辩率等)对应的描绘用栅格数据展开的处理，因而在进行RIP处理的时点，上述描绘条件是确定的。在权利要求6记载的发明中利用这一点，取得上述描绘条件，按照取得的描绘条件来设定在检查中用于判断缺陷的阈值，采用设定的阈值进行检查，因而能高精度地判断在图像数据中是不是有在经过描绘装置所涉及的描绘工序而作成的基板上由于图像数据而发生问题的缺陷，能提高检查单元所涉及的检查精度。
还有，在权利要求5记载的发明中，检查单元进行的处理是检查在作成的基板上是不是有发生问题的缺陷，具体可以是例如权利要求7记载的，检查以下至少1种：在图像数据所表示的布线图形中是不是包含圆周长不满第1给定值的圆弧部；在布线图形中是不是包含起点位置处的半径和终点位置处的半径的差为第2给定值以上的圆弧部；在布线图形中是不是包含半径为第3给定值以上的圆弧部；在布线图形中是不是包含采用了圆以外的孔形状的线；在布线图形中是不是包含起点位置和终点位置形成同一闭合曲线且在从起点位置至终点位置的途中与自线交叉的自我交叉线；布线图形是不是存在于离原点为第4给定值以上的坐标处；在图像数据所表示的布线图形中是不是存在面积不满第5给定值的针孔区域；在布线图形中是不是存在邻接的图形互相重叠的区域的幅度不满第6给定值的图形；以及在上述布线图形中是不是存在邻接的图形的间隙不满第7给定值的图形。
还有，在权利要求7记载的发明中，检查单元优选的是例如权利要求8记载的，在检查图像数据中是不是有在作成的基板上发生问题的缺陷时，取得作为描绘装置在基板上描绘布线图形时适用的描绘条件之一的分辩率，按照取得的分辩率来设定第1给定值、第2给定值、第5给定值～第7给定值中的与所执行的检查对应的给定值，采用设定的给定值进行检查。这样，检查单元在进行检查作成的基板上是不是有发生问题的缺陷的处理，即以下至少1种：检查在图像数据所表示的布线图形中是不是包含圆周长不满第1给定值的圆弧部的处理；检查在布线图形中是不是包含起点位置处的半径和终点位置处的半径的差为第2给定值以上的圆弧部的处理；检查在图像数据所表示的布线图形中是不是存在面积不满第5给定值的针孔区域的处理；检查在布线图形中是不是存在邻接的图形互相重叠的区域的幅度不满第6给定值的图形的处理；以及检查在上述布线图形中是不是存在邻接的图形的间隙不满第7给定值的图形的处理的场合，能基于描绘装置在基板上描绘布线图形时的分辩率，提高这些检查处理的精度。
还有，在权利要求7记载的发明中，检查单元优选的是例如权利要求9记载的，在检查图像数据中是不是有在作成的基板上发生问题的缺陷时，取得作为描绘装置在基板上描绘布线图形时适用的描绘条件之一的设置在基板上的感光材料的种类，按照取得的感光材料的种类来设定第5及第7给定值中的与所执行的检查对应的给定值，采用设定的给定值进行检查。这样，检查单元在进行检查作成的基板上是不是有发生问题的缺陷的处理，即以下至少1种：检查在布线图形中是不是存在面积不满第5给定值的针孔区域的处理；以及检查在布线图形中是不是存在与邻接的图形的间隙不满第7给定值的图形的处理的场合，能基于设置在由描绘装置描绘布线图形的基板上的感光材料的种类，提高这些检查处理的精度。
还有，在权利要求5记载的发明中，检查单元优选的是例如权利要求10记载的，还检查在图像数据中是不是有在RIP处理中发生错误的缺陷。这样就能预防由于图像数据而在RIP处理中发生错误而必须使RIP处理停止，修正图像数据之后再次进行RIP处理。另外，作为检查在图像数据中是不是有在RIP处理中发生错误的缺陷的处理，具体是例如权利要求11记载的，可以列举检查图像数据中是不是包含在RIP处理中可处置的文字种类以外的文字、布线图形的顶点的数是不是第8给定值以上、构成图像数据的层的数是不是第9给定值以上中的至少1种的处理。
还有，在权利要求5记载的发明中，优选的是例如权利要求12记载的，还具备数据生成单元，该数据生成单元在由检查单元判断为在图像数据中有缺陷的场合，取得判断为有缺陷的地方在布线图形上的坐标，基于取得的坐标，以在图像数据所表示的布线图形上可重叠显示的状态，生成在布线图形上的上述地方标明给定的记号的缺陷地方标明数据。这样，基于由检查单元判断为在图像数据中有缺陷这一点，在信息处理装置(例如CAM系统的信息处理装置)的显示单元上显示上述图像数据所表示的布线图形时，能由数据生成单元在所显示的布线图形中的判断为有缺陷的地方容易地标明(重叠显示)给定的记号，能容易地进行指明、修正图像数据中的与缺陷相当的部分的作业。
还有，在权利要求1至权利要求10中任意一项记载的发明中，优选的是例如权利要求13记载的，还具备：运算单元，取得描绘装置在基板上描绘布线图形时适用的描绘条件，基于取得的描绘条件和图像数据，运算描绘装置在现在的描绘条件下描绘了图像数据所表示的布线图形的场合的基板上的布线图形的描绘范围；以及位置关系显示控制单元，把基于由运算单元运算所得的描绘范围，描绘装置在现在的描绘条件下描绘了图像数据所表示的布线图形的场合的基板和在基板上的布线图形的描绘范围的位置关系显示在显示单元上。
描绘装置在基板上描绘布线图形时的描绘条件中包含规定在基板上的布线图形的描绘范围的信息，但是在该信息的内容不适当的场合，在描绘装置所涉及的布线图形的描绘中，有可能出现描绘范围从基板上越出，从而浪费基板等不良情况。对此，在权利要求13记载的发明中，基于描绘条件和图像数据来运算在基板上的布线图形的描绘范围，在显示单元上显示基板和基板上的布线图形的描绘范围的位置关系，从而能在描绘装置在基板上实际描绘布线图形之前检查描绘条件中的规定基板上的布线图形的描绘范围的信息的内容是不是适当，能避免出现浪费基板等不良情况。
发明效果
如以上说明了的，本发明是基于表示布线图形的矢量形式的图像数据，生成以低分辩率表示布线图形的低分辩率布线图形图像，将其显示在显示单元上，并且在低分辩率布线图形图像上通过指定单元指定了扩大显示对象区域的场合，把图像数据中的与扩大显示对象区域相当的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成以高分辨率表示扩大显示对象区域内的布线图形的高分辨率布线图形图像，将其显示在显示单元上，因而能实现对描绘用栅格数据的目测检查的省力化，这是其出色效果。
附图说明
图1是本实施方式所涉及的基板描绘系统的概略构成图。
图2是一并记载了图像处理装置中的数据流向的功能框图。
图3是表示数据检查处理的内容的流程图。
图4是用于说明数据检查处理中的各种检查的形象图。
图5是用于说明数据检查处理中的各种检查的形象图。
图6是表示戈博数据的一个例子的形象图。
图7是表示错误地方显示的一个例子的形象图。
图8是表示布设确认处理的内容的流程图。
图9是表示布设显示画面的一个例子的形象图。
图10是表示布设显示画面上的布线图形的旋转的形象图。
图11是表示布设显示画面上的布线图形的镜像显示的形象图。
图12是表示栅格显示处理的内容的流程图。
图13是表示描绘单位(布线图形整体)内的单件的配置的一个例子的形象图。
图14是表示栅格显示画面的一个例子的形象图。
图15是表示在栅格显示画面上显示单件的状态的形象图。
图16是表示对栅格显示画面的片材进行显示的状态的形象图。
图17是表示在布线图形的栅格显示中显示指定了的2点间的距离的状态的形象图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的实施方式的一个例子。图1表示本实施方式所涉及的基板描绘系统10。基板描绘系统10具备把输入了的描绘用栅格数据所表示的布线图形直接描绘在表面涂布了感光材料的基板上的作为描绘装置的曝光装置12。作为曝光装置12，例如可以采用把用数字微镜器件(DMD)等空间光调制元件按照描绘用栅格数据调制了的光束照射在基板上，从而在基板上描绘布线图形的构成。由曝光装置12描绘了布线图形的基板，经过显影、蚀刻、清洗、切割、穿孔等公知的工序，形成布线图形，整形为可安装电路元件的印刷布线基板(PWB)。
曝光装置12与把描绘用栅格数据供给到曝光装置12的图像处理装置14连接，该图像处理装置14通过LAN等网络16分别与作为CAD/CAM系统起作用的多台计算机18连接。另外，图1中作为一个例子，示出了3台计算机18，不过，作为CAD/CAM系统起作用的计算机18的台数不受上述限定。CAD系统(作为其起作用的计算机18)进行设计安装在印刷布线基板上的电子电路，或者设计应该在印刷布线基板上形成的布线图形(与后述的单件(单位布线图形)相当的布线图形)等工序，把记述了布线图形的给定格式的数据通过网络16输出到作为CAM系统起作用的另外的计算机18(也可以是同一计算机)。
CAM系统(作为其起作用的计算机18)，其中输入记述了布线图形的数据的话，就进行决定把输入了的数据所表示的布线图形描绘到基板上时怎么配置，或者决定在穿孔工序中在基板上的哪个位置穿孔，对布线图形附加应该描绘的评语等编辑工序。然后，生成以矢量形式(把图像作为起点、终点等点的坐标和连接其的线、面的方程式等的参数、全面涂抹、特殊效果等描绘信息的集合来表现的数据格式)记述了1次描绘时在基板上应该描绘的布线图形整体的图像数据(以下称为戈博(ガ一バ一デ一タ)数据)，把该戈博数据通过网络16传送到图像处理装置14。另外，把由上述编辑工序决定了的基板上的穿孔位置作为供给对基板进行穿孔的未图示的穿孔机的穿孔数据而输出。
另一方面，图像处理装置14与本发明所涉及的图像处理装置对应，由个人计算机(PC)等组成，包含CPU、存储器、HDD22(参照图2)、作为显示单元的显示器、键盘、鼠标等而构成。在图像处理装置14的HDD中分别安装使图像处理装置14的CPU作为图2所示的作业登记GUI(Graphical User Interface)24、数据接受处理部26、数据检查处理部28、布设确认GUI30、布设显示处理部32、栅格显示GUI34、RIP处理部36、作业显示GUI38及曝光装置控制部40起作用的各种应用程序。还有，在HDD22中分别设有用于收纳从CAM系统取得的戈博数据的接收戈博数据文件夹44、用于收纳经过数据检查处理部28所涉及的数据检查处理(详细情况后述)的戈博数据的检查完毕戈博数据文件夹46、用于收纳通过作业登记GUI24而输入了的作业条件信息的作业条件信息文件夹48、用于收纳通过RIP处理部36的RIP处理而获得的描绘用栅格数据的描绘用栅格数据文件夹50。另外，本实施方式所涉及的图像处理装置14最多可连接2台曝光装置12。
其次，按顺序说明作为本实施方式的作用，为了根据戈博数据来获得描绘用栅格数据而由图像处理装置14进行的一连串处理。
在本实施方式中，把由CAM系统生成了的戈博数据存储·保管在可由图像处理装置14通过网络访问的存储介质54(例如作为CAM系统起作用的计算机18中内置的HDD中设置的设定为可由图像处理装置14访问的特定文件夹)中。作业登记GUI24在图像处理装置14的显示器可显示的画面中包含用于指示取得来自存储介质54的戈博数据的数据取得指示画面，在该数据取得指示画面显示在显示器上的状态下，用户通过操作键盘、鼠标等而指示从存储介质54取得特定的戈博数据的话，该指示就通过作业登记GUI24而输入到数据接受处理部26，数据接受处理部26经由网络16而从存储介质54读出、取得指示了的特定的戈博数据，把取得了的戈博数据收纳在接收戈博数据文件夹44中。
另外，可由计算机18实现的CAD/CAM系统中有各种规格·功能的系统，数据接受处理部26从存储介质54取得戈博数据的话，就检查取得了的戈博数据的格式，根据需要进行转换到一定格式的戈博数据的处理之后，还进行将其收纳在接收戈博数据文件夹44中的处理。
还有，作业登记GUI24在图像处理装置14的显示器可显示的画面中包含用于指示取得检查接收戈博数据文件夹44中收纳的戈博数据的检查指示画面。图示省略了，不过，该检查指示画面中设有：用于对接收戈博数据文件夹44中收纳的戈博数据的文件名等进行一览显示的显示栏；用于对于从该显示栏所一览显示了的各戈博数据中作为处理对象被选择了的戈博数据，输入布线图形描绘时的描绘条件(例如分辩率，布线图形的描绘所用的曝光装置12的型号，描绘模式，描绘布线图形的基板的尺寸，戈博数据所表示的布线图形的旋转、反转(镜像)的有无，旋转角度·反转(镜像)的方向，基板上涂布的感光材料的种类等)、描绘布线图形的基板的张数等作业条件的输入栏；以及用于指示对从上述显示栏所一览显示了的各戈博数据中作为处理对象被选择了的戈博数据执行数据检查处理的按钮。
在上述检查指示画面显示在显示器上的状态下，用户通过键盘、鼠标，从检查指示画面内的显示栏所一览显示的戈博数据中选择处理对象的戈博数据，在检查指示画面内的输入栏中输入处理对象的戈博数据的作业条件的话，表示输入了的作业条件的作业条件信息就作为处理对象的戈博数据的作业条件被作业条件信息文件夹48收纳。然后，通过选择检查指示画面内的按钮而指示对处理对象的戈博数据执行数据检查处理的话，该指示就通过作业登记GUI24而被数据检查处理部28输入，由该数据检查处理部28进行图3所示的数据检查处理。另外，该数据检查处理是与本发明所涉及的检查单元相当的处理，执行数据检查处理的数据检查处理部28与本发明所涉及的检查单元对应。
该数据检查处理是对处理对象的戈博数据检查是不是有在RIP处理部36所涉及的RIP处理中造成错误发生的缺陷、经过曝光装置12对基板描绘布线图形而作成的印刷布线基板上是不是有成为问题发生的原因的缺陷的处理，首先，在步骤100中，从检查完毕戈博数据文件夹46取入处理对象的戈博数据，并且从作业条件信息文件夹48取入与该戈博数据对应的作业条件信息。
在步骤102中，按照由步骤100取入了的作业条件信息中包含的描绘时的分辩率，设定后述的处理所使用的阈值th1、th2、th6。另外，详细情况后述，不过，阈值th1是检查圆周长极小(例如数μm程度)的微小圆弧部的有无时用的圆周长的阈值，阈值th2是检查起、终点处的半径上有差的圆弧的有无时用的半径差的阈值，阈值th6是检查邻接的图形的重叠(重叠区域)的幅度小的图形的有无时用的幅度的阈值，在步骤102中，按随着描绘时的分辩率变高(即由曝光装置12在基板上描绘的布线图形中的像素的间隔变小)而阈值th1、th2、th6都变小的方式，设定阈值th1、th2、th6。
还有，在步骤104中，按照由步骤100取入了的作业条件信息中包含的描绘时的分辩率和基板上涂布的感光材料的种类，设定后述的处理所使用的阈值th5、th7。详细情况后述，不过，阈值th5是检查面积微小的针孔区域的有无时用的面积的阈值，阈值th7是检查邻接的图形的间隙小的图形的有无时用的间隙的阈值。在曝光装置12所涉及的对基板的布线图形的描绘中，基板上描绘了的布线图形上的描绘部分和非描绘部分的境界(边沿部分)的清晰度依赖于基板上涂布的感光材料的曝光量一浓度特性的斜率的大小，经过蚀刻工序在基板上形成的布线图形上的边沿部的位置是向曝光部分和非曝光部分中的由蚀刻工序除去的一侧的面积变大的方向，按与边沿部分的清晰度的大小对应的偏移量而偏移。并且，随着边沿部分的位置的偏移，上述针孔区域的面积、邻接的图形的间隔会变化。
边沿部分的清晰度的变化所对应的针孔区域的面积、邻接的图形的间隔的变化方向随布线图形的描绘中的曝光部分是成为蚀刻工序中残留的一侧(图形部)还是成为被除去的一侧(间隙部)而不同，不过，这可以根据感光材料的种类(正或负)来判断，还有，感光材料的曝光量一浓度特性的斜率的大小也可以根据感光材料的种类来判断。在本实施方式中，在各种感光材料上描绘布线图形而作成了印刷布线基板时，测量边沿部分的实际的位置相对于本来的位置以怎样的程度偏移，把测量结果作为表格存储在HDD中，在步骤104中，按照描绘时的分辩率而设定阈值th5、th7之后，参照上述表格来取得与基板上涂布的感光材料的种类对应的边沿部分的偏移量，按照取得了的偏移量来修正阈值th5、th7，从而设定与描绘时的分辩率和感光材料的种类对应的阈值th5、th7。
然而，在上述RIP处理部36中，是进行把戈博数据(具体是检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的戈博数据)向栅格形式(比特图形式)的描绘用栅格数据展开的RIP处理，不过，在该RIP处理中，可处置的文字种类受到限制，在RIP处理对象的戈博数据中包含可处置的文字种类以外的文字(例如半角假名文字等)的场合，在检测到这种文字的阶段会出现错误，RIP处理停止。因此，在下面的步骤106中，从前头开始按顺序参照处理对象的戈博数据，进行检查处理，即检查是不是包含由RIP处理可处置的文字种类以外的文字。步骤106的检查处理完成的话就转移到步骤108，在步骤108的检查处理中判断是不是检测到包含相应的文字。在判断为否定的场合转移到步骤112，而在判断为肯定的场合转移到步骤110，在存储器中存储表示检测到错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含由RIP处理可处置的文字种类以外的文字的错误的错误种类信息之后转移到步骤112。
还有，在布线图形中包含圆周长极小的(例如数μm程度)微小圆弧部的场合，该微小圆弧部成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因，因而优选的是将其置换为直线。因此，在下面的步骤112中，进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对圆周长不满阈值th1的微小圆弧部进行规定的数据。另外，在上述步骤102中按照描绘时的分辩率而设定了阈值th1，因而能精度很好地检查布线图形中是不是包含成为印刷布线基板的问题的原因的微小圆弧部。步骤112的检查处理完成的话就转移到步骤114，在步骤112的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤118，而在判断为肯定的场合转移到步骤116，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定微小圆弧部的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的微小圆弧部的位置的坐标信息之后转移到步骤118。
还有，例如图4(A)所示，在布线图形中包含起点处的半径L1和终点处的半径L2的差(|L1-L2|)为一定值(例如数十μm程度)以上的圆弧部的场合，该圆弧部也会成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因，因而不是优选的。因此，在下面的步骤118中，进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对半径差(|L1-L2|)为阈值th2以上的圆弧部进行规定的数据。另外，在上述步骤102也按照描绘时的分辩率而设定了阈值th2，因而能精度很好地检查布线图形中是不是包含成为印刷布线基板的问题的原因的有半径差的圆弧部。步骤118的检查处理完成的话就转移到步骤120，在步骤118的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤124，而在判断为肯定的场合转移到步骤122，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定有半径差的圆弧部的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的有半径差的圆弧部的位置的坐标信息之后转移到步骤124。
还有，一般在布线图形中不使用半径过大(例如一千数百mm程度)的圆弧部，因而在布线图形中包含这样的半径过大圆弧部的场合，该半径过大圆弧部可能成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因。因此，在步骤124中，进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对半径为阈值th3以上的圆弧部进行规定的数据。步骤124的检查处理完成的话转移到步骤126，在步骤124的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤130，而在判断为肯定的场合转移到步骤128，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定半径过大圆弧部的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的半径过大圆弧部的位置的坐标信息之后转移到步骤130。
还有，戈博数据，例如图4(B)所示，是指定孔的形状、起点位置及终点位置，从而把指定了形状的孔从起点位置移动到终点位置时的轨迹描绘成线，如果孔的形状是圆，则不论孔的移动方向如何，线的幅度都是一定的(＝圆的直径)，而在孔的形状不是圆的场合，线的幅度随孔的移动方向而变化。因此，在布线图形中包含用圆以外的形状的孔描绘的线的场合，该线可能成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成印刷布线基板的问题的原因。因此，在步骤130中，进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含用圆以外的形状的孔描绘的数据。步骤130的检查处理完成的话转移到步骤132，在步骤130的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤136，而在判断为肯定的场合转移到步骤134，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含用圆以外的形状的孔描绘的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的用圆以外的形状的孔描绘的线的位置的坐标信息之后转移到步骤136。
还有，例如图4(C)所示，起点位置和终点位置相同(形成闭合曲线)，从起点位置至终点位置的途中与自线交叉的自我交叉线一般在布线图形中不使用，而在布线图形中包含这样的自我交叉线的场合，也会成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因。因此，在下面的步骤136中，进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对自我交叉线进行规定的数据。步骤136的检查处理完成的话转移到步骤138，在步骤136的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤142，而在判断为肯定的场合转移到步骤140，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定自我交叉线的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的自我交叉线的位置的坐标信息之后转移到步骤142。
还有，在RIP处理中，在RIP处理对象的戈博数据中包含的顶点的数有上限(例如2048个)，在RIP处理对象的戈博数据中包含超过上限的数的顶点的场合，在检测到该上限以上的顶点数的阶段，会出现错误，RIP处理停止。因此，在步骤142中进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中包含的顶点的数是不是阈值th8(＝RIP处理的上限)以上。步骤142的检查处理完成的话转移到步骤144，在步骤142的检查处理中判断顶点的数是不是阈值th8以上。在判断为否定的场合转移到步骤148，而在判断为肯定的场合转移到步骤146，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含上限以上的数的顶点的错误的错误种类信息之后转移到步骤148。
还有，戈博数据，例如图4(D)所示，是把目的图像(布线图形)分解为多层图像来表示，并且通过附加指示各层图像的加或减的数据来表示目的图像(布线图形)的数据，在RIP处理中，构成RIP处理对象的戈博数据的层的数有上限(例如1024个)，在RIP处理对象的戈博数据由超过上限的数的层构成的场合，在检测到该上限以上的层数的阶段，会出现错误，RIP处理停止。因此，在步骤148中进行检查处理，即检查构成处理对象的戈博数据的层的数是不是阈值th9(＝RIP处理的上限)以上。步骤148的检查处理完成的话转移到步骤150，在步骤148的检查处理中判断层的数是不是阈值th9以上。在判断为否定的场合转移到步骤154，而在判断为肯定的场合转移到步骤152，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是构成处理对象的戈博数据的层数超过上限的错误的错误种类信息之后转移到步骤154。
还有，在布线图形中有离戈博数据的原点的距离过大(例如一千数百mm程度)的部分存在的场合，在曝光装置12所涉及的描绘工序中，上述离原点的距离过大的部分的描绘位置会从基板越出，很可能作不成适当的印刷布线基板。因此，在步骤154中进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据所表示布线图形中是不是包含离戈博数据的原点的距离为阈值th4以上的部分。步骤154的检查处理完成的话转移到步骤156，在步骤154的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤160，而在判断为肯定的场合转移到步骤158，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据所表示布线图形中包含离戈博数据的原点的距离过大的部分的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的离上述原点的距离过大的部分的位置的坐标信息之后转移到步骤160。
还有，面积微小的针孔区域一般在布线图形中不使用，在布线图形中包含这样的微小面积的针孔区域的场合，该微小面积的针孔区域可能会成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因。因此，在步骤160中进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对面积不满阈值th5的针孔区域进行规定的数据。另外，阈值th5是在上述步骤104中按照描绘时的分辩率及基板上的感光材料的种类而设定的，因而能精度很好地检查在布线图形中是不是包含成为印刷布线基板的问题的原因的微小面积的针孔部。步骤160的检查处理完成的话转移到步骤162，在步骤160的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤166，而在判断为肯定的场合转移到步骤164，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定微小面积的针孔区域的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的微小面积的针孔区域的位置的坐标信息之后转移到步骤166。
还有，在戈博数据中，在全面涂抹目的图像(布线图形)中的任意区域的场合，有时不采用指示全面涂抹的指令，而是例如图5(A)所示，按邻接的线的一部分重叠(把重叠的部分称为重叠区域)的方式指示多个线的描绘，从而设定指示希望的区域的全面涂抹的数据，此时重叠区域的幅度OVL不足的话，经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板上的布线图形中的与上述重叠区域相当的部分就有可能成为与描绘工序中未被曝光的部分相同的状态。
因此，在步骤166中进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对重叠区域的幅度不满阈值th6的图形(线等)进行规定的数据。另外，阈值th6是在上述步骤102中按照描绘时的分辩率而设定的，因而能精度很好地检查在布线图形中是不是包含成为印刷布线基板的问题的原因的重叠区域的幅度不足的图形。步骤166的检查处理完成的话转移到步骤168，在步骤166的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤172，而在判断为肯定的场合转移到步骤170，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含对重叠区域的幅度不足的图形进行规定的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的重叠区域的幅度不足的图形的位置的坐标信息之后转移到步骤172。
还有，例如图5(B)所示，在布线图形中包含邻接的图形的间隙GAP不足的图形的场合，该邻接的图形的间隙不足的图形很可能成为经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板的问题的原因。因此，在步骤172中进行检查处理，即检查在处理对象的戈博数据中是不是包含对邻接的图形的间隙GAP不满阈值th7的图形进行规定的数据。另外，阈值th7是在上述步骤102中按照描绘时的分辩率及基板上的感光材料的种类而设定的，因而能精度很好地检查在布线图形中是不是包含成为印刷布线基板的问题的原因的间隙不足的图形。步骤172的检查处理完成的话转移到步骤174，在步骤172的检查处理中判断是不是检测到相应的数据。在判断为否定的场合转移到步骤178，而在判断为肯定的场合转移到步骤176，在存储器中存储表示检测到的错误(缺陷)是在处理对象的戈博数据中包含规定间隙不足的图形的数据的错误的错误种类信息和表示戈博数据所表示的布线图形上的间隙不足的图形的位置的坐标信息之后转移到步骤178。
在步骤178中基于存储器中是不是存储了错误种类信息等错误信息，判断是不是通过上述各检查处理而在处理对象的戈博数据中检测到某种错误(缺陷)。在判断为否定的场合(完全未检测到错误的场合)转移到步骤180，在检查完毕戈博数据文件夹46中收纳处理对象的戈博数据，结束数据检查处理。
另一方面，在步骤178中判断为肯定的场合(检测到1个以上错误的场合)转移到步骤182，首先取入存储器中存储的错误信息，判断取入了的错误信息中是不是包含坐标信息。然后，在处理对象的戈博数据中包含坐标信息的场合，即在处理对象的戈博数据所表示的布线图形上检测到可标明错误地方的错误的场合，基于取入了的错误信息(错误种类信息及坐标信息)，生成在处理对象的戈博数据所表示的布线图形上用于标明错误地方的戈博错误文件，把生成了的戈博错误文件附加于处理对象的戈博数据。另外，步骤182是与本发明所涉及的数据生成单元对应的处理，进行步骤182的处理的数据检查处理部28也与本发明所涉及的数据生成单元对应。
本实施方式所涉及的戈博错误文件是可作为戈博数据来处置的数据，例如图6所示，是在戈博开头部和戈博结束编码之间记述了错误地方(取入了的错误信息中包含的坐标信息所表示的位置)所标明的对给定的记号(孔)的形状、尺寸进行规定的记号数据(图6中记作「孔形状指定」)和对布线图形上的给定的记号的标明位置进行规定的坐标数据(图6中记作「错误项目n  指定x、y坐标」)而构成的。在步骤182中，基于取入了的错误信息中包含的坐标信息来设定上述坐标数据，并且按在由坐标数据规定的各个错误地方标明与各个错误种类对应的记号的方式设定上述记号数据，从而生成戈博错误文件。
然后，在步骤184中，通过作业登记GUI24在显示器上显示给定的消息，从而通知在处理对象的戈博数据中检测到错误，并且通过作业登记GUI24在显示器上显示检测到的错误内容，结束数据检查处理。另外，至于错误内容的显示，如果检测到的错误例如是构成处理对象的戈博数据的层数超过上限等那样难以标明错误地方的错误(在错误检测时未存储坐标信息的错误)，则仅在显示器上显示通知错误的内容的消息，而如果检测到的错误是可标明错误地方的的错误(在错误检测时存储了坐标信息的错误)，则基于由步骤182生成了的戈博错误文件，例如图7所示，在显示器上显示在处理对象的戈博数据所表示的布线图形中的戈博错误文件的坐标数据所指示的错误地方，把由记号数据规定的记号一一重叠显示所得的错误地方标明图像，从而标明错误内容。另外，在显示错误内容时，也可以扩大显示特定的错误地方，并且按照来自用户的指示，依次切换所扩大显示的错误地方。
在图7所示的错误地方标明图像中，在布线图形上的各错误地方，显示了尺寸及形状的至少一方互相不同的记号60A～60D中的与各错误地方的错误种类对应的记号，由此，用户能容易地识别戈博数据所表示的布线图形上的错误地方的位置及各错误地方的错误种类。还有，戈博错误文件是可作为戈博数据来处置的形式，因而也可以把附加了戈博错误文件的处理对象的戈博数据向作为CAM系统起作用的计算机18传送，在该计算机18的显示器上显示图7所示的错误地方标明图像。由此就能基于通过错误检查处理而检测到的错误，更容易地在CAM系统上进行修正戈博数据的作业。
这样进行上述数据检查处理，就能预防戈博数据所引起的经过曝光装置12所涉及的描绘工序而作成的印刷布线基板发生问题，并且在进行RIP处理之前就能检测成为上述问题的原因的戈博数据的缺陷，从而不必浪费地重复RIP处理、曝光装置12所涉及的描绘等工序，能防止戈博数据的缺陷对基板制造等作业的进展带来很大的不良影响，或者由于上述缺陷而浪费基板。
在此，布设确认GUI30在图像处理装置14的显示器可显示的画面中，包含用于指示确认检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的戈博数据(经过数据检查处理的戈博数据)所表示的布线图形的布设所用的布设确认指示画面。图示省略了，不过，在布设确认指示画面上，设有用于一览显示检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的戈博数据的文件名等的显示栏，和用于指示对从上述显示栏中一览显示的各戈博数据中作为处理对象而选择了的戈博数据执行布设确认处理的按钮。
在期望对经过数据检查处理的戈博数据所表示的布线图形，确认其布设(布线图形相对于基板的描绘范围的位置、布线图形在水平面内的角度、表里的方向)的场合，用户操作键盘、鼠标，指示布设确认GUI30在显示器上显示布设确认指示画面，在布设确认指示画面显示在显示器上的状态下，从上述显示栏中一览显示的戈博数据中选择处理对象的戈博数据，选择布设确认指示画面内的按钮，从而指示对处理对象的戈博数据执行布设确认处理。该指示通过布设确认GUI30输入到布设显示处理部32，由布设显示处理部32进行图8所示的布设确认处理。
在布设确认处理中，首先在步骤200中，从检查完毕戈博数据文件夹46取入指定了的处理对象的戈博数据，并且从作业条件信息文件夹48取入与处理对象的戈博数据对应的作业条件信息。在步骤202中，由布设确认GUI30在显示器上显示用于显示可确认处理对象的戈博数据所表示的布线图形的布设的图像的布设确认画面(参照图9)，并且基于由步骤200取入了的作业条件信息中包含的基板的尺寸等信息，在布设确认画面内的图像显示区域显示表示基板的外缘的框线(图9中记作「基板框」)。
在步骤204中，在显示器上显示请求用户指定基板上的原点的位置的消息之后，判断是不是由用户指定了基板上的原点的位置，反复进行步骤204，直到判断为肯定。依照显示器上显示的消息，用户指定基板上的原点的位置(通常是基板上的中心位置)的话，步骤204判断为肯定转而移到步骤206，基于由步骤200取入了的处理对象的戈博数据，生成把该处理对象的戈博数据所表示的布线图形，按照在布设确认画面内的图像显示区域显示的框线的尺寸而缩小显示的布线图形图像。
还有，在步骤208中，基于处理对象的戈博数据中包含的戈博数据的原点和基板上的原点的位置关系、与处理对象的戈博数据对应的作业条件信息中包含的戈博数据所表示的布线图形的旋转、反转(镜像)的有无、旋转角度·反转(镜像)的方向以及由用户指定了的基板上的原点的位置，运算依照现在的作业条件信息在基板上描绘了处理对象的戈博数据所表示的布线图形的场合的以基板上的原点为基准的布线图形的描绘范围的位置、旋转角度、反转的有无及方向。另外，步骤208与上述步骤200一起是与本发明所涉及的运算单元相当的处理，进行步骤200、208的处理的布设显示处理部32与本发明所涉及的运算单元对应。
在步骤210中，把由步骤206生成了的布线图形图像，基于步骤208的运算结果，根据需要进行水平面内的旋转、表里的方向的反转之后，显示在布设确认画面内的图像显示区域中的由步骤208运算所得的位置(图9所示的状态)。另外，步骤210是与本发明所涉及的位置关系显示控制单元相当的处理，进行步骤210处理的布设显示处理部32与本发明所涉及的位置关系显示控制单元对应。
还有，如图9所示，在布设确认画面中设有用于指示布线图形的旋转的旋转指示按钮、用于指示布线图形的反转(镜像)的镜像指示按钮，在下面的步骤212中，基于是不是选择了布设确认画面内的旋转指示按钮来判断是不是指示了布线图形的旋转。在判断为否定的场合转移到步骤216，基于是不是选择了布设确认画面内的镜像指示按钮来判断是不是指示了布线图形的镜像(反转)。在判断为否定的场合转移到步骤220，判断是不是指示了布设确认画面的显示结束。在该判断也为否定的场合回到步骤212，反复进行步骤212、216、220，直到步骤212、216、220中的某个判断为肯定。
在布设确认画面内的图像显示区域显示布线图形图像的话，用户就审定显示了的布线图形图像相对于基板的位置、水平面内的角度、表里的方向相对于表示基板的外缘的框线是不是合适。在这里，在判断为布线图形图像相对于基板的位置不适当的场合，用户就暂时结束布设确认画面的显示，然后，修正对处理对象的戈博数据中包含的戈博数据的原点和基板上的原点的位置关系进行规定的数据，从而修正把处理对象的戈博数据所表示的布线图形描绘在基板上的场合的以基板上的原点为基准的布线图形的描绘范围的位置。
还有，在判断为布线图形图像在水平面内的角度不适当的场合，用户选择旋转指示按钮来指示布线图形的旋转。另外，在布设确认画面上，作为旋转指示按钮，设有用于按互相不同的旋转角度(例如按90°、180°、270°)旋转的多个按钮，可以选择与希望的旋转角度对应的旋转指示按钮。选择了旋转指示按钮的话，则步骤212的判断为肯定而转移到步骤214，使布设确认画面内的图像显示区域所显示的布线图形图像按与选择了的旋转指示按钮对应的旋转角度旋转之后转移到步骤216。例如在对图9所示的布线图形图像指示了90°旋转的场合，把布线图形图像如图10(A)所示进行旋转，在对图9所示的布线图形图像指示了180°旋转的场合，把布线图形图像如图10(B)所示进行旋转。
还有，在判断为布线图形图像的表里的方向不适当的场合，用户就选择镜像指示按钮来指示布线图形表里方向的反转(镜像)。另外，在布设确认画面上，作为镜像指示按钮，设有用于按互相不同的方向(例如x方向，y方向)反转的多个按钮，可以选择与希望的反转方向对应的镜像指示按钮。选择了镜像指示按钮的话，则步骤216的判断为肯定而转移到步骤218，使布设确认画面内的图像显示区域所显示的布线图形图像的表里方向按与选择了的镜像指示按钮对应的反转方向反转之后转移到步骤220。例如在对图9所示的布线图形图像指示了把表里方向在x方向反转的场合，把布线图形图像的表里方向如图11(A)所示进行反转，在对图9所示的布线图形图像指示了把表里方向在y方向反转的场合，把布线图形图像的表里方向如图11(B)所示进行反转。
还有，指示布设确认画面的显示结束的话，则步骤220的判断为肯定而转移到步骤222，在上述处理中，判断是不是指示了对布线图形的布设的变更(水平面内的旋转或表里方向的反转)。在判断为否定的场合不进行任何处理而结束布设确认处理，而在步骤222的判断为肯定的场合则转移到步骤224，按照对布线图形指示了的水平面内的旋转、表里方向的反转，修正处理对象的戈博数据的作业条件信息中包含的布线图形的旋转、反转的有无·旋转角度·反转的方向等数据中的对应的部分，把修正后的作业条件信息重写、收纳在作业条件信息文件夹48中之后结束布设确认处理。
通过上述布设确认处理，在基板上实际描绘布线图形之前就能确认把处理对象的戈博数据所表示的布线图形，按照现在的作业条件信息，描绘在基板上的场合的布线图形的布设(布线图形相对于基板的描绘范围的位置、布线图形在水平面内的角度、表里的方向)是不是合适，能避免浪费基板等不良情况出现。
还有，指示栅格显示GUI34在图像处理装置14的显示器可显示的画面中，包含用于指示把检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的特定的戈博数据的一部分展开为栅格数据而显示在显示器上的栅格显示指示画面。图示省略了，不过，在栅格显示指示画面上，设有用于一览显示检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的戈博数据的文件名等的显示栏，和用于指示对从上述显示栏中一览显示的各戈博数据中作为处理对象而选择了的戈博数据执行栅格显示的按钮。
在想对检查完毕戈博数据文件夹46中收纳的戈博数据所表示的布线图形进行目测检查的场合，用户操作键盘、鼠标，指示栅格显示GUI34在显示器上显示栅格显示指示画面，在栅格显示指示画面显示在显示器上的状态下，从上述显示栏中一览显示的戈博数据中选择处理对象的戈博数据，选择栅格显示指示画面内的按钮，从而指示对处理对象的戈博数据执行栅格显示处理。该指示通过栅格显示GUI34输入到RIP处理部36，由RIP处理部36进行图12所示的栅格显示处理。
在栅格显示处理中，首先在步骤230中，从检查完毕戈博数据文件夹46取入指定了的处理对象的戈博数据，并且从作业条件信息文件夹48取入与处理对象的戈博数据对应的作业条件信息。在步骤232中，把处理对象的戈博数据整体展开为低分辩率的栅格数据(整体形象图像)。另外，从戈博数据向栅格数据的展开可以通过重复进行以下处理来进行，例如在存储器中确保与所输出的栅格数据的分辩率对应的尺寸的描绘区域，一边从前头起按顺序参照戈博数据，一边在描绘区域描绘线等。由此就能获得以低分辩率表示处理对象的戈博数据所表示的布线图形整体的整体形象图像。
在下面的步骤234中，由栅格显示GUI34在显示器上显示用于显示处理对象的戈博数据所表示的布线图形的栅格图像的栅格显示画面(参照图14)。还有，如图14所示，在该栅格显示画面上，设有用于显示低分辩率的整体形象图像的整体形象显示区域和用于通过表示布线图形来显示高分辨率的详细显示图像的详细显示区域，由栅格显示GUI34在栅格显示画面内的整体形象显示区域显示由步骤232的处理获得的整体形象图像。另外，步骤232、234是与本发明所涉及的低分辩率图像显示控制单元相当的处理，进行步骤232、234的处理的RIP处理部36与本发明所涉及的低分辩率图像显示控制单元对应。
在此，基板上的布线图形的描绘单位(曝光装置12通过1次描绘而在基板上描绘的布线图形整体)称为面板(或工件)，特别是在作为最终产品的印刷布线基板是手机、PDA(Personal Digital Assistant)等小型机器中安装的印刷布线基板的场合，其尺寸比面板的尺寸小得多，因而例如图13所示，常常在面板内排列多个作为最终产品单位的「单件」。还有，在单件的尺寸小等的场合，把由表示相同布线图形的单件排列多个而成的片材作为单位而从面板切出基板，在切出的面板内的各单件上安装电路元件等工序之后，从面板内切出各单件。在本实施方式所涉及的栅格显示处理中，作为指定在详细显示区域作为详细显示图像来显示的范围的方法，除了在整体形象显示区域中显示的整体形象图像上指定详细显示范围的方法，还备有在整体形象图像上把希望的单件或面板指定为详细显示对象的方法，如图14所示，在栅格显示画面上设有用于指示单件单位下的详细显示的按钮64A和用于指示片材单位下的详细显示的按钮64B。
在下面的步骤236中，在整体形象显示区域中显示的整体形象图像上描绘表示详细显示范围的框(参照图14)，从而判断在详细显示区域中是不是指定了应该作为详细显示图像而显示的详细显示范围。在步骤236的判断为否定的场合转移到步骤238，判断是通过选择整体形象图像内的特定的单件、选择按钮64A，从而指示了单件单位下的详细显示，还是通过选择整体形象图像内的特定的片材、选择按钮64B，从而指示了片材单位下的详细显示。在步骤238的判断也为否定的场合回到步骤236，反复进行步骤236、238，直到步骤236或步骤238的判断为肯定。
由用户进行以上述哪种指定方法来指示详细显示的操作的话，则步骤236或步骤238的判断为肯定而转移到步骤240，识别由用户指定了的详细显示范围。即，在整体形象图像上描绘了表示详细显示范围的框的场合，如果把描绘了的框内识别为详细显示范围，指示了单件单位下的详细显示，则把在整体形象图像上选择了的特定的单件整体识别为详细显示范围，如果指示了片材单位下的详细显示，则把在整体形象图像上选择了的特定的片材整体识别为详细显示范围。
还有，在下面的步骤242中，判断在由步骤240识别了的详细显示范围内是不是有多个相同布线图形(表示相同布线图形的单件)存在，基于判断结果，设定详细显示范围中的进行从戈博数据向栅格数据的展开的范围。例如在指示了单件单位下的详细显示的场合，因为在详细显示范围内不会有多个相同布线图形存在，所以把由步骤240识别了的详细显示范围原样设定为栅格展开范围。另一方面，在指示了片材单位下的详细显示的场合、指示了在整体形象图像上描绘了的范围的详细显示的场合，在详细显示范围内就可能有多个表示相同布线图形的单件存在。如果在详细显示范围内不存在多个表示相同布线图形的单件，就把详细显示范围原样设定为栅格展开范围，而如果在详细显示范围内存在多个表示相同布线图形的单件，就把某1个单件以外的各单件除外的范围设定为栅格展开范围。
在下面的步骤244中，从处理对象的戈博数据中提取与栅格展开范围相当的戈博数据，把提取了的戈博数据向高分辨率的栅格数据展开。另外，上述栅格数据的分辩率，考虑到进行后述的距离的运算·显示的话，优选的是与描绘时的分辩率相同，不过，也可以按把表示详细显示范围内的布线图形的详细显示图像整体收纳在栅格显示画面内的详细显示区域中的方式来调整分辩率。还有，如果由步骤242设定了的栅格展开范围与由步骤240识别了的详细显示范围相同，则上述栅格数据与表示详细显示范围内的布线图形的详细显示图像一致，不过，因为在详细显示范围内存在多个表示相同布线图形的单件，所以在把详细显示范围内的一部分区域设定为栅格展开范围的场合，对上述栅格数据追加表示从栅格展开范围除外的单件的外缘的框线数据，从而生成表示详细显示范围内的布线图形的详细显示图像。然后在下而的步骤246中，由栅格显示GUI34在栅格显示画面内的详细显示区域显示通过步骤244的处理而获得的详细显示图像。
另外，步骤242、244是与本发明所涉及的展开单元相当的处理，步骤246是与本发明所涉及的高分辨率图像显示控制单元相当的处理，进行步骤242～246的处理的RIP处理部36分别与本发明所涉及的展开单元及高分辨率图像显示控制单元对应。
这样，在指示了单件单位下的详细显示的场合，例如图15所示，在栅格显示画面内的详细显示区域，只详细显示作为详细显示对象而选择了的单一单件的布线图形。还有，在指示了片材单位下的详细显示的场合，例如图16所示，在栅格显示画面内的详细显示区域详细显示作为详细显示对象而选择了的单一片材的布线图形，不过，在选择了的片材内排列了多个表示相同布线图形的单件的场合，如图16所示，只对该多个单件中的单一单件详细显示其布线图形，对于其余的单件只显示表示其外缘的框线。
这样，在栅格显示处理中，只对于在处理对象的戈博数据所表示的布线图形中的栅格显示画面内的详细显示区域中显示的部分，生成、显示高分辨率的栅格数据，因而与通过RIP处理而把处理对象的戈博数据整体展开为描绘用栅格数据之后，用该描绘用栅格数据对布线图形进行栅格显示的场合相比，能高速进行布线图形的栅格显示，并且即使对以栅格显示的布线图形通过目测检查而发现了问题，也不必多次进行花费时间的RIP处理复。
还有，如上所述，在描绘由多个表示相同布线图形的单件排列而成的面板(布线图形整体)的场合，戈博数据借助于只对单一单件规定布线图形的数据和指示把该数据所表示的布线图形复写在与各单件相当的位置的数据来规定上述布线图形整体的内容，因而即使在戈博数据所表示的布线图形的目测检查时，也不必对面板内排列多个的所有单件进行目测检查，只对表示相同布线图形的多个单件中的某1个进行目测检查。因此，在详细显示范围内有多个表示相同布线图形的单件存在的场合，如上所述，只对单一单件详细显示布线图形也不会妨碍目测检查，只对单一单件进行向高分辨率的栅格数据展开的处理，从而能在短时间在栅格显示画面内的详细显示区域显示详细显示图像。
在此，在栅格数据的分辩率与描绘时的分辩率相同的场合，在栅格显示画面内的详细显示区域，例如图17所示，按照曝光装置12所涉及的描绘时的基板上的像素间隔和显示器上的像素间隔(显示小点的间隔)的比来显示扩大显示了的布线图形，不过，在本实施方式中，在该状态下，也可以运算·显示在所显示的布线图形上指定了的任意2点间的距离。可以在指定了布线图形上希望的2点(图17中记作起点、终点)的位置之后(由此在布线图形上显示连接2点间的辅助线)通过进行给定的操作来指示运算·显示任意2点间的距离。
在下面的步骤248中，判断是不是通过进行上述操作而指示了布线图形上的任意2点间的距离的运算·显示。在步骤248的判断为否定的场合转移到步骤252，判断是不是指示了在栅格显示画面内的详细显示区域显示的布线图形图像的显示切换。在步骤252的判断也为否定的场合转移到步骤254，判断是不是指示了栅格显示画面的显示结束。在步骤254的判断也为否定的场合回到步骤248，反复进行步骤248、252、254，直到步骤248、252、254中的某个判断为肯定。
在这里，在通过进行上述操作而指示了在布线图形上指定了的任意2点间的距离的运算·显示的场合，步骤248的判断为肯定而转移到步骤250，运算、显示指定了的2点间的距离。另外，曝光装置12所涉及的描绘时的基板上的像素间隔，根据描绘时的分辩率，是已知的，因而，可以对指定了的2点间的X方向像素及Y方向像素进行计数，对计数所得的像素乘以基板上的像素间隔，从而求出指定了的2点间的基板上的X方向距离及Y方向距离，根据该X方向距离及Y方向距离，通过运算而算出指定了的2点间的距离。图17表示把对指定了的2点间的距离进行运算所得的结果与运算所得的X方向距离及Y方向距离一起显示在显示栏68中的状态。步骤250是与本发明所涉及的距离运算·显示单元相当的处理，进行步骤250的处理的RIP处理部36与本发明所涉及的距离运算·显示单元对应。
在数字描绘模式下，是把描绘用栅格数据所表示的布线图形以给定的分辩率描绘在基板上，因而描绘用栅格数据所表示的布线图形上的曝光部和未曝光部的境界位置，由于化整误差的影响，相对于戈博数据所表示的布线图形，描绘时的分辩率上邻接的像素的距离变动最大，随着该变动，在基板上实际描绘的布线图形上的曝光部和未曝光部的境界位置也会变动。因此，优选的是，邻接的图形的间隙的大小等，要相对于描绘用栅格数据所表示的布线图形进行目测检查，最终进行确认。在本实施方式所涉及的栅格显示处理中，指示在栅格显示画面内的详细显示区域显示了的布线图形(详细显示图像)上指定了的任意2点间的距离的运算·显示的话，就运算·显示指定了的2点间的距离(反映了化整误差的距离)，因而能正确且容易地进行邻接的图形的间隙的大小的确认等，能减轻进行目测检查的用户的负担。
还有，在指示了栅格显示画面内的详细显示区域显示的布线图形图像的显示切换(详细显示范围的变更等)的场合，步骤252的判断为肯定而回到步骤236，按照来自用户的指示，反复进行步骤236以后的处理。还有，在指示了栅格显示画面的显示结束的场合，步骤254的判断为肯定，结束栅格显示处理。在上述栅格显示处理的执行中由用户进行的目测检查中，在布线图形上，检测到例如有邻接的图形的间隙不足等问题的场合，在作为CAM系统起作用的计算机18等中，为消除检测到的问题而进行修正处理对象的戈博数据的作业之后，要再次进行上述栅格显示处理(目测检查)。
还有，在目测检查中未检测到布线图形的问题的场合，用户指示对处理对象的戈博数据执行RIP处理。这样，RIP处理部36进行从检查完毕戈博数据文件夹46取入RIP处理对象的戈博数据，把取入了的处理对象的戈博数据整体展开成高分辨率的描绘用栅格数据的RIP处理，在描绘用栅格数据文件夹50中收纳通过RIP处理而获得的描绘用栅格数据。RIP处理完成的话，用户就指示把描绘用栅格数据所表示的布线图形描绘到基板上。于是，曝光装置控制部40从作业条件信息文件夹48读出对应的作业条件信息，将其输出到曝光装置12，并且从描绘用栅格数据文件夹50依次读出描绘用栅格数据，将其输出到曝光装置12。这样，描绘用栅格数据所表示的布线图形就由曝光装置12依照上述作业条件信息描绘到基板上。
另外，本发明所涉及的检查单元所进行的检查处理不限于作为数据检查处理的图3所示的各检查处理，而是可适用于例如检查粗细不满阈值的线的有无、检查是不是包含指示布线图形整体的倍率变更的数据等不超出本发明的范围的其他任意检查处理，这是不言而喻的。
还有，在本实施方式中，作为本发明所涉及的图像处理装置所连接的描绘装置，以曝光装置12为例进行了说明，不过，本发明所涉及的图像处理装置可连接的描绘装置不限于上述装置，而是可适用利用喷墨型、液体喷出型的描绘头，使基板附着金属粒子、金属粒子的前驱体，从而在基板上描绘布线图形的描绘装置。作为这样的描绘装置，例如可以列举特开2005-40665号公报、特开2005-47073号公报、特开2005-47085号公报、特开2005-81710号公报、特开2005-81711号公报、特开2005-81716号公报、特开2005-96332号公报、特开2005-96338号公报、特开2005-96345号公报等记载的描绘装置。
符号说明
10  基板描绘系统
12  曝光装置
14  图像处理装置
18  计算机
24  作业登记GUI
28  数据检查处理部
30  布设确认GUI
32  布设显示处理部
34  栅格显示GUI
36  RIP处理部

Claims (13)

1.一种图像处理装置，与在基板上直接描绘描绘用栅格数据所表示的布线图形的描绘装置连接，进行把表示输入了的上述布线图形的矢量形式的图像数据向上述描绘用栅格数据展开的RIP处理，其特征在于，还具备：
低分辩率图像显示控制单元，基于上述图像数据，生成以低分辩率表示上述布线图形的低分辩率布线图形图像，在显示单元上显示生成了的低分辩率布线图形图像；
展开单元，在由上述低分辩率显示控制单元在上述显示单元上显示了的低分辩率布线图形图像上通过指定单元而指定了扩大显示对象区域的场合，把上述图像数据中的与上述扩大显示对象区域相当的数据向高分辨率栅格数据展开，从而生成以高分辨率表示上述扩大显示对象区域内的布线图形的高分辨率布线图形图像；以及
高分辨率图像显示控制单元，在上述显示单元上显示由上述展开单元生成了的高分辨率布线图形图像。
2.根据权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于，
由上述描绘装置在基板上描绘的布线图形是配置多个片材而构成的，该片材是排列多个与单一电路图形相当的相同单位布线图形而成的，
上述低分辩率图像显示控制单元生成、显示以低分辩率表示上述布线图形整体的图像，将其作为上述低分辩率布线图形图像，
上述展开单元，在表示上述布线图形整体的低分辩率布线图形图像上作为上述扩大显示对象区域而指定了特定的片材的场合，只把上述图像数据中的与上述特定的片材内的单一特定单位布线图形相当的数据向高分辨率栅格数据展开，只对上述特定单位生成显示布线图形的图像作为上述特定片材的高分辨率布线图形图像。
3.根据权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于，
由上述描绘装置在基板上描绘的布线图形是配置多个片材而构成的，该片材是排列多个与单一电路图形相当的相同单位布线图形而成的，
上述低分辩率图像显示控制单元生成、显示以低分辩率表示上述布线图形整体的图像，将其作为上述低分辩率布线图形图像，
上述展开单元，在表示上述布线图形整体的低分辩率布线图形图像上作为上述扩大显示对象区域而指定了特定的片材的场合，把上述图像数据中的与上述特定的片材内的单一特定单位布线图形以外的其他单位布线图形相当的数据从向高分辨率栅格数据的展开对象中除外，对于上述特定单位布线图形以外的其他单位布线图形，生成只显示表示外缘的框线作为上述特定片材的高分辨率布线图形图像。
4.根据权利要求1所述的图像处理装置，其特征在于，还具备距离运算·显示单元，该距离运算·显示单元在由上述高分辨率图像显示控制单元在上述显示单元上显示了的高分辨率布线图形图像上，通过指定单元指定了距离测量对象的2点的场合，运算指定了的2点间的距离，将其显示在上述显示单元上。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的图像处理装置，其特征在于，还具备检查单元，该检查单元在对输入了的上述图像数据进行上述RIP处理之前，检查上述图像数据中是不是有在经过上述描绘装置所涉及的描绘工序而作成的基板上发生问题的缺陷。
6.根据权利要求5所述的图像处理装置，其特征在于，上述检查单元在检查上述图像数据中是不是有缺陷时，取得上述描绘装置在上述基板上描绘上述布线图形时适用的描绘条件，按照取得的描绘条件来设定在上述检查中用于判断上述缺陷的阈值，采用设定的阈值进行上述检查。
7.根据权利要求5所述的图像处理装置，其特征在于，上述检查单元进行的处理是检查在上述作成的基板上是不是有发生问题的缺陷，检查以下至少1种：在上述图像数据所表示的布线图形中是不是包含圆周长不满第1给定值的圆弧部；在上述布线图形中是不是包含起点位置处的半径和终点位置处的半径的差为第2给定值以上的圆弧部；在上述布线图形中是不是包含半径为第3给定值以上的圆弧部；在上述布线图形中是不是包含采用了圆以外的孔形状的线；在上述布线图形中是不是包含起点位置和终点位置形成同一闭合曲线且在从起点位置至终点位置的途中与自线交叉的自我交叉线；上述布线图形是不是存在于离原点为第4给定值以上的坐标处；在上述图像数据所表示的布线图形中是不是存在面积不满第5给定值的针孔区域；在上述布线图形中是不是存在邻接的图形互相重叠的区域的幅度不满第6给定值的图形；以及在上述布线图形中是不是存在邻接的图形的间隙不满第7给定值的图形。
8.根据权利要求7所述的图像处理装置，其特征在于，上述检查单元在检查上述图像数据中是不是有在上述作成的基板上发生问题的缺陷时，取得作为上述描绘装置在上述基板上描绘布线图形时适用的描绘条件之一的分辩率，按照上述取得的分辩率来设定上述第1给定值、上述第2给定值、上述第5给定值～上述第7给定值中的与所执行的检查对应的给定值，采用设定的上述给定值进行上述检查。
9.根据权利要求7所述的图像处理装置，其特征在于，上述检查单元在检查上述图像数据中是不是有在上述作成的基板上发生问题的缺陷时，取得作为上述描绘装置在上述基板上描绘布线图形时适用的描绘条件之一的设置在上述基板上的感光材料的种类，按照上述取得的感光材料的种类来设定上述第5给定值及上述第7给定值中的与所执行的检查对应的给定值，采用设定的上述给定值进行上述检查。
10.根据权利要求5所述的图像处理装置，其特征在于，上述检查单元还检查在上述图像数据中是不是有在上述RIP处理中发生错误的缺陷。
11.根据权利要求10所述的图像处理装置，其特征在于， 上述检查单元进行的处理是检查在上述图像数据中是不是有在上述RIP处理中发生错误的缺陷，检查以下至少1种：检查上述图像数据中是不是包含在上述RIP处理中可处置的文字种类以外的文字、上述布线图形的顶点的数是不是第8给定值以上、构成上述图像数据的层的数是不是第9给定值以上。
12.根据权利要求5所述的图像处理装置，其特征在于，还具备数据生成单元，该数据生成单元在由上述检查单元判断为在上述图像数据中有缺陷的场合，取得判断为有上述缺陷的地方在上述布线图形上的坐标，基于取得的坐标，以在上述图像数据所表示的布线图形上可重叠显示的状态，生成在上述布线图形上的上述地方标明给定的记号的缺陷地方标明数据。
13.根据权利要求1至12中任意一项所述的图像处理装置，其特征在于，还具备：
运算单元，取得上述描绘装置在上述基板上描绘上述布线图形时适用的描绘条件，基于取得的描绘条件和上述图像数据，运算上述描绘装置在现在的描绘条件下描绘了上述图像数据所表示的布线图形的场合的上述基板上的上述布线图形的描绘范围；以及
位置关系显示控制单元，把基于由上述运算单元运算所得的描绘范围，上述描绘装置在现在的描绘条件下描绘了上述图像数据所表示的布线图形的场合的上述基板和在上述基板上的上述布线图形的描绘范围的位置关系显示在显示单元上。
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