CN101101140B - 除湿方法及除湿装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供除湿装置的尺寸没有变大、除湿装置的运转条件也没有大的变更的，用简单的方法可使除湿空气的露点降低的除湿方法及用于实施该除湿方法的除湿装置。本发明提供一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其中，在该再生区域与该冷却区域之间，或在该冷却区域与该除湿区域之间，或在该除湿区域与该再生区域之间设置功能区域，向该功能区域供给功能区域流通气体。

Description

除湿方法及除湿装置
技术领域
本发明涉及一种，用于制造原料干燥中使用的干燥空气的供给空气的除湿；建筑物空调的除湿；半导体、液晶、电子设备等的制造中的制造装置室内、搬送装置室内的空气的除湿等的被处理空气的除湿方法及用于实施该除湿方法的除湿装置。更具体地说，涉及一种设置有负载了除湿剂的除湿转子，在旋转该除湿转子通过除湿剂进行含水分的被处理空气的除湿的同时、还进行吸湿水分的该除湿剂再生，从而连续地进行该被处理空气的除湿的除湿方法及实施该除湿方法的除湿装置。
背景技术
近年来，在半导体制造工厂的硅晶片等的制造工序中，氧化膜的生成是产品不良的原因，而对该氧化膜的生成，水分有非常大的影响。因此，为了减少产品的不良，有必要除去制造装置室内等的空气中的水分。
作为除去该制造装置内的空气中的水分的方法，主要有用干燥氮气吹洗的方法及除湿方法。在用该氮气吹洗的方法中，由于将装置室的水分赶出装置室外，因而水分量变得非常低，但是，运行成本(干燥氮气的费用及N2变压吸附(PSA：氮气发生器)的运转费用)高，并且需要管理装置室内的氧气浓度。另一方面，在除湿方法中，没有必要使用干燥氮气，而且也没有必要管理氧气浓度，因此，与用该干燥氮气进行吹洗的方法相比，运行成本低。
因此，近年来，在进行以半导体制造装置室内等的除湿作为目的的除湿装置的研究。作为该除湿装置，例如，在专利文献1的特开平2004-000824号公报中，公开了一种减湿装置，其具有负载了由选自La、Nd、Ce、Pr中的一种或多种元素来取代亲水性沸石中的钠的一部分的硅酸铝组成的吸附剂、且设置有旋转装置的转子，该转子的旋转区域划分为吸附区域与再生区域，设置有将被处理气体供给到该吸附区域的通路、将在该吸附区域处理的气体供给到目的空间的通路及将再生用气体供给到该再生区域的通路。
在上述除湿装置中，作为得到更干燥的空气的方法，可举出，(i)增大除湿转子的厚度，或增大除湿转子的直径，或增加除湿转子的数量从而增加处理面积的方法；(ii)降低被处理空气的通过面速度，从而降低每单位时间的处理量的方法；(iii)提高再生温度，从而提高再生效率的方法。
例如，专利文献2的特开平2004-160444号公报中，公开了一种除湿装置，其具有两个除湿转子。
专利文献1特开平2004-000824号公报(权利要求)
专利文献2特开平2004-160444号公报(权利要求)
但是，在上述(i)增加处理面积的方法中，存在着除湿装置的尺寸变大的问题。另外，在上述(ii)降低每单位时间的处理量的方法中，由于每一台的处理量降低，因此存在着必须增加除湿装置的数量的问题。另外，在上述(iii)提高再生效率的方法中，为了提高了再生温度，需要很大的能量，因此存在着运行成本变高的问题。
发明内容
因此，本发明的课题是提供一种除湿装置的尺寸没有变大、除湿装置的运转条件也没有大的变化的，用简单的方法可使除湿空气的露点降低的除湿方法及用于实施该除湿方法的除湿装置。
本发明人等，为了解决上述现有技术中的课题，进行悉心研究的结果发现，(1)通过在再生区域与冷却区域之间设置功能区域并向该功能区域供给冷却用、干燥用或冷却兼干燥用的功能区域流通气体，或通过在冷却区域与除湿区域之间设置功能区域并向该功能区域供给冷却用、干燥用或冷却兼干燥用的功能区域流通气体，或通过在除湿区域与再生区域之间设置功能区域并向该功能区域供给加热用的功能区域流通气体，能够增加除湿剂的吸附容量，降低除湿剂的露点；(2)通过使供给到该功能区域的该功能区域流通气体的面速度调整为比其他区域的快，能够使降低除湿空气的露点的效果更好，从而完成了本发明。
即，本发明(1)提供一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该再生区域与该冷却区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却或干燥该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
另外，本发明(2)提供一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该冷却区域与该除湿区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却或干燥该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面面积之比设定为0.003～0.07。
另外，本发明(3)提供一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该除湿区域与该再生区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于加热该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该再生区域供给的该再生气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面面积之比设定为0.003～0.07。
另外，本发明(4)提供一种除湿装置，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及负载在该载体上的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该再生区域与该冷却区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
另外，本发明(5)提供一种除湿装置，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及负载在该载体上的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件分被隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该冷却区域与该除湿区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
另外，本发明(6)提供一种除湿装置，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及负载在该载体上的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该除湿区域与该再生区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却全气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体；及
第二加热装置，该第二加热装置用于加热该功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
按照本发明，能够提供一种除湿装置的尺寸没有变大、除湿装置的运转条件也没有大的变化的，用简单的方法可使除湿空气的露点降低的除湿方法及用于实施该除湿方法的除湿装置。
附图说明
图1是表示用于实施本发明的第一方式的除湿方法的除湿装置上设置的除湿转子的形态例的图。
图2是用于实施本发明的第一方式的除湿方法的除湿装置的形态例。
图3是从图1所示的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件的配置图。
图4是表示在该开口面4a上形成的该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域形状的模式图。
图5是表示该除湿转子的开口面面积及该功能区域面积的图。
图6是该第一供给装置、该第二供给装置或者该第三供给装置的设置位置在该除湿转子1的后方的除湿装置的形态例。
图7是本发明的第一除湿装置的其他的形态例。
图8是表示异形开口分隔部件的模式图。
图9是表示该异形开口分隔部件的设置位置的模式图。
图10是转子箱21的剖面图。
图11是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件或异形开口分隔部件配置的模式图。
图12是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件的配置的模式图。
图13是用于实施本发明的第二方式的除湿方法的除湿装置的形态例。
图14是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件或异形开口分隔部件配置的模式图。
图15是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件配置的模式图。
图16是用于实施本发明的第三方式的除湿方法的除湿装置的形态例。
图17是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件或异形开口分隔部件配置的模式图。
图18是表示从实施例1的除湿装置的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件配置的模式图。
图19是实施例1的流程图。
图20是表示从实施例2的除湿装置的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件配置的模式图。
图21是实施例2的流程图
图22是表示从实施例3的除湿装置的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件配置的模式图。
图23是实施例3的流程图。
图24是表示从比较例1的除湿装置的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件配置的模式图。
图25是比较例1的流程图
其中，附图标记说明如下：
1除湿转子
3通气孔洞的开口
4a、4b除湿转子的开口面
5转子轴
6a、6b、51a、51b、61a、61b分隔部件
7除湿区域
8再生区域
9冷却区域
10功能区域
20、50、60、65除湿装置
21转子箱
22第一供给装置
23第二供给装置
24第三供给装置
25加热装置
26被处理空气供给管
27除湿空气排气管
28第一再生气体供给管
29第二再生气体供给管
30再生区域排放气体排气管
31冷却气体供给管
32冷却区域排放气体排气管
33、43、53、62功能区域流通气体供给管
34、54、63功能区域排放气体排气管
38旋转方向
39除湿转子的开口面的面积
40a、40b功能区域的面积
41设置该功能区域10的位置
42没有设置该功能区域10的位置
44连接管
45异形开口分隔部件
46异形开口分隔部件的功能区域流通气体入口侧开口
47异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口
48功能区域流通气体的供给方向
49切口
66旋转轴的安装部位的直径
67开口面的外径
68分隔功能区域的分隔部件的宽
69分隔功能区域的分隔部件的长
A被处理空气
B除湿空气
C冷却气体
D冷却区域排放气体
E再生气体
F再生区域排放气体
G功能区域流通气体
H功能区域排放气体
具体实施方式
参照图1-图3，对本发明的第一方式的除湿方法进行说明。图1表示用于实施本发明的第一方式的除湿方法的除湿装置上设置的除湿转子的形态例，图2是用于实施本发明的第一方式的除湿方法的除湿装置的形态例，图3是从图1所示的除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件的配置图。图1中，除湿转子1由载体及该载体上负载的除湿剂构成，在该除湿转子1的中心安装有转子轴5。该除湿转子1中形成有通气孔洞，该通气孔洞的开口3存在于该除湿转子1的开口面4a及4b上。因此，该除湿转子1的一侧的开口面4a及另一侧的开口面4b，成为通过该除湿转子1的空气或气体的出入口，该通气孔洞成为空气的流路。在该通气孔洞内，通过流通的空气或气体与该除湿剂接触，水分在该流通的空气或气体与该除湿剂之间移动。而且，通过用第一分隔部件6a分隔该开口面4a、用第二分隔部件6b分隔该开口面4b，该除湿转子1被分隔成用除湿剂吸湿被处理空气中的水分而进行被处理空气的除湿的除湿区域7、吸湿了水分的除湿剂脱湿而进行该除湿剂的吸湿性能的再生的再生区域8、进行再生后的除湿剂的冷却的冷却区域9，及通过功能区域流通气体的功能区域10。另外，图2中，该第一分隔部件6a及该第二分隔部件6b固定在除湿装置20的转子箱21上，在不妨碍该除湿转子1的旋转的程度下，尽可能接近于该除湿转子1。而且，该除湿转子1通过该转子轴5在该除湿装置20的该转子箱21内被设置成能够旋转。
图2中，除湿装置20由图1所示的该除湿转子1、设置有能够自由旋转的该除湿转子1的转子箱21、该转子轴5、该第一分隔部件6a、该第二分隔部件6b、第一供给装置22、第二供给装置23、第三供给装置24、加热装置25、及未图示的用于旋转该除湿转子1的电机构成。另外，图2中，用虚线表示出该转子箱21内的该第一分隔部件6a的位置。另外，该除湿装置20具有连接该第一供给装置22与该转子箱21的被处理空气供给管26、用于从该除湿区域7排出除湿空气的除湿空气排气管27、连接该第二供给装置23与该加热装置25的第一再生气体供给管28、连接该加热装置25与该转子箱21的第二再生气体供给管29、从该再生区域8排出再生区域排放气体的再生区域排放气体排气管30、连接该第三供给装置24与该转子箱21的冷却气体供给管31、从该冷却区域9排出冷却区域排放气体的冷却区域排放气体排气管32、用于向该功能区域10供给功能区域流通气体的功能区域流通气体供给管33、及从该功能区域10排出功能区域排放气体的功能区域排放气体排气管34。
图3的(3-1)是从开口面4a侧观察该除湿转子1时的图，(3-2)是从开口面4b侧观察该除湿转子1时的图。该开口面4a，通过该第一分隔部件6a，按照该除湿转子1的旋转方向38依次被分隔成该除湿区域7、该再生区域8、该功能区域10及该冷却区域9。另外，该开口面4b，通过该第二分隔部件6b，按照该除湿转子1的旋转方向38依次被分隔成该除湿区域7、该再生区域8、该功能区域10及该冷却区域9。(3-1)中的该第一分隔部件6a的位置与(3-2)中的该第二分隔部件6b的位置为左右对称。
本发明的第一方式的除湿方法，是使用该除湿装置20按以下方式进行。首先，使用该第一供给装置22将含有水分的清洁室等内的被处理空气A供给至该除湿转子1的该除湿区域7。使该被处理空气A在通过该除湿转子1内时与该除湿剂接触，从而该被处理空气A中的水分向该除湿剂移动，由此该被处理空气A被除湿。除去水分的除湿空气B从该除湿转子1的该除湿区域7通过该除湿空气排气管27被排出，被返送至清洁室等。
接下来，在该除湿区域7中吸湿了水分的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该再生区域8移动。接下来，使用第二供给装置23将再生气体E供给至该加热装置25，通过该加热装置25加热后，供给至该除湿转子1的该再生区域8。通过该再生气体E与该除湿剂接触，该除湿剂中的水分移动至该再生气体E中，因而该除湿剂被脱湿。吸湿了水分的再生区域排放气体F，从该除湿转子1的该再生区域8，通过再生区域排放气体排气管30被排出到外部。
进一步地，在该再生区域8中被脱湿的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该功能区域10移动。而且，为了冷却该除湿转子1，使用未图示的功能区域流通气体供给装置将功能区域流通气体G供给至该除湿转子1的该功能区域10中。通过该功能区域流通气体G与该脱湿了的除湿剂接触，该除湿剂的热量或水分移动至该功能区域流通气体G中，由此该除湿剂被冷却或被干燥。吸收了该除湿剂的热量的功能区域排放气体H，从该除湿转子1的该功能区域10，通过该功能区域排放气体排气管34被排出至外部。
进一步，在该功能区域10中被冷却的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该冷却区域9移动。使用该第三供给装置24将冷却气体C供给至该除湿转子1的该冷却区域9中。通过该冷却气体C与除湿剂接触，将该除湿剂进一步冷却。吸收了该除湿剂的热量的冷却区域排放气体D，从该除湿转子1的该冷却区域9，通过该冷却区域排放气体排气管32被排出至外部。
接下来，在该冷却区域9被冷却的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转向该除湿区域7移动，再次被用于该被处理空气A的除湿中。
而且，通过在向该除湿转子1供给该被处理空气A、该再生气体E、该功能区域流通气体G及该冷却气体C的同时，连续或间歇地旋转该除湿转子1，能够连续地进行该被处理空气A的除湿。
此时，向该功能区域10供给该功能区域流通气体时，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度的0.5～10倍。而且，优选将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度的1～7倍，特别优选为2～5倍。通过将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为上述范围，该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点降低。另外，若该功能区域流通气体的面速度过慢，则难以得到降低该除湿空气B的露点的本发明的效果，另外，若过快，则会导致转子上负载的除湿剂脱落、由于振动而转子破损、或该功能区域流通气体的使用量过大而提高运行成本。
另外，当向该功能区域10供给该功能区域流通气体时，将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比(该功能区域的面积/该除湿转子的开口面的面积)设定为0.003～0.07。而且，优选将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。通过将该功能区域的面积之比设定为上述范围，该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点降低。若该功能区域的面积过小，则难以得到降低该除湿空气B的露点的本发明的效果，另外，若过大，则由于其它的区域的面积过小而除湿效率降低。
即，本发明的第一方式的除湿方法，为将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其中，
在该再生区域与该冷却区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
使用图4对本发明的第一方式的除湿方法中的该功能区域进行说明。图4是表示在该开口面4a上形成的该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域形状的模式图，是从该开口面4a侧观察的分隔部件的配置图。本发明的第一方式的除湿方法中，在该再生区域与该冷却区域之间设置该功能区域，但是所说的“在该再生区域与该冷却区域之间设置该功能区域”是指在该除湿转子的开口面上，(i)如图3的(3-1)所示或图4的(4-1)所示，在该再生区域8与该冷却区域9之间的全部区域上设置该功能区域与(ii)如图4的(4-2)所示，在该再生区域8与该冷却区域9之间的一部分区域上设置该功能区域的两种情况。图4的(4-2)所示的形态例中，在该再生区域8与该冷却区域9之间有设置了该功能区域10的部分(用符号41表示的部分)与没有设置该功能区域10的部分(用符号42表示的部分)。另外，图4的(4-3)所示的形态例中，也是在该再生区域8与该冷却区域9之间的一部分区域上设置有该功能区域。另外，图4所示的任何一种形态例中，均与该再生区域8和该冷却区域9的交界处相接，或在该再生区域8与该冷却区域9的交界处设置有该功能区域10，但是，只要是在不损害本发明的效果的范围内，即使离开该再生区域8与该冷却区域9的交界处而设置该功能区域10也可以。即，只要是不损害本发明的效果的范围内，也可以在该再生区域8与该冷却区域9的交界处附近设置该功能区域10。因此，本发明中，“在该再生区域与该冷却区域之间设置该功能区域”中，也包括“在不损害本发明的效果的范围内，在该再生区域与该冷却区域的交界处附近设置该功能区域”。
该功能区域10的形状，可以举出如图3的(3-1)所示的扇形、如图4的(4-2)所示的扇形的靠近中心角的部分缺失的形状、如(4-3)所示的长方形、如(4-4)所示的梯形、如(4-5)所示的圆形等，可根据除湿效率而进行适当的选择。另外，本发明的第一方式的除湿方法中，可以如图4的(4-3)所示仅在该冷却区域9侧突出而设置，也可以如(4-6)所示仅在该再生区域8侧突出而设置，也可以如(4-7)所示在该再生区域8及该冷却区域9的两侧突出设置。另外，该功能区域10的数目，可以如图4的(4-5)及(4-8)所示，设置两个以上。
另外，本发明中，该除湿转子的开口面的面积是指从开口面侧观察该除湿转子时该转子轴5以外的部分的面积，是图5的(5-1)中用斜线表示的部分39的面积。另外，该功能区域的面积是指供给该功能区域流通气体侧的除湿转子的开口面中的供给该功能区域流通气体的面积，图3的(3-1)的形态例中是图5的(5-2)的斜线所示部分40a的面积，图4的(4-3)的形态例中是图5的(5-3)的斜线所示部分40b的面积。
图2所示的该除湿装置20中，从该开口面4a侧供给该功能区域流通气体G，但是也可改变功能区域流通气体供给装置的配置而从该开口面4b侧供给。而且，从提高该功能区域中的冷却效率的方面看，优选从与供给该再生气体的开口面相同侧的开口面侧将该功能区域流通气体供给至该功能区域。
作为本发明的第一方式的除湿方法涉及的该功能区域流通气体，可举出通过该除湿区域除湿的该除湿空气B、清洁气体、干燥气体或惰性气体等，只要是水分含量少的气体即可，其中，从价格低廉方面考虑，优选该除湿空气B。另外，由于清洁气体、干燥气体或惰性气体与该除湿空气B相比水分含量少，因而从在该除湿区域被除湿而得到的该除湿空气B的露点低方面考虑，优选该功能区域流通气体是清洁气体、干燥气体、或惰性气体。特别地，由于在半导体制造工厂等中使用清洁气体、干燥气体、或惰性气体等的情形不少，因而此时能够比较廉价地使用。另外，本发明中，该清洁气体是指在半导体制造等中使用的被除尘及除湿的气体。
供给该功能区域流通气体，是为了将从该再生区域移动来的除湿剂，向该冷却区域移动之前，对其进行冷却或干燥，或进行冷却及干燥两种操作。即，该功能区域流通气体是冷却用气体、干燥用气体、或冷却兼干燥用气体。另外，该功能区域流通气体的湿度，可以与被处理空气是同等的程度，但从所得到的除湿空气B的露点低方面考虑，优选该功能区域流通气体的露点比被处理空气的露点低10℃以上。另外，该功能区域流通气体的温度，可考虑(i)从该再生区域向该功能区域移动的该除湿剂的温度及(ii)是否以冷却作为主要目的还是以干燥作为主要目的、或是否以进行冷却及干燥两方面作为主要目的的，设置该功能区域的主要目的来进行适当的选择。通常，该功能区域流通气体的温度设定为0-60℃，优选为5-30℃。
向该功能区域10通过该功能区域流通气体后，可以将从该功能区域10排出的该功能区域排放气体H向外排出，但从气体的有效利用方面考虑，优选与该再生气体E混合，作为该再生气体E使用。
另外，作为该再生气体E或该冷却气体C，没有特别的限制，通常是该被处理空气A。
该除湿区域7、该再生区域8及该冷却区域9的大小，可根据该被处理空气A的水分含量、除湿剂的除湿性能、再生能量、要求该除湿空气B具有的露点、该除湿转子1的旋转速度等，进行适当的选择。
本发明的第一方式的除湿方法，由于将从该再生区域移动来的高温的除湿剂，在该冷却区域冷却之前，对其进行冷却或干燥，或冷却及干燥，因而冷却效率或再生效率、或该两者都高。因此，本发明的第一方式的除湿方法，与不设置该功能区域的情形相比，能更加推进除湿剂的冷却及干燥，增加水分的吸附容量，因而，所得到的除湿空气B的露点变低。
另一方面，在以往的除湿方法中，为了提高冷却效率或再生效率，必须增大该冷却区域或该再生区域的面积。但是，若增大该冷却区域或该再生区域的面积，该除湿区域的面积则变小，因此，从整体看除湿效率降低了。
另外，本发明的第一方式的除湿方法中，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度调整为比供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度快，通过向该功能区域供给高面速度的该功能区域流通气体，能够进一步提高使除湿空气的露点降低的效果。
本发明的第一方式的除湿装置，是用于实施本发明的第一方式的除湿方法的除湿装置，其形态例是图2中的该除湿装置20。
即，本发明的第一方式的除湿装置，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该再生区域与该冷却区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
本发明的第一方式的除湿装置涉及的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域与本发明的第一方式的除湿方法中涉及的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域相同。
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07，优选为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。
作为该分隔部件，只要是能够将该除湿转子的开口面分隔成该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的部件就可，没有特别的限制，例如，可举出，如图1-图3中的该第一分隔部件6a及该第二分隔部件6b所示，在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙中，从该除湿转子的旋转中心向圆周按照放射状地设置的，并固定在该转子箱上的分隔板；或形成为如图4所示的各形态例的各区域的形状，设置在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙上，并固定在该转子箱上的隔板。
作为该第一供给装置、该第二供给装置、及该第三供给装置，没有特别的限制，能够使用通常用于供给气体的装置，可举出送气风扇、鼓风机、压缩机等。
另外，该第一供给装置、该第二供给装置及该第三供给装置的设置位置，在该除湿装置20中是位于该除湿转子1的前方，但在本发明的第一方式的除湿装置中也可以位于该除湿转子1的后方。图6中示出了该第一供给装置、该第二供给装置及该第三供给装置的设置位置为该除湿转子1的后方的除湿装置的形态例。图6的除湿装置201中，第一供给装置221、第二供给装置231及第三供给装置241的设置位置，位于该除湿转子1的后方。此时，该第一供给装置、该第二供给装置及该第三供给装置，为通过从该除湿转子1的相反侧的吸引，将该被处理空气A、该再生气体E或该冷却气体C供给至该除湿转子1内的装置，例如，可举出，抽气风扇等。另外，在图6中，除该第一供给装置221、该第二供给装置231及该第三供给装置241的设置位置以外，与图2所示的该除湿装置20相同，因此，对于与该除湿装置20的部件相同的部件，标注了相同的符号。
作为该加热装置，没有特别的限制，例如，可举出电热加热器、热交换器等，能够适宜地使用通常用于加热气体的装置。
对该功能区域流通气体供给装置，没有特别的限制，能够使用通常用于供给气体的装置，可举出送气风扇、鼓风机、压缩机等。
而且，本发明的第一方式的除湿装置中，通过调节该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的面积和该第一供给装置、该第二供给装置、该第三供给装置及该功能区域流通气体供给装置的风量，能够将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，调节为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍。由此，使用本发明的第一方式的除湿装置能够实施本发明的第一方式的除湿方法。
另外，本发明的第一方式的除湿装置中，作为该再生气体E可使用该冷却区域排放气体D。作为将该冷却区域排放气体D用作该再生气体E的形态例，可举出图7所示的除湿装置50。图7是本发明的第一除湿装置的另一个的形态例。图7的该除湿装置50中，不设置图2中的该第二供给装置23，而是设置了连接该冷却区域排放气体排气管32和该第一再生气体供给管28的连接管44。即，在图6所示的该除湿装置50中，该连接管44为第二供给装置。
另外，本发明的第一方式的除湿装置涉及的分隔部件中，分隔该功能区域的分隔部件，也可以是具有该功能区域流通气体的入口侧的开口及该功能区域流通气体的出口侧的开口的两个开口，开口的面积从该功能区域流通气体的入口侧向出口侧变小，且该功能区域流通气体的出口侧的开口面与除湿转子的开口面对向设置的部件(以下，将该部件也记载为异形开口分隔部件)。
对该异形开口分隔部件，参照图8-图10进行说明。图8是表示该异形开口分隔部件的模式图，图9是表示该异形开口分隔部件的设置位置的模式图，图10是固定有该异形开口分隔部件的转子箱的剖面图。图8的(8-1)是异形开口分隔部件45的平面图，(8-2)是(8-1)的x-x剖视图，(8-3)是(8-1)的y-y剖视图。如图8所示，该异形开口分隔部件45具有功能区域流通气体的入口侧的开口(功能区域流通气体入口侧开口)46及功能区域流通气体的出口侧的开口(功能区域流通气体出口侧开口)47，其开口面积从入口侧向出口侧变小。
参照图9及图10，说明该转子箱21、该除湿转子1、该异形开口分隔部件45及该功能区域流通气体供给管43的位置关系。如图9所示，该转子箱21上设置有与该异形开口分隔部件45的该入口侧开口46相同形状的切口49，在该切口49的部位上从该转子箱21的内侧设置有该异形开口分隔部件45。另外，在该转子箱21的外侧设置有该功能区域流通气体供给管43，该功能区域流通气体供给管43的与该转子箱21连接的管端，被形成为能够包围该切口49的形状。如图10所示，该异形开口分隔部件45，在该除湿转子1的开口面4a与该转子箱21之间，以该出口侧开口47的开口面与该除湿转子1的开口面4a对向的方式被设置。另外，在图10中，为了便于说明，省略了对该转子箱21、该除湿转子1、该异形开口分隔部件45及功能区域流通气体供给管43以外的记载。
本发明的第一方式的除湿装置具有该异形开口分隔部件45时，从该异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口47向该除湿转子的开口面4a供给该功能区域流通气体，因而，如图10所示，该功能区域10的形状成为该功能区域流通气体出口侧开口47的形状。此时，通过该异形开口分隔部件，从该除湿转子的开口面分隔出该功能区域。
本发明的第一方式的除湿装置中，也可以设置从供给至其他区域的气体供给管或者从其他区域排出气体的气体排气管分支的，并与该功能区域流通气体供给管33连接的支管。此时，通过在分支点上设置风门等的调节风量的部件来调节抽出气体的风量，由此调节该功能区域流通气体的面速度。另外，当设置该支管时，该支管是该功能区域流通气体供给装置。另外，该支管，在后述的本发明的第二方式的除湿装置及后述的本发明的第三方式的除湿装置中也是同样地设置。
当该功能区域流通气体G向该功能区域的供给方向与该冷却气体C向该冷却区域的供给方向相同，并且将该功能区域排放气体H与该冷却区域排放气体D混合时，通过在该功能区域排放气体排出侧的除湿转子的开口面上不设置分割该功能区域的分隔部件，由此在刚刚通过该除湿转子后，在该转子箱内，该功能区域排放气体H能够马上与该冷却区域排放气体D混合。参照图11说明该情形。图11是表示从除湿转子的开口面侧观察时的分隔部件或异形开口分隔部件的配置的模式图。(11-1)是从供给该冷却气体C及该功能区域流通气体G侧的除湿转子的开口面4a侧观察时的图，(11-2)是从排出该冷却区域排放气体D及该功能区域排放气体H侧的除湿转子的开口面4b侧观察时的图。图11中，在供给该功能区域流通气体及该冷却气体侧的除湿转子的开口面4a侧上设置有该异形开口分隔部件45，通过该异形开口分隔部件45分隔出该开口面4a侧的冷却区域与功能区域，但是，在相反侧的除湿转子的开口面4b侧中，没有用于分隔功能区域的分隔部件。因此，刚刚通过该除湿转子后，在该转子箱内，该功能区域排放气体H能够马上与该冷却区域排放气体D混合。
本发明的第二方式的除湿方法，为将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其中，
在该冷却区域与该除湿区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却或干燥该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
本发明的第二方式的除湿方法中，如图12所示，通过分隔部件51a及51b分隔除湿转子的开口面4a及4b，并在冷却区域9和除湿区域7之间设置功能区域10。
图13中示出了用于实施本发明的第二方式的除湿方法的除湿装置的形态例。图13中，除湿装置60是用于实施本发明的第二方式的除湿方法的除湿装置，该除湿装置60与图2的除湿装置20中，由于设置该功能区域10的位置不同，因此，该分隔部件51a及51b的配置以及功能区域流通气体供给管53及功能区域排放气体排气管54与转子箱21的连接位置也不同，但其它为相同。因此，在图13中，与该除湿装置20相同的部件上标注了相同的符号。在该除湿装置60中，该功能区域流通气体G从该功能区域流通气体供给管53供给至设置在该冷却区域9与该除湿区域7之间的该功能区域10中，并从该功能区域排放气体排气管54排出该功能区域排放气体H。
本发明的第二方式的除湿方法，是使用该除湿装置60按以下方式进行。首先，用该第一供给装置22将含有水分的清洁室等内的被处理空气A供给至该除湿转子1的该除湿区域7。使该被处理空气A在通过该除湿转子1内时与该除湿剂接触，从而该被处理空气A中的水分向该除湿剂移动，由此该被处理空气A被除湿。除去了水分的除湿空气B从该除湿转子1的该除湿区域7，通过除湿空气排气管27被排出，被返送至清洁室等。
接下来，在该除湿区域7吸湿了水分的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该再生区域8移动。接下来，使用第二供给装置23将再生气体E供给至该加热装置25，通过该加热装置25加热后，供给至该除湿转子1的该再生区域8。然后，通过该再生气体E与该除湿剂的接触，该除湿剂中的水分移动至该再生气体E，因而该除湿剂被脱湿。吸湿了水分的再生区域排放气体F，从该除湿转子1的该再生区域8，通过再生区域排放气体排气管30被排出到外部。
进一步地，在该再生区域8中被脱湿了的该除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该冷却区域9移动。使用该第三供给装置24将冷却气体C供给至该除湿转子1的该冷却区域9，以冷却该除湿转子1。通过该冷却气体C与该被脱湿了的除湿剂接触，将该除湿剂的热量转移到该冷却气体C，由此该除湿剂被冷却。吸收了该除湿剂的热量的冷却区域排放气体D，从该除湿转子1的该冷却区域9，通过冷却区域排放气体排气管32被排出到外部。
进一步地，在该冷却区域9中被冷却的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该功能区域10移动。使用未图示的功能区域流通气体供给装置将功能区域流通气体G，供给至该除湿转子1的该功能区域10。通过该功能区域流通气体G与该除湿剂接触，该除湿剂被进一步冷却或干燥。与该除湿剂接触后的功能区域排放气体H，从该除湿转子1的该功能区域10，通过该功能区域排放气体排气管54被排出到外部。
接下来，在该功能区域10被冷却或干燥的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转向该除湿区域7移动，再次用于该被处理空气A的除湿中。
而且，通过向该除湿转子1供给该被处理空气A、该再生气体E、该冷却气体C及该功能区域流通气体G的同时，连续或间歇地旋转该除湿转子1，能够连续地进行该被处理空气A的除湿。
此时，将该功能区域流通气体供给至该功能区域10时，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度的0.5～10倍。而且，优选将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度的1～7倍，特别优选为2～5倍。通过将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为上述范围，该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点降低。另外，若该功能区域流通气体的面速度过慢，则难以得到降低该除湿空气B的露点的本发明的效果，另外，若过快，则会导致转子上负载的除湿剂脱落、或由于振动而转子破损、或该功能区域流通气体的使用量过多而运行成本变高。
另外，向该功能区域10供给该功能区域流通气体时，将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。而且，优选将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。通过将该功能区域的面积之比调整为上述范围，能够使该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点变低。若该功能区域的面积过小，则难以得到降低该除湿空气B的露点的本发明的效果，另外，若过大，则由于其它的区域的面积过小而除湿效率降低。
对本发明的第二方式的除湿方法涉及的该功能区域进行说明。本发明的第二方式的除湿方法中，在该冷却区域与该除湿区域之间设置该功能区域，但是所说的“在该冷却区域与该除湿区域之间设置该功能区域”是指在该除湿转子的开口面上，如图12所示，在该该冷却区域9与该除湿区域7之间的全部区域上设置该功能区域以及在该冷却区域9与该除湿区域7之间的一部分区域上设置该功能区域两种情况。这一点与本发明的第一方式的除湿方法相同。另外，本发明中，所说的“在该冷却区域与该除湿区域之间设置该功能区域”中，也包括“在不损害本发明的效果的范围内，在该冷却区域与该除湿区域的交界处附近设置该功能区域”。这一点也与本发明的第一方式的除湿方法相同。
作为该功能区域10的形状，与本发明的第一方式的除湿方法同样地，可以举出扇形、扇形的靠近中心角的部分缺失的形状、长方形、梯形、及圆形等，可考虑除湿效率而进行适当的选择。另外，本发明的第二方式的除湿方法中，与本发明的第一方式的除湿方法同样地，可以将该功能区域10仅在该除湿区域7侧突出而设置、也可以仅在该冷却区域9侧突出而设置、也可以在该冷却区域9与该除湿区域7的两侧突出而设置。另外，该功能区域10的数目，与本发明的第一方式的除湿方法同样地，可以设置两个以上。
图13所示的该除湿装置60中，从该开口面4a侧供给该功能区域流通气体G，但是也可改变功能区域流通气体供给装置的配置从该开口面4b侧供给。而且，从提高该功能区域的冷却效率方面考虑，优选从与供给该再生气体的开口面相同侧的开口面侧将该功能区域流通气体供给至该功能区域。
作为本发明的第二方式的除湿方法中的该功能区域流通气体，可举出通过该除湿区域被除湿了的该除湿空气B、清洁气体、干燥气体或惰性气体等，只要是水分含量少的气体即可。
该功能区域流通气体.是为了在将从该冷却区域移动来的除湿剂向该除湿区域转移之前，进一步对其进行冷却或干燥，或进行冷却及干燥两种操作而供给。即，该功能区域流通气体是冷却用气体、干燥用气体、或冷却兼干燥用气体。该功能区域流通气体的露点优选越低越好，但只要是能够对从该冷却区域移动来的除湿剂进行进一步的冷却或干燥的、水分含量少的气体即可，因此比被处理空气的露点低10℃以上即可，可根据情况适当选择。另外，该功能区域流通气体的温度，可考虑(i)从该冷却区域向该功能区域移动的该除湿剂的温度及(ii)是否以冷却作为主要目的还是以干燥作为主要目的、或是否以进行冷却及干燥两方面作为主要目的的、设置该功能区域的主要目的来进行适当的选择。通常，该功能区域流通气体的温度设定为0-40℃，优选为5-30℃。
向该功能区域10通过该功能区域流通气体后，也可以将从该功能区域10排出的该功能区域排放气体H向外排出，但从气体的有效利用方面考虑，优选与该再生气体E混合，作为该再生气体E来使用。
另外，作为该再生气体E或该冷却气体C，没有特别的限制，通常是该被处理空气A。
该除湿区域7、该再生区域8及该冷却区域9的大小，可根据该被处理空气A的水分含量、除湿剂的除湿性能、再生能量、要求该除湿空气B具有的露点、该除湿转子1的旋转速度等，进行适当的选择。
本发明的第二方式的除湿方法中，将从该冷却区域移动来的除湿剂，在该除湿区域除湿之前，在该功能区域进一步进行冷却或干燥，因而能够将吸湿容量高的除湿剂提供给该除湿区域。因此，本发明的第二方式的除湿方法，与不设置该功能区域的情形相比，能更加提高在除湿区域的除湿效率，因而，所得到的除湿空气B的露点变低。
另一方面，在以往的除湿方法中，为了提高在除湿区域的除湿效率，不得不增大该除湿区域的面积。但是，若增大该除湿区域的面积，则该再生区域或该冷却区域的面积变小，因此，从整体看除湿效率变低了。
另外，本发明的第二方式的除湿方法中，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度调整为比供给至该冷却区域的该冷却气体的面速度快，通过向该功能区域供给高面速度的该功能区域流通气体，进一步提高了使除湿空气的露点降低的效果。
本发明的第二方式的除湿装置，是用于实施本发明的第二方式的除湿方法的除湿装置，其形态例是图13中的该除湿装置60。
即，本发明的第二方式的除湿装置，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该冷却区域与该除湿区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
本发明的第二方式的除湿装置中的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域与本发明的第二方式的除湿方法中的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域相同。
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07，优选为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。
作为该分隔部件，只要是能够将该除湿转子的开口面分隔成该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的部件就可，没有特别的限制，例如，可举出，在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙中，从该除湿转子的旋转中心向圆周按照放射状地设置的，并固定在该转子箱上的分隔板；或形成为如图4所示的各形态例的各区域的形状，设置在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙上，并固定在该转子箱上的隔板。
本发明的第二方式的除湿装置中的第一供给装置、第二供给装置、第三供给装置、功能区域流通气体供给装置及加热装置，与本发明的第一方式的除湿装置中的第一供给装置、第二供给装置、第三供给装置、功能区域流通气体供给装置及加热装置相同。
另外，本发明的第二方式的除湿装置中，通过调节该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的面积和该第一供给装置、该第二供给装置、该第三供给装置及该功能区域流通气体供给装置的风量，能够将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，调节为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍。由此，使用本发明的第二方式的除湿装置能够实施本发明的第二方式的除湿方法。
另外，本发明的第二方式的除湿装置中，与本发明的第一方式的除湿装置同样，作为该再生气体E能够使用该冷却区域排放气体D。作为如此的形态例，可举出在图13中不设置该第二供给装置23，而设置有连接该冷却区域排放气体排气管32和该第一再生气体供给管28的连接管的除湿装置。即，在该形态例中，该连接管为第二供给装置。
另外，本发明的第二方式的除湿装置中的分隔部件中，分隔该功能区域的分隔部件，与本发明的第一方式的除湿装置同样，也可以是异形开口分隔部件。本发明的第二方式的除湿装置中的异形开口分隔部件与本发明的第一方式的除湿装置中的异形开口分隔部件相同。
本发明的第二方式的除湿装置具有该异形开口分隔部件时，与本发明的第一方式的除湿装置同样，从该异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口向该除湿转子的开口面供给该功能区域流通气体，因而，该功能区域的形状成为该异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口的形状。此时，通过该异形开口分隔部件，从该除湿转子的开口面分隔出该功能区域。
当该功能区域流通气体G向该功能区域的供给方向与该冷却气体C向该冷却区域的供给方向相同，并且将该功能区域排放气体H与该冷却区域排放气体D混合时，通过在该功能区域排放气体排气侧的除湿转子的开口面上不设置用于分隔该功能区域的分隔部件，由此在刚刚通过该除湿转子后，该功能区域排放气体H能够马上与该冷却区域排放气体D进行混合。参照图14说明该情形，在供给该功能区域流通气体及该冷却气体的除湿转子的开口面4a侧上设置有该异形开口分隔部件45，因而分隔出该开口面4a侧的冷却区域与功能区域，但是，在相反侧的除湿转子的开口面4b侧上，则没有用于分隔功能区域的分隔部件。因此，刚刚通过该除湿转子后，在该转子箱内，该功能区域排放气体H能够马上与该冷却区域排放气体D混合。
本发明的第三方式的除湿方法，为将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该除湿区域与该再生区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于加热该除湿转子的功能区域流通气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该再生区域供给的该再生气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
本发明的第三方式的除湿方法中，如图15所示，通过分隔部件61a及61b分隔除湿转子的开口面4a及4b，并在除湿区域7和再生区域8之间设置功能区域10。
图16中示出了用于实施本发明的第三方式的除湿方法的除湿装置的形态例。图16中，除湿装置65是用于实施本发明的第三方式的除湿方法的除湿装置，该除湿装置65和图2的除湿装置20中，由于设置该功能区域10的位置不同，因此该分隔部件61a及61b的配置以及功能区域流通气体供给管62及功能区域排放气体排气管63与转子箱21的连接位置也不同，但其它为相同。因此，在图16中，在与该除湿装置20相同的部件上标注了相同的符号。该除湿装置65中，该功能区域流通气体G从该功能区域流通气体供给管62供给至设置在该除湿区域7和该再生区域8之间的该功能区域10中，并从该功能区域排放气体排气管63排出该功能区域排放气体H。
本发明的第三方式的除湿方法，是使用该除湿装置65按以下方式进行。首先，使用该第一供给装置22将含有水分的清洁室等内的被处理空气A供给至该除湿转子1的该除湿区域7。使该被处理空气A在通过该除湿转子1内时与该除湿剂接触，从而该被处理空气A中的水分向该除湿剂移动，由此该被处理空气被除湿。除去了水分的除湿空气B从该除湿转子1的该除湿区域7，通过该除湿空气排气管27被排出，被返送至清洁室等。
接下来，在该除湿区域7吸湿了水分的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该功能区域10移动。接下来，使用未图示的功能区域流通气体供给装置将功能区域流通气体G供给至未图示的加热装置(第二加热装置)，通过该加热装置加热后，供给至该除湿转子1的该功能区域10。通过该功能区域流通气体G与该除湿剂的接触，在该除湿剂被加热的同时，该除湿剂中的水分转移至该功能区域流通气体G中，因而该除湿剂被加热及脱湿。吸湿了水分的功能区域排放气体H，从该除湿转子1的该功能区域10，通过该功能区域排放气体排气管63被排出到外部。
进一步地，在该功能区域10被加热及脱湿的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该再生区域8移动。使用第二供给装置23将再生气体E供给至加热装置25，通过该加热装置25加热后，供给至该除湿转子1的该再生区域8。通过该再生气体E与该除湿剂接触，该除湿剂中的水分转移到该再生气体E中，由此该除湿剂进一步被脱湿。吸收了水分的再生区域排放气体F，从该除湿转子1的该再生区域8，通过再生区域排放气体排气管30被向外部排出。
进一步地，在该再生区域8被脱湿的该除湿剂，通过该除湿转子1的旋转，向该冷却区域9移动。使用该第三供给装置24将冷却气体C供给至该除湿转子1的该冷却区域9。通过该冷却气体C与该除湿剂接触，冷却该除湿剂。吸收了该除湿剂的热量的冷却区域排放气体D，从该除湿转子1的该冷却区域9，通过该冷却区域排放气体排气管32被向外部排出。
接下来，将在该冷却区域9被冷却的除湿剂，通过该除湿转子1的旋转向该除湿区域7移动，再次用于该被处理空气A的除湿。
而且，通过向该除湿转子1供给该被处理空气A、该再生气体E、该冷却气体C及该功能区域流通气体G的同时，连续或间歇地旋转该除湿转子1，由此能够连续地进行该被处理空气A的除湿。
此时，将该功能区域流通气体供给至该功能区域10时，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该再生区域的该再生气体的面速度的0.5～10倍。而且，优选将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度设定为供给至该再生区域的该再生气体的面速度的1～7倍，特别优选为2～5倍。通过将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度调整为上述范围，该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点降低。另外，若该功能区域流通气体的面速度过慢，则难以得到使将该除湿空气B的露点降低的本发明的效果，另外，若过快，则会导致转子上负载的除湿剂脱落、或由于振动而转子破损、或该功能区域流通气体的使用量过大而导致运行成本变高。
另外，向该功能区域10供给该功能区域流通气体时，将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。另外，优选将该功能区域10的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。通过将该功能区域的面积之比设定为上述范围，该被处理空气A中的水分的除湿量增多，该除湿空气B的露点降低。若该功能区域的面积过小，则难以得到使该除湿空气B的露点降低的本发明的效果，另外，若过大，则由于其它区域的面积过小而导致除湿效率降低。
对本发明的第三方式的除湿方法中的该功能区域进行说明。本发明的第三方式的除湿方法中，在该除湿区域与该再生区域之间设置该功能区域，但是所说的“在该除湿区域与该再生区域之间设置该功能区域”是指在该除湿转子的开口面上，如图15所示，在该除湿区域7与该再生区域8之间的全部区域上设置该功能区域以及在该除湿区域7与该再生区域8之间的一部分区域上设置该功能区域两种情况。这一的点与本发明的第一方式的除湿方法相同。另外，本发明中，所说的“在该除湿区域与该再生区域之间设置该功能区域”中，也包括“在不损害本发明的效果的范围内，在该除湿区域与该再生区域的交界处附近设置该功能区域”。这一点也与本发明的第一方式的除湿方法相同。
作为该功能区域10的形状，与本发明的第一方式的除湿方法同样，可以举出扇形、扇形的靠近中心角的部分缺失的形状、长方形、梯形、圆形等，可考虑除湿效率而进行适当的选择。另外，本发明的第三方式的除湿方法中，与本发明的第一方式的除湿方法同样，可以将该功能区域10仅在该再生区域8侧突出而设置、也可以仅在该除湿区域7侧突出而设置、也可以在该除湿区域7与该再生区域8的两侧突出而设置。另外，该功能区域10的数目，与本发明的第一方式的除湿方法同样，可以设置两个以上。
图16所示的该除湿装置65中，从该开口面4a侧供给该功能区域流通气体G，但是也可改变功能区域流通气体供给装置的配置从该开口面4b侧供给。而且，当从与供给该再生气体的开口面相反的侧的开口面将该功能区域流通气体供给至该功能区域时，能够有效地对用该再生气体难以加热的除湿剂(即，与供给该再生气体的开口面相反一侧的开口面附近的除湿剂)进行加热，由此提高在该功能区域的再生效率，故为优选。
作为本发明的第三方式的除湿方法中的该功能区域流通气体，可举出通过该除湿区域除湿了的该除湿空气B、清洁气体、干燥气体或惰性气体等，只要是水分含量少的气体即可，而且，还可以使用该被处理空气A。
该功能区域流通气体，是为了在将从该除湿区域移动来的除湿剂向该再生区域移动之前，对其进行预加热而供给。即，该功能区域流通气体是加热用气体。另外，该功能区域流通气体在通过该功能区域时，该除湿剂的水分的一部分被脱湿。该功能区域流通气体的湿度只要与该被处理空气的湿度同等的程度即可，该功能区域流通气体的露点只要在该被处理空气的露点以下即可，但是，从所得到的除湿空气B的露点低的方面考虑，优选比该被处理空气的露点低10℃以上。另外，该功能区域流通气体的温度只要是能够预先加热从该除湿区域移动来的除湿剂的程度的温度即可，可根据该除湿剂的种类、供给至该再生区域的该再生气体的温度、运转条件等进行适当的选择。
另外，作为该再生气体E或该冷却气体C，没有特别的限制，通常是该被处理空气A。
该除湿区域7、该再生区域8及该冷却区域9的大小，可根据该被处理空气A的水分含量、除湿剂的除湿性能、再生能量、要求该除湿空气B具有的露点、该除湿转子1的旋转速度等，进行适当的选择。
本发明的第三方式的除湿方法，将从该除湿区域移动来的除湿剂，在该再生区域加热脱湿之前，对其进行预加热，而且脱去了除湿剂的一部分水分，因此提高了该再生区域的再生效率。因此，本发明的第三方式的除湿方法，与不设置该功能区域的情形相比，能提高再生区域的再生效率，因此所得到的除湿空气B的露点降低。
另一方面，在以往的除湿方法中，为了提高在再生区域的再生效率，不得不增大该再生区域的面积。但是，若增大该再生区域的面积，该除湿区域或该冷却区域的面积则变小，因此从整体看除湿效率变低了。
另外，本发明的第三方式的除湿方法中，将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度调整为比往该再生区域供给的该再生气体的面速度快，通过向该功能区域供给高面速度的该功能区域流通气体，从而进一步提高使除湿空气的露点降低的效果。
本发明的第三方式的除湿装置，是用于实施本发明的第三方式的除湿方法的除湿装置，其形态例是图16中的该除湿装置65。
即，本发明的第三方式的除湿装置，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该除湿区域与该再生区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体；及
第二加热装置，该第二加热装置用于加热该功能区域流通气体，
且该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积的之为0.003～0.07。
本发明的第三方式的除湿装置中的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域与本发明的第三方式的除湿方法涉及的除湿转子、除湿区域、再生区域、功能区域及冷却区域相同。
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积的之为0.003～0.07，优选为0.005～0.05，特别优选为0.008～0.03。
作为该分隔部件，只要是能够将该除湿转子的开口面分隔成该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的部件就可，没有特别的限制，例如，可举出，在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙中，从该除湿转子的旋转中心向圆周按照放射状地设置的，并固定在该转子箱上的分隔板；或形成为如图4所示的各形态例的各区域的形状的，设置在该除湿转子的开口面与该转子箱的间隙上，并固定在该转子箱上的隔板。
本发明的第三方式的除湿装置中的第一供给装置、第二供给装置、第三供给装置、功能区域流通气体供给装置及加热装置，与本发明的第一方式的除湿装置中的第一供给装置、第二供给装置、第三供给装置、功能区域流通气体供给装置及加热装置相同。另外，本发明的第三方式的除湿装置中的第二加热装置与本发明的第三方式的除湿装置中的加热装置相同。
另外，本发明的第三方式的除湿装置中，通过调节该除湿区域、该再生区域、该功能区域及该冷却区域的面积和该第一供给装置、该第二供给装置、该第三供给装置及该功能区域流通气体供给装置的风量，能够将供给至该功能区域的该功能区域流通气体的面速度，调节为供给至该再生区域的该再生气体的面速度的0.5～10倍。由此，使用本发明的第三方式的除湿装置能够实施本发明的第三方式的除湿方法。
另外，本发明的第三方式的除湿装置中，与本发明的第一方式的除湿装置同样，作为该再生气体E可使用该冷却区域排放气体D。作为如此的形态例，可举出在图16中，不设置该第二供给装置23，而设置有连接该冷却区域排放气体排气管32和该第一再生气体供给管28的连接管的除湿装置。即，在该形态例中，该连接管为第二供给装置。
另外，本发明的第三方式的除湿装置的分隔部件中，用于分隔该功能区域的分隔部件，与本发明的第一方式的除湿装置同样，也可以是异形开口分隔部件。本发明的第三方式的除湿装置中的异形开口分隔部件与本发明的第一方式的除湿装置中的异形开口分隔部件相同。
本发明的第三方式的除湿装置具有该异形开口分隔部件时，与本发明的第一方式的除湿装置同样，从该异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口向该除湿转子的开口面供给该功能区域流通气体，因而，该功能区域的形状成为该异形开口分隔部件的功能区域流通气体出口侧开口的形状。此时，通过该异形开口分隔部件，从该除湿转子的开口面分隔出该功能区域。
当该功能区域流通气体G向该功能区域的供给方向与该再生气体E向该再生区域的供给方向相同，并且将该功能区域排放气体H与该再生区域排放气体F混合时，通过在该功能区域排放气体H的排气侧的除湿转子的开口面上不设置用于分隔该功能区域的分隔部件，由此在刚刚通过该除湿转子后，该功能区域排放气体H能够马上与该再生区域排放气体F混合。参照图17说明该情形，在供给该功能区域流通气体及该再生气体的除湿转子的开口面4b侧上设置有该异形开口分隔部件45，因而分隔出该开口面4b侧的再生区域与功能区域，但是，在相反侧的除湿转子的开口面4a侧，没有用于分隔功能区域的分隔部件。因此，刚刚通过该除湿转子后，在该转子箱内，该功能区域排放气体H能够马上与该再生区域排放气体F混合。
本发明的第一方式的除湿方法、本发明的第一方式的除湿装置、本发明的第二方式的除湿方法、本发明的第二方式的除湿装置、本发明的第三方式的除湿方法、及本发明的第三方式的除湿装置中，该除湿转子1的结构只要是在其旋转轴方向上形成有通气孔洞的结构即可，没有特别的限制，例如，可举出波纹状蜂窝结构。该波纹状蜂窝结构，是将平坦状纤维基纸及对该平坦状纤维基纸进行波纹状加工而得到的波纹状纤维基纸，使用无机粘结剂或有机粘结剂，在该波纹状纤维基纸的凸起部进行粘结、并层压而制造。此时，该平坦状纤维基纸及该波纹状纤维基纸的两者之间形成的呈略半圆柱形状的孔洞成为空气的流路，因此，按照使该孔洞形成在该除湿转子1的旋转轴方向而进行层压。另外，该除湿转子1的载体的材质，只要是通常用于除湿装置的材质即可，没有特别的限制。另外，该除湿转子1上负载的除湿剂，只要是通常用于除湿装置的除湿剂即可，没有特别的限制，例如，可举出合成沸石，其中，从吸湿性高的方面考虑，优选SiO2/Al2O3比低的沸石，特别优选X型沸石及Y型沸石。
下面，举出实施例，更加具体地说明本发明，但这些仅是例示，而不是用于限制本发明。
实施例
实施例1
1.除湿装置
除湿转子
将由硅酸铝纤维制纸(厚度为0.2mm，孔隙率为90％)构成的，具有宽度为3.0mm、高度为1.6mm的蜂窝的蜂窝结构载体(商品名：ハニクル，ニチアス株式会社制造)，切成圆筒状，使其开口面的外径(图18中的符号67)为2000mm、旋转轴的安装部的直径(图18中的符号66)为270mm、厚度为200mm，制成载体。
接下来，在该载体上负载作为除湿剂的合成沸石(Y型沸石，SiO2/Al2O3＝5.4(摩尔比))，使其负载量达到140kg/m3，制作除湿转子。
装置结构
制作出图7所示的除湿装置50中具有下述详细结构的除湿装置。
(i)在除湿转子的开口面4a侧的再生区域与冷却区域之间的一部分上设置有功能区域。
(ii)在供给功能区域流通气体侧的开口面上用于分隔功能区域的分隔部件，是宽(图18中的符号68)为35mm、长(图18中的符号69)为850mm的长方形，其深度方向厚度(即，图18中，从纸面的表面向里方向的长度)为30mm。
(iii)分隔部件6a、6b的配置为如图18所示。各个区域的面积比为，功能区域∶除湿区域∶再生区域∶冷却区域＝1∶14.4∶14.4∶85.4。
(iv)用连接管连接冷却区域排放气体排气管32和第一再生气体供给管28。
在该除湿装置中，从除湿转子的开口面4a侧供给功能区域流通气体，在除湿转子的开口面4b侧上没有设置用于分隔功能区域与冷却区域的分隔部件，因而，功能区域排放气体H在通过除湿转子的开口面4b后，在转子箱内与冷却区域排放气体D混合。
2.除湿试验
使用上述除湿装置，在以10转/小时的旋转速度旋转除湿转子的同时，以表1所示的供给条件，将被处理空气A、冷却气体C及功能区域流通气体H连续供给至该除湿转子，进行除湿操作。将此时的流程图示于图19中。其结果是，除湿空气B的露点为-10℃、温度为30℃。
被处理空气A：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)；
冷却气体C：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)；
功能区域流通气体G：清洁气体(25℃)；
再生区域入口侧的再生气体：是通过冷却区域的冷却区域排放气体D及通过功能区域的功能区域排放气体H的混合气体，是通过加热装置后的加热气体。
实施例2
1.除湿装置
除湿转子
与实施例1相同地制作除湿转子。
装置结构
制作出图7所示的除湿装置50中具有下述详细结构的除湿装置。
(i)在冷却区域与除湿区域之间的一部分上设置有功能区域。
(ii)在供给功能区域流通气体侧的开口面及排放功能区域流通气体侧的开口面上用于分隔功能区域的分隔部件，是宽为35mm、长为850mm的长方形，其深度方向厚度为30mm。
(iii)分隔部件6a、6b的配置为如图20所示。各个区域的面积比为，功能区域∶除湿区域∶再生区域∶冷却区域＝1∶14.4∶14.4∶85.4。
(iv)用连接管连接冷却区域排放气体排气管32及第一再生气体供给管28。
(v)为了将除湿空气B供给至功能区域，连接除湿转子的开口面4b侧的功能区域(即，除湿转子的开口面4b侧的转子箱)与除湿空气排气管27。
(vi)为了将功能区域排放气体H与冷却气体C混合，连接除湿转子的开口面4a侧的功能区域(即，除湿转子的开口面4a侧的转子箱)与冷却气体供给管31。
在该除湿装置中，从除湿转子的开口面4b侧供给功能区域流通气体。
2.除湿试验
使用上述除湿装置，在以10转/小时的旋转速度旋转除湿转子的同时，以表1所示的供给条件，将被处理空气A、冷却气体C及功能区域流通气体H连续供给至该除湿转子，进行除湿操作。将此时的流程图示于图21。其结果是，除湿空气B的露点为-7℃、温度为32℃。
被处理空气A：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)；
冷却气体C：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)与通过功能区域的功能区域排放气体H的混合气体；
功能区域流通气体G：通过除湿区域后的除湿空气B(温度为32℃、露点为-7℃)；
再生区域入口侧的再生气体：是通过冷却区域的冷却区域排放气体D，是通过加热装置后的加热气体。
实施例3
1.除湿装置
除湿转子
与实施例1相同地制作除湿转子。
装置结构
制作出图7所示的除湿装置50中具有下述详细结构的除湿装置。
(i)在除湿区域与再生区域之间的一部分上设置有功能区域。
(ii)在供给功能区域流通气体侧的开口面及排放功能区域流通气体侧的开口面上用于分隔功能区域的分隔部件，是宽为35mm、长为850mm的长方形，其深度方向厚度为30mm。
(iii)分隔部件6a、6b的配置，如图22所示。各个区域的面积比为，功能区域∶除湿区域∶再生区域∶冷却区域＝1∶14.4∶14.4∶85.4。
(iv)用连接管连接冷却区域排放气体排气管32及第一再生气体供给管28。
(v)为了加热功能区域流通气体，在功能区域流通气体供给管的管路中设置第二加热装置。
(vi)为了将功能区域排放气体H与再生气体E混合，连接除湿转子的开口面4b侧的功能区域(即，除湿转子的开口面4b侧的转子箱)与冷却区域排放气体排出管32。
在该除湿装置中，从除湿转子的开口面4a侧供给功能区域流通气体。
2.除湿试验
使用上述除湿装置，在以10转/小时的旋转速度旋转除湿转子的同时，以表1所示的供给条件，将被处理空气A、冷却气体C及功能区域流通气体H连续供给至该除湿转子，进行除湿操作。将此时的流程图示于图23。其结果是，除湿空气B的露点为-13℃、温度为37℃。
被处理空气A：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)；
冷却气体C：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)；
功能区域流通气体G：氮气(温度为140℃)；
再生区域入口侧的再生气体：是通过冷却区域的冷却区域排放气体D与功能区域排放气体H，是通过加热装置后的加热气体。
比较例1
1.除湿装置
除湿转子
与实施例1相同地制作除湿转子。
装置结构
制作出图7所示的除湿装置50中具有下述详细结构的除湿装置。
(i)没有设置功能区域。
(ii)没有设置功能区域流通气体供给管、分隔功能区域的分隔部件及功能区域排放气体排气管。
(iii)分隔部件6a、6b的配置，为如图24所示。各个区域的面积比为，除湿区域∶再生区域∶冷却区域＝6∶1∶1。
(iv)用连接管连接冷却区域排放气体排气管32及第一再生气体供给管28。
2.除湿试验
使用上述除湿装置，在以10转/小时的旋转速度旋转除湿转子的同时，以表1所示的供给条件，将被处理空气A、及冷却气体C连续供给至该除湿转子，进行除湿操作。将此时的流程图示于图25中。其结果是，除湿空气B的露点为-4℃、温度为35℃。
被处理空气A：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)
冷却气体C：作为处理对象的清洁室内的空气(温度为25℃、露点为14℃)
再生区域入口侧的再生气体：是通过冷却区域的冷却区域排放气体D，是通过加热装置后的加热气体。
表1
  实施例1   实施例2   实施例3   比较例1
 供给气体
 除湿区域入口侧供给量m3/min面速度1)m/s温度℃露点℃ 27322514 279.522514 27322514 279.522514
 冷却区域入口侧供给量m3/min面速度1)m/s温度℃露点℃ 4722514 53.522514 4722514 53.522514
 功能区域入口侧供给量m3/min面速度1)m/s温度℃气体的种类 6.5425清洁气体 6.5432除湿空气B 6.54140氮气 ----
 再生区域入口侧供给量m3/min面速度1)m/s温度℃ 53.52140 53.52140 53.52140 53.52140
 排出气体
 除湿空气B排出量m3/min温度℃露点℃ 27330-10 27332-7 27337-13 279.535-4
 再生区域排放气体F排出量m3/min 53.5 53.5 53.5 53.5
1)各个区域的面速度是马上要供给至除湿转子的开口面时的面速度。

Claims (6)

1.一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该再生区域与该冷却区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却或干燥该除湿转子的0～30℃的功能区域流通气体；
向该再生区域供给将通过该冷却区域的冷却区域排放气体和通过该功能区域的功能区域排放气体的混合气体进行加热后的加热气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
2.一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生的除湿方法，其特征在于，
在该冷却区域与该除湿区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于冷却或干燥该除湿转子的0～40℃的功能区域流通气体；
该冷却气体是通过该功能区域的功能区域排放气体与清洁室内的空气的混合气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该冷却区域供给的该冷却气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
3.一种除湿方法，其是将由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成的除湿转子的开口面，分隔成除湿区域、再生区域及冷却区域，在旋转该除湿转子的同时，向该除湿区域供给被处理空气、向该再生区域供给再生气体、向该冷却区域供给冷却气体，从而连续进行被处理空气的除湿及除湿剂的再生除湿方法，其特征在于，
在该除湿区域与该再生区域之间设置功能区域；
向该功能区域供给用于加热该除湿转子的通过加热装置加热过的功能区域流通气体；
向该再生区域供给将通过该冷却区域的冷却区域排放气体和通过该功能区域的功能区域排放气体的混合气体进行加热后的加热气体；
将向该功能区域供给的该功能区域流通气体的面速度，设定为向该再生区域供给的该再生气体的面速度的0.5～10倍；
将该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比设定为0.003～0.07。
4.一种除湿装置，其用于实施权利要求1所述的除湿方法，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该再生区域与该冷却区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，并用于加热该再生气体；及
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
并且，向该再生区域供给通过该冷却区域的冷却区域排放气体和通过该功能区域的功能区域排放气体的混合气体，
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
5.一种除湿装置，其用于实施权利要求2所述的除湿方法，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该冷却区域与该除湿区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，并用于加热该再生气体；及
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体，
并且，该冷却气体是通过该功能区域的功能区域排放气体与清洁室内的空气的混合气体，
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
6.一种除湿装置，其用于实施权利要求3所述的除湿方法，其特征在于，具有，
除湿转子，该除湿转子由在旋转轴方向上形成有通气孔洞的载体及该载体上负载的除湿剂构成，其开口面通过分隔部件被分隔成除湿区域、再生区域、冷却区域、及在该除湿区域与该再生区域之间设置的功能区域；
该分隔部件；
旋转装置，该旋转装置用于旋转该除湿转子；
第一供给装置，该第一供给装置用于向该除湿区域供给被处理空气；
第二供给装置，该第二供给装置用于向该再生区域供给再生气体；
第三供给装置，该第三供给装置用于向该冷却区域供给冷却气体；
加热装置，该加热装置设置在该再生区域的前方，并用于加热该再生气体；
功能区域流通气体供给装置，该功能区域流通气体供给装置用于向该功能区域供给功能区域流通气体；及
第二加热装置，该第二加热装置用于加热该功能区域流通气体，
并且，向该再生区域供给通过该冷却区域的冷却区域排放气体和通过该功能区域的功能区域排放气体的混合气体，
该功能区域的面积相对于该除湿转子的开口面的面积之比为0.003～0.07。
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