CN101070598B - 一种熔盐电解法制备太阳级硅材料的方法 - Google Patents

一种熔盐电解法制备太阳级硅材料的方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种太阳级多晶硅材料的制备方法,特别涉及采用“熔盐电解—三层液精炼—真空蒸馏”工艺制取太阳级多晶硅材料的方法。本发明首先以SiO2或其它含硅化合物为原料,采用熔盐电解技术制取含硅合金Si-M1;以获得的含硅合金Si-M1为阳极,高纯金属M2为阴极,采用三层液熔盐电解精炼技术,制备高纯含硅合金Si-M2;最后采用真空蒸馏技术,由高纯含硅合金Si-M2制取太阳级多晶硅材料。本发明所述方法与传统西门子工艺或改良西门子工艺相比,具有高效率、低能耗、低成本、低污染的优势。

Description

一种熔盐电解法制备太阳级硅材料的方法
技术领域
本发明与硅材料的制备有关,特别涉及太阳级多晶硅材料的熔盐电解-三层液精炼—真空蒸馏法制备。
背景技术
太阳能作为一种清洁、可持续的能源,已受到广泛关注。高纯多晶硅是硅系列太阳能电池中使用的原材料。目前,国内外生产高纯硅的典型工艺是西门子工艺,以95%以上的石英矿在电炉中于1500℃的高温下熔炼成冶金级硅,再在300℃左右的温度及0.45MPa的压力下用HCl将冶金级硅氯化成SiHCl3,接着用精馏法提纯SiHCl3,然后用H2还原SiHCl3成电子级硅,最后采用电子级硅的废料制造太阳级硅片和太阳能电池。该技术工艺复杂、温度高、能耗高、产生大量废气、污染环境、设备投资大、成本高,并且对于许多杂质元素而言,其纯度超出了太阳级硅材料的要求,导致成本居高不下,成为未来硅太阳能电池发展的最大障碍。因此,世界各国在对西门子法制备高纯硅材料技术改进的同时,都大力开展太阳级硅材料的低成本制备新技术。
熔盐电解法是硅材料制备方法之一,用于制备太阳级多晶硅可分为以下几类:(1)在高于Si熔点温度下,以高纯SiO2为原料,通过熔盐电解制备多晶硅;该工艺温度高,能耗高,设备腐蚀严重,并且难以获得太阳级多晶硅;(2)以高纯氟硅酸盐为原料,采用熔盐电解法制备多晶硅,硅以固态形式析出;存在的问题是,硅以枝晶析出,导电性差,阴极固—液界面不稳定,沉积速率慢,无法连续生产;(3)以高纯SiO2为阴极,通过熔盐电解,实现阴极氧元素的电化学脱除,从而制备多晶硅;但存在脱氧过程不具备除杂作用,难以保证所得硅材料的纯度,并且SiO2电极导电性差,电解过程电流密度低,效率低等问题。
发明内容
为了克服上述不足,本发明提供一种采用“熔盐电解—三层液精炼—真空蒸馏”工艺制备太阳级多晶硅材料的方法。
一种熔盐电解法制备太阳级硅材料的方法,其具体的工艺流程如下:
1)熔盐电解制备含硅合金。以SiO2或其它含硅化合物A为原料,金属M1为阴极,高纯石墨或其它碳材料为阳极,氟化物熔盐Me3AlF6-Me’2SiF6-Me’’Fx为电解质,在600℃~1400℃温度、电流密度0.2A/cm2~1.5A/cm2下电解制备出含硅合金Si-M1。或者直接由冶金级硅进行熔配制备含硅合金Si-M1。其中,含硅化合物A为Li2SiF6,Na2SiF6,K2SiF6,Li2SiO3,Na2SiO3、K2SiO3,CaSiO3,MgSiO3,BaSiO3,Mg2SiO4或Be2SiO4中的至少一种;M1为Ag,Bi,Cd,Ce,Cu,Co,Cr,Fe,In,Mo,Ni,Pb,Sn或Zn中的至少一种;氟化物熔盐中各组分质量百分含量为:1~100%Me3AlF6、0~99%Me’2SiF6、0~40%Me’’Fx;Me3AlF6为Me的氟铝酸盐,其中Me为Na、K、Li中的至少一种;Me’2SiF6为Me’的氟硅酸盐,其中Me’为Na、K、Li中的至少一种;Me’’为Al、Mg、Ca、Ba、Na、K或Li中的至少一种。
2)含硅合金Si-M1三层液精炼制备高纯硅合金Si-M2。以含硅合金Si-M1为阳极,高纯金属M2为阴极,氟化物熔盐Me3AlF6-Me’2SiF6-Me’’Fx为电解质,采用三层液熔盐电解精炼技术,在600℃~1400℃温度、电流密度0.2A/cm2~1.5A/cm2下制备出高纯含硅合金Si-M2。其中M2可为Al,Mg,Ca,Li,Na,K,Be,Sr,Ba,Sc,Cs,Rb中的至少一种;氟化物熔盐各组分质量百分含量为:1~100%Me3AlF6、0~99%Me’2SiF6、0~40%Me’’Fx;Me3AlF6为Me的氟铝酸盐,其中Me为Na、K、Li中的至少一种;Me’2SiF6为Me’的氟硅酸盐,其中Me’为Na、K、Li中的至少一种;Me’’为Al、Mg、Ca、Ba、Na、K或Li中的至少一种。
3)太阳级多晶硅材料的制备。以高纯含硅合金Si-M2为原料,采用“真空蒸馏”技术,在真空度10-2Pa~10-6Pa,温度600℃~1800℃的条件下,蒸馏0.5~24小时,获得太阳级多晶硅材料。还可直接由含硅合金Si-M1为阳极,高纯石墨为阴极,氟化物熔盐Me3AlF6-Me’2SiF6-Me’’Fx为电解质,采用三层液精炼技术,在高于硅熔点(1414℃)的温度、电流密度0.2A/cm2~1.5A/cm2下直接制备出太阳级硅材料。其中M1可为Ag,Bi,Cd,Ce,Cu,Co,Cr,Fe,In,Mo,Ni,Pb,Sn,Zn中的至少一种;氟化物熔盐各组分质量百分含量为:1~100%Me3AlF6、0~99%Me’2SiF6、0~40%Me’’Fx;Me3AlF6为Me的氟铝酸盐,其中Me为Na、K、Li中的至少一种;Me’2SiF6为Me’的氟硅酸盐,其中Me’为Na、K、Li中的至少一种;Me’’为Al、Mg、Ca、Ba、Na、K或Li中的至少一种。
本发明针对熔盐电解法制备太阳级多晶硅材料中存在的问题,提供了一种以SiO2或其它含硅化合物为原料,采用“熔盐电解—三层液精炼—真空蒸馏”工艺制取太阳级硅材料的方法。本发明所述方法具有高效率、低能耗、低成本、低污染的优势,解决了其它熔盐电解法由于硅熔点高、导电性差,导致无法连续高效制备太阳级多晶硅的难题。
具体实施方式
实施例1:
以纯度99.46%的SiO2为原料,其杂质含量为Na1000ppm,K240ppm,Mg66ppm,Ca490ppm,Fe2000ppm,B120ppm,Cu20ppm,Ti73ppm,Mn200ppm,Ni53ppm,其他52ppm;高纯金属Cu为阴极,高纯石墨为阳极,电解质组成为48%Na3AlF6-32%AlF3-20%Na2SiF6,电解温度850℃,电流密度0.5A/cm2条件下电解制备含硅合金Si-Cu,硅含量15%。
以所得含硅合金Si-Cu为阳极,高纯金属Al为阴极,电解质组成为70%K3AlF6-7%AlF3-15%BaF2-8%K2SiF6,电解温度950℃,电流密度0.5A/cm2条件下电解制备高纯含硅合金Si-Al,硅含量40%。
以高纯含硅合金Si-Al为原料,在真空度10-4Pa,温度900℃的条件下,蒸馏6小时,获得太阳级多晶硅材料。其纯度为99.99995%,其中铁0.035ppm,铝0.05ppm,钙0.045ppm,磷含量为0.08ppm,硼含量0.15ppm,Ni0.045ppm,Cu0.045ppm,其他0.05ppm。
实施例2:
以纯度99.44%的K2SiF6为原料,其杂质含量为游离酸(以氟硅酸计)0.5%,氟化物0.02%,硫酸盐0.02%,铁0.01%,重金属0.01%;高纯金属Cu为阴极,高纯石墨为阳极,电解质组成72.5%K3AlF6-10.5%AlF3-12%K2SiF6-5%CaF2,电解温度900℃,电流密度0.75A/cm2条件下电解制备含硅合金Si-Cu,硅含量18%。
以所得含硅合金Si-Cu为阳极,高纯金属Ca为阴极,电解质组成67.5%K3AlF6-7.5%AlF3-8%K2SiF6-5%CaF2-12%BaF2,电解温度920℃,电流密度0.8A/cm2条件下电解制备高纯含硅合金Si-Ca,硅含量6%。
以高纯含硅合金Si-Ca为原料,在真空度10-6Pa,温度880℃的条件下,蒸馏10小时,获得太阳级多晶硅材料。其纯度为99.99996%,其中铁0.027ppm,铝0.055ppm,钙0.048ppm,磷含量为0.13ppm,硼含量0.012ppm,Ni0.039ppm,Cu0.052ppm,其他0.037ppm。
实施例3:
以99.5%的SiO2为原料,其杂质含量为Na1120ppm,K278ppm,Mg75ppm,Ca543ppm,Fe2467ppm,B136ppm,Cu33ppm,Ti78ppm,Mn169ppm,Ni58ppm,其他43ppm;高纯金属Zn为阴极,高纯石墨为阳极,电解质组成为69.5%Na3AlF6-6%AlF3-20%Na2SiF6-4.5%CaF2,电解温度970℃,电流密度0.5A/cm2条件下电解制备含硅合金Si-Zn,硅含量13%。
以所得含硅合金Si-Zn为阳极,高纯石墨为阴极,电解质组成为72%Na3AlF6-15%BaF2-5%CaF2-8%K2SiF6,电解温度1425℃,电流密度0.5A/cm2条件下电解制备获得太阳级多晶硅材料。其纯度为99.999924%,其中铁0.03ppm,铝0.027ppm,钙0.063ppm,磷含量为0.18ppm,硼含量0.27ppm,Ni0.053ppm,Cu0.042ppm,碳0.047,其他0.048ppm。

Claims (2)

1.一种太阳级多晶硅材料的制备方法,其特征在于:(1)以SiO2或其它含硅化合物A为原料,金属M1为阴极,高纯石墨或其它碳材料为阳极,氟化物熔盐为电解质,在600℃~1400℃温度下电解制备出含硅合金Si-M1;(2)以含硅合金Si-M1为阳极,高纯金属M2为阴极,氟化物熔盐为电解质,在600℃~1400℃进行三层液电解精炼,制备出含硅合金Si-M2;(3)以含硅合金Si-M2为原料,采用真空蒸馏技术,在真空度10-2Pa~10-6Pa状态,温度600℃~1800℃的条件下,蒸馏0.5~24小时,获得太阳级多晶硅材料;
所述含硅化合物A为Li2SiF6,Na2SiF6,K2SiF6,Li2SiO3,Na2SiO3,K2SiO3,CaSiO3,MgSiO3,BaSiO3,Mg2SiO4或Be2SiO4中的至少一种;
所述金属M1为Ag,Bi,Cd,Ce,Cu,Co,Cr,Fe,In,Mo,Ni,Pb,Sn或Zn中的至少一种;
所述金属M2为Al,Mg,Ca,Li,Na,K,Be,Sr,Ba,Sc,Cs或Rb中的至少一种;
所述氟化物熔盐组成为:Me3AlF6-Me’2SiF6-Me”Fx,各组分质量百分含量为:1~100%Me3AlF6、0~99%Me’2SiF6、0~40%Me”Fx;其中Me为Na、K或Li中的至少一种;Me’为Na、K或Li中的至少一种;Me”为Al、Mg、Ca、Ba、Na、K或Li中的至少一种。
2.一种太阳级多晶硅材料的制备方法,其特征在于:(1)以SiO2或其它含硅化合物A为原料,金属M1为阴极,高纯石墨或其它碳材料为阳极,氟化物熔盐为电解质,在600℃~1400℃温度下电解制备出含硅合金Si-M1;(2)以含硅合金Si-M1为阳极,高纯石墨为阴极,氟化物熔盐为电解质,在高于硅熔点1414℃的温度下进行三层液电解精炼,制备出太阳级硅材料;
所述含硅化合物A为Li2SiF6,Na2SiF6,K2SiF6,Li2SiO3,Na2SiO3,K2SiO3,CaSiO3,MgSiO3,BaSiO3,Mg2SiO4或Be2SiO4中的至少一种;
所述金属M1为Ag,Bi,Cd,Ce,Cu,Co,Cr,Fe,In,Mo,Ni,Pb,Sn或Zn中的至少一种;
所述氟化物熔盐组成为:Me3AlF6-Me’2SiF6-Me”Fx,各组分质量百分含量为:1~100% Me3AlF6、0~99%Me’2SiF6、0~40%Me”Fx;其中Me为Na、K或Li中的至少一种;Me’为Na、K或Li中的至少一种;Me”为Al、Mg、Ca、Ba、Na、K或Li中的至少一种。
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101724898B (zh) * 2008-10-10 2012-07-04 比亚迪股份有限公司 一种太阳能级多晶硅材料的制备方法
CN101736354B (zh) * 2008-11-06 2011-11-16 北京有色金属研究总院 电化学法制备硅纳米粉、硅纳米线和硅纳米管中的一种或几种的方法
US8460535B2 (en) * 2009-04-30 2013-06-11 Infinium, Inc. Primary production of elements
CN101575733B (zh) * 2009-05-22 2011-07-27 北京航空航天大学 一种工业化生产太阳能级多晶硅的方法
CN102220606B (zh) * 2010-04-16 2012-07-04 中南大学 一种惰性阳极熔盐电解制备硅颗粒的方法
CN101935846B (zh) * 2010-09-09 2012-03-21 昆明理工大学 以硅石为原料制备太阳能级硅的方法
CN101979712A (zh) * 2010-12-01 2011-02-23 武汉大学 单质硅的制备方法
WO2012083480A1 (en) * 2010-12-20 2012-06-28 Epro Development Limited Method and apparatus for producing pure silicon
CN103103552B (zh) * 2011-11-15 2016-04-13 国联汽车动力电池研究院有限责任公司 一种采用熔盐电解制取硅的方法
CN102534666B (zh) * 2011-12-30 2014-10-22 大连理工大学 一种高纯硅与高纯铝的电化学双精炼提纯的方法
CN102851679B (zh) * 2012-05-04 2015-09-02 厦门大学 一种熔盐电解去除硅中硼和磷杂质的方法
CN103173780B (zh) * 2013-03-01 2015-06-03 中南大学 一种半连续熔盐电解制备太阳级多晶硅材料的方法及装置
CN103219052B (zh) * 2013-04-25 2016-04-13 中国科学院上海有机化学研究所 一种高纯度的氟化物熔盐及其制备方法
CN103243385B (zh) * 2013-05-13 2016-04-27 北京科技大学 电解精炼-液态阴极原位定向凝固制备高纯单晶硅的方法
CN103395785B (zh) * 2013-07-18 2014-12-31 贵州省产品质量监督检验院 一种钠还原氟硅酸钠制备多晶硅的方法
KR101642026B1 (ko) * 2013-08-19 2016-07-22 한국원자력연구원 전기화학적 실리콘 막 제조방법
CN103774216B (zh) * 2013-12-02 2017-03-29 内蒙古机电职业技术学院 熔盐电解和定向凝固组合技术生产太阳能级多晶硅的方法
KR101967076B1 (ko) * 2015-10-27 2019-04-08 신닛테츠스미킨 카부시키카이샤 실리콘 도금 금속판의 제조 방법
PL3386916T3 (pl) * 2016-07-27 2021-10-25 Epro Development Limited Ulepszenia w wytwarzaniu nanocząstek krzemu i ich zastosowania
CN108823637A (zh) * 2018-07-30 2018-11-16 孟静 提纯多晶硅的装置
CN109930176A (zh) * 2018-08-14 2019-06-25 华北理工大学 一种熔盐制备硅镍合金的方法
CN108842183A (zh) * 2018-09-10 2018-11-20 孟静 多晶硅片的制备方法
CN109468655A (zh) * 2019-01-07 2019-03-15 东北大学 一种熔盐体系中电解制备硅的方法
CN110512223B (zh) * 2019-08-07 2020-12-01 武汉大学 无模板制备硅纳米管的熔盐电化学方法
CN113321485B (zh) * 2021-05-28 2022-06-24 湖南恩捷前沿新材料科技有限公司 一种硫银锗矿型硫化物固态电解质的制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2559473A1 (fr) * 1984-02-13 1985-08-16 Ila Lilleby Smelteverker Procede de production de silicium purifieÿa
CN1830776A (zh) * 2006-03-30 2006-09-13 中南大学 一种制备太阳能电池级硅材料的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2559473A1 (fr) * 1984-02-13 1985-08-16 Ila Lilleby Smelteverker Procede de production de silicium purifieÿa
CN1830776A (zh) * 2006-03-30 2006-09-13 中南大学 一种制备太阳能电池级硅材料的方法

Non-Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP特开2006-321688A 2006.11.30
于旭光等.熔盐电解法制取Al-Si 合金.东北大学学报( 自然科学版)25 5.2004,25(5),442-444.
于旭光等.熔盐电解法制取Al-Si 合金.东北大学学报( 自然科学版)25 5.2004,25(5),442-444. *
李运刚等.熔盐电沉积硅的基础研究.有色金属(冶炼部分) 3.2004,(3),23-26.
李运刚等.熔盐电沉积硅的基础研究.有色金属(冶炼部分) 3.2004,(3),23-26. *
蔡宗英等.电沉积硅技术的历史和发展趋势.湿法冶金23 4.2004,23(4),188-190.
蔡宗英等.电沉积硅技术的历史和发展趋势.湿法冶金23 4.2004,23(4),188-190. *
谢刚.熔融盐理论与应用 1.冶金工业出版社,1998,223-224.
谢刚.熔融盐理论与应用 1.冶金工业出版社,1998,223-224. *

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