CN100472705C - 准分子灯泡 - Google Patents

Abstract

提供一种构造简单且在放电容器处无因热膨胀所产生的破损，具有放电稳定生成的新颖的构造的准分子灯泡。由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、使此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、配置于放电容器的外面的外侧电极构成的准分子灯泡，其特征为：上述内侧电极，其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端是由在放电空间内开放的电介质材料构成的内侧管所覆盖。

Description

准分子灯泡

技术领域

本发明涉及使电介质材料位于其间放电并准分子发光的准分子灯泡，特别是涉及在放电空间内具有内部电极的准分子灯泡。

背景技术

作为涉及本发明的技术有例如日本特开平2-7353号，其中记载了，在放电容器填充形成准分子的放电用气体，通过电介质障壁放电(别名，臭氧发生放电或是无声放电。电机学会发行改订新版<<放电手册>>，平成1年6月再版7刷发行，参照第263页)形成准分子，取出从该准分子放射的光的放射器，即准分子灯泡。此外，在德国专利公开公报DE4022279A1中，公开了以MHz为单位所点灯的准分子灯泡，并且，在<<Silent discharge for the generation of ultravioletand vacuumultraviol etexcimer radiation>>(Pure & Appl.Chem.，Vol.62，No.9，pp.1667-1674，1990)中，公开了由50Hz至数MHz所点灯的准分子灯泡(别名，电介质障壁放电灯)。

这些准分子灯泡，其放电容器的形状是整体圆筒状，放电容器的至少一部分兼具进行使电介质材料位于其间的放电(电介质障壁放电)的电介质，该电介质的至少一部分对于从准分子放射的真空紫外光(波长200nm以下的光)为透光性，并且，在放电容器的外面被设置为作为一个电极的网状电极。

这种准分子灯泡，具有现有的低压水银放电灯或高压放电灯中所没有的各种特征，例如，可使单一波长的紫外光强力放射等，使用该准分子灯泡的发光装置，例如在专利第2854255号、特开2002-168999等中被公开。

公开于上述专利第2854255号、特开2002-168999号的准分子灯泡(电介质障壁放电灯)，是在圆筒状内侧管的外侧使相同的圆筒状外侧管同轴配置的双层圆筒型的构造，在内侧管的内部配置内侧电极，在外侧管的外表面配置外侧电极，形成于内侧管及外侧管之间的空间为放电空间。

图11表示双层圆筒型准分子灯泡的简要结构。(a)表示整体的横剖面图，(b)表示(a)的A-A剖面图。

准分子灯泡1的整体形状为圆筒状，由合成石英玻璃构成。放电灯1的外侧管51及内侧管52同轴配置而构成双层圆筒管，同时由紧闭其两端在外侧管51及内侧管52之间形成放电空间。在放电空间中通过电介质障壁放电形成准分子的同时，封入从该准分子放射真空紫外光的放电用气体，例如氙气体。举数值例的话，放电灯1的全长是800mm、外径是27mm，内侧管52的外径是16mm，外侧管51及内侧管52的壁厚是1mm，以400W点灯。

在内侧管52的内表面设置有作为一个电极的内侧电极2，在外侧管51的外表面设置有作为另一个电极的网状外侧电极3。内侧电极2是配管状，网状电极3无接缝地构成。整体因具有伸缩性所以与外侧管51的密合性良好。

在内侧电极2、外侧电极3之间连接图示省略的交流电源，由此在放电空间形成准分子使紫外光发光。使用氙气体作为放电用气体时，会放射波长172nm的光。

但是，此双层圆筒型构造的准分子灯泡具有以下的问题。

第一，因为内侧管与外侧管的2个石英玻璃管为双层圆筒型，所以放电容器整体变大。此外，因为内侧管由端部焊接支撑，所以受重力的影响容易破损。

第二，为了将2个石英玻璃管由两个端部粘结的制造过程是必要的，此制造过程是复杂且烦杂。

第三，内侧管比可以冷却的外侧管温度高，由热膨胀所产生负荷大，特别是，在与外侧管的接合部应力集中而容易破损，灯越长条化其影响越深刻。

此外，也存在非双层圆筒型，具有内侧电极使放电空间内延伸形成的构造的准分子灯泡。例如，在特表平8-508363号和特开2003-317670号中所示。

图12表示上述现有例的构造。此构造是放电容器60由1个圆筒体构成，在该放电容器60内的放电空间内，内侧电极61朝轴方向延伸，在上述放电容器60的外表面设置有外侧电极62。

依据上述构造，因为不存在相当于双层圆筒型的内侧管，所以可以解决双层圆筒型构造具有的上述问题点。

但是，内侧电极因为露出于放电空间内，所以直接放电产生于内侧电极，而有使内侧电极容易劣化、放电不稳定的问题。并且，劣化的电极成分在放电空间内放出并在放电容器产生溅射，还有早期发生照明度下降的问题。此外，因为在内侧电极直接放电，所以内侧电极及放电用气体的温度上升容易，其结果，发光效率也容易下降。

此外，电介质材料因为只存在于一个电极附近，如果交流点灯，则在正极侧及负极侧放电的平衡会崩溃。

并且，如果不留意朝电极的供电极性，则会生成电弧状的放电而使准分子光不能高效率地生成，如果一端形成电弧状的放电，则有其部分会红热使电极烧断等其它的问题。

[专利文献1]特开平2-7353号

[专利文献2]专利第2854255号

[专利文献3]特开2002-168999等

[专利文献4]特表平8-508363号

[专利文献5]特开2003-317670号

发明内容

本发明要解决的课题是提供一种去除双层圆筒型准分子灯泡的构造复杂度的同时，去除内侧电极在放电空间内直接露出的构造的准分子灯泡的放电的问题等，并且具有通过放电空间内的内侧电极由端部开放的电介质覆盖的新颖的构造的准分子灯泡。

本发明的准分子灯泡，是由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、在此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、及配置于放电容器的外面的外侧电极构成，其特征在于，上述内侧电极，其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端是由开放于放电空间内并具有内部空间与所述放电空间连通的间隙的电介质材料所构成的内侧管所覆盖。

此外，其特征在于上述内侧管的两个端部开放于放电空间内。

并且，其特征在于上述内侧管通过支撑构件被支撑于放电容器。

此外，其特征在于上述支撑构件安装于内侧管，在上述放电容器中，形成限制该支撑构件的朝长度方向的移动的固定装置。

并且，其特征在于上述内侧管被支撑于内侧电极。

或者是，其特征在于上述内侧管的一个端部开放于放电空间内，另一个端部与放电容器连结。

或者是，其特征在于上述内侧电极通过放电容器的两端被封止，至少在其一部分形成在长度方向上可以伸缩的弹性部。

本发明的准分子灯泡，因为在内侧电极的外周设置有由电介质材料构成的内侧管，所以在内侧电极及外侧电极之间存在2个电介质，所以在放电空间中放电稳定均一地被形成。此外，无关于供电极性不会生成电弧状放电，所以准分子光的生成效率高，且不生成电极烧断的问题。

此外，因为内侧管的端部开放于放电空间内，所以朝长度方向的热膨胀不被约束而自由伸缩，而可消解通过在放电容器及两个端部粘结的构造所导致的应力集中或热变形所产生的损伤、破损的问题。

此外，因为内侧管内的放电气体可通过其开放端流通至放电空间内，所以可抑制覆盖于内侧管的内侧电极的温度上升，防止其损耗，同时放电容器内的温度被平均化而抑制放电用气体的温度上升，可以防止光输出的下降。

附图说明

图1表示本发明的准分子灯泡的实施方式1。

图2表示本发明的准分子灯泡的实施方式2。

图3表示图1的主要部分的放大图。

图4表示图2的主要部分的放大图。

图5表示本发明的准分子灯泡的实施方式3。

图6表示本发明的准分子灯泡的实施方式4。

图7表示本发明的准分子灯泡的实施方式5。

图8表示本发明的准分子灯泡的实施方式6。

图9表示本发明的准分子灯泡的实施方式7。

图10表示使用本发明的准分子灯泡的照射装置。

图11表示现有的准分子灯泡。

图12表示其它的现有例。

具体实施方式

图1表示本发明的准分子灯泡的第1实施方式。

准分子灯泡1，整体由管状的放电容器10所构成，形成填充放电用气体的发光部11、及在其两端将发光部11密封的封止部12。放电容器10的材质由有通过电介质障壁放电作为电介质的功能的同时可让真空紫外光良好透过的材料，例如合成石英玻璃构成。

在放电容器10的内部，棒状的内侧电极2在放电容器10的大致中心延伸配置，在放电容器10的外面使外侧电极3是密合地配置。内侧电极2的两端在封止部12分别与金属箔13接合，并且在金属箔13接合外部簧片14。

在形成于发光部11的内部的放电空间中，通过位于其间的电介质材料的放电(电介质障壁放电)形成准分子的同时，封入从该准分子放射的真空紫外光的放电用气体，例如氙气体。

内侧电极2是钨等的棒状电极，在端部形成线圈状的弹性部21。在内侧电极2的周围，将其覆盖地设置由电介质材料构成的内侧管22，内侧电极2被插入此内侧管22中。该内侧管22，由例如合成石英玻璃所构成，被覆盖于内侧电极2的至少与外部电极3之间进行放电的部位的外表面，其端部超过外部电极3的端部延伸。

上述内侧电极2及内侧管22通过微小间隙缓缓密合也可以，形成更大的间隙也可以。此外，上述线圈状弹性部21不需要设置于内侧电极2的2处，至少设置于一部分即可以。

在此实施方式中，上述内侧管22，其两端开放于放电空间内，不存在于内侧电极2的两个端部。因此，内侧电极2的两个端部并非由内侧管22覆盖而是直接地露出于放电用气体中。

而且，内侧管22，是通过环状的支撑构件30，被固定于放电容器10的内部。此支撑构件30，嵌合于内侧管22并通过与该内侧管22焊接或粘结而固定。

外侧电极3是金属线形成网状的电极，覆盖放电容器10的外表面地配置。因此，来自放电容器10的放射光是透过外侧电极3的网目放射。另外，对于外侧电极3，如果是将1条金属线无接缝地编成的构造，则有利于增加与放电容器的密合性。

如果通过图示省略的供电装置供电至内侧电极2及外侧电极3，则使电介质材料的放电容器10及内侧管22位于其间并在两电极间生成放电，在放电用气体中产生准分子发光。

另外，内侧管22虽是通过支撑构件30支撑于放电容器10，但是内侧电极2具有充分的自己保持刚性的情况时，不一定需要支撑构件30，支撑于该内侧电极2也可以。

此时，为了防止内侧管22朝长度方向的移动，而使形成于内侧电极2的线圈状的弹性部21可以作为朝内侧管22的长度方向的移动限制构件的功能。在这种情况下，将弹性部21与内侧管22的端部邻接配置，且使直径至少比其内径大。

此实施方式的准分子灯泡的构造，由于在放电空间内的内侧电极也覆盖有电介质，因此在外侧电极之间的放电稳定，可以持续均一的状态，且防止不希望有的电弧放电的发生，使准分子光的生成效率高，且不产生电极烧断的问题。

并且，因为内侧管为其端部开放于放电空间内的构造，所以朝长度方向的热膨胀不受任何约束可自由伸缩，因此消解因由放电容器及两个端部接合的现有构造所产生的损伤、破损的问题。此外，内侧管内的放电用气体是通过其开放端流通至放电空间内来抑制内侧电极的温度上升，可以防止其损耗，同时放电用气体的温度被平均化来抑制其温度上升，可以防止光输出的下降。

并且，由于在内侧电极中具有弹性部，因此该内侧电极即使热膨胀，因其热膨胀部分可由弹性部吸收，所以不会影响到热膨胀系数不同的石英玻璃构成的放电容器的封止部，可防止放电容器的破损。

图2表示本发明的准分子灯泡的第2实施方式。

与图1所示的准分子灯泡的不同的点，是内侧电极2并非棒状电极而整体是线圈形状的电极，以及外侧电极3并非网状电极而是半圆筒状(沟槽状)的金属板的结构。

内侧电极是线圈形状的优点是因为由细金属丝构成，所以与棒状电极相比重量可减轻。一旦重量减轻，就有利于耐振动性、耐冲击性。且由于电极本身是弹性体，因此不需如棒状电极那样另设弹性部，还有可以便宜制造的优点。

外侧电极是半圆筒状金属板的优点是相比于网状电极组装作业性佳。即，在网状电极的情况下，需要在放电容器通过或者卷绕等作业，但是在半圆筒体状电极的情况下，只要将事先配合放电容器的外径形成的零件嵌入，就完成组装作业。此外，金属板是对于紫外线具有反射性的情况，也可提高一个方向的光输出。

图3表示图1所示的准分子灯泡的放电容器端部的放大的结构。

是用于规定内侧电极2由内侧管22覆盖的区域，相反地说，规定内侧电极2露出于放电空间的区域的说明图。

图中，外侧电极3的端部与内侧管22的端部的距离D，必须至少比放电距离d的2倍大(图为了说明的方便，未表示该数值关系)。

即，未满足D>2d的关系的情况，内侧电极2的露出部分及外侧电极3的放电有强力发生的可能性，此放电是因为如上述容易成为不安定的放电。特别是交流点灯时由于每次极性变换，在电介质的位置极性的关系会变化而使放电容易变的不平衡。

另外，优选的是满足D>4d的关系，更优的是满足D>6d的关系。

图4表示内侧电极2的支撑构件30。(a)表示管状的支撑构件，(b)表示使用2张圆板的中空支撑构件，(c)表示板状支撑构件。

内侧管22由通过焊接或粘结于该内侧管22等安装的支撑构件30支撑于放电容器10。通过该支撑构件30，不仅使内侧管22本身，也使内侧电极2防止因为重力而垂下，用于防止由该垂下所产生的内侧管22的破损或放电的位置的不均一。特别是放电容器10成为长条时该问题更显著，举一例，一旦放电容器的长度(放电空间的长度)为500～600mm以上，支撑构件的必要性就会提高。

(a)所示的支撑构件是管形状的支撑构件30，嵌合于内侧管22，与该内侧管22通过焊接或粘结等安装。而且，在其圆周上的凹部成为与形成于放电容器10的凹部100卡合的构造，由此，限制内侧管22在内侧电极2上朝长度方向移动。

此外，(b)所示的2张板状支撑构件30的情况，在这些之间卡合有凹部100。

并且，(c)所示的板状支撑构件30的情况，在该支撑构件30的两侧形成2个凹部100，限制在内侧管22的长度方向的移动。

另外，这些的凹部100，用于限制内侧管22对于放电容器10的长度方向的移动，可作为使支撑构件30对于放电容器10缓缓固定的固定装置的功能，因此，不一定需要形成于放电容器10的全部外周上，形成于圆周上的1处或者是数处也可以。

而且，这些的凹部100可以由例如凹痕加工制作。

此外，图4表示放电容器10的一端的构造，但是在放电容器的中央部分或另一端也可以设置多个支撑构件30。

此时，凹部100不需要对于全部的支撑构件30设置，通过设置于至少1处的支撑构件就可限制内侧管22的长度方向的移动。

图5表示本发明的第3实施方式。实施方式相对于图1所示的第1实施方式中的棒状的内侧电极2贯通的内侧管22通过支撑构件30被支撑于放电容器10的构造，在此实施方式中，为使内侧管22通过设置于棒状的内侧电极2的支撑体2a支撑的构造。

图6进一步表示第4实施方式，相对于图2所示的第2实施方式中的线圈状内侧电极2抵接于内侧管22内插入的构造，为在线圈状电极2设置支架2b，使该线圈状电极2被支撑于内侧管22内的构造。

图7表示第5实施方式。在上述实施方式1～4中表示了内侧电极2封止于放电容器10的两个端部的构造，但是并非限定于此，只封止于一个端部的构造也可以。

图7为内侧电极2是只对于放电容器10的一个端部、在图中的右端部10a是由挤压密封等封止并朝外部突出，而放电容器10的左端部10b是关闭的构造。

依据此实施方式，由于内侧电极2只有一个端部封止于放电容器10，因此可以进一步减少因热膨胀的对于该放电容器10的影响。

在上述实施方式1～5中，虽表示了内侧管22的两个端部开放于放电空间内，但是并非必须开放两个端部，一个端部与放电容器连结也可以，图8中表示了这种实施方式6。

在图8中，内侧管22是使左端22a开放于放电空间内，右端22b通过焊接等与放电容器10连结。

对于此实施方式6，内侧管22因左端22a开放自由，所以即使对于该内侧管22的热膨胀，也不受其它的构件约束，向放电容器10的安装处也不会因变形而产生应力集中。

另外，对于该实施方式6，也如上述实施方式1所述，表示了在内侧管22安装有支撑构件30并对于放电容器10支撑内侧管22的构造，但是在此实施方式，因为内侧管22由一个端部22b与放电容器10连结，所以特别是在小型灯的情况等中，也可不需要支撑内侧管22的支撑构件30。

另外，对于上述各实施方式1～6的支撑构件30，如图9所示，在光取出方向(在图中是下方)形成缺口31也可以。该支撑构件30是通过焊接等固定于内侧管22或放电容器10。

如此，可消解在支撑构件30部分未形成放电或来自其它的发光部的光被遮而无法朝外部放射的问题。即，在设置支撑构件30的构造中，因为存在该支撑构件30，所以有在此部分在内外电极2、3间不存在放电空间而在该部分未形成放电，或来自其它的发光部的倾斜方向的光被该支撑构件30遮住而无法朝放电容器10外部放射的问题，但是通过由缺口31在支撑构件30的下方也形成放电空间，就可以消解这些问题。

本发明的准分子灯泡并不限定于图1～图9所示的构造。例如，外部电极并不限定于网状电极或半圆筒状，在放电容器外面由印刷等形成也可以。此外，该外侧电极物理上不需要由一个构件构成，在放电容器的长度方向多个分割地电连接也可以。此构造的优点是可以容易地制造长条品，可以调整配光。

内侧电极并不限定于棒状电极、线圈状电极，在内侧管中具有电特性，可以成为用于准分子发光的电极皆可以。例如，在内侧管的内表面将金属薄膜蒸镀。此金属薄膜的优点是可缩小内侧管，或可使金属薄膜作为反射镜利用。

此外，内侧电极为管状也可以。此时，通过形成在剖面的一部分具有缺口的C字状剖面，可提高内侧管的密合性。

线圈状构成内侧电极的时候，不是由1条金属线形成线圈，而是连结多个线圈的构造，或将棒状部分及线圈部分交错配置的构造，并且，使线圈的间距在长度方向变化的构造也可以适用。特别是，放电容器的内径或厚度参差不一的情况，用于消解因该参差不一所产生的准分子发光的场所的不均一是有效的。

放电容器的封止部的构造并不限定于挤压密封，其它的箔密封、即收缩密封构造也可以，采用所谓的相互搭接密封也可以。相互搭接密封的优点是玻璃及电极的接合性佳，可更确实防止在封止部的气体漏出或龟裂的发生。

此外，支撑内侧管的支撑构件通过焊接等安装于该内侧管，但是不限定此，作为安装于放电容器侧的构造，内侧管缓缓嵌合于此支撑构件被支撑也可以。即使在此时，内侧管朝长度方向的热膨胀不受支撑构件约束而可自由收缩膨胀。但是，因为内侧管在长度方向进行不必要的大移动并不好，所以另外根据需要在内侧电极侧等处设置限制朝内侧管的长度方向的移动的固定装置。

如上所述，可以使内侧管的支撑构件安装于放电容器或内侧管的任何一方。

在放电空间中配置吸气器也可以。吸气器由例如钡、锆等构成，因为可以吸着不纯气体所以效果佳。对于吸气器的配置，可以通过将专用的吸气器收容室设置于例如放电容器的端部的构造，或磁性地保持装置使之固定。

图1所示的构造中，如果表示数值例，则放电容器10的长度(包含封止部)是400mm～1500mm，例如1000mm，放电容器10的外径是10mm～20mm，例如15mm。内侧管22的长度是200mm～1300mm，例如800mm，内侧管22的外径是4mm～8mm，例如5mm，内径是2mm～6mm，例如3mm。内侧电极(棒状电极)的长度是300mm～1400mm，例如900mm，外径是1.5mm～5.9mm，例如2.8mm。弹性部21的长度是10mm～30mm，例如20mm，外径是2mm～7mm，例如4mm。

支撑构件30的宽度是3mm～7mm，例如5mm。

图2所示的构造，对于与图1所示的构造不同的部分，如果表示数值例，则线圈状内侧电极的外径是1.5mm～5.9mm，例如2.8mm。

图3所示的构造，对于与如图1、图2所示的构造不同的部分，如果表示数值例，放电距离d是2mm～7mm，例如5.0mm，距离D是比2d大的数值范围、4mm～14mm，例如10mm。

准分子灯泡在外侧电极及内侧电极之间分别设置电介质使放电空间存在。准分子灯泡也称为电介质障壁放电灯，具有强力放射单一波长的真空紫外光的现有的低压水银灯或高压放电灯中所未有的优秀特征。

单一波长的光由封入放电容器内的气体决定，氙气体(Xe)的情况是波长172nm的光，氩气体(Ar)及氯气体(Cl)的情况是波长175nm的光，氪(Kr)及碘(I)的情况是波长191nm的光，氩(Ar)及氟(F)的情况是波长193nm的光，氪(Kr)及溴(Br)的情况是波长207nm的光，氪(Kr)及氯(Cl)的情况是放射波长222nm的光。并且，还具有根据需要可以在瞬间(1秒以内)点灭点灯的特征。

为了准分子发光，从供电装置供给至准分子灯泡的电压波形并不限定于正弦波，脉冲波形也可。此时，不连续供给脉冲，在发光效率这点上优选的是具有间隔(停歇期间)的脉冲波形，此外，脉冲波形优选的是由急剧的立起上升波形外加。这是因为外加急剧的立起上升波形的电压，与外加如正弦波电压地缓和的电压的情况相比，接近对于放电容器内的气体直接外加电压的状态，此外，设置停歇期间是为了不破坏已生成的准分子。另外，如果举立起的数值例，则从0.03μ秒～1μ秒的范围选择，例如0.5μ秒，脉冲宽从0.5μ秒～5μ秒的范围选择，例如1μ秒，停歇期间从1μ秒～100μ秒的范围选择，例如29μ秒。

图10表示使用本发明的准分子灯泡的照射装置的简要结构。

准分子照射装置40是由金属块体41使整体为箱型形成。

在金属块体41中设有沟，准分子灯泡10(10a、10b、10c)是适合于沟被配置。在金属块体41中配置流动冷却水的冷却水用贯通孔42(42a、42b)、及检测准分子灯泡1的放射光的传感器43(43a、43b、43c)。金属块体41因为要具有高传热特性、加工的容易性和真空紫外光的高反射特性，而采用例如铝。另外，虽图示省略，但是在金属块体41中配置了对于放电容器的温度检测传感器。

在照射装置40中设置用于流动惰性气体的导入口44a及排出口44b。导入口44a通过阀连接气体钢筒等，排出口44也同样通过阀连接真空钢筒。惰性气体一般虽是采用氮气，但是采用氩气等也可以。此外，惰性气体在处理过程中或者在处理前后，可以从导入口44a导入并从排出口44b排出地随时持续流动。

在照射装置40的外部配置有供电装置45。

在照射装置40的外部受到从准分子灯泡10放射的紫外线的处理物W放置于处理台46。此处理台46由例如不锈钢构成，通过在内部配设镍铬线构成的灯丝加热器而可加热处理物W。此外，通过在图示省略的处理台46处设置升降机构，可使处理物W接近准分子灯泡1，此外，通过设置传送机构可以朝水平方向传送。

在处理物W中，供给了氧气、硅烷系气体、氢气、氩气等的处理用气体，通过使来自这些处理用气体及准分子灯泡1的放射光反应来进行处理。

另外，上述的照射装置在灯和处理物之间未设置将两者分段的透过构件。因此，装置整体小型化的同时，不需要使用高价的紫外线透过窗构件而优点大。这是因为，本发明的准分子灯泡是小型，所以可以接近准分子照射装置40及处理物W的距离，因此，可以由从导入口44a流动至排出口44b的惰性气体流来防止金属块体41的氧化。

但是，并非排除在灯和处理物之间设置将两者分段的透过构件。通过设置透过构件，具有可解决来自处理物的浮游物附着于灯或其附近的问题的优点。

Claims (7)

1.一种准分子灯泡，由使紫外线透过的材料所构成且在内部封入放电用气体的放电容器、在此放电容器的内部朝长度方向延伸的同时对于放电容器的端部气密地封止的内侧电极、和配置于放电容器的外面的外侧电极构成，其特征在于：

所述内侧电极，其至少在与外侧电极之间进行放电的部位的外表面，被至少一端是由开放于放电空间内并具有内部空间与所述放电空间连通的间隙的电介质材料所构成的内侧管覆盖。

2.根据权利要求1所述的准分子灯泡，其特征在于，所述内侧管的两个端部开放于放电空间内。

3.根据权利要求2所述的准分子灯泡，其特征在于，所述内侧管通过支撑构件被支撑于放电容器。

4.根据权利要求3所述的准分子灯泡，其特征在于，所述支撑构件安装于内侧管，在所述放电容器中，形成限制该支撑构件的朝长度方向的移动的固定装置。

5.根据权利要求2所述的准分子灯泡，其特征在于，所述内侧管被支撑于内侧电极。

6.根据权利要求1所述的准分子灯泡，其特征在于，所述内侧管的一个端部开放于放电空间内，另一个端部与放电容器连结。

7.根据权利要求1所述的准分子灯泡，其特征在于，所述内侧电极，通过放电容器的两端被封止，至少在其一部分上形成在长度方向上可以伸缩的弹性部。

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