JP2006244898A - エキシマランプ - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、一方の電極を放電容器内部に配置させ、該内部電極を誘電体材料からなる内側誘電体で覆ったエキシマランプにおいて、ゲッタ材を配置しても異常放電が発生しないエキシマランプを提供することにある。
【解決手段】本発明のエキシマランプは、紫外線を透過させる材料から構成されて内部に放電用ガスが封入された放電容器と、該放電容器の端部において気密に封止された内部電極と、該放電容器の外面に配置された外部電極とからなるエキシマランプにおいて、前記内部電極は、少なくとも外部電極との間で放電を行う部位の周辺が誘電体材料からなる内側誘電体によって覆われており、該放電容器内には、ゲッタ材が封入され、該ゲッタ材は、外部電極端部と内側誘電体終端との間に配置、または、内側誘電体終端よりシール端側に配置、したことを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

この発明は、誘電体材料を介在させた放電を用いたエキシマランプに関する。特に、放電空間内に一方の電極を具備したエキシマランプであって、該放電空間内部に封入するゲッタ材の配置される位置に特徴を持つエキシマランプに関する。

この発明に関連した技術としては、例えば、特開平２−７３５３号があり、そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、誘電体を介して放電することにより放電容器内の放電用ガスにエキシマ分子を生成せしめ、このエキシマ分子から放射される紫外光を取り出すエキシマランプが開示されている。

このエキシマランプは、従来の低圧水銀放電ランプや高圧放電ランプにはない、単一波長の紫外光を強く放射するなどの特徴を有することも知られている。エキシマランプを使った発光装置としては、上記公報以外にも、例えば、特許第２８５４２５５号、特開２００２−１６８９９９等に開示されている。

上記特許第２８５４２５５号、特開２００２−１６８９９９号に開示されたエキシマランプは、円筒状内側誘電体の外側に同じく円筒状外側管が同軸的に配置された二重円筒型の構造をしており、外側管の外面に外部電極が配置され、内側誘電体の内部に内部電極が配置されて、外側管と内側誘電体の間に形成される空間を放電空間とするものである。

図８に従来のエキシマランプの概略構成を示す。（ａ）は全体の横断面図を示し、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図を示す。
エキシマランプ５０は全体形状が円筒状であり合成石英ガラスから構成される。放電ランプ５０は外側管５１と内側誘電体５２が同軸に配置して二重円筒管を構成するとともに、両端を閉じたことから外側管５１と内側誘電体５２の間に放電空間Ｓが形成される。放電空間Ｓには誘電体を介して放電することによってエキシマ分子を形成するとともに、このエキシマ分子から真空紫外光を放射する放電用ガス、例えばキセノンガスが封入される。外側管５１の外面には一方の電極である網状の外部電極５３が設けられ、内側誘電体５２の内部に他方の電極である内部電極５４が設けられる。外部電極５３と内部電極５４の間には、図示略の交流電源が接続され、これにより放電空間にエキシマ分子が形成されて紫外光を発光する。放電用ガスは、発光波長に応じて選択されるが、例えば、キセノンガスを使った場合は波長１７２ｎｍの光を放射する。

ところで、この構造のエキシマランプには、（１）内側管、外側管という２つの石英ガラス管を二重円筒型とするので放電容器全体が大きくなり、また、内側誘電体は端部で溶着支持されているため重力の影響を受けて破損しやすい、（２）２つの石英ガラス管を両端部で接合させるための製造工程が必要となり、この製造工程は複雑かつ煩雑である、（３）内側誘電体は冷却可能な外側管に比べて高温となり、熱膨張による大きな負荷がかかり、特に、外側管との接合部に応力が集中して破損しやすく、ランプが長尺化するほどその影響は深刻である、という問題がある。

また、二重円筒型ではなく、例えば、特許３５０６０５５号に示されるように、内部電極が放電空間内に延在する構造を有したエキシマランプも存在する。図９に、従来のエキシマランプにおけるその他の構成として、放電空間内に一方の電極を持つエキシマランプの概略断面図を示す。図９−ａ）は、ランプ管軸方向の断面図であり、図９−ｂ）は、ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。該エキシマランプ４０は、放電空間を形成する放電容器４１、該放電容器４１の外面に配置された透光性（例えば網状体）の外部電極４３、該放電容器４１の内部に配置された内部電極４４とから形成されている。また、該内部電極４４の一方の端部４４Ａ側は封止部４５によって封止されている。該放電容器４１で覆われた空間には放電用ガスが封入された放電空間Ｓが形成されている。この構造では放電容器が１つの円筒体からなり、二重円筒型のものにおける内側誘電体に相当するものが存在しないため、上記問題点のいくつかは解決できる。

しかしながら、該構造のエキシマランプにおいては、内部電極が放電空間内に露出しており電極が放電空間に直接作用するため、（１）電極から生成される放電の空間分布が不均一になりやすい、（２）電極への給電極性に留意しないとアーク状の放電が生成されてしまいエキシマ光が効率良く生成されない、（３）アーク状の放電が形成されると、その部分が赤熱して電極が焼き切れる、（４）内部電極金属がスパッタして、放電容器の光取り出し部を汚染する、（５）金属からなる該内部電極がガラスからなる該放電容器の一部で封止されており、該内部電極の加重を該封止部で支えている構造であるため、機械的強度が取れない等の別の問題がある。
特開平２−７３５３号 特許第２８５４２５５号 特開２００２−１６８９９９号 特許第３５０６０５５号

該内部電極が放電空間に露出しているために発生する問題を解決する手段としては、該内部電極に石英ガラス等からなる誘電体材料で覆うことが考えられる。しかし、誘電体材料で該内部電極を覆う場合、該内部電極と該誘電体材料とを合わせた荷重が、該封止部にかかるため機械的強度を確保する必要が発生した。

そこで、該内部電極と該誘電体材料とを合わせた荷重が、該封止部にかかっても、機械的強度が確保できるように、該エキシマランプの両端を該内部電極の両端に溶接された該金属箔を用いて気密を保つピンチシール構造とした。更には、該内部電極を覆う誘電体材料の少なくとも一端が、該放電空間内で開放した終端とした。これにより、内側誘電体の両端が放電空間を形成する外側管と固着していないため、点灯時の熱膨張による内側誘電体・外側管封着部の破損が生じにくいという特長を有する。

一方、このような新しい構造のエキシマランプを長時間点灯する場合、放電空間中に例えば、該内部電極等から不純ガスが放出されるため、ゲッタ材を該放電空間内に配置する必要が出てきた。該ゲッタ材が無いと放電用ガスに不純物が混ざる等によってエキシマ光の発生効率が低下し、結果として該エキシマランプは短寿命となるといった問題がある。特に長尺型の該エキシマランプでは、その傾向が顕著である。しかし、該ゲッタ材を無作為に入れると、内側誘電体で覆われていない内部電極である金属のシール側端部と外部電極の配置されている部分とに架けて異常放電を生じるといった問題が生じた。具体的な異常放電の状態を図１０に示す。図１０―ａ）は、エキシマランプ１の管軸方向断面図であり、図１０−ｂ）は、該エキシマランプ１の端部の構成を示す拡大断面図である。該エキシマランプ１は、誘電体から成る放電容器２の外表面に一方の電極（外部電極２５）が設けられ、他方の電極（内部電極３）が該放電容器２の内部に配置され、該内部電極３の周辺には誘電体から成る内側誘電体４が設けられている。該内側誘電体４は、該外部電極２５の配置されている主放電部（図中Ｍの部分）より該放電容器１の端部側に伸び、終端４Ａでは開放されている。また、該内部電極３の端部は、Ｍｏ等の金属箔７に溶接され、該放電容器２の端部でピンチシールにより気密を保つピンチシール部６が設けられている。該金属箔７の他端には、外部から電力を供給するための外部リード８が溶接されている。該放電容器２の端部に、ゲッタ材９として例えばタンタル（Ｔａ）等を配置している。該ゲッタ材９の配置される位置によっては、該ゲッタ材９が中継材となり、該主放電部Ｍから該ゲッタ材９、更に該ゲッタ材９から該内部電極３へと異常放電が形成される。また、該エキシマランプ１から放射されるエキシマ光の出力を上げるために該エキシマランプ１への入力電力を増加させると、該ランプ端部に配設したゲッタ材９を介して発生する異常放電が更に発生しやすくなる、といった問題があった。

このような事情を鑑み、本発明が解決しようとする課題は、一方の電極を放電容器内部に配置させ、該内部電極を誘電体材料からなる内側誘電体で覆ったエキシマランプにおいて、ゲッタ材を配置しても異常放電が発生しないエキシマランプを提供することにある。

この発明のエキシマランプは、紫外線を透過させる材料から構成されて内部に放電用ガスが封入された放電容器と、該放電容器の端部において気密に封止された内部電極と、該放電容器の外面に配置された外部電極とからなるエキシマランプにおいて、前記内部電極は、少なくとも外部電極との間で放電を行う部位の周辺が誘電体材料からなる内側誘電体によって覆われており、該放電容器内には、ゲッタ材が封入され、該ゲッタ材は、外部電極端部と内側誘電体終端との間に配置、または、内側誘電体終端よりシール端側に配置、したことを特徴とする。尚、本発明における外部電極端部とは、該エキシマランプの管軸方向に伸びる外部電極のシール側端部だけでは無く、該外部電極のシール側端部が配置されている位置に相当する該エキシマランプの放電空間内の位置をも示しているものとする。

また、本発明のエキシマランプにおいて、前記ゲッタ材は、外部電極端部と内側誘電体終端との間、及び、内側誘電体終端よりシール端側、に配置されており、且つ、該ゲッタ材間の距離、該外部電極端部に近接する該ゲッタ材と該外部電極端部との間の距離、及び該内側誘電体終端よりシール端側に配置されたゲッタ材と該内部電極との間の距離、の何れもが該内側誘電体と該放電容器とで規定する放電ギャップ長より長いことを特徴とする。

更には、前記の構成において、該放電容器内には、該内部電極と該外部電極との間で放電を行う部位と該ゲッタ材との間に遮蔽壁を設けていることを特徴とする。

本発明のエキシマランプは、内部電極が放電空間内に延在する構造を有したものにおいて、該内部電極が誘電体材料からなる内側誘電体によって覆われているので、放電の空間分布が平均化され、外部電極が配置された主放電部において異常なアーク放電への移行を抑制しエキシマ光の生成効率を向上できる。更には、内部電極が蒸発等しても光取出し窓を兼ねる放電容器にスパッタし光取り出し効率を低下させることがない、といった利点がある。

また、該放電空間内にゲッタ材を封入しているので、長寿命のエキシマランプを提供できる。更には、該ゲッタ材を配置する位置を外部電極端部と内側誘電体終端との間（以下、第１の領域とも称する）、または内側誘電体終端よりシール端側（以下、第２の領域との称する）にのみ配置し、該第１の領域から該第２の領域に跨り該ゲッタ材が配置されない様にすることにより、ランプ端部での異常放電を抑制することができるといった効果がある。

また、該第１の領域、該第２の領域、各々に該ゲッタ材が配置されることにより、ゲッタ材の含有量を増加することが可能となり、結果として長時間に渡って良好な紫外線出力を確保することができる。更には、該ゲッタ材間の距離、該外部電極端部に近接する該ゲッタ材と該外部電極端部との間の距離、及び該第２の領域に配置されたゲッタ材と該内部電極との間の距離、の何れもが該内側誘電体と該放電容器とで規定する放電ギャップ長より長くすることにより、該ゲッタ材を介して該外部電極端部と該内部電極との間に発生する異常放電を確実に抑制できるといった効果がある。

更には、該放電容器内に、該内部電極と該外部電極との間で放電を行う部位（主放電部）と該ゲッタ材との間に遮蔽壁を設けることにより、該主放電部から該ゲッタ材に向けて形成される沿面放電の距離を充分に確保できるため、異常放電の発生を抑制できるといった効果がある。尚、この構成は、エキシマランプ意外でも応用することができる。

本発明のエキシマランプは、放電空間内に一方の電極を具備し、該電極は石英ガラス等の誘電体材料からなる内側誘電体で覆われており、該放電空間内に配置されるゲッタ材の位置を外部電極の端部と内側誘電体終端との間（第１の領域）、または内側誘電体終端よりシール端側（第２の領域）にのみ配置し、第１の領域から第２の領域に跨る領域には該ゲッタ材を配置しない様にしたものである。このような構成にすることにより、該エキシマランプの点灯時に該エキシマランプの端部近傍で異常放電が発生することが抑制される。以下に本発明の具体的な実施例を示す。

最初に、図７として、放電容器２の外表面に外部電極５が配置され、該放電容器２の内部に配置された内部電極３を該放電容器２の端部で気密封止し（封止部６）、該内部電極３の周辺が誘電体からなる内側誘電体４によって覆われているエキシマランプ１において、該放電容器２内部に配置するゲッタ材９の位置を種々変えた場合に異常放電が発生するか否かを検討した。具体的には、図中で丸に囲んだ番号１から７の各場所に対してゲッタ材９を配置し、異常放電の有無を観察した。ここにおいて、該エキシマランプ１の端部は、３つの部分に分けている。第１の部分は、該外部電極５が配置されている部分であって、該内部電極３と該外部電極５との間で放電が発生する主放電部Ｍである。第２の部分は、該外部電極５のシール部６側端部である外部電極端５Ａと、該内部管４の該シール部６側端部である内部管終端部４Ａとの間であって、該内部電極３が誘電体からなる該内側誘電体で覆われている部分である非発光部Ｎである。この非発光部Ｎは、ゲッタ材９が無い状態で該エキシマランプ１を点灯する場合に該外部電極５と該内部電極３との間で異常放電が発生しない程度に充分な距離を確保している。第３の部分は、該内側誘電体４の終端部である内部管終端部４Ａから該シール部６で封じられている放電空間端部Ｌである。

尚、実験に用いた該エキシマランプとしては、次の３つの仕様のランプを用い、それぞれの仕様について異常放電の有無を確認した。
ランプ仕様案１
放電管（外径１０ｍｍ，内径８ｍｍ）
内側管（外径４ｍｍ，内径３ｍｍ）
Ｎ，Ｌともに２０ｍｍ
Ｘｅガス４０ｋＰａ
ランプ仕様案２
放電管（外径１６ｍｍ，内径１４ｍｍ）
内側管（外径６ｍｍ，内径４ｍｍ）
Ｎ，Ｌともに３０ｍｍ
ランプ仕様案３
放電管（外径２０ｍｍ，内径１８ｍｍ）
内側管（外径８ｍｍ，内径６ｍｍ）
Ｎ，Ｌともに４０ｍｍ

図７の表中に該エキシマランプ１に配置したゲッタ材９の位置による異常放電の発生有無の結果を示す。１）は主放電部Ｍ中にゲッタ材９を配置した場合である。電極間の異常放電は発生しないが、主放電に該ゲッタ材９が曝されるので該ゲッタ材９が飛散し、放電容器２に黒化部分が見られた。２）はゲッタ材９の一部のみが主放電空間に存在する場合である。１）の場合と同様に電極間の異常放電は発生しないが、主放電に該ゲッタ材９が曝されるので該ゲッタ材９が飛散し、放電容器２に黒化部分が見られた。３）は、非発光部Ｎ中にのみゲッタ材９が存在する場合である。その位置が外部電極側に近くても該非発光部Ｎにのみゲッタ材９が存在する場合は異常放電の発生は見られない。４）は、非発光部Ｎ中であって、放電空間端部Ｌ側にのみ該ゲッタ材９が存在する場合である。この場合も３）と同様異常放電は見られなかった。５）は非発光部Ｎと放電空間端部Ｌに跨るように該ゲッタ材９が存在している場合である。この場合は異常放電が発生した。６）は、ゲッタ材９を放電空間端部Ｌにのみ配置した場合である。この場合も異常放電は発生しなかった。また、７）は、ゲッタ材９を放電空間端部Ｌの端部側に配置した場合である。この場合も異常放電は発生しなかった。つまり、ゲッタ材９が非発光部Ｎと放電空間端部Ｌに跨るように配置されていなければ異常放電は発生しなかった。

次に、ゲッタ材９を２箇所に配置した場合を検討した。非発光部Ｎ内に２個のゲッタを配置した場合、異常放電は発生しなかった。一方が非発光部Ｎと放電空間端部Ｌに跨る位置に配置した場合、異常放電が発生した。ゲッタ材９を非発光部Ｎと放電空間端部Ｌに各々個別に配置した場合ほとんどの場合では、異常放電が起こらなかった。但し、該ゲッタ材間の位置が非常に近い場合は異常放電が起こる場合があった。そこで、ゲッタ材９を非発光部Ｎと放電空間端部Ｌに各々配置し、ゲッタ材間の距離とゲッタ材と電極との距離を変えて観察した。その結果、ゲッタ材間、及びゲッタ材と電極間の距離が放電ギャップより大きい場合には異常放電が発生しないことが判った。尚、ここにおいて放電ギャップとは、該内側誘電体と該放電容器とで規定される長さであって、例えば該放電容器や該内側誘電体が管形状の場合では内側管の外半径と放電管の内半径の差に当る距離のことを言う。

本発明のエキシマランプにおける実施例を以下に図１を用いて説明する。図１−ａ）は、本発明のエキシマランプ１の概略断面図である。該エキシマランプ１は、放電空間を形成する放電管２と、該放電管２の内部に配置された内部電極３と該内部電極３の周辺を覆う内側誘電体４と、該放電管２の外表面に配置された外部電極５と、該放電管２の両端に形成されたピンチシール部６とから構成されている。また、該内部電極３は、その両端部各々をＭｏ等からなる金属箔７に溶接され、該金属箔７の他端には、外部から電力を供給する外部リード棒８が溶接され、該ピンチシール部６で該金属箔７を封止している。また、該外部リード棒８と、該外部電極とは、不図示の高周波高電圧電源に接続され、該外部リード棒８と電気的に接続された該内部電極３と、該外部電極５との間に高周波高電圧が印加される。該放電管２内には、キセノンガス等の放電用ガスが封入されており、例えば、放電により励起されたキセノンガスがキセノンエキシマ分子を構成し、該キセノンエキシマ分子から波長１７２ｎｍのエキシマ光を放射する。

該エキシマランプ１には放電により発生する不純ガス等を吸収するためにゲッタ材９が封入されている。本発明においては、該ゲッタ材９が配置されている位置に特徴を持つ。図１−ｂ）に該エキシマランプ１の端部拡大断面図を示す。該エキシマランプ１の端部は３つの部分に分けられる。第１の部分は、該外部電極５が配置されている部分であって、該内部電極３と該外部電極５との間で放電が発生する主放電部Ｍである。第２の部分は、該外部電極５のシール部６側端部である外部電極端５Ａと、該内部管４の該シール部６側端部である内部管終端部４Ａとの間であって、該内部電極３が誘電体からなる該内側誘電体で覆われている部分である非発光部Ｎ、第３の部分は、該内側誘電体４の終端部である内部管終端部４Ａから該シール部６で封じられている放電空間端部Ｌである。本実施例においては、該ゲッタ材９が、該内部電極３が放電空間にむき出しになっている部分である該放電空間端部Ｌにのみ設置されている。また、該ゲッタ材９が、該放電空間端部Ｌと該非発光部Ｎとを跨る様に設置されていないので、該ゲッタ材が放電を中継する材料として作用することが無く、該エキシマランプ１の端部において異常放電が発生することがない。尚、該ゲッタ材９としては、例えばジルコニウム、チタン、タンタル、バリウム等の材料を使用することができる。また、該ゲッタ材は、図１−ｂ）に有るように粒状の固体部材に限らず、例えばバリウム等を放電容器内面に塗布や、蒸着するようなものであっても良い。

図２には、本発明の他の実施例を示す。図２−ａ）は、本発明の第２の実施例であって、該エキシマランプ１の端部拡大断面図である。該第２の実施例においては、該ゲッタ材９の設置されている位置が異なっている。また、該エキシマランプ１における外部電極２５は、実施例１において示した網状電極ではなく、例えばアルミニウム製の板材からなる樋状電極が該放電管２の反面を覆っている。該ゲッタ材９は、該エキシマランプ１の該外部電極２５の端部である該外部電極端部２５Ａと、該内部管４の該シール部６側端部である内部管終端部４Ａとの間であって、該内部電極３が誘電体からなる該内側誘電体４で覆われている部分である非発光部Ｎに配置されている。本実施例では、前に示した実施例１の場合と同様に、該非発光部Ｎと該放電空間端部Ｌとを跨る様に該ゲッタ材９が設置されていないので、、該ゲッタ材が放電を中継する材料として作用することが無く、該エキシマランプ１の端部において異常放電が発生することがない。具体的には、該外部電極２５の端部である該外部電極端２５Ａから該非発光部Ｎに配置された該ゲッタ材９を介して該放電空間端部Ｌに配置されている該内部電極３へ至るアーク放電が、該ゲッタ材９の位置を該非発光部Ｎ内にのみ配置することによって抑制できる。尚、その他の構成は実施例１に示した場合と同等であるので、詳細な説明は省略する。

次に、図２−ｂ）には、第３の実施例を示す。第３の実施例では、第２の実施例においてＮの部分に配置された該ゲッタ材９を内側誘電体４の外表面に配置したものである。
その他の構成に付いては、図２−ａ）に示した第２の実施例である該エキシマランプ１と同様であるので、詳細な説明は省略する。該第３の実施例の具体的な構成としては、バリウム等のゲッタ材９Ａを該内側誘電体４の外表面に直接蒸着したものである。尚、該内側誘電体４の外表面に該ゲッタ材９Ａを配置する方法としては、タンタル等の金属ワイヤーを該内側誘電体４の外表面に巻き付ける等であっても良い。

図３には、第４の実施例を示す。第４の実施例では、第２の実施例におけるＮの部分に設けられた該ゲッタ材９が仕切り板３７によって仕切られたものである。このような構成により、異常放電の生成を更に抑制できるといった利点がある。その他の構成に付いていは、図２−ａ）に示した第２の実施例である該エキシマランプ１と同様であるので、詳細な説明は省略する。

図４には、第５の実施例を示す。第５の実施例における該エキシマランプ１は、該ゲッタ材９の配置されている位置に特徴を持ち、該ゲッタ材９は該非発光部Ｎと該放電空間端部Ｌとの各部分に各々配置されている。しかし、該非発光部Ｎと該放電空間端部Ｌとを跨ぐ様には、該ゲッタ材９は配置されていない。更には、該外部電極端部２５Ａと該内部電極３とが、該ゲッタ材９を介して電気的に接続され異常放電が発生しない範囲に配置されている。具体的には、該外部電極端部２５Ａと該非発光部Ｎ内に配置されたゲッタ材９との間の距離Ｄ３が該内側誘電体４の外半径と該放電管２の内半径との差である放電ギャップＧ１より大きくなっている。また、該非発光部Ｎに配置された該ゲッタ材９と該放電空間端部Ｌ内に配置された該ゲッタ材９との間の距離Ｄ２、更には、該放電空間端部Ｌ内に配置されたゲッタ材９と該内部電極３との間の距離Ｄ１が、該放電ギャップＧ１より大きくなっている。このような条件で該ゲッタ材９が配置されている場合に、該外部電極端部２５Ａと該内部電極３とが該ゲッタ９を介して電気的に接続されない範囲となる。これにより、該ゲッタ材９を介して該外部電極２５と、該内部電極３との間に異常放電を形成することが無くなる。尚、その他の部材については、実施例１、または実施例２に示した場合と同様であるので、詳細な説明は省略する。

また、上述の各実施例においては、内部電極を覆う内側誘電体が両端開放のもので説明したが、該内側誘電体は片側をシール部で封止し、他の片側端部のみを開放しているものや、該内側誘電体の終端部を該内部電極側に溶着する等により封止したものであっても良い。具体的には、図５に示すように、該内側誘電体の終端部４Ａがシール部６内に埋設している場合（図５−ａ）や該内側誘電体４の終端部４Ａを該内部電極３側に閉じる形状（図５−ｂ）にし該内部電極３に溶着することでも良い。

ゲッタ材を保持、固着する手段について、図６にその例を示す。図６は、図２等で示した拡大断面図と同様の断面図であって、該ゲッタ材９等の保持手段を例示している。例えば、図６−ａ）は、Ｍｏ等から成るスプリング状の保持部材３５を用いて該ゲッタ材９を該放電管２に押し当てて固定している。該保持部材は、Ｍの部分では内側誘電体４に、Ｌの部分では内部電極３に、各々固定されている。また、図６−ｂ）は、該スプリング状の保持部材を該ゲッタ材で構成した保持部材３６を設けた場合である。更に、図６−ｃ）は、中心に内部電極３や内側誘電体４を貫通する穴が形成されている円盤状のセラミック等を用いて形成した仕切り板３７を設け、ゲッタ材９用の部屋を設けたものである。このように、該ゲッタ材９を保持する方法は、種々の方法を取ることができる。
尚、本実施例は管形状について説明したが、該内側誘電体や該放電容器の形状は管形状に限定するものではなく、種々の形状を取ることができる。

この発明の第1の実施例としてのエキシマランプを表す概略図。 この発明のその他の実施例を示す拡大断面図。 この発明のその他の実施例を示す拡大断面図。 この発明のその他の実施例を示す拡大断面図。 この発明のその他の実施例を示す拡大断面図。 この発明のゲッタ材を保持する手段を示した概略断面図。 ゲッタ材の効果を示す実験結果を表す図。 従来のエキシマランプを表す概略図。 従来のエキシマランプのその他の形態を表す概略図。 従来のエキシマランプのその他の形態を表す概略図。

符号の説明

１ エキシマランプ
２ 放電管
３ 内部電極
４ 内側誘電体
５ 外部電極
６ ピンチシール部
７ 金属箔
８ 外部リード棒
９ ゲッタ材
９Ａ ゲッタ材
２５ 外部電極
２５Ａ 外部電極端部
３５ 保持部材
３６ 保持部材
３７ 仕切り板
４０ エキシマランプ
４１ 放電容器
４３ 外部電極
４４ 内部電極
４４Ａ 端部
４５ 封止部
５０ エキシマランプ
５１ 外側管
５２ 内側誘電体
５３ 外部電極
５４ 内部電極
Ｓ 放電空間
Ｍ 主放電部
Ｎ 非発光部
Ｌ 放電空間端部

Claims (3)

1. 紫外線を透過させる材料から構成されて内部に放電用ガスが封入された放電容器と、該放電容器の端部において気密に封止された内部電極と、該放電容器の外面に配置された外部電極とからなるエキシマランプにおいて、
   前記内部電極は、少なくとも外部電極との間で放電を行う部位の周辺が、誘電体材料からなる内側誘電体によって覆われており、該放電容器内には、ゲッタ材が封入され、該ゲッタ材は、外部電極端部と内側誘電体終端との間に配置、または、内側誘電体終端よりシール端側に配置、したことを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記ゲッタ材は、外部電極端部と内側誘電体終端との間、及び、内側誘電体終端よりシール端側、に配置されており、且つ、該ゲッタ材間の距離、該外部電極端部に近接する該ゲッタ材と該外部電極端部との間の距離、及び該内側誘電体終端よりシール端側に配置されたゲッタ材と該内部電極との間の距離、の何れもが該内側誘電体と該放電容器とで規定する放電ギャップ長より長いことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 該放電容器内には、該内部電極と該外部電極との間で放電を行う部位と該ゲッタ材との間に遮蔽壁を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項２に記載のエキシマランプ。
   

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