CN100452943C - 电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法 - Google Patents

电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法 Download PDF

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Abstract

一种防止因制造工序中的静电所带来的弊害、谋求成品率及品质提高并可简单地实施EMC对策的电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法及电子机器。应用了本发明的电子设备用基板的有机EL面板(2)，具有绝缘性的板状的基材、形成在基材的一面侧的电子电路和在基材的另一面的一部分上形成的导电性的导电膜(21)。该有机EL面板(2)是通过包括除电移动工序的制造工序而得到的，其中所述除电移动工序，是通过在有导电性并且接地的辊(5)与所述导电膜(21)对接来支承有机EL面板(2)的状态下使有机EL面板(2)移动，来边除去基材带电的电荷边移动有机EL面板(2)。

Description

电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法
技术领域
本发明涉及电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法及电子机器。
背景技术
历来，为了谋求在制造例如有机EL(electroluminescence)面板、特别是如将TFT(薄膜晶体管)作为开关元件的有源矩阵型的有机EL面板等之类的电子设备用基板时的成品率或品质的提高，进行着电子设备用基板的制造装置的改进。
其中，特别是由于因制造工序中的电子设备用基板的带电所产生的静电而损坏TFT等元件、或是吸附空气中的灰尘而使成品率或品质低劣，都成为问题。尤其是最近几年，作为电子设备用基板的基材而使用的玻璃基板，为了成本下降和成品率提高而推动了大型化的发展，伴随其的是作为绝缘体的玻璃基板的总带电量的增大，从而使上述问题越来越严重。
为了防止制造工序的玻璃基板的带电，公开有在搬送玻璃基板时，由接地的导电性部件来支承玻璃基板的技术(比如参考专利文献1)。
关于专利文献1中记载的技术，并不能充分地防止近年的大型化玻璃基板的带电。
另外，在现代的电子机器中，为了不使由电磁波或者电场的干扰而防碍其他电子机器的工作，反之不因其他电子机器而防碍正常动作，都要求采用充分的EMC(Electro-Magnetic Compatibility：电磁兼容性)对策。为此，在电子设备中，有时在盒体上设计屏蔽电磁波或电场的护罩，但该护罩必须与电子设备用基板的电子电路的“地”相接。以前，为了设计用于将电子设备用基板的电子电路的“地”连接在护罩的结构，增加了部件数目或者制造工序，从而带来制造成本的提高。
专利文献1：特开平10-133229号公报。
发明内容
本发明的目的在于提供一种防止因制造工序中的静电所带来的弊害、谋求成品率及品质提高的电子设备用基板。
另外，本发明的另一个目的在于提供一种可简单地实施EMC对策的电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法及电子机器。
如上所述目的，通过下记本发明而实现。
本发明的电子设备用基板的制造方法，包括：在一面侧具有电子电路的绝缘性板状基材的另一面的一部分上形成具有导电性的导电膜的工序；以及除电移动工序，通过在具有导电性并且接地的基板支承部与所述导电膜对接而支承所述电子设备用基板的状态下移动所述电子设备用基板，边除去所述基材所带的电荷边移动所述电子设备用基板。
通过这样，在电子设备用基板尽管在制造过程中附带上电荷，由于该电荷可以通过导电膜及基板支承部快速脱离，从而能防止电子设备用基板带电。因此，能防止由静电带来的弊害，比如损坏电子电路中的薄膜晶体管或薄膜二极管，或者吸附空气中的灰尘，从而可以提高成品率，提供高品质的电子设备用基板。
特别是，由于导电膜接触基板支承部而使导电膜整体接地，能够扩大接地区域的面积，从而可以提高除电效果、确实防止电子设备用基板带电，在任何条件下都能确实发挥上述效果。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述电子电路的地与所述导电膜电连接。
通过这样，在将电子设备用基板使用为产品使用时，导电膜可以有效利用于EMC对策，从而能够以低成本实施EMC对策。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选是经过下述工序制造的电子设备用基板，即在所述除电移动过程中边使所述电子设备用基板移动边实施加工。
这样，在电子设备用基板容易带电的加工中，也能确实防止由静电产生弊害，从而可以更进一步提高成品率及品质。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述加工是通过相对于将膜成形用液体材料作为液滴喷吐的液滴喷吐喷头，移动所述电子设备用基板，来在所述电子设备用基板的一面侧描绘规定的图案。
通过这样，在由喷墨法实施图案成形时，能确实防止由静电产生的弊害，从而更进一步提高成品率和品质。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述导电膜形成在所述基材的另一面的周边部的整体或者一部分上。
通过这样，电子设备用基板中导电膜并不醒目，不易造成由导电膜带来的弊害。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述导电膜具有沿所述除电移动工序中的所述电子设备用基板的移动方向形成带状的部分。
这样，在除电移动工序中，即便移动电子设备用基板，也能确实维持导电膜与基板支承部的接触状态，从而可以发挥更高的带电除去效果。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选在所述除电移动工序之后，在切割线将电子设备用基板分割为多块，其中所述切割线包含在形成所述导电膜的带状的区域内。
这样，在被分割的电子设备用基板中，由于导电膜位于其边缘部分，因此导电膜不醒目，不易产生因导电膜带来的弊害。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述导电膜是通过如下方式形成的，即：使用将包含有导电性粒子的液体材料作为液滴喷吐的液滴喷吐喷头来对所述基材的另一面供给所述液体材料，使该液体材料固化或者硬化。
这样，可以准确并容易地以所期望的图案形成导电膜。另外，可以减少材料的浪费，以低成本形成导电膜。
本发明的电子设备用基板的制造方法，优选所述导电膜形成在如下位置，即作为容纳所述电子设备用基板的盒体，其内面形成有导电性的被膜，当将电子设备用基板安装在盒体内时，所述导电膜与所述盒体的内面的所述被膜接触。
这样，盒体内面的被膜，作用为屏蔽电磁波和电场的护罩，能有利于EMC对策。
本发明的电子设备用基板，是根据上述电子设备用基板的制造方法制造的电子设备用基板。
本发明的电子设备，其特征在于，具有本发明的电子设备用基板和盒体，其中盒体是内面形成有导电性的被膜，容纳所述电子设备用基板，以所述导电膜接触所述盒体的内面的所述被膜的状态，将所述电子设备用基板容纳在所述盒体中。
这样，盒体内面的被膜，作用为屏蔽电磁波和电场的护罩，能有利于EMC对策。
本发明的电子设备，优选所述电子设备用基板的所述电子电路的地与所述导电膜电连接，通过这样，所述电子电路的地与所述盒体的内面的所述被膜导通。
由此，盒体内面的被膜，介由导电膜，与电子电路的地导通，从而提高盒体内面的被膜的护罩性能，能更有效利于EMC对策。
本发明的电子设备的制造方法，其特征在于，包括：通过包括如下工序的制造工序完成电子设备用基板的工序，对于具有绝缘性的板状的基材和形成在所述基材的一面侧的电子电路的电子设备用基板，当在所述基材的另一面的一部分上形成的导电性的导电膜与具有导电性且接地的基板支承部对接的状态下，通过边由所述基板支承部支承所述电子设备用基板边移动所述电子设备用基板，来边除去所述基材所带的电荷边移动所述电子设备用基板；和在其内面形成有导电性的被膜的盒体中，以所述导电膜与所述盒体的内面的所述被膜接触的方式，将所述电子设备用基板设置在所述盒体内的工序。
通过这样，在电子设备用基板的制造过程中，尽管电子设备用基板附带上电荷，由于该电荷可以通过导电膜及基板支承部快速脱离，从而能防止电子设备用基板带电。因此，能防止由静电带来的弊害，比如损坏电子电路中的薄膜晶体管或薄膜二极管，或者吸附空气中的灰尘，从而，可以提高成品率，提供高品质的电子设备用基板。
另外，在将电子设备用基板组装进盒体成为作为产品的电子设备的状态下，盒体内面的被膜作用为屏蔽电磁波和电场的护罩，从而能有助于EMC对策。
本发明的电子机器，其特征在于具有本发明的电子设备。
通过这样，能够提供以高成品率、高品质地制造并以低成本实施EMC对策的电子机器。
附图说明：
图1是表示将本发明的电子设备用基板应用于有机EL面板情况的实施方式的电路图。
图2是表示将本发明的电子设备用基板应用于有机EL面板情况的实施方式的发光膜的形成工序的剖视图。
图3是表示将本发明的电子设备用基板应用于有机EL面板情况的实施方式的发光膜的形成工序的剖视图。
图4是从背面看到的有机EL面板的图。
图5是从背面看到的有机EL面板的图。
图6是用于说明采用喷墨法在有机EL面板的基材的背面形成导电膜的方法的侧视图。
图7是表示用于形成有机EL面板的发光膜的喷墨描绘装置的侧视图。
图8是表示图7所示的喷墨描绘装置的基板移动装置的主视图。
图9是表示基板移动装置的其他构成例的主视图。
图10是表示基板移动装置的另一构成例的立体图。
图11是具有有机EL面板、容纳该有机EL面板的盒体的有机EL显示装置的分解立体图。
图12是表示具有图11所示的有机EL显示装置的薄型电视的立体图。
图中：1、1A、1B-基板移动装置，100-喷墨描绘装置，2-有机EL面板，21-导电膜，200-切割线，3-液滴喷吐喷头，30-喷头托架，31-喷嘴，4-主体，5-辊，6-辊支承部，7a、7b-导轨，8-吸附部，81-吸引口，9-移动机构，91-进给螺杆，92-电动机，93-旋合部，10-液滴，11-盒体，111-被膜，12-有机EL显示装置，13-薄型电视，600-电子电路，601-数据侧驱动电路，602-扫描侧驱动电路，603-像素区域，604-地，611-围堰，612A、612B-液体材料，621-基材，631-扫描线，632-信号线，633-共用供电线，641-发光膜，641A-空穴注入层，641B-有机半导体膜，642-像素电极，643-开关薄膜晶体管，644-电流薄膜晶体管，651-保持电容，652-反射电极，720-栅绝缘膜，730-层间绝缘膜，733、734-中继电极，740-层间绝缘膜。
具体实施方式
下面，用附图所示的优选实施方式，详细说明本发明的电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法及电子机器。
图1至图3是表示将本发明的电子设备用基板应用于有机EL面板时的实施方式的图。图1是电路图，图2及图3是显示发光膜的形成工序的剖视图。另外，在下面的说明中，将图3(e)的完成状态(半完成状态)的有机EL面板2、和图2(a)～图3(d)的制造途中的有机EL面板2都称为有机EL面板2。
这些图中所示的有机EL面板2，具有板状的基材621、和形成在这些基材621的一面侧的图1所示的电子电路600。基材621比如是由玻璃、塑料等绝缘材料构成的绝缘性的板状部件。
如图1所示，有机EL面板2上设置有多条扫描线631、在与这些扫描线631交叉的方向上延伸的多条信号线632、与这些信号线632并行延伸的多条共用供电线633。另外，在扫描线631与信号线632的每个交叉点处设置有像素区域603。
对信号线632设置有数据侧驱动电路601，其包括移位寄存器、电平移位器、视频线、模拟开关。另外，对扫描线631设置有扫描侧驱动电路602，其包括移位寄存器及电平移位器。
在每个像素区域603中，设置有：介由扫描线631将扫描信号供给栅电极的开关薄膜晶体管643；将由信号线632通过该开关薄膜晶体管643供给的图像信号予以保存的保持电容651；将由该保持电容651保存的图像信号供给栅电极的电流薄膜晶体管644；介由该电流薄膜晶体管644与共用供电线633电连接时由共用供电线633流入驱动电流的像素电极642；夹在该像素电极642和反射电极652之间的发光膜(发光层)641。
如上所述的有机EL面板2，当驱动扫描线631使开关薄膜晶体管643成为导通状态时，此时信号线632的电位被储存在保持电容651，根据该保持电容651的状态，决定电流薄膜晶体管644的导通/截止状态。这样，介由电流薄膜晶体管644的沟道，从共用供电线633，电流流入像素电极642，再通过发光膜641电流流向反射电极652，从而发光膜641对应该流过的电流量发光。
如图3(e)所示，在有机EL面板2还设置有栅绝缘膜720，层间绝缘膜730，中继电极733、734，和层间绝缘膜740。
本实施方式的有机EL面板2是利用信号线632和共用供电线633等布线形成包围像素区域603(发光膜641)的围堰611的，但并不局限于该结构，围堰611也可以不利用信号线632和共用供电线633等的布线来形成。
如上所述的有机EL面板2的发光膜641，是由喷墨法形成的。下面，根据图2及图3，说明发光膜641的形成工序。
如图2(a)所示，使用液滴喷吐喷头(喷墨喷头)3，由该液滴喷吐喷头3的喷嘴31喷吐出液体材料612A，将液体材料612A提供给由围堰611包围的各像素区域603。该液体材料612A，是将用于形成相当于发光膜641的下层部分的空穴注入层641A的材料溶解(或者分散)在溶剂(或者分散剂)中形成的材料。
液滴喷吐喷头3可以使用公知的喷墨喷头，驱动元件可以是压电执行器、静电执行器、电热变换元件的任一种。
对像素区域603提供液体材料612A之后，通过对有机EL面板2加热或者光照射，像素区域603内的液体材料612A中的溶剂或者分散剂蒸发而使液体材料612A固化或者硬化。通过这样，如图2(b)所示，在像素电极642上形成空穴注入层641A。另外，根据需要通过返复实施图2(a)及(b)的工序，可以形成所需要厚度的空穴注入层641A。
在形成空穴注入层641A之后，如图3(c)所示，使用与前述相同的另外的液滴喷吐喷头3，由该液滴喷吐喷头3的喷嘴31喷吐出液体材料612B，对由围堰611包围的各像素区域603供给液体材料612B。该液体材料612B，是将用于形成相当于发光膜641的上层部分的有机半导体膜641B的有机荧光材料溶解(或者分散)在溶剂(或者分散剂)中形成的材料。
对像素区域603供给液体材料612B之后，通过对有机EL面板2加热或者光照射，像素区域603内的液体材料612B中的溶剂或者分散剂蒸发而使液体材料612B固化或者硬化。通过这样，如图3(d)所示，在像素电极642上形成有机半导体膜641B。另外，根据需要通过返复实施图3(c)及(d)的工序，可以形成所需要厚度的有机半导体膜641B。
进行如上工序形成发光膜641后，通过在表面的全体形成反射电极652、或者在表面上条状地形成反射电极652，来完成(半完成)有机EL面板2。
还有，作为发光膜641，尽管会稍微降低发光效率(空穴注入率)，也可以省略空穴注入层641A。另外，取代空穴注入层641A，也可以在有机半导体膜641B和反射电极652之间形成电子注入层，或者同时形成空穴注入层和电子注入层。
图4是从背面看到的有机EL面板2。
本实施方式的有机EL面板2，是作为大画面电视的显示装置使用的面板。由1块基材621制造2块该有机EL面板2。即，在基材621上形成电子电路600和发光膜641等之后，在图4中由点划线所示的切割线200的位置分割为2块，各自成为有机EL面板2。
如图4所示，在基材621的背面，即与电子电路600的形成面一侧相反侧的面上，形成具有导电性的导电膜21。另外，在图4及图5中，为便于观察，对导电膜21的形成区域赋予阴影线来进行显示。即，图4与图5中的阴影部分并不是显示剖面的。
导电膜21的构成材料，只要具有导电性的，可以由任意物质构成。优选为如ITO(铟锡氧化物)等的透明物质。这样，当将有机EL面板2使用为产品时可以确实防止因导电膜21造成的弊害。
导电膜21的形成位置，虽没有特别限定，但如图4所示，在本实施方式中，是在被切割前的基材621的边缘部和沿切割线200的位置上，形成为带状的。或者，也可以如图5所示的有机EL面板2’那样，或仅在沿切割线200的位置和与该切割线平行的边的周边部分形成导电膜21。
图6是用于说明采用喷墨法在有机EL面板2的基材621的背面形成导电膜21的方法的侧视图。下面，参照该图，说明形成导电膜21的方法的一个例子。
事先准备将由ITO等的导电性材料构成的导电性粒子分散在分散剂中构成的液体材料(分散液)，通过边从与前述同样的公知的液滴喷吐喷头3的喷嘴31喷吐出该液体材料的液滴10，边使有机EL面板2与液滴喷吐喷头3作相对移动，在有机EL面板2(基材621)的背面描绘液体材料。其后，通过令其干燥使所描绘的液体材料中的分散剂蒸发，液体材料固化或者硬化，在有机EL面板2(基材621)的背面形成导电膜21。
通过如上所述喷墨法形成了导电膜21时，可以准确、容易地以所期望的图形来形成导电膜21。另外，还可以减少浪费、以低成本形成导电膜21。
再有，导电膜21的形成方法，并不局限于喷墨法，还可以使用蒸镀法、离子镀法、溅射法等形成。
图7是表示用于形成有机EL面板2的发光膜642的喷墨描绘装置的侧视图。图8是表示图7所示的喷墨描绘装置中的基板移动装置的主视图。
如图7所示，喷墨描绘装置100，具有搭载了1个或多个液滴喷吐喷头3的喷头托架30、和使有机EL面板2移动的基板移动装置1。在喷墨描绘装置100中，通过基板移动装置1的动作，在该喷头托架30的下面，边使被分割为2块之前的有机EL面板2在平面方向上移动，边从液滴喷吐喷头3的喷嘴31喷吐液体材料612A、612B的液滴，进行描绘(绘图)。
另外，图2(a)的工序与图3(c)的工序，可以分别用不同的喷墨描绘装置100进行，也可以通过将喷吐液体材料612A的液滴喷吐喷头3和喷吐液体材料612B的液滴喷吐喷头3同时搭载在喷头托架30上，用共用的喷墨描绘装置100来进行该两个工序。
具备该喷墨描绘装置100的基板移动装置1，有主体4、和设置在该主体4上的多个辊5。各辊5由辊支承部6支承为可旋转的方式。有机EL面板2被载置于这些辊5上。即、该基板移动装置1中的基板支承部由辊5构成。辊5由图中未表示的电动机驱动而转动，由此，有机EL面板2在图7中左右方向上移动。
图8是以与有机EL面板2移动方向平行的方向来观察基板移动装置1的图。如图8所示，辊5被并列设置为3列，各列的辊5分别支承着被分割为2块之前的有机EL面板2的导电膜21的形成区域。
本体4、辊5及辊支承部6，至少它们表面附近由导电性材料(金属、金属粉末、金属化合物、碳黑等)构成。另外，在本体4与辊支承部6之间，以及辊支承部6和辊5之间，也构成为可导电性。然后，本体4接地(大地)。通过这样的结构，辊5介由辊支承部6及本体4而接地。
一般来说，如果对如有机EL面板2那样的电子设备用基板使用喷墨法来进行描绘(图案加工)，则很容易使电子设备用基板带电。这是因为，由液滴喷吐喷头3的喷嘴31喷吐出的液滴在从喷嘴31拉细、脱离时带电，因此伴随向电子设备用基板上着落大量的液滴，会在电子设备用基板上蓄积电荷。
相对应此，在本发明中，通过边由上述那样的基板移动装置1使有机EL面板2移动来边进行描绘，因此即便有机EL面板2的基材621带了电荷，由于通过导电膜21和辊5而能使这些电荷快速脱离，从而能防止基材621带电。由此，能防止由静电带来的弊害，比如损坏电子电路600中的薄膜晶体管或薄膜二极管，或者吸附空气中的灰尘，因此，在制造有机EL面板2时，能提高成品率及品质。
特别是，本发明中由于导电膜21接触辊5而使导电膜21整体接地，能够扩大所接地区域的面积，从而可以提高带电除去效果、确实防止基材621带电，在任何条件下都能确实发挥上述效果。
另外，本实施方式的导电膜21，由于具有在基板移动装置1中沿有机EL面板2移动方向所形成的带状的部分，通过将该部分接触辊5，即使有机EL面板2在基板移动装置1上移动，也能确保导电膜21和辊5的接触状态，从而能够发挥更高的除去带电效果。
还有，在本实施方式中，如前所述，由于是在包含切割为2块有机EL面板2时的切割线200的区域内形成导电膜21，被分割为2块有机EL面板2之后，由于导电膜21位于该被分割的有机EL面板2的边缘部分，从而能实现导电膜21并不醒目，不会产生因导电膜21带来的弊害。
再有，在图4和图5所示的例子中，平行于有机EL面板2的移动方向形成的带状导电膜21的根数为3根，但该数字并不局限于此。比如制造携带电话用的有机EL面板，当分割为多块有机EL面板时，其切割线也有很多，可以增加导电膜21的根数。
在本实施方式中，由喷墨描绘装置100的基板移动装置1使有机EL面板2移动的工序，相当于除电移动工序。
本发明中，除电移动工序并不局限于由喷墨法进行描绘时的移动，还可以应用于电子设备用基板的制造过程中的任意移动。比如可以应用于用其他方式进行的薄膜形成加工、图案成形加工、表面处理加工、机械加工等任意加工中的电子设备用基板的移动，另外也不局限于加工时的移动，还可以使用于比如在由喷墨描绘装置100向干燥装置(未图示)搬送电子设备用基板时那样的在多个制造装置间搬送电子设备用基板的情况下。
另外，进行除电移动工序时的基板移动装置的结构也可以是其他任意结构，比如图9及图10所示结构。
图9所示的基板移动装置1A相当于将图7及图8的基板移动装置1中的3列辊5中除中央列以外的两列置换为导轨7a、7b而构成的基板移动装置。该基板移动装置1A中导轨7a、7b也作用为基板支承部。由中央列的辊5的转动来搬送有机EL面板2时，有机EL面板2的左右两端相对导轨7a、7b滑动。由此有机EL面板2被引导为在移动方向上直行。
导轨7a、7b，至少它们表面附近由导电性材料(金属、金属粉末、金属化合物、碳黑等)构成。另外，在本体4与导轨7a、7b之间，也构成为可导电性。并且，本体4接地(大地)。通过这样的结构，导轨7a、7b介由本体4而接地。
使用由上述那样的基板移动装置1A，即便搬送中的有机EL面板2的基材621带了电荷，由于通过导电膜21和导轨7a、7b而能使这些电荷快速脱离，因此也能得到与上记实施方式相同的效果。
图10所示的基板移动装置1B，具有主体4、设置在主体4上的多个吸附部8和使主体4移动的移动机构9。该基板移动装置1B中，吸附部8作用为基板支承部。
吸附部8被设置为由主体4上面突出的方式，其上端面上形成有吸引口81。在主体4内部形成有与各吸引口81相连通的吸引流路(图中未表示)，该吸引流路连接在未图示的真空泵上。通过该真空泵工作，安装在吸附部8上的有机EL面板2被真空吸附而能固定在主体4上。
移动机构9具有进给螺杆91、使该进给螺杆91转动的电动机92和固定于主体4上、与进给螺杆91旋合的旋合部93。由于电动机92的驱动进给螺杆91旋转，由此主体4在图中的左右方向上移动。通过这样，能搬送有机EL面板2。
吸附部8，至少它们表面附近由导电性材料(金属、金属粉末、金属化合物、碳黑等)构成。另外，在本体4与吸附部8之间，也构成为可导电性。然后，本体4接地(大地)。通过这样的结构，吸附部8介由本体4而接地。
使用由上述那样的基板移动装置1B，即便搬送中的有机EL面板2的基材621带了电荷，由于通过导电膜21和吸附部8而能使这些电荷快速脱离，因此也能得到与实施方式1相同的效果。
图11是具有有机EL面板2、和容纳该有机EL面板2的盒体11的有机EL显示装置的分解立体图。
如图11所示，通过在由塑料材料构成的浅的凹状的盒体11内安装有机EL面板2，来构成有机EL显示装置12。在盒体11内面，形成有导电性被膜111。图11中，为便于观察而对导电膜21和被膜111的形成区域赋予阴影线。盒体11的内面形成被膜111的方法并不局限于此，也可以通过例如银浆(Ag paste)涂敷来简单地形成。
在将有机EL面板2安装在盒体11内的状态下，盒体11内面的被膜111与有机EL面板2背面的导电膜21接触。如图1所示，有机EL面板2中，电子电路600的地604与导电膜21电连接、导通。通过这样，有机EL显示装置12中，盒体11内面的被膜111介由导电膜21与电子电路600的地604导通。由此，盒体11内面的被膜111，可以有效地作用为屏蔽电磁波和电场的护罩，可有利于EMC对策。
图12是表示具有图11所示的有机EL显示装置12的薄型电视13的立体图。如图所示，图11的有机EL显示装置12，可以应用于薄型电视13等中。
如上所述，在有机EL面板2的制造过程中，导电膜21可以防止由静电造成的弊害而有助于成品率及品质的提高。更有，在成为有机EL显示装置12或薄型电视13等产品之后，导电膜21可以发挥使有机EL面板2的电子电路600的地604与盒体11内面的被膜111导通的作用，因此能使被膜111有效发挥护罩的作用，有利于EMC对策。
以上通过图示的实施方式对本发明的电子设备用基板、电子设备、电子设备的制造方法及电子机器进行了说明，但本发明并不局限于此。
在上述实施方式中，对将本发明的电子设备用基板应用于有机EL面板的情况进行了说明，但不局限于此，还可以应用于液晶面板、电泳面板、等离子面板、电子电路基板等各种电子设备用基板。
另外，本发明的电子设备也不局限于有机EL显示装置，还可以应用于液晶显示装置、电泳显示装置、PDP显示装置等各种电子设备中。
再有，本发明的电子机器并不局限于薄型电视，还可以应用于笔记本型或者台式个人计算机、携带电话机、数码相机、汽车导航装置、计算机、电子记事本、电子字典、计算器、电子游戏机、文字处理机、工作站、电视电话、防盗用电视监控器、电子双筒望远镜、POS终端、具备触摸屏的机器(比如金融系统的现金支援系统、自动售卖机)、医疗器械(比如电子体温计、血压计、血糖计、心电显示装置、超音波诊断装置、内视镜用显示装置)、鱼群探测器、各种测量器械、计数器(比如车辆、航空机、船舶的计数器类)、飞行模拟装置(flight simulator)、其他各种监视器类、投影仪等的投射型显示装置等中。
还有，在进行本发明的除电移动工序中，可以与其他现有公知的带电除去方法并用。此时，作为并用的其他带电除去方法，可以举出比如，特开平5-243187号公报中公开的吹拂离子化气体的方法、特开平7-733991号公报及特开平7-130488号公报公开的吹拂高湿度气体的方法、特开2001-7187号公报中公开的从多个通孔提供除电气体的方法、特开2001-343632号公报中公开的用研磨液喷液除电的方法、特开2004-311048号公报中公开的使用软X线的方法等。

Claims (14)

1、一种电子设备用基板的制造方法，包括：
在一面侧具有电子电路的绝缘性板状基材的另一面的一部分上形成具有导电性的导电膜的工序；以及
除电移动工序，通过在具有导电性并且接地的基板支承部与所述导电膜对接而支承所述电子设备用基板的状态下移动所述电子设备用基板，边除去所述基材所带的电荷边移动所述电子设备用基板。
2、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述电子电路的地与所述导电膜电连接。
3、根据权利要求1或2所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述电子设备用基板，是经过在所述除电移动工序中边移动所述电子设备用基板边实施加工的工序而制造的。
4、根据权利要求3所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述加工是通过让所述电子设备用基板相对于将膜成形用液体材料作为液滴喷吐的液滴喷吐喷头移动，而在所述电子设备用基板的一面侧描绘规定的图案。
5、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述导电膜，形成在所述基材的另一面的周边部的全周或者一部分中。
6、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述导电膜，具有沿在所述除电移动工序中的所述电子设备用基板移动方向形成带状的部分。
7、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
在所述除电移动工序之后，用切割线分割为多片，所述切割线包含在所述导电膜所形成的带状的区域内。
8、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述导电膜是通过如下方式形成：使用将包含有导电性粒子的液体材料作为液滴喷吐的液滴喷吐喷头，对所述基材的另一面施与所述液体材料，使该液体材料固化或者硬化。
9、根据权利要求1所述的电子设备用基板的制造方法，其特征在于，
所述导电膜在如下位置形成，即作为容纳所述电子设备用基板的盒体其内面形成有导电性的被膜，当将所述电子设备用基板安装在所述盒体内时，所述导电膜与所述盒体的内面的所述被膜接触。
10.一种电子设备用基板，是根据权利要求1～9所述制造方法制造的电子设备用基板。
11、一种电子设备，其特征在于，
具有：权利要求10所述的电子设备用基板；和
盒体，其内面形成有导电性的被膜，容纳所述电子设备用基板，
在所述导电膜与所述盒体的内面的所述被膜接触的状态下，将所述电子设备用基板容纳在所述盒体中。
12、根据权利要求11所述的电子设备，其特征在于，
所述电子设备用基板的所述电子电路的地与所述导电膜电连接，由此，所述电子电路的地与所述盒体的内面的所述被膜导通。
13、一种电子设备的制造方法，其特征在于，包括：
通过包括如下工序的制造工序完成电子设备用基板的工序，对于具有绝缘性的板状的基材和形成在所述基材的一面侧的电子电路的电子设备用基板，当在所述基材的另一面的一部分上形成的导电性的导电膜与具有导电性且接地的基板支承部对接的状态下，通过边由所述基板支承部支承所述电子设备用基板边移动所述电子设备用基板，来边除去所述基材所带的电荷边移动所述电子设备用基板；和
在其内面形成有导电性的被膜的盒体中，以所述导电膜与所述盒体的内面的所述被膜接触的方式，将所述电子设备用基板设置在所述盒体内的工序。
14、一种电子机器，其特征在于，具有权利要求11或12所述的电子设备。
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