CN100409952C - 将材料涂敷于对象上的装置与方法 - Google Patents
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Abstract
一种将材料涂敷于对象上的装置。第一腔室具有维持在惰性气体的环境。第二腔室具有可在惰性气体与空气之间切换的环境。连接通道连接第一腔室与第二腔室。第一可开启与关闭门设置在第一腔室与第二腔室之间。第二可开启与关闭门设置在第二腔室上。第一夹持具设置在第一腔室中，第一夹持具可拆卸的夹持涂敷器。第二夹持具设置在第二腔室中，第二夹持具可拆卸的夹持涂敷器。移动台设置在第二腔室中，将填满材料、且由第二夹持具所夹持的涂敷器，经由连接通道从第二腔室移至第一腔室。移动台将结束材料的涂敷、且由第二夹持具所夹持的涂敷器，经由连接通道从第一腔室移至第二腔室。
Description
技术领域
本发明是有关于将材料涂敷于对象上的装置、将材料涂敷于对象上的方法与显示器制造装置，且特别是有关于将例如是密封剂等材料涂敷于对象上的装置、将例如是密封剂等材料涂敷于对象上的方法与用于制造例如是电致发光显示器(electro luminescent，EL)等显示器的显示器制造装置。
背景技术
具有例如有机电致发光组件(EL)等发光单元的显示器已经发展成取代液晶显示器的一种新的显示器。
然而，水的吸收会缩短发光单元的寿命。为了避免这样的吸收，在玻璃基板与密封玻璃之间设置有机电致发光组件的显示器由密封剂环绕着以密封住组件。此密封剂可防止组件吸收空气中的水气。
而且，在制造有机EL显示器时，必须在制造EL显示器的工作空间中填充惰性气体以避免水气吸收。于是，就形成在极限水含量状态下(在露点控制下)的工作空间，以避免EL组件吸收水气。形成这样的工作空间的相关技术如日本专利早期公开第2002-216958号案所示。
在密封EL组件时，在将密封剂涂敷于密封玻璃上后，密封玻璃与设置有EL组件的玻璃基板结合在一起。因为EL组件是设置在玻璃基板上而不是密封玻璃上，所以不需要在露点控制下将密封剂涂敷于密封玻璃上。换句话说，没有涂敷装置是在露点控制下涂敷密封剂。
然而，没有这样的涂敷装置，对于制造EL显示器，将会限制工艺最佳化的灵活性。
而且，在结合密封玻璃与设置有EL组件的玻璃基板时，也需要对结合装置的工作空间控制露点，以使EL组件不会暴露在空气中。于是，为了形成「空气锁(air lock)」而设置可载入密封玻璃的一个前腔室，并维持工作空间处于露点控制下。
然而，因为每一次加载密封玻璃时，都必须以惰性气体填充此前腔室，所以设置一个前腔室将会增加工作时间(tact time)并减少生产力。因此，需要缩短工作时间。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种将材料涂敷于对象上的装置。此装置包括第一腔室、第二腔室以及通道。第一腔室具有惰性气体环境。第二腔室具有可在惰性气体与空气之间切换的气体环境。通道连接第一腔室与第二腔室。
此装置也包括第一门、第二门、第一夹持具。第一门设置在第一腔室与第二腔室之间，且可在第一位置与第二位置之间动作。第二门设置在第二腔室上以提供从装置外侧至第二腔室的途径，且可在第一位置与第二位置之间动作。第一夹持具(holder)设置在第一腔室中，此第一夹持具包括可移动的夹持涂敷器的结构。此装置更包括移动台与第二夹持具(holder)。移动台可穿过第二门并穿过连接通道而在第一腔室与第二腔室间移动。第二夹持具(holder)设置在移动台上，此第二夹持具包括可移动的夹持涂敷器的结构。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1为绘示显示器面板的部分平面图。
图2为绘示图1所示的显示器面板的垂直剖面图。
图3为绘示本发明的密封剂涂敷装置的部分示意图。
图4为绘示本发明的涂敷器的结构示意图。
图5为绘示本发明的腔室的放大垂直剖面图。
图6为绘示本发明的可移动夹持具的前视剖面图。
图7为绘示图6所示的可移动夹持具的侧视剖面图。
图8为绘示图6所示的可移动夹持具的平面图。
图9为绘示本发明的更换涂敷器的流程图。
图10为绘示本发明的有机EL显示器制造装置的示意图。
具体实施方式
请参照图1至图9，以用以说明本发明的较佳实施例。
首先，说明显示器面板P的结构，此显示器面板P上设置有多个电致发光(EL)组件。
图1为绘示显示器面板P的部分平面图。图2为绘示显示器面板P的垂直剖面图。
请参照图1及图2，显示器面板P具备有玻璃基板400(第二基板)。在玻璃基板400上形成有多个有机EL组件401(发光单元)。如图2所示，作于密封玻璃402的基板放置于EL组件401上方，并在基板400与EL组件401之间留下一间隙。
环绕每个EL组件401的密封剂403(图2)被涂敷在玻璃基板400与密封玻璃402之间。密封剂403防止EL组件401接触空气。密封剂403亦可作为黏着剂以结合玻璃基板400与密封玻璃402。
接着，请参照图3，以说明密封剂涂敷装置10。图3为绘示密封剂涂敷装置10的部分示意图。涂敷装置10具备有密封的腔室100(第一腔室)与密封的腔室200(第二腔室)。在密封的腔室100中进行涂敷工艺。在密封的腔室200中进行涂敷器106的交换。密封的腔室100与腔室200彼此相邻。在密封的腔室100与腔室200之间连接有连接通道300。
第一门301可在开启位置与关闭位置之间动作，其设置在腔室100与腔室200之间，而能够允许对象在腔室100与腔室200之间移动。
第一气体源101经由第一气体供应阀101a而连接至腔室100，而能够供应惰性气体，例如氮气或氩气至第一腔室100。第一排气器102经由第一排气阀102a也连接至腔室100，而能够排出腔室100内的气体。同时打开第一气体供应阀101a与第一排气阀102a，以于腔室100中填充一种或数种惰性气体。通过控制一个阀就可以于腔室100中填充数种惰性气体。
手套埠(Glove ports)103(图3中的虚线所示)设置在腔室100的壁上。手套埠(Glove ports)103由一双树脂手套所构成，操作者可以将手插入树脂手套中，以进行手动操作，而不必破坏腔室100的密封。
密封剂涂敷装置10设置有作为用以支持密封玻璃402的载物台104的平台。载物台104设置于腔室100中，且位于实质上水平的位置。载物台104从下至上是由X-平台105a、Y-平台105b与θ-平台105c所支撑。
用于分配密封剂的涂敷器106设置在载物台104上方。图4为绘示本发明的涂敷器的结构示意图。涂敷器106为可分离的由用于夹持涂敷器106的固定夹持具107(holder)的夹持构件107a所支撑。
固定夹持具107(图3)由X-平台108a、Z-平台108b与Y-平台108c所支撑。平台108a、平台108b与平台108c分别在X、Y与Z方向上移动至涂敷器106与密封玻璃402之间的相对位置。
如图4所示，涂敷器106具备有可移动的注射器110与喷嘴构件111。注射器110可储存密封剂。喷嘴构件111连接至注射器110的下部，以输出注射器110内的密封剂。夹具112支撑注射器110的上部，并可作为一个接合器。由圆盘形成的停止器113设置在喷嘴构件111的侧面。当注射器110插入夹持构件107a时，停止器113与夹持构件107a的内表面相配合，而使涂敷器106可分离的由夹持具107(holder)所夹持。
使用单触接头116(one-touch joint)使气体源115(图4)透过供应管114而连接至夹具112的上部。通过使用单触接头116(one-touch joint)，操作者只要使用一只手就可以使供应管114从夹具112分离。
如图3所示，第二气体源201为设置成能够供应惰性气体，例如氮气或氩气至腔室200。气体源201经由第二气体供应阀201a而连接至腔室200。第二排气器202经由第二排气阀202a也连接至腔室200，而能够排出腔室200内的气体。同时打开第二气体供应阀201a与第二排气阀202a，以于腔室200中填充一种或数种惰性气体。
用以移入和移出一对象至装置10外侧的开口230设置在腔室200的侧壁，且开口203面向连接通道300。第二门204可在开启位置与关闭位置之间动作，而能够允许对象在第二腔室200与外在环境之间插入和移动。
图5为绘示本发明的腔室200的放大垂直剖面图。在腔室200内设置有托盘驱动装置205，此托盘驱动装置205驱动可移动托盘206。用以夹持涂敷器的可移动夹持具207设置在可移动托盘206上。
托盘驱动装置205连接至控制器(未图示)。此控制器下命令给托盘驱动装置205以在图5中的左右方向上移动可移动托盘206。在本实施例中，对应朝向腔室100的方向而前进移动(移动至右边)，对应朝向腔室200的方向而后退移动(移动至左边)。
可移动托盘206是一个在左右方向具有长边的托盘，当可移动托盘206尽可能的往前移动时，可移动托盘206的前部(右手侧)延伸进入腔室100中，如图5的虚线所示；而当可移动托盘206尽可能的往后移动时，可移动托盘206的后部(左手侧)从腔室200突出。
图6为绘示沿着图5的IV-IV线的可移动夹持具207的前视剖面图。
图7为绘示可移动夹持具207的侧视剖面图。图8为绘示可移动夹持具的平面图。
如图5、图6、图7所示，可移动夹持具207具备有支撑构件208。此支撑构件208包括第一平板208a与第二平板208b。第一平板208a设置在可移动托盘206上。第二平板208b延伸并垂直可移动托盘206。多个夹持构件209，在本实施例中例如是两个，平行设置于第二平板208b的内壁，而能够夹持两个涂敷器。
夹持构件209具有与夹持构件107a(图4)相似的结构。夹持构件209的其中一个可分离的夹持填充有密封剂的涂敷器106。
在本实施例中，夹持构件209的数目为2。当然，也可以设置一个或多个夹持构件209。亦即，如果分别夹持涂敷器106的支撑夹持具107的数目为N，夹持构件209的数目至少必须为N+1。亦即，夹持具207可以夹持较由夹持具107夹持的涂敷器的数目还多的涂敷器106，结果造成至少有一个夹持具207的夹持构件209没有夹持涂敷器106。
如图7所示，在第二平板208b的外壁设置有一个C-形把手210。抓握和移动把手210可以使夹持具207在可移动托盘206上移动。
如图5所示，如果夹持具207放置在可移动托盘206的最前端(最右端)，驱动可移动托盘206往前而将涂敷器106(由夹持具107夹持)移入腔室100。同样的，如果夹持具207放置在可移动托盘206的最后端(最左端)，驱动可移动托盘206往后而使涂敷器106从装置10移出。换句话说，可移动托盘206在腔室100与腔室200之间移动涂敷器106。
接着，请参照图3，以说明密封剂涂敷装置10的操作。首先，打开第一气体供应阀101a与第一排气阀102a，以于腔室100中填充例如氮气或氩气的惰性气体。当腔室100中的惰性气体的露点变成-40℃，气体源115施加压力至涂敷器106的注射器110内的密封剂，而涂敷密封剂至密封玻璃402上。
在涂敷密封剂的期间，工作台104相对于涂敷器106移动，同时在涂敷器106与密封玻璃402之间维持一预定距离。以此种方式，当密封玻璃402与玻璃基板400结合时，涂敷的密封剂环绕每个EL组件401。
当注射器110内的密封剂流出不足时，就需要更换涂敷器106。图9为绘示更换涂敷器的流程图。
在步骤S1中，涂敷密封剂。当涂敷器106的供应下降而接近空的时，在步骤S2中警报会响起，以更换空的涂敷器106。在步骤S3中，通过平台105a、105b、105c的动作，而停止密封剂的涂敷。然后，在步骤S4中进行涂敷器106的更换。
在步骤S4的第一阶段中，腔室100中填充例如氮气或氩气的惰性气体，腔室200也同样。然后，第一门301(图5)开启。接着，托盘驱动装置205驱动可移动托盘206，于是将更换的涂敷器106从腔室200传送至腔室100中。
在夹持具207与涂敷器106由可移动托盘206完全插入腔室100之后，操作者经由手套埠103(图3)手动的从固定夹持具107移走空涂敷器106。然后，操作者将移走的空涂敷器106放置在可移动夹持具207的未夹持对象的夹持构件209中。
然后，操作者从可移动夹持具207的其它夹持构件209取下填满有密封剂的更换的涂敷器106。接着，操作者在腔室100中，将更换的涂敷器106安装在固定夹持具107的夹持构件107a上。
在将更换的涂敷器106安装在夹持构件107a上之后，驱动可移动托盘206往后退，而将可移动夹持具207从腔室100移出。
在步骤S5中，在可移动夹持具207和由其夹持的空涂敷器106完全从腔室100移出之后，第一门301关闭。然后在步骤S6中，从更换的涂敷器106再次涂敷密封剂的密封玻璃402上。
当第一门301完全的关闭，打开第二气体供应阀201a与第二排气阀202a，以于第二腔室200中填充空气。在步骤S6中，在确认第二腔室200大致上完全填满空气后，开启第二门204。然后，托盘驱动装置205(图5)移动可移动托盘将空涂敷器106与可移动夹持具207从腔室200传送至密封剂涂敷装置10的外侧。
在步骤S9中，当空涂敷器106完全的移走后，关闭第二门204。在步骤S10中，从移动夹持具207的夹持构件209移走空涂敷器106后，更换成填满密封剂的新涂敷器106。
在步骤S11中，在将新涂敷器106安装在夹持构件209上之后，开启第二门204。在步骤S12中，托盘驱动装置205驱动可移动托盘206，而将新涂敷器106与夹持构件209一起移入腔室200中。
在步骤S13中，当可移动夹持具207与其夹持的新涂敷器106完全的传送进腔室200后，关闭第二门204。在步骤S14中，通过打开第二气体供应阀201a与第二排气阀202a，以于第二腔室200中填充惰性气体。在本实施例中，于腔室200填充惰性气体要进行三个阶段而需花费15分钟(每个阶段5分钟)。
在步骤S15中，当腔室200中的气体的露点确认变为-40℃时，开启第一门301，并且操作者经由手套埠103手动的将新涂敷器106连同可移动夹持具207移至可移动托盘的前部。然后，在腔室100中进行涂敷器106内的密封剂的涂敷直到腔室100内的涂敷器106变空的。
在本实施例中，对可移动夹持具207进行涂敷器106的更换(利用空气更换第二腔室200的环境以移走涂敷器，并利用惰性气体更换第二腔室200的环境)与在腔室100中涂敷密封剂的密封玻璃402上是同时进行的。密封剂涂敷装置10通过使用两个密封的腔室100及腔室200而使得在第一空间涂敷密封剂至密封玻璃402上以及在与第一空间分离的第二空间供应填满密封剂的新涂敷器成为可能。
于是，腔室100可以经常的保持在干惰性气体环境中。因此，使密封玻璃402处于干燥环境中而可以在制造过程中避免吸收空气中含有的水气。此外，此装置也可以直接涂敷密封剂于形成有有机EL组件401的玻璃基板400上，因为能避免有机EL组件401吸收空气中含有的水气，所以就能够防止有机EL组件401的因水气吸收所导致的退化。
此外，在以新涂敷器106更换空涂敷器106的期间与更换腔室200的气体环境的期间，在腔室100都可以持续进行涂敷密封剂至密封玻璃402。
另外，只有在操作者手动的从固定夹持具107的夹持构件107a卸下空涂敷器106及安装填满密封剂的新涂敷器106时，才需要停止密封剂的涂敷。
由于，在对可移动夹持具207进行涂敷器106的更换时，以及更换腔室200的环境(此种更换通常需要花费较长的时间)时都不需要停止涂敷密封剂，因此密封操作所需要的时间可以缩短而可以增进生产率。
在图9中工艺中在进行各阶段所需要的时间以秒为单位由显示在各阶段的右侧的数字来表示。更换涂敷器106的总时间可缩短至只要1分钟，如果涂敷密封剂至密封玻璃402的工艺与更换涂敷器106的工艺无法同时进行，则更换涂敷器106的工艺需要20分钟。
在本实施例中，使用各具有两个夹持构件209的可移动夹持具207。当将由可移动夹持具207夹持的新涂敷器106安装在固定夹持具107时，可移动夹持具207可以夹持从固定夹持具107拆卸下来的空涂敷器106。亦即，涂敷器106的更换可以在同一时间完成，而能够增进生产率。
而且，当夹持具207是放置在可移动托架206的最前端，驱动可移动托架206往前移动将使得由夹持具207夹持的经更换的涂敷器106进入腔室100。同样的，当夹持具207是放置在可移动托架206的最后端，驱动可移动托架206往后移动将使得空涂敷器106从装置10移出。
而且，只要通过在垂直方向拉起涂敷器106，就可以从可移动夹持具207上移走涂敷器106。因此，涂敷器可以容易的从可移动夹持具207拆卸下来，而更可以增进生产率。此外，涂敷器106因意外而掉落也难以产生。
使用单触接头116(one-touch joint)使气体源115(图4)透过供应管114而连接至夹具112的上部。于是，操作者的每只手可以执行不同的步骤，例如当以一只手卸下或安装涂敷器106时，另一只手可以抓取可移动夹持具207。于是，工作效率可以提升。
接着，请参照图10以说明本发明的第二实施例。图10为绘示本发明的有机EL显示器制造装置的示意图。
如图10所示，有机EL显示器制造装置500(显示器制造装置)包括密封剂涂敷装置10、安装密封玻璃402的密封玻璃安装室20、安装玻璃基板400的玻璃基板安装室30、结合玻璃基板400与密封玻璃402的结合装置40。
具有壁的连接室50分别透过可在开启和关闭位置操作的门10a、20a、30a与40a而连接密封剂涂敷装置10、密封玻璃安装室20、玻璃基板安装室30与结合装置40。连接室50内的气体环境通常是维持在100％惰性气体。
密封玻璃安装室20可作为前腔室，以使连接室50的惰性气体不会被稀释或污染。密封玻璃安装室20内的气体环境可在空气与惰性气体之间切换。
玻璃基板安装室30可作为前腔室，以使连接室50的惰性气体不会被破坏。玻璃基板安装室30内的气体环境也可在空气与惰性气体之间切换。
在玻璃基板安装室30中，有机EL组件401被安装在玻璃基板400上。然后，密封剂涂敷装置10涂敷密封剂于密封玻璃402上。然后，结合装置40结合密封玻璃402(涂敷的密封剂)至安装有有机EL组件401的玻璃基板400上。结合装置40内的气体环境也可在空气与惰性气体之间切换。
接着，说明有机EL显示器制造装置500的操作。首先，将在密封玻璃安装室20内的密封玻璃402通过连接室50加载密封剂涂敷装置10并进入腔室100(如图3所示)。在腔室100中，密封剂涂敷装置10涂敷密封剂于密封玻璃402上。带有涂敷的密封剂的密封玻璃402经由连接室50而传送至结合装置401。
同时，将已预先安装有EL组件401的玻璃基板从玻璃基板安装室30经由连接室50而传送至结合装置401。
利用接合装置40将密封玻璃402结合至玻璃基板400上，并使两者彼此面对面。于是，从有机显示器制造装置500制造出具备有密封玻璃402与玻璃基板400的有机EL面板P。
在本实施例中，有机EL显示器制造装置500使用在涂敷密封剂时可增进工作效率的密封剂涂敷装置10。因此，制造有机EL面板P的时间也可以缩短，而能够增进面板P的生产率。
根据上述的教示，本发明也可能有数种的变型。必须了解的是在附加的申请专利范围的范围内，除了在此所说明的之外，本发明也可以其它方式来进行。当本实施例没有显示一些构件，而完成的某种程度的影响时，这些构件都是可忽略的。
举例来说，使用具有开启/关闭阀的管连接腔室100与腔室200以取代用于在腔室200中填满惰性气体的气体源201，通过开启阀而使惰性气体流入腔室200中。
在本实施例中，发光单元是以有机EL显示器为实例。当然，本发明也可以用于特性会因环境而改变的其它发光单元。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的结构及技术内容作出些许的更动或修饰为等同变化的等效实施例，但是凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (19)
1. 一种将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于包括：
一第一腔室，具有惰性气体的气体环境；
一第二腔室，具有可在惰性气体与空气之间切换的气体环境；
一通道，连接该第一腔室与该第二腔室；
一第一门，设置在该第一腔室与该第二腔室之间，且可在第一位置与第二位置之间动作；
一第二门，设置在该第二腔室上以提供从该装置外侧至该第二腔室的途径，且可在第一位置与第二位置之间动作；
一第一夹持具，设置在该第一腔室中，该第一夹持具包括可移动的夹持一涂敷器的结构；
一移动台，可穿过该第二门，并可穿过该连接通道而在该第一腔室与该第二腔室间移动；以及
一第二夹持具，设置在该台上，该第二夹持具包括可移动的夹持一涂敷器的结构。
2. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于更包括：
一载物台，设置于该第一腔室中，以支持该对象。
3. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该涂敷器包括一注射器，以储存该材料。
4. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于更包括：
一手套埠，设置在该第一腔室，用以使操作者能够在维持惰性气体的气体环境下，接近该第一夹持具与该第二夹持具。
5. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该移动台设置成将结束该材料的涂敷、且由该第二夹持具所夹持的该涂敷器，经由该第二门从该第二腔室移至该装置的外侧；以及
该移动台也设置成将填满该材料、且由该第二夹持具所夹持的该涂敷器，经由该第二门从该装置的外侧移至该第二腔室。
6. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该第二夹持具包括一结构，用于可移动的夹持较由该第一夹持具所夹持的涂敷器的数目还多的涂敷器。
7. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于更包括：
一第一气体源连接器，连接一气体源至该第一腔室；
一第一排气器连接器，连接一排气器至该第一腔室；
一第二气体源连接器，连接一气体源至该第二腔室；以及
一第二排气器连接器，连接一排气器至该第二腔室。
8. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于包括：
多个涂敷器，由该第一夹持具与该第二夹持具可移动的夹持着。
9. 根据权利要求1所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该第二夹持具包括一结构，用于可移动的夹持多个涂敷器。
10. 根据权利要求6所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该第一夹持具包括一结构，用于可移动的夹持多个涂敷器。
11. 根据权利要求8所述的将材料涂敷于对象上的装置，其特征在于该涂敷器包括一喷嘴，用以涂敷一密封剂至一基底上。
12. 一种将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于包括：
将一对象移入具有惰性气体的气体环境的一第一腔室；
利用一第一涂敷器将材料涂敷至该物件上；
将填充有材料的一第二涂敷器移入具有非惰性气体的气体环境的一第二腔室；
以惰性气体更换该第二腔室中的气体环境；
将该第一涂敷器从该第一腔室移至该第二腔室；
将该第二涂敷器从该第二腔室移至该第一腔室；
在该第一腔室中，于惰性气体环境下，利用该第二涂敷器将材料涂敷至该物件上；
以非惰性气体更换该第二腔室中的气体环境；以及
将该第一涂敷器从该第二腔室中移出。
13. 根据权利要求12所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于在以惰性气体更换该第二腔室中的气体环境的步骤后，更包括开启设置在该第一腔室与该第二腔室之间的一第一门。
14. 根据权利要求12所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于在以非惰性气体更换该第二腔室中的气体环境的步骤前，更包括关闭设置在该第二腔室上的一第二门，其中该第二门用以从外在环境隔离该第二腔室。
15. 根据权利要求14所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于在将该第二涂敷器从该第二腔室移至该第一腔室的步骤后，更包括关闭该第一门。
16. 根据权利要求14所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于在以非惰性气体更换该第二腔室中的气体环境的步骤后，更包括开启该第二门。
17. 根据权利要求14所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于将材料涂敷至该对象上包括涂敷一密封剂至一电致发光组件的玻璃基板上。
18. 根据权利要求12所述的将材料涂敷于对象上的方法，其特征在于当将填充有材料的该第二涂敷器移入具有非惰性气体的气体环境的该第二腔室时，并同时利用该第一涂敷器将材料涂敷至该物件上。
19. 一种显示器制造装置，其特征在于包括：
涂敷密封剂至一第一基板上的一装置，该装置包括：
一第一腔室，具有维持在惰性气体的环境；
一第二腔室，具有可在惰性气体与空气之间切换的环境；
一连接通道，连接该第一腔室与该第二腔室；
一第一可开启与关闭门，设置在该第一腔室与该第二腔室之间；
一第二可开启与关闭门，设置在该第二腔室上以移入和移出用于涂敷材料至该第一基板的一涂敷器；
一第一夹持具，设置在该第一腔室中，该第一夹持具可拆卸的夹持该涂敷器；
一第二夹持具，设置在该第二腔室中，该第二夹持具可拆卸的夹持该涂敷器；
一移动台，设置在该第二腔室中，将填满该材料、且由该第二夹持具所夹持的该涂敷器，经由该连接通道从该第二腔室移至该第一腔室，且该移动台将结束该材料的涂敷、且由该第二夹持具所夹持的该涂敷器，经由该连接通道从该第一腔室移至该第二腔室；以及
一结合装置，将涂敷有密封剂的该第一基板结合至形成有电致发光组件的一第二基板。
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