KR20180102497A - 기판 수정 장치 - Google Patents

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KR20180102497A
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히데노리 시미즈
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브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
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Abstract

가동부측 탱크의 교환 작업을 생략할 수 있고, 수정용 기판의 수정 처리에 이용하는 처리용 가스의 공급을 용이하게 행할 수 있는 기판 수정 장치를 제공한다. 가동부(3)는, 처리용 가스를 저장하여 레이저 CVD 처리부(4)에 공급하는 소형 가스탱크(5)와, 소형 가스탱크(5)에 원료 가스를 도입 가능한 가동부측 조인트(6)를 구비하고, 가동부(3)에 간섭하지 않는 위치에, 대용량 고압 가스탱크(7)와, 대용량 고압 가스탱크(7)에 공급용 배관(8)으로 접속된 공급용 탱크측 조인트(9)를 마련하고, 가동부측 조인트(6)는, 공급용 탱크측 조인트(9)에 대해서 결합 및 결합 해제가 가능하다.

Description

기판 수정 장치{APPARATUS FOR CORRECTION OF SUBSTRATE DEFECTS}
본 발명은, 기판 표면에 형성된 배선 패턴 등의 결함을 수정하는 기판 수정 장치에 관한 것이다.
액정 패널이나 유기 EL(Electro-Luminescence) 패널 등의 디스플레이 패널은, 배선 패턴이나 절연막 등이 형성된 기판을 구비한다. 디스플레이 패널의 제조 공정에서는, 배선 패턴이나 절연막 등의 결함을 수정하는 리페어 처리가 필요하다. 리페어 처리로서는, 레이저광에 의해 배선 패턴의 쇼트 개소의 절단을 행하는 제거 가공이나, 레이저 CVD(Chemical Vapor Deposition) 기술에 의해 배선 패턴이나 절연막 등의 성막을 행하는 소위 CVD 가공이 있다. 특허 문헌 1에는, 표시 장치의 기판의 표면을 따라서 이동하는 가동부(稼動部)를 구비한 수정 장치가 개시되어 있다. 그 가동부에는, 제거 가공을 행하는 레이저 가공 처리부나 CVD 가공을 행하는 CVD 처리부가 탑재되어 있다. 이것들 레이저 가공 처리부나 CVD 처리부는, 가동부와 함께 기판의 표면을 따라서 이동하여, 이 기판의 결함 개소의 리페어 처리를 행한다.
상기의 CVD 처리부는, 성막에 필요한 원료 가스 등의 처리용 가스가 필요하다. CVD 처리부에 원료 가스 등을 공급하는 방법으로서는, 다음의 두 가지의 방법이 있다. 제1의 방법은, 도 5에 나타내는 바와 같이, 가요성(可撓性)을 가지는 접속 호스(101)를 이용하여, CVD 기구(102)와, 장치(103)의 외부에 설치된 대형의 가스탱크(104)를 접속하는 방법이다. 제2의 방법은, 가스 카트리지를 가동부에 탑재하는 방법이다.
일본 공개특허공보 2010-78899호
그렇지만, 상기 제1의 방법에서는, 접속 호스(101)의 내구성, 가동성, 및 취급에 문제가 있다. 제1의 방법에서는, 접속 호스(101)의 수명이 짧게 되기 쉽다. 제1의 방법에서는, 접속 호스(101)가 소모되었을 때의 메인터넌스가 번잡해진다. 제1의 방법에서는, 접속 호스(101)의 처리 공간을 확보할 필요가 있고, 장치(103)의 대형화를 초래할 우려가 있다. 제1의 방법에서는, 접속 호스(101)가 가동부에 추종할 때에, 접속 호스(101)가 기판상에 낙하하는 것을 방지하기 위한 도시하지 않은 지지 수단이 필요해지고, 장치(103)의 대형화 및 복잡화를 초래할 우려가 있다.
상기 제2의 방법에서는, 가동부에의 탑재 중량을 크게 할 수 없기 때문에, 가스 카트리지의 중량 및 용량이 제한된다. 이 때문에, 제2의 방법에서는, 가동부에 탑재한 가스 카트리지의 교환 빈도가 높아지고, 생산성이 저하한다고 하는 과제가 있다. 가스 카트리지의 교환 작업으로서는, 가동부로부터 가스 카트리지를 탈거하고, 그 가스 카트리지를 장치의 외부에 반송하고, 원료 가스를 충전한 새로운 교환용의 가스 카트리지를 반송하여 가동부에 장착한다고 하는 번잡한 작업을 필요로 한다.
본 발명은, 상기의 과제에 비추어서 이루어진 것으로서, 가동부측 탱크의 교환 작업을 생략할 수 있고, 수정용 기판의 수정 처리에 이용하는 처리용 가스의 공급을 용이하게 행할 수 있는 기판 수정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 형태는, 본체부와, 이 본체부에 대해서 이동 가능하게 마련된 가동부와, 이 가동부에 마련된 수정 처리부를 구비하고, 상기 수정 처리부에서 처리용 가스를 이용하여 수정용 기판의 표면의 결함을 수정하는 기판 수정 장치로서, 상기 가동부는, 처리용 가스를 저장하여 상기 수정 처리부에 공급하는 가동부측 탱크와, 이 가동부측 탱크에 처리용 가스를 도입 가능한 가동부측 조인트를 구비하고, 본체부와 가동부에 간섭하지 않는 위치에, 공급용 탱크에 배관으로 접속된 공급용 탱크측 조인트를 고정하고, 상기 가동부측 조인트는, 상기 공급용 탱크측 조인트에 대해서 결합 및 결합 해제가 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 형태로서, 상기 가동부측 조인트는, 가동부를 상기 공급용 탱크측 조인트를 향해서 이동시킴으로써, 공급용 탱크측 조인트에 결합하고, 가동부를 공급용 탱크측 조인트로부터 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 공급용 탱크측 조인트로부터 결합이 해제되는 구성으로 하는 것이 바람직하다.
상기 형태로서, 가동부는, 가동부측 탱크의 잔류 가스량에 대응하여, 가동부측 조인트를 공급용 탱크측 조인트에 결합시키는 동작을 행하는 것이 바람직하다.
상기 형태로서, 본체부는, 수정용 기판을 배치하는 수정용 기판 배치 테이블을 구비하고, 가동부를 수정용 기판 배치 테이블의 X-Y축 방향으로 이동 가능하게 하는 갠트리 스테이지인 것이 바람직하다.
상기 형태로서, 배관에 개폐 밸브를 마련하고, 가동부측 조인트는, 공급용 탱크측 조인트와의 결합이 해제되었을 때에, 내부 유로를 닫는 자동 개폐 밸브를 내장하는 구성이 바람직하다.
상기 형태로서, 제어부를 구비하고, 이 제어부는, 가동부측 탱크의 잔류 가스량의 정보에 대응하여 본체부 및 가동부를 구동 제어하여, 가동부측 조인트를 공급용 탱크측 조인트에 결합시키고, 가동부측 조인트와 공급용 탱크측 조인트와의 결합을 해제시킬 때에, 상기 개폐 밸브를 닫는 제어를 행하는 것이 바람직하다.
상기 형태로서, 수정 처리부는, 수정용 기판의 표면에 성막 처리를 행하고, 처리용 가스는 성막에 이용하는 원료 가스인 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 기판 수정 장치에 의하면, 메인터넌스의 빈도가 낮고, 처리용 기판의 수정 처리에 이용하는 처리용 가스의 공급을 용이하게 행할 수 있는 기판 수정 장치를 제공할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치의 개략을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치의 가동부측 조인트를 공급용 탱크측 조인트에 결합시키는 동작을 나타내는 설명도이다.
도 3은, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치의 가동부측 조인트가 공급용 탱크측 조인트에 결합한 상태를 나타내는 설명도이다.
도 4는, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치의 제어 방법을 나타내는 플로우차트이다.
도 5는, 종래의 기판 수정 장치의 개략 사시도이다.
이하에, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치의 상세를 도면에 기초하여 설명한다. 단, 도면은 모식적인 것이며, 각 부재의 치수나 치수의 비율이나 형상 등은 현실의 것과 다르다는 것에 유의해야 한다. 또한, 도면 상호 간에서도 서로의 치수의 관계나 비율이나 형상이 다른 부분이 포함되어 있다.
여기서, 실시형태의 설명에 앞서서, 수정 처리에 대해서 간단하게 설명한다. 이하에 설명하는 실시형태에서는, 수정 처리의 일례로서 레이저 CVD법에 의한 성막 처리를 적용한 예이다. 이 성막 처리로서, 구체적으로는, 레이저 CVD법에 의해 성막을 행하여 배선끼리의 접속을 행하는 가공이나, 질화 실리콘막 등의 절연막의 형성을 들 수 있다. 레이저 CVD법에 의해 수정 처리를 행하는 경우, 처리용 가스를 이용한다. 또한, 본 발명은, 수정용 기판의 수정 처리에 가스를 소비하는 각종의 수정 수단에 적용 가능하다.
수정용 기판으로서는, 각종의 FPD(Flat Panel Display)를 구성하는 기판을 적용할 수 있다. 수정용 기판으로서 구체적으로는, 예를 들면, 액정 패널의 TFT 기판이나, 유기 EL 패널의, 전자·정공 주입 전극 등의 각종 배선 패턴이 형성된 기판 등을 들 수 있다.
[실시형태]
(기판 수정 장치의 구성)
이하, 도 1 ~ 도 3을 이용하여, 본 발명의 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)의 구성을 설명한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 수정 장치(1)는, 본체부로서의 갠트리 스테이지(2)와, 가동부(3)와, 수정 처리부로서의 레이저 CVD 처리부(4)와, 가동부측 탱크로서의 소형 가스탱크(5)와, 가동부측 조인트(6)와, 공급용 탱크로서의 대용량 고압 가스탱크(7)에 접속된 배관으로서의 공급용 배관(8)과, 공급용 탱크측 조인트(9)와, 개폐 밸브(10)와, 제어부(11)와, 갠트리 스테이지 구동부(12)를 구비한다. 또한, 소형 가스탱크(5)는, 잔류 가스량을 검지하는 도시하지 않은 압력 센서를 구비하고 있다. 대용량 고압 가스탱크(7)는, 레이저 CVD 처리부(4)에서 소비하는 원료 가스의 공급원이다. 갠트리 스테이지(2)는, 위치 결정 기구로서의 기능을 가진다.
가동부(3)는, 갠트리 스테이지(2)에 탑재되어 있다. 이 갠트리 스테이지(2)는, 후술하는 수정용 기판(13)을 탑재하는, 수정용 기판 배치 테이블로서의 테이블(21)을 구비하고 있다. 갠트리 스테이지(2)는, 가동부(3)를, 테이블(21)의 상방에 있어서, 도면 중 Xg로 나타내는 X축 방향과 도면 중 Yg로 나타내는 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
갠트리 스테이지(2)는, 한 쌍의 Y축 방향 가이드부(22, 23)와, X축 방향 가이드부(24)를 구비한다. 한 쌍의 Y축 방향 가이드부(22, 23)는, 테이블(21)의 X축 방향의 양 측부 상에 배치되고, 각각이 Y축 방향을 따라서 연장된다. X축 방향 가이드부(24)는, 한 쌍의 Y축 방향 가이드부(22, 23)에 대해서 걸쳐지고, X축 방향을 따라서 연장된다. X축 방향 가이드부(24)는, 한 쌍의 Y축 방향 가이드부(22, 23)에 대해서, 화살표(Yg)로 나타내는 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. X축 방향 가이드부(24)는, 제어부(11)로부터의 구동 신호에 기초하여 갠트리 스테이지 구동부(12)에 의해 화살표(Yg)로 나타내는 Y축 방향으로 이동한다.
본 실시형태에서는, 가동부(3)는 사각형의 플레이트로 구성되어 있다. 또한, 가동부(3)의 형상, 구조는 이것으로 한정되는 것은 아니다. 가동부(3)는, X축 방향 가이드부(24)에 대해서, X축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 가동부(3)는, 제어부(11)로부터의 구동 신호에 기초하여, 도시하지 않은 X축 방향 구동 기구에 의해, 화살표(Xg)로 나타내는 바와 같이 X축 방향으로 이동된다. 가동부(3)는, X축 방향 가이드부(24)가 Y축 방향 가이드부(22, 23)를 따라 이동하는 것으로써, Y축 방향으로 이동한다. 따라서, 테이블(21)의 상방에서, 가동부(3)는, X-Y축 방향의 임의의 위치로 이동 가능하다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 레이저 CVD 처리부(4)는, 테이블(21) 상에 배치된 수정용 기판(13)의 표면의 결함을, 레이저 CVD법으로 성막함으로써 수정을 행한다. 레이저 CVD 처리부(4)는, 도시하지 않은, 레이저 광원, 각종 광학계 등을 구비한다.
소형 가스탱크(5)는, 레이저 CVD 처리부(4)에 대해서 X축 방향으로 인접하도록 배치되어 있다. 그리고 소형 가스탱크(5)는, 레이저 CVD 처리부(4)에 연통하도록 결합 파이프(14)로 접속되어 있다. 소형 가스탱크(5)는, 처리용 가스로서의 원료 가스를 축적하고, 필요에 대응하여 레이저 CVD 처리부(4)에 원료 가스를 공급한다. 소형 가스탱크(5)는, 가동부(3)의 원활한 이동을 저하하지 않는 정도의 무게 및 용량이 설정되어 있다.
가동부측 조인트(6)는, 소형 가스탱크(5)에 있어서의 레이저 CVD 처리부(4)와 반대측에 인접하도록 배치되어 있다. 가동부측 조인트(6)는, 소형 가스탱크(5)에 연통하도록 결합 파이프(15)로 접속되어 있다. 또한, 결합 파이프(15)는 강성을 가지고 가동부측 조인트(6)가 요동(搖動)하지 않도록 지지하는 것이 바람직하다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 가동부측 조인트(6)의 선단 삽입부(6A)는, 가동부(3)로부터, 도면 중 Xr로 나타내는 X축 방향의 일방측을 향하여 돌출하도록 배치되어 있다. 이 가동부측 조인트(6)는, 가동부(3)에 대해서 요동하지 않도록, 도시하지 않은 고정 수단으로 가동부(3)에 고정하는 것이 바람직하다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 가동부측 조인트(6)는, 상기 선단 삽입부(6A)의 베이스부(基部)측에서 결합 파이프(15)에 장착되는 파이프 장착부(6B)를 가진다. 파이프 장착부(6B)는, 가동부측 조인트(6)가 공급용 탱크측 조인트(9)와 결합하고 있지 않을 때에, 내부 유로(6D)를 닫는 자동 개폐 밸브(6C)가 내장되어 있다.
레이저 CVD 처리부(4)와 소형 가스탱크(5)와 가동부측 조인트(6)와의 위치 관계는, 상술의 구성이 아니어도 좋다. 요점은, 가동부측 조인트(6)의 선단 삽입부(6A)가 가동부(3)로부터 X 방향을 따라서 돌출되어 배치되고, 공급용 탱크측 조인트(9)와 결합 가능하면 좋다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 대용량 고압 가스탱크(7)는, 기판 수정 장치(1)의 장치 외부에 설치한다. 대용량 고압 가스탱크(7)에는, 공급용 배관(8)이 접속되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 공급용 배관(8)은, 공급용 배관(8A, 8B, 8C)의 3개의 부분을 포함한다. 공급용 배관(8A)은, 대용량 고압 가스탱크(7)에 탈착 가능하게 접속되어 있다. 공급용 배관(8A)의 하류단에는, 탱크 교환시에 이용하는 밸브(16)가 마련되어 있다. 공급용 배관(8A)에는, 밸브(16)를 사이에 두고 공급용 배관(8B)이 접속되어 있다. 공급용 배관(8B)의 하류단에는, 상기 개폐 밸브(10)가 마련되어 있다. 공급용 배관(8B)에는, 개폐 밸브(10)를 사이에 두고 공급용 배관(8C)이 접속되어 있다. 그리고 공급용 배관(8C)의 하류단에는, 공급용 탱크측 조인트(9)가 마련되어 있다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 공급용 탱크측 조인트(9)는, 장치 외부에 고정되어 있다. 구체적으로는, 공급용 탱크측 조인트(9)는, 기판 수정 장치(1)의 동작 공간을 덮는, 도시하지 않은 커버 부재의 측벽 등에 고정할 수 있다. 또한, 공급용 탱크측 조인트(9)의 고정처는 이것으로 한정되는 것은 아니다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 공급용 탱크측 조인트(9)는, 공급용 배관(8C)의 하류단에 장착하는 배관 장착부(9A)와, 선단 피삽입부(9B)와, 걸어멈춤부(9C)를 가지고 있다. 선단 피삽입부(9B)에는, 상기 가동부측 조인트(6)의 선단 삽입부(6A)가 삽입하여 결합한다. 걸어멈춤부(9C)는, 상기 가동부측 조인트(6)의 선단 삽입부(6A)의 외주면에 형성된 홈에 걸어멈춤되는 걸어멈춤용 구체(球體)를 가진다.
따라서, 도 2에 나타내는 바와 같이, 가동부측 조인트(6)는, 가동부(3)를 공급용 탱크측 조인트(9)를 향해서(도면 중 화살표(Xr) 방향을 향해서) 이동시키는 것으로써, 선단 삽입부(6A)가 공급용 탱크측 조인트(9)의 선단 피삽입부(9B)에 결합한다. 결합을 해제하기 위해서는, 도 3에 나타내는 상태로부터, 가동부(3)를 공급용 탱크측 조인트(9)로부터 멀어지는 방향(도면 중 화살표(XI) 방향)으로 이동시킴으로써, 공급용 탱크측 조인트(9)로부터 결합이 해제된다.
(기판 수정 장치의 동작 및 작용)
이하, 본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)의 작용 및 효과에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서는, 가동부(3)가, 원료 가스를 저장하여 레이저 CVD 처리부(4)에 공급하는 소형 가스탱크(5)와 가동부측 조인트(6)를 구비한다. 또한, 이 실시형태에서는, 대용량 고압 가스탱크(7)에 접속된 공급용 탱크측 조인트(9)를, 장치 동작을 간섭하지 않는 위치에 고정 배치하고 있다. 이러한 구성에 의해, X축 방향 가이드부(24)와 가동부(3)를 구동시키는 것만으로, 가동부측 조인트(6)와 공급용 탱크측 조인트(9)를 결합하고, 그 결합을 해제할 수 있다.
본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량에 대응하여, 제어부(11)가, X축 방향 가이드부(24)와 가동부(3)를 구동 제어한다. 가동부(3)는, 도시하지 않은 X축 방향 구동 기구에 의해, X축 방향 가이드부(24)를 X축 방향으로 이동한다. X축 방향 가이드부(24)는, 제어부(11)로부터의 구동 신호를 갠트리 스테이지 구동부(12)가 받음으로써, Y축 방향으로 이동한다.
본 실시형태에서는, 가동부측 조인트(6)에, 공급용 탱크측 조인트(9)와의 결합이 해제되었을 때에, 내부 유로(6D)를 닫는 자동 개폐 밸브(6C)를 내장하기 때문에, 가동부측 조인트(6)에 별도 개폐 제어 기구를 구비할 필요가 없다.
본 실시형태에서는, 제어부(11)가, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량의 정보에 대응하여 갠트리 스테이지(2) 및 가동부(3)를 구동 제어하여, 가동부측 조인트(6)를 공급용 탱크측 조인트(9)에 결합시킨다. 또한, 제어부(11)는, 가동부측 조인트(6)와 공급용 탱크측 조인트(9)와의 결합을 해제시킬 때에, 개폐 밸브(10)를 닫는 제어를 행한다.
(기판 수정 장치의 제어 방법)
다음에, 도 4에 나타내는 플로우차트를 이용하여, 본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)의 제어 방법에 대해서 설명한다.
우선, 본 실시형태에서는, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량의 정보가 도시하지 않은 압력 센서로부터 제어부(11)에 입력되도록 설정되어 있다. 제어부(11)는, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량이 소정량 이하인지 아닌지를 판정한다(스텝 S1).
스텝 S1에서 잔류 가스량이 소정량 이하인 경우는, X축 방향 가이드부(24)를 정위치에 이동시킨다(스텝 S2). 이 정위치는, 가동부측 조인트(6)가, 고정 배치된 공급용 탱크측 조인트(9)에 대해서, X축 방향에 있어서 서로 대치하는 위치이다.
다음에, 가동부(3)를 X축 방향(도 2에 나타내는 화살표(Xr) 방향)으로 이동시켜서, 가동부측 조인트(6)를 공급용 탱크측 조인트(9)에 결합시킨다(스텝 S3).
상기 스텝 S3에서 가동부측 조인트(6)와 공급용 탱크측 조인트(9)가 결합한 상태에서, 제어부(11)는 개폐 밸브(10)를 여는 구동 신호를 출력하여 개폐 밸브(10)를 연다. 그리고 예를 들면, 개폐 밸브(10)를 일정시간 열어서 소형 가스탱크(5)에 원료 가스를 충전한 후, 개폐 밸브(10)를 닫는다(스텝 S4).
상기 스텝 S4에서 소형 가스탱크(5)에의 원료 가스의 충전이 종료된 후, 도 3에 화살표(Xl)로 나타내는 방향으로 가동부(3)를 이동시켜서, 가동부측 조인트(6)를 공급용 탱크측 조인트(9)로부터 뽑아서 결합을 해제시킨다(스텝 S5).
상술한 제어 방법을 이용하는 것으로써, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량이 소정량 이하로 저하되었을 경우는, 자동적으로 대용량 고압 가스탱크(7)로부터의 보급이 가능하다. 이와 같이 하여, 소형 가스탱크(5)에 원료 가스를 원활히 공급할 수 있다.
(기판 수정 장치의 효과)
본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 이동 가능한 가동부측 조인트(6)와, 장치에 간섭하지 않는 위치에 고정된 공급용 탱크측 조인트(9)를 구비하는 구성으로 함으로써, 제어를 용이하게 하는 효과가 있다. 따라서, 기판 수정 장치(1)를 조작하는 오퍼레이터의 수고를 대폭 삭감하는 효과가 있다.
본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)는, 가동부측 조인트(6)와 공급용 탱크측 조인트(9)를 구비하는 구성이기 때문에, 가동부(3)의 장비 및 구조의 간소화, 경량화를 달성할 수 있다.
본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)는, 소형 가스탱크(5)에 대해서 가요성을 가지는 접속 호스가 필요하지 않기 때문에, 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 가동부(3)에 교환을 필요로 하지 않는 소형 가스탱크(5)를 설치함으로써, 카트리지 교환용의 기구 등 장치의 내외에 걸쳐서 교환 기구를 마련하지 않기 때문에, 장치의 간소화, 저비용화, 및 보수 작업의 간이화를 달성할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 원료 가스 등의 처리용 가스의 공급의 인적 요인을 줄이고, 자동화하는 것을 용이하게 하는 효과가 있다. 본 실시형태에서는, 제어부(11) 등에 의해, 원료 가스의 공급의 자동화를 도모했으나, 원료 가스의 공급 공정을 오퍼레이터에 의한 수동으로 행하는 것도 물론 가능하다.
(그 외의 실시형태)
이상, 실시형태에 대해서 설명했지만, 이것들 실시형태의 명시된 일부를 이루는 기술 및 도면은 이 발명을 한정하는 것으로 이해해서는 안 된다. 이 개시로부터 당업자에게는 여러 가지 대체 실시형태, 실시예 및 운용 기술이 명백해질 것이다.
예를 들면, 상기한 실시형태에서는, 본체부로서 갠트리 스테이지(2)를 적용하여 설명했지만, 본 발명에서는, 갠트리 스테이지(2) 이외에 각종의 위치결정 기구, 로봇 암 등 각종의 기구를 채용할 수 있다.
또한, 상기한 실시형태에서는, 수정 처리부로서 레이저 CVD 처리부(4)를 적용하여 설명했지만, 처리용 가스를 소비하는 각종의 수정 처리 수단을 적용할 수 있다. 이 때문에, 처리용 가스로서도 CVD용의 원료 가스로 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명은, 처리용 가스로서 기판 세정용의 가스를 적용하는 것도 가능하다.
상기한 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 제어부(11)에서 가동부(3)의 이동 동작, 개폐 밸브(10)의 개폐 동작을 제어한다. 그러나 본 발명에서는 오퍼레이터가 수동으로 조작할 수도 있고, 이러한 수동에 의해 조작을 행하는 구성도 본 발명의 적용 범위이다. 이 경우, 소형 가스탱크(5)의 잔류 가스량이 소정량 이하로 저하되었을 때에, 램프 점등 등의 인식 수단을 이용하여 오퍼레이터에게 알리는 구성을 구비하는 것이 바람직하다.
상기한 실시형태에 관한 기판 수정 장치(1)에서는, 도 2 및 도 3에 나타내는 플러그와 소켓을 결합하는 타입의 결합 수단으로 했지만, 가동부측 조인트(6) 및 공급용 탱크측 조인트(9)의 구성은 이것들로 한정되지 않고, 각종의 결합, 해제가 가능한 조인트(결합 수단)를 이용할 수 있다.
1: 기판 수정 장치
2: 갠트리 스테이지(본체부)
3: 가동부
4: 레이저 CVD 처리부(수정 처리부)
5: 소형 가스탱크(가동부측 탱크)
6: 가동부측 조인트
6A: 선단 삽입부
6B: 파이프 장착부
6C: 자동 개폐 밸브
6D: 내부 유로
7: 대용량 고압 가스탱크(공급용 탱크)
8: 공급용 배관(배관)
8A, 8B, 8C: 공급용 배관
9: 공급용 탱크측 조인트
9A: 배관 장착부
9B: 선단 피삽입부
9C: 걸어멈춤부
10: 개폐 밸브
11: 제어부
12: 갠트리 스테이지 구동부
13: 수정용 기판
14, 15; 결합 파이프
21: 테이블(수정 기판 배치 테이블)
22, 23: Y축 방향 가이드부
24: X축 방향 가이드부

Claims (7)

  1. 본체부와, 상기 본체부에 대해서 이동 가능하게 마련된 가동부와, 상기 가동부에 마련된 수정 처리부를 구비하고, 상기 수정 처리부에서 처리용 가스를 이용하여 수정용 기판의 표면의 결함을 수정하는 기판 수정 장치로서,
    상기 가동부는, 처리용 가스를 저장하여 상기 수정 처리부에 공급하는 가동부측 탱크와, 상기 가동부측 탱크에 처리용 가스를 도입 가능한 가동부측 조인트를 구비하고,
    상기 본체부와 상기 가동부에 간섭하지 않는 위치에, 공급용 탱크에 배관으로 접속된 공급용 탱크측 조인트를 고정하고,
    상기 가동부측 조인트는, 상기 공급용 탱크측 조인트에 대해서 결합 및 결합 해제가 가능한, 기판 수정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동부측 조인트는,
    상기 가동부를 상기 공급용 탱크측 조인트를 향해서 이동시킴으로써, 상기 공급용 탱크측 조인트에 결합하고,
    상기 가동부를 상기 공급용 탱크측 조인트로부터 멀어지는 방향으로 이동시킴으로써, 상기 공급용 탱크측 조인트로부터 결합이 해제되는, 기판 수정 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 가동부측 탱크의 잔류 가스량에 대응하여, 상기 가동부측 조인트를 상기 공급용 탱크측 조인트에 결합시키는 동작을 행하는, 기판 수정 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부는, 상기 수정용 기판을 배치하는 수정용 기판 배치 테이블을 구비하고, 상기 가동부를 상기 수정용 기판 배치 테이블의 X-Y축 방향으로 이동 가능하게 하는 갠트리(gantry) 스테이지인, 기판 수정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 배관에 개폐 밸브를 마련하고,
    상기 가동부측 조인트는, 상기 공급용 탱크측 조인트와의 결합이 해제되었을 때에, 내부 유로를 닫는 자동 개폐 밸브를 내장하는, 기판 수정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 가동부측 탱크의 잔류 가스량의 정보에 대응하여 상기 본체부 및 상기 가동부를 구동 제어하여, 상기 가동부측 조인트를 상기 공급용 탱크측 조인트에 결합시키고, 상기 가동부측 조인트와 상기 공급용 탱크측 조인트와의 결합을 해제시킬 때에, 상기 개폐 밸브를 닫는 제어를 행하는, 기판 수정 장치.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수정 처리부는, 상기 수정용 기판의 표면에 성막 처리를 행하고,
    상기 처리용 가스는 성막에 이용하는 원료 가스인, 기판 수정 장치.
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