KR100810804B1 - 진공 처리 장치, 진공 예비실의 배기 방법 및 진공 예비실의 승압 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 기판에 대하여 진공 중에서 진공 처리를 행하는 진공 처리실과,상기 기판이 상기 진공 처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공 예비실과,상기 진공 처리실과 상기 진공 예비실 사이에 있어서, 이중으로 배치된 게이트 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 진공 처리실에 형성된 개구를 개폐하는 제 1 게이트 밸브와, 상기 제 1 게이트 밸브에 인접 배치되고, 상기 제 1 게이트 밸브와의 사이에 형성된 개구를 개폐하는 제 2 게이트 밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 동기하여 개폐하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 밀봉시에 상대적으로 고압이 되는 진공 예비실쪽으로부터 저압이 되는 진공 처리실쪽으로 향하여 밸브체를 가압하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 게이트 밸브에는 밸브 용기 내를 감압 배기하기 위한 배기관이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 예비실에는 유로 컨덕턴스가 상이한 복수의 배기관이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 예비실에는 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 공급원이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 기판에 대하여 진공 중에서 진공 처리를 행하는 진공 처리실과,상기 기판이 상기 진공 처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공 예비실과,상기 진공 예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 상이한 복수의 배기관과,상기 배기관에 접속되고, 상기 진공 예비실 내를 진공 배기하기 위한 배기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 복수의 배기관은 제 1 배기관과, 상기 제 1 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 2 배기관과, 상기 제 2 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 3 배기관을 구비하는 것을 특징으로 하는진공 처리 장치.
- 기판이 진공 처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공 예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기 방법에 있어서,상기 진공 예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 상이한 복수의 배기관을 이용하여 배기 속도를 전환하여, 단계적으로 배기 속도를 크게 하여 배기를 행하는 것을 특징으로 하는진공 예비실의 배기 방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 진공 예비실 내의 압력을 기준으로 하여 상기 배기 속도의 전환을 행하는 것을 특징으로 하는진공 예비실의 배기 방법.
- 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 진공 예비실 내가 사전결정된 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공 예비실 내에 사전결정된 시간 퍼지 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는진공 예비실의 배기 방법.
- 기판이 진공 처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공 예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기 방법에 있어서,상기 진공 예비실 내가 사전결정된 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공 예비실 내에 사전결정된 시간 퍼지 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는진공 예비실의 배기 방법.
- 기판이 진공 처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공 예비실을, 상기 진공 상태로부터 승압하는 진공 예비실의 승압 방법에 있어서,상기 진공 예비실 내를 대기 개방할 때에 사전결정된 유량으로 퍼지 가스를 도입함으로써, 대기 개방 상태에서 상기 진공 예비실 내를 양압(陽壓)으로 하는 것을 특징으로 하는진공 예비실의 승압 방법.
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