KR20070026241A - 진공처리장치, 진공 예비실의 배기방법 및 진공 예비실의승압방법 - Google Patents

진공처리장치, 진공 예비실의 배기방법 및 진공 예비실의승압방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 목적은 진공처리실로의 수분의 혼입을 확실하게 방지할 수 있는 진공처리장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명에 있어서는, 진공처리실(10)과 로드 로크실(20) 사이에는, 각각 밸브체(31a, 31b)를 갖는 게이트 밸브(30a, 30b)가 이중으로 배치되어 있다. 또, 로드 로크실(20)에는 컨덕턴스가 다른 세 개의 배기관(21, 22, 23)이 접속되어 있고, 각각 개폐 밸브(62, 63, 64)를 개재하여 진공펌프(60)에 접속되어 있다. 또, 로드 로크실(20)의 내부에 N2 가스를 도입하는 N2 가스 공급원(26)도 접속되어 있다.

Description

진공처리장치, 진공 예비실의 배기방법 및 진공 예비실의 승압방법{VACUUM PROCESSING APPARATUS, METHOD FOR DISCHARGING A VACUUM PRECHAMBER AND METHOD FOR ELEVATING THE PRESSURE OF A VACUUM PRECHAMBER}
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 진공처리장치의 외관을 도시한 사시도,
도 2는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 진공예비실 및 진공처리실을 도시한 수평 단면도,
도 3은 게이트 밸브가 열린 상태를 도시한 개략 단면도,
도 4는 게이트 밸브가 닫힌 상태를 도시한 개략 단면도,
도 5는 로드 로크실의 가스 배기 계통과 가스 도입 계통의 개요를 도시한 도면,
도 6은 로드 로크실의 배기 순서를 도시한 플로우 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 진공처리실 20 : 로드 로크실
21, 22, 23 : 배기관 24 : N2 가스 공급 라인
26 : N2 가스 공급원 27 : 배기관
30a, 30b, 40 : 게이트 밸브 50 : 대기 쪽 반송기구
60 : 진공 펌프 70 : 기판 반송장치
74 : 슬라이드 플레이트 74a : 슬라이드 피크부
80 : 기판 교환기구 81, 82 : 버퍼 플레이트
100 : 진공처리장치 G : 기판
본 발명은 진공처리 기술에 관한 것으로서, 특히 액정표시장치(LCD)나 플라즈마 디스플레이 등으로 대표되는 FPD(플랫 패널 디스플레이)용의 유리 기판 등에 대하여, 드라이 에칭 등의 진공 처리를 실시하는 진공처리장치 등에 대하여 유효하게 적용 가능한 기술에 관한 것이다.
예를 들면, LCD 제조 프로세스에 있어서는, 피처리 기판인 LCD 유리 기판에 대하여 드라이 에칭이나 스퍼터링, CVD(화학 기상 성장) 등의 진공처리가 많이 이용되고 있다.
이와 같은 진공처리를 행하는 진공처리장치에 있어서는 진공으로 유지되어 상기 처리를 행하는 진공처리실(프로세스 모듈)에 인접하여 진공예비실이 설치되어 있고, 피처리 기판의 반입출 시에 진공처리실 내의 분위기 변동을 최대한 작게 하는 구조로 되어 있다.
구체적으로는 예를 들면, 대기 쪽에 배치된 카세트와 에칭 처리 등을 행하는 진공처리실과의 사이에 진공예비실로서 대기 쪽과 진공 쪽의 인터페이스의 역할을 갖는 로드 로크실이 설치되어 있다.
이 로드 로크실에서는 피처리 기판이 통과할 때마다 대기 개방 상태와, 진공처리실과 동등한 고진공까지의 배기가 반복된다. 이 때문에, 로드 로크실과 항상 진공상태가 유지되는 진공처리실과의 사이에는 양 실의 기밀성을 확보하기 위하여 게이트 밸브가 배치되어 있다(예를 들면, 특허문헌 1).
그러나, 게이트 밸브에 의한 기밀성이 충분하지 않을 경우, 대기 개방 상태의 로드 로크실 쪽으로부터 고진공 상태의 진공처리실 내에 대기 중의 수분이 새어들어가는 경우가 있다. 진공처리실 내에 수분이 혼입되면 설령 미량이더라도 에칭이나 성막 등의 진공처리에 악영향을 주어, 제조되는 FPD 등의 제품의 신뢰성을 저하시킬 우려가 있었다.
또, 종래의 게이트 밸브 구조로서, 진공처리실과 반출입용 진공실(로드 로크실)의 기밀성을 확보하기 위하여, 가동체의 양쪽에, 각 실의 개구부를 각각 밀봉하는 한 쌍의 밸브체를 배치한 게이트 밸브도 제안되어 있다(예를 들면, 특허문헌 2). 그러나, 특허문헌 2의 게이트 밸브는 상기 가동체로부터, 대기 쪽의 반입출용 진공실의 개구부와 진공처리실의 개구부의 양쪽을 향하여 정반대 방향으로 각 밸브체를 이동시킴으로써 양 개구부를 동시에 밀봉하는 구조이기 때문에, 반입출용 진 공실 쪽의 밸브체는, 고압 쪽으로부터 저압 쪽으로 향하는 차압 방향에 대하여 반대 방향으로 꽉 눌러지게 되어, 이 부분의 기밀성을 충분히 확보할 수 없다는 구조상의 문제가 있었다.
특허문헌 1. 일본 공개특허공보 2005-12185호(도 3 등)
특허문헌 2. 일본 공개특허공보 평5-99348호(도 1 등)
상기와 같이, 로드 로크실과 진공처리실의 기밀성을 충분히 확보할 수 없는 경우에는 진공처리실에 로드 로크실 쪽으로부터 수분을 함유하는 공기가 혼입되어 피처리 기판의 처리에 악영향을 줄 우려가 있다.
또, 가령 게이트 밸브의 밀폐성을 확보할 수 있었다고 하더라도, 로드 로크실 내는 반복해서 대기 개방 상태에 놓여지기 때문에, 대기 중에 함유되는 수분이 배기 후의 로드 로크실 내에 잔존하고 있으면, 게이트 밸브를 열어 피처리 기판을 통과시킬 때에, 잔존한 수분이 진공처리실 내로 이행하게 된다는 문제가 있다. 특히, 로드 로크실을 고속 배기한 경우에는 급격한 압력 감소에 따라, 대기 중의 수분이 무화되어, 로드 로크실의 내부에 부착되어 잔존하기 쉬워져서, 이것이 게이트 개구를 거쳐 진공처리실로 혼입되기 쉬워진다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 진공처리실로의 수분의 혼입을 확실하게 방지하는 것이 가능한 진공처리장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
즉, 먼저 첫째로, 로드 로크실과 진공처리실 사이의 기밀성을 충분히 확보할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 둘째로, 로드 로크실 내를 배기하는 과정에서의 수분의 잔존이나 무화를 방지할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 제 1 관점은 기판에 대하여 진공 중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실과, 상기 기판이 상기 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실과, 상기 진공처리실과 상기 진공예비실 사이에 있어서, 이중으로 배치된 게이트 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 제공한다.
상기 제 1 관점에 의하면, 진공처리실과 진공예비실 사이에 게이트 밸브를 이중으로 배치하였으므로, 게이트 밸브를 닫은 상태에서는 진공예비실과 진공처리실의 격리가 확실하게 이루어지고, 대기 상태와 고진공 상태를 반복하는 진공예비실로부터 진공처리실로의 수분의 혼입을 최대한 저감하는 것이 가능하게 된다.
상기 제 1 관점에 있어서, 상기 진공처리실에 형성된 개구를 개폐하는 제 1 게이트 밸브와, 상기 제 1 게이트 밸브에 인접 배치되고, 상기 제 1 게이트 밸브와의 사이에 형성된 개구를 개폐하는 제 2 게이트 밸브를 구비하는 것이 바람직하다.
또, 상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 동기하여 개폐하는 것이 바람직하다.
또, 상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 밀봉시에 상대적으로 고압이 되는 진공예비실 쪽으로부터 저압이 되는 진공처리실 쪽으로 향하여 밸브체 를 가압하는 것임이 바람직하다. 이와 같이, 각 게이트 밸브의 밸브체는 밀봉시에 차압 방향, 즉, 대기압 쪽의 진공예비실로부터 진공 쪽의 진공처리실의 방향으로 가압되므로, 밀봉이 확실하게 이루어진다.
또, 상기 제 1 게이트 밸브에는 밸브 용기 내를 감압 배기하기 위한 배기관이 접속되어 있는 것이 바람직하다.
이에 의하여, 진공예비실 내를 대기 개방한 상태로 두더라도, 진공처리실과의 사이에, 내부가 소정 압력까지 감압된 제 1 게이트 밸브의 밸브 용기를 개재시키는 것이 가능해져, 진공예비실로부터 진공처리실로의 공기의 리크를 더욱 확실하게 방지하여, 진공처리실로의 수분의 혼입을 방지할 수 있다.
또, 상기 진공예비실에는 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관이 접속되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 진공예비실에는 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 공급원이 접속되어 있는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 제 2 관점은, 기판에 대하여 진공 중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실과, 상기 기판이 상기 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실과, 상기 진공예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관과, 상기 배기관에 접속되고, 상기 진공예비실 내를 진공 배기하기 위한 배기수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 제공한다.
상기 제 2 관점에 있어서, 상기 복수의 배기관은 제 1 배기관과, 상기 제 1 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 2 배기관과, 상기 제 2 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 3 배기관을 구비하는 것이 바람직하다.
상기 제 2 관점의 진공처리장치에서는, 유로 컨덕턴스가 다른 배기관을 배치함으로써, 이들을 조합하여 복수의 패턴의 배기 경로를 구성하는 것이 가능해진다. 그리고, 진공예비실을 배기하는 과정에서 배기 경로를 전환함으로써 급격한 압력 저하에 따른 수분의 무화를 방지하는 것이 가능해진다.
또, 본 발명의 제 3 관점은, 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기방법에 있어서, 상기 진공예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관을 이용하여 배기 속도를 전환하여, 단계적으로 배기 속도를 크게 하여 배기를 행하는 것을 특징으로 하는 진공예비실의 배기방법을 제공한다.
상기 제 3 관점에서는, 진공예비실을 진공 상태까지 배기할 때에, 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관을 이용하여 배기 속도를 전환하여, 단계적으로 배기 속도를 크게 하여 배기를 행함으로써, 진공예비실 내의 급격한 압력 저하에 따른 수분의 무화를 방지하는 것이 가능해진다.
상기 제 3 관점에 있어서, 상기 진공예비실 내의 압력을 기준으로 하여 상기 배기 속도의 전환을 행하는 것이 바람직하다. 또, 상기 진공예비실 내가 소정 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공예비실 내에 소정 시간 퍼지 가스를 도입하는 것이 바람직하다.
본 발명의 제 4 관점은, 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기방법에 있어서, 상기 진공예비실 내가 소정 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공예비실 내에 소정 시간 퍼지 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는 진공예비실의 배기방법을 제공한다.
상기 제 4 관점에 의하면, 퍼지 가스의 도입에 의하여, 감압 하에서 진공예비실 내의 분위기를 퍼지 가스로 치환하는 것이 가능해진다. 이에 의해서, 진공예비실 내에 잔존하고 있는 수분을 확실하게 제거할 수 있다.
또, 본 발명의 제 5 관점은, 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태로부터 승압하는 진공예비실의 승압방법에 있어서, 상기 진공예비실 내를 대기 개방할 때에 소정 유량으로 퍼지 가스를 도입함으로써, 대기 개방 상태에서 상기 진공예비실 내를 양압(陽壓)으로 하는 것을 특징으로 하는 진공예비실의 승압방법을 제공한다.
상기 제 5 관점에 의하면, 대기 개방과 동시에, 진공예비실 내에 소정 유량으로 퍼지 가스를 도입하여 내부를 양압으로 함으로써, 클린 룸 내로부터의 대기의진입이 억제되어, 수분이나 입자가 진공예비실 내에 진입하는 것을 방지할 수 있다.
이하에서 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관련된 진공처리장치(100)의 개략 구성을 도시한 사시도, 도 2는 도 1의 진공처리장치(100)에 있어서의 주요부를 도시한 수평 단면도이다. 진공처리장치(100)는 진공 분위기에서 투명한 LCD 유리 기판 등의 기판(G)에 대하여 플라즈마 에칭 처리나 박막 형성 처리 등의 원하는 진공처리를 행하는 진공처리실(10)과, 이 진공처리실(10)에 이어져 설치되고, 진공예비실로서 기능하는 로드 로크실(20)과, 진공처리실(10)과 로드 로크실(20) 사이에 이중으로 설치된 게이트 밸브(30a, 30b)와, 로드 로크실(20)과 외부의 대기 쪽 반송기구(50)를 가로막는 게이트 밸브(40)를 구비하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 진공처리실(10)에는 배기 제어 밸브(61)를 개재하여 배기수단으로서의 진공 펌프(60)가 접속되어 있어, 기판(G)의 소정의 진공처리에 필요한 진공도까지의 진공 배기가 가능하게 되어 있다. 또, 진공처리실(10)에는 가스 제어 밸브(11)를 개재하여 처리 가스 공급부(12)가 접속되어 있어, 진공처리실(10)의 내부에, 소정 압력의 처리 가스 분위기를 형성하는 것을 가능하게 하고 있다. 진공처리실(10)의 내부에는 처리 스테이지(13)가 설치되고, 처리 대상인 기판(G)이 탑재된다.
로드 로크실(20)에는 컨덕턴스가 다른 세 개의 배기관(21, 22, 23)이 접속되어 있고, 각 배기관(21, 22, 23)의 도중에는 각각 개폐 밸브(62, 63, 64)가 배치되 어 있다. 각 배기관(21, 22, 23)은 각각 진공펌프(60)에 접속되어, 로드 로크실(20) 내를, 진공처리실(10)과 동등한 진공도까지 진공 배기하는 것을 가능하게 하고 있다.
또, 로드 로크실(20)에는 가스 제어 밸브(25)를 거쳐 퍼지 가스로서의 N2 가스를 도입하기 위한 N2 가스 공급원(26)이 접속되어 있어, 로드 로크실(20)의 내부에, N2 가스를 도입할 수 있게 구성되어 있다.
도시한 바와 같이, 본 실시형태의 진공처리장치에서는 진공처리실(10)과 로드 로크실(20) 사이에, 게이트 밸브(30a, 30b)가 이중으로 배치된 구성으로 되어 있다. 게이트 밸브(30a)는 진공처리실(10)과 로드 로크실(20)을 연통(連通)시키고, 기판(G)이 통과 가능한 크기의 개구(90)(도 3 참조; 후술함)의 개폐 동작을 행하는 밸브체(31a)를 갖고 있다. 또, 마찬가지로, 게이트 밸브(30b)도, 진공처리실(10)과 로드 로크실(20)을 연통시키고, 기판 반송장치(70)에 지지된 기판(G)이 통과 가능한 크기의 개구(94)(도 3 참조; 후술함)의 개폐 동작을 행하는 밸브체(31b)를 갖고 있다. 또한, 도 2는 게이트 밸브(30a, 30b)를 양쪽 모두 닫은 상태를 도시하고 있다.
또, 진공처리실(10) 쪽에 배치된 게이트 밸브(30a)에는 배기관(27)이 배치되어 있다. 배기관(27)은 진공 펌프(60)와 접속되어 있고, 그 도중에는 배기 제어 밸브(65)가 설치되어 있다. 배기관(27)을 설치함으로써, 게이트 밸브(30a, 30b)를 닫은 상태에서, 게이트 밸브(30a)의 밸브 박스체(95a) 내를 배기하여 소정의 압력 까지 감압하는 것이 가능해진다. 이와 같이, 게이트 밸브(30a)에 배기수단을 접속함으로써, 게이트 밸브(30a, 30b)를 닫아, 로드 로크실(20) 내를 대기 개방한 상태로 두더라도, 진공처리실(10)과의 사이에, 밸브 박스체(95a)의 내부 전체가 감압 상태로 된 게이트 밸브(30a)를 개재시키는 것이 가능해지기 때문에, 로드 로크실(20)로부터 진공처리실(10)로의 공기의 리크를 더욱 확실하게 방지하는 것이 가능하게 되어, 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 방지할 수 있다.
게이트 밸브(40)에는 로드 로크실(20)과 외부의 대기 쪽을 연통시키고, 상기 대기 쪽 반송기구(50)에 지지된 기판(G)이 통과 가능한 크기의 개구부(41)와, 이 개구부(41)의 개폐 동작을 행하는 밸브체(42)가 설치되어 있다.
로드 로크실(20)의 내부에는 기판 반송장치(70)가 설치되어 있다. 이 기판 반송장치(70)는 로드 로크실(20)의 바닥부에 고정된 베이스 플레이트(도시하지 않음)와, 이 베이스 플레이트의 위에 적층되고, 기판(G)이 올려놓여지는 기판 지지대로서의 슬라이드 플레이트(74)를 구비하고 있다. 슬라이드 플레이트(74)에는 올려놓여지는 기판(G)의 하면을 지지하는 대략 "コ" 모양의 슬라이드 피크부(74a)가 설치되어 있다.
기판 반송장치(70)는 도 2에 예시되는 축퇴(縮退) 상태로부터, 도시하지 않은 구동 모터를 작동시킴으로써, 기판(G)을 올려놓은 상태의 슬라이드 플레이트(74)가 상기 도면의 지면을 향하여 오른쪽 방향으로 이동함으로써, 슬라이드 피크부(74a)에 지지된 기판(G)을 로드 로크실(20)로부터 진공처리실(10)을 향하여 반입한다. 또, 반대로 진공처리실(10)로부터 기판(G)을 반출하는 경우에는 진공처리 실(10) 내에서 슬라이드 피크부(74a)에 의하여 기판(G)을 받은 후, 도시하지 않은 구동 모터를 역전시킴으로써, 도 2에 예시되는 축퇴 상태로 할 수 있다.
로드 로크실(20)의 내부에 있어서, 기판 반송장치(70)를 사이에 두는 위치에는 버퍼 플레이트(81) 및 버퍼 플레이트(82)와, 이 버퍼 플레이트(81) 및 버퍼 플레이트(82)를 승강시키는 도시하지 않은 버퍼 승강기구를 구비한 기판 교환기구(80)가 설치되어 있고, 기판 반송장치(70)의 슬라이드 플레이트(74)에 올려놓여진 기판(G)의 주변부를 버퍼 플레이트(81) 및 버퍼 플레이트(82)로 아래쪽으로부터 지지하여, 당해 슬라이드 플레이트(74)로부터 기판(G)을 부상시키는 동작, 및 대기쪽 반송기구(50)로부터 받은 기판(G)을 슬라이드 플레이트(74) 위에 강하시키는 동작, 등의 기판 교환 동작을 행한다.
도 1을 참조하건대, 대기쪽 반송기구(50)는 선회 및 신축이 가능한 반송 아암(51)을 구비하고 있고, 복수의 기판(G)이 수납된 기판 랙(55)으로부터 처리하지 않은 1매의 기판(G)을 꺼내어, 게이트 밸브(40)를 개재하여 로드 로크실(20) 내의 기판 반송장치(70)에 건네는 동작, 및 처리된 기판(G)을 로드 로크실(20) 내의 기판 반송장치(70)로부터 받아 게이트 밸브(40)를 개재하여 대기 쪽으로 꺼내어, 기판 랙(55)에 수납하는 동작을 행한다.
도 3 및 도 4에, 게이트 밸브(30a, 30b)의 단면 구조를 도시한다.
게이트 밸브(30a)는 진공처리실(10)의 측벽(10a)에 설치된 기판 반입 출구(90)를 로드 로크실(20) 쪽으로부터 개폐한다. 게이트 밸브(30a)는 기판(G)을 수평 자세로 반입출 가능한 개구(90)를 폐색할 수 있도록, 가로가 길게 형성된 밸 브체(31a)와, 이 밸브체(31a)를 한 쌍의 크랭크(32a, 33a)를 개재하여 지지하는 승강 이동 가능한 가로가 긴 밸브 본체(34a)를 갖고 있다.
밸브 본체(34a)는 에어 실린더(35a)의 피스톤 로드(36a)에 연결되는 동시에, 수직으로 배치되어 있는 가이드 레일(37a)에 의해서 슬라이딩이 가능하게 안내되게 되어 있다. 즉, 에어실린더(35a)를 작동시켜서, 피스톤 로드(36a)를 상하로 승강시키면, 밸브 본체(34a)가 가이드 레일(37a)의 안내에 의해 수직 방향으로 승강 이동하게 되어 있다.
크랭크(32a, 33a)는 밸브 본체(34a)의 좌측 면과 밸브체(31a)의 좌측 면과의 사이, 및 밸브 본체(34a)의 우측 면과 밸브체(31a)의 우측 면과의 사이에 각각 걸쳐져 있다[또한, 도 3 및 도 4에서는 우측 면의 크랭크(32a, 33a)만을 도시하고 있다]. 또, 밸브체(31a)의 상면에는 천정부(91a)와의 마찰을 회피하기 위한 롤(38a)이 부착되어 있다.
게이트 밸브(30b)는 게이트 밸브(30a)와 로드 로크실(20) 사이에 배치되고, 게이트 밸브(30a)와 게이트 밸브(30b)를 구획하는 격벽(92)에 형성된 개구(94)를 개폐한다. 또한, 도 3 및 도 4 내의 부호 (93)은 기판(G)을 반입출시키기 위하여 로드 로크실(20)의 측벽에 마련된 개구이다.
게이트 밸브(30b)는 기판(G)을 수평 자세로 반입출시키는 것이 가능한 개구(94)를 폐색할 수 있도록, 가로가 길게 형성된 밸브체(31b)와, 이 밸브체(31b)를 한 쌍의 크랭크(32b, 33b)를 개재하여 지지하는 승강 이동 가능한 가로가 긴 밸브 본체(34b)를 갖고 있다.
밸브 본체(34b)는 에어 실린더(35b)의 피스톤 로드(36b)에 연결되는 동시에, 수직으로 배치되어 있는 가이드 레일(37b)에 의해서 슬라이딩 가능하게 안내되게 되어 있다. 따라서, 에어 실린더(35b)를 작동시켜서, 피스톤 로드(36b)를 상하로 승강시키면, 밸브 본체(34b)가 가이드 레일(37b)의 안내에 의해 수직 방향으로 승강 이동하게 되어 있다.
크랭크(32b, 33b)는 밸브 본체(34b)의 좌측 면과 밸브체(31b)의 좌측 면과의 사이, 및 밸브 본체(34b)의 우측 면과 밸브체(31b)의 우측 면과의 사이에 각각 걸쳐져 있다[또한, 도 3 및 도 4에서는 우측 면의 크랭크(32b, 33b)만을 도시하고 있다]. 또, 밸브체(31b)의 상면에는 천정부(91b)와의 마찰을 회피하기 위한 롤(38b)이 부착되어 있다.
도시하지 않은 작동 에어 공급원으로부터는, 작동 에어가 에어 실린더(35a, 35b)에 균등하게 분배되는 동시에, 에어 실린더(35a)의 구동력은 피스톤 로드(36a)에, 또한 에어 실린더(35b)의 구동력은 피스톤 로드(36b)에 전달되도록 구성되어 있다. 따라서, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)는 각각 동기하여 개구(90) 및 개구(94)를 밀봉하거나 또는 밀봉을 해제한다. 게이트 밸브(30a, 30b)가 열려 있을 때에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 밸브체(31a, 31b)는 개구(90, 94)보다 낮은 대기 위치에 놓여지고, 밸브 본체(34a, 34b)는 밸브체(31a, 31b)보다 더 낮은 대기 위치에서 대기하고 있다.
게이트 밸브(30a, 30b)를 닫을 때에는, 도 3의 상태로부터 에어 실린더(35a, 35b)를 작동시켜서 피스톤 로드(36a, 36b)를 소정의 스트로크로 전진시킨다. 그리 고, 도 4에 도시한 바와 같이, 밸브 본체(34a, 34b)와 밸브체(31a, 31b)가 각각의 원 위치로부터 서로 평행하게 수직으로 상승하여, 밸브체(31a, 31b)의 롤(38a, 38b)이 천정면(91a, 91b)에 맞닿고, 뒤이어 밸브 본체(34a, 34b)가 스토퍼(39a, 39b)에 맞닿는다.
그리고, 크랭크(32a, 33a) 및 크랭크(32b, 33b)가 움직여서, 밸브체(31a, 31b)가 개구(90, 94)를 향하여 밀려나와, 개구(90) 주위[측벽(10a)] 및 개구(94) 주위[격벽(92)]에 바싹 닿는다. 이 동작 시에는 롤(38a, 38b)이 천정면(91a, 91b)에서 수평 방향으로 전동(轉動)함에 따라, 밸브체(31a, 31b)는 수평으로 이동하여 상기 개구(90, 94) 주위의 벽에 가로 방향으로 밀어붙여진다. 개구(90, 94) 주위에는 O-링 등의 밀봉부재(도시하지 않음)가 부착되어 있기 때문에, 밸브체(31a, 31b)는 각각 높은 기밀성을 갖고 개구(90, 94) 주위에 바싹 닿아, 개구(90, 94)를 밀봉할 수 있다.
도 4에 도시한 폐쇄 상태로부터, 게이트 밸브(30a, 30b)를 열 때에는 에어 실린더(35a, 35b)를 작동시켜서 피스톤 로드(36a, 36b)를 왕동(往動)시와 동일한 스트로크만큼 하강시킴으로써, 밀봉 과정 동작의 역 동작에 의해서 밸브 본체(34a, 34b) 및 밸브체(31a, 31b)가 각각 원래의 대기위치로 되돌아가, 개구(90, 94)의 밀봉이 해제된다.
또한, 도 3 및 도 4에 도시한 게이트 밸브(30a, 30b)에서는 1 계통의 작동 에어를 에어 실린더(35a, 35b)에 균등하게 분배하여, 게이트 밸브(30a, 30b)를 동시에 동작시키는 구성으로 하였으나, 에어 실린더(35a, 35b)에 각각 별개로 작동 에어 공급원을 설치하여 작동 에어를 공급하는 구성으로 하고, 게이트 밸브(30a, 30b)를, 어떤 일정한 시간 간격을 두고 개별적으로 동작시키는 것도 가능하다.
다음으로, 본 실시형태의 진공처리장치(100)에 있어서의 기판(G)의 처리 순서에 대하여 설명한다. 먼저, 기판반송장치(70)는 로드 로크실(20) 내에 축퇴 상태가 되어, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)가 닫혀져, 진공처리실(10)의 내부는 진공펌프(60)에서 필요한 진공도로 배기된다. 또, 이 상태에서 배기 제어 밸브(65)를 열어 배기관(27)을 개재하여 게이트 밸브(30a)의 밸브 박스체(95a) 내를 감압 배기한다.
대기 쪽 반송기구(50)는 반송 아암(51)에 의해, 처리하지 않은 기판(G)을 기판 랙(55)으로부터 꺼내어, 게이트 밸브(40)의 개구부(41)를 통하여 로드 로크실(20) 내에 반입하여, 기판 반송장치(70)의 슬라이드 플레이트(74)의 바로 윗부분에 위치 결정 한다.
다음으로, 버퍼 플레이트(81) 및 버퍼 플레이트(82)가 상승하여 기판(G)의 주변부를 양쪽으로부터 들어올림으로써, 기판(G)은 반송 아암(51)으로부터 부상한다.
그 후, 반송 아암(51)을 대기 쪽으로 빼내어 로드 로크실(20)의 외부로 퇴피시킨 후, 버퍼 플레이트(81) 및 버퍼 플레이트(82)를 하강시킴으로써, 기판(G)은 기판 반송장치(70)의 슬라이드 플레이트(74)[슬라이드 피크부(74a)] 위로 이행하여 올려놓여진다.
그리고, 게이트 밸브(40)의 밸브체(42)를 닫아 로드 로크실(20)을 밀폐 상태 로 하고, 개폐 밸브(62, 63, 64) 중 어느 하나 이상을 여는 동시에 진공 펌프(60)를 작동시킴으로써, 로드 로크실(20) 내를 진공처리실(10)과 동일한 정도의 진공도까지 배기한 후, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)에 의한 개구(90, 94)의 밀봉을 해제한다. 이 때, 로드 로크실(20)은 진공 배기되어 있기 때문에, 진공처리실(10)의 진공도나 분위기가 손상되는 일은 없다.
다음으로, 개구(93, 90, 94)를 통하여, 기판 반송장치(70)의 슬라이드 플레이트(74)를 진공처리실(10)의 내부를 향하여 진입시켜, 기판(G)을 진공처리실(10)의 처리 스테이지(13)의 바로 윗부분에 반입하고, 진공처리실(10) 내에 설치된 도시하지 않은 밀어올림 핀 등을 개재하여 처리 스테이지(13) 위에 올려놓는다. 그 후에, 슬라이드 플레이트(74)를 로드 로크실(20) 내에 축퇴시켜서 퇴피시키고, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)에 의하여 개구(90, 94)를 밀봉하여, 진공처리실(10)을 밀폐한다.
그 후, 밀폐된 진공처리실(10) 내에, 처리 가스 공급부(12)로부터 필요한 가스를 도입하여 처리 가스 분위기를 형성하고, 기판(G)에 필요한 처리를 실시한다.
소정 시간 경과 후, 처리 가스의 도입을 정지하여, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)를 하강시켜서 개구(90, 94)의 밀봉을 해제한다. 그리고, 로드 로크실(20) 내의 기판 반송장치(70)의 슬라이드 플레이트(74)를 진공처리실(10)의 내부에 다단으로 신장시키고, 상술한 반입 동작과 반대의 순서로, 진공처리실(10)의 처리된 기판(G)을 처리 스테이지(13) 위로부터 슬라이드 플레이트(74) 위로 이행시켜서 슬라이드 플레이트(74)를 축퇴시켜, 로드 로크실(20) 내로 반출한다. 그 후, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)에 의하여 개구(90, 94)를 닫아 진공처리실(10)을 밀폐한다. 또, 상기와 동일하게 배기 제어 밸브(65)를 열어 배기관(27)을 개재하여 게이트 밸브(30a)의 밸브 박스체(95a) 내를 감압 배기한다.
그 후, 로드 로크실(20)의 배기를 정지하는 동시에, 버퍼 플레이트(81, 82)를 상승시켜서, 기판(G)의 주변부를 지지하여 부상시키고, 후술하는 압력 조정 라인(28, 29)(도 5 참조)을 개재하여 N2 등을 서서히 도입하여 대기에 가까운 압력으로 한 후, 게이트 밸브(40)의 밸브체(42)를 열어, 대기 쪽 반송기구(50)의 반송 아암(51)을 부상한 기판(G)의 하측에 삽입하고, 그 상태에서 버퍼 플레이트(81, 82)를 강하시킴으로써, 기판(G)을 반송 아암(51)에 이행시킨다.
그리고, 반송 아암(51)을 대기 쪽으로 꺼냄으로써, 처리된 기판(G)을 로드 로크실(20)로부터 대기 쪽으로 반출하여, 기판 랙(55)에 수납한다.
이상과 같은 구성의 진공처리장치(100)에서는 게이트 밸브(30a, 30b)를 이중으로 배치하였으므로, 게이트 밸브(30a, 30b)를 닫은 상태에서는 로드 로크실(20)과 진공처리실(10)의 격리가 확실하게 이루어져, 대기 상태와 고진공 상태를 반복하는 로드 로크실(20)로부터 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 최대한 저감하는 것이 가능해진다.
또, 게이트 밸브(30a, 30b)의 밸브체(31a, 31b)는 밀봉시에 차압 방향, 즉, 대기압 쪽의 로드 로크실(20)로부터 진공 쪽의 진공처리실(10)의 방향으로 가압되므로, 밸브체(31a, 31b)에 의한 밀봉이 확실하게 이루어진다.
또한, 게이트 밸브(30a)의 밸브 박스체(95a) 내부를 감압 배기하는 배기관(27)을 설치하였으므로, 로드 로크실(20) 내를 대기 개방한 상태로 두더라도, 진공처리실(10)과의 사이에, 내부가 소정 압력까지 감압된 게이트 밸브(30a)의 밸브 박스체(95a)를 개재시키는 것이 가능해져, 로드 로크실(20)로부터 진공처리실(10)로의 공기의 리크를 더욱 확실하게 방지하여, 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 방지할 수 있다.
다음으로, 도 5 및 도 6을 참조하면서, 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 더욱 확실하게 방지하기 위한 로드 로크실(20)의 배기와 가스 치환의 순서에 대하여 설명한다. 도 5에, 로드 로크실(20)의 배기 경로와 퍼지 가스 공급 경로의 개략 구성을 모식적으로 도시하였다. 상기한 바와 같이, 로드 로크실(20)에는 각각 컨덕턴스가 다른 배기관(21, 22, 23)이 접속 배치되어 있다. 구체적으로는 각 배기관(21, 22, 23)에는 그 도중에 도시하지 않은 오리피스(조리개 부)가 배치되어 있고, 각 오리피스의 직경을 다른 것으로 함으로써, 배기관(21, 22, 23)의 유로 컨덕턴스를 조정하고 있다. 또한, 각 배기관(21, 22, 23)의 직경을 변화시켜서 원하는 컨덕턴스가 되도록 조절해도 된다.
배기관(21)의 도중에는 개폐 밸브(62)가, 배기관(22)의 도중에는 개폐 밸브(63)가, 배기관(23)의 도중에는 개폐 밸브(64)가 각각 설치되어 있다. 각 배기관(21, 22, 23)은 메카니컬 부스터 펌프(MBP)(60a) 및 드라이 펌프(DP)(60b)[진공펌프(60)]에 접속되어 있어, 로드 로크실(20) 내를 진공 배기할 수 있게 되어 있다.
또, 로드 로크실(20)에는 N2 가스 공급 라인(24)을 개재하여 N2 가스 공급원(26)이 접속되어 있어, 로드 로크실(20) 내에 퍼지 가스로서의 N2 가스를 공급할 수 있게 되어 있다.
또한, 로드 로크실(20)은 컨덕턴스가 큰 압력 조정용 라인(28) 및 컨덕턴스가 작은 압력 조정용 라인(29)을 개재해서도 N2 가스 공급원(26)과 접속되어 있어, 개폐 밸브(65)와 개폐 밸브(66)를 전환하여 N2 가스를 서서히 도입함으로써, 진공 상태의 로드 로크실(20) 내를 대기 개방할 때의 급격한 압력 상승을 억제할 수 있게 되어 있다.
배기관(21)은 유로 컨덕턴스가 가장 큰 고속 배기용의 배기 경로로서 기능하는 것이다. 배기관(23)은 배기관(21)에 비하여 유로 컨덕턴스가 작고, 또한 배기관(22)은 배기관(23)에 비하여 유로 컨덕턴스가 더 작은 배기 관로이다. 이들 배기관(21, 22, 23)을 설치하고, 개폐 밸브(62, 63, 64)의 개폐를 조합함으로써, 복수의 배기 경로 패턴을 만들어 낼 수 있게 되어 있다. 예를 들면, 본 실시형태에서는 배기관(21)의 오리피스 직경을 40㎜, 배기관(22)의 오리피스 직경을 10㎜, 배기관(23)의 오리피스 직경을 15㎜로 하였다. 또한, 배기관의 갯수는 세 개로 한정하는 것은 아니며, 예를 들면, 배기관의 갯수를 n개로 하였을 때에는 조합에 의하여 (2n-1) 패턴의 배기 경로를 만들어 낼 수 있다.
본 실시형태에 있어서, 개폐 밸브(62, 64)를 닫고 개폐 밸브(63)를 연 상태 에서는, 최소 개구 직경이 10㎜인 배기관(22)에 의하여 배기가 행해지므로, 유로 컨덕턴스가 최소인 배기 경로(「제 1 배기 경로」라 함)가 구성된다.
또, 개폐 밸브(62, 63)를 닫고 개폐 밸브(64)를 연 상태에서는, 최소 개구 직경이 15㎜인 배기관(23)에 의하여 배기가 행해지므로, 배기관(22)에 의한 제 1 배기 경로보다 유로 컨덕턴스가 약간 큰 배기 경로(「제 2 배기 경로」라 함)가 구성된다.
또, 개폐 밸브(62)를 닫고 개폐 밸브(63)와 개폐 밸브(64)를 연 상태에서는, 배기관(22)과 배기관(23)의 최소 개구 직경의 합계는 25㎜(10㎜＋15㎜)가 되므로, 배기관(23)에 의한 제 2 배기 경로에 비하여 유로 컨덕턴스가 약간 더 큰 배기 경로(「제 3 배기 경로」라 함)가 구성된다.
또한, 개폐 밸브(63, 64)를 닫고 개폐 밸브(62)만을 연 상태에서는, 최소 개구 직경이 40㎜인 배기관(21)에 의하여 배기가 행해지므로, 유로 컨덕턴스가 더 큰 고속 배기 경로(「제 4 배기 경로」라 함)가 구성된다.
이와 같이, 유로 컨덕턴스가 다른 배기관(21, 22, 23)을 배치하고, 밸브(62, 63, 64)의 개폐를 전환함으로써, 복수의 패턴의 배기 경로를 구성하는 것이 가능해진다. 그리고, 로드 로크실(20)을 배기하는 과정에서, 이들 제 1∼제 4 배기 경로를 전환함으로써, 급격한 압력 저하에 따른 수분의 무화를 방지하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 배기 과정에 있어서의 배기 경로의 전환은 로드 로크실(20) 내의 압력을 지표로 하여 행하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 대기압의 101,325 Pa(760 Torr)부터 배기를 행하고, 로드 로크실(20) 내를 배기해 가는 과정에서, 대 략 26,664 Pa(200 Torr)까지는 수분의 무화가 일어나기 쉽기 때문에, 이 압력에 도달할 때까지의 강압 과정에서는 제 4 배기 경로에 의한 고속 배기는 피하는 것이 바람직하다.
도 6에, 로드 로크실(20) 내를 대기 개방하고 나서 고진공 상태까지 배기하는 순서의 바람직한 예를 도시한다. 또한, 제 1 배기 경로부터 제 4 배기 경로까지의 전환을 행하는 압력값은 이하의 예에 제약받는 것이 아니라 적절하게 설정할 수 있다. 또, 압력이 아니라, 예를 들면 시간을 기준으로 제 1 배기 경로부터 제 4 배기 경로까지의 전환을 행해도 된다.
먼저, 단계 S11에서는 게이트 밸브(40)를 열어 로드 로크실(20)을 대기 개방한 상태로 두고, 대기 개방과 동시에, 필요에 따라 가스 제어 밸브(25)를 열어 로드 로크실(20) 내에 소정 유량으로 N2 가스를 퍼지해 둔다. 이에 의하여, 로드 로크실(20) 내가 양압이 되기 때문에, 클린 룸 내로부터의 대기의 진입이 억제되어, 수분이나 입자가 로드 로크실(20) 내로 진입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 게이트 밸브(30a, 30b)는 닫혀 있다.
그 다음에, 단계 S12에서는 대기 개방 상태로부터 게이트 밸브(40)를 닫아 로드 로크실(20)을 폐쇄한다.
그 다음에, 단계 S13에서는 개폐 밸브(62, 64)를 닫고 개폐 밸브(63)를 열어, 메카니컬 부스터 펌프(MBP)(60a) 및 드라이 펌프(DP)(60b)를 작동시켜서, 제 1 배기 경로에 의하여 로드 로크실(20) 내의 배기를 행한다. 이 단계 S13에 있어서 의 배기는 로드 로크실(20) 내의 압력이, 예를 들면 약 79,992 Pa(600 Torr)로 저하할 때까지를 목표로 실시한다.
로드 로크실(20) 내의 압력이 약 79,992 Pa(600 Torr)로 저하하면, 예를 들면 3초 후에, 단계 S13의 상태로부터 개폐 밸브(63)를 닫고 개폐 밸브(64)를 열어, 제 2 배기 경로에 의하여 배기를 행한다(단계 S14). 이 단계 S14에 있어서의 배기는 로드 로크실(20) 내의 압력이, 예를 들면 약 53,328 Pa(400 Torr)로 저하할 때까지를 목표로 실시한다.
로드 로크실(20) 내의 압력이 약 53,328 Pa(400 Torr)로 저하하면, 예를 들면 5초 후에, 단계 S14의 상태로부터, 다시 개폐 밸브(63)를 열어 제 3 배기 경로로 전환하여 배기를 행한다(단계 S15). 이 단계 S15에 있어서의 배기는 로드 로크실(20) 내의 압력이, 예를 들면 약 26,664 Pa(200 Torr)로 저하할 때까지를 목표로 실시한다.
로드 로크실(20) 내의 압력이 약 26,664 Pa(200 Torr)로 저하하면, 예를 들면 1초 후에 단계 S15의 상태로부터 개폐 밸브(63, 64)를 닫고 개폐 밸브(62)만을 열어, 제 4 배기 경로로 전환하여 고속 배기를 행한다(단계 S16). 이 단계 S16에 있어서의 배기는 로드 로크실(20) 내의 압력이 약 26,664 Pa(200 Torr)부터 소정의 고진공 상태로 저하할 때까지 실시한다.
이와 같이, 단계 S13∼단계 S16에서는 제 1 배기 경로부터 제 4 배기 경로까지를 로드 로크실(20) 내의 압력에 따라서 전환함으로써, 배기 과정에서 대기 중의 수분이 무화되기 쉬운 26,664 Pa(200 Torr) 부근까지의 강압 과정에서는 여유있는 배기부터 서서히 배기 속도를 올려 가서, 수분의 무화가 일어나기 어려운 약 26,664 Pa(200 Torr) 이하에서는 고속 배기로 이행함으로써, 로드 로크실(20) 내의 수분을 확실하게 제거하여, 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 방지할 수 있다.
그리고, 단계 S16에서의 배기가 진행되어, 로드 로크실(20) 내부의 압력이 53.328 Pa(400 mTorr)에 도달한 단계에서, 가스 제어 밸브(25)를 열어 소정 유량, 예를 들면 6000∼8000 mL/min, 바람직하게는 7000 mL/min으로 로드 로크실(20) 내에 N2 가스를 도입한다(단계 S17). 또한, 도입하는 N2 가스의 유량은 진공 펌프(60)의 배기 능력에 따라서 설정할 수 있으나, 공기와 N2의 분압비로부터 상기 예시한 정도의 유량으로 하는 것이 바람직하다. 이 N2 가스 퍼지는 감압 하에서 로드 로크실(20) 내의 분위기를 N2로 치환함으로써, 로드 로크실(20) 내에 잔존하고 있는 수분을 최종적으로 제거하기 위하여 실시된다. 이 N2 가스의 퍼지는 로드 로크실(20) 내의 압력이 예를 들면 13.332 Pa(100 mTorr)에 도달할 때까지의 동안, 소정 시간, 예를 들면 15∼30초, 바람직하게는 23초 정도 걸려서 행하는 것이 바람직하다.
이상의 단계 S13부터 단계 S16까지의 순서로 제 1∼제 4 배기 경로를 전환하면서 로드 로크실(20) 내를 배기하고, 또한 단계 S17에서의 N2 가스 퍼지를 실시함으로써, 로드 로크실(20) 내의 수분의 무화와 잔류를 억제하면서, 로드 로크실(20) 내를 고진공 상태까지 감압하는 것이 가능해진다. 따라서, 이와 같이 하여 로드 로크실(20) 내를 감압 배기한 후, 게이트 밸브(30a, 30b)를 개방하여, 진공처리실(10)과의 사이에서 기판(G)을 주고받을 때에는 진공처리실(10)로의 수분의 혼입을 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고 본 발명의 사상의 범위 내에서 여러 가지 변형이 가능하다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는 기판으로서 LCD 기판을 처리하기 위한 진공처리장치를 예로 들었으나, 이것에 한정하지 않고, 다른 FPD 기판이나 반도체 웨이퍼를 처리하는 진공처리장치여도 된다. 또한, FPD로서는 액정 디스플레이(LCD) 이외에, 발광 다이오드(LED) 디스플레이, 일렉트로 루미네선스(Electro Luminescence; EL) 디스플레이, 형광 표시관(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 예시된다.
또, 상기 실시형태에서는 로드 로크실(20)에 유로 컨덕턴스가 다른 세 개의 배기관(21, 22, 23)을 배치하는 구성으로 하였으나, 네 개 이상을 배치하는 구성으로 하는 것도 가능하다.
또, 상기 실시형태에서는 진공처리실(10)에 진공예비실(20)이 인접하여 배치된 구성의 진공처리장치(100)를 예로 들어 설명하였으나, 진공처리실과 진공예비실 사이에 진공반송실을 개재하여 배치한 진공처리장치에도 본 발명을 적용할 수 있다.
(산업상의 이용가능성)
본 발명은 진공처리실과 진공예비실을 구비한 진공처리장치에 알맞게 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 대기 상태와 고진공 상태를 반복하는 진공예비실로부터 진공처리실로의 수분의 혼입을 최대한 저감하는 것이 가능해진다.

Claims (14)

  1. 기판에 대하여 진공 중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실과, 상기 기판이 상기 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실과, 상기 진공처리실과 상기 진공예비실 사이에 있어서, 이중으로 배치된 게이트 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 진공처리실에 형성된 개구를 개폐하는 제 1 게이트 밸브와, 상기 제 1 게이트 밸브에 인접 배치되고, 상기 제 1 게이트 밸브와의 사이에 형성된 개구를 개폐하는 제 2 게이트 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 동기하여 개폐하는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 게이트 밸브와 상기 제 2 게이트 밸브는 밀봉시에 상대적으로 고압이 되는 진공예비실 쪽으로부터 저압이 되는 진공처리실 쪽으로 향하여 밸브체를 가압하는 것임을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  5. 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 게이트 밸브에는 밸브 용기 내를 감압 배기하기 위한 배기관이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  6. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공예비실에는 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  7. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공예비실에는 퍼지 가스를 도입하는 퍼지 가스 공급원이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  8. 기판에 대하여 진공 중에서 소정의 처리를 행하는 진공처리실과, 상기 기판이 상기 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하고, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실과, 상기 진공예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관과, 상기 배기관에 접속되고, 상기 진공예비실 내를 진공 배기하기 위한 배기수단을 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 복수의 배기관은 제 1 배기관과, 상기 제 1 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 2 배기관과, 상기 제 2 배기관보다 유로 컨덕턴스가 큰 제 3 배기관을 구비하는 것을 특징으로 하는
    진공처리장치.
  10. 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기방법에 있어서,
    상기 진공예비실에 접속된 유로 컨덕턴스가 다른 복수의 배기관을 이용하여 배기 속도를 전환하여, 단계적으로 배기 속도를 크게 하여 배기를 행하는 것을 특징으로 하는
    진공예비실의 배기방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 진공예비실 내의 압력을 기준으로 하여 상기 배기 속도의 전환을 행하는 것을 특징으로 하는
    진공예비실의 배기방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 진공예비실 내가 소정 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공예비실 내에 소정 시간 퍼지 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는
    진공예비실의 배기방법.
  13. 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태까지 배기하는 배기방법에 있어서,
    상기 진공예비실 내가 소정 압력으로 감압된 단계에서, 배기를 계속하면서 상기 진공예비실 내에 소정 시간 퍼지 가스를 도입하는 것을 특징으로 하는
    진공예비실의 배기방법.
  14. 기판이 진공처리실에 반입출되는 과정에서 이것을 일시적으로 수용하는 동시 에, 그 내부가 대기 개방 상태와 진공 상태로 번갈아 유지되는 진공예비실을, 상기 진공 상태로부터 승압하는 진공예비실의 승압방법에 있어서,
    상기 진공예비실 내를 대기 개방할 때에 소정 유량으로 퍼지 가스를 도입함으로써, 대기 개방 상태에서 상기 진공예비실 내를 양압으로 하는 것을 특징으로 하는
    진공예비실의 승압방법.
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