CH708932B1 - Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats zwecks Montage von Halbleiterbauteilen. - Google Patents

Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats zwecks Montage von Halbleiterbauteilen. Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats, umfassend eine Platte (1) mit einer zentralen Ausnehmung (2), die wenigstens einen Substratplatz für das Bonden von «dies» zugänglich macht, und mit zwei beidseitig neben der Mitte der zentralen Ausnehmung (2) angeordneten, weiteren Ausnehmungen, eine Niederhalteplatte (10) mit einer Ausnehmung (11) und Niederhaltestegen (12), einen ersten und zweiten pneumatischen Antrieb sowie Druckleitungen (9) zum Zuführen eines Druckgases zu den Druckkammern der pneumatischen Antriebe. Jeder pneumatische Antrieb umfasst einen Zylinder (5, 6) und ein Antriebselement, zwischen denen eine Druckkammer gebildet ist. Der Zylinder (5) des ersten pneumatischen Antriebs ist über der einen weiteren Ausnehmung und der Zylinder (6) des zweiten pneumatischen Antriebs über der anderen weiteren Ausnehmung befestigt.
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