DE10058145B4 - Zylindervorrichtung - Google Patents

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DE10058145B4
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piston rod
cylinder device
chamber
cylinder tube
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1414Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type with non-rotatable piston
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
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Abstract

Zylindervorrichtung mit:
einem Zylinderrohr (16), das einen ersten Körper (12, 82) und einen zweiten Körper (14, 90) mit flacher plattenförmiger Gestalt aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie eine zylindrische Form mit einer im Inneren des Zylinderrohres (16) definierten Membrankammer (18) bilden;
einer Membran (20, 20a, 20b, 96), die in der Membrankammer (18) im Inneren des Zylinderrohres (16) und zwischen dem ersten Körper (12, 82) und dem zweiten Körper (14, 90) angeordnet ist, wobei die Membran (20, 20a, 20b, 96) eine erste Fluidkammer (18a) zwischen einer Seite der Membran und einer ersten Endwand der Membrankammer (18) und eine zweite Fluidkammer (18b) zwischen einer anderen Seite der Membran und einer zweiten Endwand der Membrankammer (18) definiert;
einem Paar Fluideinlass-/-auslassöffnungen (28a, 28b) zur Zufuhr von Fluid zu und zum Ablassen von Fluid aus der ersten und der zweiten Fluidkammer (18a, 18b);
einer Kolbenstange (32), deren eines Ende...

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Zylindervorrichtung, mit der ein Tisch entsprechend der flexiblen Durchbiegung einer Membran (Diaphragma), die als Kolben dient, verschoben werden kann.
  • Bekanntermaßen werden Pneumatikzylinder zur Verschiebung einer Kolbenstange gemeinsam mit einem Kolben verwendet, indem bspw. der Kolben entsprechend der Antriebswirkung von zugeführter Druckluft entlang einer Zylinderkammer in einem Zylinderrohr verschoben wird.
  • Wenn der oben beschriebene Pneumatikzylinder in aufrecht stehender Weise vertikal verwendet wird, hat die Größe des Zylinderrohres in Höhenrichtung (Vertikalrichtung) einen Wert, der durch Addieren des Verschiebungsweges des Kolbens, der Größe des Kolbens in Axialrichtung und der Wanddicken einer Stangenabdeckung und einer Kopfabdeckung erhalten wird.
  • Wenn eine flache Baugröße durch Reduzierung der Größe des Zylinderrohres in Höhenrichtung erreicht werden soll, ist es daher unvermeidbar, die Größe des Kolbens in Axialrichtung zu verkürzen. Dieses Verfahren stößt jedoch an gewisse Grenzen.
  • Aus der GB 600 000 ist eine Vorrichtung bekannt, bei der über eine Membran eine Traverse in eine Richtung verschoben werden kann, indem die Membran derart mit einem Fluid beaufschlagt wird, dass sie sich wölbt. Die Membran ist nicht an der Traverse befestigt, so dass letztere nicht allein über die Durchbiegung der Membran aufwärts und abwärts bewegt werden kann. Zur Rückbewegung der Traverse sind Druckfedern vorgesehen.
  • Eine ähnliche pneumatisch oder hydraulisch beaufschlagbare Betätigungsvorrichtung ist auch in der DE 41 08 312 C2 offenbart. Zwei jeweils mit einer Membran verbundene Gehäuseplatten können von einem Fluid auseinander gedrückt und durch eine Feder zueinander gezogen werden. Da die Gehäuseplatten lediglich durch zentral angeordnete zylindrische Führungselemente geführt werden, lassen sich die Gehäuseplatten zueinander verdrehen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine besonders flach bauende Zylindervorrichtung vorzuschlagen, mit der ein Tisch durch ein Fluid verdrehsicher in zwei entgegengesetzte Richtungen bewegbar ist.
  • Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
  • Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
  • Weiterbildungen, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von bevorzugten Ausführungsbeispielen und der Zeichnungen.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Zylindervorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung,
  • 2 zeigt einen Vertikalschnitt entlang einer Linie II-II von 1,
  • 3 zeigt einen Vertikalschnitt, der eine Ursprungsposition, an der ein Tisch abwärts bewegt wird, darstellt,
  • 4 zeigt einen vergrößerten vertikalen Teilschnitt aus 3,
  • 5 zeigt eine teilweise aufgebrochene Seitenansicht, die einen Zustand darstellt, in dem die in 1 gezeigte Zylindervorrichtung an einer Befestigungsfläche eines anderen Elementes angebracht ist,
  • 6 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Zylindervorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 7 zeigt einen Vertikalschnitt, der einen Zustand darstellt, in dem bei der in 6 gezeigten Zylindervorrichtung ein Tisch nach oben bewegt wird,
  • 8 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Zylindervorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 9 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Zylindervorrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 10 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Zylindervorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
  • 11 zeigt eine Draufsicht auf die Zylindervorrichtung gemäß 10, und
  • 12 zeigt eine Seitenansicht in Richtung des Pfeiles A in 11.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Eine Zylindervorrichtung 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in den 1 und 2 dargestellt.
  • Die Zylindervorrichtung 10 weist ein Zylinderrohr 16 mit einem ersten Körper 12 und einem zweiten Körper 14, die jeweils eine im Wesentlichen scheibenförmige Gestalt aufweisen und einstückig miteinander verbunden sind, eine Membran 20, die in einer im Inneren des Zylinderrohres 16 ausgebildeten Membrankammer 18 angeordnet ist und deren Umfangsrandabschnitt zwischen dem ersten Körper 12 und dem zweiten Körper 14 angeordnet und gehalten wird, einen Tisch 22 mit im Wesentlichen scheibenförmiger Gestalt, der entsprechend der flexiblen Durchbiegung der Membran 20 in Höhenrichtung des Zylinderrohres 16 aufwärts und abwärts bewegt wird, und ein Paar von Stangenelementen 26a, 26b auf, die an unteren Oberflächenabschnitten des Tisches 22 mit Hilfe von Schraubelementen 24 befestigt sind, die die Aufwärts-/Abwärtsbewegung des Tisches 22 führen und dazu dienen, ein Drehen des Tisches 22 zu verhindern.
  • Die Membrankammer 18 wird durch die Membran 20 in eine obere Membrankammer 18a und eine untere Membrankammer 18b unterteilt. Wie in 3 gezeigt ist, stehen bei der Zylindervorrichtung 10 an der Ursprungsposition, an der der Tisch 20 in einem nach unten bewegten Zustand angeordnet ist, die unteren Enden der Stangenelemente 26a, 26b nicht von der Bodenfläche des zweiten Körpers 14 vor, sondern liegen im Wesentlichen bündig mit der Bodenfläche des zweiten Körpers 14.
  • Wie in 1 gezeigt ist, weisen der erste Körper 12 und der zweite Körper 14 einen im Wesentlichen identischen Durchmesser auf. Eine erste Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28a, die mit der oberen Membrankammer 18a in Verbindung steht, ist an einer äußeren Umfangsfläche des ersten Körpers 12 ausgebildet. Eine zweite Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b, die mit der unteren Membrankammer 18b in Verbindung steht, ist an einer äußeren Umfangsfläche des zweiten Körpers 14 ausgebildet. Wie in 2 dargestellt ist, ist eine Kolbenstange 32 mit einem im Wesentlichen mittleren Abschnitt der Membran 20 mit Hilfe eines Halteelementes 30 verbunden. Ein erstes Ende der Kolbenstange 32 ist mit einem im Wesentlichen mittigen Abschnitt der unteren Fläche des Tisches 22 mit Hilfe eines Schraubelementes 34 verbunden. Bei dieser Anordnung wird die Kolbenstange 32 entsprechend der flexiblen Durchbiegung der Membran 20 gemeinsam mit der Membran 20 in Vertikalrichtung verschoben. Dementsprechend wird der Tisch 22 aufwärts und abwärts bewegt. Ein Dichtelement 36, das eine äußere Umfangsfläche der Kolbenstange 32 umgibt, um die Membrankammer 18 luftdicht zu halten, ist in einer ringförmigen Nut des ersten Körpers 12 angebracht.
  • Zylindrische Lagerelemente 38a, 38b mit Durchgangsöffnungen zum Einsetzen des Paares von Stangenelementen 26a, 26b sind in dem zweiten Körper 14 vorgesehen. Die geradlinige Bewegung der Stangenelemente 26a, 26b wird durch die Lagerelemente 38a, 38b gleichmäßig geführt und abgestützt.
  • Wie in 1 gezeigt ist, sind vier Werkstückbefestigungsöffnungen 40a bis 40d, die voneinander jeweils um 90° in Umfangsrichtung versetzt angeordnet sind, in dem Tisch 22 ausgebildet. Ein nicht dargestelltes Werkstück oder dgl. wird mit Hilfe der Werkstückbefestigungslöcher 40a bis 40d angebracht. Der Tisch 22 weist ein Paar von durchgehenden Befestigungsbolzeneinsetzöffnungen 42a, 42b auf, die voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet sind. Sowohl der erste Körper 12 als auch der zweite Körper 14 weisen ein Paar von durchgehenden Befestigungslöchern 44a, 44b entsprechend dem Paar von Befestigungsbolzeneinsetzlöchern 42a, 42b auf (vgl. 5).
  • Daher kann, wie in 5 gezeigt, die Zylindervorrichtung 10 an der oberen Oberfläche (von der Seite des Tisches 22) befestigt werden, indem die Befestigungsbolzen 43 durch das Paar von durchgehenden Befestigungsbolzeneinsetzlöchern 42a, 42b, die jeweils durch den Tisch 22 ausgebildet sind, und durch die Befestigungslöcher 44a, 44b eingesetzt werden, um sie in an der Be festigungsfläche 45 eines anderen Elements ausgebildete Gewindeöffnungen 47 einzuschrauben.
  • Wie in 4 gezeigt ist, ist eine Vielzahl von Ringnuten 46 mit unterschiedlichen Durchmessern abwechselnd an oberen und unteren Abschnitten ausgebildet, an denen der Umfangskantenabschnitt der Membran 20 durch den ersten Körper 12 und den zweiten Körper 14 gehalten wird. Die Oberflächenabschnitte der Membran 20 beißen in die Vielzahl von Ringnuten 46 ein. Dementsprechend ist es möglich, die Membran 20 zuverlässig und fest zu ergreifen und die Luftdichtigkeit der Membrankammer 18 kann mit hoher Genauigkeit aufrecht erhalten werden.
  • Die Zylindervorrichtung 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden ihre Betriebs-, Funktions- und Wirkungsweise erläutert.
  • Die erste Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28a und die zweite Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b werden über nicht dargestellte Rohrleitungen mit einer nicht dargestellten Druckfluidzufuhrquelle verbunden. Die nachfolgende Beschreibung erfolgt unter der Annahme, dass die Ursprungsposition der Zustand ist, in dem der Tisch 22 nach unten bewegt ist und den ersten Körper 12 berührt, wie es in 2 dargestellt ist.
  • An der Ursprungsposition wird die nicht dargestellte Druckfluidzufuhrquelle betätigt, um das Druckfluid über die zweite Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b zuzuführen. Während dieses Vorgangs wird angenommen, dass die erste Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28a entsprechend der Schaltwirkung eines nicht dargestellten Richtungskontrollventiles mit der Umgebung in Verbindung steht. Das Druckfluid, das von der zweiten Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b zugeführt wird, wird in die untere Membrankammer 18b eingeführt. Die Membran 20 wird entsprechend der Wirkung des Druckfluides nach oben gedrückt.
  • Die Membran 20 wird durch die nach oben gerichtete Druckkraft flexibel durchgebogen. Die Membran 20 und die Kolbenstange 32 werden gemeinsam nach oben verschoben. Dementsprechend wird der Tisch 22 nach oben bewegt. In diesem Fall liegt das Halteelement 30, das den im Wesentlichen mittigen Abschnitt der Membran 20 hält, gegen den ersten Körper 12 an. Dadurch wird der in 2 gezeigte Zustand erhalten, der die Verschiebungsendposition ist.
  • Wenn der Tisch 22 entsprechend der flexiblen Durchbiegung der Membran 20 nach oben bewegt wird, wird der Tisch 22 durch das Paar von Stangenelementen 26a, 26b, die durch die Lagerelemente 38a, 38b abgestützt werden, gleichmäßig und linear durchgeführt und an einer Drehung in Umfangsrichtung gehindert.
  • Wenn die Zufuhr des Druckfluids von der Druckfluidzufuhrquelle entsprechend der Schaltwirkung des nicht dargestellten Richtungskontrollventiles von der zweiten Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b zu der ersten Druckfluideinlass/auslassöffnung 28a umgeschaltet wird, wird der Tisch 22 nach unten bewegt, um entsprechend der Wirkung des in die obere Membrankammer 18a eingeführten Druckfluids zu der Ursprungsposition zurückgeführt zu werden. In dieser Situation wird angenommen, dass die zweite Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28b mit der Umgebung in Verbindung steht.
  • Bei dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind der erste Körper 12 und der zweite Körper 14, die jeweils eine flache und im Wesentlichen scheibenförmige Gestalt aufweisen, integral miteinander verbunden, um das Zylinderrohr 16 zu bilden. Die Membran 20 ist in der Membrankammer 18 angeordnet, die im Inneren des Zylinderrohres 16 ausgebildet ist. Der flache und im Wesentlichen scheibenförmige Tisch 22 ist so vorgesehen, dass er sich entsprechend der flexiblen Durchbiegung der Membran 20 in Höhenrichtung des Zylinderrohres 16 nach oben und unten bewegt. Daher ist es möglich, eine Zylindervorrichtung 10 zu erhalten, die eine geringe Größe in Höhenrichtung hat und gegenüber dem Stand der Technik sehr flach ausgebildet ist.
  • Das Zylinderrohr 16 und der Tisch 22, die im Wesentlichen scheibenförmig ausgebildet sind, können in einfacher Weise durch Extrusion oder Pultrusion (Strangpressen) hergestellt werden. Dadurch können die Produktionskosten verringert werden.
  • Durch Ausbilden einer im Wesentlichen scheibenförmigen Aussparung (nicht dargestellt) entsprechend der Form des Zylinderrohres 16, so dass das Zylinderrohr 16 in die im Wesentlichen scheibenförmige Aussparung einsetzbar ist, kann die Positionierung durch Verwendung der äußeren Umfangsfläche des Zylinderrohres 16 als Führung vereinfacht werden.
  • Der Tisch 22 kann durch flexibles Durchbiegen der Membran 20 entsprechend der Druckdifferenz zwischen der oberen Membrankammer 18a und der unteren Membrankammer 18b aufwärts und abwärts bewegt werden.
  • Die Stangenelemente 26a, 26b, die durch die Lagerelemente 38a, 38b abgestützt werden, werden dazu verwendet, gleichzeitig den Tisch 22 gleichmäßig und linear zu führen und eine Drehung in Umfangsrichtung zu verhindern. Dadurch können die Zahl der Teile und die Herstellungskosten reduziert werden.
  • Als nächstes wird anhand der 6 und 7 eine Zylindervorrichtung 50 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. Bei dieser und bei den nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen werden die gleichen Aufbauelemente wie bei der Zylindervorrichtung 10 gemäß der ersten Aus führungsform mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und auf ihre erneute Erläuterung verzichtet.
  • Die Zylindervorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform darin, dass ein Paar von Lagerelementen 52a, 52b, die im Wesentlichen die gleiche Größe in Höhenrichtung haben wie das Zylinderrohr 16, vorgesehen ist und dass die Größe von Stangenelementen 54a, 54b in Axialrichtung etwas verlängert ist, so dass die ersten Enden der Stangenelemente 54a, 54b, die von dem Paar von Lagerelementen 52a, 52b abgestützt werden, jeweils von der Bodenfläche des Zylinderrohres 16 vorstehen.
  • Wie oben beschrieben wurde, ist bei der Zylindervorrichtung 50 gemäß der zweiten Ausführungsform die Größe des Paares von Lagerelementen 52a, 52b in Axialrichtung so eingestellt, dass sie im Wesentlichen die gleiche ist, wie die Größe des Zylinderrohres 16 in Höhenrichtung, während die Größe der Stangenelemente 54a, 54b in Axialrichtung etwas verlängert ist. Dementsprechend kann der Tisch 22 durch die Stangenelemente 54a, 54b, die gleitend von dem Paar von Lagerelementen 52a, 52b abgestützt werden, stabil abgestützt werden. Außerdem ist es möglich, die Haltegenauigkeit der Stangenelemente 54a, 54b zu verbessern.
  • Als nächstes wird anhand von 8 eine Zylindervorrichtung 60 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. Die Zylindervorrichtung 60 gemäß der dritten Ausführungsform weist ein Federelement 62 mit einem ersten Ende, das an einem mit einer Kolbenstange 32 verbundenen Halteelemente 30 befestigt ist, und einem zweiten Ende, das an einer Innenwand eines ersten Körpers 12 befestigt ist, auf. Ein zweiter Körper 14 weist eine Druckfluideinlass-/auslassöffnung 28 für die Zufuhr des Druckfluides zu einer unteren Membrankammer 18b auf. Der erste Körper 12 weist eine Entlüftungs öffnung 64 zur Verbindung der oberen Membrankammer 18a mit der Umgebung auf.
  • Bei dieser Anordnung bildet die Zylindervorrichtung 60 gemäß der dritten Ausführungsform einen einfach wirkenden Zylinder, bei dem die Membran 20, das Halteelement 30 und der Tisch 22 entsprechend der Wirkung des der unteren Membrankammer 18b zugeführte Druckfluides entgegen der Federkraft des Federelements 62 gemeinsam nach oben bewegt werden. Der Tisch 22, der nach oben bewegt ist, wird durch die Federkraft des Federelements 62 zu der Ursprungsposition zurückgeführt.
  • Wie oben beschrieben wurde, nutzt die Zylindervorrichtung 60 gemäß der dritten Ausführungsform die Anordnung des einfach wirkenden Zylinders, bei dem das Druckfluid nur der unteren Membrankammer 18b zugeführt wird. Dementsprechend ist es möglich, den Steuerschaltkreis (Pneumatikdruckkreis) für das Druckfluid, das der Zylindervorrichtung 60 zugeführt wird, zu vereinfachen.
  • Als nächstes wird mit Bezug auf 9 eine Zylindervorrichtung 70 gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung erläutert.
  • Die Zylindervorrichtung 70 gemäß der vierten Ausführungsform weist ein mittleres Element 72, das zwischen einem ersten Körper 12 und einem zweiten Körper 14 liegen kann, eine erste Membran 20a, die zwischen dem ersten Körper 12 und dem mittleren Element 72 angeordnet ist, und eine zweite Membran 20b auf, die zwischen dem mittleren Element 72 und dem zweiten Körper 14 angeordnet ist. Die ersten und zweiten Membranen 20a, 20b sind voneinander um einen festgelegten Abstand beabstandet, um eine duale Struktur zu bilden. Das Mittelelement 72 weist eine Ventilationsöffnung 76 für die Zufuhr/Abfuhr der Luft in einer Kammer 74 auf, die von den ersten und zweiten Membranen 20a, 20b umgeben wird.
  • Wie oben beschrieben wurde, weist die Zylindervorrichtung 70 gemäß der vierten Ausführungsform eine durch die erste Membran 20a und die zweite Membran 20b gebildete duale Struktur auf. Dementsprechend ist es möglich, die Haltbarkeit zu verbessern, indem die auf die ersten und zweiten Membranen 20a, 20b ausgeübte Last aufgeteilt wird.
  • Als nächstes wird mit Bezug auf die 10 bis 12 eine Zylindervorrichtung 80 gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert.
  • Wie in 10 dargestellt ist, wird die Zylindervorrichtung 80 gemäß der fünften Ausführungsform durch eine Doppelstange gebildet, die eine erste Kolbenstange 88, welche aufwärts und abwärts entlang einer durch einen ersten Körper 82 durchtretenden Öffnung verschieblich und mit Hilfe eines Schraubelementes 84 an einen Tisch 86 angebracht ist, und eine zweite Kolbenstange 92 aufweist, die koaxial mit der ersten Kolbenstange 88 verbunden ist und aus einer durch einen zweiten Körper 90 ausgebildeten Öffnung vorsteht.
  • Eine Dichtung 94a mit V-förmigem Querschnitt, die die erste Kolbenstange 88 umgibt, ist in einer Ringnut des ersten Körpers 82 angebracht. Eine Dichtung 94b mit V-förmigem Querschnitt, die die zweite Kolbenstange 92 umgibt, ist in einer Ringnut des zweiten Körpers 90 angebracht.
  • Halteelemente 98a, 98b zum Ergreifen einer Membran 96 sind an einem Verbindungsabschnitt zwischen der ersten Kolbenstange 88 und der zweiten Kolbenstange 92 vorgesehen. Eine Öffnung 100, die in Axialrichtung durchtritt, ist durch die erste Kolbenstange 88 und die zweite Kolbenstange 98 ausgebildet. Bei dieser Anordnung kann durch die Ausbildung der Durchgangsöffnung 100 die Öffnung als Rohrleitung für eine andere Pneumatikdruckausrüstung (nicht dargestellt), die auf dem Tisch 86 angeordnet wird, genutzt werden.
  • Wie in 11 dargestellt ist, ist ein Paar von einander gegenüberliegenden kreisbogenförmigen Abschnitten aus dem Tisch 86 ausgeschnitten, der mit einem Paar von Werkstückpositionierungsstiften 102a, 102b verbunden ist, die voneinander um einen festgelegten Abstand auf einer durch die Mitten der ersten und zweiten scheibenförmigen Körper 82, 90 verlaufenden geraden Linien beabstandet sind.
  • Entsprechend der Doppelstangenstruktur weisen der erste Körper 82 und der zweite Körper 90, wie in 12 dargestellt, ein Paar von ersten Befestigungsöffnungen 44a, 44b zum Einsetzen von Befestigungsbolzen 83 (vgl. 5) von der Seite des ersten Körpers 82 und zweiten Befestigungsöffnungen 104a, 104b zum Einsetzen von Befestigungsbolzen 83 von der Seite des zweiten Körpers 90 auf.
  • Wie oben beschrieben wurde, ermöglicht die Zylindervorrichtung 80 gemäß der fünften Ausführungsform aufgrund der Doppelstangenstruktur die Durchführung einer Operation, bei der eine nicht dargestellte Pneumatikdruckausrüstung auf der ersten Kolbenstange 88 auf der ersten Seite getragen wird und die Verschiebung der zweiten Kolbenstange 92 auf der zweiten Seite durch einen nicht dargestellten Sensor festgestellt werden kann, so dass ein Feststellsignal zu einer nicht dargestellten externen Steuerung ausgegeben werden kann.

Claims (8)

  1. Zylindervorrichtung mit: einem Zylinderrohr (16), das einen ersten Körper (12, 82) und einen zweiten Körper (14, 90) mit flacher plattenförmiger Gestalt aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie eine zylindrische Form mit einer im Inneren des Zylinderrohres (16) definierten Membrankammer (18) bilden; einer Membran (20, 20a, 20b, 96), die in der Membrankammer (18) im Inneren des Zylinderrohres (16) und zwischen dem ersten Körper (12, 82) und dem zweiten Körper (14, 90) angeordnet ist, wobei die Membran (20, 20a, 20b, 96) eine erste Fluidkammer (18a) zwischen einer Seite der Membran und einer ersten Endwand der Membrankammer (18) und eine zweite Fluidkammer (18b) zwischen einer anderen Seite der Membran und einer zweiten Endwand der Membrankammer (18) definiert; einem Paar Fluideinlass-/-auslassöffnungen (28a, 28b) zur Zufuhr von Fluid zu und zum Ablassen von Fluid aus der ersten und der zweiten Fluidkammer (18a, 18b); einer Kolbenstange (32), deren eines Ende an der Membran (20, 20a, 20b, 96) befestigt ist; einem mit einem anderen Ende der Kolbenstange (32) verbundenen Tisch (22, 86) mit flacher, plattenförmiger Gestalt, der entsprechend einer Zufuhr oder einem Ablassen von Fluid zu und aus der ersten und der zweiten Fluidkammer (18a, 18b), wodurch eine flexible Durchbiegung der Membran (20, 20a, 20b, 96) verursacht wird, in Höhenrichtung des Zylinderrohres (16) aufwärts und abwärts bewegbar ist; und mit dem Tisch (22, 86) verbundenen Stangenelementen (26a, 26b, 54a, 54b), die von Lagerelementen (38a, 38b, 52a, 52b) abgestützt werden, um eine Aufwärts-/Abwärtsbewegung des Tisches (22, 86) zu führen und um eine Drehung des Tisches (22, 86) zu verhindern, wobei die Kolbenstange (32) durch ein Halteelement an der Membran (20, 20a, 20b, 96) befestigt ist, das zwischen Positionen bewegbar ist, in denen es mit der ersten bzw. mit der zweiten Endwand in Kontakt ist.
  2. Zylindervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Stangenelemente (26a, 26b) eine Länge aufweisen, so dass sie im Wesentlichen bündig mit einer Seitenfläche des Zylinderrohres (16) abschließen, wenn der Tisch (22) an einer Ursprungsposition nahe dem Zylinderrohr (16) angeordnet ist.
  3. Zylindervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Stangenelement (54a, 54b) so ausgebildet ist, dass sein eines Ende um eine festgelegte Länge von einer Seitenfläche des Zylinderrohres (16) nach außen vorsteht, wenn der Tisch (22) an einer Ursprungsposition nahe dem Zylinderrohr (16) angeordnet ist.
  4. Zylindervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in der Membrankammer (18) ein Federelement (62) zum Rückführen der mit dem Tisch (22) verbundenen Kolbenstange (32) zu einer Ursprungsposition angeordnet ist.
  5. Zylindervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran aus einer ersten Membran (20a), die zwischen dem ersten Körper (12) und einem Mittelelement (72) angeordnet ist, und einer zweiten Membran (20b), die von der ersten Membran (20a) um einen festgelegten Abstand beabstandet ist und zwischen Mittelelement (72) und dem zweiten Körper (14) angeordnet ist, besteht.
  6. Zylindervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange (32) eine erste Kolbenstange (88), die entlang einer durch den ersten Körper (82) durchtretenden Öffnung aufwärts und abwärts bewegbar und mit dem Tisch (86) verbunden ist, und eine zweite Kolbenstange (92) aufweist, die koaxial mit der ersten Kolbenstange (88) verbunden ist und aus einer durch den zweiten Körper (90) durchtretenden Öffnung nach außen vorsteht.
  7. Zylindervorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kolbenstange an der Membran (20, 20a, 20b, 96) durch ein Paar Halteelemente (30; 98a, 98b) befestigt ist, die jeweils auf einer Seite der Membran (20, 20a, 20b, 96) vorgesehen sind und die Membran (20, 20a, 20b, 96) sandwichartig zwischen sich aufnehmen.
  8. Zylindervorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Mittelelement (72) eine Ventilationsöffnung (76) aufweist, die zum Be- oder Entlüften einer zwischen der ersten und der zweiten Membran (20a, 20b) angeordneten Kammer (74) mit dieser in Verbindung steht.
DE10058145A 1999-11-26 2000-11-22 Zylindervorrichtung Expired - Lifetime DE10058145B4 (de)

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JP11-335360 1999-11-26
JP33536099 1999-11-26

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DE10058145A1 DE10058145A1 (de) 2001-08-30
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100344942C (zh) * 2006-04-03 2007-10-24 浙江大学 用于测量油液体积变化量的油腔
CH708932B1 (de) * 2013-12-09 2017-04-13 Besi Switzerland Ag Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats zwecks Montage von Halbleiterbauteilen.
DE102014014655A1 (de) * 2014-10-08 2016-04-14 DYNA-MESS Prüfsysteme GmbH Membranzylinder-Einheit mit einer Doppelmembrane
CN107559262A (zh) * 2017-08-25 2018-01-09 大连理工大学 一种低摩擦小行程伺服油缸
CN110630585A (zh) * 2019-10-11 2019-12-31 常熟市徐润机电有限公司 一种气动装置
DE202022100511U1 (de) 2021-09-06 2022-04-07 Fte Automotive Gmbh Membranzylinder und Fahrzeuggetriebe mit einem Membranzylinder

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB600000A (en) * 1945-09-27 1948-03-25 Alfred Bullows & Sons Ltd Improvements relating to diaphragms for fluid operated mechanisms
DE4108312C2 (de) * 1991-03-14 1993-12-23 Ivan Ivanov Betätigungsvorrichtung

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4543790A (en) * 1981-07-15 1985-10-01 Bendiberica, S.A. Master cylinder and brake booster assembly

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB600000A (en) * 1945-09-27 1948-03-25 Alfred Bullows & Sons Ltd Improvements relating to diaphragms for fluid operated mechanisms
DE4108312C2 (de) * 1991-03-14 1993-12-23 Ivan Ivanov Betätigungsvorrichtung

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