CH681016A5 - - Google Patents

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CH681016A5
CH681016A5 CH625/90A CH62590A CH681016A5 CH 681016 A5 CH681016 A5 CH 681016A5 CH 625/90 A CH625/90 A CH 625/90A CH 62590 A CH62590 A CH 62590A CH 681016 A5 CH681016 A5 CH 681016A5
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CH
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cathode
sputtering system
receiving body
station
substrate receiving
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CH625/90A
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German (de)
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Inventor
Jaroslav Zejda
Manfred Schuhmacher
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Leybold Ag
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • H10P72/74—

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