CH541353A - Vorrichtung zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial durch Flüssigphasenepitaxie aus mindestens zwei Lösungen - Google Patents

Vorrichtung zum epitaktischen Abscheiden von Halbleitermaterial durch Flüssigphasenepitaxie aus mindestens zwei Lösungen

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CH541353A
CH541353A CH1685072A CH1685072A CH541353A CH 541353 A CH541353 A CH 541353A CH 1685072 A CH1685072 A CH 1685072A CH 1685072 A CH1685072 A CH 1685072A CH 541353 A CH541353 A CH 541353A
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    • C30B19/00—Liquid-phase epitaxial-layer growth
    • C30B19/06—Reaction chambers; Boats for supporting the melt; Substrate holders
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