CH237875A - Elektrischer Glimmentladungsofen. - Google Patents

Elektrischer Glimmentladungsofen.

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CH237875A
CH237875A CH237875DA CH237875A CH 237875 A CH237875 A CH 237875A CH 237875D A CH237875D A CH 237875DA CH 237875 A CH237875 A CH 237875A
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furnace
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Berghaus Bernhard
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Berghaus Bernhard
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description


      ElektristAler        Mimmentladungsoren.       Bei elektrischen     Glimmentladangsbfen    ist  stets ein     Stabiflisierungswiclerstand    erforder  lich, weil     s#ons#    die Entladung sehr leicht in  einen Lichtbogen umschlägt Der Widerstand       muss        immerhinso    bemessen werden,     dass    min  destens ein Drittel der Gesamtenergie -darin  vernichtet wird. Das macht den, Ofen in vie  len     Fä3,Ien    unwirtschaftlich.  



  Die Erfindung zeichnet sieh dadurch aus,       dass    der Stabilisierungswiderstand ganz oder  teilweise     i.m    Ofen selbst untergebracht     ist,     derart,     dass    die in ihm erzeugte Wärme teil  weise, dem zu     behandüInden    Gut zugute  kommt.  



  Im Ofen kann zur Erhöhung der     Wirt-          schaftliebkeit    ausserdem festen Teil     #d#es,        Wi-          derstandes    auch der zu regelnde Teil unter  gebracht werden.  



  Auf der Zeichnung sind zwei     Ausfüll-          rungsbeispiele    des     Erfindungsgegen3tandes     dargestellt, und zwar zeigt:       Fig.   <B>1</B> einen Schnitt     durclidas,    erste Bei  spiel eines     GlimmentlaaungGofens,            Fig.    2 einen     S#chnitt    durch einen     Glimm-          entladungsofen    abgewandelter Konstruktion       und          Fig.3    die     Prinzipschaltung    solcher     Glimm-          entladungsöfen.     



  Das     Ge-häuse    des in     Fig.   <B>1</B>     darges#eUten     Ofens besteht aus einer Haube<B>1,</B>     #die    auf einer       Grundplatte    2 aufsitzt.

   Durch eine Öffnung  der Grundplatte ist eine Elektrode<B>6</B>     iGoliert     durchgeführt, die beispielsweise das zu be  handelnde Werkstück<B>3</B>     trIgt.        Grund!#latte    2  und, Haube<B>1</B> dienen als zweite     Filektrode.     Der Stabilisierungswiderstand 4 befindet sich  in einem von     Jer    Haubenwandung     und    einer       IVV.andung   <B>7</B> gebildeten Raum und ist über  Isolatoren<B>8</B> und<B>9</B> aufgewickelt.

   Damit eine  Glimmentladung zwischen dem 'Widerstand  4 und; den, Wandungen<B>7</B>     bezw.   <B>1</B> nicht auf  treten kann,     muss    entweder     #die.        Wand:,ung   <B>7</B>  den zwischen ihr     und    der Haube<B>1</B> gebildeten  Teil luftdicht abschliessen     und    in diesem Teil  ein entsprechend höherer Druck, zum Beispiel       Atmosphären,druck,        her-rs,eh-en,    oder     ab-er        der         Abstand des Widerstandes 4 von den Wan  dungen<B>7</B>     muss    so gering sein,

       dass    sich der  für die     Glimmentladung    notwendige Katho  denfall bei dem betreffenden Druck nicht     aus-          'bilden    kann und dem Glühgut die vom Wi  derstand erzeugte \Wärme zugute kommt.  



  Im     Aii3führungsbeispiel    gemäss     Fig.   <B>'22</B> ist  der Widerstand 4 in einem ringförmigen Be  hälter<B>10</B> eingebaut, dessen, Innenraum vom  Ofeninnenraum getrennt ist. An den untern  Öffnungen<B>11</B> steht der Innenraum des Be  hälters in Verbindung mit der Aussenluft. Der  Behälter<B>10</B> ist mit einem     Isc>Iiermantssl    12  ausgekleidet.  



       Fig.   <B>3</B> zeigt das     Prinzipschaltbild    für den  Ofen. Das Werkstück<B>3</B> ist     indiesein    Schalt  bild mit dem negativen Pol, die Haube<B>1</B> ist  mit dem positiven Pol der Spannungsquelle,  verbunden. Der Stabilisierungswiderstand 4  ist in     Fig.   <B>3</B> übersichtshalber ausserhalb des  Ofens     ge.7,eichnet.     



  Mit Hilfe des,     Stabilisierungswiderstand-es     kann eine sehr     otabile        Entladun-    und eine  grosse Betriebssicherheit erzielt werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCII: Ellektrisulier Glimmentladungsofen mit Stahilisiertingswiderstand. dadurch gekenn zeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand ganz oder teilweise im Ofen selbst unterge bracht ist, derart, dass die in ihm erzeugte Wärme teilweise dein zu behandelnden Gut zugute, kommt.
    <B>UNTERANSPRUCH:</B> Elektrischer ("'rlimmeiit#la#duiiigsofen nach Patentansprueli. dadurch gekennzeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand in einem im Ofengehäuse befindliehen Behälter, in dem der -]eiche Druek wie, im übrigen Teil des Ofens herrscht, angeordnet ist, und dass dieser Druck tind der Abstand des Widerstandes von den Wandung<B>7</B> en des, Behälters so ge wählt sind,
    dass eine Glimnientladung zwi schen Widerstaiid und Wandung nicht zu stande kommt.
CH237875D 1942-08-26 1943-07-28 Elektrischer Glimmentladungsofen. CH237875A (de)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JPS5511176A (en) * 1978-07-11 1980-01-25 Nippon Denshi Kogyo Kk Ion treating apparatus

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