CH237875A - Elektrischer Glimmentladungsofen. - Google Patents
Elektrischer Glimmentladungsofen.Info
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
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Description
ElektristAler Mimmentladungsoren. Bei elektrischen Glimmentladangsbfen ist stets ein Stabiflisierungswiclerstand erforder lich, weil s#ons# die Entladung sehr leicht in einen Lichtbogen umschlägt Der Widerstand muss immerhinso bemessen werden, dass min destens ein Drittel der Gesamtenergie -darin vernichtet wird. Das macht den, Ofen in vie len Fä3,Ien unwirtschaftlich. Die Erfindung zeichnet sieh dadurch aus, dass der Stabilisierungswiderstand ganz oder teilweise i.m Ofen selbst untergebracht ist, derart, dass die in ihm erzeugte Wärme teil weise, dem zu behandüInden Gut zugute kommt. Im Ofen kann zur Erhöhung der Wirt- schaftliebkeit ausserdem festen Teil #d#es, Wi- derstandes auch der zu regelnde Teil unter gebracht werden. Auf der Zeichnung sind zwei Ausfüll- rungsbeispiele des Erfindungsgegen3tandes dargestellt, und zwar zeigt: Fig. <B>1</B> einen Schnitt durclidas, erste Bei spiel eines GlimmentlaaungGofens, Fig. 2 einen S#chnitt durch einen Glimm- entladungsofen abgewandelter Konstruktion und Fig.3 die Prinzipschaltung solcher Glimm- entladungsöfen. Das Ge-häuse des in Fig. <B>1</B> darges#eUten Ofens besteht aus einer Haube<B>1,</B> #die auf einer Grundplatte 2 aufsitzt. Durch eine Öffnung der Grundplatte ist eine Elektrode<B>6</B> iGoliert durchgeführt, die beispielsweise das zu be handelnde Werkstück<B>3</B> trIgt. Grund!#latte 2 und, Haube<B>1</B> dienen als zweite Filektrode. Der Stabilisierungswiderstand 4 befindet sich in einem von Jer Haubenwandung und einer IVV.andung <B>7</B> gebildeten Raum und ist über Isolatoren<B>8</B> und<B>9</B> aufgewickelt. Damit eine Glimmentladung zwischen dem 'Widerstand 4 und; den, Wandungen<B>7</B> bezw. <B>1</B> nicht auf treten kann, muss entweder #die. Wand:,ung <B>7</B> den zwischen ihr und der Haube<B>1</B> gebildeten Teil luftdicht abschliessen und in diesem Teil ein entsprechend höherer Druck, zum Beispiel Atmosphären,druck, her-rs,eh-en, oder ab-er der Abstand des Widerstandes 4 von den Wan dungen<B>7</B> muss so gering sein, dass sich der für die Glimmentladung notwendige Katho denfall bei dem betreffenden Druck nicht aus- 'bilden kann und dem Glühgut die vom Wi derstand erzeugte \Wärme zugute kommt. Im Aii3führungsbeispiel gemäss Fig. <B>'22</B> ist der Widerstand 4 in einem ringförmigen Be hälter<B>10</B> eingebaut, dessen, Innenraum vom Ofeninnenraum getrennt ist. An den untern Öffnungen<B>11</B> steht der Innenraum des Be hälters in Verbindung mit der Aussenluft. Der Behälter<B>10</B> ist mit einem Isc>Iiermantssl 12 ausgekleidet. Fig. <B>3</B> zeigt das Prinzipschaltbild für den Ofen. Das Werkstück<B>3</B> ist indiesein Schalt bild mit dem negativen Pol, die Haube<B>1</B> ist mit dem positiven Pol der Spannungsquelle, verbunden. Der Stabilisierungswiderstand 4 ist in Fig. <B>3</B> übersichtshalber ausserhalb des Ofens ge.7,eichnet. Mit Hilfe des, Stabilisierungswiderstand-es kann eine sehr otabile Entladun- und eine grosse Betriebssicherheit erzielt werden.
Claims (1)
- PATENTANSPRUCII: Ellektrisulier Glimmentladungsofen mit Stahilisiertingswiderstand. dadurch gekenn zeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand ganz oder teilweise im Ofen selbst unterge bracht ist, derart, dass die in ihm erzeugte Wärme teilweise dein zu behandelnden Gut zugute, kommt.<B>UNTERANSPRUCH:</B> Elektrischer ("'rlimmeiit#la#duiiigsofen nach Patentansprueli. dadurch gekennzeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand in einem im Ofengehäuse befindliehen Behälter, in dem der -]eiche Druek wie, im übrigen Teil des Ofens herrscht, angeordnet ist, und dass dieser Druck tind der Abstand des Widerstandes von den Wandung<B>7</B> en des, Behälters so ge wählt sind,dass eine Glimnientladung zwi schen Widerstaiid und Wandung nicht zu stande kommt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE237875X | 1942-08-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CH237875A true CH237875A (de) | 1945-05-31 |
Family
ID=5903324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CH237875D CH237875A (de) | 1942-08-26 | 1943-07-28 | Elektrischer Glimmentladungsofen. |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CH (1) | CH237875A (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5350020A (en) * | 1976-10-18 | 1978-05-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ionitriding |
JPS53113230A (en) * | 1977-03-15 | 1978-10-03 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Vacuum discharge treatment apparatus |
JPS5511176A (en) * | 1978-07-11 | 1980-01-25 | Nippon Denshi Kogyo Kk | Ion treating apparatus |
-
1943
- 1943-07-28 CH CH237875D patent/CH237875A/de unknown
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5350020A (en) * | 1976-10-18 | 1978-05-08 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ionitriding |
JPS5643112B2 (de) * | 1976-10-18 | 1981-10-09 | ||
JPS53113230A (en) * | 1977-03-15 | 1978-10-03 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Vacuum discharge treatment apparatus |
JPS5523899B2 (de) * | 1977-03-15 | 1980-06-25 | ||
JPS5511176A (en) * | 1978-07-11 | 1980-01-25 | Nippon Denshi Kogyo Kk | Ion treating apparatus |
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