CH237875A - Electric glow discharge furnace. - Google Patents

Electric glow discharge furnace.

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CH237875A
CH237875A CH237875DA CH237875A CH 237875 A CH237875 A CH 237875A CH 237875D A CH237875D A CH 237875DA CH 237875 A CH237875 A CH 237875A
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CH
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furnace
glow discharge
resistance
electric glow
container
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German (de)
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Berghaus Bernhard
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Berghaus Bernhard
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Discharge Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Description

  

      ElektristAler        Mimmentladungsoren.       Bei elektrischen     Glimmentladangsbfen    ist  stets ein     Stabiflisierungswiclerstand    erforder  lich, weil     s#ons#    die Entladung sehr leicht in  einen Lichtbogen umschlägt Der Widerstand       muss        immerhinso    bemessen werden,     dass    min  destens ein Drittel der Gesamtenergie -darin  vernichtet wird. Das macht den, Ofen in vie  len     Fä3,Ien    unwirtschaftlich.  



  Die Erfindung zeichnet sieh dadurch aus,       dass    der Stabilisierungswiderstand ganz oder  teilweise     i.m    Ofen selbst untergebracht     ist,     derart,     dass    die in ihm erzeugte Wärme teil  weise, dem zu     behandüInden    Gut zugute  kommt.  



  Im Ofen kann zur Erhöhung der     Wirt-          schaftliebkeit    ausserdem festen Teil     #d#es,        Wi-          derstandes    auch der zu regelnde Teil unter  gebracht werden.  



  Auf der Zeichnung sind zwei     Ausfüll-          rungsbeispiele    des     Erfindungsgegen3tandes     dargestellt, und zwar zeigt:       Fig.   <B>1</B> einen Schnitt     durclidas,    erste Bei  spiel eines     GlimmentlaaungGofens,            Fig.    2 einen     S#chnitt    durch einen     Glimm-          entladungsofen    abgewandelter Konstruktion       und          Fig.3    die     Prinzipschaltung    solcher     Glimm-          entladungsöfen.     



  Das     Ge-häuse    des in     Fig.   <B>1</B>     darges#eUten     Ofens besteht aus einer Haube<B>1,</B>     #die    auf einer       Grundplatte    2 aufsitzt.

   Durch eine Öffnung  der Grundplatte ist eine Elektrode<B>6</B>     iGoliert     durchgeführt, die beispielsweise das zu be  handelnde Werkstück<B>3</B>     trIgt.        Grund!#latte    2  und, Haube<B>1</B> dienen als zweite     Filektrode.     Der Stabilisierungswiderstand 4 befindet sich  in einem von     Jer    Haubenwandung     und    einer       IVV.andung   <B>7</B> gebildeten Raum und ist über  Isolatoren<B>8</B> und<B>9</B> aufgewickelt.

   Damit eine  Glimmentladung zwischen dem 'Widerstand  4 und; den, Wandungen<B>7</B>     bezw.   <B>1</B> nicht auf  treten kann,     muss    entweder     #die.        Wand:,ung   <B>7</B>  den zwischen ihr     und    der Haube<B>1</B> gebildeten  Teil luftdicht abschliessen     und    in diesem Teil  ein entsprechend höherer Druck, zum Beispiel       Atmosphären,druck,        her-rs,eh-en,    oder     ab-er        der         Abstand des Widerstandes 4 von den Wan  dungen<B>7</B>     muss    so gering sein,

       dass    sich der  für die     Glimmentladung    notwendige Katho  denfall bei dem betreffenden Druck nicht     aus-          'bilden    kann und dem Glühgut die vom Wi  derstand erzeugte \Wärme zugute kommt.  



  Im     Aii3führungsbeispiel    gemäss     Fig.   <B>'22</B> ist  der Widerstand 4 in einem ringförmigen Be  hälter<B>10</B> eingebaut, dessen, Innenraum vom  Ofeninnenraum getrennt ist. An den untern  Öffnungen<B>11</B> steht der Innenraum des Be  hälters in Verbindung mit der Aussenluft. Der  Behälter<B>10</B> ist mit einem     Isc>Iiermantssl    12  ausgekleidet.  



       Fig.   <B>3</B> zeigt das     Prinzipschaltbild    für den  Ofen. Das Werkstück<B>3</B> ist     indiesein    Schalt  bild mit dem negativen Pol, die Haube<B>1</B> ist  mit dem positiven Pol der Spannungsquelle,  verbunden. Der Stabilisierungswiderstand 4  ist in     Fig.   <B>3</B> übersichtshalber ausserhalb des  Ofens     ge.7,eichnet.     



  Mit Hilfe des,     Stabilisierungswiderstand-es     kann eine sehr     otabile        Entladun-    und eine  grosse Betriebssicherheit erzielt werden.



      ELECTRICAL MIME DISCHARGEORS. A stabilization resistance is always required for electrical glow discharge, because the discharge can easily turn into an arc. The resistance must always be measured in such a way that at least a third of the total energy in it is destroyed. That makes the oven uneconomical in many cases.



  The invention is characterized in that the stabilizing resistor is completely or partially housed in the furnace itself, in such a way that the heat generated in it is partially used for the goods to be treated.



  The fixed part # d # es, resistance and the part to be controlled can also be accommodated in the furnace to increase the economy.



  The drawing shows two examples of filling in the subject matter of the invention, namely: FIG. 1 shows a section through the first example of a glow discharge furnace, FIG. 2 shows a section through a glow discharge furnace of a modified design and FIG. 3 shows the basic circuit of such glow discharge furnaces.



  The housing of the furnace shown in FIG. 1 consists of a hood 1 which rests on a base plate 2.

   An electrode <B> 6 </B> iGoliert is passed through an opening in the base plate, which, for example, carries the workpiece <B> 3 </B> to be treated. Reason! #Latte 2 and, hood <B> 1 </B> are used as a second filter electrode. The stabilization resistor 4 is located in a space formed by the hood wall and an IVV.andung <B> 7 </B> and is wound up over insulators <B> 8 </B> and <B> 9 </B>.

   So that a glow discharge between the 'resistor 4 and; the, walls <B> 7 </B> respectively. <B> 1 </B> cannot occur, either #the. Wall:, ung <B> 7 </B> seal the part formed between it and the hood <B> 1 </B> airtight and in this part a correspondingly higher pressure, for example atmospheres, pressure, her-rs, eh -en, or from-er the distance of the resistor 4 from the walls <B> 7 </B> must be so small that

       that the cathode case necessary for the glow discharge cannot develop at the relevant pressure and the heat generated by the resistance benefits the annealing material.



  In the exemplary embodiment according to FIG. 22, the resistor 4 is installed in an annular container 10, the interior of which is separated from the interior of the furnace. The interior of the container is in communication with the outside air at the lower openings 11. The container <B> 10 </B> is lined with an insulating jacket 12.



       Fig. 3 shows the basic circuit diagram for the furnace. The workpiece <B> 3 </B> is in this circuit diagram with the negative pole, the hood <B> 1 </B> is connected to the positive pole of the voltage source. The stabilization resistor 4 is shown in FIG. 3 for the sake of clarity outside the furnace.



  With the help of the stabilization resistor, a very unstable discharge and high operational reliability can be achieved.

 

Claims (1)

PATENTANSPRUCII: Ellektrisulier Glimmentladungsofen mit Stahilisiertingswiderstand. dadurch gekenn zeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand ganz oder teilweise im Ofen selbst unterge bracht ist, derart, dass die in ihm erzeugte Wärme teilweise dein zu behandelnden Gut zugute, kommt. PATENT CLAIM: Electric glow discharge furnace with steel resistance. characterized in that the stabilization resistor is fully or partially housed in the furnace itself, in such a way that the heat generated in it is partially used for the goods to be treated. <B>UNTERANSPRUCH:</B> Elektrischer ("'rlimmeiit#la#duiiigsofen nach Patentansprueli. dadurch gekennzeichnet, dass der Stabilisierungswiderstand in einem im Ofengehäuse befindliehen Behälter, in dem der -]eiche Druek wie, im übrigen Teil des Ofens herrscht, angeordnet ist, und dass dieser Druck tind der Abstand des Widerstandes von den Wandung<B>7</B> en des, Behälters so ge wählt sind, <B> SUBClaim: </B> Electric ("'rlimmeiit # la # duiiigsofen according to patent claims. Characterized in that the stabilization resistor is in a container in the furnace housing, in which the -] oak pressure prevails as in the rest of the furnace, is arranged, and that this pressure is the distance of the resistance from the wall <B> 7 </B> s of the container are chosen so ge, dass eine Glimnientladung zwi schen Widerstaiid und Wandung nicht zu stande kommt. that a glimnient charge between resistance and wall does not come about.
CH237875D 1942-08-26 1943-07-28 Electric glow discharge furnace. CH237875A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5350020A (en) * 1976-10-18 1978-05-08 Kawasaki Heavy Ind Ltd Ionitriding
JPS53113230A (en) * 1977-03-15 1978-10-03 Kawasaki Heavy Ind Ltd Vacuum discharge treatment apparatus
JPS5511176A (en) * 1978-07-11 1980-01-25 Nippon Denshi Kogyo Kk Ion treating apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5350020A (en) * 1976-10-18 1978-05-08 Kawasaki Heavy Ind Ltd Ionitriding
JPS5643112B2 (en) * 1976-10-18 1981-10-09
JPS53113230A (en) * 1977-03-15 1978-10-03 Kawasaki Heavy Ind Ltd Vacuum discharge treatment apparatus
JPS5523899B2 (en) * 1977-03-15 1980-06-25
JPS5511176A (en) * 1978-07-11 1980-01-25 Nippon Denshi Kogyo Kk Ion treating apparatus

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