BE1028078A1 - Composition de résist et procédé de production de motif de résist - Google Patents

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BE1028078A1 BE20215162A BE202105162A BE1028078A1 BE 1028078 A1 BE1028078 A1 BE 1028078A1 BE 20215162 A BE20215162 A BE 20215162A BE 202105162 A BE202105162 A BE 202105162A BE 1028078 A1 BE1028078 A1 BE 1028078A1
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Abstract

L'invention concerne une composition de résist incluant un composé représenté par la formule (I) telle que définie dans la revendication 1, une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide, où, dans la formule (I), R1 représente un atome d'halogène ou un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, m1 représente un entier de 1 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R1 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.

Description

COMPOSITION DE RÉSIST ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MOTIF DE
RÉSIST ARRIERE PLAN DE L'INVENTION Domaine technique
[0001] La présente invention concerne une composition de résist et un procédé pour produire un motif de résist qui utilise la composition de résist.
Description de l'état de l’art
[0002] Le document JP2000-066406A mentionne une composition de résist incluant un composé de la formule structurelle suivante, une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide.
COOH C° RESUME DE L'INVENTION
[0003] La présente invention propose de fournir une composition de résist incluant un composé capable de produire un motif de résist avec une uniformité CD (CDU) qui est meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir d’une composition de résist incluant les sels mentionnés ci-dessus.
[0004] La présente invention inclut les compositions de résist suivantes.
[0005]
[1] Une composition de résist comprenant un composé représenté par la formule (I), une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide:
O OH
OR où, dans la formule (I),
R* représente un atome d'halogène ou un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, m1 représente un entier de 1 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[2] La composition de résist selon [1], dans laquelle R* est un atome de fluor, un atome d'iode ou un groupe trifluorométhyle.
[3] La composition de résist selon [1] ou [2], dans laquelle m1 est un entier de 1 à 3.
[4] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [3], dans laquelle le R* comprend au moins un atome d'iode.
[5] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [4], dans laquelle la teneur en composé (I) est de 0,001 à 20% en masse sur la base de la teneur en solides.
[6] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [5], dans laquelle la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): RE} Jed
C C
O O La1 La2 Joram le nt’ (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L2 et L* représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH2)1-CO-0-, et k1 représente un entier de 1 à 7, * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et n1' représente un entier de 0 à 3.
[7] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [6], où la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut une unité structurelle représentée par la formule (a2-A): a50 ++ A250 A (a2-A) ; > OH (RE) où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une liaison simple ou * -X°°1- (A852-X252) p-, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auxquels -R° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[8] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [7], dans laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (B1): Qh + OS Lb1 2 OS | ALA (BIJ) des où, dans la formule (B1), QP! et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S (0)>- ou -CO-, et Z' représente un cation organique.
[9] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [8], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
La présente invention inclut également le procédé suivant pour produire un motif de résist.
[10] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [9] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition de résist appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
[0006]
Il est possible de fournir un motif de résist avec une uniformité CD (CDU) satisfaisante en utilisant une composition de résist en utilisant des composés selon au moins certains modes de réalisation de la présente invention.
5
DESCRIPTION DETAILLEE DES MODES DE REALISATION PREFERES
[0007] Dans la présente description, “monomère (méth)acrylique” signifie au moins un choisi dans le groupe constitué par un monomère ayant une structure de “CH; =CH-CO-” et un monomère “CH; =C(CH3)-CO-”. De manière similaire, “(méth)acrylate” et “acide (méth)acrylique” signifient chacun “au moins l'un choisi dans le groupe constitué par l'acrylate et le méthacrylate” et "au moins un choisi dans le groupe constitué par l'acide acrylique et l'acide méthacrylique". Lorsqu'une unité structurelle ayant <«CH:=C(CH3)-CO-» ou <«CH:=CH-CO-» est exemplifiée, une unité structurelle ayant les deux groupes doit être exemplifiée de manière similaire. «Dérivé» ou «induit» signifie qu'une liaison polymérisable C=C incluse dans la molécule devient un groupe -C-C- par polymérisation. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, les groupes capables d'avoir une structure linéaire et une structure ramifiée, peuvent avoir la structure linéaire ou la structure ramifiée. «Groupe combiné» signifie un groupe dans lequel deux ou plusieurs groupes exemplifiés sont liés, et les valences de ces groupes peuvent être modifiées de manière appropriée en fonction d'une forme de liaison. Lorsque des stéréo-isomères existent, tous les stéréo-isomères sont inclus.
Dans ce qui suit, «teneur en solides de la composition de résist» signifie la teneur totale des constituants de la composition de résist dans laquelle le solvant (E) mentionné plus loin est retiré.
[0008] — <Composition de résist> La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention inclut un composé représenté par la formule (T) (dans la suite parfois appelé «composé (I)>), une résine ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «résine (A) ») et un générateur d'acide (dans la suite parfois appelés générateur d'acide (B) »). Le «groupe labile en milieu acide» signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, se convertissant ainsi en une unité constitutionnelle ayant un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention peut en outre inclure une résine autre que la résine (A).
La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention comprend de préférence un agent de désactivation tel qu'un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (dans la suite parfois appelé «agent de désactivation (C)» (« Quencher (C) »), et comprend de préférence un solvant (dans la suite parfois appelé «solvant (E)»).
[0009] <Composé (I)> La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention inclut un composé (I):
O OH Rd où, dans la formule (IT), tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
[0010] Des exemples d'atome d'halogène comme pour Rt incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome d'iode et un atome de brome.
Des exemples du groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone comme pour R* incluent les groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifuorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2- tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3- — pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4- octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle , un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
m1 est de préférence un entier de 1 à 3.
R* est de préférence un atome de fluor, un atome d'iode ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore un atome de fluor ou un atome d'iode.
Lorsque m1 vaut 1, R* est de préférence lié à la position ortho ou à la position méta, et de préférence encore à la position ortho, par rapport à un groupe carboxy du cycle benzénique.
[0011] Des exemples du composé (I) incluent les composés représentés par les formules suivantes.
COOH COOH COOH COOH COOH COOH CF$ CF3 F3 F F CFs F (1-1) (1-2) (1-3) (1-4) (1-5) (1-6)
COOH COOH COOH COOH COOH 5 © FR 5 Ú © ’ F F
F F F F F
F (1-7) (1-8) (9) (1-10) (1-11)
COOH COOH COOH COOH COOH FL 5 ‚F F
F F F 1 F F F (1-12) (1-13) (1-14) (1-15) (1-16)
COOH COOH COOH COOH COOH COOH I I I I [ I I I I j I I I I I 1 1 I I I (1-17) (1-18) (1-19) (1-20) (1-21) (1-22)
COOH COOH COOH COOH COOH COOH OL OO A L, A. LA, ] F (1-23) (1-24) (1-25) (1-26) (1-27) (1-28)
[0012] La teneur en composé (I) est habituellement de 0,001 à 20% en masse, de préférence de 0,005 à 15% en masse, et de préférence encore de 0,01 à 10% en masse, sur la base de la teneur en solides de la composition de résist.
[0013] <Résine (A)> La résine (A) inclut une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a1)"). II est préféré que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1). Les exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1) incluent une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (s)"), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) et l'unité structurelle (s) (par exemple une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a4)"), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a5)”)) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0014] <Unité structurelle (a1)> L'unité structurelle (al) est dérivée d'un monomère ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois “monomère (ai).
Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite aussi appelé groupe (1)) et/ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite aussi appelé groupe (2)):
HE * —0 Ra? (1) ma na Ras où, dans la formule (1), R3, R°? et R23 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, et R°* et R°° sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R°° sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment 0 ou 1, et au moins l'un de ma et na représente 1, et * représente un site de liaison: (0 LG —— [x (2) na' Ra? où, dans la formule (2), R°* et R°” représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R23 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R2? et R23 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R°? et R°* sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le cycle hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou -S-, X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na’ représente 0 ou 1, et * représente un site de liaison.
[0015] Des exemples du groupe alkyle pour R2%, R22 et R°° incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle et un groupe octyle et analogues.
Des exemples de groupe alcényle dans R*, R°2 et R° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*, R°2 et R® peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une position de liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R*, R? et R est de préférence de 3 à 16.
: LO -CH-06-CD Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans R°*, R22 et R° incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels que des groupes méthylcyclohexyle, des groupes diméthylcyclohexyles, des groupes méthylnorbornyle, des groupes cyclohexylméthyle, des groupes adamantylméthyle, des groupes adamantyldiméthyle et des groupes norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle , un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
De préférence ma est Oet na est 1.
Lorsque R et R* sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique, des exemples de groupement -C(R3*)(R2)(R) incluent les cycles suivants. Le groupe hydrocarboné non aromatique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une position de liaison à -O-
Ras Ras Ras ras , Ras î Ras ; pas N ras
TCOUVDOLSOWO CI ; Ras ; pas pas , ras N Ras OO C0 Oo KO 000
[0016] Des exemples du groupe hydrocarboné dans RŸ, R° et R incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe 5 hydrocarboné aromatique et des groupes formés en combinant ces groupes. Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R*!, R2 et R, Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels que des groupes méthylcyclohexyle, des groupes diméthylcyclohexyle, des groupes méthylnorbornyle, des groupes cyclohexylméthyle, des groupes adamantylméthyle, des groupes adamantyldiméthyle et des groupe norbornyléthyle, des groupes cycloalkyles), des groupes aralkyle tel qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) des groupes arylcycloalkyle tel qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand R° et R°* sont liés l'un avec l'autre ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R?” et R sont liés, des exemples de - C(R°*)(R22)-X-R@ incluent les cycles suivants. *représente une position de liaison.
| ‘ af al al al af Parmi R? et R2, au moins un est de préférence un atome d'hydrogène.
na’ est de préférence 0.
[0017] Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), R°*, R°° et R® sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), R° et R* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R sont liés, R® est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1.
Un groupe où, dans la formule (1), R2 et R° sont chacun indépendamment un groupe alkyle, R® est un groupe adamantyle, ma = 0 etna = 1.
Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison.
DTB ror brb rorb Om 66-50 4144406417 TL TETE Toro Tg OQ: mm pas 61876 06 18 6 AT AT 4
[0018] | Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes 5 suivants. * représente une position de liaison. ADS PP AA CC TO Ar) MO VO pd D TO A
PDA ICT SIC YO rr O) TTO TTO Fr AL To DO AS AO
[0019] Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0020] Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (a1) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0021] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est une unité structurelle représentée par la formule (a1-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-0), une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-2) ). De préférence, l'unité structurelle est au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison.
Ls Ra01 Ls R34 + Ra5 C = C = C El
O O O L201 La La2 ie Rt el Jen RT Chad Ra04 nd! (a1-0) (a1-1) (a1-2) Dans la formule (a1-0), la formule (a1-1) et la formule (a1-2), [201 12! et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>)u-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-,
R20! R°* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène. R202 R23 et R°% représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
[0022] RO R°* et R°° sont de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
[20 L°* et L° sont de préférence un atome d'oxygène ou * -O- (CH2)ko1-CO-O- (dans lequel k01 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et plus préférablement un atome d'oxygène.
Des exemples du groupe alkyle, du groupe alcényle, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes en R202 R2303 °°, R°° et R7 incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R“, R° et R® du groupe (1).
Le groupe alkyle dans R°°°, R°°* et R°°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le groupe alkyle dans R°° et R°7 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t- butyle.
Le groupe alcényle dans R°° et R” est de préférence un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle ou un groupe butényle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R°°?, R203, R°°*, R°° et R est de préférence de 5 à 12, et de préférence encore de 5 à 10.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique de R202 R203 R°*, R°° et R? est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
Re? et R23 sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle.
R°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
De préférence, R°° et R? sont chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle ou un groupe phényle.
m1 est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1.
nl est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1.
n1' vaut de préférence 0 ou 1.
[0023] L'unité structurelle (a1-0) comprend, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-18) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R*° dans l'unité structurelle (a1-0) est substitué par un atome d'hydrogène et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1- 0-10), la formule (a1-0- 13) et la formule (a1-0-14).
BE HS EEE UL 5 5 (a1-0-1) (a1-0-2) (a1-0-3) (a1-0-4) (210-5) me 3 3 3 3 ; Hs "err PF tf ba ASt D (a1-0-8) (a1-0-9) © (a1-0-11) (a1-0-12) AHA HS te TT O+ Ot ox (a1-0-13) (a1-0-14) (a1-0-15) (a1-0-16) (a1-017) 0,
[0024] L'unité structurelle (a1-1) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans le document JP 2010-204646 A. Parmi ces unités structurelles, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1- 1-7) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R** dans l'unité structurelle (a1-1) est substitué par un atome d'hydrogène sont préférées, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1- 1-1) à la formule (a1-1-4) est plus préférée.
Hs Hs Hs CH Hs pb D De (a1-1-1) (a1-1-2) (a1-1-3) (a1-1-4)
H H H te} JE} SS us ° (a1-1-5) (a1-1-6) (a1-1-7)
[0025] Des exemples d'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-2-1) à la formule (a1-2-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R® dans l'unité structurelle (a1-2) est substituée par un atome d'hydrogène et une unité structurelle représentée par l'une quelconque des formules (a1-2-2), formule (a1-2-5), formule (a1-2-6) et la formule (a1-2-10) à la formule (a1-2-12) est préférable.
Ho CH Ho CH Ho CH Le CHs 4e CHs + 3 Le CHs te 3 Je’ ‘ 3 | O Ha 0 51 O > | d O O O O 7 DO TO (a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) te CH; ti CH Le gs] Ie CH Le CHs Te CHs + | + | wa, O Oo O = |
O TO TO vO +0 yo © (a1-2-7) (a1-2-8) (a1-2-9) (a1-2-10) (a1-2-11) (a1-2-12)
[0026] Lorsque la résine (A) comprend une unité structurelle (a1-0), sa teneur est généralement de 5 à 80 mol%, de préférence de 5 à 75 mol%,
et plus préférablement de 10 à 70 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles du résine (A).
Lorsque la résine (A) comprend une unité structurelle (a1-1) et / ou une unité structurelle (a1-2), sa teneur totale est habituellement de 10 à 90% en mole, de préférence de 15 à 85 mol%, de préférence encore de 20 à 80 mol%, de préférence encore de 20 à 75 mol%, et de préférence encore de 20 à 70 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0027] Dans l'unité structurelle (a1), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a1-4) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a1-4)>):
HE Les A (a1-4) Ras4 a36 (Res) Tor où, dans la formule (a1-4), R23? représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R233 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A23 représente une liaison simple ou * -X2*- (A2-x252) ne, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
x°31 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -O-CO-, nc représente 0 ou 1, la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de R23 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et R23% et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R836 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°° et R2% sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -C- O- auquel R33 et R°° sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par - O- ou -S-.
[0028] Des exemples d'atome d'halogène dans R232 et R233 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R222 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle.
R°52 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples du groupe alkyle dans R23 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples du groupe alcoxy dans R®3 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy, un groupe tert-butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R°* incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R233 incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthyl ou un groupe éthoxyéthyl.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®3 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R233 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R333 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0029] Des exemples de *-X°*-(a2%2-X232),e- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-0-A332-CO-0-, *-0-CO-A332-0-, *-0-A332-CO-0-, *-CO-0-A%32-0- CO- and *-0-CO-A%32-0-CO-. De ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-0-A332-CO-0- or *-O-A3*2_-CO-O- sont preferables.
[0030] Des exemples du groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0031] A est de préférence une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO-O- A332-CO-0-, de préférence encore une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO- O-CHz-CO- O-, et de préférence encore une simple liaison ou * -CO-O-.
[0032] la vaut de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans R®*, R33 et r°°° incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels que des groupes méthylcyclohexyle, des groupes diméthylcyclohexyle, des groupes méthylnorbornyle, des groupes cyclohexylméthyle, des groupes adamantylméthyle, des groupes adamantyldiméthyle et des groupes norbornyléthyle), un groupe aralkyle tel qu'un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. En particulier, des exemples de R°° incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe formé en combinant ces groupes.
[0033] R33* est de préférence un atome d'hydrogène.
R335 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbones, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné de R°° est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique aliphatique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique de R°*° sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans R236 est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
-OC(R23%)(R235)-0-R23%6 dans l'unité structurelle (a1-4) est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
-OC(R23)(R235)-O-R23% est de préférence lié à la position ortho ou à la position para du cycle benzénique, et de préférence encore à la position para.
[0034] L'unité structurelle (a1-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-18) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à R23 est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore des unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-5), la formule (a1-4-10), la formule (a1-4-13) et la formule (a1-4-14).
PE Par PET PET PET PET OO. To PQ 979 979 owe a Par Leg] eu ET PET. PT do © 65 oes 09 5 oes L Sat, T 0 D ve (a1-4-8) (a1-4-9) (a1-4-10) (a1-4-11) (81-412) EN TE DET EW ter H ten: j hon OH oto bon HO OH el el 00 09 os 00 06 ÔH (a1-4-13) (a1-4-14) (a1-4-15) (a1-4-16) (a1-4-17) (a1-4-18)
[0035] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-4), la teneur est de préférence 3 à 80 mol%, de préférence encore 5 à 75 mol%, de préférence encore 7 à 70 mol%, de préférence encore de 7 à 65 mol%, et de préférence encore 10 à 60 mol% sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0036] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (a1-5) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-5)"). Lt a8
C SE
O L51 al “Ab 2 tg) ka s1' Dans la formule (a1-5), R°8 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, zt représente une simple liaison ou *-(CHz)n3-CO-L°-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente un site de liaison à L°*, L°t, L°2, L°* et L** représentent chacun indépendamment -O- ou -S-, s1 représente un entier de 1 à 3, et sl’ représente un entier de 0 à 3.
[0037] L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor est préféré.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (a1-5), R°® est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle, L° est de préférence un atome d'oxygène, De L” et L53, Vun est de préférence -O- et l'autre est de préférence -S-, s1 est de préférence 1, sl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et zt est de préférence une simple liaison ou *-CHz-CO-O-.
[0038] Des exemples de l'unité structurelle (a1-5) incluent des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) à la formule (a1-5-4) sont préférées, et des unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) ou la formule (a1-5-2) est préférée davantage.
Ha fl Ha H Hz CHs Ho H
ET EH Q o O s dS © © © © (a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4)
[0039] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0040] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes.
u Te = ‚po FO so po x Od DH CO (a1-3-1) (a1-3-2) (a1-3-3) (a1-3-4) (a1-3-5) (a1-3-6) (a1-3-7)
[0041] Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci- dessus telles que (a1-3-1) à (a1-3-7), la teneur est de préférence de 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%% en mole, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de préférence encore 20 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0042] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes. je Ds Dos D, 0 & O (a1-6-1) (a1-6-2) (a1-6-3) Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci- dessus telles que (a1-6-1) à (a1-6-3), la teneur est de préférence de 10 à 60 mol%, de préférence encore de 15 à 55 mol%, de préférence encore de 20 à 50 mol%, de préférence encore 20 à 45 mol%, et de préférence encore 20 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0043] <Unité Structurelle (s)> L'unité structurelle (s) dérive d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée «monomère (s)»). Il est possible d'utiliser comme monomère dont dérive l’unité structurelle (s), un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine de la résist.
L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Lorsqu'une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois dénommée "unité structurelle (a2)") et / ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé «unité structurelle (a3)») est utilisé dans la composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhérence à un substrat.
[0044] <Unité Structurelle (a2)> Le groupe hydroxy appartenant à l'unité structurelle (a2) peut être soit un groupe hydroxy alcoolique, soit un groupe hydroxy phénolique. Lorsqu'un motif de réserve est produit à partir de la composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention, dans le cas de l'utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie tels qu'un laser excimère KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou une lumière ultraviolette extrême (EUV), l'unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est davantage préférable d'utiliser l’unité structurelle (a2-A) mentionnée ci-dessous. Lors de l'utilisation d'un laser excimère ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est davantage préféré d'utiliser l'unité structurelle (a2-1) mentionné plus loin. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0045] Dans l'unité structurelle (a2), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique comprennent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a2-A)»): R250
HA Im (a2-A) L ]
OH ( RS) où, dans la formule (a2-A),
R250 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R°°! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X2**-(a252-X252) 5", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R°*° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0046] Des exemples d'atome d'halogène dans R3 et R°* incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°*° incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle.
R°50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans R°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R®* inclunent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R* incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®* incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R°** incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy. R®1 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0047] Des exemples de *-X2*!-(a252-X°52)p- incluent *-O-, *-CO-O-, *-0- CO-, *-CO-0-A92-CO-0-, *-O-CO-A°*°-0-, *-0-A952-CO-0-, *-CO-0-A92-0- CO- et *-O-CO-A®%*-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-O-A®%*-CO-0- ou *-O-A352-CO-O- est préféré.
[0048] Des exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0049] A2°0 est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-A3*- CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-CH>- CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
[0050] mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de de préférence encore 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para d’un cycle benzène, et de préférence encore la position para.
[0051]
Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A.
Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-1) à la formule (a2-2-16), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R350 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-1) à la formule (a2-2-16). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6 ) une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°°° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-6), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2- 2-14), de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule ( a2-2- 8), les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) ou des unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et toujours plus préférablement une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°*° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule ( a2-2-8).
Ha Hs Ha Hs CHs Ha Ha Hs ECG ár H ” H
H OH OH
OH H on OH OH (a2-2-1) (a2-2-2) (a2-2-3) (a2-2-4) (a2-2-5) (a2-2-6) (a2-2-7) (a2-2-8) PET PET Ph PET WA a F HO H I 07 I I I F 7 F F
OH OH OH OH OH OH H OH (a2-2-9) (a2-2-10) (a2-2-11) (a2-2-12) (a2-2-13) (a2-2-14) (a2-2-15) (a2-2-16)
[0052] Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l’unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles.
L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique après polymérisation, par exemple, avec une unité structurelle (a1-4). L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium après polymérisation avec l'acétoxystyrène.
[0053] Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l’unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a2-1)”).
14 Ho ‚R°
C
O 5 (a2-1) R215 T(CH3)o1
OH Ra16 Dans la formule (a2-1), L°* représente -O- ou *-O-(CH;}t2-CO-0-,
k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R2!* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°15 et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et 01 représente un entier de 0 à 10.
[0054] Dans la formule (a2-1), L°* est de préférence -O- ou -O-(CH2);-CO- O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-, R31* est de préférence un groupe méthyle, R2!5 est de préférence un atome d'hydrogène, RS est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 oul.
[0055] L'unité structurelle (a2-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-1-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2- 1-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-1-1) ou la formule (a2-1-3) est préférée encore. Ho CHs Ha H Hs CHs Ho H Ho HsG Ha H EE Je De De Du De PE
OH H (a2-1-1) (a2-1-2) (a2-1-3) (a2-1-4) D 2
OH OH
H OH (a2-1-5) (a2-1-6)
[0056] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-1), la teneur est habituellement de 1 à 45 mol%, de préférence de 1 à 40 mol%, de préférence encore de 1 à 35 mol%, de préférence encore de 1 à 20 mol%
et de préférence encore de 1 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0057] <Unité structurelle (a3)> Le cycle lactone appartenant à l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle B-propiolactone, un cycle y- butyrolactone ou un cycle à-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle y- butyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de y-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple.
[0058] L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses: P 8 7 9 1 fe EE Test Tel fort Sog SE ç y ó en, Ze 0 Ge
O
O (a3-1) (a3-2) (a3-3) (a3-4) où, dans la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4), L°*, L® et L® représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CHz)(3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7), L°” représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°8-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°*- CO-O- ou *-0-L3-0-CO-L°-0-, L® et L°° représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle, RAS R°19 et R220 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R22* représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, X°* représente -CHz- ou un atome d'oxygène, R°21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, R322 R223 et R°°° représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, pl représente un entier de 0 à 5, q1 représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, w1 représente un entier de 0 à 8, et quand pl, q1, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de R°*, R222 R223 et/ou R22 peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0059] Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans R°*, R222, R223 et R°°° incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans R* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode. Des exemples de groupe alkyle dans R** incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans R82* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe — trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
[0060] Des exemples de groupe alcanediyle dans L® et L® incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4- diyle.
[0061] Dans la formule (a3-1) à la formule (a3-3), de préférence, L°* à L°° sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)(3-CO-O-, de préférence encore -O- et *-O- CH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène, RAS à R°2! sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, R°°? et R223 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, q1 et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0062] Dans la formule (a3-4), R** est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R225 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, L” est de préférence -O- ou *-O-L°8-CO-O-, et de préférence encore -O-, -0-CH2-CO-0- ou -0-C:H4-CO-0-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 oul.
En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3- 4":
R324 |
CHC Ts Le (a3-4)' o
Ô où R°°* et L sont tels que ceux définis ci-dessus.
[0063] Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-1-1), la formule (a3-1-2), la formule (a3-2-1), la formule (a3- 2-2), la formule (a3-3-1), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-1) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à R213, RS, R#20 et R2?* dans la formule (a3-1) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
[0064] CH CHs CHs CH CHs CHs CHs CHs to} JT tt + Jett © 14+ tert tst © oO U X p & +, À, 3 od 8 ö & © à © (a3-1-1) O (a3-2-1) O4 (a3:200) od 33-1) ET #19 a axe) 332 H2 CH F2 cHs C2 CH < A) SA y Cls C 3 C © + | TX TX | + 2e + © a 2
O 20) Ÿ X be be © pe 0 9 Ô (a3-4-1) & 3 AI (a3-4-6) (a3-4-2) (a3-4-3) (a3-4-4) d (a3-4-5) © Ha H H H2 Ha 2 CL LH c“ Hs c?_CH3 c?_£H3 SC c?_£H3
ASS AS HE T (a N ‘Pp x so Ö Ô y N Ö 70 oO (a3-4-7) L 4 Ô (a3-4-8) © 8349) (a3-4-10) $ (a3-4-11) (a3-4-12)
[0065] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement de 5 à 70 mol%, de préférence de 10 à 65 mol%, et de préférence encore de 10 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-1), de l'unité structurelle (a3-2), de l'unité structurelle (a3-3) ou de l'unité structurelle (a3-4) est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence encore de 5 à 50 mol%, et de préférence encore de 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0066] <Unité structurelle (a4)> Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent les unités structurelles suivantes: He R41 = | (a4)
Q \242 où, dans la formule (a4), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R°? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome d'halogène, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou —CO-.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé représenté par R°? incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0067] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0068] Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-0), une unité structurelle représentée par la formule (a4-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): R54 bont (4-0) d O \ 4 / | Sa \Les où, dans la formule (a4-0), R°* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L“ représente une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone,
L*’ représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et RÉ* représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[0069] Des exemples du groupe alcanediyle dans L* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle et un groupe butane-1,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle.
[0070] Des exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L“ incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoroethylfluoromethylene, un groupe perfluoropropane-1,3-diyle, un groupe perfluoropropane-1,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5- diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane- 3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-1,6-diyle, un groupe perfluoro- hexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-1,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle, un groupe perfluorooctane-1,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle, un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L® incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe perfluoro- cyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0071] L® est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3 est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0072] Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a4-0) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes :
H H H H CH CH A td Se Ed ré Se Fa CHF, Gi F3 FH (a4-0-5) (a4-0-6) (a4-0-1) (a4-0-2) (a4-0-3) (a4-0-4) ç H H Pe HE JE Ho Ho YF, trs 4 BE Ç pd Cs F3 dre 8F17 (a4-0-7) (a4-0-8) F3 (a4-0-9) (a4-0-10) (a4-0-11) (a4-0-12)
H H H do er tf} ef
O
F caf 9 ca Of Vi Ç ; eF13 Fr Pe (a4-0-13) (a4-0-14) @ 401 5) (a4-0-16)
[0073] RA41 H2
C
O Nat (a4-1) 3 O Ra42 où, dans la formule (a4-1), R31 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R°*2 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, A! représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-g1), dans lequel au moins l'un de A?*! et R?*? a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor) : 6 A ya aje A44 (a-g1) Ss dans lequel, dans la formule (a-g1), s représente 0 ou 1, A et A?* représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, A23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, xe et XE? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, -CO- O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de A, AB A244 x° et X°*° est 7 ou moins], et * représente un site de liaison et * sur le côté droit représente un site de liaison à -O-CO-R°**,
[0074] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans R** incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0075] Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle et analogues.
[0076] Des exemples de substituant appartenant à R°* incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préféré: % ——X2a43— pa45 (a-g 3) où, dans la formule (a-g3), X? représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-O-CO- ou *-CO-O-, A: représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à R2*2.
Dans R3%2-x2*3-A3% quand R°* n'a pas d'atome d'halogène, A?* représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0077] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé dans A? incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycligues comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
© € CCD CO -09-09-000 Des exemples de groupe formé par combinaison incluent un groupe obtenu en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0078] R°*2 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand R** est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues.
Quand R?*? est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de
R°*2 est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a- g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1.
[0079] Quand R°* est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), R°° est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2) : + —A216_x244__pa47 (a-g2) où, dans la formule (a-g2), A°*° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X21* représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à A°*°), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de A°°, A? et X°** est 18 ou moins, et au moins l'un de A°* et A°* à au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
[0080] Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé de A3“ est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé de A? est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et A77 est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0081] La structure préférée du groupe représenté par la formule (a-g2) est la structure suivante (* représente un site de liaison à un groupe carbonyle).
ADD AD EAD AAN END 2 0 2 Ô O F, F,
[0082] Des exemples de groupe alcanediyle dans A°* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe 1- méthylbutane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle. Des exemples de substituant dans le groupe alcanediyle représenté par A°# incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone. A°*! est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0083] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A? A23 et A?* dans le groupe représenté par la formule (a-g1) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique, et des groupes hydrocarbonés saturés divalents formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe 1-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle et analogues. Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A22, A et A? incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone. s est de préférence 0.
[0084] Dans le groupe représenté par la formule (a-g1), des exemples de groupe dans lequel X** est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans les exemples suivants, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** représente un site de liaison à -O-CO-R°*,
x Sy x ar x A Ö Ö Ne 0° ô 0 Ö Ö Ö 6 Ö 9 9 9 Q 9
[0085] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à A°* dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène. CHs CHa CHa CH» CHs CHs tl el vr Pl Le Le
O O O O HF, br, be, be Le Le FH CF, FG Fa, (a4-1-1) (a4-1-2) (a4-1-3) (a4-1-4) HF2 F3 (a4-1-5) (a4-1-6) Hz CH3 CH3 CH CH Pf vf PA “a ri F» Î F» F» LE, K F,C FoC FC FC F PF? CF, EC F2 E d F2 F F an Ca CHF, “te FF (a4-1-7) (a4-1-8) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
[0086] Hs Hz Hz Hz Hs Hz tt “jen er: ers er: er:
O O O Fo CF F2 Fa F2 Fo Fa FG Fx F2 F2 Fa Fo > F2 F2 Fo O O o > O : (a4-1'-1) (a4-1'-2) (a4-1'-3) (34-1-4) H (a4-1-5) (a4-1-6) Hg 3
H H H "q PRT td} HF PE
O
O O $ © ° +. O FoC F2 F2 2 F2 F2 O O < (a4-1'-7) (a4-1"-8) (a4-1'-9) (a4-1'-10) (a4-1'-11)
[0087] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (a4- 1) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-3): Ha RS 7 O (a4-2) L44 O7 do où, dans la formule (a4-2), R® représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
L* représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, R® représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L“ et R® est 21.
[0088] Des exemples du groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone de L*% incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour
AH Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés de R*, Le groupe alcanediyle dans L* est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0089] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à RË dans l’unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est également cité à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par (a4-2) :
[0090] Ha OR"
TT 7 O
LS O7 (a4-3) >
N où, dans la formule (a4-3), R représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L° représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, AS représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, xf!2 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à A), Af* représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Af? a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Af? et Alt est 20.
[0091] Des exemples de groupe alcanediyle dans L° incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés dans le groupe alcanediyle de A**,
[0092] Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans A est de préférence un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant éventuellement un atome de fluor et un groupe hydrocarboné alicyclique saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexane- diyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornane- diyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0093]
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour AF* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°#2, Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0094] Dans la formule (a4-3), L° est de préférence un groupe éthylène. Le groupe hydrocarboné saturé divalent de Af? est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone. Le groupe hydrocarboné saturé de A* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne saturé ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, Af!* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0095] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, des unités structurelles représentées par la formule (a4-1"-1) à la formule (a4-1'-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R” dans une unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est également citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par (a4-3).
[0096] Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4):
ET SU (a4-4) pra” où, dans la formule (a4-4), R2! représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, A2! représente -(CHz)1-, -(CH2)ji2-O-(CH2)j3- ou -(CH2)j4-CO-0- (CH2)j5-, jl à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et R? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0097] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par R°*2, RP2 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0098]
Dans la formule (a4-4), A?! est de préférence -(CH>)j1-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0099] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans l'unité structurelle (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
tons = tons ic T+ Te} Tere = ton. 5 ter: 5 oO O 3 + O 0 F3 Fo F2 F2 F HE; R F3C Fo R FICHE, F,HC EA
FFF Hz Hz Hz Hz Hz Hz Hz Hz Jen SH} Fo Jeu CE Jon CE Son to tons O o O O o rt ; ie er? F2 O . Fa dr 6 Pa FE È F3 F2 F2 F3 F, F2 rc F2 FE, F2
[0100] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0101] <Unité structurelle (a5)> Des exemples de groupe hydrocarboné non partant appartenant à l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique. L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-1) :
H, 51 1 = (a5-1)
Q 55 R°2 où, dans la formule (a5-1), R°? représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°? représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et L°° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0102] Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R° peut être monocyclique ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R? est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
[0103] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L” incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique polycyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0104] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L°° est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (L1-1) à la formule (L1-4). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun un site de liaison, et * représente un site de liaison à un atome d'oxygène.
La Ç 2 Ml RS Pis ml DE A _, A» a AR nn. ng 00 u SS (L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4) Dans la formule (L1-1), X représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à L), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L* est 16 ou moins.
Dans la formule (L1-2), LS représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L3 et L** est 17 ou moins.
Dans la formule (L1-3), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, L$ et LY représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L°, L® et L” est 15 ou moins.
Dans la formule (L1-4), LS et L° représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone, W* représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L$, L et W* est 15 ou moins.
[0105] Lt est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
LS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L“ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L*° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
WX est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0106] Le groupe représenté par la formule (L1-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. + xx #2 xx 3 xx #04 x Aon, * 18 x H CHs Hs
AAA ASS HAS
Ö Ö M H3 © wek Oo #* N *x Ha CHs
[0107] Le groupe représenté par la formule (L1-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. kk Ho kk Ho Xx OA X me N DD, 3 3 , A Aho” so" Aho , tre”
[0108] Le groupe représenté par la formule (L1-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. Hs 9 2 Ak re DNA DAN, A O Hs Ö
[0109] Le groupe représenté par la formule (L1-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. î À ek À" SI en NY 0” „SIT CN A FH * HA
OM DISS DS
[0110] L°° est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (L1-1).
[0111] Des exemples d'unité structurelle (a5-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a5-1) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes.
H tot Hs fr Hs fr Hs Tor Hs ten, Hs ter 3 oO O (a5-1-1) (a5-1-2) (a5-1-3) (a5-1-4) (a5-1-5) (a5-1-6) oi} Jon} fout} Hond} Hod Jos
O (a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12)
[0112]
H H H H + + KU St HR Jours (a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0113] <Unité structurelle (II)> La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (IT) »). Des exemples spécifiques de l'unité structurelle (IT) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
[0114] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") :
RIS NS (Il-2-A") Asa ZA+ où, dans la formule (TI-2-A%, xIB représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy, A“ représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, RA’ représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate,
RTS représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et ZA‘ représente un cation organique.
[0115] Des exemples d'atome d'halogène représenté par RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par RÉ incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par A“ incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut être substitué dans A“ incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
[0116] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X" incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6- diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane- 1,11-diyle et un groupe dodécane-1,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4- diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; des groupes hydrocarbonés saturés alicycliques monocycliques divalents, par exemple, les groupes cycloalcanediyles comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0117] Ceux dans lesquels -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (X1) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à A“.
0," 5 A 5 OT oe, “0405 Ee OT gx, _ xn (2) 09) (X4) (X) (X6) (7) (X8) (X9) 10) WO OS RT ouh ee og, 804097 gs O4” (X11) (X12) (X13) (X14) (X15) (X16) (X17) (X18) (X19) (X20) (X21) (X22) (X23)
O O Ae 9e" NN OA * 9 Öö Ô Ö Ö OÖ Ö (X24) (X25) (X26) (X27) (X28) (X29) Dee oe od Ao Ao, oe Aon Ao, (x30) (x31) (X32) (X33) (X34) (X35) (X36) De A Ao ds Aou Asa, DET (X37) (X38) (X39) ao, (X41) (X42) ; ops Pe A 004g? Cp vg (X43) (X44) (X45) (X46) (X47) Aa ne Se ee Lane eo (X48) (xas) (50) 81) 252) (X53)
[0118] X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone. X* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X’ représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X® représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0119] Des exemples du cation organique représenté par ZA” incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ces cations organiques, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré davantage. Des exemples spécifiques de celui-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) mentionnée plus haut (dans la suite parfois appelé « cation (b2-1) » selon le numéro de la formule).
[0120] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
RIIS
NF L RUI2 Y O son ZA* (II-2-A) RM _ © où, dans la formule (II-2-A), RS, x!B et ZA* sont tels que ceux définis ci- dessus, z représente un entier de 0 à 6, RIZ et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z est 2 ou plus, une pluralité de RIP et RI! peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et Q* et QP représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[0121] Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par R!2 RI Q? et Q incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par Q” mentionné plus loin.
[0122] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1):
R!!!3
NH
A 9 Le (II-2-A-1) F3C
O og R!!!2 ® {ie ZA* RIM 7 © où, dans la formule (II-2-A-1), RH? RI RI Q2 QP, z et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci- dessus, RTS représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CHz>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
[0123] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par RS incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Xl incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par XE,
[0124] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-2):
RIIS |
C A, O—RIIIS (Il-2-A-2) CF3
O H\ (1 O T SO3 ZA" H /nA F/m où, dans la formule (II-2-A-2), RIB, RIS et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et nA représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
[0125] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de RIB est substitué par un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle, etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA” représente un cation organique.
CHs CHs GHs GH3 GHs GHs C—CH C—CH C—CH C—CH, C—CH C—CH
I GG FC FC. FC F3C F,C FC pos N PF pos PP) PF FA) Ö FA) Ö FA) Ö Ö Ö Ö FSorzat Ff Soyzat =" so, za FAP LJ A 3 3 3 F F F F F F SO; ZA* SO; ZA* SO3 ZA*
CH CH CH CH CH CH Lon) LE on) Lon) (Eon) (Eon) Eon)
A A A A A A
F F L 5% N ZA" F 505 qu 0 7580; F ZA - ; F—HF 050 Foe A So: L ZA* + Pda ZA+SO3
[0126]
L'unité structurelle ayant un cation ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) : R!!4 er RIS (ll-1-1)
O OAN RI “A où, dans la formule (II-1-1), A! représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent, R' représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, RZ et RI représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et RI et RIE peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec des atomes de soufre auquel RI? et RBB sont liés, RI! représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et A’ représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R“* incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par RI? et RI incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés ci- dessus.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique mentionnés ci-dessus, des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle , un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p -cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R!* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par A" incluent un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XI,
[0127] Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-1-1) incluent les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de R"* est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peuvent avoir un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle etc.).
Hs Hz Hs Ha Hz Hz > *F > rn no F4 st + St + + NO OO OO ces AD
O H3 H3 H3 Hz Hz O Û CHz et O Jon. 1e © PT + * fort S © Oo So C
O & © : ® OD JV NO ve OC
[0128] Des exemples d'anion organique représenté par A incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion acide carboxylique. L'anion organique représenté par A est de préférence un anion d'acide sulfonique, et des exemples de l'anion acide sulfonique incluent ceux qui sont les mêmes qu'un anion représenté par la formule (B1) mentionnée plus haut.
[0129] Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par A incluent les suivants. F2 frs FafC -CF3 F 023 CFa 028-CF2 028-CF2 0,8—ÇF, o,s L LL 47 O2S-CF3 O2S-CF2 O2S-CF2 ot F, of, CF, FÈ-C-CF; F2
[0130] Des exemples d'anion sulfonylméthide incluent les suivants.
CF F,C—CF3 O,S—CF3 0,S-CF, ose, ©, € F, O2 | F4C. Fs O2 |L F,C—s — F,C—C—S “1 F2c-C-$ 1 er O2S-CF, O25- CF, LE, F,b-CF:
[0131] Des exemples d'anion acide carboxylique incluent les suivants. Ae et ie A ef Bf Oe CHs
H
Q Dy 9 O4 on n° FOF,F F Q H:G, wok, cr AE LEE 4 5 6, OH Dh arte RQ: ® O+
[0132] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) incluent des unités structurelles représentées par les formules suivantes. Hz Hz Hz en Tet tot
O H CO RE FF Sé He 03 OS Os OC OÙ O0 Ton Hz Jon, Hg N {em Hz ost F3 OÙ F, RF Hs
SR ER GER Hz Hz ers for KE H RAF Hs ETES 9 SR
[0133] Quand l'unité structurelle (IT) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (IT) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol®%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0134] La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles susmentionnées, et des exemples des unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
[0135] La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (a1) et d'une unité structurelle (s), c'est-à-dire un copolymère d'un monomère (al) et d'un monomère (s).
L'unité structurelle (a1) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe constitué d’une unité structurelle (a1-0),d' une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2) (de préférence l'unité structurelle ayant un groupe cyclohexyle, et un groupe cyclopentyle), de préférence encore au moins deux, et de préférence encore au moins deux choisis dans le groupe constitué d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2).
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
[0136] Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux unités structurelles ou plus peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités structurelles par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur en unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence de 2000 ou plus (de préférence de 2500 ou plus, et de préférence encore de 3000 ou plus), et de 50000 ou moins (de préférence de 30000 ou moins, et de préférence encore de 15000 ou moins). Telle qu'utilisée ici, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par permeation de gel dans les conditions mentionnées dans les exemples.
[0137] <Résine autre que la résine (A)> La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention peut inclure la résine autre que la résine (A).
La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
[0138] La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Les exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et les unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5), et de préférence encore une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de préférence encore 1 à 30 parties en masse, et de préférence encore 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0139] La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Le composant solide de la composition de résist et la teneur de la résine peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0140] …<Générateur d'Acide (B)> Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique comprennent les esters sulfonates (par exemple, ester 2- nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, N- — sulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques du générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples de l'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
[0141] Des exemples spécifiques du générateur d'acide (B) incluent des composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US No.
3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0142] Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (B1) (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B1)”) : Qh + -0.S [61 21 OS AS, (B) des où, dans la formule (B1), Q% et Q° représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z1* représente un cation organique.
[0143] Des exemples du groupe perfluoroalkyle représenté par Q” et QP2 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, QP! et Q” sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, les deux sont des atomes de fluor.
[0144] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans LP? incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en combinant deux ou plusieurs de ces groupes en combinaison.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptane-1,7- diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, un groupe dodécane- 1,12-diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14- diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16- diyle et un groupe heptadécane-1,17-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- …— méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques qui sont des groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0145]
Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par LP! est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (b1-1) à la formule (b1-3). Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3) et les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-11) qui sont des exemples spécifiques de ceux-ci, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à -Y.
[0146] A N b3 *% OS # O —* No A ; DS, ba T * DS, 66” > b7
O (b1-1) (b1-2) (b1-3) Dans la formule (b1-1), LP? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et LP? est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-2), LP* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et L°* est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-3),
LPÉ représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, LP” représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de LÉ et LP est 23 ou moins, et * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0147] Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3), quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de Lo LP? est de préférence une simple liaison. LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
LP* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LPS est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
LP” est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0148] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L! est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (b1-1) ou la formule (b1- 3).
Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-1) incluent les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-8) : O O X b11 1.912 A, Ae + A RR (b1-4) (b1-5)° (b1-6)
O O Ao B Re re (b1-7) 9 (b1-8) Dans la formule (b1-4), LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (b1-5), LP représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L” et L**° est 20 ou moins.
Dans la formule (b1-6), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP!2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP! est 21 ou moins. Dans la formule (b1-7), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, LP!* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L°** à LP!5 est 19 ou moins.
Dans la formule (b1-8), [P1É représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L°*® à LP!3 est 19 ou moins.
* et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
LPS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP!* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
LP!5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[PS8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0149] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-3) incluent les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11). ARS AO ARE og
O (b1-9) (b1-10) (b1-11) Dans la formule (b1-9), LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, L°%0 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP2 est 23 ou moins.
Dans la formule (b1-10), LP?! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP22 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! LP? et LP23 est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-11), [P?* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP2 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy,
le nombre total d'atomes de carbone de L”*, LP et Lb est 21 ou moins.
[0150] Dans des groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant la substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé. Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues.
[0151] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-4) incluent les suivants : O O 0 O O CH; * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0152] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-5) incluent les suivants : A Aten A An A
O O x Ass, “ ke AGE a À, PS Ö Ha CH 0 CHs 0 CH; CHs N O ; PR Roth Ant US TH, 9 A
O Ö * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0153] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-6) incluent les suivants: 3 3 3 Q 0 0 OQ = Ate “other At Jr} ST où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0154] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-7) incluent les suivants: Hs Q ae í
O AD RAI 2d 950 6 +*x 0 9 Q AND * O AND Ao 7 ANR, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0155] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-8) incluent les suivants :
Q de ak Do
O * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0156] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-2) incluent les suivants :
O oO > “to AT Ar wm A AA, Hs 3 3 H3 4 Hz 2 X 0 F F «ko + Hot, Hs HA. EN A Hs * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0157] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-9) incluent les suivants :
F F Hz
F F F F F
OH OA O CHs * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0158] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-10) incluent les suivants : © AAA | © O Kk Hs ak Hz xx se sk ak xx 2 x AO weak H ** ak H Hs
F F F F Fa F Fs of 3 F 3 ff 3 % À
H * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0159] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-11) incluent les suivants : Hz ANA NS robot, MA AL, A, A, Ô ’ dek ok û F F X F © F F F HR F CF3 F CFa £ N°0 % J OH De
H Jord hed Ah hi *% FE ore * FF 2 **F * FE TT * CH4 X
H 5 où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0160] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Y1) à la formule (Y11) et par la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CH;- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples de tels groupes incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et par la formule (Y39) à la formule (Y43). >+00-0-0 47-0574 AA VD (2) (3) (14) (15) (19 (17) (Y8) (Y9) (19) (YNN) MN. A EN MN NET nn
OKADA RT SD 0 Y14) (15 9 O on) (22) 12) (Y13) (Y14) (Y15) (Y16) (Y17) (Y18) (Y19) (Y20)
IDE ND HI HO ID GC 9 & > 7, {_) Ye bo PD / 0 (Y23) (Y24) (Y25) (v26) arr (y28) (Y29) (Y30) (Y31) 4 (132) (Y33) . x { 0 SÉ <> Oo —L To O DV AO) X À ee (Vas (35) 0138) (197) (va) 039) (Y40) 141) (v42) (43)
Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Y1) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y43), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43).
Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est un cycle spiro contenant un atome d'oxygène comme la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène a de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure cétal, il est préféré qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0161] Des exemples de substituant du groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz);,-CO-O-R®* ou un groupe -(CH2);a-0-CO-RP! (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, et -CH>- inclus dans un groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, - SOz- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peuvent être substitués par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4).
Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone qui peuvent être substitués par un groupe hydroxy (-CH>- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe - (CH2);a-CO-O-RE! ou un groupe - (CHz)ja-O-CO-RP! (où RP! représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenus en combinant ces groupes, et - CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarbure aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor et ja représente un entier de 0 à 4).
[0162] Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues. Le groupe hydrocarboné alicyclique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne, et des exemples de ceux-ci comprennent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12, et de préférence encore de 3 à 10. Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryles comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- méthylphényle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle,
un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné alicyclique, ayany 3 à 18 atomes de carbone, , un groupe p- adamantylphényl, un groupe p-cyclohexylphényle etc.). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14, et de préférence encore de 6 à 10.
Des exemples du groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent des groupes hydroxyalkyle comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O-, -S (O)2- ou -CO- incluent un groupe alcoxy, un groupe alcoxycarbonyle, un groupe alkylcarbonyle, un groupe alkylcarbonyloxy, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, plus préférablement de 1 à 6, et encore plus préférablement de 1 à 4.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy et analogues.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkyle incluent des groupes alcoxyalkyle tels qu'un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle et un groupe éthoxyméthyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alcoxy incluent des groupes alcoxyalcoxy tels qu'un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy et un groupe éthoxyéthoxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalcoxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyle incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyle tels qu'un groupe méthoxyacétyle, un groupe méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle et un groupe éthoxypropionyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyle est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyloxy incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyloxy tels qu'un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy et un groupe éthoxypropionyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyloxy est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à
5.
Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y43).
[0163] Des exemples de Y incluent les suivants. A X Ar Def * Oo oO oP oF Io 07 07 (1100) Vion) * * * x x ( (Y102) (Y103) (Y104) , (105) (1106) © © Be A Ur A Hs, CH po
PSS ED OÙ 9 % (v109) PS (110) CS (1119 “ (Y107) * (v108) © o — Q OH es © © Oo ES Où oO 95 04 (Y112) OH (va9) (118) (114) (1115) (v116) CH3 Ha HaCyCHls | HO, , H O*_« A OQ “A+ AQ > Ro RK {On (11) (4) (117) (Y118) (Y119) (Y120) (Y121) (Y122) (Y123) (15) (9124) Ÿ (Y125) (126) (127) gk (v128) » op (1125)
RE RF F F
F F F De Va € HE, 9 5 { ; Se
O (Y130) (Y131) (Y132) (133)
[0164] Y est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CHz- constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(O)2- ou -CO-. Spécifiquement, Y est de préférence un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle ou des groupes représentés par la formule (Y42) et la formule (Y100) à la formule (Y114).
[0165] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) est de préférence un anion représenté par la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-59) [dans la suite parfois appelé "anion (B1-A-1)" selon le numéro de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-4), la formule (B1-A-9), la formule (B1-A- 10), la formule (B1-A-24) à la formule (B1-A-33), la formule (B1-A- 36) à la formule (B1-A-40) et la formule (B1-A-47) à la formule ( B1-A- 59).
[0166] OH 0 ao Q»2 on b1 b2 Qb! Qb? OÙ QU 0 _ O - Oo - Oo 048 SL A41 os TT LA 038 SL Adt 3 Sr Ö y 9 (B1-A-1) (B1-A-2) (B1-A-3) Qb Qb2 Qb Qb? Ri2 ao Qb2 KO Bau Be RO
O O O (B1-A-4) (B1-A-5) (B1-A-6) RS b1 Ob2 C4 ar! Lab? _ QU 0 oO - © on ANT oare YT LA IT L q à 0 5 (B1-A-7) (B1-A-8) (B1-A-9) 9
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OH ao Qb2 pi ba b1 b2 - O Q Q Q Q ° Ö O-S=0 087 > LA 0:87 > L (B1-A-10) ° (B1-A-11) Bazar) O OH ( ) Y ab! Qb2 Qb QP2 _ O Oo KO os bi „ob Oo vO FTSE 9 - DL (B1-A-13) 98 FASE O (B1-A-14) (B1-A-15)
[0168]
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O OH 7 O at! ‚ar? AX pq Ÿ CO 0 oo - OA
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OH abi a2 OH ot! „ob? QE! a”, - _ - Spis 05750 AK 0870 YT FC CF OH L F7 SF du NA O (B1-A-22) (B1-A-23) (B1-A-24) bi b2 O Qb’ Qb2 O CH3 Q Q Oo CH3 7 os ° 7 os | A41 ° O b O O (B1-a-25) © (B1-A-26) O
OH b1 „OP? O CHs _ Q Ou A41 QM QM O:S L Oo FE jaa 0750 hx oo O O Oss 2 1 ke OS 2 F os
O (B1-A-27) 0 L 9 L (B1-a-28) Ps (B1-A-29) CH
[0169] O4 O1 0 RS . Re 1 2 O 6 R So Ad Al FM LAG R RI 035 L TT © O 0 aL 7 D LA41 (B1-A-30) (B1-A-31) os” O (B1-A-32) O Te © ° 1 al 0? R 9 O Ve Ö _ Os, A44 - LA41 - LAHM 0:5 L 0:57 “od os] 07 So O Q F Q? F (B1-A-33) F (B1-A-34) (B1-A-35)
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O O O (B1-A-39) (B1-A-40) (B1-A-41)
[0170]
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O O (B1-A-42) (B1-A-43) ale SE 7 1 Q2 _ 70 Zo LP 7 0:57 À 038 O-SF0 3 O O oO © 0 O (B1-A-44) (B1-A-45) (B1-A-46)
[0171] O. O Re, A De A Mt De 07% 67% 9 Ò
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O O (B1-A-47) 9 (B1-A-48) (B1-A-49) O. O De A The X Op ve 67% O 5 ô O
D ar Qb2 O Qb1 Qb2 Oo QET Q®2 O Se CI 0387 Ds
O O O (B1-A-50) (B1-A-51) (B1-A-52)
[0172]
O Qh Qb? 9 9 A Oa Oo OP Oo OP 035 QX à»? 0 QM Op? Oo O O 0 Oa 5, > 4 6 (B1-A-55) (B1-A-53) (B1-A-54) o O 9 OH ox Ÿ TS QX! Qb2 <5 QX à? Sk O on OL 0 SOA
O O B1-A-57) (B1-A-56) Oo ( À od
O O O. O. ae. nee. QX Qb2 ex O QX! Qb2 Ee O 0 {Oan GS 10-148
O O (B1-A-58) (B1-A-59)
[0173] R à RU représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R® est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone. Q®* et QP2 sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques de l'anion dans le sel représenté par la formule (B1) incluent des anions mentionnés dans JP 2010-204646 A.
[0174] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) inclut de préférence des anions représentés par la formule (B1a-1) à la formule (B1a-38).
HO 0
F > AN FF N O ‘048 | 10 038 O 035 Ö (Bla-1) © (Bla-2) (Bla-3)
O CH Ao Fo Fc 6, F 0, : - x- - x. 038" CHz 7038 7 O Oss Oss 6 6
Ö Ö O O D-SzO 5 O O (Bla-6) (Bla-7) (Bla-4) (Bla-5) EF 9 ch AF, O CH À . 0 ST >- o F oo O3S O F 6 os 0 VOTE O 3 F 0 O F 070 (Bla-8) (Bla-9) (Bla-10) bo
OH 0 CH Â CH F 0750 -0s ofte Os AN 0 - A Ter SPO je FF 4 O4S F Ö F O 2 (Bla-11) Cha (Bla-12) (Bla-13)
[0175]
F O,0T0 F
FF F F 0 T° oO os ro _ FF >
Ö SY (Bla-14) O (Bla-15) (Bla-16)
OH > A A | > SE > N “048 O | 3 Ö os 038 ©
Ö (Bla-17) (Bla-18) (Bla-19) F > > CE 035 O3S FF F Ö 3 Ö ><_o 0 0 O-SzO 038 O 5 Ö (Bla-20) (Bla-21) (Bla-22)
[0176] Me A Me X H Der 9 O O Ô O — F RF _ F 035 O3S O3 X (Bla-23) (Bla-24) (Bla-25) A A ROS: odf he 041% 04-10 — FRF _ F _ F (075) O3 O3
O Ö O (Bla-26) (Bla-27) (Bla-28)
A A Áo Ç 5 Le _ F _ F Ö H So A 55 SW 3 9 (Bla-31) (Bla-29) (Bla-30)
KF Ss 0 AT PS ij Ee | 3 "Os . 05 | T 9 ST (B1a-33) (Bla-34) (Bla-35) (Bla-32)
H - KF KF
O (Bla-36) (Bla-37) (Bla-38)
[0177] Parmi ceux-ci, un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3) et de la formule (B1a-7) à la formule (B1a-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19 ) et la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) est préféré.
[0178] Des exemples de cation organique de Z1* incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé “cation (b2-1)" selon le numéro de la formule).
[0102] (RB13) 2 (RE17) 2 RB4 (RD) ma R® 9 © 15 © RbS-6+ Oo D Locale 1 5 )a2 S+ R6 WJ | ado 1 " GG Q (re jn A Sa (b2-1) (b2-2) (b2-3) (RP 14) 2 1 u2 1/(u2+1) (b2-4) Dans la formule (b2-1) à la formule (b2-4), RP* à RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, RP* et RP5 peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP* et RP° sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, RP” et R® représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5,
quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de RP peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de RS peuvent être identiques ou différents,
R® et RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
RP et RP! peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP? et RE sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP! représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
RP? représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP! et RZ peuvent être liés l’un à l'autre pour former un cycle,
incluant -CH-CO- auquel RP! et RP! sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP!3 à RS représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
LP3! représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène,
02, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0à5,
q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4,
u2 représente 0 ou 1, et quand 02 est 2 ou plus, une pluralité de RPB sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!* sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!5 sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de RP” sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents.
[0179] Le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent des groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne de RP? à RP? a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des «exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique de R” à RP? a de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
[0180] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins.
Le groupe fluorure d'alkyle représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome de fluor et des exemples de ceci incluent un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4.
[0181] Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- méthylphényle , un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p- adamantylphényle etc.). Quand le groupe hydrocarboné aromatique a un groupe hydrocarboné à chaîne ou le groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
[0182] Des exemples du groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de l'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propyl- carbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyl- oxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy.
[0183] Le cycle formé en liant RP* et RP5 l’un à l'autre, avec les atomes de soufre auxquels RP et RP sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants et analogues. * représente une liaison.
LE À À À LENS OPGAAN Ö O
[0184] Le cycle formé en combinant RP? et RP!° ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-1- ium (un cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-1-ium, un cycle 1,4- oxathian-4-ium et analogues.
Le cycle formé en combinant R”} et RE? ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0185] Parmi le cation (b2-1) au cation (b2-4), un cation (b2-1) est préféré. Des exemples de cation (b2-1) incluent les cations suivants. 6 CaH5 © Ò CgH43 CaH47 (b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) (b2-c-5) (b2-c-6) | (b2-C-7) (b2-c-8) © 6 Hs -C4H9 -C4H9 + + + CH Ç > 2 Of “© of Ee Off OS H a b2-c-12 t-C,H, (b2-c-14) (b2-c-9) (b2-c-10) 22-11) 02-012) (b2-0-13)
[0186]
F F (2 2 JG of of 004 OL OF © ö Ô ©. © ) 9 (b2-c-15) (b2-c16) | (62-010) (b2-c-18) | (b2-c-19) (b2-c-21) (b2-c-22) © © € (b2-c-20) + + + + + 5 Oo © © © ë OD OA OS U) U) ® (b2-c-23) (b2-c-24) (b2-c-25) (b2-0-26) (b2c27) (92-047) (b2-c-48) (b2-c-49) F3 R Sd ve — "5 CO H a
F CFa F F OF (b2-c-51) (b2-c-52) (b2-c-53)
[0187] Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants. + + + DK) + TX )— > TX y— F4 (b2-c-28) (b2-c-29) (b2-c-30) (b2-c-50)
[0188] Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants.
O O © OL LD Oo
CC (b2-c-31) (b2-c-32) (b2-c-33) (b2-c-34)
[0189] Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants. Hz (2 (2 (2 (2 OO AO A Oe A > WD vaa (b2-c-36) (b2-c-37) (b2-c-38) Hs Hs Hs Hs Q Q 4 Q OOo OO ZOO JOO Oo CG ww ® (b2-c-39) (b2-c-40) H3 (b2-c-41) Ha (b2-c-42) t-CaHo t-CaHo t-CaH9 t-C4He (2 (4 (2 @ AOV Kd sper OO SS re (b2-c-43) U) (b2-c-44) 97 (b2-c-45) tad, (b2-c-46) 300 (b2-c-54)
[0190] Le générateur d'acide (B) est une combinaison anion susmentionné et du cation organique susmentionné, et ceux-ci peuvent être éventuellement combinés. Le générateur d'acide (B) inclut de préférence une combinaison d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3), de la formule (B1a-7) à la formule (Bla-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19) et de la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) avec un cation (b2-1), un cation (b2-3), un cation (b2-4).
[0191] Le générateur d'acide (B) inclut de préférence ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-56). Parmi ces générateurs d'acide, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-3), la formule (B1-5) à la formule (B1-7), la formule (B1-11) à la formule (B1-14), la formule (B1-20) à la formule (B1-26), la formule (B1-29) et la formule (B1-31) à la formule (B1-56) sont particulièrement préférées.
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[0196] 5 Dans la composition de resist selon certains mode de réalisation de la présente invention, la teneur totale du générateur d'acide est de préférence 1 partie en masse ou plus et 45 parties en masse ou moins, de préférence encore 1 partie en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 3 parties en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 10 parties en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins sur la base de 100 parties en masse de la résine (A) mentionnée ci-dessous.
[0197] <Solvant (E)> La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
Les exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2-heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la y-butyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0198] <Agent de désactivation (C) (« Quencher (C) »)> Les exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique, et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir d'un générateur d'acide (B). Quand la composition de résist inclut l’agent de désactivation, la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 15% en masse, de préférence encore d'environ 0,01 à 10% en masse, de préférence encore d'environ 0,1 à 5% en masse, et de préférence encore d'environ 0,1 à 3% en masse, sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist.
Les exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Les exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Les exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire. Les exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2- naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la N,N-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la = dicyclohexylméthylamine, la — tris[2-(2- méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4"-diamino-1,2- diphényléthane, le 4,4"-diamino-3,3"-diméthyldiphénylméthane, le 4,4- diamino-3,3'-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2- di(2-pyridyl)éthane, le 1,2-di(4-pyridyl)éthane, le 1,2-di(2-pyridyl)éthène, le 1,2-di(4-pyridyl)éthène, le 1,3-di(4-pyridyl)propane, le 1,2-di(4- pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4"-dipyridyle, le disulfure de 4,4"-dipyridyle, la 2,2'-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline. Les exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, l'hydroxyde de = tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3- (trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n- butylammonium et la choline.
[0199]
L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5. Les exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois “sel interne d'acide faible (D)"), et les sels mentionnés dans JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A.
Le sel est de préférence un sel générant un acide carboxylique ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) (un sel ayant un anion acide carboxylique) et de préférence encore un sel interne d'acide faible (D). © î EN © X ie A X Oo EN Oprit Ope Ope © En Pen Of 0 20 he 50 Lr jo on Go GR So Ie SC) 4 Ss 0:S-N LL PES oe og ©
[0200] Les exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants. _ 007 700C + 007 oo do D:0 O0 HO 040 007 oo” oo oo 007 007 0550 dd odio Br CI 007 oo oo 00 00° NO Hoo Ho Vo Go AG _ x _ AO oO De Es ER
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[0201] <Autres composants> La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois “autres composants (F)”), si nécessaire. Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0202] <Préparation de la composition de résist> La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention peut être préparée par mélange d'un composé (I), d'une résine (A) et d'un générateur d'acide (B), de résines autres que la résine (A) à utiliser, d'un solvant (E), d'un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. II est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation.
Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 um.
[0203] (Procede pour produire un motif de resist) Le procede pour produire un motif de resist selon certains modes de realisation de la presente invention inclut: (1) une étape d'application de la composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition de résist appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge. Les exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé "précuisson") ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 10° Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à Fa (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement “exposition”. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé “cuisson de post-exposition”) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Les exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Les exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2- hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois “solution de développement organique”) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2- hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,N- diméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté en remplaçant le solvant par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester.
Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0204] (Application) La composition de résist selon certains modes de réalisation de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux UVE, en particulier une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (EB) ou d'une composition de résist pour exposition aux UVE, et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semiconducteurs.
[Exemples]
[0205] Certains modes de réalisation de la présente invention vont être décrits plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel selon les conditions d'analyse suivantes.
Appareil: Modèle HLC-8120GPC (fabriqué par TOSOH CORPORATION)Colonne: TSKgel Multipore IIXL-M x 3 + colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION) Éluant: tétrahydrofurane Débit: 1,0 mL/min Détecteur: détecteur RI
Température de la colonne: 40°C Quantité d'injection: 100 pl Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
[0206] Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc., spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par “MASSE”.
[0207] Synthèse de résine Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse d'une résine (A) sont illustrés ci-dessous. Dans la suite, ces composés sont appelés «monomère (a1-1-3)» selon le numéro de formule.
H CH; << CH; Le CH= "à x; ne 0 Tp To Dn | a ST 1 (a1-1-3) (a1-26) (a1-4-2) (a1-4-13) (a2-1-3) (03.42)
[0208] Exemple de synthèse 1 [Synthèse de la résine A1] On a utilisé un monomère (a1-1-3) et un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-2) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3):monomère (a1-2- 6):monomère (a2-1-3):monomère (a3-4-2):monomère (a1-4-2)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l’azobis(2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en la quantité de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-
toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une récupération pour obtenir une résine A1 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 63%. Cette résine A1 a les unités structurelles suivantes. toy tot tE te "5
O O O
Q Yo A1 mn a 5"
OH Ô
[0209] Exemple de synthèse 2 [Synthèse de la résine A2] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-13) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2) : monomère (a1-4-13)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p- toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A2 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,1 x 10° avec un rendement de 61%. Cette résine A2 a les unités structurelles suivantes.
Hs Hs Hg Hs H {ch {ch tou tou ÆCH,
O O O O ‘ OH A2
OH OH OH O
[0210] <Préparation de la composition de résist> Comme le montre le tableau 1, les composants suivants ont été mélangés et le mélange ainsi obtenu a été filtré à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pore de 0,2 um pour préparer des compositions de résist.
[0211] Tableau 1 Composition de | Résine Géné- | Composé |Agent de |PB/ résist rateur | (I) désactivati | PEB d'acide on (C)
B B1-43 = a Al = I-2 = C1 = 100°C/ Composition 1 10 parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C parties B1-43 = a A2 = I-2 = C1 = 100°C/ Composition 2 10 parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C parties B1-43 = a Al = I-3 = C1 = 100°C/ 10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C B1-43 = a A2 = I-3 = C1 = 100°C/ Compass 10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C B1-43 = a Al = I4= C1 = 100°C/ Composition 5 10 parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C parties B1-43 = a A2 = 1-4 = C1 = 100°C/ Composition 6 10 parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C parties B1-43 = a Al = I-9 = C1 = 100°C/ Composition 7 10 parties 0,2 partie 0,7 partie 100°C
B1-43 = parties B1-43 = parties 10 10 parties Ja rties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 11 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 12 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 13 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 14 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 15 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 16 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 17 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 18 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C 19 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C Comparative 1 |10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie 100°C
[0212] <Résine> A1 : Résine A1 <Générateur d'acide (B)> B1-43: Sel représenté par la formule (B1-43) (synthétisé conformément aux exemples de JP 2016-47815 A)
KK À OP
Ô FF <Composé (T)> I-1: Composé représenté par la formule (I-1) I-2: Composé représenté par la formule (I-2) I-3: Composé représenté par la formule (I-3) I-4: Composé représenté par la formule (I-4) I-9: Composé représenté par la formule (I-9) I-10: Composé représenté par la formule (I-10) I-12: Composé représenté par la formule (I-12) I-17: Composé représenté par la formule (I-17) I-18: Composé représenté par la formule (I-18) I-23: Composé représenté par la formule (I-23) I-24: Composé représenté par la formule (I-24) I-25: Composé représenté par la formule (I-25) I-26: Composé représenté par la formule (I-26) I-28: Composé représenté par la formule (I-28) IX-1: Composé représenté par la formule (IX-1)
COOH COOH COOH COOH DOD. à. 6” CF$ F4 F3 F3 (1-1) (1-2) (1-3) (1-4)
COOH OOH COOH COOH COOH dd 6 CC
F F
I I I (1-9) (1-10) (1-12) (1-17) (1-18)
COOH
COOH COOH COOH COOH COOH CO Q Q os LT II 1 0 F T CF$ I
I IX-1 (1-23) (1-24) (1-25) (1-26) (1-28) Den <Agent de désactivation (C)> C1: synthétisé par la méthode mentionnée dans JP 2011-39502 A De 5 <Solvant> Acétate de monométhyléther de propylèneglycol 400 parties Monométhyléther de propylèneglycol 100 parties y-butyrolactone 5 parties
[0213] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons) Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons («ELS-F125 125 keV», fabriqué par ELIONIX INC.), des motifs de trous de contact (espacement des trous de 40 nm / diamètre de trou de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la tranche tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes. Ensuite, cette couche de composition sur la plaquette de silicium a été développée avec de l'acétate de butyle (fabriqué par Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) comme révélateur (agent de développement) à 23°C pendant 20 secondes en utilisant le procédé de distribution dynamique pour obtenir un motif de résist.
[0214] Dans le motif de résist obtenu après le développement, la dose d'exposition à laquelle le diamètre des trous formés a atteint 17 nm a été considérée comme une sensibilité effective.
[0215] <Évaluation de l'uniformité des CD (CDU)> Dans la sensibilité effective, le diamètre des trous du motif de résist formés avec un diamètre de trous de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois un même trou et la moyenne des valeurs mesurées a été considérée comme le diamètre moyen du trou. L'écart-type a été déterminée dans les conditions où le diamètre moyen de 400 trous autour des motifs formés avec un diamètre de trou de 17 nm dans la même galette était considéré comme une population.
Les résultats sont présentés dans le tableau 2. La valeur numérique dans le tableau représente l'écart-type (nm).
[0216] ableau 2 | | Composition de résist__ |ŒQU | En les comparant avec la composition comparative 1, les compositions 1 à 19 présentaient un petit écart-type et une évaluation satisfaisante de l'uniformité CD (CDU).
[0217] La priorité de la demande japonaise n ° 2020-037661 déposée le 5 mars 2020, dont le contenu est incorporé ici par référence, est revendiquée.

Claims (13)

REVENDICATIONS
1. Une composition de résist comprenant un composé représenté par la formule (I), une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide:
O OH A (I) DL 1 A (R )m1 où, dans la formule (I), R* représente un atome d'halogène ou un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, m1 représente un entier de 1 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
2. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle R* est un atome de fluor, un atome d'iode ou un groupe trifluorométhyle.
3. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle m1 est un entier de 1 à 3.
4. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle le R! comprend au moins un atome d'iode.
5. La composition de résist selon selon la revendication 1, dans laquelle la teneur en composé (I) est de 0,001 à 20% en masse sur la base de la teneur en solides.
6. La composition de réserve selon la revendication 1, dans laquelle la résine ayant un groupe labile en milieu acide comprend au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2):
LE RM Le ras = | = | Lal L22 Joram le nt’ (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH2)k1-CO-O-, et k1 représente un entier de 1 à 7, * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et n1' représente un entier de 0 à 3.
7. La composition de résist selon la revendication 6, dans laquelle la résine ayant le groupe labile en milieu acide inclut l'unité structurelle représentée par la formule (a1-1).
8. La composition de résist selon la revendication 6, dans laquelle la résine ayant le groupe labile en milieu acide inclut l'unité structurelle représentée par la formule (a1-2).
9. La composition de résist selon la revendication 6, dans laquelle la résine ayant le groupe labile en milieu acide inclut au moins une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et inclut au moins une unité structurelle représentée par la formule (a1-2).
10. La composition de résist selon la revendication 1, où la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut une unité structurelle représentée par la formule (a2-A):
a50
++
A250
A (a2-A)
; > OH
(RE) où, dans la formule (a2-A),
R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène,
R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,
A20 représente une liaison simple ou * -X°°1- (A852-X252) p-, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auxquels -R° est lié,
A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
x°°1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-,
nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
11. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (B1): Qb” + OS Lb1 2 OS | ALA (BIJ) des où, dans la formule (B1), QP! et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S (0)>- ou -CO-, et Z' représente un cation organique.
12. La composition de résist selon la revendication 1, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
13. Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon la revendication 1 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition de résist appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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