BE1028139B1 - Composition de résist et procédé de production de motif de résist - Google Patents

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Nobuhiko Nishitani
Yuji Kita
Koji Ichikawa
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Sumitomo Chemical Co
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Abstract

L'invention concerne une composition de résist comprenant un composé représenté par la formule (I) telle que définie dans la revendication 1, une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide, la résine ayant un groupe labile en milieu acide incluant au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué par une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) telles que définies dans la revendication 1, où L1 représente une liaison simple ou un groupe alcanediyle; R1 représente un groupe labile en milieu acides; R2 représente *-L1-OH, etc.; X1 représente une liaison simple, un groupe alcanediyle, etc.; m2 représente 0 à 3, m3 représente un entier de 0 à 5, dans lequel 0≤m2 + m3≤5, R3 représente un atome d'halogène, etc.; La1 et La2 représentent - O-, etc.; Ra4 et Ra5 représentent un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle; Ra6 et Ra7 représentent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, etc.; m1 représente 0 à 14, n1 représente 0 à 10 et n1' représente un entier de 0 à 3.

Description

COMPOSITION DE RÉSIST ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MOTIF DE
RÉSIST ARRIERE PLAN DE L'INVENTION Domaine technique
[0001] La présente invention concerne une composition de résist, et un procédé pour produire un motif de résist utilisant la composition de résist. Description de l'état de l’art
[0002] Le document JP 2002-258483 mentionne une composition de résist incluant un composé de la formule structurelle suivante, une résine ayant la formule développée suivante et un générateur d'acide. ge HS Fa
OH TA RESUME DE L'INVENTION
[0003] La présente invention propose de fournir une composition de résist capable de produire un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER pour line edge roughness) qui est meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir d’une composition de résist.
[0004] La présente invention inclut ce qui suit.
[1] Une composition de résist comprenant un composé représenté par la formule (I), une résine ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide, la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins un groupe choisi dans le groupe constitué d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-2):
R1 | 7 L1 N (I) — 2 | x (RÈ) m2 3 (R )m3 où, dans la formule (I), L* représente une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, R* représente un groupe labile aux acides, R° représente * -L!-OH, * -L!-O-Rt, * -X*-Ph-L'-OH ou * -X*-Ph-L!- O-Rt, * représente un site de liaison au cycle benzénique, et R* et R° peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure cyclique acétal, xt représente une liaison simple, un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, -O-, -S-, -SO- ou -SO--, Ph représente un groupe phénylène qui peut avoir un substituant, m2 représente un entier de 0 à 3, et lorsque m2 est égal ou supérieur à 2, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, R3 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, et m3 représente un entier de 0 à 5, et lorsque m3 est égal ou supérieur à 2, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, dans lesquels 0 < M2 + M3 < 5: a4 a + Le
O O Lat La2 Joon RT eo n1' (a1-1) (a1-2)
où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2) : L°* et L° représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH2)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
[2] La composition de résist selon [1], dans laquelle L est une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène.
[3] La composition de résist selon [1] ou [2], dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (1a) ou un groupe représenté par la formule (2a): 1 Raaí AL} (1a) naa Raa3 où, dans la formule (1a), R°*, R°2 et R223 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ou R* et R°°° sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R* et R222 sont liés, naa représente 0 ou 1, et
* représente un site de liaison: paat' % es (2 a) Raa2' où dans la formule (2a), R®! et R®? représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°°2 et R@* sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec -C-X2- auquel R22? et R°* sont liés, -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou - S-, X* représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, et * représente un site de liaison.
[4] La composition de résist selon [3], dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (1a).
[5] La composition de résist selon [3], dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (2a).
[6] La composition de résist selon [5], dans laquelle R22? et R* sont lies l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 8 atomes de carbone avec -C-X?- auquel R22? et R22? sont liés.
[7] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [6], dans laquelle m2 vaut 1.
[8] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [7], dans laquelle R? est *-L*-OH,
[9] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [7], dans laquelle R? est *-L!-O-R!.
[10] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [7], dans laquelle R° est *-X*-Ph-L!-O-R},
[11] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [10], dans laquelle m3 vaut 1 ou 2, et 5 R3 est un atome d'halogène.
[12] La composition de résist selon [1] à [11], où la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut une unité structurelle représentée par la formule (a2-A): [ie A { A (a2-A) | + OH (RE où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une liaison simple ou * -X°°1- (A852-X252) p-, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auxquels -R° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[13] La composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [12], dans laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (B1): Q?1 + ‘O,S Lb1 2 OS | AIA (B) le où, dans la formule (B1), QP! et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S (0)2- ou -CO-, et Z' représente un cation organique.
[14] La composition de résist selon l'un quelconque de [1] à [13], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
[15] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’un quelconque de [1] à [14] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et
(5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
[0005] Il est possible de fournir un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER) satisfaisante en utilisant une composition de résist de la présente invention.
DESCRIPTION DETAILLEE DES MODES DE REALISATION PREFERES
[0006] Dans la présente description, “monomère (méth)acrylique” signifie au moins un choisi dans le groupe constitué par un monomère ayant une structure de “CH: =CH-CO-" et un monomère “CH: =C(CH;)-CO-". De manière similaire, “(méth)acrylate” et “acide (méth)acrylique” signifient chacun “au moins l'un choisi dans le groupe constitué par l'acrylate et le méthacrylate” et "au moins un choisi dans le groupe constitué par l'acide acrylique et l'acide méthacrylique". Lorsqu'une unité structurelle ayant «CH2=C(CH3)-CO-» ou «CH:=CH-CO-» est exemplifiée, une unité structurelle ayant les deux groupes doit être exemplifiée de manière similaire. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, les groupes capables d'avoir une structure linéaire et une structure ramifiée, peuvent avoir la structure linéaire ou la structure ramifiée. «Groupe combiné» signifie un groupe dans lequel deux ou plusieurs groupes exemplifiés sont liés, et les valences de ces groupes peuvent être modifiées de manière appropriée en fonction d'une forme de liaison.
«Dérivé» signifie qu'une liaison polymérisable C=C incluse dans la molécule devient un groupe -C-C- par polymérisation. Lorsque des stéréo- isomères existent, tous les stéréo-isomères sont inclus.
[0007] Dans ce qui suit, «teneur en solides de la composition de résist» signifie la teneur totale des constituants de la composition de résist dans laquelle le solvant (E) mentionné plus loin est retiré.
[0008] <Composition de résist> La composition de résist de la présente invention inclut un composé représenté par la formule (I) (dans la suite parfois appelé «composé (I)»), une résine ayant un groupe labile en milieu acide qui inclut au moins une unité structurelle sélectionnée dans le groupe constitué d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée «résine (A) ») et un générateur d'acide (dans la suite parfois appelé« générateur d'acide (B) »). Le «groupe labile en milieu acide» signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, se convertissant ainsi en une unité constitutionnelle ayant un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist de la présente invention peut en outre inclure une résine autre que la résine (A).
La composition de résist de la présente invention comprend de préférence un agent de désactivation tel qu'un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (dans la suite parfois appelé «agent de désactivation (C)» (« Quencher (C) »), et comprend de préférence un solvant (dans la suite parfois appelé «solvant (E)»).
[0009] <Composé (I)> La composition de résist de la présente invention inclut un composé (D: R1 ô | N (I) | "au (R>) m3 où, dans la formule (IT), tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
[0010] Des exemples du groupe alcanediyle dans L! incluent des groupes alcanediyle linéaires tels qu'un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et des groupes alcanediyle ramifiés tels qu'un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un pentane-2, 4-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle . Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcanediyle est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du substituant qui peut appartenir au groupe alcanediyle comme pour L* incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe carboxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 des atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe obtenu en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples de l'atome d'halogène susmentionné incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkyle susmentionné ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6 de préférence encore de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3. Des exemples du groupe fluorure d'alkyle susmentionné ayant 1 à 6 atomes de carbone incluent les groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle , un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3. Des exemples du groupe alcoxy susmentionné ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe octyloxy, un groupe 2-éthylhexyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy, un groupe dodécyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe obtenu en combinant les deux ou plusieurs groupes susmentionnés incluent un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone et un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone.
Le groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, le groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone et le groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone représentent un groupe dans lequel un groupe carbonyle ou un groupe carbonyloxy est lié au groupe alkyle susmentionné ou un groupe alcoxy.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues, des exemples du groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle et des exemples du groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues.
L* est de préférence une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, et de préférence encore une liaison simple ou - (CF3)2C-.
[0011] Le second groupe labile en milieu acide comme pour R° signifie un groupe dans lequel un groupe représenté par R3 est éliminé pour former un acide hydroxy quand mis en contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique).
Des exemples du second groupe labile en milieu acide incluent un groupe représenté par la formule (1a) (dans la suite parfois appelé «groupe labile en milieu acide (1a)»>), un groupe représenté par la formule
(2a) (dans la suite parfois appelé «groupe labile en milieu acide (2a) ») et analogues: O Raa1 AL} (1a) naa paa3 où, dans la formule (la), R®, R@2 et R®3 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou R* et R222 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R°°* et R222 sont liés, naa représente 0 ou 1, et * représente un site de liaison: ou paat' + me (2 a) Raa2' où dans la formule (2a), R®@! et R22 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R®* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°°2 et R@* sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec -C-X°- auquel R222 et R°* sont liés, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou - S-, et -O-, -S- inclus dans X? ou remplaçant CH: dans et le groupe hydrocarboné ou le groupe hétérocyclique sont respectivement remplacés par un atome de carbone pour le calcul du nombre d'atomes de carbone du groupe.
Sauf indication contraire, en ce qui concerne la méthode de calcul du nombre d'atomes de carbone, il en va de même dans la suite, et ne sera pas répété dans la description.
X? représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre,
* représente un site de liaison.
[0012] Des exemples du groupe alkyle comme pour R°*, R@° et R°° incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe n-butyle, un groupe n-pentyle, un groupe n-hexyle, un groupe n- heptyle, un un groupe n-octyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle comme pour R°%*, R°°° et R22? est de préférence de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe alcényle comme pour R°*, R@° et r°° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert- butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique comme pour R@*, R°° et R°°° peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique, incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente un site de liaison). Le nombre d’atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique comme pour R°*, R°°? et RS est de préférence de 3 à 16 et de préférence encore de 3 à 12.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique comme pour R22t R222 et R223 incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
R22! R222 et R223 peuvent être un groupe obtenu en combinant un groupe alkyle, un groupe alcényle, un groupe hydrocarboné alicyclique et un groupe hydrocarboné aromatique. Dans ce cas, les exemples du groupe combiné incluent ceux illustrés dans la formule (1) mentionnée plus loin.
[0013] Des exemples de substituant du groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant incluent un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone. Des exemples de substituant du groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone les atomes. Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone. Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone. Plus spécifiquement, des exemples de ceux-ci incluent des groupes obtenus en combinant un groupe alkyle et un groupe hydrocarboné alicyclique (des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle et analogues. naa vaut de préférence 1.
[0014] Lorsque R®*! et Ra??? sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique, des exemples de groupement
-C(R221)(R222)(R223) incluent les groupes suivants. Le groupe hydrocarboné alicyclique a de préférence de 3 à 16 atomes de carbone et de préférence encore de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une site de liaison à — O- 5 D © © , Ras iQ % , Res «Ree ; paas ; paas ï paas ï paas î1 paas
[0015] Des exemples du groupe représenté par la formule (1a) incluent un groupe 1,1-dialkylalcoxycarbonyl (un groupe dans lequel R°*, R222 et R223 sont un groupe alkyle, et de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle dans la formule (1a)), un groupe 2-alkyladamantan-2-yloxycarbonyle (un groupe dans lequel R°*, R222 et des atomes de carbone auxquels R°°* et R222 sont liés forment un groupe adamantyle, et R°°* est un groupe alkyle de formule (1a)) et un groupe 1-(adamantan-1-yle)-1-alkylalcoxycarbonyle (un groupe dans lequel R°* et R222 sont un groupe alkyle, et R®3 est un groupe adamantyle dans la formule (1a)).
[0016] Des exemples du groupe hydrocarboné comme pour R@*, R@° et R223 ‘ incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et de groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R°*, pae2 et pes Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle tel qu'un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6-éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) un groupe arylcycloalkyle tel qu’un groupe phénylcyclohexyle et analogues. Quand R®° et R°°* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hétérocyclique ensemble avec les atomes de carbone et X? auxquels R°°7 et R°°* sont liés, des exemples de -C(R°*)(R27)-X°-(R°3) incluent les groupes suivants. *représente un site de liaison. Lorsque R22? et R°°* sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique avec des atomes de carbone et X° auxquels R22? et R22? sont liés, il est plus préférable de former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 8 atomes de carbone. , , ' 1' aa1' aa1' aa1' Raa1 paat Raa1 Raa R R R 559500
S Au moins Vun de R?! et R®? est de préférence un atome d'hydrogène.
[0017] Des exemples spécifiques du groupe labile en milieu acide (1a) — incluent les groupes suivants. *représente un site de liaison. DTO Or (I-R1-1-1) (I-R1-1-2) (I-R1-1-3) (1-R'-1-4) (I-R'-1-5) (LR1-1-6) (I-R1.1-7) (I-R'-1-8) (1-R!-1-9) (1-R'-1-10) (1-R'-1-11) (1-R'-4-12) (1-R'-1-13) (1-R'-1-14) (I-R2-1-15) (1-R?-1-16) Tb Yb 16 OL po (-R2-1-17) (1-R2-1-18) (1-R2.1-19) (1-R?-1-20) (1-R2.1-21) (I-R2-1-22) (-R1-1-23)
AO TO VO FA (I-R*-1-24) (LR1-1-25) (1-R'-1-26) (1-R1-1-27) (I-R1-1-28)
[0018] Des exemples spécifiques du groupe labile en milieu acide (2a) incluent les groupes suivants. * représente un site de liaison. * * RAS * * (I-R1-2-1) (L-R1-2-2) (I-R1-2-3) (-R1-2-4) (LR1-2-5) (I-R1-2-6) (I-R*-2-7) (I-R1-2-8) Tan (I-R1-2-10) (I-R1-2-11) (1-R'-2-12) (I-R1-2-13) (I-R1-2-14) (I-R*-2-15) (I-R1-2-16) (I-R1-2-17) (I-R‘-2-18) (I-R1-2-19) Lorsque R* et R2 se combinent pour former un groupe ayant une structure cyclique acétal, les composés représentés par les formules suivantes sont cités à titre d'exemple.
(B) ns (Ems (Re) ma (Ems 5a OO © KA ‘ © (Re) 24 (Re) 2-1 (R°) m2-1 (#3) m2-1
[0019] Des exemples du groupe alcanediyle dans X* incluent des groupes alcanediyle linéaires tels qu'un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et des groupes alcanediyle ramifiés tels qu'un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle . Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcanediyle est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
[0020] Des exemples du substituant pouvant appartenir au Ph comme pour R* incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe carboxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone , un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, et un groupe obtenu en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkyle susmentionné ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe fluorure d'alkyle susmentionné ayant 1 à 6 atomes de carbone incluent les groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle , un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe alcoxy susmentionné ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe octyloxy, un groupe 2-éthylhexyloxy, un un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy, un groupe dodécyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 4, et de préférence de 1 à 3.
Des exemples du groupe obtenu en combinant les deux ou plusieurs groupes susmentionnés ci-dessus incluent un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone et un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone.
Le groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, le groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone et le groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone représentent un groupe obtenu en liant un groupe carbonyle ou un groupe carbonyloxy au groupe alkyle susmentionné ou groupe alcoxy.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle susmentionné ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues, des exemples du groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle, et des exemples du groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues.
xt et L! liés à un groupe phénylène peuvent être liés à n'importe quelle position des positions ortho, méta et para du groupe phénylène, et de préférence la position para.
[0021] Des exemples d'atome d'halogène comme pour R* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone comme pour R3 incluent des groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2- tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3- pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4- octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle , un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone comme pour R? incluent des groupes alkyle tels qu'un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Lorsque -CHz- inclus dans le groupe alkyle comme pour R* est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre total d'atomes de carbone du groupe alkyle. Le groupe alkyle comme pour R* peut avoir un groupe hydroxy (un groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe méthyle est remplacé par -O-), un groupe carboxyle (un groupe dans lequel -CHz>-CHz- inclus dans le groupe éthyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alcoxy (un groupe dans lequel -CHz- inclus à n'importe quelle position dans le groupe alkyle est remplacé par -O-), un groupe alcoxycarbonyle (un groupe dans lequel -CHz-CHz- à n'importe quelle position incluse dans le groupe alkyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alkylcarbonyle (un groupe dans lequel -CHz- à n'importe quelle position incluse dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-) et un groupe alkylcarbonyloxy (a groupe dans lequel -CHz-CHz- à n'importe quelle position incluse dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-O-).
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy et analogues.
Le groupe alcoxycarbonyle, le groupe alkylcarbonyle et le groupe alkylcarbonyloxy représentent un groupe dans lequel un groupe carbonyle ou un groupe carbonyloxy est lié au groupe alkyle ou alcoxy susmentionné.
Des exemples de groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues. Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, par exemple, un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe — alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues.
De préférence, R* représentent chacun indépendamment un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone (-CH:- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore un atome de fluor ou un atome d'iode. m2 est de préférence un entier de 0 à 2, de préférence encore 1 ou 2, et de préférence encore 1. Les sites de liaison dans le cycle benzénique de R“ sont de préférence au moins un en position para par rapport à L!. m3 est de préférence un entier de 0 à 4, de préférence encore un entier de 0 à 2, et de préférence encore 1 ou 2.
[0022] Des exemples du composé (I) incluent les composés représentés par les formules suivantes. oo Aon oo oo (1-1) (1-2) (3) (1-4) oo An oo oo CFaT]CF3 CF3 F3 CF3 F3 CF3 F3 Fa ee CF: CF; [CF CF5 1 CFs on Tr pepe) OH (1-5) (1-6) (1-7) (1-8) es Dn A Qu (1-9) I A Goes Or
D OD. 000 @., (1-13) (19) OT Dr AO. (1-15) (1-16)
[0023] _ $ 5 6 0 H OD 117) OH (1.48) (19) (1-20) O1 0 UD A1 (1-21) (1-22) (1-23) (1-24)
OD E F F F F F
E F F F F F “00 NAU OH OH (-25) (1-26) (1-27) (28) NS N Do CF; CF3 Fa Fa no OO H OH (1-29) (1-30) (1-31) (1-32) (1-33) (1-34) (1-35) (1-36) Oo H
H
OO 1] TN of Ö (1-37) (1-38) (1-39) (1-40)
[0024] MoN LT LT > | © IX © | I VL OL “00 ÔH H (1-41) (1-42) (1-43) (1-44) on oo 1 a © | Û © 0 NO 0 NA (1-45) (1-46) (1-47) (1-48) SON & LE oo D I | I A
OH (1-49) (1-50) (1-51) (1-52) Q 0 3 S OT Ass AOL, (1-53) (1-54) of Ne oo (1-55) an es (1-56) " 0 S OT DD Ot GRO ALORS Os DO O Ss OL G, MoT Do (61) (1-62) Oh OO
A DONS oo | | | | | | |
OO NO H OH (1-65) (1-66) (1-67) (1-68)
OH 7 To y | | | | IN © > ' SO | oo “00 (1-69) (1-70) (1-71) (1-72) bho 8 + pe D | | | | | |
OT OU N (1-73) (1-74) Us (1-76) A ; OH L H I I I | | | | | H © N) OH ON (1-77) (1-78) (1-79) (1-80)
[0025] La teneur en composé (I) est habituellement de 0,001 à 20% en masse, de préférence de 0,005 à 15% en masse, et de préférence encore de 0,01 à 10% en masse, sur la base de la teneur en solides de la composition de résist.
[0026] <Résine (A)> La résine (A) inclut une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a1)") et inclus au moins un élément choisi dans le groupe consistant en l'unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et l'unité structurelle représentée par la formule (a1-2) mentionnées plus loin. II est préféré que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al). Les exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1) incluent une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (s)"), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1) et l'unité structurelle (s) (par exemple une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a4)"), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a5)")) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0027] <Unité structurelle (a1)> L'unité structurelle (al) est dérivée d'un monomère ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois “monomère (a1)”). Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite aussi appelé groupe (1)) et/ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite aussi appelé groupe (2)):
HE * —0 Ra? (1) ma na Ras où, dans la formule (1), R°*, R°? et R23 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, et R°* et R° sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R°° sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment 0 ou 1, et au moins l'un de ma et na représente 1, et
* représente un site de liaison: (0 LL —— [x (2) na' Ra? où, dans la formule (2), R°* et R°” représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R2? et R23 sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R3?' et R°* sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le cycle hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou -S-, X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na’ représente 0 ou 1, et * représente un site de liaison.
[0028] Des exemples du groupe alkyle pour R2%, R22 et R°° incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle et un groupe octyle et analogues.
Des exemples de groupe alcényle dans R*, R°2 et R° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*, R°2 et R® peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une position de liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R*, R? et R est de préférence de 3 à 16.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans R*, R® et R°5 incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyles, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle , un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
De préférence ma est Oet na est 1.
Lorsque R et R* sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique, des exemples de groupement -C(R°)(R3)(R°*) incluent les cycles suivants. Le groupe hydrocarboné non aromatique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une position de liaison à —O-.
, 5 , Res pas pas pas ; ras ; ras , pas Re LORORORCOPCRORCeRCO N pas , pas ras N pas ; Ras
[0029] Des exemples du groupe hydrocarboné dans RŸ, R° et R incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R*!, R2etR2, Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu’un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tel qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) des groupes arylcycloalkyle tel qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand R°? et R2? sont liés l'un avec l'autre ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R*” et R°* sont liés, des exemples de - C(R3-)(RE2)-X-R incluent les cycles suivants. *représente une position de liaison.
‘ at at' al! al! al! a1' Parmi R? et R2, au moins un est de préférence un atome d'hydrogène.
na’ est de préférence 0.
[0030] Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), R°*, R°° et R® sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle. Un groupe où, dans la formule (1), R° et R* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R sont liés, R® est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1. Un groupe où, dans la formule (1), R2 et R° sont chacun indépendamment un groupe alkyle, R® est un groupe adamantyle, ma = 0 etna=1. Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison. * * * * * * x M TO CO Ort I bo 0 * x * a D LD TO PO 0 At At >
A Arbi Ô Ô ô ï ï rh 5 ° ö Ö Ö Ö Ö ©) Q 44444454 Ab > = * ô 7 T6 | “4 AO 9 Dr A * O Ç 0 9 Ö 9 &
[0031] Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente ve poser de liaison. Lo oo 0 „0 AR AM AR A DO To
AAO AAO AO TD A PX pe Ve PSP PS VC M TO TO TS Yr TD Tao D A TÔ
[0032] Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0033] Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (a1) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0034] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est une unité structurelle représentée par la formule (a1-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-0), une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-2)).
La résine (A) inclut au moins une unité structurelle choisie dans le groupe comprenant l'unité structurelle (a1-1) et l'unité structurelle (a1-2) de ces unités structurelles, et de préférence au moins deux unités structurelles choisies dans le groupe constitué de l'unité structurelle (a1-1) et de l'unité structurelle (a1-2). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. La résine (A) peut comprendre au moins un élément choisi dans le groupe constitué de l'unité structurelle (a1-1) et de l'unité structurelle (a1-2), et peut en outre inclure une unité structurelle (a1-0): Ra01 Ra4 Ra5 H2 Ho Ho PE} PE} tet
O O O La01 Lal La2 Roi jrs MZ tm RT Dead Ra04 nT! (a1-0) (a1-1) (a1-2) où dans la formule (a1-0), la formule (a1-1) et la formule (a1-2), [201 L2! et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>)y1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R20! R°* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène.R2%2, R°° et R2% représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, R° et R°7 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
[0035] RO R°* et R°° sont de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
[20 L°* et L° sont de préférence un atome d'oxygène ou * -O- (CH2)ko1-CO-O- (dans lequel k01 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et plus préférablement un atome d'oxygène.
Des exemples du groupe alkyle, du groupe alcényle, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes en R°°, R303 R°°*, R° et RT incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R2:, R° et R® du groupe (1).
Le groupe alkyle dans R°°°, R°°* et R°°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le groupe alkyle dans R°° et R°7 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t- butyle.
Le groupe alcényle dans R°° et R” est de préférence un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle ou un groupe butényle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R°°?, R203, R°°*, R°° et R est de préférence de 5 à 12, et de préférence encore de 5 à 10.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique de R°°, R203, R°°*, R° et R? est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
Re? et R23 sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle.
R°°% est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
De préférence, R°° et R? sont chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle ou un groupe phényle.
m1 est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1. nl est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1. n1' vaut de préférence 0 ou 1.
[0036] L'unité structurelle (a1-0) comprend, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-18) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R*° dans l'unité structurelle (a1-0) est substitué par un atome d'hydrogène et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1- 0-10), la formule (a1-0- 13) et la formule (a1-0-14).
Peer Rs tot tes = UT 5 (a1-0-1) (a1-0-2) (a1-0-3) (a1-0-4) (105) 09 3 3 3 3 3 Hs D (a1-0-8) (a1-0-9) © (a1-0-11) (a1-0-12) Oo OO Oo (a1-0-13) (a1-0-14) (a1-0-15) (a1-0-16) I (a1-0-17) (a1-0-18)
[0037] L'unité structurelle (a1-1) inclut, par exemple, des unités structurales dérivées des monomères mentionnés dans le document JP 2010-204646 A. Parmi ces unités structurelles, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1- 1-7) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a1-1) est substitué par un atome d'hydrogène sont préférées, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1- 1-1) à la formule (a1-1-4) est plus préférée.
FH N
O (a1-1-1) (a1-1-2) (a1-1-3) (a1-1-5) (a1-1-6) (a1-1-7) (a1-1-4)
[0038] Des exemples d'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-2-1) à la formule (a1-2-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R® dans l'unité structurelle (a1-2) est substituée par un atome d'hydrogène et une unité structurelle représentée par l'une quelconque des formules (a1-2-2), formule (a1-2-5), formule (a1-2-6) et la formule (a1-2-10) à la formule (a1-2-12) est préférable.
Le CHs te CHs te CH3 Le: CHs Le CHs te CH3 O H2 F0 + | zo | > | > | O O O ° © TO (a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) te CHs Le CH3 te CHs te CHs Le CHs Le CHs + | + | 95 O > | 70 | TO OO TO © NO CO (a1-2-7) (a1-2-8) (a1-2-9) (a1-2-10) (a1-2-11) (a1-2-12)
[0039] Lorsque la résine (A) comprend une unité structurelle (a1-0), sa teneur est généralement de 5 à 80 mol%, de préférence de 5 à 75 mol%, et plus préférablement de 10 à 70 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles du résine (A). Lorsque la résine (A) comprend une unité structurelle (a1-1) et / ou une unité structurelle (a1-2), sa teneur totale est habituellement de 10 à 90% en mole, de préférence de 15 à 85 mol%, de préférence encore de 20 à 80 mol%, de préférence encore de 20 à 75 mol%, et de préférence encore de 20 à 70 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0040] Dans l'unité structurelle (a1), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a1-4) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a1-4)»): 32 | Ho F° | 7e (a1-4) R334 oR23 (RE), ass où, dans la formule (a1-4), R23? représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R233 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A23 représente une liaison simple ou * -X2*- (A2-x252) ne", et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°31 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -O-CO-, nc représente 0 ou 1, la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de R°° peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et R23% et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R836 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°° et R°° sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -C- O- auquel R33 et R°° sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par - O- ou -S-.
[0041] Des exemples d'atome d'halogène dans R232 et R233 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R222 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe
1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle.
R222 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples du groupe alkyle dans R23 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples du groupe alcoxy dans R®3 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy, un groupe tert-butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R°* incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R233 incluent un groupe — méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®3 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R233 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R333 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0042] Des exemples de *-X°*-(a2%2-X232),e- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-0-A332-CO-0-, *-0-CO-A332-0-, *-0-A332-CO-0-, *-CO-0-A%32-0- CO- and *-0-CO-A%32-0-CO-. De ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-0-A332-CO-0- or *-O-A3*2_-CO-O- sont préférés.
[0043] Des exemples du groupe alcanediyle susmentionné incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un pentane-1,5- diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0044] A est de préférence une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO-O- A232-CO-O-, de préférence encore une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO- — O-CH--CO- O-, et de préférence encore une simple liaison ou * -CO-O-.
[0045] la vaut de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans R®*, R33 et r°°° incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique. Des «exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu’un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
n DODO DI OEM DCD Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple des groupes cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle tel qu’un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. En particulier, des exemples de R856 incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe formé en combinant ces groupes.
[0046] R33* est de préférence un atome d'hydrogène.
R335 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbones, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné de R°° est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique de R®® sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans R° est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
-OC(R23%)(R235)-0-R23%6 dans l'unité structurelle (a1-4) est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
-OC(R23)(R235)-O-R23% est de préférence lié à la position ortho ou à la position para du cycle benzénique, et de préférence encore à la position para.
[0047] L'unité structurelle (a1-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-18) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à R23 est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore des unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-5), la formule (a1-4-10), la formule (a1-4-13) et la formule (a1-4-14).
ta A FEI PET bo oo Y (a1-4-1) (a1-4-2) (a1-4-3) (a1-4-4) (a1-4-5) (a1-4:6) CH u Le Et PET Pt PET Tél Ç X CH; x CHs Se Hg 5 sera O0. 4 u > | dot Tm T° 0 D ve (a1-4-8) (a1-4-9) (a1-4-10) (a1-4-11) (a1-4-12) Lu tt Pál PET test} tent Lon OH oo oto HO OH oh OH oo oon or OO OO O0 OO OH (a1-4-13) (a1-4-14) (a1-4-15) (a1-4-16) (a1-4-17) (a1-4-18)
[0048] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-4), la teneur est de préférence 3 à 80 mol%, de préférence encore 5 à 75 mol%, de préférence encore 7 à 70 mol%, de préférence encore de 7 à 65 mol%, et de préférence encore 10 à 60 mol% sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0049] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (a1-5) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-5)").
a8 Ho 3 | +
O L51 \ al Th * (a1-5) [23 s1'
Dans la formule (a1-5), R°8 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, zt représente une simple liaison ou *-(CHz)n3-CO-L°-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente un site de liaison à L°*, L°t, L°2, L°* et L** représentent chacun indépendamment -O- ou -S-, s1 représente un entier de 1 à 3, et sl’ représente un entier de 0 à 3.
[0050] L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor est préféré.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (a1-5), R°® est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle, L° est de préférence un atome d'oxygène, De L” et L53, Vun est de préférence -O- et l'autre est de préférence -S-, s1 est de préférence 1, sl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et zt est de préférence une simple liaison ou *-CHz-CO-O-.
[0051] Des exemples de l'unité structurelle (a1-5) incluent des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) à la formule (a1-5-4) sont préférées, et des unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) ou la formule (a1-5-2) est préférée davantage.
Ha Hs Ho H Hz CHs Hz H C C {Lc © D D © Ss S (a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4)
[0052] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0053] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes. #9 Fo FO SO 0 FO FO ZO bd D D Da Q (a1-3-1) (a1-3-2) (a1-3-3) (a1-3-4) (a1-3-5) (a1-3-6) (a1-3-7)
[0054] Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci- dessus telles que (a1-3-1) à (a1-3-7), la teneur est de préférence de 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%% en mole, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, et de préférence encore 20 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0055] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes. LE Hz | Hs > | Le = | Lu De DL) 2 3 DD) ) \ (a1-6-1) (a1-6-2) (a1-6-3)
Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci- dessus telles que (a1-6-1) à (a1-6-3), la teneur est de préférence de 10 à 60 mol%, de préférence encore de 15 à 55 mol%, de préférence encore de 20 à 50 mol%, de préférence encore 20 à 45 mol%, et de préférence encore 20 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0056] <Unité Structurelle (s)> L'unité structurelle (s) dérive d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée «monomère (s)»). Il est possible d'utiliser comme monomère dont dérive l’unité structurelle (s), un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine de la résist. L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Lorsqu'une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois dénommée "unité structurelle (a2)") et / ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé «unité structurelle (a3)») est utilisé dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhérence à un substrat.
[0057] <Unité Structurelle (a2)> Le groupe hydroxy appartenant à l'unité structurelle (a2) peut être soit un groupe hydroxy alcoolique, soit un groupe hydroxy phénolique. Lorsqu'un motif de réserve est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, dans le cas de l'utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie tels qu'un laser excimère KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou une lumière ultraviolette extrême (EUV), l'unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2),, et il est davantage préférable d'utiliser l'unité structurelle (a2-A) mentionnée ci-dessous. Lors de l'utilisation d'un laser excimère ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est davantage préféré d'utiliser l'unité structurelle (a2-1) mentionné plus loin. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0058] Dans l'unité structurelle (a2), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique comprennent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a2-A)»): R250
HA Lo (a2-A)
SS ( Rat) mb où, dans la formule (a2-A), R250 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R°°! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X2**-(a252-X252) 5", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R°*° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0059] Des exemples d'atome d'halogène dans R°° et R°* incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°*° incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle.
R°50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans R°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R®* incluent un groupe — méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec-
butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R* incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®* incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R®* incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R®1 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0060] Des exemples de *-X2*!-(a252-X°52)p- incluent *-O-, *-CO-O-, *-0- CO-, *-CO-O-A3?-CO-O-, *-O-CO-A3?-O-, *-O-A°*?-CO-O-, *-CO-0-A°**-0- CO- et *-O-CO-A®%*-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-O-A®%*-CO-0- ou *-O-A®*-CO-O- est préféré.
[0061]
Des exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle. A? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0062] A2°0 est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-A3*- CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-CHz>- CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
[0063] mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de de préférence encore 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para d’un cycle benzène, et de préférence encore la position para.
[0064] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A etJP 2012-12577 A.
Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-1) à la formule (a2-2-16), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R350 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-1) à la formule (a2-2-16). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6 ) une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R2°° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-6), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et les unités structurales représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2- 2-14), de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule ( a2-2- 8), les unités structurales représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à Ra50 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) ou des unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et toujours plus préférablement une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R®°° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule ( a2-2-8).
Ha Ha Ha Ha Ha Ha Hs Ha Parra er Pe) Pr Pb! bat wg wat OH H OH Sue (a2-2-1) (a2-2-2) (a2-2-3) (a2-2-4) (a2-2-5) (a2-2-6) (a2-2-7) (a2-2-8)
EE EEE OH HE PC OH TRS en du FR eu (a2-2-9) (a2-2-10) (a2-2-11) (a2-2-12) (a2-2-13) (a2-2-14) (a2-2-15) (a2-2-16)
[0065] Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles. L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique après polymérisation, par exemple, avec une unité structurelle (a1-4). L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium après polymérisation avec l'acétoxystyrène.
[0066] Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l’unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a2-1)"). H, a14 Pf
O LS (a2-1) Or
H Ra16 Dans la formule (a2-1), L°* représente -O- ou *-O-(CHz)z-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R2!* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°15 et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et 01 représente un entier de 0 à 10.
[0067] Dans la formule (a2-1), L°* est de préférence -O- ou -O-(CH2);-CO- O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-, R31* est de préférence un groupe méthyle, R2!5 est de préférence un atome d'hydrogène, RS est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0068] L'unité structurelle (a2-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-1-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-
1-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-1-1) ou la formule (a2-1-3) est préférée encore. Ha CHs Ho H Ha CHs Ho H Ho HaG Ho H Beg de De De Do Du bt
OH H (a2-1-1) (a2-1-2) (a2-1-3) (a2-1-4) D 2
OH OH
H OH (a2-1-5) (a2-1-8)
[0069] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-1), la teneur est habituellement de 1 à 45 mol%, de préférence de 1 à 40 mol%, de préférence encore de 1 à 35 mol%, de préférence encore de 1 à 20 mol% et de préférence encore de 1 à 10 mol®%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0070] <Unité structurelle (a3)> Le cycle lactone appartenant à l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle B-propiolactone, un cycle y- butyrolactone ou un cycle ò-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle y- butyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de y-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple.
[0071] L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses:
f" I ie 1 Tt TAT Tl Togt 5» A SZ 23 | R 25 a22 a a Di (RZ) qq Di (Ra) en wi
O (a3-1) (a3-2) (a3-3) (a3-4) où, dans la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4), L°*, L® et L® représentent chacun indépendamment -O- ou un 5 groupe représenté par *-O-(CH»)(3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7), L? représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°8-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-0-L3-0-CO-L°-0-, L® et L°° représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle, RAS R°19 et R220 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22* représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, X°* représente -CHz- ou un atome d'oxygène, R°21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, R322 R223 et R°°° représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, pl représente un entier de 0 à 5, q1 représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, w1 représente un entier de 0 à 8, et quand pl, q1, rl et/ou w1 est/sont 2 ou plus, une pluralité de R°*, R322 R°° et/ou R°°° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0072] Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans R°*, R222, R223 et R°°° incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans R** incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle dans R** incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans R** incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
[0073] Des exemples de groupe alcanediyle dans L® et L® incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4- diyle.
[0074] Dans la formule (a3-1) à la formule (a3-3), de préférence, L°* à L°° sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)(3-CO-O-, de préférence encore -O- et *-O- CH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène, RAS à R°2! sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, R°°? et R223 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, q1 et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0075] Dans la formule (a3-4), R** est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, L” est de préférence -O- ou *-O-L°8-CO-O-, et de préférence encore -O-, -0-CH2-CO-0- ou -0-C:H4-CO-0-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1. En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3- 4": 1 ter =! a7 (a3-4)'
Ô où R°°* et L sont tels que ceux définis ci-dessus.
[0076] Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-1-1), la formule (a3-1-2), la formule (a3-2-1), la formule (a3- 2-2), la formule (a3-3-1), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-1) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à R°1$, R°1°, R220 et R°°* dans la formule (a3-1) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
[0077] Hs Hs Hs Hs Hs Hs Hs Hz tet © rat en, 0 Jen 4} Jon ST teen} Oo 45 HA As RA Voen À ER (e3-1-1) (a3-2-1) Le) & (e3-3-1) TI 4- (a3-2-2) (a3-2x-2) © (a3-1-2) (a3-3-2) H CH H2 CH Na CH, H2 CH, a H Az Hs C 3 C 3 C C Het Eu SA EN PR Oo De ï © GO © 9 De) À 0 Ô (a3-4-1) d & 2 AQ (a3-4-6) (a3-4-2) (a3-4-3) (a3-4-4) & (a3-4-5) © Ha H H Hz Ha Hz CH: c*_LH3 c2 CH3 + CL Ha c? CH TT + + TT TR D ° a. ) O, 0.
Ô DO À L (a3-4-7) 0 O (a3-4-8) © © o 8349) (93410 Ÿ (a3-4-11) Ô (23412)
[0078] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement de 5 à 70 mol%, de préférence de 10 à 65 mol%, et de préférence encore de 10 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A). Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-1), de l'unité structurelle (a3-2), de l'unité structurelle (a3-3) ou de l'unité structurelle (a3-4) est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence encore de 5 à 50 mol%, et de préférence encore de 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0079] <Unité structurelle (a4)> Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent les unités structurelles suivantes: 1 H, PR“
C Oo (a4)
Q \242 où, dans la formule (a4), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R°? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome d'halogène, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou —CO-.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé représenté par R°? incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0080] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliiques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0081] Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-0), une unité structurelle représentée par la formule (a4-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-4):
R54 ton + (a4-0)
O
O \ 4 / | Sa Xe où, dans la formule (a4-0), R°* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L“ représente une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, L*’ représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et RÉ* représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[0082] Des exemples du groupe alcanediyle dans L* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle et un groupe butane-1,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle.
[0083] Des exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L“ incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoroethylfluoromethylene, un groupe perfluoropropane-1,3-diyle, un groupe perfluoropropane-1,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5- diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane- 3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-1,6-diyle, un groupe perfluoro- hexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-1,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle,
un groupe perfluorooctane-1,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle, un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe = perfluoro- cyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0084] L est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3 est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0085] Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a4-0) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes :
H H H H H H
PER E RER TER Fa Fr, Fo be, F3 Se F2 HF, F2H F3 F2H (a4-0-5) (a4-0-6) (a4-0-1) (a4-0-2) (a4-0-3) (a4-0-4)
H H vite St St SS F, YF QT F2 au F3 Pre aF17 (a4-0-7) (a4-0-8) F3 (a4-0-9) (a4-0-10) (a4-0-11) (a4-0-12)
H Pte ST AS od a pd F F F eF13
F F F
F FF F (a4-0-13) (a4-0-14) (a ab 15) (a4-0-16)
[0086] — Ra41
O Su (a4-1) ç Ra42 où, dans la formule (a4-1), R31 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°*2 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, A! représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-g1), dans lequel au moins l'un de A?*! et R?*? a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor) : 6 ben jen p244— , (a-g1) Ss dans lequel, dans la formule (a-g1), s représente 0 ou 1, A et A?* représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, A23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, xe et XE? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, -CO- O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de A, AB A244 X° et X°*° est 7 ou moins], et * représente un site de liaison et * sur le côté droit représente un site de liaison à -O-CO-R°**,
[0087]
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans R** incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0088] Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle et analogues.
[0089] Des exemples de substituant appartenant à R°* incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préféré: + —X243— A 245 (a-g3) où, dans la formule (a-g3),
X? représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-O-CO- ou *-CO-O-, A: représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à R2*2.
Dans R2*2-X23-A3% quand R°* n'a pas d'atome d'halogène, A? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0090] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé dans A? incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycligues comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison). OD -6D -GH-CH-EBD Des exemples de groupe formé par combinaison incluent un groupe obtenu en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0091] R°*2 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand R** est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues. Quand R?*? est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de R°*2 est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a- g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1.
[0092] Quand R°* est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), R°° est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2) : + —A246— a44__ Aa47 (a-g2) où, dans la formule (a-g2), A°*° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X21* représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à A2), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de A°°, A? et X°** est 18 ou moins, et au moins l'un de A?*® et A37 à au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
[0093] Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé de A3“ est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé de A?” est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et A? est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0094] La structure préférée du groupe représenté par la formule (a-g2) est la structure suivante (* représente un site de liaison à un groupe carbonyle).
F, F, , F2 Fo F, F, Q F, O F, O ee AO AO SEAN 0 AO
[0095] Des exemples de groupe alcanediyle dans A°* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe 1- méthylbutane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
Des exemples de substituant dans le groupe alcanediyle représenté par A°# incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
A°*! est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0096] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A22 A°° et A?** dans le groupe représenté par la formule (a-g1) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique, et des groupes hydrocarbonés saturés divalents formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe 1-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle et analogues.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A22, A et A°** incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
s est de préférence 0.
[0097] Dans le groupe représenté par la formule (a-g1), des exemples de groupe dans lequel X** est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans les exemples suivants, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** représente un site de liaison à -O-CO-R°*, + do + Tex * % * ex
O O O Ô O O Ô O Ö Ö Ö Ï AL Ï X AA
[0098] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à A°* dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
H H H H Hs Ki Pt dr Th Pt tt o + 3 3 O oO
F F F F F HF» 3 FH 2 Fo 2 Fo L FE, ; (a4-1-1) (a4-1-2) (a4-1-3) (a4-1-4) 2 3 (a4-1-5) (a4-1-6) H H H Hs PR PA det tt ed o © o E k FC + pd? ES € F 2 7 F, 7 F, Pro E F2 F : F,H F3 2 HE, 2 F, F (a4-1-7) (a4-1-8) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
[0099] H H H H H Hs PP PE ff “B
O O O O + + O O E F F F2 F2 F2 2 pd © Ed Fa FoC Fo F2 F2 Jr F2 ro Fo O O O O O OÖ: (a4-1-1) (a4-1'-2) (a4-1'-3) (a4-1'-4) k (a4-1'-5) (24-16) Hs Hs H H CH Hs Hz 3 Te ° = 1 2 5 7 tn 7 O O: o F, $ O O F FC F2 F2 pra 9 ‘Te, F2 Q Q 0 ei O (a4-1'-7) (a4-1'-8) (a4-1"-9) (a4-1'-10) (a4-1'-11)
[0100] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (a4- 1) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-3): Ha RS
TE 7 o (a4-2) | 44
À 0 où, dans la formule (a4-2), R® représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L* représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, R® représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L“ et R® est 21.
[0101] Des exemples du groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone de L‘* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour A34 Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés de R*, Le groupe alcanediyle dans L* est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0102] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à RË dans l’unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est également cité à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par (a4-2) :
[0103] Ha OR"
TT 7 O
LS O7 (a4-3) 1 ante où, dans la formule (a4-3), R représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L° représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, AS représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, xf!2 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à AB), Af* représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Af? a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Af? et Alt est 20.
[0104] Des exemples de groupe alcanediyle dans L° incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés dans le groupe alcanediyle de A°**,
[0105] Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans A est de préférence un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant éventuellement un atome de fluor et un groupe hydrocarboné alicyclique saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle. Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexane- diyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornane- diyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0106] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour AF* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°#2, Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0107] Dans la formule (a4-3), L° est de préférence un groupe éthylène. Le groupe hydrocarboné saturé divalent de Af? est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné saturé de A* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne saturé ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone.
Parmi ces groupes, A** est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0108] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, des unités structurelles représentées par la formule (a4-1"-1) à la formule (a4-1'-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R7 dans une unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est également citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par (a4-3).
[0109] Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): Ls Re
LT SE (a4-4) 22“ où, dans la formule (a4-4), R2! représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, A2! représente -(CHz)1-, -(CH2)ji2-O-(CH2)j3- ou -(CH2)j4-CO-0- (CH2)j5-, j1 à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et
R22 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0110] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R2* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par R°*2, RP2 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0111] Dans la formule (a4-4), A?! est de préférence -(CH>)j1-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0112] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans l'unité structurelle (a44) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
Hz Hz Hz Hz Hs Hz Hz Jr Fr T+ HS} for ot 0 ers 0 O O O O O o F3 F2 F2 F2 F2 HF2 EA FC F2 FE 6e, FHC E
FFF pee ES SH SH SH O: Oo: O 0 Oo F Fa Fo F F2 O Fac Fo 2 Fo 2 F3 Pa dr F2 Pa F2 6 F3 F2 F2 F3 F2 F2 F2 F3 F3C F3
[0113] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0114] <Unité structurelle (a5)> Des exemples de groupe hydrocarboné non partant appartenant à l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique. L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-1) : H, 51 —— St (a5-1) \ 55 / R52 où, dans la formule (a5-1), R°? représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°? représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et L°° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0115] Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R° peut être monocyclique ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R? est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
[0116] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L” incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique polycyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0117] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L°° est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (L1-1) à la formule (L1-%). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun un site de liaison, et * représente un site de liaison à un atome d'oxygène. ee ST SOUS OS Set SC (L1-1) (L1-2) (L1-3) ° (L1-4)
Dans la formule (L1-1), X représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à L*), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L* est 16 ou moins.
Dans la formule (L1-2), LS représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L3 et L** est 17 ou moins.
Dans la formule (L1-3), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, L$ et LY représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L°, L® et L” est 15 ou moins.
Dans la formule (L1-4), LS et L° représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone, W* représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L$, L et W* est 15 ou moins.
[0118] Lt est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
LS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L“ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L*° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
W* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0119] Le groupe représenté par la formule (L1-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
DO As A, A, As, As,
Ö Ö Ö Ö A A, A. A ck, H Hz O H; O * + CHs Hs
[0120] Le groupe représenté par la formule (L1-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. ne py + : 4 3 3 LE Über ber te ber
[0121] Le groupe represente par la formule (L1-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. Hs 0 9 ml mr A DAT A „DO OA
Ö 10 CHa
[0122] Le groupe représenté par la formule (L1-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. î À ek À" SI en DO 0” „SIT N
SS DISS D OS.
[0123] L°° est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (L1-1).
[0124] Des exemples d'unité structurelle (a5-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a5-1) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes.
H H H ten: Hs bi Hs Ph Hs ton 3 Aen 3 ett 3
O O (a5-1-1) (a5-1-2) (a5-1-3) (a5-1-4) (a5-1-5) (as-1-6) Tet Ha teng Ha Tet Hg ett Ho ett Hg ett Ha
O (a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12)
[0125]
H H H H H H ra + KU St + ae (a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0126] <Unité structurelle (II)> La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (IT) »). Des exemples spécifiques de l'unité structurelle (IT) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
[0127] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") :
RS AN (11-2-A') Pa ZA* où, dans la formule (II-2-A"), xIB représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy, A“ représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, RA’ représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate, RTS représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et ZA‘ représente un cation organique.
[0128] Des exemples d'atome d'halogène représenté par RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par A“ incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2-
méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut être substitué avec A“ incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
[0129] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X!B incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6- diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane- 1,11-diyle et un groupe dodécane-1,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4- diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; des groupes hydrocarbonés saturés alicycliques monocycliques divalents, par exemple, les groupes cycloalcanediyles comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0130] Ceux dans lesquels -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (X1) à la formule (X53).
Avant le remplacement de -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à A“. » 9 OX Q N |. OL 9 Oa” 543” Aa T Se AME SO” a ST “be x T ad xn 00) 08) (X4) 5) (X6) (X7) (X8) x9) 10) O xx x ze oO 01,401, X3 OL GO. Bg On 4-8 Ot Dg Org Oder x* T Se OA SATE RETOURS (X11) (X12) (X13) (X14) (X15) (X16) (X17)
Q OXX OXX OXX Omg 0 40 XX 4 0. XL OUR #7 PSM #7 De Oet” VX T zw Oo x * T Ty T y (X18) (x19) (x20) (X21) (X22) (X23) O x O PT eN Pr 9e” Sy Or Me SPP SOS PS, Sir KA“ * O O O Ö Ö oO O Ö (X24) (X25) (X26) (X27) (X28) (X29) % O O O O0 x4 Oo... oO mi oO 3 xx oO oO 3 45 T T x3 Not Ao A AA. de Ao. (X30) (X31) (X32) (X33) (X34) (X35) (X36) O 0 Oo Oo 9 _ O O pare PS, Ash Ae A, AKK,
O (X37) (X38) (x39) 40) (X41) (X42)
O O 4 3 9 0 ax OTO 1 O4 7-54 6 AS AMO" Ae q X x = x X 0 * Ö xx xk (X43) (X44) (X45) (X46) (X47)
O - 6 & * 6 O vx a Pgo Dee Serge VET SO (X48) (X49) (X50) (X51) (X52) (X53) 5 [0131] X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone. X* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X’ représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X® représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0132] Des exemples du cation organique représenté par ZA” incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ces cations organiques, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré davantage. Des exemples spécifiques de celui-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) mentionnée plus haut (dans la suite parfois appelé « cation (b2-1) » selon le numéro de la formule).
[0133] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
RIIS
NF J RII2 Y Oo 0e ZA* (11-2-A) RIN4 _ X où, dans la formule (II-2-A), RS, x!B et ZA* sont tels que ceux définis ci- dessus, z représente un entier de 0 à 6, RIZ et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z est 2 ou plus, une pluralité de RIP et RI! peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et Q* et QP représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[0134] Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par RI, RI! Q? et Q incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par Q” mentionné plus loin.
[0135] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1): R!!!3
NH
A 90 O—RI!S (11-2-A-1) F3C ha og R!!!2 Ÿ {ie ZA+ RIM | b z Q où, dans la formule (II-2-A-1), RH? RI RI Q2 QP, zet ZA* sont les mêmes que ceux définis ci- dessus, RTS représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
[0136] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par RS incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Xl incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par XE,
[0137] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-2):
RIIS |
C A, O—RIIIS (Il-2-A-2) CF3
O 1/0 O T SO3 ZA* H NANF/m où, dans la formule (II-2-A-2), RTS, RI et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et nA représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
[0138] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de RIB est substitué par un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle, etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA” représente un cation organique.
Lit + Lit + Lit + Lion + Lon + Lion + —CH2 —CH2 —CH2 TM CH CH
A A SA A A A KEN Ka he Le Ae ee + Fr) Ö Fr) Ö Da Ô Ö Ö Ö F sos za "So zat "So, za FA FSC SL
PUF F F F F SO; ZA* SO: zA* SO5 ZA*
CH CH CH CH CH CH (Eon) (Eon) RE uE Son) Eh oh Ao Ao Ao Ao Ao Ao
F F L Sr SC x F O F > SO; so Ole Ad 0.40 ZA* F ZA? FL pe” SOx Le 0.0 F Sos ZA* ZA* 903, Le ZA ZzA+SO3
[0139] L'unité structurelle ayant un cation ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) : R!!4 er RIS (ll-1-1)
O OAN RI “A où, dans la formule (II-1-1), A! représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent, R' représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, RZ et RI représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et R!!2 et RI! peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec des atomes de soufre auquel RI? et RTS sont liés, RI! représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et A’ représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R“* incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par RI? et RI incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés ci- dessus.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique mentionnés ci-dessus, des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle , un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p -cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R!* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par A" incluent un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XI,
[0140] Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-1-1) incluent les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de R"* est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peuvent avoir un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle etc.).
4 € HERE Ton za Jon, ES en BL Jen TE Er ge A HE St + St + X
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[0141] Des exemples d'anion organique représenté par A incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion acide carboxylique. L'anion organique représenté par A est de préférence un anion d'acide sulfonique, et des exemples de l'anion acide sulfonique incluent ceux qui sont les mêmes qu'un anion représenté par la formule (B1) mentionnée plus haut.
[0142] Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par A incluent les suivants. F2 frs Fact —CF4 E 028-CF3 028-CF2 028-CF2 0,S—ÇF, 0,5—C. LL LL J Dz O;S-CF3 0282 025<F2 os F, 0,4, F3 F,C-C-CF3 F2
[0143] Des exemples d'anion sulfonylméthide incluent les suivants.
FF Pf OF O,S—CF O2S-CF, O+S-CF 0° 3 F, O, } F,C, FO, CL 2 F,C—S — F,C—C—s — F2C-C-S O3S—CF3 oer, ol cr, LE, F,b—CF;
[0144] Des exemples d'anion acide carboxylique incluent les suivants. nt he Lo Horn À wok, Jer 7 Os CHs Ô
H
Q Dr De À O4 on) n°
FFF FCO H wok, A, FA Ha „> CO OH COR TETRT cho nes %
[0145] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) incluent des unités structurelles représentées par les formules suivantes.
tot — Tot Ds tot Ce
G H EF ELF SF Ha y „SZ IX TEL Hs Hs Hz Jen, Jen, H fera
TE F H | F3 F FF 3 Se R HSE D fera a tot Hs ELF Hs KF Hs
OC OC
[0146] Quand l'unité structurelle (IT) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (IT) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol®%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0147] La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles susmentionnées, et des exemples des unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
[0148] La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (a1) (incluant au moins un élément sélectionné dans le groupe constitué de l'unité structurelle (a1-1) et de l'unité structurelle (a1-2)) et d'une unité structurelle (s), c'est-à-dire un copolymère d'un monomère (a1) et d'un monomère (s).
L'unité structurelle (a1) est de préférence au moins deux choisis dans le groupe constitué de l'unité structurelle (a1-1) et de l'unité structurelle (a1-2).
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
[0149] Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux unités structurelles ou plus peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités structurelles par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur en unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence de 2000 ou plus (de préférence de 2500 ou plus, et de préférence encore de 3000 ou plus), et de 50000 ou moins (de préférence de 30000 ou moins, et de préférence encore de 15000 ou moins). Tel qu'utilisée ici, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par permeation de gel dans les conditions mentionnées dans les exemples.
[0150] <Résine autre que la résine (A)> La composition de résist de la présente invention peut inclure la résine autre que la résine (A).
La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
[0151] La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Les exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et les unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5), et de préférence encore une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire).
La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence enco re 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A). Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de préférence encore 1 à 30 parties en masse, et de préférence encore 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0152] La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Le composant solide de la composition de résist et la teneur de la résine peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0153] <Générateur d’Acide (B)> Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique comprennent les esters sulfonates (par exemple, ester 2- nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, N- sulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques du générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples de l'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
[0154]
Des exemples spécifiques du générateur d'acide (B) incluent des composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US No.
3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0155] Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (B1) (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B1)") : Qh + -0.S [61 21 OS AS, (B) des où, dans la formule (B1), QPt et Q° représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(0)z- ou -CO-, et Z1* représente un cation organique.
[0156] Des exemples du groupe perfluoroalkyle représenté par Q” et Q® incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, QP! et Q” sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, les deux sont des atomes de fluor.
[0157] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans LP? incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en combinant deux ou plusieurs de ces groupes en combinaison.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptane-1,7- diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, un groupe dodécane- 1,12-diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14- diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16- diyle et un groupe heptadécane-1,17-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques qui sont des groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0158] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L” est remplacé par -O- ou - CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (b1-1) à la formule (b1-3). Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3) et les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-11) qui sont des exemples spécifiques de ceux-ci, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à -Y.
[0159] xx N b3 *% OA + O DD No A , DS, b4 T * DS, be 87
O (b1-1) (b1-2) (b1-3) Dans la formule (b1-1), LP? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et LP? est 22 ou moins. Dans la formule (b1-2), LP* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et L°* est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-3), LPÉ représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, LP” représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”® et L” est 23 ou moins.
[0160] Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3), quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de LP, LP? est de préférence une simple liaison.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
LP* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LPS est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
LP” est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0161]
Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L‘ est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (b1-1) ou la formule (b1- 3).
Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-1) incluent les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-8) : 9 O X b11 1.b12 Ate x A * A ER (b1-4) (b1-5)° (b1-6)
O A AE Os 6 A LOS TON 5: 87%
Ô Ö (b1-7) (b1-8) Dans la formule (b1-4), LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (b1-5), LP représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L” et L**° est 20 ou moins.
Dans la formule (b1-6), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP!2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP! est 21 ou moins. Dans la formule (b1-7), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, LP!* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L°** à LP!5 est 19 ou moins.
Dans la formule (b1-8), [P1É représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L°*® à LP!3 est 19 ou moins.
LPS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP!* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
LP!5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[PS8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0162] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-3) incluent les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11). ANSE NET OS ns N DES
O (b1-9) (b1-10) (b1-11) Dans la formule (b1-9), LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, L°%0 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH>- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP2 est 23 ou moins.
Dans la formule (b1-10), LP?! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP22 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! LP? et LP23 est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-11), [P?* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP2 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, le nombre total d'atomes de carbone de L”*, LP et Lb est 21 ou moins.
[0163]
Dans des groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant la substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues.
[0164] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-4) incluent les suivants : oe Aon Js 3 2 No DONS uk LEO ON CH3
[0165] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-5) incluent les suivants : Q 9 O Q ANS, As N A At
Ö Ö Ö Ö Ö Q O Q O cu. 9 At one” DE er APS Ö Hs Hs
CH CH O 3 0 CHs 3 À, ; SA N Ath „At DH
O 9 > O O „so Tre Dg
[0166] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-6) incluent les suivants:
O O O AOT ta SN Ati — Ano Aob CHs CHs CH3 O GO O x Athos Athos Athos Ad AD
[0167] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-7) incluent les suivants: Hs O ae -
O Arre ZI A OI TO « xx +*x 9 9 Q AND * 9 AS pe = A xx A O4
[0168] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-8) incluent les suivants : 0 Hr SO M Do © Do” 0 To O
O O
[0169] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-2) incluent les suivants : 2 9 Ng + HA, _ x OO TB a Te HA | A Hot, Oo F Oo F AA AA HA HA A. A CH3
[0170] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-9) incluent les suivants :
F F CH3
F F F F F F OH 0 0 CH3
[0171] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-10) incluent les suivants : DS MAA a AS ONE of Ö O #3 Ha 4x Hs es x & Ad } Ads “ dm * 4% PS «* F H xx FE mu H Hs F F3 F Fo bf PE Ff Fa € A
H * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à Y.
[0172] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-11) incluent les suivants :
Hs F F Hs F F3 F F3 Arg JAA dA dd LA ' Lt F £ F £ F Î F X p CH % Te
O
[0173] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Y1) à la formule (Y11) et par la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples de tels groupes incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et par la formule (Y39) à la formule (Y43). > 0-0 -0-0-0 RO u VD) 2) (Y3) (Y4) (5) (Ye) (17) (Y8) (Y9) (Y10) (11) a ho 9 rr EN NAN TED m u 9 49 Sy X# A £) FI = > D (12) (Y13) (14) (Y15) (Y16) (Y17) (Y18) (Y19) (20) (Y21) (22) © Dd bp DM HN AS A5 +2 + > go À {) o De 5 zZ. Yo Mo PD, 0 (Y23) (Y24) (y25) (v26) var) (vas) (Y29) (Y30) (Y31) 9 (132) (Y33) oO * O X * NL 6) O
VOODOO PAF (34) (35) (Y36) (37) (38) (Y39) (Y40) 41) (v42) (Y43) Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Y1) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y43), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43).
Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est un cycle spiro contenant un atome d'oxygène comme la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène a de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure cétal, il est préféré qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0174] Des exemples de substituant du groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz);,-CO-O-R®* ou un groupe -(CH2);a-0-CO-RP! (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, et -CH>- inclus dans un groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, - SOz- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peuvent être substitués par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4).
Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone qui peuvent être substitués par un groupe hydroxy (-CHz- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe - (CH2);a-CO-O-RE! ou un groupe - (CHz)ja-O-CO-RP! (où RP! représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenus en combinant ces groupes, et - CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarbure aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor et ja représente un entier de 0 à 4).
[0175] Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues. Le groupe hydrocarboné alicyclique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne, et des exemples de ceux-ci comprennent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12, et de préférence encore de 3 à 10. Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryles comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- méthylphényle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné alicyclique, ayany 3 à 18 atomes de carbone, , un groupe p- adamantylphényl, un groupe p-cyclohexylphényle etc.). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14, et de préférence encore de 6 à 10.
Des exemples du groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent des groupes hydroxyalkyle comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O-, -S (O)2- ou -CO- incluent un groupe alcoxy, un groupe alcoxycarbonyle, un groupe alkylcarbonyle, un groupe — alkylcarbonyloxy, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, plus préférablement de 1 à 6, et encore plus préférablement de 1 à 4.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy et analogues.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkyle incluent des groupes alcoxyalkyle tels qu'un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle et un groupe éthoxyméthyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alcoxy incluent des groupes alcoxyalcoxy tels qu'un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy et un groupe éthoxyéthoxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalcoxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyle incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyle tels qu'un groupe méthoxyacétyle, un groupe méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle et un groupe éthoxypropionyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyle est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3à7, et de préférence encore de 3 à 5.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyloxy incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyloxy tels qu'un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy et un groupe éthoxypropionyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyloxy est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5. Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y43).
[0176] Des exemples de Y incluent les suivants.
AKN OL (CEE O O O OÖ DS as A > d 0
EE AA (Y100) ; * * + (101) (Y102) (103) 104) > (108) (v106) O © Que A Ur X KR bij 1° AD D 6 OÙ 9 CS (9109) CS (110) CS 011) * (Y107) * (Y108) 0 ° ou Q 4 Wi Td he 2 œ
O O O Ge QE 0 * oO 9 * O O0 ,L Oo EOV (Y112) OH (v42) (113) (114) (1115) (1118) H3 H3 H3C CHs HO H O *_r AOR MW Lo
OH (Y11) (Y4) (Y117) (Y118) (Y419) (Y120) (Y121) (Y122) (Yı23) (Y15) (Y124) Ce 4 4 CH; Ar A 6 F Dio Dg LA PS7 7 (Y125) (Y126) (Y127) gk (Y128) a (Y129)
RE AF F F
FR E F F Oe Un, CO À HO Ç O 0 SF Jh Fr, A f A © a -Qb gb gk ; (Y130) (Y131) (Y132) (133)
[0177] Y est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CHz- constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(0)z- ou -CO-. Spécifiquement, Y est de préférence un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle ou des groupes représentés par la formule (Y42) et la formule (Y100) à la formule (Y114).
[0178] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) est de préférence un anion représenté par la formule (B1-A-1) à la formule (B1- A-59) [dans la suite parfois appelé "anion (B1-A-1)" selon le numéro de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-4), la formule (B1- A-9), la formule (B1-A- 10), la formule (B1-A-24) à la formule (B1-A-33), la formule (B1-A-36) à la formule (B1-A-40) et la formule (B1-A-47) à la formule ( B1-A-59).
[0179] OH 0 b1 92 on a a SoL Sd 70 SP Sp OS os LAM os T >LA41 3
O O O (B1-A-1) (B1-A-2) (B1-A-3) b1 b2 b1 b2 ; b1 b2 - 6 © Oo. A41 7 a © oO. A41 R° 7 a © ou 035 L O3S L 0:8 LA41
O O O (B1-A-4) (B1-A-5) (B1-A-6) Ri b1 b2 of! an? ZZ ar! „ob2 > QS. Om aa _ O NC | - On A41 035 L O > DS LAIT O3S L “3 Ö Ö Ö O
O (B1-A-7) (B1-A-8) (B1-A-9)
OH OH
SET BA B A 3 - Vs, A41 7 SLA41 O O-S=0 08 F F L 085 F F © (B1-A-12) (B1-A-10) (B1-A-11) O OH x ab ‚ar? Qs! Qb2 _ O Oo = SO A41 os A b2 9 O 035 FPSE L FF Ö am Q oo ‘ 0:57 > -A- O (B1-A-13) (B1-A-14) (B1-A-15)
[0180]
O O
OH _ O0 b1 gb2 OH 6,750 A So Lo OH FF O o Oss FFE
OO Ö aL ob! Qb2 (B1-A-16) ee (B1-A-18) FSF 5 OH (B1-A-17)
OH
OH _ Q1 5 Lo er Qb ‚Qr2 oO _ Qb 02 ° 0,872 ï OI SLAM OI LAI (B1-A-19) (B1-A-20) (B1-A-21)
[0181]
OH abi „a2 OH QB1 or? a or - - Spi4 Oso Ad 7 0570 TY R FF di L FO dy Same 0 (B1-A-22) (B1-A-23) (B1-A-24) Qui „ob? Oo CHs OA 9 CH - _ - os 0 TY LA ° Ö \, 0 O (B1-a-25) © (B1-A-26) © | | ken b1 QL2 O CH _ oki ‚a Om a 3 a a? 038 L Oo F un 90 AS 07 50 0 0 Lu Ï Ts Os 2 Ï Du
O (B1-A-27) O L Oo L
CH LA CH (B1-A-28) 9 (B1-A-29) 75
[0182]
O0 0 af „or RS ori „or? 9 [Aa RS T RB Os 5 AA R O 3 0 a! Q»? (B1-A-31) 6:87 Sp su (B1-A-30) Ô (B1-A-32) 0 ee ge O O i7 b1 b1 _ QY ee R _ Q LA 0 _ î F LA41 © TT SLAM és Ty >07 So 0:81 T 0° 50 0 Q»? F Q F (B1-A-33) E (B1-A-34) (B1-A-35)
F ° F OH OH F on ‚ar? es = O _ a, / O Gs 5,870 07 LA41 O 8 © (g1-a-36) (B1-A-37) (B1-A-38) b2 9 a2 ob? ar A an ar R2 - = O = O is Gs 5,877
O O O (B1-A-39) (B1-A-40) (B1-A-41) Ris ie ar ar? - = O
5.570 Gs
O O (B1-A-42) (B1-A-43) b1 QR? b1 Qb? _ Q O bt OP? - 0 is A <0 9 035 O OS Ö O-S=0 Oo OO 9 © (B1-A-44) (B1-A-45) 9 (B1-A-46)
[0183]
O O Ar, A Ye X ne he 097% 019% © © + + I a? ab2 Oo ari Qb2 O QP1 Qb2 OÙ Se a Se aA 02871014
O 9 (B1-A-47) 9 (B1-A-48) (B1-A-49)
O O GK Re fe DM A or Bo HO € Ve
O O O O oF JT JT ah Q° O QE! Qb2 O QE! Qb2 O 805, CI 0870 0870
O O O (B1-A-50) (B1-A-51) (B1-A-52)
[0184]
O
A X b1 b2 O O 2 X A41 Co Cr SC QI QP? O a Qb2 Oo O 0 SO 5, Oee S 4 ï (B1-A-55) (B1-A-53) (B1-A-54) O oO 0 OH ox Qb2 - Q Q 0 O GS Oa SL
O O 1-A-57) (B1-A-56) 9 (B À bd
O O 0 Oo QX Qb? Oe O Q oo? OL O
GS OL GSO
O O (B1-A-58) (B1-A-59)
[0185] R à RU représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R® est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone. QP! et QP2 sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques de l'anion dans le sel représenté par la formule (B1) incluent des anions mentionnés dans JP 2010-204646 A.
[0186] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) inclut de préférence des anions représentés par la formule (B1a-1) à la formule (B1a-38).
HO © SE AN FL ,F De O "038 | T° “048 O 035 Ö (Bla-1) 9 (Bla-2) (Bla-3)
O CH F. F O F. F O Fee O. F F ou 3 - NN _ x. “038” CHs 7038 7 O Oss O+S 6 !
Ö O O O D-SzO 5 O O (Bla-6) (Bla-7) (Bla-4) (Bla-5) AF 9 Ch AF, Oo CH A PT x © os > o Fr oo © Ö o—LcF 9 O oss 3 D O F 070 (Bla-8) (Bla-9) (Bla-10) SCH;
OH CH -O3S O F 0 70 -0o.s IA Exo - N SON je FF X 035 F Ö F O 2 (Bla-11) cs (Bla-12) (Bla-13)
[0187]
F 0807 "0, F x Dr CO F, F © ON - O 3 os dr _ F- Fo O O 0257 (Bla-14) O (Bla-15) (Bla-16) OH 0 "048 O - 3 O 0 OS T
Ö (Bla-17) (Bla-18) (Bla-19) F 038 "0,8 FF F Ö 3 Ö > 0 a 0-80 05 a (Bla-20) (Bla-21) (Bla-22)
[0188] Be A Me, oe Ge - F 7 _ F O3 OS 035
O Ö O (Bla-23) (Bla-24) (Bla-25) Re A De Xe M
O Ô OÖ Lo - BF — BF OST 0:S 038
Ö O (Bla-26) (Bla-27) (Bla-28) A XX mn 0, RF ef 0 H 038 SMO 9
Ö Ö (Bla-31) (Bla-29) (Bla-30) O
KF KF . De KF 03S © “Os Ö > 6 "Os
Ö Ö Ö (Bla-33) (Bla-34) (Bla-35) (Bla-32) en 8 RF ; 0,8 KF 0 Ô "048 048 y _ O (Bla-36) (Bla-37) (Bla-38)
[0189] Parmi ceux-ci, un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3) et de la formule (B1a-7) à la formule (B1a-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19 ) et la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) est préféré.
[0190] Des exemples de cation organique de Z1* incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé “cation (b2-1)” selon le numéro de la formule).
(RE13) 2 (RB17) 2 pbé (RP R® 0 © b15 © Rf Ou =) Lode +$ 5 le s+ ps NV XV do dun GS Ô (RS) 2 RA aa) À, (b2-1) (b2-2) (b2-3) Rot 02) 0241) (b2-4) Dans la formule (b2-1) à la formule (b2-4), RP* à RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP* et RP5 peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP* et RP° sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP” et R® représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5,
quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de RP peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de RS peuvent être identiques ou différents,
R® et RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
RP et RP! peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP? et RP! sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP! représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
RP? représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP! et RZ peuvent être liés l’un à l'autre pour former un cycle, incluant -CH-CO- auquel RP!? et R”? sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, RP!3 à RS représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, LP3! représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène, 02, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0à5, q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4, u2 représente 0 ou 1, et quand 02 est 2 ou plus, une pluralité de RPB sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!* sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents.
[0191] le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent des groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne de RP? à RP? a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique de R” à RP? à de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
[0192] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins.
Le groupe fluorure d'alkyle représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome de fluor et des exemples de ceci incluent un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4.
[0193] Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- méthylphényle , un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p- adamantylphényle etc.).
Quand le groupe hydrocarboné aromatique a un groupe hydrocarboné à chaîne ou le groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
[0194] Des exemples du groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de l'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propyl- carbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyl- oxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy.
[0195] Le cycle formé en liant RP* et RP5 l’un à l'autre, avec les atomes de soufre auxquels RP et RP sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants et analogues. * représente un site de liaison. * 1. * ; * * * * & SS & & & & X + N
OR REAL O 9
[0196] Le cycle formé en combinant RP? et RE ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-1- ium (un cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-1-ium, un cycle 1,4- oxathian-4-ium et analogues. Le cycle formé en combinant RP!! et RP? ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0197] Parmi le cation (b2-1) au cation (b2-4), un cation (b2-1) est préféré. Des exemples de cation (b2-1) incluent les cations suivants. © CaHs € a CeH13 CgH17 of 7878 ‘of 578 of of (b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) | (b2-c-5) (b2-c6) (b2-c-7) (b2-c-8) H3 H3 H3 -C4Hg -C‚Hg © © Ce O CG (2 H A -C,H (b2-c-14) (b2-c-9) (b2-c-10) (b2-c-11) (b2-c-12) (b2-c-13)
[0198]
F F Q 8 Ç ob-0 of of X + + C5 Os dS dS 5 © © (b2-c-15) (b2-c-16) 21) PN) (92019) F (b2c21) (b2-c-22) (b2-c-20) © 9€ © © (4 (y (4 (4 (3 (9 (b2-0-23) (b2-c-24) (b2-c-25) (b2-0-26) (b2c27) 6247) (b2-c-48) (b2-c-49) F3 R (4 (5 (4 v 3 (4 F3 F FF (b2-c-51) (b2-c-52) (b2-c-53)
[0199] Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants. + + + DD O0 JOO DQ (b2-c-28) (b2-c-29) (b2-c-30) (b2-c-50)
[0200] Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants. © 145 AO (b2-c-31) (b2-c-32) (b2-c-33) (b2-c-34)
[0201] Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants. Hz Q Q Q © (b2-c-35) (b2-c-36) (b2-c-37) (b2-c-38) Ha Ha Hs Ha © 2 Q Q
OD IDD ZOO ZO GS 5 Ó (b2-c-39) (b2-c-40) Hat (b2-c-41) Had (b2-c-42) tC4Hg t-C4Hg t-C4Hg tC4Hg (2 (2 (b2-c-43) (b2-c-44) rond, (b2-c-45) tok (b2-c-46) 300 (b2-c-54)
[0202] Le générateur d'acide (B) est une combinaison anion susmentionné et du cation organique susmentionné, et ceux-ci peuvent être éventuellement combinés. Le générateur d'acide (B) inclut de préférence une combinaison d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3), de la formule (B1a-7) à la formule (Bla-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19) et de la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) avec un cation (b2-1), un cation (b2-3), un cation (b2-4).
[0203] Le générateur d'acide (B) inclut de préférence ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-56). Parmi ces générateurs d'acide, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-3), la formule (B1-5) à la formule (B1-7), la formule (B1-11) à la formule (B1-14), la formule (B1-20) à la formule (B1-26), la formule (B1-29) et la formule (B1-31) à la formule (B1-56) sont particulièrement préférées.
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[0209] Dans la composition de de la présente invention, la teneur totale du générateur d'acide est de préférence 1 partie en masse ou plus et 45 parties en masse ou moins, de préférence 3 parties en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 10 parties en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins sur la base de 100 parties en masse de la résine (A) mentionnée ci-dessous.
[0210] <Solvant (E)> La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse. Les exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2-heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la y-butyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0211] <Agent de désactivation (C) (« Quencher (C) »)> Les exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique, et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir d'un générateur d'acide (B). Quand la composition de résist inclut l’agent de désactivation, la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 15% en masse, de préférence encore d'environ 0,01 à 10% en masse, de préférence encore d'environ 0,01 à 5% en masse, et de préférence encore d'environ 0,01 à 3% en masse, sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist. Les exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Les exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Les exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire. Les exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2- naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la N,N-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la dicyclohexylméthylamine, la = tris[2-(2- méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4"-diamino-1,2- diphényléthane, le 4,4"-diamino-3,3"-diméthyldiphénylméthane, le 4,4" diamino-3,3"-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, limidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2- di(2-pyridyl)éthane, le 1,2-di(4-pyridyl)éthane, le 1,2-di(2-pyridyl)éthène, le 1,2-di(4-pyridyl)éthène, le 1,3-di(4-pyridyl)propane, le 1,2-di(4- pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4"-dipyridyle, le disulfure de 4,4’-dipyridyle, la 2,2"-dipyridylamine, la 2,2"-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline.
Les exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, : l'hydroxyde de = tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3- (trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n- butylammonium et la choline.
[0212] L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5.
Les exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois “sel interne d'acide faible (D)"), et les sels mentionnés dans JP
2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A. Le sel est de préférence un sel générant un acide carboxylique ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) (un sel ayant un anion acide carboxylique) et de préférence encore un sel interne d'acide faible (D). 9 > $ ar 0 en 1 © © Bar „OO TO Ar LO LO
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[0213] Les exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants. coo 00 + 00 oo do 000 0 40 007 oo” coo coo 007 coo” OO Gi Dodo
B CI 007 oo £00 an 00” No, 0-0 Gp do do GS oo coo” 007 007 coo > + + O + + F0 ao Hot Ea SON
[0214] <Autres composants> La composition de résist de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois “autres composants (F)"), si nécessaire. Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0215] <Préparation de la composition de résist> La composition de résist de la présente invention peut être préparée par mélange d'un sel (I), d'une résine (A) et d'un générateur d'acide (B), de résines autres que la résine (A) à utiliser, d'un solvant (E), d'un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. II est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation. Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 um.
[0216] (Procede pour produire un motif de resist) Le procede pour produire un motif de resist de la presente invention inclut: (1) une étape d'application de la composition de resist de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée. La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge. Les exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé "précuisson") ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 10° Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à Fa (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement “exposition”. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé “cuisson de post-exposition”) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Les exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une soluton de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Les exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois “solution de développement organique”) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2- hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,N- diméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté en remplaçant le solvant par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester.
Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0217] (Application) La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux UVE, en particulier une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (EB) ou d'une composition de résist pour exposition aux UVE, et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semiconducteurs.
[Exemples]
[0218] La présente invention vont être décrits plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel selon les conditions d'analyse suivantes.
Appareil: Modèle HLC-8120GPC (fabriqué par TOSOH CORPORATION)Colonne: TSKgel Multipore IIXL-M x 3 + colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION) Éluant: tétrahydrofurane Débit: 1,0 mL/min Détecteur: détecteur RI Température de la colonne: 40°C Quantité d'injection: 100 pl Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
[0219] Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc., spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par “MASSE”,
[0220] Exemple de synthèse 1: synthèse du composé représenté par la formule (K-1) he “a, LA 0, H To (I-1-a) (l-1-b) (1-1) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 1-a), 230 parties d'acétate d'éthyle et 12,88 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b), ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 23,48 parties de diisopropyléthylamine ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une élévation de température à 70°C, par une agitation à 70°C pendant 2 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 120 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 120 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 120 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 7,24 parties d'un composé représenté par la formule (I-1). MASSE (spectrométrie de masse): 227,1 [M+H]"
[0221] Exemple de synthèse 2: synthèse du sel représenté par la formule (I-5) 0 CF3 pH AL do A CF$ OH N cr 3 CF Do — 3 9 CE, F3 (I-5-a) (l-1-b) (1-5) Cr On a mélangé 8 parties d'un composé représenté par la formule (I- 5-a), 100 parties d'acétate d'éthyle et 15,72 parties d’un composé représenté par la formule (I-1-b) ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 10,59 parties de diisopropylethylamine ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une élévation de température à 70°C, par une agitation à 70°C pendant 4 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 100 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 50 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 7,15 parties d'un composé représenté par la formule (I-5). MASSE (spectrométrie de masse): 527,1 [M+H]"
[0222] Exemple de synthèse 3: synthèse du composé par la formule (I-9) | A AT Os on LG + (1-9-a) (I-1-b) (1-9) On a mélangé 6,50 parties d'un composé représenté par la formule (I-9-a), 160 parties d'acétate d'éthyle et 15,19 parties d’un composé représenté par la formule (I-1-b) , ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 18,05 parties de diisopropyléthylamine ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une élévation de température à 70°C, par une agitation à 70°C pendant 4 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 160 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 80 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 80 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 5,80 parties d'un composé représenté par la formule (I-9). MASSE (spectrométrie de masse):319,2 [M+H]"
[0223] Exemple de synthèse 4: synthèse du composé représenté par la formule (1-39) ° OD, OMe (I1-39-c) Q,
OH O (I-39-a) (I-39-b) T (1-39) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 39-a), 0,008 partie d'un composé représenté par la formule (I-39-c) et 50 parties de toluène ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une élévation de la température à 100°C. A la solution mélangée ainsi obtenue, 6,19 parties d'un composé représenté par la formule (I-39-b) ont été ajoutées goutte à goutte à 100°C, ce qui a été suivi par une agitation à 110°C pendant 2 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 25 parties d'acétate d'éthyle et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 5,85 parties d'un composé représenté par la formule (I-39). MASSE (spectrométrie de masse): 167,1 [M+H]"
[0224] Exemple de synthèse 5: synthèse du composé représenté par la formule (1-37) ue os -
OH OH oH + as + Ou 0 © (I-39-c) © T 7 (I-37-a) (I-37-b) (I-37) On a mélangé 20 parties d'un composé représenté par la formule (1-37-a), 2,28 parties d’un composé représenté par la formule (I-39-c), 100 parties d'acétate d'éthyle et 14 parties de tétrahydrofurane, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 10°C. A la solution mélangée ainsi obtenue, on a ajouté goutte à goutte à 10°C, 6,55 parties d'un composé représenté par la formule (I-37-b), ce qui a été suivi par une élévation de température à 23°C et en outre par une agitation à 23°C pendant 2 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 70 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 8,75 parties d'un composé représenté par la formule (1-37). MASSE (spectrométrie de masse): 183,1 [M+H]"
[0225] Exemple de synthèse 6: synthèse du composé représenté par la formule (1-4)
A CG, «Aou HZ Ca
H H (I-1-a) (l-1-b) (1-4) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 1-a), 230 parties d'acétate d'éthyle et 4,29 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b), ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 5,86 parties de diisopropyléthylamine ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une élévation de la température à 70°C, par une agitation à 70°C pendant 2 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, 120 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 120 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 120 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis la masse concentrée a été isolée d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n- heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 2,44 parties d'un composé représenté par la formule (I-4). MASSE (spectrométrie de masse): 169,1 [M + H]"
[0226] Exemple de synthèse 7: Synthèse du composé représenté par la formule (I-41) Ah pod LAN È OC | H | To (|-41-a) (l-1-b) (1-41)
On a ajouté 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 41-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 3,92 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b) ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,08 parties d'un composé représenté par la formule (I-41). MASSE (spectrométrie de masse): 478,9 [M+H]"
[0227] Exemple de synthèse 8: synthèse du composé représenté par la formule (1-45) - MA LM n > Û DO — — —(— O HO So A (1-45-a) (l-1-b) (1-45)
On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 45-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 12,32 parties de diisopropyléthylamine ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 6,01 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b) ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 16 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,84 parties d'un composé représenté par la formule (I-45). MASSE (spectrométrie de masse): 353,0 [M+H]"
[0228] Exemple de synthèse 9: synthèse du composé représenté par la formule (1-55) 49 SE 4 AT De TE LA (1-55-a) (l-1-b) (1-55) On a mélangé 10 parties d'un composé représenté par la formule (1-55-a), 75 parties d'acétate d'éthyle et 26,85 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 15,11 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b) ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une élévation de température à 23°C et en outre par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, 75 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 40 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 12,32 parties d'un composé représenté par la formule (I-55). MASSE (spectrométrie de masse): 367,1 [M+H]"
[0228] Exemple de synthèse 10: synthèse d'un composé représenté par la formule (I-60) ue OQ 3 + 0A LG, Oo Ou DAO (I-60-a) (I-60-b) (1-60) On a mélangé 10 parties d'un composé représenté par la formule (I-60-a), 0,55 partie d’un composé représenté par la formule (I-39-c), 100 parties d'acétate d'éthyle et 10 parties de tétrahydrofurane, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 10°C. A la solution mélangée ainsi obtenue, 2,76 parties d'un composé représenté par la formule (I-60-b) ont été ajoutées goutte à goutte à 10°C, ce qui a été suivi par une élévation de température à 23°C eten outre par une agitation à 23°C pendant 2 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 70 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 9,15 parties d'un composé représenté par la formule (1-60). MASSE (spectrométrie de masse): 481,3 [M+H]"
[0229] Exemple de synthèse 11: synthèse d'un composé représenté par la formule (I-65) Ah SG re == H Do ! (I-1-b) ' (1-65-a) (1-65) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 65-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté goutte à goutte 3,92 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b), ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 2,48 parties d'un composé représenté par la formule (I-65). MASSE (spectrométrie de masse): 478,9 [M+H]"
[0230] Exemple de synthèse 12: synthèse d'un composé représenté par la formule (I-71)
AA
H H ' (I-1-b) ' (1-65-a) (1-71) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 65-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 1,86 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b) ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,44 parties d'un composé représenté par la formule (I-71).
MASSE (spectrométrie de masse): 420,9 [M+H]"
[0231] Exemple de synthèse 13: synthèse d'un composé représenté par la formule (1-75)
AA HO CO L | XL, ODO | H | (1-41-a) (1-75-b) (1-75) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 41-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-75-b) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,44 parties d'un composé représenté par la formule (I-75). MASSE (spectrométrie de masse): 531,0 [M + H]"
[0232] Exemple de synthèse 14: Synthèse d'un composé représenté par la formule (I-76)
AA HO | ; (2) LL CT | Ce u — CO (1-65-a) (1-75-b) (1-76) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 65-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-75-b), ce qui a été suivi par une agitation supplémentaire à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 2,16 parties d'un composé représenté par la formule (I-76).
MASSE (spectrométrie de masse): 531,0 [M+H]"
[0233] Exemple de synthèse 15: Synthèse du composé représenté par la formule (1-79)
AA HO | OL, È O | XL, — OX | H | H (1-41-a) (1-75-b) (1-79) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 41-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 2,38 parties d'un composé représenté par la formule (I-75-b) ont 30 été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 1,68 parties d'un composé représenté par la formule (I-79). MASSE (spectrométrie de masse): 446,9 [M+H]"
[0234] Exemple de synthèse 16: Synthèse du composé représenté par la formule (I-80)
JA HO | CO L OS | + PL &, vs (1-65-a) (l-75-b) (-80) On a mélangé 5 parties d'un composé représenté par la formule (I- 65-a), 20 parties d'acétate d'éthyle et 7,14 parties de diisopropyléthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 2,38 parties d'un composé représenté par la formule (I-75-b) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, ensuite la masse concentrée a été isolée grâce à une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriqué par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,89 parties d'un composé représenté par la formule (I-80).
MASSE (spectrométrie de masse): 446,9 [M+H]"
[0235] Exemple de synthèse 17: Synthèse du composé par la formule (IX-1) eu Re TEA Os H + __, y PO (IX-1-a) (IX-1-b) (IX-1) On a mélangé 25,7 parties d'un composé représenté par la formule (IX-1-a), 120 parties d'acétone et 48,58 parties de triéthylamine, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 36,91 parties d'un composé représenté par la formule (XI-1-b), ce qui a été suivi par une élévation de température à 23°C et en outre par une agitation à 23°C pendant 6 heures. Au mélange ainsi obtenu, on a ajouté 120 parties d'éther tert-butylméthylique et 80 parties d'eau ayant subi un échange d'ions, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 60 parties d'une solution aqueuse saturée de chlorure d'ammonium ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 60 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été effectuée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis la masse concentrée a été isolée à l'aide d’une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 27,18 parties d'un composé représenté par la formule (IX-1).
MASSE (spectrométrie de masse): 207,1 [M+H]"
[0236] Synthèse de résine
Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse d'une résine (A) sont illustrés ci-dessous. Dans la suite, ces composés sont appelés «monomère (a1-1-3)» selon le numéro de formule.
Ha CH= H Hz H3 des CH 3 2 CH, HS cz O O O0 je Oe a u OH
TT SI (a1-1-3) (a1-2-6) (a1-4-2) (a1-4-13) (a2-1-3) Ô (a3-4-2)
[0237] Exemple de synthèse 18 [Synthèse de la résine A1] On a utilisé un monomère (a1-1-3) et un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-2) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3):monomère (a1-2- 6):monomère (a2-1-3):monomère (a3-4-2):monomère (a1-4-2)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l’azobis(2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en la quantité de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p- toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une récupération pour obtenir une résine A1 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 10° avec un rendement de 63%. Cette résine A1 a les unités structurelles suivantes.
tte ode te in "5 9 a m H 20 OH
OH O
[0238] Exemple de synthèse 19 [Synthèse de la résine A2] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-13) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2) : monomère (a1-4-13)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p- toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A2 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,1 x 103 avec un rendement de 61%. Cette résine A2 a les unités structurelles suivantes. Hz Hz Hs Hz H ton to tou to ch
O O O D» re * Ge
OH OH Ö
[0239] Exemple de synthèse 20 [Synthèse de la résine A3]
On a utilisé un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-2) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 53:3:12:32 [monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (33-42): monomère (a1-4-2)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A3 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 10° avec un rendement de 88%. Cette résine A3 ales unités structurelles suivantes.
Re tou ton "5 0 Oo et A3 OH . C OH
OH O
[0240] Exemple de synthèse 21 [Synthèse de la résine A4] On a utilisé un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-13) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 53:3:12:32 [monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2) : monomère (a1-4-13)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A4 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,1 x 103 avec un rendement de 79%. Cette résine A4 a les unités structurelles suivantes. Hs Hs Hs tr dou dot fon O d 0 0 L- ô. A4
H OH H Ö
[0241] Exemple de synthèse 22 [Synthèse de la résine AX1] 100 parties de polyvinylphénol (VP-15000; fabriqué par Nippon Soda Co., Ltd.), 400 parties de méthylisobutylcétone et 0,004 partie d'acide p-toluènesulfonique dihydraté ont été chargées, ce qui a été suivi par une concentration jusqu'à ce que la quantité totale de cette solution mélangée devienne 273 parties. Après concentration, 8,01 parties d'éther éthylvinylique ont été ajoutées goutte à goutte à la solution de résine, et ensuite une réaction a été effectuée par agitation pendant 2,5 heures. Ensuite, à cette solution réactionnelle, 58,2 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 0,005 partie de triéthylamine ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation et en outre par une isolation par séparation. Ensuite, l'opération consistant à ajouter 60 parties d'eau ayant subi un échange d'ions à la couche organique, suivi par l'isolement par séparation, a été effectuée quatre fois. Une fois le lavage terminé, la couche organique a été concentrée pour obtenir une résine AX1 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 1,6 x 10% avec un rendement de 88%. Un rapport d'un groupe éthoxyéthyle introduit dans toutes les unités structurelles de la résine AX1 était de 30,1 mol%. La résine AX1 a les unités structurelles suivantes.
H H PE 5
OH TA AX1
[0242] <Préparation de la composition de résist> Comme le montre le tableau 1, les composants suivants ont été mélangés et le mélange ainsi obtenu a été filtré à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pore de 0,2 um pour préparer des compositions de résist. Tableau 1 Composition de | Résine Géné- | Composé |Agent de | PB/ résist rateur | (I) désactivati | PEB d'acide on (C B1-43 = a Al= I-1 = C1 = 100°C/ Composition 1140 parties A partie | 0,7 partie |100°C parties B1-43 = en A2 = I-1 = C1 = 100°C/ 10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C B1-43 = a Al= I-5 = C1 = 100°C/ 10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C B1-43 = we A2 = I-5 = C1 = 100°C/ 10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C B1-43 = a Al= I-9 = C1 = 100°C/ Composition 5 10 parties Se partie 0,7 partie |100°C parties B1-43 = a A2 = I-9 = C1 = 100°C/ Composition 6 140 parties Se partie | 0,7 partie |100°C parties B1-43 = a A1 = I-4 = C1 = 100°C/ Composition 7140 parties BA partie | 0,7 partie |100°C parties B1-43 = en A2 = I4= C1 = 100°C/ Composition 8140 parties BA partie | 0,7 partie |100°C
_ B1-43 = | _ _ ° 10 parties Sa rties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 11 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 12 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 13 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 14 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 16 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 17 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 18 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 19 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 21 10 parties | arties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 22 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 23 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 24 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C
10 parties Sa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 26 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 27 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 28 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 29 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 31 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 32 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 33 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 34 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 36 10 parties Ja ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 37 10 parties | arties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 38 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 39 10 parties pa ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C 40 10 parties a ties 0,2 partie 0,7 partie |100°C
Composition |a3 = ee = |L79= Ci = 100°C/ 41 10 parties | as 0,2 partie 0,7 partie |100°C Composition A4 = ee 7 |I-79= C1 = 100°C/ 42 10 parties Sa rties 0,2 partie 0,7 partie |100°C Composition A1 = ee - |I-80 = C1 = 100°C/ 43 10 parties Jarties 0,2 partie 0,7 partie |100°C Composition |A2 = ee = |1-80= C1 = 100°C/ 44 10 parties Jarties 0,2 partie 0,7 partie |100°C Composition |A3= ee 7 |I-80 = Cl = 100°C/ 45 10 parties Jarties 0,2 partie 0,7 partie |100°C r 2 1 i oO 46 10 partes parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C , . . ° Comparative 1 |10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C , . . ° Comparative 2 |10 parties parties 0,2 partie 0,7 partie |100°C Composition |a1 = ee "I= Ci = 100°C/ Comparative 3 |10 parties parti es 0,2 partie 0,7 partie |100°C
[0243] <Résine> A1, A2, A3, A4, AX1: Résine A1, Résine A2, Résine A3, Résine A4, Résine AX1 <Generateur d'acide> B1-43: Sel represente par la formule (B1-43) (synthétisé conformément aux exemples de JP 2016-47815 A) + O, 3,
OTA
<Composé (T)> I-1: Composé représenté par la formule (I-1) I-4: Composé représenté par la formule (I-4) I-5: Composé représenté par la formule (I-5) I-9: Composé représenté par la formule (I-9) I-37: Composé représenté par la formule (I-37) I-39: Composé représenté par la formule (I-39) I-41: Composé représenté par la formule (I-41) I-45: Composé représenté par la formule (I-45) I-55: Composé représenté par la formule (I-55) I-60: Composé représenté par la formule (I-60) I-65: Composé représenté par la formule (I-65) I-71: Composé représenté par la formule (I-71) I-75: Composé représenté par la formule (I-75) I-76: Composé représenté par la formule (I-76) I-79 : Composé représenté par la formule (I-79) I-80 : Composé représenté par la formule (I-80) IX-1: Composé représenté par la formule (IX-1) <Agent de désactivation (C)> C1: synthétisé par la méthode mentionnée dans JP 2011-39502 A <Solvant> Acétate de monométhyléther de propylèneglycol 400 parties Monométhyléther de propylèneglycol 100 parties y-butyrolactone 5 parties
[0244] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons : développement à l’acétate de butyle)
Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons [«HL-800D 50 keV», fabriqué par Hitachi, Ltd.], des motifs de ligne et d'espace ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la tranche tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes. Ensuite, cette couche de composition sur la plaquette de silicium a été développée avec de l'acétate de butyle (fabriqué par Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) comme révélateur (agent de développement) à 23°C pendant 20 secondes en utilisant le procédé de distribution dynamique pour obtenir un motif de résist.
Le motif de résist ainsi obtenu (motif de ligne et d'espacement) a été observé par un microscope électronique à balayage, et la sensibilité effective a été exprimée comme la dose d'exposition à laquelle le ratio largeur de ligne: largeur d'espace du motif de ligne et d'espacement de 60 nm a atteint 1:1 après exposition.
[0245] Évaluation de la rugosité de bord de ligne (LER): La largeur de tranchée des irrégularités sur la surface de la paroi latérale du motif de résist produit à la sensibilité effective a été mesurée par un microscope électronique à balayage pour déterminer la rugosité de bord de ligne. Les résultats sont présentés dans le tableau 2.
[Tableau 2] [Composition LER |
Comparatif 1 Comparative 1 ' Comparatif 2 Comparative 2 ! Comparatif 3 Comparative 3 ' <Incorporation par référence>
[0246] La priorité de la demande japonaise n ° 2020-050973 déposée le 23 mars 2020 et la demande japonaise n ° 2020-171045 déposée le 9 octobre 2020, dont les contenus sont incorporés ici par référence, est revendiquée.

Claims (18)

REVENDICATIONS
1. Une composition de résist comprenant un composé représenté par la formule (I), une résine ayant un premier groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide, la résine ayant un premier groupe labile en milieu acide inclut au moins un groupe choisi dans le groupe constitué d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-2):
R
Ö | N (I) | a (RÈ)m3 où, dans la formule (I), L* représente une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ledit substituant inclut un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe carboxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 des atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe obtenu en combinant deux ou plusieurs de ces groupes, R* représente un groupe labile aux acides, R2 représente * -L‘-OH, * -L*-O-R*, * -X!-Ph-L'-OH ou * -X*-Ph-L*- O-R}, * représente un site de liaison au cycle benzénique, et Ri et R* peut se combiner pour former un groupe ayant une structure cyclique acétal, xt représente une liaison simple, un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, -O-, -S-, -SO- ou -SO--, Ph représente un groupe phénylène qui peut avoir un substituant, m2 représente un entier de 0 à 3, et lorsque m2 est égal ou supérieur à 2, plusieurs R? peuvent être identiques ou différents les uns des autres, R3 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant
1 à 12 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, et m3 représente un entier de 0 à 5, et lorsque m3 est égal ou supérieur à 2, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, dans lesquels 0 < m2 + M3 < 5: Le RM Le Ra5 = | = | La1 La2 u [or 13060, nt" (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2) : Lt et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>):-CO-O-, et k1 représente un entier de 1 à 7, * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
2. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle L* est une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone qui peuvent avoir un atome d'halogène.
3. Composition de résist selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (1a) ou un groupe représenté par la formule (2a):
CG ) Raa1 + —O aa2 (1a) as Raa3 où, dans la formule (1a), R°*, R°2 et R223 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ou R°* et R222 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R* et R°°° sont liés, naa représente 0 ou 1, et * représente un lien : paat' + — RS (2a) Raa2' Où, dans la formule (2a), R®** et R®7 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R®* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R22? et R223 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec -C-X°- auquel R22? et R°* sont liés, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par - O- ou -S-, X* représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, et * représente un site de liaison.
4. Composition de résist selon la revendication 3, dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (1a).
5. Composition de résist selon la revendication 3, dans laquelle R* est un groupe représenté par la formule (2a).
6. Composition de résist selon la revendication 5, dans laquelle R22? et R223 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 8 atomes de carbone avec -C-X°- auquel R22? et R°* sont liés.
7. Composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, dans laquelle m2 vaut 1.
8. Composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle m2 est 1 ou 2 et R* est *-L*-OH.
9. Composition de résist l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle m2 est 1 ou 2 et R* est *-L*-O-R*,
10. Composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 7, dans laquelle m2 est 1 ou 2 et R* est *-X!-Ph-L!-O-R*,
11. Composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 10, dans laquelle m3 vaut 1 ou 2, et R3 est un atome d'halogène.
12. Composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 11, dans laquelle la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut en outre une unité structurelle représentée par la formule (a2-A): a50
HE A250 (a2-A) en (R°) où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une liaison simple ou * -X°°- (a82-x252) 5", et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auxquels -R°* est lié, A2 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
13. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 12, dans laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la ol * O3S LA Z* 03 > xy (BIJ) formule (B1): a” où, dans la formule (B1), Q et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S (0)2- ou -CO-, et Z' représente un cation organique.
14. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 13, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
15. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 14, dans laquelle L! représente une liaison simple.
16. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 14 dans laquelle L! représente —(CF3)2C-.
17. La composition de résist selon la revendication 1, dans laquelle le composé représenté par la formule (T) est représenté par l’une quelconque des formules suivantes :
4 5 £ © (1-1) (1-2) (1-3) (1-4) oo SN oo oo CFaT]CF3 CF3 F3 CF3 F3 CF3 F3 CF3|CFs CF3 F3 CF3 F3 CF3 F3 an 21° AD OH (1-5) (1-6) (1-7) (1-8) © ons A “oo ( LA, as (1-9) 7
S (1-13) (1-14) Do OD, ï (1-16)
00 HO LO (1-17) OH (1-18) (1-19) (1-20) O © Ç © (1-21) (1-22) (1-23) 9 (1-24) MoN Do” Do” en
F F F F F F F F F F F 7 F on OH " (1-25) (1-26) (1-27) (26) A VON Vo Vo CF3 3 Fs F3 OO on N OH (1-29) (1-30) (1-31) (1-32) SE nos t SA (1-33) (1-34) (1-35) (1-36) OS H on
H
O
Ô O (1-37) (1-38) (1-39) (1-40)
VON | go oo | go | | © XX © xx _ 00 NO 0 OH H (-41) (1-42) (1-43) (1-44) VON oo 1 a L | 9 © © NO 0 NA (1-45) (1-46) (1-47) (1-48) AN oo oo oo ST & LA (1-49) (1-50) (1-51) en 8 8
S (L53) (1-54) of Ne > (1-55) on ee (1-56) "
S
ODD DAT CAO
OLDO ONDO
S QUE, LTD, (-61) (1-62) OH QUO, - (1-64)
A oo oo oo | 9 | x v Lx | | “OO os H OH (1-65) (1-66) (1-67) (1-68)
OH oO go y DE | ) IN © > ' NA | on Oo (1-69) (1-70) (1-71) (1-72) AO bo 0 DD A | | | | | | | | © T° OT OO O0 (1-73) (1-74) on Or he | OH LL OH | | | | | | H C 10 OH OO (1-77) (1-78) (1-79) om
18. Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’une quelconque des revendications 1 à 17 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002258483A (ja) * 2001-03-01 2002-09-11 Fuji Photo Film Co Ltd ポジ型フォトレジスト組成物
US20150056557A1 (en) * 2013-08-23 2015-02-26 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Chemically amplified positive-type photosensitive resin composition and method for producing resist pattern using the same
WO2020040162A1 (fr) * 2018-08-24 2020-02-27 三菱瓦斯化学株式会社 Composé, composition le contenant, procédé de formation de motif de résist, et procédé de formation de film isolant

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2150691C2 (de) 1971-10-12 1982-09-09 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen Lichtempfindliches Gemisch und Verwendung eines lichtempfindlichen Gemisches zur Herstellung einer Flachdruckplatte
US3779778A (en) 1972-02-09 1973-12-18 Minnesota Mining & Mfg Photosolubilizable compositions and elements
DE2922746A1 (de) 1979-06-05 1980-12-11 Basf Ag Positiv arbeitendes schichtuebertragungsmaterial
US5073476A (en) 1983-05-18 1991-12-17 Ciba-Geigy Corporation Curable composition and the use thereof
JPS62153853A (ja) 1985-12-27 1987-07-08 Toshiba Corp 感光性組成物
JPS6269263A (ja) 1985-09-24 1987-03-30 Toshiba Corp 感光性組成物
DE3750275T3 (de) * 1986-06-13 1998-10-01 Microsi Inc Lackzusammensetzung und -anwendung.
US5310619A (en) * 1986-06-13 1994-05-10 Microsi, Inc. Resist compositions comprising a phenolic resin, an acid forming onium salt and a tert-butyl ester or tert-butyl carbonate which is acid-cleavable
US5362607A (en) * 1986-06-13 1994-11-08 Microsi, Inc. Method for making a patterned resist substrate composite
JPS6326653A (ja) 1986-07-21 1988-02-04 Tosoh Corp フオトレジスト材
JPS63146029A (ja) 1986-12-10 1988-06-18 Toshiba Corp 感光性組成物
JPS63146038A (ja) 1986-12-10 1988-06-18 Toshiba Corp 感光性組成物
GB8630129D0 (en) 1986-12-17 1987-01-28 Ciba Geigy Ag Formation of image
WO1988005928A1 (fr) * 1987-02-02 1988-08-11 Nippon Paint Co., Ltd. Composition de resine photosensible positive et son procede de production
DE3914407A1 (de) 1989-04-29 1990-10-31 Basf Ag Strahlungsempfindliche polymere und positiv arbeitendes aufzeichnungsmaterial
US5389491A (en) * 1992-07-15 1995-02-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Negative working resist composition
JP3665166B2 (ja) * 1996-07-24 2005-06-29 東京応化工業株式会社 化学増幅型レジスト組成物及びそれに用いる酸発生剤
JP3763693B2 (ja) 1998-08-10 2006-04-05 株式会社東芝 感光性組成物及びパターン形成方法
JP2000241975A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Fuji Photo Film Co Ltd ポジ型フォトレジスト組成物
HUP0204389A3 (en) * 2000-02-04 2003-05-28 Nihon Nohyaku Co Ltd Perfluoroisopropylbenzene derivatives, use ful as intermediates and raw materials
JP3912516B2 (ja) * 2002-08-09 2007-05-09 信越化学工業株式会社 高分子化合物、レジスト材料及びパターン形成方法
JP4222850B2 (ja) * 2003-02-10 2009-02-12 Ｓｐａｎｓｉｏｎ Ｊａｐａｎ株式会社 感放射線性樹脂組成物、その製造法並びにそれを用いた半導体装置の製造方法
US7700257B2 (en) * 2003-03-28 2010-04-20 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Photoresist composition and resist pattern formation method by the use thereof
KR20090028079A (ko) * 2007-09-14 2009-03-18 주식회사 동진쎄미켐 감광성 화합물 및 이를 포함하는 포토레지스트 조성물
JP5487784B2 (ja) 2008-08-07 2014-05-07 住友化学株式会社 化学増幅型ポジ型レジスト組成物
TW201033735A (en) 2008-12-11 2010-09-16 Sumitomo Chemical Co Resist composition
CN101463106B (zh) * 2009-01-04 2010-07-28 成都金桨高新材料有限公司 含苯并噁嗪结构的共聚物成膜树脂及其深紫外负性化学增幅型光刻胶
JP5523854B2 (ja) 2009-02-06 2014-06-18 住友化学株式会社 化学増幅型フォトレジスト組成物及びパターン形成方法
JP5750242B2 (ja) 2009-07-14 2015-07-15 住友化学株式会社 レジスト組成物
US8460851B2 (en) 2010-01-14 2013-06-11 Sumitomo Chemical Company, Limited Salt and photoresist composition containing the same
JP5691585B2 (ja) 2010-02-16 2015-04-01 住友化学株式会社 レジスト組成物
JP5807334B2 (ja) 2010-02-16 2015-11-10 住友化学株式会社 塩及び酸発生剤の製造方法
JP5505371B2 (ja) 2010-06-01 2014-05-28 信越化学工業株式会社 高分子化合物、化学増幅ポジ型レジスト材料、及びパターン形成方法
JP5608009B2 (ja) 2010-08-12 2014-10-15 大阪有機化学工業株式会社 ホモアダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト組成物
US9182664B2 (en) 2010-10-13 2015-11-10 Central Glass Company, Limited Polymerizable fluorine-containing sulfonate, fluorine-containing sulfonate resin, resist composition and pattern-forming method using same
TWI525066B (zh) 2011-04-13 2016-03-11 住友化學股份有限公司 鹽、光阻組成物及製備光阻圖案之方法
JP2015147925A (ja) 2014-01-10 2015-08-20 住友化学株式会社 樹脂及びレジスト組成物
JP6450660B2 (ja) 2014-08-25 2019-01-09 住友化学株式会社 塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
JP6423681B2 (ja) 2014-10-14 2018-11-14 住友化学株式会社 樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
US9918302B2 (en) 2014-12-12 2018-03-13 Qualcomm Incorporated Techniques for managing transmissions in an unlicensed radio frequency spectrum band
JP6645464B2 (ja) * 2017-03-17 2020-02-14 信越化学工業株式会社 レジスト材料及びパターン形成方法
JP6486538B1 (ja) 2018-09-25 2019-03-20 伊藤忠紙パルプ株式会社 水解紙
JP7414457B2 (ja) * 2018-11-20 2024-01-16 東京応化工業株式会社 レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002258483A (ja) * 2001-03-01 2002-09-11 Fuji Photo Film Co Ltd ポジ型フォトレジスト組成物
US20150056557A1 (en) * 2013-08-23 2015-02-26 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Chemically amplified positive-type photosensitive resin composition and method for producing resist pattern using the same
WO2020040162A1 (fr) * 2018-08-24 2020-02-27 三菱瓦斯化学株式会社 Composé, composition le contenant, procédé de formation de motif de résist, et procédé de formation de film isolant

Also Published As

Publication number Publication date
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