BE1028240B1 - Carboxylate, agent de desactivation, composition de resist et procede de production de motif de resist - Google Patents

Carboxylate, agent de desactivation, composition de resist et procede de production de motif de resist Download PDF

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Abstract

Un carboxylate représenté par la formule (I), un agent de désactivation et une composition le comprenant, où, dans la formule (I), R1, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe fluorure d’alkyle ou un groupe hydrocarboné pouvant avoir un substituant, et -CH2- compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SO2-, m1 représente un entier de 0 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R1 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et lorsque m2 vaut 2, ou plus, une pluralité de R2 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m3 représente un entier de 0 à 3, et lorsque m3 vaut 2 ou plus, une pluralité de R3 peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et X1 représente une liaison, -CH2-, -O-, -S-, -CO-, -SO- ou -SO2-.

Description

CARBOXYLATE, AGENT DE DESACTIVATION, COMPOSITION DE RESIST ET PROCEDE DE PRODUCTION DE MOTIF DE RESIST DOMAINE DE L'INVENTION
[0001] La présente invention concerne un carboxylate, un agent de désactivation « Quencher » incluant un carboxylate et une composition de résist, ainsi qu'un procédé pour produire un motif de résist utilisant la composition de résist. ARRIERE-PLAN DE L'INVENTION
[0002] Le document JP 2017-202993 A mentionne une composition de résist incluant un carboxylate ayant la formule structurelle suivante. ou
OC Le document JP 2018-066985 A mentionne une composition de résist incluant un carboxylate ayant la formule structurelle suivante.
CO,
LG 3 x
[0003] Un objet de la présente invention est de fournir un sel apte à produire un motif de résist ayant une uniformité CD (CDU) meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir d'une composition de résist incluant les carboxylates susmentionnés. RESUME DE L'INVENTION
[0004] La présente invention inclut les inventions suivantes.
[1] Un carboxylate représenté par la formule (I) :
A 7 O O (I)
OÙ 0, X PMR ns où, dans la formule (I), R!, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, et -CH>- compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O-, -CO-,-S- ou -SO--, m1 représente un entier de 0 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de Rt peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et lorsque m2 vaut 2, ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m3 représente un entier de 0 à 3, et lorsque m3 vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et xt représente une liaison, -CH -, -O-, -S-, -CO-, -SO- ou -SO- -
[2] Le carboxylate selon [1], dans lequel m1 représente un entier de 1 à
3.
[3] Le carboxylate selon [2], dans lequel au moins un site de liaison de R! est lié en position para relativement au site de liaison de S*.
[4] Le carboxylate selon [2] ou [3], dans lequel au moins un R‘ représente : soit un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'iode et/ou un atome de fluor, et dans lequel un -CH>- inclus dans ce groupe peut être remplacé par -O- ou -CO- soit un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
[5] Le carboxylate selon [4], dans lequel au moins un Rt représente un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone dans lequel un -CH:- compris dans ce groupe est remplacé par -O- lié à un cycle benzènique.
[6] Le carboxylate selon [4], dans lequel ledit groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone a en outre un ou plusieurs atomes de fluor.
[7] Le carboxylate selon l’un quelconque de [2] à [6], dans lequel au moins un R* représente un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
[8] Le carboxylate selon l’un quelconque de [2] à [7], dans lequel m1 représente 2 ou 3 et au moins un R* représente un atome d'iode ou un groupe méthyle.
[9] Un agent de désactivation comprenant le carboxylate selon l’un quelconque de [1] à [8].
[10] Une composition de résist comprenant l'agent de désactivation selon
[9], une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide.
[11] La composition de résist selon [10] dans laquelle la résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): rs gas HS +5 =O D LE / Lez „| Foe Re jj af Int (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L°* représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH2)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone et pouvant avoir un atome d'halogène,
R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et n1’ représente un entier de 0 à 3.
[12] La composition de résist selon [10] ou [11], dans laquelle la résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide inclut une unité structurelle représentée par la formule (a2-A): R350
HL Im | (a2-A) Sn j OH ( RM) où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X®_(A®?_X?°) p-, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R2° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[13] La composition de résist selon l’un quelconque de [10] à [12], dans 5 laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (B1) :
QM + OS 191 2 OS LES (81) des où, dans la formule (B1), QP! et Q” représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(0)z- ou -CO-, et Z' représente un cation organique.
[14] La composition de résist selon l’un quelconque de [10] à [13], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
[15] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l'un quelconque de [10] à [14] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et
(5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
EFFETS DE L'INVENTION
[0005] Il est possible de produire un motif de résist avec une uniformité CD (CDU) satisfaisante en utilisant une composition de résist incluant un carboxylate de la présente invention.
DESCRIPTION DETAILLEE DES MODES DE REALISATION PREFERES
[0006] Dans la présente description, “monomère (méth)acrylique” signifie au moins un choisi dans le groupe constitué par un monomère ayant une structure de “CH2 =CH-CO-” et un monomère “CH; =C(CH3)-CO-". De manière similaire, “(méth)acrylate” et “acide (méth)acrylique” signifient chacun “au moins l'un choisi dans le groupe constitué par l'acrylate et le méthacrylate” et "au moins un choisi dans le groupe constitué par l'acide acrylique et l'acide méthacrylique”. Lorsqu'une unité structurelle ayant «CH2=C(CH3)-CO-» ou «CH2=CH-CO-» est exemplifiée, une unité structurelle ayant les deux groupes doit être considérée comme exemplifiée de manière similaire. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, les groupes capables d'avoir une structure linéaire et une structure ramifiée, peuvent avoir la structure linéaire ou la structure ramifiée. Lorsque -CHz- inclus dans un groupe hydrocarboné ou analogue est remplacé par -O-, -S-, -CO-, ou -S(O0)2-, un exemple de remplacement s'applique à tous les remplacements possibles. «Groupe combiné» signifie un groupe dans lequel deux ou plusieurs groupes exemplifiés sont liés, et les valences de ces groupes peuvent être modifiées de manière appropriée en fonction d'une forme de liaison. «Dérivé» signifie qu'une liaison polymérisable C=C incluse dans la molécule devient un groupe -C-C- par polymérisation. Lorsque des stéréo-isomères existent, tous les stéréo- isomères sont inclus.
[0007] Dans la présente description, le terme « composant solide de composition de résist» signifie la quantité totale de composants, en excluant le solvant (E) mentionné ci-dessous de la quantité totale de la composition de résist.
[0008] Carboxylate representé par la Formule (T) La présente invention concerne un carboxylate représenté par la formule (I) (dans la suite parfois appelé «carboxylate (T)» ou «sel (I)») :
JT p o_ 0 (I)
XD ben m dans laquelle tous les symboles ont la signification mentionnée précédemment.
[0009] Dans la formule (I), des exemples de l'atome d'halogène dans R}, R? et R* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode. Des exemples du groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone dans R*, R? et R° incluent les groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2- tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3- pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4- octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 4, de préférence encore de 1 à 3. Des exemples du groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone dans R*, R2 et R3 incluent un groupe hydrocarboné à chaîne tel qu'un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et un groupe obtenu en combinant ces groupes. Des exemples du groupe alkyle incluent des groupes alkyle tels qu'un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe — isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle,
un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe nonyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique, polycyclique ou un cycle spiro, et peut être saturé ou insaturé. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent les groupes cycloalkyle monocycliques tels qu'un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cyclooctyle, un groupe cyclononyle, un groupe cyclodécyle et un groupe cyclododécyle; et des groupes cycloalkyle polycycliques tels qu'un groupe norbornyle et un groupe adamantyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 18, de préférence encore de 3 à 16, de préférence encore de 3 à 12 et préférence encore de 3 à 10.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe biphényle, un groupe anthryle et un groupe phénantryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14 et plus préférablement de 6 à 10.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe cycloalkylalkyle, etc.), un groupe aralkyle (un groupe benzyle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6- éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p- adamantylphényle, etc.) un groupe arylcycloalkyle (un groupe phénylcyclohexyle, etc.), et analogues.
Lorsque -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné dans Rt, R° et R° est remplacé par -O- ,-CO-, -S- ou -SOz-, le nombre d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné.
Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O- ,-CO-, -S- ou -SO>- incluent un groupe hydroxy (un groupe dans lequel -CHz- inclus dans un groupe méthyle est remplacé par -O-), un groupe carboxy (un groupe dans lequel -CHz-CHz>- inclus dans un groupe éthyle est remplacé par -O-CO-), un groupe thiol (un groupe dans lequel -CHz- inclus dans un groupe méthyle est remplacé par -S-), un groupe alcoxy (un groupe dans lequel -CH2- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -O-), un groupe alcoxycarbonyle (un groupe dans lequel -CH2-CH>- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alkylcarbonyle (un groupe dans lequel -CHz- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -CO-), un groupe alkylthio (un groupe dans lequel -CHz- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -S-), un groupe alkylsulfonyle (un groupe dans lequel -CHz- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -SOz-) un groupe alkylcarbonyloxy (un groupe dans lequel -CH>-CHz>- inclus en une position quelconque dans un groupe alkyle est remplacé par -CO-O-), un groupe obtenu en combinant deux ou plus de ces groupes et analogues.
Des exemples du groupe alcoxy comprennent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe propoxycarbonyle et un groupe butoxycarbonyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 13, de préférence encore de 2 à 10, de préférence encore de 2 à 7, et de préférence encore de 2 à 5.
Des exemples du groupe alkylthio incluent un groupe alkylthio ayant 1 à 12 atomes de carbone, comme par exemple un groupe méthylthio, un groupe éthylthio, un groupe propylthio, et un groupe butylthio. Le groupe alkylthio a de préférence 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore 1 à 4 atomes de carbone. Des exemples du groupe alkylsulfonyle incluent un groupe alkylsulfonyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, comme par exemple un groupe méthylsulfonyle, un groupe éthylsulfonyle, et un groupe propylsulfonyle group. Le groupe alkylsulfonyle a de préférence 1 to 11 atomes de carbone, de préférence encore 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore 1 à 4 atomes de carbone. Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 13, de préférence encore de 2 à 10, de préférence encore de 2 à 7, et de préférence encore de 2 à 5.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propylcarbonyloxy et un groupe butylcarbonyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 13, de préférence encore de 2 à 10, de préférence encore de 2 à 7, et de préférence encore de 2 à 5.
Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans un groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -CO-, -S- ou SOz- incluent les groupes suivants. -O- dans les groupes listés ci-après peut être remplacé dans la même position par -S- et -CO- dans les groupes listés ci- après peut être remplacé dans la même position par -SO>-.
BD OD OH + ON + ETT 2 +R
AMP DORT ER
O O O Ö Ao 0 co f Äh | Yo Sa bb 93 95% 95 O 95 {) . 9 DS KW) 55 AH IN 60 Lx, Mo A De ho
[0010]
Des exemples de substituant pouvant être portés par R*, R° et R° incluent un atome d'halogène, un groupe cyano, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 13 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples de atome halogen, du groupe alkyle, du groupe alkoxy, du groupe alkoxycarbonyle, du groupe alkylcarbonyle, du groupe alkylcarbonyloxy, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique, et du groupe obtenu en combinant ces groupes sont identiques à ceux mentionnés précédemment. Le groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par Rl, R° et R* peut avoir un ou plusieurs substituants.
m1 est de préférence un entier de 0 à 3 et 5, de préférence encore un entier de 1 à 3. De préférence, m2 et m3 représentent chacun indépendamment un enter de 0 à 2, de préférence 0 ou 1.
De préférence, R*, R° et R* représentent chacun indépendamment un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe alkyle fluoré ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone pouvant avoir un substituant (-CH:- inclus dans le groupe alkyle ou le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O- ,-CO-, -S- ou -SOz-), de préférence encore, un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe trifluorométhyle, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy (-CH:- inclus dans le groupe alkyle ou le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O- ou -CO-), de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe trifluorométhyle, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone pouvant avoir un atome de fluor (-CHz- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-) ou un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone, et de préférence encore un atome d'iode, un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone pouvant avoir un atome de fluor (-CHz- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-) ou un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
Dans le mode de réalisation où m1 représente un entier de 1 à 3, le site de liaison de au moins un R* peut être l’une quelconque des positions choisies parmi la position ortho, à la position méta ou à la position para relativement au site de liaison de S*. Parmi celles-ci, le site de liaison de au moins un R* est de préférence la position meta ou à la position para relativement au site de liaison de S*, et de préférence encore à la position para relativement au site de liaison de S*.
Des exemples de carboxylate (I) incluent les sels représentés par les formules suivantes.
Gs Ge ee UT OE odd {1 (2) (1-3) (1-4)
F 9 5 © 9 O © OO OO os AUX 9 Ö > X x O ® (1-5) (1-6) (7) (5) F 1 F F F F xx
F F = 7 + % cé (1-9) (1-10) (1-11) (1-12) F L F F X F A 1 AO ox (1-13) (1-14) (1-15) (18) © O © O © 0 (© O cé (1-17) (1-18) (1-19) (1-20)
[0011] 4 “9
F mee 700 00 O9 CPO que (1-21) (1-22) (1-23) (1-24) CF3 OH CF3 CF3 F3 CF3 CF3 OO "0.0 O0 Os
OC OC (1-25) (1-26) (1-27) (1-28) _ ç 4
OLO be De be OSC
CO
Ÿ AA JO dd \ (1-29) (1-30) (1-31) (1-32) ©
F O
F F Nod y “ AO OD O0 5° O 5, N 5 cé, 2° (1-33) (1-34) (1-35) (1-36)
CF; Y & CF3 F3 © O OLO moe IS.
DÉC (1-37) (1-38) (1-39) (60)
[0012] <Procédé de synthèse du carboxylate (I)> Le carboxylate (I) peut être obtenu en faisant réagir un sel représenté par la formule (I-a) en présence d’un catalyseur basique dans un solvant, puis en soumettant le milieu réactionnel à un traitement avec une solution aqueuse d'acide oxalique. II est également possible d'obtenir ce carboxylate en faisant réagir un sel représenté par la formule (I-a) en présence d'un catalyseur basique dans un solvant, puis en faisant passer le milieu réactionnel sur une résine échangeuse d'ions (résine échangeuse d'ions chlorures), en soumettant le produit obtenu à un traitement à l’aide d'une base, puis en soumettant le milieu réactionnel à un traitement avec une solution aqueuse d'acide oxalique : (RD ma (Rm O+S—CF, Le ei O $ SO SK (RS) ma SK (R$) ms (RÈ) m2 (R2)m2 (I-a) (I) où tous les symboles sont tels que définis précédemment. Des exemples de la base incluent l'hydroxyde de sodium, l'hydroxyde de potassium, la triéthylamine et analogues. Des exemples de solvant incluent le chloroforme, l’eau ayant subi un échange d'ions et analogues. La réaction est généralement effectuée à une température dans une plage de 0 à 80°C pendant 0,5 à 24 heures.
[0013]
Le sel représenté par la formule (I-a) peut être produit en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-b) avec un composé représenté par la formule (Irc) en présence = d'acide trifluorométhanesulfonique et d'anhydride trifluoroacétique dans un solvant: Rm 1 O,Me (Rm CF3SO3H B O3S—CF3 S > O,Me + S OO GL © m3 (RÈ) m2 CF DO CFs Xx! (RS) m3 (R2)m2 (I-b) (Te) (I-a) où tous les symboles sont tels que définis précédemment.
Des exemples de solvant incluent le chloroforme, l'acétonitrile et analogues.
La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 60°C pendant 0,5 à 24 heures.
Des exemples du composé représenté par la formule (I-c) incluent des composés représentés par les formules suivantes, qui sont facilement disponibles sur le marché
F F © Ô 6 © 0
DN > CF O
[0014] Le composé de formule (I-b) peut être obtenu en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-d) en présence de peroxyde d'hydrogène dans un solvant
CO,Me © o.Me _ SK, (R°)ms SX ,Ç : (R2 m2 x (R°)ms3 (R2 m2 (I-d) (I-b) où tous les symboles sont tels que définis précédemment.
Des exemples de solvant incluent l'acide trifluoroacétique et analogues.
La réaction est habituellement effectuée à une température dans une plage allant de 0 à 60°C pendant 0,5 à 24 heures.
Des exemples du composé représenté par la formule (I-d) incluent des composés représentés par les formules suivantes, qui sont facilement disponibles sur le marché ou peuvent également être facilement produit par un procédé de production connu. & O 6 O & O & co ex
SH
[0015] <Agent de désactivation, « Quencher »> Le quencher de la présente invention inclut un carboxylate (I). Lorsque le carboxylate (I) est utilisé comme quencher ce dernier peut contenir un ou deux ou plusieurs carboxylates (I).
Comme mentionné ci-après, l'agent de désactivation de la présente invention peut inclure, en outre, un agent de désactivation connu dans le domaine du résist, par la suite appelé parfois "quencher (C)").
[0016] <Composition de résist> La composition de résist inclut un agent de désactivation incluant le carboxylate (T) de la présente invention, un générateur d'acide (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B)”) et une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «résine (A)»). Le "groupe labile en milieu acide" signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, formant ainsi un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist de la présente invention comprend en outre de préférence un solvant (par la suite parfois appelé «solvant (E)»).
Dans la composition de résist de la présente invention, la teneur en carboxylate (I) est habituellement de 0,001% en masse ou plus et de 35% en masse ou moins, de préférence de 0,005% en masse ou plus et de 30% en masse ou moins, et de préférence encore 0,01% en masse ou plus et de 25% en masse ou moins, sur la base de la teneur en solides de la composition de résist.
Lorsque l'agent de désactivation comprend le carboxylate (I) et l'agent de désactivation (C), le rapport (en masse, carboxylate (I) : agent de désactivation (C)) entre la teneur en carboxylate (I) et la teneur en agent de désactivation (C) est habituellement de 1:99 à 99:1, de préférence de 2 :98 à 98 :2, de préférence encore de 5 :95 à 95 :5, et de préférence encore de 10 :90 à 90 :10, et plus particulièrement de de 15 :85 à 85 :15.
[0017] <Générateur d’Acide (B)> Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique comprennent les esters sulfonates (par exemple, ester 2- nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, N- sulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques du générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples de l'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
[0018] Des exemples spécifiques de générateur d'acide (B) incluent des composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63- 146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US
No. 3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0019] Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (B1) (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B1)”, excluant le sel (1)) : Qh + -0.S [61 zit Os Ÿ X, (81) a où, dans la formule (B1), QPt et Q° représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z1* représente un cation organique.
[0020] Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbones représentés par QP! et QP* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec- butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, QP! et QP? sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, ils sont l'un et l'autre des atomes de fluor.
[0021] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans LP! incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples spécifiques incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane- 1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane- 1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, un groupe dodécane-1,12-diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14-diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16-diyle et un groupe heptadécane-1,17-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0022] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par LP? est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (b1-1) à la formule (b1-3). Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3) et les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-11) qui sont des exemples spécifiques, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à -Y.
[0023] p b3 wa 0. 185 + 0 * No So , DS, b4 1 DS, be” 077
O (b1-1) (b1-2) (b1-3) Dans la formule (b1-1), LP? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de LP” et LP* est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-2), LP* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué par un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L°* et LP est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-3), LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, LP” représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L°° et LP” est 23 ou moins.
[0024] Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3), quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de LP?,
[0025] LP? est de préférence une simple liaison.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
LP5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP6 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
LP7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0026] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par LP! est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (b1-1) ou la formule (b1- 3).
[0027] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-1) incluent les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-8).
O O Ao tE, DO * EE (b1-4) (b1-5)° (b1-6) 9 X b16 O AO SONO arr DS, b187*
O O (b1-7) (b1-8) Dans la formule (b1-4), LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (b1-5), LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
20 [P19 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP? et LP! est 20 ou moins.
Dans la formule (b1-6), LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, [P12 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! et LP? est 21 ou moins. Dans la formule (b1-7), [P13 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, [P1* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH;- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, [P15 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP13 à LP est 19 ou moins. Dans la formule (b1-8), [P16 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LP17 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, [P18 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP19 à LP? est 19 ou moins.
[0028] LPS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone. LP? est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone. [P19 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P11 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P12 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P13 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
[P1* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[P15 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P16 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
[P17 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[P18 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0029] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-3) incluent les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11).
21 b22 0 0 + at “ ASUS OS N AE A
O (b1-9) (b1-10) (b1-11) Dans la formule (b1-9), [P19 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor,
LP20 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- ‚ et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP? et LP20 est 23 ou moins.
Dans la formule (b1-10), [P?! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, [P?? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH> - inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- , et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! , L°?? et LP23 est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-11), LP2% représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP25 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP26 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2-
inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- , et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP2% LP25 et LP25 est 21 ou moins.
[0030] Dans les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
[0031] Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues.
[0032] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-4) incluent les suivants:
O Q Q Ha
[0033] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-5) incluent les suivants: 0 O O O O A Fortis. ee Ao Ao. O O oO CH O , O , gn Aer Ae Age 0 TH à CH Oo Hs N , PH N AH HALS u AS AD
O O “+
Ö
[0034] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-6) incluent les suivants: x OT xx PSE x ek PE ge ONT / f OY | LA to O GO ; x «Actor Ae Ate Arg AT
[0035] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-7) incluent les suivants:
H ANA Arak A: CHs Js Anger Ir Tr Ld It ed kr CT Ar
[0036] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-8) incluent les suivants:
Q ak O xx Oo A oo” Ver y Lo TE
O
[0037] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-2) incluent les suivants: A, He He u A, Hot, 3 3
Q F F “hot, Hot, Ao “ho, A, A Hz
[0038] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-9) incluent les suivants:
F F CHs
F F F À F boston Sie PS
[0039] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-10) incluent les suivants: Hs Hs Hz AO > De D H oi COA ne nf PA Ao: F F F F F Fa # E Fa F Fo fl F3 Of F3 F F3 N AFP do de [e! eN
H
[0040] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-11) incluent les suivants:
Hs ©) 9 dr = Aere Aer A oe © A © A y ALA 4 F OE F OEF o FH 0 Hs
H
[0041] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Y1) à la formule (Y11) et 5 la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CH;- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y! est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples d'un tel groupe incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y43). >1H000 47-0574 4h00 D (2) (3) (YA) 5) (16) (7) 8) (9) (Y10) (19) CN = ns OS AN LNE ET y de AJ A #9 £) FI 7 DI (vi) (019 (19 015) 0189 017) 018) (019 (209) (20) 022) © 5 À 0 ON 0 KID 20 _ *__ *__ 7 * A * Oo Q 9 O 2 & €7 zZ 9 Mb ZA) 40 (Y23) (24 (25 26) (27 029 029 ao) M, ND 039 oO Oo * O â X * O NS, 7 O O DD Do 0-9 A IR (Y34) (Y35) (Y36) (Y37) (v389, (Y39) (va) (var) (Y42) (Y43)
[0042] Le groupe hydrocarbone alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Y1) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y43), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43).
Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y? est un cycle spiro ayant un atome d'oxygène, comme la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène a de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure de cétal, il est préférable qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0043] Des exemples de substituant de groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz ); a -CO-O-RE* ou un groupe -(CH: ); a -O-CO- RP! (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, -CHz- inclus dans le groupe alkyle ou le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, - S(0)2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe hydroxy ou un atome de fluor), et ja représente un entier de 0 à 4, Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone qui peut être substitué par un groupe hydroxy, (-CH:- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz ); a -CO-O-RE* ou un groupe -(CH: ); a -O-CO- RP! (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, -CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, - SO-- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4).
[0044] Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne, et des exemples de celui-ci incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12, et de préférence encore de 3 à 10.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et des exemples de celui-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant 1 à 18 atomes de carbone qui a un groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un un groupe mésityle, un groupe p-méthylphényle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.) et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui a un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14, de préférence encore de 6 à 10. Des exemples de groupe alkyle comprennent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, plus préférablement de 1 à 6, et encore plus préférablement de 1 à 4.
Des exemples du groupe alkyle substitué par un groupe hydroxy cincluent des groupes hydroxyalkyle tels qu'un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples du groupe aralkyle comprennent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O-, un -S(O)z- ou -CO- incluent un groupe alcoxy, un groupe alcoxycarbonyle, un groupe alkylcarbonyle, un groupe alkylcarbonyloxy, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe — butoxycarbonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 12, plus préférablement de 2 à 6, et encore plus préférablement de 2 à 4.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy et analogues.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle incluent des groupes alcoxyalkyle tels qu'un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe éthoxyméthyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy incluent des groupes alcoxyalcoxy tels qu'un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalcoxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyle tels qu'un groupe méthoxyacétyle, un groupe méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle, un groupe éthoxypropionyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyle est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyloxy tels qu'un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy, un groupe éthoxypropionyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyloxy est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5. Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35), la formule (Y39 ) à la formule (Y43) et analogues.
[0045] Des exemples de Y incluent les suivants. . J * 0 ee A Ap 7 3 À a 706 (0) (101) { ; Y104 ° * (Y102) (Y103) ( ) > (105) (1106)
0. oO Be AE AR AR LE FES D TO 0 © 0 0 Qb 0 O (1109) O (Y110) o (111) * (Y107) * (Y108) ° ° 0 No!
OH OT +3 X A © A An PS LS Am efo EOV (119) © OH (Y42) (Y113) (Y114) (Y115) (Y116) CHs Hz HsC: CH HO OH O +4 4044 BIE MK Los
OH (11) (Y4) (Y117) (Y118) (Y119) (Y120) (Y121) (Y122) (Y123) (Y15) (Y124) TE (Y125) (Y126) (Y127) “+ ì O (1128) gk (129)
AE RF F
F E F LF De AE © 0 0 ot F (Je PF, 7 Se A * Oo hp oO (Y130) (Y131) (Y132) (Y133)
[0046] Y est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique substitué par un groupe hydroxy, et de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(O)>- ou -CO -. Spécifiquement, Y! est de préférence un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle ou des groupes représentés par la formule (Y42) et la formule (Y100) à la formule (Y114), et de préférence encore un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle, un groupe incluant ces groupes, ou des groupes représentés par la formule (Y42), la formule (Y100) à la formule (Y114).
[0047] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) est de préférence un anion représenté par la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-59) [dans la suite parfois appelé «anion (B1-A-1)> selon le nombre de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-4), la formule (B1-A-9), la formule (B1-A-10), la formule (B1-A-24) à la formule (B1-A-33), la formule (B1-A- 36) à la formule (B1-A-40) et la formule (B1-A-47) à la formule (B1-A-59).
[0048] OH Oo aM Q»2 OH b1 b2 QE! a2 - ou A4 _ Q Q Oo 7 OS On A4 O3S L 038 LA 3 O O 0 (B1-A-1) (B1-A-2) (B1-A-3) an! eo“ ob! a“ R2 ob à os DL “os YT SLA os
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O (B1-A-10) (B1-A-11) (B1-A-12)
[0049] 0 OH Qs! „a2 QE! do 0 7 0:57 SO ï 072 al! ab? Lo F F O - os? O. (B1-A-13) (B1-A-14) FF Ô o (B1-A-15) OH 9 X OH b1 2 a a2 - SONO 0 vO On Ok on 035 ESF or „or? O3S ESF O oo A O (B1-A-16) EOF O (B1-A-18) (B1-A-17)
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[0051] 0 Mpis bl 2 R7 oh on - : N = LA4 - fr LA4 Oss LA4 O,S 0 GS © O Qb2 F QP2 F (B1-A-39) (B1-A-34) (B1-A-35)
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[0052] O. O © O > © © o F Oo QP” ab? Oy bi b2 b1 b2 a" Q o aM a o _ Ox os “T LE eN eN (B1-A-47) 9 (Bl-A-48) 0 (B1-a-49) O. O Oo O Oo OH or M Dr X oO A
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O O (B1-A-58) (B1-A-59) 5 R à RU représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R® est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, ou des groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. L** est une liaison simple ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone. QP! et Q° sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques de l'anion représenté par la formule (B1) incluent les anions mentionnés dans le document JP 2010-204646 A.
[0053] Des anions préférés dans le selreprésentés par la formule (B1) incluent des anions représentés par la formule (B1a-1) à la formule (B1a- 38).
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[0054]
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H O
KF KF TO 0°
O O (Bla-35) (Bla-36) KF 9 KF of "038 T°
O O (Bla-37) (Bla-38)
[0055] Parmi ceux-ci, un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à formule (B1a-3), la formule (B1a-7) à la formule (B1a- 16), la formule (B1a-19) et la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) est préféré.
[0056] Des exemples de cation organique comme pour Z1* incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé “cation (b2-1)" selon le numéro de la formule).
(RES) 2 (RE) 2 mi Fi RES 0 OÖ (RP!) © R ve DD Pr hes G À (RES) ne RR” o RE T Q (R”8),2\ (RP18/ u2 RP) 2 1/(u2+1) (b2-1) (b2-2) (b2-3) (b2-4) Dans la formule (b2-1) à la formule (b2-4), RP* à RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy,
et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP* et RP5 peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP* et RP° sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP” et R® représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5,
quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de RP peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de R’® peuvent être identiques ou différents,
R® et RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
RP et RP! peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP? et RE! sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP! représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
RP? représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe
— alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP! et RZ peuvent être liés l’un à l'autre pour former un cycle, incluant -CH-CO- auquel RP!? et R”? sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, RP!3 à RS représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, LP3! représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène, 02, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0à5, q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4, u2 représente 0 ou 1, et quand 02 est 2 ou plus, une pluralité de RPB sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!* sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents.
Le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent des groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne de RP? à RP? a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des «exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycycligue incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique de R” à RP? à de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins.
Le groupe fluorure d'alkyle représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome de fluor et des exemples de ceci incluent un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-méthylphényle , un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle etc.).
Quand le groupe hydrocarboné aromatique a un groupe hydrocarboné à chaîne ou le groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples du groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de l'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propyl- carbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyl- oxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy.
Le cycle formé en liant RP* et R° l’un à l'autre, avec les atomes de soufre auxquels RP* et R°° sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants et analogues. * représente une liaison.
pod 04451
O ® y O Q O
Le cycle formé en combinant R” et RP!° ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-1- ium (un cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-1-ium, un cycle 1,4- oxathian-4-ium et analogues. Le cycle formé en combinant RP et RP? ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0057] Parmi le cation (b2-1) au cation (b2-4), un cation (b2-1) est préféré. Des exemples de cation (b2-1) incluent les cations suivants. © CoH5 6 a CeH43 CeaH417 of 7578 0; "à C6 où of (b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) (b2-c5) (b2-c6) (b2-c-7) (b2-c-8) H3 H3 H3 -C4He -C4Hg © © Ge O © 2 Os RC 9 CHA OE + (Vp H 6 t-C,H, (b2-c-14) (b2-c-9) (b2-c-10) (b2-c-11) (b2-c-12) (62-013)
[0058] H Ss | X Q Q © DO 0 © {<= p HOL sb O+ a Ö ‘ + + Le SZ 5 Od 75 © (b2-c-15) (b2-c-16) 621) (02018) (2019) F (b2-c-21) (b2-c-22) Ç (b2-c-20) +) 8 +) 4) CC oO oO © | © C Cs] HIST] AND ® (2 U) (62-0-23) (b2024) (02025) 2.426) (6227) (02047) (b2-c-48) (b2-c-49) F3 R (4 (9 (4 CF3 F FF (b2-c-51) (b2-c-52) (b2-c-53)
[0059] Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants. + + + + CX) — IX )— > IX > L FA (b2-c-28) (b2-c-29) (b2-c-30) (b2-c-50)
[0060] Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants. DO Lo AE oP 607 0” (b2-c-31) (b2-c-32) (b2-c-33) (b2-c-34)
[0061] Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants et analogues. ; 30-0 oo Oe Zoo D 5 v (D (b2-c-35) (b2-c-36) (b2-c-37) (b2-c-38) Hs Ha Hs Hs 2 2 Q 2 STO: Bo 0 30-0 7 Kp Cen (b2-c-39) U (b2-c-40) Hs (b2-c-41) $ (b2-c-42) ve t-C4Hs tC4Hg t-CaHo 30-0 30-0 30-0 ZOO D (7 (b2-c-44) (9 ©) (b2-c-46) (b2-c-43) tok, (2045) 0,4, (4
PA ® (b2-c-54)
[0062] Le générateur d'acide (B) est une combinaison l’anion susmentionné et du cation organique susmentionné, et ceux-ci peuvent être éventuellement combinés. Le générateur d'acide (B) inclut de préférence une combinaison d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3), de la formule (B1a-7) à la formule (B1a-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19) et de la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) avec un cation (b2-1), un cation (b2-3), un cation (b2-4).
[0063] Le générateur d'acide (B) inclut de préférence ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-56), et parmi ces générateurs d'acide, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-3), la formule (B1-5) à la formule (B1-7), la formule (B1-11) à la formule (B1-14), la formule (B1-20) à la formule (B1-26), la formule (B1-29) et la formule (B1-31) à la formule (B1-56) sont particulièrement préférées. H Hs H A od
EF
ETA OE A OE CG (B1-1) ® (B1-2) ® es t-CaH9 Hz 9 9 OD OLA od SEE
Ö 9, (B1-4) © (B1-5) © (B1-6) Ha U t-CaHo
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OLK CLP OK ® Q B Hs (B1-7) Cao (818) tC,H, | (B1-9) tC4Ho I I 9 tou} EK PT Oo SO © D ne tC4He (B1-10) (B1-11) (B1-12)
[0064] O ; X. F OF os F OS OR V6, 1 (B1-13) (B1-14) (B1-15) ; ee Ge Of oe OB ST a Ö À (B1-17) (2 (B1-18) (B1-16) À” À 0 (B1-19) ° (B1-20) (8137)
[0065]
0. LT 0 DL 4 va, T° ee (81-22) 43 SS y LM 8 CA (B1-23) (B1-24)
0. LO 2 F E LH C CAE of Of od (B1-25) (B1-26) I (B1-27) © 6, 9 9 Le en. a. HAS Fr £ 9 Fr 0 “O3 3 (B1-28) À (B1-29) 2e. (B1-30) FE y Kr © SL 1 se Pas OT ST 98 SF (B1-31) (B1-32) (B1-33) dsl D 5 ost ob) Loch on PT (B1-34) I (81:35) (B1-36)
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[0067]
O O X o We O O. © De O ® oh O Os HE AA Ô SO 9 BA 9 (B1-43) (B1-44) ° A a © 3 © LC SL SA 0 - À ZOW _ e) O3S ss ds LA 9 A © ° > A
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Q Q H O oO D OP Doc S RGF Oo SRE O 9° T Je Ds, 97 0 Ô Ö Ö (B1-49) (B1-50) (B1-51)
O © 2 (© L post FE Qb 0 ‚RGF Oo of SP OLE (B1-52) Ö (B1-53) (B1-54) Tod Th O. TH > ge + o FF Ss T° Of O (B1-55) (B1-56)
[0068] Lorsque la composition de résist de la présente invention comprend un générateur d'acide (B), la teneur en générateur d'acide (B) est de préférence de 1 partie en masse ou plus et de 45 parties en masse ou moins, de préférence de 1 partie en masse ou plus (de préférence encore de 3 parties en masse ou plus) et de préférence de 50 parties en masse ou moins, (de préférence encore de 45 parties en masse ou moins, et encore de préférence de 40 parties en masse ou moins) sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0069] <Résine (A)> La résine (A) inclut une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a1)"). II est préféré que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1). Des exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1) incluent une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (s)"), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) et l'unité structurelle (s) (par exemple une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a4)"), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a5)”)) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0070] <Unité structurelle (a1)> L'unité structurelle (al) est dérivée d'un monomère ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois “monomère (a1)".
Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite aussi appelé groupe (1)) et/ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite aussi appelé groupe (2)): O R81 LE} Fe (1) ma na pas où, dans la formule (1), R3, R°? et R23 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ou R°* et R°° sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R°° sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment 0 ou 1, et au moins l'un de ma et na représente 1, et * représente une liaison: O Rat’ Lt OR (2) na! raz où, dans la formule (2), R°* et R°” représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°*' et R*' sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R2? et R33' sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou -S-, X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na’ représente 0 ou 1, et * représente une liaison.
[0071] Des exemples du groupe alkyle pour R2%, R22 et R°° incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle et un groupe octyle et analogues. Des exemples de groupe alcényle dans R*, R°2 et R° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues. Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*, R°2 et R® peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R°*, R2? et R® est de préférence de 3 à 16.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans R*, R® et R°5 incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple, un groupe cycloalkylalkyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle , un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicycique (un groupe p- cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
De préférence ma est Oet na est 1.
Lorsque R2! et R22 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique, des exemples de groupement -C(R2)(R22)(R23) incluent les groupes suivants. Le groupe hydrocarboné alicyclique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une liaison à -O- .
, Res “CO Re Ra Re
[0072]
Des exemples du groupe hydrocarboné dans RŸ, R° et R incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R*!, R2 et R, Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyl), des groupes aralkyle tel qu’un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicycligue (un groupe p- cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) des groupes arylcycloalkyle tel qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand R*” et R°* sont liés l'un avec l'autre pour former un cycle hétérocyclique ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R2? et R°5 sont liés, des exemples de -C(R°)(R*)-X-R°*incluent les groupes suivants. *représente une liaison. ‘ ‘ a1' a1' a1' a1’ a1' Au moins Vun de R“ et R2? est de préférence un atome d'hydrogène. na’ est de préférence 0.
[0073] Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), R°*, R22 et R°* sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert- butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), R°* et R* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R sont liés, R® est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1.
Un groupe où, dans la formule (1), R2 et R° sont chacun indépendamment un groupe alkyle, R® est un groupe adamantyle, ma = 0 etna = 1.
Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison. Tb 1645 TO TG To D rh ( * * * “ x * ; + * Sr Ö fe} Ô O ©) G 2644444447 + = A - Y Ar 6 Ar A ar M A * O ï O O u O €
[0074] Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison.
AA PSN rh A ne PP D “TTO 0 AD D AAO A
ARA PA * O. + * * O.
ours To 7 0 Yr Tro Yo IV SA TO
[0075] Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0076] Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (al) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0077] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a1-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-0), une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-2) ). De préférence, l'unité structurelle est au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison.
—+ Ra01 an Ra4 + Rab C = C = C El
O O O L201 Lat La2 RR ELLE Trot Ra04 ni (a1-0) (a1-1) (a1-2) Dans la formule (a1-0), la formule (a1-1) et la formule (a1-2), [201 12! et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH2)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-, R20! R°* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R202 R23 et RI représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
[0078] RO R°* et R°° sont de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et plus préférablement un groupe méthyle.
[21 1! et L° sont de préférence un atome d'oxygène ou * -O- (CH2)ko1-CO-O- (dans lequel k01 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et plus préférablement un atome d'oxygène.
Des exemples du groupe alkyle, du groupe alcényle, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes en R°°, R°°, R°°* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°*, R22 et R° de la formule (1).
Des exemples du groupe alkyle, du groupe alcényle, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes en R°° et R? incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°*, R22 et R° de la formule (1).
Le groupe alkyle dans R°°°, R°°* et R°°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle dans R°° et R° est de préférence de 1 à 6, et le groupe alkyle dans R° et R” est de préférence un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle.
Le groupe alcényle dans R°° et R” est de préférence un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle ou un groupe butényle.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°°, R°* et R2 est de préférence un groupe alkyle ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore de 5 à 10 atomes de carbone.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique de R202 R203 R°*, R°° et R? est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
Re? et R23 sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle.
R°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
R°° et R? sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle ou un groupe phényle.
m1 est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1.
nl est de préférence un entier de 0 à 3, et plus préférablement 0 ou 1.
nl'vaut de préférence 0 ou 1.
[0079] L'unité structurelle (a1-0) comprend, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-18) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R*° dans l'unité structurelle (a1-0) est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe halogénoalkyle, ou un autre groupe alktyle, et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-10), la formule (a1-0-13) et la formule (a1-0-14).
Hz H3 CH3 Hs Hz H3 Brrr tr Pp $+ (a1-0-1) (a1-0-2) (a1-0-3) (a1-0-4) (a1.0-5) 9 CH3 Hz Hz Hs CHs Hz HH AB HE tn to do EE (21:07) (a1-0-8) (a1-0-9) (a1-0-10) (a1-0-11) (a1-0-12) Hz Hz Hz H3 H3 Hs Er Pt ee AH ST O+ Oo OL (a1-0-13) (a1-0-14) (a1-0-15) (a1-0-16) O (a1-0-17) (a1-0-18)
[0080] L'unité structurelle (a1-1) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans le document JP 2010-204646 A. Parmi ces unités structurelles, on préfère une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1-1-7) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R** dans l'unité structurelle (a1-1) est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe halogénoalkyle, ou un autre groupe alktyle, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1-1-4) est encore plus préférée. H H Hs Hs Loof} Age} orgie DO D ° (a1-1-1) (a1-1-2) (a1-1-3) (a1-1-4) Hs H H TEST oft 1e DR OD > (a1-1-5) (a1-1-6) (a1-1-7)
[0081] Des exemples d'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-2-1) à la formule (a1-2-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R dans l'unité structurelle (a1-2) est substituée par un atome d'hydrogène et une unité structurelle représentée par l'une quelconque des formules (a1-2-2), formule (a1-2-5), formule (a1-2-6) et la formule (a1-2-10) à la formule (a1-2-12) est préférée. tet JP JR St d O en O d O SS XS S O ODO O0 TO TO (a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) Ae Je get ee O O Ha #0 O O O O O AS O 5 O ’ © © (a1-2-7) (a1-2-8) (a1-2-9) (a1-2-10) (a1-2-11) (a1-2-12)
[0082] Lorsque la résine (A) inclut une unité structurelle (a1-0), sa teneur totale est habituellement de 5 à 60% en mole, de préférence de 5 à 50 mol%, de préférence encore de 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
Lorsque la résine (A) inclut une unité structurelle (a1-1) et / ou une unité structurelle (a1-2), sa teneur totale est habituellement de 10 à 95% en mole, de préférence de 15 à 85 mol%, de préférence encore de 15 à 80 mol%, de préférence encore de 25 à 80 mol%, et de préférence encore de 20 à 75 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0083] Dans l'unité structurelle (a1), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a1-4) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a1-4)>):
A230 | (a1-4) Rast a36 (Rés) TOR où, dans la formule (a1-4),
R23? représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
R233 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A23 représente une liaison simple ou * -X%_ (A82-X2%2) ec, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°31 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -0-C0-, nc représente 0 ou 1, la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de R°°* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et R°34 et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R836 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R33 et R°° sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -C- O- auquel R°* et R2% sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par - O- ou -S-.
[0084] Des exemples d'atome d'halogène dans R232 et R233 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle.
R222 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples du groupe alkyle dans R23 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples du groupe alcoxy dans R®3 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy, un groupe tert-butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R°* incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone,
de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R233 incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthyle ou un groupe éthoxyéthyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®3 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R233 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R333 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0085] Des exemples de *-X°*-(a2%2-X232),e- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-0-A332-CO-0-, *-0-CO-A332-0-, *-0-A332-CO-0-, *-CO-0-A%32-0- CO- and *-0-CO-A332-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-0-A232-CO-0- ou *-O-A332-CO-O- sont préférés.
Des exemples du groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
A est de préférence une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO-O- A232-CO-O-, de préférence encore une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO- O-CHz-CO- O-, et de préférence encore une simple liaison ou * -CO-O-.
la vaut de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans R®*, R33 et r°°° incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu’un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), un groupe aralkyle tel qu'un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. En particulier, des exemples de R856 incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe formé en combinant ces groupes.
[0086] R33* est de préférence un atome d'hydrogène, et R335 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbones, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné de R°° est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique aliphatique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique de R°*° sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans R® est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
[0087] -OC(R23%)(R235)-0-R23%6 dans l'unité structurelle (a1-4) est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
-OC(R23)(R235)-O-R23% est de préférence lié à la position ortho ou à la position para du cycle benzénique, et de préférence encore à la position para.
[0088] L'unité structurelle (a1-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646
A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-18) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à R222 dans l'unité structurelle (a1-4) est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore des unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-5), la formule (a1-4-10), la formule (a1-4-13) et la formule (a1-4-14). a PER OLO. OO ST TO 79 OLO. (a1-4-1) (a1-4-2) (a1-4-3) (a1-4-4) ae (a1-4- ® “fet j Fc ET PET PET Pe, © x CH X OCH; do X 50 O0 vw boh TO T° 0 3 £ (a1-4-8) (a1-4-9) (a1-4-10) (a1-4-11) (@1-4-12) Her Her DELLE KA
L A L or OO oro or oro OH (a1-4-13) (a1-4-14) (a1-4-15) (a1-4-16) (a1-4-17) (a1-4-18) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-4), la teneur est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence encore 5 à 50 mol%, et de préférence encore 10 à 40 mol%, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0089] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (a1-5) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-5)").
{24} L51 al “Tb 2 15 ka) s1' Dans la formule (a1-5), R°8 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, zt représente une simple liaison ou *-(CHz)n3-CO-L°-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente une liaison à L°*, L°t, L°2, L°* et L** représentent chacun indépendamment -O- ou -S-, s1 représente un entier de 1 à 3, et sl’ représente un entier de 0 à 3.
[0090] L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor est préféré. Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
[0091] Dans la formule (a1-5), R°® est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle, L° est de préférence un atome d'oxygène, l’un de L°* et L” est de préférence -O- et l'autre est de préférence - S- s1 est de préférence 1, sl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et zt est de préférence une simple liaison ou *-CHz-CO-O-.
[0092] Des exemples de l'unité structurelle (a1-5) incluent des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) à la formule (a1-5-4) sont préférées, et des unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) ou la formule (a1-5-2) sont préférées davantage.
Ho CH3 H, H H2 CHs / Ho H = te > te =? = ) O UC S dS © > © © (a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4) Lorsque la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0093] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes.
k HO 95 DH MS Kk (a1-3-1) (a1-3-2) (a1-3-3) (a1-3-4) (a1-3-5) (a1-3-6) (a1-3-7) Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci-dessus, la teneur est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence encore 5 à 50 mol%%, et de préférence encore 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0094] <Unité Structurelle (s)> L'unité structurelle (s) dérive d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée «monomère (s)»). II est possible d'utiliser comme monomère dont dérive l’unité structurelle (s), un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine de la résist.
L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Lorsqu'une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois dénommée "unité structurelle (a2)") et/ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé «unité structurelle (a3)») est utilisée dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhérence à un substrat.
[0095] <Unité Structurelle (a2)> Le groupe hydroxy appartenant à l'unité structurelle (a2) peut être soit un groupe hydroxy alcoolique, soit un groupe hydroxy phénolique.
Lorsqu'un motif de résist est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, dans le cas de l'utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie tels qu'un laser excimère KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou une lumière ultraviolette extrême (EUV), une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est davantage préférable d'utiliser l'unité structurelle (a2-A) mentionnée ci-dessous. Lors de l'utilisation d'un laser excimère ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et l’unité structurelle (a2-1) mentionné plus loin est de préférence encore utilisée. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0096] Dans l'unité structurelle (a2), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique comprennent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a2-A)»):
H, R350
HE Aa50 (a2-A) (Jo (R") où, dans la formule (a2-A), R250 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R°°! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X2**-(a252-X252) 5", et * représente une liaison aux atomes de carbone auxquels -R*"° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0097] Des exemples d'atome d'halogène dans R°° et R°* incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°® incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle,
un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe _ perfluorohexyle.
R°50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans R°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R®* inclunent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R* incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone,
et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®* incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R®* incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R®1 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0098] Des exemples de *-X2*!-(a252-X°52)p- incluent *-O-, *-CO-O-, *-0- CO-, *-CO-O-A3?-CO-O-, *-O-CO-A3?-O-, *-O-A°*?-CO-O-, *-CO-0-A°**-0- CO- et *-O-CO-A®%*-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-0-, *-CO-O-A®%*-CO-0- ou *-0-A?52-CO-0- sont préférés.
Des exemples de groupe alcanediyle dans A22 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5- diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
A2°0 est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-A3*- CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-CH>- CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de de préférence encore 0. Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para d’un cycle benzène, et de préférence encore la position para.
[0099] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A. Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-1) à la formule (a2-2-16), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R350 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-1) à la formule (a2-2-16). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6 ) une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), des unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe halogénoalkyle ou un autre groupe alkyle dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-6), a unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), plus préférablement une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-3) , une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), des unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2- 2-14), et des unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R®° dans l'unité structurelle (a2-A) est substituée par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-12) à la formule (a2-2-14), et de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°°° dans l'unité structurelle (a2- A) est substitué par un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8). m E TPE ET tn PET ò Ô, OH OH & ZH & GH OH H OH du! (a2-2-1) (a2-2-2) (a2-2-3) (a2-2-4) (a2-2-5) (a2-2-6) (a2-2-7) (a2-2-8) a ES OH Sur VO Su a. H' ef © ZH OF HF (a2-2-9) (a2-2-10) (82211) (22212) (a2-2-13) (a2-2-14) (a2-2-15) (a2-2-16) Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l’unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles.
L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique après polymérisation, par exemple, avec une unité structurelle (a1-4). L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium après polymérisation avec l'acétoxystyrène.
[0100] Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l'unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a2-1)”).
H, Ra14 | = | Kg (a2-1) “Ge
H Ra16 Dans la formule (a2-1), L°* représente -O- ou *-O-(CH>)e-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à-CO-, R2!* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°15 et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et 01 représente un entier de 0 à 10.
[0101] Dans la formule (a2-1), L°* est de préférence -O- ou -O-(CHz);-CO- O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-, R31* est de préférence un groupe méthyle, R2!5 est de préférence un atome d'hydrogène, RS est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et o1 est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0102] L'unité structurelle (a2-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-1-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2- 1-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-1-1) ou la formule (a2-1-3) est préférée davantage.
Hz ÇCH3 Ho H Hz CHs Ho H [Ees Jee H + + Je LL Le, Le Lt + ç,
Ó Ó Ó Ó 0 $ Do De Do Du >
H OH (a2-1-1) (a2-1-2) (a2-1-3) (a2-1-4)
OH H
OH OH (a2-1-5) (a2-1-6) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-1), la teneur est habituellement de 1 à 45 mol%, de préférence de 1 à 40 mol%, de préférence encore de 1 à 35 mol%, de préférence encore de 1 à 20 mol% et de préférence encore de 1 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0103] <Unité structurelle (a3)> Le cycle lactone appartenant à l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle B-propiolactone, un cycle y- butyrolactone ou un cycle à-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle y- butyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de y-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses: pas Ra19 fe fo | | _ - - CHz-C, en >} Len + tt > + 2 =>] 1/24 = xas a6 La7 (RE pi (‘as IS (Ra) FRS) O (RZ) 01 5 > O — 1 (a3-1) (a3-2) (a3-3) (a3-4) où, dans la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4),
L°*, L® et L® représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CHz)(3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7), L? représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°8-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-0-L°8-0-CO-L°*-O-, L® et L°° représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle, RAS R°19 et R220 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22* représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X°* représente -CHz- ou un atome d'oxygène, R°21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, R322 R223 et R°°° représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, pl représente un entier de 0 à 5, q1 représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, w1 représente un entier de 0 à 8, et quand pl, q1, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de R°*, R22 R° et/ou R2° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0104] Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans R°*, R222, R223 et R225 incluent les groupes alkyles comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans R** incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle dans R** incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans R** incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
[0105] Des exemples de groupe alcanediyle dans L® et L® incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4- diyle.
[0106] Dans la formule (a3-1) à la formule (a3-3), de préférence, L°* à L°° sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)(3-CO-O-, de préférence encore -O- et *-O- CH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène, RAS à R°2! sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, R°°? et R223 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, q1 et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0107] Dans la formule (a3-4), R** est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle,
L” est de préférence -O- ou *-O-L°8-CO-O-, et de préférence encore -O-, -0-CH2-CO-0- ou -0-C:H4-CO-0-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1. En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3- 4": 7 ter >=! LE (a3-4)
O dans laquelle R°°* et L? sont tels que ceux définis ci-dessus.
[0108] Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, les monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-1-1), la formule (a3-1-2), la formule (a3-2-1), la formule (a3- 2-2), la formule (a3-3-1), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-1) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à R°1$, R°1°, R220 et R°°* dans la formule (a3-1) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
Hz Hz Hz Hz Hz Hz Hz Hs PEBE Ee oO A, RR Aa Ho (a3-1-1) Á (a3-2-1) z n3-2x- & (a3-3-1) (a3-1-2) (8322) > (as-2x-2) © (932) H CH Hz CH Ha CH; Ha CH, 2 H He? Hz C 3 Cc 3 C IT LT HE TR TA + ; + ; eu PP A % P (23-471) (3-45 (83.40) (234-4) | EEN 049 Ho H H Hz Ha Ha ch; CZ CHs c2 £Hs CZ LH3 ts CH3 te CHs3 He ep ie Be de
RN 0 9 9 “ep ef PDO DB (2347) (a3-4-8) d L L (a3-4-9) (a3-4-10)$ (a3-4-11) Ô (a3-4-12) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement de 1 à 70 mol%, de préférence de 1 à 65 mol%, et de préférence encore de 1 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-1), de l'unité structurelle (a3-2), de l'unité structurelle (a3-3) ou de l'unité structurelle (a3-4) est de préférence de 1 à 60 mol%, et de préférence encore de 1 à 50 mol% sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0109] <Unité structurelle (a4)> Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent l'unité structurelle suivante: R41 Hs Le O (a4)
O \ où, dans la formule (a4), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et
R°? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome de fluor, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou —CO-. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé représenté par R°? incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0110] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés — Ssalicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarbonéalicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0111] Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par au moins une unité structurelle choisie dans le groupe constitué par la formule (a4-0), la formule (a4-1), la formule (a4- 2), la formule (a4-3) et la formule (a4-4):
R° tent (a4-0)
O
O \ 48 / | 3a Xe où, dans la formule (a4-0), R° représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L*3 représente une simple liaison ou un alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, L*’ représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et RÉ représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[0112] Des exemples du groupe alcanediyle dans L‘* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle et un groupe butane-1,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle.
[0113] Des exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L* incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropane-1,1-diyle, un groupe perfluoropropane-1,3-diyle, un groupe perfluoropropane-1,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5- diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane- 3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-1,6-diyle, un groupe perfluoro- hexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-1,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle, un groupe perfluorooctane-1,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle,
un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L* incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe perfluoro- cyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0114] L® est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3 est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0115] Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a4-0) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes : Le ue Le rj P+ nn 1 Re UT, (a4-0-1) (a4-0-2) (a4-0-3) (a4-0-4) Perte pst tst tr, Fs nr FC? pd F3 pr, 8F47 @+07) (04-0-8) (a4-0-9) ho 0) (a4-0-11) (a4-0-12) ter TT A WET CS a pl F F sF13
F F (a4-0-13) (a4-0-14) F Wan (a4-0-16)
[0116] Ha paf | Le} Aa (a4-1)
SL ‘=O pat où, dans la formule (a4-1), R31 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°*2 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, A! représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-g1), dans lequel au moins l'un de A?! et R° a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor) : Le | KA ante (a=q1) Is où, dans la formule (a-g1), s représente 0 ou 1, A et A?* représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, A23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, xe et XE? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, -CO- O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de A, AB A31 x24! et X°*2 est 7 ou moins, et * représente une liaison et * sur le côté droit représente une liaison à -O-CO-R°*,
[0117] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans R** incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0118] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle et analogues.
[0119] Des exemples de substituant appartenant à R°* incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préféré: % ——X2a43— pa45 (a-g 3) où, dans la formule (a-g3), X? représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-O-CO- ou *-CO-O-
A: représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à R2*2. Dans R2*2-X23-A3% quand R°* n'a pas d'atome d'halogène, A? représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0120] Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans A? incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison). í CD 0-09-6000
[0121] R°*2 est de préférence un groupe hydrocarboné aliphatique ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant un groupe représenté par la formule (a-g3). Quand R°* est un groupe hydrocarboné aliphatique ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues.
Quand R?*? est un groupe hydrocarboné aliphatique ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de R° est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a-g3) comme substituant, leur nombre est de préférence
1.
[0122] Quand R** est un groupe hydrocarboné aliphatique ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), R°° est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2) : + —A216_x244__pa47 (a-g2) où, dans la formule (a-g2), A°*° représente un groupe hydrocarboné aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X21* représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à A°°), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de A°°, A? et X°** est 18 ou moins, et au moins l'un de A°* et A°* à au moins un atome d'halogène, et * représente une liaison à un groupe carbonyle.
[0123] Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aliphatique de A? est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aliphatique de A?” est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et A* est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0124] Les structures préférées du groupe représenté par la formule (a-g2) sont les structures suivantes (* représente une liaison à un groupe carbonyle).
Fa Fo Fo Fa FO FR 0 EO ‚0 ED ADD #40
[0125] Des exemples de groupe alcanediyle dans A?* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe 1- méthylbutane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle. Des exemples de substituant dans le groupe alcanediyle comme pour A?* incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone. A°*! est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0126] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A? A23 et A?* dans le groupe représenté par la formule (a-g1) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent monocyclique, et des groupes formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe 1- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle et analogues. Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A22, A et A°** incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone. s est de préférence 0.
[0127] Dans le groupe représenté par la formule (a-g1), des exemples de groupe dans lequel X** est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans les exemples suivants, * et ** représentent chacun ue liaison, et ** représente une liaison à -O-CO-R2*2. O O 0 O 2 Ö O O. x ko O Kk x xx * O kk Et ASS SA SNS O Ö O 0 Ö
[0128] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à A°* dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène. H H H H Hs Hs ch CH + CH + CH + ete Jets
O O O O O O ox O O O + + HF, F3 Fa F2 Fa F2 FoH F,C FoC FoC (a4-1-1) (a4-1-2) (a4-1-3) (a4-1-4) CHF2 CFs (a4-1-5) (a4-1-6) Hs Hs Hs Hg H CH CH CH et 3 {St Pt 16 J + | 2 + O O - +, 0= FR F F 2 2 R Fa FC FG FG F EF, ; FF ; FF e FF F F anc ° CHF, CCE, FF (8417) (a4-1-8) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
[0129]
Hs Hz Hz Hs Hs Ha PA Pl ef des O oO o oO O O F2 F4 Fo Fx F2 F2 F2 F4 F2 F2 F2 F2 F2 > F2 F2 Fx oO o oO o oO (a4-1'-1) (a4-1'-2) (a4-1'-3) (a4-1'-4) (a4-1'-5) (a4-1'-6) Hs H3 H Te Je er: 5 [er we tn} oO O
O O O O 2 F2 É F2 F2 $ F2 Fo (a4-1'-7) (a4-1'-8) (a4-1'-9) (a4-1'-10) (a4-1'-11)
[0130] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a4-2): Hs RB
O O La (a4-2) 1 nf O où, dans la formule (a4-2), R® représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L* représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, R® représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L“ et R® est 21.
[0131] Des exemples du groupe alcanediyle pour L** incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour Aê**, Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés de R°*, Le groupe alcanediyle dans L* est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0132] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R dans unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est également exemplifée comme unité structurelle représentée par (a4-2) :
[0133] Ho OR" At 7 O 5 € 7 (a4-3) a O un X où, dans la formule (a4-3), RF représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L° représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, AS représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor,
xf2 représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente une liaison à Af), Af* représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Af? a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Af? et Alt est 20.
[0134] Des exemples du groupe alcanediyle dans L° incluent les mêmes que ceux mentionnés comme groupe alcanediyle A°# Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans Af!3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent HN ayant éventuellement un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent HN ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle.
Le groupe hydrocarboné alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexane-diyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornane-diyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0135] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour Alt incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°#2, Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, Uun groupe perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0136] Dans la formule (a4-3), L° est de préférence un groupe éthylène. Le groupe hydrocarboné saturé divalent de Af? est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné HN divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné saturé de A* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, Afl? est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0137] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, des unités structurelles représentées par la formule (a4-1"-1) à la formule (a4-1'-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R” dans une unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est également citée à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par (a4-3).
[0138]
Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): Ho RE |
TAT Sd (a4-4) 227 où, dans la formule (a4-4), R2! représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, A2! représente -(CHz)1-, -(CH2)ji2-O-(CH2)j3- ou -(CH2)j4-CO-0- (CH2)j5-, j1 à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et R22 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0139] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R2* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par R°*2, RP2 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
Dans la formule (a4-4), Af?! est de préférence -(CH2)j1-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0140] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans l'unité structurelle (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
F T $ 7 T T
O O O O O O
O F3 F2 F2 F2 F2 HF; R F3 F3 F2 FoH R F3 HF» F
FFF Hz Hz Ha Hs Hs Hz Hs Hs fers Jr 5 ers 5 Jr 5 Jr Jet Jr Tens 0 O O O Oo
O F2 Fs F2 O O O F3 F3 F2 F2 F2 F, Fa F, E F2 E F F3 Fa F2 br, 2 F, 3 F2 E, 2 F, Fa F3 F3 Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0141] <Unité structurelle (a5)> Des exemples de groupe hydrocarboné non partant appartenant à l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique. L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-1) : 51 Hz 6 (a5-1)
O 55 / R52 où, dans la formule (a5-1), R°? représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°? représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et L°° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0142] Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R° peut être monocyclique ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R? est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
[0143] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L” incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique polycyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0144] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L°° est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (L1-1) à la formule (L1-4). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun une liaison, et * représente une liaison à un atome d'oxygène. xt 42 2 LX4 <5 6 At x 1 129 ge Ae LA De Sp IT > (L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4) Dans la formule (L1-1), X représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à L), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L* est 16 ou moins. Dans la formule (L1-2), LS représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L3 et L** est 17 ou moins. Dans la formule (L1-3), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, L$ et LY représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L°, L® et L” est 15 ou moins. Dans la formule (L1-4),
LS et L° représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone, W* représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L$, L et W* est 15 ou moins.
[0145] Lt est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
LS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L“ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L*° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
WX est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0146] Le groupe représenté par la formule (L1-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
O O O O Ö A. A AA A AA Ao
CH CH3 CHs 3 ETS Anne An O CH3 ek jk xx ‚Ax * NS * CH3 Hz
[0147] Le groupe représenté par la formule (L1-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
3 3 at born Talbot ber
[0148] Le groupe represente par la formule (L1-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. CH 0 , 0 Lo
20000. AAT OT Nas A CHs
[0149] Le groupe représenté par la formule (L1-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. AO | GT AG xx Q x x # © 9 AJ d ID 9
L°° est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (L1-1).
[0150] Des exemples d'unité structurelle (a5-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a5-1) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes.
H H H tort Hs pi Hs Pr a ten 3 enz 3 Tet 3 o o o (a5-1-1) (a5-1-2) (a5-1-3) (a5-1-4) (a5-1-5) (a5-1-6) Hs Ha Hs Ha Hs Ha Ee Jen Jon Fi Hoi o O o (a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12) Hs Hs Hs Hs Hs Hs Per “B "€ test LE Ku (a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A). <Unité structurelle (a6)>
[0151] L'unité structurelle (a6) est une unité structurelle ayant un groupe - SO, et de préférence a un groupe -SO>- dans la chaîne latérale. L'unité structurelle ayant groupe -SO>- peut avoir une structure linéaire ayant un groupe -SO>-, une structure ramifiée ayant un groupe -
SO2- ou une structure cyclique ayant un groupe -SOz-. La structure cyclique ayant un groupe -SOz- peut être une structure monocyclique ou polycyclique. Une unité structurelle ayant une structure cyclique ayant un groupe —SO->- est préférable, et une unité structurelle ayant une structure cyclique (cycle sultone) contenant —SOz-O— est préférable encore.
[0152] Des exemples de cycle sultone incluent les cycles représentés par les formules (T1-1), (T1-2), (T1-3) et (T1-4) suivantes. Le site de liaison peut être à une position quelconque. Le cycle sultone peut être un type monocycligue, mais c'est de préférence un type polycyclique. Le cycle sultone polycyclique signifie un cycle de pontage contenant -SO2-O- comme groupe d'atomes constituant le cycle, et des exemples de celui-ci incluent les cycles représentés par les formules (T1-1) et (T1-2). Comme le cycle représenté par la formule (T1-2), le cycle sultone peut contenir en oute un hétéroatome en plus de -S02-0- comme groupe d'atomes constituant le cycle. Des exemples d'hétéroatome incluent un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un atome d'azote, et un atome d'oxygène est préférable.
Q 9 & I N [le O—8=0 0—S=0 O X
O Ö 290 (T+) (T1.2) (T1-3) (T1-4)
[0153] Le cycle sultone peut avoir un substituant, et des exemples de celui-ci incluent, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy, des exemples de celui-ci incluent un groupe alcoxy ayant 1 à 12, un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone et un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
[0154]
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe décyle, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Des exemples de celui-ci incluent un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle et un groupe triiodométhyle, et de préférence un groupe trifluorométhyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un groupe hydroxy incluent un groupe hydroxyalkyle comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe 2-hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Le groupe aryle inclut un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe p-adamantylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cumyle, un groupe mésityle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Les groupes incluent les groupes 2,6-diéthylphényle et les groupes 2-méthyl-6-éthylphényle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples de groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe dans lequel un groupe alcoxy comme un méthoxycarbonyle et un groupe éthoxycarbonyle est lié à un groupe carbonyle, de préférence un groupe alcoxycarbonyle ayant 6 atomes de carbone ou moins, et de préférence encore un groupe méthoxycarbonyle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
[0155] Un cycle sultone n'ayant pas de substituant est préférable du point de vue selon lequel le monomère duquel unité structurelle (a6) est dérivée peut être produit aisément.
Comme cycle sultone, un cycle représenté par la formule (T1") suivante est préférable.
X (RÉ) ma CED (T1) io © [Dans la formule (T1'), x!! représente un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un groupe méthylène.
R* représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, ou un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
ma représente un entier de 0 à 9. Quand ma est 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents. Le site de liaison de R* est à une position quelconque du cycle sultone.] x! est de préférence un atome d'oxygène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
Des exemples de R incluent ceux similaires au substituant du cycle sultone, et un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy est préférable.
[0156] Comme cycle sultone, le cycle représenté par la formule (T1) est préférable encore.
(T1) 0—5=0 [Dans la formule (T1), RS est un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, ou un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone. m représente un entier de 0 à 9. Quand m est 2 ou plus, la pluralité de R8 peuvent être identiques ou différents. Le site de liaison de (R3m est à une position quelconque d’un cycle sultone.] RS est le même que R. ma dans la formule (T1) et m dans la formule (T1) sont de préférence 0 ou 1, et de préférence encore 0.
[0157] Des exemples de cycle représenté par la formule (T1") et de cycle représenté par la formule (T1) incluent les cycles suivants. Le site de liaison est à une position quelconque.
H,C, Hs CH, CHs CH CHs À À ÉTÉ do ul jo H3C je vj a in in bo HsC 4 € £7 À ren Ne 8 ® Rs > HsC To D= Oo zo bzo H3C == © Ö Ö Ö Ö
[0158] L'unité structurelle ayant un cycle sultone a de préférence les groupes suivants. * représente le site de liaison dans les groupes suivants. ; . Ha . HsC, /CHs Hs * CHs H,C HaC * CH3 d H3C d H3C 70 F0 Ds T?=0 Ba TF0 d oi PP a
Ö Ö - Q Q - Q cn AE: Q - 9 ch HzC HsC deo PST bm I — ds mo HC H- 10 io 10 a io 70 10
Ö Ö Ö Ö Ö Ö
[0159] L'unité structurelle ayant un groupe -SOz- a de préférence encore un groupe dérivé d'un groupe polymérisable. Des exemples de groupe polymérisable incluent un groupe vinyle, un groupe acryloyle, un groupe méthacryloyle, un groupe acryloyloxy, un groupe méthacryloyloxy, un groupe acryloylamino, un groupe méthacryloylamino, un groupe acryloylthio, un groupe méthacryloylthio et analogues. Parmi ceux-ci, le monomère qui conduit à l’unité structurelle (a6) est de préférence un monomère ayant une liaison éthyléniquement insaturée, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique.
[0160] L'unité structurelle (a6) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (Tx).
RX GT
AX |, Xx11 IX 2 (x) (R*)mna T2 0750
Ö
[Dans la formule (Ix), Rx représente un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène.
A“ représente un atome d'oxygène, -N(R“)- ou un atome de soufre.
A* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- contenu dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -CO- ou -N (R$)-.
x!! représente un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un groupe méthylène.
R* représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, ou un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
ma représente un entier de 0 à 9. Quand ma est 2 ou plus, une pluralité de R41 peuvent être identiques ou différents. R et RG représentent indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.]
[0161] Des exemples d'atome d'halogène de R* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle de Rx incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe n-propyle, un groupe isopropyle, un groupe n-butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe n- pentyle et un groupe n-hexyle. C'est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène de R* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle et un groupe perfluoropentyle. Un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triodométhyle et analogues peuvent être mentionnés.
R* est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
[0182] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent de A“ incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, et ces groupes. Une combinaison de deux ou plusieurs de ceux-ci peut être utilisée.
Spécifiquement, un groupe alcanediyle linéaire est par exemple un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptan-1,7- diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonan-1,9-diyle, un groupe décan-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, groupe dodécane-1,12- diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14-diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16-diyle , un groupe heptadécane-1, 17-diyle, un groupe alcanediyle ramifié est par exemple un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle et un groupe propane-2,2-diyle; un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle ou un groupe 2- méthylbutane-1,4-diyle; un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique est par exemple un groupe cycloalcanediyle tel qu'un groupe cyclobutane- 1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4- diyle, un groupe cyclooctane-1,5-diyle, etc .; un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent polycyclique est par exemple un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5- diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6- diyle.
[0163] Des exemples de R*, X!! et ma sont les mêmes que ceux dans la formule (T1').
Des exemples de cycle sultone incluent ceux mentionnés ci-dessus, et parmi eux, ceux mentionnés ci-dessus dans lesquels la position de liaison est spécifiée sont préférables.
[0164] Des exemples d'unité structurelle (a6) incluent les unités structurelles suivantes. Le H + H + A Le H Le: H À == O Oo NH (8) f HN (a6-1) à &° &° _ 0 (a6-2) (a6-3) (a6-4) (a6-5) d (a6-6) © ZY | j Fo 8 © (a6-8) 0 (6.9) (a6-10) 60” (a6-12)
[0165] Parmi celles-ci, les unités structurelles représentées par la formule (a6-1), la formule (a6-2), la formule (a6-6), la formule (a6-7), la formule (a6-8) et la formule (a6-12) sont préférables, et les unités structurelles représentées par la formule (a6-1), la formule (a6-2), les formules (a6-7) et (a6-8) sont préférables encore.
Quand la résine (A) a une unité structurelle (a6), la teneur de l'unité structurelle (a6) est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 2 à 40 mol%, et de préférence encore 3 à 30 mol% par rapport à toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0166] <Unité structurelle (IT)> La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (IT) »). Des exemples spécifiques de l'unité structurelle (IT) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
[0187] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") :
RIIS NS (I1-2-A") pe zA* où, dans la formule (II-2-A"), xIB représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy, A“ représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, RA’ représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate, RTS représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et ZA‘ représente un cation organique.
[0168] Des exemples d'atome d'halogène représenté par RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par A“ incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut être substitué dans A“ incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XP incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6- diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane- 1,11-diyle et un groupe dodécane-1,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4- diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes cycloalcanediyles comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3- diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle. Ceux dans lesquels -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (X1) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente une liaison à AX.
x Q 0 Xi 9 DO XE 9 005545 ; Jor T be De 40” gare ad” x Y all _ (X1) 02) 09) (X4) 06) (X6) (X7) (X8) (9) (10) Oo 2. > O4 03” 0454 ol” RI oe CCS a ee CS A SE (x11) (X12) (X13) (X14) (X15) (X16) (X17)
O OXX OXX OXX O fe ge On ge Cn x POUR «7 >57 5, = > ee dL 55 xt eee Oet Kd, y © ï © T 1 x X X O (X18) (X19) (X20) (X21) (X22) (X23) O x O EES Oe” SO PROS SOS, Secrets” Ô oO 0 Ö Ö 0 OO O (X24) (X25) (X26) (X27) (X28) (X29) + O O oO +0 XL 0,2 Q «0 3 + Q 9 3 x T T x JM Ao or AA a. oo, (X30) (X31) (X32) (X33) (X34) (X35) (X36) 0 î 9 0 Q » À 0 A TT, At Te AE So, (X37) (X38) (x39) (x40) (X41) (X42) 0 O 0 0 070. 0. 7-5. a. See" A q x x #7 X x 0 (X43) (X44) (X45) (X46) (X47) 6 9 * * O rr Pgo Dear Mess Ser 00, 7e ** 4x * xx ** | (X48) (X49) (X50) (X51) (X52) (X53)
[0169] X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone. X* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone.
X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X’ représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X® représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0170] Des exemples de ZA” dans la formule (II-2-A") incluent ceux qui sont identiques au cation Z1* dans le générateur d'acide (B1).
[0171] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
RIIS
SF | RIII2 Y O 4e ZA* (Il-2-A) RIII4 | z2A Q où, dans la formule (II-2-A), RS, x!B et ZA* sont tels que ceux définis ci- dessus, z2A représente un entier de 0 à 6, RIZ et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z2A est 2 ou plus, une pluralité de RI? et RI! peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et Q* et QP représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par RI, RI! Q? et Q incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par Q” mentionné plus loin.
[0172] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1): RIII3
IN
A 7 O—RIIIS (Il-2-A-1) po 0, 9 R!I2 FE AU ZA* R!ll4 | z2A1 Q® où, dans la formule (II-2-A-1), RH? RIS RIM Q°, QP et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci- dessus, RTS représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, z2A1 représente un entier de 0 à 6, et X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CHz>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par RI incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Xl incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par XE,
[0173] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (II-2- A-2): ; RS
N 7 C A, ORS (ll-2-A-2)
CF © y F Ô 7 SO, ZA? H NAMF/m où, dans la formule (II-2-A-2), RIB, RIS et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et nA représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de RIB est substitué par un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle, etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA” représente un cation organique.
CHs CH3 CH3 CHs CHs CH3 on on on Lion {bon Lion A 7 A 7 A 7 A A 7 Ao Ar Ar Ar F3 > Ar Ar o > o 0 O > o 0 y} SVT ! ie rr 505 za So; ZA’ Fso ZA’ = | F ; 2 ; Cr SOs ZA" SO3 ZA" SO3 ZA* CHs CHs 3 CH CH CH (eo) Lo) LP one Lo} Lo LE) A F A E Ao Ao Ao A EX a 3% LL ON zw F SO SL F Ro F zA* F F Oss F sos ZA* ZA ZA+ Sos
[0174] L'unité structurelle ayant un cation ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) : RIl4 er ‚RI (lI-1-1) o70—A"1-Ri1FS< R!l2
A où, dans la formule (II-1-1), A! représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent, R' représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, RZ et RI représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et R!!2 et RI! peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec des atomes de soufre auquel RI? et RTS sont liés, RI! représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et A’ représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R“* incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par RI? et RI incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R!* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par A" incluent un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XI,
[0175] Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-1-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de R"* est substitué par un atome d'hydrogène, un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle et analogues.
Hz Hz Hz Hz Hz Hz *F Wi *F *F ra F4 IC OCD OO OO £, Hz PA PIT dot EE 1
G O Oo % C ú 5
O oo doof 9
NO OÙ OÙ
[0176] Des exemples de l'anion organique représenté par A incluent un anion d'acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion d'acide carboxylique. L'anion organique représenté par A’ est de préférence un anion d'acide sulfonique, et l'anion d'acide sulfonique est de préférence un anion inclus dans le sel représenté par la formule (B1) mentionnée plus haut.
[0177] Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par A" incluent les suivants. fra £F3 F,C-CF, E — _ dl 2 020 CF3 020 CF» 025 CF» Of O,S—C. | |. À LL 427 O28-CF3 ae 025 O2S—CF2 O,S—CF, F3 F» -GF2 CF3
[0178] Des exemples d'anion sulfonylméthide incluent les suivants. £F3 FafTCF3 O,S CF; O4S-CF> O,S-CF, ©, | F2 0, L FC, F2 O2 L F,C—S 5 FsC-C-S “9 FX—C-S “ O,S—CF3 O2S-GF2 025-GF2 CF3 F,C—CF3
[0179] Des exemples d'anion acide carboxylique incluent les suivants. O Oo 0 D _ HC0- HA HEA ons -
H H 3 Dr Dr ; À Wad on KA 17° 9 ELFLE F Q HaC to IE, cd ee A SO
OH FF FR FTE
[0180] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (IT-1-1) incluent les suivants.
Hz Hs Hz Hz Hz Hz { Ë + F { £ KF & KF N REF Hs | . 7038 ST eo © ZL Hz E Jen. Ha Je Pr
F Ak F LE cr KF Ha PETER GEA Sete tot Ce tot is RAF Hs RF Ha
0. 5 et OC ” OC Quand l'unité structurelle (IT) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (IT) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol®%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0181] La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles susmentionnées, et des exemples des unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
[0182] La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (a1) et d'une unité structurelle (s).
L'unité structurelle (a1) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe constitué d’une unité structurelle (a1-0),d' une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2) (de préférence l'unité structurelle ayant un groupe cyclohexyle et un groupe cyclopentyle), de préférence encore au moins deux.
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle (a2-A) ou une unité structurelle (a2-1). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
[0183] Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux unités structurelles ou plus peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités structurelles par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur en unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence de 2000 ou plus (de préférence de 2500 ou plus, et de préférence encore de 3000 ou plus), et de 50000 ou moins (de préférence de 30000 ou moins, et de préférence encore de 15000 ou moins).
Tel qu'utilisée ici, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par permeation de gel dans les conditions mentionnées dans les exemples.
[0184] <Résine autre que la résine (A)> La composition de résist de la présente invention peut utiliser la résine autre que la résine (A) en combinaison.
La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Des exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et les unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5), et de préférence encore composée seulement d'une unité structurelle (a4).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité du monomère utilisé dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
Quand la composition de résist de la présente invention inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de préférence encore 1 à 30 parties en masse, et de préférence encore 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0185] La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Dans la présente description, «la teneur en solide de la composition de résist» signifie la teneur totale des constituants de la composition de résist dans laquelle le solvant (E) mentionné ci-dessous est retiré. Le composant solide de la composition de résist et la teneur de la résine peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0186] <Solvant (E)> La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
Des exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2-heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la y-butyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0187] <Agent de désactivation (C) (« quencher »)> Des exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique, et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir d'un générateur d'acide (B). Quand la composition de résist inclut l'agent de désactivation, la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 15% en masse, de préférence encore d'environ 0,01 à 10% en masse, de préférence encore d'environ 0,1 à 5% en masse, et de préférence encore d'environ 0,1 à 3% en masse, sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist.
Des exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Des exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Des exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire.
Des exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2- naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la N,N-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la = dicyclohexylméthylamine, la = tris[2-(2- … méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4"-diamino-1,2- diphényléthane, le 4,4"-diamino-3,3"-diméthyldiphénylméthane, le 4,4- diamino-3,3'-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2- di(2-pyridyl)éthane, le 1,2-di(4-pyridyl)éthane, le 1,2-di(2-pyridyl)éthène, le 1,2-di(4-pyridyl)éthène, le 1,3-di(4-pyridyl)propane, le 1,2-di(4- pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4"-dipyridyle, le disulfure de 4,4’-dipyridyle, la 2,2"-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline.
Des exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, : l'hydroxyde de = tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de — phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3- (trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n- butylammonium et la choline.
[0188] L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5.
Des exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois “sel interne d'acide faible (D)"), et les sels mentionnés dans JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A. Le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est de préférence un sel générant un acide carboxylique ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) (un sel ayant un anion acide carboxylique) et de préférence encore un sel interne d'acide faible (D).
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[0189] Des exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants.
007 700C + coo oo do D:0 OO GO +0 oo COO COO 00 coo” 007 HO GO Hi dp odio Br CI 007 coo coo” 200” oo no, 5-00 Gp” HO do dig 90 poor coo” © SE coo \ 50 00 GDA OA DNA
[0190] <Autres composants> La composition de résist de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois “autres composants (F)”). Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0191] <Préparation de composition de résist> La composition de résist de la présente invention peut être préparée en mélangeant un sel (I), une résine (A) et un générateur d'acide (B) et si nécessaire, des résines autres que la résine (A), un solvant (E), un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. II est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. Il est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation. Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 um.
[0192] <Procédé pour produire un motif de résist> Le procédé pour produire un motif de résist de la présente invention inclut: (1) une étape d'application de la composition de résist de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge. Des exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est réalisé par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé "précuisson") ou d'un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 10° Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à F2 (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement “exposition”. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé “cuisson de post-exposition”) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement d'environ 50 à 200°C, et de préférence d'environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Des exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, de 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, de 5 à 300 secondes. II est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Des exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois “solution de développement organique”) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2- hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,N- diméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté en remplacant le solvant par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester.
Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0193] (Applications) La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux UVE, en particulier une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (EB) ou d'une composition de résist pour exposition aux UVE, et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semiconducteurs.
[Exemples]
[0194] La présente invention va être décrite plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une value déterminée par chromatographie par perméation de gel selon les conditions suivantes.
Appareil: modèle HLC-8120GPC (fabriqué par TOSOH CORPORATION) Colonne: TSKgel Multipore Hx-M x 3 + colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION) Éluant: tétrahydrofurane Débit: 1,0 mL/min Détecteur: détecteur RI Température de la colonne: 40°C Quantité d'injection: 100 pl Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION)
Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc., spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par “MASSE”.
[0195] Exemple 1: Synthèse du carboxylate représenté par la formule (1-1) K,CO3 > CH la 9 (I-1-a) (l-1-b) 2,50 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-a), 6,10 parties de carbonate de potassium, 8,22 parties d'iode et 12,50 parties de méthanol ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. A la solution mélangée ainsi obtenue, 30 parties d'une solution aqueuse d'hydogéno sulfate de sodium saturée et 60 parties de chloroforme ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis le mélange concentré a été isolé à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n- heptane / acétate d'éthyle = 1/1) pour obtenir 1,84 partie d'un sel représenté par la formule (I-1-b).
O O 5 O | | (1-1-b) (l-1-C)
0,78 partie d'un composé représenté par la formule (I-1-b), 2,22 parties de chloroforme et 12 parties d'acide trifluoroacétique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes
5 puis un refroidissement à 0°C.
Au mélange ainsi obtenu, 0,35 partie de peroxyde d'hydrogène à 31% a été ajoutée goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 7 heures.
Au mélange ainsi obtenu, 30 parties de chloroforme et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
À la couche organique ainsi obtenue, 0,26 partie de pyridine a été ajoutée, puis, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 30 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis le mélange concentré a été isolé à l'aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n- heptane / acétate d'éthyle = 1/1) pour obtenir 0,60 partie d'un sel représenté par la formule (I-1-c).
OO CFS | or ONE, (0 (l-1-c) (1-1-d) (l-1-e) NaOH Oxalic acid _ — y > 0 oo (1-1) 0,22 partie d'un composé représenté par la formule (I-1-c), 20 parties de chloroforme, 0,07 partie d’un composé représenté par la formule (I-1-d) et 0,15 partie d'acide trifluorométhane sulfonique ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures.
Au mélange ainsi obtenu, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
À la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et le concentré a été passé dans une résine échangeuse d'ions (QAE Sephadex (marque enregistrée) A-25 sous forme chlorure)) en utilisant du méthanol comme solvant de développement.
La solution ainsi traitée a été concentrée, puis 10 parties de chloroforme et 10 parties d’une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, pour obtenir 0,09 partie d'un sel représenté par la formule (I-1). MASSE (spectre ESI (+)):305,1 [M+H]*
[0196] Exemple 2: Synthèse du carboxylate représenté par la formule (I-17) N * + + COOMe 9 9 9 Q 0 0 CF3S0x D CF OF, y (I-1-0) (I-17-d) (I-17-e) NaOH Oxalic acid _ © oo (1-17) 0,11 partie d'un compose represente par la formule (I-1-c), 10 parties de chloroforme, 0,046 partie d'un composé représenté par la formule (I-17-d) et 0,08 partie d'acide trifluorométhane sulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 0,11 partie d'acide trifluoroacétique a été ajoutée goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures. Au mélange ainsi obtenu, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d’une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et le concentré a été passé dans une résine échangeuse d'ions ( Aldrich (QAE Sephadex (marque enregistrée) A-25 sous forme chlorure)) en utilisant du méthanol comme solvant de développement. La solution ainsi traitée a été concentrée, puis 10 parties de chloroforme et 10 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, pour obtenir 0,04 partie d'un sel représenté par la formule (I-17).
MASSE (spectre ESI (+)):335,1 [M+H]*
[0197] Exemple 3: Synthèse du carboxylate représenté par la formule (I-39) K,CO3 > CH la 9 (|-1-a) (l-1-b) 50 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-a), 120,73 parties de carbonate de potassium, 162,60 parties d'iode et 750 parties de méthanol ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 3 heures. A la solution mélangée ainsi obtenue, 167 parties d'une solution aqueuse d'hydogénosulfate de sodium et 550 parties de chloroforme ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. À la couche organique ainsi obtenue, 300 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 56,89 parties d'un sel représenté par la formule (I-1-b).
O O 5 O | | (1-1-b) (l-1-C) 56,42 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-b) et 231,72 parties d'acide trifluoroacétique ont été mélangées, ce qui a été 5 suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis un refroidissement à 0°C.
Au mélange ainsi obtenu, 25,55 parties d’une solution de peroxyde d'hydrogène à 31% ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 3 heures.
Au mélange ainsi obtenu, 600 parties de chloroforme et 600 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 600 parties d’une solution aqueuse d’hydrogénocarbonate de sodium ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 600 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 57,80 parties d'un sel représenté par la formule (I-1-c).
SU TT KE E or Jaber, et CF3503 (l-1-c) (1-39-d) > (I-39-e) NaOH Oxalic acid _ a oo sn (1-39) 2,70 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-c), 10 parties de chloroforme, 1,42 partie d’un composé représenté par la formule (I-39-d) et 1,88 partie d'acide trifluorométhane sulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par un refroidissement à 5°C.
Au mélange ainsi obtenu, 2,64 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures.
Au mélange ainsi obtenu, 18 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et le concentré a été passé dans une résine échangeuse d'ions ( Aldrich (QAE Sephadex (marque enregistrée) A-25 sous forme chlorure)) en utilisant du méthanol comme solvant de développement.
La solution ainsi traitée a été concentrée, puis 10 parties de chloroforme et 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d’une solution aqueuse d'acide oxalique à 5%
ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. À la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, pour obtenir 1,59 partie d'un sel représenté par la formule (I- 39). MASSE (spectre ESI (+)):363,1 [M+H]*
[0198] Exemple 4: Synthèse du carboxylate représenté par la formule (I-23) Ss * 8 * COOMe à 70 © Q Oo © CF:807 ) Ar (I-1-c) (1-39-d) (l-23-e) NaOH Oxalic acid _ LS © COO (1-23) 2,70 parties d'un compose represente par la formule (I-1-c), 10 parties de chloroforme, 1,11 partie d’un compose represente par la formule (I-23-d) et 1,88 partie d'acide trifluoromethane sulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 2,64 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures. Au mélange ainsi obtenu, 18 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et le concentré a été passé dans une résine échangeuse d'ions ( Aldrich (QAE Sephadex (marque enregistrée) A-25 sous forme chlorure)) en utilisant du méthanol comme solvant de développement. La solution ainsi traitée a été concentrée, puis 10 parties de chloroforme et 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. À la couche organique ainsi obtenue, 10 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, pour obtenir 1,28 partie d'un sel représenté par la formule (I- 23). MASSE (spectre ESI (+)):333,1 [M+H]"
[0199] Exemple 5: Synthèse d'un carboxylate représenté par la formule (1-40)
Ss * {> * COOMe gd A 1 9 y CF3SOz
| op Moc |
(I-1-c) (-40-d) (l-40-e) NaOH Oxalic acid _ pt > oo
|
(1-40) 8,92 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-c), 30 parties de chloroforme, 9,36 parties d’un composé représenté par la 5 formule (I-40-d) et 6,85 parties d'acide trifluorométhane sulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par un refroidissement à 5°C.
Au mélange ainsi obtenu, 9,58 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures.
Au mélange ainsi obtenu, 65 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 37 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 40 parties d’une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
Cette opération de lavage a été répétée deux fois.
A la solution organique ainsi obtenue 50 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
Cette opération de lavage a été répétée cinq fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 34 parties d'acétonitrile et 170 parties d'éther tert-butyl méthylique ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une filtration pour obtenir 6,08 parties d'un sel représenté par la formule (I- 40). MASSE (spectre ESI (+)):473,0 [M+H]"
[0200] Exemple 6: Synthèse d’un carboxylate représenté par la formule (1-37) Ss + {ES * COOMe 6 70 Q oO O CF3S03 (l-1-0) (l-37-d) CF (L-37-e) NaOH Oxalic acid — 9 coo cr) (1-37) 10 parties d'un composé représenté par la formule (I-1-c), 30 parties de chloroforme, 6,28 parties d’un composé représenté par la formule (I-37-d) et 6,97 parties d'acide trifluorométhane sulfonique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 9,76 parties d'anhydride trifluoroacétique ont été ajoutées goutte à goutte, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 6 heures. Au mélange ainsi obtenu, 65 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes, puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique.
A la couche organique ainsi obtenue, 37 parties d’une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et le concentré a été passé dans une résine échangeuse d'ions ( Aldrich (QAE Sephadex (marque enregistrée) A-25 sous forme chlorure)) en utilisant du méthanol comme solvant de développement. La solution ainsi traitée a été concentrée, puis 40 parties de chloroforme et 10 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 95 parties d'une solution aqueuse d'hydroxyde de sodium à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. A la couche organique ainsi obtenue, 95 parties d’une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage a été répétée deux fois. A la solution organique ainsi obtenue 95 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une isolation par séparation pour obtenir une couche organique. Cette opération de lavage a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 10 parties d'acétonitrile et 100 parties d'éther tert-butyl méthylique ont été ajoutées au résidu concentré, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes puis par une filtration pour obtenir 8,19 parties d'un sel représenté par la formule (I- 37). MASSE (spectre ESI (+)):389,0 [M+H]*
[0201] Synthèse d'une résine Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse d'une résine (A) sont illustrés ci-dessous. Dans la suite, ces composés sont appelés «monomère (a1-1-3)» selon le numéro de formule. H Hs Hz H3 Hz CH= CH; CH ch YO “oo 9 da a‘ Yo SA < OH SI a (a1-1-3) (21-26) (a1-4-2) (a1-4-13) (e213) (23-42)
[0202] Exemple de synthèse 1 [Synthèse de la résine A1] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3) et un monomère (a1-2-6) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:24:38 [monomère ( a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en la quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, et le mélange a été polymérisé en chauffant à 85°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p- toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 6 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A1 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 78%. Cette résine A1 a les unités structurelles suivantes.
Hs Hs Lon og toe 5 A Yp ©
[0203] Exemple de synthèse 2 [Synthèse de la résine A2] On a utilisé un monomère (a1-4-2) et un monomère (a1-2-6) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:62 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-2-6)], et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile en tant qu'amorceur a été ajouté en des quantités de 7% en mole sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, puis la polymérisation a été effectuée par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 6 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A2 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,4 x 10° avec un rendement de 89%. Cette résine A2 a les unités structurelles suivantes. E£cH, de 5 Fe A2
[0204] Exemple de synthèse 3 [Synthèse de la résine A3] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-2) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (a1-4-2)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, puis le mélange a été polymérisé par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtraton et par une collecte pour obtenir une résine A3 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 10° avec un rendement de 63%. Cette résine A3 a les unités structurelles suivantes.
to to tou to, "5 m YO OD * A 4 I ÖH
OH O
[0205] Exemple de synthèse 4 [Synthèse de la résine A4] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-13) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (a1-4-13)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en poids) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A4 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,1 x 10? avec un rendement de 61%. Cette résine A4 a les unités structurelles suivantes.
Hs Hz Hs Hs H tof to tou, ou {ch
O © © Yo + H A4
OH OH OH O
[0206] <Préparation d'une composition de résist> Comme le montre le tableau 1, les composants suivants ont été mélangés et le mélange ainsi obtenu a été filtré à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pore de 0,2 um pour préparer des compositions de résist. [Tableau 1] Composition de | _<_ Générateur sem | Qender paps | 4 A1 = B1-43 = I-1 = o° oO a A1 = B1-43 = I-1 = C1 = ° o + A1 = B1-43 = [-1 = ° ° [-1 = + A2 = B1-43 = ° ° Composition 4 10 parties 3,4 parties Da 110°C/120°C partieie + A1 = B1-43 = 1-17 = ° ° + A1 = B1-43 = 1-17 = C1 = ° ° + A1 = B1-43 = 1-17 = ° ° + A2 = B1-43 = 1-17 = ° ° N A2 = B1-43= [1-23 = ° ° + A2 = B1-43 = 1-37 = ° ° + A2 = B1-43 = 1-39 = ° ° + A2 = B1-43 = 1-40 = ° ° ve A4 = B1-43 = I-1 = o o
Composition de | Générateur Quencher D | [Poires u A3 = B1-43= |I-1= ° ° u A3 = B1-43= [1-17 = ° ° u A3 = B1-43= [1-23 = ° ° u A3 = B1-43= [1-37 = ° ° u A3 = B1-43= [1-39 = ° ° we A3 = B1-43 = I-40 = © ° Composition Al = B1-43 = IX-1 = ° ° Composition Al = B1-43 = IX-2 = ° ° Composition A1 = B1-43 = IX-1 = ° ° Composition A1 = B1-43 = IX-2 = ° ° Composition A2 = B1-43 = IX-1 = ° ° Composition A2 = B1-43 = IX-2 = ° ° Composition A3 = B1-43 = IX-1 = ° ° Composition A3 = B1-43 = IX-2 = ° °
[0207] <Résine> A1: Résine A1 <Sel générateur d'acide(B)> B1-43 : Sel représenté par la formule (B1-43) (synthétisé selon les exemples de JP-2016-47815-A) Oo Os A0 X OO” |
<Sel (T)> I-1: Sel représenté par la formule (I-1) I-17: Sel représenté par la formule (I-17) <Agent de désactivation (C)> IX-1: synthétisé selon JP 2017-202993 A IX-2: synthétisé selon les exemples de JP 2018-066985 A C1: synthétisé par le procédé décrit dans JP 2011-39502 A Qu LL 4 € A s O, Co co 5
O (IX-1) (IX-2) 9 (C1) <Solvant> Acétate de monométhyléther de propylèneglycol 400 parties Monométhyléther de propylèneglycol 150 parties y-butyrolactone 5 parties
[0208] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons, développement alcalin) Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons (“ELS-F125 125 keV”, fabriqué par ELIONIX INC.), des motifs de trous de contact (profondeur de trou de 40 nm/diamètre de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes, suivi d'un développement à palette avec une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 2,38% en masse pendant 60 secondes pour obtenir des motifs de résist.
[0209] Dans le motif de résist ansi obtenu après développement, la dose d'exposition à laquelle le diamètre des trous formés a atteint 17 nm a été définie comme sensibilité effective.
[0210] <Evaluation de l'uniformité de CD (CDU)> Dans la sensibilité effective, le diamètre de trou de 17 nm formé en utilisant un masque ayant un diamètre de trou de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois un même trou et la moyenne des valeurs mesurées a été considérée comme le diamètre moyen du trou. L'écart-type a été déterminé dans les conditions où le diamètre moyen de 400 trous des motifs formés en utilisant le masque ayant un diamètre de trou de 17 nm dans la même galette était considéré comme une population.
Les résultats sont présentés dans le tableau 2. La valeur numérique dans le tableau 2 représente l'écart type (nm) de la CDU à chaque exemple.
ableau 2
Comparées aux compositions comparatives 1 à 6, les compositions 1 à 12 présentent un faible écart-type, conduisant à une évaluation satisfaisante de l’uniformité de CD (CDU).
[0211] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons : développement à un solvant organique) Chaque galette de silicium de 6 pouces (15,24 cm) de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons [«ELS-F125 125 keV», fabriqué par ELIONIX INC.], des motifs de trous (profondeur de trou de 40 nm/diamètre de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la tranche tandis que la dose d'exposition était changée par étapes après développement.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes ce qui a été suivi par un développement à l’acétate de butyle (fabriqué par Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) comme révélateur (agent de développement) à 23°C pendant 20 secondes en utilisant le procédé de distribution dynamique pour obtenir un motif de résist.
[0212] Dans le motif de résist ansi obtenu après développement, la dose d'exposition à laquelle le diamètre des trous formés a atteint 17 nm a été définie comme sensibilité effective.
[0213] <Evaluation de l'uniformité de CD (CDU)> Dans la sensibilité effective, le diamètre de trou du motif formé en utilisant un masque ayant un diamètre de trou de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois un même trou et la moyenne des valeurs mesurées a été considérée comme le diamètre moyen du trou. L'écart-type a été déterminé dans les conditions où le diamètre moyen de 400 trous des motifs formés en utilisant le masque ayant un diamètre de trou de 17 nm dans la même galette était considéré comme une population.
Les résultats sont présentés dans le tableau 3. La valeur numérique dans le tableau représente l'écart type (nm) de la CDU à chaque exemple.
[0214] ableau 3 Comparées aux compositions comparatives 7 et 8, les compositions 13 à 19 présentent un faible écart-type, conduisant à une évaluation satisfaisante de l’uniformité de CD (CDU).
[0215] Une composition de résist incluant un sel (I) de la présente invention permet d'obtenir un motif de résist présentant une uniformité de CD (CDU) satisfaisante et est donc utile pour le traitement fin de semi- conducteurs et présente ainsi une utilité industrielle.
[0216] La priorité de la demande japonaise n ° 2020-086254, déposée le 15 mai 2020, dont le contenu est incorporé ici par référence, est revendiquée.

Claims (22)

REVENDICATIONS
1. Un carboxylate représenté par la formule (T) :
A
A O O (I)
D 0, X PMR ns où, dans la formule (I), R!, R2 et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, et -CH>- compris dans le groupe hydrocarboné peut être remplacé par -O-, -CO-,-S- ou -SO--, m1 représente un entier de 0 à 5, et lorsque m1 vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de 0 à 4, et lorsque m2 vaut 2, ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m3 représente un entier de 0 à 3, et lorsque m3 vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et X} représente une liaison, -CH> -, -O-, -S-, -CO-, -SO- ou -SO- -.
2. Le carboxylate selon la revendication 1, dans lequel m1 représente un entier de 1 à 3.
3. Le carboxylate selon la revendication 2, dans lequel au moins un site de liaison de R* est lié en position para relativement au site de liaison de S*.
4. Le carboxylate selon la revendication 2 ou 3, dans lequel au moins un Rt représente :
soit un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'iode et/ou un atome de fluor, et dans lequel un -CH2- compris dans ce groupe peut être remplacé par -O- ou -CO- soit un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
5, Le carboxylate selon la revendication 4, dans lequel au moins un R! représente un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone dans lequel un -CHz- compris dans ce groupe est remplacé par -O- lié à un cycle benzènique.
6. Le carboxylate selon la revendication 4, dans lequel ledit groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone a en outre un ou plusieurs atomes de fluor.
7. Le carboxylate selon l’une quelconque des revendications 2 à 6, dans lequel au moins un R* représente un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
8. Le carboxylate selon l’une quelconque des revendications 2 à 7, dans lequel m1 représente 2 ou 3 et au moins un R* représente un atome d'iode ou un groupe méthyle.
9. Le carboxylate selon la revendication 3, dans lequel R* lié en position para relativement au site de liaison de S* représente un groupe alkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'iode et/ou un atome de fluor et où un -CHz- compris dans ce groupe est remplacé par -O- lié à un cycle benzènique.
10. Le carboxylate selon la revendication 9, dans lequel X* représente une liaison simple.
11. Le carboxylate selon la revendication 1, ledit carboxylate étant représenté par les formules suivantes :
Ah U Dr ss y : È ASE Se TE RE SOS NRN PTE ao Sas, mm „en N ee gp + way 285 mi Dr Le ne eg En 1 KEN 3 Cr Y Das 5 Le te 0458 : Le es U Ge ed a ER LA L. 3 H 2 4 an! A Ses hed ° © Ks MA ST Se” 4273 {305 {ER {Ka
12. Le carboxylate selon la revendication 1, ledit carboxylate etant represente par les formules suivantes : pn CF "+ 9 a Ei) _ Ï Le Ps Deeg SN per Ra > ar Ses fr ; : ON A ac De Su Die es tri 83-373 99)
13. Le carboxylate selon la revendication 1, ledit carboxylate étant représenté par la formule suivante :
5, 200 LA, eN (1-40)
14. Agent de désactivation comprenant le carboxylate selon l’une quelconque des revendications 1 à 13.
15. Composition de résist comprenant l'agent de désactivation selon la revendication 14, une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide et un générateur d'acide.
16. La composition de résist selon la revendication 15, dans laquelle la résine comprenant une unité structurelle incluant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): Lt Ras ar pas C © }=0 | 70 | Le { La / À. {CH} RA Fe £ 7 ï x, (a1-1} (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L°? représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CHz)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyl ayant 1 à 6 atomes de carbone et pouvant avoir un atome d'halogène,
R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl’ représente un entier de 0 à 3.
17. La composition de résist selon la revendication 15 ou 16, dans laquelle la résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide inclut une unité structurelle représentée par la formule (a2-A): R350
HL Im | (a2-A) Sn j OH ( RM) où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A? représente une simple liaison ou *-X2*-(A252-X252) p", et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R°° est lié, A2 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-
nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et lorsque mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
18. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 15 à 17, dans laquelle la résine inclut une unité structurelle (a3) représentée par la formule (a3-4) : got doutes} 5 ° B {a3-4} où, dans la formule (a3-4), L? représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°8-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-O-L°8-0-CO-L°°-O-, L® et L°° représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle, R22* représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R25 représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, wl représente un entier de 0 à 8, et quand wl est 2 ou plus, une pluralité de R°°* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
19. La composition de résist selon la revendication 18, dans laquelle l'unité structurelle (a3) est représentée par les formules suivantes :
Hs Ha Hz CH. Mo Cu Hz CH, Ha CHa 1 ot AH ci ‚Hs Cg 3 C * © , - ; Hete HE HEE TE D > = a ó © ° © SI A A XJ (a3-4-45 : X G (23-46 {a3-4-13 (3:45 34 (a3-4-4) A (23.45) 23-46} Lt! CHz ++ CH, Le zi Le Sl + 5 Le == ö À, OT © D © o S ba 1 he Q Y O Q be jr nd OD DH} 0 a X (83:47) (23-48) A ° 2 2 {a3-4-8} (224-191 (83-411) 5 (83-412)
20. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 15 à 19, dans laquelle le générateur d'acide inclut un sel représenté par la formule (B1) :
QM Z* O3S | AN (B1) > Y Qb2 où, dans la formule (B1), QP? et Q” représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO>- ou -CO-, et
Z' représente un cation organique.
21. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 15 à 20, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
22. Procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l'une quelconque des revendications 15 à 21 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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