BE1028239B1 - Sel, generateur d'acide, composition de resist et procede de production de motif de resist - Google Patents
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Abstract
L’invention a pour objet de fournir un sel capable de produire un motif de résist ayant une uniformité CD (UDC) satisfaisante, un générateur d’acide et une composition de résist incluant ceux-ci. L’invention concerne un sel représenté par la formule (I) telle que définie dans la revendication 1, un générateur et une composition de résist, où R1 et R2 représentent chacun indépendamment un atome d’iode, un atome de fluor ou un groupe fluorure d’alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone; R4, R5, R7 et R8 représentent chacun indépendamment un atome d’halogène, un groupe hydroxy, un groupe haloalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, -CH2- inclus dans le groupe haloalkyle et le groupe alkyle peut être remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SO2-; X1 et X2 représentent chacun indépendamment un atome d’oxygène ou un atome de soufre; m1 représente 1 à 5, m2 et m8 représentent 0 à 5, et m4, m5 et m7 représentent un entier de 0 à 4, où 1 ≤ m1 + m7 ≤ 5, 0 ≤ m2 + m8 ≤ 5; et AI- représente un anion organique.
Description
PRODUCTION DE MOTIF DE RESIST Domaine technique
[0001] La présente invention concerne un sel pour un générateur d'acide, qui est utilisé pour le traitement fin de semi-conducteurs, un générateur d'acide incluant le sel, une composition de résist et un procédé pour produire un motif de résist.
Etat de la technique [0002- Le document non brevet 1 mentionne un sel représenté par la formule suivante.
Do) 05% Le document de brevet 1 mentionne un sel représenté par la formule suivante.
F DDT Ne, |
Ö Documents de l’état de la technique Documents de brevet
[0003] Document de brevet 1 JP 2017-155036 A Documents non brevet
[0004] Document non brevet 1 Org. Lett. 2018, 20, 4458-4461 RESUME DE L'INVENTION PROBLEMES A RESOUDRE PAR L'INVENTION
[0005]
La présente invention fournit un sel capable de produire un motif de résist avec une uniformité CD (CDU) qui est meilleure que celle d'un motif de résist formé à partir des compositions de résist incluant les sels mentionnés ci-dessus.
[0006] La présente invention inclut ce qui suit.
[1] Un sel représenté par la formule (I) : 22 Rôms ar“ ra + (Rs dm D je (I) (R’)m7 où, dans la formule (I), Ri et R° représentent chacun indépendamment un atome d'iode, un atome de fluor ou un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, R+, R°, R/ et RS représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe haloalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH;- inclus dans le groupe haloalkyle et le groupe alkyle peut être remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SOz-, X! et X* représentent chacun indépendamment un atome d'oxygène ou un atome de soufre, m1 représente un entier de 1 à 5, et quand m1 est 2 ou plus, une pluralité de groupes entre parenthèses peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de O à 5, et quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de groupes entre parenthèses peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m4 représente un entier de O à 4, et quand m4 est 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres,
m5 représente un entier de 0 à 4, et quand m5 est 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m7 représente un entier de 0 à 4, et quand m7 est 2 ou plus, une pluralité de R” peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m8 représente un entier de O à 5, et quand m8 est 2 ou plus, une pluralité de R$ peuvent être identiques ou différents les uns des autres, où 1 < m1 + m7 <5, 0 < M + M8 <5, et AT représente un anion organique.
[2] Le sel selon [1], où X* et X? sont un atome d'oxygène.
[3] Le sel selon [1] ou [2], où m1 est 1 ou 2, et m2 est 0, 1 ou 2.
[4] Le sel selon l’un quelconque de [1] à [3], où les sites de liaison de x? et X* sont liés à la position p ou la position m par rapport au site de liaison de I”.
[5] Le sel selon l’un quelconque de [1] à [4], où R* ou R° représente un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou un groupe hydroxy.
[6] Le sel selon l’un quelconque de [1] à [5], où m4 est 2, l’un des deux R* est un atome d'iode ou un atome de fluor, et l’autre est un groupe hydroxy.
[7] Le sel selon l’un quelconque de [1] à [6], où m2 est 0, m8 est 1, et R$ est un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
[8] Le sel selon l’un quelconque de [1] à [6], où m1 et m2 sont 1 ou m1 et m2 sont 2, respectivement.
[9] Le sel selon l'un quelconque de [1] à [8], où AT est un anion d'acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide ou un anion d'acide carboxylique.
[10] Le sel selon l'un quelconque de [1] à [9], où AT est un anion d'acide sulfonique, et l'anion d'acide sulfonique est un anion représenté par la formule (I-A): Q1 - 1 PS (I-A) Q* où, dans la formule (I-A), Qt et Q? représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
Lt représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par un fluor atome ou groupe hydroxy, et Y* représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO>- ou -CO-.
[11] Un générateur d'acide comprenant le sel selon l'un quelconque de [1] à [10].
[12] Une composition de résist comprenant le générateur d'acide selon
[11] et une résine ayant un groupe labile en milieu acide.
[13] La composition de résist selon [12], où la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et d'une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): Lt R24 Le Ra5 = = Lê1 La2 ef Join Rn nt’ (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CHz)x1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-, R%* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et 5 n1' représente un entier de 0 à 3.
[14] La composition de résist selon [12] ou [13], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
[15] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’un quelconque de [12] à [14] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée. EFFETS DE L'INVENTION
[0007] Il est possible de produire un motif de résist avec une uniformité CD (CDU) satisfaisante en utilisant une composition de résist utilisant un sel de la présente invention. MODES DE REALISATION DE L'INVENTION
[0008] Dans la présente description, “monomère (méth)acrylique” signifie au moins un parmi un monomère acrylique et un monomère méthacrylique. Les notations comme « (méth)acrylate » et « acide (méth)acrylique » signifient la même chose. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, concernant les groupes capables d'avoir une structure linéaire et une structure ramifiée, ils peuvent avoir la structure linéaire ou ramifiée. « Dérivé » signifie qu’une liaison C=C polymérisable incluse dans la molécule devient un groupe -C-C- par polymérisation.
Quand -CHz- contenu dans un groupe hydrocarboné ou analogue est remplacé par -O-, -S-, -CO- ou -SO--, le même exemple doit être appliqué à chaque groupe. « Groupe combiné » signifie un groupe dans lequel deux ou plusieurs groupes cités à titre d'exemple sont liés en changeant de manière appropriée leurs valences. Quand il existe des stéréoisomères, tous les stéréoisomères sont inclus.
Dans la présente description, « teneur en solides de composition de résist » signifie le total des teneurs dans lesquelles le solvant (E) mentionné ci-dessous est retiré de la quantité totale de la composition de résist.
[0009] Sel représenté par la formule (I) La présente invention concerne un sel représenté par la formule (I) (dans la suite parfois appelé «sel (I)»).
Dans le sel (I), le côté ayant une charge négative est parfois appelé «anion (T)», et le côté ayant une charge positive est parfois appelé «cation (D». 22 Rôms ar“ ra + (RS) ms m2 A ja m (1) (R’)m7 où tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples de groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pour R* et R* incluent les groupes fluorure d'alkyle comme un groupe trifuorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2- tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3- pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4- octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence 1 à 4, et de préférence encore 1 à 3.
Des exemples d’atome d'halogène pour R*, R°, R’ et RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Le groupe haloalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone pour R*, R°, R/ et R° représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome d'halogène, et des exemples de celui-ci incluent un groupe chlorométhyle, un groupe bromométhyle, un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe haloalkyle est de préférence 1 à 9, de préférence encore 1 à 6, et de préférence encore 1 à 4.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone pour R*, R°, R’ et R3 incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe isobutyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe nonyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence 1 à 9, de préférence encore 1 à 6, et de préférence encore 1 à 4.
Quand -CH2- inclus dans le groupe haloalkyle ou le groupe alkyle représenté par R*, R°, R’ et R® est remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SOz- ‚ le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme nombre total d'atomes de carbone du groupe haloalkyle ou du groupe alkyle. Des exemples de groupe remplacé incluent un groupe hydroxy (un groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe méthyle est remplacé par -O-), un groupe carboxy (un groupe dans lequel -CH2 -CHz- inclus dans le groupe éthyle est remplacé par -O-CO-), un groupe thiol (un groupe dans lequel -CHz- inclus dans un groupe méthyle est remplacé par -S-), un groupe alcoxy (un groupe dans lequel -CHz- inclus à une position quelconque dans le groupe alkyle est remplacé par -O-), un groupe alcoxycarbonyle (un groupe dans lequel -CHz-CHz- inclus à une position quelconque dans le groupe alkyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alkylcarbonyle (un groupe dans lequel -CHz- quelconque inclus à une position dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-), un groupe alkylthio (un groupe dans lequel -CHz- inclus à une position quelconque dans le groupe alkyle est remplacé par -S-), un groupe alkylsulfonyle (un groupe dans lequel -CHz- inclus à une position quelconque dans le groupe alkyle est remplacé par -SOz-), un groupe alkylcarbonyloxy (un groupe dans lequel -CHz-CHz- inclus à une position quelconque dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-O-), et un groupe obtenu en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent les groupes alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe octyloxy, un groupe 2-éthylhexyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence 1 à 6, de préférence encore 1 à 4, et de préférence encore 1 à
3. Des exemples de groupe alkylthio incluent un groupe alkylthio ayant 1 à 12 atomes de carbone, et des exemples de celui-ci incluent un groupe méthylthio, un groupe éthylthio, un groupe propylthio et un groupe butylthio. Le groupe alkylthio a de préférence 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore 1 à 4 atomes de carbone. Des exemples de groupe alkylsulfonyle incluent un groupe alkylsulfonyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et des exemples de celui-ci incluent un groupe méthylsulfonyle, un groupe éthylsulfonyle et un groupe propylsulfonyle. Le groupe alkylsulfonyle a de préférence 1 à 11 atomes de carbone, de préférence encore 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore 1 à 4 atomes de carbone. Le groupe alcoxycarbonyle, le groupe alkylcarbonyle et le groupe alkylcarbonyloxy représentent un groupe dans lequel un groupe carbonyle ou un groupe carbonyloxy est lié au groupe alkyle ou au groupe alcoxy mentionné ci-dessus. Des exemples de groupe alcoxycarbonyle incluent les groupes alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxycarbonyle,e un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues; des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent les groupes alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, par exemple, an acétyle group, un groupe propionyle et un groupe butyryle; et des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent les groupes — alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone, par exemple, un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence 2 à 6, de préférence encore 2 à 4, et de préférence encore 2 ou 3. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence 2 à 6, de préférence encore 2 à 4, et de préférence encore 2 ou3. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence 2 à 6, de préférence encore 2 à 4, et de préférence encore 2 ou 3.
Pour le remplacement du groupe haloalkyle, le même remplacement que le remplacement du groupe alkyle est appliqué.
xt est de préférence un atome d'oxygène.
X? est de préférence un atome d'oxygène.
Le site de liaison de X! et X* peut être la position o, la position m ou la position p par rapport au site de liaison de I” . En particulier, ils sont de préférence liés à la position p ou à la position m, et de préférence encore à la position p, par rapport au site de liaison de I”.
m1 est de préférence 1 ou 2.
m2 est de préférence 0, 1 ou 2.
m4 est de préférence 0, 1, 2 ou 4.
m5 est de préférence 0 ou 1.
m7 est de préférence 0, 1 ou 2, et de préférence encore 0 ou 1.
m8 est de préférence 0 ou 1.
De préférence, R* et R° représentent chacun indépendamment un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe hydroxy, un groupe haloalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone (-CH>- inclus dans le groupe haloalkyle et le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), de préférence encore un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe haloalkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 3 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alcoxy ayant 1 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un atome d'iode, un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
De préférence, R’ et R3 représentent chacun indépendamment un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe hydroxy, un groupe haloalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone (-CH2- inclus dans le groupe haloalkyle et le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), de préférence encore un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe haloalkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un atome d'iode, un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 3 atomes de carbone.
Dans un mode de réalisation, m1 et m2 sont de préférence l’un et l’autre 1, et aussi, dans un autre mode de réalisation, m1 et m2 sont de préférence l'un et l'autre 2.
Dans certains modes de réalisation concernant le cas où m2 est 0, m8 est de préférence 1, et R® est de préférence un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
Dans certains modes de réalisation concernant le cas où m4 est 2, l’un des deux R* est de préférence un atome d'iode ou un atome de fluor et l'autre est de préférence un groupe hydroxy, et le groupe hydroxy est de préférence encore lié à la position p par rapport au site de liaison de I.
[0010] Des exemples de cation (I) incluent les cations suivants.
: Oi COr eo ie Le ç : CC Si ce Ce a x A | IT ea oo” 5 ; Ha oa es dg eu
[0011] a pen < ess A, © ; O0,
LU. 01 OD] XX © © X (I-c-22) (I-c-23) (I-c-24)
R R (I-c-25) (I-c-26) (I-c-27) DO, east es C.
0 QG. (I-c-28) (I-e-29) Le LG SE QA ° ° 0 SI G, (I-c-30) (I-e-31) @ LG, 0, (I-c-32)
+ où OX @ OÖ.
N CL (I-c-33) (I-c-34) I (I-c-35) hace À DL 0 DL © (I-c-36) (I-c-37) (I-c-38)
M © © La, 7 A pK
I I ©“. XL, HO Î Î OH (I-c-39) I (I-c-40) (I-c-41)
[0012] Des exemples d'anion organique représenté par AT incluent un 5 anion d'acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion d'acide carboxylique. De préférence, l'anion organique représenté par AI est chacun indépendamment un anion d'acide sulfonique, et de préférence encore, l’anion organique est chacun indépendamment un anion représenté par la formule (I-A): Lu "O3S L X _ DE y1 (I-A) Q2 où, dans la formule (I-A), Qt et Q? représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, Lt représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et Y* représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO>- ou -CO-.
[0013] Dans un anion représenté par la formule (I-A), lorsque -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est considéré comme le nombre d'atomes de carbone dans le groupe hydrocarboné saturé.
Lorsque -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S0>2- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est considéré comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique.
[0014] Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbones pour Qt et Q* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec- butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, Q* et Q* sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, ils sont Tun et l'autre des atomes de fluor.
[0015] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L‘ incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en combinant deux ou plusieurs de ces groupes.
Des exemples spécifiques incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane- 1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane- 1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, un groupe dodécane-1,12-diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14-diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16-diyle et un groupe heptadécane-1,17-diyle; des groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; des groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et des groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0016] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L* est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (b1-1) à la formule (b1-3). Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3) et les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-11) qui sont des exemples spécifiques, * et ** représentent un site de liaison, et * représente une liaison à -Y*.
[0017] xx N b3 *% OA + „Oo —* Ne So , DS, b4 T * DL b6 b7
Ö (b1-1) (b1-2) (b1-3) Dans la formule (b1-1), LP? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de LP? et LP* est 22 ou moins.
[0018] Dans la formule (b1-2), LP* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP5 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L°* et LP est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-3), LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, LP” représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L°° et LP” est 23 ou moins.
[0019]
Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3), quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de LP?, LP? est de préférence une simple liaison.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor.
LP5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP6 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor.
LP7 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L! est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (b1-1) ou la formule (b1- 3).
[0020] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-1) incluent les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-8).
O O X b11 | b12 Ao tE, Aer * EE (b1-4) (b1-5)° (b1-6) 9 X b16 O AO SONO arr Sp b187*
O O (b1-7) (b1-8) Dans la formule (b1-4), LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy.
Dans la formule (b1-5), LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et -CH;- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[P19 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP? et LP! est 20 ou moins.
Dans la formule (b1-6), LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, [P12 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! et LP? est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-7), [P13 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone,
[P1* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, [P15 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné Saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP13 à LP est 19 ou moins.
Dans la formule (b1-8), [P16 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LP17 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, [P18 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP19 à 1918 est 19 ou moins.
[0021] LPS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP? est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P19 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P11 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P12 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P13 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
[P1* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[P15 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
[P16 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
[P17 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[P18 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0022] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-3) incluent les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11). * O lt AS SOSE NÉ UE 26”
O (b1-9) (b1-10) (b1-11) Dans la formule (b1-9), [P19 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP20 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou —CO- ‚ et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP? et LP20 est 23 ou moins.
Dans la formule (b1-10), [P?! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné Saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, [P?? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- ‚et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! , L°?? et LP23 est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-11), LP2% représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP25 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP26 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH2- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou -CO- , et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP2% LP25 et LP25 est 21 ou moins.
[0023]
Dans les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
[0024] Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues.
[0025] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-4) incluent les suivants:
Q Q Q H3
[0026] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-5) incluent les suivants: a Q O 0 O 0 Q xk ® Aorta. Arthy Aorta Se ee Q d CH, Ata Ae AE AT O CH3 CH3 CH3 CH3 O CHs 9 - , u AH As Le AH A A HK
[0027] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-6) incluent les suivants:
OQ O IS * Ab Ar 3
O OQ Do A Ate uf uf OQ *
[0028] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-7) incluent les suivants:
H ANNE Ady À, M NP, O Hs O
Q Q À, en An 8 Dr AD SOIT Ig AA Gee: ADA
[0029] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-8) incluent les suivants:
A O #* x 0 O Ak To* x DA ot x te VE”
[0030] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-2) incluent les suivants: > + x * N _ X se He Hose AA Ao , 9 F F Hz
[0031] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-9) incluent les suivants:
F F Hs
[0032] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-10) incluent les suivants: Ha Hz Hs Ha Lo + CA. rd Ee xk Hs DE Hz “0 _ OBE RE dg oe on de F F F F F Fa
OH H Hz F Fa F Fa OQ. dote F Fa 0 À Fe AE dE At Oo Ö Ö Ô Cr OH
[0033] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-11) incluent les suivants: Hz O O 7
F F F F co T dk dk H ho H F F Ha F F3 F ÇFa
H E F 2 F F F Te 6 à & 4
OH 5
[0034] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y* incluent les groupes représentés par la formule (Y1) à la formule (Y11) et la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CH;- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y* est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples d'un tel groupe incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y43). * représente un site de liaison à L!.
[0035] Os A5 VD 02) (3) (9 (5) (19) (7) 8 (Y9) (10) (M) Oms ARD Orde do 3 FO A AJ + b 9 Y14) (115) (V6 vi > va, (20) (22) 12 013) (Y14) (Y16) (Y17) {(Y18) (19) (Y20) 094600 99920 #0 o 9 I 7 7, Np ss ae 79 (Y23) (Y24) (v25) (26) ans (2) 029) 0130) 03), 32) (39)
O “0 O ï + O N 7 O DO AO À x I (Y34) (Y35) (Y36) (Y37) (ya8) (Y39) (Y40) (Yan) (Y42) (Y43)
Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y! est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Y1) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y43), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43).
Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y? est un cycle spiro ayant un atome d'oxygène, comme la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène a de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure de cétal, il est préférable qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0036] Des exemples de substituant du groupe méthyle représenté par Y! incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz ); a -CO-O-R?! ou un groupe -(CHz); a -O-CO- RP! (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ja représente un entier de 0 à 4, -CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe hydroxy ou un atome de fluor).
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y* incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone qui peut être substitué avec un groupe hydroxy, (-CHz- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CH2);a-CO-0-RP? ou un groupe - (CH )ja-O-CO-R°* (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ja représente un entier de 0 à 4, -CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SOz- ou - CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe hydroxy ou un atome de fluor).
[0037] Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12, et de préférence encore de 3 à 10.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant 1 à 18 atomes de carbone qui a un groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-méthylphényle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.) et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 3 à 18 atomes de carbone qui a un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14, de préférence encore de 6 à 10. Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent les groupes hydroxyalkyle tels qu'un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples de groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent un groupe alcoxy, un groupe alkylsulfonyle, un groupe alcoxycarbonyle, un groupe alkylcarbonyle, un groupe alkylcarbonyloxy, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylsulfonyle incluent un groupe méthylsulfonyle, un groupe éthylsulfonyle, un groupe propylsulfonyle et analogues. De préférence, le groupe sulfonyle a 1 à 12 atomes de carbone, de préférence encore 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore 1 à 4 atomes de carbone.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy et analogues.
Des exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkyle incluent les groupes alcoxyalkyle tels qu'un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe éthoxyméthyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alcoxy incluent les groupes alcoxyalcoxy tels qu'un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalcoxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyle incluent les groupes alcoxyalkylcarbonyle tels qu'un groupe méthoxyacétyle, un groupe méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle, un groupe éthoxypropionyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyle est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5.
Des exemples de groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy avec un groupe alkylcarbonyloxy incluent les groupes alcoxyalkylcarbonyloxy tels qu'un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy, un groupe éthoxypropionyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyloxy est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5. Des exemples de groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35), la formule (Y39 ) à la formule (Y43) et analogues.
[0038] Des exemples de Y* incluent les suivants. LE eh Le ak Ss EE Aa A (Y100) * * x (Y101) (Y102) (Y103) (Y104) , (v105) (106)
0. Oo Be A AR AE AS PD Hd O 0 ° O (109) % (110) 9 011 * (Y107) x (108) oO 0 oO , 42 4 09 4 Sn
EEE A (Y112) OH (Ya2) © (Y113) (Y114) (Y115) (Y116) CHs Hz H3C CHa HO H O *_r gode A Sb Los
OH (Y11) (Y4) (Y117) (Y118) (Y119) (Y120) (Y121) (Y122) (Y123) (Y15) (Y124) JE 4 *_4 CH „AM os 6 F Ct ST 7 (Y125) (Y126) (Y127) gk (Y128) a (Y129)
F F F F “Ge Th C D. AS 0 0 oO Q oO DF 7 3 A ò Fe À Lo a a ET (Y130) (131) (Y132) (133)
[0039] Y* est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique substitué avec un groupe hydroxy, et de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CHz- constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(O)>- ou -CO -. Spécifiquement, Y! est de préférence un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle ou les groupes représentés par la formule (Y42) et la formule (Y100) à la formule (Y114), et de manière particulièrement préférable un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle, un groupe incluant ces groupes, ou les groupes représentés par la formule (Y42), la formule (Y100) à la formule (Y114).
[0040] L'anion représenté par la formule (I-A) est de préférence les anions représentés par la formule (I-A-1) à la formule (I-A-59) [dans la suite parfois appelé «anion (I-A-1)» selon le numéro de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (I-A-1) à la formule (I-A-4), la formule (I-A-9), la formule (I-A-10), la formule (I-A-24) à la formule (I-A-33), la formule (I-A-36) à la formule (IA-40) et la formule (I-A-47) à la formule (IA-59).
[0041]
OH OH O 1 2 al a? La <0 | Se os YT | A41 O ° O 9 (I-A-1) (I-A-2) (I-A-3) a! La? Qt La? Re QQ O O 9 (I-A-4) (I-A-5) (T-A76) Ris al Q2 ol La? a To 9 On A4 _ O N = >LA41 035 Vs, A41 035 O3S ï L 0 O 0 0
O (I-A-7) (I-A-8) (T-A-9)
[0042]
OH _ 1 2 O,S “AM a X ale? - “| A41 - O O-Szo Os 7 ><P 5 OSD
O (I-A-10) (I-A-11) (I-A-12) Oo OH 10? al a? Q oo 2 g 2 _ © 70,57 S< ae OÙ 3 _ © Kp POF Ö OS A FSF 0 (I-A-13) (I-A-14) (I-A-15)
O ai az OH 1002 OH So Ao 5 ko on ee T Vo O 098 ESF
O aL? (I-A-16) CRE AM (I-A-18) FSF 0 (I-A-17)
OH al? al a? OO _ Oo. © a! La? OH Os welk 7 > AH „a Ak ae OS FF -A- (T-A-19) O (I-A-20) (I-A-21)
[0043]
OH Q Q2 OH a! Q? Q! * _ wi 70 To où ë EN YT Ré 3 | A41 A41 O
F F OH L OH L (I-A-22) (I-A-23) (I-A-24) ol Lo? oO CHs eu 2 O CH - os 0 os LAU ° 0 O 0 O
O O (I-A725) (I-A-26)
OH 1 | al 1,0? © CHs Q F 07 Yo Fan OS Q 0 LAM . LA _ YT SLAM ° "0,8 , “o CF3 O3S de O CF
Ö CF F © 070 oge ° L Con (I-A-27) (I-A-28) CH3 (I-A-29) 3
[0044] O0 0 ris O . Spis - Q Vo. A41 a! SuM LL = + os" L os Oo O O AUS? os I-A-31 (I-A-30) ( ) ° (I-A-32) Os OO
T RB O O Q! Q2 R7 Qt O Q! O - O. a41 - LA41 - F LA41 038 L OS >07 So OS “oO 0 CF Cf (I-A-33) (I-A-34) (I-A-35)
F OH 2 al 2 o ale at A - O _ O 7 os" 0 A 0,57 0 SL
O O O (I-A-36) (I-A-37) (I-A-38) 1,0 ° ol ol Q O _ O Ri2 = 0,57 7 os os Ô O oO (T-A-39) (I-A-40) (I-A-41)
A es al ,0° Î _ O _ SE ND os \.
Ö Ö (I-A-42) (I-A-43) a Ea 7 1 Q2 _ opd) T$ 715$ 3
O O o © (I-A-44) (I-A-45) (I-A-46)
[0045] O, Oo dn TS, ò TV 04 TS B F | a! a Oo Qt à 0 a! a Oy Come So os 9 (T-A-47) 9 (I-A-48) ° (I-A-49) Af A Me X Qi p p OH
HO 61% 67% ò A Ma A © al à Oo al 2 O „SM DO SEN (I-A-50) ° (I-A-51) © (I-A-52) + o 0 ai 92 9 © O ° osn TE sa TE SY mA Eau (I-A-53) 0 (I-A-55) (I-A-54) 0
Q OH <> CS
O O O 1 n2 O a! à ele Or 0 = O-, A41 0487101441 0.4 LA
O O (I-A-56) HL (I-A-57) Tod
O O O O 1 n2 Oo ET 20 GSO 0487410144
O O (I-A-58) (I-A-59)
[0046] R à RU représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R® est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, ou les groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone. Q* et Q? sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques d'anion représenté par la formule (I-A) incluent les anions mentionnés dans JP 2010-204646 A.
[0047] Des anions représentés par la formule (I-A) préférés sont les anions représentés par la formule (I-a-1) à la formule (I-a-38).
HO A Du AN A Ae O -03S | 10 "038 O 035 O (I-a-1) O (I-a-2) (I-a-3)
O CH Ae o Ae o recto. ° Lo, > | > _ NN O8" YT CHz -O4S 7 o 038 O3S 6 u
O O O O O-S50 > O O (I-a-6) (I-a-7) (I-a-4) (I-a-5)
CH AF 0 O ch RF N 9 3 A 0° \ ° TT - o Fr od
O O 5 N — CF3 À oss O O F O 2 (I-a-8) (I-a-9) ra (I a 10) CHs
OH 9 CH A CH F oO O -0.S Oo 3 7038 O O AE ot, Doy PET O3S F O F O 2
CH (I-a-11) ° (I-a-12} (T-a-13)
F O0 00 F OO Oso, 0 F
FL OF F F 0 Ar O - O 3 os Dr Ff g 5
Ô OT (I-a-14) O (I-a-15) (I-a-16)
HO ep se ‘ A eh De -03S O . 3 Ö 0, O8 ç
Ô (I-a-17) (I-a-18) (I-a-19)
[0048]
L F Co Fo CE 035 038 FF Ö 3 Ö > 0 O -C= “04S > O SO 3 6 (I-a-20) (I-a-21) (I-a-22)
[0049]
HO OH IP Ag 5
FF FF FF ces 0, ae or (I-a-23) (I-a-24) (I-a-25) > ;
0. > FL FFo 035 7035 7038 (I-a-26) 9 (I-a-27) 9 (I-a-28) _ Fo » at ST 3 T
O (I-a-29) (I-a-30) >< 0 KF X KF 9 "038 0 os 7 7 SX 9 CH 2. Ö (I-a-31) (I-a-32) (I-a-33) (I-a-34)
KF OÙ RF X os) 08°
O O (I-a-35) (I-a-36) RAF Ao od "O3S "O3S (I-a-37) (I-a-38)
[0050] Parmi ceux-ci, un anion représenté par l'une quelconque de la formule (I-a-1) à formule (I-a-3), la formule (I-a-7) à la formule (I-a-19) et la formule (I-a-22) à la formule (I-a-38) est préférable.
[0051] Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par AI incluent les suivants. F2 £Fs F2C=C CF3 - O2} CF 023 F2 025 CF2 O2S— CF, 0,s—C, he de de AL SZ O2S-CF3 os: 02 KG OS F» ot Fo F3 F,C-C-CF3 F2
[0052] Des exemples d'anion sulfonylméthide représenté par AT incluent les suivants. fs F26-CF3 O2S-CF O,S-CF O2S-CF O2 5 3 F9 O0, an 2 F3G Fa O0, an 2 F3C-S T$ F3C—C —s T$ FoC-C -8 T$ O2S-CF3 O,S CF O,S CF LE; F,C-CF3
[0053] Des exemples d'anion d'acide carboxylique représenté par AI incluent les suivants. nets mA he A id O4 ‘ Ae : CH 9 Ô _ _ = _ O- F 8 - on FPT E'E FR
[0054] Des exemples spécifiques de sel (I) incluent les sels obtenus en combinant éventuellement les cations et anions mentionnés ci-dessus. Des exemples spécifiques de sel (T) sont présentés dans le tableau suivant.
Dans le tableau suivant, les symboles respectifs représentent des symboles conférés à des structures montrant les anions et cations mentionnés ci-dessus, et « à » indique que chacun du sel (I) et de l'anion (I) correspond à l'autre. Par exemple, le sel (I-1) est un sel composé d'un anion représenté par la formule (I-a-1) et d'un cation représenté par la formule (I-c-1), le sel (I-2) est un sel composé d'un anion représenté par la formule (I-a-2) et d'un cation représenté par la formule (I-c-1), et le sel (1-39) est un sel composé d'un anion représenté par la formule (I-a-1) et d'un cation représenté par la formule (I-c-2).
| +
CO a, 00 0
[0055]
ableau 1 (I-1179) à (I-1216) (I-a-1) à (I-a-38) (I-c-32)
[0056] Parmi ceux-ci, le sel (I) est de préférence un sel obtenu en combinant un anion représenté par l’une quelconque de la formule (I-a-1) à la formule (I-a-4), de la formule (I-a-7) à la formule (I-a-11), de la formule (I-a-14) à la formule (I-a-30) et de la formule (I-a-35) à la formule (I-a-38) avec un cation représenté par lune quelconque de la formule (I-c-1) à la formule (I-c-41), et spécifiquement, le sel (I) inclut de préférence le sel (I-1) au sel (I-4), le sel (I-7) au sel (I-11), le sel (I-14) au sel (1-30), le sel (1-35) au sel (I-38), le sel (1-39) au sel (I-42), le sel (I- 45) au sel (I-49), le sel (1-52) au sel (1-68), le sel (I-73) au sel (I-76), le sel (I-77) au sel (I-80), le sel (I-83) au sel (I-87), le sel (I-90) au sel (I- 106), le sel (I-111) au sel (I-114), le sel (I-115) au sel (I-118), le sel (I- 121) au sel (I-125), le sel (I-128) au sel (I-144), le sel (I-149) au sel (I- 152), le sel (I-153) au sel (I-156), le sel (I-159) au sel (I-163), le sel (I- 166) au sel (I-182), le sel (I-187) au sel (I-190), le sel (I-191) au sel (I- 194), le sel (I-197) au sel (I-201), le sel (I-204) au sel (I-220), le sel (I- 225) au sel (I-228), le sel (I-229) au sel (1-232), le sel (I-235) au sel (I- 239), le sel (I-242) au sel (I-258), le sel (I-263) au sel (I-266), le sel (I- 267) au sel (I-270), le sel (I-273) au sel (I-277), le sel (I-280) au sel (I- 296), le sel (I-301) au sel (I-304), le sel (I-305) au sel (1-308), le sel (I- 311) au sel (I-315), le sel (I-318) au sel (I-334), le sel (1-339) au sel (I- 342), le sel (I-343) au sel (1-346), le sel (1-349) au sel (I-353), le sel (I- 356) au sel (I-372), le sel (I-377) au sel (I-380), le sel (I-381) au sel (I- 384), le sel (I-387) au sel (I-391), le sel (I-394) au sel (I-410), le sel (I- 415) au sel (I-418), le sel (1-419) au sel (I-422), le sel (I-425) au sel (I- 429), le sel (I-432) au sel (I-448), le sel (I-453) au sel (I-456), le sel (I- 457) au sel (I-460), le sel (I-463) au sel (I-467), le sel (I-470) au sel (I- 486), le sel (I-491) au sel (I-494), le sel (I-495) au sel (I-498), le sel (I- 501) au sel (I-505), le sel (I-508) au sel (1-524), le sel (I-529) au sel (I- 532), le sel (I-533) au sel (I-536), le sel (I-539) au sel (1-543), le sel (I- 546) au sel (I-562), le sel (1-567) au sel (1-570), le sel (I-571) au sel (I- 574), le sel (I-577) au sel (I-581), le sel (I-584) au sel (I-600), le sel (I- 605) au sel (I-608), le sel (I-609) au sel (I-612), le sel (I-615) au sel (I- 619), le sel (I-622) au sel (1-638), le sel (1-643) au sel (I-646), le sel (I- 647) au sel (I-650), le sel (I-653) au sel (I-657), le sel (I-660) au sel (I- 676), le sel (I-681) au sel (I-684), le sel (I-685) au sel (I-688), le sel (I-
691) au sel (I-695), le sel (I-698) au sel (I-714), le sel (I-719) au sel (I- 722), le sel (I-723) au sel (I-726), le sel (I-729) au sel (I-733), le sel (I-
736) au sel (I-752), le sel (I-757) au sel (I-760), le sel (I-761) au sel (I- 764), le sel (I-767) au sel (I-771), le sel (I-774) au sel (I-790), le sel (I-
795) au sel (I-798), le sel (I-799) au sel (I-802), le sel (I-805) au sel (I- 809), le sel (I-812) au sel (I-828), le sel (I-833) au sel (I-836), le sel (I-
837) au sel (I-840), le sel (I-843) au sel (I-847), le sel (I-850) au sel (I- 866), le sel (I-871) au sel (I-874), le sel (I-875) au sel (I-878), le sel (I-
881) au sel (I-885), le sel (I-888) au sel (I-904), le sel (I-909) au sel (I-
912), le sel (I-913) au sel (I-916), le sel (I-919) au sel (I-923), le sel (I- 926) au sel (I-942), le sel (I-947) au sel (I-950), le sel (I-951) au sel (I- 954), le sel (I-957) au sel (I-961), le sel (I-964) au sel (I-980), le sel (I-
985) au sel (I-988), le sel (I-989) au sel (I-992), le sel (I-995) au sel (I- 999), le sel (I-1002) au sel (I-1018), le sel (I-1023) au sel (I-1026), le sel
— (I-1027) au sel (I-1030), le sel (I-1033) au sel (I-1037), le sel (I-1040) au sel (I-1056), le sel (I-1061) au sel (I-1064), le sel (I-1065) au sel (I-1068),
le sel (I-1071) au sel (I-1075), le sel (I-1078) au sel (I-1094), le sel (I- 1099) au sel (1-1102), le sel (I-1103) au sel (I-1106), le sel (I-1109) au sel (I-1113), le sel (I-1116) au sel (I-1132), le sel (I-1137) au sel (1-1140), le sel (I-1141) au sel (I-1144), le sel (I-1147) au sel (I-1151), le sel (I-1154) au sel (I-1170), le sel (I-1175) au sel (I-1178), le sel (I-1179) au sel (I- 1182), le sel (I-1185) au sel (1-1189), le sel (I-1192) au sel (I-1208), le sel (I-1213) au sel (1-1216), le sel (I-1217) au sel (I-1220), le sel (I-1223) au sel (I-1227), le sel (I-1230) au sel (I-1246), le sel (I-1251) au sel (I-1254),
le sel (I-1255) au sel (I-1258), le sel (I-1261) au sel (I-1265), le sel (I- 1268) au sel (1-1284), le sel (I-1289) au sel (I-1292), le sel (I-1293) au sel (I-1296), le sel (I-1299) au sel (1-1303), le sel (I-1306) au sel (I-1322), le sel (I-1327) au sel (I-1330), le sel (I-1331) au sel (1-1334), le sel (I-1337)
au sel (1-1341), le sel (I-1344) au sel (I-1360), le sel (1-1365) au sel (I-
1368), le sel (I-1369) au sel (I-1372), le sel (I-1375) au sel (I-1379), le sel (I-1382) au sel (I-1398), le sel (I-1403) au sel (I-1406), le sel (I-1407) au sel (I-1410), le sel (I-1413) au sel (I-1417), le sel (I-1420) au sel (I-1436),
le sel (I-1441) au sel (I-1444), le sel (I-1445) au sel (I-1448), le sel (I- 1451) au sel (1-1455), le sel (I-1458) au sel (I-1474), le sel (I-1479) au sel
(1-1482), le sel (I-1483) au sel (I-1486), le sel (I-1489) au sel (I-1493), le sel (I-1496) au sel (I-1512), le sel (I-1517) au sel (I-1520), le sel (I-1521)
au sel (1-1524), le sel (I-1527) au sel (I-1531), le sel (I-1534) au sel (I- 1550) et le sel (1-1555) au sel (1-1558).
[0057] <Procédé pour produire le sel (> Le sel (I) peut être produit par réaction d’un sel représenté par la formule (I-a) avec un sel représenté par la formule (I-b) dans un solvant: - Al RA R2 (RS) ns cl R1 Rol Rs ia R 4 1 Le (RS) m5 L © (Ra 7 (I-b) (R’)m7 (I-a) (5 (Rn A “ < ,
BJ À (RÉ) ms m2 (RÉ) m1 (R’)mr (I) où tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, R*, RB et RC représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, ou R*, RB et R“ peuvent se combiner pour former un cycle aromatique, et RP représente un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone. Des exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène, l'acétonitrile, l'eau et analogues. La température de réaction est habituellement de 15°C à 80°C, et le temps de réaction est habituellement de 0,5 à 24 heures.
[0058]
Des exemples de sel représenté par la formule (I-b) incluent les sels représentés par les formules suivantes. Ces sels peuvent être facilement produits par les procédés mentionnés dans les documents JP 2011-116747 A et JP 2016-047815 A, ou un procédé de production connu.
Les bet AK rbe NH ® 038 NH ® O3 NH ® OS A a re bots a >, S © \ 9 0 Aue NH ® 5, NH8 03:8 Ale / T6 a AA LR > Sas
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[0059] Il est possible de produire un sel représenté par la formule (I-a) par réaction d’un sel représenté par la formule (I-c), d'un composé représenté par la formule (I-d1) et d’un composé représenté par la formule (I-d2) en présence de carbonate de potassium dans un solvant: R1 (RB)me C1 (R“)ma x (I-d1) F my F ; + at m2 ] A m UE m2 xl a (I-c) (R5) ms (I-d2) R2 (RS) ms _ Ri | x2 1 X1 1 m1 (RS) m5 m2 LP (Ré) (R’)m7 (I-a) où tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus. Des exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène, l'acétonitrile, l’eau et analogues. La température de réaction est habituellement 15°C à 100°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0060] Des exemples de sel représenté par la formule (I-c) incluent les sels représentés par les formules suivantes, qui sont aisément disponibles sur le marché. _ ci er er cl CC. à ca 1
F CG F F F cr ci ci ci © DO Vol F 5 F F F
[0061] Des exemples de composé représenté par la formule (I-d1) et de composé représenté par la formule (I-d2) incluent les composés suivants, qui sont aisément disponibles sur le marché.
R R I Ho} Ho} ode Dal ode
F F I I I, Ho er DD on
[0062] Il est possible de produire le sel représenté par la formule (I-a) par réaction d'un sel représenté par la formule (I-e), d’un composé représenté par la formule (I-f1) et d'un composé représenté par la formule (I-f2) en présence d'une base dans un solvant: R1 m1
F - (R*)ma (Rôm € (I-f1) + HX2 ' X'H + R ——— m2 m1 m2 7 F (R’)m7z RS) (I-e) (R°)ms (I-f2) | B 1% t x, | x? x" 5 m1 Pos /m2 (Bme (R’)m7z (I-a) où tous les symboles sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples de base incluent l’'hydroxyde de potassium, l’hydrure de sodium et analogues.
Des exemples de solvant incluent le chloroforme, le monochlorobenzène, l’acétonitrile, l’eau et analogues.
La température de réaction est habituellement 15°C à 100°C, et la durée de réaction est habituellement 0,5 à 24 heures.
[0063] Des exemples de sel représenté par la formule (I-e) incluent les sels représentés par les formules suivantes, qui sont aisément disponibles sur le marché.
‚el + cr | | OÙ, ee @,
[0064] Des exemples de composé représenté par la formule (I-f1) et de composé représenté par la formule (I-f2) incluent les composés représentés par les formules suivantes, qui sont aisément disponibles sur le marché.
R 1 I 1 ++ 0 À 4 À 0e
[0065] <Générateur d’Acide> Le générateur d'acide de la présente invention inclut le sel (I). Le sel (I) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs peuvent être utilisés en combinaison.
Le générateur d'acide de la présente invention peut comprendre, en plus du sel (I), un générateur d'acide connu dans le domaine des résists (dans la suite parfois appelé «générateur d'acide (B)»). Le générateur d'acide (B) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs générateurs d'acide peuvent être utilisés en combinaison.
[0066]
Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique incluent les esters sulfonates (par exemple, ester 2- nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, N- sulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques de générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples d'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
[0067] Des exemples spécifiques de générateur d'acide (B) incluent les composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US No.
3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0068] Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (B1) (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B1)” : ab + -0-S 191 21° OS | ALA, (81) des où, dans la formule (B1), QPt et Q” représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH2- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z1* représente un cation organique.
[0069] Des exemples de QP! et Q®?, LP! et Y dans la formule (B1) incluent ceux qui sont les mêmes que Qt, Q*, Lt et Y* mentionnés ci-dessus dans la formule (T-A).
Des exemples d'anion d'acide sulfonique dans la formule (B1) incluent ceux qui sont identiques à l'anion représenté par la formule (I-A).
[0070] Des exemples de cation organique pour Z1* incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préférable encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé “cation (b2-1)" selon le numéro de la formule) et analogues.
[0071] (RP) (RPT) 2 Re S (RS (Re u2 RP) 1/(u2+1) (b2-1) (b2-2) (b2-3) (b2-4) Dans la formule (b2-1) à la formule (b2-4), RP* à RDS représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy,
et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP* et RP5 peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP* et RP5 sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP7 et R® représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 5,
quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de R” peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de RS peuvent être identiques ou différents,
R® et RP! représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
R® et RO peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP? et RP! sont liés, et -CH:- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RPH représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
RP! représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, RPH et RP? peuvent être liés l’un à l’autre pour former un cycle, incluant -CH-CO- auquel RP!? et R”? sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, RS à RP! représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, LP3! représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène, 02, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0à5, q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4, u2 représente 0 ou 1, et quand 02 est 2 ou plus, une pluralité de RP** sont identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!* sont identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!5 sont identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de RP! sont identiques ou différents.
[0072] Le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne de RP? à RP!” à de préférence 1 à 12 atomes de carbone. Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des «exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants. En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique de RP? à RP? à de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
[0073] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins. Le groupe fluorure d'alkyle représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome de fluor, et des exemples de celui- ci incluent un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, de préférence encore de 1 à 4.
[0074]
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique qui a un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle etc.).
Quand le groupe hydrocarboné aromatique a un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
[0075] Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe meéthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propyl- carbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyl-
oxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy.
[0076] Le cycle formé en liant RP* et R® l’un à l’autre, avec les atomes de soufre auxquels RP* et R°° sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut, par exemple, les cycles suivants et analogues. * représente un site de liaison.
k 4 3 A E à À: © : 9 ‚bh GR
[0077] Le cycle formé en combinant RP? et RP! peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Le cycle inclut, par exemple, un cycle thiolan-1- ium (un cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-1-ium, un cycle 1,4- oxathian-4-ium et analogues.
Le cycle formé en combinant RE“ et RE? peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0078] Parmi le cation (b2-1) au cation (b2-4), un cation (b2-1) est préférable.
Des exemples de cation (b2-1) incluent les cations suivants et analogues.
6 C2H5 Et Ô CeH43 CgH47 of % où "à à of of (b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) (b2-c-5) (b2-c6) | (b2-0-7) (b2-c8) Hs Hs Hs -CaHg -CaH9 © © Ce O O (4 Hels helst (Os CHA OE st (Sb OÖ dd 050 CH _—c- t-C,H, (b2-c-14) (b2-c-9) (b2-0-10) H217 9201) (02-13) [ 0079] H CH; | | © Q CO OOH Olo ot of à « + + 9% SZ 5 “A 5 © (b2-c-15) (b2-c-16) (02-c-17) 2D) (2019) (b2-c-21) (b2-c-22) Ç 0 (b2-c-20) + + + O 5 S % ® © O GE] HOT AED @ (2 (9 62023) (02024) (b2-0-28) 2626) (b2-0-27) 6207 (b2-c-48) (b2-c-49) F3 R nes H £ A 2 CF3 F FF (b2-c-51) (b2-c-52) (b2-c-53)
[0080] Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants et analogues. + + + DK) + IX »— > TX > L FA (b2-c-28) (b2-c-29) (b2-c-30) (b2-c-50)
[0081] Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants et analogues. e (b2-c-31) (b2-c-32) (b2-c-33) (b2-c-34)
[0082] Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants et analogues. Ha (4 (4 4 (2 DD den Asen HAD (2 U) U) (2 (b2-c-35) (b2-c-36) (b2-c-37) (b2-c-38) Hs Ha "> Ha
Q Q U = ©; @ QD (b2-c-39) (b2-c-40) HG (b2-c-41) HaC (b2-c42) t-C4Ho tC4Hs t-C4He t-CaHo U v, (2 (2 OO 0-00 300 ZOO (9 v (b2-c-44) (y @ (b2-c-46) (b2-c-43) toa (02045) og 000 (b2-c-54)
[0083] Le générateur d'acide (B) est une combinaison de anion mentionné ci-dessus et du cation organique mentionné ci-dessus, et ceux- ci peuvent être éventuellement combinés. Le générateur d'acide (B) inclut de préférence une combinaison d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (I-a-1) à la formule (I-a-3), et de la formule (I- a-7) à la formule (I-a-16), la formule (I-a-18), la formule (I-a-19) et de la formule (I-a-22) à la formule (I-a-38) avec un cation (b2-1), un cation (b2-3) ou un cation (b2-4).
[0084] Le générateur d'acide (B) inclut de préférence ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-56). Parmi ces générateurs d'acide, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-3), la formule (B1-5) à la formule (B1-7), la formule (B1-11) à la formule (B1-14), la formule (B1-20) à la formule (B1-26), la formule (B1-29) et la formule (B1-31) à la formule (B1-56) sont particulièrement préférables.
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[0088]
Q Q H © SS © ES (B1-49) (B1-50) (B1-51) OH O H#L oO en + PPS SR pa 5 SJ 08° "OX Oz (81-59) (B1-53) (B1-54) od 4 CI ES Po OT Ss (B1-55) O (B1-56)
[0089] Lorsque le sel (I) et le générateur d'acide (B) sont inclus comme générateur d'acide, un rapport de la teneur du sel (I) et celle du générateur d'acide (B) (rapport massique; sel (I):générateur d'acide (B)) est habituellement de 1:99 à 99:1, de préférence de 2:98 à 98:2, de préférence encore de 5:95 à 95:5, de préférence encore de 10:90 à 90:10, et de manière particulièrement préférable de 15:85 à 85:15. Dans la composition de résist de la présente invention, la teneur totale du générateur d'acide est de préférence 1 partie en masse ou plus et 45 parties en masse ou moins, de préférence encore 3 parties en masse ou plus et 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 5 parties en masse ou plus et 35 parties en masse ou moins, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A) mentionnée ci-dessous.
[0090] <Composition de résist> La composition de résist de la présente invention inclut un générateur d'acide incluant un sel (I) et une résine ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “résine (A)"). Le “groupe labile en milieu acide” signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, en convertissant ainsi une unité constitutive en une unité constitutive ayant un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
La composition de résist de la présente invention inclut de préférence un agent de désactivation comme un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (dans la suite appelé parfois “agent de désactivation (C)"), et inclut de préférence un solvant (dans la suite appelé parfois “solvant (E)”).
[0091] — <Résine (A)> La résine (A) inclut une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a1)"). II est préférable que la résine (A) inclue en outre une unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1). Des exemples d'unité structurelle autre que l'unité structurelle (al) incluent une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (s)"), une unité structurelle autre que l'unité structurelle (a1) et l'unité structurelle (s) (par exemple une unité structurelle ayant un atome d'halogène mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a4)"), une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant mentionnée ultérieurement (dans la suite appelée parfois “unité structurelle (a5)”)) et d'autres unités structurelles dérivées de monomères connus dans la technique.
[0092] <Unité structurelle (a1)> L'unité structurelle (al) est dérivée d'un monomère ayant un groupe labile en milieu acide (dans la suite appelé parfois “monomère (a1)”). Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite aussi appelé groupe (1)) et/ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite aussi appelé groupe (2)): 9 Ral * O C—O Ra? (1) ma na pas où, dans la formule (1), R°*, R°? et R23 représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, ou R°* et R°° sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec les atomes de carbone auxquels R°* et R°° sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment 0 ou 1, et au moins l'un de ma et na représente 1, et * représente un site de liaison:
8} RaT’ Le 0— x —R (2) na' Ra? où, dans la formule (2), R°* et R°7 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R23 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°* ‘et R23 sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec les atomes de carbone et X auxquels R22' et R°*° sont liés, et -CH; - inclu dans le groupe hydrocarboné et le cycle hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou -S-, X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na’ représente 0 ou 1, et * représente un site de liaison.
[0093] Des exemples de groupe alkyle pour R“*, R22 et R33 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues. Des exemples de groupe alcényle dans R*, R°2 et R° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues. Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*, R°2 et R® peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R°*, R22 et R2? est de préférence de 3 à 16.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique dans R*, R® et R°5 incluent les groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples de groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple, un groupe cycloalkylalkyle), les groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicycligue (un groupe p- cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), les groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. De préférence ma est 0 et na est 1.
Lorsque R et R* sont liés l'un à l'autre pour former un cycle hydrocarboné non aromatique, des exemples de groupement -C(R°)(R3*)(R°*) incluent les cycles suivants. Le cycle hydrocarboné non aromatique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente un site de liaison à -O- .
; ras . Ras ; Ras , pas , Ras
[0094] Des exemples de groupe hydrocarboné dans RŸ, R2 et R incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle et de groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R*!, R2 et R, Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples de groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), les groupes aralkyle tel qu’un groupe benzyle, les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyl-6-éthylphényle, etc.), les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p- cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), les groupes arylcycloalkyle tel qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand R° et R°* sont liés l'un avec l'autre pour former un cycle hétérocyclique avec les atomes de carbone et X auxquels R?” et R°* sont liés, des exemples de -C(R°*)(R°*)-X-R°* incluent les groupes suivants. *représente un site de liaison.
' ' a1' a1’ a1’ a1’ al’ 56 600 t Au moins Vun de R°* et R° est de préférence un atome d'hydrogène.
na’ est de préférence 0.
[0095] Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), R°*, R22 et R°* sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert- butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), R2 et R* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels R* et R° sont liés, R°* est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1. Un groupe où, dans la formule (1), R2 et R° sont chacun indépendamment un groupe alkyle, R® est un groupe adamantyle, ma = 0 etna=l. Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente un site de liaison. 676 16 1076 0 voro 40440601 y * + + Z , x : 5 * * rbrbrebrbrodioh 1 NL “6% ro 9 © |
ZEHNTE Ab 6 5 ob 0 > ® PO O0 A Tb Pb ON
[0096] Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente un site de liaison.
AA A SPA ae ae ps ae AP TO , a TO Ar OD AT
AR AKA SV mo OO 7 To rr
[0097] Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0098] Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (al) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0099] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a1-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-0), une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-1)) ou une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-2)). De préférence, l'unité structurelle est au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a1-1) et une unité structurelle (a1-2). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison.
Ls Ra01 Ls R24 ar Ra5 C = C = C El
O O O La01 La La2 roi | ra MG tm el Frot Ra04 nT! (a1-0) (a1-1) (a1-2) Dans la formule (a1-0), la formule (a1-1) et la formule (a1-2), [201 12! et L22 représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>)y:-CO-O-, kl représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-, RO R°* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pouvant avoir un atome d'halogène, R°02, R° et R°°* représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl' représente un entier de 0 à 3.
[0100] RO R°* et R°° sont de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
[20 L°* et L° sont de préférence un atome d'oxygène ou * -O- (CH>)ko1-CO-O- (où kO1 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et de préférence encore un atome d'oxygène.
Des exemples de groupe alkyle, de groupe hydrocarboné alicyclique, de groupe hydrocarboné aromatique et de groupes obtenus en combinant ces groupes dans R°, R°* et R°%* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R*! à R de la formule (1).
Des exemples de groupe alkyle, de groupe alcényle, de groupe hydrocarboné alicyclique, de groupe hydrocarboné aromatique et de groupes obtenus en combinant ces groupes dans R°° et R? incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R2:, R°° et R de la formule (1).
Le groupe alkyle dans R°°°, R°°* et R°°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Le groupe alkyle dans R°° et R°7 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t- butyle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique de R°°, R°* et R°* est de préférence de 5 à 12, et de préférence encore de 5 à 10.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique de R°°, R203, R°°*, R° et R? est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
Le nombre total d'atomes de carbone du groupe obtenu en combinant le groupe alkyle avec le groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
Re? et R23 sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle.
R°* est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
R°° et R? sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle ou un groupe phényle. m1 est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1. nl est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1. nl’ est de préférence 0 ou 1.
[0101] L'unité structurelle (a1-0) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1- 0-18) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a1-0) est substitué avec un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe haloalkyle (groupe alkyle ayant un atome d'halogène) ou un autre groupe alkyle et est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-10), la formule (a1-0-13) et la formule (a1-0-14). Hz Hs 3 3 3 3 HS HS fe en PT à à (a1-0-1) (a1-0-2) (a1-0-3) (a1-0-4) @105) me “fon de SF tot “fon tot tod} ò (a1-0-8) (a1-0-9) 5 (a1-0-11) (a1-0-12) Pf dt JET ke Ja O+ OL OL (a1-0-13) (a1-0-14) (a1-0-15) (a1-0-16) (a1-047) 0,
[0102] L'unité structurelle (a1-1) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans le document JP 2010-204646 A. Parmi ces unités structurelles, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1- 1-7) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a1-1) est substitué avec un atome d'hydrogène sont préférées, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1-1-4) est préférable encore.
Hs Hs Hs CH Hs {or} Hof} Hage} Lo HD D De (a1-1-1) (a1-1-2) (a1-1-3) (a1-1-4)
H H H te} dE} TEST 7 vs (a1-1-5) (a1-1-6) (a1-1-7)
[0103] Des exemples d'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-2-1) à la formule (a1-2-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R® dans l'unité structurelle (a1-2) est substituée avec un atome d'hydrogène et les unités structurelles représentées par la formule (a1-2-2), la formule (a1-2-5), la formule (a1-2-6) et la formule (a1-2-10) à la formule (a1-2-12) sont préférables.
Hs CH3 CH3 Hs CH3 Ha CH3 Hs CH3 te: CH3 FE AS fitte} te > | O O Q O ° X Oo (a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) H, CHs H, CHs + CHs H2 CH3 Le CHs | Hz CH3 1e SS) + Lo | 3 O + =O 6 O te + | d d d TO CO vO Xp, vO (a1-2-7) (a1-2-8) (a1-2-9) (a1-2-10) (a1-2-11) (a1-2-12)
[0104] Lorsque la résine (A) inclut une unité structurelle (a1-0), sa teneur est habituellement de 5 à 60 mol%, de préférence de 5 à 50 mol%, et de préférence encore de 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A). Lorsque la résine (A) inclut une unité structurelle (a1-1) et/ou une unité structurelle (a1-2), sa teneur totale est habituellement de 10 à 95 mol%, de préférence de 15 à 90 mol%, de préférence encore de 20 à 85 mol%, de préférence encore de 25 à 80 mol%, et de préférence encore de 30 à 75 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0105] Dans l'unité structurelle (a1), des exemples d'unité structurelle ayant un groupe (2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a1-4) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a1-4)»): H Ras? Le — aa (a1-4) Ra34 a O-R838 (R de 12 où, dans la formule (a1-4),
R222 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R23 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou * -X®_ (ABX, et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R222 est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°31 et X°°2 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -0-CO-, nc représente 0 ou 1, la représente un entier de 0 à 4, et quand la est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R°°* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et R°%* et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R836 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R33 et R°° sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -C- O- auquel R°* et R2% sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par - O- ou -S-.
[0106] Des exemples d'atome d'halogène dans R* et R233 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle,
un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe _ perfluorohexyle.
R222 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans R°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R23 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy, un groupe tert-butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples de groupe alcoxyalkyle dans R233 incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples de groupe alcoxyalcoxy dans R°°* incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthyle ou un groupe éthoxyéthyle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle dans R23 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy dans R°°* incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R233 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0107] Des exemples de *-X°°!-(a232-X252)e- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-0-A332-CO-0-, *-0-CO-A332-0-, *-0-A332-CO-0-, *-CO-0-A%32-0- CO- et *-0-CO-A?32-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-0-A332-CO-0- ou *_Q-A332-CO-O- est préférable. Des exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2 méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle. A3? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène. A°° est de préférence une simple liaison, * -CO-O- ou * -CO-O- A232-CO-O-, de préférence encore une simple liaison, * -CO-O- ou * -CO- O-CHz-CO- O-, et de préférence encore une simple liaison ou * -CO-O-. la est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans R®**, R°°° et R#® incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique. Des «exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison). ©0022 09-09-00 Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples de groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple un groupe cycloalkylalkyle), les groupes aralkyle tels qu’un groupe benzyle, les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicycligue (un groupe p- cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), les groupes aryl- cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. En particulier, des exemples de R°°° incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe formé en combinant ces groupes.
[0108] R°3* est de préférence un atome d'hydrogène, et R°35 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbones, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné de R°°° est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou un groupe formé en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique aliphatique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*° sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans R236 est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone.
[0109] -OC(R2**)(R255)-0-R3°6 dans l'unité structurelle (a1-4) est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy.
-OC(R23*)(R235)-0-R23% est de préférence lié à la position ortho ou à la position para du cycle benzénique, et de préférence encore à la position para.
[0110] L'unité structurelle (a1-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-18) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à R222 dans l'unité structurelle (a1-4) est substitué avec un groupe méthyle, un atome d'halogène, un groupe haloalkyle ou d'autres groupes alkyle, et de préférence encore les unités structurelles représentées par la formule (a1- 4-1) à la formule (a1-4-5), la formule (a1-4-10), la formule (a1-4-13) et la formule (a1-4-14).
te TETE PET PET OLO, 79 ne TO ord A © owe (a1-4-1) (a1-4-2) (a1-4-3) (a1-4-4) (a1-4-5) 14. Y dab PE dE rg EE EE © ; CH Ÿ OCH 4 CH 4 Gre OLO. Bot yo 1 T 0 ie Q £ (a1-4-8) (a1-4-9) (a1-4-10) (a1-4-11) (a1-4-12)
EE DELTA TER 4 oon X H oo 4 ton HO 4 OH ro OH ok otho Y = 1 To T ed of OH (a1-4-13) (a1-4-14) (a1-4-15) (a1-4-16) (a1-4-17) (a1-4-18)
[0111] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-4), la teneur est de préférence 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore de 20 à 70 mol%, et de manière particulièrement préférable 20 à 60 mol%, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0112] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (2) inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (a1-5) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-5)").
H, a8
C LE! a1 SM (a1-5) |-53 s1' Dans la formule (a1-5),
R°8 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène.
Z°! représente une simple liaison ou *-(CH>)p3-CO-L°*-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente une site de liaison à L°, L°t, L LS et L°* représentent chacun indépendamment -O- ou -S-, s1 représente un entier de 1 à 3, et sl’ représente un entier de 0 à 3.
[0113] L'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et est de préférence un atome de fluor. Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (a1-5), R® est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle, L° est de préférence un atome d'oxygène, L'un de L” et L** est de préférence -O- et l'autre est de préférence -S-, s1 est de préférence 1, sl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et zt est de préférence une simple liaison ou *-CHz-CO-O-.
[0114] L'unité structurelle (a1-5) inclut par exemple les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) à la formule (a1-5-4) sont préférées, et les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) ou la formule (a1-5-2) sont préférables encore.
Hz CH H2 H Hz CH3 Ho H
A AE Q Q Ss Q S © D © DV (a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4)
[0115] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0116] L'unité structurelle (a1) inclut également les unités structurelles suivantes. © Oo 5 D M on Ko (a1-3-1) (a1-3-2) (a1-3-3) (a1-3-4) (a1-3-5) @198) (a1-3-7)
[0117] Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles mentionnées ci- dessus telles que (a1-3-1) à (a1-3-7), la teneur est de préférence de 10 à 95 mol%, de préférence encore 15 à 90 mol%, de préférence encore 20 à 85 mol%, de préférence encore 20 à 70 mol%, de préférence encore 20 à 60 mol%, et de préférence encore 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0118] <Unité Structurelle (s)> L'unité structurelle (s) dérive d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé «monomère (s)»). II est possible d'utiliser, comme monomère dont dérive l’unité structurelle (s), un monomère n’ayant pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine des résists. L'unité structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Lorsqu'une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois dénommée "unité structurelle (a2)") et/ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a3)>) est utilisée dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhérence à un substrat.
[0119] <Unité Structurelle (a2)> Le groupe hydroxy appartenant à l'unité structurelle (a2) peut être un groupe hydroxy alcoolique ou un groupe hydroxy phénolique.
Lorsqu'un motif de résist est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, dans le cas de l'utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie tels qu'un laser excimère KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou une lumière ultraviolette extrême (EUV), une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est préférable encore d'utiliser l’unité structurelle (a2-A) mentionnée ci-dessous. Lors de l'utilisation d'un laser excimère ArF (193 nm) ou analogue, il est préférable encore d'utiliser une unité structurelle (a2-1) ou une unité structurelle (a2- A) mentionnée dans la suite comme unité structurelle (a2). L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0120] Dans l'unité structurelle (a2), des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a2-A)»): Lt: ras {. A (a2-A) Jor (RS)
où, dans la formule (a2-A), R°59 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R®1 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X°°*-(A852-X252) ap", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R°*° est lié, A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°1 et X252 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2! peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0121] Des exemples d'atome d'halogène dans R°*° et R°* incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R°® incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle.
R°50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle dans R°** incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples de groupe alcoxyalkyle dans R°** incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples de groupe alcoxyalcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle dans R°* incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy dans R°* incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R°51 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0122] Des exemples de *-X°°!-(A2°2-X252) p- incluent *-O-, *-CO-0-, *-O- CO-, *-CO-O-A3?-CO-O-, *-O-CO-A3?-O-, *-O-A°*?-CO-O-, *-CO-0-A°**-0- CO- et *-0-CO-A2°2-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-0-A92-CO-0- ou *-O-A352-CO-O- est préférable.
[0123] Des exemples de groupe alcanediyle incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2- diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2 méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
A: est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-A8*- CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-CH>- CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
[0124] mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de de préférence encore 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para d'un cycle benzénique, et de préférence encore la position para.
[0125] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A.
[0176] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-1) à la formule (a2-2-16), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R350 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-1) à la formule (a2-2-16). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6) une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R2°° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-6), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2- 2-14), de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3) , une unité structurelle représentée par la formule (a2-2- 8), les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène, un atome d'halogène, un groupe haloalkyle ou d'autres groupes alkyle dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3) ou une unité structurelle représentée par la formule (a2- 2-8) et les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-12) à la formule (a2-2-14), et de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°°° dans l'unité structurelle (a2- A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8).
ie en Jon ESF PET ò ô, de OH & ET ò, Su H
OH H OH OH H (a2-2-1) (a2-2-2) (a2-2-3) (a2-2-4) (a2-2-5) (a2-2-6) (a2-2-7) (a2-2-8) eg OH du” Ho Ho | HT en dk U eu (a2-2-9) (a2-2-10) | (a2-2-11) (a2-2-12) (a2-2-13) (a2-2-14) (a2-2-15) (a2-2-16)
[0127] Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (a2-A) est de préférence 5 à 80 mol%, de préférence encore 10 à 70 mol%, de préférence encore 15 à 65 mol%, et de préférence encore 20 à 65 mol%, et de manière préférable encore 20 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles. L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par polymérisation, par exemple avec une unité structurelle (a1-4) et traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique. L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par polymérisation avec l'acétoxystyrène et traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium.
[0128] Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l’unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a2-1)”).
H, Ra14
O 165 (a2-1) en
H Ra16 Dans la formule (a2-1),
L°* représente -O- ou *-O-(CH>)z-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, RA1* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, RS et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et 01 représente un entier de 0 à 10.
[0129] Dans la formule (a2-1), L°* est de préférence -O- ou -O-(CH>)r,-CO- O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-, R?! est de préférence un groupe méthyle, R3!5 est de préférence un atome d'hydrogène, RS est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0130] L'unité structurelle (a2-1) inclut, par exemple, des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-1-6) est préférable, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2- 1-4) est préférable encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-1-1) ou la formule (a2-1-3) est préférable encore.
Ha CHs H2 H Hz CHs Ha H [es Je H EE + + Des Do Do De >
OH H (a2-1-1) (a2-1-2) (a2-1-3) (a2-1-4) OD. D-
OH H (a2-1-5) (a2-1-6)
[0131] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-1), la teneur est habituellement de 1 à 45 mol%, de préférence de 1 à 40 mol%, de préférence encore de 1 à 35 mol%, de préférence encore de 2 à 20 mol% et de préférence encore de 2 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0132] <Unité structurelle (a3)> Le cycle lactone appartenant à l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle B-propiolactone, un cycle y- butyrolactone ou un cycle à-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle y- butyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de y-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) suivante est cité à titre d'exemple.
[0133] L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses: Ra18 Ra19 Ra20 ie Font + Louk + test Teef aa ai / xa3 a6 LA7 Lex pt /as | sm 5 ©
O Ö (a3-1) (a3-2) (a3-3) (a3-4) où, dans la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4), L°*, L°° et L°° représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CH»)(3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7) L°” représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°°-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-0-L3-0-CO-L°-0-, L® et L” représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle,
RAS R°19 et R°2 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°2* représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, X°* représente -CHz- ou un atome d'oxygène, R°21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, R222 R°23 et R°°° représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, p1 représente un entier de 0 à 5, q1 représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, w1 représente un entier de 0 à 8, et quand pl, q1, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de R°**, R322 R°° et/ou R°°° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0134] Des exemples de groupe hydrocarboné aliphatique dans R°°*, R°2, R223 et R°°° incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans R2?* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle dans R°°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans R82* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
[0135] Des exemples de groupe alcanediyle dans L® et L°° incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4- diyle.
[0136] Dans la formule (a3-1) à la formule (a3-3), de préférence, L* à Lë° sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un entier de 1 à 4 dans *-O-(CH2)(3-CO-O-, de préférence encore -O- et *-O- CHz-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène, R818 à R°! sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, R222 et R°°* sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, p1, q1 et r1 sont chacun indépendamment un entier de0àz2,et de préférence encore 0 ou 1.
[0137] Dans la formule (a3-4), R°°* est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°7° est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, L” est de préférence -O- ou *-O-L°°-CO-O-, et de préférence encore -O-, -0-CH2-CO-0- ou -0-C:H4-CO-0-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3- 4)":
Ra24 CH Gt T ° b=o I (a3-4)' °
O où R°°* et L# sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
[0138] Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-1-1), la formule (a3-1-2), la formule (a3-2-1), la formule (a3- 2-2), la formule (a3-3-1), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-1) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à R°1$, R°1°, R220 et R°°* dans la formule (a3-1) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
[0139] Hz CHs Hz Hz Hz Hz Hz Hz Test 0 ST © Pr © tnt © tr 0 tt 0 Pr] 0 7 0 Oo O US À, 27 0%, be od AT | Bas 4 OR as (a3-1-1) (a3-2-1) & (83-201) (es) &Z (a3-1-2) (a3-22) (a3-2x-2) san) Ho CH Ho CH He CH, He CH, = H 2 CHz Cl 3 C. 3 C C.
SE EEN TR RT A9 0 Ô 0. O. ô Le pe Ä t 9 Oo 0 0 22 43 Ô Oo 23-4- (a3-4-1) (342) 0.42) en % (00-452 (a3-4-6) H2 H H Hz Ho Ha c.LH3 cè £Hs c2 EH: c2 £Hs CL LHs c* £Ha + en eu HE+ Eu TE | a © © L L À 2 % (a3-4-7) (a3-4-8) ô LL L (a3-4-9) (a3-4-10)d/ (a3-4-11) Ô (a3-4-12)
[0140] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement de 5 à 70 mol%, de préférence de 10 à 65 mol%, et de préférence encore de 10 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A). Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-1), de l'unité structurelle (a3-2), de l'unité structurelle (a3-3) ou de l'unité structurelle (a3-4) est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence encore de 5 à 50 mol%, et de préférence encore de 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0141] <Unité structurelle (a4)> Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent l’unité structurelle suivante: Le R41
C = | (a4)
O Nous où, dans la formule (a4), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R°? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome d'halogène, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou —CO-. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé représenté par R* incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0142] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0143] Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-0), une unité structurelle représentée par la formule (a4-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): R54 ton + (a4-0)
O À aa / | 3a \Le4 où, dans la formule (a4-0), R°* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L* représente une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone,
L* représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et R$ représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[0144] Des exemples de groupe alcanediyle dans L* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle et un groupe butane-1,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle.
[0145] Des exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L® incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropane-1,1-diyle, un groupe perfluoropropane-1,3-diyle, un groupe perfluoropropane-1,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5- diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane- 3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-1,6-diyle, un groupe perfluoro- hexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-1,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle, un groupe perfluorooctane-1,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle, un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe = perfluoro- cyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0146] L® est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3 est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0147] Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a4-0) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes :
H H H bte | Ed Ed F2 F2 BHO FF CF3 F2 HF2 F3 F2H (a4-0-5) (a4-0-6) (a4-0-1) (a4-0-2) (a4-0-3) (24-0-4)
H H St St te St St SH St F3 2F5 Fo F2 De F3 Fa F3 F2 aF17 (a4-0-7) (a4-0-8) F3 (a4-0-9) (a4-0-10) (a4-0-11) (a4-0-12)
H H H H Petri ft HE CaFs fs CaFs ds Dé eF13
F (a4-0-13) (a4-0-14) f WA (a4-0-16)
[0148] ä4#1 Ha R {Le { ns) ó wen qu (241) od pat où, dans la formule (a4-1),
R3* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R°*2 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-,
A: représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-g1), dans lequel au moins l'un de A°* et R?*? a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor) :
+ ii 3) Kot a44__ 4e (a -G à )
Js où, dans la formule (a-g1),
s représente 0 ou 1,
A° et A? représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
A? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant,
xe et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, -CO- O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de A, AB A31 x24! et X°*2 est 7 ou moins, et
* représente un site de liaison et * sur le côté droit représente un site de liaison à -O-CO-R3**,
[0149] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans R°** incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0150] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
» PP LM) LD LCD GED Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle et analogues.
[0151] Des exemples de substituant qui peut être possédé par R** incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et un atome de fluor est préférable: + —X243— 245 (a-g3)
où, dans la formule (a-g3), x2*3 représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-O-CO- ou *-CO-O-, A: représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à R°.
Dans R°*2-x2*3_02*5, quand R°*? n'a pas d'atome d'halogène, A? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0152] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans A°* incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycligues comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison). © O0 0-02-0000 Des exemples de groupe formé par combinaison incluent un groupe obtenu en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0153] R°*2 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand R?*? est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préférable, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préférable encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préférable encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préférable. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues. Quand R°* est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de R°*2 est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a- g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1.
[0154] Quand R°* est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), R°* est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2) : + ——pP246__ya44__ na47 (a-g2) où, dans la formule (a-g2), A?% représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X? représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à A2%%), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de A°*°, A37 et X°** est 18 ou moins, et au moins l'un de A°* et A°* à au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
[0155]
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé pour A°*° est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé pour A? est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et A?” est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0156] Les structures préférées du groupe représenté par la formule (a-g2) sont les structures suivantes (* représente un site de liaison à un groupe carbonyle).
EF Fo F2 F2 F2 Q F, Q ‚ Q SAR ee AAO EAD NO AMD
[0157] Des exemples de groupe alcanediyle dans A?*? incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe 1- méthylbutane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
Des exemples de substituant dans le groupe alcanediyle représenté par A°* incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
A?! est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0158] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A’, A° et A°* dans le groupe représenté par la formule (a-g1) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent monocyclique, et les groupes formés en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe 1- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle et analogues.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A, A? et A°** incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
s est de préférence 0.
[0159] Dans le groupe représenté par la formule (a-g1), des exemples de groupe dans lequel X?*? est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans des exemples suivants, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** représente un site de liaison à -O-CO-R°*, Do ok Abo os 4 AA 0 oO
O O O Ô O O A A © > Aa Ae
[0160] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à A°* dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
H H H H H dot Pf Jo Je} Pf HE + +, 0, ox. 0% ox. HF» 3 FH 2 CF. 2 F, 2 F, 2 (a4-1-1) (a4-1-2) (a4-1-3) (a4-1-4) HFz F3 (a4-1-5) (a4-1-6) Hs Hs pel Hs H [et fr [et et: 0 Pe}
O O 2 2 2 2 F F, CF, FF AP F
F F HG CF3 2 CHF, 2 Fo F F (a4-1-7) (a4-1-8) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
[0161]
H H H H H H te} SS Pl Fi Pt HS} 9 F 9 +, +, 9 F $ F, 2 F, F2 F, 2 F, 2 F, 2 F, 2 oF? ° 5 + ° > oF? A (a4-1'-1) (a4-1'-2) (a4-1'-3) (a4-1'-4) 4 CH (a4-1'-5) (a4-1'-6) 3 } H H H Ph PR pj PA PH $
O O fa À, +, + À, 2 O 2 era F, 2 (a4-1'-7) (a4-1"-8) (a4-1"-9) (24-110) (a4-1-11)
[0162] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-3): H2 RS
O O y (a4-2) Do où, dans la formule (a4-2), R® représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L* représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, R® représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L* et R® est 21.
[0163] Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone de L‘* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour n°, Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R' incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°.
Le groupe alcanediyle dans L** est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0164] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à RÉ dans l'unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène est également cité à titre d'exemple d'unité structurelle représentée par la formule (a4-2) :
[0165] Ha OR" +4
Q O ls © (a4-3) 1“ O nf X où, dans la formule (a4-3), R représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L° représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, AS représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, X? représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à AB), Af* représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Afl a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, AFS et Alt est 20.
[0166] Des exemples de groupe alcanediyle dans L° incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés dans le groupe alcanediyle pour A°*,
[0167] Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans A est de préférence un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant éventuellement un atome de fluor et un groupe hydrocarboné alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné aliphatique divalent ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle. Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique.
Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexane- diyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornane- diyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0168] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour AF* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°#2, Parmi ces groupes, sont préférables les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe — perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0169] Dans la formule (a4-3), L° est de préférence un groupe éthylène.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent de AS est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné saturé de A** est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, Af!* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0170] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-3) inclut, par exemple, les unités structurelles représentées par la formule (a4-1"-1) à la formule (a4-1"-11). Une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R” dans l'unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène est également citée à titre d'exemple d'unité structurelle représentée par (a4-3).
[0171] Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (a4), une unité structurelle représentée par la formule (a4-4):
LT a (a4-4) Re où, dans la formule (a4-4),
Rf?! représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, A! représente -(CH2)j1-, -(CH2);-O-(CH2};3- ou -(CH2);s-CO-O- (CH2);s-, jl à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et R22 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0172] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé de R* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par R°°. RP? est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0173] Dans la formule (a4-4), A”! est de préférence -(CH»)1-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0174] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans l'unité structurelle (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
F Ton} Jon EG Jon EE Jon ES T PT O O O O O oO
O F3 E F2 F F2 F2 EH F2 HF, EA 3 2 F pe, 2 E
F Jen CF Jen CCE Jen CE Jon CE ton {St Jen OH
O O Ed? Fa Ed"? 9 9 F3 F, 2 F2 2 pt pt F, F2 a. F3 F, F5 Fa Fo F2 Fo F3 F3 F3
[0175] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0176] <Unité structurelle (a5)> Des exemples de groupe hydrocarboné non partant appartenant à l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique. L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-1) : 1 Le a5-1 0 (a5-1) \ 55 / R52 où, dans la formule (a5-1), R°? représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R°? représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et L°° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0177] Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R° peut être monocycligue ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R” est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
[0178] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L” incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préférable.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique polycyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0179] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L°° est remplacé par -O- ou -CO- inclut, par exemple, les groupes représentés par la formule (L1-1) à la formule (L1-4). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun une liaison, et * représente un site de liaison à un atome d'oxygène.
a 12 LB LÉ LS 16 En pc 9 Spa Sk ge LA ge ea > (L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4)
[0180] Dans la formule (L1-1), X représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à L), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L* est 16 ou moins.
[0181] Dans la formule (L1-2), LS représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L** est 17 ou moins.
[0182] Dans la formule (L1-3), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone,
L$ et L représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L®, L$ et LV est 15 ou moins.
[0183] Dans la formule (L1-4), L8 et L° représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone, W* représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de Lê L‘° et W* est 15 ou moins.
[0184] Lt est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
LS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LD est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
LV est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L*° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène. W* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0185] Le groupe représenté par la formule (L1-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
Q H CHs Hs O kok O oO … Ha 9 … + + ; XL y AS A CH Ha CHs
[0186] Le groupe représenté par la formule (L1-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. CH3 Hs 3 , A0 Aho” Aho Aho , Aho”
[0187] Le groupe représenté par la formule (L1-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. CH3 0 x* ON xx TAA AT De (DANS 0 CH3
[0188] Le groupe représenté par la formule (L1-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. OT og re * Ö x Q xk x xk DS DIS M9
[0189] L° est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (L1-1).
[0190] Des exemples d'unité structurelle (a5-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a5-1) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes.
H H H H H H Ter : pr = DH 3 ter : ter 3 Teng 3 oO O oO (a5-1-1) (a5-1-2) (a5-1-3) (a5-1-4) (a5-1-5) (a5-1-6)
H H H H H ten 3 ot Hs en 3 tent 3 erg 5 Tet 5 O oO O (a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12)
[0191] Hs Hs Hs Hs Hs Hs ef} a ae He a Hef} (a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18)
Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
<Unité structurelle (a6)>
[0192] L'unité structurelle (a6) est une unité structurelle ayant un groupe - SO--, et de préférence a un groupe -SOz- dans la chaîne latérale.
L'unité structurelle ayant groupe -SOz- peut avoir une structure linéaire ayant un groupe -SOz-, une structure ramifiée ayant un groupe - SO2- ou une structure cyclique ayant un groupe -SOz-. La structure cyclique ayant un groupe -SOz- peut être une structure monocyclique ou polycyclique. Une unité structurelle ayant une structure cyclique ayant un groupe —SO->- est préférable, et une unité structurelle ayant une structure cyclique (cycle sultone) contenant —SOz-O— est préférable encore.
[0193] Des exemples de cycle sultone incluent les cycles représentés par les formules (T1-1), les formules (T1-2), les formules (T1-3) et les formules (T1-4) suivantes. Le site de liaison peut être à une position quelconque. Le cycle sultone peut être un type monocyclique, mais c'est de préférence un type polycyclique. Le cycle sultone polycyclique signifie un cycle de pontage contenant -S02-0- comme groupe d'atomes constituant le cycle, et des exemples de celui-ci incluent les cycles représentés par les formules (T1-1) et (T1-2). Comme le cycle représenté par la formule (T1-2), le cycle sultone peut contenir en outre un hétéroatome en plus de -SO2-O- comme groupe d'atomes constituant le cycle. Des exemples d'hétéroatome incluent un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un atome d'azote, et un atome d'oxygène est préférable.
Q jo O 1 O (T1-1) (T1.2) (T*-3) (T1-4)
[0194] Le cycle sultone peut avoir un substituant, et comme substituant, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Des exemples de celui-ci incluent un groupe alcoxy ayant 1 à 12, un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone et un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe décyle, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Des exemples de celui-ci incluent un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle et un groupe triiodométhyle, et de préférence un groupe trifluorométhyle.
Des exemples de groupe alkyle ayant un groupe hydroxy incluent un groupe hydroxyalkyle comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe 2-hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Le groupe aryle inclut un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe p-adamantylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cumyle, un groupe mésityle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Les groupes incluent les groupes 2,6-diéthylphényle et les groupes 2-méthyl-6-éthylphényle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples de groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe dans lequel un groupe alcoxy comme un méthoxycarbonyle et un groupe éthoxycarbonyle est lié à un groupe carbonyle, de préférence un groupe alcoxycarbonyle ayant 6 atomes de carbone ou moins, et de préférence encore un groupe méthoxycarbonyle. Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
[0195] Un cycle sultone n'ayant pas de substituant est préférable du point de vue selon lequel le monomère duquel l’unité structurelle (a6) est dérivée peut être produit aisément.
Comme cycle sultone, un cycle représenté par la formule (T1") suivante est préférable.
X (RÉ) ma CED (T1) io © Dans la formule (T1'), x!! représente un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un groupe méthylène.
R* a un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, et un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
ma représente un entier de 0 à 9. Quand ma est 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents.
Le site de liaison de R* est à une position quelconque du cycle sultone.] x! est de préférence un atome d'oxygène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
Des exemples de R* incluent ceux similaires au substituant du cycle sultone, et un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui peut avoir un atome d’'halogène ou un groupe hydroxy est préférable.
[0196] Comme cycle sultone, le cycle représenté par la formule (T1) est préférable encore. (T1) 0—5=0 & Dans la formule (T1), RS représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, ou un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
m représente un entier de 0 à 9. Quand m est 2 ou plus, la pluralité de R8 peuvent être identiques ou différents. Le site de liaison de (R3m est à une position quelconque d'un cycle sultone.
RS est le même que R.
Le ma dans la formule (T1) et m dans la formule (T1) sont de préférence 0 ou 1, et de préférence encore 0.
[0197] Des exemples de cycle représenté par la formule (T1') et de cycle représenté par la formule (T1) incluent les cycles suivants. Le site de liaison est à une position quelconque.
Hsc FHz CHs CH, CHs p CHs HG HaC H3C
HC & & A 8 ô & 10 io
Q Q Q Q CH CH, 3 4 ® À Hs Hsc H3C —S>, HsC Sz, O-S —s HC 0 0 jo 10 —j=o —ÿ=0 — SO
[0198] L’unite structurelle ayant un cycle sultone a de preference les groupes suivants. * représente le site de liaison dans les groupes suivants. , > î CH * Hz x, H3C CH3 CHs ZZ, 7 7 ® 4, HaC 1 Ù TF0 “=O TT=o == _ H:C Ö Ö & 6 & & ino” 9-40
Ö Ö Q Q oO OC Q Q * * * CHs * Ha * * x À CH, H3C H3C x — Hac" _ dd _ dd dd HSC VU jo ÿ> > Pre °°
[0199] L'unité structurelle ayant un groupe -SO>- a de préférence encore un groupe dérivé d'un groupe polymérisable. Des exemples de groupe polymérisable incluent un groupe vinyle, un groupe acryloyle, un groupe méthacryloyle, un groupe acryloyloxy, un groupe méthacryloyloxy, un groupe acryloylamino, un groupe méthacryloylamino, un groupe acryloylthio, un groupe méthacryloylthio et analogues.
Parmi ceux-ci, le monomère qui conduit à l’unité structurelle (a6) est de préférence un monomère ayant une liaison éthyléniquement insaturée, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique.
[0200] L'unité structurelle (a6) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (1x).
AX |, Xx11 (Ix)
N (RÉ) ma ED To Dans la formule (Ix), Rx représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un atome d'halogène.
A“ représente un atome d'oxygène, -N(R“)- ou un atome de soufre.
A* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- contenu dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -CO- ou -N (R$)-.
x!! représente un atome d'oxygène, un atome de soufre ou un groupe méthylène.
R* a un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe cyano, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, et un groupe aryle ayant 6 à 12 atomes de carbone, qui peut avoir un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Un groupe aralkyle ayant 7 à 12 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, ou un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone.
ma représente un entier de 0 à 9. Quand ma est 2 ou plus, une pluralité de R41 peuvent être identiques ou différents.
RC et R“ représentent indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[0201] Des exemples d’atome d'halogène de R* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle de Rx incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe n-propyle, un groupe isopropyle, un groupe n-butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe n- pentyle et un groupe n-hexyle. C'est de préférence un groupe alkyle ayant
1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle. Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène de R* incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle et un groupe perfluoropentyle. Un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triodométhyle et analogues peuvent être mentionnés.
RX est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
[0202] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent de A“ incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, et ces groupes. Une combinaison de deux ou plusieurs de ceux-ci peut être utilisée.
Spécifiquement, un groupe alcanediyle linéaire est par exemple un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptan-1,7- diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonan-1,9-diyle, un groupe décan-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, groupe dodécane-1,12- diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14-diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16-diyle , un groupe heptadécane-1, 17-diyle, un groupe alcanediyle ramifié est par exemple un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle et un groupe propane-2,2-diyle; un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle ou un groupe 2- méthylbutane-1,4-diyle; un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique est par exemple un groupe cycloalcanediyle tel qu'un groupe cyclobutane-
1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4- diyle, un groupe cyclooctane-1,5-diyle, etc .; un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent polycyclique est par exemple un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5- diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6- diyle.
[0203] Des exemples de R*, X!! et ma sont les mêmes que ceux dans la formule (T1').
Des exemples de cycle sultone incluent ceux mentionnés ci-dessus, et parmi eux, ceux mentionnés ci-dessus dans lesquels la position de liaison est spécifiée sont préférables.
[0204] Des exemples d'unité structurelle (a6) incluent les unités structurelles suivantes.
Le H + H + A Le H Le: H À es 0 Oo NH 0 f HN (a6-1) à &° &° _ 0 (a6-2) (a6-3) (a6-4) (a6-5) Ö (a6-6) 0° NNH © A . 7 7 7 8 © (a6-8) 0 (6.9) (a6-10) 60” (a6-12)
[0205] Parmi celles-ci, les unités structurelles représentées par la formule (a6-1), la formule (a6-2), la formule (a6-6), la formule (a6-7), la formule (a6-8) et la formule (a6-12) sont préférables, et les unités structurelles représentées par la formule (a6-1), la formule (a6-2), les formules (a6-7) et (a6-8) sont préférables encore.
Quand la résine (A) a une unité structurelle (a6), la teneur de l'unité structurelle (a6) est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 2 à 40 mol%, et de préférence encore 3 à 30 mol% par rapport à toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0206] <Unité structurelle (II)> La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (IT) »). Des exemples spécifiques d'unité structurelle (II) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférables.
[0207] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") :
RS ANS (I1-2-A") Asus ZA* où, dans la formule (II-2-A"), XI représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy, A“ représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
RA” représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate, RIB représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et ZA‘ représente un cation organique.
[0208] Des exemples d'atome d'halogène représenté par RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!3 incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par A“ incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut être substitué avec A“ incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X" incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6- diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane- 1,11-diyle et un groupe dodécane-1,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4- diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques monocycliques divalents, par exemple les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0209] Ceux dans lesquels -CHz- inclu dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (X1) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O- , -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à A“.
M „0 0 0 _- mX 0 Oa Sg” Jer T Se Dee 407" gare ad” x4 T all _ x) 02) 03) (X4) 06) (X6) 7) (X8) X9) 10) O an J > 0403" 0454 ou” RI a KA Ss Oes (X11) (X12) (X13) (X14) (X15) (X16) (X17) 0 OXX OXX OXX O 1 5-01,,4-0 XL LO À XL x” Os u ghs, ur = 0 ad a” XX T KT OT y T y (X18) (X19) (X20) (X21) (X22) (X23)
O ,0 xt Ae OK OO KA OMAN A 5-01 XXE K 5 OL XL L 3
T TET A 0 OO O Ô oO O Ö (X24) (X25) (X26) (X27) (X28) (X29) * O O oO ee oe Q … Q 3 + O O 3 A Ae AT A A A (X30) (X31) (X32) (X33) (X34) (X35) (X36) 0 X Q 0 Q » À 0 ee AAA ee AoA. No, (X37) (X38) (X39) (X40) a) (42)
O 4 ya Q 0 9 we 0447-05 O.,7-S-46 a. See" A 7 x x 1 X
O (X43) (X44) (X45) (X46) (X47) 9 x 9 ATO Orde SO O6 SP Sage A 0 Ae J 6 “% 1 1 Ne (X48) (X49) (X50) (X51) (X52) (X53)
[0210] X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 5 atomes de carbone. X* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone. X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X’ représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone. X® représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0211]
Des exemples de cation organique représenté par ZA” incluent ceux qui sont identiques au cation Z1* dans le sel (B1).
[0212] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A" est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
SH | RIII2 Y O EH ZA+ (II-2-A) RI , If où, dans la formule (II-2-A), RTS, XB et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, z représente un entier de 0 à 6, RE? et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z est 2 ou plus, une pluralité de RIP et RI! peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et Q? et QP représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par RI, RI! Q? et Q incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par QP!.
[0213] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1): R!!!3
A ° He (11-2-A-1) F3C
O og R!!!2 ® {ie ZA* RIM | b z Q où, dans la formule (II-2-A-1), RZ RIB RI Q°, Q et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci- dessus, RS représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, z représente un entier de 0 à 6, et X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par RS incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Xl incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par XE,
[0214] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence encore une unité structurelle représentée par la formule (II-2- A-2): RIE: vr“ Se
A O—RIIS (I1-2-A-2) CF, /H\ / 7 \ © jrs za H ba F f m où, dans la formule (II-2-A-2), RIB, RI et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et nA représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
[0215] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A" inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant à un groupe méthyle de RI! est substitué avec un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle, etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA” représente un cation organique.
“LE Cha Gha GHs GHs Cha son} Lion Lion Lion Lio} Lion A A A Ao A A F3C Aa Pt Te Tm Pt F O F. O F. O O O O 3 ZA 3 ZA 3 F F F F F F SO3 ZA* SO3 ZA* S03 ZAt Lit} oe zo en) a} (Ee C—CH2 C—CH> CCHa CCHa C—CHz CCHa y A F Ao A a A F + N F Î + \ Sox _ 0 00 zA* F F Oss F sos ZA* ZA za 503
[0216] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) : R!l4 Aon ‚RIS (ll-1-1) o7>0—A"R"-S[ 12
A où, dans la formule (II-1-1), A! représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent, R' représente un groupe hydrocarboné aromatique divalent ayant 6 à 18 atomes de carbone, RZ et RB représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et R!!2 et RI! peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec l'atome de soufre auquel RI et RI sont liés, RI! représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et A’ représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique divalent ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R“* incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par RI et RI incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle et de groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont les mêmes que mentionné ci-dessus.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples de groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et un groupe hydrocarboné alicyclique, les groupes aralkyle comme un groupe benzyle, les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), les groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), les groupes aryl-cycloalkyle comme un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R!* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°.
Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par A incluent un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XI,
[0217] Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (II-1-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant à un groupe méthyle de RŸ* est substitué avec un atome d'hydrogène, un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou analogues. TE Tv TV Tv E fers Hs OO OO OO OO £, Hs ct ne Fer. 3 ett 3 ett ct > Lou Ha 5 O Oo Oo () o ú | Q oo © oo oO OÙ SO
[0218] Des exemples d'anion organique représenté par A incluent un anion d'acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion d'acide carboxylique. L'anion organique représenté par A est de préférence un anion d'acide sulfonique, et des exemples d'anion d'acide sulfonique, d’anion sulfonylimide, d'anion sulfonylméthide et d'anion d'acide carboxylique incluent ceux qui sont les mêmes que les anions inclus dans le sel représenté par la formule (I) mentionné plus haut.
[0219] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-1- 1) incluent les suivantes.
Hz Hz Hz Hz Hz CHg te ij „ft { KF KF De He „SZ 08° Cg 03 7e OC eue OC fes Hz fer, Hz N fer, Hz 0 LE CF OÙ Er KE Ha 0 ER GER Jen, Le tot Hg F H ELF Hs Praz 0 ré
[0220] Quand l'unité structurelle (IT) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (IT) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol®%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0221] La résine (A) peut inclure des unités structurelles autres que les unités structurelles mentionnées ci-dessus, et des exemples des unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
[0222] La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (al) et d'une unité structurelle (s).
L'unité structurelle (al) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a1-0), une unité structurelle (a1-1) et une unité structurelle (a1-2) (de préférence l'unité structurelle ayant un groupe cyclohexyle, et un groupe cyclopentyle) et une unité structurelle (a1-4), de préférence encore au moins deux, et de préférence encore au moins deux choisies dans le groupe consistant en une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2).
L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une unité structurelle (a2-1) ou une unité structurelle (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3-4).
[0223] Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux unités structurelles ou plus peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence de 2000 ou plus (de préférence de 2500 ou plus, et de préférence encore de 3000 ou plus), et de 50000 ou moins (de préférence de 30000 ou moins, et de préférence encore de 15000 ou moins). Dans la présente description, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par permeation de gel dans les conditions mentionnées dans des exemples.
[0224] <Résine autre que la résine (A)> La composition de résist de la présente invention peut inclure en outre la résine autre que la résine (A). La résine autre que la résine (A) inclut, par exemple, une résine incluant une unité structurelle (a4) ou une unité structurelle (a5) (dans la suite appelée parfois résine (X)).
[0225] La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4), en particulier, c'est-à-dire qu'une résine incluant une unité structurelle ayant un atome de fluor est préférable.
Dans la résine (X), la teneur de l'unité structurelle (a4) est de préférence 30 mol% ou plus, de préférence encore 40 mol% ou plus, et de préférence encore 45 mol% ou plus, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (X).
Des exemples d'unité structurelle, qui peut être incluse en outre dans la résine (X), incluent une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et des unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. En particulier, la résine (X) est de préférence une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5), et de préférence encore une résine composée seulement d'une unité structurelle (a4).
[0226] L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire par un procédé de polymérisation connu (par exemple procédé de polymérisation radicalaire).
La teneur des unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée selon la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus), et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure de la masse moléculaire moyenne en poids de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence 1 à 60 parties en masse, de préférence encore 1 à 50 parties en masse, de préférence encore 1 à 40 parties en masse, de préférence encore 2 à 30 parties en masse, et de préférence encore 2 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0227] La teneur de la résine (A) dans la composition de résist est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Quand on inclut des résines autres que la résine (A), la teneur totale de la résine (A) et des résines autres que la résine (A) est de préférence 80% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. La teneur en solide de la composition de résist et la teneur de la résine en celui-ci peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0228] <Solvant (E)> La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
Des exemples de solvant (E) incluent les esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; les cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2-heptanone et la cyclohexanone; et les esters cycliques comme la y-butyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0229] <Agent de désactivation (C)> Des exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique, et un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir d'un générateur d'acide (B). Quand la composition de résist inclut l'agent de désactivation (C), la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 15% en masse, de préférence encore d'environ 0,01 à 10% en masse, de préférence encore d'environ 0,1 à 5% en masse, et de préférence encore d'environ 0,1 à 3% en masse, sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist.
Des exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Des exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Des exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire.
Des exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2- naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la N,N-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la = dicyclohexylméthylamine, la = tris[2-(2- — méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4"-diamino-1,2- diphényléthane, le 4,4"-diamino-3,3"-diméthyldiphénylméthane, le 4,4- diamino-3,3'-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2- di(2-pyridyl)éthane, le 1,2-di(4-pyridyl)éthane, le 1,2-di(2-pyridyl)éthène, le 1,2-di(4-pyridyl)éthène, le 1,3-di(4-pyridyl)propane, le 1,2-di(4- pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4"-dipyridyle, le disulfure de 4,4’-dipyridyle, la 2,2"-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence les amines aromatiques comme la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline.
Des exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, l'hydroxyde de = tétraisopropylammonium, l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de — phényltriméthylammonium, l'hydroxyde de 3-
(trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n- butylammonium et la choline.
[0230] L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante: -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5. Des exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite appelé parfois “sel interne d'acide faible (D)"), et les sels mentionnés dans JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A. Le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est de préférence un sel générant un acide carboxylique ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) (un sel ayant un anion acide carboxylique) et de préférence encore un sel interne d'acide faible (D). PG $ > 0 rg 0, © Q Q +7 + - + HO -+ on L- 6 cos
[0231] Des exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants. 00” “00 _ + 007 007 do D+0 OO GO 040 007 oo” oo oo 007 007 F-06550 d5- dp odio Br CI 007 oo oo 00 oo no, Hoo dio Vo dot dig \ ST oo 007 007 oo D) CO A: EER O2N © D AX
[0232] <Autres composants> La composition de résist de la présente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnés ci-dessus (dans la suite appelés parfois “autres composants (F)"). Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants et des colorants.
[0233] <Préparation de composition de résist> La composition de résist de la présente invention peut être préparée en mélangeant un sel (I) et une résine (A) et, si nécessaire, un générateur d'acide (B), des résines autres que la résine (A), un solvant (E), un agent de désactivation (C) et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. II est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation. Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 um.
[0234] <Procédé pour produire un motif de résist> Le procédé pour produire un motif de résist de la présente invention inclut: (1) une étape d'application de la composition de résist de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée. La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge. Des exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat. Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé "précuisson") ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 10° Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à Fa (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou des UVE et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement “exposition”. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé “cuisson de post-exposition”) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Des exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Des exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
Il est préférable que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois “solution de développement organique”) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2- hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,N- diméthylacétamide; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté en remplaçant le solvant par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester.
Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0235] (Applications) La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux UVE, en particulier une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou d'une composition de résist pour exposition aux UVE, et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semiconducteurs.
[Exemples]
[0236] La présente invention va être décrite plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans des exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une value déterminée par chromatographie par perméation de gel. Les conditions d'analyse de la chromatographie par perméation de gel sont comme suit.
Colonne: TSKgel Multipore IIXL-M x 3+colonne de garde (fabriquée par TOSOH CORPORATION) Éluant: tétrahydrofurane Débit: 1,0 mL/min Détecteur: détecteur RI Température de la colonne: 40°C Quantité d'injection: 100 pl Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION) Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc, spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans des exemples suivants est indiquée par “MASSE”.
[0237] Exemple 1: Synthèse du sel représenté par la formule (1-345) ci BO 00 F F (I-264-b) IT ee (I-345-a) (I-345-c) Oo Oo
SC SO cm on Ps M se 0 ©. (I-345) 1,76 partie d'un sel représenté par la formule (I-345-a), 2,20 parties d'un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties de diméthylformamide ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,88 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes et agitation supplémentaire à 90°C pendant 3 heures, un mélange contenant un sel représenté par la formule (I-345-c) a été obtenu. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 12 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 2,12 parties d’un sel représenté par la formule (I-345-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 7 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 30 parties de chloroforme et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée sept fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 1,5 parties d'acétonitrile et 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,44 parties d'un sel représenté par la formule (I-345).
MASSE (Spectre ESI (+)): M* 716,8 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 323,0
[0238] Exemple 2: Synthèse du sel représenté par la formule (I-358) ci CI 10 ! N oo FE 9800 F F (I-345-b) BO, ee (I-345-a) (I-345-c)
LF N Cx ke TS AA OU ds À, Ok 0 0 FF (1-358-d) 1 Oi ee (I-358) 1,76 partie d'un sel représenté par la formule (I-345-a), 2,20 parties d’un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties de diméthylformamide ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,88 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes et agitation supplémentaire à 90°C pendant 3 heures, un mélange contenant un sel représenté par la formule (I-345-c) a été obtenu. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C puis 12 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 2,84 parties d'un sel représenté par la formule (I-358-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 7 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 30 parties de chloroforme et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée sept fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 1,5 parties d'acétonitrile et 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,23 parties d'un sel représenté par la formule (I-358). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 716,8 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0239] Exemple 3: Synthèse du sel représenté par la formule (I-350) ci CI 1 co FE on F F (I-345-b) OO QG, (I-345-a) (I-345-c) NNT Oo 6 ro
OT (I-350-d) ; OU @ O (I-350) 1,76 partie d'un sel représenté par la formule (I-345-a), 2,20 parties d’un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties de diméthylformamide ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,88 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes et agitation supplémentaire à 90°C pendant 3 heures, un mélange contenant un sel représenté par la formule (I-345-c) a été obtenu. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C puis 12 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 3,19 parties d’un sel représenté par la formule (I-350-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 7 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 30 parties de chloroforme et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées,
et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée sept fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,66 parties d'un sel représenté par la formule (I-350). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 716,8 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 517,1
[0240] Exemple 4: Synthèse du sel représenté par la formule (I-396) (I-358-d) (I-396-b) 3,04 parties d'un sel représenté par la formule (I-358-d), 2,72 parties d'un sel représenté par la formule (I-396-a), 41 parties de chloroforme, 12 parties de diméthylformamide et 28 parties de méthanol ont été mélangées, et après agitation à 23°C pendant 12 heures, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther et 30 parties de n-heptane ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,44 parties d'un sel représenté par la formule (1-396-b).
EF GQ AN ; (1-345-b)
LF (I-396-b) + 6 F db, O O ss, CD D a
I I (I-396) 2,03 parties d'un sel représenté par la formule (I-396-b), 1,10 parties d'un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,44 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 2,12 parties d'un sel représenté par la formule (I-396). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 744,9 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0241] Exemple 5: Synthèse du sel représenté par la formule (I-700)
Fo — Fe =
(I-700-a) (I-700-b) (I-700-e) 3,80 parties d’un composé représenté par la formule (I-700-a) et 6,40 parties d'Oxone (marque déposée) ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C.
Au mélange ainsi obtenu, 23,56 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 30 minutes.
Au mélange ainsi obtenu, une solution mélangée de 3,68 parties d’un composé représenté par la formule (I-700-b) et 18,40 parties de chloroforme a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 23°C pendant 2 heures.
La solution mélangée ainsi obtenue a été ajoutée à 120 parties de méthanol, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire.
Le filtrat ainsi obtenu a été concentré puis 125 parties de chloroforme et 25 parties d'acétonitrile ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 60 parties d'acide chlorhydrique à 5% ont été ajoutées.
Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
A la couche organique ainsi obtenue, 40 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 45 parties de tert- butyléthyléther ont été ajoutées au mélange concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire, 2,37 parties d'un sel représenté par la formule (I-700-c) ont été obtenues.
FF wee © Gente ei Se ee (I-358-d) Se _ oO F
FF (I-700-d) 3,01 parties d’un sel représenté par la formule (I-358-d), 30 parties de chloroforme et 27 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. A la solution mélangée, 2,14 parties d’un sel représenté par la formule (I-700-c) ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 1 heure, la couche organique a été isolée par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert- butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,92 parties d’un sel représenté par la formule (I-700-d). Ce Hot}: 0 PO Qt AAN (I-345-b) (I-700-d) ; ° Se CO, AAA
D (I-700) 2,09 parties d'un sel représenté par la formule (I-700-d), 0,55 partie d’un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,22 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,89 parties d'un sel représenté par la formule (I-700). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 569,0 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0242] Exemple 6: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1346)
F © : ko, HSO, NaBr Se © F Br (1-1346-a) (I-1346-b) 12 parties d'iodate de potassium, 18,53 parties d'un composé représenté par la formule (I-1346-a), 24 parties d'acide acétique et 18 parties d'anhydride acétique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 12 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées en 10 minutes, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 3 heures et une agitation supplémentaire à 23°C pendant 12 heures. A la solution mélangée, 36 parties de tert-butylméthyléther et 36 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 2 heures et une filtration supplémentaire. Au filtrat ainsi obtenu, une solution mélangée de 6 parties de bromure de sodium et 30 parties d’eau ayant subi un échange d'ions a été ajoutée, et après agitation à 23°C pendant 2 heures et une filtration supplémentaire, 15,69 parties d’un sel représenté par la formule (I-1346-b) ont été obtenues.
Gp ‘ Et FO CS - Ÿ Or Sn C8 2 (I-1346-b) F 055 (1-358-d) (1-1346-d) 3,04 parties d'un sel représenté par la formule (I-356-d), 2,27 parties d’un sel représenté par la formule (I-1346-b), 41 parties de chloroforme, 12 parties de diméthylformamide et 28 parties de méthanol ont été mélangées, et après agitation à 23°C pendant 12 heures, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther et 30 parties de n-heptane ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,44 parties d'un sel représenté par la formule (I-1346-d).
E CS HO I 1 _ O 0 F > os A, (1-345-b)
LF (I-1346-d) it oO F _ O Où F
OS Ô a >
IT I (I-1346) 2,03 parties d’un sel représenté par la formule (I-1346-d), 1,10 parties d’un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,44 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 2,28 parties d'un sel représenté par la formule (I-1346). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 744,9 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0243] Exemple 7: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1270) | dS Yo — H+ 2
F F (I-1270-a) (I-700-b) (I1-1270-c) 3,80 parties d'un composé représenté par la formule (I-1270-a) et 6,40 parties d'Oxone (marque déposée) ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 23,56 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, une solution mélangée de 3,68 parties d’un composé représenté par la formule (I-700-b) et 18,40 parties de chloroforme a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 23°C pendant 2 heures. La solution mélangée ainsi obtenue a été ajoutée à 120 parties de méthanol, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire. Le filtrat ainsi obtenu a été concentré puis 125 parties de chloroforme et 25 parties d’acétonitrile ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, 60 parties d'acide chlorhydrique à 5% ont été ajoutées. Après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 40 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 45 parties de tert- butyléthyléther ont été ajoutées au mélange concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes et une filtration supplémentaire, 3,32 parties d'un sel représenté par la formule (I-1270-c) ont été obtenues. % GeOte Et sd PN += Et N H OS (I-1270-c) UF Et FF F (I-358-d) _ O @ Ot 55 AO
FF F (I-1270-d) 3,01 parties d’un sel représenté par la formule (I-358-d), 30 parties de chloroforme et 27 parties d'une solution aqueuse d'acide oxalique à 5% ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. A la solution mélangée, 2,14 parties d’un sel représenté par la formule (I-1270-c) ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 1 heure, la couche organique a été isolée par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert- butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 3,38 parties d'un sel représenté par la formule (I-1270-d).
LF ; ‚ SE Ho) 0 AAN (I-345-b)
F FE (I-1270-d) ; De 0 _ O Ok F ï Us ee
D (I-1270) 2,09 parties d’un sel représenté par la formule (I-1270-d), 0,55 partie d’un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,22 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,94 parties d'un sel représenté par la formule (I-1270). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 569,0 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0244] Exemple 8: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1384)
E N ; ko, HSO, NaBr E + + a F Br (I-1384-a) (I-1384-b) 12 Parties d'iodate de potassium, 21,56 parties d'un composé représenté par la formule (I-1384-a), 24 parties d'acide acétique et 18 parties d'anhydride acétique ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et un refroidissement supplémentaire à 5°C.
Au mélange ainsi obtenu, 12 parties d'acide sulfurique ont été ajoutées en 10 minutes, ce qui a été suivi par une agitation à 5°C pendant 3 heures et une agitation supplémentaire à 23°C pendant 12 heures.
A la solution mélangée, 36 parties de tert-butylméthyléther et 36 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 2 heures et une filtration supplémentaire.
Au filtrat ainsi obtenu, une solution mélangée de 6 parties de bromure de sodium et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions a été ajoutée, et après agitation à 23°C pendant 2 heures et une filtration supplémentaire, 16,42 parties d’un sel représenté par la formule (I-1384-b) ont été obtenues. 4 3 | SR * 0 a eg 0 Et OPE E FF (1-358-d) (I-1384-d)
3,04 parties d'un sel représenté par la formule (I-358-d), 2,46 parties d’un sel représenté par la formule (I-1384-b), 41 parties de chloroforme, 12 parties de diméthylformamide et 28 parties de méthanol ont été mélangées, et après agitation à 23°C pendant 12 heures, la couche organique a été isolée par séparation.
A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 30 parties de tert-butylméthyléther et 30 parties de n-heptane ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 4,12 parties d'un sel représenté par la formule (I-1384-d).
KF - eo. Ho jr DO as AO ° (I-345-b) - (I-1384-d) 1 1
QG Ç el a O O Wen DO YO}
I I (1-1384) 2,12 parties d’un sel represente par la formule (1-1384-d), 2,20 parties d'un composé représenté par la formule (I-345-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,88 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,92 parties d'un sel représenté par la formule (I-1384).
MASSE (Spectre ESI (+)): M* 1180,7 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0245]
Exemple 9: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1232) Se Ho „er, 0 Ot AA (I-1232-b) u (I-700-d) | x DO, ART O QU Le Bol (1-1232) 2,09 parties d'un sel représenté par la formule (I-700-d), 0,41 partie d’un composé représenté par la formule (I-1232-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,22 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d’eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,29 parties d'un sel représenté par la formule (I-1232).
MASSE (Spectre ESI (+)): M* 511,1 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0246] Exemple 10: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1460)
Fr I 9 {x (on + eg + O+S. LS x I ; | <> (I-1460-b) FF (I-700-d) | OD si eN 1 O a Se Af I (I-1460) 2,09 parties d'un sel représenté par la formule (I-700-d), 0,90 partie d’un composé représenté par la formule (I-1460-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,22 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 2,01 parties d'un sel représenté par la formule (I-1460). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 710,9 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0247] Exemple 11: Synthèse du sel représenté par la formule (I-1498)
Fr 1 @ (jon Ot ad eN DT EF (I-1498-b) FE (I-700-d) ; ° Ce DO, ART I O Dx ee Doe (I-1498) 2,09 parties d'un sel représenté par la formule (I-700-d), 0,90 partie d’un composé représenté par la formule (I-1498-b) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. Au mélange ainsi obtenu, 0,22 partie de carbonate de potassium a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une agitation supplémentaire à 60°C pendant 12 heures. Au produit réactionnel ainsi obtenu, 40 parties de chloroforme et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l’eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis 30 parties de tert-butylméthyléther ont été ajoutées au résidu concentré, et après agitation à 23°C pendant 30 minutes, le surnageant a été retiré, ce qui a été suivi par une concentration pour obtenir 1,48 partie d'un sel représenté par la formule (I-1498). MASSE (Spectre ESI (+)): M* 710,9 MASSE (Spectre ESI (-)): M° 467,1
[0248] Synthèse de résine Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse d'une résine (A) sont montrés ci-dessous. Dans la suite, ces composés sont appelés «monomère (a1-1-3)» selon le numéro de formule.
CH; CH; CH] CH; * cn" cn AA es © à De 9, d iO A4 DO de oo oo = OH SI (a1-1-3) (a1-2-6) (a1-4-2) (a1-4-13) (a2-1-3) © (a3-4-2)
[0249] Exemple de synthèse 1 [Synthèse de la résine A1] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3) et un monomère (a1-2-6) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:24:38 [monomère ( a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6)], puis ce mélange de monomères a été mélangé avec de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois en masse la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en la quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, et ensuite la polymérisation a été conduite en chauffant à 85°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois en masse sur la base de la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 6 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une récupération pour obtenir une résine A1 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 5,3 x 10° avec un rendement de 78%. Cette résine A1 a les unités structurelles suivantes. Hs Ha Ect ch to 5 ; EC A1
[0250]
Exemple de synthèse 2 [Synthèse de la résine A2] On a utilisé un monomère (a1-4-2) et un monomère (a1-2-6) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 38:62 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-2 -6)], puis ce mélange de monomères a été mélangé avec de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois en masse la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile en tant qu'amorceur a été ajouté en des quantités de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, puis la polymérisation a été effectuée par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluène- sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois en masse sur la base de la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 6 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A2 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 5,4 x 10° avec un rendement de 89%. Cette résine A2 a les unités structurelles suivantes. CHs Len, to 5 ‘ A2 2 ©
[0251] Exemple de synthèse 3 [Synthèse de la résine A3] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-2) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3):monomère (a1-2- 6):monomère (a2-1-3):monomère (a3-4-2):monomère (a1-4-2)], puis ce mélange de monomères a été mélangé avec de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis(2,4-
diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par un chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois en masse sur la base de la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A3 ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 63%. Cette résine A3 a les unités structurelles suivantes. to to tou vE Lon, O d O 3 NC Yo D A3 H 2 H
[0252] Exemple de synthèse 4 [Synthèse de la résine A4] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (a1-4-13) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20 :35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (a1-4-13)], ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (al-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (a1-4-13)], puis ce mélange de monomères a été mélangé avec de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de = l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis(2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. A la solution de réaction de polymérisation ainsi obtenue, une solution aqueuse d'acide p- toluène sulfonique (2,5% en masse) a été ajoutée en une quantité de 2,0 fois en masse sur la base de la masse totale de tous les monomères, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi obtenue a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une récupération pour obtenir une résine A4 ayant une masse moléculaire moyenne en poids d'environ 5,1 x 103 avec un rendement de 61%. Cette résine A4 a les unités structurelles suivantes. Hs Hs Hs Hs H +CHz tot teng tord ton: Yo L- X M H pe OH
[0253] <Preparation d'une composition de résist> Comme le montre le tableau 2, les composants suivants ont été mélangés et le mélange ainsi obtenu a été filtré à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pore de 0,2 um pour préparer des compositions de résist.
[0254] [Tableau 2] Composition Résine Générateur | Sel (I) Agent de | PB/PEB de résist d'acide désacti- vation (C
FFE 1,5 partie 0,35 partie re P IE 1,5 partie 0,35 partie rr I 1,5 partie 0,35 partie rr EEE 1,5 partie 0,35 partie pe EE 1,5 partie 0,35 partie pe 1,5 partie 0,35 partie ee EE 1,5 partie 0,35 partie pe EE 1,5 partie 0,35 partie pe EE 1,5 partie 0,35 partie Fa a B 1,5 partie 0,35 partie Pa ep 11 1,5 partie 0,35 partie Fa a B Se 12 1,5 partie 0,35 partie er Ees 13 1,5 partie 0,35 partie pe EEE 14 1,5 partie 0,35 partie Fa ee B 1,5 partie 0,35 partie Fa ee B Er 16 1,5 partie 0,35 partie Fa Fer Er 17 1,5 partie 0,35 partie
I B 18 1,5 partie 0,35 partie pe Er 19 1,5 partie 0,35 partie pe Se 1,5 partie 0,35 partie | compostion | a3 =10 parties |- ___|r136= [e= [oge |
2 | | spatie [ome || er ET 22 1,5 partie 0,35 partie er 23 1,5 partie 0,35 partie er ET 24 1,5 partie 0,35 partie =rkl Comparative 1 1,5 partie 0,35 partie ere Comparative 2 1,5 partie 0,35 partie ere er Comparative 3 1,5 partie 0,35 partie PET fi Comparative 4 1,5 partie 0,35 partie
[0255] <Résine> A1 à A4: Résine A1 à Résine A4 <Sel (I)> I-345: Sel représenté par la formule (I-345) I-350: Sel représenté par la formule (I-350) I-358: Sel représenté par la formule (I-358) I-396: Sel représenté par la formule (I-396) I-700: Sel représenté par la formule (I-700) I-1232: Sel représenté par la formule (I-1232) I-1270: Sel représenté par la formule (I-1270) I-1346: Sel représenté par la formule (I-1346) I-1384: Sel représenté par la formule (I-1384) I-1460: Sel représenté par la formule (I-1460) I-1498: Sel représenté par la formule (I-1498) <Générateur d'acide> IX-1 IX-2
+ - FF F = F ç DOOD VO af (IX-1) (IX-2) ST <Agent de désactivation (C)> C1: synthétisé par le procédé mentionné dans JP 2011-39502 A | > <Solvant> Acétate de monométhyléther de propylèneglycol 400 parties Monométhyléther de propylèneglycol 100 parties y-butyrolactone 5 parties
[0256] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons, développement alcalin) Chaque galette de silicium de 6 pouces de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 2 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons (« ELS-F125 125 keV », fabriqué par ELIONIX INC.), des motifs de trous de contact (pas des trous de 40 nm/diamètre des trous de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes après le développement.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 2 pendant 60 secondes, suivie d'un développement à palette avec une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 2,38% en masse pendant 60 secondes pour obtenir des motifs de résist.
[0257] Dans le motif de résist obtenu après le développement, la dose d'exposition à laquelle le diamètre des trous formés devenait égal à 17 nm a été définie comme sensibilité effective.
[0258] <Evaluation de l’uniformité CD (CDU)> Dans la sensibilité effective, le diamètre des trous du motif formé au moyen d’un masque ayant un diamètre de trous de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois par trou et la moyenne des valeurs mesurées a été choisie comme diamètre moyen des trous. L'écart-type a été déterminé dans les conditions selon lesquelles le diamètre moyen de 400 trous autour des motifs formés au moyen du masque ayant un diamètre de trous de 17 nm dans la même galette était choisi comme population. Les résultats sont montrés dans le tableau 3. La valeur numérique entre parenthèses représente l’écart-type (nm).
[0259] ableau 3 | | Composition de résist [CDU |
Comparées aux compositions comparatives 1 et 2, les compositions 1 à 12 présentaient un petit écart-type et une évaluation satisfaisante de l’uniformité CD (CDU).
[0260] (Evaluation de l'exposition d'une composition de résist à un faisceau d'électrons, développement à solvant organique) Chaque galette de silicium de 6 pouces de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la couche de composition est devenue 0,04 um. La galette de silicium revêtue a ensuite été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 2 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons [«ELS-F125 125 keV», fabriqué par ELIONIX INC.], des motifs de trous de contact (pas des trous de 40 nm/diamètre des trous de 17 nm) ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes après le développement.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température indiquée dans la colonne "PEB" du tableau 2 pendant 60 secondes, ce qui a été suivi par un développement à Vacétate de butyle (fabriqué par Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) comme agent de développement à 23°C pendant 20 secondes en utilisant le procédé de distribution dynamique pour obtenir des motifs de résist.
[0261] Dans le motif de résist obtenu après le développement, la dose d'exposition à laquelle le diamètre des trous formés devenait égal à 17 nm a été définie comme sensibilité effective.
[0262] <Evaluation de l’uniformité CD (CDU)>
Dans la sensibilité effective, le diamètre des trous du motif formé au moyen d’un masque ayant un diamètre de trous de 17 nm a été déterminé en mesurant 24 fois par trou et la moyenne des valeurs mesurées a été choisie comme diamètre moyen des trous. L'écart-type a été déterminé dans les conditions selon lesquelles le diamètre moyen de 400 trous autour des motifs formés au moyen du masque ayant un diamètre de trous de 17 nm dans la même galette était choisi comme population. Les résultats sont montrés dans le tableau 4. La valeur numérique entre parenthèses représente l’écart-type (nm).
[0263] ableau 4 || Composition de résist |œu | Comparées aux compositions comparatives 3 et 4, les compositions 13 à 24 présentaient un petit écart-type et une évaluation satisfaisante de l’uniformité CD (CDU). [Applicabilité industrielle]
[0264]
Une composition de résist incluant un sel de la présente invention permet d'obtenir un motif de résist ayant une uniformité CD (CDU) satisfaisante, de sorte qu'elle est appropriée pour le traitement fin des semiconducteurs et qu'elle est très utile industriellement.
Claims (20)
1. Sel représenté par la formule (I): | R2 (R°)me AIT 7 R° + (Rs dm (he 1 (I) (Rm? où, dans la formule (I), Ri et R° représentent chacun indépendamment un atome d'iode, un atome de fluor ou un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, R+, R°, R” et R® représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe haloalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH;- inclus dans le groupe haloalkyle et le groupe alkyle peut être remplacé par -O-, -CO-, -S- ou -SO--, X! et X* représentent chacun indépendamment un atome d'oxygène ou un atome de soufre, m1 représente un entier de 1 à 5, et quand m1 est 2 ou plus, une pluralité de groupes entre parenthèses peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m2 représente un entier de O à 5, et quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de groupes entre parenthèses peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m4 représente un entier de O à 4, et quand m4 est 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m5 représente un entier de O à 4, et quand m5 est 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m7 représente un entier de O à 4, et quand m7 est 2 ou plus, une pluralité de R” peuvent être identiques ou différents les uns des autres, m8 représente un entier de O à 5, et quand m8 est 2 ou plus, une pluralité de R$ peuvent être identiques ou différents les uns des autres, où 1 < m1 + m7 <5, 0 < M + M8 <5, et
AT représente un anion organique.
2. Le sel selon la revendication 1, où X! et X? sont un atome d'oxygène.
3. Le sel selon la revendication 1 ou 2, où m1 est 1 ou 2, et m2 est 0, 1 ou 2.
4. Le sel selon l’une quelconque des revendications 1 à 3, où les sites de liaison de X* et X* sont liés à la position p ou la position m par rapport au site de liaison de I”.
5, Le sel selon l’une quelconque des revendications 1 à 4, où R* ou R° représente un atome d'inde un atome de fluor, un groupe trifluorométhyle ou un groupe hydroxy.
6. Le sel selon l’une quelconque des revendications 1 à 5, où m4 est 2, Vun des deux R* est un atome d'iode ou un atome de fluor, et l’autre est un groupe hydroxy.
7. Le sel selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, où m2 est 0, m8 est 1, et R3 est un groupe alkyle ramifié ayant 3 ou 4 atomes de carbone.
8. Le sel selon l’une quelconque des revendications 1 à 6, où m1 et m2 sont 1 ou m1 et m2 sont 2, respectivement.
9. Le sel selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, où AT est un anion d'acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide ou un anion d'acide carboxylique.
10. Le sel selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, où AT est un anion d'acide sulfonique, et l'anion d'acide sulfonique est un anion représenté par la formule (I-A):
Q1 "0481 | LL! NAN _ f y1 (I-A) Q2 où, dans la formule (I-A), Qt et Q? représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, Lt représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par un fluor atome ou groupe hydroxy, et Y* représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone pouvant avoir un substituant, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO>- ou -CO-.
11. Générateur d'acide comprenant le sel selon l'une quelconque des revendications 1 à 10.
12. Composition de résist comprenant le générateur d'acide selon la revendication 11 et une résine ayant un groupe labile en milieu acide.
13. La composition de résist selon la revendication 12, où la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et d’une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): a4 a Le à H2 R° C ar
O O Lê1 La2 ef Join Rn nf" (a1-1) (a1-2)
où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L°* représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CHz)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente une liaison à -CO-, R° et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et n1' représente un entier de 0 à 3.
14. La composition de résist selon la revendication 12 ou 13, dans laquelle la résine ayant un groupe labile en milieu acide inclut au moins une unité structurelle représentée par la formule (a3-4)': Ra24 | tet >=! LU (a3-4)'
O où, dans la formule (a3-4)', R22* représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, , L°” représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°°-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-O-L°8-0-CO-L°°-0-, L® et L®” représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
15. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 14, dans laquelle m4 vaut 2 et l’un des deux R* est un atome d'iode et l'autre est un groupe hydroxy.
16. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 15, dans laquelle m1 vaut 2.
17. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 16, dans laquelle m1 et m2 valent chacun 2.
18. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 14, dans laquelle le sel représenté par la formule (I) inclut un cation représenté par les formules suivantes : se y y ! are” AE LL ei _ fe de | AT rt La 5 a eN me SF + , A (8 FE ‘ Ll ii-e>83 j {Ees} DN A te Se, ard Î 3 Ë N E + Ù vu + de or GS” SE EN age sn, À STI À = 1 À À = Ë FA A ge or SE y X {22-283 7 be; { x eh, Ls 4%} ovt} Ï 7 {3-34
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19. La composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 18, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide.
20. Procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’une quelconque des revendications 12 à 19 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
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