WO2024010262A1 - 퍼니스 히터용 셔터 - Google Patents

퍼니스 히터용 셔터 Download PDF

Info

Publication number
WO2024010262A1
WO2024010262A1 PCT/KR2023/008809 KR2023008809W WO2024010262A1 WO 2024010262 A1 WO2024010262 A1 WO 2024010262A1 KR 2023008809 W KR2023008809 W KR 2023008809W WO 2024010262 A1 WO2024010262 A1 WO 2024010262A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
shutter
heater
lifting
ball spline
rotation shaft
Prior art date
Application number
PCT/KR2023/008809
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김정숙
Original Assignee
주식회사제이에스솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사제이에스솔루션 filed Critical 주식회사제이에스솔루션
Priority to CN202380011076.1A priority Critical patent/CN117652017A/zh
Publication of WO2024010262A1 publication Critical patent/WO2024010262A1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere

Definitions

  • the present invention relates to a shutter that opens and closes the heater inlet of a furnace used in semiconductor manufacturing. To be described in more detail, it uses a ball spline and a thrust bearing to be lifted and lowered by an air cylinder and rotated at the same time to open and close the heater inlet. It allows coolant to circulate in the lower part of the shutter and at the same time minimizes heat transfer to the thrust bearing to prevent deformation and damage, making it thermally stable and operating precisely to open and close the heater inlet safely and firmly. This is a technical field related to shutters for furnace heaters.
  • the furnace device is a device responsible for forming the transparent conductive layer, insulating layer, metal layer, or silicon layer that constitutes the core components of the semiconductor process, such as LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) or PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition).
  • LPCVD Low Pressure Chemical Vapor Deposition
  • PECVD Pullasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
  • the annealing device is a device that handles the heat treatment steps required for crystallization, phase change, etc. after the deposition process.
  • Both the deposition process and the annealing process require heat treatment of the substrate at a predetermined temperature.
  • a furnace-type semiconductor facility is equipped with a heater block and is composed of an outer tube and an inner tube made of quartz inside the heater block. Additionally, a boat for loading wafers is provided within the inner tube, and multiple wafers loaded on the boat are put into a process space, that is, a process chamber, at the same time, and a deposition or diffusion process is performed.
  • the process chamber corresponds to a heater, and a boat is inserted or withdrawn from the bottom of the process chamber.
  • the process The lower part of the chamber is always closed by a shutter, and when the boat enters the lower part of the process chamber, the lower part of the process chamber is opened by the shutter.
  • the shutter that opens and closes the inlet formed in the lower part of the process chamber that is, the heater, must be stable against the heat generated from the heater and must operate precisely to firmly and safely open and close the inlet formed in the lower part of the process chamber.
  • the present invention is a technology developed to solve the problems caused by the prior art described above.
  • an opening that is, an inlet
  • the wafer is loaded into the heater through the opening using a boat.
  • the opening is closed by a shutter plate member to provide a shutter for the furnace heater through which heat treatment work can proceed smoothly.
  • the present invention provides a shutter for a furnace heater that can precisely and firmly open and close the inlet of the heater by using a ball spline, a lifting and rotating shaft, and a thrust bearing to rotate the shutter plate member simultaneously with the lifting and lowering by the air cylinder.
  • the present invention allows coolant to circulate in the shutter plate member to minimize deformation and damage to the shutter plate member and thrust bearing due to heat generated from the heater, and at the same time, leakage of coolant does not affect the wafer.
  • a water pan to prevent the heater from being exposed to heat, a shutter for the furnace heater is provided that is thermally stable and can be opened and closed safely.
  • the present invention has a shutter that opens and closes the heater inlet of a furnace, in which an upper ball spline 110 is fixedly coupled to the front upper part, and a lower ball spline 120 is fixedly coupled to the front lower part.
  • a base frame 100 a lifting and lowering rotation shaft 200 installed penetrating the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120 of the base frame 100; and the lower ball spline 120
  • An air cylinder (300) installed at the lower part to elevate and lower the elevating rotation shaft (200); and a shutter plate member 400 that is coupled to the lifting and lowering rotation shaft 200 and opens and closes the heater inlet as it is lifted and rotated together with the lifting and lowering rotation shaft 200.
  • the shutter plate member 400 of the present invention includes a shutter arm 410 coupled to the rear of the lifting rotation shaft 200; and a shutter plate 420 coupled to the front of the shutter arm 410. It is characterized by being composed of.
  • the base frame 100 of the present invention is installed on the front, positioned between the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120, and is used to lift and lower the shutter plate member 400. It is configured to include a guide plate 130 on which a guide groove 132 is formed to correspond to the rotation path, and the shutter arm 410 is installed at the rear and moves along the guide groove 132.
  • a guide roller 412 It is characterized in that it is composed of a.
  • the base frame 100 of the present invention is installed on one side of the front, and is configured to include a buffer plate 140 installed between the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120.
  • the shutter plate member 400 is characterized in that it includes a closing absorber 430 installed at the lower part of the shutter arm 410 and one side of which is in contact with or spaced apart from the buffer plate 140.
  • the base frame 100 of the present invention is characterized by including an open absorber 150 installed on the other front side and in contact with or spaced apart from the shutter arm 410.
  • the upper ball spline 110 of the present invention is characterized by being configured to include an upper absorber 112 installed at the upper portion so that the upper and lower surfaces of the lifting and lowering rotation shaft 200 are in contact with or spaced apart from each other.
  • the present invention is characterized by comprising a thrust bearing member 500 connecting the lower part of the lifting rotation shaft 200 and the upper part of the rod 310 of the air cylinder 300.
  • the closing absorber 430 of the present invention is characterized by including a heat blocking cover 432 installed at the front to block the heat of the heater.
  • the shutter plate 420 of the present invention blocks the heat of the heater and is closely coupled to the lower surface of the blocking plate 422 and a blocking plate 422 on which a circulation passage 422a is formed on the lower surface. It is configured to include a lower cover 424, and a coolant supply unit 600 connected to the lower cover 424 to supply coolant to the circulation passage 422a.
  • the base frame 100 of the present invention includes a water tank 160 installed at the front lower part, and the shutter plate member 400 includes a cooling cover 440 that drains water leakage occurring from the shutter plate 420. ); It is characterized in that it is composed of a.
  • the shutter for a furnace heater according to the present invention presented as described above uses an air cylinder, upper and lower ball spline members, and a guide plate with a guide groove, and the shutter plate member is lifted and rotated stably at the same time by the lifting operation of the air cylinder. By doing so, the effect of opening and closing the heater inlet precisely and firmly can be achieved.
  • the present invention alleviates shock through an absorber when opening and closing the heater inlet by the shutter plate member, thereby minimizing damage due to operational shock and increasing the service life.
  • the present invention allows cooling water to circulate in the lower part of the blocking plate of the shutter plate member to minimize deformation and damage of the blocking plate due to heat generated from the heater, thereby stably maintaining the heater inlet in a closed state.
  • coolant leaks from the shutter plate member, it is collected with a cooling cover and a water pan, and the flow of leakage is guided and drained, thereby enabling stable wafer processing and smooth furnace operation.
  • Figure 1 is a perspective view showing a state in which the shutter opens the heater according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a perspective view showing a state in which the shutter closes the heater according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a perspective view showing the base frame, thrust bearing member, and air cylinder of a shutter according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a front view showing the base frame, thrust bearing member, and air cylinder of a shutter according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a perspective view (a) and a bottom perspective view (b) showing the shutter plate member of a shutter according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is an exploded perspective view showing the shutter plate member of a shutter according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is a perspective view showing the operation of a shutter according to a preferred embodiment of the present invention.
  • Figure 8 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the shutter opens the heater according to a preferred embodiment of the present invention.
  • the present invention relates to a shutter that opens and closes the heater inlet of a furnace used in semiconductor manufacturing.
  • the rear is coupled to the lifting and lowering rotation shaft 200 so that the lifting and lowering rotation shaft 200 is operated by the air cylinder 300.
  • the heater inlet is opened and closed by being lifted and rotated as it is lifted and rotated, and a ball spline and a thrust bearing 530 are used to enable stable and sturdy lifting and rotation, and the blocking plate 422 of the shutter plate member 400 is used.
  • a circulation passage 422a is formed at the bottom so that the coolant can circulate, thereby blocking the heat of the heater when the inlet of the heater is closed, and at the same time allowing the blocking plate 422 to maintain a stable state, and the shutter plate
  • the thrust bearing member 500 relates to a shutter for a furnace heater that can minimize deformation and damage of the thrust bearing due to heat by installing a heat-blocking cover 432 on the upper front of the furnace, thereby ensuring operational stability and increasing the service life.
  • the heater of the furnace mentioned in the present invention has an opening, that is, an inlet, formed at the bottom, and a boat loaded with wafers is drawn in and out of the inlet of the heater to proceed with the heat treatment operation, and the shutter for the furnace heater of the present invention is as described above.
  • the inlet of the heater is opened, and when the boat is taken out through the inlet of the heater, the inlet of the heater is closed.
  • the base frame 100 a major component for achieving the present invention, is
  • the upper ball spline 110 is fixedly coupled to the front upper part
  • the lower ball spline 120 is fixedly coupled to the front lower part. It is installed inside the furnace, and is installed to be located at the lower part of the heater inlet, so that the lifting and lowering rotation shaft 200 Supports the air cylinder 300 and the shutter plate member 400 so that they can be installed and operated.
  • the base frame 100 of the present invention is installed inside the furnace, and is installed to be located at the lower rear of the heater inlet, and has a body with an upper bracket protruding on the upper front and a lower bracket protruding on the lower front. It consists of:
  • the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120 are fixedly coupled to the lower part of the upper bracket and the upper part of the lower bracket, respectively, and the lifting and lowering rotation shaft 200 is connected to the upper ball spline 110 and the lower ball spline.
  • the lifting and rotating shaft 200 is installed through the air cylinder 300 and is raised and lowered through the air cylinder 120, it is rotated by the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120.
  • the upper bracket and the lower bracket are formed with through holes so that the upper ball spline 110 and lower ball spline 120 can be installed through them.
  • the lifting and rotating shaft 200 which is a major component for achieving the present invention, is
  • the lifting and rotating shaft 200 of the present invention is fixedly coupled to the rear of the shutter plate member 400, that is, the rear of the shutter arm 410, and is lifted and rotated by the air cylinder 300 to raise and lower the shutter plate member ( 400) Also, the inlet of the heater is opened and closed by being lifted and rotated.
  • the air cylinder 300 a major component for achieving the present invention, is
  • the air cylinder 300 of the present invention is installed at the lower part of the thrust bearing member 500 because the rod 310 and the lifting and rotating shaft 200 are connected by the thrust bearing member 500.
  • the shutter plate member 400 which is a major component for achieving the present invention
  • the rear is coupled to the lifting and lowering rotation shaft 200 and opens and closes the heater inlet as it is lifted and rotated together with the lifting and lowering rotation shaft 200. It rotates in one direction and simultaneously rises to close the heater inlet and rotates in the other direction. At the same time, it lowers and opens the heater inlet.
  • the shutter plate member 400 of the present invention includes a shutter arm 410 coupled to the rear of the lifting rotation shaft 200 and a shutter plate 420 coupled to the front of the shutter arm 410. It is configured, and when the lifting and rotating shaft 200 is lifted and rotated together, the shutter plate 420 opens and closes the inlet of the heater.
  • the base frame 100 of the present invention is installed on the front, positioned between the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120, and lifts and rotates the shutter plate member 400. It is configured to include a guide plate 130 on which a guide groove 132 is formed to correspond to the path.
  • the guide groove 132 is raised as the shutter plate member 400 rotates to close the heater inlet, so it is formed to slope upward toward the other side, and a rising groove 132a is formed at the other end toward the top. .
  • the shutter plate member 400 rotates and rises, it moves along the guide groove 132 on the shutter arm 410 so that it can rotate and rise more stably by the guide groove 132. It is composed of a guide roller 412.
  • the guide roller 412 is installed to protrude from the rear of the shutter arm 410 and is positioned at the rear of the shutter arm 410 according to the elevation and rotation of the lifting and rotating shaft 200. It rotates and rises in a direction opposite to the rotation direction of 410, and moves stably and precisely along the guide groove 132 so that the entire shutter plate member 400 can be lifted and rotated.
  • the guide roller 412 inserted into the guide groove 132 is of the shutter arm 410. After being rotated in the other direction from the rear and raised, it is raised vertically at the other end of the guide groove 132, so that the shutter plate 420 is rotated in one direction and then raised to firmly and stably close the heater inlet. .
  • the shutter plate member 400 of the present invention closes the inlet of the heater by rotating and raising the lifting and lowering rotation shaft 200 by the air cylinder 300, and the lifting and lowering rotation shaft 200 by the air cylinder 300. This rotates and descends to open the inlet of the heater.
  • a separation prevention hole 411 into which the guide roller 412 can be inserted and fixed can be formed in the shutter arm 410 of the shutter plate member 400 of the present invention, and the separation prevention hole 411 of the shutter arm 410 is prevented. Since it can be assembled and disassembled in the hole 411 using fixing means such as bolts, replacement and repair of the guide roller 412 can be performed smoothly.
  • the base frame 100 of the present invention described above is installed on one side of the front, and includes a buffer plate 140 installed between the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120.
  • the shutter plate member 400 of the present invention is installed at the lower part of the shutter arm 410 and includes a closing absorber 430 on one side of which is in contact with or spaced apart from the buffer plate 140.
  • the closing absorber 430 is in contact with the buffer plate 140 when the shutter plate member 400 of the present invention is raised and rotated by the air cylinder 300, so that the shutter plate member 400 rotates and rises. This achieves the effect of reducing the impact when closing the heater inlet, thereby enabling a more stable closure.
  • the base frame 100 is configured to include an open absorber 150 installed on the other front side and in contact with or spaced apart from the other side of the shutter arm 410.
  • the open absorber 150 is the shutter plate of the present invention.
  • the member 400 When the member 400 is lowered and rotated by the air cylinder 300, it contacts the other side of the shutter arm 410, causing shock when the shutter plate member 400 rotates and descends to open the inlet of the heater. By cushioning, there is an effect of allowing the shutter plate member 400 to be opened more stably.
  • the shutter plate member 400 of the present invention closes the inlet of the heater more firmly when closing the inlet of the heater by the rising groove 132a of the guide groove 132 described above.
  • the rising groove Because it rises suddenly due to (132a), a larger impact is generated than when opening the inlet of the heater.
  • the present invention alleviates rotational shock through the buffer plate 140 and the closing absorber 430 when the shutter plate member 400 rotates and rises.
  • the present invention preferably alleviates the impact of a sudden rise caused by the rising groove (132a) when the shutter plate member 400 rotates and rises. To this end, a buffer is provided even when the lifting rotation shaft 200 is raised. It can be done as much as possible.
  • the present invention is an upper absorber 112 installed on the upper ball spline 110 to cushion the lifting and lowering rotating shaft 200 when the lifting and lowering rotating shaft 200 rises. It may be configured to include.
  • the upper absorber 112 is installed on the upper part of the upper ball spline 110 so that the upper and lower surfaces of the lifting and lowering rotation shaft 200 are in contact with or spaced apart from each other, so that the upper and lower surfaces of the lifting and lowering rotation shaft 200 are raised.
  • the impact caused by the rise of the shutter plate member 400 is alleviated, thereby realizing the effect of allowing the heater inlet to be closed more stably.
  • the shutter for the furnace heater of the present invention is configured to include a thrust bearing member 500 so that the lifting and lowering rotation shaft 200 can be raised and lowered and rotated smoothly according to the lifting operation of the air cylinder 300. It is characterized by being
  • the thrust bearing member 500 as described above connects the lower part of the lifting and lowering rotation shaft 200 and the upper part of the rod 310 of the air cylinder 300, and thus the upper part of the rod 310 of the air cylinder 300
  • the lifting and lowering rotation shaft 200 is lifted and rotated smoothly by the upper ball spline 110 and lower ball spline 120 described above.
  • the thrust bearing member 500 is coupled to a lower coupling member 510 coupled to the upper part of the rod 310 of the air cylinder 300 and a lower part of the lifting and lowering rotation shaft 200.
  • (200) is rotatably coupled, and is installed on an upper coupling member 520 coupled to the lower coupling member 510 and inside the upper coupling member 520, on the outer periphery of the lifting and lowering rotation shaft 200. It is configured to include a thrust bearing 530 installed to be positioned.
  • the thrust bearing member 500 is raised and lowered when the rod 310 of the air cylinder 300 is raised and lowered as the lower coupling member 510 and the upper coupling member 520 are coupled.
  • the lifting and lowering rotation shaft 200 is connected to the upper ball spline 110 and the lower ball.
  • the spline 120 When rotated by the spline 120, the lower part of the lifting and lowering rotation shaft 200 is smoothly rotated by the thrust bearing 530.
  • the lifting and lowering rotation shaft 200 of the present invention is rotated by the upper ball spline 110 and the lower ball spline 120 as it is lifted and lowered by the air cylinder 300, and the lifting and lowering rotation shaft 200 is operated by the air cylinder 300.
  • the lower part that is lifted and lowered by the cylinder 300 is also coupled to rotate smoothly by the thrust bearing 530, so that the lift and rotation of the air cylinder 300 are performed stably.
  • the shutter plate 420 of the shutter plate member 400 described above blocks heat from the heater and includes a blocking plate 422 with a circulation passage 422a formed on its lower surface, and the blocking plate 422 It is configured to include a lower cover 424 that is closely coupled to the lower surface, and the shutter for the furnace heater of the present invention is coupled to the lower cover 424 to supply and recover coolant to the sealed circulation passage 422a. It is characterized in that it includes a cooling water supply unit 600.
  • the blocking plate 422 directly blocks the heat from the heater, and the lower cover 424 closes the lower part of the circulation passage 422a formed on the lower surface of the blocking plate 422 to open the circulation passage 422a. Ensure that the coolant supplied to circulates smoothly.
  • the coolant supply unit 600 can be installed inside or outside the furnace to supply and recover coolant.
  • the lower cover 424 forms a plurality of welding holes 424a at positions where the circulation passage 422a of the blocking plate 422 is not formed.
  • circulation passage 422a of the blocking plate 422 is sealed by joining the lower cover 424 to the blocking plate 422 by welding the plurality of welding holes 424a of the lower cover 424, etc.
  • the shutter plate member 400 is configured to include a cooling cover 440 installed at the front lower part of the shutter arm 410 to collect coolant leaked from the circulation passage 422a.
  • the cooling cover ( 440) collects water leakage occurring in the lower cover 424, guides it to the water reservoir 160 installed in the front lower part of the base frame 100, and drains it to the outside, thereby facilitating wafer processing and furnace operation.
  • the shutter arm 410 is installed at the front upper part and is characterized by including a plurality of elastic members 414 that elastically support the blocking plate 422, which will be described in detail later.
  • the elastic members ( 414) provides cushioning when the shutter plate member 400 rotates and rises to close the heater inlet with the blocking plate 422, thereby enabling the heater inlet to be closed more stably.
  • the shutter for the furnace heater of the present invention elevates the lifting and lowering rotation shaft 200 through the air cylinder 300, and allows the lifting and lowering rotation shaft 200 to rotate smoothly with the lifting and lowering through the ball spline and thrust bearing 530.
  • the inlet of the heater can be opened and closed stably and firmly by precisely lifting and rotating through the guide groove 132 and the guide roller 412, and the circulation of coolant and the heat shield cover 432 Through this, the ball spline and thrust bearing 530 are protected from the heat generated by the heater, allowing the inlet of the heater to be opened and closed more stably.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Resistance Heating (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조 시 사용되는 퍼니스의 히터 입구를 개폐하는 셔터에 관한 것으로서, 보다 상세하게 설명하면, 에어실린더에 의해 승강됨과 동시에 회전되어 히터의 입구를 개폐할 수 있도록 볼스플라인과 스러스트베어링을 이용하고, 셔터의 하부에 냉각수가 순환될 수 있도록 함과 동시에 스러스트베어링에 열이 전달되는 것을 최소화하여 변형 및 파손을 방지함으로써, 열에 안정되고, 정밀하게 작동되어 히터의 입구를 안전하고 견고하게 개폐할 수 있는 퍼니스 히터용 셔터에 관한 기술분야가 개시된다.

Description

퍼니스 히터용 셔터
본 발명은 반도체 제조 시 사용되는 퍼니스의 히터 입구를 개폐하는 셔터에 관한 것으로서, 보다 상세하게 설명하면, 에어실린더에 의해 승강됨과 동시에 회전되어 히터의 입구를 개폐할 수 있도록 볼스플라인과 스러스트베어링을 이용하고, 셔터의 하부에 냉각수가 순환될 수 있도록 함과 동시에 스러스트베어링에 열이 전달되는 것을 최소화하여 변형 및 파손을 방지함으로써, 열에 안정되고, 정밀하게 작동되어 히터의 입구를 안전하고 견고하게 개폐할 수 있는 퍼니스 히터용 셔터에 관한 기술분야이다.
퍼니스 장치는 반도체 공정의 핵심 구성을 이루는 투명 전도층, 절연층, 금속층 또는 실리콘층을 형성하는 단계를 담당하는 장치로서, LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 또는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)와 같은 화학 증착 장치와 Oxidation과 같은 반도체 웨이퍼(Wafer) 위에 옥사이드(Oxide)를 성장시키는 장치가 있다. 또한, 어닐링 장치는 증착 공정 후에 결정화, 상 변화 등을 위해 수반되는 열처리 단계를 담당하는 장치이다.
예를 들자면, 반도체 공정의 경우에 있어서. 증착 공정과 어닐링 공정은 모두 기판을 소정의 온도로 열처리 공정을 수행해야 한다. 이와 같은 열처리 공정을 수행하기 위해서는 기판의 히팅이 가능한 퍼니스(furnace)장치의 사용이 필수적이다.
반도체 장치의 제조 과정에서, 저압 화학 기상 증착 공정 및 확산 공정은 통상적으로 종형의 퍼니스장치 내에서 이루어진다. 구체적으로, 퍼니스형 반도체 설비는 히터 블록이 구비되고 히터 블록 내부에 석영으로 이루어지는 아우트 튜브 및 이너 튜브로 구성된다. 또한, 이너 튜브 내에는 웨이퍼들을 적재하기 위한 보트가 구비 되며, 상기 보트에 적재된 다수매의 웨이퍼는 한꺼번에 공정 공간, 즉 공정 챔버에 투입되어 증착 또는 확산 공정이 수행된다.
이때, 상기 공정 챔버는 히터에 해당되고, 상기 공정 챔버는 하부로 보트가 투입 또는 철수되는데, 상기 공정 챔버의 열에 의해 다른 부품들이 변형 및 파손되 는 것을 방지하기 위해 보트가 투입되지 않는 경우 상기 공정 챔버의 하부는 셔터에 의해 항상 폐쇄되며, 상기 보트가 상기 공정 챔버의 하부로 투입되는 경우 상기 공정 챔버의 하부는 셔터에 의해 개방된다.
상기와 같이 공정 챔버 즉, 히터의 하부에 형성된 입구를 개폐하는 셔터는 히터로부터 발생되는 열에 안정되어야 하고, 정밀하게 작동되어 상기 공정 챔버의 하부에 형성된 입구를 견고하고 안전하게 개폐해야 한다.
본 발명은 상술한 종래기술에 따른 문제점을 해결하고자 안출된 기술로서, 웨이퍼의 열처리를 위해 히터의 하부에 개구부 즉, 입구를 형성하고, 상기 개구부를 통해 히터의 내부로 보트를 이용해 웨이퍼를 로딩한 후 상기 개구부는 셔터플레이트부재에 의해 폐쇄되어 열처리 작업이 원활히 진행될 수 있는 퍼니스 히터용 셔터를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 볼스플라인과 승강회전축 및 스러스트베어링을 이용하여 에어실린더에 의한 승강과 동시에 셔터플레이트부재가 회전되도록 함으로써, 정밀하고 견고하게 히터의 입구를 개폐할 수 있는 퍼니스 히터용 셔터를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 히터에서 발생되는 열에 의해 셔터플레이트부재와 스러스트베어링이 변형 및 파손되는 것을 최소화시킬 수 있도록 상기 셔터플레이트부재에 냉각수가 순환될 수 있도록 함과 동시에 냉각수의 누수에도 웨이퍼에 영향을 미치지 않도록 물받이를 설치함으로써, 히터의 입구를 열에 안정되고, 안전하게 개폐할 수 있는 퍼니스 히터용 셔터를 제공하는 것이다.
본 발명은 상기와 같은 소기의 목적을 실현하고자, 퍼니스의 히터 입구를 개폐하는 셔터에 있어서, 전면 상부에 상부볼스플라인(110)이 고정결합되고, 전면 하부에 하부볼스플라인(120)이 고정결합되는 베이스프레임(100);과 상기 베이스프레임(100)의 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)을 관통하여 설치되는 승강회전축(200);과 상기 하부볼스플라인(120)의 하부에 설치되어 상기 승강회전축(200)을 승강시키는 에어실린더(300); 및 상기 승강회전축(200)에 결합되어 상기 승강회전축(200)과 함께 승강 및 회전됨에 따라 상기 히터 입구를 개폐하는 셔터플레이트부재(400);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터를 제시한다.
또한, 본 발명의 상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 승강회전축(200)에 후방이 결합되는 셔터암(410);과 상기 셔터암(410)의 전방에 결합되는 셔터플레이트(420);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 베이스프레임(100)은 전면에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되고, 상기 셔터플레이트부재(400)의 승강 및 회전 경로에 대응되도록 가이드홈(132)이 형성되는 가이드플레이트(130);를 포함하여 구성되고, 상기 셔터암(410)은 후방에 설치되어 상기 가이드홈(132)을 따라 이동되는 가이드롤러(412);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 베이스프레임(100)은 전면 일측에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되는 완충플레이트(140);를 포함하여 구성되고, 상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터암(410)의 하부에 설치되어 일측이 상기 완충플레이트(140)와 접촉 또는 이격되는 폐쇄업소버(430);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 베이스프레임(100)은 전면 타측에 설치되어 상기 셔터암(410)과 접촉 또는 이격되는 개방업소버(150);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 상부볼스플라인(110)은 상부에 설치되어 상기 승강회전축(200)의 상부면과 하부면이 접촉 또는 이격되는 상부업소버(112);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상기 승강회전축(200)의 하부와 에어실린더(300)의 로드(310)의 상부를 연결하는 스러스트베어링부재(500);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 폐쇄업소버(430)는 전방에 설치되어 히터의 열을 차단하는 열차단커버(432);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 셔터플레이트(420)는 히터의 열을 차단하고, 하부면에 순환유로(422a)가 형성되는 차단플레이트(422);와 상기 차단플레이트(422)의 하부면에 밀접되어 결합되는 하부커버(424);를 포함하여 구성되고, 상기 하부커버(424)에 연결되어 상기 순환유로(422a)에 냉각수가 공급되도록 하는 냉각수공급부(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 상기 베이스프레임(100)은 전방 하부에 설치된 물받이(160);를 포함하고, 상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터플레이트(420)에서 발생하는 누수를 배수하는 쿨링커버(440);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 제시된 본 발명에 의한 퍼니스 히터용 셔터는 에어실린더와 상, 하부볼스플라인부재 및 가이드홈이 형성된 가이드플레이트를 이용하여 상기 에어실린더의 승강작동에 의해 셔터플레이트부재가 승강됨과 동시에 안정적으로 회전될 수 있도록 함으로써, 히터의 입구를 정밀하고 견고하게 개폐할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 셔터플레이트부재에 의한 히터 입구의 개폐시 업소버를 통해 충격을 완화함으로써, 작동 충격에 의한 파손을 최소화하여 사용기간을 증대시키는 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 셔터플레이트부재의 차단플레이트의 하부에 냉각수가 순환되도록 하여 히터에서 발생되는 열에 의해 상기 차단플레이트의 변형 및 파손되는 것을 최소화하여 안정적으로 히터의 입구가 폐쇄된 상태를 유지할 수 있도록 하는 효과와, 상기 셔터플레이트부재에서 냉각수가 누수될 경우 쿨링커버와 물받이로 모아 누수의 흐름을 유도하여 배수함으로써 안정적으로 웨이퍼의 가공 및 퍼니스 작동 등을 원활하게 할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터가 히터를 개방한 상태를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터가 히터를 폐쇄한 상태를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터의 베이스프레임, 스러스트베어링부재 및 에어실린더를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터의 베이스프레임, 스러스트베어링부재 및 에어실린더를 나타낸 정면도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터의 셔터플레이트부재를 나타낸 사시도(a) 및 저면 사시도(b).
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터의 셔터플레이트부재를 나타낸 분해 사시도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터의 작동을 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 셔터가 히터를 개방한 상태를 나타낸 단면 사시도.
본 발명은 반도체 제조 시 사용되는 퍼니스의 히터 입구를 개폐하는 셔터에 관한 것으로, 보다 상세하게 설명하면, 승강회전축(200)에 후방이 결합되어 상기 승강회전축(200)이 에어실린더(300)에 의해 승강 및 회전됨에 따라 승강 및 회전되어 히터 입구를 개폐하되, 안정적이고 견고하게 승강 및 회전될 수 있도록 볼스플라인과 스러스트베어링(530)을 이용하고, 셔터플레이트부재(400)의 차단플레이트(422)의 하부에 냉각수가 순환될 수 있도록 순환유로(422a)를 형성하여 히터의 입구가 폐쇄된 상태에서 히터의 열을 차단함과 동시에 상기 차단플레이트(422)가 안정된 상태를 유지할 수 있도록 하고, 상기 셔터플레이트부재(400)에서 냉각수가 누수될 경우 쿨링커버(440)와 물받이(160)로 모아진 누수의 흐름을 유도하여 안정적으로 웨이퍼를 가공과 퍼니스 작동을 원활하게 할 수 있도록 하고, 상기 스러스트베어링부재(500)의 상부 전방에 열차단커버(432)을 설치하여 스러스트베어링이 열에 의해 변형 및 파손되는 것을 최소화하여 작동의 안정성을 확보함과 동시에 사용기간을 증대시킬 수 있는 퍼니스 히터용 셔터에 관한 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 도시한 도면 1 내지 8을 참고하여 본 발명을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에서 언급되는 퍼니스의 히터는 하부에 개구부 즉, 입구가 형성되어 있고, 열처리 작업 진행을 위해 웨이퍼가 탑재된 보트가 히터의 입구로 인입출되며, 본 발명의 퍼니스 히터용 셔터는 상기 보트가 히터의 입구를 통해 인입될 때, 상기 히터의 입구를 개방하고, 상기 보트가 히터의 입구를 통해 인출되면 상기 히터의 입구를 폐쇄한다.
본 발명을 달성하기 위한 주요 구성요소인 베이스프레임(100)은
전면 상부에 상부볼스플라인(110)이 고정결합되고, 전면 하부에 하부볼스플라인(120)이 고정결합되는 것으로서, 퍼니스의 내부에 설치되되, 히터 입구의 하부에 위치되도록 설치되어 승강회전축(200)을 지지하며, 에어실린더(300) 및 셔터플레이트부재(400)가 설치되어 작동될 수 있도록 한다.
구체적으로, 본 발명의 베이스프레임(100)은 퍼니스의 내부에 설치되되, 히터 입구의 하부 후방에 위치되도록 설치되고, 전면 상부에 상부브라켓이 돌출형성되며, 전면 하부에 하부브라켓이 돌출형성는 몸체를 포함하여 구성된다.
이때, 상기 상부브라켓의 하부와 상기 하부브라켓의 상부에 각각 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)이 고정결합되고, 승강회전축(200)이 상기 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)을 관통하여 설치되어 에어실린더(300)에 의해 상기 승강회전축(200)이 승강되면 상기 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)에 의해 회전된다.
아울러, 상기 상부브라켓과 하부브라켓은 상기 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)이 관통되어 설치될 수 있도록 관통홀이 형성된다.
본 발명을 달성하기 위한 주요 구성요소인 승강회전축(200)은
상기 베이스프레임(100)의 상기 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)을 관통하여 설치되는 것으로서, 에어실린더(300)에 의해 승강됨에 따라 고정 설치된 상기 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)에 의해 회전되며 승강된다.
아울러, 본 발명의 승강회전축(200)은 셔터플레이트부재(400)의 후방 즉, 셔터암(410)의 후방이 고정결합되어 상기 에어실린더(300)에 의해 승강 및 회전됨에 따라 상기 셔터플레이트부재(400) 또한 승강 및 회전되어 히터의 입구가 개폐된다.
본 발명을 달성하기 위한 주요 구성요소인 에어실린더(300)는
상기 하부볼스플라인(120)의 하부 즉, 베이스프레임(100)의 하부브라켓의 하부에 설치되어 상기 승강회전축(200)을 승강시키는 것으로서, 상부에 구비된 로드(310)가 상기 승강회전축(200)의 하부와 연결되어 제어부에 의한 작동에 따라 상기 로드(310)가 승강되어 상기 승강회전축(200)을 승강시킨다.
부가하여 설명하면, 본 발명의 에어실린더(300)는 스러스트베어링부재(500)에 의해 로드(310)와 승강회전축(200)이 연결되므로, 즉 상기 스러스트베어링부재(500)의 하부에 설치된다.
본 발명을 달성하기 위한 주요 구성요소인 셔터플레이트부재(400)는
상기 승강회전축(200)에 후방이 결합되어 상기 승강회전축(200)과 함께 승강 및 회전됨에 따라 상기 히터 입구를 개폐하는 것으로서, 일측방향으로 회전됨과 동시에 상승되어 히터 입구를 폐쇄하고, 타측방향으로 회전됨과 동시에 하강되어 히터 입구를 개방한다.
구체적으로, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)는 상기 승강회전축(200)에 후방에 결합되는 셔터암(410)과, 상기 셔터암(410)의 전방에 결합되는 셔터플레이트(420)를 포함하여 구성되고, 상기 승강회전축(200)이 승강 및 회전됨에 따라 함께 승강 및 회전되면 상기 셔터플레이트(420)가 히터의 입구를 개폐한다.
한편, 본 발명의 베이스프레임(100)은 전면에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되고, 상기 셔터플레이트부재(400)의 승강 및 회전 경로에 대응되도록 가이드홈(132)이 형성되는 가이드플레이트(130)를 포함하여 구성된다.
상기 가이드홈(132)은 상기 셔터플레이트부재(400)가 회전하면서 상승되어 히터 입구를 폐쇄하므로 타측방향으로 갈수록 상향 경사지도록 형성되고, 타측말단에 상부방향으로 형성된 상승홈(132a)이 형성되어 있다.
이때, 상기 셔터플레이트부재(400)는 회전하면서 상승될 때, 상기 가이드홈(132)에 의해 보다 안정적으로 회전 및 상승될 수 있도록 상기 셔터암(410)에 상기 가이드홈(132)을 따라 이동되는 가이드롤러(412)를 포함하여 구성된다.
보다 상세하게 설명하면, 상기 가이드롤러(412)는 상기 셔터암(410)의 후방에 돌출되도록 설치되어 상기 승강회전축(200)의 승강 및 회전에 따라 상기 셔터암(410)의 후방에서 상기 셔터암(410)의 회전방향과 반대방향으로 회전되며 상승되되, 상기 가이드홈(132)을 따라 안정적이고 정밀하게 이동되어 셔터플레이트부재(400) 전체가 승강 및 회전될 수 있도록 한다.
부가하여 설명하면, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)는 상기 승강회전축(200)이 상승되면서 회전됨에 따라 상기 가이드홈(132)에 내입된 상기 가이드롤러(412)는 상기 셔터암(410)의 후방에서 타측방향으로 회전되며 상승된 후 상기 가이드홈(132)의 타측말단에서 수직하게 상승되므로, 셔터플레이트(420)가 일측방향으로 회전된 후 상승되어 히터의 입구를 견고하고 안정적으로 폐쇄하게 된다.
즉, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)는 상기 에어실린더(300)에 의해 승강회전축(200)이 회전 및 상승되어 히터의 입구를 폐쇄하고, 상기 에어실린더(300)에 의해 승강회전축(200)이 회전 및 하강되어 히터의 입구를 개방하는 것이다.
한편, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)의 셔터암(410)에는 가이드롤러(412)를 삽입 고정할 수 있는 이탈방지홀(411)을 형성할 수 있고, 상기 셔터암(410)의 이탈방지홀(411)에 볼트 등 고정수단으로 조립, 해제할 수 있어 가이드롤러(412)의 교체, 보수 등을 원활하게 할 수 있는 것이다.
또한, 앞서 설명된 본 발명의 베이스프레임(100)은 전면 일측에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되는 완충플레이트(140)를 포함하여 구성되고, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터암(410)의 하부에 설치되어 일측이 상기 완충플레이트(140)와 접촉 또는 이격되는 폐쇄업소버(430)를 포함하여 구성된다.
상기 폐쇄업소버(430)는 본 발명의 셔터플레이트부재(400)가 에어실린더(300)에 의해 상승하며 회전될 때, 상기 완충플레이트(140)에 접촉되어 상기 셔터플레이트부재(400)가 회전 및 상승되어 히터의 입구를 폐쇄할 때 충격을 완화하는 등 보다 안정적으로 폐쇄가 이루어질 수 있도록 하는 효과를 실현케 한다.
또한, 상기 베이스프레임(100)은 전면 타측에 설치되어 상기 셔터암(410)의 타측과 접촉 또는 이격되는 개방업소버(150)를 포함하여 구성되는데, 상기 개방업소버(150)는 본 발명의 셔터플레이트부재(400)가 에어실린더(300)에 의해 하강하며 회전될 때, 상기 셔터암(410)의 타측과 접촉되어 상기 셔터플레이트부재(400)가 회전 및 하강되어 히터의 입구를 개방할 때 충격을 완충함으로써 상기 셔터플레이트부재(400)가 보다 안정적으로 개방될 수 있도록 하는 효과가 있다.
이때, 본 발명의 셔터플레이트부재(400)는 앞서 설명된 가이드홈(132)의 상승홈(132a)에 의해 히터의 입구를 폐쇄할 때, 보다 견고하게 히터의 입구를 폐쇄하게 되는데, 상기 상승홈(132a)에 의해 급작스런 상승을 하게되므로 히터의 입구를 개방할 때보다 큰 충격이 발생된다.
즉, 본 발명은 셔터플레이트부재(400)가 회전하며 상승될 때, 상기 완충플레이트(140)과 폐쇄업소버(430)를 통해 회전충격을 완화하는 것이다.
아울러, 본 발명은 셔터플레이트부재(400)가 회전하며 상승될 때, 상기 상승홈(132a)에 의한 급작스런 상승의 충격을 완화하는 것이 바람직한데, 이를 위해 상기 승강회전축(200)이 상승될 때도 완충되도록 할 수 있다.
이에 따라 본 발명은 상기 승강회전축(200)의 상승시 상기 승강회전축(200)을 완충시키기 위해 상기 상부볼스플라인(110)의 상부에 설치되어 상기 승강회전축(200)을 완충시키는 상부업소버(112)를 포함하여 구성될 수 있다.
다시 말해, 상기 상부업소버(112)는 상기 상부볼스플라인(110)의 상부에 설치되어 상기 승강회전축(200)의 상부면과 하부면이 접촉 또는 이격되어 상기 승강회전축(200)의 상승시 상기 승강회전축(200)을 완충시켜 상기 셔터플레이트부재(400)의 상승에 따른 충격을 완화하여 히터의 입구가 보다 안정적으로 폐쇄될 수 있도록 하는 효과를 실현케 한다.
상기와 연관하여, 본 발명의 퍼니스 히터용 셔터는 에어실린더(300)의 승강작동에 따라 상기 승강회전축(200)이 승강함과 동시에 원활하게 회전될 수 있도록 스러스트베어링부재(500)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
보다 상세하게 설명하면, 상기와 같은 스러스트베어링부재(500)는 상기 승강회전축(200)의 하부와 에어실린더(300)의 로드(310)의 상부를 연결하고, 이에 따라 상기 에어실린더(300)의 로드(310)가 승강되면 상기 승강회전축(200)이 승강되면서 앞서 설명된 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)에 의해 상기 승강회전축(200)이 원활하게 회전된다.
구체적으로, 상기 스러스트베어링부재(500)는 상기 에어실린더(300)의 로드(310)의 상부에 결합되는 하부결합부재(510)와, 상기 승강회전축(200)의 하부에 결합되되, 상기 승강회전축(200)이 회전가능하도록 결합되고, 상기 하부결합부재(510)와 결합되는 상부결합부재(520) 및 상기 상부결합부재(520)의 내부에 설치되되, 상기 승강회전축(200)의 외주연에 위치되도록 설치되는 스러스트베어링(530)을 포함하여 구성된다.
즉, 상기 스러스트베어링부재(500)는 상기 하부결합부재(510)와 상부결합부재(520)가 결합됨에 따라 에어실린더(300)의 로드(310)가 승강되면 상기 하부결합부재(510)의 승강에 의해 상기 상부결합부재(520)가 상기 승강되고, 상기 상부결합부재(520)의 승강에 따라 상기 승강회전축(200)이 승강되면 상기 승강회전축(200)이 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)에 의해 회전될 때, 상기 승강회전축(200)의 하부가 상기 스러스트베어링(530)에 의해 원활하게 회전되는 것이다.
부가하여 설명하면, 본 발명의 승강회전축(200)은 에어실린더(300)에 의해 승강됨에 따라 상부볼스플라인(110)과 하부볼스플라인(120)에 의해 회전되고, 상기 승강회전축(200)이 에어실린더(300)에 의해 승강되는 하부 또한 스러스트베어링(530)에 의해 원활하게 회전되도록 결합됨으로써, 상기 에어실린더(300)의 승강작동에 의해 승강 및 회전이 안정적으로 이루어지는 것이다.
또한, 앞서 설명된 셔터플레이트부재(400)의 셔터플레이트(420)는 히터의 열을 차단하고, 하부면에 순환유로(422a)가 형성되는 차단플레이트(422)와, 상기 차단플레이트(422)의 하부면에 밀접되어 결합되는 하부커버(424)를 포함하여 구성되고, 본 발명의 퍼니스 히터용 셔터는 상기 하부커버(424)와 결합되어 밀폐된 상기 순환유로(422a)에 냉각수가 공급 및 회수되도록 하는 냉각수공급부(600)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 차단플레이트(422)는 히터의 열을 직접적으로 차단하고, 상기 하부커버(424)는 상기 차단플레이트(422)의 하부면에 형성된 순환유로(422a)의 하부를 폐쇄하여 상기 순환유로(422a)에 공급되는 냉각수가 원활하게 순환될 수 있도록 한다. 이때, 상기 냉각수공급부(600)는 퍼니스의 내부 또는 외부에 설치되어 냉각수를 공급 및 회수할 수 있다.
또한, 상기 하부커버(424)는 상기 차단플레이트(422)의 순환유로(422a)가 형성되지 않는 위치에 복수 개의 용접홀(424a)을 형성하는 것이다.
아울러, 상기 차단플레이트(422)에 하부커버(424)의 복수 개의 용접홀(424a)을 용접 등으로 하부커버(424)를 결합하여 차단플레이트(422)의 순환유로(422a)가 밀폐되게 한다.
또한, 상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터암(410)의 전방 하부에 설치되어 상기 순환유로(422a)에서 누수된 냉각수를 포집하는 쿨링커버(440)를 포함하여 구성되는데, 상기 쿨링커버(440)는 하부커버(424)에서 발생하는 누수를 포집하여 베이스프레임(100)의 전방 하부에 설치되는 물받이(160)로 유도하여 외부로 배수함으로써 웨이퍼의 가공 및 퍼니스의 작동을 원활하게 한다.
한편, 상기 셔터암(410)은 전방 상부에 설치되어 이후에 자세히 설명될 상기 차단플레이트(422)를 탄성지지하는 복수 개의 탄성부재(414)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는데, 상기 탄성부재(414)는 셔터플레이트부재(400)가 회전 및 상승되어 차단플레이트(422)가 히터의 입구를 폐쇄할 때, 완충되도록 함으로써, 보다 안정적으로 히터 입구의 폐쇄가 이루어질 수 있도록 한다.
결과적으로, 본 발명의 퍼니스 히터용 셔터는 에어실린더(300)를 통해 승강회전축(200)을 승강시키되, 볼스플라인과 스러스트베어링(530)을 통해 승강회전축(200)이 승강과 함께 원활하게 회전되도록 함과 동시에 가이드홈(132)과 가이드롤러(412)를 통해 정밀하게 승강 및 회전이 이루어지도록 함으로써, 히터의 입구를 안정적이고 견고하게 개폐할 수 있도록 하고, 냉각수의 순환 및 열차단커버(432)를 통해 볼스플라인과 스러스트베어링(530)이 히터에서 발생되는 열로부터 보호되도록 하여 보다 안정적으로 히터의 입구를 개폐할 수 있도록 하는 효과를 얻을 수 있다.
상기는 본 발명의 바람직한 실시예를 참고로 설명하였으며, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되지 아니하고, 상기의 실시예를 통해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경으로 실시할 수 있는 것이다.

Claims (10)

  1. 퍼니스의 히터 입구를 개폐하는 셔터에 있어서,
    전면 상부에 상부볼스플라인(110)이 고정결합되고, 전면 하부에 하부볼스플라인(120)이 고정결합되는 베이스프레임(100);과
    상기 베이스프레임(100)의 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)을 관통하여 설치되는 승강회전축(200);과
    상기 하부볼스플라인(120)의 하부에 설치되어 상기 승강회전축(200)을 승강시키는 에어실린더(300); 및
    상기 승강회전축(200)에 결합되어 상기 승강회전축(200)과 함께 승강 및 회전됨에 따라 상기 히터 입구를 개폐하는 셔터플레이트부재(400);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 승강회전축(200)에 후방이 결합되는 셔터암(410);과 상기 셔터암(410)의 전방에 결합되는 셔터플레이트(420);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 베이스프레임(100)은 전면에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되고, 상기 셔터플레이트부재(400)의 승강 및 회전 경로에 대응되도록 가이드홈(132)이 형성되는 가이드플레이트(130);를 포함하여 구성되고,
    상기 셔터암(410)은 후방에 설치되어 상기 가이드홈(132)을 따라 이동되는 가이드롤러(412);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 베이스프레임(100)은 전면 일측에 설치되되, 상기 상부볼스플라인(110)과 상기 하부볼스플라인(120)의 사이에 위치되도록 설치되는 완충플레이트(140);를 포함하여 구성되고,
    상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터암(410)의 하부에 설치되어 일측이 상기 완충플레이트(140)와 접촉 또는 이격되는 폐쇄업소버(430);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 베이스프레임(100)은 전면 타측에 설치되어 상기 셔터암(410)과 접촉 또는 이격되는 개방업소버(150);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 상부볼스플라인(110)은 상부에 설치되어 상기 승강회전축(200)의 상부면과 하부면이 접촉 또는 이격되는 상부업소버(112);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 승강회전축(200)의 하부와 에어실린더(300)의 로드(310)의 상부를 연결하는 스러스트베어링부재(500);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 폐쇄업소버(430)는 전방에 설치되어 히터의 열을 차단하는 열차단커버(432);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 셔터플레이트(420)는 히터의 열을 차단하고, 하부면에 순환유로(422a)가 형성되는 차단플레이트(422);와 상기 차단플레이트(422)의 하부면에 밀접되어 결합되는 하부커버(424);를 포함하여 구성되고,
    상기 하부커버(424)에 연결되어 상기 순환유로(422a)에 냉각수가 공급 및 회수되도록 하는 냉각수공급부(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 베이스프레임(100)은 전방 하부에 설치된 물받이(160);를 포함하고,
    상기 셔터플레이트부재(400)는 상기 셔터플레이트(420)에서 발생하는 누수를 배수하는 쿨링커버(440);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 퍼니스 히터용 셔터.
PCT/KR2023/008809 2022-07-05 2023-06-26 퍼니스 히터용 셔터 WO2024010262A1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202380011076.1A CN117652017A (zh) 2022-07-05 2023-06-26 用于炉加热器的闸门

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220082550A KR102447175B1 (ko) 2022-07-05 2022-07-05 퍼니스 히터용 셔터
KR10-2022-0082550 2022-07-05

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2024010262A1 true WO2024010262A1 (ko) 2024-01-11

Family

ID=83452473

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2023/008809 WO2024010262A1 (ko) 2022-07-05 2023-06-26 퍼니스 히터용 셔터

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102447175B1 (ko)
CN (1) CN117652017A (ko)
WO (1) WO2024010262A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102447175B1 (ko) * 2022-07-05 2022-09-26 주식회사제이에스솔루션 퍼니스 히터용 셔터

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0631140U (ja) * 1992-09-29 1994-04-22 神鋼電機株式会社 表面処理装置
KR20050068303A (ko) * 2003-12-30 2005-07-05 동부아남반도체 주식회사 수직형 퍼니스의 자동 셔터장치
JP2006093201A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
JP4574926B2 (ja) * 1999-09-13 2010-11-04 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置
KR20210078678A (ko) * 2019-12-19 2021-06-29 주식회사 원익아이피에스 기판처리장치
KR102447175B1 (ko) * 2022-07-05 2022-09-26 주식회사제이에스솔루션 퍼니스 히터용 셔터

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030004939A (ko) 2001-07-07 2003-01-15 삼성전자 주식회사 퍼니스의 로그셔터

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0631140U (ja) * 1992-09-29 1994-04-22 神鋼電機株式会社 表面処理装置
JP4574926B2 (ja) * 1999-09-13 2010-11-04 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置
KR20050068303A (ko) * 2003-12-30 2005-07-05 동부아남반도체 주식회사 수직형 퍼니스의 자동 셔터장치
JP2006093201A (ja) * 2004-09-21 2006-04-06 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
KR20210078678A (ko) * 2019-12-19 2021-06-29 주식회사 원익아이피에스 기판처리장치
KR102447175B1 (ko) * 2022-07-05 2022-09-26 주식회사제이에스솔루션 퍼니스 히터용 셔터

Also Published As

Publication number Publication date
CN117652017A (zh) 2024-03-05
KR102447175B1 (ko) 2022-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2024010262A1 (ko) 퍼니스 히터용 셔터
KR100634122B1 (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
KR100386130B1 (ko) 처리 장치 및 처리 시스템과 기판 반송장치 및 기판 반송방법
WO2014168331A1 (ko) 기판처리장치
WO2021137414A1 (ko) 기판 처리장치의 서셉터 오토 레벨링 장치
WO2015005607A1 (ko) 기판 처리장치
JP3908468B2 (ja) 高能率冷却式熱処理装置
US6524389B1 (en) Substrate processing apparatus
JP3585215B2 (ja) 基板処理装置
JP2004022805A (ja) 熱的処理装置および熱的処理方法
JP4170943B2 (ja) 基板処理装置
WO2023106573A1 (ko) 글래스 강화로 회전장치
WO2014157835A1 (ko) 기판처리장치
JP2002083859A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
WO2010101413A2 (ko) 게이트밸브어셈블리와 이를 포함하는 기판처리시스템
JP2001189368A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
JP2726354B2 (ja) 基板熱処理装置
CN111834252B (zh) 基板处理装置
JP4015818B2 (ja) 半導体製造装置
WO2022080629A1 (ko) 직선운동 밀폐장치 및 이를 이용하는 반도체 기판처리장치
JP2004274068A (ja) 基板処理装置
WO2024096660A1 (ko) 고압 기판 처리 장치 및 그에 사용되는 처리가스 라인
JP2003092329A (ja) 基板処理装置
KR100694785B1 (ko) 유지보수가 용이한 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버
JP5027430B2 (ja) 基板処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 202380011076.1

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 23835729

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1