KR20210078678A - 기판처리장치 - Google Patents

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KR20210078678A
KR20210078678A KR1020190170356A KR20190170356A KR20210078678A KR 20210078678 A KR20210078678 A KR 20210078678A KR 1020190170356 A KR1020190170356 A KR 1020190170356A KR 20190170356 A KR20190170356 A KR 20190170356A KR 20210078678 A KR20210078678 A KR 20210078678A
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김기준
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주식회사 원익아이피에스
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Abstract

본 발명은 두 개의 로딩부와 하나의 기판 반송부를 구비하는 기판처리장치에 관한 것이며, 상기 기판처리장치는 기판 반송부; 상기 기판 반송부와 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 보트를 구비하는 로딩부; 및 상기 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 보트의 출입을 위한 출입구가 하부에 형성된 리액터;를 구비한다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 두 개의 로딩부와 하나의 기판 반송부를 구비하는 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 장치이다.
기판처리장치는 기판들을 보트로 반송하는 장치, 기판들을 차지한 보트를 리액터로 투입하는 장치 및 투입된 보트의 기판들에 대한 프로세스를 진행하는 리액터(Reactor) 등이 복합적으로 구성된다.
기판처리장치는 기판들을 보트에 반송하고 보트를 리액터로 투입하기 위한 로딩 영역(Loading Area)을 포함하도록 구성되며, 로딩 영역의 상부에 리액터가 구성된다.
일반적으로, 로딩 영역은 하나의 챔버로 구성되며, 리액터도 로딩 영역 상부에 하나의 챔버로 구성된다. 로딩 영역의 챔버 내에, 기판을 이송하는 이송 로봇, 기판들이 차지된 보트를 승하강하는 캡 플랜지 및 보트가 출입되는 리액터의 출입구를 개폐하는 히터 셔터가 구성될 수 있다.
기판처리장치는 장치 운영의 효율화를 위하여 두 개의 리액터를 이용하도록 개선될 필요가 있다.
두 개의 리액터를 이용하는 경우, 기판처리장치는 공간을 절감하고 풋프린트를 저감할 수 있도록 구성될 필요가 있다. 또한, 기판처리장치는 공간을 절감하면서 리액터나 로드 영역에 대한 접근성이 보장될 수 있도록 구성될 필요가 있다.
본 발명은 두 개의 프로세스를 수행하기 위한 기판처리장치의 전체적인 공간을 절감할 수 있고, 공간이 절감된 만큼 풋프린트를 개선함을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 하나의 기판 반송부에 대응하는 로딩부의 상부에 리액터를 구성하고, 로딩부에 구성되는 히터 셔터를 위한 셔터룸을 기판 반송부의 상부에 구성함으로써 장치의 전체적인 풋프린트 저감을 구현할 수 있고 셔터룸의 상부 공간을 매인터넌스 등의 용도로 활용할 수 있는 기판처리장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 로딩부의 셔터룸을 기판 반송부 쪽에 구성함으로써 로딩부와 리액터의 배면 쪽의 매인터넌스를 위한 접근성을 개선시킬 수 있는 기판처리장치를 제공함을 다른 목적으로 한다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 기판처리장치는, 기판 반송부; 상기 기판 반송부와 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 보트를 구비하는 로딩부; 및 상기 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 보트의 출입을 위한 출입구가 하부에 형성된 리액터;를 구비하며, 상기 로딩부 내부의 상측에, 상기 출입구의 하부와 상기 셔터룸 사이에 회동되는 커버를 구비하는 히터 셔터가 구성됨을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 기판처리장치는, 기판 반송부; 상기 기판 반송부와 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 제1 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 제1 보트를 구비하는 제1 로딩부; 상기 기판 반송부에 대하여 상기 제1 로딩부와 병렬로 이웃하여 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 제2 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 제2 보트를 구비하는 제2 로딩부; 상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 제1 보트의 출입을 위한 제1 출입구가 하부에 형성된 제1 리액터; 및 상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 제2 보트의 출입을 위한 제2 출입구가 하부에 형성된 제2 리액터;를 구비하며, 상기 제1 로딩부 내부의 상측에, 상기 제1 출입구의 하부와 상기 제1 셔터룸 사이에 회동되는 제1 커버를 구비하는 제1 히터 셔터가 구성되고; 그리고 상기 제2 로딩부 내부의 상측에, 상기 제2 출입구의 하부와 상기 제2 셔터룸 사이에 회동되는 제2 커버를 구비하는 제2 히터 셔터가 구성됨을 특징으로 한다.
본 발명은 하나의 기판 반송부에 대하여 두 개의 로딩부가 구성되고, 두 개의 로딩부의 상부에 각각 리액터를 중첩한 기판처리장치가 구성된다. 그러므로, 기판처리장치는 두 개의 프로세스를 수행하기 위한 전체적인 공간을 절감할 수 있고, 공간이 절감된 만큼 풋프린트를 개선할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 로딩부의 내부 공간의 상부에 구성되는 히터 셔터를 위한 셔터룸이 정면의 기판 반송부의 상부에 구성되고 셔터룸의 하부에 기판 반송부가 구성됨으로써 셔터룸 상부 공간을 매인터넌스 등의 용도로 활용할 수 있다.
또한, 본 발명은 로딩부의 상기한 셔터룸이 정면의 기판 반송부 쪽에 구성됨으로써 로딩부와 리액터의 배면 쪽으로 구조물이 돌출되는 것을 배제할 수 있으며, 그 결과 로딩부와 리액터 배면 쪽의 매인터넌스를 위한 접근성을 개선시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 기판처리장치의 바람직한 실시예를 나타내는 측면도.
도 2는 도 1의 A-A 부분 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
본 발명의 기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 것이며, 기판의 반송, 기판에 대한 프로세스 및 매인터넌스 등을 위한 단위 모듈 또는 박스를 포함할 수 있다.
본 발명의 기판처리장치는 기판 반송부(10), 로딩부(40) 및 리액터(60)를 구비할 수 있으며, 이들의 배치 관계는 도 1을 참조하여 이해할 수 있다.
그리고, 본 발명의 기판 처리 장치는 하나의 기판 반송부(10)에 대하여 두 개의 로딩부(40, 50)가 배치될 수 있으며, 이들의 배치 관계는 도 2를 참조하여 이해할 수 있다.
본 발명의 실시예는 하나의 기판 반송부(10), 두 개의 로딩부(40, 50) 및 두 개의 리액터를 포함한다. 두 개의 리액터 중 하나로 예시된 도 1의 리액터(60)는 로딩부(40)의 상부에 구성된다. 그리고, 나머지 리액터는 도 1 및 도 2에 예시되지 않았으나 로딩부(50)의 상부에 구성되며, 리액터(60)를 참조하여 이해될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명은 생략한다.
기판들은 풉(FOUP : Front-opening Unified Pod : 도시되지 않음)에 실려서 이송될 수 있으며, 풉은 일정 수량 단위로 기판들을 실을 수 있는 전면 개방형 포드이다.
기판 반송부(10)의 전면에는 풉이 로딩되는 프론트 모듈(도시되지 않음)이 구성될 수 있다.
프론트 모듈은 다층 및 복수 열의 FIMS(front-opening interface mechanical standard) 인터페이스(도시되지 않음)를 구비하며, 풉이 FIMS 인터페이스에 로딩된다.
기판 반송부(10)는 정면의 프론트 모듈과 배면의 로딩부들(40, 50) 사이에 배치되며, 로딩부들(40, 50)은 기판 반송부(10)의 배면에 대하여 병렬로 이웃하도록 배치된다.
기판 반송부(10)은 내부에 기판들을 반송하기 위한 기판 반송 공간을 형성하기 위한 챔버를 형성하도록 구성될 수 있고, 기판 반송 공간에 기판들의 반송을 위한 하나의 이송 로봇(12)을 구비한다.
기판 반송부(10)는 배면에 해당하는 측벽의 로딩부(40)와 접하는 위치에 구성된 게이트 도어(14)를 구비한다. 그리고, 기판 반송부(10)는 배면에 해당하는 측벽의 로딩부(50)와 접하는 위치에 구성된 게이트 도어를 더 구비한다. 로딩부(50)에 대응하는 게이트 도어는 게이트 도어(14)를 참조하여 이해될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명은 생략한다.
기판 반송부(10)의 게이트 도어들(14)은 상호 연동성없이 독립적으로 개폐되도록 구성될 수 있다.
이송 로봇(12)은 기판 반송 공간에서 게이트 도어들(14) 간을 왕복하며 전면의 프론트 모듈과 배면의 로딩부들(40, 50) 간의 기판들의 반송을 수행한다. 여기에서, 반송은 기판들을 전면의 프론트 모듈에서 로딩부들(40, 50)로 이송하는 것과 기판들을 로딩부들(40, 50)에서 프론트 모듈로 이송하는 것을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
이송 로봇(12)은 상부에 엔드 이펙터(16)를 탑재한다. 엔드 이펙터(16)는 기판들을 이송하기 위해 업, 다운, 회전, 신장 또는 수축이 가능하도록 구성된다.
즉, 이송 로봇(12)은 게이트 도어들(14) 간을 왕복하면서 엔드 이펙터(16)를 이용하여 로딩부들(40, 50)과 프론트 모듈 간의 기판들의 반송을 수행할 수 있다.
로딩부들(40, 50)은 상술한 바와 같이 기판 반송부(10)의 동일한 쪽 구체적으로 배면에 대하여 병렬로 이웃하여 마주하도록 배치된다.
로딩부들(40, 50)은 내부에 보트(44)를 로딩하기 위한 보트 로딩 공간을 형성하기 위한 독립된 챔버를 형성하도록 구성될 수 있다. 로딩부들(40, 50)은 수직으로 형성된 보트 로딩 공간을 형성하는 박스형으로 구성될 수 있다.
기판 반송부(10)와 로딩부들(40, 50)이 접하는 측벽은 독립된 챔버들의 측벽들이 중첩된 이중 벽 구조를 갖거나 하나의 측벽을 공유하는 단일 벽 구조를 갖도록 구성될 수 있고, 로딩부들(40, 50)이 서로 접하는 측벽도 독립된 챔버들의 측벽들이 중첩된 이중 벽 구조를 갖거나 하나의 측벽을 공유하는 단일 벽 구조를 갖도록 구성될 수 있다.
상기한 구조에 의해, 기판들이 반송되는 기판 반송부(10)의 기판 반송 공간과 보트(44)가 승하강되는 로딩부들(40, 50)의 보트 로딩 공간들은 독립된 공간들로 형성된다.
로딩부(40)는 정면의 기판 반송부(10)와 마주하도록 배치되고, 보트 로딩 공간의 상부의 측면에 형성된 셔터룸(42)을 구비하며, 기판 반송부(10)를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 보트(44)를 구비한다. 셔터룸(42)은 기판 반송부(10)의 상부로 소정 길이 연장되는 길이를 갖는다.
로딩부(50)도 정면의 기판 반송부(10)와 마주하도록 배치되고, 기판 반송부(10)에 대하여 로딩부(40)와 병렬로 이웃하도록 배치되고, 보트 로딩 공간의 상부의 측면에 형성된 셔터룸(52)을 구비하며, 기판 반송부(10)를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 보트(도시되지 않음)를 구비한다. 셔터룸(52)은 로딩부(40)와 동일하게 기판 반송부(10)의 상부로 소정 길이 연장되는 길이를 갖는다. 그리고, 로딩부(50)의 보트는 보트(44)를 참조하여 이해될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명을 생략한다.
상기한 구조에 의하여, 기판 반송부(10)는 로딩부들(40, 50)의 정면에 위치하며 셔터룸들(42, 52)의 하부에 위치한다. 그리고, 제작자의 의도에 따라 기판 반송부(10)의 상부와 셔터룸들(42, 52)의 하부는 맞닿도록 구성되거나 일정 거리 이격되도록 구성될 수 있다.
셔터룸들(42, 52)은 기판 반송부(10)의 상부를 향하는 수평방향으로 기판 반송부(10)의 상부를 적어도 일부 커버하도록 동일한 일정 길이만큼 로딩부들(40, 50)의 상부로부터 연장된 구성을 갖도록 구성된다.
로딩부(40)는 내부 즉 보트 로딩 공간에 기판들을 차지하는 보트(44)를 실은 캡 플랜지(45)를 구비하고, 캡 플랜지(45)의 상부의 히터 셔터(46)를 구비한다. 로딩부(50)도 보트 로딩 공간에 기판들을 차지하는 보트를 실은 캡 플랜지를 구비하고, 캡 플랜지의 상부의 히터 셔터(56)를 구비한다. 로딩부(50)의 캡 플랜지는 캡 플랜지(45)를 참조하여 이해될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명을 생략한다.
로딩부(40)에서, 셔터룸(42)은 로딩부(40)의 보트 로딩 공간을 향하는 면의 적어도 일부가 개방되며, 셔터룸(42)의 개방된 면으로 히터 셔터(46)의 커버(47)가 출입될 수 있다. 셔터룸(42)은 커버(57)의 전체 또는 일부가 수납 가능한 체적의 수납 공간을 갖는 박스 형으로 구성될 수 있다.
또한, 로딩부(50)에서, 셔터룸(52)은 로딩부(50)의 보트 로딩 공간을 향하는 면의 적어도 일부가 개방되며, 셔터룸(52)의 개방된 면으로 히터 셔터(56)의 커버(57)가 출입될 수 있다. 셔터룸(52)은 커버(57)의 전체 또는 일부가 수납 가능한 체적의 수납 공간을 갖는 박스 형으로 구성될 수 있다.
즉, 셔터룸(42)의 수납 공간은 로딩부(40)의 보트 로딩 공간의 상부와 수평으로 이어지며, 셔터룸(52)의 수납 공간은 로딩부(50)의 보트 로딩 공간의 상부와 수평으로 이어진다.
그리고, 셔터룸들(42, 52)은 로딩부들(40, 50)의 정면의 수평 방향으로 연장된 길이를 갖기 때문에 연장된 길이만큼 하부의 기판 반송부(10)와 평면적으로 중첩된다.
한편, 리액터(60)는 로딩부(40)의 상부에 구성되며, 내부에 튜브(62)를 구비하며, 튜브(62)의 하부에 로딩부(40)의 보트(44)의 승하강을 위한 출입구(64)를 갖는다.
그리고, 로딩부(50)의 상부에도 리액터(도시되지 않음)가 구성되며, 로딩부(50) 상부의 리액터도 내부에 튜브를 구비하며, 튜브의 하부에 로딩부(50)의 보트의 승하강을 위한 출입구를 갖는다. 로딩부(50) 상부의 리액터, 리액터의 튜브 및 출입구는 리액터(60)를 참조하여 이해될 수 있으므로, 구체적인 도시 및 설명은 생략한다.
리액터(60)는 튜브(62)에 투입된 보트(44)에 차지된 기판들에 대한 프로세스를 진행하기 위한 것이다. 리액터(60)는 가열을 위하여 튜브(62)의 외부에 구성되는 히팅 블록(도시되지 않음)을 구비할 수 있다. 리액터(60)는 튜브(62)의 내부에 프로세스를 위한 가스가 공급되거나 배기되도록 구성될 수 있다.
리액터들은 하부의 로딩부들(40, 50)과 중첩되며 동일한 면적을 갖도록 구성될 수 있다. 이때, 리액터들과 로딩부들(40, 50)의 중첩되는 면적에 셔터룸들(42, 52)은 배제되는 것으로 이해될 수 있다.
상술한 구성에 의하여, 로딩부(40)의 캡 플랜지(45)가 승강되는 경우, 보트(44)는 로딩부(40)의 내부에서 리액터(60)의 출입구(64)를 통하여 튜브(62) 내부로 투입될 수 있다. 그리고, 로딩부(40)의 캡 플랜지(45)가 하강되는 경우, 보트(44)는 튜브(62)의 내부에서 리액터(60)의 출입구(64)를 통하여 로딩부(40)의 내부로 복귀될 수 있다.
보트(44)가 로딩부(40)의 내부에 위치한 경우, 보트(44) 내부에 프로세스를 수행하기 위한 기판들이 이송 로봇(12)에 의해 차지되거나 또는 프로세스를 수행한 보트(44) 내부의 기판들이 이송 로봇(12)에 의해 디스차지된다.
보트(44)가 튜브(62) 내부에 위치한 경우, 리액터(60)에 의한 프로세스 수행에 의해 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등이 기판들에 형성될 수 있다.
로딩부(50)도 상술한 바와 같은 캡 플랜지의 승강 또는 하강에 의해 보트를 승강 또는 하강할 수 있다.
한편, 로딩부(40)에서, 캡 플랜지(45)의 상부의 히터 셔터(46)는 리액터(60)의 출입구(64)를 여닫는 기능을 갖는다. 히터 셔터(46)는 보트(44)가 승강하거나 하강하는 경우 리액터(60)의 출입구(64)를 열고, 보트(44)의 위치가 승강되거나 하강된 후 고정되면 리액터(60)의 출입구(64)를 닫는다.
히터 셔터(46)는 상기와 같이 출입구(64)를 여닫을 수 있고, 닫힌 상태에서 리액터(60)의 열이 하부의 로딩부(40)로 방출되는 것을 차단할 수 있다.
로딩부(50)의 히터 셔터(56)도 히터 셔터(46)와 동일한 동작을 하므로 이에 대한 중복 설명을 생략한다.
로딩부들(40, 50)의 히터 셔터들(46, 56)은 로딩부들(40, 50)이 접하는 측면을 기준으로 대칭된 구조를 가질 수 있다.
먼저, 로딩부(40)의 히터 셔터(46)는 구동축(49), 커버(47) 및 연결부(48)를 구비한다.
구동축(49)은 회전 및 승하강을 위한 구동력을 제공하는 축으로 이해될 수 있으며, 구동력은 유압 실린더, 전동 실린더, 모터 등 다양한 동력원으로부터 제공될 수 있다.
구동축(49)은 예시적으로 셔터룸(42)과 출입구(64) 사이에 구성될 수 있으며, 보다 구체적으로, 구동축(49)은 셔터룸(42) 쪽의 로딩부(50)와 접하는 로딩부(40)의 코너의 내벽에 형성될 수 있다. 구동축(49)의 위치와 구성은 제작자의 의도에 따라 다양하게 실시될 수 있으므로, 구체적인 설명은 생략한다.
커버(47)는 리액터(60)의 출입구(64)의 하부의 전면을 커버할 수 있는 면적을 갖도록 구성될 수 있으며, 출입구(64)의 형상과 동일한 형상을 갖도록 구성될 수 있다. 예시적으로, 출입구(64)가 원형인 경우 커버(47)는 원판으로 구성될 수 있다.
연결부(48)는 구동축(49)과 커버(47) 간을 연결하는 부재이다. 연결부(48)의 일단은 구동축(49)과 결합되어 승강, 하강 또는 회전을 위한 구동력을 전달받으며, 연결부(48)는 구동력에 의해 승강 또는 하강할 수 있고 구동축(49)을 중심으로 수평으로 회동(回動)할 수 있도록 구성된다. 그리고, 연결부(48)의 타단은 커버(47)의 하부에 결합되며, 상부의 커버(47)를 지지하도록 구성된다. 여기에서, 회동(回動)은 구동축(49)을 중심으로 회전되도록 동작되는 것을 의미한다.
상기한 구성에 의하여, 커버(47)는 연결부(48)를 통하여 구동력을 전달받고, 출입구(64)의 하부와 셔터룸(42) 사이에 회동될 수 있다.
보다 구체적으로, 출입구(64)를 여는 경우, 커버(47)는 구동축(49)의 하강을 위한 구동력에 의한 연결부(48)의 하강에 따라 출입구(64)의 하부에 밀착된 상태에서 하강되어서 출입구(64)를 한다. 그 후, 커버(47)는 구동축(49)의 회전을 위한 구동력에 의한 연결부(48)의 회전에 따라 회동되어서 셔터룸(42)의 내부로 수납된다.
반대로, 출입구(64)를 닫는 경우, 커버(47)는 구동축(49)의 회전을 위한 구동력에 의한 연결부(48)의 회전에 따라 셔터룸(42) 내부에서 출입구(64) 하부로 회동된다. 그 후, 커버(47)는 구동축(49)의 승강을 위한 구동력에 의한 연결부(48)의 승강에 따라 승강하며 출입구(64)의 하부에 밀착됨으로써 출입구(64)를 닫는다.
또한, 로딩부(50)의 히터 셔터(56)도 구동축(59), 커버(57) 및 연결부(58)를 구비한다.
구동축(59)은 예시적으로 셔터룸(52)과 로딩부(50)의 상부에 구성되는 리액터의 출입구 사이에 구성될 수 있으며, 보다 구체적으로, 구동축(59)은 셔터룸(52) 쪽의 로딩부(40)와 접하는 로딩부(50)의 코너의 내벽에 형성될 수 있다. 구동축(59)의 위치와 구성은 제작자의 의도에 따라 다양하게 실시될 수 있으므로, 구체적인 설명은 생략한다.
히터 셔터(56)에 포함된 구동축(59), 커버(57) 및 연결부(58)의 구성 및 구동 방법은 히터 셔터(46)의 구동축(49), 커버(47) 및 연결부(48)를 참조하여 이해될 수 있으므로, 구체적인 구성 및 설명은 생략한다.
상술한 본 발명에 의한 실시예는 하나의 기판 반송부가 두 개의 로딩부 및 두 개의 리액터에 대응하도록 구성하고, 각 로딩부의 상부에 리액터가 중첩된다.
본 발명에 의해 실시된 기판처리장치는 기판 반송부, 로딩부 및 리액터의 배치와 중첩된 구성에 의해 두 리액터를 이용하여 두 개의 프로세스를 수행하기 위한 장치의 전체적인 공간을 절감할 수 있고, 공간이 절감된 만큼 풋프린트가 개선될 수 있다.
또한, 본 발명은 로딩부의 내부의 상부에 구성되는 히터 셔터를 위한 셔터룸이 정면의 기판 반송부와 중첩되며, 셔터룸의 하부에 기판 반송부가 구성된다. 그러므로, 셔터룸의 상부 공간이 매인터넌스 등의 용도로 활용될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 셔터룸들이 기판 반송부 쪽 즉 로딩부들의 정면에 구성된다. 그러므로, 셔터룸들이 로딩부와 리액터의 배면 쪽으로 돌출되지 않는다. 그 결과, 로딩부와 리액터의 배면 쪽에 대한 접근성이 개선될 수 있으며, 매인터넌스를 위한 편의성 및 공간이 확보될 수 있다.

Claims (12)

  1. 기판 반송부;
    상기 기판 반송부와 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 보트를 구비하는 로딩부; 및
    상기 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 보트의 출입을 위한 출입구가 하부에 형성된 리액터;를 구비하며,
    상기 로딩부 내부의 상측에, 상기 출입구의 하부와 상기 셔터룸 사이에 회동되는 커버를 구비하는 히터 셔터가 구성됨을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 반송부의 상기 기판들을 반송하기 위한 기판 반송 공간과 상기 로딩부의 상기 보트를 승하강시키기 위한 보트 로딩 공간은 게이트 도어가 구성된 측벽에 의해 구분되며;
    상기 기판 반송부는 상기 기판들을 반송하기 위한 반송 로봇을 구비하고, 상기 기판들을 상기 반송 로봇에 의해 상기 게이트 도어를 통해 상기 보트로 반송하는 기판처리장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 셔터룸은 상기 로딩부를 향하는 면의 적어도 일부가 상기 커버의 출입을 위하여 개방되며, 상기 커버의 전체 또는 일부가 수납 가능한 체적의 수납 공간을 갖는 기판처리장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 히터 셔터는,
    회전 및 승하강을 위한 구동력을 제공하는 구동축;
    상기 출입구의 전면을 커버할 수 있는 면적을 갖는 상기 커버; 및
    상기 구동축과 상기 커버 간을 연결하는 연결부;를 구비하며,
    상기 커버는 상기 연결부를 통하여 상기 구동력을 전달받고 상기 출입구의 하부와 상기 셔터룸 사이에 회동되는 기판처리장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 커버는 상기 출입구의 하부에 밀착된 상태에서 하강되어서 상기 출입구를 열고 회동되어서 상기 셔터룸의 내부로 수납되거나 상기 셔터룸 내부에서 상기 출입구 하부로 회동된 후 승강하여 상기 출입구의 하부에 밀착됨으로써 상기 출입구를 닫는 기판처리장치.
  6. 기판 반송부;
    상기 기판 반송부와 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 제1 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 제1 보트를 구비하는 제1 로딩부;
    상기 기판 반송부에 대하여 상기 제1 로딩부와 병렬로 이웃하여 마주하도록 배치되고, 상기 기판 반송부의 상부로 소정 길이 연장되는 제2 셔터룸을 구비하며, 상기 기판 반송부를 통하여 반송된 기판들을 차지하고 승하강되는 제2 보트를 구비하는 제2 로딩부;
    상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 제1 보트의 출입을 위한 제1 출입구가 하부에 형성된 제1 리액터; 및
    상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 상기 제2 보트의 출입을 위한 제2 출입구가 하부에 형성된 제2 리액터;를 구비하며,
    상기 제1 로딩부 내부의 상측에, 상기 제1 출입구의 하부와 상기 제1 셔터룸 사이에 회동되는 제1 커버를 구비하는 제1 히터 셔터가 구성되고;
    상기 제2 로딩부 내부의 상측에, 상기 제2 출입구의 하부와 상기 제2 셔터룸 사이에 회동되는 제2 커버를 구비하는 제2 히터 셔터가 구성됨을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 기판 반송부의 상기 기판들을 반송하기 위한 기판 반송 공간과 상기 제1 로딩부의 상기 제1 보트를 승하강시키기 위한 제1 보트 로딩 공간은 제1 게이트 도어가 구성된 측벽에 의해 구분되며;
    상기 기판 반송부의 상기 기판 반송 공간과 상기 제2 로딩부의 상기 제2 보트를 승하강시키기 위한 제2 보트 로딩 공간은 제2 게이트 도어가 구성된 상기 측벽에 의해 구분되고;
    상기 기판 반송부는 상기 기판들을 반송하기 위한 반송 로봇을 구비하고, 상기 기판들을 상기 반송 로봇에 의해 상기 제1 게이트 도어 또는 상기 제2 게이트 도어를 통해 상기 제1 보트 또는 상기 제2 보트로 반송하는 기판처리장치.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 로딩부와 상기 제2 로딩부는 서로 접하도록 구성되는 기판처리장치.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 셔터룸은 상기 제1 로딩부를 향하는 면의 적어도 일부가 상기 제1 커버의 출입을 위하여 개방되며, 상기 제1 커버의 전체 또는 일부가 수납 가능한 체적의 제1 수납 공간을 가지며;
    상기 제2 셔터룸은 상기 제2 로딩부를 향하는 면의 적어도 일부가 상기 제2 커버의 출입을 위하여 개방되며, 상기 제2 커버의 전체 또는 일부가 수납 가능한 체적의 제2 수납 공간을 가지고;
    상기 제1 셔터룸과 상기 제2 셔터룸이 동일한 길이로 상기 기판 반송부의 상부에 수평으로 연장되는 기판처리장치.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 히터 셔터는,
    회전 및 승하강을 위한 제1 구동력을 제공하는 제1 구동축;
    상기 제1 출입구의 전면을 커버할 수 있는 면적을 갖는 상기 제1 커버; 및
    상기 제1 구동축과 상기 제1 커버 간을 연결하는 제1 연결부;를 구비하며,
    상기 제1 커버는 상기 제1 연결부를 통하여 상기 제1 구동력을 전달받고 상기 제1 출입구의 하부와 상기 제1 셔터룸 사이에 회동되며,
    상기 제2 히터 셔터는,
    회전 및 승하강을 위한 제2 구동력을 제공하는 제2 구동축;
    상기 제2 출입구의 전면을 커버할 수 있는 면적을 갖는 상기 제2 커버; 및
    상기 제2 구동축과 상기 제2 커버 간을 연결하는 제2 연결부;를 구비하며,
    상기 제2 커버는 상기 제2 연결부를 통하여 상기 제2 구동력을 전달받고 상기 제2 출입구의 하부와 상기 제2 셔터룸 사이에 회동되는 기판처리장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 커버는 상기 제1 출입구의 하부에 밀착된 상태에서 수직으로 하강되어서 상기 제1 출입구를 열고 회동되어서 상기 제1 셔터룸의 내부로 수납되거나 상기 제1 셔터룸 내부에서 상기 제1 출입구 하부로 회동된 후 수직으로 승강하여 상기 제1 출입구의 하부에 밀착됨으로써 상기 제1 출입구를 닫고;
    상기 제2 커버는 상기 제2 출입구의 하부에 밀착된 상태에서 수직으로 하강되어서 상기 제2 출입구를 열고 회동되어서 상기 제2 셔터룸의 내부로 수납되거나 상기 제2 셔터룸 내부에서 상기 제2 출입구 하부로 회동된 후 수직으로 승강하여 상기 제2 출입구의 하부에 밀착됨으로써 상기 제2 출입구를 닫는 기판처리장치.
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 히터 셔터와 상기 제2 히터 셔터는 상기 제1 로딩부와 상기 제2 로딩부가 접하는 측면들을 기준으로 대칭된 구조를 갖는 기판처리장치.
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