KR20210079081A - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스 공급 박스의 위치를 개선하고 가스 공급 박스를 위한 매인터넌스 공간을 확보하기 위한 기판처리장치를 개시하며, 상기 기판 처리 장치는 기판들을 실은 풉이 로딩되는 스토커; 정면이 상기 스토커의 배면과 마주하도록 배치되고, 상기 풉과 보트 사이의 상기 기판들의 반송을 수행하는 기판 반송부; 정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하도록 배치되며, 상기 기판들을 차지한 상기 보트를 승하강시키는 로딩부; 상기 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 보트의 상기 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 프로세스를 진행하는 리액터; 및 상기 리액터의 정면에 설치되고, 내부의 최종 밸브를 통하여 상기 공정 가스를 상기 리액터에 공급하는 가스 공급 박스;를 구비함을 특징으로 한다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가스 공급 박스의 위치를 개선하고 가스 공급 박스를 위한 매인터넌스 공간을 확보하기 위한 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 장치이다.
기판처리장치는 예시적으로 기판들을 보트로 이송하는 장치 및 보트가 투입되는 리액터(Reactor)를 이용하여 기판들에 대한 프로세스를 진행하기 위한 장치 등이 복합적으로 구성된다.
기판처리장치는 프로세스 운영의 효율화를 위하여 하나의 시스템에 두 개의 리액터를 구비하도록 개선될 필요가 있다.
두 개의 리액터를 구비하도록 기판처리장치를 설계하는 경우, 기판처리장치의 풋프린트 증가와 장비의 부피 증가가 불가피하게 따른다.
그러므로, 기판처리장치는 하나의 시스템에 두 개의 리액터를 구비하면서 공간을 절감하고 풋프린트를 저감하도록 구성될 필요가 있다.
또한, 기판처리장치는 리액터로 공정 가스를 공급하도록 구성된다.
공정 가스를 공급하는 가스 공급 박스가 리액터에서 멀리 위치되는 경우, 리액터에 가스를 공급하는 가스 공급 라인의 길이가 길어진다. 가스 공급 라인이 길게 구성되는 경우, 가스 공급 라인에 대한 퍼지가 충분히 이루어지기 어렵다. 가스 공급 라인에는 불충분한 퍼지에 의해 잔류 가스가 존재할 수 있으며, 잔류 가스는 리액터의 후속 공정에 영향을 미칠 수 있다.
그러므로, 기판처리장치는 리액터에 가깝게 공정 가스를 공급하는 가스 공급 박스가 위치하도록 설계될 필요가 있다.
그리고, 기판처리장치는 상기한 가스 공급 박스의 매인터넌스를 위하여 가스 공급 박스로 출입하기 위한 공간 및 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스를 수행할 수 있는 공간을 확보할 필요가 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 하나의 시스템에 두 개의 리액터를 이용하며, 장비의 전체적인 풋프린트를 저감할 수 있는 기판처리장치를 제공함을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 공정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 라인이 짧게 구성될 수 있도록 가스 공급 박스를 리액터에 가까이 구성함으로써 가스 공급 라인 내의 잔류 가스가 후속 공정에 영향을 미치는 것을 줄이고 공정의 신뢰성을 확보할 수 있는 기판처리장치를 제공함을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스의 편의성을 보장할 수 있는 기판 처리 장치를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 기판처리장치는, 기판들을 실은 풉이 로딩되는 스토커; 정면이 상기 스토커의 배면과 마주하도록 배치되고, 상기 풉과 보트 사이의 상기 기판들의 반송을 수행하는 기판 반송부; 정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하도록 배치되며, 상기 기판들을 차지한 상기 보트를 승하강시키는 로딩부; 상기 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 보트의 상기 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 프로세스를 진행하는 리액터; 및 상기 리액터의 정면에 설치되고, 내부의 최종 밸브를 통하여 상기 공정 가스를 상기 리액터에 공급하는 가스 공급 박스;를 구비함을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 기판처리장치는, 기판들을 실은 풉이 로딩되는 스토커; 정면이 상기 스토커의 배면과 마주하도록 배치되고, 상기 풉과 제1 보트 또는 제2 보트 사이의 상기 기판들의 반송을 수행하는 기판 반송부; 정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하도록 배치되며, 상기 기판들을 차지한 상기 제1 보트를 승하강시키는 제1 로딩부; 정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하며 상기 제2 로딩부와 이웃하여 병렬로 배치되며, 상기 기판들을 차지한 제2 보트를 승하강시키는 제2 로딩부; 상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제1 보트의 상기 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 제1 프로세스를 진행하는 제1 리액터; 상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제2 보트의 상기 기판들에 대하여 상기 공정 가스를 이용하여 제2 프로세스를 진행하는 제2 리액터; 및 상기 제1 리액터 및 상기 제2 리액터의 정면에 설치되고, 상기 공정 가스를 내부의 제1 최종 밸브를 통하여 상기 제1 리액터로 공급하거나 상기 제2 최종 밸브를 통하여 상기 제2 리액터로 공급하는 가스 공급부;를 구비함을 특징으로 한다.
본 발명은 하나의 기판 반송부에 두 개의 로딩부가 대응되도록 구성되고 두 개의 로딩부의 상부에 두 개의 리액터를 구비한다. 그러므로, 본 발명의 기판처리장치는 두 개의 리액터가 하나의 시스템으로 구성됨으로써 장치의 전체적인 풋프린트를 저감할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 리액터의 정면에 공정 가스의 공급을 위한 가스 공급 박스를 구성함으로써 가스 공급 박스의 최종 밸브로부터 짧은 길이의 가스 공급 라인을 통하여 리액터로 공정 가스가 공급될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 기판처리장치는 가스 공급 라인 상의 잔류 가스에 의한 영향없이 안정적으로 공정을 수행할 수 있으며, 그 결과 장치의 신뢰성을 확보하고, 수율이 개선되는 이점이 있다.
또한, 본 발명은 기판 반송부 상부의 공간인 리액터의 정면에 가스 공급 박스가 구성되고, 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스 공간 및 가스 공급 박스로 접근을 위한 출입구를 확보할 수 있다. 그러므로, 본 발명의 기판처리장치는 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스의 편의성을 확보할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 기판처리장치의 바람직한 실시예를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 실시예가 박스들로써 커버된 것으로 예시하는 사시도.
도 3은 도 1의 스토커를 예시한 사시도.
도 4는 도 1의 실시예의 측면도.
도 5는 도 4의 A-A 부분 단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
본 발명의 기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 것이며, 기판의 이송, 기판의 처리 및 매인터넌스 등을 위한 단위 모듈의 조합으로 구성된다.
이에 대하여, 도 1을 참조하면, 기판처리장치는 로드 포트(Loadport)(10), 스토커(20), 기판 반송부(30), 로딩부들(40, 50), 리액터들(60, 70), 유틸리티 박스들(80, 90) 및 가스 공급 박스들(100, 120)을 포함한다. 도 1에 기재되지 않은 로딩부(50)는 로딩부(40)와 기판 반송부(30)의 배면에 병렬로 마주하도록 구성되며 리액터(70)의 하부에 구성되는 것이며, 도면에 예시되지 않았으나, 로딩부(40)와 구분을 위하여 이하 기재에서 부호 "50"을 부여하여 기재한다.
이하 설명에서, 로드 포트(Loadport)(10), 스토커(20), 기판 반송부(30), 로딩부들(40, 50), 리액터들(60, 70) 및 가스 공급 박스들(100, 120)의 정면은 로드 포트(10)가 위치한 쪽을 의미하고 배면은 유틸리티 박스들(80, 90)이 위치한 쪽을 의미하는 것으로 정의한다.
로드 포트(10)는 풉(FOUP : Front-opening Unified Pod)이 로드 또는 언로드되는 스테이지로 이해될 수 있다. 풉은 일정 수량 단위로 기판들을 실을 수 있는 전면 개방형 포드이다. 풉(12)은 도 4의 예시를 참조하여 이해될 수 있으며, 도 1 내지 도 3 및 도 5에서 풉의 도시는 생략되었다.
로드 포트(10)는 다층으로 풉(12)을 로딩할 수 있는 구조를 갖도록 제작될 수 있으며 스토커(20)의 정면에 배치된다.
로드 포트(10)의 배면에는 스토커(20)가 배치되고, 스토커(20)는 기판들을 실은 풉이 로딩되는 장치로 이해될 수 있다. 스토커(20)의 구체적인 설명은 도 4를 참조하여 후술한다.
기판 반송부(30)는 정면이 스토커(20)의 배면과 마주하도록 배치되고 풉과 로딩부들(40, 50)의 내부에 구성되는 보트들 사이의 기판들 의 반송을 수행한다.
로딩부들(40, 50)은 기판 반송부(30)의 배면과 마주하며 서로 이웃하여 병렬로 배치된다. 로딩부들(40, 50)은 내부에 보트를 구비하며 기판들을 차지한 보트를 승하강 시키도록 구성된다.
로딩부(40)의 상부에는 리액터(60)가 구성되며, 로딩부(50)의 상부에는 리액터(70)가 구성된다. 리액터들(60, 70)은 보트의 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 프로세스를 진행하도록 구성된다.
가스 공급부가 리액터들(60, 70)의 정면에 설치된다. 가스 공급부는 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)를 포함하며, 가스 공급 박스(100)가 리액터(60)의 정면에 설치되고, 가스 공급 박스(120)가 리액터(70)의 정면에 설치된다. 가스 공급 박스(100)는 공정 가스를 내부의 최종 밸브를 통하여 리액터(60)로 공급하고, 가스 공급 박스(120)는 공정 가스를 내부의 최종 밸브를 통하여 리액터(70)로 공급하도록 구성된다.
상기한 구성에서, 기판 반송부(30)는 가스 공급부인 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)의 하부에 위치한다.
그러므로, 스토커(20)의 배면, 리액터들(60, 70)의 정면들 사이의 기판 반송부(30)의 상부에 가스 공급부 즉 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)에 대한 매인터넌스 공간이 형성된다.
즉, 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)는 상기한 매인터넌스 공간에 위치하며 리액터들(60, 70)의 정면에 설치된다.
본 발명의 실시예는 도 1과 같이 상기한 매인터넌스 공간에 접근할 수 있는 출입 경로를 제공하도록 구성된다.
출입 경로를 형성하기 위하여, 로드 포트(10)와 스토커(20)의 일측에 각각 출입 공간이 형성되고, 출입 공간들의 하부에 발판이 구성된다. 발판은 도 1과 같이 로드 포트(10)의 측면의 발판(11)과 스토커(20)의 측면의 발판(31)이 연결되도록 구성되거나 로드 포트(10)와 스터커(20)의 측면에 일체로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이 발판들(11, 20)의 상부에 형성되는 출입 공간은 기판 반송부(30)의 상부의 매인터넌스 공간과 연결된다.
도 1의 경우, 작업자는 화살표로 표시된 출입 경로와 같이 로드 포트(10) 및 스토커(20)의 측면 즉 발판들(11, 31)의 상부로 진입하고, 사다리 등을 이용하여 기판 반송부(30)의 상부로 올라갈 수 있으며, 기판 반송부(30)의 상부의 매인터넌스 공간에서 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)에 대한 매인터넌스를 수행할 수 있다.
기판 반송부(30)는 로드 포트(10)와 스토커(20)의 일측에 형성된 출입 공간을 마주하는 정면에 출입문(31)을 구비하도록 구성될 수 있다.
그러므로, 작업자는 도 1의 화살표로 표시된 출입 경로로 진입한 후 필요에 따라서 기판 반송부(30)의 출입문(31)을 열고 기판 반송부(30)에 대한 매인터넌스를 수행할 수 있다. 출입문(31)은 다양한 방법으로 구성될 수 있으므로 이에 대한 구체적인 도시 및 설명은 생략한다.
도 1에서, 인용 부호 "200"은 케이스를 예시한 것이다. 도 1의 케이스(200)는 도 2에 예시된 박스들의 조합으로 구성될 수 있다.
도 2는 스토커(20)를 수용하는 박스(C20), 기판 반송부(30) 및 가스 공급 박스들(100, 120)를 수용하는 박스(C30), 로딩부들(40, 50) 및 리액터들(60, 70)을 수용하는 박스(C40) 및 유틸리티 박스들(80, 90)을 수용하는 박스(C80)가 케이스(200)를 구성하는 것을 예시한다.
박스들(C20, C30, C40, C80)은 동일한 폭과 동일한 높이를 갖도록 구성될 수 있으며, 필요한 경우 일부 박스는 다른 것들과 폭과 높이가 다르게 구성될 수 있다.
도 2와 같이 박스들(C20, C30, C40, C80)에 의해 케이스(200)가 형성된 경우, 출입 경로를 형성하기 위한 로드 포트(10)의 일측의 출입 공간에 출입문 박스(300)가 구성될 수 있다.
출입문 박스(300)는 정면에 출입문(302)이 구성될 수 있고, 출입 공간이 내부에 형성될 수 있으며, 스토커(20)를 마주하는 배면은 개방되도록 구성될 수 있다.
또한, 도 2의 경우, 박스(C20) 내부의 스토커(20)는 도 3과 같이 출입 공간이 형성되는 측면에 프레임(400)을 구성할 수 있다.
프레임(400)은 스토커(20)의 배면의 연장된 위치에 형성되며, 스토커(20)와 일체로 형성되거나 스토커(20)에 결합될 수 있고, 박스(C20)의 내벽과 일체로 형성되거나 박스(C20)의 내벽에 결합될 수 있고, 기판 반송부(30)와 일체로 형성되거나 기판 반송부(30)의 정면에 결합될 수 있다. 이는 제작자의 의도에 따라 다양하게 실시될 수 있으므로 프레임(400)의 구체적인 구성은 한정하지 않는다.
상기한 프레임(400)은 하부의 관통된 출입구(402)와 상부의 관통된 출입구(402)가 형성되도록 구성될 수 있다.
프레임(400)에서, 하부의 관통된 출입구(402)는 기판 반송부(30)의 출입문(31)과 마주하는 위치 및 상응하는 면적을 갖도록 형성될 수 있으며, 출입문(31)을 통하여 기판 반송부(30)의 내부로 진입하기 위한 것이다.
그리고, 프레임(400)에서, 상부의 관통된 출입구(404)는 기판 반송부(30)의 매인터넌스 공간과 마주하는 위치 및 작업자가 진입 가능한 면적을 갖도록 형성될 수 있다.
상기한 프레임(400)의 구성에 의하여, 로드 포트(10) 및 스토커(20) 일측의 출입 공간은 프레임(400)의 출입구(404)를 통하여 기판 반송부(30) 상부의 매인터넌스 공간과 연결된다.
도 2 및 도 3의 경우, 작업자는 출입문 박스(300)의 출입문(302)를 열고 로드 포트(10) 및 스토커(20)의 측면 즉 출입 공간으로 진입할 수 있으며, 사다리 등을 이용하여 프레임(400)의 출입구(404)를 통하여 기판 반송부(30)의 상부로 올라갈 수 있다. 그러므로, 작업자는 기판 반송부(30)의 상부의 매인터넌스 공간에서 가스 공급 박스(100) 및 가스 공급 박스(120)에 대한 매인터넌스를 수행할 수 있다.
도 1 내지 도 3에서 참조된 각 부품들의 구체적인 구성에 대하여 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
로드 포트(10)는 다층으로 풉(12)을 로딩하며 스토커(20)의 정면에 배치된다.
스토커(20)는 FIMS(front-opening interface mechanical standard) 인터페이스를 구비한다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에서 스토커(20)는 2열의 FIMS 인터페이스(22, 24)를 구비하는 것으로 예시한다. 스토커(20)는 로드 포트(10)의 풉(12)을 2 열의 FIMS 인터페이스(22, 24)로 분배하는 풉 로봇(26)을 구비할 수 있다.
그리고, 스토커(20)는 2열의 FIMS 인터페이스(22, 24) 별로 기판 반송부(30)에 대하여 개폐할 수 있는 셔터(28)를 구비할 수 있다.
기판 반송부(30)는 스토커(20) 및 병렬로 이웃한 로딩부들(40, 50) 사이에 구성되며, 내부에 기판들의 이송을 위한 이송 로봇(32)을 구비한다.
그리고, 기판 반송부(30)는 로딩부(40)와 접하는 위치에 구성된 게이트 도어(34) 및 로딩부(50)와 접하는 위치에 구성된 게이트 도어(도시되지 않음)를 구비한다. 로딩부(50)와 접하는 위치의 게이트 도어는 도면에 도시되지 않았으나 게이트 도어(34)와 구분을 위하여 인용부호 "36"을 부여하여 기재한다. 기판 반송부(30)의 게이트 도어들(34, 36)은 로딩부들(40, 50)에 기판들의 이송을 위하여 독립적으로 개폐될 수 있다.
기판 반송부(30)에 구성된 하나의 이송 로봇(32)은 게이트 도어들(34, 36) 간을 이동하면서 스토커(20)와 로딩부(40)의 보트(44) 또는 로딩부(50)의 보트 간의 기판들의 이송을 수행한다.
보다 구체적으로, 이송 로봇(32)은 후술하는 로딩부들(40, 50)에 대응하는 게이트 도어들(34, 36) 간과 2열의 FIMS 인터페이스(22, 24)에 대응하는 셔터들(28) 간을 왕복할 수 있도록 구성된다.
그리고, 이송 로봇(32)은 상부에 엔드 이펙터(38)를 탑재한다. 엔드 이펙터(38)는 기판들을 이송하기 위해 업, 다운, 회전, 신장 또는 수축이 가능하도록 구성된다.
즉, 이송 로봇(32)은 엔드 이펙터(38)를 이용하여 로딩부들(40, 50)과 스토커(20) 간의 기판들의 이송을 수행할 수 있다.
로딩부들(40, 50)은 기판 반송부(30)의 동일한 쪽 즉 기판 반송부(30)의 배면에 이웃하면서 병렬로 구성된다.
로딩부(40)는 내부에 기판들을 차지하는 보트(44)를 실은 캡 플랜지(45)를 구비하고, 로딩부(50)도 로딩부(40)와 동일한 내부 구조를 갖는다. 로딩부(50)의 보트 및 캡 플랜지는 로딩부(40)의 보트(44) 및 캡 플랜지(45)를 참조하여 이해될 수 있으므로 도면의 표시 및 구체적인 설명은 생략한다.
기판 반송부(30)는 배면을 통하여 로딩부들(40, 50)의 정면과 접하도록 구성되고, 로딩부들(40, 50)도 마주하는 측면을 통하여 서로 접하도록 구성된다.
캡 플랜지(45)는 상부에 보트(44)를 구비한다. 캡 플랜지(45)가 승강되는 경우, 보트(44)는 로딩부(40)의 내부에서 리액터(60) 내부의 튜브(62)로 투입될 수 있다. 그리고, 캡 플랜지(45)가 하강되는 경우, 보트(44)는 튜브(62)의 내부에서 로딩부(40)의 내부로 복귀될 수 있다.
보트(44)가 로딩부(40)의 내부에 위치한 경우, 보트(44) 내부에 프로세스를 수행하기 위한 기판들이 이송 로봇(32)에 의해 차지되거나 또는 프로세스를 수행한 보트(44) 내부의 기판들이 이송 로봇(32)에 의해 디스차지된다.
보트(44)가 리액터(60)의 튜브(62) 내부에 위치한 경우, 리액터(60)의 프로세스 수행에 의해 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등이 기판들에 형성될 수 있다.
리액터(60)는 로딩부(40)의 상부에 구성되며 내부에 튜브(62)를 구비하고, 리액터(70)는 로딩부(50)의 상부에 구성되며 내부에 튜브(72)을 구비한다.
리액터들(60, 70)은 튜브들(62, 72)에 투입된 보트에 차지된 기판들에 대한 프로세스를 진행하기 위한 것이다. 튜브들(62, 72)은 보트를 내부에 수용하는 공간을 가지며, 튜브(62, 72)의 외부에 가열을 위한 히팅 블록(도시되지 않음)이 구성될 수 있다.
튜브들(62, 72)은 프로세스를 위한 공정 가스를 가스 공급 배관(63, 73)을 통하여 공급받도록 구성되고 프로세스에 이용된 가스를 배기하기 위한 배기구들(65, 75)을 구비할 수 있다.
튜브들(62, 72)이 공정 가스를 공급받는 위치는 제작자의 의도에 따라 다양하게 설정될 수 있으며, 배기구들(65, 75)는 튜브들(72, 72)을 기준으로 공정 가스를 공급받는 위치의 반대쪽에 형성됨이 바람직하다.
하나의 예시로, 튜브(62)는 가스 공급 박스(100)와 리액터(70)가 접하는 리액터(60)의 코너 쪽을 통하여 공정 가스를 공급받도록 구성될 수 있고, 상기한 코너와 반대의 리액터(60)의 코너 쪽으로 배기를 위한 배기구(65)가 형성되도록 구성된다. 또한, 튜브(72)는 가스 공급 박스(120)와 리액터(60)가 접하는 리액터(70)의 코너 쪽을 통하여 공정 가스를 공급받도록 구성될 수 있고, 상기한 코너와 반대의 리액터(70)의 코너 쪽으로 배기를 위한 배기구(75)가 형성되도록 구성된다.
상기한 튜브들(62, 72)에 대한 공정 가스의 공급 위치와 배기구들(65, 75)의 형성 위치는 예시적으로 설명한 것일 뿐이다.
상술한 구성에 의해, 튜브들(62, 72)은 가스 공급 배관(63, 73)이 위치한 방향에서 공정 가스를 공급받을 수 있으며, 배기를 위한 배관이 구성된 유틸리티 박스들(80, 90)과 가까운 쪽에 형성된 배기구들(65, 75)를 통하여 프로세스에 이용된 가스를 배기할 수 있다.
본 발명의 실시예는 상술한 바와 같이 리액터(60)가 로딩부(40)의 상부에 적층되고, 리액터(70)가 로딩부(50)의 상부에 적층된다.
그리고, 로딩부들(40, 50)은 배면의 매인터넌스 도어들(41, 51)을 갖도록 구성된다. 매인터넌스 도어들(41, 51)은 예시적으로 로딩부들(40, 50)이 접하는 면들을 중심으로 서로 반대 방향으로 회전하여 개폐되도록 구성될 수 있다.
매인터넌스 도어들(41, 51)은 캡 플랜지와 보트의 매인트넌스 또는 교체, 리액터 유닛의 매인터넌스 또는 교체 등을 위한 출입구로 이용될 수 있다.
한편, 유틸리티 박스(80)는 로딩부(40) 및 리액터(60)의 가스 공급, 배기 및 전장을 위한 부품들을 구비할 수 있으며, 유틸리티 박스(90)는 로딩부(50) 및 리액터(70)의 가스 공급, 배기 및 전장을 위한 부품들을 구비할 수 있다.
유틸리티 박스(80)는 리액터(60)와 로딩부(40)의 배면에 구성되며, 유틸리티 박스(90)는 링액터(70)와 로딩부(50)의 배면에 구성된다. 그리고, 유틸리티 박스들(80, 90)은 이격됨으로써 매인터넌스 도어들(41, 51)의 회전 개폐를 위한 공간과 매인터넌스 도어들(41, 51)을 통한 매인터넌스를 위한 작업 공간을 제공할 수 있다.
본 발명의 실시예는 가스 공급 박스들(100, 120)을 상술한 바와 같이 구비한다.
가스 공급 박스(100)는 리액터(60)의 정면에 구성되며, 공정 가스를 내부의 최종 밸브(102)를 통하여 외부로 배출하고 가스 공급 배관(63)을 통하여 리액터(60)의 튜브(62)로 공급할 수 있다.
가스 공급 박스(120)는 리액터(70)의 정면에 구성되며, 공정 가스를 내부의 최종 밸브(122)를 통하여 외부로 배출하고 가스 공급 배관(73)을 통하여 리액터(70)의 튜브(72)로 공급할 수 있다.
최종 밸브(102)는 가스 공급 박스(100) 내에서 튜브(62)가 공정 가스를 공급받는 위치의 리액터(60)의 코너와 가까운 위치에 구성됨이 바람직하다. 이때, 리액터(60)의 코너는 가스 공급 박스(100)와 리액터(70)가 접하는 코너로 이해될 수 있다.
그리고, 최종 밸브(122)는 가스 공급 박스(200) 내에서 튜브(72)가 공정 가스를 공급받는 위치의 리액터(70)의 코너와 가까운 위치에 구성됨이 바람직하다. 이때, 리액터(70)의 코너는 가스 공급 박스(200)와 리액터(60)가 접하는 코너로 이해될 수 있다.
상술한 바에 의하여, 공정 가스를 최종 밸브들(102, 122)로부터 리액터들(60, 70)의 튜브들(62, 72)로 공급하는 가스 공급 배관(63, 73)은 짧은 길이로 구성될 수 있다.
상기한 최종 밸브들(102, 122)는 각각 공정 가스를 공급하기 위한 개폐 기능을 갖는 것으로 이해될 수 있다.
상기한 바에 의해서, 가스 공급 박스(100, 120)의 최종 밸브(102, 122)에서 튜브(62, 72)의 내부로 공급되는 공정 가스는 튜브(62, 72)의 내부에 투입된 보트(44)를 경유하면서 프로세스에 이용될 수 있고 그 후 반대 쪽의 배기구(65, 75)를 통하여 배기될 수 있다.
튜브들(62, 72)의 배기구들(65, 75)은 유틸리티 박스(80, 90)를 향하도록 구성됨으로써 배기를 위한 배관이 쉽게 구성될 수 있고 원활한 배기를 도모할 수 있다.
상술한 바 구성에 의하여, 본 발명은 두 개의 리액터가 하나의 시스템으로 구성됨으로써 장치의 전체적인 풋프린트를 저감할 수 있다.
그리고, 본 발명은 공정 가스가 짧은 길이의 가스 공급 라인을 이용하여 가스 공급 박스의 최종 밸브로부터 리액터로 공급될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 기판처리장치는 가스 공급 라인 상의 잔류 가스에 의한 영향없이 안정적으로 공정을 수행할 수 있으며, 그 결과 장치의 신뢰성을 확보하고, 수율을 개선할 수 있다.
그리고, 본 발명은 기판 반송부 상부의 여유 공간인 리액터의 정면에 가스 공급 박스가 구성되고, 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스 공간 및 가스 공급 박스로 접근을 위한 출입구를 확보할 수 있다. 그러므로, 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스의 편의성을 확보할 수 있다.

Claims (15)

  1. 기판들을 실은 풉이 로딩되는 스토커;
    정면이 상기 스토커의 배면과 마주하도록 배치되고, 상기 풉과 보트 사이의 상기 기판들의 반송을 수행하는 기판 반송부;
    정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하도록 배치되며, 상기 기판들을 차지한 상기 보트를 승하강시키는 로딩부;
    상기 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 보트의 상기 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 프로세스를 진행하는 리액터; 및
    상기 리액터의 정면에 설치되고, 내부의 최종 밸브를 통하여 상기 공정 가스를 상기 리액터에 공급하는 가스 공급 박스;를 구비함을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판 반송부는 상기 가스 공급 박스의 하부에 위치하며,
    상기 스토커의 배면과 상기 리액터의 정면 사이의 상기 기판 반송부의 상부에 상기 가스 공급 박스에 대한 매인터넌스 공간이 형성되는 기판처리장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 스토커의 일측에 출입 공간이 형성되고,
    상기 출입 공간은 상기 기판 반송부의 상부의 상기 매인터넌스 공간과 연결되는 기판처리장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 출입 공간과 상기 매인터넌스 공간 사이의 상기 스토커의 배면이 연장된 위치에 상기 출입구가 형성된 프레임;을 더 구비하고,
    상기 매인터넌스 공간과 상기 출입 공간은 상기 출입구를 통하여 연결되는 기판처리장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 스토커의 정면에 배치되며, 상기 풉을 다층으로 로딩하는 로드 포트;를 더 구비하고,
    상기 로드 포트와 상기 스토커의 일측에 출입 공간이 형성되고,
    상기 출입 공간은 상기 기판 반송부의 상부의 상기 매인터넌스 공간과 연결되는 기판처리장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 로드 포트의 일측의 상기 출입 공간에 배치되며, 정면에 출입문이 형성된 출입문 박스; 및
    상기 출입 공간과 상기 매인터넌스 공간 사이의 상기 스토커의 배면이 연장된 위치에 상기 출입구가 형성된 프레임;을 더 구비하고,
    상기 출입문을 통하여 상기 출입 공간에 진입할 수 있고,
    상기 출입 공간과 상기 매인터넌스 공간은 상기 출입구를 통하여 연결되는 기판처리장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 기판 반송부의 출입문과 마주하는 하부의 제2 출입구와 상기 매인터넌스 공간과 마주하는 상부의 상기 출입구를 구비하는 기판처리장치.
  8. 기판들을 실은 풉이 로딩되는 스토커;
    정면이 상기 스토커의 배면과 마주하도록 배치되고, 상기 풉과 제1 보트 또는 제2 보트 사이의 상기 기판들의 반송을 수행하는 기판 반송부;
    정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하도록 배치되며, 상기 기판들을 차지한 상기 제1 보트를 승하강시키는 제1 로딩부;
    정면이 상기 기판 반송부의 배면과 마주하며 상기 제1 로딩부와 이웃하여 병렬로 배치되며, 상기 기판들을 차지한 제2 보트를 승하강시키는 제2 로딩부;
    상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제1 보트의 상기 기판들에 대하여 공정 가스를 이용하여 제1 프로세스를 진행하는 제1 리액터;
    상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제2 보트의 상기 기판들에 대하여 상기 공정 가스를 이용하여 제2 프로세스를 진행하는 제2 리액터; 및
    상기 제1 리액터 및 상기 제2 리액터의 정면에 설치되고, 상기 공정 가스를 내부의 제1 최종 밸브를 통하여 상기 제1 리액터로 공급하거나 상기 제2 최종 밸브를 통하여 상기 제2 리액터로 공급하는 가스 공급부;를 구비함을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 기판 반송부는 상기 가스 공급부의 하부에 위치하며,
    상기 스토커의 배면, 상기 제1 리액터 및 상기 제2 리액터의 정면들 사이의 상기 기판 반송부의 상부에 상기 가스 공급부에 대한 매인터넌스 공간이 형성되는 기판처리장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 스토커의 일측에 출입 공간이 형성되고,
    상기 출입 공간은 상기 기판 반송부의 상부의 상기 매인터넌스 공간과 연결되는 기판처리장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 스토커의 배면이 연장된 위치에 상기 출입구가 형성된 프레임이 더 구성되고,
    상기 매인터넌스 공간과 상기 출입 공간은 상기 출입구를 통하여 연결되는 기판처리장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 스토커의 정면에 배치되며, 상기 풉을 다층으로 로딩하는 로드 포트;를 더 구비하고,
    상기 로드 포트와 상기 스토커의 일측에 출입 공간이 형성되고,
    상기 출입 공간은 상기 기판 반송부의 상부의 상기 매인터넌스 공간과 연결되는 기판처리장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 로드 포트의 일측의 상기 출입 공간에 배치되며, 정면에 출입문이 형성된 출입문 박스; 및
    상기 출입 공간과 상기 매인터넌스 공간 사이의 상기 스토커의 배면이 연장된 위치에 상기 출입구가 형성된 프레임;을 더 구비하고,
    상기 출입문을 통하여 상기 출입 공간에 진입할 수 있고,
    상기 출입 공간과 상기 매인터넌스 공간은 상기 출입구를 통하여 연결되는 기판처리장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 프레임은 상기 기판 반송부의 출입문과 마주하는 하부의 제2 출입구와 상기 매인터넌스 공간과 마주하는 상부의 상기 출입구를 구비하는 기판처리장치.
  15. 제8 항에 있어서, 상기 가스 공급부는,
    상기 제1 리액터의 정면에 설치되고, 상기 공정 가스를 내부의 상기 제1 최종 밸브를 통하여 상기 제1 리액터로 공급하는 제1 가스 공급 박스; 및
    상기 제2 리액터의 정면에 설치되고, 상기 공정 가스를 내부의 상기 제2 최종 밸브를 통하여 상기 제2 리액터로 공급하는 제2 가스 공급 박스;를 구비하는 기판처리장치.
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