KR102582276B1 - 기판처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 로딩부와 그의 배면의 구조를 개선한 기판처리장치를 개시하며, 기판처리장치는 제 기판들을 차지한 제1 보트를 승하강시키는 제1 로딩부; 상기 제1 로딩부와 이웃하며, 기판들을 차지한 제2 보트를 승하강시키는 제2 로딩부; 상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제1 보트의 상기 기판들에 대한 제1 프로세스를 진행하는 제1 리액터; 상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제2 보트의 상기 기판들에 대한 제2 프로세스를 진행하는 제2 리액터; 및 상기 제1 로딩부 및 상기 제2 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되며, 상기 제1 로딩부와 상기 제2 로딩부의 배기를 위한 유틸리티를 포함하는 하부 박스;를 구비한다.

Description

기판처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 로딩부와 그의 배면의 구조를 개선한 기판처리장치에 관한 것이다.
기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 장치이다.
기판처리장치는 기판들을 보트로 이송하는 장치, 기판들을 차지한 보트를 리액터로 투입하는 장치 및 투입된 보트의 기판들에 대한 프로세스를 진행하는 리액터(Reactor) 등이 복합적으로 구성된다.
상기한 기판처리장치는 프로세스 운영의 효율화를 위하여 하나의 시스템에 두 개의 리액터를 구비하도록 개선될 필요가 있다. 두 개의 리액터를 구비하도록 기판처리장치를 설계하는 경우, 풋프린트 증가와 장비의 높이 증가가 불가피하게 따른다. 그러므로, 기판처리장치는 하나의 시스템에 두개의 리액터를 구비하면서 공간을 절감하고, 풋프린트를 저감하도록 구성될 필요가 있다.
그리고, 기판들을 차지한 보트를 리액터로 투입하는 영역은 로딩 영역(Loading Area)이라 정의할 수 있고, 로딩 영역에는 보트를 리액터로 투입하는 로딩부가 구성되며, 챔버를 형성하는 박스형으로 구성된다.
상기한 로딩부는 보트가 승하강되는 영역의 하부에 챔버 내의 배기를 위한 배관과 보트의 승하강을 위한 전장 부품들이 구성된다.
로딩부는 하부에 배관과 전장 부품들이 구성되므로 이들의 상부에 위치하는 보트가 제한된 높이를 갖도록 설계되며, 보트의 높이가 제한되므로 기판들을 차지하기 위한 슬롯의 단수가 제한된다.
기판처리장치는 기판들을 처리할 수 있는 용량을 증가시키기 위하여 큰 용량의 보트가 이용될 수 있도록 개선될 필요가 있다.
또한, 로딩부는 상기와 같이 배관과 전장 부품들이 내부에 구성됨에 따라서 배관과 전장 부품들의 설치나 매인터넌스를 위한 작업을 필요로 한다. 그러나, 협소한 공간으로 인하여, 로딩부 내부의 작업에 어려움이 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 두 개의 리액터를 이용할 수 있고, 장비의 전체적인 풋프린트를 저감할 수 있는 기판처리장치를 제공함을 목적으로 한다.
본 발명은 로딩부의 배기를 위한 배관, 밸브, 압력센서 등과 같은 유틸리티 또는 보트의 승하강등을 위한 전장 부품들을 로딩부의 외부에 구성함으로써 로딩부의 내부 공간을 보다 넓게 확보할 수 있는 기판처리장치를 제공함을 다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 로딩부의 배면의 하부에 로딩부를 위한 유틸리티 또는 전장 부품들을 수용하면서 작업자의 발판으로 이용할 수 있는 하부 박스를 구성함으로써, 하부 박스에 의해 유틸리티 또는 전장 부품을 보호할 수 있고, 하부 박스가 작업자의 발판으로 이용됨으로써 매인터넌스가 용이한 기판처리장치를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 상기한 하부 박스 내의 유틸리티 또는 전장 부품에 대한 매인터넌스가 용이한 기판처리장치를 제공함을 또다른 목적으로 한다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 기판처리장치는, 기판들을 차지한 제1 보트를 승하강시키는 제1 로딩부; 상기 제1 로딩부와 이웃하며, 기판들을 차지한 제2 보트를 승하강시키는 제2 로딩부; 상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제1 보트의 상기 기판들에 대한 제1 프로세스를 진행하는 제1 리액터; 상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제2 보트의 상기 기판들에 대한 제2 프로세스를 진행하는 제2 리액터; 및 상기 제1 로딩부 및 상기 제2 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되며, 상기 제1 로딩부와 상기 제2 로딩부의 배기를 위한 유틸리티를 포함하는 하부 박스;를 포함함을 특징으로 한다.
상기 하부 박스는, 상기 제1 로딩부의 배기를 위한 제1 유틸리티를 포함하며, 상기 제1 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되는 제1 하부 박스; 및 상기 제2 로딩부의 배기를 위한 제2 유틸리티를 포함하며, 상기 제2 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되는 제2 하부 박스;를 포함한다.
본 발명은 두 개의 리액터를 구비하고, 두 개의 리액터가 두 개의 로딩부의 상부에 구성되며, 하나의 기판 반송부를 통하여 두 개의 로딩부에 기판들을 반송하도록 구성됨으로써 하나의 장치에서 두 개의 프로세스를 진행할 수 있으면서 전체적인 풋프린트를 상대적으로 저감할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 로딩부에 필요한 배기를 위한 배관, 밸브, 압력센서 등과 같은 유틸리티 또는 보트의 승하강 등을 위한 전장 부품들이 로딩부의 외부에 구성됨으로써 로딩부의 내부 공간이 더 확보될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 기판처리장치는 더 큰 높이 및 더 많은 단수의 슬롯을 갖는 보트를 이용하도록 구성될 수 있으며, 그 결과 기판들을 처리할 수 있는 용량이 증가될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 로딩부의 배면의 하부에 로딩부를 위한 유틸리티 또는 전장 부품들을 수용하는 하부 박스를 구비하며, 하부 박스에 의해 유틸리티 또는 전장 부품을 보호할 수 있는 효과가 있다.
또한, 상기한 하부 박스는 매인터넌스를 위해서 로딩부로 진입하는 작업자 또는 로딩부의 내부 또는 외부의 높은 위치의 매인터넌스를 위한 작업자의 발판으로 이용될 수 있다. 그러므로 본 발명은 매인터넌스에 용이한 이점이 있다.
또한, 본 발명의 하부 박스는 하나의 면에 개방 또는 해체 가능한 커버가 구성될 수 있고, 커버의 개방 또는 해체를 통하여 하부 박스 내의 유틸리티 또는 전장 부품에 대한 매인터넌스가 용이한 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 기판처리장치의 바람직한 실시예를 나타내는 측면도.
도 2는 도 1의 실시예의 평면도.
도 3은 도 2의 A에서 바라본 실시예의 배면도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예의 평면도.
도 5는 도 4의 A에서 바라본 다른 실시예의 배면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어는 통상적이거나 사전적 의미로 한정되어 해석되지 아니하며, 본 발명의 기술적 사항에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예이며, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있다.
본 발명의 기판처리장치는 웨이퍼와 같은 기판에 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 증착하기 위한 것이며, 기판의 반송, 기판에 대한 프로세스 및 매인터넌스 등을 위한 단위 모듈 또는 박스를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예는 하나의 기판 반송부(10), 두 개의 로딩부(40, 50), 두 개의 리액터(60, 70)를 포함한다. 두 개의 로딩부(40 50)는 기판 반송부(10)의 배면에 배치된다. 로딩부(40)는 리액터(60)의 하부에 구성되고, 로딩부(50)는 리액터(70)의 하부에 구성된다.
본 발명의 실시예는 두 개의 리액터(60, 70)를 구비하고, 두 개의 리액터(60, 70)가 두 개의 로딩부(40, 50)의 상부에 구성되며, 하나의 기판 반송부(10)를 통하여 두 개의 로딩부(40, 50)에 기판들을 반송하도록 구성된다.
상술한 실시예의 구성 및 동작에 대하여 보다 구체적으로 설명한다.
기판들은 풉(FOUP : Front-opening Unified Pod : 도시되지 않음)에 실려서 이송될 수 있으며, 풉은 일정 수량 단위로 기판들을 실을 수 있는 전면 개방형 포드이다.
기판 반송부(10)의 전면에는 풉이 로딩되는 프론트 모듈(도시되지 않음)이 구성될 수 있다.
프론트 모듈은 다층 및 복수 열의 FIMS(front-opening interface mechanical standard) 인터페이스(도시되지 않음)를 구비하며, 풉이 FIMS 인터페이스에 로딩된다.
기판 반송부(10)는 정면의 프론트 모듈과 배면의 두 개의 로딩부(40, 50) 사이에 배치되며, 두 개의 로딩부(40, 50)는 기판 반송부(10)의 배면에 대하여 병렬로 이웃하도록 배치된다.
기판 반송부(10)는 내부에 기판들을 반송하기 위한 기판 반송 공간을 형성하기 위한 챔버를 형성하도록 구성될 수 있고, 기판 반송 공간에 기판들의 반송을 위한 하나의 이송 로봇(12)을 구비한다.
기판 반송부(10)는 배면에 해당하는 측벽의 두 개의 로딩부(40, 50)와 접하는 위치에 구성된 두 개의 게이트 도어(14)를 구비한다.
기판 반송부(10)의 두 개의 게이트 도어(14)는 상호 연동성없이 독립적으로 개폐되도록 구성될 수 있다.
이송 로봇(12)은 기판 반송 공간에서 두 개의 게이트 도어(14) 간을 왕복하며 전면의 프론트 모듈과 배면의 두 개의 로딩부(40, 50) 간의 기판들의 반송을 수행한다. 여기에서, 반송은 기판들을 전면의 프론트 모듈에서 두 개의 로딩부(40, 50)로 이송하는 것과 기판들을 두 개의 로딩부(40, 50)에서 프론트 모듈로 이송하는 것을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.
이송 로봇(12)은 상부에 엔드 이펙터(16)를 탑재한다. 엔드 이펙터(16)는 기판들을 이송하기 위해 업, 다운, 회전, 신장 또는 수축이 가능하도록 구성된다.
즉, 이송 로봇(12)은 게이트 도어들(14) 간을 왕복하면서 엔드 이펙터(16)를 이용하여 두 개의 로딩부(40, 50)과 프론트 모듈 간의 기판들의 반송을 수행할 수 있다.
두 개의 로딩부(40, 50)는 상술한 바와 같이 기판 반송부(10)의 동일한 쪽 구체적으로 배면에 대하여 병렬로 이웃하여 마주하도록 배치된다.
두 개의 로딩부(40, 50)는 각각 내부에 보트(44)를 로딩하기 위한 보트 로딩 공간을 형성하기 위한 독립된 챔버를 형성하도록 구성될 수 있다. 두 개의 로딩부(40, 50)는 수직으로 형성된 보트 로딩 공간을 형성하는 박스형으로 구성될 수 있다.
상기한 구조에 의해, 기판들이 반송되는 기판 반송부(10)의 기판 반송 공간과 보트(44)가 승하강되는 두 개의 로딩부(40, 50)의 보트 로딩 공간들은 독립된 공간들로 형성된다.
두 개의 로딩부(40, 50)는 각각 보트(44)와 캡 플랜지(45)를 구비한다. 보트(44)는 정면의 기판 반송부(10)의 게이트 도어(14)를 통하여 반송된 기판들을 차지도록 구성되며, 캡 플랜지(45)는 기판들을 차지한 보트(44)를 싣고 보트 로딩 공간을 승하강하도록 구성된다.
두 개의 로딩부(40, 50)는 각각 배면에 구성된 게이트 도어(41, 51)를 구비하며, 게이트 도어(41, 51)는 내부의 매인터넌스를 위하여 여닫을 수 있도록 구성된다. 작업자는 게이트 도어(41, 51)를 통하여 출입하면서 두 개의 로딩부(40, 50) 내부에 대한 매인터넌스를 수행할 수 있다.
한편, 리액터들(60, 70)은 두 개의 로딩부(40, 50)의 상부에 구성되며 내부에 튜브(62)를 구비한다. 튜브(62)는 승강된 보트(44)를 수용하는 공간을 갖는다.
리액터(60)는 튜브(62)에 투입된 보트(44)에 차지된 기판들에 대한 프로세스를 진행하기 위한 것이다. 리액터(60)는 가열을 위하여 튜브(62)의 외부에 구성되는 히팅 블록(도시되지 않음)을 구비할 수 있다. 또한, 리액터(60)는 튜브(62)의 내부에 프로세스를 위한 가스가 공급되거나 배기되도록 구성될 수 있다. 리액터(70)는 리액터(60)의 구성을 참조하여 이해될 수 있으므로 중복되는 설명은 생략한다.
리액터들(60, 70)은 하부의 두 개의 로딩부(40, 50)와 중첩되며 동일한 면적을 갖도록 구성될 수 있다.
상술한 구성에 의하여, 로딩부들(40, 50)의 캡 플랜지(45)가 승강되는 경우, 보트(44)는 로딩부들(40, 50)의 내부에서 리액터들(60, 70)의 튜브(62) 내부로 투입될 수 있다. 그리고, 로딩부들(40, 50)의 캡 플랜지(45)가 하강되는 경우, 보트(44)는 튜브(62)의 내부에서 로딩부들(40, 50)의 내부로 복귀될 수 있다.
보트(44)가 로딩부들(40, 50)의 내부에 위치한 경우, 보트(44) 내부에 프로세스를 수행하기 위한 기판들이 이송 로봇(12)에 의해 차지되거나 또는 프로세스를 수행한 보트(44) 내부의 기판들이 이송 로봇(12)에 의해 디스차지된다.
보트(44)가 튜브(62) 내부에 위치한 경우, 리액터(60)에 의한 프로세스 수행에 의해 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등이 기판들에 형성될 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예는 상술한 바와 같이 두 개의 리액터(60, 70)를 구비하고, 두 개의 리액터(60, 70)가 두 개의 로딩부(40, 50)의 상부에 중첩되게 구성되며, 하나의 기판 반송부(10)를 통하여 두 개의 로딩부(40, 50)에 기판들을 반송하도록 구성된다.
그러므로, 본 발명의 실시예는 하나의 장치에서 두 개의 프로세스를 진행할 수 있으므로, 장치의 전체적인 공간을 절감할 수 있고, 공간이 절감된 만큼 풋프린트가 개선될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예는 두 개의 로딩부(40, 50)와 두 개의 리액터(60, 70)의 배면과 마주하게 배치된 박스들을 구비한다. 박스들은 상부 메인 유틸리티 박스(80, 90), 하부 메인 유틸리티 박스(82, 92) 및 하부 박스를 포함한다.
하부 메인 유틸리티 박스(82)는 로딩부(40)의 배면에 구성되며, 상부 메인 유틸리티 박스(80)는 하부 메인 유틸리티 박스(82)의 상부에 적층되도록 구성된다. 그리고, 하부 메인 유틸리티 박스(92)는 로딩부(50)의 배면에 구성되며, 상부 메인 유틸리티 박스(90)는 상부 메인 유틸리티 박스(92)의 상부에 적층되도록 구성된다.
상부 메인 유틸리티 박스(80)와 하부 메인 유틸리티 박스(82)는 로딩부(40)의 측벽들 중 로딩부(50)와 먼 쪽 측변에 정렬되도록 배치되며, 상부 메인 유틸리티 박스(90)와 하부 메인 유틸리티 박스(92)는 로딩부(50)의 측벽들 중 로딩부(40)와 먼 쪽 측변에 정렬되도록 배치된다.
상부 메인 유틸리티 박스(80)는 히터 관련 부품(케이블, 단자대), 배기구 히팅 자켓 제어 부품, 가스 디텍터 센서와 같이 리액터(60)를 위한 부품들을 구비하며, 하부 메인 유틸리티 박스(82)는 가스 공급부, 배기부, PCW(Power Supply Cooling Water) 라인, 압력 센서류, 전장 파트, 모니터, RCU 열배관, 전장 케이블 등의 리액터(60)를 위한 부품들을 구비한다. 상부 메인 유틸리티 박스(80)와 하부 메인 유틸리티 박스(82)의 부품들은 일부 변경되거나 혼재되어 있을 수 있다.
상부 메인 유틸리티 박스(90)는 히터 관련 부품(케이블, 단자대), 배기구 히팅 자켓 제어 부품, 가스 디텍터 센서와 같이 리액터(70)를 위한 부품들을 구비하며, 하부 메인 유틸리티 박스(82)는 가스 공급부, 배기부, PCW(Power Supply Cooling Water) 라인, 압력 센서류, 전장 파트, 모니터, RCU 열배관, 전장 케이블 등의 리액터(70)를 위한 부품들을 구비한다. 상부 메인 유틸리티 박스(90)와 하부 메인 유틸리티 박스(92)의 부품들은 일부 변경되거나 혼재되어 있을 수 있다.
하부 박스는 하부 메인 유틸리티 박스(82)와 하부 메인 유틸리티 박스(92)의 사이의 공간에 전체 또는 일부가 배치되도록 구성된다.
보다 구체적으로, 하부 박스는 두 개의 하부 박스(84, 94)를 포함할 수 있으며, 두 개의 하부 박스(84, 94)는 두 개의 로딩부(40, 50)의 매인터넌스 도어들(41, 51)로 접근을 위한 발판으로 이용하기 위하여 매인터넌스 도어들(41, 51)보다 낮으며 서로 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 구성되며 서로 접하도록 구성될 수 있다.
두 개의 하부 박스(84, 94) 각각은 대응하는 로딩부들(40, 50)의 배면의 하부와 마주하게 배치되며 대응하는 로딩부들(40, 50)의 배기를 위한 배관, 밸브 및 압력 센서 등의 유틸리티를 포함할 수 있다. 여기에서, 유틸리티의 일예로서, 로딩부(40)의 배기를 위하여 배관(86)이 예시되었다. 그리고, 하부 박스들(84, 94)의 배기를 위한 배관(86)은 로딩부들(40, 50)에 바로 연결되도록 구성되거나 또는 하부 메인 유틸리티 박스들(82, 92)를 경유하여 로딩부들(40, 50)에 연결되도록 구성될 수 있다.
또한, 두 개의 하부 박스(84, 94) 각각은 대응하는 로딩부들(40, 50)를 제어하는 전장 부품을 더 포함하도록 구성될 수 있다. 여기에서, 전장 부품은 예시적으로 캡 플랜지(45)의 승하강 셔터의 구동을 위한 부품을 포함하는 것으로 이해될 수 있다. 구체적으로 도시되지 않았으나, 셔터는 로딩부들(40, 50)의 상부에 구성되며 보트(44)의 승하강시 리액터(60, 70)의 출입구를 여닫기 위한 장치이다.
두 개의 하부 박스(84, 94)는 내부에 구성된 유틸리티와 전장 부품이 서로 대칭되도록 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예는 상술한 구성에 의하여 로딩부들(40, 50)은 배기를 위한 배관, 밸브, 압력센서 등과 같은 유틸리티 또는 보트의 승하강 등을 위한 전장 부품들이 하부 박스들(84, 94)에 배치됨으로써 이들의 구성이 불필요하며, 그 만큼 내부 공간을 더 확보할 수 있다.
예시적으로, 로딩부(40)에는 배기를 위한 유틸리티와 제어를 위한 전장 부품이 구성되지 않거나 일부 필요부품만 구성될 수 있다. 로딩부(40)를 위한 유틸리티와 전장 부품은 하부 박스(80)의 내부에 구성된다.
그러므로, 로딩부(40)는 유틸리티와 전장 부품이 외부에 구성된 만큼 확장된 보트 로딩 공간을 가질 수 있다. 로딩부(40)의 보트 로딩 공간이 더 확보됨에 따라, 로딩부(40) 내부에 구성되는 보트(44)는 더 높은 높이를 가지며 더 많은 단수를 갖는 것이 이용될 수 잇다.
하부 박스(94)의 경우도 해당하는 로딩부(50)를 위한 유틸리티와 전장 부품을 내부에 구비할 수 있다.
그러므로, 보트(44)의 기판을 차지하는 용량이 증가될 수 있고, 그 결과 본 발명의 기판처리장치의 프로세스를 위한 용량이 증가될 수 있다.
본 발명에서, 로딩부들(40, 50) 각각을 위한 유틸리티와 전장 부품은 대응하는 하부 박스(84, 94)의 내부에 구성된다. 그러므로, 본 발명의 실시예에 의하면, 하부 박스(84, 94)에 의해 해당 로딩부(40, 50)를 위한 유틸리티와 전장 부품이 보호될 수 있다.
또한, 하부 박스들(84, 94)은 매인터넌스를 위해서 로딩부들(40, 50)로 진입하는 작업자 또는 로딩부들(40, 50)의 내부 또는 외부의 높은 위치의 매인터넌스를 위한 작업자의 발판으로 이용될 수 있다. 그러므로 본 발명은 매인터넌스에 용이한 이점이 있다.
그리고, 하부 박스들(84, 94)은 각각 하나의 면에 개방 또는 해체 가능한 커버(도시되지 않음)가 구성될 수 있다. 하부 박스들(84, 94)의 내부에 구성된 유틸리티 또는 저장 부품의 매인터넌스가 필요한 경우 커버가 개방 또는 해체될 수 있다. 그러므로, 본 발명의 실시예는 커버의 개방 또는 해체를 통하여 하부 박스들(84, 94) 내의 유틸리티 또는 전장 부품에 대한 매인터넌스가 용이한 이점이 있다.
한편, 본 발명은 도 4 및 도 5와 하부 박스들(84, 94)이 이격되게 실시될 수 있고, 하부 박스들(84, 94) 사이의 이격된 공간이 연결판(SP)에 의해 커버되도록 구성될 수 있다. 도 4 및 도 5의 부품들 중 도 2 및 도 3과 중복되는 것들의 구성 및 동작 설명은 생략한다.
연결판(SP)은 도 4 및 도 5와 같이 이격된 공간뿐만 아니라 하부 박스들(84, 94)의 상부도 커버하도록 구성될 수 있다. 이 경우, 연결판(SP)은 로딩부들(40, 50) 및 하부 메인 유틸리티 박스들(82, 92) 사이의 공간을 모두 커버하는 면적을 갖는 장방형의 평판으로 구성될 수 있다. 또한, 이를 위하여, 하부박스들(84, 94)은 로딩부들(40 50)의 매인터넌스 도어들(41, 51)보다 낮으며 서로 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 구성될 수 있다.
이와 달리, 연결판(SP)은 하부 박스들(84, 94)의 서로 마주하는 상단 모서리에 변부들이 지지되면서 하부 박스들(84, 94) 사이의 이격된 공간을 커버하도록 구성될 수 있다. 이때, 연결판(SP)의 서로 마주하는 두 변이 하부 박스들(84, 94)에 의해 지지되는 방법은 제작자에 의해 다양하게 실시될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.
도 4 및 도 5의 실시예도, 매인터넌스를 위해서 로딩부들(40, 50)로 진입하는 작업자 또는 로딩부들(40, 50)의 내부 또는 외부의 높은 위치의 매인터넌스를 위한 작업자를 위한 발판으로서 연결판(SP) 및 하부 박스들(84, 94)이 이용될 수 있으며, 본 발명은 매인터넌스에 용이한 이점이 있다.

Claims (9)

  1. 기판들을 차지한 제1 보트를 승하강시키는 제1 로딩부;
    상기 제1 로딩부와 이웃하며, 기판들을 차지한 제2 보트를 승하강시키는 제2 로딩부;
    상기 제1 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제1 보트의 상기 기판들에 대한 제1 프로세스를 진행하는 제1 리액터;
    상기 제2 로딩부의 상부에 구성되며, 승강된 상기 제2 보트의 상기 기판들에 대한 제2 프로세스를 진행하는 제2 리액터; 및
    상기 제1 로딩부 및 상기 제2 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되며, 상기 제1 로딩부와 상기 제2 로딩부의 배기를 위한 유틸리티를 포함하는 하부 박스;를 포함함을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 하부 박스는,
    상기 제1 로딩부의 배기를 위한 제1 유틸리티를 포함하며, 상기 제1 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되는 제1 하부 박스; 및
    상기 제2 로딩부의 배기를 위한 제2 유틸리티를 포함하며, 상기 제2 로딩부의 배면의 하부와 마주하게 배치되는 제2 하부 박스;를 포함하는 기판처리장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스는 서로 접하도록 구성되는 기판처리장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스는 서로 이격되며,
    상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스 사이의 이격된 공간을 커버하는 연결판을 더 포함하는 기판처리장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 연결판은 상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스의 상부를 커버하거나 상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스의 모서리들에 지지됨으로써 상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스 사이의 이격된 공간을 커버하는 기판 처리 장치.
  6. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 로딩부는 배면에 제1 매인터넌스 도어를 구비하고,
    상기 제2 로딩부는 배면에 제2 매인터넌스 도어를 구비하며,
    상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스는 상기 제1 매인터넌스 도어 및 상기 제2 매인터넌스 도어로 접근을 위한 발판으로 이용하기 위하여 상기 제1 매인터넌스 도어 및 상기 제2 매인터넌스 도어보다 낮으며 서로 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 구성되는 기판처리장치.
  7. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 하부 박스는 상기 제1 로딩부를 제어하는 제1 전장 부품을 더 포함하고;
    상기 제2 하부 박스는 상기 제2 로딩부를 제어하는 제2 전장부품을 더 포함하는 기판처리장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 제1 하부 박스의 상기 제1 유틸리티 및 상기 제1 전장 부품과, 상기 제2 하부 박스의 상기 제2 유틸리티 및 상기 제2 전장 부품은 서로 대칭되게 배치되는 기판처리장치.
  9. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 하부 박스와 상기 제2 하부 박스는 내부에 대한 매인터넌스를 위하여 각각 하나의 면에 개방 또는 해체 가능한 커버를 구비하는 기판 처리 장치.
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