JP2004119888A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ1を処理処する理室23と、ウエハ1を保持して処理室23に搬入するボート21と、ボート21が処理室23への搬入に待機する待機室16と、待機室16に窒素ガス30を循環させる循環路31と、循環路31に窒素ガス30を供給する供給管43と、循環路31から窒素ガス30を排出する排出管44とを備えた熱処理装置において、ボート21が処理室23から搬出される際には待機室16から排出管44によって排出される窒素ガス30の流量が待機室16に供給管43によって供給され、ボート21が処理室23に搬入されている際には窒素ガス30が待機室16に循環路31によって循環される。
【効果】処理済みの高温のウエハの待機室への搬出時に、待機室には新鮮な不活性ガスが流通する状態になるので、窒素ガスの温度上昇を防止できる。
【選択図】 図6
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置に関し、特に、自然酸化膜の発生を防止する技術に係り、例えば、半導体集積回路装置(以下、ICという。)の製造方法において半導体素子を含む半導体集積回路が作り込まれる半導体ウエハ(以下、ウエハという。)に熱処理(thermal treatment )を施す熱処理装置(furnace )に利用して有効なものに関する。
【0002】
【従来の技術】
ICの製造方法においてウエハに絶縁膜や金属膜等のCVD膜を形成したり不純物を拡散したりする熱処理工程には、熱処理装置が広く使用されている。従来のこの種の熱処理装置としては、自然酸化膜がウエハに大気中の酸素(O2 )によって形成されるのを防止するために、ウエハが露出した状態になる待機室に不活性ガスとしての窒素ガスを循環させるように構成されているものがある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、窒素ガスが循環される熱処理装置においては、熱処理されて高温になったウエハ群を保持したボートが待機室に搬出されて来ると、循環している窒素ガスの温度がウエハ群およびボートによって加熱されて上昇するために、有機汚染の原因となる物質(以下、有機汚染物質という。)が循環路に設置されたファンやケーブル等から発生するという問題点がある。
【0004】
本発明の目的は、待機室を循環する不活性ガスの温度の上昇を防止することができる半導体製造装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体製造装置は、基板を処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入する基板保持台と、前記基板保持台が前記処理室への搬入に待機する待機室と、前記待機室に不活性ガスを循環させる循環路と、前記循環路に前記不活性ガスを供給する供給路と、前記循環路から前記不活性ガスを排出する排出路とを具備した半導体製造装置において、
前記基板保持台が前記処理室から搬出される際には、前記待機室から前記排出路によって排出される前記不活性ガスの量が前記待機室に前記供給路によって供給され、前記基板保持台が前記処理室に搬入されている際には、前記不活性ガスが前記待機室に前記循環路によって循環されることを特徴とする。
【0006】
前記した手段によれば、基板保持台が処理室から搬出される際には、待機室には新鮮な不活性ガスが流通される状態になるので、不活性ガスの温度の上昇を防止することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【0008】
本実施の形態において、本発明に係る半導体製造装置は、熱処理装置10として図1〜図6に示されているように構成されており、気密室構造に構築された筐体11を備えている。ところで、ウエハを収容して搬送するためのキャリア(搬送治具)としては、互いに対向する一対の面が開口された略立方体の箱形状に形成されているオープンカセットと、一つの面が開口された略立方体の箱形状に形成され開口面にキャップが着脱自在に装着されているFOUP(front opening unified pod 。以下、ポッドという。)とがある。ウエハのキャリアとしてポッドが使用される場合には、ウエハが密閉された状態で搬送されることになるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在していたとしてもウエハの清浄度(クリーン度)は維持することができる。そこで、本実施の形態においては、ウエハ1のキャリアとしてはポッド2が使用されている。
【0009】
筐体11の正面壁には取付板12が垂直に立設されており、取付板12にはウエハ1をローディングおよびアンローディングするためのポート(以下、ウエハローディングポートという。)13が設定されている。ウエハローディングポート13に対応する位置にはウエハ1を出し入れするためのウエハ搬入搬出口14が開設されており、ウエハ搬入搬出口14にはポッド2のキャップ3を着脱してポッド2を開閉するポッドオープナ15が設置されている。
【0010】
取付板12の後方の空間にはボート21が処理室23への搬入搬出に対して待機する待機室16が設定されており、待機室16の前側の空間にはウエハ移載装置(wafer transfer equipment )17が設置されている。ウエハ移載装置17はウエハ移載装置エレベータ18によって昇降されるように構成されており、ウエハローディングポート13とボート21との間でウエハ1を搬送してポッド2およびボート21に受け渡すようになっている。待機室16の後側の空間にはボートエレベータ19が垂直に設置されており、ボートエレベータ19はボート21を支持したシールキャップ20を垂直方向に昇降させるように構成されている。すなわち、シールキャップ20はマニホールド25を介してプロセスチューブ24をシール可能な円盤形状に形成されており、シールキャップ20の中心線上にはボート21が垂直に立脚されている。ボート21は被処理基板としてのウエハ1を多数枚、中心を揃えて水平に配置した状態で保持するように構成されており、シールキャップ20のボートエレベータ19による昇降によってプロセスチューブ24の処理室23に対して搬入搬出されるようになっている。
【0011】
筐体11の後端部における上部にはプロセスチューブ設置室22が設定され、プロセスチューブ設置室22には処理室23を形成するプロセスチューブ24がマニホールド25を介して垂直に立脚され待機室16の上に設置されている。図5に示されているように、マニホールド25には処理室23に原料ガスやパージガス等を導入するためのガス導入管26と、処理室23を真空排気するための排気管27が接続されている。プロセスチューブ24の外側にはヒータユニット28が同心円に配されて筐体11に支持されており、ヒータユニット28は処理室23を全体にわたって均一または所定の温度分布に加熱するように構成されている。処理室23の炉口はシャッタ29によって開閉されるようになっている。
【0012】
筐体11には待機室16に不活性ガスとしての窒素ガス30を循環させる循環路31を構成した循環ダクト32が、図2〜図6に示されているように敷設されている。循環ダクト32は吸込口33が開設された吸込側ダクト部34を備えており、吸込側ダクト部34は待機室16における前側のウエハ移載装置エレベータ18側のコーナ部に垂直に延在するように敷設されている。吸込側ダクト部34の下端部には連絡ダクト部35の吸込側端が接続されており、連絡ダクト部35は待機室16の外部におけるウエハローディングポート13の下方を横切るように水平に敷設されている。連絡ダクト部35の循環路31の途中には窒素ガス30を強制的に循環させるための軸流ファン36と、窒素ガス中の有機汚染物質を除去するケミカルフィルタ37とが設置されている。連絡ダクト部35の吹出側端には吹出口38が開設された吹出側ダクト部39の下端部が接続されており、吹出側ダクト部39は待機室16における吸込側ダクト部34の反対側の側面に垂直に敷設されている。吹出側ダクト部39の吹出口38にはクリーンユニット40が建て込まれている。クリーンユニット40はパーティクルを捕集するフィルタ41と複数のファン42とを備えており、フィルタ41が待機室16に露出するとともに、ファン42群の下流側になるように構成されている。
【0013】
循環ダクト32の連絡ダクト部35の吹出側端部には循環路31に窒素ガス30を供給する供給路としての供給管43が接続されている。連絡ダクト部35の吸込側端部には循環路31から窒素ガス30を排出する排出路としての排出管44が接続されており、排出管44には開閉弁45が介設されている。ボート21が処理室23から搬出される際には待機室16から排出管44によって排出される窒素ガス30の流量を待機室16に供給管43によって供給し、ボート21が処理室23に搬入されている際には窒素ガス30を待機室16に循環路31によって循環させるように、開閉弁45は構成されている。また、循環ダクト32の吹出側ダクト部39の上端にはクリーンエアを導入するクリーンエア導入管46が接続されており、クリーンエア導入管46には止め弁47が介設されている。
【0014】
次に、前記構成に係る熱処理装置の作用を説明する。
【0015】
図1〜図3に示されているように、ウエハローディングポート13の載置台に移載されたポッド2はポッドオープナ15によってキャップ3を外されて開放される。ウエハローディングポート13においてポッド2が開放されると、ポッド2に収納された複数枚のウエハ1はウエハ移載装置17によってボート21に移載されて装填(チャージング)される。予め指定された枚数のウエハ1が装填されると、ボート21はボートエレベータ19によって上昇されてプロセスチューブ24の処理室23に搬入(ボートローディング)される。ボート21が上限に達すると、ボート21を保持したシールキャップ20の上面の周辺部がプロセスチューブ24の下面にシール状態に当接するため、処理室23は気密に閉じられた状態になる。
【0016】
プロセスチューブ24の処理室23が気密に閉じられた状態で、所定の真空度に排気管27によって真空排気され、ヒータユニット28によって所定の温度に加熱され、所定の処理ガスがガス導入管26によって所定の流量だけ供給される。これにより、所望の熱処理がウエハ1に施される。
【0017】
この処理中には、窒素ガス30が循環路31によって循環されている。すなわち、供給管43によって循環路31に供給された窒素ガス30は循環ダクト32の吹出側ダクト部39に建て込まれたクリーンユニット40から待機室16に吹き出し、待機室16を流通して吸込側ダクト部34の吸込口33から循環路31に軸流ファン36の排気力によって吸い込まれる。循環路31に吸い込まれた窒素ガス30はケミカルフィルタ37によって有機汚染物質を除去された後に、クリーンユニット40から待機室16に吹き出す。以降、窒素ガス30は以上の流れを繰り返すことにより、待機室16と循環路31とを循環する。ちなみに、この窒素ガス30の循環ステップにおいては、排出管44の開閉弁45およびクリーンエア導入管46の止め弁47は閉じられている。
【0018】
そして、予め設定された処理時間が経過すると、ボート21がボートエレベータ19によって下降されることにより、処理済みウエハ1を保持したボート21が待機室16における元の待機位置に搬出(ボートアンローディング)される。ボート21が処理室23から搬出されると、処理室23はシャッタ29によって閉じられる。
【0019】
処理済みのウエハ1を保持したボート21が搬出される際には、開閉弁45が開かれることにより、循環路31の窒素ガス30が排出管44によって排出されるとともに、排出管44から排出される窒素ガス30の流量分に相当する窒素ガス30の流量が供給管43から補給される。すなわち、供給管43によって循環路31に供給された窒素ガス30は循環ダクト32の吹出側ダクト部39に建て込まれたクリーンユニット40から待機室16に吹き出し、待機室16を流通して吸込側ダクト部34の吸込口33を通じて排出管44によって排気される。待機室16を流通する間に、窒素ガス30は熱処理されて高温になったウエハ1群およびこれをを保持したボート21に接触して熱交換することにより、これらを冷却する。この際、窒素ガス30は供給管43によって供給された直後の冷えた新鮮な窒素ガス30であるので、ウエハ1群およびボート21を高い熱交換効率をもって冷却することができる。また、ウエハ1群およびボート21を冷却して温度が上昇した窒素ガス30は排出管44によって直ちに排気されることにより、循環路31に介設された軸流ファン36、ケミカルフィルタ37およびクリーンユニット40を通過することはないので、これらを温度上昇させることはなく、したがって、これらから有機汚染物質が発生することはない。また、循環路31の温度上昇が少ない範囲では温度が上昇した窒素ガス30の一部を循環路31で循環させてもよい。さらに、高温になったウエハ1に接触するのは不活性ガスである窒素ガス30であるので、ウエハ1の表面に自然酸化膜が生成されることはない。ちなみに、クリーンエア導入管46の止め弁47は閉じられている。
【0020】
待機室16に搬出されたボート21の処理済みウエハ1はボート21からウエハ移載装置17によってピックアップされてウエハローディングポート13に搬送され、ウエハローディングポート13に予め搬送されてキャップ3を外されて開放された空のポッド2に収納される。ポッド2が処理済みウエハ1によって満たされると、ポッド2はポッドオープナ15によってキャップ3を装着されて閉じられた後に、ウエハローディングポート13から他の場所へ移送される。
【0021】
以降、前述した作用が繰り返されてウエハ1が熱処理装置10によってバッチ処理されて行く。
【0022】
ところで、前述した熱処理が繰り返して実施されると、ボート21や処理室23の表面に反応生成物等が堆積するため、メンテナンス作業がボート21やプロセスチューブ24等について定期または不定期に実施される。このメンテナンス作業に際しては、供給管43からの窒素ガス30の供給および循環路31の軸流ファン36の運転は停止され、クリーンエア導入管46の止め弁47が開かれてクリーンエアがクリーンエア導入管46によって循環ダクト32の吹出側ダクト部39に導入される。吹出側ダクト部39に導入されたクリーンエアは循環ダクト32の吹出側ダクト部39に建て込まれたクリーンユニット40から待機室16に吹き出し、待機室16を流通して吸込側ダクト部34の吸込口33を通じて排出管44によって排気される。クリーンユニット40からのクリーンエアの吹き出しによって待機室16は外部の圧力よりも高い正圧になるので、待機室16の外部の雰囲気が待機室16に流入することはない。なお、メンテナンス作業の前に、待機室16で循環する窒素ガス30は排出管44によって待機室16の外部へ排気される。
【0023】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【0024】
1) 処理済みのウエハを保持したボートが処理室から搬出されるに際して、循環路の窒素ガスを排出させるとともに、排出管から排出される窒素ガスの流量に相当する窒素ガスを供給管から補給することにより、ウエハ群およびボートを冷却して温度が上昇した窒素ガスを排気管によって直ちに排気させることができるので、循環路に介設された軸流ファン、ケミカルフィルタおよびクリーンユニットの温度が上昇するのを防止することができ、これらから有機汚染物質が発生するのを未然に防止することができる。
【0025】
2) 供給管によって供給した直後の冷えた新鮮な窒素ガスを高温のウエハ群およびボートに接触させて熱交換させることにより、これらを高い熱交換効率をもって冷却することができるので、冷却時間を短縮することができ、その結果、熱処理工程全体としての作業時間を短縮することができる。
【0026】
3) 不活性ガスである窒素ガスを高温になったウエハに接触させることにより、ウエハの表面に自然酸化膜が生成されるのを防止することができるので、熱処理装置の品質や信頼性を向上させることができる。
【0027】
4) ケミカルフィルタを循環路に介設することにより、有機汚染物質を除去することができるので、熱処理装置の品質や信頼性を向上させることができる。
【0028】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【0029】
例えば、ケミカルフィルタは省略してもよい。クリーンユニットが循環路の途中に設置される場合には、専用の軸流ファンは省略してもよい。また、専用の軸流ファンが循環路の途中に設置される場合には、クリーンユニットのファンは省略してもよい。
【0030】
前記実施の形態ではバッチ式縦形熱処理装置の場合について説明したが、本発明はこれに限らず、バッチ式縦形拡散装置等の半導体製造装置全般に適用することができる。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、待機室を循環する不活性ガスの温度の上昇を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である熱処理装置を示す側面断面図である。
【図2】平面断面図である。
【図3】図2のIII−III 線に沿う正面断面図である。
【図4】図2のIV−IV線に沿う正面断面図である。
【図5】図2のV−V線に沿う正面断面図である。
【図6】循環ダクトの配管を示す斜視図である。
【符号の説明】
1…ウエハ(基板)、2…ポッド(ウエハキャリア)、3…キャップ、10…熱処理装置(半導体製造装置)、11…筐体、12…取付板、13…ウエハローディングポート、14…ウエハ搬入搬出口、15…ポッドオープナ、16…待機室、17…ウエハ移載装置、18…ウエハ移載装置エレベータ、19…ボートエレベータ、20…シールキャップ、21…ボート(基板保持台)、22…プロセスチューブ設置室、23…処理室、24…プロセスチューブ、25…マニホールド、26…ガス導入管、27…排気管、28…ヒータユニット、29…シャッタ、30…窒素ガス(不活性ガス)、31…循環路、32…循環ダクト、33…吸込口、34…吸込側ダクト部、35…連絡ダクト部、36…軸流ファン、37…ケミカルフィルタ、38…吹出口、39…吹出側ダクト部、40…クリーンユニット、41…フィルタ、42…ファン、43…供給管(供給路)、44…排出管(排出路)、45…開閉弁、46…クリーンエア導入管、47…止め弁。
Claims (1)
- 基板を処理する処理室と、前記基板を保持して前記処理室に搬入する基板保持台と、前記基板保持台が前記処理室への搬入に待機する待機室と、前記待機室に不活性ガスを循環させる循環路と、前記循環路に前記不活性ガスを供給する供給路と、前記循環路から前記不活性ガスを排出する排出路とを具備した半導体製造装置において、
前記基板保持台が前記処理室から搬出される際には、前記待機室から前記排出路によって排出される前記不活性ガスの量が前記待機室に前記供給路によって供給され、前記基板保持台が前記処理室に搬入されている際には、前記不活性ガスが前記待機室に前記循環路によって循環されることを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002284359A JP2004119888A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002284359A JP2004119888A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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Family
ID=32277944
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---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2004119888A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070806 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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