KR20030004939A - 퍼니스의 로그셔터 - Google Patents

Abstract

퍼니스의 로그셔터를 제공한다. 이 로그셔터는 튜브 캡 및 셔터 아암을 갖는다. 셔터 아암은 제1 셔터 아암 및 제2 셔터 아암이 접철부에서 연결된 구조를 갖는다. 제1 셔터 아암은 튜브 캡에 연결되어 고정되고, 제1 셔터 아암 및 상기 제2 셔터 아암은 접철부에서 연결되어 일정각도로 접힐 수 있는 구조를 갖는다. 튜브 캡은 상부면이 평평한 구조를 갖는다. 따라서, 튜브 캡의 상부면에 이물질이 끼는 것을 막을 수 있다. 또한, 셔터아암이 일정각도로 꺾이기 때문에 로그셔터를 세척할 때 작업자는 용이하게 튜브 캡의 상부를 세척할 수 있다.

Description

퍼니스의 로그셔터{LOG SHUTTER OF FURNACE}

본 발명은 반도체장비에 관한 것으로서, 확산공정을 진행하는 퍼니스의 로그셔터에 관한 것이다. 퍼니스 장비는 공정이 진행되는 공정튜브 내에 반도체 기판을 배치하고 반응가스를 유입시켜 상기 반도체 기판의 표면에 박막을 증착하는 장비이다. 상기 퍼니스는 공정 대기상태에서 공정튜브 내부환경을 유지시키기 위하여 튜브의 내부와 외부를 차단하는 로그셔터를 구비하고 있다.

도 1은 종래의 퍼니스의 로그셔터 부분을 설명하기 위한 도면이다.

도 1을 참조하면, 반도체 제조용 퍼니스는 공정튜브(100) 및 로그셔터(104)를 구비하고 있다. 상기 로그셔터(104)는 튜브 캡(106) 및 셔터 아암(112)을 포함한다. 상기 셔터 아암(112)은 이송축(118)에 연결되어 상하 또는 상기 이송축(118)을 중심으로 좌우로 일정각도 회전할 수 있다. 따라서, 공정 대기중에 상기 로그셔터(104)는 공정튜브(100)의 하부프랜지(102)의 입구를 닫는다. 반도체 기판을 상기 공정튜브(100) 내에 배치하기 위하여 상기 로그셔터(104)는 상기 이송축(118)을 따라 하강하여 상기 하부프랜지(102)의 입구를 열고, 상기 이송축(118)을 중심으로 일정각도 회전하여 반도체 기판이 배치된 보우트(도시안함)의 상승경로에서 제거된다. 종래의 퍼니스 로그셔터(104)는 상기 튜브 캡(212)의 상부면에 패킹용 오링(O-ring;108) 및 상기 오링(108)으로 둘러싸여진 부분에 쿼츠 플레이트(quartz plate;110)가 설치되어 있다. 상기 튜브 캡(106)의 상부면은 상기 오링(108) 및 상기 쿼츠 플래이트(110)를 고정하기 위하여 상기 하부프랜지(102)의 테두리와 대응하는 돌출된 테두리를 갖는다. 또한, 종래의 로그셔터(104)의 셔터 아암(112) 및상기 튜브 캡(106)은 고정못(114)에 의해 고정되어 있다.

제조공정을 반복함에 따라, 상기 튜브 캡(106)의 상부면에 파우더가 침적된다. 따라서, 일정 시간동안 공정을 진행한 후 튜브 캡(106) 상부에 침적된 파우더를 제거해 줄 필요가 있다. 도시된 바와 같이 종래의 튜브 캡(106)의 상부면, 특히 오링(108)과 쿼츠 플레이트(110) 사이의 틈이 존재하고, 그 틈새에 끼인 파우더를 제거하는데 어려움이 있다. 또한, 상기 로그셔터(104)가 위치하는 퍼니스 장비의 내부가 협소하여 상기 로그셔터(104)의 상부면을 세척하기가 매우 힘들다.

본 발명의 목적은 상술한 종래의 로그셔터의 문제점을 해결하기 위하여 세척이 용이한 구조의 튜브 캡을 갖는 퍼니스 로그셔터를 제공하는데 있다.

또한, 로그셔터가 설치된 퍼니스 내부의 좁은 공간에서 상기 튜브 캡의 세척을 용이하게 할 수 있는 로그셔터를 제공하는데 있다.

도 1은 종래의 수직형 퍼니스의 로그셔터를 설명하기 위한 도면이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 퍼니스의 개략도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로그셔터의 하부를 나타낸 평면도이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 로그셔터의 측면도이다.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※

100, 200: 공정튜브102, 202: 하부 프렌지

104, 204: 로그 셔터(204)106, 212: 튜브 캡

108: 오 링110: 쿼츠 플래이트

112: 셔터 아암114, 224: 고정 못

116, 222: 냉각 라인118, 206: 셔터 이송축

208: 보우트 이송축210: 보우트

214: 절첩부216: 멈춤 못

218: 제2 셔터 아암220: 제1 셔터 아암

상기 목적들을 달성하기 위하여 본 발명은, 평평한 상부면을 갖는 튜브 캡 및 절첩부를 갖는 셔터 아암을 포함하는 로그셔터를 제공한다. 상기 튜브 캡에 상기 셔터 아암이 연결되어 고정된다. 상기 셔터 아암은 서로 연결된 제1 셔터 아암 및 제2 셔터 아암으로 구성된다. 상기 제1 셔터 아암은 상기 튜브 캡에 연결되어 고정되고, 상기 제1 셔터 아암 및 상기 제2 셔터 아암은 서로 연결된 절첩부를 가진다. 즉, 상기 셔터 아암은 일정각도로 절첩할 수 있는 구조를 갖는다. 본 발명의 실시예에서, 상기 제2 셔터 아암은 퍼니스에 설치된 셔터 이송축에 연결되고, 상기제1 셔터 아암 및 상기 제2 셔터 아암은 쌍을 이루어 서로 맞물린다. 상기 제1 및 셔터 아암의 요철부가 서로 맞물려 하나의 셔터 아암을 이룬다. 상기 제1 및 제2 셔터 아암의 요철부는 멈춤못에 의해 연결되어 절첩될 수 있는 구조를 갖는다. 따라서, 상기 튜브 캡의 상부면을 세척할 때, 상기 절첩부에서 상기 제1 셔터 아암을 일정각도로 접을 수 있다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더 상세하게 설명하도록 한다. 그러나, 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 퍼니스의 구조를 나타낸 개략도이다.

도 2를 참조하면, 퍼니스는 공정튜브(200), 보우트(210) 및 로그 셔터(204)를 포함한다. 상기 로그 셔터(204)는 셔터 이송축(206)에 연결되어 상하로 이동할 수 있고, 또한, 상기 셔터 이송축(206)을 중심으로 좌우로 일정 각도까지 회전할 수 있다. 상기 로그 셔터(204)는 튜브 캡 및 셔터 아암을 포함한다.

공정대기 중에 상기 공정튜브(200)의 내부 환경을 유지하고, 퍼니스 외부로부터 이물질이 상기 공정튜브(200) 내로 들어가는 것을 방지하기 위하여 상기 로그 셔터(204)는 상기 셔터 이송축(206)을 따라 상승하여 상기 공정튜브(200)의 입구를 닫는다. 반도체 기판을 상기 공정튜브(200) 내에 배치하여 제조공정을 실시하기 위해서, 상기 로그 셔터(204)는 상기 셔터 이송축(206)을 따라 하강하여 상기 공정튜브(200)의 입구를 열고, 상기 셔터 이송축(206)을 중심으로 일정각도로 회전하여 상기 보우트(210)가 상승할 경로를 열어준다. 이어서, 반도체 기판이 장착된 상기 보우트(210)가 상기 보우트 이송축(208)을 따라 상승하여 상기 공정튜브(200) 내에 반도체 기판을 배치한다.

도 3 및 도 4는 각각 퍼니스의 로그셔터의 하부면을 나타낸 평면도 및 측면도이다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 로그 셔터(204)는 튜브 캡(212)및 셔터 아암을 포함한다. 상기 셔터 아암은 상기 튜브 캡(212)에 연결되어 고정되어 있는 제1 셔터 아암(220) 및 셔터 이송축(206)에 연결되는 제2 셔터 아암(218)을 포함한다. 상기 제1 셔터 아암(220) 및 상기 제2 셔터 아암(218)은 서로 연결된 접철부(214)를 갖는다. 상기 접철부(214)는 상기 제1 셔터 아암(220) 및 상기 제2 셔터 아암(218)의 끝이 서로 맞물리고, 상기 제1 셔터 아암(220) 및 상기 제2 셔터 아암(218)을 관통하는 멈춤 못(216)으로 연결된다. 상기 접철부(214)는 다양한 방법으로 형성할 수 있다. 또한, 도시한 바와 같이 상기 멈춤 못(216)을 비스듬하게 연결하여 상기 제1 셔터 아암(112)이 접철될 때, 상기 튜브 캡(212)이 일정각도로 비틀리면서 접히게 할 수 있다. 즉, 세척작업을 하는 작업자의 위치에 따라서 상기 튜브 캡(212)의 상부면이 노출되는 방향을 결정할 수 있다. 즉 상기 멈춤못(216)이 상기 제1 셔터 아암(220) 및 상기 제2 셔터 아암(218)을 비스듬이 관통하면 상기 튜브 캡(212)은 비틀리게 접을 수 있다. 상기 제1 셔터 아암(112)은 고정못(224)에 의하여 상기 튜브캡(212)에 고정된다. 또한, 상기 로그 셔터(204)는 상기 튜브 캡(212)을 냉각시키기 위한 냉각 라인(222)을 더 포함하고, 상기 냉각 라인(222)은 상기 튜브 캡(212) 내부에 연장된다.

도 5는 로그셔터를 세척할 때 셔터 아암의 접혀진 형태를 나타내는 사시도이다.

도 5를 참조하면, 상기 튜브 캡(212)의 상부면에 오링 및 쿼츠 플래이트가 설치되어 있지 않아 침적된 파우더의 제거가 용이하다. 또한, 상기 접철부(214)에서 상기 제1 셔터 아암(220)이 접히면서 상기 튜브 캡(212)의 상부면에 작업자 시선 방향(226)를 향해 노출된다. 따라서, 장비내의 좁은 공간에서 상기 튜브 캡(212)의 상부면을 세척하는 것이 용이하다.

상술한 바와 같이 여기서 개재된 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 보다 알기 쉽게 설명하기 위하여 제공된 것에 불과하다. 특히 상기 셔터 아암의 접철부는 여기에 개재된 내용이외에 다양한 방법으로 변형될 수 있음은 명백하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 파우더가 침적하기 쉬운 튜브 캡 상부면을 평평하게 제작함으로써 상기 튜브 캡의 상부면을 세척하기 쉬워진다. 또한, 셔터 아암에 접철부를 형성하여 셔터 아암이 접힐 수 있는 구조를 가지므로 튜브 캡의 상부면이 작업자를 향해 노출될 수 있어 장비내의 좁은 공간에서 세척작업을 용이하게 실시할 수 있다.

Claims (5)

1. 반도제 장치의 제조에 사용되는 퍼니스의 튜브 입구를 차폐시키는 로그셔터에 있어서,

   상기 튜브를 차폐시키는 튜브 캡;

   상기 튜브 캡에 고정된 제1 셔터 아암; 및

   상기 제1 셔터 아암과 연결된 접철부를 갖는 제2 셔터 아암을 포함하되, 상기 튜브 캡의 상부면은 평평한 것을 특징으로 하는 퍼니스의 로그셔터.
2. 제1 항에 있어서,

   상기 접철부는,

   상기 서로 맞물린 요철형태의 제1 셔터아암 및 상기 제2 셔터 아암; 및

   상기 제1 셔터 아암 및 상기 제2 셔터 아암을 차례로 관통하여 연결하는 멈춤 못을 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼니스의 로그셔터.
3. 제2 항에 있어서,

   상기 접철부에서 상기 제1 및 제2 셔터 아암은 이들을 가로지르는 방향에 대하여 일정한 각을 가지며 맞물리고, 상기 멈춤 못은 상기 제1 및 제2 셔터 아암을 가로지르는 방향에 대하여 일정한 각으로 상기 제1 및 제2 셔터 아암을 관통하는 것을 특징으로 하는 퍼니스의 로그셔터.
4. 제1 항에 있어서,

   상기 튜브 캡의 내부에 연장된 냉각라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼니스의 로그셔터.
5. 고정 못에 있어서,

   상기 제1 셔터 아암과 상기 튜브 캡을 연결하는 복수개의 고정 못을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼니스의 로그셔터.