KR19980073444A

KR19980073444A - 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더

Info

Publication number: KR19980073444A
Application number: KR1019970008715A
Authority: KR
Inventors: 이연수
Original assignee: 김광호; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-03-14
Filing date: 1997-03-14
Publication date: 1998-11-05

Abstract

회전이 가능하도록 설계된 마스크 핸들러의 마스크 홀더에 관하여 개시한다. 이를 위하여 본 발명은, 최하단에서 마스크를 이동할 수 있는 수단과, 상기 마스크를 이동할 수 있는 수단의 상부에 회전이 가능하도록 구성된 회전자와, 상기 회전자의 상부에서 회전자에 연결되어 회전되는 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더의 상부 최외곽에 형성된 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단과, 상기 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단의 안쪽에 형성된 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 제공한다.

Description

반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더

본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 장치에 관한 것으로, 상세하게는 회전이 가능하도록 설계된 마스크 핸들러의 마스크 홀더에 관한 것이다.

반도체 공정에 적용되는 마스크란, 반도체 소자 혹은 집적회로의 구조를 크롬(Cr)이 칠해진 유리판 위에 형성한 것으로, 석판 인쇄술(photo-lithography)을 이용하여 반도체 소자에 형성될 구조를 유리판 위에 복사하여 이를 반도체의 제조 공정에 사용함으로써 원하는 구조를 반도체 소자에 제작할 수 있도록 해주는 도구를 말한다.

최근 반도체 소자가 점차 미세화되고 고집적화되면서 마스크의 크기 역시 점차 축소되고 있다. 이러한 마스크는 초기에는 작업자가 손(manual)으로도 취급을 하였지만, 손으로 취급하는 과정에서 발생할 수 있는 미세한 결함, 즉 먼지(particle)와 같은 이 물질(foreign material)이 마스크에 묻는 문제점이나, 마스크에 충격이 가해져 마스크가 손상(Damage)되는 문제점 등은 후속되는 사진 공정에서 수율을 저하시키는 치명적인 결함(critical defect)으로 연결되기 때문에 이를 적절히 통제하는 것이 중요하다. 따라서, 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 마스크 핸들러(Mask Handler)가 반도체 제조 공정에 응용되게 되었다. 하지만, 마스크 핸들러(mask handler)는 마스크의 상하좌우 이동은 가능하지만 마스크를 반도체 설비에 로딩하면서 90 도로 회전하는 것은 어렵다. 그러므로 90도의 회전이 필요한 공정에서는 마스크를 자동으로 취급하지 않고 작업자가 손으로 조정해야만 하는 문제점이 있다.

상술한 종래의 기술에 있어서의 문제점은 작업자가 마스크를 손으로 취급하게 되면, 마스크의 손상 및 먼지와 같은 이 물질이 마스크에 흡착되어 공정을 수율을 떨어뜨리고 신뢰도를 저하시키는 문제점이 있게 된다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 회전이 가능하도록 설계된 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 제공하는데 있다.

도 1 내지 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 설명하기 위하여 도시한 도면들이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명

100: 마스크를 이동할 수 있는 수단, 102: 회전자,

104: 마스크 홀더,106: 제1 마스크형 고정 수단,

108: 마스크 받침대, 110: 마스크 지지대,

112: 제2 마스크형 고정 수단,

상기의 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 최하단에서 마스크를 이동할 수 있는 수단과, 상기 마스크를 이동할 수 있는 수단의 상부에 회전이 가능하도록 구성된 회전자와, 상기 회전자의 상부에서 회전자에 연결되어 회전되는 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더의 상부 최외곽에 형성된 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단과, 상기 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단의 안쪽에 형성된 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 회전자는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전이 가능하도록 구성된 것이 적합하다.

본 발명에 따르면, 반도체 장치의 마스크 핸들러에서 사람이 손으로 마스크를 취급하는 문제를 해결함으로서 공정의 수율 및 반도체 소자의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 1 내지 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 설명하기 위하여 도시한 도면들이다.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 반도체 장치에 사용되는 마스크 핸들러의 마스크 홀더에서 최하단에는 마스크를 상하 또는 좌우로 이동할 있는 수단(100)이 있고, 그 상부에는 본 발명의 주요한 특징을 이루는 회전자(102)가 설치되어 있다. 상기 회전자(102)는 시계 및 반시계 방향으로 하나의 전기적 신호를 받을 때마다 30도씩 회전함으로써 90도 및 기타 요구되는 각도로 회전이 가능하도록 설계되어 있다. 또한 상기 회전자(102)의 상부에는 회전자(102)에 연결되어 회전자(102)가 회전하는 방향으로 움직일 수 있는 마스크 홀더(104)가 구성되어 있다. 이러한 마스크 홀더(104)는 알루미늄으로 구성되어 있고, 크기는 사용하는 마스크의 크기에 따라서 조정한다. 상기 마스크 홀더(104)의 상부 최외곽에는 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단(106)이 구성되어 있다. 여기서 제1 마스크형은 공정에 사용되는 마스크 중에서 가장 큰 크기를 갖는 마스크형을 말하며, 고정시킬 수 있는 수단(106)은 마스크 받침대(108)와 마스크 지지대(110)로 구성된다. 또한, 마스크 받침대(108)는 마스크가 놓이는 장소를 말하며, 마스크 지지대(110)는 이동간에 마스크를 고정시키는 역할을 한다. 상기 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단의 안쪽에는 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단(112)이 형성되어 있다. 이러한 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단은 구조가 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단과 동일하며, 단지 차이점이 있다면 크기가 더 작은 마스크를 탑재하고 회전시킬 수 있다는 점이다. 이러한 크기가 다른 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단은 웨이퍼의 크기가 4, 6, 8인치로 점차 대구경화되어 마스크의 크기가 커지더라도 이에 따른 제한을 받지 않고 반도체 제조 공정에서 사용이 가능하다.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더를 나타낸 평면도이다.

도 2를 참조하면, 참조부호 104는 마스크 홀더를, 참조부호 106은 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단을, 112는 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단을 각각 나타낸다. 또한, 상기 제1, 제2 마스크를 고정시키는 수단에 사용되는 마스크 받침대(108) 및 마스크 지지대(110)는 테플론(Teflon) 및 실리콘(silicon) 등과 같은 재질을 사용하여 파티클(particle)의 발생 및 마스크에 충격이 가해지는 것을 최대로 방치하도록 한다. 본 발명의 바람직한 실시예에서는, 이러한 마스크 받침대(108) 및 마스크 지지대(110)를 서로 붙어서 한 쌍으로 구성함으로 마스크의 이동 및 회전간 마스크에 충격이 가해지는 문제점을 최소화하였다. 이러한 하나의 쌍(pair)으로 구성된 마스크 지지대 및 마스크 받침대는 단위 마스크형, 즉 크기별로 4개 이상으로 구성하여 마스크를 이동 및 회전중에 고정하는 것이 가능하다. 본 발명의 실시예에서는 이를 8개로 구성하였다.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 반도체 제조 공정에 사용되는 마스크 핸들러의 마스크 홀더에 회전을 가능케 하는 회전자를 설치하여 마스크를 취급하는 공정에서 사람의 손에 의하여 마스크가 핸들링(handling) 되는 문제점을 최소화함으로써 반도체 소자의 수율을 향상시키고 신뢰도를 증진시킬 수 있다.

Claims

최하단에서 마스크를 이동할 수 있는 수단;

상기 마스크를 이동할 수 있는 수단의 상부에 회전이 가능하도록 구성된 회전자;

상기 회전자의 상부에서 회전자에 연결되어 회전되는 마스크 홀더;

상기 마스크 홀더의 상부 최외곽에 형성된 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단; 및

상기 제1 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단의 안쪽에 형성된 제2 마스크형을 고정시킬 수 있는 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더.
제1항에 있어서, 상기 회전자는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 장치의 마스크 핸들러에 사용되는 마스크 홀더.