WO2023052906A1 - 表示装置 - Google Patents

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WO2023052906A1
WO2023052906A1 PCT/IB2022/058899 IB2022058899W WO2023052906A1 WO 2023052906 A1 WO2023052906 A1 WO 2023052906A1 IB 2022058899 W IB2022058899 W IB 2022058899W WO 2023052906 A1 WO2023052906 A1 WO 2023052906A1
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WO
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layer
light
wiring
transistor
display device
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PCT/IB2022/058899
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小林英智
宍戸英明
中村太紀
柳澤悠一
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株式会社半導体エネルギー研究所
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Publication date
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    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00

Definitions

  • One embodiment of the present invention relates to a display device.
  • One embodiment of the present invention relates to an electronic device including a display device.
  • one aspect of the present invention is not limited to the above technical field.
  • Technical fields of one embodiment of the present invention disclosed in this specification and the like include semiconductor devices, display devices, light-emitting devices, power storage devices, memory devices, electronic devices, lighting devices, input devices, input/output devices, and driving methods thereof. , or methods for producing them, can be mentioned as an example.
  • a semiconductor device refers to all devices that can function by utilizing semiconductor characteristics.
  • Display devices applicable to display panels typically include liquid crystal display devices, light-emitting devices equipped with light-emitting elements such as organic EL (Electro Luminescence) elements or light-emitting diodes (LEDs), and electrophoretic display devices. Examples include electronic paper that performs display by, for example.
  • the basic structure of an organic EL element is that a layer containing a light-emitting organic compound is sandwiched between a pair of electrodes. By applying a voltage to this device, light can be obtained from the light-emitting organic compound.
  • a display device to which such an organic EL element is applied does not require a backlight, which is required in a liquid crystal display device or the like.
  • Patent Document 1 describes an example of a display device using an organic EL element.
  • a transmissive device for AR requires high luminance in order to display an image superimposed on external light.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a high-definition display device.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a low-power display device.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a display device with high luminance.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a display device with a high aperture ratio.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a highly reliable display device.
  • An object of one embodiment of the present invention is to provide a novel display device, display module, or electronic device. Another object is to provide a method for manufacturing the above display device with high yield.
  • One aspect of the present invention aims at at least alleviating at least one of the problems of the prior art.
  • One embodiment of the present invention is a display device including a first wiring, a second wiring, a third wiring, a pixel electrode, an EL layer, and an insulating layer.
  • the first wiring extends in a first direction and is supplied with a source signal.
  • the second wiring extends in a second direction crossing the first direction and is supplied with a gate signal.
  • a constant potential is applied to the third wiring.
  • the first wiring and the pixel electrode are provided so as to overlap each other with the third wiring interposed therebetween.
  • the insulating layer has a portion in contact with a portion of the upper surface of the pixel electrode and a portion in contact with the side surface of the pixel electrode.
  • the EL layer has a first portion in contact with another portion of the top surface of the pixel electrode and a second portion located on the insulating layer. The second portion has a region that is less than half as thick as the first portion.
  • Another embodiment of the present invention includes a first wiring, a second wiring, a third wiring, a pixel electrode, a first transistor, a second transistor, an EL layer, and insulation. and a display device.
  • the first wiring extends in a first direction and is supplied with a source signal.
  • the second wiring extends in a second direction crossing the first direction and is supplied with a gate signal.
  • a first potential is applied to the third wiring.
  • the first wiring and the pixel electrode are provided to overlap each other with the third wiring interposed therebetween.
  • the first transistor has one of its source and drain electrically connected to the first wiring, and its gate electrically connected to the second wiring.
  • the second transistor has one of its source and drain electrically connected to the pixel electrode and the other of its source and drain electrically connected to the third wiring.
  • the first transistor and the second transistor each have a semiconductor layer through which current flows in the first direction.
  • the insulating layer has a portion in contact with a portion of the upper surface of the pixel electrode and a portion in contact with the side surface of the pixel electrode.
  • the EL layer has a first portion in contact with another portion of the top surface of the pixel electrode and a second portion located on the insulating layer. The second portion has a region that is less than half as thick as the first portion.
  • Another embodiment of the present invention includes a first wiring, a second wiring, a third wiring, a pixel electrode, a first transistor, a second transistor, an EL layer, and insulation. and a display device.
  • the first wiring extends in a first direction and is supplied with a source signal.
  • the second wiring extends in a second direction crossing the first direction and is supplied with a gate signal.
  • a first potential is applied to the third wiring.
  • the first wiring and the pixel electrode are provided to overlap each other with the third wiring interposed therebetween.
  • the first transistor has one of its source and drain electrically connected to the first wiring, and its gate electrically connected to the second wiring.
  • the second transistor has one of its source and drain electrically connected to the pixel electrode and the other of its source and drain electrically connected to the third wiring.
  • the first transistor and the second transistor each have a semiconductor layer through which current flows in a second direction.
  • the insulating layer has a portion in contact with a portion of the upper surface of the pixel electrode and a portion in contact with the side surface of the pixel electrode.
  • the EL layer has a first portion in contact with another portion of the top surface of the pixel electrode and a second portion located on the insulating layer. The second portion has a region that is less than half as thick as the first portion.
  • the dummy layer contains the same semiconductor material as the semiconductor layer, and that the dummy layer has a portion whose upper surface shape is substantially the same as that of the semiconductor layer. Furthermore, it is preferable that the plurality of dummy layers and semiconductor layers are arranged at regular intervals in the second direction or the first direction.
  • any one of the above it is preferable to include a fourth wiring, a third transistor, and a fourth transistor.
  • One of the source and the drain of the third transistor is electrically connected to the fourth wiring, and the other of the source and the drain is electrically connected to the gate of the second transistor.
  • the fourth transistor has one of its source and drain electrically connected to the fourth wiring, and the other of its source and drain electrically connected to the pixel electrode. A second potential lower than the first potential is applied to the fourth wiring.
  • a fifth transistor is a transistor whose channel is formed in silicon.
  • the semiconductor layer contains one or both of indium and zinc.
  • the first transistor and the second transistor are preferably provided above the fifth transistor.
  • the third wiring preferably has a grid-like upper surface shape. At this time, it is preferable to have a third portion extending in the first direction and a fourth portion extending in the second direction. Further, it is preferable that the pixel electrode and the first wiring are overlapped with each other with the third portion interposed therebetween.
  • any one of the above it is preferable to have a plurality of pixel electrodes.
  • a light emitting region is provided on the pixel electrode.
  • the plurality of light emitting regions are preferably arranged such that one light emitting region is surrounded by six light emitting regions in plan view.
  • the light emitting region has a substantially hexagonal top surface shape.
  • the light-emitting region preferably has a top surface shape in which two of the six corners facing each other have interior angles greater than 120 degrees and the remaining four corners have interior angles less than 120 degrees.
  • the light emitting region preferably has a substantially hexagonal top shape.
  • the pixel electrode has a top surface shape in which six interior angles are all 120 degrees, two opposing sides out of the six sides have the same length, and the other four sides have the same length. It is preferable to have
  • the three adjacent light emitting regions are arranged so as to be positioned at the vertices of an isosceles triangle.
  • Another aspect of the present invention is a display module including any of the display devices described above and a connector or an integrated circuit.
  • Another aspect of the present invention is an electronic device including the display module and at least one of an antenna, a battery, a housing, a camera, a speaker, a microphone, a touch sensor, and an operation button.
  • a display device with high definition can be provided.
  • a display device with low power consumption can be provided.
  • a display device with high luminance can be provided.
  • a display device with a high aperture ratio can be provided.
  • a highly reliable display device can be provided.
  • a novel display device, display module, electronic device, or the like can be provided.
  • at least one of the problems of the prior art can be at least alleviated.
  • FIG. 1A to 1C are diagrams showing configuration examples of a display device.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • 3A to 3E are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • 4A to 4E are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • 5A to 5E are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • 6A to 6D are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • 8A to 8F are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • 9A to 9F are diagrams showing configuration examples of the display device.
  • 10A to 10D are circuit diagrams showing configuration examples of display devices.
  • 11A to 11D are circuit diagrams showing configuration examples of display devices.
  • FIG. 12 is a timing chart showing an example of a method of driving the display device.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • 15A to 15D are diagrams showing configuration examples of display devices.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • 19A to 19D are circuit diagrams showing configuration examples of protection circuits.
  • 20A and 20B are diagrams showing configuration examples of a display device.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating a configuration example of a display device.
  • 22A to 22C are diagrams showing configuration examples of display devices.
  • 23A to 23F are diagrams showing configuration examples of light emitting devices.
  • 24A to 24C are diagrams showing configuration examples of light emitting devices.
  • 25A and 25B are diagrams illustrating configuration examples of electronic devices.
  • 26A and 26B are diagrams illustrating configuration examples of electronic devices.
  • 27A to 27D are cross-sectional images of the display panel according to the example.
  • FIG. 28 is a top view of the display panel according to the example.
  • FIG. 29 is a chromaticity diagram according to the example.
  • 30A and 30B are the results of spectral measurement according to the example.
  • top shape of a component refers to the contour shape of the component in plan view.
  • Plan view means viewing from the normal direction of the surface on which the component is formed, or the surface of the support (for example, substrate) on which the component is formed.
  • the upper surface shapes roughly match means that at least a part of the contours overlaps between the laminated layers.
  • the upper layer and the lower layer may be processed with the same mask pattern or partially with the same mask pattern.
  • the contours do not overlap, and the upper layer may be located inside the lower layer, or the upper layer may be located outside the lower layer.
  • an EL layer refers to a layer provided between a pair of electrodes of a light-emitting element and containing at least a light-emitting substance (also referred to as a light-emitting layer) or a laminate including a light-emitting layer.
  • a display panel which is one aspect of a display device, has a function of displaying (outputting) an image or the like on a display surface. Therefore, the display panel is one aspect of the output device.
  • the substrate of the display panel is attached with a connector such as FPC (Flexible Printed Circuit) or TCP (Tape Carrier Package), or the substrate is mounted with a COG (Chip On Glass) method.
  • a connector such as FPC (Flexible Printed Circuit) or TCP (Tape Carrier Package)
  • COG Chip On Glass
  • a display device including a plurality of pixels arranged in matrix.
  • a display device includes a plurality of source lines (first wirings) supplied with source signals (also referred to as video signals, data signals, etc.) and a plurality of source lines supplied with gate signals (also referred to as scan signals, scan signals, etc.). and a gate line (second wiring).
  • the source lines are provided to extend in a first direction
  • the gate lines are provided to extend in a second direction crossing the first direction.
  • a pixel is provided corresponding to an intersection of one source line and one gate line.
  • a pixel has one or more display elements and one or more transistors.
  • a pixel has a pixel electrode that functions as an electrode of a display element.
  • the source line and the pixel electrode are overlapped with each other through a wiring (third wiring) to which a constant potential is applied.
  • a wiring third wiring
  • electrical noise from the source line is shielded by the third wiring, and can be suppressed from propagating to the pixel electrode. Therefore, the area of the pixel electrode can be increased, and the aperture ratio of the display device can be increased.
  • the third wiring is preferably a wiring that supplies a constant potential to the pixels.
  • the third wiring can also serve as a wiring for supplying an anode potential or a cathode potential to the organic EL element.
  • the third wiring can also serve as a wiring for supplying a power supply potential (high power supply potential (VDD), low power supply potential (VSS), or the like) to the pixel.
  • VDD high power supply potential
  • VSS low power supply potential
  • the third wiring can have a striped upper surface shape extending along the first direction, which is the extending direction of the source line.
  • the third wiring may have a portion along the second direction, or may have a grid-like top surface shape having portions along the first direction and the second direction. good.
  • pixels are arranged at high density, it is necessary to reduce the distance between adjacent light emitting elements.
  • a layer containing a light-emitting compound (an EL layer) can be shared between adjacent light-emitting elements. Therefore, it can be said that it is suitable for high definition.
  • the distance between adjacent light emitting elements is small, unintended light emission may occur due to leakage current flowing between adjacent pixels through the EL layer. As a result, deterioration of color reproducibility, color deviation, deterioration of contrast, and the like occur.
  • a region with a thin EL layer is formed between adjacent pixels to suppress leakage current through the EL layer.
  • a region where the EL layer is divided is formed between adjacent pixels to prevent leakage current through the EL layer.
  • a configuration is used in which the EL layer is thinned or divided in a self-aligning manner (also referred to as self-alignment) when an organic layer or the like to be the EL layer is formed. Accordingly, leakage current through the EL layer can be suppressed or prevented without increasing the number of steps, and a display device with high color reproducibility and high contrast can be realized.
  • the upper surface of an insulating layer (also referred to as a partition wall) covering the end of the pixel electrode is formed to be concave.
  • a part of the surface of the insulating layer that is in contact with the EL layer is formed substantially vertically.
  • a part of the surface of the insulating layer in contact with the EL layer is 70 degrees or more and 120 degrees or less, preferably 75 degrees or more and 115 degrees or less, more preferably 80 degrees with respect to the substrate surface or the upper surface of the pixel electrode. degree or more and 110 degrees or less.
  • the pixel electrode can be manufactured by processing the side surface to be approximately vertical and forming an insulating layer so as to cover the side surface of the pixel electrode. By using such an insulating layer, the EL layer formed over the insulating layer is formed into thin portions or divided in a self-aligning manner.
  • the EL layer has a portion that is locally thinner than other regions in a region that overlaps with the insulating layer.
  • the portion of the EL layer that overlaps with the insulating layer is half or less, preferably 40% or less, more preferably 30% or less, and more than 0% of the thickness of the portion that overlaps with the pixel electrode. It has regions of great thickness. Thus, current flowing through the EL layer between adjacent light emitting elements can be suppressed.
  • a display device with a resolution of 1000 ppi or more, 2000 ppi or more, 3000 ppi or more, 4000 ppi or more, or 5000 ppi or more and 30000 ppi or less, 20000 ppi or less, or 15000 ppi or less can be realized.
  • FIG. 1A shows a schematic perspective view showing the lamination structure of one sub-pixel of the display device 10.
  • a sub-pixel has a pixel circuit 11 , a light-emitting element 12 , a wiring 21 , a wiring 22 , and a wiring 23 .
  • the light emitting element 12 has a pixel electrode 24 .
  • FIG. 1A also shows the X direction, the Y direction, and the Z direction, respectively.
  • the X direction, Y direction, and Z direction are orthogonal directions.
  • the wiring 21 is a wiring that functions as a source line and extends in the Y direction.
  • the wiring 22 is a wiring that functions as a gate line and extends in the X direction.
  • the wiring 23 is a wiring to which a constant potential is supplied, and has a portion extending in the Y direction.
  • the light emitting element 12 is provided inside the pixel electrode 24 .
  • the light-emitting element 12 for example, an electroluminescent element in which a layer containing a light-emitting substance (also referred to as an EL layer) is sandwiched between a pair of electrodes and emits light by current flowing between the pair of electrodes can be preferably used.
  • an organic EL element using a light-emitting organic compound for the EL layer.
  • the pixel circuit 11 is a circuit for controlling current flowing through the light emitting element 12 .
  • the pixel circuit 11 preferably has one or more transistors.
  • the pixel electrode 24 and the wiring 21 have regions that overlap each other in plan view. Furthermore, the pixel electrode 24 and the wiring 21 overlap with each other via the wiring 23 . In this way, by arranging the wiring 23 to which a constant potential is supplied between the pixel electrode 24 and the wiring 21, even if the pixel electrode 24 is arranged so as to overlap with the wiring 21, the electrical Such noise can be shielded by the wiring 23 and prevented from propagating to the pixel electrode 24 . As a result, the area of the pixel electrode 24 can be enlarged, the light emitting area of the light emitting element 12 can be enlarged, and the aperture ratio (effective light emitting area ratio) of the display device 10 can be increased.
  • planar view refers to the case of viewing from the display surface side of the display device 10.
  • FIG. 1B shows an example of the display device 10X in which the wiring 23 is not provided. At this time, electrical noise from the wiring 21 propagates to the pixel electrode 24 located above it, and the potential of the pixel electrode 24 changes, which may cause a gradation shift in the light emission luminance of the light emitting element 12 . .
  • FIG. 1C is an example of the display device 10Y in which the width of the pixel electrode 24 in the X direction is reduced and arranged so as not to overlap with the wiring 21.
  • FIG. 1C the occurrence of crosstalk due to electrical noise from the wiring 21 can be suppressed, but the light emitting area of the light emitting element 12 is reduced, so the aperture ratio of the display device 10 is reduced.
  • the display device 10 of one embodiment of the present invention can achieve high definition and high aperture ratio.
  • the aperture ratio can be increased, luminance can be increased.
  • the current required for desired luminance can be reduced, a display device with low power consumption and deterioration of light-emitting elements can be realized.
  • FIG. 2 shows a schematic top view of the pixel 20 included in the display device 10A.
  • Pixel 20 has sub-pixel 20R, sub-pixel 20G, and sub-pixel 20B.
  • the display device 10A has a plurality of pixels 20, and the pixels 20 are arranged periodically in the X direction and the Y direction.
  • the sub-pixel 20R has a light-emitting element 12R that emits red light.
  • the sub-pixel 20G has a light-emitting element 12G that emits green light.
  • the sub-pixel 20B has a light-emitting element 12B that emits blue light.
  • the light-emitting element 12R, the light-emitting element 12G, and the light-emitting element 12B may each include a different light-emitting material, or may be a combination of a white-light-emitting light-emitting element and a color filter, or may emit blue or purple light.
  • a configuration in which an element and a color conversion material (such as a quantum dot) are combined may be used.
  • 3A to 3E show schematic top views of one sub-pixel 20X extracted from the pixel 20 shown in FIG.
  • Sub-pixel 20X can be applied to sub-pixel 20R, sub-pixel 20G, and sub-pixel 20B. Note that light-emitting elements are omitted here.
  • the wiring 23 functions as a power supply line to the light emitting element 12 and is given a constant potential.
  • a high power supply potential is applied to the wiring 23 when the pixel electrode 24 functions as an anode, and a low power supply potential is applied to the wiring 23 when it functions as a cathode.
  • the wiring 23 preferably has not only a portion extending in the Y direction but also a portion extending in the X direction.
  • the wiring 23 can have a grid-like upper surface shape, so that the electrical resistance is lower than in the case of the stripe-like upper surface shape, and the influence of the voltage drop can be suppressed.
  • FIG. 3C shows the wiring 22 and a conductive layer formed by processing the same conductive film as the wiring 22 with the same hatching pattern.
  • FIG. 3C shows the wiring 21 and the conductive layer formed by processing the same conductive film as the wiring 21 with the same hatching pattern.
  • FIG. 3D only the outline of the wiring 21 in FIG. 3C and the conductive layer formed by processing the same conductive film as the wiring 21 are clearly indicated by broken lines.
  • FIG. 3E only the outlines of the wiring 22 in FIG. 3D and the conductive layer formed by processing the same conductive film as the wiring 22 are indicated by broken lines.
  • FIGS. 3C and 3D show a transistor 30a and a transistor 30b in FIGS. 3C and 3D.
  • FIG. 3D also shows a semiconductor layer 31a of the transistor 30a and a semiconductor layer 31b of the transistor 30b.
  • the transistor 30a functions as a selection transistor that controls selection/non-selection of sub-pixels.
  • the transistor 30b functions as a driving transistor that controls the current flowing through the light emitting element.
  • a part of the wiring 22 constitutes the gate of the transistor 30a, one of the source and the drain is electrically connected to the wiring 21, and the other is electrically connected to the gate of the transistor 30b.
  • One of the source and the drain of the transistor 30b is electrically connected to the wiring 23 and the other is electrically connected to the pixel electrode 24 .
  • each of the semiconductor layers 31a and 31b has a pair of thick portions where contact portions are arranged and a thin portion formed as a channel.
  • the semiconductor layers of the two transistors so as to have substantially the same top surface shape in this manner, the electrical characteristics of the two transistors can be made uniform, and the design can be facilitated, which is preferable.
  • a transistor having desired electrical characteristics may be formed by combining semiconductor layers with the same pattern. For example, a plurality of semiconductor layers may be arranged and connected in parallel so that the channel width of one transistor is an integral multiple of the channel width of the other transistor. Alternatively, a plurality of semiconductor layers may be arranged and connected in series so that the channel length of one transistor is an integral multiple of the channel length of the other transistor.
  • the semiconductor layer 31a included in the transistor 30a and the semiconductor layer 31b included in the transistor 30b are arranged so that current flows in the Y direction, that is, in the direction parallel to the extending direction of the wiring 21. .
  • the transistors 30a and 30b are arranged such that the channel length direction is parallel to the Y direction and the channel width direction is parallel to the X direction.
  • a plurality of dummy layers 32 are provided.
  • the dummy layer 32 is formed by processing the same film as the semiconductor layers 31a and 31b, and can be a film showing the same composition as these.
  • FIGS. 3A to 3E in order to distinguish the semiconductor layers 31a and 31b from the dummy layer 32, these are shown with different hatching patterns.
  • the upper surface shape of the dummy layer 32 is preferably the same as the upper surface shapes of the semiconductor layers 31a and 31b, or a shape obtained by periodically combining them.
  • one of the dummy layers 32 has a top surface shape having two or more thick portions and a thin portion connecting two adjacent thick portions in the Y direction.
  • Each dummy layer 32 is arranged such that its longitudinal direction is parallel to the Y direction. Also, one dummy layer 32 is arranged over a plurality of pixels arranged in the Y direction.
  • the dummy layer 32 By arranging the dummy layer 32 in a region where the semiconductor layer 31a and the semiconductor layer 31b are not provided in this way, it is possible to reduce variations in the processed shape of the semiconductor layer 31a and the semiconductor layer 31b. It is possible to reduce variations in the electrical characteristics of 30b.
  • the dummy layer is a layer provided in an empty space for the purpose of stabilizing the manufacturing process, reducing processing variations, etc., and is basically a layer that is not considered as a component that constitutes a circuit. Therefore, the dummy layer is electrically floating or given a constant voltage. Note that dummy layers are preferably provided in layers other than the semiconductor layer as well.
  • the dummy layer 32 is arranged in a region where the semiconductor layer 31a and the semiconductor layer 31b are not provided so as to cover the region as much as possible.
  • the dummy layer 32 may be arranged so as to overlap the wiring 21 .
  • the configuration is not limited to this, and three or more transistors may be arranged. At this time, it is preferable that all the transistors provided in the sub-pixels have the same pattern for the semiconductor layer and that the directions of the currents flowing through the semiconductor layer are the same.
  • FIG. 1 A schematic top views of sub-pixels 20X included in the display device 10B.
  • the display device 10B is mainly different from the display device 10A in that the directions of the semiconductor layers 31a, 31b, and dummy layers 32 are different.
  • the semiconductor layer 31a and the semiconductor layer 31b are arranged so that a current flows in the X direction, that is, in a direction parallel to the extending direction of the wiring 22 .
  • the transistors 30a and 30b are arranged such that the channel length direction is parallel to the X direction and the channel width direction is parallel to the Y direction.
  • the dummy layer 32 is arranged so that its longitudinal direction is parallel to the X direction.
  • the dummy layer 32 is arranged over a plurality of pixels arranged in the X direction.
  • the display device 10B shows an example in which the dummy layer 32 is provided so as to have a portion overlapping with the wiring 21 .
  • FIG. 1A to 5E show schematic top views of sub-pixels 20X included in the display device 10C.
  • the display device 10C mainly differs from the display device 10A in that the dummy layer 32 is not provided.
  • the display device 10B exemplified in the above configuration example 2-2 may also have a configuration in which the dummy layer 32 is not provided, like the display device 10C.
  • FIG. 6A shows a schematic top view of part of the display device 10D.
  • FIG. 6A shows an example of a method of arranging six light emitting elements.
  • the display device 10D has a pixel portion in which the unit shown in FIG. 6A is set as one unit, and the unit is repeatedly arranged in the X direction and the Y direction.
  • FIG. 6A shows six pixel electrodes 24, two light emitting elements 12R, two light emitting elements 12G, and two light emitting elements 12B.
  • regions where two sub-pixels 20R, two sub-pixels 20G, and two sub-pixels 20B are provided are indicated by broken lines.
  • Each light-emitting element is arranged inside a hexagonal region that is closely arranged.
  • Each light-emitting element is arranged so as to be surrounded by six light-emitting elements when focusing on one light-emitting element.
  • the light emitting elements of the same color are provided so as not to be adjacent to each other. For example, when focusing on the light emitting element 12R, three light emitting elements 12G and three light emitting elements 12B are arranged alternately so as to surround the light emitting element 12R.
  • the light emitting region of the light emitting element preferably has a hexagonal top surface shape.
  • the pixel electrode 24 preferably has a hexagonal upper surface shape.
  • FIGS. 6B and 6C show examples of the top surface shape of the light emitting region of the light emitting element 12, respectively.
  • the length L between a pair of vertices located in the Y direction and the distance between a pair of sides extending in the Y direction are equal. This makes it possible to equalize the pixel arrangement periods in the X direction and the Y direction. In the case of close-packed arrangement using regular hexagons, it is difficult to equalize the arrangement period in the X direction and the Y direction, so it is preferable not to use regular hexagons.
  • the interior angles (angle ⁇ 1) of a pair of vertices located in the Y direction are equal, and the interior angles (angle ⁇ 2) of the other four vertices are equal.
  • the angle ⁇ 1 is an angle larger than 120°
  • the angle ⁇ 2 is an angle smaller than 120°.
  • all six interior angles are 120°. Also, the length of a pair of sides extending in the Y direction is shorter than the other sides.
  • the upper surface shape of the light emitting element 12X is often a shape with rounded vertices, so the angles and side lengths described above are applied to a hexagonal figure that approximates the light emitting element 12X. shall be
  • the shape of the light emitting element 12X has been described here, it is preferable that the pixel electrode also have the same shape. At this time, the light emitting region can be provided so as to overlap with the pixel electrode and be positioned inside the pixel electrode in plan view.
  • FIG. 6D is a diagram showing the positions of three adjacent light emitting elements (light emitting element 12R, light emitting element 12G, and light emitting element 12B). As shown in FIG. 6D, it is preferable to arrange the three light emitting elements so that they are positioned at the vertices of an isosceles triangle. At this time, it is preferable that the angles of the vertices located in the Y direction in the isosceles triangle be larger than the angles of the vertices located at both ends of the sides parallel to the X direction.
  • FIG. 7 shows a schematic top view of the display device 10E.
  • FIG. 7 shows a range including 2 ⁇ 2 sub-pixels.
  • FIG. 7 shows a sub-pixel 20G, a sub-pixel 20B and two sub-pixels 20R.
  • FIG. 8A shows a schematic top view of one sub-pixel 20X of the display device 10E.
  • the sub-pixel 20X can be applied to the sub-pixel 20R, sub-pixel 20G, or sub-pixel 20B in FIG. Note that in FIG. 8A, only the outline of the pixel electrode 24 is indicated by a broken line.
  • FIG. 8B to 8F show the layout of each layer that constitutes the sub-pixel 20X.
  • FIG. 8B shows the layer closest to the formation surface
  • FIG. 8F shows the two layers closest to the pixel electrode 24 .
  • FIG. 8B shows the wiring 22 and a layer having a conductive layer obtained by processing the same conductive film as the wiring 22 . Part of these functions as one gate electrode (also referred to as a bottom gate electrode, a first gate electrode, or the like) of the transistor 30a or the transistor 30b.
  • one gate electrode also referred to as a bottom gate electrode, a first gate electrode, or the like
  • FIG. 8C shows layers having a semiconductor layer 31a, a semiconductor layer 31b, and a plurality of dummy layers 32.
  • FIG. 8C shows layers having a semiconductor layer 31a, a semiconductor layer 31b, and a plurality of dummy layers 32.
  • FIG. 8C shows layers having a semiconductor layer 31a, a semiconductor layer 31b, and a plurality of dummy layers 32.
  • FIG. 8C shows layers having a semiconductor layer 31a, a semiconductor layer 31b, and a plurality of dummy layers 32.
  • FIG. 8C shows layers having a semiconductor layer 31a, a semiconductor layer 31b, and a plurality of dummy layers 32.
  • FIG. 8D shows a layer having multiple conductive layers 25 .
  • Part of the conductive layer 25 functions as the other gate electrode (also referred to as a top gate electrode, a second gate electrode, or the like) of the transistor 30a or the transistor 30b.
  • an electrically floating conductive layer 25 may be included. By providing the dummy layer, variations in processed shape of the conductive layer 25 and the like can be reduced.
  • FIG. 8E shows the wiring 21 and a layer having a plurality of conductive layers obtained by processing the same conductive film. Some of the multiple conductive layers shown in FIG. 8E function as one of the source and drain electrodes of transistor 30a or transistor 30b. Also, part of the plurality of conductive layers illustrated in FIG. 8E functions as one electrode of the capacitor.
  • FIG. 8F shows a layer having a conductive layer 27, wiring 23 located thereabove, and a layer having a conductive layer obtained by processing the same conductive film.
  • a pixel electrode 24 is provided above the wiring 23 .
  • Part of the conductive layer 27 functions as the other electrode of the capacitor.
  • a part of the conductive layer obtained by processing the same conductive film as the wiring 23 functions as a relay wiring that electrically connects the pixel electrode 24 and the transistor 30b.
  • Configuration example 3-2 Although the configuration of a sub-pixel having two transistors has been described above, a configuration example of a sub-pixel having four transistors will be described below. It should be noted that in the following description, portions that overlap with configuration example 3-1 and the like may be referred to and descriptions thereof may be omitted.
  • 9A to 9F show configuration examples of a display device 10F including a sub-pixel 20X having four transistors.
  • the sub-pixel 20X has a transistor 30a, a transistor 30b, a transistor 30c, and a transistor 30d.
  • three gate lines (wiring 22a, wiring 22b, and wiring 22c) and wiring 22d to which a constant potential is supplied are provided.
  • Part of the wiring 22a functions as one gate electrode of the transistor 30a.
  • Part of the wiring 22b functions as one gate electrode of the transistor 30c.
  • a portion of the wiring 22c functions as one gate electrode of the transistor 30d.
  • the semiconductor layer 31c of the transistor 30c and the semiconductor layer 31d of the transistor 30d are arranged so that current flows in the Y direction, like the semiconductor layers 31a and 31b.
  • the dummy layers 32 are provided in gaps between the semiconductor layers, and are arranged such that their longitudinal directions are parallel to the Y direction.
  • the layout may be such that the channel length direction is parallel to the X direction, as in the configuration example 2-2.
  • transistors 30a, 30b, 30c, and 30d each have a pair of gate electrodes.
  • one or more of the four transistors may be transistors having only one gate (single-gate transistors), and the rest may be transistors having a pair of gates (dual-gate transistors).
  • a pixel circuit PIX1 shown in FIG. 10A has a transistor M1, a transistor M2, a capacitor C1, and a light emitting element EL.
  • a wiring SL, a wiring GL, a wiring AL, and a wiring CL are electrically connected to the pixel circuit PIX1.
  • the transistor M1 has a gate electrically connected to the wiring GL, one of the source and the drain electrically connected to the wiring SL, and the other electrically connected to the gate of the transistor M2 and one electrode of the capacitor C1.
  • One of the source and the drain of the transistor M2 is electrically connected to the wiring AL, and the other is electrically connected to the anode of the light emitting element EL.
  • the other electrode of the capacitor C1 is electrically connected to the anode of the light emitting element EL.
  • the cathode of the light emitting element EL is electrically connected to the wiring CL.
  • the transistor M1 can also be called a selection transistor and functions as a switch for controlling selection/non-selection of pixels.
  • the transistor M2 can also be called a driving transistor and has a function of controlling current flowing through the light emitting element EL.
  • the capacitor C1 functions as a holding capacitor and has a function of holding the gate potential of the transistor M2.
  • a capacitive element such as an MIM capacitance may be applied, or capacitance between wirings, gate capacitance of a transistor, or the like may be used as the capacitance C1.
  • a source signal is supplied to the wiring SL.
  • a gate signal is supplied to the wiring GL.
  • a constant potential is supplied to each of the wiring AL and the wiring CL.
  • the anode side of the light emitting element EL can be set at a high potential, and the cathode side can be set at a lower potential than the anode side.
  • the pixel circuit PIX2 shown in FIG. 10B has a configuration in which a transistor M3 is added to the pixel circuit PIX1.
  • a wiring V0 is electrically connected to the pixel circuit PIX2.
  • the transistor M3 has a gate electrically connected to the wiring GL, one of the source and the drain electrically connected to the anode of the light emitting element EL, and the other electrically connected to the wiring V0.
  • a constant potential is applied to the wiring V0 when writing data to the pixel circuit PIX2. Thereby, variations in the gate-source voltage of the transistor M2 can be suppressed.
  • a pixel circuit PIX3 shown in FIG. 10C is an example in which a pair of transistors whose gates are electrically connected are applied to the transistors M1 and M2 of the pixel circuit PIX1.
  • a pixel circuit PIX4 shown in FIG. 10D is an example in which the transistor is applied to the pixel circuit PIX2. This can increase the current that the transistor can pass. Note that although a transistor having a pair of gates electrically connected to each other is used as all the transistors here, the present invention is not limited to this. Alternatively, a transistor having a pair of gates and electrically connected to different wirings may be used. For example, reliability can be improved by using a transistor in which one of the gates and the source are electrically connected.
  • a pixel circuit PIX5 shown in FIG. 11A has a configuration in which a transistor M4 is added to the pixel circuit PIX2.
  • the pixel circuit PIX5 is electrically connected to three wirings (wiring GL1, wiring GL2, and wiring GL3) functioning as gate lines.
  • the transistor M4 has a gate electrically connected to the wiring GL3, one of the source and the drain electrically connected to the gate of the transistor M2, and the other electrically connected to the wiring V0.
  • a gate of the transistor M1 is electrically connected to the wiring GL1, and a gate of the transistor M3 is electrically connected to the wiring GL2.
  • Such a pixel circuit is suitable for a display method in which display periods and off periods are alternately provided.
  • a pixel circuit PIX6 shown in FIG. 11B is an example in which a capacitor C2 is added to the pixel circuit PIX5. Capacitor C2 functions as a holding capacitor.
  • a pixel circuit PIX7 shown in FIG. 11C and a pixel circuit PIX8 shown in FIG. 11D are examples in which a transistor having a pair of gates is applied to the pixel circuit PIX5 or pixel circuit PIX6, respectively.
  • a transistor having a pair of gates electrically connected to each other is used as the transistor M1, the transistor M3, and the transistor M4, and a transistor having one gate electrically connected to a source is used as the transistor M2.
  • Example of driving method An example of a method for driving a display device to which the pixel circuit PIX5 is applied will be described below. A similar driving method can be applied to the pixel circuits PIX6, PIX7, and PIX8.
  • FIG. 12 shows a timing chart relating to a method of driving a display device to which the pixel circuit PIX5 is applied.
  • FIG. 12 shows timings of signals supplied to the wiring SL functioning as a source line.
  • a high-level potential is applied to the wirings GL1[k] and GL2[k], and a source signal is applied to the wiring SL. Accordingly, the transistor M1 and the transistor M3 are brought into conduction, and a potential corresponding to the source signal is written from the wiring SL to the gate of the transistor M2. After that, a low-level potential is applied to the wirings GL1[k] and GL2[k], so that the transistors M1 and M3 are brought out of conduction, and the gate potential of the transistor M2 is held.
  • a high-level potential is applied to the wiring GL2[k] and the wiring GL3[k] in the off period of the k-th row.
  • the transistor M3 and the transistor M4 are brought into a conductive state, and the same potential is supplied to the source and gate of the transistor M2, so that almost no current flows through the transistor M2.
  • the light emitting element EL is extinguished. All sub-pixels located in the k-th row are turned off. The sub-pixels of the k-th row are kept off until the next lighting period.
  • the light-off period of the k+1 row is entered, and all the sub-pixels of the k+1 row are turned off in the same manner as described above.
  • a driving method in which a light-off period is provided during one horizontal period instead of lighting all over one horizontal period can be called duty driving.
  • duty driving an afterimage phenomenon when displaying moving images can be reduced, so that a display device with high moving image display performance can be realized.
  • VR motion sickness can be alleviated by reducing afterimages.
  • the ratio of the lighting period to one horizontal period can be called the duty ratio.
  • the duty ratio when the duty ratio is 50%, it means that the lighting period and the lighting-out period have the same length.
  • the duty ratio can be freely set, and can be appropriately adjusted within a range of, for example, higher than 0% and 100% or less.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of the display device 200A.
  • the display device 200A includes a light-emitting element 250R, a light-emitting element 250G, a transistor 210, a transistor 220, a capacitor 240, and the like between substrates 201 and 202.
  • FIG. 1 A schematic cross-sectional view of the display device 200A.
  • the display device 200A includes a light-emitting element 250R, a light-emitting element 250G, a transistor 210, a transistor 220, a capacitor 240, and the like between substrates 201 and 202.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of the display device 200A.
  • the display device 200A includes a light-emitting element 250R, a light-emitting element 250G, a transistor 210, a transistor 220, a capacitor 240, and the like between substrates 201 and 202.
  • FIG. 1 A schematic cross-sectional view of the display
  • a transistor 210 is a transistor in which a channel formation region is formed in the substrate 201 .
  • the substrate 201 for example, a semiconductor substrate such as a single crystal silicon substrate can be used.
  • the transistor 210 includes part of the substrate 201, a conductive layer 211, a low-resistance region 212, an insulating layer 213, an insulating layer 214, and the like.
  • the conductive layer 211 functions as a gate electrode.
  • An insulating layer 213 is located between the substrate 201 and the conductive layer 211 and functions as a gate insulating layer.
  • the low-resistance region 212 is a region in which impurities are doped in the substrate 201 and functions as either a source or a drain.
  • the insulating layer 214 is provided to cover the side surface of the conductive layer 211 .
  • a device isolation layer 215 is provided between two adjacent transistors 210 so as to be embedded in the substrate 201 .
  • a wiring layer 203 is provided between the transistor 210 and the transistor 220 .
  • the wiring layer 203 has a structure in which layers having one or more wirings are stacked. Each layer has a conductive layer 271 and an interlayer insulating layer 273 is provided between the two layers.
  • a plug 272 provided in the interlayer insulating layer 273 electrically connects the conductive layers 271 in different layers.
  • a transistor 220 is provided on the wiring layer 203 .
  • the transistor 220 is a transistor in which a metal oxide (also referred to as an oxide semiconductor) is applied to a semiconductor layer in which a channel is formed.
  • a metal oxide also referred to as an oxide semiconductor
  • the transistor 220 includes a semiconductor layer 221, an insulating layer 223, a conductive layer 224, a pair of conductive layers 225, an insulating layer 226, a conductive layer 227, and the like.
  • An insulating layer 231 is provided on the wiring layer 203 .
  • the insulating layer 231 functions as a barrier layer that prevents impurities such as water or hydrogen from diffusing into the transistor 220 from the wiring layer 203 side and oxygen from the semiconductor layer 221 to the wiring layer 203 side.
  • a film into which hydrogen or oxygen is less likely to diffuse than a silicon oxide film such as an aluminum oxide film, a hafnium oxide film, or a silicon nitride film, can be used.
  • a conductive layer 227 is provided over the insulating layer 231 , and an insulating layer 226 is provided to cover the conductive layer 227 .
  • the conductive layer 227 functions as a first gate electrode of the transistor 220, and part of the insulating layer 226 functions as a first gate insulating layer.
  • An oxide insulating film such as a silicon oxide film is preferably used for at least a portion of the insulating layer 226 which is in contact with the semiconductor layer 221 .
  • the semiconductor layer 221 is provided on the insulating layer 226 .
  • the semiconductor layer 221 preferably includes a metal oxide (also referred to as an oxide semiconductor) film having semiconductor characteristics.
  • the atomic ratio of the semiconductor layer 221 to be deposited includes a variation of plus or minus 40% of the atomic ratio of the metal element contained in the sputtering target.
  • the semiconductor layer 221 has an energy gap of 2 eV or more, preferably 2.5 eV or more.
  • the off-state current of the transistor can be reduced.
  • the semiconductor layer 221 preferably has a non-single-crystal structure.
  • Non-single-crystal structures include, for example, CAAC structures, polycrystalline structures, microcrystalline structures, or amorphous structures, which are described below.
  • the amorphous structure has the highest defect level density
  • the CAAC structure has the lowest defect level density.
  • CAAC c-axis aligned crystal
  • the CAAC structure is one of the crystal structures such as thin films having a plurality of nanocrystals (crystal regions with a maximum diameter of less than 10 nm), and each nanocrystal has a c-axis oriented in a specific direction and an a-axis. It is a crystal structure characterized in that the and b-axes have no orientation and that the nanocrystals are continuously connected without forming grain boundaries.
  • a thin film having a CAAC structure is characterized in that the c-axis of each nanocrystal tends to be oriented in the thickness direction of the thin film, the direction normal to the formation surface, or the normal direction to the surface of the thin film.
  • CAAC-OS Oxide Semiconductor
  • CAAC-OS is a highly crystalline oxide semiconductor.
  • CAAC-OS since a clear grain boundary cannot be confirmed, it can be said that a decrease in electron mobility due to a grain boundary is unlikely to occur.
  • a CAAC-OS since the crystallinity of an oxide semiconductor may be deteriorated by contamination of impurities, generation of defects, or the like, a CAAC-OS can be said to be an oxide semiconductor with few impurities and defects (such as oxygen vacancies). Therefore, an oxide semiconductor including CAAC-OS has stable physical properties. Therefore, an oxide semiconductor including CAAC-OS is resistant to heat and has high reliability.
  • crystallography it is common to take a unit cell with a specific axis as the c-axis for the three axes (crystal axes) of the a-axis, b-axis, and c-axis that constitute the unit cell. .
  • crystal axes the three axes (crystal axes) of the a-axis, b-axis, and c-axis that constitute the unit cell.
  • a representative example of a crystal having such a layered structure is graphite, which is classified as a hexagonal system, and the a-axis and b-axis of the unit cell are parallel to the cleavage plane, and the c-axis is perpendicular to the cleavage plane. do.
  • a crystal of InGaZnO 4 having a YbFe 2 O 4 type crystal structure which is a layered structure, can be classified into a hexagonal system, and the a-axis and b-axis of the unit cell are parallel to the plane direction of the layer, and the c-axis are orthogonal to the layers (ie, the a-axis and the b-axis).
  • an oxide semiconductor film having a microcrystalline structure crystal parts may not be clearly confirmed in a TEM image.
  • a crystal part included in a microcrystalline oxide semiconductor film often has a size of 1 nm to 100 nm or 1 nm to 10 nm.
  • an oxide semiconductor film including nanocrystals (nc) which are microcrystals with a size of 1 nm to 10 nm or 1 nm to 3 nm, is called an nc-OS (nanocrystalline oxide semiconductor) film.
  • nc-OS nanocrystalline oxide semiconductor
  • the nc-OS film has periodicity in atomic arrangement in a minute region (for example, a region of 1 nm or more and 10 nm or less, particularly a region of 1 nm or more and 3 nm or less).
  • a minute region for example, a region of 1 nm or more and 10 nm or less, particularly a region of 1 nm or more and 3 nm or less.
  • the nc-OS film may be indistinguishable from the amorphous oxide semiconductor film depending on the analysis method. For example, when structural analysis is performed on the nc-OS film using an XRD apparatus that uses X-rays with a diameter larger than that of the crystal part, no peak indicating the crystal plane is detected in the analysis by the out-of-plane method.
  • an nc-OS film is subjected to electron beam diffraction (also referred to as selected area electron beam diffraction) using an electron beam with a probe diameter (e.g., 50 nm or more) larger than the crystal part, a diffraction pattern such as a halo pattern is obtained. is observed.
  • an nc-OS film is subjected to electron diffraction (also referred to as nanobeam electron diffraction) using an electron beam with a probe diameter (for example, 1 nm or more and 30 nm or less) that is close to the size of the crystal part or smaller than the crystal part,
  • a probe diameter for example, 1 nm or more and 30 nm or less
  • a circular (ring-shaped) region with high brightness is observed, and a plurality of spots are observed within the ring-shaped region.
  • the nc-OS film has a lower defect level density than the amorphous oxide semiconductor film.
  • the nc-OS film there is no regularity in crystal orientation between different crystal parts. Therefore, the nc-OS film has a higher defect level density than the CAAC-OS film. Therefore, the nc-OS film may have higher carrier density and higher electron mobility than the CAAC-OS film. Therefore, a transistor including an nc-OS film may exhibit high field-effect mobility.
  • the nc-OS film can be formed by reducing the oxygen flow rate during film formation as compared with the CAAC-OS film.
  • the nc-OS film can also be formed at a lower substrate temperature during film formation than the CAAC-OS film.
  • the nc-OS film can be formed with a relatively low substrate temperature (eg, 130° C. or lower) or without heating the substrate. It is suitable for using , and can increase productivity.
  • Objects tend to have either one of the nc (nano crystal) structure and the CAAC structure, or a mixture of these structures.
  • a metal oxide formed at a substrate temperature of room temperature (RT) tends to have an nc crystal structure.
  • the room temperature (R.T.) referred to here includes the temperature when the substrate is not intentionally heated.
  • a pair of conductive layers 225 are provided on and in contact with the semiconductor layer 221 and function as a source electrode and a drain electrode.
  • An insulating layer 232 is provided to cover the top surface and side surfaces of the pair of conductive layers 225, the side surface of the semiconductor layer 221, and the like, and an insulating layer 261 is provided over the insulating layer 232.
  • the insulating layer 232 functions as a barrier layer that prevents impurities such as water or hydrogen from diffusing into the semiconductor layer 221 from the interlayer insulating layer or the like and oxygen from leaving the semiconductor layer 221 .
  • an insulating film similar to the insulating layer 231 can be used as the insulating layer 232.
  • An opening reaching the semiconductor layer 221 is provided in the insulating layer 232 and the insulating layer 261 .
  • an insulating layer 223 in contact with side surfaces of the insulating layer 261 , the insulating layer 232 , and the conductive layer 225 and the top surface of the semiconductor layer 221 , and a conductive layer 224 are embedded over the insulating layer 223 .
  • the conductive layer 224 functions as a second gate electrode
  • the insulating layer 223 functions as a second gate insulating layer.
  • the upper surface of the conductive layer 224, the upper surface of the insulating layer 223, and the upper surface of the insulating layer 261 are planarized so that their heights are approximately the same, and an insulating layer 233 is provided to cover them.
  • An opening is provided in the stacked structure between the insulating layer 233 and the insulating layer 231 , and part of the insulating layer 233 is provided in contact with the insulating layer 231 in the opening.
  • the insulating layer 261 functions as an interlayer insulating layer.
  • the insulating layer 233 also functions as a barrier layer that prevents impurities such as water or hydrogen from diffusing from above.
  • an insulating film similar to the insulating layer 231 or the like can be used.
  • a capacitive element 240 is provided on the insulating layer 233 .
  • the capacitive element 240 has a conductive layer 241, a conductive layer 242, and an insulating layer 243 positioned therebetween.
  • the conductive layer 241 functions as one electrode of the capacitor 240
  • the conductive layer 242 functions as the other electrode of the capacitor 240
  • the insulating layer 243 functions as the dielectric of the capacitor 240 .
  • An insulating layer 234 is provided to cover the capacitive element 240 .
  • an insulating film similar to the insulating layer 231 can be used.
  • An insulating layer 262 is provided over the insulating layer 231 with an interlayer insulating layer and wiring interposed therebetween, and the light emitting elements 250R and 250G are provided over the insulating layer 262 .
  • the light emitting element 250R has a conductive layer 251, a conductive layer 252R, an EL layer 253W, a conductive layer 254, and the like.
  • the conductive layer 251 is reflective to visible light, and the conductive layer 252R is transparent to visible light.
  • Conductive layer 254 is reflective and transmissive to visible light.
  • the conductive layer 252R functions as an optical adjustment layer for adjusting the optical distance between the conductive layers 251 and 254.
  • FIG. The optical adjustment layer may have different thicknesses between the light emitting elements emitting different colors.
  • the conductive layer 252R of the light emitting element 250R and the conductive layer 252G of the light emitting element 250G have different thicknesses.
  • An insulating layer 256 is provided to cover the end of the conductive layer 252R and the end of the conductive layer 252G.
  • the EL layer 253W and the conductive layer 254 are commonly provided over a plurality of pixels.
  • the EL layer 253W has a plurality of light-emitting layers so as to emit white light.
  • FIG. 14 shows an enlarged view of a portion of the conductive layer 252R, a portion of the conductive layer 252G, and the area therebetween.
  • a laminate of the conductive layer 251 and the conductive layer 252R functions as a pixel electrode.
  • the conductive layer 251 and the conductive layer 252R are processed so that the side surfaces thereof are substantially perpendicular to the substrate surface or the upper surface of the conductive layer 252R.
  • the layered body of the conductive layer 251 and the conductive layer 252G is also processed so that the side surface is substantially perpendicular to the substrate surface or the upper surface of the conductive layer 252G.
  • Either the conductive layer 251 or the conductive layer 252R (or the conductive layer 252G) may be processed so that the side surface thereof is substantially vertical.
  • the insulating layer 256 is provided covering part of the top surface and side surfaces of the conductive layer 252R, each side surface of the two conductive layers 251, and part of the top surface and side surfaces of the conductive layer 252G.
  • the insulating layer 256 has a concave upper surface shape in a region between the conductive layers 252R and 252G.
  • the EL layer 253W is provided to cover the conductive layer 252R, the insulating layer 256, and the conductive layer 252G.
  • a part of the surface of the insulating layer 256 in contact with the EL layer 253W is 70 degrees or more and 120 degrees or less, preferably 75 degrees or more and 115 degrees or less, more preferably 70 degrees or more and 120 degrees or less, with respect to the substrate surface or the upper surface of the conductive layer 252R or the conductive layer 252G. has a portion between 80 degrees and 110 degrees.
  • a thin portion can be formed in a self-aligning manner.
  • the EL layer 253W can be divided in a self-aligned manner.
  • FIG. 14 shows an example in which the EL layer 253W is connected between adjacent light emitting elements.
  • the thickness of the portion of the EL layer 253W that is in contact with the top surface of the conductive layer 252R is T R1
  • the thickness of the portion that is on the insulating layer 256 and overlaps with the conductive layer 252R is T R2
  • the insulation on the conductive layer 252R side is T R2 .
  • the thickness of the portion of layer 256 in contact with the plane substantially perpendicular to the top surface of conductive layer 252R is defined as thickness TR3 .
  • the thickness of the portion of the EL layer 253W that is in contact with the top surface of the conductive layer 252G is T G1
  • the thickness of the portion that is on the insulating layer 256 and overlaps with the conductive layer 252G is T G2
  • the conductive layer 252G is The thickness of the portion of the side insulating layer 256 that is in contact with the surface that is substantially perpendicular to the upper surface of the conductive layer 252G is assumed to be the thickness TG3
  • the thickness of the portion where the upper surface of the insulating layer 256 is in contact with the flat portion is assumed to be the thickness T4 .
  • the thickness here refers to the thickness in the direction normal to the surface to be formed, not the thickness in the direction perpendicular to a reference plane such as a substrate surface. Therefore, when the surface to be formed has unevenness, the direction for defining the thickness differs depending on the location.
  • the thickness T R1 , the thickness T R2 , the thickness T G1 , the thickness T G2 , and the thickness T 4 are approximately equal.
  • the thickness TR3 and the thickness TG3 are thinner than the thickness TR1 , the thickness TR2 , the thickness TG1 , the thickness TG2 , and the thickness T4 .
  • the thickness TR3 and the thickness TG3 are half (50%) of the thickness TR1 , the thickness TR2 , the thickness TG1 , the thickness TG2 , or the thickness T4 .
  • FIG. 14 shows an example in which a region of the insulating layer 262 that is not covered with the conductive layer 251 is shaved during etching of the conductive layer 251 and the like, and is thinned. Specifically, the bottom surface of the insulating layer 256 is positioned lower than the bottom surface of the conductive layer 251 . By etching part of the insulating layer 262 in this manner, the undulations of the steps between the adjacent light emitting elements can be increased, so that a thin region can be easily formed in the EL layer 253W more effectively. can.
  • a colored layer 255R is provided on the light emitting element 250R with an insulating layer 235 interposed therebetween.
  • a colored layer 255G is provided on the light emitting element 250G.
  • FIG. 13 also shows part of the colored layer 255B.
  • the colored layer 255R transmits red light
  • the colored layer 255G transmits green light
  • the colored layer 255B transmits blue light.
  • the color purity of light emitted from each light emitting element can be increased, and a display device with higher display quality can be realized.
  • the relationship between each light-emitting element and each colored layer is reduced compared to the case where the substrate 201 and the substrate 202 are bonded after forming the colored layer on the substrate 202 side. Alignment is easy, and an extremely high-definition display device can be realized.
  • a lens array 257 is provided on the colored layer 255R and the colored layer 255G. Light emitted from the light emitting element 250R is colored by the coloring layer 255R and emitted to the outside through the lens array 257. FIG. The lens array 257 may be omitted if unnecessary.
  • the display device 200A has a substrate 202 on the viewing side.
  • the substrate 202 and the substrate 201 are bonded together.
  • a light-transmitting substrate such as a glass substrate, a quartz substrate, a sapphire substrate, or a plastic substrate can be used.
  • FIG. 15A to 15D each show an extracted laminated structure from the insulating layer 262 to the conductive layer 254.
  • FIG. 15A to 15D each show an extracted laminated structure from the insulating layer 262 to the conductive layer 254.
  • FIG. 15A is different from FIG. 14 in that the portion of the insulating layer 262 that does not overlap with the conductive layer 251 is not thinned. Specifically, the bottom surface of the insulating layer 256 is positioned at substantially the same height as the bottom surface of the conductive layer 251 . By not etching the insulating layer 262, variations in the cross-sectional shape can be suppressed, so that the process yield can be increased and mass productivity can be improved.
  • FIG. 15B is an example in which the insulating layer 256 is formed thick. Also, FIG. 15B shows a schematic cross-sectional view of the light emitting element 250B and the light emitting element 250G.
  • the light-emitting element 250B has a conductive layer 251, a conductive layer 252B, an EL layer 253W, and a conductive layer 254. Conductive layer 252B is thinner than conductive layer 252G.
  • FIG. 15B shows an example in which the insulating layer 256 is thicker than the conductive layers 252G and 252B.
  • 15C and 15D show an example in which an insulating layer 258 functioning as an etching stopper film is provided below the insulating layer 262.
  • FIG. Also, the insulating layer 262 in the region between adjacent light emitting elements is etched, and the bottom surface of the insulating layer 256 is in contact with the insulating layer 258 . With such a configuration, the undulations between the adjacent light emitting elements can be increased.
  • FIG. 15D shows an example in which the EL layer 253W is divided.
  • the conductive layer 254 is preferably connected between adjacent light emitting elements without being divided. Dividing the EL layer 253W between adjacent light-emitting elements can completely prevent leakage current through the EL layer 253W, which is preferable.
  • the configuration shown in FIG. 15D corresponds to the thickness TR3 and the thickness TG3 in FIG. 14 being zero.
  • FIG. 15D shows that thickness T R3 and thickness T G3 are 0% with respect to thickness T R1 , thickness T R2 , thickness T G1 , thickness T G2 , and thickness T 4 , respectively. It can also be said that the state is
  • FIG. 16 shows a schematic cross-sectional view of a display device 200B having a partially different configuration from the display device 200A.
  • the display device 200B shows an example in which the colored layer 255R, the colored layer 255G, the colored layer 255B, and the lens array 257 are formed on the substrate 202 side.
  • the colored layer 255R, the colored layer 255G, and the colored layer 255B are provided on the substrate 201 side surface of the substrate 202, and the colored layer 255R, the colored layer 255G, and the colored layer 255B are covered to function as a planarization layer.
  • An insulating layer 264 is provided, and a lens array 257 is provided on the surface of the insulating layer 264 on the substrate 201 side.
  • the substrates 202 and 201 are bonded together by an adhesive layer 263 .
  • the insulating layer 235 preferably has a function of preventing moisture contained in the adhesive layer 263 from diffusing into the light emitting element.
  • the insulating layer 235 preferably includes at least an inorganic insulating film.
  • the inorganic insulating film an aluminum oxide film formed by an ALD (Atomic Layer Deposition) method having excellent step coverage, a metal oxide film such as a hafnium oxide film, or an inorganic insulating film such as a silicon oxide film is used as the insulating layer 235 .
  • FIG. 17 is a schematic cross-sectional view of the display device 200C.
  • the main difference between display device 200C and display device 200B is that display device 200C does not have transistor 210 .
  • An insulating layer 231 is provided over the substrate 201 and the transistor 220 is provided over the insulating layer 231 . Note that the insulating layer 231 may not be provided when there is no risk of diffusion of impurities or the like from the substrate 201 .
  • a substrate with a low coefficient of thermal expansion is preferably used as the substrate 201 .
  • a single crystal semiconductor substrate such as single crystal silicon or silicon carbide, or a high melting point insulating substrate such as sapphire or quartz.
  • FIG. 18 is a schematic cross-sectional view of the display device 200D.
  • the main difference between the display device 200D and the display device 200B is the layered structure of the transistors.
  • the transistor 220B and the transistor 220A are stacked on the transistor 210.
  • the transistor 220A has a structure similar to that of the transistor 220 in the display device 200B or the like.
  • the transistor 220B is provided between the insulating layer 236 and the insulating layer 237 and has a structure similar to that of the transistor 220A.
  • the insulating layers 236 and 237 function as barrier layers similarly to the insulating layer 231 and the like.
  • An active matrix display device has many source lines and gate lines arranged in a matrix. Therefore, if ESD (Electro Static Discharge) occurs in the source line or the gate line during the manufacturing process of the display device or the assembling process of the electronic device, a display defect is caused. Therefore, it is preferable to provide a protection circuit for reducing the influence of ESD on the source line and the gate line.
  • ESD Electro Static Discharge
  • inspection circuits, terminals, or electrodes may be provided for inspecting whether pixels are driven normally.
  • FIG. 19A shows an example of a circuit PC1 for inputting the potential input from the terminal PRE to the source line SL.
  • the circuit PC1 has transistors Tr1, Tr2, and Tr3. Each transistor is a transistor having a pair of gates. A gate positioned below the semiconductor layer is referred to as a back gate, and a gate positioned above the semiconductor layer is referred to as a top gate.
  • the transistor Tr1 has a top gate electrically connected to the terminal Sig, a back gate electrically connected to the terminal VBG1, one of the source and the drain electrically connected to the source line SL, and the other electrically connected to the terminal PRE.
  • a signal for controlling the transistor Tr1 is applied to the terminal Sig.
  • a bias potential is applied to the terminal VBG1.
  • the potential of the terminal PRE is supplied to the wiring SL.
  • the transistor Tr2 and the transistor Tr3 are electrically connected between the top gate of the transistor Tr1 and the terminal Sig.
  • Transistor Tr2 and transistor Tr3 function as a protection circuit.
  • the transistors Tr2 and Tr3 are diode-connected transistors.
  • a terminal VDD is electrically connected to the transistor Tr2, and a terminal VSS is electrically connected to the transistor Tr3.
  • a terminal VBG2 is electrically connected to the back gate of the transistor Tr2, and a terminal VBG3 is electrically connected to the back gate of the transistor Tr3.
  • a circuit PC2 shown in FIG. 19B is an example in which the number of terminals and the number of transistors are reduced compared to the circuit PC1.
  • the circuit PC2 has a transistor Tr1.
  • the transistor Tr1 has a top gate electrically connected to the wiring SL, a back gate electrically connected to the terminal Sig, one of the source and the drain electrically connected to the terminal PRE, and the other electrically connected to the wiring SL.
  • the circuit can be simplified without requiring a protection circuit for the terminal Sig.
  • the top gate and back gate of the transistor Tr1 may be exchanged depending on the electrical characteristics of the transistor Tr1.
  • a circuit PC3 shown in FIG. 19C shows an example in which two transistors, a transistor Tr1a and a transistor Tr1b, are used instead of the transistor Tr1 in the circuit PC2.
  • the back gates of the transistors Tr1a and Tr1b are electrically connected to the terminal Sig.
  • a circuit PC4 shown in FIG. 19D is an example in which terminals (terminal Sig1 and terminal Sig2) are separately connected to the transistor Tr1a and the transistor Tr1b.
  • the number of terminals can be significantly reduced compared to the configuration shown in FIG. 19A, for example, and a small display device can be realized.
  • This embodiment can be implemented by appropriately combining at least part of it with other embodiments described herein.
  • Embodiment 2 Structural examples of display devices that can be applied to the display devices of the electronic devices described in Embodiment 1 are described below with reference to drawings.
  • FIG. 20A is a perspective view of a display device 310A that can be applied to the display device of the electronic device exemplified in Embodiment 1.
  • FIG. 20A is a perspective view of a display device 310A that can be applied to the display device of the electronic device exemplified in Embodiment 1.
  • FIG. 20A is a perspective view of a display device 310A that can be applied to the display device of the electronic device exemplified in Embodiment 1.
  • the display device 310A has substrates 311 and 312 .
  • the display device 310 ⁇ /b>A has a display section 313 composed of elements provided between a substrate 311 and a substrate 312 .
  • the display unit 313 is an area for displaying an image in the display device 310A.
  • the display portion 313 has a plurality of pixels 390 .
  • a pixel 390 has a pixel circuit 351 and a light emitting element 361 .
  • the display unit 313 capable of displaying at a resolution of so-called full high-definition (also called “2K resolution,” “2K1K,” or “2K”) is realized. can. Further, for example, when the pixels 390 are arranged in a matrix of 3840 ⁇ 2160 pixels, the display unit 313 can display at a resolution of so-called ultra high-definition (also referred to as “4K resolution”, “4K2K”, or “4K”). can be realized.
  • the display unit 313 can display at a resolution of so-called Super Hi-Vision (also called “8K resolution”, “8K4K”, or “8K”). can be realized. By increasing the number of pixels 390, it is possible to realize the display unit 313 capable of displaying at a resolution of 16K or even 32K.
  • the pixel density (definition) of the display unit 313 is preferably 1000 ppi or more and 10000 ppi or less. For example, it may be 2000 ppi or more and 6000 ppi or less, or 3000 ppi or more and 5000 ppi or less.
  • the screen ratio (aspect ratio) of the display unit 313 is not particularly limited.
  • the display unit 313 can support various screen ratios such as 1:1 (square), 4:3, 16:9, and 16:10.
  • a display element may be replaced with “device”.
  • a display element, a light-emitting element, and a liquid crystal element can be interchanged with, for example, a display device, a light-emitting device, and a liquid crystal device.
  • the display device 310A receives various signals and power supply potential from the outside via the terminal section 314, and can display images using the display element provided in the display section 313.
  • Various elements can be used as the display element.
  • a light-emitting element having a function of emitting light such as an organic EL element and an LED element, a liquid crystal element, or a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) element can be applied.
  • a plurality of layers are provided between the substrate 311 and the substrate 312, and each layer is provided with a transistor for circuit operation or a display element for emitting light.
  • a pixel circuit having a function of controlling operation of a display element a driver circuit having a function of controlling the pixel circuit, a functional circuit having a function of controlling the driver circuit, and the like are provided.
  • FIG. 20B shows a perspective view schematically showing the configuration of each layer provided between the substrate 311 and the substrate 312.
  • a layer 320 is provided on the substrate 311 .
  • Layer 320 has drive circuitry 330 , functional circuitry 340 and input/output circuitry 380 .
  • Layer 320 has a transistor 321 (also called a Si transistor) with silicon in a channel forming region 322 .
  • the substrate 311 is, for example, a silicon substrate.
  • a silicon substrate is preferable because it has higher thermal conductivity than a glass substrate.
  • the charge/discharge time of the control signal for the function circuit 340 to control the drive circuit 330 is shortened, and power consumption can be reduced.
  • the charging and discharging time required for the input/output circuit 380 to supply signals to the functional circuit 340 and the driving circuit 330 is shortened, and power consumption can be reduced.
  • the transistor 321 can be, for example, a transistor including single crystal silicon in a channel formation region (also referred to as a "c-Si transistor").
  • a transistor including single crystal silicon in a channel formation region also referred to as a "c-Si transistor”
  • the on current of the transistor can be increased. Therefore, the circuit included in the layer 320 can be driven at high speed, which is preferable.
  • the Si transistor can be formed by microfabrication such that the channel length is 3 nm or more and 10 nm or less, the display device 310A in which an accelerator such as a CPU or a GPU, an application processor, or the like is provided integrally with the display portion can be provided. .
  • a transistor including polycrystalline silicon in a channel formation region may be provided in the layer 320.
  • Low temperature polysilicon LTPS
  • LTPS transistor a transistor including LTPS in a channel formation region
  • OS transistor may be provided in the layer 320 .
  • the drive circuit 330 has, for example, a gate driver circuit, a source driver circuit, and the like. In addition, an arithmetic circuit, a memory circuit, a power supply circuit, and the like may be provided. Since the gate driver circuit, the source driver circuit, and other circuits can be arranged so as to overlap the display portion 313, the display device 310A can be arranged as compared to the case where these circuits and the display portion 313 are arranged side by side. The width of a non-display area (also referred to as a frame) existing on the periphery of the display portion 313 can be extremely narrowed, and the size reduction of the display device 310A can be realized.
  • a non-display area also referred to as a frame
  • the functional circuit 340 has, for example, the function of an application processor for controlling each circuit in the display device 310A and generating signals for controlling each circuit.
  • the functional circuit 340 may also have a circuit for correcting image data, such as an accelerator such as a CPU or GPU.
  • the functional circuit 340 also includes an LVDS (Low Voltage Differential Signaling) circuit, a MIPI (Mobile Industry Processor Interface) circuit, and/or a D/A It may have a (Digital to Analog) conversion circuit or the like.
  • the functional circuit 340 may also include a circuit for compressing/decompressing image data and/or a power supply circuit.
  • a layer 350 is provided on the layer 320 .
  • Layer 350 has pixel circuits 355 that include a plurality of pixel circuits 351 .
  • An OS transistor may be provided in layer 350 .
  • the pixel circuit 351 may include an OS transistor. Note that the layer 350 can be stacked over the layer 320 .
  • a Si transistor may be provided in layer 350 .
  • the pixel circuit 351 may include a transistor including single crystal silicon or polycrystal silicon in a channel formation region.
  • LTPS may be used as the polycrystalline silicon.
  • layer 350 can be formed on another substrate and attached to layer 320 .
  • the pixel circuit 351 may be composed of a plurality of types of transistors using different semiconductor materials.
  • the transistors may be provided in different layers for each type of transistor.
  • the Si transistor and the OS transistor may be overlapped. By overlapping the transistors, the area occupied by the pixel circuit 351 is reduced. Therefore, the definition of the display device 310A can be improved.
  • a structure in which an LTPS transistor and an OS transistor are combined is sometimes called an LTPO.
  • the transistor 352 which is an OS transistor
  • a transistor having an oxide containing at least one of indium, element M (element M is aluminum, gallium, yttrium, or tin), and zinc in a channel formation region is preferably used.
  • Such an OS transistor has a very low off-state current. Therefore, it is particularly preferable to use an OS transistor as a transistor provided in the pixel circuit because analog data written to the pixel circuit can be held for a long time.
  • a layer 360 is provided on the layer 350 .
  • a substrate 312 is provided over the layer 360 .
  • the substrate 312 is preferably a light-transmitting substrate or a layer made of a light-transmitting material.
  • a layer 360 is provided with a plurality of light emitting elements 361 . Note that the layer 360 can be stacked over the layer 350 .
  • the light-emitting element 361 for example, an organic electroluminescence element (also referred to as an organic EL element) can be used.
  • the light emitting element 361 is not limited to this, and for example, an inorganic EL element made of an inorganic material may be used.
  • the light emitting element 361 may have inorganic compounds such as quantum dots.
  • quantum dots by using quantum dots in the light-emitting layer, it can function as a light-emitting material.
  • a display device 310A of one embodiment of the present invention can have a structure in which a light-emitting element 361, a pixel circuit 351, a driver circuit 330, and a function circuit 340 are stacked; ratio (effective display area ratio) can be extremely high.
  • the pixel aperture ratio can be 40% or more and less than 100%, preferably 50% or more and 95% or less, and more preferably 60% or more and 95% or less.
  • the pixel circuits 351 can be arranged at an extremely high density, and the definition of pixels can be extremely increased.
  • Pixels can be arranged with a resolution of 20000 ppi or less, or 30000 ppi or less.
  • Such a display device 310A has extremely high definition, it can be suitably used for devices for VR such as a head-mounted display, or glasses-type devices for AR. For example, even in the case of a configuration in which the display portion of the display device 310A is viewed through an optical member such as a lens, the display device 310A has an extremely high-definition display portion. A highly immersive display can be performed without being visually recognized.
  • the diagonal size of the display unit 313 is 0.1 inch or more and 5.0 inches or less, preferably 0.5 inch or more and 2.0 inches or more. It can be 1 inch or less, more preferably 1 inch or more and 1.7 inch or less. For example, the diagonal size of the display unit 313 may be 1.5 inches or around 1.5 inches. By setting the diagonal size of the display unit 313 to 2.0 inches or less, it is possible to perform processing in one exposure process of an exposure device (typically a scanner device), thereby improving the productivity of the manufacturing process. can be improved.
  • an exposure device typically a scanner device
  • the display device 310A can be applied to devices other than wearable electronic devices.
  • the diagonal size of the display 313 may exceed 2.0 inches.
  • the configuration of the transistors used in the pixel circuit 351 may be selected as appropriate according to the diagonal size of the display portion 313 .
  • the diagonal size of the display section 313 is preferably 0.1 inch or more and 3 inches or less.
  • the diagonal size of the display portion 313 is preferably 0.1 inch or more and 30 inches or less, more preferably 1 inch or more and 30 inches or less.
  • the diagonal size of the display portion 313 is preferably 0.1 inch or more and 50 inches or less, and is preferably 1 inch or more and 50 inches or less. more preferred.
  • the diagonal size of the display portion 313 is preferably 0.1 inch or more and 200 inches or less, more preferably 50 inches or more and 100 inches or less.
  • the OS transistor is free from restrictions on the use of a laser crystallization apparatus or the like in the manufacturing process, or can be manufactured at a relatively low process temperature (typically 450° C. or lower), and thus has a relatively large area. (Typically, it is possible to correspond to a display device having a diagonal size of 50 inches or more and 100 inches or less). In addition, for LTPO, it is possible to support a diagonal size (typically, 1 inch or more and 50 inches or less) between the case of using an LTPS transistor and the case of using an OS transistor.
  • FIG. 21 is a block diagram illustrating a plurality of wirings connecting the pixel circuits 351, the driving circuits 330 and the functional circuits 340, bus wirings in the display device 310A, and the like in the display device 310A.
  • a layer 350 has a plurality of pixel circuits 351 arranged in a matrix.
  • the driver circuit 330 has, for example, a source driver circuit 331 , a digital-to-analog converter (DAC) 332 , an amplifier circuit 335 , a gate driver circuit 333 , and a level shifter 334 .
  • the functional circuit 340 has, for example, a storage device 341 , a GPU (AI accelerator) 342 , an EL correction circuit 343 , a timing controller 344 , a CPU 345 , a sensor controller 346 and a power supply circuit 347 .
  • Functional circuit 340 has the function of an application processor.
  • the input/output circuit 380 is compatible with a transmission system such as LVDS (Low Voltage Differential Signaling). It has the function of distributing to Also, the input/output circuit 380 has a function of outputting the information of the display device 310A to the outside via the terminal section 314 .
  • LVDS Low Voltage Differential Signaling
  • the circuit included in the drive circuit 330 and the circuit included in the function circuit 340 are each electrically connected to the bus line BSL.
  • the source driver circuit 331 has a function of transmitting image data to the pixel circuit 351 included in the pixel 390 . Therefore, the source driver circuit 331 is electrically connected to the pixel circuit 351 through the wiring SL. Note that a plurality of source driver circuits 331 may be provided.
  • the digital-to-analog conversion circuit 332 has a function of converting image data digitally processed by a GPU, a correction circuit, etc., which will be described later, into analog data.
  • the image data converted into analog data is amplified by an amplifier circuit 335 such as an operational amplifier and transmitted to the pixel circuit 351 via the source driver circuit 331 .
  • the image data may be transmitted to the source driver circuit 331, the digital-analog converter circuit 332, and the pixel circuit 351 in this order.
  • the digital-to-analog conversion circuit 332 and the amplifier circuit 335 may be included in the source driver circuit 331 .
  • the gate driver circuit 333 has a function of selecting a pixel circuit to which image data is to be sent in the pixel circuit 351 . Therefore, the gate driver circuit 333 is electrically connected to the pixel circuit 351 through the wiring GL. Note that a plurality of gate driver circuits 333 may be provided corresponding to the source driver circuits 331 .
  • the level shifter 334 has a function of converting signals input to the source driver circuit 331, the digital-analog conversion circuit 332, the gate driver circuit 333, etc. to appropriate levels.
  • the storage device 341 has, for example, a function of storing image data to be displayed on the pixel circuit 351 . Note that the storage device 341 can be configured to store image data as digital data or analog data.
  • the storage device 341 is preferably a non-volatile memory.
  • a NAND memory or the like can be applied as the storage device 341 .
  • the storage device 341 is preferably a volatile memory.
  • SRAM Static Random Access Memory
  • DRAM Dynamic Random Access Memory
  • the GPU 342 has, for example, a function of performing processing for outputting image data read from the storage device 341 to the pixel circuit 351 .
  • the GPU 342 since the GPU 342 is configured to perform pipeline processing in parallel, image data to be output to the pixel circuit 351 can be processed at high speed.
  • GPU 342 may also function as a decoder for restoring encoded images.
  • the functional circuit 340 may include a plurality of circuits that can improve the display quality of the display device 310A.
  • a correction circuit color toning, dimming
  • the function circuit 340 may be provided with an EL correction circuit that corrects image data according to the characteristics of the light-emitting device.
  • the functional circuit 340 includes an EL correction circuit 343 as an example.
  • Artificial intelligence may also be used for the image correction described above.
  • the current (or voltage applied to the pixel circuit) is monitored and acquired, the displayed image is acquired by an image sensor, etc., and the current (or voltage) and the image are calculated by artificial intelligence (for example, , an artificial neural network, etc.), and the output result may be used to determine whether or not to correct the image.
  • artificial intelligence for example, , an artificial neural network, etc.
  • artificial intelligence calculations can be applied not only to image correction, but also to up-conversion processing to increase the resolution of image data.
  • the GPU 342 in FIG. 21 illustrates blocks for performing various correction calculations (color unevenness correction 342a, up-conversion 342b, etc.).
  • Algorithms for up-converting image data include the Nearest neighbor method, Bilinear method, Bicubic method, RAISR (Rapid and Accurate Image Super-Resolution) method, ANR (Anchored Neighborhood Regression) method, A+ method, SuperN (SRCN -Resolution (Convolutional Neural Network) method or the like can be selected.
  • the up-conversion process may be configured such that the algorithm used for the up-conversion process is changed for each region determined according to the gaze point. For example, the up-conversion processing of the gaze point and the area near the gaze point is performed with a slow but high-precision algorithm, and the up-conversion processing of areas other than the subject area is performed with a fast but low-accuracy algorithm. Just do it. With this configuration, the time required for up-conversion processing can be shortened. Also, the power consumption required for up-conversion processing can be reduced.
  • up-conversion processing not only up-conversion processing, but also down-conversion processing that lowers the resolution of image data may be performed. If the resolution of the image data is higher than the resolution of the display unit 313 , part of the image data may not be displayed on the display unit 313 . In such a case, the entire image data can be displayed on the display unit 313 by performing down-conversion processing.
  • the timing controller 344 has a function of controlling the drive frequency (frame frequency, frame rate, refresh rate, etc.) for displaying images. For example, when displaying a still image on the display device 310A, power consumption of the display device 310A can be reduced by lowering the driving frequency by the timing controller 344.
  • the drive frequency frame frequency, frame rate, refresh rate, etc.
  • the CPU 345 has a function of performing general-purpose processing such as, for example, operating system execution, data control, various calculations, and program execution.
  • the CPU 345 has a role of issuing commands such as, for example, an image data write operation or read operation in the storage device 341, an image data correction operation, and an operation to a sensor to be described later.
  • the CPU 345 may have a function of transmitting a control signal to at least one of the circuits included in the functional circuit 340 .
  • the sensor controller 346 has a function of controlling sensors.
  • a wiring SNCL is illustrated as a wiring for electrically connecting to the sensor.
  • a touch sensor that can be provided in the display unit 313 can be used as the sensor.
  • the sensor may be, for example, an illuminance sensor.
  • the power supply circuit 347 has a function of generating voltage to be supplied to the pixel circuit 351, the drive circuit 330, the function circuit 340, and the like.
  • the power supply circuit 347 may have a function of selecting a circuit that supplies voltage.
  • the power supply circuit 347 can reduce power consumption of the entire display device 310A by stopping voltage supply to the CPU 345, the GPU 342, and the like while a still image is being displayed.
  • the display device of one embodiment of the present invention can have a structure in which the display element, the pixel circuit, and the driver circuit and function circuit 340 are stacked.
  • a driver circuit and a functional circuit which are peripheral circuits, can be arranged so as to overlap with the pixel circuit, and the width of the frame can be extremely narrowed, so that the display device can be miniaturized.
  • the display device of one embodiment of the present invention has a structure in which circuits are stacked, the wiring that connects the circuits can be shortened; thus, the display device can be lightweight. .
  • the display device of one embodiment of the present invention can be a display portion with improved pixel definition, the display device can have excellent display quality.
  • FIG. 22A to 22C are perspective views of the display module 370.
  • FIG. The display module 370 has a structure in which an FPC 374 (FPC: flexible printed circuits) is provided at the terminal portion 314 of the display device 310A.
  • the FPC 374 has a structure in which a film made of an insulator is provided with wiring. Also, the FPC 374 has flexibility.
  • the FPC 374 functions as wiring for externally supplying video signals, control signals, power supply potential, and the like to the display device 310A. Also, an IC may be mounted on the FPC 374 .
  • a display module 370 shown in FIG. 22B has a configuration in which a display device 310A is provided on a printed wiring board 371.
  • the printed wiring board 371 has a structure in which wiring is provided inside or on the surface of a substrate made of an insulator, or inside and on the surface.
  • Wires 373 can be formed by wire bonding. Ball bonding or wedge bonding can be used as wire bonding.
  • the wire 373 may be covered with a resin material or the like.
  • the electrical connection between the display device 310A and the printed wiring board 371 may be made by a method other than wire bonding.
  • the electrical connection between the display device 310A and the printed wiring board 371 may be realized by an anisotropic conductive adhesive, bumps, or the like.
  • the terminal portion 372 of the printed wiring board 371 is electrically connected to the FPC 374 .
  • the terminal portion 314 and the FPC 374 may be electrically connected via the printed wiring board 371 .
  • the wiring formed on the printed wiring board 371 can be used to convert the intervals (pitch) between the electrodes of the terminal portion 314 to the intervals of the electrodes of the terminal portion 372 . That is, even when the pitch of the electrodes provided in the terminal section 314 and the pitch of the electrodes provided in the FPC 374 are different, the electrodes can be electrically connected.
  • the printed wiring board 371 can be provided with various elements such as resistance elements, capacitive elements, and semiconductor elements.
  • the terminal portion 372 is electrically connected to the connection portion 375 provided on the lower surface of the printed wiring board 371 (the surface on which the display device 310A is not provided). good too.
  • the connecting portion 375 a socket type connecting portion, the display module 370 can be easily detached from another device.
  • a device manufactured using a metal mask or FMM may be referred to as a device with an MM (metal mask) structure.
  • a device manufactured without using a metal mask or FMM may be referred to as a device with an MML (metal maskless) structure.
  • a structure in which at least light-emitting layers are separately formed in light-emitting devices with different emission wavelengths is sometimes referred to as an SBS (side-by-side) structure.
  • SBS side-by-side
  • the material and structure can be optimized for each light-emitting device, so the degree of freedom in selecting the material and structure increases, and it becomes easy to improve luminance and reliability.
  • holes or electrons are sometimes referred to as "carriers".
  • the hole injection layer or electron injection layer is referred to as a "carrier injection layer”
  • the hole transport layer or electron transport layer is referred to as a “carrier transport layer”
  • the hole blocking layer or electron blocking layer is referred to as a "carrier It is sometimes called a block layer.
  • the carrier injection layer, the carrier transport layer, and the carrier block layer described above may not be clearly distinguished from each other due to their cross-sectional shape, characteristics, or the like.
  • one layer may serve as two or three functions of the carrier injection layer, the carrier transport layer, and the carrier block layer.
  • a light-emitting device (also referred to as a light-emitting element) has an EL layer between a pair of electrodes.
  • the EL layer has at least a light-emitting layer.
  • the layers (also referred to as functional layers) included in the EL layer include a light-emitting layer, a carrier-injection layer (hole-injection layer and electron-injection layer), a carrier-transport layer (hole-transport layer and electron-transport layer), and A carrier block layer (a hole block layer and an electron block layer) and the like are included.
  • the light-emitting device for example, it is preferable to use an OLED (Organic Light Emitting Diode) or a QLED (Quantum-dot Light Emitting Diode).
  • the light-emitting substance included in the light-emitting device include a substance that emits fluorescence (fluorescent material), a substance that emits phosphorescence (phosphorescence material), and a substance that exhibits thermally activated delayed fluorescence (thermally activated delayed fluorescence: TADF ) materials), and inorganic compounds (quantum dot materials, etc.).
  • LEDs such as micro LED (Light Emitting Diode), can also be used as a light emitting device.
  • the emission color of the light emitting device can be infrared, red, green, blue, cyan, magenta, yellow, white, or the like.
  • color purity can be enhanced by providing a light-emitting device with a microcavity structure.
  • the light-emitting device has an EL layer 763 between a pair of electrodes (lower electrode 761 and upper electrode 762).
  • EL layer 763 can be composed of multiple layers, such as layer 780 , light-emitting layer 771 , and layer 790 .
  • the light-emitting layer 771 has at least a light-emitting substance (also referred to as a light-emitting material).
  • the layer 780 includes a layer containing a substance with high hole injection property (hole injection layer), a layer containing a substance with high hole transport property (positive hole-transporting layer) and a layer containing a highly electron-blocking substance (electron-blocking layer).
  • the layer 790 includes a layer containing a substance with high electron injection properties (electron injection layer), a layer containing a substance with high electron transport properties (electron transport layer), and a layer containing a substance with high hole blocking properties (positive layer). pore blocking layer).
  • a structure having a layer 780, a light-emitting layer 771, and a layer 790 provided between a pair of electrodes can function as a single light-emitting unit, and the structure of FIG. 23A is referred to herein as a single structure.
  • FIG. 23B is a modification of the EL layer 763 included in the light emitting device shown in FIG. 23A. Specifically, the light-emitting device shown in FIG. It has a top layer 792 and a top electrode 762 on layer 792 .
  • layer 781 is a hole injection layer
  • layer 782 is a hole transport layer
  • layer 791 is an electron transport layer
  • layer 792 is an electron injection layer.
  • the layer 781 is an electron injection layer
  • the layer 782 is an electron transport layer
  • the layer 791 is a hole transport layer
  • the layer 792 is a hole injection layer.
  • FIGS. 23C and 23D a configuration in which a plurality of light-emitting layers (light-emitting layers 771, 772, and 773) are provided between layers 780 and 790 is also a variation of the single structure.
  • FIGS. 23C and 23D show an example having three light-emitting layers, the number of light-emitting layers in a single-structure light-emitting device may be two or four or more.
  • the single structure light emitting device may have a buffer layer between the two light emitting layers.
  • tandem structure a structure in which a plurality of light-emitting units (light-emitting unit 763a and light-emitting unit 763b) are connected in series via a charge generation layer 785 (also referred to as an intermediate layer) is described in this specification.
  • a tandem structure a structure in which a plurality of light-emitting units (light-emitting unit 763a and light-emitting unit 763b) are connected in series via a charge generation layer 785 (also referred to as an intermediate layer) is described in this specification.
  • charge generation layer 785 also referred to as an intermediate layer
  • tandem structure may also be called a stack structure.
  • FIGS. 23D and 23F are examples in which the display device has a layer 764 that overlaps the light emitting device.
  • Figure 23D is an example of layer 764 overlapping the light emitting device shown in Figure 23C
  • Figure 23F is an example of layer 764 overlapping the light emitting device shown in Figure 23E.
  • the layer 764 one or both of a color conversion layer and a color filter (colored layer) can be used.
  • the light-emitting layers 771, 772, and 773 may be made of a light-emitting material that emits light of the same color, or even the same light-emitting material.
  • a light-emitting substance that emits blue light may be used for the light-emitting layers 771 , 772 , and 773 .
  • blue light emitted by the light-emitting device can be extracted.
  • a color conversion layer is provided as layer 764 shown in FIG. and can extract red or green light.
  • a single-structure light-emitting device preferably has a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits blue light and a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits visible light with a longer wavelength than blue.
  • a single-structure light-emitting device has three light-emitting layers, a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits red (R) light, a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits green (G) light, and a light-emitting layer that emits blue light. It is preferable to have a light-emitting layer having a light-emitting substance (B) that emits light.
  • the stacking order of the light-emitting layers can be R, G, B from the anode side, or R, B, G, etc. from the anode side.
  • a buffer layer may be provided between R and G or B.
  • a light-emitting device with a single structure has two light-emitting layers, a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits blue (B) light and a light-emitting layer containing a light-emitting substance that emits yellow (Y) light. It is preferred to have This structure is sometimes called a BY single structure.
  • a color filter may be provided as the layer 764 shown in FIG. 23D.
  • a desired color of light can be obtained by passing the white light through the color filter.
  • a light-emitting device that emits white light preferably contains two or more types of light-emitting substances.
  • two or more light-emitting substances may be selected so that the light emission of each light-emitting substance has a complementary color relationship.
  • the emission color of the first light-emitting layer and the emission color of the second light-emitting layer have a complementary color relationship, it is possible to obtain a light-emitting device that emits white light as a whole. The same applies to light-emitting devices having three or more light-emitting layers.
  • the light-emitting layer 771 and the light-emitting layer 772 may be made of a light-emitting substance that emits light of the same color, or even the same light-emitting substance.
  • a light-emitting material that emits blue light may be used for each of the light-emitting layers 771 and 772 .
  • blue light emitted by the light-emitting device can be extracted.
  • a color conversion layer is provided as layer 764 shown in FIG. and can extract red or green light.
  • a light-emitting device having the configuration shown in FIG. 23E or FIG. 23F is used for a sub-pixel that emits light of each color
  • different light-emitting substances may be used depending on the sub-pixel.
  • a light-emitting substance that emits red light may be used for each of the light-emitting layers 771 and 772 .
  • a light-emitting substance that emits green light may be used for each of the light-emitting layers 771 and 772 .
  • a light-emitting substance that emits blue light may be used for each of the light-emitting layers 771 and 772 . It can be said that the display device having such a configuration employs a tandem structure light emitting device and has an SBS structure. Therefore, it is possible to have both the merit of the tandem structure and the merit of the SBS structure. As a result, a highly reliable light-emitting device capable of emitting light with high brightness can be realized.
  • light-emitting substances with different emission colors may be used for the light-emitting layers 771 and 772 .
  • the light emitted from the light-emitting layer 771 and the light emitted from the light-emitting layer 772 are complementary colors, white light emission is obtained.
  • a color filter may be provided as layer 764 shown in FIG. 23F. A desired color of light can be obtained by passing the white light through the color filter.
  • 23E and 23F show an example in which the light-emitting unit 763a has one light-emitting layer 771 and the light-emitting unit 763b has one light-emitting layer 772, but the present invention is not limited to this.
  • Each of the light-emitting unit 763a and the light-emitting unit 763b may have two or more light-emitting layers.
  • FIGS. 23E and 23F exemplify a light-emitting device having two light-emitting units, but the present invention is not limited to this.
  • the light emitting device may have three or more light emitting units.
  • FIGS. 24A to 24C the configuration of the light-emitting device shown in FIGS. 24A to 24C can be mentioned.
  • FIG. 24A shows a configuration having three light emitting units.
  • a structure having two light-emitting units may be called a two-stage tandem structure, and a structure having three light-emitting units may be called a three-stage tandem structure.
  • a plurality of light-emitting units are connected in series with charge generation layers 785 interposed therebetween.
  • Light-emitting unit 763a includes layer 780a, light-emitting layer 771, and layer 790a
  • light-emitting unit 763b includes layer 780b, light-emitting layer 772, and layer 790b
  • light-emitting unit 763c includes , a layer 780c, a light-emitting layer 773, and a layer 790c.
  • the light-emitting layer 771, the light-emitting layer 772, and the light-emitting layer 773 preferably contain light-emitting substances that emit light of the same color.
  • the light-emitting layer 771, the light-emitting layer 772, and the light-emitting layer 773 each include a red (R) light-emitting substance (so-called three-stage tandem structure of R ⁇ R ⁇ R), the light-emitting layer 771, and the light-emitting layer 772 and 773 each include a green (G) light-emitting substance (so-called G ⁇ G ⁇ G three-stage tandem structure), or the light-emitting layers 771, 772, and 773 each include a blue light-emitting layer.
  • a structure (B) including a light-emitting substance (a so-called three-stage tandem structure of B ⁇ B ⁇ B) can be employed.
  • the luminescent substances that emit light of the same color are not limited to the above configurations.
  • a tandem-type light-emitting device in which light-emitting units each having a plurality of light-emitting substances are stacked may be used.
  • FIG. 24B shows a configuration in which a plurality of light emitting units (light emitting unit 763a and light emitting unit 763b) are connected in series with the charge generation layer 785 interposed therebetween.
  • the light-emitting unit 763a includes a layer 780a, a light-emitting layer 771a, a light-emitting layer 771b, a light-emitting layer 771c, and a layer 790a. and a light-emitting layer 772c and a layer 790b.
  • luminescent materials are appropriately selected for the luminescent layers 771a, 771b, and 771c, and the luminescent unit 763a is configured to emit white light (W).
  • light-emitting substances are appropriately selected for the light-emitting layers 772a, 772b, and 772c so that the light-emitting unit 763b can emit white light (W). That is, the configuration shown in FIG. 24C has a two-stage tandem structure of W ⁇ W. Note that there is no particular limitation on the stacking order of the light-emitting substances that are complementary colors of the light-emitting layers 771a, 771b, and 771c. A practitioner can appropriately select the optimum stacking order. Although not shown, a three-stage tandem structure of W ⁇ W ⁇ W or a tandem structure of four or more stages may be employed.
  • a tandem structure light-emitting device When a tandem structure light-emitting device is used, a two-stage tandem structure of B ⁇ Y having a light-emitting unit that emits yellow (Y) light and a light-emitting unit that emits blue (B) light, red (R) and A two-stage tandem structure of R G ⁇ B having a light emitting unit that emits green (G) light and a light emitting unit that emits blue (B) light, a light emitting unit that emits blue (B) light, and a light emitting unit that emits yellow (B) light.
  • a three-stage tandem structure of B ⁇ G ⁇ B having a unit, a light-emitting unit that emits green (G) light, and a light-emitting unit that emits blue (B) light in this order can be given.
  • a light-emitting unit having one light-emitting substance and a light-emitting unit having a plurality of light-emitting substances may be combined.
  • a plurality of light-emitting units (light-emitting unit 763a, light-emitting unit 763b, and light-emitting unit 763c) are connected in series with charge generation layers 785 interposed therebetween.
  • Light-emitting unit 763a includes layer 780a, light-emitting layer 771, and layer 790a
  • light-emitting unit 763b includes layer 780b, light-emitting layer 772a, light-emitting layer 772b, light-emitting layer 772c, and layer 790b.
  • the light-emitting unit 763c includes a layer 780c, a light-emitting layer 773, and a layer 790c.
  • the light-emitting unit 763a is a light-emitting unit that emits blue (B) light
  • the light-emitting unit 763b emits red (R), green (G), and yellow-green (YG) light.
  • a three-stage tandem structure of B ⁇ R, G, and YG ⁇ B, in which the light-emitting unit 763c is a light-emitting unit that emits blue (B) light, or the like can be applied.
  • the order of the number of stacked light-emitting units and the colors is as follows: from the anode side, a two-stage structure of B and Y; a two-stage structure of B and light-emitting unit X; a three-stage structure of B, Y, and B; , B, and the order of the number of layers of light-emitting layers and the colors in the light-emitting unit X is, from the anode side, a two-layer structure of R and Y, a two-layer structure of R and G, and a two-layer structure of G and R.
  • a two-layer structure, a three-layer structure of G, R, and G, or a three-layer structure of R, G, and R can be used.
  • another layer may be provided between the two light-emitting layers.
  • the layer 780 and the layer 790 may each independently have a laminated structure consisting of two or more layers.
  • the light-emitting unit 763a has layers 780a, 771 and 790a
  • the light-emitting unit 763b has layers 780b, 772 and 790b.
  • layers 780a and 780b each have one or more of a hole injection layer, a hole transport layer, and an electron blocking layer.
  • layers 790a and 790b each include one or more of an electron injection layer, an electron transport layer, and a hole blocking layer. If the bottom electrode 761 is the cathode and the top electrode 762 is the anode, then layers 780a and 790a would have the opposite arrangement, and layers 780b and 790b would also have the opposite arrangement.
  • layer 780a has a hole-injection layer and a hole-transport layer over the hole-injection layer, and further includes a hole-transport layer. It may have an electron blocking layer on the layer.
  • Layer 790a also has an electron-transporting layer and may also have a hole-blocking layer between the light-emitting layer 771 and the electron-transporting layer.
  • Layer 780b also has a hole transport layer and may also have an electron blocking layer on the hole transport layer.
  • Layer 790b also has an electron-transporting layer, an electron-injecting layer on the electron-transporting layer, and may also have a hole-blocking layer between the light-emitting layer 771 and the electron-transporting layer. If the bottom electrode 761 is the cathode and the top electrode 762 is the anode, for example, layer 780a has an electron injection layer, an electron transport layer on the electron injection layer, and a positive electrode on the electron transport layer. It may have a pore blocking layer. Layer 790a also has a hole-transporting layer and may also have an electron-blocking layer between the light-emitting layer 771 and the hole-transporting layer.
  • Layer 780b also has an electron-transporting layer and may also have a hole-blocking layer on the electron-transporting layer.
  • Layer 790b also has a hole-transporting layer, a hole-injecting layer on the hole-transporting layer, and an electron-blocking layer between the light-emitting layer 771 and the hole-transporting layer. good too.
  • charge generation layer 785 has at least a charge generation region.
  • the charge-generating layer 785 has a function of injecting electrons into one of the two light-emitting units and holes into the other when a voltage is applied between the pair of electrodes.
  • the display device of one embodiment of the present invention preferably has a structure in which a light-emitting device that emits white light and a color filter are combined. Furthermore, it is more preferable to use a tandem structure light-emitting device.
  • a conductive film that transmits visible light is used for the electrode on the light extraction side of the lower electrode 761 and the upper electrode 762 .
  • a conductive film that reflects visible light is preferably used for the electrode on the side from which light is not extracted.
  • the display device has a light-emitting device that emits infrared light
  • a conductive film that transmits visible light and infrared light is used for the electrode on the side from which light is extracted
  • a conductive film is used for the electrode on the side that does not extract light.
  • a conductive film that reflects visible light and infrared light is preferably used.
  • a conductive film that transmits visible light may also be used for the electrode on the side from which light is not extracted.
  • the electrode is preferably placed between the reflective layer and the EL layer 763 . That is, the light emitted from the EL layer 763 may be reflected by the reflective layer and extracted from the display device.
  • metals, alloys, electrically conductive compounds, mixtures thereof, and the like can be used as appropriate.
  • specific examples of such materials include aluminum, titanium, chromium, manganese, iron, cobalt, nickel, copper, gallium, zinc, indium, tin, molybdenum, tantalum, tungsten, palladium, gold, platinum, silver, yttrium, Metals such as neodymium, and alloys containing appropriate combinations thereof can be mentioned.
  • Examples of such materials include indium tin oxide (also referred to as In—Sn oxide, ITO), In—Si—Sn oxide (also referred to as ITSO), indium zinc oxide (In—Zn oxide), and In -W-Zn oxide and the like can be mentioned.
  • Examples of the material include aluminum-containing alloys (aluminum alloys) such as alloys of aluminum, nickel, and lanthanum (Al-Ni-La), and alloys of silver, palladium and copper (Ag-Pd-Cu, APC Also referred to as).
  • elements belonging to Group 1 or Group 2 of the periodic table of elements not exemplified above e.g., lithium, cesium, calcium, strontium
  • europium e.g., europium
  • rare earth metals such as ytterbium
  • appropriate combinations of these alloy containing, graphene, and the like e.g., graphene, graphene, and the like.
  • a micro optical resonator (microcavity) structure is preferably applied to the light emitting device. Therefore, one of the pair of electrodes of the light-emitting device preferably has an electrode (semi-transmissive/semi-reflective electrode) that is transparent and reflective to visible light, and the other is an electrode that is reflective to visible light ( reflective electrode). Since the light-emitting device has a microcavity structure, the light emitted from the light-emitting layer can be resonated between both electrodes, and the light emitted from the light-emitting device can be enhanced.
  • the semi-transmissive/semi-reflective electrode has a laminated structure of a conductive layer that can be used as a reflective electrode and a conductive layer that can be used as an electrode that transmits visible light (also referred to as a transparent electrode). can be done.
  • the light transmittance of the transparent electrode is set to 40% or more.
  • an electrode having a transmittance of 40% or more for visible light (light having a wavelength of 400 nm or more and less than 750 nm) as the transparent electrode of the light emitting device.
  • the visible light reflectance of the semi-transmissive/semi-reflective electrode is 10% or more and 95% or less, preferably 30% or more and 80% or less.
  • the visible light reflectance of the reflective electrode is 40% or more and 100% or less, preferably 70% or more and 100% or less.
  • the resistivity of these electrodes is preferably 1 ⁇ 10 ⁇ 2 ⁇ cm or less.
  • a light-emitting device has at least a light-emitting layer.
  • layers other than the light-emitting layer include a substance with a high hole-injection property, a substance with a high hole-transport property, a hole-blocking material, a substance with a high electron-transport property, a substance with a high electron-injection property, and an electron block material.
  • a layer containing a material, a bipolar substance (a substance with high electron-transport properties and high hole-transport properties), or the like may be further included.
  • the light-emitting device has, in addition to the light-emitting layer, one or more of a hole injection layer, a hole transport layer, a hole blocking layer, a charge generation layer, an electron blocking layer, an electron transport layer, and an electron injection layer. can be configured.
  • Both low-molecular-weight compounds and high-molecular-weight compounds can be used in the light-emitting device, and inorganic compounds may be included.
  • Each of the layers constituting the light-emitting device can be formed by a vapor deposition method (including a vacuum vapor deposition method), a transfer method, a printing method, an inkjet method, a coating method, or the like.
  • the luminescent layer has one or more luminescent substances.
  • a substance emitting light of blue, purple, blue-violet, green, yellow-green, yellow, orange, red, or the like is used as appropriate.
  • a substance that emits near-infrared light can be used as the light-emitting substance.
  • Luminous materials include fluorescent materials, phosphorescent materials, TADF materials, and quantum dot materials.
  • fluorescent materials include pyrene derivatives, anthracene derivatives, triphenylene derivatives, fluorene derivatives, carbazole derivatives, dibenzothiophene derivatives, dibenzofuran derivatives, dibenzoquinoxaline derivatives, quinoxaline derivatives, pyridine derivatives, pyrimidine derivatives, phenanthrene derivatives, and naphthalene derivatives. mentioned.
  • Examples of phosphorescent materials include organometallic complexes (especially iridium complexes) having a 4H-triazole skeleton, 1H-triazole skeleton, imidazole skeleton, pyrimidine skeleton, pyrazine skeleton, or pyridine skeleton, and phenylpyridine derivatives having an electron-withdrawing group.
  • organometallic complexes especially iridium complexes
  • platinum complexes, rare earth metal complexes, and the like, which serve as ligands, can be mentioned.
  • the light-emitting layer may contain one or more organic compounds (host material, assist material, etc.) in addition to the light-emitting substance (guest material).
  • One or both of a highly hole-transporting substance (hole-transporting material) and a highly electron-transporting substance (electron-transporting material) can be used as the one or more organic compounds.
  • a highly hole-transporting substance hole-transporting material
  • a highly electron-transporting substance electron-transporting material
  • electron-transporting material a material having a high electron-transporting property that can be used for the electron-transporting layer, which will be described later, can be used.
  • Bipolar materials or TADF materials may also be used as one or more organic compounds.
  • the light-emitting layer preferably includes, for example, a phosphorescent material and a combination of a hole-transporting material and an electron-transporting material that easily form an exciplex.
  • ExTET Exciplex-Triplet Energy Transfer
  • a combination that forms an exciplex that emits light that overlaps with the wavelength of the absorption band on the lowest energy side of the light-emitting substance energy transfer becomes smooth and light emission can be efficiently obtained. With this configuration, high efficiency, low-voltage driving, and long life of the light-emitting device can be realized at the same time.
  • the hole-injecting layer is a layer that injects holes from the anode into the hole-transporting layer, and contains a material with high hole-injecting properties.
  • highly hole-injecting materials include aromatic amine compounds and composite materials containing a hole-transporting material and an acceptor material (electron-accepting material).
  • hole-transporting material a material having a high hole-transporting property that can be used for the hole-transporting layer, which will be described later, can be used.
  • oxides of metals belonging to groups 4 to 8 in the periodic table can be used.
  • Specific examples include molybdenum oxide, vanadium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, chromium oxide, tungsten oxide, manganese oxide, and rhenium oxide.
  • molybdenum oxide is particularly preferred because it is stable even in the atmosphere, has low hygroscopicity, and is easy to handle.
  • An organic acceptor material containing fluorine can also be used.
  • Organic acceptor materials such as quinodimethane derivatives, chloranil derivatives, and hexaazatriphenylene derivatives can also be used.
  • a material with a high hole-injection property a material containing a hole-transporting material and an oxide of a metal belonging to Groups 4 to 8 in the above-described periodic table (typically molybdenum oxide) is used. may be used.
  • the hole-transporting layer is a layer that transports holes injected from the anode to the light-emitting layer by means of the hole-injecting layer.
  • a hole-transporting layer is a layer containing a hole-transporting material.
  • the hole-transporting material a substance having a hole mobility of 1 ⁇ 10 ⁇ 6 cm 2 /Vs or more is preferable. Note that substances other than these can be used as long as they have a higher hole-transport property than electron-transport property.
  • hole-transporting materials include ⁇ -electron-rich heteroaromatic compounds (e.g., carbazole derivatives, thiophene derivatives, furan derivatives, etc.), aromatic amines (compounds having an aromatic amine skeleton), and other highly hole-transporting materials. is preferred.
  • ⁇ -electron-rich heteroaromatic compounds e.g., carbazole derivatives, thiophene derivatives, furan derivatives, etc.
  • aromatic amines compounds having an aromatic amine skeleton
  • other highly hole-transporting materials is preferred.
  • the electron blocking layer is provided in contact with the light emitting layer.
  • the electron blocking layer is a layer containing a material capable of transporting holes and blocking electrons.
  • a material having an electron blocking property can be used among the above hole-transporting materials.
  • the electron blocking layer has hole transport properties, it can also be called a hole transport layer. Moreover, the layer which has electron blocking property can also be called an electron blocking layer among hole transport layers.
  • the electron-transporting layer is a layer that transports electrons injected from the cathode to the light-emitting layer by the electron-injecting layer.
  • the electron-transporting layer is a layer containing an electron-transporting material.
  • an electron-transporting material a substance having an electron mobility of 1 ⁇ 10 ⁇ 6 cm 2 /Vs or more is preferable. Note that substances other than these substances can be used as long as they have a higher electron-transport property than hole-transport property.
  • electron-transporting materials include metal complexes having a quinoline skeleton, metal complexes having a benzoquinoline skeleton, metal complexes having an oxazole skeleton, metal complexes having a thiazole skeleton, oxadiazole derivatives, triazole derivatives, imidazole derivatives, ⁇ electron deficient including oxazole derivatives, thiazole derivatives, phenanthroline derivatives, quinoline derivatives with quinoline ligands, benzoquinoline derivatives, quinoxaline derivatives, dibenzoquinoxaline derivatives, pyridine derivatives, bipyridine derivatives, pyrimidine derivatives, and other nitrogen-containing heteroaromatic compounds
  • a material having a high electron transport property such as a type heteroaromatic compound can be used.
  • the hole blocking layer is provided in contact with the light emitting layer.
  • the hole-blocking layer is a layer containing a material that has electron-transport properties and can block holes.
  • a material having a hole-blocking property can be used among the above-described electron-transporting materials.
  • the hole-blocking layer can also be called an electron-transporting layer because it has electron-transporting properties. Moreover, among the electron transport layers, a layer having hole blocking properties can also be referred to as a hole blocking layer.
  • the electron injection layer is a layer that injects electrons from the cathode to the electron transport layer, and is a layer that contains a material with high electron injection properties.
  • Alkali metals, alkaline earth metals, or compounds thereof can be used as materials with high electron injection properties.
  • a composite material containing an electron-transporting material and a donor material (electron-donating material) can also be used as a material with high electron-injecting properties.
  • the LUMO level of the material with high electron injection properties has a small difference (specifically, 0.5 eV or less) from the value of the work function of the material used for the cathode.
  • the electron injection layer includes, for example, lithium, cesium, ytterbium, lithium fluoride (LiF), cesium fluoride (CsF), calcium fluoride (CaF x , X is an arbitrary number), 8-(quinolinolato)lithium (abbreviation: Liq), 2-(2-pyridyl)phenoratritium (abbreviation: LiPP), 2-(2-pyridyl)-3-pyridinolatritium (abbreviation: LiPPy), 4-phenyl-2-(2-pyridyl)pheno Alkali metals such as latolithium (abbreviation: LiPPP), lithium oxide (LiO x ), cesium carbonate, alkaline earth metals, or compounds thereof can be used.
  • the electron injection layer may have a laminated structure of two or more layers. Examples of the laminated structure include a structure in which lithium fluoride is used for the first layer and ytterbium is provided for the second layer.
  • the electron injection layer may have an electron-transporting material.
  • a compound having a lone pair of electrons and an electron-deficient heteroaromatic ring can be used as the electron-transporting material.
  • a compound having at least one of a pyridine ring, diazine ring (pyrimidine ring, pyrazine ring, pyridazine ring), and triazine ring can be used.
  • the lowest unoccupied molecular orbital (LUMO) level of an organic compound having an unshared electron pair is preferably -3.6 eV or more and -2.3 eV or less.
  • CV cyclic voltammetry
  • photoelectron spectroscopy optical absorption spectroscopy
  • inverse photoelectron spectroscopy etc. are used to determine the highest occupied molecular orbital (HOMO) level and LUMO level of an organic compound. can be estimated.
  • BPhen 4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline
  • NBPhen 2,9-di(naphthalen-2-yl)-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline
  • HATNA diquinoxalino [2,3-a:2′,3′-c]phenazine
  • TmPPPyTz 2,4,6-tris[3′-(pyridin-3-yl)biphenyl-3-yl]-1,3 , 5-triazine
  • the charge generation layer has at least a charge generation region as described above.
  • the charge generation region preferably contains an acceptor material, for example, preferably contains a hole transport material and an acceptor material applicable to the hole injection layer described above.
  • the charge generation layer preferably has a layer containing a material with high electron injection properties.
  • This layer can also be called an electron injection buffer layer.
  • the electron injection buffer layer is preferably provided between the charge generation region and the electron transport layer. Since the injection barrier between the charge generation region and the electron transport layer can be relaxed by providing the electron injection buffer layer, electrons generated in the charge generation region can be easily injected into the electron transport layer.
  • the electron injection buffer layer preferably contains an alkali metal or an alkaline earth metal, and can be configured to contain, for example, an alkali metal compound or an alkaline earth metal compound.
  • the electron injection buffer layer preferably has an inorganic compound containing an alkali metal and oxygen, or an inorganic compound containing an alkaline earth metal and oxygen. Lithium (Li 2 O), etc.) is more preferred.
  • the above materials applicable to the electron injection layer can be preferably used.
  • the charge generation layer preferably has a layer containing a material with high electron transport properties. Such layers may also be referred to as electron relay layers.
  • the electron relay layer is preferably provided between the charge generation region and the electron injection buffer layer. If the charge generation layer does not have an electron injection buffer layer, the electron relay layer is preferably provided between the charge generation region and the electron transport layer.
  • the electron relay layer has a function of smoothly transferring electrons by preventing interaction between the charge generation region and the electron injection buffer layer (or electron transport layer).
  • a phthalocyanine-based material such as copper (II) phthalocyanine (abbreviation: CuPc), or a metal complex having a metal-oxygen bond and an aromatic ligand.
  • charge generation region the electron injection buffer layer, and the electron relay layer described above may not be clearly distinguishable depending on their cross-sectional shape or characteristics.
  • the charge generation layer may have a donor material instead of the acceptor material.
  • the charge-generating layer may have a layer containing an electron-transporting material and a donor material, which are applicable to the electron-injecting layer described above.
  • a display device and a display module of one embodiment of the present invention can be applied to a display portion of an electronic device or the like having a display function.
  • electronic devices include electronic devices with relatively large screens, such as televisions, notebook personal computers, monitor devices, digital signage, pachinko machines, and game machines, as well as digital cameras, digital video cameras, Examples include digital photo frames, mobile phones, mobile game machines, mobile information terminals, and sound reproducing devices.
  • the display device and the display module of one embodiment of the present invention can increase definition, they can be suitably used for electronic devices having a relatively small display portion.
  • electronic devices include wristwatch-type and bracelet-type information terminals (wearable devices), devices for VR such as head-mounted displays, and wearable devices that can be worn on the head, such as glasses-type devices for AR. is mentioned.
  • FIG. 25A shows a perspective view of a glasses-type electronic device 700.
  • the electronic device 700 has a pair of display panels 701, a pair of housings 702, a pair of optical members 703, a pair of mounting portions 704, and the like.
  • the electronic device 700 can project an image displayed on the display panel 701 onto the display area 706 of the optical member 703 . Further, since the optical member 703 has translucency, the user can see the image displayed in the display area 706 superimposed on the transmitted image visually recognized through the optical member 703 . Therefore, the electronic device 700 is an electronic device capable of AR display.
  • one housing 702 is provided with a camera 705 capable of imaging the front.
  • one of the housings 702 is provided with a wireless receiver or a connector to which a cable can be connected, and a video signal or the like can be supplied to the housing 702 .
  • an acceleration sensor such as a gyro sensor in the housing 702 , it is possible to detect the orientation of the user's head and display an image corresponding to the orientation in the display area 706 .
  • a battery is preferably provided in the housing 702 and can be charged wirelessly or by wire.
  • a display panel 701 , a lens 711 , and a reflector 712 are provided inside the housing 702 .
  • a portion corresponding to the display area 706 of the optical member 703 has a reflecting surface 713 functioning as a half mirror.
  • Light 715 emitted from the display panel 701 passes through the lens 711 and is reflected by the reflector 712 toward the optical member 703 . Inside the optical member 703 , the light 715 repeats total reflection at the end face of the optical member 703 and reaches the reflecting surface 713 , whereby an image is projected onto the reflecting surface 713 . Thereby, the user can visually recognize both the light 715 reflected by the reflecting surface 713 and the transmitted light 716 transmitted through the optical member 703 (including the reflecting surface 713).
  • FIG. 25 shows an example in which the reflecting plate 712 and the reflecting surface 713 each have a curved surface.
  • the degree of freedom in optical design can be increased and the thickness of the optical member 703 can be reduced compared to when these are flat surfaces.
  • the reflecting plate 712 and the reflecting surface 713 may be flat.
  • a member having a mirror surface can be used as the reflector 712, and it is preferable that the reflectance is high.
  • the reflecting surface 713 a half mirror using reflection of a metal film may be used, but if a prism or the like using total reflection is used, the transmittance of the transmitted light 716 can be increased.
  • the housing 702 preferably has a mechanism for adjusting the distance between the lens 711 and the display panel 701 or the angle between them. This makes it possible to pin and adjust, enlarge or reduce the image, and the like.
  • the lens 711 and the display panel 701 may be configured to be movable in the optical axis direction.
  • the housing 702 preferably has a mechanism capable of adjusting the angle of the reflector 712 .
  • the angle of the reflector 712 By changing the angle of the reflector 712, it is possible to change the position of the display area 706 where the image is displayed. This makes it possible to arrange the display area 706 at an optimum position according to the position of the user's eyes.
  • a display device or a display module of one embodiment of the present invention can be applied to the display panel 701 . Therefore, the electronic device 700 can display images with extremely high definition.
  • FIG. 26A and 26B show perspective views of a goggle-type electronic device 750.
  • FIG. 26A is a perspective view showing the front, top, and left side of electronic device 750
  • FIG. 26B is a perspective view showing the rear, bottom, and right side of electronic device 750.
  • FIG. 26A is a perspective view showing the front, top, and left side of electronic device 750
  • FIG. 26B is a perspective view showing the rear, bottom, and right side of electronic device 750.
  • the electronic device 750 has a pair of display panels 751, a housing 752, a pair of mounting portions 754, a buffer member 755, a pair of lenses 756, and the like.
  • the pair of display panels 751 are provided inside the housing 752 at positions where they can be visually recognized through the lens 756 .
  • the electronic device 750 is an electronic device for VR.
  • a user wearing the electronic device 750 can visually recognize an image displayed on the display panel 751 through the lens 756 .
  • By displaying different images on the pair of display panels 751, three-dimensional display using parallax can be performed.
  • An input terminal 757 and an output terminal 758 are provided on the rear side of the housing 752 .
  • the input terminal 757 can be connected to a video signal from a video output device or the like, or a cable for supplying power or the like for charging a battery provided in the housing 752 .
  • the output terminal 758 functions as an audio output terminal, for example, and can be connected to earphones, headphones, or the like. Note that the audio output terminal does not need to be provided when the configuration is such that audio data can be output by wireless communication, or when audio is output from an external video output device.
  • the housing 752 preferably has a mechanism for adjusting the left and right positions of the lens 756 and the display panel 751 so that they are optimally positioned according to the position of the user's eyes. . Moreover, it is preferable to have a mechanism for adjusting the focus by changing the distance between the lens 756 and the display panel 751 .
  • the display device or display module of one embodiment of the present invention can be applied to the display panel 751 . Therefore, the electronic device 750 can display images with extremely high definition. This allows the user to feel a high sense of immersion.
  • the cushioning member 755 is the part that contacts the user's face (forehead, cheeks, etc.). Since the cushioning member 755 is in close contact with the user's face, it is possible to prevent light leakage and enhance the sense of immersion. It is preferable to use a soft material for the cushioning member 755 so that the cushioning member 755 is in close contact with the user's face when the electronic device 750 is worn by the user.
  • a soft material for the cushioning member 755 so that the cushioning member 755 is in close contact with the user's face when the electronic device 750 is worn by the user.
  • materials such as rubber, silicone rubber, urethane, and sponge can be used. If a sponge or the like whose surface is covered with cloth or leather (natural leather or synthetic leather) is used, it is difficult to create a gap between the user's face and the cushioning member 755, and light leakage can be suitably prevented. can be done.
  • a member that touches the user's skin is preferably detachable for easy cleaning or replacement.
  • This embodiment can be implemented by appropriately combining at least part of it with other embodiments described herein.
  • Example 1 In this example, a display panel of one embodiment of the present invention was manufactured.
  • the display panel was fabricated by using a single-crystal silicon substrate as a substrate and stacking a single-crystal silicon transistor, a wiring layer, an oxide semiconductor transistor (OS transistor), and a light-emitting element in this order.
  • a white light emitting element having a B ⁇ Y tandem structure in which a light emitting layer emitting blue (B) light and a light emitting layer emitting yellow (Y) light were stacked was used.
  • a protective layer was formed over the light-emitting element, and a color filter and a lens were formed over the protective layer.
  • the manufactured display panel had a display area size of 0.51 inches diagonally, a resolution of 1920 ⁇ 1920 pixels, a pixel size of 4.8 ⁇ m, and a pixel density of 5291 ppi.
  • the light emitting element is of top emission type.
  • FIG. 27A shows a cross-sectional observation image of the manufactured display device.
  • FIG. 27A shows cross sections of light-emitting elements corresponding to blue, red, green, blue, and red pixels in order from the left. Let the area between red and green be area RG, the area between green and blue be area GB, and the area between blue and red be area BR.
  • FIGS. 27B, 27C, and 27D show enlarged images of the regions RG, GB, and BR, respectively.
  • a reflective electrode also referred to as a conductive layer
  • an optical adjustment layer also referred to as a conductive layer
  • a partition wall also referred to as an insulating layer covering ends of the reflective electrode and the optical adjustment layer
  • an EL layer A layer and a common electrode also called a conductive layer
  • the EL layer has a portion that is thinner than other portions in the region overlapping with the partition wall.
  • the minimum value was 24.4 nm and the maximum value was 49.8 nm.
  • the thickness of the EL layer in the portion overlapping with the pixel electrode and the partition wall is about 200 nm, it can be confirmed that the EL layer has a thickness of about 12.2% to 24.9%. rice field.
  • FIG. 28 shows a top observation image of one light emitting element.
  • a region enclosed by a dashed line corresponds to the light emitting region.
  • the shape of the light emitting region is an ellipse with a length of about 1.5 ⁇ m and a width of about 1.8 ⁇ m.
  • the aperture ratio was about 25.9%.
  • FIG. 29 shows a chromaticity diagram.
  • the chromaticity coordinates of the manufactured display panel during red light emission are indicated by square markers
  • the chromaticity coordinates during green light emission are indicated by round markers
  • the chromaticity coordinates during blue light emission are indicated by triangular markers. showing.
  • the DCI-P3 coverage of the display panel was 87.4%.
  • FIGS. 30A and 30B show the measurement results of the spectrum of the display panel.
  • the wavelength dependence of the spectral radiant intensity was measured with all pixels of the display panel displayed in red (R), green (G), and blue (B), respectively.
  • FIG. 30A is the spectrum when displayed at 100 cd/m 2
  • FIG. 30B is the spectrum when displayed at 1 cd/m 2 .
  • FIGS. 30A and 30B almost no color mixture was confirmed, and it was confirmed that extremely high contrast and color rendering properties were achieved.

Landscapes

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Abstract

精細度の高い表示装置を提供する。低消費電力な表示装置を提供する。輝度の高い表示装置を提供する。開口率の高い表示装置を提供する。 第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられる。第2の配線は、第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられる。第3の配線は、定電位が与えられる。また、第1の配線と、画素電極とは、第3の配線を介して重ねて設けられる。絶縁層は、画素電極の上面の一部に接する部分と、画素電極の側面に接する部分と、を有する。EL層は、画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、絶縁層上に位置する第2の部分と、を有する。第2の部分は、厚さが第1の部分の半分以下である領域を有する。

Description

表示装置
 本発明の一態様は、表示装置に関する。本発明の一態様は、表示装置を備える電子機器に関する。
 なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、電子機器、照明装置、入力装置、入出力装置、それらの駆動方法、又はそれらの製造方法、を一例として挙げることができる。半導体装置は、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。
 近年、ディスプレイパネルの高精細化が進められている。高精細なディスプレイパネルが要求される機器として、例えば仮想現実(VR:Virtual Reality)、または拡張現実(AR:Augmented Reality)向けの機器が、近年盛んに開発されている。
 また、ディスプレイパネルに適用可能な表示装置としては、代表的には液晶表示装置、有機EL(Electro Luminescence)素子または発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)等の発光素子を備える発光装置、電気泳動方式などにより表示を行う電子ペーパなどが挙げられる。
 有機EL素子の基本的な構成は、一対の電極間に発光性の有機化合物を含む層を挟持したものである。この素子に電圧を印加することにより、発光性の有機化合物から発光を得ることができる。このような有機EL素子が適用された表示装置は、液晶表示装置等で必要であったバックライトが不要なため、薄型、軽量、高コントラストで且つ低消費電力な表示装置を実現できる。例えば、有機EL素子を用いた表示装置の一例が、特許文献1に記載されている。
特開2002−324673号公報
 上述したVRまたはAR向けの装着型の機器では、目とディスプレイパネルとの間に焦点調整用のレンズを設ける必要がある。当該レンズにより画面の一部が拡大されるため、ディスプレイパネルの精細度が低いと、現実感及び没入感が薄れてしまうといった問題がある。
 また、バッテリーにより駆動する機器の場合では、連続使用が可能な時間を長くするために、ディスプレイパネルの消費電力を低減することが求められる。また特にAR向けの透過型の機器では、外光に重ねて画像を表示するために、高い輝度が求められる。
 本発明の一態様は、精細度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、低消費電力の表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、輝度の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、開口率の高い表示装置を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、信頼性の高い表示装置を提供することを課題の一とする。
 本発明の一態様は、新規な表示装置、表示モジュール、または電子機器を提供することを課題の一とする。または、上述した表示装置を歩留まりよく製造する方法を提供することを課題の一とする。本発明の一態様は、先行技術の問題点の少なくとも一を、少なくとも軽減することを課題の一とする。
 なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
 本発明の一態様は、第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、EL層と、絶縁層と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられる。第2の配線は、第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられる。第3の配線は、定電位が与えられる。また、第1の配線と、画素電極とは、第3の配線を介して重ねて設けられる。絶縁層は、画素電極の上面の一部に接する部分と、画素電極の側面に接する部分と、を有する。EL層は、画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、絶縁層上に位置する第2の部分と、を有する。第2の部分は、厚さが第1の部分の半分以下である領域を有する。
 また、本発明の他の一態様は、第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、EL層と、絶縁層と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられる。第2の配線は、第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられる。第3の配線は、第1の電位が与えられる。第1の配線と、画素電極とは、第3の配線を介して重ねて設けられる。第1のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第1の配線と電気的に接続され、ゲートが第2の配線と電気的に接続される。第2のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が画素電極と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第3の配線と電気的に接続される。また、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタは、それぞれ第1の方向に電流が流れる半導体層を有する。絶縁層は、画素電極の上面の一部に接する部分と、画素電極の側面に接する部分と、を有する。EL層は、画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、絶縁層上に位置する第2の部分と、を有する。第2の部分は、厚さが第1の部分の半分以下である領域を有する。
 また、本発明の他の一態様は、第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、EL層と、絶縁層と、を有する表示装置である。第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられる。第2の配線は、第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられる。第3の配線は、第1の電位が与えられる。第1の配線と、画素電極とは、第3の配線を介して重ねて設けられる。第1のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第1の配線と電気的に接続され、ゲートが第2の配線と電気的に接続される。第2のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が画素電極と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第3の配線と電気的に接続される。第1のトランジスタ及び第2のトランジスタは、それぞれ第2の方向に電流が流れる半導体層を有する。絶縁層は、画素電極の上面の一部に接する部分と、画素電極の側面に接する部分と、を有する。EL層は、画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、絶縁層上に位置する第2の部分と、を有する。第2の部分は、厚さが第1の部分の半分以下である領域を有する。
 また、上記において、複数のダミー層を有することが好ましい。このとき、ダミー層は、半導体層と同一の半導体材料を含み、ダミー層は、半導体層と上面形状が概略同一である部分を有することが好ましい。さらに、複数のダミー層及び半導体層は、第2の方向または第1の方向に等間隔に配置されることが好ましい。
 また、上記いずれかにおいて、第4の配線と、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、を有することが好ましい。第3のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第4の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が第2のトランジスタのゲートと電気的に接続される。第4のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が第4の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が画素電極と電気的に接続される。また、第4の配線は、第1の電位よりも低い第2の電位が与えられる。
 また、上記いずれかにおいて、第5のトランジスタを有することが好ましい。第5のトランジスタは、シリコンにチャネルが形成されるトランジスタである。また、上記半導体層は、インジウム及び亜鉛の一方または双方を含む。さらに、第1のトランジスタ及び第2のトランジスタは、第5のトランジスタの上方に設けられることが好ましい。
 また、上記いずれかにおいて、第3の配線は、格子状の上面形状を有することが好ましい。このとき、第1の方向に延在する第3の部分と、第2の方向に延在する第4の部分と、を有することが好ましい。さらに、画素電極と、第1の配線とは、第3の部分を介して重ねて設けられることが好ましい。
 また、上記いずれかにおいて、画素電極を複数有することが好ましい。画素電極上には発光領域を有する。複数の発光領域は、平面視において、1つの発光領域が6つの発光領域に囲まれるように配列されることが好ましい。
 また、上記において、発光領域は、概略六角形の上面形状を有することが好ましい。さらに発光領域は、6つの角のうち対向する2つの角における内角が120度よりも大きく、残りの4つの角における内角が120度未満である、上面形状を有することが好ましい。
 または、上記において、発光領域は、概略六角形の上面形状を有することが好ましい。さらに、画素電極は、6つの内角が全て120度であり、6つの辺のうち対向する2つの辺の長さが一致し、且つ、他の4つの辺の長さが一致する、上面形状を有することが好ましい。
 また、上記いずれかにおいて、隣接する3つの発光領域は、二等辺三角形の頂点に位置するように配置されることが好ましい。
 また、本発明の一態様は、上記いずれかの表示装置と、コネクターまたは集積回路と、を有する、表示モジュールである。
 また、本発明の一態様は、上記表示モジュールと、アンテナ、バッテリー、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、タッチセンサ、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器である。
 本発明の一態様によれば、精細度の高い表示装置を提供できる。または、低消費電力な表示装置を提供できる。または、輝度の高い表示装置を提供できる。または、開口率の高い表示装置を提供できる。または、信頼性の高い表示装置を提供できる。
 また、本発明の一態様によれば、新規な表示装置、表示モジュール、または電子機器などを提供できる。または、上述した表示装置を歩留まりよく製造する方法を提供できる。または、先行技術の問題点の少なくとも一を、少なくとも軽減することができる。
 なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から抽出することが可能である。
図1A乃至図1Cは、表示装置の構成例を示す図である。
図2は、表示装置の構成例を示す図である。
図3A乃至図3Eは、表示装置の構成例を示す図である。
図4A乃至図4Eは、表示装置の構成例を示す図である。
図5A乃至図5Eは、表示装置の構成例を示す図である。
図6A乃至図6Dは、表示装置の構成例を示す図である。
図7は、表示装置の構成例を示す図である。
図8A乃至図8Fは、表示装置の構成例を示す図である。
図9A乃至図9Fは、表示装置の構成例を示す図である。
図10A乃至図10Dは、表示装置の構成例を示す回路図である。
図11A乃至図11Dは、表示装置の構成例を示す回路図である。
図12は、表示装置の駆動方法例を示すタイミングチャートである。
図13は、表示装置の構成例を示す図である。
図14は、表示装置の構成例を示す図である。
図15A乃至図15Dは、表示装置の構成例を示す図である。
図16は、表示装置の構成例を示す図である。
図17は、表示装置の構成例を示す図である。
図18は、表示装置の構成例を示す図である。
図19A乃至図19Dは、保護回路の構成例を示す回路図である。
図20A及び図20Bは、表示装置の構成例を示す図である。
図21は、表示装置の構成例を示す図である。
図22A乃至図22Cは、表示装置の構成例を示す図である。
図23A乃至図23Fは、発光デバイスの構成例を示す図である。
図24A乃至図24Cは、発光デバイスの構成例を示す図である。
図25A及び図25Bは、電子機器の構成例を示す図である。
図26A及び図26Bは、電子機器の構成例を示す図である。
図27A乃至図27Dは、実施例にかかる表示パネルの断面像である。
図28は、実施例にかかる表示パネルの上面像である。
図29は、実施例にかかる色度図である。
図30A及び図30Bは、実施例にかかるスペクトルの測定結果である。
 以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
 なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチングパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
 なお、本明細書で説明する各図において、各構成要素の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
 なお、本明細書等における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
 なお、本明細書等において、ある構成要素の「上面形状」とは、当該構成要素の平面視における輪郭形状のことを言う。また平面視とは、当該構成要素の被形成面、または当該構成要素が形成される支持体(例えば基板)の表面の法線方向から見ることを言う。
 なお、本明細書等において「上面形状が概略一致」とは、積層した層と層との間で少なくとも輪郭の一部が重なることをいう。例えば、上層と下層とが、同一のマスクパターン、または一部が同一のマスクパターンにより加工された場合を含む。ただし、厳密には輪郭が重なり合わず、上層が下層の内側に位置すること、または上層が下層の外側に位置することもあり、この場合も「上面形状が概略一致」という場合がある。
 なお、以下では「上」、「下」などの向きを示す表現は、基本的には図面の向きと合わせて用いるものとする。しかしながら、説明を容易にするためなどの目的で、明細書中の「上」または「下」が意味する向きが、図面とは一致しない場合がある。一例としては、積層体等の積層順(または形成順)などを説明する場合に、図面において当該積層体が設けられる側の面(被形成面、支持面、接着面、平坦面など)が当該積層体よりも上側に位置していても、その向きを下、これとは反対の向きを上、などと表現する場合がある。
 なお、本明細書において、EL層とは発光素子の一対の電極間に設けられ、少なくとも発光性の物質を含む層(発光層とも呼ぶ)、または発光層を含む積層体を示すものとする。
 本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
 また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)もしくはTCP(Tape Carrier Package)などのコネクターが取り付けられたもの、または基板にCOG(Chip On Glass)方式等によりICが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、または単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
(実施の形態1)
 本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の構成例について説明する。
 本発明の一態様は、マトリクス状に配列した複数の画素を有する表示装置である。表示装置は、ソース信号(ビデオ信号、データ信号などともいう)が供給される複数のソース線(第1の配線)と、ゲート信号(スキャン信号、走査信号などともいう)が供給される複数のゲート線(第2の配線)と、を有する。ソース線は第1の方向に延伸するように設けられ、ゲート線は第1の方向と交差する第2の方向に延伸するように設けられる。
 画素は、一のソース線と一のゲート線の交差部に対応して設けられる。画素は、一以上の表示素子と、一以上のトランジスタを有する。画素は、表示素子の電極として機能する画素電極を有する。
 ここで、ソース線、ゲート線、またはそれ以外の配線に供給される信号に起因する電気的ノイズが画素電極に伝搬すると、画素電極の電位が変化し、画素の階調が意図した値からずれてしまう恐れがある。その結果、表示装置が表示する画像の表示品位が損なわれてしまう。特にソース線は、ゲート線に比べて入力される信号の周波数が高く、画素電極の電位への影響が大きい。
 このようなソース線と画素電極との電気的なクロストークを低減する対策としては、画素電極とソース線とを物理的に離すことが考えられる。特に、ソース線と画素電極とを、互いに重畳させないことが、当該クロストークの低減に効果的である。しかしながらこの方法では、画素電極の大きさを縮小せざるを得ず、表示装置の開口率(有効発光面積率)の低下を招いてしまう。
 そこで本発明の一態様では、ソース線と画素電極とを、定電位が与えられる配線(第3の配線)を介して重畳させる。これにより、ソース線からの電気的なノイズは第3の配線により遮蔽され、画素電極に伝搬することを抑制することができる。そのため、画素電極の面積を拡大でき、表示装置の開口率を高めることができる。
 第3の配線は、画素に定電位を供給する配線であることが好ましい。例えば、表示素子として有機EL素子を用いた場合には、第3の配線は、有機EL素子にアノード電位またはカソード電位を供給するための配線と兼ねることができる。また、第3の配線は、電源電位(高電源電位(VDD)、または低電源電位(VSS)など)を画素に供給するための配線と兼ねることができる。
 第3の配線は、ソース線の延伸方向である第1の方向に沿って伸びるストライプ状の上面形状とすることができる。また、第3の配線は、第2の方向に沿う部分を有していてもよく、第1の方向と第2の方向のそれぞれに沿う部分を有する格子状の上面形状を有していてもよい。
 また、画素を高密度に配置した場合、隣接する発光素子間の距離を小さくする必要がある。ここで、白色発光の発光素子とカラーフィルタを用いてカラー表示を行う構成は、隣接する発光素子間で発光性の化合物を含む層(EL層)を共通にできるため、EL層を作り分ける必要がなく、高精細化に適しているといえる。しかしながら、隣接する発光素子間の距離が小さい場合には、EL層を介して隣接画素間でリーク電流が流れることにより、意図しない発光が生じてしまう場合がある。その結果、色再現性の低下、色ずれ、及びコントラストの低下などが生じる。
 そこで、本発明の一態様は、隣接画素間において、EL層が薄い領域を形成し、EL層を介したリーク電流を抑制する。または、隣接画素間において、EL層が分断される領域を形成し、EL層を介したリーク電流を防止する。このとき、EL層となる有機層などを成膜したときに、自己整合的(セルフアラインともいう)に、EL層が薄膜化、または分断する構成を用いる。これにより、工程を増やすことなく、EL層を介したリーク電流を抑制または防止でき、色再現性、及びコントラストの高い表示装置を実現できる。
 具体的には、画素電極の端部を覆う絶縁層(隔壁ともいう)の上面を、凹状になるように形成する。このとき、絶縁層のEL層と接する面の一部が、概略垂直になるように形成する。具体的には、絶縁層のEL層と接する面の一部が、基板面、または画素電極の上面に対して、70度以上120度以下、好ましくは75度以上115度以下、より好ましくは80度以上110度以下とする。例えば、画素電極を、側面が概略垂直になるように加工し、当該画素電極の側面を被覆するように絶縁層を形成することにより、作製することができる。このような絶縁層を用いることで、当該絶縁層上に形成されるEL層は、自己整合的に薄い部分が形成される、または分断される。
 例えば、EL層は、絶縁層と重畳する領域において、他の領域よりも局所的に厚さの薄い部分を有する。具体的には、EL層は、絶縁層と重なる部分において、画素電極と重なる部分の厚さに対して、半分以下、好ましくは40%以下、さらに好ましくは30%以下であって、0%より大きい厚さの領域を有する。これにより、隣接する発光素子間にEL層を介して流れる電流を抑制することができる。
 このような構成とすることで、ソース線をはじめとする各配線と、画素電極との間の電気的なクロストークの影響を抑制でき、画素電極と各配線とを自由に重畳して配置することが可能となるだけでなく、隣接する発光素子間のリーク電流を抑制することができるため、極めて高精細な表示装置を実現することができる。例えば、精細度が1000ppi以上、2000ppi以上、3000ppi以上、4000ppi以上、または5000ppi以上であって、30000ppi以下、20000ppi以下、または15000ppi以下である表示装置を実現することができる。
 以下では、より具体的な例について、図面を参照して説明する。
[構成例1]
 図1Aに、表示装置10の一つの副画素の積層構造を示す斜視概略図を示す。副画素は、画素回路11、発光素子12、配線21、配線22、及び配線23を有する。発光素子12は、画素電極24を有する。また図1Aには、X方向、Y方向、Z方向をそれぞれ示している。X方向、Y方向、Z方向はそれぞれ直交した方向である。
 配線21は、ソース線として機能する配線であり、Y方向に延伸している。配線22は、ゲート線として機能する配線であり、X方向に延伸している。配線23は、定電位が供給される配線であり、Y方向に延伸する部分を有する。
 発光素子12は、画素電極24の内側に設けられる。発光素子12としては、例えば一対の電極間に発光性の物質を含む層(EL層ともいう)が挟持され、一対の電極間に流れる電流により発光する、電界発光素子を好適に用いることができる。特にEL層に発光性の有機化合物を用いた有機EL素子を適用することが好ましい。
 画素回路11は、発光素子12に流れる電流を制御するための回路である。画素回路11は、1つ以上のトランジスタを有することが好ましい。
 画素電極24と配線21とは、平面視において、互いに重畳する領域を有する。さらに、画素電極24と配線21とは、配線23を介して重畳している。このように、定電位が供給される配線23が、画素電極24と配線21との間に配置されることで、画素電極24を配線21と重畳させて配置したとしても、配線21による電気的なノイズが、配線23で遮蔽され、画素電極24に伝搬することを防ぐことができる。これにより、画素電極24の面積を拡大できることに伴い、発光素子12の発光面積を拡大でき、表示装置10の開口率(有効発光面積比)を高めることができる。
 ここで、平面視とは、表示装置10の表示面側から見る場合をいうこととする。
 図1Bでは、配線23を設けない場合の表示装置10Xの例を示している。このとき、配線21からの電気的ノイズが、その上方に位置する画素電極24に伝搬し、画素電極24の電位が変化することで、発光素子12の発光輝度の階調ずれが生じる恐れがある。
 また、図1Cは、画素電極24のX方向の幅を縮小し、配線21と重畳しないように配置した場合の表示装置10Yの例である。このとき、配線21からの電気的ノイズによるクロストークの発生は抑制できる一方、発光素子12の発光面積が小さくなるため、表示装置10の開口率が低減してしまう。
 このように、本発明の一態様の表示装置10は、高い精細度と、高い開口率を実現することができる。また、開口率を高めることができるため、輝度を高めることができる。また、所望の輝度に必要な電流を小さくできるため、消費電力の低い、また、発光素子の劣化が抑制された表示装置を実現できる。
[構成例2]
 以下では、より具体的な画素の構成例について説明する。
〔構成例2−1〕
 図2に、表示装置10Aが有する画素20の上面概略図を示す。画素20は、副画素20R、副画素20G、及び副画素20Bを有する。表示装置10Aは、画素20を複数有し、画素20は、X方向及びY方向に周期的に配置される。
 副画素20Rは、赤色の光を発する発光素子12Rを有する。副画素20Gは、緑色の光を発する発光素子12Gを有する。副画素20Bは、青色の光を発する発光素子12Bを有する。
 発光素子12R、発光素子12G、及び発光素子12Bは、それぞれ異なる発光材料を含む構成としてもよいし、それぞれ白色発光の発光素子とカラーフィルタとを組み合わせた構成としてもよいし、青色または紫色の発光素子と色変換材料(量子ドットなど)とを組み合わせた構成としてもよい。
 図3A乃至図3Eには、それぞれ図2に示した画素20が有する一つの副画素20Xを抜き出した上面概略図を示している。副画素20Xは、副画素20R、副画素20G、及び副画素20Bに適用することができる。なおここでは、発光素子を省略している。
 図3Bでは、図3Aに示す画素電極24を破線で輪郭のみ明示し、配線23の上面形状の一例が示されている。
 配線23は、発光素子12への電源供給線として機能し、定電位が与えられる。画素電極24がアノードとして機能する場合には、配線23に高電源電位が与えられ、カソードとして機能する場合には、低電源電位が与えられる。
 図3Bに示すように、配線23はY方向に延伸する部分だけでなく、X方向に延伸する部分も有することが好ましい。これにより、配線23を格子状の上面形状とすることができるため、ストライプ状の上面形状である場合と比較して電気抵抗が下がり、電圧降下の影響を抑制することができる。
 図3Cでは、図3Bでの配線23を破線で輪郭のみ明示している。図3Cには、配線22と、当該配線22と同一の導電膜を加工して形成された導電層とを、同一のハッチングパターンを付して示している。同様に、図3Cには、配線21と、当該配線21と同一の導電膜を加工して形成された導電層とを、同一のハッチングパターンを付して示している。
 図3Dでは、図3Cでの配線21及びこれと同一の導電膜を加工して形成された導電層を、破線で輪郭のみ明示している。また、図3Eでは、図3Dでの配線22及びこれと同一の導電膜を加工して形成された導電層を、破線で輪郭のみ明示している。
 図3C及び図3Dには、トランジスタ30a、トランジスタ30bが示されている。また図3Dには、トランジスタ30aが有する半導体層31aと、トランジスタ30bが有する半導体層31bとが示されている。トランジスタ30aは、副画素の選択・非選択を制御する、選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタ30bは、発光素子に流れる電流を制御する、駆動トランジスタとして機能する。
 トランジスタ30aは、配線22の一部がゲートを構成し、ソース及びドレインの一方が配線21と電気的に接続され、他方がトランジスタ30bのゲートと電気的に接続されている。トランジスタ30bは、ソース及びドレインの一方が配線23と電気的に接続され、他方が画素電極24と電気的に接続されている。
 ここでは、半導体層31aと半導体層31bのそれぞれの上面形状が、コンタクト部が配置される一対の太い部分と、チャネルとして形成される細い部分と、を有する例を示している。このように、2つのトランジスタの半導体層を、概略同一の上面形状となるように形成することで、それぞれの電気特性を揃えることができ、設計が容易になるため好ましい。なお、同一パターンの半導体層を組み合わせて所望の電気特性が得られるトランジスタを構成してもよい。例えば、一方のトランジスタのチャネル幅が他方のトランジスタの整数倍となるように、複数の半導体層を並列に配置して接続する構成としてもよい。また、一方のトランジスタのチャネル長が他方のトランジスタの整数倍になるように、複数の半導体層を直列に配置して接続する構成としてもよい。
 また、表示装置10Aでは、トランジスタ30aが有する半導体層31a、及びトランジスタ30bが有する半導体層31bは、それぞれ、Y方向、すなわち配線21の延伸方向に平行な向きに電流が流れるように配置されている。言い換えると、トランジスタ30aとトランジスタ30bとは、それぞれチャネル長方向がY方向に平行であり、チャネル幅方向がX方向に平行であるように、配置されている。このように、画素を構成する複数のトランジスタについて、電流の流れる向きを揃えることで、電気特性のばらつきを抑制し、設計を容易にできるため好ましい。
 ここで、図3D等に示すように、複数のダミー層32が設けられていることが好ましい。ダミー層32は、半導体層31a及び半導体層31bと同一の膜を加工して形成され、これらと同一の組成を示す膜とすることができる。なお、図3A乃至図3Eでは、半導体層31a及び半導体層31bと、ダミー層32とを区別するために、これらに異なるハッチングパターンを付して示している。
 ダミー層32の上面形状は、半導体層31a及び半導体層31bの上面形状と同一、またはこれを周期的に組み合わせた形状であることが好ましい。表示装置10Aでは、ダミー層32の一つが、2以上の太い部分と、隣接する2つの太い部分をY方向に繋ぐ細い部分と、を有する上面形状を有する。それぞれのダミー層32は、長手方向がY方向に平行になるように配置されている。また、一つのダミー層32が、Y方向に配列する複数の画素にわたって配置されている。
 このように、半導体層31a及び半導体層31bが設けられない領域に、ダミー層32を配置することで、半導体層31a及び半導体層31bの加工形状のばらつきを低減でき、その結果、トランジスタ30a及びトランジスタ30bの電気特性のばらつきを低減することができる。なお、ダミー層とは、製造プロセスの安定化、加工ばらつきの低減などの目的で、空いたスペースに設けられる層であり、基本的には回路を構成する構成要素として考慮しない層である。そのため、ダミー層は、電気的にフローティングとするか、または、定電圧が与えられる。なお、半導体層以外の層においても、ダミー層を設けることが好ましい。
 ダミー層32は、半導体層31a及び半導体層31bが設けられていない領域に、可能な限り敷き詰めるように配置することが好ましい。表示装置10Aでは、配線21が設けられる領域を避けてダミー層32を配置した例を示すが、配線21と重ねてダミー層32を配置してもよい。
 なお、ここでは、一つの副画素に2つのトランジスタを配置する例を示したが、これに限られず、3つ以上のトランジスタを配置する構成としてもよい。このとき、副画素に設けられる全てのトランジスタについて、半導体層を同一のパターンとし、且つ、半導体層に流れる電流の向きを揃えることが好ましい。
 以上が、構成例2−1についての説明である。
 以下では、上記とは一部の構成が異なる構成例について、図面を参照して説明する。なお、以下では上記と重複する部分については説明を省略する場合がある。また、以下で示す図面において、同一の機能を有する構成については、同一のハッチングパターン及び符号を付し、説明を省略する場合もある。
〔構成例2−2〕
 図4A乃至図4Eには、表示装置10Bが有する副画素20Xの上面概略図を示している。表示装置10Bは、半導体層31a、半導体層31b、及びダミー層32の向きが異なる点で、上記表示装置10Aと主に相違している。
 半導体層31a及び半導体層31bは、それぞれX方向、すなわち配線22の延伸方向に平行な向きに電流が流れるように配置されている。言い換えると、トランジスタ30aとトランジスタ30bとは、それぞれチャネル長方向がX方向に平行であり、チャネル幅方向がY方向に平行であるように、配置されている。
 また、ダミー層32は、長手方向がX方向に平行になるように配置されている。ダミー層32は、X方向に配列する複数の画素にわたって配置されている。
 なお、表示装置10Bでは、ダミー層32が配線21と重なる部分を有するように設けられている例を示している。
〔構成例2−3〕
 図5A乃至図5Eには、表示装置10Cが有する副画素20Xの上面概略図を示している。表示装置10Cは、ダミー層32を有さない点で、上記表示装置10Aと主に相違している。
 なお、上記構成例2−2で例示した表示装置10Bについても、表示装置10Cと同様にダミー層32を設けない構成としてもよい。
[構成例3]
 以下では、上記構成例2とは異なる表示装置の構成例について説明する。なお、上記と重複する部分については、同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
〔画素の配置例〕
 図6Aには、表示装置10Dの一部の上面概略図を示している。図6Aには、6つの発光素子の配列方法の例を示している。表示装置10Dは、図6Aに示す構成を1つのユニットとして、当該ユニットがX方向及びY方向に繰り返し配列した画素部を有する。
 図6Aには、6つの画素電極24、2つの発光素子12R、2つの発光素子12G、及び2つの発光素子12Bを示している。また、2つの副画素20R、2つの副画素20G、及び2つの副画素20Bが設けられる領域を、それぞれ破線で示している。
 各発光素子は、最密に配列した六角形の領域の内側に配置されている。各発光素子は、その一つの発光素子に着目したとき、6つの発光素子に囲まれるように、配置されている。また、同じ色の発光素子が隣り合わないように設けられている。例えば、発光素子12Rに着目したとき、これを囲むように3つの発光素子12Gと3つの発光素子12Bが、交互に配置されるように、それぞれの発光素子が設けられている。
 また、発光素子の発光領域もまた、六角形の上面形状を有していることが好ましい。また、画素電極24も同様に、六角形の上面形状を有していることが好ましい。
 図6B及び図6Cに、それぞれ発光素子12の発光領域の上面形状の例を示している。
 図6B及び図6Cに示す発光素子12Xは、どちらもY方向に位置する一対の頂点間の長さと、Y方向に延伸する一対の辺の間の距離とが、それぞれ等しい長さLである。これにより、X方向とY方向の画素の配列周期を等しくすることができる。なお、正六角形を用いた最密配置とした場合には、X方向とY方向の配列周期を等しくすることが困難となるため、正六角形を用いないことが好ましい。
 また、図6Bに示す発光素子12Xは、Y方向に位置する一対の頂点の内角(角度θ1)が等しく、他の4つの頂点の内角(角度θ2)が等しい。ここで、角度θ1は、120°よりも大きい角度であり、角度θ2は、120°よりも小さい角度である。
 また、図6Cに示す発光素子12Xは、6つ全ての内角が120°である。また、Y方向に延伸する一対の辺の長さが、他の辺よりも短い。
 なお、実際には発光素子12Xの上面形状は、頂点の角が丸い形状であることが多いため、上記角度及び辺の長さについては、発光素子12Xに近似した六角形の図形に対して適用されるものとする。
 また、ここでは発光素子12Xの形状について説明したが、画素電極についても同様の形状とすることが好ましい。このとき、発光領域は、画素電極と重畳し、且つ平面視において画素電極の内側に位置するように、設けることができる。
 図6Dは、隣接する3つの発光素子(発光素子12R、発光素子12G、及び発光素子12B)の位置について示す図である。図6Dに示すように、3つの発光素子はそれぞれ二等辺三角形の頂点に位置するように、配置することが好ましい。このとき、二等辺三角形においてY方向に位置する頂点の角度が、X方向に平行な辺の両端に位置する頂点の角度よりも大きいことが好ましい。
〔構成例3−1〕
 続いて、より具体的な画素の構成例について説明する。
 図7に、表示装置10Eの上面概略図を示す。図7には、2×2個の副画素を含む範囲を示している。図7には、副画素20Gと、副画素20Bと、2つの副画素20Rと、を示している。
 図8Aには、表示装置10Eが有する1つの副画素20Xを抜き出した上面概略図を示している。副画素20Xは、図7における副画素20R、副画素20G、または副画素20Bに適用することができる。なお図8Aでは、画素電極24を、輪郭のみ破線で示している。
 図8B乃至図8Fには、副画素20Xを構成する各層のレイアウトを示している。図8Bに最も被形成面側に位置する層を示し、図8Fには、最も画素電極24側に位置する2層を示している。
 図8Bには、配線22と、配線22と同一の導電膜を加工して得られる導電層を有する層を示している。これらの一部は、トランジスタ30aまたはトランジスタ30bの一方のゲート電極(ボトムゲート電極、第1のゲート電極などともいう)として機能する。
 図8Cには、半導体層31aと、半導体層31bと、複数のダミー層32と、を有する層を示している。ここでは、チャネル長方向がY方向に平行である場合を示したが、上記構成例2−2と同様に、チャネル長方向がX方向に平行になるようにレイアウトしてもよい。
 図8Dには、複数の導電層25を有する層を示している。導電層25の一部は、トランジスタ30aまたはトランジスタ30bの他方のゲート電極(トップゲート電極、第2のゲート電極などともいう)として機能する。また、ダミー層として、電気的にフローティングである導電層25を有していてもよい。ダミー層を設けることで、導電層25等の加工形状のばらつきを低減することができる。
 図8Eには、配線21と、これと同一の導電膜を加工して得られる複数の導電層を有する層を示している。図8Eに示す複数の導電層の一部は、トランジスタ30aまたはトランジスタ30bのソース電極及びドレイン電極の一方として機能する。また、図8Eに示す複数の導電層の一部は、容量素子の一方の電極として機能する。
 図8Fには、導電層27を有する層と、その上方に位置する配線23及びこれと同一の導電膜を加工して得られる導電層を有する層と、を示している。配線23の上方に、画素電極24が設けられる。導電層27の一部は、容量素子の他方の電極として機能する。また、配線23と同一の導電膜を加工して得られる導電層の一部は、画素電極24とトランジスタ30bとを電気的に接続する中継配線として機能する。
〔構成例3−2〕
 上記では、2つのトランジスタを有する副画素の構成について説明したが、以下では、4つのトランジスタを有する副画素の構成例について説明する。なお以下では、構成例3−1等と重複する部分についてはこれを参照し、説明を省略する場合がある。
 図9A乃至図9Fには、4つのトランジスタを有する副画素20Xを備える、表示装置10Fの構成例を示している。
 副画素20Xは、トランジスタ30a、トランジスタ30b、トランジスタ30c、及びトランジスタ30dを有する。
 図9Bに示すように、3つのゲート線(配線22a、配線22b、及び配線22c)と、定電位が供給される配線22dと、が設けられる。配線22aの一部は、トランジスタ30aの一方のゲート電極として機能する。配線22bの一部は、トランジスタ30cの一方のゲート電極として機能する。配線22cの一部は、トランジスタ30dの一方のゲート電極として機能する。
 図9Cに示すように、トランジスタ30cが有する半導体層31c、及びトランジスタ30dが有する半導体層31dは、半導体層31a及び半導体層31bと同様に、Y方向に電流が流れるように配置されている。また、ダミー層32は、各半導体層の隙間に設けられ、長手方向がY方向に平行になるように配置されている。なお、ここでは、チャネル長方向がY方向に平行である場合を示したが、上記構成例2−2と同様に、チャネル長方向がX方向に平行になるようにレイアウトしてもよい。
 図9B乃至図9Dに示すように、トランジスタ30a、トランジスタ30b、トランジスタ30c、及びトランジスタ30dは、それぞれ一対のゲート電極を有するトランジスタである。なお、4つのトランジスタのうち1つ以上を、一方のゲートのみを有するトランジスタ(シングルゲート型のトランジスタ)とし、残りを一対のゲートを有するトランジスタ(デュアルゲート型のトランジスタ)としてもよい。
[画素回路]
 以下では、本発明の一態様の表示装置に適用可能な、画素回路の構成例、及び駆動方法例について説明する。
〔画素回路の構成例〕
 図10Aに示す画素回路PIX1は、トランジスタM1、トランジスタM2、容量C1、及び発光素子ELを有する。また、画素回路PIX1には、配線SL、配線GL、配線AL、及び配線CLが電気的に接続されている。
 トランジスタM1は、ゲートが配線GLと、ソース及びドレインの一方が配線SLと、他方がトランジスタM2のゲート、及び容量C1の一方の電極と、それぞれ電気的に接続されている。トランジスタM2は、ソース及びドレインの一方が配線ALと、他方が発光素子ELのアノードと、それぞれ電気的に接続されている。容量C1は、他方の電極が発光素子ELのアノードと電気的に接続されている。発光素子ELは、カソードが配線CLと電気的に接続されている。
 トランジスタM1は、選択トランジスタとも呼ぶことができ、画素の選択・非選択を制御するためのスイッチとして機能する。トランジスタM2は、駆動トランジスタとも呼ぶことができ、発光素子ELに流れる電流を制御する機能を有する。容量C1は保持容量として機能し、トランジスタM2のゲート電位を保持する機能を有する。容量C1は、MIM容量などの容量素子を適用してもよいし、配線間の容量、またはトランジスタのゲート容量などを容量C1として用いてもよい。
 配線SLには、ソース信号が供給される。配線GLには、ゲート信号が供給される。配線ALと配線CLには、それぞれ定電位が供給される。発光素子ELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。
 図10Bに示す画素回路PIX2は、画素回路PIX1に、トランジスタM3を追加した構成である。また画素回路PIX2には、配線V0が電気的に接続されている。
 トランジスタM3は、ゲートが配線GLと、ソース及びドレインの一方が発光素子ELのアノードと、他方が配線V0と、それぞれ電気的に接続されている。
 配線V0は、画素回路PIX2にデータを書き込む際に定電位が与えられる。これにより、トランジスタM2のゲート−ソース間電圧のばらつきを抑制することができる。
 図10Cに示す画素回路PIX3は、上記画素回路PIX1のトランジスタM1及びトランジスタM2に、一対のゲートが電気的に接続されたトランジスタを適用した場合の例である。また、図10Dに示す画素回路PIX4は、画素回路PIX2に当該トランジスタを適用した場合の例である。これにより、トランジスタが流すことのできる電流を増大させることができる。なお、ここでは全てのトランジスタに、一対のゲートが電気的に接続されたトランジスタを適用したが、これに限られない。また、一対のゲートを有し、且つこれらが異なる配線と電気的に接続されるトランジスタを適用してもよい。例えば、ゲートの一方とソースとが電気的に接続されたトランジスタを用いることで、信頼性を高めることができる。
 図11Aに示す画素回路PIX5は、上記画素回路PIX2に、トランジスタM4を追加した構成である。また、画素回路PIX5には、3本のゲート線として機能する配線(配線GL1、配線GL2、及び配線GL3)が電気的に接続されている。
 トランジスタM4は、ゲートが配線GL3と、ソース及びドレインの一方がトランジスタM2のゲートと、他方が配線V0と、それぞれ電気的に接続されている。また、トランジスタM1のゲートが配線GL1と、トランジスタM3のゲートが配線GL2と、それぞれ電気的に接続されている。
 トランジスタM3とトランジスタM4を同時に導通状態とさせることで、トランジスタM2のソースとゲートが同電位となり、トランジスタM2を非導通状態とすることができる。これにより、発光素子ELに流れる電流を強制的に遮断することができる。このような画素回路は、表示期間と消灯期間を交互に設ける表示方法を用いる場合に適している。
 図11Bに示す画素回路PIX6は、上記画素回路PIX5に容量C2を追加した場合の例である。容量C2は保持容量として機能する。
 図11Cに示す画素回路PIX7、及び図11Dに示す画素回路PIX8は、それぞれ上記画素回路PIX5または画素回路PIX6に、一対のゲートを有するトランジスタを適用した場合の例である。トランジスタM1、トランジスタM3、トランジスタM4には、一対のゲートが電気的に接続されたトランジスタが適用され、トランジスタM2には、一方のゲートがソースと電気的に接続されたトランジスタが適用されている。
〔駆動方法例〕
 以下では、画素回路PIX5が適用された表示装置の駆動方法の一例について説明する。なお、画素回路PIX6、PIX7、及びPIX8についても、同様の駆動方法を適用できる。
 図12に、画素回路PIX5が適用された表示装置の駆動方法にかかるタイミングチャートを示す。ここでは、k行目のゲート線である配線GL1[k]、配線GL2[k]及び配線GL3[k]、並びにk+1行目のゲート線である配線GL1[k+1]、配線GL2[k+1]、及び配線GL3[k+1]の電位の推移を示している。また、図12には、ソース線として機能する配線SLに与えられる信号のタイミングを示している。
 ここでは、一水平期間を点灯期間と、消灯期間と、に分けて表示する駆動方法の例を示している。また、k行目の水平期間と、k+1行目の水平期間とは、ゲート線の選択期間だけずれている。
 k行目の点灯期間において、まず配線GL1[k]及び配線GL2[k]にハイレベル電位が与えられ、配線SLにソース信号が与えられる。これにより、トランジスタM1とトランジスタM3が導通状態となり、配線SLからトランジスタM2のゲートにソース信号に対応する電位が書き込まれる。その後、配線GL1[k]及び配線GL2[k]にローレベル電位が与えられることで、トランジスタM1とトランジスタM3が非導通状態となり、トランジスタM2のゲート電位が保持される。
 続いて、k+1行目の点灯期間に遷移し、上記と同様の動作によりデータが書き込まれる。
 続いて、消灯期間について説明する。k行目の消灯期間において、配線GL2[k]と配線GL3[k]にハイレベル電位が与えられる。これにより、トランジスタM3とトランジスタM4が導通状態となるため、トランジスタM2のソースとゲートに同電位が供給されることで、トランジスタM2にはほとんど電流が流れなくなる。これにより、発光素子ELが消灯する。k行目に位置する全ての副画素が消灯することになる。k行目の副画素は、次の点灯期間まで消灯状態が維持される。
 続いて、k+1行目の消灯期間に遷移し、上記と同様にk+1行目の副画素全てが消灯状態となる。
 このように、一水平期間中ずっと点灯しているのではなく、一水平期間中に消灯期間を設ける駆動方法をデューティ駆動とも呼ぶことができる。デューティ駆動を用いることで、動画を表示する際の残像現象を低減することができるため、動画表示性能の高い表示装置を実現できる。特にVR機器などでは、残像を低減することで、いわゆるVR酔いを軽減することができる。
 デューティ駆動において、一水平期間に対する点灯期間の割合を、デューティ比と呼ぶことができる。例えばデューティ比が50%のとき、点灯期間と消灯期間が同じ長さであることを意味する。なお、デューティ比は自由に設定することが可能であり、例えば0%より高く、100%以下の範囲で適宜調整することができる。
 以上が、駆動方法例についての説明である。
[断面構成例]
 続いて、本発明の一態様の表示装置の断面構成例について説明する。
 図13は、表示装置200Aの断面概略図である。表示装置200Aは、基板201と基板202との間に、発光素子250R、発光素子250G、トランジスタ210、トランジスタ220、容量素子240などを有する。
 トランジスタ210は、基板201にチャネル形成領域が形成されるトランジスタである。基板201としては、例えば単結晶シリコン基板などの半導体基板を用いることができる。トランジスタ210は、基板201の一部、導電層211、低抵抗領域212、絶縁層213、絶縁層214等を有する。導電層211は、ゲート電極として機能する。絶縁層213は、基板201と導電層211の間に位置し、ゲート絶縁層として機能する。低抵抗領域212は、基板201に不純物がドープされた領域であり、ソースまたはドレインの一方として機能する。絶縁層214は、導電層211の側面を覆って設けられる。
 また、基板201に埋め込まれるように、隣接する2つのトランジスタ210の間に素子分離層215が設けられている。
 トランジスタ210とトランジスタ220との間には、配線層203が設けられている。配線層203は、1以上の配線を有する層が積層された構成を有する。各層は導電層271を有し、2つの層の間には、層間絶縁層273が設けられている。また、層間絶縁層273に設けられたプラグ272により、異なる層の導電層271同士を電気的に接続している。
 配線層203上に、トランジスタ220が設けられている。トランジスタ220は、チャネルが形成される半導体層に、金属酸化物(酸化物半導体ともいう)が適用されたトランジスタである。
 トランジスタ220は、半導体層221、絶縁層223、導電層224、一対の導電層225、絶縁層226、導電層227等を有する。
 配線層203上に、絶縁層231が設けられている。絶縁層231は、配線層203側から水または水素などの不純物がトランジスタ220に拡散すること、及び半導体層221から配線層203側に酸素が脱離することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層231としては、例えば酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜、窒化シリコン膜などの、酸化シリコン膜よりも水素または酸素が拡散しにくい膜を用いることができる。
 絶縁層231上に導電層227が設けられ、導電層227を覆って絶縁層226が設けられている。導電層227は、トランジスタ220の第1のゲート電極として機能し、絶縁層226の一部は、第1のゲート絶縁層として機能する。絶縁層226の少なくとも半導体層221と接する部分には、酸化シリコン膜等の酸化物絶縁膜を用いることが好ましい。
 半導体層221は、絶縁層226上に設けられる。半導体層221は、半導体特性を有する金属酸化物(酸化物半導体ともいう)膜を有することが好ましい。
 半導体層221がIn−M−Zn酸化物の場合、In−M−Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=1:3:2、In:M:Zn=1:3:4、In:M:Zn=1:3:6、In:M:Zn=2:2:1、In:M:Zn=2:1:3、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:3、In:M:Zn=4:2:4.1、In:M:Zn=5:1:3、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1:8、In:M:Zn=6:1:6、In:M:Zn=5:2:5等が挙げられる。
 また、スパッタリングターゲットとしては、多結晶の酸化物を含むターゲットを用いると、結晶性を有する半導体層221を形成しやすくなるため好ましい。なお、成膜される半導体層221の原子数比は、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。例えば、半導体層221に用いるスパッタリングターゲットの組成がIn:Ga:Zn=4:2:4.1[原子数比]の場合、成膜される半導体層221の組成は、In:Ga:Zn=4:2:3[原子数比]の近傍となる場合がある。
 なお、原子数比がIn:Ga:Zn=4:2:3またはその近傍と記載する場合、Inを4としたとき、Gaが1以上3以下であり、Znが2以上4以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=5:1:6またはその近傍であると記載する場合、Inを5としたときに、Gaが0.1より大きく2以下であり、Znが5以上7以下である場合を含む。また、原子数比がIn:Ga:Zn=1:1:1またはその近傍であると記載する場合、Inを1としたときに、Gaが0.1より大きく2以下であり、Znが0.1より大きく2以下である場合を含む。
 また、半導体層221は、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上である。このように、シリコンよりもエネルギーギャップの広い金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。
 また、半導体層221は、非単結晶構造であると好ましい。非単結晶構造は、例えば、後述するCAAC構造、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、CAAC構造は最も欠陥準位密度が低い。
 以下では、CAAC(c−axis aligned crystal)について説明する。CAACは結晶構造の一例を表す。
 CAAC構造とは、複数のナノ結晶(最大径が10nm未満である結晶領域)を有する薄膜などの結晶構造の一つであり、各ナノ結晶はc軸が特定の方向に配向し、かつa軸及びb軸は配向性を有さずに、ナノ結晶同士が粒界を形成することなく連続的に連結しているといった特徴を有する結晶構造である。特にCAAC構造を有する薄膜は、各ナノ結晶のc軸が、薄膜の厚さ方向、被形成面の法線方向、または薄膜の表面の法線方向に配向しやすいといった特徴を有する。
 CAAC−OS(Oxide Semiconductor)は結晶性の高い酸化物半導体である。一方、CAAC−OSは、明確な結晶粒界を確認することはできないため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、酸化物半導体の結晶性は不純物の混入、欠陥の生成などによって低下する場合があるため、CAAC−OSは不純物及び欠陥(酸素欠損など)の少ない酸化物半導体ともいえる。従って、CAAC−OSを有する酸化物半導体は、物理的性質が安定する。そのため、CAAC−OSを有する酸化物半導体は熱に強く、信頼性が高い。
 ここで、結晶学において、単位格子を構成するa軸、b軸、及びc軸の3つの軸(結晶軸)について、特異的な軸をc軸とした単位格子を取ることが一般的である。特に層状構造を有する結晶では、層の面方向に平行な2つの軸をa軸及びb軸とし、層に交差する軸をc軸とすることが一般的である。このような層状構造を有する結晶の代表的な例として、六方晶系に分類されるグラファイトがあり、その単位格子のa軸及びb軸は劈開面に平行であり、c軸は劈開面に直交する。例えば層状構造であるYbFe型の結晶構造をとるInGaZnOの結晶は六方晶系に分類することができ、その単位格子のa軸及びb軸は層の面方向に平行となり、c軸は層(すなわちa軸及びb軸)に直交する。
 微結晶構造を有する酸化物半導体膜(微結晶酸化物半導体膜)は、TEMによる観察像では、明確に結晶部を確認することができない場合がある。微結晶酸化物半導体膜に含まれる結晶部は、1nm以上100nm以下、または1nm以上10nm以下の大きさであることが多い。特に、1nm以上10nm以下、または1nm以上3nm以下の微結晶であるナノ結晶(nc:nanocrystal)を有する酸化物半導体膜を、nc−OS(nanocrystalline Oxide Semiconductor)膜と呼ぶ。また、nc−OS膜は、例えば、TEMによる観察像では、結晶粒界を明確に確認できない場合がある。
 nc−OS膜は、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。また、nc−OS膜は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、nc−OS膜は、分析方法によっては、非晶質酸化物半導体膜と区別が付かない場合がある。例えば、nc−OS膜に対し、結晶部よりも大きい径のX線を用いるXRD装置を用いて構造解析を行うと、out−of−plane法による解析では、結晶面を示すピークが検出されない。また、nc−OS膜に対し、結晶部よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc−OS膜に対し、結晶部の大きさと近いか結晶部より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、円を描くように(リング状に)輝度の高い領域が観測され、当該リング状の領域内に複数のスポットが観測される場合がある。
 nc−OS膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも欠陥準位密度が低い。ただし、nc−OS膜は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、nc−OS膜は、CAAC−OS膜と比べて欠陥準位密度が高くなる。従って、nc−OS膜はCAAC−OS膜と比べて、キャリア密度が高く、電子移動度が高くなる場合がある。従って、nc−OS膜を用いたトランジスタは、高い電界効果移動度を示す場合がある。
 nc−OS膜は、CAAC−OS膜と比較して、成膜時の酸素流量比を小さくすることで形成することができる。また、nc−OS膜は、CAAC−OS膜と比較して、成膜時の基板温度を低くすることでも形成することができる。例えば、nc−OS膜は、基板温度を比較的低温(例えば130℃以下の温度)とした状態、または基板を加熱しない状態でも成膜することができるため、大型のガラス基板、または樹脂基板などを使う場合に適しており、生産性を高めることができる。
 金属酸化物の結晶構造の一例について説明する。In−Ga−Zn酸化物ターゲット(In:Ga:Zn=4:2:4.1[原子数比])を用いて、基板温度を100℃以上130℃以下として、スパッタリング法により形成した金属酸化物は、nc(nano crystal)構造及びCAAC構造のいずれか一方の結晶構造、またはこれらが混在した構造をとりやすい。一方、基板温度を室温(R.T.)として形成した金属酸化物は、ncの結晶構造をとりやすい。なお、ここでいう室温(R.T.)とは、基板を意図的に加熱しない場合の温度を含む。
 一対の導電層225は、半導体層221上に接して設けられ、ソース電極及びドレイン電極として機能する。
 また、一対の導電層225の上面及び側面、ならびに半導体層221の側面等を覆って絶縁層232が設けられ、絶縁層232上に絶縁層261が設けられている。絶縁層232は、半導体層221に層間絶縁層などから水または水素などの不純物が拡散すること、及び半導体層221から酸素が脱離することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層232としては、上記絶縁層231と同様の絶縁膜を用いることができる。
 絶縁層232及び絶縁層261に、半導体層221に達する開口が設けられている。当該開口の内部において、絶縁層261、絶縁層232、及び導電層225の側面、並びに半導体層221の上面に接する絶縁層223と、絶縁層223上に導電層224とが埋め込まれている。導電層224は、第2のゲート電極として機能し、絶縁層223は第2のゲート絶縁層として機能する。
 導電層224の上面、絶縁層223の上面、及び絶縁層261の上面は、それぞれ高さが概略一致するように平坦化処理され、これらを覆って絶縁層233が設けられている。また絶縁層233と絶縁層231との間の積層構造に開口部が設けられ、当該開口部において絶縁層233の一部が絶縁層231と接して設けられている。絶縁層261は、層間絶縁層として機能する。また絶縁層233は、その上方から水または水素などの不純物が拡散することを防ぐバリア層として機能する。絶縁層233としては、上記絶縁層231等と同様の絶縁膜を用いることができる。
 絶縁層233上に、容量素子240が設けられている。
 容量素子240は、導電層241と、導電層242と、これらの間に位置する絶縁層243を有する。導電層241は容量素子240の一方の電極として機能し、導電層242は容量素子240の他方の電極として機能し、絶縁層243は容量素子240の誘電体として機能する。
 容量素子240を覆って絶縁層234が設けられる。絶縁層234としては、上記絶縁層231と同様の絶縁膜を用いることができる。絶縁層231上に、層間絶縁層及び配線を介して、絶縁層262が設けられ、絶縁層262上に発光素子250R及び発光素子250Gが設けられている。
 発光素子250Rは、導電層251、導電層252R、EL層253W、及び導電層254等を有する。
 導電層251は、可視光に対して反射性を有し、導電層252Rは可視光に対して透過性を有する。導電層254は、可視光に対して反射性及び透過性を有する。導電層252Rは、導電層251と導電層254との間の光学距離を調整するための光学調整層として機能する。光学調整層は、発光色の異なる発光素子間では異なる厚さとすることができる。発光素子250Rが有する導電層252Rと、発光素子250Gが有する導電層252Gとは、厚さが異なる。
 導電層252Rの端部及び導電層252Gの端部を覆って、絶縁層256が設けられている。
 EL層253W及び導電層254は、複数の画素にわたって共通に設けられている。EL層253Wは、白色光を呈するように、複数の発光層を有する。
 図14に、導電層252Rの一部と、導電層252Gの一部と、それらの間の領域の拡大図を示している。
 導電層251と、導電層252Rの積層体は、画素電極として機能する。導電層251と導電層252Rは、側面が基板面または導電層252Rの上面に対して概略垂直となるように加工されている。同様に、導電層251と導電層252Gの積層体も、側面が基板面または導電層252Gの上面に対して概略垂直となるように加工されている。なお、導電層251と導電層252R(または導電層252G)のどちらかが、側面が概略垂直になるように加工されていればよい。
 絶縁層256は、導電層252Rの上面の一部及び側面、2つの導電層251のそれぞれの側面、ならびに導電層252Gの上面の一部及び側面を被覆して設けられる。絶縁層256は、導電層252Rと導電層252Gとの間の領域において、凹状の上面形状を有している。EL層253Wは、導電層252R、絶縁層256、及び導電層252Gを被覆するように設けられ、導電層252Rの上面と接する部分、導電層252Gの上面と接する部分、及び絶縁層256と接する部分を有する。
 絶縁層256のEL層253Wと接する面の一部が、基板面、または導電層252Rまたは導電層252Gの上面に対して、70度以上120度以下、好ましくは75度以上115度以下、より好ましくは80度以上110度以下である部分を有する。このような形状を有する絶縁層256上に、EL層253Wを形成することで、自己整合的に、厚さの薄い部分を形成することができる。または、EL層253Wを自己整合的に分断することができる。図14では、EL層253Wが隣接する発光素子間でつながっている場合の例を示している。
 EL層253Wの、導電層252Rの上面と接する部分の厚さを厚さTR1、絶縁層256上であって導電層252Rと重なる部分の厚さを厚さTR2、導電層252R側の絶縁層256の、導電層252Rの上面に対して概略垂直である面に接する部分の厚さを厚さTR3とする。同様に、EL層253Wの、導電層252Gの上面と接する部分の厚さを厚さTG1、絶縁層256上であって導電層252Gと重なる部分の厚さを厚さTG2、導電層252G側の絶縁層256の、導電層252Gの上面に対して概略垂直である面に接する部分の厚さを厚さTG3とする。また、絶縁層256の上面が平坦な部分に接する部分の厚さを厚さTとする。
 なおここでいう厚さは、基板面などのある基準面に対して垂直方向の厚さではなく、被形成面に対する法線方向の厚さをいう。そのため、被形成面に凹凸がある場合には、厚さを規定する向きは場所によって異なる。
 厚さTR1、厚さTR2、厚さTG1、厚さTG2、及び厚さTは、それぞれ厚さが概略等しい。一方、厚さTR3及び厚さTG3は、厚さTR1、厚さTR2、厚さTG1、厚さTG2、及び厚さTよりも薄い。具体的には、厚さTR3及び厚さTG3は、厚さTR1、厚さTR2、厚さTG1、厚さTG2、または厚さTに対して、半分(50%)以下、好ましくは40%以下、さらに好ましくは30%以下であって、0%より大きい。
 このように、隣接する発光素子間において、EL層253Wの厚さの薄い領域を形成することで、EL層253Wを介するリーク電流を低減でき、意図しない発光を抑制することができる。
 また、図14では、絶縁層262の導電層251に覆われない領域が、導電層251などのエッチングの際に削られ、薄膜化している例を示している。具体的には、絶縁層256の底面が、導電層251の底面よりも低く位置している。このように、絶縁層262の一部をエッチングすることにより、隣接する発光素子間の段差の起伏を大きくすることができるため、より効果的にEL層253Wに薄い領域を形成しやすくすることができる。
 図13において、発光素子250R上には、絶縁層235を介して着色層255Rが設けられている。また発光素子250G上には、着色層255Gが設けられている。また、図13では、着色層255Bの一部が示されている。
 例えば、着色層255Rは、赤色の光を透過し、着色層255Gは、緑色の光を透過し、着色層255Bは、青色の光を透過する。これにより、各発光素子からの光の色純度を高めることができ、より表示品位の高い表示装置を実現できる。また、絶縁層235上に各着色層を形成することで、基板202側に着色層を形成した後に、基板201と基板202とを貼り合わせる場合に比べて、各発光素子と各着色層との位置合わせが容易であり、極めて高精細な表示装置を実現できる。
 着色層255R上、及び着色層255G上には、レンズアレイ257が設けられている。発光素子250Rから発せられた光は、着色層255Rによって着色され、レンズアレイ257を介して外部に射出される。レンズアレイ257は、不要であれば設けなくてもよい。
 表示装置200Aは、視認側に基板202を有する。基板202と基板201とは貼り合されている。基板202としては、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、プラスチック基板などの、透光性を有する基板を用いることができる。
 このような構成とすることで、極めて高精細で、表示品位の高い表示装置を実現できる。
 以下では、上記とは一部の構成が異なる表示装置の構成例について説明する。
 図15A乃至図15Dには、それぞれ絶縁層262から導電層254までの積層構造を抜き出して示している。
 図15Aは、絶縁層262の導電層251と重ならない部分が薄膜化していない点で、図14と相違している。具体的には、絶縁層256の底面が、導電層251の底面と概略同じ高さに位置している。絶縁層262をエッチングしないことで、断面形状のばらつきを抑制できるため、工程歩留まりが高まり、量産性を向上させることができる。
 図15Bは、絶縁層256を厚く形成した場合の例である。また図15Bでは、発光素子250Bと発光素子250Gの断面概略図を示している。発光素子250Bは、導電層251、導電層252B、EL層253W、及び導電層254を有する。導電層252Bは、導電層252Gよりも薄い。
 図15Bでは、絶縁層256が、導電層252G及び導電層252Bよりも厚く形成されている例を示している。
 図15C及び図15Dは、絶縁層262よりも下側にエッチングストッパ膜として機能する絶縁層258を設けた場合の例を示している。また、隣接する発光素子間の領域の絶縁層262がエッチングされ、絶縁層256の底面が絶縁層258と接している。このような構成とすることで、隣接する発光素子間の起伏を大きくできる。
 図15Dでは、EL層253Wが分断されている例を示している。このとき、導電層254は分断されずに、隣接する発光素子間でつながっていることが好ましい。EL層253Wが隣接する発光素子間で分断されることにより、EL層253Wを介するリーク電流を完全に防止することができるため好ましい。なお、図15Dに示す構成は、図14における厚さTR3及び厚さTG3が0であることに相当する。言い換えると、図15Dは、厚さTR3及び厚さTG3が、厚さTR1、厚さTR2、厚さTG1、厚さTG2、及び厚さTのそれぞれに対して0%である状態、ともいうことができる。
 図16には、上記表示装置200Aとは一部の構成が異なる表示装置200Bの断面概略図を示している。
 表示装置200Bは、着色層255R、着色層255G、着色層255B、及びレンズアレイ257が、基板202側に形成されている例を示している。具体的には、基板202の基板201側の面に、着色層255R、着色層255G、着色層255Bが設けられ、着色層255R、着色層255G、着色層255Bを覆って平坦化層として機能する絶縁層264が設けられ、絶縁層264の基板201側の面に、レンズアレイ257が設けられている。基板202と基板201とは、接着層263により貼り合されている。
 また、導電層254上に、絶縁層235が設けられている。このとき、絶縁層235は、接着層263に含まれる水分などが発光素子に拡散することを防ぐ機能を有することが好ましい。例えば、絶縁層235は、少なくとも無機絶縁膜を含むことが好ましい。無機絶縁膜としては、特に、段差被覆性に優れたALD(Atomic Layer Deposition)法により形成した酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化金属膜、または酸化シリコン膜などの無機絶縁膜を絶縁層235に適用することで、起伏の大きな発光素子間の領域でも良好に被覆できるだけでなく、ピンホールが少なくEL層を保護する機能に優れた絶縁層235を形成することができる。
 図17は、表示装置200Cの断面概略図である。表示装置200Cは、表示装置200Bと比較して、トランジスタ210を有さない点で主に相違している。
 基板201上には、絶縁層231が設けられ、絶縁層231上にトランジスタ220が設けられている。なお、基板201から不純物等が拡散する恐れが無い場合には、絶縁層231を設けなくてもよい。
 基板201としては、熱膨張率の低い基板を用いることが好ましい。例えば単結晶シリコンまたは炭化シリコンなどの単結晶半導体基板、またはサファイア、石英などの高融点絶縁性基板などを用いることが好ましい。
 図18は、表示装置200Dの断面概略図である。表示装置200Dは、表示装置200Bと比較して、トランジスタの積層構造が異なる点で、主に相違している。
 表示装置200Dでは、トランジスタ210上に、トランジスタ220Bと、トランジスタ220Aとが積層されている。トランジスタ220Aは、表示装置200B等におけるトランジスタ220と同様の構成を有する。トランジスタ220Bは、絶縁層236と絶縁層237との間に設けられ、トランジスタ220Aと同様の構成を有する。絶縁層236及び絶縁層237は、絶縁層231等と同様に、バリア層として機能する。
 このように、トランジスタ210を有する層とトランジスタ220Aを有する層との間に、さらにトランジスタ220Bを有する層を設けることで、さらなる多機能化を実現することができる。
 以上が、断面構成例についての説明である。
[保護回路]
 以下では、表示装置に適用可能な保護回路の構成例について説明する。
 アクティブマトリクス型の表示装置は、多くのソース線とゲート線がマトリクス状に配置される。そのため、表示装置の作製工程中、もしくは電子機器の組み込み工程中などに、ソース線またはゲート線にESD(Electro Static Discharge)が発生すると、表示欠陥を招いてしまう。そのため、ソース線、ゲート線には、ESDの影響を軽減するための保護回路を設けることが好ましい。
 また、表示装置の出荷前検査、または抜き取り検査などの検査において、画素が正常に駆動するかどうかを検査するための検査用の回路、端子、または電極などを設ける場合がある。
 図19Aは、端子PREから入力される電位を、ソース線SLに入力するための回路PC1の例を示している。
 回路PC1は、トランジスタTr1、トランジスタTr2、トランジスタTr3を有する。各トランジスタは、それぞれ一対のゲートを有するトランジスタである。半導体層に対して下方に位置するゲートをバックゲート、上方に位置するゲートをトップゲートとする。
 トランジスタTr1は、トップゲートが端子Sigと、バックゲートが端子VBG1と、ソース及びドレインの一方がソース線SLと、他方が端子PREと、それぞれ電気的に接続されている。
 端子Sigには、トランジスタTr1を制御するための信号が与えられる。端子VBG1には、バイアス電位が与えられる。トランジスタTr1が導通状態となることで、配線SLに端子PREの電位が供給される。
 ここで、トランジスタTr1のトップゲートと、端子Sigとの間には、トランジスタTr2とトランジスタTr3が電気的に接続されている。トランジスタTr2とトランジスタTr3は保護回路として機能する。トランジスタTr2とトランジスタTr3はそれぞれダイオード接続されたトランジスタである。またトランジスタTr2には端子VDDが、トランジスタTr3には端子VSSが電気的に接続される。また、トランジスタTr2のバックゲートには端子VBG2が、トランジスタTr3のバックゲートには端子VBG3が、電気的に接続される。
 図19Bに示す回路PC2は、回路PC1と比較して端子数及びトランジスタ数を削減した場合の例である。
 回路PC2はトランジスタTr1を有する。トランジスタTr1は、トップゲートが配線SLと、バックゲートが端子Sigと、ソース及びドレインの一方が端子PREと、他方が配線SLと、それぞれ電気的に接続されている。
 このように、トランジスタTr1のトップゲートではなく、バックゲートに制御信号が与えられる端子Sigを接続することで、端子Sigへの保護回路を必要とせず、回路を簡略化することができる。なお、トランジスタTr1の電気特性によっては、トランジスタTr1のトップゲートとバックゲートを入れ替えることができる場合がある。
 図19Cに示す回路PC3は、回路PC2におけるトランジスタTr1にかえて、トランジスタTr1aとトランジスタTr1bの2つのトランジスタを用いた場合の例を示している。トランジスタTr1aとトランジスタTr1bは、それぞれバックゲートが端子Sigと電気的に接続されている。
 また、図19Dに示す回路PC4は、トランジスタTr1aとトランジスタTr1bに、それぞれ別々に端子(端子Sig1、端子Sig2)を接続した場合の例である。
 図19B、図19C、及び図19Dに示す構成を適用することで、例えば図19Aに示す構成と比較して端子数を大幅に削減することができ、小型の表示装置を実現することができる。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
 以下では、実施の形態1で例示した電子機器の表示装置に適用可能な表示装置の構成例について図面を参照して説明する。
 図20Aは、実施の形態1で例示した電子機器の表示装置に適用可能な表示装置310Aの斜視図である。
 表示装置310Aは、基板311、基板312を有する。表示装置310Aは、基板311と基板312との間に設けられる素子で構成される表示部313を有する。表示部313は、表示装置310Aにおける画像を表示する領域である。表示部313は、複数の画素390を有する。画素390は、画素回路351および発光素子361を有する。
 また、画素390を1920×1080画素のマトリクス状に配置すると、いわゆるフルハイビジョン(「2K解像度」、「2K1K」、または「2K」などとも言われる。)の解像度で表示可能な表示部313を実現できる。また、例えば、画素390を3840×2160画素のマトリクス状に配置すると、いわゆるウルトラハイビジョン(「4K解像度」、「4K2K」、または「4K」などとも言われる。)の解像度で表示可能な表示部313を実現できる。また、例えば、画素390を7680×4320画素のマトリクス状に配置すると、いわゆるスーパーハイビジョン(「8K解像度」、「8K4K」、または「8K」などとも言われる。)の解像度で表示可能な表示部313を実現できる。画素390を増やすことで、16Kさらには32Kの解像度で表示可能な表示部313を実現することも可能である。
 また、表示部313の画素密度(精細度)は、1000ppi以上10000ppi以下が好ましい。例えば、2000ppi以上6000ppi以下であってもよいし、3000ppi以上5000ppi以下であってもよい。
 なお、表示部313の画面比率(アスペクト比)については、特に限定はない。表示部313は、例えば、1:1(正方形)、4:3、16:9、16:10など様々な画面比率に対応することができる。
 なお、本明細書等において、素子という用語を「デバイス」と言い換えることができる場合がある。例えば、表示素子、発光素子、および液晶素子は、例えば表示デバイス、発光デバイス、および液晶デバイスと言い換えることができる。
 表示装置310Aは、端子部314を介して外部より各種信号および電源電位が入力され、表示部313に設けられた表示素子を用いて画像表示を行うことができる。表示素子としては様々な素子を用いることができる。代表的には、有機EL素子およびLED素子などの光を射出する機能を有する発光素子、液晶素子、またはMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)素子などを適用できる。
 基板311と基板312との間には、複数の層が設けられ、各層には回路動作を行うためのトランジスタ、または光を射出する表示素子が設けられる。複数の層においては、表示素子の動作を制御する機能を有する画素回路、画素回路を制御する機能を有する駆動回路、駆動回路を制御する機能を有する機能回路等が設けられる。
 図20Bに、基板311と基板312との間に設けられる各層の構成を模式的に示した斜視図を示している。
 基板311上には、層320が設けられる。層320は、駆動回路330、機能回路340、および入出力回路380を有する。層320は、チャネル形成領域322にシリコンを有するトランジスタ321(Siトランジスタともいう)を有する。基板311は、一例としては、シリコン基板である。シリコン基板は、ガラス基板と比較して熱伝導性が高いため好ましい。駆動回路330、機能回路340、および入出力回路380を同じ層に設けることで、駆動回路330、機能回路340、および入出力回路380を電気的に接続する配線を短くすることができる。よって、機能回路340が駆動回路330を制御するための制御信号の充放電時間が短くなり、消費電力を低減できる。また、入出力回路380が、機能回路340および駆動回路330に信号を供給する時のための充放電時間が短くなり、消費電力を低減できる。
 トランジスタ321は、例えばチャネル形成領域に単結晶シリコンを有するトランジスタ(「c−Siトランジスタ」ともいう。)とすることができる。特に、層320に設けられるトランジスタとして、チャネル形成領域に単結晶シリコンを有するトランジスタを用いると、当該トランジスタのオン電流を大きくすることができる。よって、層320が有する回路を高速に駆動させることができるため、好ましい。またSiトランジスタは、チャネル長が3nm以上10nm以下といった微細加工で形成することができるため、CPU、GPUなどのアクセラレータ、アプリケーションプロセッサなどが表示部と一体に設けられた表示装置310Aとすることができる。
 また、層320に、チャネル形成領域に多結晶シリコンを有するトランジスタ(「Poly−Siトランジスタ)ともいう。)を設けてもよい。多結晶シリコンとして、低温ポリシリコン(LTPS:Low Temperature Poly Silicon)を用いてもよい。なお、チャネル形成領域にLTPSを有するトランジスタを「LTPSトランジスタ」ともいう。また、層320にOSトランジスタを設けてもよい。
 駆動回路330として、シフトレジスタ、レベルシフタ、インバータ、ラッチ、アナログスイッチ、および論理回路等の様々な回路を用いることができる。駆動回路330は、例えば、ゲートドライバ回路、ソースドライバ回路等を有する。この他に、演算回路、メモリ回路、および電源回路等を有していてもよい。ゲートドライバ回路、ソースドライバ回路、およびその他の回路を、表示部313に重ねて配置することが可能となるため、これら回路と、表示部313とを並べて配置する場合と比較して、表示装置310Aの表示部313の外周に存在する非表示領域(額縁ともいう)の幅を極めて狭くすることができ、表示装置310Aの小型化が実現できる。
 機能回路340は、例えば、表示装置310Aにおける各回路の制御、および各回路を制御するための信号を生成するためのアプリケーションプロセッサの機能を有する。また機能回路340は、CPU、GPUなどのアクセラレータなどの画像データを補正するための回路を有していてもよい。また機能回路340は、画像データ等を表示装置310Aの外部から受信するためのインターフェースとしての機能を有するLVDS(Low Voltage Differential Signaling)回路、MIPI(Mobile Industry Processor Interface)回路、および/またはD/A(Digital to Analog)変換回路等を有していてもよい。また機能回路340は、画像データを圧縮・伸長するための回路、および/または電源回路等を有していてもよい。
 層320上には、層350が設けられる。層350は、複数の画素回路351を含む画素回路群355を有する。層350にOSトランジスタを設けてもよい。画素回路351はOSトランジスタを含んで構成してもよい。なお層350は、層320上に積層して設けることができる。
 層350にSiトランジスタを設けてもよい。例えば、画素回路351をチャネル形成領域に単結晶シリコンまたは多結晶シリコンを有するトランジスタを含んで構成してもよい。多結晶シリコンとしては、LTPSを用いてもよい。例えば、別の基板に層350を形成し、層320と貼り合わせることも可能である。
 また、例えば、画素回路351を異なる半導体材料を用いた複数種類のトランジスタで構成してもよい。画素回路351が、異なる半導体材料を用いた複数種類のトランジスタで構成される場合、トランジスタの種類毎に異なる層にトランジスタを設けてもよい。例えば、画素回路351が、Siトランジスタと、OSトランジスタで構成される場合、SiトランジスタとOSトランジスタを重ねて設けてもよい。トランジスタを重ねて設けることで、画素回路351の占有面積が低減される。よって、表示装置310Aの精細度を高めることができる。なお、LTPSトランジスタとOSトランジスタを、組み合わせる構成をLTPOと呼称する場合がある。
 OSトランジスタであるトランジスタ352として、チャネル形成領域にインジウム、元素M(元素Mは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、またはスズ)、亜鉛の少なくとも一を含む酸化物を有するトランジスタを用いることが好ましい。このようなOSトランジスタは、オフ電流が非常に低いという特性を有する。よって、特に画素回路に設けられるトランジスタとしてOSトランジスタを用いると、画素回路に書き込まれたアナログデータを長期間保持することができるため好ましい。
 層350上には、層360が設けられる。層360上には、基板312が設けられる。基板312は、透光性を有する基板あるいは透光性を有する材料でなる層であることが好ましい。層360は、複数の発光素子361が設けられる。なお層360は、層350上に積層して設ける構成とすることができる。発光素子361としては、例えば有機エレクトロルミネセンス素子(有機EL素子ともいう)などを用いることができる。ただし、発光素子361は、これに限定されず、例えば無機材料からなる無機EL素子を用いても良い。なお、「有機EL素子」と「無機EL素子」をまとめて「EL素子」と呼ぶ場合がある。発光素子361は、量子ドットなどの無機化合物を有していてもよい。例えば、量子ドットを発光層に用いることで、発光材料として機能させることもできる。
 図20Bに示すように本発明の一態様の表示装置310Aは、発光素子361と、画素回路351と、駆動回路330および機能回路340と、を積層した構成とすることができるため、画素の開口率(有効表示面積比)を極めて高くすることができる。例えば画素の開口率は、40%以上100%未満、好ましくは50%以上95%以下、より好ましくは60%以上95%以下とすることができる。また、画素回路351を極めて高密度に配置することが可能で、画素の精細度を極めて高くすることができる。例えば、表示装置310Aの表示部313(画素回路351および発光素子361が積層されて設けられる領域)では、2000ppi以上、好ましくは3000ppi以上、より好ましくは5000ppi以上、さらに好ましくは6000ppi以上であって、20000ppi以下、または30000ppi以下の精細度で、画素を配置することが可能となる。
 このような表示装置310Aは、極めて高精細であることから、ヘッドマウントディスプレイなどのVR向け機器、またはメガネ型のAR向け機器に好適に用いることができる。例えば、レンズ等の光学部材を通して表示装置310Aの表示部を視認する構成の場合であっても、表示装置310Aは極めて高精細な表示部を有するためにレンズで表示部を拡大しても画素が視認されず、没入感の高い表示を行うことができる。
 なお、表示装置310Aを装着型のVRまたはAR用の表示装置として用いる場合、表示部313の対角サイズは、0.1インチ以上5.0インチ以下、好ましくは0.5インチ以上2.0インチ以下、さらに好ましくは、1インチ以上1.7インチ以下とすることができる。例えば、表示部313の対角サイズを1.5インチ、または1.5インチ近傍にしてもよい。表示部313の対角サイズを2.0インチ以下とすることで、露光装置(代表的にはスキャナー装置)の1回の露光処理で処理することが可能となるため、製造プロセスの生産性を向上させることができる。
 また、本発明の一態様に係る表示装置310Aは、装着型の電子装置以外にも適用できる。この場合、表示部313の対角サイズは2.0インチを越えてもかまわない。表示部313の対角サイズに応じて、画素回路351に用いるトランジスタの構成を適宜選択してもよい。例えば、画素回路351に単結晶Siトランジスタを用いる場合、表示部313の対角のサイズは0.1インチ以上3インチ以下が好ましい。また、画素回路351にLTPSトランジスタを用いる場合、表示部313の対角のサイズは0.1インチ以上30インチ以下が好ましく、1インチ以上30インチ以下がより好ましい。また、画素回路351にLTPO(LTPSトランジスタと、OSトランジスタとを、組み合わせる構成)を用いる場合、表示部313の対角のサイズは0.1インチ以上50インチ以下が好ましく1インチ以上50インチ以下がより好ましい。また、画素回路351にOSトランジスタを用いる場合、表示部313の対角のサイズは0.1インチ以上200インチ以下が好ましく、50インチ以上100インチ以下がより好ましい。
 単結晶Siトランジスタは、単結晶Si基板の大型化が困難であるため、大型化が非常に困難である。また、表示装置にLTPSトランジスタを用いる場合は、製造工程にてレーザ結晶化装置を用いるため、大型化(代表的には、対角のサイズにて30インチを超える画面サイズ)への対応が難しい。一方でOSトランジスタは、製造工程にてレーザ結晶化装置などを用いる制約がない、または比較的低温のプロセス温度(代表的には450℃以下)で製造することが可能なため、比較的大面積(代表的には、対角のサイズにて50インチ以上100インチ以下)の表示装置まで対応することが可能である。また、LTPOについては、LTPSトランジスタを用いる場合と、OSトランジスタを用いる場合との間の対角サイズ(代表的には、1インチ以上50インチ以下)に対応することが可能となる。
 駆動回路330および機能回路340の具体的な構成例について、図21を参照して説明する。図21は、表示装置310Aにおける、画素回路351、駆動回路330および機能回路340を接続する複数の配線、および表示装置310A内のバス配線等を図示して示すブロック図である。
 図21に示す表示装置310Aにおいて、層350は、複数の画素回路351がマトリクス状に配置されている。
 また、図21に示す表示装置310Aにおいて、層320は、駆動回路330、機能回路340、および入出力回路380が配置されている。駆動回路330は、一例として、ソースドライバ回路331、デジタルアナログ変換回路(DAC:Digital Analog Converter)332、増幅回路335、ゲートドライバ回路333、およびレベルシフタ334を有する。機能回路340は、一例として、記憶装置341、GPU(AIアクセラレータ)342、EL補正回路343、タイミングコントローラ344、CPU345、センサコントローラ346、および電源回路347を有する。機能回路340は、アプリケーションプロセッサの機能を有する。
 入出力回路380は、LVDS(Low Voltage Differential Signaling)などの伝送方式に対応し、入出力回路380は端子部314を介して入力される制御信号および画像データなどを、駆動回路330および機能回路340に振り分ける機能を有する。また、入出力回路380は、表示装置310Aの情報を、端子部314を介して外部に出力する機能を有する。
 また、図21の表示装置310Aでは、駆動回路330に含まれる回路、および機能回路340に含まれる回路のそれぞれが、バス配線BSLと電気的に接続する構成を例示している。
 ソースドライバ回路331は、一例として、画素390が有する画素回路351に対して、画像データを送信する機能を有する。そのため、ソースドライバ回路331は、配線SLを介して、画素回路351に電気的に接続されている。なおソースドライバ回路331は、複数設けてもよい。
 デジタルアナログ変換回路332は、一例として、後述するGPU、補正回路などによってデジタル処理された画像データをアナログデータに変換する機能を有する。アナログデータに変換された画像データはオペアンプなどの増幅回路335により増幅され、ソースドライバ回路331を介して、画素回路351に送信される。なお、ソースドライバ回路331、デジタルアナログ変換回路332、画素回路351の順に画像データが送信される構成としてもよい。また、デジタルアナログ変換回路332および増幅回路335は、ソースドライバ回路331に含まれていてもよい。
 ゲートドライバ回路333は、一例として、画素回路351において、画像データの送信先となる画素回路を選択する機能を有する。そのため、ゲートドライバ回路333は、配線GLを介して、画素回路351に電気的に接続されている。なおゲートドライバ回路333は、ソースドライバ回路331と対応して、複数設けてもよい。
 レベルシフタ334は、一例として、ソースドライバ回路331、デジタルアナログ変換回路332、ゲートドライバ回路333などに対して入力される信号を適切なレベルに変換する機能を有する。
 記憶装置341は、一例として、画素回路351に表示させる画像データを保存する機能を有する。なお、記憶装置341は、画像データをデジタルデータまたはアナログデータとして保存する構成とすることができる。
 また、記憶装置341に画像データを保存する場合、記憶装置341としては不揮発性メモリとすることが好ましい。この場合、記憶装置341としては、例えば、NAND型メモリなどを適用することができる。
 また、記憶装置341にGPU342、EL補正回路343、CPU345などで生じる一時データを保存する場合、記憶装置341としては揮発性メモリとすることが好ましい。この場合、記憶装置341としては、例えば、SRAM(Static Random Access Memory)、DRAM(Dynamic Random Access Memory)などを適用することができる。
 GPU342は、一例として、記憶装置341から読み出された画像データを、画素回路351に出力するための処理を行う機能を有する。特に、GPU342は、並列にパイプライン処理を行う構成となっているため、画素回路351に出力する画像データを高速に処理することができる。また、GPU342は、エンコードされた画像を復元するためのデコーダとしての機能も有することができる。
 また、機能回路340には、表示装置310Aの表示品位を高めることができる回路が複数含まれていてもよい。当該回路としては、例えば、表示される画像の色ムラを検出して、当該色ムラを補正して最適な画像にする補正回路(調色、調光)を設けてもよい。例えば、表示素子に有機ELが用いられた発光デバイスが適用されている場合、機能回路340に、該発光デバイスの特性に応じて画像データを補正するEL補正回路を設けてもよい。機能回路340には、一例として、EL補正回路343を含めている。
 また、上記で説明した画像補正には、人工知能を用いてもよい。例えば、画素回路に流れる電流(または画素回路に印加される電圧)をモニタリングして取得し、表示された画像をイメージセンサなどで取得し、電流(または電圧)と画像を人工知能の演算(例えば、人工ニューラルネットワークなど)の入力データとして扱い、その出力結果で当該画像の補正の有無を判断させてもよい。
 また、人工知能の演算は、画像補正だけでなく、画像データの解像度を高めるアップコンバート処理にも適用できる。一例として、図21のGPU342は、各種補正の演算(色ムラ補正342a、アップコンバート342bなど)を行うためのブロックを図示している。
 画像データのアップコンバート処理を行なうためのアルゴリズムとしては、Nearest neighbor法、Bilinear法、Bicubic法、RAISR(Rapid and Accurate Image Super−Resolution)法、ANR(Anchored Neighborhood Regression)法、A+法、SRCNN(Super−Resolution Convolutional Neural Network)法などから選択して行うことができる。
 アップコンバート処理は、注視点に応じて決定される領域ごとに、アップコンバート処理に用いるアルゴリズムを変える構成としてもよい。例えば、注視点および注視点近傍の領域のアップコンバート処理を、処理速度が遅いが高精度なアルゴリズムで行ない、当該領域以外の領域のアップコンバート処理を、処理速度は速いが低精度なアルゴリズムで行なえばよい。当該構成とすることで、アップコンバート処理に必要な時間を短縮できる。また、アップコンバート処理に必要な消費電力を低減できる。
 また、アップコンバート処理に限らず、画像データの解像度を下げるダウンコンバート処理を行なってもよい。画像データの解像度が表示部313の解像度よりも大きい場合、画像データの一部が表示部313に表示されない場合がある。このような場合、ダウンコンバート処理を行なうことで、当該画像データ全体を表示部313に表示できる。
 タイミングコントローラ344は、一例として、画像を表示させる駆動周波数(フレーム周波数、フレームレート、またはリフレッシュレートなど)を制御する機能を有する。例えば、表示装置310Aで静止画を表示させる場合、タイミングコントローラ344によって駆動周波数を下げることで、表示装置310Aの消費電力を低減できる。
 CPU345は、一例として、オペレーティングシステムの実行、データの制御、各種演算、およびプログラムの実行など、汎用の処理を行う機能を有する。CPU345は、例えば、記憶装置341における画像データの書き込み動作または読み出し動作、画像データの補正動作、後述するセンサへの動作、などの命令を行う役割を有する。また、例えば、CPU345は、機能回路340に含まれる回路の少なくとも一に制御信号を送信する機能を有してもよい。
 センサコントローラ346は、一例として、センサを制御する機能を有する。また、図21では、当該センサに電気的に接続するための配線として、配線SNCLを図示している。
 当該センサとしては、例えば、表示部313に備えることができるタッチセンサとすることができる。または、当該センサとしては、例えば、照度センサとすることができる。
 電源回路347は、一例として、画素回路351、駆動回路330および機能回路340などに供給する電圧を生成する機能を有する。なお、電源回路347は、電圧を供給する回路を選択する機能を有してもよい。例えば、電源回路347は、静止画を表示させている期間では、CPU345、GPU342などに対しての電圧供給を停止することによって、表示装置310A全体の消費電力を低減することができる。
 以上説明したように本発明の一態様の表示装置は、表示素子と、画素回路と、駆動回路および機能回路340と、を積層した構成とすることができる。周辺回路である駆動回路および機能回路を画素回路と重ねて配置することができ、額縁の幅を極めて狭くすることができるため、小型化が図られた表示装置とすることができる。また本発明の一態様の表示装置は、各回路を積層した構成とすることにより、各回路間を接続する配線を短くすることができるため、軽量化が図られた表示装置とすることができる。また本発明の一態様の表示装置は、画素の精細度が高められた表示部とすることができるため、表示品位に優れた表示装置とすることができる。
<表示モジュールの構成例>
 続いて、表示装置310Aを含む表示モジュールの構成例について説明する。
 図22A乃至図22Cは、表示モジュール370の斜視図である。表示モジュール370は、表示装置310Aの端子部314にFPC374(FPC:Flexible printed circuits)を備えた構造を有する。FPC374は絶縁体でできたフィルムに配線を備えた構造を有する。また、FPC374は、可撓性を有する。FPC374は、外部から表示装置310Aにビデオ信号、制御信号、および電源電位などを供給するための配線として機能する。また、FPC374上にICが実装されていてもよい。
 図22Bに示す表示モジュール370は、プリント配線板371上に表示装置310Aを備える構成を有する。プリント配線板371は、絶縁体でできた基板の内部または表面、もしくは、内部と表面に配線を備えた構造を有する。
 図22Bに示す表示モジュール370では、表示装置310Aの端子部314と、プリント配線板371の端子部372がワイヤ373を介して電気的に接続している。ワイヤ373はワイヤボンディングで形成できる。また、ワイヤボンディングとしては、ボールボンディングまたはウェッジボンディングを用いることができる。
 ワイヤ373の形成後、樹脂材料などでワイヤ373を覆ってもよい。なお、表示装置310Aとプリント配線板371の電気的な接続は、ワイヤボンディング以外の方法で行なってもよい。例えば、表示装置310Aとプリント配線板371の電気的な接続を、異方性導電接着剤またはバンプなどで実現してもよい。
 また、図22Bに示す表示モジュール370は、プリント配線板371の端子部372がFPC374と電気的に接続している。例えば、表示装置310Aの端子部314が備える電極のピッチと、FPC374が備える電極のピッチが異なる場合は、プリント配線板371を介して、端子部314とFPC374を電気的に接続してもよい。具体的には、プリント配線板371に形成された配線を用いて、端子部314が備える複数の電極の間隔(ピッチ)を、端子部372が備える複数の電極の間隔に変換できる。すなわち、端子部314が備える電極のピッチとFPC374が備える電極のピッチが異なる場合においても、両者の電極の電気的な接続を実現できる。
 また、プリント配線板371には、抵抗素子、容量素子、半導体素子などの様々な素子を設けることができる。
 また、図22Cに示す表示モジュール370のように、端子部372をプリント配線板371の下面(表示装置310Aが設けられていない側の面)に設けられた接続部375と電気的に接続してもよい。例えば、接続部375をソケット形式の接続部にすることで、表示モジュール370と他の機器との脱着を容易に行える。
(実施の形態3)
 本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置に用いることができる発光デバイス(発光素子)について説明する。
 本明細書等において、メタルマスク、またはFMM(ファインメタルマスク、高精細なメタルマスク)を用いて作製されるデバイスをMM(メタルマスク)構造のデバイスと呼称する場合がある。また、本明細書等において、メタルマスク、またはFMMを用いることなく作製されるデバイスをMML(メタルマスクレス)構造のデバイスと呼称する場合がある。
 本明細書等では、発光波長が異なる発光デバイスで少なくとも発光層を作り分ける構造をSBS(Side By Side)構造と呼ぶ場合がある。SBS構造は、発光デバイスごとに材料及び構成を最適化することができるため、材料及び構成の選択の自由度が高まり、輝度の向上及び信頼性の向上を図ることが容易となる。
 本明細書等において、正孔または電子を、「キャリア」といって示す場合がある。具体的には、正孔注入層または電子注入層を「キャリア注入層」といい、正孔輸送層または電子輸送層を「キャリア輸送層」といい、正孔ブロック層または電子ブロック層を「キャリアブロック層」という場合がある。なお、上述のキャリア注入層、キャリア輸送層、及びキャリアブロック層は、それぞれ、断面形状、または特性などによって明確に区別できない場合がある。また、1つの層が、キャリア注入層、キャリア輸送層、及びキャリアブロック層のうち2つまたは3つの機能を兼ねる場合がある。
 本明細書等において、発光デバイス(発光素子ともいう)は、一対の電極間にEL層を有する。EL層は、少なくとも発光層を有する。ここで、EL層が有する層(機能層ともいう)としては、発光層、キャリア注入層(正孔注入層及び電子注入層)、キャリア輸送層(正孔輸送層及び電子輸送層)、及び、キャリアブロック層(正孔ブロック層及び電子ブロック層)などが挙げられる。
 発光デバイスとしては、例えば、OLED(Organic Light Emitting Diode)、またはQLED(Quantum−dot Light Emitting Diode)を用いることが好ましい。発光デバイスが有する発光物質としては、例えば、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally activated delayed fluorescence:TADF)材料)、及び、無機化合物(量子ドット材料等)が挙げられる。また、発光デバイスとして、マイクロLED(Light Emitting Diode)などのLEDを用いることもできる。
 発光デバイスの発光色は、赤外、赤、緑、青、シアン、マゼンタ、黄、または白などとすることができる。また、発光デバイスにマイクロキャビティ構造を付与することにより色純度を高めることができる。
 図23Aに示すように、発光デバイスは、一対の電極(下部電極761及び上部電極762)の間に、EL層763を有する。EL層763は、層780、発光層771、及び、層790などの複数の層で構成することができる。
 発光層771は、少なくとも発光物質(発光材料ともいう)を有する。
 下部電極761が陽極であり、上部電極762が陰極である場合、層780は、正孔注入性の高い物質を含む層(正孔注入層)、正孔輸送性の高い物質を含む層(正孔輸送層)、及び、電子ブロック性の高い物質を含む層(電子ブロック層)のうち一つまたは複数を有する。また、層790は、電子注入性の高い物質を含む層(電子注入層)、電子輸送性の高い物質を含む層(電子輸送層)、及び、正孔ブロック性の高い物質を含む層(正孔ブロック層)のうち一つまたは複数を有する。下部電極761が陰極であり、上部電極762が陽極である場合、層780と層790は互いに上記と逆の構成になる。
 一対の電極間に設けられた層780、発光層771、及び層790を有する構成は単一の発光ユニットとして機能することができ、本明細書では図23Aの構成をシングル構造と呼ぶ。
 また、図23Bは、図23Aに示す発光デバイスが有するEL層763の変形例である。具体的には、図23Bに示す発光デバイスは、下部電極761上の層781と、層781上の層782と、層782上の発光層771と、発光層771上の層791と、層791上の層792と、層792上の上部電極762と、を有する。
 下部電極761が陽極であり、上部電極762が陰極である場合、例えば、層781を正孔注入層、層782を正孔輸送層、層791を電子輸送層、層792を電子注入層とすることができる。また、下部電極761が陰極であり、上部電極762が陽極である場合、層781を電子注入層、層782を電子輸送層、層791を正孔輸送層、層792を正孔注入層とすることができる。このような層構造とすることで、発光層771に効率よくキャリアを注入し、発光層771内におけるキャリアの再結合の効率を高めることができる。
 なお、図23C及び図23Dに示すように、層780と層790との間に複数の発光層(発光層771、772、773)が設けられる構成もシングル構造のバリエーションである。なお、図23C及び図23Dでは、発光層を3層有する例を示すが、シングル構造の発光デバイスにおける発光層は、2層であってもよく、4層以上であってもよい。また、シングル構造の発光デバイスは、2つの発光層の間に、バッファ層を有していてもよい。
 また、図23E及び図23Fに示すように、複数の発光ユニット(発光ユニット763a及び発光ユニット763b)が電荷発生層785(中間層ともいう)を介して直列に接続された構成を本明細書ではタンデム構造と呼ぶ。なお、タンデム構造をスタック構造と呼んでもよい。タンデム構造とすることで、高輝度発光が可能な発光デバイスとすることができる。また、タンデム構造は、シングル構造と比べて、同じ輝度を得るために必要な電流を低減できるため、信頼性を高めることができる。
 なお、図23D及び図23Fは、表示装置が、発光デバイスと重なる層764を有する例である。図23Dは、層764が、図23Cに示す発光デバイスと重なる例であり、図23Fは、層764が、図23Eに示す発光デバイスと重なる例である。
 層764としては、色変換層及びカラーフィルタ(着色層)の一方または双方を用いることができる。
 図23C及び図23Dにおいて、発光層771、発光層772、及び発光層773に、同じ色の光を発する発光物質、さらには、同じ発光物質を用いてもよい。例えば、発光層771、発光層772、及び発光層773に、青色の光を発する発光物質を用いてもよい。青色の光を呈する副画素においては、発光デバイスが発する青色の光を取り出すことができる。また、赤色の光を呈する副画素及び緑色の光を呈する副画素においては、図23Dに示す層764として色変換層を設けることで、発光デバイスが発する青色の光をより長波長の光に変換し、赤色または緑色の光を取り出すことができる。
 また、発光層771、発光層772、及び発光層773に、それぞれ発光色の異なる発光物質を用いてもよい。発光層771、発光層772、及び発光層773がそれぞれ発する光が補色の関係である場合、白色発光が得られる。例えば、シングル構造の発光デバイスは、青色の光を発する発光物質を有する発光層、及び、青色よりも長波長の可視光を発する発光物質を有する発光層を有することが好ましい。
 例えば、シングル構造の発光デバイスが3層の発光層を有する場合、赤色(R)の光を発する発光物質を有する発光層、緑色(G)の光を発する発光物質を有する発光層、及び、青色(B)の光を発する発光物質を有する発光層を有することが好ましい。発光層の積層順としては、陽極側から、R、G、B、または、陽極側からR、B、Gなどとすることができる。このとき、RとGまたはBとの間にバッファ層が設けられていてもよい。
 また、例えば、シングル構造の発光デバイスが2層の発光層を有する場合、青色(B)の光を発する発光物質を有する発光層、及び、黄色(Y)の光を発する発光物質を有する発光層を有することが好ましい。当該構成をBYシングル構造と呼称する場合がある。
 図23Dに示す層764として、カラーフィルタを設けてもよい。白色光がカラーフィルタを透過することで、所望の色の光を得ることができる。
 白色の光を発する発光デバイスは、2種類以上の発光物質を含むことが好ましい。白色発光を得るには、2以上の発光物質の各々の発光が補色の関係となるような発光物質を選択すればよい。例えば、第1の発光層の発光色と第2の発光層の発光色を補色の関係になるようにすることで、発光デバイス全体として白色発光する発光デバイスを得ることができる。また、発光層を3つ以上有する発光デバイスの場合も同様である。
 また、図23E及び図23Fにおいて、発光層771と、発光層772とに、同じ色の光を発する発光物質、さらには、同じ発光物質を用いてもよい。
 例えば、各色の光を呈する副画素が有する発光デバイスにおいて、発光層771と、発光層772に、それぞれ青色の光を発する発光物質を用いてもよい。青色の光を呈する副画素においては、発光デバイスが発する青色の光を取り出すことができる。また、赤色の光を呈する副画素及び緑色の光を呈する副画素においては、図23Fに示す層764として色変換層を設けることで、発光デバイスが発する青色の光をより長波長の光に変換し、赤色または緑色の光を取り出すことができる。
 また、各色の光を呈する副画素に、図23Eまたは図23Fに示す構成の発光デバイスを用いる場合、副画素によって、異なる発光物質を用いてもよい。具体的には、赤色の光を呈する副画素が有する発光デバイスにおいて、発光層771と、発光層772に、それぞれ赤色の光を発する発光物質を用いてもよい。同様に、緑色の光を呈する副画素が有する発光デバイスにおいて、発光層771と、発光層772に、それぞれ緑色の光を発する発光物質を用いてもよい。青色の光を呈する副画素が有する発光デバイスにおいて、発光層771と、発光層772に、それぞれ青色の光を発する発光物質を用いてもよい。このような構成の表示装置は、タンデム構造の発光デバイスが適用されており、かつ、SBS構造であるといえる。そのため、タンデム構造のメリットと、SBS構造のメリットの両方を併せ持つことができる。これにより、高輝度発光が可能であり、信頼性の高い発光デバイスを実現することができる。
 また、図23E及び図23Fにおいて、発光層771と、発光層772とに、発光色の異なる発光物質を用いてもよい。発光層771が発する光と、発光層772が発する光が補色の関係である場合、白色発光が得られる。図23Fに示す層764として、カラーフィルタを設けてもよい。白色光がカラーフィルタを透過することで、所望の色の光を得ることができる。
 なお、図23E及び図23Fにおいて、発光ユニット763aが1層の発光層771を有し、発光ユニット763bが1層の発光層772を有する例を示すが、これに限られない。発光ユニット763a及び発光ユニット763bは、それぞれ、2層以上の発光層を有していてもよい。
 また、図23E及び図23Fでは、発光ユニットを2つ有する発光デバイスを例示したが、これに限られない。発光デバイスは、発光ユニットを3つ以上有していてもよい。
 具体的には、図24A乃至図24Cに示す発光デバイスの構成が挙げられる。
 図24Aは、発光ユニットを3つ有する構成である。なお、発光ユニットを2つ有する構成を2段タンデム構造と、発光ユニットを3つ有する構成を3段タンデム構造と、それぞれ呼称してもよい。
 また、図24Aに示すように、複数の発光ユニット(発光ユニット763a、発光ユニット763b、及び発光ユニット763c)が電荷発生層785を介して、それぞれ直列に接続された構成である。また、発光ユニット763aは、層780aと、発光層771と、層790aと、を有し、発光ユニット763bは、層780bと、発光層772と、層790bと、を有し、発光ユニット763cは、層780cと、発光層773と、層790cと、を有する。
 なお、図24Aに示す構成においては、発光層771、発光層772、及び発光層773は、それぞれ同じ色の光を発する発光物質を有すると好ましい。具体的には、発光層771、発光層772、及び発光層773が、それぞれ赤色(R)の発光物質を有する構成(いわゆるR\R\Rの3段タンデム構造)、発光層771、発光層772、及び発光層773が、それぞれ緑色(G)の発光物質を有する構成(いわゆるG\G\Gの3段タンデム構造)、または発光層771、発光層772、及び発光層773が、それぞれ青色(B)の発光物質を有する構成(いわゆるB\B\Bの3段タンデム構造)とすることができる。
 なお、それぞれ同じ色の光を発する発光物質としては、上記の構成に限定されない。例えば、図24Bに示すように、複数の発光物質を有する発光ユニットを積層したタンデム型の発光デバイスとしてもよい。図24Bは、複数の発光ユニット(発光ユニット763a、及び発光ユニット763b)が電荷発生層785を介して、それぞれ直列に接続された構成である。また、発光ユニット763aは、層780aと、発光層771a、発光層771b、及び発光層771cと、層790aと、を有し、発光ユニット763bは、層780bと、発光層772a、発光層772b、及び発光層772cと、層790bと、を有する。
 図24Bに示す構成においては、発光層771a、発光層771b、及び発光層771cについて発光物質を適宜選択し、発光ユニット763aを白色発光(W)が可能な構成とする。また、発光層772a、発光層772b、及び発光層772cについて発光物質を適宜選択し、発光ユニット763bを白色発光(W)が可能な構成とする。すなわち、図24Cに示す構成においては、W\Wの2段タンデム構造である。なお、発光層771a、発光層771b、及び発光層771cの補色の関係となる発光物質の積層順については、特に限定はない。実施者が適宜最適な積層順を選択することができる。また、図示しないが、W\W\Wの3段タンデム構造、または4段以上のタンデム構造としてもよい。
 また、タンデム構造の発光デバイスを用いる場合、黄色(Y)の光を発する発光ユニットと、青色(B)の光を発する発光ユニットとを有するB\Yの2段タンデム構造、赤色(R)と緑色(G)の光を発する発光ユニットと、青色(B)の光を発する発光ユニットとを有するR・G\Bの2段タンデム構造、青色(B)の光を発する発光ユニットと、黄色(Y)の光を発する発光ユニットと、青色(B)の光を発する発光ユニットとをこの順で有するB\Y\Bの3段タンデム構造、青色(B)の光を発する発光ユニットと、黄緑色(YG)の光を発する発光ユニットと、青色(B)の光を発する発光ユニットとをこの順で有するB\Y・G\Bの3段タンデム構造、青色(B)の光を発する発光ユニットと、緑色(G)の光を発する発光ユニットと、青色(B)の光を発する発光ユニットとをこの順で有するB\G\Bの3段タンデム構造などが挙げられる。
 また、図24Cに示すように、1つの発光物質を有する発光ユニットと、複数の発光物質を有する発光ユニットと、を組み合わせてもよい。
 具体的には、図24Cに示す構成においては、複数の発光ユニット(発光ユニット763a、発光ユニット763b、及び発光ユニット763c)が電荷発生層785を介して、それぞれ直列に接続された構成である。また、発光ユニット763aは、層780aと、発光層771と、層790aと、を有し、発光ユニット763bは、層780bと、発光層772a、発光層772b、及び発光層772cと、層790bと、を有し、発光ユニット763cは、層780cと、発光層773と、層790cと、を有する。
 例えば、図24Cに示す構成において、発光ユニット763aが青色(B)の光を発する発光ユニットであり、発光ユニット763bが赤色(R)、緑色(G)、及び黄緑色(YG)の光を発する発光ユニットであり、発光ユニット763cが青色(B)の光を発する発光ユニットである、B\R・G・YG\Bの3段タンデム構造などを適用することができる。
 例えば、発光ユニットの積層数と色の順番としては、陽極側から、B、Yの2段構造、Bと発光ユニットXとの2段構造、B、Y、Bの3段構造、B、X、Bの3段構造が挙げられ、発光ユニットXにおける発光層の積層数と色の順番としては、陽極側から、R、Yの2層構造、R、Gの2層構造、G、Rの2層構造、G、R、Gの3層構造、または、R、G、Rの3層構造などとすることができる。また、2つの発光層の間に他の層が設けられていてもよい。
 なお、図23C、図23Dにおいても、図23Bに示すように、層780と、層790とを、それぞれ独立に、2層以上の層からなる積層構造としてもよい。
 また、図23E及び図23Fにおいて、発光ユニット763aは、層780a、発光層771、及び、層790aを有し、発光ユニット763bは、層780b、発光層772、及び、層790bを有する。
 下部電極761が陽極であり、上部電極762が陰極である場合、層780a及び層780bは、それぞれ、正孔注入層、正孔輸送層、及び、電子ブロック層のうち一つまたは複数を有する。また、層790a及び層790bは、それぞれ、電子注入層、電子輸送層、及び、正孔ブロック層のうち一つまたは複数を有する。下部電極761が陰極であり、上部電極762が陽極である場合、層780aと層790aは互いに上記と逆の構成になり、層780bと層790bも互いに上記と逆の構成になる。
 下部電極761が陽極であり、上部電極762が陰極である場合、例えば、層780aは、正孔注入層と、正孔注入層上の正孔輸送層と、を有し、さらに、正孔輸送層上の電子ブロック層を有していてもよい。また、層790aは、電子輸送層を有し、さらに、発光層771と電子輸送層との間の正孔ブロック層を有していてもよい。また、層780bは、正孔輸送層を有し、さらに、正孔輸送層上の電子ブロック層を有していてもよい。また、層790bは、電子輸送層と、電子輸送層上の電子注入層と、を有し、さらに、発光層771と電子輸送層との間の正孔ブロック層を有していてもよい。下部電極761が陰極であり、上部電極762が陽極である場合、例えば、層780aは、電子注入層と、電子注入層上の電子輸送層と、を有し、さらに、電子輸送層上の正孔ブロック層を有していてもよい。また、層790aは、正孔輸送層を有し、さらに、発光層771と正孔輸送層との間の電子ブロック層を有していてもよい。また、層780bは、電子輸送層を有し、さらに、電子輸送層上の正孔ブロック層を有していてもよい。また、層790bは、正孔輸送層と、正孔輸送層上の正孔注入層と、を有し、さらに、発光層771と正孔輸送層との間の電子ブロック層を有していてもよい。
 また、タンデム構造の発光デバイスを作製する場合、2つの発光ユニットは、電荷発生層785を介して積層される。電荷発生層785は、少なくとも電荷発生領域を有する。電荷発生層785は、一対の電極間に電圧を印加したときに、2つの発光ユニットの一方に電子を注入し、他方に正孔を注入する機能を有する。
 特に、本発明の一態様の表示装置は、白色発光の発光デバイスと、カラーフィルタとを組み合わせた構成とすることが好ましい。さらに、タンデム構造の発光デバイスとすることがより好ましい。
 次に、発光デバイスに用いることができる材料について説明する。
 下部電極761と上部電極762のうち、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。また、表示装置が赤外光を発する発光デバイスを有する場合には、光を取り出す側の電極には、可視光及び赤外光を透過する導電膜を用い、光を取り出さない側の電極には、可視光及び赤外光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
 また、光を取り出さない側の電極にも可視光を透過する導電膜を用いてもよい。この場合、反射層と、EL層763との間に当該電極を配置することが好ましい。つまり、EL層763の発光は、当該反射層によって反射されて、表示装置から取り出されてもよい。
 発光デバイスの一対の電極を形成する材料としては、金属、合金、電気伝導性化合物、及びこれらの混合物などを適宜用いることができる。当該材料としては、具体的には、アルミニウム、チタン、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ガリウム、亜鉛、インジウム、スズ、モリブデン、タンタル、タングステン、パラジウム、金、白金、銀、イットリウム、ネオジムなどの金属、及びこれらを適宜組み合わせて含む合金が挙げられる。また、当該材料としては、インジウムスズ酸化物(In−Sn酸化物、ITOともいう)、In−Si−Sn酸化物(ITSOともいう)、インジウム亜鉛酸化物(In−Zn酸化物)、及びIn−W−Zn酸化物などを挙げることができる。また、当該材料としては、アルミニウム、ニッケル、及びランタンの合金(Al−Ni−La)等のアルミニウムを含む合金(アルミニウム合金)、及び、銀とパラジウムと銅の合金(Ag−Pd−Cu、APCとも記す)が挙げられる。その他、当該材料としては、上記例示のない元素周期表の第1族または第2族に属する元素(例えば、リチウム、セシウム、カルシウム、ストロンチウム)、ユウロピウム、イッテルビウムなどの希土類金属及びこれらを適宜組み合わせて含む合金、グラフェン等が挙げられる。
 発光デバイスには、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光デバイスが有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光デバイスがマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光デバイスから射出される光を強めることができる。
 なお、半透過・半反射電極は、反射電極として用いることができる導電層と、可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう)として用いることができる導電層と、の積層構造とすることができる。
 透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光デバイスの透明電極には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10−2Ωcm以下が好ましい。
 発光デバイスは少なくとも発光層を有する。また、発光デバイスは、発光層以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、電子ブロック材料、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。例えば、発光デバイスは、発光層の他に、正孔注入層、正孔輸送層、正孔ブロック層、電荷発生層、電子ブロック層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を有する構成とすることができる。
 発光デバイスには低分子化合物及び高分子化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。発光デバイスを構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
 発光層は、1種または複数種の発光物質を有する。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、または赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
 発光物質としては、蛍光材料、燐光材料、TADF材料、及び量子ドット材料などが挙げられる。
 蛍光材料としては、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、及びナフタレン誘導体などが挙げられる。
 燐光材料としては、例えば、4H−トリアゾール骨格、1H−トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、またはピリジン骨格を有する有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体(特にイリジウム錯体)、白金錯体、及び希土類金属錯体等が挙げられる。
 発光層は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、1種または複数種の有機化合物(ホスト材料、アシスト材料等)を有していてもよい。1種または複数種の有機化合物としては、正孔輸送性の高い物質(正孔輸送性材料)及び電子輸送性の高い物質(電子輸送性材料)の一方または双方を用いることができる。正孔輸送性材料としては、後述の、正孔輸送層に用いることができる正孔輸送性の高い材料を用いることができる。電子輸送性材料としては、後述の、電子輸送層に用いることができる電子輸送性の高い材料を用いることができる。また、1種または複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、またはTADF材料を用いてもよい。
 発光層は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質(燐光材料)へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex−Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、発光デバイスの高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。
 正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物、及び、正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料などが挙げられる。
 正孔輸送性材料としては、後述の、正孔輸送層に用いることができる正孔輸送性の高い材料を用いることができる。
 アクセプター性材料としては、例えば、元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物を用いることができる。具体的には、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化タングステン、酸化マンガン、及び、酸化レニウムが挙げられる。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。また、フッ素を含む有機アクセプター性材料を用いることもできる。また、キノジメタン誘導体、クロラニル誘導体、及び、ヘキサアザトリフェニレン誘導体などの有機アクセプター性材料を用いることもできる。
 例えば、正孔注入性の高い材料として、正孔輸送性材料と、上述の元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物(代表的には酸化モリブデン)とを含む材料を用いてもよい。
 正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、1×10−6cm/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えばカルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)、芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
 電子ブロック層は、発光層に接して設けられる。電子ブロック層は、正孔輸送性を有し、かつ、電子をブロックすることが可能な材料を含む層である。電子ブロック層には、上記正孔輸送性材料のうち、電子ブロック性を有する材料を用いることができる。
 電子ブロック層は、正孔輸送性を有するため、正孔輸送層と呼ぶこともできる。また、正孔輸送層のうち、電子ブロック性を有する層を、電子ブロック層と呼ぶこともできる。
 電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10−6cm/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
 正孔ブロック層は、発光層に接して設けられる。正孔ブロック層は、電子輸送性を有し、かつ、正孔をブロックすることが可能な材料を含む層である。正孔ブロック層には、上記電子輸送性材料のうち、正孔ブロック性を有する材料を用いることができる。
 正孔ブロック層は、電子輸送性を有するため、電子輸送層と呼ぶこともできる。また、電子輸送層のうち、正孔ブロック性を有する層を、正孔ブロック層と呼ぶこともできる。
 電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、またはそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
 また、電子注入性の高い材料のLUMO準位は、陰極に用いる材料の仕事関数の値との差が小さい(具体的には0.5eV以下)であることが好ましい。
 電子注入層には、例えば、リチウム、セシウム、イッテルビウム、フッ化リチウム(LiF)、フッ化セシウム(CsF)、フッ化カルシウム(CaF、Xは任意数)、8−(キノリノラト)リチウム(略称:Liq)、2−(2−ピリジル)フェノラトリチウム(略称:LiPP)、2−(2−ピリジル)−3−ピリジノラトリチウム(略称:LiPPy)、4−フェニル−2−(2−ピリジル)フェノラトリチウム(略称:LiPPP)、リチウム酸化物(LiO)、炭酸セシウム等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、またはこれらの化合物を用いることができる。また、電子注入層は、2以上の積層構造としてもよい。当該積層構造としては、例えば、1層目にフッ化リチウムを用い、2層目にイッテルビウムを設ける構成が挙げられる。
 電子注入層は、電子輸送性材料を有していてもよい。例えば、非共有電子対を備え、電子不足型複素芳香環を有する化合物を、電子輸送性材料に用いることができる。具体的には、ピリジン環、ジアジン環(ピリミジン環、ピラジン環、ピリダジン環)、トリアジン環の少なくとも1つを有する化合物を用いることができる。
 なお、非共有電子対を備える有機化合物の最低空軌道(LUMO:Lowest Unoccupied Molecular Orbital)準位は、−3.6eV以上−2.3eV以下であると好ましい。また、一般にCV(サイクリックボルタンメトリ)、光電子分光法、光吸収分光法、逆光電子分光法等により、有機化合物の最高被占有軌道(HOMO:highest occupied Molecular Orbital)準位及びLUMO準位を見積もることができる。
 例えば、4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:BPhen)、2,9−ジ(ナフタレン−2−イル)−4,7−ジフェニル−1,10−フェナントロリン(略称:NBPhen)、ジキノキサリノ[2,3−a:2’,3’−c]フェナジン(略称:HATNA)、2,4,6−トリス[3’−(ピリジン−3−イル)ビフェニル−3−イル]−1,3,5−トリアジン(略称:TmPPPyTz)等を、非共有電子対を備える有機化合物に用いることができる。なお、NBPhenはBPhenと比較して、高いガラス転移点(Tg)を備え、耐熱性に優れる。
 電荷発生層は、上述の通り、少なくとも電荷発生領域を有する。電荷発生領域は、アクセプター性材料を含むことが好ましく、例えば、上述の正孔注入層に適用可能な、正孔輸送性材料とアクセプター性材料とを含むことが好ましい。
 また、電荷発生層は、電子注入性の高い材料を含む層を有することが好ましい。当該層は、電子注入バッファ層と呼ぶこともできる。電子注入バッファ層は、電荷発生領域と電子輸送層との間に設けられることが好ましい。電子注入バッファ層を設けることで、電荷発生領域と電子輸送層との間の注入障壁を緩和することができるため、電荷発生領域で生じた電子を電子輸送層に容易に注入することができる。
 電子注入バッファ層は、アルカリ金属またはアルカリ土類金属を含むことが好ましく、例えば、アルカリ金属の化合物またはアルカリ土類金属の化合物を含む構成とすることができる。具体的には、電子注入バッファ層は、アルカリ金属と酸素とを含む無機化合物、または、アルカリ土類金属と酸素とを含む無機化合物を有することが好ましく、リチウムと酸素とを含む無機化合物(酸化リチウム(LiO)など)を有することがより好ましい。その他、電子注入バッファ層には、上述の電子注入層に適用可能な材料を好適に用いることができる。
 電荷発生層は、電子輸送性の高い材料を含む層を有することが好ましい。当該層は、電子リレー層と呼ぶこともできる。電子リレー層は、電荷発生領域と電子注入バッファ層との間に設けられることが好ましい。電荷発生層が電子注入バッファ層を有さない場合、電子リレー層は、電荷発生領域と電子輸送層との間に設けられることが好ましい。電子リレー層は、電荷発生領域と電子注入バッファ層(または電子輸送層)との相互作用を防いで、電子をスムーズに受け渡す機能を有する。
 電子リレー層としては、銅(II)フタロシアニン(略称:CuPc)などのフタロシアニン系の材料、または、金属−酸素結合と芳香族配位子を有する金属錯体を用いることが好ましい。
 なお、上述の電荷発生領域、電子注入バッファ層、及び電子リレー層は、断面形状、または特性などによって明確に区別できない場合がある。
 なお、電荷発生層は、アクセプター性材料の代わりに、ドナー性材料を有していてもよい。例えば、電荷発生層としては、上述の電子注入層に適用可能な、電子輸送性材料とドナー性材料とを含む層を有していてもよい。
 発光ユニットを積層する際、2つの発光ユニットの間に電荷発生層を設けることで、駆動電圧の上昇を抑制することができる。
 本実施の形態で例示した構成例、及びそれらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、または図面等と適宜組み合わせることができる。
(実施の形態4)
 本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置を適用した電子機器の構成例について説明する。
 本発明の一態様の表示装置及び表示モジュールは、表示機能を有する電子機器等の表示部に適用することができる。このような電子機器としては、例えばテレビジョン装置、ノート型のパーソナルコンピュータ、モニター装置、デジタルサイネージ、パチンコ機、ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
 特に、本発明の一態様の表示装置及び表示モジュールは、精細度を高めることが可能なため、比較的小さな表示部を有する電子機器に好適に用いることができる。このような電子機器としては、例えば腕時計型、ブレスレット型の情報端末機(ウェアラブル機器)、ヘッドマウントディスプレイなどのVR向け機器、またはメガネ型のAR向け機器等、頭部に装着可能なウェアラブル機器等が挙げられる。
 図25Aに、メガネ型の電子機器700の斜視図を示す。電子機器700は、一対の表示パネル701、一対の筐体702、一対の光学部材703、一対の装着部704等を有する。
 電子機器700は、光学部材703の表示領域706に、表示パネル701で表示した画像を投影することができる。また、光学部材703は透光性を有するため、使用者は光学部材703を通して視認される透過像に重ねて、表示領域706に表示された画像を見ることができる。したがって電子機器700は、AR表示が可能な電子機器である。
 また一つの筐体702には、前方を撮像することのできるカメラ705が設けられている。また図示しないが、いずれか一方の筐体702には無線受信機、またはケーブルを接続可能なコネクターを備え、筐体702に映像信号等を供給することができる。また、筐体702に、ジャイロセンサなどの加速度センサを備えることで、使用者の頭部の向きを検知して、その向きに応じた画像を表示領域706に表示することもできる。また、筐体702にはバッテリーが設けられていることが好ましく、無線、または有線によって充電することができる。
 続いて、図25Bを用いて、電子機器700の表示領域706への画像の投影方法について説明する。筐体702の内部には、表示パネル701、レンズ711、反射板712が設けられている。また、光学部材703の表示領域706に相当する部分には、ハーフミラーとして機能する反射面713を有する。
 表示パネル701から発せられた光715は、レンズ711を通過し、反射板712により光学部材703側へ反射される。光学部材703の内部において、光715は光学部材703の端面で全反射を繰り返し、反射面713に到達することで、反射面713に画像が投影される。これにより、使用者は、反射面713に反射された光715と、光学部材703(反射面713を含む)を透過した透過光716の両方を視認することができる。
 図25では、反射板712及び反射面713がそれぞれ曲面を有する例を示している。これにより、これらが平面である場合に比べて、光学設計の自由度を高めることができ、光学部材703の厚さを薄くすることができる。なお、反射板712及び反射面713を平面としてもよい。
 反射板712としては、鏡面を有する部材を用いることができ、反射率が高いことが好ましい。また、反射面713としては、金属膜の反射を利用したハーフミラーを用いてもよいが、全反射を利用したプリズムなどを用いると、透過光716の透過率を高めることができる。
 ここで、筐体702は、レンズ711と表示パネル701との距離、またはこれらの角度を調整する機構を有していることが好ましい。これにより、ピンと調整、画像の拡大、縮小などを行うことが可能となる。例えば、レンズ711または表示パネル701の一方または両方が、光軸方向に移動可能な構成とすればよい。
 また筐体702は、反射板712の角度を調整可能な機構を有していることが好ましい。反射板712の角度を変えることで、画像が表示される表示領域706の位置を変えることが可能となる。これにより、使用者の目の位置に応じて最適な位置に表示領域706を配置することが可能となる。
 表示パネル701には、本発明の一態様の表示装置、または表示モジュールを適用することができる。したがって極めて精細度の高い表示が可能な電子機器700とすることができる。
 図26A、図26Bに、ゴーグル型の電子機器750の斜視図を示す。図26Aは、電子機器750の正面、平面及び左側面を示す斜視図であり、図26Bは、電子機器750の背面、底面、及び右側面を示す斜視図である。
 電子機器750は、一対の表示パネル751、筐体752、一対の装着部754、緩衝部材755、一対のレンズ756等を有する。一対の表示パネル751は、筐体752の内部の、レンズ756を通して視認できる位置にそれぞれ設けられている。
 電子機器750は、VR向けの電子機器である。電子機器750を装着した使用者は、レンズ756を通して表示パネル751に表示される画像を視認することができる。また一対の表示パネル751に異なる画像を表示させることで、視差を用いた3次元表示を行うこともできる。
 また、筐体752の背面側には、入力端子757と、出力端子758とが設けられている。入力端子757には映像出力機器等からの映像信号、または筐体752内に設けられるバッテリーを充電するための電力等を供給するケーブルを接続することができる。出力端子758としては、例えば音声出力端子として機能し、イヤフォン、ヘッドフォン等を接続することができる。なお、無線通信により音声データを出力可能な構成とする場合、または外部の映像出力機器から音声を出力する場合には、当該音声出力端子を設けなくてもよい。
 また、筐体752は、レンズ756及び表示パネル751が、使用者の目の位置に応じて最適な位置となるように、これらの左右の位置を調整可能な機構を有していることが好ましい。また、レンズ756と表示パネル751との距離を変えることで、ピントを調整する機構を有していることが好ましい。
 表示パネル751には、本発明の一態様の表示装置、または表示モジュールを適用することができる。したがって極めて精細度の高い表示が可能な電子機器750とすることができる。これにより、使用者に高い没入感を感じさせることができる。
 緩衝部材755は、使用者の顔(額、頬など)に接触する部分である。緩衝部材755が使用者の顔と密着することにより、光漏れを防ぐことができ、より没入感を高めることができる。緩衝部材755は、使用者が電子機器750を装着した際に使用者の顔に密着するよう、緩衝部材755としては柔らかな素材を用いることが好ましい。例えばゴム、シリコーンゴム、ウレタン、スポンジなどの素材を用いることができる。また、スポンジ等の表面を布、革(天然皮革または合成皮革)、などで覆ったものを用いると、使用者の顔と緩衝部材755との間に隙間が生じにくく光漏れを好適に防ぐことができる。また、このような素材を用いると、肌触りが良いことに加え、寒い季節などに装着した際に、使用者に冷たさを感じさせないため好ましい。緩衝部材755または装着部754などの、使用者の肌に触れる部材は、取り外し可能な構成とすると、クリーニングまたは交換が容易となるため好ましい。
 本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
 本実施例では、本発明の一態様の表示パネルを作製した。
 表示パネルは、基板に単結晶シリコン基板を用い、単結晶シリコントランジスタ、配線層、酸化物半導体トランジスタ(OSトランジスタ)、発光素子を順に積層して作製した。発光素子には、青色(B)の光を呈する発光層と、黄色(Y)の光を呈する発光層とを積層した、B\Yタンデム構造の白色発光素子を適用した。また、発光素子上に保護層を形成し、保護層上にカラーフィルタ及びレンズを形成した。
 作製した表示パネルは、表示領域のサイズが対角0.51インチ、解像度が1920×1920画素、画素サイズが4.8μm、画素密度が5291ppiとした。発光素子はトップエミッション型である。
 図27Aに、作製した表示装置の断面観察像を示す。図27Aには、左から順に青(Blue)、赤(Red)、緑(Green)、青、赤の画素に対応した発光素子の断面を示している。赤と緑の間の領域を領域RG、緑と青の間の領域を領域GB、青と赤の間の領域を領域BRとする。
 図27B、図27C、及び図27Dに、それぞれ領域RG、領域GB、領域BRの拡大像を示している。各図において、反射電極(導電層ともいう)と、反射電極上の光学調整層(導電層ともいう)と、反射電極及び光学調整層の端部を覆う隔壁(絶縁層ともいう)と、EL層、及び共通電極(導電層ともいう)が設けられている。
 各図において、破線で囲って示すように、EL層は隔壁と重なる領域において、他の部分と比較して厚さが薄い部分を有することが確認できる。図27B、図27C、及び図27Dに示す破線で囲った6か所の部分の厚さを測定すると最小値が24.4nm、最大値が49.8nmであった。画素電極及び隔壁と重なる部分のEL層の厚さは約200nm程度であることを考慮すると、EL層はその約12.2%から24.9%程度の厚さの部分を有することが確認できた。
 図28には、一つの発光素子の上面観察像を示す。破線で囲った領域が、発光領域に相当する。発光領域の形状は、縦約1.5μm、横約1.8μmの楕円形状である。開口率は約25.9%であった。
 図29には、色度図を示している。図29中には、作製した表示パネルの赤色発光時の色度座標を四角のマーカーで示し、緑色発光時の色度座標を丸いマーカーで示し、青色発光時の色度座標を三角のマーカーで示している。表示パネルのDCI−P3カバー率は87.4%であった。
 図30A及び図30Bには、表示パネルのスペクトルの測定結果を示す。測定は、表示パネルの全画素を赤色(R)、緑色(G)、及び青色(B)でそれぞれ表示させた状態で、分光放射強度の波長依存性を測定した。図30Aは、100cd/mで表示させたときのスペクトルであり、図30Bは、1cd/mで表示させたときのスペクトルである。図30A、図30Bに示すように、混色はほとんど確認されず、極めて高いコントラスト及び演色性を実現できていることが確認できた。
10A:表示装置、10B:表示装置、10C:表示装置、10D:表示装置、10E:表示装置、10F:表示装置、10X:表示装置、10Y:表示装置、10:表示装置、11:画素回路、12B:発光素子、12G:発光素子、12R:発光素子、12X:発光素子、12:発光素子、20B:副画素、20G:副画素、20R:副画素、20X:副画素、20:画素、21:配線、22a:配線、22b:配線、22c:配線、22d:配線、22:配線、23:配線、24:画素電極、25:導電層、27:導電層、30a:トランジスタ、30b:トランジスタ、30c:トランジスタ、30d:トランジスタ、31a:半導体層、31b:半導体層、31c:半導体層、31d:半導体層、32:ダミー層、200A:表示装置、200B:表示装置、200C:表示装置、200D:表示装置、201:基板、202:基板、203:配線層、210:トランジスタ、211:導電層、212:低抵抗領域、213:絶縁層、214:絶縁層、215:素子分離層、220A:トランジスタ、220B:トランジスタ、220:トランジスタ、221:半導体層、223:絶縁層、224:導電層、225:導電層、226:絶縁層、227:導電層、231:絶縁層、232:絶縁層、233:絶縁層、234:絶縁層、235:絶縁層、236:絶縁層、237:絶縁層、240:容量素子、241:導電層、242:導電層、243:絶縁層、250B:発光素子、250G:発光素子、250R:発光素子、251:導電層、252B:導電層、252G:導電層、252R:導電層、253W:EL層、254:導電層、255B:着色層、255G:着色層、255R:着色層、256:絶縁層、257:レンズアレイ、258:絶縁層、261:絶縁層、262:絶縁層、263:接着層、264:絶縁層、271:導電層、272:プラグ、273:層間絶縁層、310A:表示装置、311:基板、312:基板、313:表示部、314:端子部、320:層、321:トランジスタ、322:チャネル形成領域、330:駆動回路、331:ソースドライバ回路、332:デジタルアナログ変換回路、333:ゲートドライバ回路、334:レベルシフタ、335:増幅回路、340:機能回路、341:記憶装置、342a:色ムラ補正、342b:アップコンバート、342:GPU, 記憶装置、343:EL補正回路、344:タイミングコントローラ、345:CPU、346:センサコントローラ、347:電源回路、350:層、351:画素回路、352:トランジスタ、355:画素回路群、360:層、361:発光素子、370:表示モジュール、371:プリント配線板、372:端子部、373:ワイヤ、374:FPC、375:接続部、380:入出力回路、390:画素、700:電子機器、701:表示パネル、702:筐体、703:光学部材、704:装着部、705:カメラ、706:表示領域、711:レンズ、712:反射板、713:反射面、715:光、716:透過光、750:電子機器、751:表示パネル、752:筐体、754:装着部、755:緩衝部材、756:レンズ、757:入力端子、758:出力端子、761:下部電極、762:上部電極、763a:発光ユニット、763b:発光ユニット、763c:発光ユニット、763:EL層、764:層、771a:発光層、771b:発光層、771c:発光層、771:発光層、772a:発光層、772b:発光層、772c:発光層、772:発光層、773:発光層、780a:層、780b:層、780c:層、780:層、781:層、782:層、785:電荷発生層、790a:層、790b:層、790c:層、790:層、791:層、792:層

Claims (14)

  1.  第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、EL層と、絶縁層と、を有し、
     前記第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられ、
     前記第2の配線は、前記第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられ、
     前記第3の配線は、定電位が与えられ、
     前記第1の配線と、前記画素電極とは、前記第3の配線を介して重ねて設けられ、
     前記絶縁層は、前記画素電極の上面の一部に接する部分と、前記画素電極の側面に接する部分と、を有し、
     前記EL層は、前記画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、前記絶縁層上に位置する第2の部分と、を有し、
     前記第2の部分は、厚さが前記第1の部分の半分以下である領域を有する、
     表示装置。
  2.  第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、EL層と、絶縁層と、を有し、
     前記第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられ、
     前記第2の配線は、前記第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられ、
     前記第3の配線は、第1の電位が与えられ、
     前記第1の配線と、前記画素電極とは、前記第3の配線を介して重ねて設けられ、
     前記第1のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記第1の配線と電気的に接続され、ゲートが前記第2の配線と電気的に接続され、
     前記第2のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記画素電極と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記第3の配線と電気的に接続され、
     前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、それぞれ前記第1の方向に電流が流れる半導体層を有し、
     前記絶縁層は、前記画素電極の上面の一部に接する部分と、前記画素電極の側面に接する部分と、を有し、
     前記EL層は、前記画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、前記絶縁層上に位置する第2の部分と、を有し、
     前記第2の部分は、厚さが前記第1の部分の半分以下である領域を有する、
     表示装置。
  3.  第1の配線と、第2の配線と、第3の配線と、画素電極と、第1のトランジスタと、第2のトランジスタと、EL層と、絶縁層と、を有し、
     前記第1の配線は、第1の方向に延伸し、且つ、ソース信号が与えられ、
     前記第2の配線は、前記第1の方向と交差する第2の方向に延伸し、且つ、ゲート信号が与えられ、
     前記第3の配線は、第1の電位が与えられ、
     前記第1の配線と、前記画素電極とは、前記第3の配線を介して重ねて設けられ、
     前記第1のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記第1の配線と電気的に接続され、ゲートが前記第2の配線と電気的に接続され、
     前記第2のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記画素電極と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記第3の配線と電気的に接続され、
     前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、それぞれ前記第2の方向に電流が流れる半導体層を有し、
     前記絶縁層は、前記画素電極の上面の一部に接する部分と、前記画素電極の側面に接する部分と、を有し、
     前記EL層は、前記画素電極の上面の他の一部に接する第1の部分と、前記絶縁層上に位置する第2の部分と、を有し、
     前記第2の部分は、厚さが前記第1の部分の半分以下である領域を有する、
     表示装置。
  4.  請求項2において、
     複数のダミー層を有し、
     前記ダミー層は、前記半導体層と同一の半導体材料を含み、
     前記ダミー層は、前記半導体層と上面形状が概略同一である部分を有し、
     複数の前記ダミー層、及び前記半導体層は、前記第2の方向に等間隔に配置される、
     表示装置。
  5.  請求項3において、
     複数のダミー層を有し、
     前記ダミー層は、前記半導体層と同一の半導体材料を含み、
     前記ダミー層は、前記半導体層と上面形状が概略同一である部分を有し、
     複数の前記ダミー層、及び前記半導体層は、前記第1の方向に等間隔に配置される、
     表示装置。
  6.  請求項2乃至請求項5のいずれか一において、
     第4の配線と、第3のトランジスタと、第4のトランジスタと、を有し、
     前記第3のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記第4の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記第2のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
     前記第4のトランジスタは、ソース及びドレインの一方が前記第4の配線と電気的に接続され、ソース及びドレインの他方が前記画素電極と電気的に接続され、
     前記第4の配線は、前記第1の電位よりも低い第2の電位が与えられる、
     表示装置。
  7.  請求項2乃至請求項5のいずれか一において、
     第5のトランジスタを有し、
     前記第5のトランジスタは、シリコンにチャネルが形成されるトランジスタであり、
     前記半導体層は、インジウム及び亜鉛の一方または双方を含み、
     前記第1のトランジスタ及び前記第2のトランジスタは、前記第5のトランジスタの上方に設けられる、
     表示装置。
  8.  請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
     前記第3の配線は、格子状の上面形状を有し、前記第1の方向に延在する第3の部分と、前記第2の方向に延在する第4の部分と、を有し、
     前記画素電極と、前記第1の配線とは、前記第3の部分を介して重ねて設けられる、
     表示装置。
  9.  請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
     前記画素電極を複数有し、
     前記画素電極上に、発光領域を有し、
     複数の前記発光領域は、平面視において、1つの前記発光領域が6つの前記発光領域に囲まれるように配列される、
     表示装置。
  10.  請求項9において、
     前記発光領域は、概略六角形の上面形状を有し、
     前記発光領域は、6つの角のうち、対向する2つの角における内角が120度よりも大きく、残りの4つの角における内角が120度未満である、上面形状を有する、
     表示装置。
  11.  請求項9において、
     前記発光領域は、概略六角形の上面形状を有し、
     前記画素電極は、6つの内角が全て120度であり、6つの辺のうち対向する2つの辺の長さが一致し、且つ、他の4つの辺の長さが一致する、上面形状を有する、
     表示装置。
  12.  請求項9において、
     隣接する3つの前記発光領域は、二等辺三角形の頂点に位置するように配置される、
     表示装置。
  13.  請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の表示装置と、コネクターまたは集積回路と、を有する、
     表示モジュール。
  14.  請求項13に記載の表示モジュールと、
     アンテナ、バッテリー、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、タッチセンサ、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、
     電子機器。
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