WO2022270380A1

WO2022270380A1 - 有機溶剤回収システム

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Publication number: WO2022270380A1
Application number: PCT/JP2022/023971
Authority: WO
Inventors: 大樹河野
Original assignee: 東洋紡株式会社
Priority date: 2021-06-23
Filing date: 2022-06-15
Publication date: 2022-12-29
Also published as: JPWO2022270380A1; TW202313181A; KR20240023605A; CN117545542A; US20240278165A1; EP4360730A1

Abstract

有機溶剤回収システム（１Ｅ）は、冷却凝縮装置（１００）と、第一通流経路（Ｆ１）と、第一濃縮装置（２００）と、第二通流経路（Ｆ２）と、第二濃縮装置（３００）と、を備える。第一濃縮装置（２００）は、少なくとも２つ以上設けられ、第二濃縮装置（３００）は、少なくとも１つ以上設けられ、第二濃縮装置（３００）の数が、第一濃縮装置（２００）の数未満である。

Description

有機溶剤回収システム

　本開示は、有機溶剤回収システムに関する。

　従来、有機溶剤を含有する排ガスから有機溶剤を回収する処理システムとして、冷却凝縮装置および吸着素子を使用した濃縮装置を組み合わせたものが知られている。冷却凝縮装置は、有機溶剤を凝縮回収し、排ガス中の有機溶剤濃度を低減させる。吸着素子を使用した濃縮装置は、冷却凝縮装置から排出された有機溶剤濃度が低減された排ガスを吸着素子に接触させて有機溶剤を吸着させて更に排ガス中の有機溶剤濃度を低減させるとともに、有機溶剤を吸着した吸着材に高温のガスを吹き付けて有機溶剤を脱着させて高濃度の有機溶剤を含有する脱着ガスとして排出する。脱着ガスは冷却凝縮装置に返送され、再処理される（特許文献１、２参照）。

特開２０１６－１０１５５３号公報特開２０１７－９９１号公報

　生産設備においては、一定量のクリーンガスが補給される。従って、補給ガス分の排ガスが外部環境へ排出される。近年、世界的な排ガス規制に伴い、極低濃度までの有機溶剤の除去が求められており、高度な処理効率が求められる。

　本開示の目的は、排ガスから有機溶剤をより高効率に回収することが可能な有機溶剤回収システムを提供することである。

　本開示の有機溶剤回収システムは、生産設備から排出される有機溶剤を含有する排ガスから上記有機溶剤を回収する有機溶剤回収システムである。有機溶剤回収システムは、上記有機溶剤を含有する上記排ガスを冷却することで、上記有機溶剤を液化凝縮し、上記有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスとして排出する冷却凝縮装置と、上記冷却処理ガスを通流させる第一通流経路と、上記第一通流経路から導入された上記冷却処理ガスに含まれる上記有機溶剤を第一吸着素子にて吸着して上記有機溶剤の濃度が更に低減された第一処理ガスとして排出し、高温ガスを導入して上記第一吸着素子から上記有機溶剤を脱着して第一脱着ガスとして排出する第一濃縮装置と、上記第一処理ガスの一部を通流させる第二通流経路と、上記第二通流経路から導入された上記第一処理ガスに含まれる上記有機溶剤を第二吸着素子にて吸着して上記有機溶剤の濃度が更に低減された第二処理ガスとして排出し、高温ガスを導入して上記第二吸着素子から上記有機溶剤を脱着して第二脱着ガスとして排出する第二濃縮装置と、を備える。上記第一濃縮装置は、少なくとも２つ以上設けられ、上記第二濃縮装置は、少なくとも１つ以上設けられ、上記第二濃縮装置の数が、上記第一濃縮装置の数未満である。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、複数の上記第一濃縮装置は、上記生産設備に対して並列に配置される。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、上記冷却凝縮装置は、少なくとも２つ以上設けられ、上記第一濃縮装置の数が、上記冷却凝縮装置の数と同じである。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、上記冷却凝縮装置は、上記冷却後の上記排ガスを接触させることで凝縮した上記有機溶剤と上記冷却処理ガスとを分離させる網目状構造体と、上記網目状構造体を通過後の上記冷却処理ガスを一定時間貯留させるチャンバーと、をさらに備える。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、上記冷却凝縮装置は、冷媒との熱交換により上記冷却を行う熱交換器をさらに備える。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、上記第一濃縮装置は、上記第一吸着素子が筒軸回りに回転する中空円柱状のロータの筒軸回りの周方向に複数配置されている。

　上記の有機溶剤回収システムにおいて、上記第二濃縮装置は、上記第二吸着素子が筒軸回りに回転する円盤状の吸着ロータに配置されている。

　この開示によれば、排ガスから有機溶剤をより高効率に回収することが可能な有機溶剤回収システムを提供することができる。

実施の形態１Ａにおける有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態１Ａにおける有機溶剤回収システムの別の構成図の一例である。実施の形態１Ａにおける有機溶剤回収システムのさらに別の構成図の一例である。実施の形態１Ｂの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態２Ｂの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態１Ｃの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態２Ｃの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態３Ｃの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態４Ｃの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態１Ｄの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態２Ｄの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態３Ｄの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態４Ｄの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態１Ｅの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。実施の形態１Ｊの有機溶剤回収システムの構成を概略的に示す図である。

　本開示に基づいた各実施の形態の有機溶剤回収システムについて、以下、図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本開示の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。実施の形態における構成を適宜組み合わせて用いることは当初から予定されていることである。

　［実施の形態１Ａ］
　図１は、実施の形態１Ａにおける有機溶剤回収システム１Ａの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ａは、冷却凝縮装置１００、濃縮装置３００、第一通流経路Ｆ１、第二通流経路Ｆ２とで構成されている。

　冷却凝縮装置１００は、冷却部１１０と分離部１２０およびチャンバー１２３を有している。有機溶剤を含有する排ガスＧ１は冷却部１１０を通過することによって冷却し、それに伴って該有機溶剤を液化凝縮させる。次に該排ガスＧ２は、分離部１２０を通過することによって、液化凝縮された冷却凝縮液Ｌ１と有機溶剤濃度の低減された冷却処理ガスＧ３とに分離される。最後にチャンバー１２３を通じて、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４が濃縮装置３００へ供給するように分配されて、冷却凝縮装置１００から排出される。

　冷却部１１０の冷却手段・構成は特に限定しないが、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１などがある。冷却温度などの条件も回収対象となる有機溶剤によって適宜決めればよい。

　また、冷却部１１０は、第一熱交換器１１１の前に、冷却処理ガスの残部（リターンガス）Ｇ６と排ガスＧ１との熱交換によって排ガスＧ１を冷却させる第二熱交換器１１２を設けてもよい。第一熱交換器１１１に必要な伝熱面積や冷媒量が削減されるからである。

　分離部１２０の分離手段・構成は特に限定しないが、デミスター、フィルター、メッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１などがある。網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって網目状構造体１２１下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　チャンバー１２３は、一定容量の空間を有する構造体である。濃縮装置３００へ供給する冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４と、冷却処理ガスの残部（リターンガス）Ｇ６に分配される。チャンバー１２３は、網目状構造体１２１から排出される冷却処理ガスＧ３の排気方向と対向するように第一通流経路Ｆ１の吸込みを可能にする仕切部１２８を有する。

　濃縮装置３００は、ガスが接触することによって、含有する有機溶剤を吸着し、加熱ガスを接触することによって、吸着した有機溶剤を脱着させる吸着材を含む吸着素子３１０を有している。また、吸着素子３１０は、脱着部（脱着ゾーン）３１１と吸着部（吸着ゾーン）３１２とを含んでいる。吸着部３１２では、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４が導入され、吸着材に冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４が接触することで、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４に含有される有機溶剤が吸着材に吸着され、これにより冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４が清浄化されて清浄ガスＧ９として排出される。

　脱着部３１１では、吸着材に冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４よりも高温のガスＧ１０が導入されることで、有機溶剤が吸着材から脱着され、これにより有機溶剤を含有する脱着ガスＧ１１として排出される。

　吸着素子３１０に含まれる吸着材としては、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭素材やゼオライトが広く利用されており、中でも活性炭と疎水性ゼオライトが特に好適に利用されている。活性炭と疎水性ゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着、脱着する機能に優れており、古くから吸着材として各種の装置に利用されている。

　また、実施形態における濃縮装置の具体的な構成は特に限定しないが、図１に示す通り、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備え、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成が知られている。

　実施形態における濃縮装置３００は、図１に示す通り、脱着部３１１は吸着部３１２よりも下部に配置された方が好ましい。脱着ガスＧ１１中に含まれる有機溶剤の一部が液化凝縮して脱着凝縮液Ｌ２が発生した場合においても、吸着部３１２に脱着凝縮液Ｌ２が付着しにくくなるからである。脱着凝縮液Ｌ２は脱着部３１１より下部へ落ち、脱着部の外装の内面などを伝って回収される。より好ましくは、図１に示す通り、脱着部３１１は下に傾斜をつけた方が良い。脱着凝縮液Ｌ２がより下へ落ち易くなるためである。

　濃縮装置３００は、脱着部３１１の脱着処理が完了した部分が吸着部３１２への移行の前に移行するパージ部（図示せず）を有していてもよい。清浄ガスＧ９の一部がパージ部に導入され、パージ部から排出されたパージ部出口ガスが、吸着部３１２に導入されるような構成であってもよい。清浄ガスＧ９により脱着完了した吸着材をパージすることで、吸着材に残る脱着ガスＧ１１が清浄ガスＧ９へ混入することを防ぎ、吸着材を冷却することができるからである。

　濃縮装置３００は、脱着に使用する高温のガスＧ１０は、清浄ガスＧ９の一部を再生ヒータ３５０などの加熱手段を用いて高温状態にしたものが好ましい。吸着部３１２で有機溶剤含有ガスの処理風量が増えないからである。排ガスＧ１の温度が５０～２００℃の温度の場合においては、排ガスＧ１の一部を再生ヒータ３５０などで昇温させて使用した方がより好ましい。高温の排ガスＧ１を脱着に用いることで、再生ヒータ３５０の使用ユーティリティを削減でき、排ガスＧ１の温度によっては脱着に再生ヒータ３５０が不要になるからである。また、冷却凝縮装置１００へ排ガスＧ１および脱着ガスＧ１１を通過させる割合は、排ガスＧ１が０％～５０％であり、脱着ガスＧ１１が５０％～１００％が想定される。

　第一通流経路Ｆ１は、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４をチャンバー１２３から濃縮装置３００へ導入する部位である。第一通流経路Ｆ１のチャンバー１２３への接続口は、チャンバー１２３の天井部１２７が好ましい。分離部１２０で捕捉しきれなかった僅かな液滴の濃縮装置３００への侵入を抑制し、後述する濃縮装置３００の吸着素子３１０の濡れによる性能低下・強度低下などを防ぐためである。さらに好ましくは、冷却処理ガスＧ３の通気方向対して、対向するように冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４を取り出すように仕切部１２８を設けた方が良い。より液滴の侵入を防ぐことができる。このほか、冷却処理ガスの一部（吸着入口ガス）Ｇ４の取り出し口に、上記網目状構造体１２１と類似の液滴侵入防止部材を設けても良いし、液滴を気化させるための加熱器を設けても良い。

　第二通流経路Ｆ２は、脱着ガスＧ１１を冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１導入部に返送する部位である。第二通流経路Ｆ２は、脱着部３１１が脱着ガスＧ１１と冷却凝縮装置１００へ供給される排ガスＧ１との合流位置よりも上部に配置されるように接続されることが好ましい。濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が、冷却凝縮装置１００へ移行しやすいからである。さらに好ましくは、冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１導入部およびタンク１２５の二か所に通気されるように構成された方が良い。脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が直接タンク１２５へ回収されやすくなるからである。

　実施形態における有機溶剤回収システム１Ａの濃縮装置３００の脱着に使用する高温のガスＧ１０は、前述の通り清浄ガスＧ９の一部を再生ヒータ３５０などの加熱手段を用いて高温状態にしたものが好ましいが、排ガスＧ１の温度が５０～２００℃の温度の場合においては、排ガスＧ１の一部を再生ヒータ３５０などで昇温させて使用した方がより好ましい。高温の排ガスを脱着に用いることで、再生ヒータ３５０の使用ユーティリティを削減でき、排ガスＧ１の温度によっては脱着に再生ヒータ３５０が不要になるからである。また、冷却凝縮装置１００へ排ガスＧ１および脱着ガスＧ１１を通過させる割合は、排ガスＧ１が０％～５０％であり、脱着ガスＧ１１が５０％～１００％が想定される。

　排ガスＧ１は、生産設備１３０から排出されるガスである場合、冷却処理ガスの残部（リターンガス）Ｇ６は、生産設備１３０に戻される構成としてもよい。

　冷却処理ガスの残部（リターンガス）Ｇ６に含まれる有機溶剤濃度を更に低減したい場合、図２に示すように、冷却処理ガスの残部（リターンガス）Ｇ６を処理する濃縮装置５００を追加導入してもよい。また、清浄ガスＧ９に含まれる有機溶剤濃度を更に低減したい場合、図３に示すように、清浄ガスＧ９を処理する濃縮装置６００を追加導入してもよい。濃縮装置５００や濃縮装置６００は、濃縮装置３００と同じ構成でも別の構成であってもよい。また、追加導入する濃縮装置数に制限はない。何れの濃縮装置から排出される脱着ガスは、第二通流経路Ｆ２を経由して、冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１導入部に返送される。

　実施形態では、排ガスＧ１に含有される有機溶剤としては、１℃～５０℃の冷却にて液化して回収できる有機溶剤が挙げられる。有機溶剤としては、たとえば、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ－エチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、またｎ－デカンである。これらは例示であり、これらに限定されることはない。含有される有機溶剤は、１種でも複数種でもよい。

　［実施の形態１Ｂ］
　図４は、実施の形態１Ｂの有機溶剤回収システム１Ｂの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ｂは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。

　冷却凝縮装置１００は、冷却部１１０と分離部１２０とを有している。有機溶剤を含有する排ガスＧ１は、生産設備１３０から排出される。排ガスＧ１は、冷却部１１０を通過することによって冷却される。排ガスＧ１は、冷却部１１０の通過に伴って有機溶剤が液化凝縮される。

　冷却部１１０を通過した排ガスＧ２は、分離部１２０を通過することによって、液化凝縮された冷却凝縮液Ｌ１と有機溶剤濃度の低減された冷却処理ガスＧ３とに分離される。冷却処理ガスＧ３は、チャンバー１２３を通じて、冷却処理ガスＧ４として冷却凝縮装置１００から第一濃縮装置２００へ排出される。

　冷却部１１０の冷却手段および構成は、特に限定しない。実施の形態１Ｂでは、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１が用いられる。第一熱交換器１１１は、排ガスＧ１が上下方向に通流するように位置している。

　冷却部１１０は、第一熱交換器１１１の前に、後述する冷却処理ガスＧ６と排ガスＧ１との熱交換によって排ガスＧ１を冷却させる第二熱交換器１１２が設けられている。第二熱交換器１１２は、第一熱交換器１１１に必要な伝熱面積や冷媒量を削減することができる。排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部は、第五通流経路Ｆ５を通り生産設備１３０へ戻される。第一熱交換器１１１および第二熱交換器１１２における冷却温度などの条件は、回収対象となる有機溶剤によって適宜決めればよい。

　分離部１２０の分離手段および構成は特に限定しない。実施の形態１Ｂでは、デミスター、フィルター、およびメッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１が用いられる。分離部１２０は、冷却部１１０で冷却された有機溶剤を含む冷却凝縮液Ｌ１を受ける漏斗状の受け部１２２を有している。冷却部１１０で冷却された冷却凝縮液Ｌ１および網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって受け部１２２に流れた後、受け部１２２の下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　チャンバー１２３は、一定容量の空間を有する構造体である。チャンバー１２３内には、堰１２４が設けられている。堰１２４は、冷却凝縮液Ｌ１の一部がチャンバー１２３の先端方向へ移動し冷却ガス通流経路としての第一通流経路Ｆ１へ通流してしまうことを防止する。堰１２４は、確実に冷却凝縮液Ｌ１を回収する働きをする。チャンバー１２３内に一定時間貯留された冷却処理ガスＧ３は、冷却処理ガスＧ４として第一通流経路Ｆ１を通流し、第一濃縮装置２００へ供給される。

　有機溶剤回収システム１Ｂでは、排ガスＧ１の流れる方向に沿って見た場合に、冷却部１１０から分離部１２０に流れる方向に対して、分離部１２０内において網目状構造体１２１からチャンバー１２３に流れる方向が交差することで排ガスＧ１（排ガスＧ２，冷却処理ガスＧ３）がＬ字方向に流れる構造となっている。

　有機溶剤回収システム１Ｂは、冷却部１１０と分離部１２０とで構成される箇所がＬ字構造であるため、液滴や飛沫によって第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００が暴露することを抑制することができる。第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００は、暴露し吸着剤が濡れてしまうと強度低下や破損の可能性がある。有機溶剤回収システム１Ｂは、Ｌ字構造を有することにより第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００の強度低下や破損を防止することができる。

　第一濃縮装置２００は、ガスが接触することによって、含有する有機溶剤を吸着し、加熱ガスを接触することによって、吸着した有機溶剤を脱着させる吸着材を含む吸着ロータ２１２を有している。吸着ロータ２１２は、複数の仕切り部で仕切られた複数の吸着ユニット２１０で構成されている。吸着ロータ２１２は、複数の吸着ユニット２１０により全体として中空円柱状の形状となっている。吸着ロータ２１２は、処理室内に設置され、径方向に流体を流動できるように設けられている。吸着ロータ２１２は、モータの回転駆動力を受けて筒軸周りに回転可能に設けられている。

　第一濃縮装置２００では、吸着ユニット２１０の一部が、吸着ユニット２１０の外側から内側に向けて供給された冷却処理ガスＧ４に含まれる有機溶剤を吸着する吸着部を構成するとともに、吸着ユニット２１０の残部が、吸着ユニット２１０の内側から外側に向けて加熱空気を供給することによって吸着ユニット２１０に吸着された有機溶剤を吸着ユニット２１０から脱着する脱着部を構成する。

　清浄化に際しては、処理室内に供給された冷却処理ガスＧ４を、吸着ロータ２１２の外周面から吸着部に導入する。吸着部に導入された冷却処理ガスＧ４は、径方向に沿って外周面から内周面へ向けて吸着ロータ２１２を通過する際に、吸着部に位置する複数の吸着ユニット２１０に有機溶剤を吸着させることにより清浄化される。

　清浄化された被処理流体としての冷却処理ガスＧ５，Ｇ６は、清浄ガスとして、吸着ユニット２１０の上部から排出される。排出された清浄ガスの一部は、冷却処理ガスＧ５として第二通流経路Ｆ２を通流し、第二濃縮装置３００へ供給される。排出された清浄ガスの一部は、冷却処理ガスＧ６として第四通流経路Ｆ４を通流し、第二熱交換器１１２へ戻される。

　内周側流路形成部材２１１および外周側流路形成部材２１３は、周方向における吸着ロータ２１２の一部を挟み込むように、吸着ロータ２１２の内周側および外周側において互いに対向して配設されている。内周側流路形成部材２１１および外周側流路形成部材２１３により挟まれた吸着ロータ２１２の領域が脱着部である。

　有機溶剤の脱着を行うためには、内周側流路形成部材２１１から脱着部に対して再生ヒータ２５０により加熱された冷却処理ガスＧ５の一部である高温ガスＧ７を導入する。脱着部に導入された高温ガスＧ７は、吸着ロータ２１２を通過する際に、脱着部に位置する複数の吸着ユニット２１０から、これらに吸着している有機溶剤を熱によって脱着させる。有機溶剤を含んだ脱着ガスＧ８は、濃縮ガスとして、脱着部から外周側流路形成部材２１３を通って、処理室外に排出されて、第三通流経路Ｆ３に戻される。脱着ガスＧ８中に含まれる有機溶剤の一部は、液化凝縮して脱着凝縮液Ｌ２としてタンク１２５へ集液される。

　第三通流経路Ｆ３は、脱着ガスＧ８および後述する脱着ガスＧ１１を冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部に返送する部位である。第三通流経路Ｆ３は、脱着部が脱着ガスと冷却凝縮装置１００へ供給される排ガスＧ１との合流位置よりも上部に配置されるように接続されることが好ましい。第一濃縮装置２００の脱着ガスＧ８および第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が、冷却凝縮装置１００へ移行しやすいからである。第三通流経路Ｆ３は、冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部およびタンク１２５の二か所に通気されるように構成された方が良い。脱着ガスＧ８および脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が直接タンク１２５へ回収されやすくなるからである。

　第一濃縮装置２００においては、吸着部に位置する吸着ユニット２１０に対して被処理物質の吸着処理が行われ、吸着処理後に脱着部に位置する吸着ユニット２１０に対して被処理物質の脱着処理が行われる。吸着ロータ２１２が筒軸周りに回転することにより、吸着ユニット２１０が脱着部と吸着部とを交互に移動して、被処理物質の吸着処理と脱着処理とが連続的に実施される。

　吸着ユニット２１０を構成する吸着素子の材料としては、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭素材、ゼオライト等を用いることができる。吸着ユニット２１０における吸着素子の形状は特に限定されず、例えば、活性炭素材やゼオライトを含有するシートをハニカム状に形成したものでも、活性炭素繊維不織布を積層したものでもよい。

　第二濃縮装置３００は、ガスが接触することによって、含有する有機溶剤を吸着し、加熱ガスを接触することによって、吸着した有機溶剤を脱着させる吸着材を含む吸着素子３１０を有している。吸着素子３１０は、脱着部（脱着ゾーン）３１１と吸着部（吸着ゾーン）３１２とを含んでいる。吸着部３１２では、冷却処理ガスＧ５が導入されることで、吸着材に冷却処理ガスＧ５が接触することで、冷却処理ガスＧ５に含有される有機溶剤が吸着材に吸着され、冷却処理ガスＧ５が清浄化されて清浄ガスＧ９として排出される。

　脱着部３１１では、吸着材に冷却処理ガスＧ５よりも高温な高温ガスＧ１０が導入されることで、有機溶剤が吸着材から脱着され、これにより有機溶剤を含有する脱着ガスＧ１１として排出される。

　吸着素子３１０に含まれる吸着材としては、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭素材やゼオライトが広く利用されており、中でも活性炭と疎水性ゼオライトが特に好適に利用されている。

　図４に示す通り、第二濃縮装置３００は、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備えている。第二濃縮装置３００は、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成である。

　図４に示す通り、第二濃縮装置３００は、脱着部３１１が吸着部３１２よりも下部に配置された方が好ましい。脱着ガスＧ１１中に含まれる有機溶剤の一部が液化凝縮して脱着凝縮液Ｌ２が発生した場合においても、吸着部３１２に脱着凝縮液Ｌ２が付着しにくくなるからである。脱着凝縮液Ｌ２は、脱着部３１１より下部へ落ち、脱着部の外装の内面などを伝って回収される。より好ましくは、脱着部３１１は、脱着凝縮液Ｌ２がより下へ落ち易くなるために下に傾斜をつけた方が良い。

　第二濃縮装置３００は、脱着部３１１の脱着処理が完了した部分が吸着部３１２への移行の前に移行する洗浄部（パージ部）を有していてもよい。清浄ガスＧ９の一部がパージ部に導入され、パージ部から排出されたパージ部出口ガスが、吸着部３１２に導入されるような構成であってもよい。清浄ガスＧ９により脱着完了した吸着材を洗浄することで、吸着材に残る脱着ガスＧ１１が清浄ガスＧ９へ混入することを防ぎ、吸着材を冷却することができるからである。

　脱着に使用する高温ガスＧ１０は、清浄ガスＧ９の一部を再生ヒータ３５０などの加熱手段を用いて高温状態にしたものが好ましい。吸着部３１２において、有機溶剤含有ガスの処理風量が増えないからである。

　［実施の形態２Ｂ］
　図５は、実施の形態２Ｂの有機溶剤回収システム２Ｂの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム２Ｂは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム２Ｂは、チャンバー１２３内にヒータ１２６が設けられている点以外は、実施の形態１Ｂの有機溶剤回収システム１Ｂと同じである。

　ヒータ１２６は、冷却後の冷却処理ガスＧ３をわずかに加熱する。冷却処理ガスＧ３は、わずかに加熱されることにより有機溶剤あるいは水分が凝縮することを防ぐことができる。

　［作用・効果］
　本実施の形態における冷却凝縮装置１００は、排ガスＧ１を通流させる冷却部１１０と、排ガスＧ１の流れる方向に沿って見た場合に、冷却部１１０の下流側に位置する分離部１２０と、を含んでいる。分離部１２０は、冷却部１１０で冷却された有機溶剤を含む冷却凝縮液Ｌ１を受ける受け部１２２と、冷却後の排ガスＧ２を接触させることで冷却凝縮液Ｌ１と冷却処理ガスＧ３とを分離させる網目状構造体１２１と、網目状構造体１２１を通過後の冷却処理ガスＧ３を一定時間貯留させるチャンバー１２３と、を有している。

　排ガスＧ１の流れる方向に沿って見た場合に、冷却部１１０から分離部１２０に流れる方向に対して、分離部１２０内において網目状構造体１２１からチャンバー１２３に流れる方向が交差することで排ガスがＬ字方向に流れる。これにより、排ガスＧ１から有機溶剤を含む冷却凝縮液Ｌ１をより高効率に回収することができる。本実施の形態における有機溶剤回収システムは、冷却部１１０と分離部１２０とで構成される箇所がＬ字構造であるため、液滴や飛沫によって後段に設けられた第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００が暴露することを抑制することができる。

　本実施の形態における網目状構造体１２１の下流側には、冷却処理ガスＧ３を加熱するためのヒータ１２６が配置されている。これにより、冷却処理ガスＧ３がわずかに加熱されることにより有機溶剤あるいは水分が凝縮することを防ぐことができる。

　本実施の形態におけるチャンバー１２３内には、堰１２４が設けられている。これにより、冷却凝縮液Ｌ１が冷却ガス通流経路としての第一通流経路Ｆ１に流れることを防止することができる。

　本実施の形態における濃縮装置は、第一濃縮装置２００と、第一濃縮装置の下流側に位置する第二濃縮装置３００と、を含んでいる。第一濃縮装置２００は、第一通流経路Ｆ１から導入された冷却処理ガスＧ４に含まれる有機溶剤を吸着ユニット２１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された冷却処理ガスＧ５として排出し、高温ガスＧ７を導入して吸着ユニット２１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ８として排出する。

　本実施の形態における有機溶剤回収システムは、冷却処理ガスＧ５の一部を通流させる第二通流経路Ｆ２をさらに備え、第二濃縮装置３００は、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５に含まれる有機溶剤を吸着素子３１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された清浄ガスＧ９として排出し、高温ガスＧ１０を導入して吸着素子３１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ１１として排出する。

　本実施の形態における第一濃縮装置２００は、吸着ユニット２１０が筒軸回りに回転する中空円柱状のロータの筒軸回りの周方向に複数配置されている。これにより、有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における第二濃縮装置３００は、吸着素子３１０が筒軸回りに回転する円盤状の吸着ロータに配置されている。これにより、有機溶剤を高効率に回収することができる。

　［他の実施の形態］
　上記実施の形態において、濃縮装置は、第一濃縮装置２００と第二濃縮装置３００との２つを用いていた。濃縮装置は、風量に応じて、第一濃縮装置２００を２つまたは第二濃縮装置３００を２つ適用しても良い。また、除去効率に応じて、濃縮装置を３つ以上適用してもよい。

　排ガスＧ１に含有される有機溶剤としては、１℃～５０℃の冷却にて液化して回収できる有機溶剤が挙げられる。有機溶剤としては、たとえば、Ｎ－メチル－２－ピロリドン、Ｎ－エチル－２－ピロリドン、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、またｎ－デカンである。これらは例示であり、これらに限定されることはない。含有される有機溶剤は、１種でも複数種でもよい。

　［実施の形態１Ｃ］
　図６は、実施の形態１Ｃの有機溶剤回収システム１Ｃの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ｃは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。

　冷却部１１０の冷却手段および構成は、特に限定しない。実施の形態１では、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１が用いられる。第一熱交換器１１１は、排ガスＧ１が水平方向に通流するように位置している。

　分離部１２０の分離手段および構成は特に限定しない。実施の形態１Ｃでは、デミスター、フィルター、およびメッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１が用いられる。網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって網目状構造体１２１の下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　チャンバー１２３は、一定容量の空間を有する構造体である。チャンバー１２３内に一定時間貯留された冷却処理ガスＧ３は、冷却処理ガスＧ４として第一通流経路Ｆ１を通流し、第一濃縮装置２００へ供給される。チャンバー１２３は、網目状構造体１２１から排出される冷却処理ガスＧ３の排気方向と対向するように第一通流経路Ｆ１の吸込みを可能にする仕切部１２８を有する。

　第一通流経路Ｆ１は、冷却処理ガスＧ４をチャンバー１２３から第一濃縮装置２００へ導入する部位である。第一通流経路Ｆ１のチャンバー１２３への接続口は、チャンバー１２３の天井部１２７が好ましい。これにより、分離部１２０で捕捉しきれなかった僅かな液滴の第一濃縮装置２００への侵入を抑制し、後述する第一濃縮装置２００の吸着ユニット２１０の濡れによる性能低下・強度低下などを防ぐことができる。さらに好ましくは、冷却処理ガスＧ３の通気方向対して、対向するように冷却処理ガスＧ４を取り出すようにした方が良い。これにより、液滴の侵入をより防ぐことができる。このほか、冷却処理ガスＧ４の取り出し口に、上記網目状構造体１２１と類似の液滴侵入防止部材を設けても良いし、液滴を気化させるための加熱器を設けても良い。

　第三通流経路Ｆ３は、脱着ガスＧ８を冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部に返送する部位である。第三通流経路Ｆ３は、脱着部が脱着ガスＧ８と冷却凝縮装置１００へ供給される排ガスＧ１との合流位置よりも上部に配置されるように接続されることが好ましい。この配置により、第一濃縮装置２００の脱着ガスＧ８から発生した脱着凝縮液Ｌ２が、冷却凝縮装置１００へ移行し易くなる。第三通流経路Ｆ３は、冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部およびタンク１２５の二か所に通気されるように構成された方が良い。この構成により、脱着ガスＧ８から発生した脱着凝縮液Ｌ２が直接タンク１２５へ回収されやすくなる。

　脱着部３１１では、吸着材に冷却処理ガスＧ５よりも高温な高温ガスＧ１０が導入されることで、有機溶剤が吸着材から脱着され、これにより有機溶剤を含有する脱着ガスＧ１１として排出される。脱着ガスＧ１１は、第六通流経路Ｆ６通り第一通流経路Ｆ１に戻される。

　有機溶剤回収システム１Ｃは、脱着ガスＧ１１を第一通流経路Ｆ１に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム１Ｃは、冷却凝縮装置１００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム１Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため冷却処理ガスＧ４中に含まれるＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）、水分等の凝縮を抑制することができる。

　図６に示す通り、第二濃縮装置３００は、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備えている。第二濃縮装置３００は、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成である。

　脱着に使用する高温ガスＧ１０は、清浄ガスＧ９の一部を再生ヒータ３５０などの加熱手段を用いて高温状態にしたものが好ましい。高温状態にすることで、吸着部３１２において、有機溶剤含有ガスの処理風量の増加を抑制できる。

　［実施の形態２Ｃ］
　図７は、実施の形態２Ｃの有機溶剤回収システム２Ｃの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム２Ｃは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム２Ｃは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り再生ヒータ２５０に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｃの有機溶剤回収システム１Ｃと同じである。

　有機溶剤回収システム２Ｃは、脱着ガスＧ１１を再生ヒータ２５０に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム２Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム２Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため再生ヒータ２５０の省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態３Ｃ］
　図８は、実施の形態３Ｃの有機溶剤回収システム３Ｃの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム３Ｃは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム３Ｃは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り第四通流経路Ｆ４に戻される。有機溶剤回収システム３Ｃは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６通り第四通流経路Ｆ４に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｃの有機溶剤回収システム１Ｃと同じである。

　第六通流経路Ｆ６を通流した脱着ガスＧ１１は、第二濃縮装置３００から排出された冷却処理ガスＧ６とともに第四通流経路Ｆ４を通流し第二熱交換器１１２へ戻される。有機溶剤回収システム３Ｃは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム３Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム３Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態４Ｃ］
　図９は、実施の形態４Ｃの有機溶剤回収システム４Ｃの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム４Ｃは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム４Ｃは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り第五通流経路Ｆ５に戻される。有機溶剤回収システム４Ｃは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６通り第五通流経路Ｆ５に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｃの有機溶剤回収システム１Ｃと同じである。

　第六通流経路Ｆ６を通流した脱着ガスＧ１１は、第二熱交換器１１２から排出された排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部とともに第五通流経路Ｆ５を通流し生産設備１３０へ戻される。有機溶剤回収システム４Ｃは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム４Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム４Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため生産設備１３０から再度排出される排ガスＧ１の温度を高めることができる。このため、有機溶剤回収システム４Ｃは、第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［作用・効果］
　本実施の形態における有機溶剤回収システム１Ｃは、有機溶剤を含有する排ガスＧ１を冷却することで、有機溶剤を液化凝縮し、有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスＧ４として排出する冷却凝縮装置１００と、冷却処理ガスＧ４を通流させる第一通流経路Ｆ１と、第一通流経路Ｆ１から導入された冷却処理ガスＧ４に含まれる有機溶剤を吸着ユニット２１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された冷却処理ガスＧ５として排出し、高温ガスＧ７を導入して吸着ユニット２１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ８として排出する第一濃縮装置２００と、冷却処理ガスＧ５の一部を通流させる第二通流経路Ｆ２と、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５に含まれる有機溶剤を吸着素子３１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された清浄ガスＧ９として排出し、高温ガスＧ１０を導入して吸着素子３１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ１１として排出する第二濃縮装置３００と、を備える。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第一通流経路Ｆ１に戻される。有機溶剤回収システム１Ｃは、脱着ガスＧ１１を第一通流経路Ｆ１に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム１Ｃは、冷却凝縮装置１００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム１Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため冷却処理ガスＧ４中に含まれるＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）、水分等の凝縮を抑制することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、再生ヒータ２５０に戻される。有機溶剤回収システム２Ｃは、脱着ガスＧ１１を再生ヒータ２５０に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム２Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム２Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため再生ヒータ２５０の省エネルギー化に寄与することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第四通流経路Ｆ４に戻される。脱着ガスＧ１１は、冷却処理ガスＧ６とともに第四通流経路Ｆ４を通流し第二熱交換器１１２へ戻される。有機溶剤回収システム３Ｃは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム３Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム３Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第五通流経路Ｆ５に戻される。脱着ガスＧ１１は、第二熱交換器１１２から排出された排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部とともに第五通流経路Ｆ５を通流し生産設備１３０へ戻される。有機溶剤回収システム４Ｃは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム４Ｃは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム４Ｃは、脱着ガスＧ１１が高温であるため生産設備１３０から再度排出される排ガスＧ１の温度を高めることができる。このため、有機溶剤回収システム４Ｃは、第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態１Ｄ］
　図１０は、実施の形態１Ｄの有機溶剤回収システム１Ｄの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ｄは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。

　冷却部１１０を通過した排ガスＧ２は、分離部１２０を通過することによって、液化凝縮された冷却凝縮液Ｌ１と有機溶剤濃度の低減された冷却処理ガスＧ３とに分離される。冷却処理ガスＧ３は、チャンバー１２３を通じて、一部が冷却処理ガスＧ４として冷却凝縮装置１００から第一濃縮装置２００へ排出され、残部が冷却処理ガスＧ６として冷却凝縮装置１００から後述する第二熱交換器１１２へ戻される。

　冷却部１１０の冷却手段および構成は、特に限定しない。実施の形態１Ｄでは、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１が用いられる。第一熱交換器１１１は、排ガスＧ１が水平方向に通流するように位置している。

　冷却部１１０は、第一熱交換器１１１の前に、冷却処理ガスＧ６と排ガスＧ１との熱交換によって排ガスＧ１を冷却させる第二熱交換器１１２が設けられている。第二熱交換器１１２は、第一熱交換器１１１に必要な伝熱面積や冷媒量を削減することができる。排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部は、第五通流経路Ｆ５を通り生産設備１３０へ戻される。第一熱交換器１１１および第二熱交換器１１２における冷却温度などの条件は、回収対象となる有機溶剤によって適宜決めればよい。

　分離部１２０の分離手段および構成は特に限定しない。実施の形態１Ｄでは、デミスター、フィルター、およびメッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１が用いられる。網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって網目状構造体１２１の下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　チャンバー１２３は、一定容量の空間を有する構造体である。チャンバー１２３内に一定時間貯留された冷却処理ガスＧ３は、冷却処理ガスＧ４として一部が第一通流経路Ｆ１を通流し、第一濃縮装置２００へ供給される。冷却処理ガスＧ３は、冷却処理ガスＧ６として残部が第四通流経路Ｆ４を通流し、第二熱交換器１１２へ戻される。チャンバー１２３は、網目状構造体１２１から排出される冷却処理ガスＧ３の排気方向と対向するように第一通流経路Ｆ１の吸込みを可能にする仕切部１２８を有する。

　清浄化された被処理流体としての冷却処理ガスＧ５は、清浄ガスとして、吸着ユニット２１０の上部から排出される。排出された清浄ガスは、冷却処理ガスＧ５として第二通流経路Ｆ２を通流し、第二濃縮装置３００へ供給される。

　有機溶剤回収システム１Ｄは、脱着ガスＧ１１を第一通流経路Ｆ１に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム１Ｄは、冷却凝縮装置１００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム１Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため冷却処理ガスＧ４中に含まれるＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）、水分等の凝縮を抑制することができる。

　図１０に示す通り、第二濃縮装置３００は、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備えている。第二濃縮装置３００は、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成である。

　［実施の形態２Ｄ］
　図１１は、実施の形態２Ｄの有機溶剤回収システム２Ｄの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム２Ｄは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム２Ｄは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り再生ヒータ２５０に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｄの有機溶剤回収システム１Ｄと同じである。

　有機溶剤回収システム２Ｄは、脱着ガスＧ１１を再生ヒータ２５０に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム２Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム２Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため再生ヒータ２５０の省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態３Ｄ］
　図１２は、実施の形態３Ｄの有機溶剤回収システム３Ｄの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム３Ｄは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム３Ｄは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り第四通流経路Ｆ４に戻される。有機溶剤回収システム３Ｄは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６通り第四通流経路Ｆ４に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｄの有機溶剤回収システム１Ｄと同じである。

　第六通流経路Ｆ６を通流した脱着ガスＧ１１は、冷却凝縮装置１００から排出された冷却処理ガスＧ６とともに第四通流経路Ｆ４を通流し第二熱交換器１１２へ戻される。有機溶剤回収システム３Ｄは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム３Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム３Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態４Ｄ］
　図１３は、実施の形態４Ｄの有機溶剤回収システム４Ｄの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム４Ｄは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００、および各種通流経路により構成されている。有機溶剤回収システム４Ｄは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６を通り第五通流経路Ｆ５に戻される。有機溶剤回収システム４Ｄは、第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１が第六通流経路Ｆ６通り第五通流経路Ｆ５に戻される点以外の構成は、実施の形態１Ｄの有機溶剤回収システム１Ｄと同じである。

　第六通流経路Ｆ６を通流した脱着ガスＧ１１は、第二熱交換器１１２から排出された排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部とともに第五通流経路Ｆ５を通流し生産設備１３０へ戻される。有機溶剤回収システム４Ｄは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム４Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム４Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため生産設備１３０から再度排出される排ガスＧ１の温度を高めることができる。このため、有機溶剤回収システム４Ｄは、第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［作用・効果］
　本実施の形態における有機溶剤回収システム１Ｄは、有機溶剤を含有する排ガスＧ１を冷却することで、有機溶剤を液化凝縮し、有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスＧ４として排出する冷却凝縮装置１００と、冷却処理ガスＧ４の一部を通流させる第一通流経路Ｆ１と、第一通流経路Ｆ１から導入された冷却処理ガスＧ４に含まれる有機溶剤を吸着ユニット２１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された冷却処理ガスＧ５として排出し、高温ガスＧ７を導入して吸着ユニット２１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ８として排出する第一濃縮装置２００と、冷却処理ガスＧ５を通流させる第二通流経路Ｆ２と、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５に含まれる有機溶剤を吸着素子３１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された清浄ガスＧ９として排出し、高温ガスＧ１０を導入して吸着素子３１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ１１として排出する第二濃縮装置３００と、を備える。

　冷却凝縮装置１００は、冷媒との熱交換により排ガスＧ１の冷却を行う第二熱交換器１１２を含む。有機溶剤回収システム１Ｄは、冷却処理ガスＧ４の一部以外である冷却処理ガスの残部としての冷却処理ガスＧ６を、第二熱交換器１１２に戻す第四通流経路Ｆ４をさらに備える。脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第一通流経路Ｆ１に戻される。有機溶剤回収システム１Ｄは、脱着ガスＧ１１を第一通流経路Ｆ１に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム１Ｄは、冷却凝縮装置１００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム１Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため冷却処理ガスＧ４中に含まれるＮＭＰ（Ｎ－メチル－２－ピロリドン）、水分等の凝縮を抑制することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、再生ヒータ２５０に戻される。有機溶剤回収システム２Ｄは、脱着ガスＧ１１を再生ヒータ２５０に戻すため、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム２Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム２Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため再生ヒータ２５０の省エネルギー化に寄与することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第四通流経路Ｆ４に戻される。脱着ガスＧ１１は、冷却処理ガスＧ６とともに第四通流経路Ｆ４を通流し第二熱交換器１１２へ戻される。有機溶剤回収システム３Ｄは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム３Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム３Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　脱着ガスＧ８は、冷却凝縮装置１００に戻されるとともに、脱着ガスＧ１１は、第五通流経路Ｆ５に戻される。脱着ガスＧ１１は、第二熱交換器１１２から排出された排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ６の一部とともに第五通流経路Ｆ５を通流し生産設備１３０へ戻される。有機溶剤回収システム４Ｄは、脱着ガスＧ１１の風量分を冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００において処理する必要がなくなる。このため、有機溶剤回収システム４Ｄは、冷却凝縮装置１００および第一濃縮装置２００の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。有機溶剤回収システム４Ｄは、脱着ガスＧ１１が高温であるため生産設備１３０から再度排出される排ガスＧ１の温度を高めることができる。このため、有機溶剤回収システム４Ｄは、第二熱交換器１１２に通流する流体の温度を向上させることができ、排ガスＧ１を冷却するための第二熱交換器１１２の小型化、省エネルギー化に寄与することができる。

　［実施の形態１Ｅ］
　図１４は、実施の形態１Ｅの有機溶剤回収システム１Ｅの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ｅは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００から構成される有機溶剤回収システム２Ｂ１と、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００から構成される有機溶剤回収システム２Ｂ２と、各種通流経路により構成されている。

　有機溶剤回収システム２Ｂ１は、上述した実施の形態２Ｂと同様の構成である。有機溶剤回収システム２Ｂ２は、上述した実施の形態２Ｂから第二濃縮装置３００を削除した構成である。図１４に示すように、実施の形態１Ｅの有機溶剤回収システム１Ｅは、後段の第二濃縮装置３００の数が１つ、前段の第一濃縮装置２００の数が２つである。つまり、後段の第二濃縮装置３００の数が、前段の第一濃縮装置２００の数未満となる構成である。

　実施の形態１Ｅの有機溶剤回収システム１Ｅは、図１４に示すように、複数の冷却凝縮装置１００、複数の第一濃縮装置２００が、生産設備１３０に対して並列に配置される構成である。実施の形態１Ｅの有機溶剤回収システム１Ｅは、第一濃縮装置２００の数が、冷却凝縮装置１００の数と同じであるが、数は異なっていてもよい。以下では、有機溶剤回収システム２Ｂ１、有機溶剤回収システム２Ｂ２を含む有機溶剤回収システム１Ｅの各種構成について具体的に説明する。

　冷却部１１０を通過した排ガスＧ２は、分離部１２０を通過することによって、液化凝縮された冷却凝縮液Ｌ１と有機溶剤濃度の低減された冷却処理ガスＧ３とに分離される。チャンバー１２３内には、ヒータ１２６が設けられている。ヒータ１２６は、冷却後の冷却処理ガスＧ３をわずかに加熱する。冷却処理ガスＧ３は、わずかに加熱されることにより有機溶剤あるいは水分が凝縮することを防ぐことができる。冷却処理ガスＧ３は、チャンバー１２３を通じて、冷却処理ガスＧ４として冷却凝縮装置１００から第一濃縮装置２００へ排出される。

　冷却部１１０の冷却手段および構成は、特に限定しない。実施の形態１Ｅでは、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１が用いられる。第一熱交換器１１１は、排ガスＧ１が上下方向に通流するように位置している。

　分離部１２０の分離手段および構成は特に限定しない。実施の形態１Ｅでは、デミスター、フィルター、およびメッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１が用いられる。分離部１２０は、冷却部１１０で冷却された有機溶剤を含む冷却凝縮液Ｌ１を受ける漏斗状の受け部１２２を有している。冷却部１１０で冷却された冷却凝縮液Ｌ１および網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって受け部１２２に流れた後、受け部１２２の下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　有機溶剤回収システム１Ｅでは、排ガスＧ１の流れる方向に沿って見た場合に、冷却部１１０から分離部１２０に流れる方向に対して、分離部１２０内において網目状構造体１２１からチャンバー１２３に流れる方向が交差することで排ガスＧ１（排ガスＧ２，冷却処理ガスＧ３）がＬ字方向に流れる構造となっている。

　有機溶剤回収システム１Ｅは、冷却部１１０と分離部１２０とで構成される箇所がＬ字構造であるため、液滴や飛沫によって第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００が暴露することを抑制することができる。第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００は、暴露し吸着剤が濡れてしまうと強度低下や破損の可能性がある。有機溶剤回収システム１Ｅは、Ｌ字構造を有することにより第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００の強度低下や破損を防止することができる。

　有機溶剤回収システム２Ｂ１において、清浄化された被処理流体としての冷却処理ガスＧ５，Ｇ６は、清浄ガスとして、吸着ユニット２１０の上部から排出される。排出された清浄ガスの一部は、冷却処理ガスＧ５として第二通流経路Ｆ２を通流し、第二濃縮装置３００へ供給される。排出された清浄ガスの一部は、冷却処理ガスＧ６として第四通流経路Ｆ４を通流し、第二熱交換器１１２へ戻される。有機溶剤回収システム２Ｂ２において、清浄化された被処理流体としての冷却処理ガスＧ５は、清浄ガスとして、吸着ユニット２１０の上部から排出される。

　有機溶剤回収システム２Ｂ１において、第三通流経路Ｆ３は、脱着ガスＧ８および後述する脱着ガスＧ１１を冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部に返送する部位である。第三通流経路Ｆ３は、脱着部が脱着ガスと冷却凝縮装置１００へ供給される排ガスＧ１との合流位置よりも上部に配置されるように接続されることが好ましい。第一濃縮装置２００の脱着ガスＧ８および第二濃縮装置３００の脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が、冷却凝縮装置１００へ移行しやすいからである。第三通流経路Ｆ３は、冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部およびタンク１２５の二か所に通気されるように構成された方が良い。脱着ガスＧ８および脱着ガスＧ１１から発生した脱着凝縮液Ｌ２が直接タンク１２５へ回収されやすくなるからである。有機溶剤回収システム２Ｂ２において、第三通流経路Ｆ３は、脱着ガスＧ８を冷却凝縮装置１００の排ガスＧ１の導入部に返送する部位である。

　図１４に示す通り、第二濃縮装置３００は、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備えている。第二濃縮装置３００は、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成である。

　図１４に示す通り、第二濃縮装置３００は、脱着部３１１が吸着部３１２よりも下部に配置された方が好ましい。脱着ガスＧ１１中に含まれる有機溶剤の一部が液化凝縮して脱着凝縮液Ｌ２が発生した場合においても、吸着部３１２に脱着凝縮液Ｌ２が付着しにくくなるからである。脱着凝縮液Ｌ２は、脱着部３１１より下部へ落ち、脱着部の外装の内面などを伝って回収される。より好ましくは、脱着部３１１は、脱着凝縮液Ｌ２がより下へ落ち易くなるために下に傾斜をつけた方が良い。

　［実施の形態２Ｅ］
　図１５および図１６は、実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システム２Ｅの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム２Ｅは、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００、第二濃縮装置３００から構成される有機溶剤回収システム２Ｂ１と、冷却凝縮装置１００、第一濃縮装置２００から構成される有機溶剤回収システム２Ｂ２と、を２つずつ備えるとともに、各種通流経路を備える構成である。図１５と図１６とは、Ａ点およびＢ点で流路が接続されているが、紙面の都合上、１図を２図に分割して記載している。

　図１５および図１６に示す有機溶剤回収システム２Ｅにおける有機溶剤回収システム２Ｂ１および有機溶剤回収システム２Ｂ２は、図１４で示した有機溶剤回収システム１Ｅに含まれる有機溶剤回収システム２Ｂ１および有機溶剤回収システム２Ｂ２と同じ構成である。

　図１５、図１６に示すように、実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システム２Ｅは、後段の第二濃縮装置３００の数が前段の第一濃縮装置２００の数未満となる構成である。具体的には、後段の第二濃縮装置３００の数が２つなのに対し、前段の第一濃縮装置２００の数は４つである。なお、後段の第二濃縮装置３００の数が前段の第一濃縮装置２００の数未満となる構成であれば第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００の各々の数はいくつであってもよい。後段の第二濃縮装置３００が接続される位置は、複数の前段の第一濃縮装置２００のうちのいずれの位置であってもよい。

　実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システム２Ｅは、図１５，図１６に示すように、複数の冷却凝縮装置１００、複数の第一濃縮装置２００が、生産設備１３０に対して並列に配置される構成である。実施の形態２Ｅの有機溶剤回収システム２Ｅは、第一濃縮装置２００の数が、冷却凝縮装置１００の数と同じであるが、数は異なっていてもよい。例えば、冷却凝縮装置１００の数が、第一濃縮装置２００の数未満となるように構成してもよい。この場合、１つの冷却凝縮装置１００から排出される冷却処理ガスＧ４が複数の第一濃縮装置２００へ流入する構成としてもよい。

　［作用・効果］
　本実施の形態における有機溶剤回収システム１Ｅ、２Ｅは、有機溶剤を含有する排ガスＧ１を冷却することで、有機溶剤を液化凝縮し、有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスＧ４として排出する冷却凝縮装置１００と、冷却処理ガスＧ４を通流させる第一通流経路Ｆ１と、第一通流経路Ｆ１から導入された冷却処理ガスＧ４に含まれる有機溶剤を吸着ユニット２１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された冷却処理ガスＧ５として排出し、高温ガスＧ７を導入して吸着ユニット２１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ８として排出する第一濃縮装置２００と、冷却処理ガスＧ５の一部を通流させる第二通流経路Ｆ２と、第二通流経路Ｆ２から導入された冷却処理ガスＧ５に含まれる有機溶剤を吸着素子３１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された清浄ガスＧ９として排出し、高温ガスＧ１０を導入して吸着素子３１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ１１として排出する第二濃縮装置３００と、を備える。第一濃縮装置２００は、少なくとも２つ以上設けられ、第二濃縮装置３００は、少なくとも１つ以上設けられ、第二濃縮装置３００の数が、第一濃縮装置２００の数未満である。

　このため、有機溶剤回収システム１Ｅ、２Ｅは、生産設備１３０から排出される排ガスＧ１の流量が多い場合であっても、複数の第一濃縮装置２００により排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における複数の第一濃縮装置２００は、生産設備１３０に対して並列に配置される。これにより、生産設備１３０から排出される排ガスＧ１の流量が多い場合であっても、排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における冷却凝縮装置１００は、少なくとも２つ以上設けられ、第一濃縮装置２００の数が、冷却凝縮装置１００の数と同じである。これにより、生産設備１３０から排出される排ガスの流量が多い場合であっても、排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における冷却凝縮装置１００は、冷却後の排ガスＧ２を接触させることで凝縮した有機溶剤と冷却処理ガスＧ３とを分離させる網目状構造体１２１と、網目状構造体１２１を通過後の冷却処理ガスＧ３を一定時間貯留させるチャンバー１２３と、をさらに備える。これにより、排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における冷却凝縮装置１００は、冷媒との熱交換により冷却を行う第一熱交換器１１１、第二熱交換器１１２をさらに備える。これにより、冷媒と排ガスとの熱交換を効果的に行うことができる。

　［他の実施の形態］
　上記実施の形態において、有機溶剤回収システム１Ｅ、２Ｅは、図２～図１３に示す有機溶剤回収システムのいずれか、またはその組合せにより構成されるようにしてもよい。

　後段の第二濃縮装置３００の数が、前段の第一濃縮装置２００の数未満となる構成であれば、第一濃縮装置２００および第二濃縮装置３００の各々の数はいくつであってもよい。例えば、後段の第二濃縮装置３００の数を１つとし、前段の第一濃縮装置２００の数を３つ以上としてもよい。ただし、第二濃縮装置３００は、清浄ガスＧ９を排出するために１つ以上必要である。

　有機溶剤回収システム１Ｅ、２Ｅに用いられる濃縮装置として縦置きのシリンダー型の濃縮装置である第一濃縮装置２００、ディスク型の濃縮装置である第二濃縮装置３００を例に説明した。濃縮装置は、横置きのシリンダー型の濃縮装置を用いてもよく、縦置きのシリンダー型の濃縮装置、横置きのシリンダー型の濃縮装置、ディスク型の濃縮装置のうちいずれかの組合せにより構成されるものであってもよい。なお、横置きのシリンダー型の濃縮装置は、図１～図１３のいずれかに示される濃縮装置に適用してもよい。

　横置きのシリンダー型の濃縮装置として、ＷＯ２０１６／１８９９５８、ＷＯ２０１７／１７０２０７が挙げられる。また、縦置きのシリンダー型の濃縮装置として、特開昭６３－８４６１６が挙げられる。また、ディスク型の濃縮装置として、特開昭６１－１６７４３０が挙げられる。これらは全て例示であり、ここに記載した文献に開示の濃縮装置に限定されない。

　［実施の形態１Ｊ］
　図１７は、実施の形態１Ｊの有機溶剤回収システム１Ｊの構成を概略的に示す図である。有機溶剤回収システム１Ｊは、冷却凝縮装置１００、第二濃縮装置３００から構成される有機溶剤回収システム１Ｋ１と、冷却凝縮装置１００から構成される有機溶剤回収システム１Ｋ２と、各種通流経路により構成されている。

　有機溶剤回収システム１Ｊは、図１４の有機溶剤回収システム１Ｅから第一濃縮装置２００を取り除いた構成である。図１７に示すように、実施の形態１Ｊの有機溶剤回収システム１Ｊは、後段の第二濃縮装置３００の数が１つ、前段の冷却凝縮装置１００の数が２つである。つまり、後段の第二濃縮装置３００の数が、前段の冷却凝縮装置１００の数未満となる構成である。

　実施の形態１Ｊの有機溶剤回収システム１Ｊは、図１７に示すように、複数の冷却凝縮装置１００が、生産設備１３０に対して並列に配置される構成である。以下では、有機溶剤回収システム１Ｋ１、有機溶剤回収システム１Ｋ２を含む有機溶剤回収システム１Ｊの各種構成について具体的に説明する。

　有機溶剤回収システム１Ｋ１、有機溶剤回収システム１Ｋ２において使用される冷却凝縮装置１００について説明する。冷却凝縮装置１００は、冷却部１１０と分離部１２０とを有している。有機溶剤を含有する排ガスＧ１は、生産設備１３０から排出される。排ガスＧ１は、冷却部１１０を通過することによって冷却される。排ガスＧ１は、冷却部１１０の通過に伴って有機溶剤が液化凝縮される。

　冷却部１１０を通過した排ガスＧ２は、分離部１２０を通過することによって、液化凝縮された冷却凝縮液Ｌ１と有機溶剤濃度の低減された冷却処理ガスＧ３とに分離される。チャンバー１２３内には、ヒータ１２６が設けられている。ヒータ１２６は、冷却後の冷却処理ガスＧ３をわずかに加熱する。冷却処理ガスＧ３は、わずかに加熱されることにより有機溶剤あるいは水分が凝縮することを防ぐことができる。冷却処理ガスＧ３は、チャンバー１２３を通じて、冷却処理ガスの一部Ｇ２２が冷却凝縮装置１００から第二濃縮装置３００へ排出される。

　冷却部１１０の冷却手段および構成は、特に限定しない。実施の形態１Ｊでは、冷却水、冷水、ブラインなどの冷媒と排ガスとの間接的な熱交換によって冷却する第一熱交換器１１１が用いられる。第一熱交換器１１１は、排ガスＧ１が上下方向に通流するように位置している。

　冷却部１１０は、第一熱交換器１１１の前に、後述する冷却処理ガスＧ２１と排ガスＧ１との熱交換によって排ガスＧ１を冷却させる第二熱交換器１１２が設けられている。第二熱交換器１１２は、第一熱交換器１１１に必要な伝熱面積や冷媒量を削減することができる。排ガスＧ１および冷却処理ガスＧ２１の一部は、第五通流経路Ｆ５を通り生産設備１３０へ戻される。第一熱交換器１１１および第二熱交換器１１２における冷却温度などの条件は、回収対象となる有機溶剤によって適宜決めればよい。

　分離部１２０の分離手段および構成は特に限定しない。実施の形態１Ｊでは、デミスター、フィルター、およびメッシュなどの液滴を接触して捕捉する網目状構造体１２１が用いられる。分離部１２０は、冷却部１１０で冷却された有機溶剤を含む冷却凝縮液Ｌ１を受ける漏斗状の受け部１２２を有している。冷却部１１０で冷却された冷却凝縮液Ｌ１および網目状構造体１２１に捕捉された冷却凝縮液Ｌ１は、重力によって受け部１２２に流れた後、受け部１２２の下部に配置されたタンク１２５へ集液され、回収液Ｌ３として回収される。

　チャンバー１２３は、一定容量の空間を有する構造体である。チャンバー１２３内には、堰１２４が設けられている。堰１２４は、冷却凝縮液Ｌ１の一部がチャンバー１２３の先端方向へ移動し冷却ガス通流経路としての第一通流経路Ｆ１へ通流してしまうことを防止する。堰１２４は、確実に冷却凝縮液Ｌ１を回収する働きをする。チャンバー１２３内に一定時間貯留された冷却処理ガスＧ３は、冷却処理ガスＧ２１（リターンガスＧ２１）として通流経路Ｆ２１を通流し、冷却部１１０に戻される。冷却処理ガスＧ３の一部は、冷却処理ガスＧ２２として通流経路Ｆ２２を通流し、第二濃縮装置３００へ供給される。

　冷却部１１０には、第一熱交換器１１１の前に、冷却処理ガスＧ２１と排ガスＧ１との熱交換によって排ガスＧ１を冷却させる第二熱交換器１１２が設けられている。これにより、第一熱交換器１１１に必要な伝熱面積や冷媒量が削減される。

　有機溶剤回収システム１Ｊでは、排ガスＧ１の流れる方向に沿って見た場合に、冷却部１１０から分離部１２０に流れる方向に対して、分離部１２０内において網目状構造体１２１からチャンバー１２３に流れる方向が交差することで排ガスＧ１（排ガスＧ２，冷却処理ガスＧ３）がＬ字方向に流れる構造となっている。

　有機溶剤回収システム１Ｊは、冷却部１１０と分離部１２０とで構成される箇所がＬ字構造であるため、液滴や飛沫によって第二濃縮装置３００が暴露することを抑制することができる。第二濃縮装置３００は、暴露し吸着剤が濡れてしまうと強度低下や破損の可能性がある。有機溶剤回収システム１Ｊは、Ｌ字構造を有することにより第二濃縮装置３００の強度低下や破損を防止することができる。

　有機溶剤回収システム１Ｋ１に用いられる第二濃縮装置３００について説明する。第二濃縮装置３００は、ガスが接触することによって、含有する有機溶剤を吸着し、加熱ガスを接触することによって、吸着した有機溶剤を脱着させる吸着材を含む吸着素子３１０を有している。吸着素子３１０は、脱着部（脱着ゾーン）３１１と吸着部（吸着ゾーン）３１２とを含んでいる。吸着部３１２では、冷却処理ガスＧ２２が導入されることで、吸着材に冷却処理ガスＧ２２が接触することで、冷却処理ガスＧ２２に含有される有機溶剤が吸着材に吸着され、冷却処理ガスＧ２２が清浄化されて清浄ガスＧ９として排出される。

　脱着部３１１では、吸着材に冷却処理ガスＧ２２よりも高温な高温ガスＧ１０が導入されることで、有機溶剤が吸着材から脱着され、これにより有機溶剤を含有する脱着ガスＧ１１として排出される。

　図１７に示す通り、第二濃縮装置３００は、回転軸と、回転軸の周りに設けられた吸着素子３１０とを備えている。第二濃縮装置３００は、回転軸周りに吸着素子３１０を回転させることにより、吸着部３１２において、通流経路Ｆ２２から導入された冷却処理ガスＧ２２中の有機溶剤を吸着した吸着材が連続的に脱着部３１１に移動する構成である。

　図１７に示す通り、第二濃縮装置３００は、脱着部３１１が吸着部３１２よりも下部に配置された方が好ましい。脱着ガスＧ１１中に含まれる有機溶剤の一部が液化凝縮して脱着凝縮液Ｌ２が発生した場合においても、吸着部３１２に脱着凝縮液Ｌ２が付着しにくくなるからである。脱着凝縮液Ｌ２は、脱着部３１１より下部へ落ち、脱着部の外装の内面などを伝って回収される。より好ましくは、脱着部３１１は、脱着凝縮液Ｌ２がより下へ落ち易くなるために下に傾斜をつけた方が良い。

　有機溶剤回収システム１Ｊにおける有機溶剤回収システム１Ｋ２は、有機溶剤回収システム１Ｋ１と異なり、第二濃縮装置３００がない。このため、冷却凝縮装置１００のチャンバー１２３内に一定時間貯留された冷却処理ガスＧ３は、全てが冷却処理ガスＧ２１（リターンガスＧ２１）として通流経路Ｆ２１を通流し、冷却部１１０に戻される。

　図１７に示すように、実施の形態１Ｊの有機溶剤回収システム１Ｊは、複数の冷却凝縮装置１００が、生産設備１３０に対して並列に配置され、後段の第二濃縮装置３００の数が前段の冷却凝縮装置１００の数未満となる構成である。具体的には、後段の第二濃縮装置３００の数が１つなのに対し、前段の冷却凝縮装置１００の数は２つである。なお、後段の第二濃縮装置３００の数が前段の冷却凝縮装置１００の数未満となる構成であれば第二濃縮装置３００の数はいくつであってもよい。この場合、後段の第二濃縮装置３００が接続される位置は、複数の前段の冷却凝縮装置１００のうちのいずれの位置であってもよい。

　［作用・効果］
　本実施の形態における有機溶剤回収システム１Ｊは、有機溶剤を含有する排ガスＧ１を冷却することで、有機溶剤を液化凝縮し、有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスＧ２２として排出する冷却凝縮装置１００と、冷却処理ガスＧ２２を通流させる通流経路Ｆ２２と、通流経路Ｆ２２から導入された冷却処理ガスＧ２２に含まれる有機溶剤を吸着素子３１０にて吸着して有機溶剤の濃度が更に低減された清浄ガスＧ９として排出し、高温ガスＧ１０を導入して吸着素子３１０から有機溶剤を脱着して脱着ガスＧ１１として排出する第二濃縮装置３００と、を備える。冷却凝縮装置１００は、少なくとも２つ以上設けられ、第二濃縮装置３００は、少なくとも１つ以上設けられ、第二濃縮装置３００の数が、冷却凝縮装置１００の数未満である。

　このため、有機溶剤回収システム１Ｊは、生産設備１３０から排出される排ガスＧ１の流量が多い場合であっても、複数の冷却凝縮装置１００により排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における複数の冷却凝縮装置１００は、生産設備１３０に対して並列に配置される。これにより、生産設備１３０から排出される排ガスＧ１の流量が多い場合であっても、排ガスＧ１から有機溶剤を高効率に回収することができる。

　本実施の形態における冷却凝縮装置１００は、冷媒との熱交換により前記冷却を行う第一熱交換器１１１、第二熱交換器１１２をさらに備える。これにより、冷媒と排ガスとの熱交換を効果的に行うことができる。

　［他の実施の形態］
　上記実施の形態において、有機溶剤回収システム１Ｊは、図２～図１３に示す２段の濃縮装置を備えた有機溶剤回収システムの構成から、前段の濃縮装置を削除した構成のうちいずれか、またはその組合せにより構成されるようにしてもよい。

　有機溶剤回収システム１Ｊに用いられる濃縮装置として、ディスク型の濃縮装置である第二濃縮装置３００を例に説明した。後段の第二濃縮装置３００には、吸着ユニット２１０が筒軸回りに回転する中空円柱状のロータの筒軸回りの周方向に複数配置されている縦置きのシリンダー型の濃縮装置である第一濃縮装置２００を用いてもよい。また、濃縮装置は、横置きのシリンダー型の濃縮装置を用いてもよい。

　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本開示の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

　１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，３Ｃ，３Ｄ，４Ｃ，４Ｄ　有機溶剤回収システム、１００　冷却凝縮装置、１１０　冷却部、１１１　第一熱交換器、１１２　第二熱交換器、１２０　分離部、１２１　網目状構造体、１２３　チャンバー、１２５　タンク、１２７　天井部、１２８　仕切部、１３０　生産設備、２００　第一濃縮装置、２１０　吸着ユニット、２１１　内周側流路形成部材、２１２　吸着ロータ、２１３　外周側流路形成部材、２５０，３５０　再生ヒータ、３００　第二濃縮装置、３１０　吸着素子、３１１　脱着部、３１２　吸着部、Ｆ１　第一通流経路、Ｆ２　第二通流経路、Ｆ３　第三通流経路、Ｆ４　第四通流経路、Ｆ５　第五通流経路、Ｆ６　第六通流経路、Ｇ１，Ｇ２　排ガス、Ｇ３，Ｇ４，Ｇ５，Ｇ６　冷却処理ガス、Ｇ７，Ｇ１０　高温ガス、Ｇ８，Ｇ１１　脱着ガス、Ｇ９　清浄ガス、Ｌ１　冷却凝縮液、Ｌ２　脱着凝縮液、Ｌ３　回収液。

Claims

　生産設備から排出される有機溶剤を含有する排ガスから前記有機溶剤を回収する有機溶剤回収システムであって、
　前記有機溶剤を含有する前記排ガスを冷却することで、前記有機溶剤を液化凝縮し、前記有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスとして排出する冷却凝縮装置と、
　前記冷却処理ガスを通流させる第一通流経路と、
　前記第一通流経路から導入された前記冷却処理ガスに含まれる前記有機溶剤を第一吸着素子にて吸着して前記有機溶剤の濃度が更に低減された第一処理ガスとして排出し、高温ガスを導入して前記第一吸着素子から前記有機溶剤を脱着して第一脱着ガスとして排出する第一濃縮装置と、
　前記第一処理ガスの一部を通流させる第二通流経路と、
　前記第二通流経路から導入された前記第一処理ガスに含まれる前記有機溶剤を第二吸着素子にて吸着して前記有機溶剤の濃度が更に低減された第二処理ガスとして排出し、高温ガスを導入して前記第二吸着素子から前記有機溶剤を脱着して第二脱着ガスとして排出する第二濃縮装置と、
　前記第一脱着ガスおよび前記第二脱着ガスを前記冷却凝縮装置に戻す第三通流経路と、を備え、
　前記第一濃縮装置は、少なくとも２つ以上設けられ、前記第二濃縮装置は、少なくとも１つ以上設けられ、
　前記第二濃縮装置の数が、前記第一濃縮装置の数未満である、有機溶剤回収システム。
　複数の前記第一濃縮装置は、前記生産設備に対して並列に配置される、請求項１に記載の有機溶剤回収システム。
　前記冷却凝縮装置は、少なくとも２つ以上設けられ、
　前記第一濃縮装置の数が、前記冷却凝縮装置の数と同じである、請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収システム。
　前記冷却凝縮装置は、前記冷却後の前記排ガスを接触させることで凝縮した前記有機溶剤と前記冷却処理ガスとを分離させる網目状構造体と、前記網目状構造体を通過後の前記冷却処理ガスを一定時間貯留させるチャンバーと、をさらに備える、請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収システム。
　前記冷却凝縮装置は、冷媒との熱交換により前記冷却を行う熱交換器をさらに備える、請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収システム。
　前記第一濃縮装置は、前記第一吸着素子が筒軸回りに回転する中空円柱状のロータの筒軸回りの周方向に複数配置されている、請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収システム。
　前記第二濃縮装置は、前記第二吸着素子が筒軸回りに回転する円盤状の吸着ロータに配置されている、請求項１または請求項２に記載の有機溶剤回収システム。
　生産設備から排出される有機溶剤を含有する排ガスから前記有機溶剤を回収する有機溶剤回収システムであって、
　前記有機溶剤を含有する前記排ガスを冷却することで、前記有機溶剤を液化凝縮し、前記有機溶剤の濃度が低減された冷却処理ガスとして排出する冷却凝縮装置と、
　前記冷却処理ガスを通流させる第一通流経路と、
　前記第一通流経路から導入された前記冷却処理ガスに含まれる前記有機溶剤を吸着素子にて吸着して前記有機溶剤の濃度が更に低減された第一処理ガスとして排出し、高温ガスを導入して前記吸着素子から前記有機溶剤を脱着して脱着ガスとして排出する濃縮装置と、を備え、
　前記冷却凝縮装置は、少なくとも２つ以上設けられ、前記濃縮装置は、少なくとも１つ以上設けられ、
　前記濃縮装置の数が、前記冷却凝縮装置の数未満である、有機溶剤回収システム。
　複数の前記冷却凝縮装置は、前記生産設備に対して並列に配置される、請求項８に記載の有機溶剤回収システム。
　前記冷却凝縮装置は、前記冷却後の前記排ガスを接触させることで凝縮した前記有機溶剤と前記冷却処理ガスとを分離させる網目状構造体と、前記網目状構造体を通過後の前記冷却処理ガスを一定時間貯留させるチャンバーと、をさらに備える、請求項８または請求項９に記載の有機溶剤回収システム。
　前記冷却凝縮装置は、冷媒との熱交換により前記冷却を行う熱交換器をさらに備える、請求項８または請求項９に記載の有機溶剤回収システム。
　前記濃縮装置は、前記吸着素子が筒軸回りに回転する円盤状の吸着ロータに配置されている、請求項８または請求項９に記載の有機溶剤回収システム。