WO2016189958A1 - 吸着処理装置 - Google Patents

Abstract

吸着処理装置（１００）は、複数の吸着体（３０）が筒孔（９０ａ）を有する筒状に配置された筒状ロータ（９０）と、互いに区画され、円筒状ロータ（９０）が回転することにより、複数の吸着体（３０）が交互に通過することとなる第１領域（Ｒ１）と第２領域（Ｒ２）を備え、第１領域（Ｒ１）は、内周側流路形成部材（４）および外周側流路形成部材（５）に対して複数の吸着体（３０）の一部が気密または液密に連通する領域であり、第２領域（Ｒ２）は、筒孔（９０ａ）の両方の開口から流出するように、筒状ロータ（９０）の外周側から内周側に向けて流体が吸着体（３０）に導入される領域、または、筒孔（９０ａ）の両方の開口から流入した流体が、筒状ロータ（９０）の内周側から外周側に向けて、吸着体（３０）に導入される領域である。

Description

吸着処理装置

　本発明は、大流量の流体を処理する吸着処理装置に関する。

　従来、低濃度の被処理物質を含む大流量の被処理流体を処理する方法として、吸着濃縮処理方法がある。この処理方法においては、連続に回転する吸着体の吸着区画に大風量の被処理流体を流入して被処理流体に含まれ被処理物質を吸着除去させる。一方で、被処理流体を流入する吸着区画から別途独立した脱着区画に少量の加熱流体を流入し、大風量の被処理流体に含まれる被処理物質を小風量の加熱流体に移動させる。このように、高濃度被処理物質を含む小風量のいわゆる濃縮流体を生成し、この濃縮流体を別途２次処理することにより、トータルの処理コストを低減させることができる。

　被処理流体が気体であり、被処理流体に含まれる被処理物質が有機溶剤（ＶＯＣ）の場合には、上述の処理方法を用いたＶＯＣ排気ガス処理装置が利用されている。このＶＯＣ排気ガス処理装置には、ハニカム形状の吸着材が用いられている。

　また、被処理流体が気体であり、被処理流体に含まれる被処理物質が水分である場合には、上述の処理方法を用いた除湿装置が利用されている。この除湿装置には、ハニカム形状の吸着材が用いられている。

　上記のＶＯＣ排気処理装置および除湿装置のように、ハニカム形状の吸着材を具備する吸着処理装置として、一般的に、特殊一体成形される円盤状吸着体を利用した円盤型（ディスク型）吸着処理装置や、特開昭６３－８４６１６号公報（特許文献１）、実公昭６０－３４９９１号公報（特許文献２）に開示のような複数の定型の吸着材を円筒状ロータに嵌め込んだ円筒状ロータ型（シリンダー型）吸着処理装置が知られている。

特開昭６３－８４６１６号公報 実公昭６０－３４９９１号公報

　たとえば、ＶＯＣを含む工場排気ガスを吸着濃縮により処理する場合、その排気ガスにはＶＯＣ以外に吸着性能が低下させるガス状物質が含まれることがある。吸着性能が低下した吸着体は、交換が必要となる。

　ディスク型吸着処理装置に具備される吸着体は、特殊一体成形されているため製造コストが割高となる。さらに、この吸着体を交換する際には、全体的に交換する必要が生じ交換作業に労力が掛かる。

　一方、シリンダー型吸着処理装置に具備される複数の吸着体は、それぞれ定型を有しているためその製造コストを低減することができる。また、この吸着体を交換する際には、部分的に交換できるため、交換作業も容易に行なうことができる。

　ガス状物質以外の要因においても吸着性能が低下する場合があり、たとえばその要因の一つとして、ミストや粉塵が挙げられる。ミストや粉塵が被処理流体に含まれる場合には、これらによって吸着体の目詰まりが発生する。

　ディスク型吸着処理装置においては、吸着区画と脱着区画とを区画するシール材が吸着体に直接接触した状態で、吸着体が回転する。このため、被処理流体に含まれるミストや粉塵をシール材によって吸着体に押し付けることとなり、吸着体の目詰まりを助長させる場合がある。

　一方、シリンダー型吸着処理装置においては、吸着区画と脱着区画とを区画するシール材は直接接触しないため、ミストや粉塵による吸着体の目詰まりを助長することが無い。

　以上のように、吸着性能を考慮すると、吸着体に影響を与える物質を含む被処理流体を処理する場合には、シリンダー型吸着処理装置は、ディスク型吸着処理装置よりも適していると言える。

　近年、吸着処理装置にあっては、処理流量を増加させることが要求されている。シリンダー型吸着処理装置にあっては、処理流量は円筒状ロータの筒孔を通過する被処理流体の量に影響されるため、円筒状ロータの内径を大きくしたり、筒軸方向の高さを大きくしたりすることにより、処理流量を増加させることができる。

　しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示のように、筒軸が鉛直方向を向くように円筒状ロータを筒軸周りに回転可能にステージ上に設置する態様でシリンダー型吸着処理装置を構成する場合には、内径を大きくしたり、筒軸方向の高さを大きくしたりすることにより、高さ制限や幅等の規制によって輸送上に問題が発生してしまう。このため、上述のように内径や高さを大きくした円筒状ロータは、実用的でなかった。

　さらに、特許文献１および特許文献２に開示のように、円筒状ロータの筒軸方向における一方側からのみ被処理流体を流出させるように構成される場合には、流出口に近い一方側では、流体の流動抵抗は小さく、流出口から遠い円筒状ロータの筒軸方向における他方側では、流体の流動抵抗は大きくなる。円筒状ロータの高さを大きくする場合には、このような流動抵抗の差による影響が大きくなり、円筒状ロータに流体を通過させる際に、円筒状ロータの高さ方向に流量分布が生じやすくなる。この結果、吸着体に吸着する被処理物質の量も高さ方向に分布が生じ、処理にムラができる。また、円筒状ロータの高さを大きくすることにより、筒軸が鉛直方向からずれることもあり、円筒状ロータが安定して回転できない場合がある。

　本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、実用的な大きさを有し、被処理流体の処理流量を増加させることができる吸着処理装置を提供することにある。

　本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する筒状ロータと、互いに区画され、かつ、上記筒状ロータが回転することにより複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、上記筒孔は、両端が開口しており、上記第１領域は、上記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域であり、上記第２領域は、上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒状ロータの上記筒孔を通過して上記筒孔の両方の開口から流出するように、上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が上記吸着体に導入される領域、または、上記筒孔の両方の開口から流入し上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒孔を通過した流体が、上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、上記吸着体に導入される領域である。

　上記本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、上記筒孔の両端の上記開口の間を一方の上記開口から他方の上記開口にかけて上記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、上記筒孔の両方の上記開口の少なくとも一方から外部に延出されることが好ましい。また、上記第１領域は、上記内周側部材の内部を通過した流体が上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であることが好ましい。

　上記本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記筒状ロータの上記筒軸は、水平方向に延在することが好ましい。

　上記本発明の第１の局面に基づく吸着処理装置は、
　筒状ロータは、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
　上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、上記内周側流路形成部材は、上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。さらに、この場合には、上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、互いに区画され、かつ、複数の上記筒状ロータが回転することにより、複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、上記筒孔は、両端が開口しており、複数の上記筒状ロータは、複数の上記筒状ロータの各々が有する上記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置される。上記第１領域は、連通する複数の上記筒孔内において複数の上記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、上記内周側流路形成部材に対向するように複数の上記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記筒状ロータに含まれる複数の上記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域である。上記第２領域は、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち一方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち他方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の開口から流出するように、複数の上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が上記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち一方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち他方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の開口から流入し、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域である。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、上記複数の流路形成部材の各々は、複数の上記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されていてもよい。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち一方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の上記開口および水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち他方の端に位置する上記筒状ロータにおいて隣接する上記筒状ロータが無い側の上記筒孔の上記開口の少なくとも一方から外部に延出されることが好ましい。また、上記第１領域は、上記内周側流路形成部材の内部を通ってから複数の上記筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が複数の上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であることが好ましい。

　上記本発明の第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、筒状ロータは、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含んでいてもよい。この場合には、上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成されることが好ましい。さらに、上記内周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、上記外周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。複数の上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。

　上記本発明の第１および第２の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域に導入される流体は、好適には、加熱流体であり、上記第２領域に導入される流体は、好適には、被処理物質が含まれる被処理流体である。この場合には、上記被処理流体は、上記筒状ロータの外周側から内周側に導入されることが好ましい。

　上記本発明の第３の局面に基づく吸着処理装置は、中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、上記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の上記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な円筒状ロータと、互いに区画され、かつ、上記円筒状ロータが回転することにより、複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、上記第１領域は、上記円筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、上記円筒状ロータの回転に伴って回転する複数の上記空間部の一部が気密または液密に連通する領域であり、上記第２領域は、上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記円筒状ロータの筒孔を通過して上記一対の中空円盤の両方の上記開口部から流出するように、上記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、上記一対の中空円盤の両方の上記開口部から流入し上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記円筒状ロータの上記筒孔を通ってから上記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である。

　上記本発明の第３の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、上記一対の中空円盤の両方の上記開口部間を一方の上記開口部から他方の上記開口部にかけて上記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、上記第１領域は、上記一対の中空円盤の両方の上記開口部の少なくとも一方を通過する上記内周側流路形成部材の内部を通ってから上記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、上記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記円筒状ロータを通ってから上記一対の中空円盤の両方の上記開口部の少なくとも一方を通過する上記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域であることが好ましい。

　上記本発明の第３の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記円筒状ロータの上記筒軸は、水平方向に延在することが好ましい。

　上記本発明の第３の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、上記円筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記円筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記円筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、上記円筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記円筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記円筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、上記円筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記一対の中空円盤間を一方の中空円盤から他方の中空円盤にかけて延在し、円筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、上記円筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記一対の中空円盤間を上記一方の中空円盤から上記他方の中空円盤にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。さらに、この場合には、上記円筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。

　本発明の第４の局面に基づく吸着処理装置は、中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、上記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の上記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒孔を有する筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な複数の円筒状ロータと、互いに区画され、かつ、上記複数の円筒状ロータが回転することにより、複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、複数の上記円筒状ロータは、複数の上記円筒状ロータの各々が有する上記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置され、上記第１領域は、連通する複数の上記筒孔内において複数の上記円筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、上記内周側流路形成部材に対向するように複数の上記円筒状ロータの外周側に配置されるとともに複数の上記円筒状ロータに対応して設けられた複数の外周側流路形成部材に対して、複数の上記円筒状ロータに含まれる複数の上記空間部の一部が、気密または液密に連通する領域であり、上記第２領域は、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の上記円筒状ロータのうち一方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記一方側の上記開口部、および他方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記他方側の上記開口部から流出するように、複数の上記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の上記円筒状ロータのうち一方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記一方側の上記開口部、および他方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記他方側の上記開口部から流入し、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通ってから複数の上記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である。

　上記本発明の第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域は、上記一方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記一方側の上記開口部および上記他方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記他方側の上記開口部の少なくとも一方を通過する上記内周側流路形成部材の内部を通ってから上記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、上記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて複数の上記円筒状ロータを通ってから、上記一方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記一方側の上記開口部および上記他方側に位置する上記円筒状ロータにおける上記一対の中空円盤の上記他方側の上記開口部の少なくとも一方を通過する上記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域であることが好ましい。

　上記本発明の第３および第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域に導入される流体は、好適には、加熱流体であり、上記第２領域に導入される流体は、好適には、被処理物質が含まれる被処理流体である。この場合には、上記被処理流体は、上記円筒状ロータの外周側から内周側に導入されることが好ましい。

　上記本発明の第１から第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第１領域に導入される流体は、好適には加熱流体であり、上記第２領域に導入される流体は、好適には被処理物質が含まれる被処理流体である。この場合には、上記第２領域に上記被処理流体が導入されることにより、上記被処理物質が上記第２領域に位置する上記吸着体によって上記被処理流体から吸着除去されることが好ましく、上記第１領域に上記加熱流体が導入されることにより、上記吸着体に吸着された上記被処理物質が上記第１領域に位置する上記吸着体から脱着されることが好ましい。

　上記本発明の第１から第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第２領域を通過する上記被処理流体が流れる方向と、上記第１領域を通過する上記加熱流体が流れる方向とが、径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。

　上記本発明の第１から第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理流体は、好適には排気ガスであり、上記加熱流体は、好適には加熱空気である。

　上記本発明の第１から第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理物質は、好適には有機溶剤である。

　上記本発明の第１から第４の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記吸着体は、ハニカム構造を有することが好ましい。

　本発明によれば、実用的な大きさを有し、被処理流体の処理流量を増加させることができる吸着処理装置を提供することができる。

実施の形態１に係る吸着処理装置の縦断面図である。 図１に示すＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。 図１に示す円筒状ロータの要部の拡大断面図である。 実施の形態２に係る吸着処理装置の縦断面図である。 実施の形態３に係る吸着処理装置の縦断面図である。 実施の形態４に係る吸着処理装置の縦断面図である。 実施の形態５に係る吸着処理装置の縦断面図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合は、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組み合わせることは、当初から予定されている。

　（実施の形態１）
　図１は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図２は、図１に示すＩＩ－ＩＩ線に沿った断面図である。図３は、図１に示す円筒状ロータの要部の拡大断面図である。図１から図３を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００について説明する。

　図１に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００は、処理室１内に供給された大風量の被処理流体Ｆ１に含まれる被処理物質を後述する吸着体３０を用いて吸着除去して、清浄化された清浄空気Ｆ２を排出する。また、吸着処理装置１００は、吸着除去された被処理物質を含む吸着体３０に少量の加熱流体Ｆ３を吹き付けることにより、当該吸着体３０から被処理物質を脱着させて濃縮流体Ｆ４として排出する。

　被処理物質の吸着処理は、後述する第２領域Ｒ２（図２参照）で行われる。被処理物質の脱着処理は、後述する第１領域Ｒ１（図２参照）で行われる。円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することにより、第１領域Ｒ１を通過して第２領域Ｒ２に位置する吸着体３０に対して吸着処理が行われ、吸着処理後に第２領域Ｒ２を通過して第１領域Ｒ１に位置する吸着体３０に対して脱着処理が行われる。このように、吸着処理装置１００においては、吸着処理および脱着処理が連続的に実施される。

　図１から図３に示すように、吸着処理装置１００は、円筒状ロータ９０、第１流路形成部材２、第２流路形成部材３、内周側流路形成部材４、および外周側流路形成部材５を備える。

　円筒状ロータ９０は、処理室１内に設置される。円筒状ロータ９０は、中空のロータである。円筒状ロータ９０は、両端が開口した筒孔９０ａを有する。円筒状ロータ９０は、径方向に流体を流動できるように設けられている。円筒状ロータ９０は、筒軸Ｃ周りに回転可能に設けられている。円筒状ロータ９０は、筒軸Ｃ方向が鉛直方向に向くようにして、支柱等の複数の支持部材６上で回転可能に支持されている。

　円筒状ロータ９０は、一対の中空円盤１０、複数の仕切体２０および複数の吸着体３０によって構成されている。円筒状ロータ９０の形状は、主として複数の吸着体３０によって規定される。円筒状ロータ９０は、主として複数の吸着体３０が筒孔９０ａを有する円筒筒状に配置されることにより構成される。

　一対の中空円盤１０は、互いに対向するように配置されている。一対の中空円盤１０は、第１中空円盤１１と第２中空円盤１２とを含む。第１中空円盤１１および第２中空円盤１２の中央部には、それぞれ開口部１１ａおよび開口部１２ａが設けられている。第１中空円盤１１および第２中空円盤１２は、これらの間に仕切体２０および吸着体３０を配置できるように距離を隔てて設けられている。

　複数の仕切体２０は、一対の中空円盤１０間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部Ｓ（図３参照）に仕切る。すなわち、複数の仕切体２０によって複数の吸着体３０の各々が配置される複数の空間部Ｓが形成される。複数の仕切体２０は、それらの中心Ｏ（図３参照）が所定のピッチで周方向に並ぶように配置されている。複数の仕切体２０の各々は、周方向において互いに隣り合う吸着体の間に配置される。複数の仕切体２０は、筒軸Ｃ方向に気密および／または液密となるように一対の中空円盤１０間に取付けられている。

　複数の吸着体３０のぞれぞれは、互いに独立した複数の空間部Ｓに収容されている。複数の吸着体３０は、たとえば円筒状に配置される。複数の吸着体３０は、所定のピッチで周方向に並んでいる。吸着体３０は、たとえばブロック形状を有する。複数の吸着体３０は、個別に交換できるようになっている。たとえば、再生しても吸着性能が落ちてきた場合には新しいものに交換する。交換により装置としての寿命を延ばすことができる。

　吸着体３０は、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭、ゼオライトのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、吸着体３０は、粒状、紛体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用される。活性炭やゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着および脱着するのに優れている。また、ハニカム状にすることにより、流体の圧力損失を低減させることができ、処理能力を増大させることができる。さらに、ゴミ等の固形物による目詰まりを抑制することができる。

　一対の中空円盤１０間で、複数の仕切体２０と複数の吸着体３０とを交互に周方向に複数並べて円筒状とすることにより構成される円筒状ロータ９０においては、第１中空円盤１１の開口部１１ａと第２中空円盤１２の開口部１２ａとを連結するように筒孔９０ａ（中央空間部）が形成される。筒孔９０ａの一端の開口は、開口部１１ａに連通し、筒孔９０ａの他端の開口は、開口部１２ａに連通する。

　第１流路形成部材２の一端側は、第１流路形成部材２の内部と円筒状ロータ９０の筒孔９０ａとを気密に維持しつつ、円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りの回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第１流路形成部材２の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と開口部１１ａの周縁に位置する部分の第１中空円盤１１とによって環状のシール部材を挟持する。第１流路形成部材２の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　第２流路形成部材３の一端側は、第２流路形成部材２の内部と円筒状ロータ９０の筒孔９０ａとを気密に維持しつつ、円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第２流路形成部材３の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と開口部１２ａの周縁に位置する部分の第２中空円盤１２とによって環状のシール部材を挟持する。第２流路形成部材３は、複数の支持部材６に干渉しないように設けられている。第２流路形成部材３の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　円筒状ロータ９０の内周側である筒孔９０ａには、内周側流路形成部材４が配設されている。円筒状ロータ９０の外周側には、外周側流路形成部材５が配設されている。内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５は、周方向における円筒状ロータ９０の一部を挟み込むように、円筒状ロータ９０の内周側および外周側において互いに対向して配設されている。

　内周側流路形成部材４は、筒孔９０ａに沿って延在し、開口部１１ａから円筒状ロータ９０の外側に向けて延出するように設けられている。内周側流路形成部材４は、一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａ間を一方の開口部１１ａから他方の開口部１２ａにかけて筒軸Ｃ方向に沿って延在する部分を含む。すなわち、内周側流路形成部材４は、筒孔９０ａの両方の開口の間を一方の開口から他方の開口にかけて筒軸Ｃ方向に沿って延在する部分を含み、筒孔９０ａの両方の開口のうち一方の開口から外部に延出される。

　内周側流路形成部材４の一端側には、円筒状ロータ９０の内周側に向かい合う内周側開口端部４ａが設けられている。内周側開口端部４ａにおける開口面は、周方向において円筒状ロータ９０の内周側の一部の領域に対して対向するように設けられている。また、当該開口面は、内周側流路形成部材４の第１中空円盤１１および第２中空円盤１２の間にかけて筒軸Ｃ方向に円筒状ロータ９０の内周側に対向するように設けられている。内周側流路形成部材４の他端側は、第１流路形成部材２に設けられた開口部２ａから第１流路形成部材２の外側に突出している。

　外周側流路形成部材５の一端側には、円筒状ロータ９０の外周側に向かい合う外周側開口端部５ａが設けられている。外周側開口端部５ａの開口面は、周方向において円筒状ロータの外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、第１中空円盤１１および第２中空円盤１２との間にかけて筒軸Ｃ方向に円筒状ロータ９０の外周側に対向するように設けられている。

　図２に示すように、吸着処理装置１００は、周方向に区画された第１領域Ｒ１（図２参照）および第２領域Ｒ２（図２参照）を備える。複数の吸着体３０は、円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することにより、第１領域Ｒ１と第２領域Ｒ２とを交互に移動する。

　図３に示すように、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して、筒状ロータ９０の回転に伴って移動する複数の吸着体３０の一部が気密または液密に連通する領域である。すなわち、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して、円筒状ロータ９０の回転に伴って回転（移動）する複数の空間部Ｓの一部が気密に連通する領域である。

　また、第１領域Ｒ１は、流体が吸着体３０に導入される領域でもある。具体的には、後述のように、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４の内部を通過した流体が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域でもある。

　なお、流体の流れを逆向きとしてもよく、第１領域Ｒ１は、内周側流路形成部材４に導入されるように、流体が筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて吸着体３０に導入される領域であってもよい。

　第２領域Ｒ２は、後述するように、内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒孔９０ａを通過して筒孔９０ａの両端の開口から流出するように、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が吸着体３０に導入される領域である。

　なお、第２領域は、筒孔９０ａの両端の開口から流入し内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒孔９０ａを通過した流体が、筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて、吸着体３０に導入される領域であってもよい。

　円筒状ロータ９０は、複数の仕切体２０のそれぞれに設けられたシール部材４０を含む。複数の仕切体２０のそれぞれは、本体部２１およびシール部材４０を設置するための設置部２２を含む。本体部２１は、たとえば三角筒形状を有する。設置部２２は、内周側設置部２３および外周側設置部２４を有する。

　内周側設置部２３は、板状形状を有する。内周側設置部２３は、筒軸Ｃ方向に延在するように設けられている。内周側設置部２３は、円筒状ロータ９０の内周側に位置する本体部２１の頂辺部から、円筒状ロータ９０の径方向内側に向けて突出するように設けられている。内周側設置部２３は、本体部２１と一体に構成されていてもよいし、本体部２１とは別部材で構成されていてもよい。内周側設置部２３は、後述する内側シール部材４１を設置するための設置面２３ａを有する。設置面２３ａは、円筒状ロータ９０の回転方向に交差する。

　外周側設置部２４は、板状形状を有する。外周側設置部２４は、筒軸Ｃ方向に延在するように設けられている。外周側設置部２４は、円筒状ロータ９０の外周側に位置する本体部２１の側面から、円筒状ロータ９０の径方向外側に向けて突出するように設けられている。外周側設置部２４は、本体部２１と一体に構成されていてもよいし、本体部２１とは別部材で構成されていてもよい。なお、外周側設置部２４が、本体部２１と別部材で構成される場合には、外周側設置部２４は、たとえばＬ字形状等の本体部２１に取付け可能な形状を有する。外周側設置部２４は、後述する外側シール部材４２を設置するための設置面２４ａを有する。設置面２４ａは、円筒状ロータ９０の回転方向に交差する。

　シール部材４０は、たとえば、弾性を有するゴム部材によって構成されている。シール部材４０は、円筒状ロータ９０の内周側に位置する内側シール部材４１と円筒状ロータ９０の外周側に位置する外側シール部材４２を含む。

　内側シール部材４１は、仕切体２０が有する設置面のうち、円筒状ロータ９０の内周側に位置する内周側設置面２３ａに設置されている。内側シール部材４１は、一対の中空円盤１０間を一方の中空円盤（第１中空円盤１１）から他方の中空円盤（第２中空円盤１２）にかけて延在する。すなわち、内側シール４１は、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在する。内側シール部材４１は、円筒状ロータ９０の径方向内側に向けて仕切体２０から突出する。

　外側シール部材４２は、仕切体２０が有する設置面のうち、円筒状ロータ９０の外周側に位置する外周側設置面２４ａに設置されている。外側シール部材４２は、一対の中空円盤１０間を一方の中空円盤（第１中空円盤１１）から他方の中空円盤（第２中空円盤１２）にかけて延在する。すなわち、外側シール部材４２は、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在する。外側シール部材４２は、円筒状ロータ９０の径方向外側に向けて仕切体２０から突出する。

　内周側流路形成部材４において、円筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向前方側縁部および円筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面４ｂ，４ｃが設けられている。

　外周側流路形成部材５において、円筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部５ａの回転方向前方側縁部および円筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部５ａの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面５ｂ，５ｃが設けられている。

　円筒状ロータ９０の回転に伴って、内周側湾曲面４ｂ，４ｃに対して内側シール部材４１が摺動し、外周側湾曲面５ｂ，５ｃに対して外側シール部材４２が摺動することにより、複数の空間部Ｓの一部が内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する。

　具体的には、内周側湾曲面４ｂおよび外周側湾曲面５ｂの間に位置する仕切体２０と、内周側湾曲面４ｃおよび外周側湾曲面５ｃの間に位置する仕切体２０との間に位置する空間部Ｓが、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する。

　このようにして、円筒状ロータ９０は、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５に対して気密に連通する第１領域Ｒ１と、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５には連通せず、第１領域Ｒ１とは、異なる流路を構成する第２領域Ｒ２とに区画される。

　図１および図３に示すように、第１領域Ｒ１および第２領域Ｒ２には、それぞれ流体が導入される。第２領域Ｒ２を通過する流体が流れる方向と、第１領域Ｒ１を通過する流体が流れる方向とは、円筒状ロータ９０の径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。

　第２領域Ｒ２には、内周側流路形成部材４の周囲に位置する部分の円筒状ロータ９０の筒孔９０ａを通過して一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａから流出するように、円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が導入される。すなわち、第２領域Ｒ２においては、内周側流路形成部材４の周囲に位置する筒状ロータ９０の筒孔９０ａを通過して筒孔の両端の開口から流出するように、筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が吸着体３０に導入される。

　一方で、第１領域Ｒ１には、一対の中空円盤１０の一方の開口部１１ａを通過する内周側流路形成部材４の内部を通ってから円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように流体が導入される。すなわち、第１領域Ｒ１においては、内周側流路形成部材４の内部を通過した流体が筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて吸着体３０に導入される。

　第２領域Ｒ２に導入される流体は、排気ガス等の被処理流体である。当該被処理流体には、被処理物質としての有機溶剤が含まれる。第２領域Ｒ２においては、被処理流体の清浄化が行われる。

　清浄化に際して、まず、吸着装置１００の第２領域Ｒ２に対して、円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。第２領域Ｒ２に導入された排気ガスは、径方向に沿って円筒状ロータ９０を通過する際に、第２領域Ｒ２に位置する複数の吸着体３０によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。円筒状ロータ９０の内周側端部側での排気ガスの風速は、たとえば２０ｍ／秒以下であることが好ましく、１０ｍ／秒以下であることがさらに好ましい。排気ガスの風速を２０ｍ／秒以下とすることにより、有機溶剤を効果的に吸着除去することができ、１０ｍ／秒以下とすることにより、有機溶剤をさらに効果的に吸着除去することができる。

　清浄化された排気ガスは、清浄空気として第２領域Ｒ２から円筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出される。円筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材４の周囲に位置する部分の筒孔９０ａ内を通過して筒孔の両端の開口から流出する。すなわち、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出された清浄空気は、上記筒孔９０ａ内を通過して一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａから流出する。両方の開口部１１ａ，１２ａからは、同流量の清浄空気が流出されることが好ましいが、異なる流量の清浄空気が流出されてもよい。両方の開口部１１ａ，１２ａから流出された清浄空気は、それぞれ第１流路形成部材２および第２流路形成部材３を通って処理室１外に排出される。

　第１領域Ｒ１に導入される流体は、加熱空気等の加熱流体である。第１領域Ｒ１においては、吸着体３０に吸着された有機溶剤を脱着することにより、吸着体３０の再生を行なうとともに、有機溶剤の濃度が高くなった濃縮流体を生成する。

　有機溶剤の脱着を行なうためには、内周側流路形成部材４の他端側から加熱空気を導入する。内周側流路形成部材４の他端側から導入された加熱空気は、第１中空円盤１１の開口部１１ａを通過する内周側流路形成部材４の内部を通って、当該内周側流路形成部材４の一端側から第１領域Ｒ１に導入される。

　第１領域Ｒ１に導入された加熱空気は、円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて円筒状ロータ９０を通過する際に、熱によって第１領域Ｒ１に位置する複数の吸着体３０からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第１領域Ｒ１から外周側流路形成部材５に排出される。外周側流路形成部材５に排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。

　以上のように吸着処理装置１００を構成し、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａ（中央空間部）の筒軸Ｃ方向の両端側から清浄空気を排出可能とすることにより、筒軸方向の一方側のみから清浄空気を排出する構成と比較して、流動抵抗を低減させることができ、円筒状ロータ９０から排出される流量を多くすることができる。これにより、輸送上に制限が出る大きさに円筒状ロータ９０を大きくすること無しに、実用的な大きさで、被処理流体の処理流量を増加させることができる。

　なお、本実施の形態においては、第２領域Ｒ２に導入される流体が、有機溶剤を含む排気ガスであり、第１領域Ｒ１に導入される流体が、加熱空気である場合を例示して説明したがこれに限定されず、第２領域Ｒ２に導入される流体が、有機溶剤を含む排水であってもよく、第１領域Ｒ１に導入される流体が、水蒸気であってもよい。このように、液体を流動させる場合には、内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５と、第１領域Ｒ１とは液密に連通するように構成される。

　また、本実施の形態においては、第２領域Ｒ２には、被処理流体を円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように導入してもよい。この場合には、第２領域Ｒ２は、一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａから流入し内周側流路形成部材４の周囲に位置する円筒状ロータ９０の筒孔９０ａを通ってから円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域となる。

　また、第１領域Ｒ１には、加熱流体を円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向かうように導入してもよい。

　さらには、第２領域Ｒ２を通過する流体が流れる方向と、第１領域Ｒ１を通過する流体が流れる方向とは、円筒状ロータ９０の径方向の向きにおいて同じ方向となるように、被処理流体を第２領域Ｒ２に、加熱流体を第１領域Ｒ１に導入してもよい。

　なお、吸着処理装置１００は、円筒状ロータ９０を回転させるための回転機構（不図示）、および駆動装置（不図示）を備える。回転機構は、円筒状ロータ９０を支持しつつ、円筒状ロータ９０の筒軸Ｃ周りに移動可能な移動体、筒軸Ｃが安定するように円筒状ロータ９０の回転移動を案内する移動案内部、自身が動かされることにより円筒状ロータ９０を回転させる従動部材を含む。

　移動体しては、たとえば車輪等が挙げられる。移動案内部としては、円筒状ロータ９０の一部に係合し、円筒状ロータ９０の移動を案内するものであってもよいし、車輪の移動を案内するものであってもよい。移動案内部として、たとえばガイドレールが挙げられる。従動部材は、たとえば円筒状ロータ９０の周囲に巻き掛けられたベルトやチェーンによって構成される。

　モータ等の駆動装置によって発生された駆動力が、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構によって、上記従動部材を駆動させるギヤ等の駆動部材に伝達されることにより、駆動部材が駆動する。これにより、従動部材とともに円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転する。なお、従動部材を省略し、駆動装置によって車輪等を回転させることにより、円筒状ロータ９０を筒軸Ｃ周りに回転させてもよい。

　円筒状ロータ９０は、連続して回転する。円筒状ロータ９０は、たとえば、一時間あたり、１～１０回程度筒軸Ｃ周りに回転する。

　（実施の形態２）
　図４は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図４を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａについて説明する。

　図４に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａは、実施の形態１に係る吸着処理装置１００と比較した場合に、円筒状ロータ９０の筒軸Ｃが略水平方向を向くようにして、筒軸Ｃ周りに回転可能に支持されている点において相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。

　円筒状ロータ９０は、一対の中空円盤１０の周端面に当接する複数の支持輪７によって回転可能に支持されている。複数の支持輪７は支持部材６上に設置されている。支持輪７としては、片側にフランジ部が設けられた車輪、両側にフランジ部が設けられた車輪等が挙げられる。水平方向を軸方向として軸周りに支持輪７を回転駆動させることにより、円筒状ロータ９０を筒軸Ｃ周りに回動させることができる。支持輪７の回転は、モータ等の駆動装置（不図示）、ならびに、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構（不図示）によって行なう。

　なお、支持輪７を直接回動させずに、円筒状ロータ９０に巻き掛けられたベルトやチェーン等を、上述の駆動装置および動力伝達機構によって回転させることで、円筒状ロータ９０を回転させてもよい。

　以上のように構成する場合であっても、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａ（中央空間部）の筒軸方向の両端側から清浄空気を排出することができ、筒孔９０ａ内を通過する流体の流動抵抗を低減させることができる。これにより、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ａにあっても、円筒状ロータ９０から排出される流量を多くすることができ、実施の形態１に係る吸着処理装置１００とほぼ同様の効果が得られる。また、筒軸Ｃを略水平方向に向けることにより、円筒状ロータ９０の回転を安定させることができる。

　（実施の形態３）
　図５は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図５を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｂについて説明する。

　図５に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｂは、実施の形態１に係る吸着処理装置１００と比較した場合に、内周側流路形成部材４Ｂの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。

　内周側流路形成部材４Ｂは、筒孔９０ａに沿って延在し、一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａから円筒状ロータ９０の外側に向けて延出するように設けられている。すなわち、内周側流路形成部材４Ｂは、筒孔９０ａの両端の開口の間を一方の開口から他方の開口にかけて筒軸Ｃ方向に沿って延在する部分を含み、筒孔９０ａの両端の開口のうち両方の開口から外部に延出される。内周側流路形成部材４Ｂの途中領域には、円筒状ロータ９０の内周側に向かい合う内周側開口端部４ａが設けられている。

　第１流路形成部材２側に位置する部分の内周側流路形成部材４Ｂは、第１流路形成部材２に設けられた開口部２ａから第１流路形成部材２の外側に突出している。第２流路形成部材３側に位置する部分の内周側流路形成部材４Ｂは、第２流路形成部材３に設けられた開口部３ａから外側に突出している。

　この場合には、第１領域Ｒ１には、一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａを通過する内周側流路形成部材４Ｂの内部を通ってから円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように加熱流体が導入される。すなわち、第１領域Ｒ１においては、内周側流路形成部材４の内部を通過した加熱流体が筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて吸着体３０に導入される。

　なお、第１領域Ｒ１には、円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて円筒状ロータ９０を通ってから、一対の中空円盤１０の両方の開口部１１ａ，１２ａを通過する部分の内周側流路形成部材４Ｂの内部を通るように加熱流体が導入されてもよい。すなわち、内周側流路形成部材４Ｂに導入されるように、加熱流体が筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて吸着体３０に導入されてもよい。

　以上のように構成する場合であっても、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａ（中央空間部）の筒軸方向の両端側から清浄空気を排出することができ、筒孔９０ａ内を通過する流体の流動抵抗を低減させることができる。これにより、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｂにあっても、円筒状ロータ９０から排出される流量を多くすることができ、実施の形態１に係る吸着処理装置１００とほぼ同様の効果が得られる。また、第１領域Ｒ１に導入できる加熱流体の量を増加させることができるため、より効果的に吸着体３０から有機溶剤を脱着させることができる。

　（実施の形態４）
　図６は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図６を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｃについて説明する。

　図６に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｃは、実施の形態２に係る吸着処理装置１００Ａと比較した場合に、複数の円筒状ロータ９０が平行に並んで配置されている点において相違する。

　複数の円筒状ロータ９０は、水平方向に並んで配置されている。複数の円筒状ロータ９０の各々の筒孔９０ａの両端は、開口している。複数の筒状ロータ９０の各々が有する筒孔９０ａは、連通する。

　複数の円筒状ロータ９０は、隣り合う円筒状ロータ９０の筒孔９０ａ同士が気密に維持されるように並んで配置されている。たとえば、複数の一対の中空円盤１０のうち互いに隣り合う中空円盤の間には、隣り合う筒孔９０ａ同士を気密に維持するためのシール部材８が設けられている。

　第１流路形成部材２の一端側は、複数の円筒状ロータ９０が並ぶ方向において両側に位置する２つの円筒状ロータ９０のうち一方側に位置する円筒状ロータ９０の筒孔９０ａと第１流路形成部材２の内部とを気密に維持しつつ、円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第１流路形成部材２の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と、上記一方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１１ａの周縁に位置する部分の第１中空円盤１１とによって環状のシール部材を挟持する。第１流路形成部材２の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　第２流路形成部材３の一端側は、複数の円筒状ロータ９０が並ぶ方向において両側に位置する２つの円筒状ロータ９０のうち他方側に位置する円筒状ロータ９０の筒孔９０ａと第２流路形成部材３の内部とを気密に維持しつつ、円筒状ロータ９０が筒軸Ｃ周りに回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第２流路形成部材３の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と、上記他方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１２ａの周縁に位置する部分の第２中空円盤１２とによって環状のシール部材を挟持する。第２流路形成部材３の他端側は、処理室１外に引き出されている。

　気密に連通する複数の筒孔９０ａには、内周側流路形成部材４Ｃが配設されている。複数の円筒状ロータ９０の外周側には、それぞれ流路形成部材としての外周側流路形成部材５が配設されている。複数の外周側流路形成部材５のそれぞれと内周側流路形成部材４Ｃとは、各円筒状ロータ９０の周方向における一部を挟み込むように、互いに対向して配設されている。

　内周側流路形成部材４Ｃは、気密に連通する複数の円筒９０ａ内を筒軸Ｃ方向に沿って延在し、上記一方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１１ａから上記一方側に位置する円筒状ロータ９０の外側に向けて延出するように設けられている。すなわち、内周側流路形成部材４Ｃは、複数の円筒状ロータ９０に跨る部分を含むように設けられている。

　内周側流路形成部材４Ｃの一端側（具体的には複数の筒孔９０ａ内を筒軸Ｃ方向に沿って延在する部分の内周側流路形成部材４Ｃ）には、複数の円筒状ロータ９０の内周側に向かい合うように内周側開口端部４ａが設けられている。内周側開口端部４ａにおける開口面は、複数の円筒状ロータ９０の内周側の周方向における一部の領域に対して対向するように設けられている。内周側流路形成部材４Ｃの他端側は、第１流路形成部材２に設けられた開口部２ａから第１流路形成部材２の外側に突出している。

　複数の外周側流路形成部材５のそれぞれの一端側には、対応する円筒状ロータ９０の外周側に向かい合う外周側開口端部５ａが設けられている。外周側開口端部５ａの開口面は、周方向において円筒状ロータ９０の外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、対応する円筒状ロータ９０の第１中空円盤１１および第２中空円盤１２との間にかけて筒軸Ｃ方向に円筒状ロータ９０の外周側に対向するように設けられている。

　複数の円筒状ロータ９０は、内周側流路形成部材４Ｃおよび外周側流路形成部材５に対して気密に連通する第１領域Ｒ１と、内周側流路形成部材４Ｃおよび外周側流路形成部材５には連通せず、第１領域Ｒ１とは、異なる流路を構成する第２領域Ｒ２とに区画される。

　第１領域Ｒ１は、連通する複数の筒孔９０ａ内において複数の円筒状ロータ９０に跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材４Ｃ、および、内周側流路形成部材４Ｃに対向するように複数の円筒状ロータ９０の外周側に配置された外周側流路形成部材５に対して、複数の円筒状ロータ９０の回転に伴って移動する複数の円筒状ロータ９０に含まれる複数の吸着体３０の一部が、気密または液密に連通する領域である。

　すなわち、第１領域Ｒ１は、連通する複数の筒孔９０ａ内において複数の円筒状ロータ９０に跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材４Ｃ、および、内周側流路形成部材４Ｃに対向するように複数の円筒状ロータ９０の外周側に配置された外周側流路形成部材５に対して、複数の円筒状ロータ９０に含まれる複数の空間部Ｓの一部が、気密または液密に連通する領域である。

　本実施の形態においては、吸着処理装置１００Ｃの第２領域Ｒ２に対して、円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。

　第２領域は、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材４Ｃの周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の円筒状ロータ９０のうち一方側に位置する円筒状ロータ９０における一対の板状部材１０の一方側の開口部１１ａ、および他方側に位置する円筒状ロータ９０における一対の板状部材１０の他方側の開口部１２ａから流出するように、複数の円筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて流体が導入される領域である。

　すなわち、第２領域Ｒ２は、後述するように、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材４Ｃの周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０のうち一方の端に位置する筒状ロータ９０において隣接する筒状ロータが無い側の筒孔９０ａの開口および水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０のうち他方の端に位置する筒状ロータ９０において隣接する筒状ロータが無い側の筒孔の開口から流出するように、複数の筒状ロータ９０の外周側から内周側に向けて、流体が吸着体３０に導入される領域である。

　なお、第２領域Ｒ２は、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０のうち一方の端に位置する筒状ロータ９０において隣接する筒状ロータが無い側の筒孔９０ａの開口および水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ９０のうち他方の端に位置する筒状ロータ９０において隣接する筒状ロータが無い側の筒孔９０ａの開口から流入し、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通ってから複数の筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域であってもよい。

　第２領域Ｒ２に導入された排気ガスは、径方向に沿って、対応する円筒状ロータ９０をそれぞれ通過する際に、第２領域Ｒ２に位置する複数の吸着体３０によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。

　清浄化された排気ガスは、清浄空気として第２領域Ｒ２から、各円筒状ロータ９０の筒孔９０ａに排出される。各円筒状ロータ９０の筒孔９０ａのそれぞれに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材４Ｃの周囲に位置する部分において気密に連通する複数の円筒９０ａ内を通過して上記一方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１１ａおよび上記他方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１２ａから流出する。

　上記一方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１１ａおよび上記他方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１２ａの両方から流出された清浄空気は、それぞれ第１流路形成部材２および第２流路形成部材３を通って処理室外１に排出される。

　一方で、吸着処理装置１００Ｃの第１領域Ｒ１には、上記一方側の円筒状ロータ９０の開口部１１ａを通過する内周側流路形成部材４Ｃの内部を通ってから円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように加熱空気が導入される。

　第１領域Ｒ１に導入された加熱空気は、円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向けて円筒状ロータ９０のそれぞれを通過する際に、熱によって第１領域Ｒ１に位置する複数の吸着体３０からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第１領域Ｒ１から外周側流路形成部材５のそれぞれに排出される。外周側流路形成部材５のそれぞれに排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。

　以上のように本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｃにおいても、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａの筒軸方向の両端側から清浄空気を排出可能とすることにより、筒軸方向の一方側のみから清浄空気を排出する構成と比較して、流動抵抗を低減させることができ、円筒状ロータ９０から排出される流量を多くすることができる。また、筒軸Ｃを略水平方向に向けることにより、円筒状ロータ９０の回転を安定させることができる。これにより、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｃは、実施の形態２とほぼ同様の効果が得られる。

　加えて、複数の円筒状ロータ９０を並べた構成とすることにより、実施の形態２に係る吸着処理装置１００Ａと比較して、処理量を大幅に増加させることができる。

　なお、本実施の形態においては、吸着処理装置１００Ｃは、実施の形態２の吸着処理装置１００Ａと比較してサイズが大きくなるが、複数の円筒状ロータ９０を並べて設置する構成である。このため、個々の円筒状ロータ９０に着目すると、その大きさは、輸送上の制限を受ける大きさではなく、実用的な大きさが維持される。

　なお、上述した本実施の形態においては、外周側流路形成部材５が複数設けられている場合を例示して説明したが、これに限定されず、外周側流路形成部材５が単数であってもよい。この場合には、外周側流路形成部材５は、複数の円筒状ロータ９０が並ぶ方向において一方側から他方側にかけて延在するように設けられる。さらに、この場合には、外周側流路形成部材５の他端側は、複数に分岐されていてもよい。

　さらに、上記の場合において、内周側流路形成部材４Ｃおよび単数の外周側流路形成部材は、実施の形態１に係る内周側流路形成部材４および外周側流路形成部材５とほぼ同様の構成を有している。

　内周側流路形成部材４Ｃは、複数の筒状ロータ９０の内周側に向かい合う内周側開口端部４ａを含み、筒状ロータ９０のロータの回転方向の前方側に位置する内周側開口端部４ａの回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられている。さらに、外周側流路形成部材は、複数の筒状ロータ９０の外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、筒状ロータ９０の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部の回転方向前方側縁部および筒状ロータ９０の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられている。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの各々において、筒状ロータ９０の内周側に位置する部分の仕切体２０には、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ９０の径方向内側に向けて仕切体２０から突出する内側シール部材が設けられている。また、複数の筒状ロータ９０の各々において、筒状ロータ９０の外周側に位置する部分の仕切体２０には、筒孔９０ａの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ９０の径方向外側に向けて仕切体２０から突出する外側シール部材が設けられている。複数の筒状ロータ９０Ａ，９０Ｂ，９０Ｃの回転に伴って、内周側湾曲面に対して内側シール部材が摺動し、外周側湾曲面に対して外側シール部材が摺動することにより、複数の空間部Ｓの一部が内周側流路形成部材４Ａおよび外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する。

　また、複数の円筒状ロータ９０の第２領域Ｒ２に対して、円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように排気ガスを導入してもよい。この場合には、第２領域Ｒ２は、水平方向に並ぶ複数の円筒状ロータ９０のうち一方の端に位置する円筒状ロータ９０における一対の板状部材１０の一方側の開口部１１ａ、および他方の端に位置する円筒状ロータ９０における一対の板状部材１０の他方側の開口部１２ａから流入し、連通する複数の筒孔９０ａのうち内周側流路形成部材４Ｃの周囲に位置する部分を通ってから複数の円筒状ロータ９０の内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域となる。

　（実施の形態５）
　図７は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図７を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｄについて説明する。

　図７に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置１００Ｄは、実施の形態２に係る吸着処理装置１００Ａと比較した場合に、一対の中空円盤１０間が複数のプレート９によって筒軸Ｃ方向に分割されている点および、これに伴って円筒状ロータ９０を支持する支持輪７が増加している点において相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。

　プレート９は、中空円盤１１，１２に対応する形状を有する。プレート９は、一対の中空円盤１０間に配置される。複数のプレート９は、筒軸Ｃ方向に空間部Ｓを分割する。筒軸Ｃ方向に分割された空間部Ｓのそれぞれには、分割された空間部Ｓのサイズに応じた吸着体３０が収容される。

　円筒状ロータ９０は、一対の中空円盤１０の周端面に当接する複数の支持輪７および複数のプレート９の周端面に当接する複数の支持輪７によって回転可能に支持されている。

　以上のように構成する場合であっても、円筒状ロータ９０の筒孔９０ａ（中央空間部）の筒軸方向の両端側から清浄空気を排出することができ、筒孔９０ａ内を通過する流体の流動抵抗を低減させることができる。また、筒軸Ｃを略水平方向に向けることにより、円筒状ロータ９０の回転を安定させつつ、円筒状ロータ９０から排出される流量を多くすることができ、実施の形態２に係る吸着処理装置１００Ａとほぼ同様の効果が得られる。

　さらに、複数のプレート９を設け、一対の中空円盤１０に加えて、これら複数のプレート９を複数の支持輪７にて回転可能に支持することにより、実施の形態２よりもさらに安定して円筒状ロータ９０を回転させることができる。

　なお、本実施の形態においては、複数のプレート９によって一対の中空円盤１０間が筒軸Ｃ方向に分割される場合を例示して説明したがこれに限定されず、単数のプレート９によって一対の中空円盤１０間が筒軸Ｃ方向に分割されてもよい。

　なお、上述した実施の形態１から５においては、仕切体２０が略三角筒形状を有する場合を例示して説明したが、これに限定されず、一対の中空円盤１０を支持できるような強度を有し、かつシール部材４０を設置可能である限り、その形状は、板状形状等であってもよく、適宜変更することができる。

　なお、上述した実施の形態１から５においては、円筒状ロータ９０の形状が、円筒形状である場合を例示して説明したが、これに限定されず、四角筒形状等の多角筒形状および楕円筒形状等の筒状形状であればよい。この場合には、一対の中空円盤１０の形状は、円形状に限定されず、上記の筒状形状に応じて、多角形状および楕円形状等の板状形状に構成されていればよい。なお、筒状形状のロータは、主として複数の吸着体３０が筒孔を有する筒状に配置されることにより構成される。

　また、上述した実施の形態１から５において説明した特徴的な構成を、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、適宜組み合わせてもよい。たとえば、実施の形態４に係る内周側流路形成部材４Ｃが、実施の形態３に係る内周側流路形成部材４Ｂのように、複数の円筒状ロータ９０のうち一方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１１ａおよび他方側に位置する円筒状ロータ９０の開口部１２ａから外側に向けて延出するように設けられていてもよい。

　以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

　１　処理室、２　第１流路形成部材、２ａ　開口部、３　第２流路形成部材、３ａ　開口部、４，４Ｂ　内周側流路形成部材、４ａ　内周側開口端部、４ｂ，４ｃ　内周側湾曲面、５　外周側流路形成部材、５ａ　外周側開口端部、５ｂ，５ｃ　外周側湾曲面、６　支持部材、７　支持輪、８　シール部材、１０　一対の中空円盤、１１　第１中空円盤、１１ａ　開口部、１２　第２中空円盤、１２ａ　開口部、２０　仕切体、２１　本体部、２２　設置部、２３　内周側設置部、２３ａ　内周側設置面、２４　外周側設置部、２４ａ　外周側設置面、３０　吸着体、４０　シール部材、４１　内側シール部材、４２　外側シール部材、９０　円筒状ロータ、９０ａ　筒孔、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ　吸着処理装置。

Claims (22)

1. 　複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する筒状ロータと、
   　互いに区画され、かつ、前記筒状ロータが回転することにより複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
   　前記筒孔は、両端が開口しており、
   　前記第１領域は、前記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域であり、
   　前記第２領域は、前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒状ロータの前記筒孔を通過して前記筒孔の両端の開口から流出するように、前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が前記吸着体に導入される領域、または、前記筒孔の両端の開口から流入し前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒孔を通過した流体が、前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。
2. 　前記内周側流路形成部材は、前記筒孔の両端の前記開口の間を一方の前記開口から他方の前記開口にかけて前記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、前記筒孔の両端の前記開口の少なくとも一方から外部に延出され、
   　前記第１領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項１に記載の吸着処理装置。
3. 　前記筒状ロータの前記筒軸は、水平方向に延在する、請求項１または２に記載の吸着処理装置。
4. 　前記筒状ロータは、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
   　前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
   　前記内周側流路形成部材は、前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
   　前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
   　前記外周側流路形成部材は、前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
   　前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
   　前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
   　前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
   　前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項１から３のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
5. 　複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、
   　互いに区画され、かつ、複数の前記筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
   　前記筒孔は、両端が開口しており、
   　複数の前記筒状ロータは、複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置され、
   　前記第１領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記筒状ロータに含まれる複数の前記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
   　前記第２領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口から流出するように、複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が前記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。
6. 　前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
   　前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項５に記載の吸着処理装置。
7. 　前記内周側流路形成部材は、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の前記開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の前記開口の少なくとも一方から外部に延出され、
   　前記第１領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通ってから複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項５または６に記載の吸着処理装置。
8. 　複数の前記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
   　前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
   　前記内周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
   　前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
   　前記外周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
   　前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
   　複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
   　複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
   　複数の前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項５から７のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
9. 　前記第１領域に導入される流体は、加熱流体であり、
   　前記第２領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
   　前記被処理流体は、前記筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項１から８のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
10. 　中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、前記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の前記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な円筒状ロータと、
    　互いに区画され、かつ、前記円筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
    　前記第１領域は、前記円筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、前記円筒状ロータの回転に伴って回転する複数の前記空間部の一部が気密または液密に連通する領域であり、
    　前記第２領域は、前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記円筒状ロータの筒孔を通過して前記一対の中空円盤の両方の前記開口部から流出するように、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部から流入し前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記円筒状ロータの前記筒孔を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である、吸着処理装置。
11. 　前記内周側流路形成部材は、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部間を一方の前記開口部から他方の前記開口部にかけて前記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、
    　前記第１領域は、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記円筒状ロータを通ってから前記一対の中空円盤の両方の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域である、請求項１０に記載の吸着処理装置。
12. 　前記円筒状ロータの前記筒軸は、水平方向に延在する、請求項１０または１１に記載の吸着処理装置。
13. 　前記内周側流路形成部材は、前記円筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
    　前記円筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記円筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
    　前記外周側流路形成部材は、前記円筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
    　前記円筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記円筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
    　前記円筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記一対の中空円盤間を一方の中空円盤から他方の中空円盤にかけて延在し、前記円筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
    　前記円筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記一対の中空円盤間を前記一方の中空円盤から前記他方の中空円盤にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
    　前記円筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項１０から１２のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
14. 　中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、前記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の前記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒孔を有する筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な複数の円筒状ロータと、
    　互いに区画され、かつ、前記複数の円筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第１領域および第２領域と、を備え、
    　複数の前記円筒状ロータは、複数の前記円筒状ロータの各々が有する前記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置され、
    　前記第１領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記円筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記円筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記円筒状ロータに含まれる複数の前記空間部の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
    　前記第２領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記円筒状ロータのうち一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部、および他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部から流出するように、複数の前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記円筒状ロータのうち一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部、および他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通ってから複数の前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である、吸着処理装置。
15. 　前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
    　前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記円筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項１４に記載の吸着処理装置。
16. 　前記第１領域は、前記一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部および前記他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて複数の前記円筒状ロータを通ってから、前記一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部および前記他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域である、請求項１４または１５に記載の吸着処理装置。
17. 　前記第１領域に導入される流体は、加熱流体であり、
    　前記第２領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
    　前記被処理流体は、前記円筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項１０から１６のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
18. 　前記第１領域に導入される流体は、加熱流体であり、
    　前記第２領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
    　前記第２領域に前記被処理流体が導入されることにより、前記被処理物質が前記第２領域に位置する前記吸着体によって前記被処理流体から吸着除去され、
    　前記第１領域に前記加熱流体が導入されることにより、前記吸着体に吸着された前記被処理物質が前記第１領域に位置する前記吸着体から脱着される、請求項１から１７のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
19. 　前記第２領域を通過する前記被処理流体が流れる方向と、前記第１領域を通過する前記加熱流体が流れる方向とが、径方向の向きにおいて逆方向である、請求項１８に記載の吸着処理装置。
20. 　前記被処理流体は、排気ガスであり、
    　前記加熱流体は、加熱空気である、請求項１７から１９のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
21. 　前記被処理物質は有機溶剤である、請求項１７から２０のいずれか１項に記載の吸着処理装置。
22. 　前記吸着体は、ハニカム構造を有する、請求項１から２１のいずれか１項に記載の吸着処理装置。

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