JP6516003B2 - 吸着処理装置 - Google Patents
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Description
筒状ロータは、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、上記内周側流路形成部材は、上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。さらに、この場合には、上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。
図1は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図2は、図1に示すII−II線に沿った断面図である。図3は、図1に示す円筒状ロータの要部の拡大断面図である。図1から図3を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100について説明する。
図4は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図4を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Aについて説明する。
図5は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図5を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Bについて説明する。
図6は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図6を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Cについて説明する。
図7は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図7を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Dについて説明する。
Claims (22)
- 複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する筒状ロータと、
互いに区画され、かつ、前記筒状ロータが回転することにより複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備え、
前記筒孔は、両端が開口しており、
前記第1領域は、前記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域であり、
前記第2領域は、前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒状ロータの前記筒孔を通過して前記筒孔の両端の開口から流出するように、前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が前記吸着体に導入される領域、または、前記筒孔の両端の開口から流入し前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記筒孔を通過した流体が、前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。 - 前記内周側流路形成部材は、前記筒孔の両端の前記開口の間を一方の前記開口から他方の前記開口にかけて前記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、前記筒孔の両端の前記開口の少なくとも一方から外部に延出され、
前記第1領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項1に記載の吸着処理装置。 - 前記筒状ロータの前記筒軸は、水平方向に延在する、請求項1または2に記載の吸着処理装置。
- 前記筒状ロータは、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
前記内周側流路形成部材は、前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
前記外周側流路形成部材は、前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項1から3のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、
互いに区画され、かつ、複数の前記筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備え、
前記筒孔は、両端が開口しており、
複数の前記筒状ロータは、複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置され、
前記第1領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記筒状ロータに含まれる複数の前記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
前記第2領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口から流出するように、複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が前記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の開口から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、吸着処理装置。 - 前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項5に記載の吸着処理装置。 - 前記内周側流路形成部材は、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の前記開口および水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおいて隣接する前記筒状ロータが無い側の前記筒孔の前記開口の少なくとも一方から外部に延出され、
前記第1領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通ってから複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項5または6に記載の吸着処理装置。 - 複数の前記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
前記内周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
前記外周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
複数の前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項5から7のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 前記第1領域に導入される流体は、加熱流体であり、
前記第2領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
前記被処理流体は、前記筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項1から8のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、前記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の前記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な円筒状ロータと、
互いに区画され、かつ、前記円筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備え、
前記第1領域は、前記円筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、前記円筒状ロータの回転に伴って回転する複数の前記空間部の一部が気密または液密に連通する領域であり、
前記第2領域は、前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記円筒状ロータの筒孔を通過して前記一対の中空円盤の両方の前記開口部から流出するように、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部から流入し前記内周側流路形成部材の周囲に位置する前記円筒状ロータの前記筒孔を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である、吸着処理装置。 - 前記内周側流路形成部材は、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部間を一方の前記開口部から他方の前記開口部にかけて前記筒軸方向に沿って延在する部分を含み、
前記第1領域は、前記一対の中空円盤の両方の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記円筒状ロータを通ってから前記一対の中空円盤の両方の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域である、請求項10に記載の吸着処理装置。 - 前記円筒状ロータの前記筒軸は、水平方向に延在する、請求項10または11に記載の吸着処理装置。
- 前記内周側流路形成部材は、前記円筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
前記円筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記円筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
前記外周側流路形成部材は、前記円筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
前記円筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記円筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられ、
前記円筒状ロータの内周側に位置する部分の前記仕切体には、前記一対の中空円盤間を一方の中空円盤から他方の中空円盤にかけて延在し、前記円筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
前記円筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記一対の中空円盤間を前記一方の中空円盤から前記他方の中空円盤にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
前記円筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項10から12のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 中央部に開口部が設けられ、互いに対向するように配置された一対の中空円盤、前記一対の中空円盤間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部に仕切る複数の仕切体、および複数の前記空間部のそれぞれに配設される複数の吸着体によって筒孔を有する筒状に構成され、筒軸周りに回転可能な複数の円筒状ロータと、
互いに区画され、かつ、前記複数の円筒状ロータが回転することにより、複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備え、
複数の前記円筒状ロータは、複数の前記円筒状ロータの各々が有する前記筒孔が互いに連通するように水平方向に並んで配置され、
前記第1領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記円筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記円筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記円筒状ロータに含まれる複数の前記空間部の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
前記第2領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記円筒状ロータのうち一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部、および他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部から流出するように、複数の前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記円筒状ロータのうち一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部、および他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通ってから複数の前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように、流体が導入される領域である、吸着処理装置。 - 前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記円筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項14に記載の吸着処理装置。 - 前記第1領域は、前記一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部および前記他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通ってから前記円筒状ロータの内周側から外周側に向かうように流体が導入される領域、または、前記円筒状ロータの外周側から内周側に向けて複数の前記円筒状ロータを通ってから、前記一方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記一方側の前記開口部および前記他方側に位置する前記円筒状ロータにおける前記一対の中空円盤の前記他方側の前記開口部の少なくとも一方を通過する前記内周側流路形成部材の内部を通るように流体が導入される領域である、請求項14または15に記載の吸着処理装置。
- 前記第1領域に導入される流体は、加熱流体であり、
前記第2領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
前記被処理流体は、前記円筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項10から16のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 前記第1領域に導入される流体は、加熱流体であり、
前記第2領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
前記第2領域に前記被処理流体が導入されることにより、前記被処理物質が前記第2領域に位置する前記吸着体によって前記被処理流体から吸着除去され、
前記第1領域に前記加熱流体が導入されることにより、前記吸着体に吸着された前記被処理物質が前記第1領域に位置する前記吸着体から脱着される、請求項1から17のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 前記第2領域を通過する前記被処理流体が流れる方向と、前記第1領域を通過する前記加熱流体が流れる方向とが、径方向の向きにおいて逆方向である、請求項18に記載の吸着処理装置。
- 前記被処理流体は、排気ガスであり、
前記加熱流体は、加熱空気である、請求項17から19のいずれか1項に記載の吸着処理装置。 - 前記被処理物質は有機溶剤である、請求項17から20のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
- 前記吸着体は、ハニカム構造を有する、請求項1から21のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
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