TWI708632B - 吸附處理裝置 - Google Patents

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Abstract

吸附處理裝置(100)具備：筒狀轉動體(90)，由複數個吸附體(30)配置成具有筒孔(90a)的筒狀；及第1區域(R1)與第2區域(R2)，彼此區隔，且藉由圓筒狀轉動體(90)進行旋轉，使複數個吸附體(30)交替通過，其中，第1區域(R1)係為複數個吸附體(30)的一部分以氣密或液密方式連通於內周側流路形成構件(4)及外周側流路形成構件(5)的區域；第2區域(R2)係為流體以從筒孔(90a)的雙方開口流出的方式從筒狀轉動體(90)的外周側向內周側導入吸附體(30)的區域，或者是，從筒孔(90a)的雙方開口流入的流體從筒狀轉動體(90)的內周側向外周側導入吸附體(30)的區域。

Description

吸附處理裝置
本發明係關於處理大流量流體的吸附處理裝置。
傳統上，處理包含有低濃度被處理物質的大流量被處理流體的方法，有吸附濃縮處理方法。該處理方法係將大風量的被處理流體流入至連續旋轉的吸附體吸附室，使包含於被處理流體的被處理物質吸附去除。另一方面，從流入被處理流體的吸附室將少量的加熱流體流入另外獨立的脫除室，使大風量的被處理流體所含的被處理物質移動到小風量的加熱流體中。依此方式，就可生成包含高濃度被處理物質的小風量濃縮流體，並藉由將該濃縮流體作另行2次處理，而得以使總處理成本降低。
在被處理流體為氣體，包含在被處理流體的被處理物質為有機溶劑(VOC)時，係使用運用上述處理方法的VOC廢氣處理裝置。該VOC廢氣處理裝置則使用蜂巢狀吸附材。
再者，被處理流體為氣體，包含在被處理流體的被處理物質為水分時，則使用運用上述處理方法的 除濕裝置。該除濕裝置也使用蜂巢狀的吸附材。
在上述VOC排氣處理裝置及除濕裝置中，具備蜂巢狀吸附材的吸附處理裝置，一般而言，係利用特殊一體成形的圓盤狀吸附體的圓盤型(disk type)吸附處理裝置，或如特開昭63-84616號公報(專利文獻1)、實公昭60-34991號公報(專利文獻2)所揭示的由複數個定型吸附材嵌裝於圓筒狀轉動體的圓筒狀轉動體型(cylinder type)吸附處理裝置已為眾所周知。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開昭63-84616號公報
專利文獻2：日本實公昭60-34991號公報
例如，藉吸附濃縮處理含有VOC的工廠廢氣時，該廢氣中，除VOC以外，還會有包含令吸附性能低下的氣體狀物質的情形。吸附性能降低的吸附體就必須更換。
圓盤型吸附處理裝置中所具備的吸附體由於是經特殊一體成形，故製造成本相對高昂。此外，更換該吸附體之際，必須整體性更換，使更換作業耗費勞力。
一方面，圓筒型吸附處理裝置中所具備的複數個吸附體，由於分別具有固定型態，故其製造成本可以降低。而且，更換該吸附體之際，因可局部更換，故 更換作業也較容易進行。
氣體狀物質以外的重要因素中，會有吸附性能降低的情形。其重要因素之一有例如霧粒或粉塵等。被處理流體中含有霧粒或粉塵時，會因這些物質而發生吸附體的堵塞。
圓盤型吸附處理裝置中，吸附體會在用以區隔吸附室與脫除室的密封材料直接接觸吸附體的狀態下進行旋轉。因此，被處理流體所含的霧粒或粉塵會因密封材料而向吸附體推壓，而發生助長吸附體堵塞的情形。
另一方面，圓筒型吸附處理裝置中，區隔吸附室與脫除室的密封材料並未直接接觸，所以不會有霧粒或粉塵助長吸附體堵塞的情形。
如以上所述，若考慮到吸附性能，要對包含有會對吸附體造成影響之物質的被處理流體施以處理的情形中，圓筒型吸附處理裝置可說比圓盤型吸附處理裝置適合。
近年來，吸附處理裝置逐漸有增加處理流量的需求。在圓筒型吸附處理裝置方面，由於處理流量會受流經圓筒狀轉動體之筒孔的被處理流體量所影響，所以可透過加大圓筒狀轉動體的內徑，或增加筒軸方向的高度來使處理流量增加。
然而，如專利文獻1及專利文獻2所揭示者，在以筒軸朝向鉛直方向的形式將圓筒狀轉動體以可繞筒軸旋轉方式設置在機架上的樣態中構成圓筒型吸附處理裝置時，會因內徑加大或筒軸方向高度增加，而導致受 到高度限制或寬度規限等，而在輸送上發生問題。因此，以上述方式加大內徑或高度的圓筒狀轉動體並不具實用性。
而且，如專利文獻1及專利文獻2所揭示者，以只從圓筒狀轉動體的筒軸方向的一側流出被處理流體的方式構成的情況中，在靠近流出口的一側，流體的流動阻力較小，而在距離流出口較遠的圓筒狀轉動體的筒軸方向另一側，流體的流動阻力就較大。在增加圓筒狀轉動體的高度時，因這種流動阻力的差所造成的影響會較大，流體通過圓筒狀轉動體之際，容易在圓筒狀轉動體的高度方向上產生流量分布。結果，吸附於吸附體的被處理物質量也會在高度方向上產生分布，而在處理上發生參差不均的情形。再者，由於圓筒狀轉動體的高度增加，也會有筒軸偏離鉛直方向的情形，而有圓筒狀轉動體無法穩定旋轉的現象。
本發明係有鑑於上述問題而研創者，本發明的目的在於提供具有實用性的大小，且可使被處理流體的處理流量增加的吸附處理裝置。
根據本發明第1態樣的吸附處理裝置係具備：筒狀轉動體，由複數個吸附體配置成具有筒孔的筒狀，且屬於可繞筒軸旋轉的中空轉動體，並以其內周界定上述筒孔；及第1區域與第2區域，彼此區隔，且藉由上述筒狀轉動體進行旋轉，使上述複數個吸附體交替通過；上述筒孔的兩端係形成開口；上述第1區域係為伴隨上 述筒狀轉動體的旋轉而移動的上述複數個吸附體的一部分以氣密或液密連通於以彼此相對向方式配設在上述筒狀轉動體之內周側及外周側的內周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域；上述第2區域係為流體以通過位於上述內周側流路形成構件周圍的上述筒狀轉動體的上述筒孔，而從上述筒孔兩端的開口流出的方式，從上述筒狀轉動體的外周側向內周側導入上述吸附體的區域，或者是，從上述筒孔兩端的開口流入並通過位於上述內周側流路形成構件周圍的上述筒孔的流體，從上述筒狀轉動體內周側向外周側導入上述吸附體的區域。
根據上述本發明第1態樣的吸附處理裝置中，上述內周側流路形成構件較佳為包含在上述筒孔兩端的上述開口之間沿著上述筒軸方向從一方的上述開口延伸到另一方的上述開口的部分，且從上述筒孔兩端的上述開口的至少一方向外部延伸。再者，上述第1區域較佳為通過上述內周側流路形成構件內部的流體從上述筒狀轉動體的內周側向外周側導入上述吸附體的區域，或者是，流體從上述筒狀轉動體的外周側向內周側導入上述吸附體，俾導入上述內周側流路形成構件的區域。
根據上述本發明第1態樣的吸附處理裝置中，上述筒狀轉動體的上述筒軸較佳為延伸於水平方向。
根據上述本發明第1態樣的吸附處理裝置中，較佳為筒狀轉動體進一步包含分別配置在彼此相鄰的吸附體之間的複數個隔開體；藉由上述複數個隔開體形成供配置上述複數個吸附體之各者的複數個空間部；上 述內周側流路形成構件包含和上述筒狀轉動體的內周側彼此面對的內周側開口端部。在此情況中，較佳為，位於上述筒狀轉動體的旋轉方向前方側的上述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述內周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著上述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面。而且，上述外周側流路形成構件較佳為包含和上述筒狀轉動體的外周側彼此面對的外周側開口端部。在此情況中，較佳為，位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向前方側的上述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設置有沿著上述旋轉方向彎曲的外周側彎曲面。再者，較佳為，位於上述筒狀轉動體內周側之部分的上述隔開體，設有從上述筒孔的一端側延伸到另一端側且從上述隔開體向上述筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件。而且，較佳為，位於上述筒狀轉動體外周側之部分的上述隔開體，設有從上述筒孔的一端側延伸到另一端側且從上述隔開體向上述徑向外側突出的外側密封構件。還有，在此情況中，較佳為，藉由伴隨著上述筒狀轉動體的旋轉，使上述內側密封構件相對於上述內周側彎曲面滑動，且上述外側密封構件相對於上述外周側彎曲面滑動，而使上述複數個空間部之一部份以氣密或液密連通於上述內周側流路形成構件及上述外周側流路形成構件。
根據上述本發明第2態樣的吸附處理裝置，具 備：複數個筒狀轉動體，由複數個吸附體配置成具有筒孔的筒狀，且屬於可繞筒軸旋轉的中空轉動體，並以其內周界定上述筒孔；及第1區域與第2區域，彼此區隔，且藉由上述複數個筒狀轉動體旋轉，使上述複數個吸附體交替通過；上述筒孔的兩端係形成開口；上述複數個筒狀轉動體係以上述複數個筒狀轉動體之各者所具有的上述筒孔互相連通的方式並排配置於水平方向。上述第1區域係為伴隨著上述複數個筒狀轉動體的旋轉而移動的上述複數個筒狀轉動體所包含的上述複數個吸附體之一部分以氣密或液密連通於以包含跨過上述複數個筒狀轉動體的部分的方式設置在相連通的複數個上述筒孔內的內周側流路形成構件、及以和上述內周側流路形成構件相對向的方式配置在上述複數個筒狀轉動體外周側的外周側流路形成構件的區域。上述第2區域係為流體以通過相連通的複數個上述筒孔中位於上述內周側流路形成構件周圍的部分，而從水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於一端的上述筒狀轉動體處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔開口及水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於另一端的上述筒狀轉動體處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔開口流出的方式，從上述複數個筒狀轉動體的外周側向內周側導入上述吸附體的區域，或者是，從水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於一端的上述筒狀轉動體處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔開口及水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於另一端的上述筒狀轉動體 處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔開口流入，且通過相連通的複數個上述筒孔中位於上述內周側流路形成構件周圍的部分的流體係從上述複數個筒狀轉動體的內周側向外周側導入上述吸附體的區域。
根據上述本發明第2態樣的吸附處理裝置中，上述外周側流路形成構件也可包含複數個流路形成構件，而上述複數個流路形成構件之各者則和上述複數個筒狀轉動體分別對應配置。
根據上述本發明第2態樣的吸附處理裝置中，上述內周側流路形成構件較佳為從水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於一端的上述筒狀轉動體處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔的上述開口及水平方向並排的上述複數個筒狀轉動體中位於另一端的上述筒狀轉動體處沒有鄰接的上述筒狀轉動體之側的上述筒孔的上述開口之至少一方朝外部延伸。再者，上述第1區域較佳為流體通過上述內周側流路形成構件內部後從上述複數個筒狀轉動體的內周側向外周側導入上述吸附體的區域，或者是，流體從上述複數個筒狀轉動體的外周側向內周側導入上述吸附體，俾導入上述內周側流路形成構件的區域。
根據上述本發明第2態樣的吸附處理裝置中，筒狀轉動體可進一步包含分別配置在彼此相鄰的吸附體之間的複數個隔開體。在此情況中，較佳為，藉由上述複數個隔開體形成供配置上述複數個吸附體之各者的複數個空間部。再者，較佳為，上述內周側流路形成構 件包含和上述複數個筒狀轉動體內周側彼此面對的內周側開口端部；位於上述筒狀轉動體的旋轉方向前方側的上述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述內周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著上述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面；上述外周側流路形成構件包含和上述複數個筒狀轉動體之外周側彼此面對的外周側開口端部。在此情況中，位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向前方側的上述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著上述旋轉方向彎曲的外周側彎曲面。此外，較佳為，上述複數個筒狀轉動體的各者中，位於上述筒狀轉動體內周側之部分的上述隔開體，設有從上述筒孔的一端側延伸到另一端側，且從上述隔開體向上述筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件。較佳為，上述複數個筒狀轉動體之各者中，位於上述筒狀轉動體外周側之部分的上述隔開體，設有從上述筒孔一端側延伸到另一端側，且從上述隔開體向上述徑向外側突出的外側密封構件。而且，較佳為，藉由伴隨著上述複數個筒狀轉動體的旋轉，使上述內側密封構件相對於上述內周側彎曲面滑動，且上述外側密封構件相對於上述外周側彎曲面滑動，而使上述複數個空間部之一部分以氣密或液密連通於上述內周側流路形成構件及上述外周側流路形成構件。
根據上述本發明第1及第2態樣的吸附處理裝 置中，導入上述第1區域的流體宜為加熱流體；導入上述第2區域的流體宜為包含被處理物質的被處理流體。在此情況中，上述被處理流體較佳為從上述筒狀轉動體外周側導入內周側。
根據上述本發明第3態樣的吸附處理裝置，具備：圓筒狀轉動體，藉由在中央部設有開口部且配置成彼此相對的一對中空圓盤、將上述一對中空圓盤間的空間分隔成在圓周方向上互相獨立的複數個空間部的複數個隔開體、及藉由分別配設在上述複數個空間部的複數個吸附體，而構成為筒狀，且可繞著筒軸旋轉；及第1區域與第2區域，互相區隔，且藉由上述圓筒狀轉動體進行旋轉，使上述複數個吸附體交替通過；而上述第1區域係為伴隨著上述圓筒狀轉動體的旋轉而旋轉的上述複數個空間部之一部分以氣密或液密連通於以彼此相對向的方式配設在上述圓筒狀轉動體內周側及外周側的內周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域；而上述第2區域係為流體以通過位於上述內周側流路形成構件周圍的上述圓筒狀轉動體的筒孔並從上述一對中空圓盤雙方的上述開口部流出的方式，從上述圓筒狀轉動體的外周側向內周側導入的區域，或者是，流體從上述一對中空圓盤雙方的上述開口部流入，且在通過位於上述內周側流路形成構件周圍的上述圓筒狀轉動體的上述筒孔後，從上述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域。
根據上述本發明第3態樣的吸附處理裝置中 ，較佳為，上述內周側流路形成構件包含在上述一對中空圓盤雙方的上述開口部間沿著上述筒軸方向從一方的上述開口部延伸至另一方的上述開口部的部分；而上述第1區域係為流體流經穿過上述一對中空圓盤雙方的上述開口部的至少一方的上述內周側流路形成構件的內部後，從上述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域，或者是，流體以從上述圓筒狀轉動體外周側朝向內周側通過上述圓筒狀轉動體後，流經穿過上述一對中空圓盤雙方的上述開口部的至少一方的上述內周側流路形成構件內部的方式導入的區域。
根據上述本發明第3態樣的吸附處理裝置中，上述圓筒狀轉動體的上述筒軸較佳為延伸於水平方向。
根據上述本發明第3態樣的吸附處理裝置中，上述內周側流路形成構件較佳為包含面對上述圓筒狀轉動體內周側的內周側開口端部。在此情況中，較佳為，位於上述圓筒狀轉動體的旋轉方向前方側的上述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述圓筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述內周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著上述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面。再者，上述外周側流路形成構件較佳為包含和上述圓筒狀轉動體外周側彼此面對的外周側開口端部。在此情況中，較佳為，位於上述圓筒狀轉動體的上述旋轉方向前方側的上述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於上述圓筒狀轉動體的上述旋轉方向後方側的上述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分 別設有沿著上述旋轉方向彎曲的外周側彎曲面。而且，較佳為，位於上述圓筒狀轉動體內周側之部分的上述隔開體，設有在上述一對中空圓盤間從一方中空圓盤延伸至另一方中空圓盤，且從上述隔開體朝上述圓筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件。同時，較佳為，位於上述圓筒狀轉動體外周側之部分的上述隔開體，設有在上述一對中空圓盤間從上述一方中空圓盤延伸至上述另一方中空圓盤，且從上述隔開體朝上述徑向外側突出的外側密封構件。而且，在此情況中，較佳為，藉由伴隨上述圓筒狀轉動體的旋轉，使上述內側密封構件相對於上述內周側彎曲面滑動，且上述外側密封構件相對於上述外周側彎曲面滑動，而使上述複數個空間部之一部分以氣密或液密連通於上述內周側流路形成構件及上述外周側流路形成構件。
根據本發明第4態樣的吸附處理裝置，具備：複數個圓筒狀轉動體，係藉由在中央部設有開口部且配置成彼此相對的一對中空圓盤、將上述一對中空圓盤間的空間分隔成在圓周方向上互相獨立的複數個空間部的複數個隔開體、及配設在上述複數個空間部之各者的複數個吸附體，而構成為具有筒孔的筒狀，且可繞著筒軸旋轉；及第1區域與第2區域，係互相區隔，且藉由上述複數個圓筒狀轉動體進行旋轉，使上述複數個吸附體交替通過；上述複數個圓筒狀轉動體係以上述複數個圓筒狀轉動體之各者所具有的上述筒孔互相連通的方式並排配置在水平方向；上述第1區域係為包含於上述複數個圓 筒狀轉動體之上述複數個空間部的一部分以氣密或液密連通於在相連通的複數個上述筒孔內設置成包含跨過上述複數個圓筒狀轉動體之部分的內周側流路形成構件、及以和上述內周側流路形成構件相對向的方式配置在上述複數個圓筒狀轉動體外周側並且和上述複數個圓筒狀轉動體對應設置的複數個外周側流路形成構件的區域；上述第2區域係為流體以通過相連通的複數個上述筒孔中位於上述內周側流路形成構件周圍的部分，再從並排於水平方向的上述複數個圓筒狀轉動體中位於一側的上述圓筒狀轉動體處的上述一對中空圓盤的上述一側的上述開口部、及位於另一側的上述圓筒狀轉動體處的上述一對中空圓盤的上述另一側的上述開口部流出之方式，而從上述複數個圓筒狀轉動體外周側向內周側導入的區域，或者是，流體從並排於水平方向的上述複數個圓筒狀轉動體中位於一側的上述圓筒狀轉動體處的上述一對中空圓盤的上述一側的上述開口部、及位於另一側的上述圓筒狀轉動體處的上述一對中空圓盤的上述另一側的上述開口部流入，而在通過相連通的複數個上述筒孔中位於上述內周側流路形成構件周圍的部分後，從上述複數個圓筒狀轉動體內周側向外周側導入的區域。
根據上述本發明第4態樣的吸附處理裝置中，上述第1區域較佳為流體流經穿過位於上述一側的上述圓筒狀轉動體的上述一對中空圓盤的上述一側的上述開口部及位於上述另一側的上述圓筒狀轉動體的上述一對中空圓盤的上述另一側的上述開口部之至少一方的上述 內周側流路形成構件內部後，從上述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域，或者是，流體以從上述圓筒狀轉動體外周側向內周側通過上述複數個圓筒狀轉動體後，流經穿過位於上述一側的上述圓筒狀轉動體中的上述一對中空圓盤的上述一側的上述開口部及位於上述另一側的上述圓筒狀轉動體中的上述一對中空圓盤的上述另一側的上述開口部之至少一方的上述內周側流路形成構件內部的方式導入的區域。
根據上述本發明第3及第4態樣的吸附處理裝置中，導入上述第1區域的流體宜為加熱流體；導入上述第2區域的流體宜為含有被處理物質的被處理流體。在此情況中，上述被處理流體較佳為從上述圓筒狀轉動體的外周側導入內周側。
根據上述本發明第1至第4態樣的吸附處理裝置中，導入上述第1區域的流體宜為加熱流體；導入上述第2區域的流體宜為含有被處理物質的被處理流體。在此情況中，較佳為，藉由上述被處理流體導入上述第2區域，使上述被處理物質透過位於上述第2區域的上述吸附體從上述被處理流體被吸附去除；而且，較佳為藉由上述加熱流體導入上述第1區域，使上述吸附體所吸附的上述被處理物質從位於上述第1區域的上述吸附體被脫除。
根據上述本發明第1至第4態樣的吸附處理裝置，通過上述第2區域的上述被處理流體的流動方向、與通過上述第1區域的上述加熱流體的流動方向，在徑向的朝向上較佳為反方向。
根據上述本發明第1至第4態樣的吸附處理裝置，上述被處理流體以廢氣為宜，上述加熱流體以加熱空氣為宜。
根據上述本發明第1至第4態樣的吸附處理裝置，上述被處理物質以有機溶劑為宜。
根據上述本發明第1至第4態樣的吸附處理裝置，上述吸附體較佳為具有蜂巢構造。
若依本發明，可提供大小具有實用性，且可使被處理流體的處理流量增加的吸附處理裝置。
1‧‧‧處理室
2‧‧‧第1流路形成構件
2a‧‧‧開口部
3‧‧‧第2流路形成構件
3a‧‧‧開口部
4、4B‧‧‧內周側流路形成構件
4a‧‧‧內周側開口端部
4b、4c‧‧‧內周側彎曲面
5‧‧‧外周側流路形成構件
5a‧‧‧外周側開口端部
5b、5c‧‧‧外周側彎曲面
6‧‧‧支撐構件
7‧‧‧支撐輪
8‧‧‧密封構件
10‧‧‧一對中空圓盤
11‧‧‧第1中空圓盤
11a‧‧‧開口部
12‧‧‧第2中空圓盤
12a‧‧‧開口部
20‧‧‧隔開體
21‧‧‧本體部
22‧‧‧設置部
23‧‧‧內周側設置部
23a‧‧‧內周側設置面
24‧‧‧外周側設置部
24a‧‧‧外周側設置面
30‧‧‧吸附體
40‧‧‧密封構件
41‧‧‧內側密封構件
42‧‧‧外側密封構件
90‧‧‧圓筒狀轉動體
90a‧‧‧筒孔
100、100A、100B、100C、100D‧‧‧吸附處理裝置
圖1為實施形態1的吸附處理裝置的縱剖面圖。
圖2為沿圖1所示II-II線的剖面圖。
圖3為圖1所示圓筒狀轉動體的要點之部分放大剖面圖。
圖4為實施形態2的吸附處理裝置的縱剖面圖。
圖5為實施形態3的吸附處理裝置的縱剖面圖。
圖6為實施形態4的吸附處理裝置的縱剖面圖。
圖7為實施形態5的吸附處理裝置的縱剖面圖。
[實施發明之形態]
以下，參佐附圖就本發明的實施形態加以詳細說明。此外，以下所揭示的實施形態中，針對相同或共通的部分，在圖中係標註相同的符號，其重複說明則 從略。再者，下文中，存在有複數個實施形態時，除非有特別記載，自始就預定將各個實施形態的特徵部分適當加以組合。
(實施形態1)
圖1為本實施形態的吸附處理裝置的縱剖面圖。圖2為沿圖1所示II-II線的剖面圖。圖3為圖1所示圓筒狀轉動體的要點部分之放大剖面圖。茲參佐圖1至圖3，就本實施形態的吸附處理裝置100加以說明。
如圖1所示，本實施形態的吸附處理裝置100係使用後述的吸附體30將供給到處理室1內的大風量被處理流體F1內所包含的被處理物質吸附去除，並將已淨化的乾淨空氣F2排出。再者，吸附處理裝置100係藉由將少量的加熱流體F3噴吹到含有已被吸附去除的被處理物質的吸附體30，將被處理物質自該吸附體30脫除，並以濃縮流體F4的形態排出。
被處理物質的吸附處理係在後述的第2區域R2(參佐圖2)中進行。被處理物質的脫除處理則在後述的第1區域R1(參佐圖2)中進行。藉著圓筒狀轉動體90繞著筒軸C旋轉，而對通過第1區域R1並位於第2區域R2的吸附體30進行吸附處理；並且，在吸附處理後對通過第2區域R2並位於第1區域R1的吸附體30進行脫除處理。依此方式，吸附處理裝置100中，即得以持續方式實施吸附處理及脫除處理。
如圖1至圖3所示，吸附處理裝置100具備：圓筒狀轉動體90、第1流路形成構件2、第2流路形成構件3 、內周側流路形成構件4、及外周側流路形成構件5。
圓筒狀轉動體90係設置於處理室1內。圓筒狀轉動體90為中空的轉動體。圓筒狀轉動體90具有兩端呈開口狀的筒孔90a。圓筒狀轉動體90係設成流體可徑向流動的方式，且圓筒狀轉動體90設成可繞筒軸C旋轉。圓筒狀轉動體90係設成筒軸C方向為朝向鉛直方向，並以可旋轉方式支撐在支柱等複數個支撐構件6上。
圓筒狀轉動體90係藉一對中空圓盤10、複數個隔開體20及複數個吸附體30所構成。圓筒狀轉動體90的形狀主要是由複數個吸附體30界定。圓筒狀轉動體90主要是由複數個吸附體30配置成具有筒孔90a的圓筒狀所構成。
一對中空圓盤10係配置成彼此相對的形態。一對中空圓盤10包括第1中空圓盤11及第2中空圓盤12。在第1中空圓盤11及第2中空圓盤12的中央部分別設有開口部11a及開口部12a。第1中空圓盤11及第2中空圓盤12係保持距離設置，俾可在兩者間配置隔開體20及吸附體30。
複數個隔開體20係將一對中空圓盤10之間的空間沿著圓周方向分隔成互相獨立的複數個空間部S(參佐圖3)。亦即，藉由複數個隔開體20形成供配置複數個吸附體30之各者的複數個空間部S。複數個隔開體20係配置成各者的中心O(參佐圖3)以預定的間距排列於圓周方向。複數個隔開體20的各者係配置於圓周方向上的彼此相鄰吸附體之間。複數個隔開體20係以筒軸C方向形成以 氣密及/或液密的方式安裝於一對中空圓盤10間。
複數個吸附體30之各者係收容在互相獨立的複數個空間部S。複數個吸附體30係配置成例如圓筒狀。複數個吸附體30係以預定的間距排列於圓周方向。吸附體30具有例如方塊形狀。複數個吸附體30係形成可個別更換的方式。例如，即使經再生其吸附性能逐漸降低時，就更換成新品。透過更換，裝置的壽命就可延長。
吸附體30係以包含活性氧化鋁、矽膠、活性碳、沸石等之任一者的吸附材所構成。吸附體30以使用粒狀、粉體狀、蜂巢狀等的活性碳或沸石為宜。活性碳或沸石在吸附及脫除低濃度有機化合物方面很優異。再者，藉由吸附體形成蜂巢狀，可以降低流體的壓力損失，並增大處理能力。此外，也可抑制因垃圾等固形物所造成的堵塞。
在一對中空圓盤10間，藉由將複數個隔開體20及複數個吸附體30交替排列於圓周方向呈圓筒狀所構成的圓筒狀轉動體90中，以連結第1中空圓盤11的開口部11a與第2中空圓盤12的開口部12a的方式形成有筒孔90a(中央空間部)。筒孔90a的一端開口係連通於開口部11a，筒孔90a的另一端開口則連通於開口部12a。
第1流路形成構件2的一端側係構成為一面維持第1流路形成構件2的內部與圓筒狀轉動體90之筒孔90a的氣密，一面容許圓筒狀轉動體90繞著筒軸C旋轉。具體而言，例如在第1流路形成構件2的一端側設有突緣部，且藉位於該突緣部與開口部11a周緣部位的第1中空 圓盤11挾持環狀的密封構件。第1流路形成構件2的另一端側則導出處理室1外。
第2流路形成構件3的一端側則構成為一面維持第2流路形成構件3內部與圓筒狀轉動體90的筒孔90a的氣密，一面容許圓筒狀轉動體90繞筒軸C旋轉。具體而言，例如在第2流路形成構件3的一端側設有突緣部，且藉位於該突緣部與開口部12a周緣之部分的第2中空圓盤12挾持環狀的密封構件。第2流路形成構件3係設置成不會對複數個的支撐構件6造成干擾。第2流路形成構件3的另一端側則導出處理室1外。
位在圓筒狀轉動體90內周側的筒孔90a配置有內周側流路形成構件4。在圓筒狀轉動體90的外周側則配置有外周側流路形成構件5。內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5係彼此相對配設在圓筒狀轉動體90的內周側及外周側，俾在圓周方向包夾一部分的圓筒狀轉動體90。
內周側流路形成構件4係沿著筒孔90a延伸，且設成從開口部11a向圓筒狀轉動體90外側延伸。內周側流路形成構件4係包含在一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a間從一方開口部11a至另一方開口部12a沿著筒軸C方向延伸的部分。亦即，內周側流路形成構件4係包含在筒孔90a的雙方開口間從一方開口至另一方開口沿著筒軸C方向延伸的部分，且從筒孔90a的雙方開口中的一方開口延伸到外部。
內周側流路形成構件4的一端側設置有和圓 筒狀轉動體90的內周側彼此面對的內周側開口端部4a。內周側開口端部4a中的開口面係設置成在圓周方向上和圓筒狀轉動體90的內周側之一部分區域相對。再者，該開口面係在內周側流路形成構件4的第1中空圓盤11及第2中空圓盤12之間設置成在筒軸C方向上相對於圓筒狀轉動體90的內周側。內周側流路形成構件4的另一端側則從設於第1流路形成構件2的開口部2a向第1流路形成構件2的外側突出。
外周側流路形成構件5的一端側設有和圓筒狀轉動體90的外周側彼此面對的外周側開口端部5a。外周側開口端部5a的開口面係設成在圓周方向上和圓筒狀轉動體外周側的一部分區域相對。該開口面則設置成在第1中空圓盤11及第2中空圓盤12之間在筒軸C方向上和圓筒狀轉動體90的外周側相對。
如圖2所示，吸附處理裝置100具備朝圓周方向區隔的第1區域R1(參照圖2)及第2區域R2(參照圖2)。複數個吸附體30係藉由圓筒狀轉動體90繞筒軸C旋轉，使第1區域R1和第2區域R2交替移動。
如圖3所示，第1區域R1係為伴隨著筒狀轉動體90的旋轉而移動的複數個吸著體30的一部分以氣密或液密連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5的區域。亦即，第1區域R1係為伴隨著圓筒狀轉動體90的旋轉而旋轉(移動)的複數個空間部S的一部分以氣密連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5的區域。
再者，第1區域R1也是流體導入吸附體30的區域。具體而言，如後所述，第1區域R1也是通過內周側流路形成構件4內部的流體從筒狀轉動體90的內周側向外周側導入吸附體30的區域。
另外，流體的流動也可設成反方向，第1區域R1也可為使流體從筒狀轉動體90外周側向內周側導入吸附體30，俾導入內周側流路形成構件4的區域。
如後所述，第2區域R2係為使流體從筒狀轉動體90的外周側向內周側導入吸附體30，俾通過位於內周側流路形成構件4周圍的筒孔90a，並從筒孔90a的兩端開口流出的區域。
另外，第2區域也可為使從筒孔90a的兩端開口流入並通過位於內周側流路形成構件4周圍的筒孔90a的流體從筒狀轉動體90的內周側向外周側導入吸附體30的區域。
圓筒狀轉動體90包含設於複數個隔開體20之各者的密封構件40。複數個隔開體20之各者包含用以設置本體部21及密封構件40的設置部22。本體部21具有例如三角筒狀。設置部22具有內周側設置部23及外周側設置部24。
內周側設置部23具有板狀形狀。內周側設置部23係設成延伸於筒軸C方向。內周側設置部23係設置成從位於圓筒狀轉動體90內周側的本體部21的頂邊部向圓筒狀轉動體90的徑向內側突出。內周側設置部23可以和本體部21一體構成，也可和本體部21以另件構成。內周 側設置部23具有用以設置後述的內側密封構件41的設置面23a。設置面23a係和圓筒狀轉動體90的旋轉方向交叉。
外周側設置部24具有板狀形狀。外周側設置部24係設成延伸於筒軸C方向。外周側設置部24係設置成從位於圓筒狀轉動體90外周側的本體部21側面向圓筒狀轉動體90的徑向外側突出。外周側設置部24可和本體部21一體構成，也可和本體部21以另件構成。另外，在外周側設置部24和本體部21以另件構成的情況中，外周側設置部24具有例如L字形等可安裝於本體部21的形狀。外周側設置部24具有用以設置後述的外側密封構件42的設置面24a。設置面24a係和圓筒狀轉動體90的旋轉方向交叉。
密封構件40係由例如具有彈性的橡膠構件所構成。密封構件40包含：位於圓筒狀轉動體90內周側的內側密封構件41、及位於圓筒狀轉動體90外周側的外側密封構件42。
在隔開體20所具有的設置面中，內側密封構件41係設置於位在圓筒狀轉動體90內周側的內周側設置面23a。內側密封構件41係在一對中空圓盤10間從一方中空圓盤(第1中空圓盤11)延伸到另一方中空圓盤(第2中空圓盤12)。亦即，內側密封構件41係從筒孔90a一端側延伸到另一端側。內側密封構件41係從隔開體20朝圓筒狀轉動體90的徑向內側突出。
在具有隔開體20的設置面中，外側密封構件42係設置在位於圓筒狀轉動體90外周側的外周側設置面 24a。外側密封構件42則在一對中空圓盤10間從一方中空圓盤(第1中空圓盤11)延伸到另一方中空圓盤(第2中空圓盤12)。亦即，外側密封構件42係從筒孔90a一端側延伸到另一端側。外側密封構件42係從隔開體20朝圓筒狀轉動體90的徑向外側突出。
內周側流路形成構件4中，位於圓筒狀轉動體90的旋轉方向前方側的內周側開口端部4a的旋轉方向前方側緣部、及位於圓筒狀轉動體90的旋轉方向後方側的內周側開口端部4a的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著旋轉方向彎曲的內周側彎曲面4b、4c。
外周側流路形成構件5中，位於圓筒狀轉動體90的旋轉方向前方側的外周側開口端部5a的旋轉方向前方側緣部、及位於圓筒狀轉動體90的旋轉方向後方側的外周側開口端部5a的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿旋轉方向彎曲的外周側彎曲面5b、5c。
藉由伴隨著圓筒狀轉動體90的旋轉，使內側密封構件41相對於內周側彎曲面4b、4c滑動，外側密封構件42相對於外周側彎曲面5b、5c滑動，複數個空間部S的一部分即以氣密連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5。
具體而言，位於在內周側彎曲面4b及外周側彎曲面5b間所設置的隔開體20、與在內周側彎曲面4c及外周側彎曲面5c間所設置的隔開體20之間的空間部S會以氣密連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5。
依此方式，圓筒狀轉動體90就被區隔成：以氣密連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5的第1區域R1、及不連通於內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5，且構成和第1區域R1不同流路的第2區域R2。
如圖1及圖3所示，第1區域R1及第2區域R2中分別導入有流體。通過第2區域R2的流體的流動方向和通過第1區域R1的流體的流動方向，在圓筒狀轉動體90的徑向朝向上以反方向為佳。
在第2區域R2中，流體係從圓筒狀轉動體90的外周側向內周側導入，使其通過位於內周側流路形成構件4周圍的部分的圓筒狀轉動體90的筒孔90a，再從一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a流出。亦即，在第2區域R2中，流體係以通過位於內周側流路形成構件4周圍的筒狀轉動體90的筒孔90a，再從筒孔的兩端開口流出的方式，從筒狀轉動體90的外周側向內周側導入吸附體30。
另一方面，在第1區域R1中，流體係以經由穿通一對中空圓盤10的一方開口部11a的內周側流路形成構件4內部後，從圓筒狀轉動體90內周側向外周側的方式導入。亦即，在第1區域R1，通過內周側流路形成構件4內部的流體係從筒狀轉動體90內周側向外周側導入吸附體30。
被導入第2區域R2的流體為廢氣等被處理流體。該被處理流體包含當作被處理物質的有機溶劑。在第2區域R2中則進行被處理流體的淨化。
在淨化時，首先，以從圓筒狀轉動體90外周側向內周側的方式將廢氣導入吸附裝置100的第2區域R2。導入第2區域R2的廢氣則在沿徑向通過圓筒狀轉動體90時，藉由利用位於第2區域R2的複數個吸附體30吸附除去有機溶劑，而獲得淨化。圓筒狀轉動體90內周側端部側的廢氣風速係以例如20m/秒以下為佳，10m/秒以下更佳。透過使廢氣的風速設在20m/秒以下，可將有機溶劑有效地吸附去除，透過設在10m/秒以下，可將有機溶劑更有效地吸附去除。
已淨化的廢氣係當作乾淨空氣從第2區域R2排出到圓筒狀轉動體90的筒孔90a。排出到圓筒狀轉動體90的筒孔90a的乾淨空氣則通過位於內周側流路形成構件4周圍的部分的筒孔90a，並從筒孔的兩端開口流出。亦即，排出到圓筒狀轉動體90的筒孔90a的乾淨空氣係通過上述筒孔90a內，再從一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a流出。雖以從雙方開口部11a、12a流出相同流量的乾淨空氣為佳，也可流出不同流量的乾淨空氣。從雙方開口部11a、12a流出的乾淨空氣係分別通過第1流路形成構件2及第2流路形成構件3排出處理室1外。
導入第1區域R1的流體為加熱空氣等加熱流體。在第1區域R1，藉由將吸附體30所吸附的有機溶劑脫除，以進行吸附體30的再生，並且產生有機溶劑濃度升高的濃縮流體。
為了進行有機溶劑的脫除，係從內周側流路形成構件4的另一端側導入加熱空氣。從內周側流路形成 構件4的另一端側導入的加熱空氣係經由穿通第1中空圓盤11開口部11a的內周側流路形成構件4的內部，從該內周側流路形成構件4的一端側導入第1區域R1。
導入第1區域R1的加熱空氣係在從圓筒狀轉動體90內周側向外周側通過圓筒狀轉動體90時，藉由熱能從位於第1區域R1的複數個吸附體30將所吸附的有機溶劑脫除。包含有機溶劑的加熱空氣係以濃縮流體的形態從第1區域R1排出到外周側流路形成構件5。排出到外周側流路形成構件5的濃縮流體則導入至施行回收或燃燒等後處理的後處理裝置。
透過以上述方式構成吸附處理裝置100，使乾淨空氣可從圓筒狀轉動體90的筒孔90a(中央空間部)的筒軸C方向兩端側排出，相較於只從筒軸方向一側排出乾淨空氣的結構，可降低流動阻力，且可使從圓筒狀轉動體90排出的流量增多。藉此方式，即可不用將圓筒狀轉動體90的大小擴大到會在輸送上受限制的程度，且可依實用上的大小增加被處理流體的處理流量。
另外，本實施形態中，雖舉例說明了導入到第2區域R2的流體為包含有機溶劑的廢氣，且導入第1區域R1的流體為加熱空氣的情況，但並不限定於此。導入至第2區域R2的流體也可為包含有機溶劑的排水，導入至第1區域R1的流體也可為水蒸氣。依此方式，在使液體流動時，內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5和第1區域R1係構成為以液密方式連通。
再者，在本實施形態，第2區域R2中，也可 將被處理流體從圓筒狀轉動體90的內周側向外周側導入。在該情況中，第2區域R2係為流體從一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a流入，並通過位於內周側流路形成構件4周圍的圓筒狀轉動體90的筒孔90a後，從圓筒狀轉動體90內周側向外周側導入的區域。
再者，第1區域R1中，也可以將加熱流體從圓筒狀轉動體90外周側向內周側導入。
再者，也可將被處理流體導入第2區域R2，而加熱流體則導入第1區域R1，俾使通過第2區域R2的流體的流動方向和通過第1區域R1的流體的流動方向，在圓筒狀轉動體90的徑向朝向上形成相同方向。
另外，吸附處理裝置100具備用以使圓筒狀轉動體90旋轉的旋轉機構(未圖示)、及驅動裝置(未圖示)。旋轉機構包含：移動體，一面支持圓筒狀轉動體90，一面可繞著圓筒狀轉動體90的筒軸C移動；移動引導部，引導圓筒狀轉動體90的旋轉移動，俾使筒軸C穩定；及從動構件，藉由本身進行動作來使圓筒狀轉動體90旋轉。
移動體可例舉如車輪等。移動引導部，可以卡合在圓筒狀轉動體90的一部分，以引導圓筒狀轉動體90的移動，也可引導車輪的移動。移動引導部可例舉如導軌。從動構件則藉由例如繞掛在圓筒狀轉動體90周圍的皮帶或鍊條所構成。
藉馬達等驅動裝置所產生的驅動力，係透過軸及齒輪等動力傳遞機構傳送到驅動上述從動構件的齒輪等驅動構件，使驅動構件進行驅動。藉此方式，圓筒 狀轉動體90就會和從動構件一起繞筒軸C旋轉。另外，也可將從動構件省略，而藉驅動裝置令車輪等旋轉，使圓筒狀轉動體90繞筒軸C旋轉。
圓筒狀轉動體90係連續旋轉。例如，圓筒狀轉動體90以每一小時繞筒軸C旋轉1至10次的程度動作。
(實施形態2)
圖4為本實施形態的吸附處理裝置的縱剖面圖。茲參照圖4就本實施形態的吸附處理裝置100A加以說明。
如圖4所示，相較於實施形態1的吸附處理裝置100，本實施形態的吸附處理裝置100A的不同點在於使圓筒狀轉動體90的筒軸C朝向大致水平方向，並支撐成可繞筒軸C旋轉。至於其他的構成則大致同樣。
圓筒狀轉動體90係藉由抵接於一對中空圓盤10周端面的複數個支撐輪7，以可旋轉的方式支持。複數個支撐輪7係設置於支撐構件6上。支撐輪7可例舉如單側設有突緣部的車輪、兩側設有突緣部的車輪等。藉由以水平方向作為軸向使支撐輪7繞軸旋轉驅動，即可使圓筒狀轉動體90繞筒軸C轉動。支撐輪7的旋轉係藉馬達等驅動裝置(未圖示)以及軸與齒輪等的動力傳達機構(未圖示)執行。
另外，也可不使支撐輪7直接轉動，而是藉由上述的驅動裝置及動力傳達機構使繞掛在圓筒狀轉動體90的皮帶或鍊條等旋轉，令圓筒狀轉動體90旋轉。
即使在以上述方式構成的情況中，也可從圓筒狀轉動體90的筒孔90a(中央空間部)的筒軸方向兩端 側排出乾淨空氣，且可降低流體通過筒孔90a內的流動阻力。藉此方式，即使是本實施形態的吸附處理裝置100A，亦可提高從圓筒狀轉動體90排出的流量，而獲得和實施形態1的吸附處理裝置100大致相同的效果。再者，藉由使筒軸C朝向大致水平方向，可使圓筒狀轉動體90的旋轉穩定。
(實施形態3)
圖5為本實施形態的吸附處理裝置的縱剖面圖。茲參照圖5就本實施形態的吸附處理裝置100B加以說明。
如圖5所示，相較於實施形態1的吸附處理裝置100，本實施形態的吸附處理裝置100B的不同點係在內周側流路形成構件4B的構成上。其他構成則大致相同。
內周側流路形成構件4B係沿著筒孔90a延伸，並設成從一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a向圓筒狀轉動體90的外側延伸。亦即，內周側流路形成構件4B係包含在筒孔90a的兩端開口間沿著筒軸C方向從一方開口延伸至另一方開口的部分，且在筒孔90a的兩端開口中從雙方開口延伸到外部。而內周側流路形成構件4B的中途區域設有和圓筒狀轉動體90內周側彼此面對的內周側開口端部4a。
位於第1流路形成構件2側的部分的內周側流路形成構件4B係從設於第1流路形成構件2的開口部2a向第1流路形成構件2的外側突出。位於第2流路形成構件3側枝部分的內周側流路形成構件4B則從設於第2流路形成構件3的開口部3a向外側突出。
在此情況下，於第1區域R1中，加熱流體係在經由穿通一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a的內周側流路形成構件4B的內部後，從圓筒狀轉動體90內周側導向外周側。亦即，在第1區域R1中，通過內周側流路形成構件4內部的加熱流體係從筒狀轉動體90內周側向外周側導入到吸附體30。
另外，在第1區域R1中，加熱流體也可從圓筒狀轉動體90外周側向內周側通過圓筒狀轉動體90後，以經由穿通一對中空圓盤10的雙方開口部11a、12a的部分的內周側流路形成構件4B內部的方式導入。亦即，加熱流體也可以導入內周側流路形成構件4B的方式，從筒狀轉動體90外周側向內周側導入至吸附體30。
即使在以上述方式構成的情況中，也可從圓筒狀轉動體90的筒孔90a(中央空間部)的筒軸方向兩端側排出乾淨空氣，並降低通過筒孔90a內的流體的流動阻力。藉此方式，即使是本實施形態的吸附處理裝置100B，從圓筒狀轉動體90排出的流量也可增加，而得到和實施形態1的吸附處理裝置100大致相同的效果。再者，由於可使導入第1區域R1的加熱流體量增加，故有機溶劑可以更有效地從吸附體30脫除。
(實施形態4)
圖6為本實施形態的吸附處理裝置的縱剖面圖。茲參照圖6就本實施形態的吸附處理裝置100C加以說明。
如圖6所示，相較於實施形態2的吸附處理裝置100A，本實施形態的吸附處理裝置100C的不同點在於 有複數個圓筒狀轉動體90平行並排配置。
複數個圓筒狀轉動體90係並排配置於水平方向。複數個圓筒狀轉動體90之每一者的筒孔90a兩端係呈開口狀。複數個筒狀轉動體90各者所具有的筒孔90a係相連通。
複數個圓筒狀轉動體90中，彼此相鄰的圓筒狀轉動體90的筒孔90a彼此間係以維持氣密方式並排配置。例如，複數對的成對中空圓盤10中，在彼此相鄰的中空圓盤之間，設有用以維持相鄰筒孔90a彼此間之氣密的密封構件8。
第1流路形成構件2的一端側係構成為：使在複數個圓筒狀轉動體90的並排方向上位於兩側的2個圓筒狀轉動體90中位在一側的圓筒狀轉動體90的筒孔90a、與第1流路形成構件2內部維持氣密，並容許圓筒狀轉動體90繞筒軸C旋轉。具體而言，例如，在第1流路形成構件2的一端側設有突緣部，且藉由該突緣部與位於上述一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a周緣所在位置之部分的第1中空圓盤11挾持環狀的密封構件。第1流路形成構件2的另一端側則導出處理室1外。
第2流路形成構件3的一端側則構成為：使在複數個圓筒狀轉動體90的並排方向上位於兩側的2個圓筒狀轉動體90中位於另一側的圓筒狀轉動體90的筒孔90a、與第2流路形成構件3內部係維持氣密，並容許圓筒狀轉動體90繞筒軸C旋轉。具體而言，例如，在第2流路形成構件3的一端側設有突緣部，且藉由該突緣部與位於 上述另一側的圓筒狀轉動體90的開口部12a周緣所在位置的第2中空圓盤12挾持環狀的密封構件。第2流路形成構件3的另一端側則導出處理室1外。
以氣密連通的複數個筒孔90a配設有內周側流路形成構件4C。在複數個圓筒狀轉動體90的外周側則配設有分別當作流路形成構件的外周側流路形成構件5。複數個外周側流路形成構件5之各者與內周側流路形成構件4C係以包夾各圓筒狀轉動體90圓周方向的一部分的方式彼此相對配設。
內周側流路形成構件4C係設成在以氣密連通的複數個圓筒90a內沿著筒軸C方向延伸，且從位於上述一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a向位於上述一側的圓筒狀轉動體90的外側延伸。亦即，內周側流路形成構件4C係設成包含跨過複數個圓筒狀轉動體90的部分。
在內周側流路形成構件4C的一端側(具體而言，係在複數個筒孔90a內沿筒軸C方向延伸的部分的內周側流路形成構件4C)，以和複數個圓筒狀轉動體90的內周側相面對的方式設有內周側開口端部4a。內周側開口端部4a的開口面係設成和複數個圓筒狀轉動體90的內周側圓周方向的一部分區域相對向。內周側流路形成構件4C的另一端側則從設在第1流路形成構件2的開口部2a突出於第1流路形成構件2的外側。
在複數個外周側流路形成構件5各者的一端側，設有和對應的圓筒狀轉動體90外周側彼此面對的外周側開口端部5a。外周側開口端部5a的開口面係設成在 圓周方向上和圓筒狀轉動體90外周側的一部分區域相對向。該開口面係設成在對應的圓筒狀轉動體90的第1中空圓盤11及第2中空圓盤12間朝筒軸C方向和圓筒狀轉動體90外周側相對向。
複數個圓筒狀轉動體90係區隔成：以氣密連通於內周側流路形成構件4C及外周側流路形成構件5的第1區域R1；及不和內周側流路形成構件4C及外周側流路形成構件5連通，且構成和第1區域R1不同流路的第2區域R2。
第1區域R1係為伴隨著複數個圓筒狀轉動體90的旋轉而移動的複數個圓筒狀轉動體90中所包含的複數個吸附體30的一部分以氣密或液密連通於內周側流路形成構件4C及外周側流路形成構件5的區域；而內周側流路形成構件4C係在連通的複數個筒孔90a內設成包含跨過複數個圓筒狀轉動體90的部分；外周側流路形成構件5則以和內周側流路形成構件4C相對向的方式配置在複數個圓筒狀轉動體90的外周側。
亦即，第1區域R1為複數個圓筒狀轉動體90所包含的複數個空間部S的一部分係以氣密或液密連通於內周側流路形成構件4C及外周側流路形成構件5的區域；而內周側流路形成構件4C係在連通的複數個筒孔90a內設成包含跨過複數個圓筒狀轉動體90的部分；外周側流路形成構件5則以和內周側流路形成構件4C相對向的方式配置於複數個圓筒狀轉動體90的外周側。
本實施形態中，廢氣係從圓筒狀轉動體90的 外周側向內周側導入於吸附處理裝置100C的第2區域R2。
第2區域係為如下所述的區域：從複數個圓筒狀轉動體90外周側向內周側導入流體，以使流體通過連通的複數個筒孔90a中位於內周側流路形成構件4C周圍的部分，再從水平方向並排的複數個圓筒狀轉動體90中位於一側的圓筒狀轉動體90的一對板狀構件10的一側開口部11a、及位於另一側的圓筒狀轉動體90的一對板狀構件10的另一側開口部12a流出。
亦即，如後所述，第2區域R2係為流體以通過相連通的複數個筒孔90a中位於內周側流路形成構件4C周圍的部分，再從水平方向並排的複數個筒狀轉動體90中位於一端的筒狀轉動體90中沒有相鄰的筒狀轉動體之側的筒孔90a的開口及水平方向並排的複數個筒狀轉動體90中位於另一端的筒狀轉動體90中沒有相鄰的筒狀轉動體之側的筒孔的開口流出的方式，從複數個筒狀轉動體90外周側向內周側導入吸附體30的區域。
另外，第2區域R2也可為流體從水平方向並排的複數個筒狀轉動體90中位於一端的筒狀轉動體90中沒有相鄰的筒狀轉動體之側的筒孔90a的開口及水平方向並排的複數個筒狀轉動體90中位於另一端的筒狀轉動體90處中沒有相鄰的筒狀轉動體之側的筒孔90a的開口流入，再通過相連通的複數個筒孔90a中位於內周側流路形成構件周圍的部分後，從複數個筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域。
導入第2區域R2的廢氣沿著徑向分別通過對 應的圓筒狀轉動體90時，係藉由位於第2區域R2的複數個吸附體30將有機溶劑吸附去除而獲得淨化。
已淨化的廢氣係當作乾淨空氣從第2區域R2排出到各圓筒狀轉動體90的筒孔90a。排出到各圓筒狀轉動體90的筒孔90a之各者的乾淨空氣係通過在位於內周側流路形成構件4C周圍的部分以氣密連通的複數個圓筒90a內，再從位於上述一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a及位於上述另一側的圓筒狀轉動體90的開口部12a流出。
從位於上述一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a及位於上述另一側的圓筒狀轉動體90的開口部12a雙方流出的乾淨空氣，係分別通過第1流路形成構件2及第2流路形成構件3而排出處理室外1。
另一方面，加熱空氣係經由穿通上述一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a的內周側流路形成構件4C的內部後，從圓筒狀轉動體90內周側朝向外周側導入吸附處理裝置100C的第1區域R1。
導入第1區域R1的加熱空氣從圓筒狀轉動體90的內周側向外周側通過圓筒狀轉動體90之各者時，係藉由熱能從位於第1區域R1的複數個吸附體30脫除其中所吸附的有機溶劑。包含有機溶劑的加熱空氣係當作濃縮流體從第1區域R1排出到外周側流路形成構件5之各者。排出到外周側流路形成構件5之各者的濃縮流體則導入到實施回收或燃燒等後處理的後處理裝置。
即使在具有上述構成的本實施形態的吸附處 理裝置100C中，相較於只從筒軸方向一側排出乾淨空氣的構成，藉由可從圓筒狀轉動體90的筒孔90a的筒軸方向兩端側排出乾淨空氣，可以減低流動阻力，且可使從圓筒狀轉動體90排出的流量增加。再者，藉由筒軸C朝向大致水平方向，可使圓筒狀轉動體90的旋轉穩定。藉此構成，本實施形態的吸附處理裝置100C可獲得和實施形態2大致相同的效果。
再者，藉由作成使複數個圓筒狀轉動體90並排的構成，和實施形態2的吸附處理裝置100A相比較，可以大幅增加處理量。
另外，在本實施形態中，和實施形態2的吸附處理裝置100A比較，雖然吸附處理裝置100C的尺寸會增大，但其構成係為將複數個圓筒狀轉動體90並排設置。因此，若著眼於各個圓筒狀轉動體90，其大小並非會受到輸送上的限制的大小，其實用上的大小可獲得維持。
另外，上述的本實施形態中，雖例示說明設置複數個外周側流路形成構件5的情況，但並不限定於此，外周側流路形成構件5也可為單數。在該情況中，外周側流路形成構件5係設成在複數個圓筒狀轉動體90的並排方向上從一側延伸到另一側。而且，在該情況中，外周側流路形成構件5的另一端側也可分岐成複數個。
再者，在上述情況中，內周側流路形成構件4C及單數個外周側流路形成構件具有和實施形態1的內周側流路形成構件4及外周側流路形成構件5大致相同的構成。
內周側流路形成構件4C包含和複數個筒狀轉動體90內周側彼此面對的內周側開口端部4a，而位於筒狀轉動體90的轉動體旋轉方向之前方側的內周側開口端部4a之旋轉方向前方側緣部以及位於筒狀轉動體90之旋轉方向後方側的內周側開口端部之旋轉方向後方側緣部，係分別設置有沿著旋轉方向彎曲的內周側彎曲面。而且，外周側流路形成構件包含和複數個筒狀轉動體90外周側彼此面對的外周側開口端部，而位於筒狀轉動體90旋轉方向前方側的外周側開口端部之旋轉方向前方側緣部以及位於筒狀轉動體90旋轉方向後方側的外周側開口端部之旋轉方向後方側緣部，係分別設有沿著旋轉方向彎曲的外周側彎曲面。複數個筒狀轉動體90A、90B、90C之各者中，位於筒狀轉動體90內周側部位的隔開體20，設有從筒孔90a一端側延伸到另一端側且朝筒狀轉動體90的徑向內側從隔開體20突出的內側密封構件。此外，複數個筒狀轉動體90之各者中，位於筒狀轉動體90外周側部位的隔開體20，設有從筒孔90a一端側延伸到另一端側且朝筒狀轉動體90的徑向外側從隔開體20突出的外側密封構件。藉由隨著複數個筒狀轉動體90A、90B、90C的旋轉，內側密封構件會相對於內周側彎曲面滑動，外側密封構件會相對於外周側彎曲面滑動，使複數個空間部S的一部分以氣密或液密連通於內周側流路形成構件4A及外周側流路形成構件。
再者，廢氣也可從圓筒狀轉動體90的內周側向外周側導入複數個圓筒狀轉動體90的第2區域R2。在此 情況中，第2區域R2係為流體從水平方向並排的複數個圓筒狀轉動體90中位於一端的圓筒狀轉動體90中的一對板狀構件10的一側開口部11a以及位於另一端的圓筒狀轉動體90中的一對板狀構件10的另一側開口部12a流入，再經由連通的複數個筒孔90a中位於內周側流路形成構件4C周圍的部分後，從複數個圓筒狀轉動體90的內周側向外周側導入的區域。
(實施形態5)
圖7為本實施形態的吸附處理裝置的縱剖面圖。茲參佐圖7就本實施形態的吸附處理裝置100D加以說明。
如圖7所示，和實施形態2的吸附處理裝置100A比較時，本實施形態的吸附處理裝置100D在藉由複數個分割板9將一對中空圓盤10間朝筒軸C方向加以分割方面、及伴隨此設計而增加用以支撐圓筒狀轉動體90的支撐輪7方面有所不同。其他的構成大致相同。
分割板9具有對應中空圓盤11、12的形狀。分割板9係配置於一對中空圓盤10間。複數塊分割板9係將空間部S朝筒軸C方向分割。朝筒軸C方向被分割的空間部S之各者，係供收容其尺寸和被分割的空間部S對應的吸附體30。
圓筒狀轉動體90則藉由抵接於一對中空圓盤10的周端面的複數個支撐輪7、及抵接於複數塊分割板9的周端面的複數個支撐輪7，以可旋轉的方式支持。
在以上述方式構成的情況中，乾淨空氣可從圓筒狀轉動體90的筒孔90a(中央空間部)的筒軸方向兩 端側排出，通過筒孔90a內的流體的流動阻力得以降低。再者，藉由將筒軸C設成朝向大致水平方向，圓筒狀轉動體90的旋轉得以穩定，並且從圓筒狀轉動體90排出的流量得以增加，而獲得和實施形態2的吸附處理裝置100A大致相同的效果。
此外，藉由設置複數塊分割板9，加上一對中空圓盤10，再以複數個支撐輪7以可旋轉方式支撐這些複數塊分割板9，比起實施形態2，可以使圓筒狀轉動體90的旋轉更加穩定。
另外，本實施形態中，雖係例示說明藉複數塊分割板9將一對中空圓盤10間朝筒軸C方向分割的情況，但並不受此限定，也可藉單塊分割板9將一對中空圓盤10間朝筒軸C方向分割。
另外，在上述實施形態1至5中，雖係例示說明隔開體20具有大致三角筒形狀的情況，但並不受此限定，只要具有可支持一對中空圓盤10的強度且可設置密封構件40，其形狀也可為板狀等，而能適當加以變更。
此外，在上述的實施形態1至5中，雖係例示說明圓筒狀轉動體90的形狀為圓筒形的情況，但並不受此限定，只要是四角筒狀等多角筒狀及橢圓筒狀等筒體形狀即可。在此情況中，一對中空圓盤10的形狀並不限定於圓形，只要因應上述的筒體形狀，而構成為多角形及橢圓形等的板狀即可。另外，筒體形狀的轉動體主要藉由複數個吸附體30配置成具有筒孔的筒狀所構成。
再者，在不逸離本發明趣旨的範圍內，上述 的實施形態1至5中說明的特徵性構成也可加以適當組合。例如，實施形態4的內周側流路形成構件4C，也可像實施形態3的內周側流路形成構件4B那樣設成從複數個圓筒狀轉動體90中位於一側的圓筒狀轉動體90的開口部11a及位於另一側的圓筒狀轉動體90的開口部12a向外側延伸。
以上，雖然已針對本發明的實施形態加以說明，但本次所揭示的實施形態，在所有的點上皆為例示性，並非限制性。本發明的專利範圍係以申請專利範圍為依據，和申請專利範圍具有均等意義及範圍內的所有變更均應包含在本發明專利範圍內。
1‧‧‧處理室
2‧‧‧第1流路形成構件
2a‧‧‧開口部
3‧‧‧第2流路形成構件
4‧‧‧內周側流路形成構件
4a‧‧‧內周側開口端部
5‧‧‧外周側流路形成構件
5a‧‧‧外周側開口端部
6‧‧‧支撐構件
10‧‧‧一對中空圓盤
11‧‧‧第1中空圓盤
11a‧‧‧開口部
12‧‧‧第2中空圓盤
12a‧‧‧開口部
30‧‧‧吸附體
90‧‧‧圓筒狀轉動體
90a‧‧‧筒孔
100‧‧‧吸附處理裝置

Claims (24)

  1. 一種吸附處理裝置，具備：筒狀轉動體，由複數個吸附體配置成具有筒孔的筒狀，且屬於可繞筒軸旋轉的中空轉動體，並以其內周界定前述筒孔；及第1區域與第2區域，彼此區隔，且藉由前述筒狀轉動體進行旋轉，使前述複數個吸附體交替通過；前述筒孔的兩端係形成開口；前述第1區域係為伴隨前述筒狀轉動體的旋轉而移動的前述複數個吸附體的一部分以氣密或液密的方式連通於內周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域，前述內周側流路形成構件及前述外周側流路形成構件係在前述筒狀轉動體之內周側及外周側以彼此相對向方式配設；前述第2區域係為流體以通過位於前述內周側流路形成構件周圍的前述筒狀轉動體的前述筒孔，而從前述筒孔兩端的開口流出的方式，從前述筒狀轉動體的外周側向內周側導入前述吸附體的區域，或者是，從前述筒孔兩端的開口流入並通過位於前述內周側流路形成構件周圍的前述筒孔的流體，從前述筒狀轉動體內周側向外周側導入前述吸附體的區域。
  2. 如請求項1之吸附處理裝置，其中，前述內周側流路形成構件包含在前述筒孔兩端的前述開口之間沿著前述筒軸方向從一個前述開口延伸到另一個前述開口的部分，且從前述筒孔兩端的前述開口的至少一個向外部延伸； 前述第1區域係為通過前述內周側流路形成構件內部的流體從前述筒狀轉動體的內周側向外周側導入前述吸附體的區域，或者是，流體從前述筒狀轉動體的外周側向內周側導入前述吸附體，俾導入前述內周側流路形成構件的區域。
  3. 如請求項1或2之吸附處理裝置，其中，前述筒狀轉動體的前述筒軸係延伸於水平方向。
  4. 如請求項1或2之吸附處理裝置，其中，前述筒狀轉動體進一步包含分別配置在彼此相鄰的前述吸附體之間的複數個隔開體；藉由前述複數個隔開體形成供配置前述複數個吸附體之各者的複數個空間部；前述內周側流路形成構件包含和前述筒狀轉動體的內周側彼此面對的內周側開口端部；位於前述筒狀轉動體的旋轉方向前方側的前述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述內周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著前述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面；前述外周側流路形成構件包含和前述筒狀轉動體的外周側彼此面對的外周側開口端部；位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向前方側的前述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設置有沿著前述旋 轉方向彎曲的外周側彎曲面；位於前述筒狀轉動體內周側之部分的前述隔開體，設有從前述筒孔的一端側延伸到另一端側且從前述隔開體向前述筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件；位於前述筒狀轉動體外周側之部分的前述隔開體，設有從前述筒孔的一端側延伸到另一端側且從前述隔開體向前述徑向外側突出的外側密封構件；藉由伴隨著前述筒狀轉動體的旋轉，使前述內側密封構件相對於前述內周側彎曲面滑動，且前述外側密封構件相對於前述外周側彎曲面滑動，而使前述複數個空間部之一部份以氣密或液密的方式連通於前述內周側流路形成構件及前述外周側流路形成構件。
  5. 一種吸附處理裝置，具備：複數個筒狀轉動體，由複數個吸附體配置成具有筒孔的筒狀，且屬於可繞筒軸旋轉的中空轉動體，並以其內周界定前述筒孔；及第1區域與第2區域，彼此區隔，且藉由前述複數個筒狀轉動體旋轉，使前述複數個吸附體交替通過；前述筒孔的兩端係形成開口；前述複數個筒狀轉動體係以前述複數個筒狀轉動體之各者所具有的前述筒孔互相連通的方式排列配置於水平方向；前述第1區域係為伴隨著前述複數個筒狀轉動體的旋轉而移動的前述複數個筒狀轉動體所包含的前述複數個吸附體之一部分以氣密或液密的方式連通於內 周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域，前述內周側流路形成構件係以包含跨過前述複數個筒狀轉動體的部分的方式設置在相連通的複數個前述筒孔內，前述外周側流路形成構件係以和前述內周側流路形成構件相對向的方式配置在前述複數個筒狀轉動體的外周側；前述第2區域係為流體以通過相連通的複數個前述筒孔中位於前述內周側流路形成構件周圍的部分，而從水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔開口及水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於另一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔開口流出的方式，從前述複數個筒狀轉動體的外周側向內周側導入前述吸附體的區域，或者是，從水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔開口及水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於另一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔開口流入，且通過相連通的複數個前述筒孔中位於前述內周側流路形成構件周圍的部分的流體係從前述複數個筒狀轉動體的內周側向外周側導入前述吸附體的區域。
  6. 如請求項5之吸附處理裝置，其中，前述外周側流路形成構件包含複數個流路形成構 件；前述複數個流路形成構件之各者係和前述複數個筒狀轉動體之各者分別對應配置。
  7. 如請求項5或6之吸附處理裝置，其中，前述內周側流路形成構件係從水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔的前述開口及水平方向並排的前述複數個筒狀轉動體中位於另一端的前述筒狀轉動體處沒有鄰接的前述筒狀轉動體之側的前述筒孔的前述開口之至少一個朝外部延伸；前述第1區域係為流體通過前述內周側流路形成構件內部後從前述複數個筒狀轉動體的內周側向外周側導入前述吸附體的區域，或者是，流體從前述複數個筒狀轉動體的外周側向內周側導入前述吸附體，俾導入前述內周側流路形成構件的區域。
  8. 如請求項5或6之吸附處理裝置，其中，前述複數個筒狀轉動體之各者進一步包含分別配置在彼此相鄰的前述吸附體之間的複數個隔開體；藉由前述複數個隔開體形成供配置前述複數個吸附體之各者的複數個空間部；前述內周側流路形成構件包含和前述複數個筒狀轉動體內周側彼此面對的內周側開口端部；位於前述筒狀轉動體的旋轉方向前方側的前述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述內周側開口端部 的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著前述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面；前述外周側流路形成構件包含和前述複數個筒狀轉動體之外周側彼此面對的外周側開口端部；位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向前方側的前述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著前述旋轉方向彎曲的外周側彎曲面；前述複數個筒狀轉動體的各者中，位於前述筒狀轉動體內周側之部分的前述隔開體，設有從前述筒孔的一端側延伸到另一端側，且從前述隔開體向前述筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件；前述複數個筒狀轉動體之各者中，位於前述筒狀轉動體外周側之部分的前述隔開體，設有從前述筒孔一端側延伸到另一端側，且從前述隔開體向前述徑向外側突出的外側密封構件；藉由伴隨著前述複數個筒狀轉動體的旋轉，使前述內側密封構件相對於前述內周側彎曲面滑動，且前述外側密封構件相對於前述外周側彎曲面滑動，而使前述複數個空間部之一部分以氣密或液密的方式連通於前述內周側流路形成構件及前述外周側流路形成構件。
  9. 如請求項1、2、5、6中任一項之吸附處理裝置，其中， 導入前述第1區域的流體為加熱流體；導入前述第2區域的流體為包含被處理物質的被處理流體；且前述被處理流體係從前述筒狀轉動體外周側導入內周側。
  10. 一種吸附處理裝置，具備：圓筒狀轉動體，係藉由在中央部設有開口部且配置成彼此相對的一對中空圓盤、將前述一對中空圓盤間的空間分隔成在圓周方向上互相獨立的複數個空間部的複數個隔開體、及藉由分別配設在前述複數個空間部的複數個吸附體，而構成為筒狀，且可繞著筒軸旋轉；及第1區域與第2區域，係互相區隔，且藉由前述圓筒狀轉動體進行旋轉，使前述複數個吸附體交替通過；前述第1區域係為伴隨著前述圓筒狀轉動體的旋轉而旋轉的前述複數個空間部之一部分以氣密或液密的方式連通於內周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域，前述內周側流路形成構件及前述外周側流路係在前述圓筒狀轉動體的內周側及外周側以彼此相對向的方式配設；前述第2區域係為流體以通過位於前述內周側流路形成構件周圍的前述圓筒狀轉動體的筒孔並從前述一對中空圓盤雙方的前述開口部流出的方式，從前述圓筒狀轉動體的外周側向內周側導入的區域，或者是，流體從前述一對中空圓盤雙方的前述開口部流入， 且在通過位於前述內周側流路形成構件周圍的前述圓筒狀轉動體的前述筒孔後，從前述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域。
  11. 如請求項10之吸附處理裝置，其中，前述內周側流路形成構件包含在前述一對中空圓盤雙方的前述開口部間沿著前述筒軸方向從一個前述開口部延伸至另一個前述開口部的部分；前述第1區域係為流體流經通過前述一對中空圓盤雙方的前述開口部的至少一個的前述內周側流路形成構件的內部後，從前述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域，或者是，流體以從前述圓筒狀轉動體的外周側朝向內周側通過前述圓筒狀轉動體後，流經通過前述一對中空圓盤雙方的前述開口部的至少一個的前述內周側流路形成構件內部的方式導入的區域。
  12. 如請求項10或11之吸附處理裝置，其中，前述圓筒狀轉動體的前述筒軸係延伸於水平方向。
  13. 如請求項10或11之吸附處理裝置，其中，前述內周側流路形成構件包含和前述圓筒狀轉動體內周側彼此面對的內周側開口端部，位於前述圓筒狀轉動體的旋轉方向前方側的前述內周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述圓筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述內周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著前述旋轉方向彎曲的內周側彎曲面；前述外周側流路形成構件包含和前述圓筒狀轉動 體外周側彼此面對的外周側開口端部；位於前述圓筒狀轉動體的前述旋轉方向前方側的前述外周側開口端部的旋轉方向前方側緣部及位於前述圓筒狀轉動體的前述旋轉方向後方側的前述外周側開口端部的旋轉方向後方側緣部，分別設有沿著前述旋轉方向彎曲的外周側彎曲面；位於前述圓筒狀轉動體內周側之部分的前述隔開體，設有在前述一對中空圓盤間從一個中空圓盤延伸至另一個中空圓盤，且從前述隔開體朝前述圓筒狀轉動體的徑向內側突出的內側密封構件；位於前述圓筒狀轉動體外周側之部分的前述隔開體，設有在前述一對中空圓盤間從前述一個中空圓盤延伸至前述另一個中空圓盤，且從前述隔開體朝前述徑向外側突出的外側密封構件；藉由伴隨前述圓筒狀轉動體的旋轉，使前述內側密封構件相對於前述內周側彎曲面滑動，且前述外側密封構件相對於前述外周側彎曲面滑動，而使前述複數個空間部之一部分以氣密或液密的方式連通於前述內周側流路形成構件及前述外周側流路形成構件。
  14. 一種吸附處理裝置，具備：複數個圓筒狀轉動體，係藉由在中央部設有開口部且配置成彼此相對的一對中空圓盤、將前述一對中空圓盤間的空間分隔成在圓周方向上互相獨立的複數個空間部的複數個隔開體、及配設在前述複數個空間部之各者的複數個吸附體，而構成為具有筒孔的筒狀 ，且可繞著筒軸旋轉；及第1區域與第2區域，係互相區隔，且藉由前述複數個圓筒狀轉動體進行旋轉，使前述複數個吸附體交替通過；前述複數個圓筒狀轉動體係以前述複數個圓筒狀轉動體之各者所具有的前述筒孔互相連通的方式並排配置在水平方向；前述第1區域係為前述複數個圓筒狀轉動體所包含的前述複數個空間部的一部分以氣密或液密的方式連通於內周側流路形成構件及外周側流路形成構件的區域，前述內周側流路形成構件係在相連通的複數個前述筒孔內設置成包含跨過前述複數個圓筒狀轉動體之部分，前述外周側流路形成構件係以和前述內周側流路形成構件相對向的方式配置在前述複數個圓筒狀轉動體的外周側；前述第2區域係為流體以通過相連通的複數個前述筒孔中位於前述內周側流路形成構件周圍的部分，再從並排於水平方向的前述複數個圓筒狀轉動體中位於一側的前述圓筒狀轉動體處的前述一對中空圓盤的前述一側的前述開口部、及位於另一側的前述圓筒狀轉動體處的前述一對中空圓盤的前述另一側的前述開口部流出之方式，而從前述複數個圓筒狀轉動體的外周側向內周側導入的區域，或者是，流體從並排於水平方向的前述複數個圓筒狀轉動體中位於一側的前述圓筒狀轉動體處的前述一對中空圓盤的前述一側的前 述開口部、及位於另一側的前述圓筒狀轉動體處的前述一對中空圓盤的前述另一側的前述開口部流入，而在通過相連通的複數個前述筒孔中位於前述內周側流路形成構件周圍的部分後，從前述複數個圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域。
  15. 如請求項14之吸附處理裝置，其中，前述外周側流路形成構件包含複數個流路形成構件；前述複數個流路形成構件之各者係分別和前述複數個圓筒狀轉動體之各者對應配置。
  16. 如請求項14或15之吸附處理裝置，其中，前述第1區域係為流體流經通過位於前述一側的前述圓筒狀轉動體的前述一對中空圓盤的前述一側的前述開口部及位於前述另一側的前述圓筒狀轉動體的前述一對中空圓盤的前述另一側的前述開口部之至少一個的前述內周側流路形成構件內部後，從前述圓筒狀轉動體的內周側向外周側導入的區域，或者是，流體以從前述圓筒狀轉動體外周側向內周側通過前述複數個圓筒狀轉動體後，流經通過位於前述一側的前述圓筒狀轉動體中的前述一對中空圓盤的前述一側的前述開口部及位於前述另一側的前述圓筒狀轉動體中的前述一對中空圓盤的前述另一側的前述開口部之至少一個的前述內周側流路形成構件內部的方式導入的區域。
  17. 如請求項10、11、14、15中任一項之吸附處理裝置， 其中，導入前述第1區域的流體為加熱流體；導入前述第2區域的流體為含有被處理物質的被處理流體；前述被處理流體係從前述圓筒狀轉動體的外周側導入內周側。
  18. 如請求項1、2、5、6、10、11、14、15中任一項之吸附處理裝置，其中，導入前述第1區域的流體為加熱流體；導入前述第2區域的流體為含有被處理物質的被處理流體；藉由前述被處理流體導入前述第2區域，使前述被處理物質透過位於前述第2區域的前述吸附體從前述被處理流體被吸附去除；藉由前述加熱流體導入前述第1區域，使前述吸附體所吸附的前述被處理物質從位於前述第1區域的前述吸附體被脫除。
  19. 如請求項18之吸附處理裝置，其中，通過前述第2區域的前述被處理流體的流動方向、與通過前述第1區域的前述加熱流體的流動方向，在徑向的朝向上為反方向。
  20. 如請求項1、2、5、6、10、11、14、15中任一項之吸附處理裝置，其中，前述吸附體具有蜂巢構造。
  21. 如請求項17之吸附處理裝置，其中，前述被處理流體為廢氣， 前述加熱流體為加熱空氣。
  22. 如請求項18之吸附處理裝置，其中，前述被處理流體為廢氣，前述加熱流體為加熱空氣。
  23. 如請求項17之吸附處理裝置，其中，前述被處理物質為有機溶劑。
  24. 如請求項18之吸附處理裝置，其中，前述被處理物質為有機溶劑。
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