JP7028161B2 - 吸着処理装置 - Google Patents

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Description

本発明は、大流量の流体を処理する吸着処理装置に関する。
従来の吸着処理装置が開示された文献として、たとえば、特許文献1が挙げられる。
特許文献1に開示の吸着処理装置にあっては、中央に空間部(筒孔)が形成された円筒状の回転枠体(円筒状ロータ)が、その回転軸(筒軸)が鉛直方向に沿って延在するように配置されている。回転枠体には、通過ガスを処理する複数の吸着ブロックが周方向に並んで配置されている。
円筒状ロータにおいて、中央の空間部の下方側は、閉塞されており、中央の空間部の上方側は、ダクトに連通している。また、周方向における円筒状ロータの一部を他の部分から区画するために、円筒状ロータの内周側および外周側に、内周側ダクトおよび外周側ダクトが設けられている。
この吸着処理装置にあっては、低濃度の被処理物質を含む処理対象ガスを、上述の他の部分における円筒状ロータの外周側から導入し、被処理物質を吸着ブロックにて吸着除去させる。被処理物質が除去された処理済のガスは、中央の空間部を通ってこれに連通するダクトに送出される。
一方で、内周側ダクトから、区画された上述の円筒状ロータの一部に再生ガスを導入し、吸着ブロックにて吸着された被処理物質を再生ガスに移動させ排出する。これにより、
吸着ブロックの吸着能力を回復させる。
日本国公開特許公報「特開昭63-84616号」
近年、吸着処理装置にあっては、処理能力を高めるために、吸着容量を増加させることが要求されている。吸着容量は、円筒状ロータの吸着ブロックの体積に影響される。このため、円筒状ロータの筒軸方向の高さを大きくしたり、複数の円筒状ロータを上下方向に並べて配置したりすることにより、吸着容量を増加させることができる。
しかしながら、特許文献1に開示のように、筒軸が鉛直方向を向くように円筒状ロータをステージ上に設置する態様で吸着処理装置を構成する場合には、複数の円筒状ロータを上下方向に並べて配置することにより、高さ制限等の規制によって搬送上に問題が発生してしまう。
また、筒軸が鉛直方向を向く状態で円筒状ロータを回転させる場合には、不安定となりやすい。このため、円筒状ロータの筒軸方向の高さを大きくしたり、複数の円筒状ロータを鉛直方向に重ねて配置したりすることによって、円筒状ロータを回転させる際に、回転軸が安定せず、円筒状ロータがさらにぐらつく場合があり、使用上においても問題があった。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、より多くの流体を処理できる大きさを有し、安定して搬送および回転させることができる吸着処理装置を提供することにある。
本発明の第1の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する筒状ロータと、互いに区画され、かつ、上記筒状ロータが回転することにより複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備える。上記筒状ロータの上記筒軸は、水平方向に延在し、上記筒孔は、一端が閉塞し他端が開口しており、上記第1領域は、上記筒状ロータの内周側および外周側において互いに対向するように配設される内周側流路形成部材および外周側流路形成部材に対して、上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記吸着体の一部が気密または液密に連通する領域である。上記第2領域は、上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒孔を通過して上記筒孔の他端の開口から流出するように、上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて流体が上記吸着体に導入される領域、または、上記筒孔の他端の開口から流入し上記内周側流路形成部材の周囲に位置する上記筒孔を通過した流体が、上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、上記吸着体に導入される領域である。
上記本発明の第1の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記内周側流路形成部材は、上記筒孔の内部を上記筒軸方向に沿って延在するとともに、上記筒孔の他端の開口から外部に向けて延出され、上記第1領域は、上記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であってもよい。
上記本発明の第1の局面に基づく吸着処理装置にあっては、筒状ロータは、互いに隣り合う上記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含んでいてもよい。この場合には、上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成されることが好ましい。さらに、上記内周側流路形成部材は、上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。さらに、この場合には、上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。
上記本発明の第2の局面に基づく吸着処理装置は、複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が上記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、互いに区画され、かつ、複数の上記筒状ロータが回転することにより、複数の上記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備える。複数の上記筒状ロータは、複数の上記筒状ロータの各々が有する上記筒軸が直線状に並ぶとともに複数の上記筒状ロータの各々が有する上記筒孔が連通するように、水平方向に並んで配置され、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち一方の端に位置する上記筒状ロータの上記筒孔は、隣接する上記筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する上記筒状ロータがある他端が開口しており、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち上記一方の端に位置する上記筒状ロータ以外の複数の上記筒状ロータの上記筒孔は、両端が開口している。上記第1領域は、連通する複数の上記筒孔内において複数の上記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、上記内周側流路形成部材に対向するように複数の上記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の上記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の上記筒状ロータに含まれる複数の上記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域である。上記第2領域は、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち他方の端に位置する上記筒状ロータにおける上記筒孔の隣接する上記筒状ロータがない側の開口から流出するように、複数の上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が上記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の上記筒状ロータのうち上記他方の端に位置する上記筒状ロータにおける上記筒孔の隣接する上記筒状ロータがない側の開口から流入し、連通する複数の上記筒孔のうち上記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて上記吸着体に導入される領域である。
上記本発明の第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含んでいてもよい。この場合には、上記複数の流路形成部材の各々は、複数の上記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されていることが好ましい。
上記本発明の第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第1領域は、上記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が、上記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、上記吸着体に導入される領域、または、上記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が上記筒状ロータの外周側から内周側に向けて上記吸着体に導入される領域であることが好ましい。
上記第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、複数の上記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含んでいてもよい。この場合には、上記複数の仕切体によって複数の上記吸着体の各々が配される複数の空間部が形成されることが好ましい。上記内周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられることが好ましい。さらに、上記外周側流路形成部材は、複数の上記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含むことが好ましい。この場合には、上記筒状ロータの上記回転方向の前方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および上記筒状ロータの上記回転方向の後方側に位置する上記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、上記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられることが好ましい。また、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの内周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記筒状ロータの径方向内側に向けて上記仕切体から突出する内側シール部材が設けられることが好ましく、複数の上記筒状ロータの各々において、上記筒状ロータの外周側に位置する部分の上記仕切体には、上記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、上記径方向外側に向けて上記仕切体から突出する外側シール部材が設けられることが好ましい。複数の上記筒状ロータの回転に伴って、上記内周側湾曲面に対して上記内側シール部材が摺動し、上記外周側湾曲面に対して上記外側シール部材が摺動することにより、複数の上記空間部の一部が上記内周側流路形成部材および上記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通することが好ましい。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第1領域に導入される流体は、好適には加熱流体であり、上記第2領域に導入される流体は、好適には被処理物質が含まれる被処理流体である。この場合には、上記第2領域に上記被処理流体が導入されることにより、上記被処理物質が上記第2領域に位置する上記吸着体によって上記被処理流体から吸着除去されることが好ましく、上記第1領域に加熱流体が導入されることにより、上記吸着体に吸着された上記被処理物質が上記第1領域に位置する上記吸着体から脱着されることが好ましい。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記第2領域を通過する上記被処理流体が流れる方向と、上記第1領域を通過する上記加熱流体が流れる方向とが、径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理流体は、上記筒状ロータの外周側から内周側に導入されることが好ましい。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理流体は、好適には排気ガスであり、上記加熱流体は、好適には加熱空気である。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記被処理物質は
、好適には有機溶剤である。
上記第1の局面および第2の局面に基づく吸着処理装置にあっては、上記吸着体は、ハニカム構造を有することが好ましい。
本発明によれば、より多くの流体を処理できる大きさを有し、安定して搬送および回転させることができる吸着処理装置を提供することができる。
実施の形態1に係る吸着処理装置の縦断面図である。 図1に示すII-II線に沿った断面図である。 図1に示す筒状ロータの要部の拡大断面図である。 実施の形態2に係る吸着処理装置の縦断面図である。 実施の形態3に係る吸着処理装置の縦断面図である。
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。また、以下に複数の実施の形態が存在する場合は、特に記載がある場合を除き、各々の実施の形態の特徴部分を適宜組み合わせることは、当初から予定されている。
(実施の形態1)
図1は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図2は、図1に示すII-II線に沿った断面図である。図3は、図1に示す筒状ロータの要部の拡大断面図である。図1から図3を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100について説明する。
図1に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置100は、処理室1内に供給された大風量の被処理流体F1に含まれる被処理物質を後述する吸着体30を用いて吸着除去して、清浄化された清浄流体F2を排出する。また、吸着処理装置100は、吸着除去された被処理物質を含む吸着体30に加熱流体F3を吹き付けることにより、当該吸着体30から被処理物質を脱着させて濃縮流体F4として排出する。
被処理物質の吸着処理は、後述する第2領域R2(図2参照)で行われる。被処理物質の脱着処理は、後述する第1領域R1(図2参照)で行われる。筒状ロータ90が筒軸C周りに回転することにより、第1領域R1を通過して第2領域R2に位置する吸着体30に対して吸着処理が行われ、吸着処理後に第2領域R2を通過して第1領域R1に位置する吸着体30に対して脱着処理が行われる。このように、吸着処理装置100においては、吸着処理および脱着処理が連続的に実施される。
図1から図3に示すように、吸着処理装置100は、筒状ロータ90、第1流路形成部材2、内周側流路形成部材4、および外周側流路形成部材5を備える。
筒状ロータ90は、処理室1内に設置される。筒状ロータ90は、中空のロータであり、たとえば略円筒状形状を有する。なお、筒状ロータ90の形状は、円筒形状に限定されず、四角筒形状等の多角筒形状であってもよいし、楕円筒形状であってもよい。
筒状ロータ90は、一端が閉塞し、他端が開口した筒孔90aを有する。筒孔90aは、筒状ロータ90の内周によって規定される。筒状ロータ90は、径方向に流体を流動できるように設けられている。筒状ロータ90は、筒軸C周りに回転可能に設けられている。筒状ロータ90は、筒軸C方向が水平方向に向くように配置されている。なお、筒軸Cが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ90の高さは、搬送上に支障がでない高さとされる。また、筒軸Cが水平方向に配置された状態における水平方向の筒状ロータの幅も、搬送上に支障をきたさない幅とされる。
筒状ロータ90は、一対の板状部材10の周端面に当接する複数の支持輪7によって回転可能に支持されている。複数の支持輪7は支持部材6上に設置されている。支持輪7としては、片側にフランジ部が設けられた車輪、両側にフランジ部が設けられた車輪等が挙げられる。水平方向を軸方向として軸周りに支持輪7を回転駆動させることにより、筒状ロータ90を筒軸C周りに回動させることができる。支持輪7の回転は、モータ等の駆動装置(不図示)、ならびに、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構(不図示)によって行なう。
なお、支持輪7を回動させずに、筒状ロータ90に巻き掛けられたベルトやチェーン等(不図示)を、モータ等の駆動装置(不図示)、ならびに、シャフトおよびギヤ等の動力伝達機構(不図示)によって回転させることで、筒状ロータ90を回転させてもよい。
筒状ロータ90は、複数の吸着体30が筒孔90aを有する筒状に配置されることにより構成される。複数の吸着体30は、たとえば円筒状に配置される。複数の吸着体30は、所定のピッチで周方向に並んでいる。複数の吸着体30のそれぞれは、互いに独立した後述する複数の空間部Sに収容されている。複数の吸着体30は、取換可能に構成されている。複数の吸着体30は、たとえばブロック形状を有する。
吸着体30は、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭、ゼオライトのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、吸着体30は、粒状、紛体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用される。活性炭やゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着および脱着するのに優れている。また、ハニカム状にすることにより、流体の圧力損失を低減させることができ、処理能力を増大させることができる。さらに、ゴミ等の固形物による目詰まりを抑制することができる。
筒状ロータ90は、一対の板状部材10および複数の仕切体20を含む。一対の板状部材10は、互いに対向するように配置されている。一対の板状部材10は、第1板状部材11と第2板状部材12とを含む。第1板状部材11および第2板状部材12は、筒状ロータ90の形状に応じて、略円形状を有する。なお、第1板状部材11および第2板状部材12の形状は、略円形状に限定されず、四角形等の多角形形状、楕円等のオーバル形状であってもよい。
第2板状部材12は、筒状ロータ90の一方側に位置する。第2板状部材12は、閉塞部13を有する。第2板状部材12は、筒孔90aの一端側を閉塞する。閉塞部13は、たとえば、第2板状部材12の一部であり、第2板状部材12の中央部である。なお、閉塞部13は、上記のように筒孔90aの一端側を閉塞できる限り、第2板状部材12と別部材にて構成されていてもよい。たとえば、第2板状部材12が筒孔90aに連通する開口部を有し、閉塞部13が第2板状部材12の開口部を閉塞する閉塞部材であってもよい。
第1板状部材11は、筒状ロータ90の他方側に位置する。第1板状部材11は、開口部11aを有する。開口部11aは、筒孔90aの他端側に連通する。開口部11aは、第1板状部材11の中央部に設けられている。
第1板状部材11および第2板状部材12は、これらの間に仕切体20および吸着体30を配置できるように距離を隔てて設けられている。
複数の仕切体20のそれぞれは、互いに隣り合う吸着体30の間に配置される。複数の仕切体20によって複数の吸着体30の各々が配置される複数の空間部Sが形成される。具体的には、複数の仕切体20は、一対の板状部材10間の空間を周方向に互いに独立した複数の空間部S(図3参照)に仕切る。複数の仕切体20は、それらの中心O(図3参照)が所定のピッチで周方向に並ぶように配置されている。複数の仕切体20は、筒軸C方向に気密および/または液密となるように一対の板状部材10間に取付けられている。
第1流路形成部材2の一端側は、第1流路形成部材2の内部と筒状ロータ90の筒孔90aとを気密に維持しつつ、筒状ロータ90が筒軸C周りの回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第1流路形成部材2の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と開口部11aの周縁に位置する部分の第1板状部材11とによって環状のシール部材を挟持する。第1流路形成部材2の他端側は、処理室1外に引き出されている。
筒状ロータ90の内周側に設けられた筒孔90aには、内周側流路形成部材4が配設されている。筒状ロータ90の外周側には、外周側流路形成部材5が配設されている。内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5は、周方向における筒状ロー90の一部を挟み込むように、筒状ロータ90の内周側および外周側において互いに対向して配設されている。
内周側流路形成部材4は、筒孔90aの内部を筒軸C方向に沿って延在する。内周側主流路形成部材4は、筒孔90aの他端の開口(より特定的には第1板状部材11の開口部11a)から外部に向けて延出するように設けられている。
内周側流路形成部材4の一端側には、筒状ロータ90の内周側に向かい合う内周側開口端部4aが設けられている。内周側開口端部4aにおける開口面は、周方向において筒状ロータ90の内周側の一部の領域に対して対向するように設けられている。また、当該開口面は、内周側流路形成部材4の第1板状部材11および第2板状部材12の間にかけて筒軸C方向に筒状ロータ90の内周側に対向するように設けられている。内周側流路形成部材4の他端側は、第1流路形成部材2に設けられた開口部2aから第1流路形成部材2の外側に突出している。
外周側流路形成部材5の一端側には、筒状ロータ90の外周側に向かい合う外周側開口端部5aが設けられている。外周側開口端部5aの開口面は、周方向において筒状ロータの外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、第1板状部材11および第2板状部材12との間にかけて筒軸C方向に筒状ロータ90の外周側に対向するように設けられている。
図2に示すように、吸着処理装置100は、周方向に区画された第1領域R1(図2参照)および第2領域R2(図2参照)を備える。複数の吸着体30は、筒状ロータ90が筒軸C周りに回転することにより、第1領域R1と第2領域R2とを交互に移動する。
図3に示すように、第1領域R1は、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5に対して、筒状ロータ90の回転に伴って移動する複数の吸着体30の一部が気密または液密に連通する領域である。より特定的には、第1領域R1は、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5に対して、筒状ロータ90の回転に伴って移動する複数の空間部Sの一部が気密に連通する領域である。
また、第1領域R1は、流体が吸着体30に導入される領域でもある。後述のように、第1領域R1は、内周側流路形成部材4の内部を通過した流体が、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて、吸着体30に導入される領域でもある。
なお、流体の流れを逆向きとしてもよく、第1領域R1は、内周側流路形成部材4に導入されるように、流体が筒状ロータ90の外周側から内周側に向けて吸着体30に導入される領域であってもよい。
第2領域R2は、後述するように、内周側流路形成部材4の周囲に位置する筒孔90aを通過して筒孔90aの他端の開口から流出するように、筒状ロータ90の外周側から内周側に向けて流体が吸着体30に導入される領域である。
なお、第2領域は、筒孔90aの他端の開口から流入し内周側流路形成部材4の周囲に位置する筒孔90aを通過した流体が、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて、吸着体30に導入される領域であってもよい。
筒状ロータ90は、複数の仕切体20のそれぞれに設けられたシール部材40を含む。複数の仕切体20のそれぞれは、本体部21およびシール部材40を設置するための設置部22を含む。本体部21は、たとえば三角筒形状を有する。設置部22は、内周側設置部23および外周側設置部24を有する。
内周側設置部23は、板状形状を有する。内周側設置部23は、筒軸C方向に延在するように設けられている。内周側設置部23は、筒状ロータ90の内周側に位置する本体部21の頂辺部から、筒状ロータ90の径方向内側に向けて突出するように設けられている。内周側設置部23は、本体部21と一体に構成されていてもよいし、本体部21とは別部材で構成されていてもよい。内周側設置部23は、後述する内側シール部材41を設置するための内周側設置面23aを有する。内周側設置面23aは、筒状ロータ90の回転方向に交差する。
外周側設置部24は、板状形状を有する。外周側設置部24は、筒軸C方向に延在するように設けられている。外周側設置部24は、筒状ロータ90の外周側に位置する本体部21の側面から、筒状ロータ90の径方向外側に向けて突出するように設けられている。外周側設置部24は、本体部21と一体に構成されていてもよいし、本体部21とは別部材で構成されていてもよい。なお、外周側設置部24が、本体部21と別部材で構成される場合には、外周側設置部24は、たとえばL字形状等の本体部21に取付け可能な形状を有する。外周側設置部24は、後述する外側シール部材42を設置するための外周側設置面24aを有する。外周側設置面24aは、筒状ロータ90の回転方向に交差する。
シール部材40は、たとえば、弾性を有するゴム部材によって構成されている。シール部材40は、筒状ロータ90の内周側に位置する内側シール部材41と筒状ロータ90の外周側に位置する外側シール部材42を含む。
内側シール部材41は、仕切体20が有する設置面のうち、筒状ロータ90の内周側に位置する内周側設置面23aに設置されている。内側シール部材41は、筒孔90aの一端側から他端側にかけて延在する。より特定的には、内側シール部材41は、一対の板状部材10間を一方の板状部材(第2板状部材12)から他方の板状部材(第1板状部材11)にかけて延在する。内側シール部材41は、筒状ロータ90の径方向内側に向けて仕切体20から突出する。
外側シール部材42は、仕切体20が有する設置面のうち、筒状ロータ90の外周側に位置する外周側設置面24aに設置されている。外側シール部材42は、筒孔90aの一端側から他端側にかけて延在する。より特定的には、外側シール部材42は、一対の板状部材10間を一方の板状部材(第2板状部材12)から他方の板状部材(第1板状部材11)にかけて延在する。外側シール部材42は、筒状ロータ90の径方向外側に向けて仕切体20から突出する。
内周側流路形成部材4において、筒状ロータ90の回転方向の前方側に位置する内周側開口端部4aの回転方向前方側縁部および筒状ロータ90の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部4aの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面4b,4cが設けられている。
外周側流路形成部材5において、筒状ロータ90の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部5aの回転方向前方側縁部および筒状ロータ90の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部5aの回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面5b,5cが設けられている。
筒状ロータ90の回転に伴って、内周側湾曲面4b,4cに対して内側シール部材41が摺動し、外周側湾曲面5b,5cに対して外側シール部材42が摺動することにより、複数の空間部Sの一部が内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5に対して気密に連通する。
具体的には、内周側湾曲面4bおよび外周側湾曲面5bの間に位置する仕切体20と、内周側湾曲面4cおよび外周側湾曲面5cの間に位置する仕切体20との間に位置する空間部Sが、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5に対して気密に連通する。
このようにして、吸着処理装置100においては、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5に対して気密に連通する第1領域R1と、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5には連通せず、第1領域R1とは異なる流路を構成する第2領域R2とが区画される。
図1および図3に示すように、第1領域R1および第2領域R2には、それぞれ流体が導入される。第2領域R2を通過する流体が流れる方向と、第1領域R1を通過する流体が流れる方向とは、筒状ロータ90の径方向の向きにおいて逆方向であることが好ましい。
第2領域R2においては、内周側流路形成部材4の周囲に位置する筒状ロータ90の筒孔90aを通過して筒孔90aの他端の開口から流出するように、筒状ロータ90の外周側から内周側に向けて流体が、吸着体30に導入される。
一方で、第1領域R1においては、内周側流路形成部材4の内部を通過した流体が筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて吸着体30に導入される。
第2領域R2に導入される流体は、排気ガス等の被処理流体である。当該被処理流体には、被処理物質としての有機溶剤が含まれる。第2領域R2においては、被処理流体の清浄化が行われる。
清浄化に際して、まず、吸着処理装置100の第2領域R2に対して、筒状ロータ90の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。第2領域R2に導入された排気ガスは、径方向に沿って筒状ロータ90を通過する際に、第2領域R2に位置する複数の吸着体30によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。
清浄化された排気ガスは、清浄空気として第2領域R2から筒状ロータ90の筒孔90aに排出される。筒状ロータ90の筒孔90aに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材4の周囲に位置する筒孔90a内を通過して筒孔90aの他端の開口(より特定的には第1板状部材11の開口部11a)から流出する。筒孔90aの他端の開口から流出された清浄空気は、第1流路形成部材2を通って処理室1外に排出される。
第1領域R1に導入される流体は、加熱空気等の加熱流体である。第1領域R1においては、吸着体30に吸着された有機溶剤を脱着することにより、吸着体30の再生を行なうとともに、有機溶剤の濃度が高くなった濃縮流体を生成する。
有機溶剤の脱着を行なうためには、内周側流路形成部材4の他端側から加熱空気を導入する。内周側流路形成部材4の他端側から導入された加熱空気は、内周側流路形成部材4の内部を通って、当該内周側流路形成部材4の一端側から第1領域R1に導入される。
第1領域R1に導入された加熱空気は、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて筒状ロータ90を通過する際に、熱によって第1領域R1に位置する複数の吸着体30からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第1領域R1から外周側流路形成部材5に排出される。外周側流路形成部材5に排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。
以上のように吸着処理装置100を構成し、筒軸Cが水平方向に向くように筒状ロータ90を配置する構成とすることにより、回転軸(筒軸C)が安定し、筒状ロータ90を安定して回転させることができる。
また、筒軸Cが水平方向を向くように筒状ロータ90を配置することにより、筒軸Cが鉛直方向を向く複数の筒状ロータ90を鉛直方向に並べて配置する場合と比較して、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できる。筒軸Cが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ90の高さは、搬送上に支障をきたさない高さに構成されるため、吸着処理装置100を搬送上に支障をきたさない実用的な大きさとすることができる。これにより、安定して吸着処理装置を搬送することができる。
さらに、筒軸Cが水平方向に向くように筒状ロータ90が配置された状態における水平方向の筒状ロータ90の幅を増加するように、筒状ロータ90を設計することにより、吸着体30の設置個数または、吸着体30の体積を増加させることができる。これにより、吸着処理装置100の吸着容量を増加させることもできる。この結果、より多くの流体を処理することができる。
なお、本実施の形態においては、第2領域R2に導入される流体が、有機溶剤を含む排気ガスであり、第1領域R1に導入される流体が、加熱空気である場合を例示して説明したがこれに限定されず、第2領域R2に導入される流体が、有機溶剤を含む排水であってもよく、第1領域R1に導入される流体が、水蒸気であってもよい。このように、液体を流動させる場合には、内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5と、第1領域R1とは液密に連通するように構成される。
また、本実施の形態においては、第2領域R2において、被処理流体を筒状ロータ90の外周側から内周側に向けて吸着体30に導入してもよい。
また、第1領域R1において、内周側流路形成部材4に導入されるように加熱流体を筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて吸着体30に導入してもよい。
さらには、第2領域R2を通過する流体が流れる方向と、第1領域R1を通過する流体が流れる方向とは、筒状ロータ90の径方向の向きにおいて同じ方向となるように、被処理流体を第2領域R2に、加熱流体を第1領域R1に導入してもよい。
(実施の形態2)
図4は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図4を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Aについて説明する。
図4に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置100Aは、実施の形態1に係る吸着処理装置100と比較した場合に、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cが並んで配置されている点において相違する。なお、筒状ロータ90A,90B,90Cを特に区別しない場合は、これらを筒状ロータ90と称する。
複数の筒状ロータ90A,90B,90Cは、筒軸Cが直線状に並ぶように水平方向に並んで配置されている。この状態において、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの各々が有する筒孔90aが連通する。
水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ90A,90B,90Cのうち一方の端に位置する筒状ロータ90Cの筒孔90aは、隣接する筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する円筒ロータがある他端が開口している。筒状ロータ90Cにおける一対の板状部材10のうち一方側に位置する第2板状部材12は、隣接する筒状ロータがない側の筒孔90aの一端側を閉塞する閉塞部13を有し、筒状ロータ90Cにおける一対の板状部材10のうち他方側に位置する第1板状部材11は、隣接する筒状ロータ90Bが位置する側の筒孔90aの他端に連通する開口部11aを有する。
水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ90A,90B,90Cのうち一方の端に位置する筒状ロータ90C以外の複数の筒状ロータ90A,90Bの筒孔90aは、両端が開口している。複数の筒状ロータ90A,90Bが各々有する一対の板状部材10は、水平方向に並ぶ複数の筒孔90aを連通させる開口部11a,12aを有する。
複数の筒状ロータ90A,90B,90Cは、隣り合う筒状ロータ90の筒孔90a同士が気密に維持されるように並んで配置されている。たとえば、複数の一対の板状部材10のうち互いに隣り合う板状部材10の間には、隣り合う筒孔90a同士を気密に維持するためのシール部材8が設けられている。
第1流路形成部材2の一端側は、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cが並ぶ方向において両側に位置する2つの筒状ロータ90A,90Cのうち他方の端位置する筒状ロータ90Aの筒孔90aと第1流路形成部材2の内部とを気密に維持しつつ、筒状ロータ90Aが筒軸C周りに回転することを許容するように構成されている。具体的には、たとえば、第1流路形成部材2の一端側にはフランジ部が設けられており、当該フランジ部と、他方の端に位置する筒状ロータ90Aの開口部11aの周縁に位置する部分の第1板状部材11とによって環状のシール部材を挟持する。第1流路形成部材2の他端側は、処理室1外に引き出されている。
気密に連通する複数の筒孔90aには、内周側流路形成部材4Aが配設されている。複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの外周側には、それぞれ流路形成部材としての外周側流路形成部材5が配設されている。複数の外周側流路形成部材5の各々は、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cのそれぞれに対応して配置されている。複数の外周側流路形成部材5の各々と内周側流路形成部材4Aとは、各筒状ロータ90A,90B,90Cの周方向における一部を挟み込むように、互いに対向して配設されている。
内周側流路形成部材4Aは、気密に連通する複数の円筒90a内を筒軸C方向に沿って延在し、他方側に位置する筒状ロータ90Aの開口部11aから当該筒状ロータ90Aの外側に向けて延出するように設けられている。
内周側流路形成部材4Aの一端側(具体的には複数の筒孔90a内を筒軸C方向に沿って延在する部分の内周側流路形成部材4A)には、複数の筒状ロータ90の内周側に向かい合うように内周側開口端部4aが設けられている。内周側開口端部4aにおける開口面は、複数の筒状ロータ90の内周側の周方向における一部の領域に対して対向するように設けられている。内周側流路形成部材4Aの他端側は、第1流路形成部材2に設けられた開口部2aから第1流路形成部材2の外側に突出している。
複数の外周側流路形成部材5のそれぞれの一端側には、対応する筒状ロータ90の外周側に向かい合う外周側開口端部5aが設けられている。外周側開口端部5aの開口面は、周方向において筒状ロータ90の外周側の一部の領域に対向するように設けられている。当該開口面は、対応する筒状ロータ90の第1板状部材11および第2板状部材12との間にかけて筒軸C方向に筒状ロータ90の外周側に対向するように設けられている。
複数の筒状ロータ90のそれぞれは、内周側流路形成部材4Aおよび外周側流路形成部材5に対して気密に連通する第1領域R1と、内周側流路形成部材4Aおよび外周側流路形成部材5には連通せず、第1領域R1とは、異なる流路を構成する第2領域R2とに区画される。
第1領域R1は、連通する複数の筒孔90a内において複数の筒状ロータ90A,90B,90Cに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材4A、および、内周側流路形成部材4Aに対向するように複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの外周側に配置された外周側流路形成部材5に対して、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの回転に伴って移動する複数の筒状ロータ90A,90B,90Cに含まれる複数の吸着体30の一部が、気密または液密に連通する領域である。より特定的には、第1領域R1は、内周側流路形成部材4A、および、外周側流路形成部材5に対して、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cに含まれる複数の空間部Sの一部が、気密または液密に連通する領域である。
本実施の形態においては、吸着処理装置100Aの第2領域R2に対して、筒状ロータ90の外周側から内周側に向かうように排気ガスを導入する。
すわなち、第2領域R2は、連通する複数の筒孔90aのうち内周側流路形成部材4Aの周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ90A,90B,90Cのうち他方の端に位置する筒状ロータ90Aにおける筒孔90aの、隣接する筒状ロータ90がない側の開口(より特定的には、第1板状部材11の開口部11a)から流出するように、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの外周側から内周側に向けて、流体が吸着体30に導入される領域である。
第2領域R2に導入された排気ガスは、径方向に沿って、筒状ロータ90A,90B,90Cをそれぞれ通過する際に、第2領域R2に位置する複数の吸着体30によって有機溶剤が吸着除去されることにより、清浄化される。
清浄化された排気ガスは、清浄空気として第2領域R2から、各筒状ロータ90A,90B,90Cの筒孔90aに排出される。筒状ロータ90A,90B,90Cの筒孔90aのそれぞれに排出された清浄空気は、内周側流路形成部材4Aの周囲に位置する部分において気密に連通する複数の円筒90a内を通過して上記他方側に位置する筒状ロータ90Aの開口部11aから流出する。
上記他方側に位置する筒状ロータ90Aの開口部11aから流出された清浄空気は、第1流路形成部材2を通って処理室1外に排出される。
一方で、吸着処理装置100Aの第1領域R1は、内周側流路形成部材4Aの内部を通過した加熱空気が、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて、吸着体30に導入される領域である。第1領域R1には、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて加熱空気が導入される。
第1領域R1に導入された加熱空気は、筒状ロータ90の内周側から外周側に向けて筒状ロータ90A,90B,90Cのそれぞれを通過する際に、熱によって第1領域R1に位置する複数の吸着体30からこれらに吸着している有機溶剤を脱着させる。有機溶剤を含んだ加熱空気は、濃縮流体として、第1領域R1から外周側流路形成部材5のそれぞれに排出される。外周側流路形成部材5のそれぞれに排出された濃縮流体は、回収または燃焼等の後処理がなされる後処理装置に導入される。
以上のように本実施の形態に係る吸着処理装置100Aにおいては、筒軸Cが水平方向を向く複数の筒状ロータ90を水平方向に並べて配置することにより、筒軸Cが鉛直方向を向く複数の筒状ロータ90を鉛直方向に並べて配置する場合と比較して、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できる。
筒軸Cが水平方向に配置された状態における鉛直方向の筒状ロータ90の高さは、搬送上に支障をきたさない高さに構成されるため、吸着処理装置100Aを搬送上に支障をきたさない実用的な大きさとすることができる。これにより、安定して搬送することができる。また、鉛直方向における全体的な高さが増加することを抑制できるため、複数の筒状ロータ90がぐらつくことを抑制し、複数の筒状ロータ90を安定して回転させることができる。
加えて、複数の筒状ロータ90を並べた構成とすることにより、実施の形態1に係る吸着処理装置100と比較して、吸着容量および処理量を大幅に増加させることができる。
なお、上述した本実施の形態においては、外周側流路形成部材5が複数設けられている場合を例示して説明したが、これに限定されず、外周側流路形成部材5が単数であってもよい。この場合には、外周側流路形成部材5は、複数の筒状ロータ90が並ぶ方向において一方側から他方側にかけて延在するように設けられる。さらに、この場合には、外周側流路形成部材5の他端側は、複数に分岐されていてもよい。
さらに、上記の場合において、内周側流路形成部材4Aおよび単数の外周側流路形成部材は、実施の形態1に係る内周側流路形成部材4および外周側流路形成部材5とほぼ同様の構成を有している。
内周側流路形成部材4Aは、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの内周側に向かい合う内周側開口端部4aを含み、筒状ロータ90のロータの回転方向の前方側に位置する内周側開口端部4aの回転方向前方側縁部および筒状ロータ90の回転方向の後方側に位置する内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられている。さらに、外周側流路形成部材は、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、筒状ロータ90の回転方向の前方側に位置する外周側開口端部の回転方向前方側縁部および筒状ロータ90の回転方向の後方側に位置する外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けられている。複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの各々において、筒状ロータ90の内周側に位置する部分の仕切体20には、筒孔90aの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ90の径方向内側に向けて仕切体20から突出する内側シール部材が設けられている。また、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの各々において、筒状ロータ90の外周側に位置する部分の仕切体20には、筒孔90aの一端側から他端側にかけて延在し、筒状ロータ90の径方向外側に向けて仕切体20から突出する外側シール部材が設けられている。複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの回転に伴って、内周側湾曲面に対して内側シール部材が摺動し、外周側湾曲面に対して外側シール部材が摺動することにより、複数の空間部Sの一部が内周側流路形成部材4Aおよび外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する。
また、複数の筒状ロータ90の第2領域R2のそれぞれに対して、筒状ロータ90の内周側から外周側に向かうように排気ガスを導入してもよい。この場合には、第2領域R2は、水平方向に並ぶ複数の筒状ロータ90A,90B,90Cのうち他方の端に位置する筒状ロータ90Aにおける筒孔90aの、隣接する筒状ロータ90がない側の開口(より特定的には第1板状部材11の開口部11a)流入し、連通する複数の筒孔90aのうち内周側流路形成部材4Aの周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の筒状ロータ90A,90B,90Cの内周側から外周側に向けて吸着体30に導入される領域となる。
なお、上述した本実施の形態においては、第1領域R1においては、内周側流路形成部材4Aに導入されるように、流体が筒状ロータ90の外周側から内周側に向けて吸着体30に導入されてもよい。
なお、上述した本実施の形態においては、複数の筒状ロータ90の個数が3つである場合を例示して説明したが、これに限定されず、2つであってもよいし、4つ以上であってもよい。
この場合において、複数の筒状ロータ90を並べて配置することにより、複数の筒状ロータ90の一部が、搬送上において規制される幅からはみ出す場合には、複数の筒状ロータ90の一部と、複数の筒状ロータ90の他部とを、別々に搬送し、設置個所において、これらを組み付けることにより、搬送上の問題を解消することができる。
(実施の形態3)
図5は、本実施の形態に係る吸着処理装置の縦断面図である。図5を参照して、本実施の形態に係る吸着処理装置100Bについて説明する。
図5に示すように、本実施の形態に係る吸着処理装置100Bは、実施の形態1に係る吸着処理装置100と比較した場合に、一対の板状部材10間が複数のプレート9によって筒軸C方向に分割されている点、および、これに伴って筒状ロータ90を支持する支持輪7が増加している点において相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
プレート9は、第1板状部材11および第2板状部材12に対応する形状を有する。プレート9は、一対の板状部材10間に配置される。複数のプレート9は、筒軸C方向に空間部Sを分割する。筒軸C方向に分割された空間部Sのそれぞれには、分割された空間部Sのサイズに応じた吸着体30が収容される。
筒状ロータ90は、一対の板状部材10の周端面に当接する複数の支持輪7および複数のプレート9の周端面に当接する複数の支持輪7によって回転可能に支持されている。
以上のように構成する場合であっても、筒軸Cが水平方向を向くように筒状ロータ90が配置される。このため、実施の形態3に係る吸着処理装置100Bにあっても実施の形態1に係る吸着処理装置100とほぼ同様の効果が得られる。
また、複数のプレート9を設け、一対の板状部材10に加えて、これら複数のプレート9を複数の支持輪7にて回転可能に支持することにより、実施の形態1よりも安定して筒状ロータ90を回転させることができる。
なお、本実施の形態においては、複数のプレート9によって一対の板状部材10間が筒軸C方向に分割される場合を例示して説明したがこれに限定されず、単数のプレート9によって一対の板状部材10間が筒軸C方向に分割されてもよい。
なお、上述した実施の形態1から3においては、仕切体20が略三角筒形状を有する場合を例示して説明したが、これに限定されず、一対の板状部材10を支持できるような強度を有し、かつシール部材40を設置可能である限り、その形状は、板状形状等であってもよく、適宜変更することができる。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
1 処理室
2 第1流路形成部材
2a 開口部
3 第2流路形成部材
4,4A 内周側流路形成部材
4a 内周側開口端部
4b,4c 内周側湾曲面
5 外周側流路形成部材
5a 外周側開口端部
5b,5c 外周側湾曲面
6 支持部材
7 支持輪
8 シール部材
10 一対の板状部材
11 第1板状部材
11a 開口部
12 第2板状部材
12a 開口部
20 仕切体
21 本体部
22 設置部
23 内周側設置部
23a 内周側設置面
24 外周側設置部
24a 外周側設置面
30 吸着体
40 シール部材
41 内側シール部材
42 外側シール部材
90,90A,90B,90C 筒状ロータ
90a 筒孔
100,100A,100B 吸着処理装置。

Claims (10)

  1. 複数の吸着体が筒孔を有する筒状に配置され、筒軸周りに回転可能な中空のロータであり、内周が前記筒孔を規定する複数の筒状ロータと、
    互いに区画され、かつ、前記筒状ロータが回転することにより複数の前記吸着体が交互に通過することとなる第1領域および第2領域と、を備え、
    複数の前記筒状ロータは、複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒軸が直線状に並ぶとともに複数の前記筒状ロータの各々が有する前記筒孔が連通するように、水平方向に並んで配置され、
    水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち一方の端に位置する前記筒状ロータの前記筒孔は、隣接する前記筒状ロータがない一端が閉塞し隣接する前記筒状ロータがある他端が開口しており、
    水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち前記一方の端に位置する前記筒状ロータ以外の複数の前記筒状ロータの前記筒孔は、両端が開口しており、
    前記第1領域は、連通する複数の前記筒孔内において複数の前記筒状ロータに跨る部分を含むように設けられた内周側流路形成部材、および、前記内周側流路形成部材に対向するように複数の前記筒状ロータの外周側に配置された外周側流路形成部材に対して、複数の前記筒状ロータの回転に伴って移動する複数の前記筒状ロータに含まれる複数の前記吸着体の一部が、気密または液密に連通する領域であり、
    前記第2領域は、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過して、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおける前記筒孔の隣接する前記筒状ロータがない側の開口から流出するように、複数の前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて、流体が前記吸着体に導入される領域、または、水平方向に並ぶ複数の前記筒状ロータのうち他方の端に位置する前記筒状ロータにおける前記筒孔の隣接する前記筒状ロータがない側の開口から流入し、連通する複数の前記筒孔のうち前記内周側流路形成部材の周囲に位置する部分を通過した流体が、複数の前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて前記吸着体に導入される領域であり、
    前記複数の筒状ロータは相対の一対の板状部材を含み、前記一対の板状部材の間がプレートによって筒軸方向に分割されている、吸着処理装置。
  2. 前記外周側流路形成部材は、複数の流路形成部材を含み、
    前記複数の流路形成部材の各々は、複数の前記筒状ロータのそれぞれに対応して配置されている、請求項に記載の吸着処理装置。
  3. 前記第1領域は、前記内周側流路形成部材の内部を通過した流体が、前記筒状ロータの内周側から外周側に向けて、前記吸着体に導入される領域、または、前記内周側流路形成部材に導入されるように、流体が前記筒状ロータの外周側から内周側に向けて前記吸着体に導入される領域である、請求項1または2に記載の吸着処理装置。
  4. 複数の前記筒状ロータの各々は、互いに隣り合う前記吸着体の間にそれぞれが配置される複数の仕切体をさらに含み、
    前記複数の仕切体によって複数の前記吸着体の各々が配置される複数の空間部が形成され、
    前記内周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの内周側に向かい合う内周側開口端部を含み、
    前記筒状ロータの回転方向の前方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記内周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する内周側湾曲面が設けられ、
    前記外周側流路形成部材は、複数の前記筒状ロータの外周側に向かい合う外周側開口端部を含み、
    前記筒状ロータの前記回転方向の前方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向前方側縁部および前記筒状ロータの前記回転方向の後方側に位置する前記外周側開口端部の回転方向後方側縁部のそれぞれには、前記回転方向に沿って湾曲する外周側湾曲面が設けら
    れ、
    複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの内周側に位置する部分の前記
    仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記筒状ロータの径方向内側に向けて前記仕切体から突出する内側シール部材が設けられ、
    複数の前記筒状ロータの各々において、前記筒状ロータの外周側に位置する部分の前記仕切体には、前記筒孔の一端側から他端側にかけて延在し、前記径方向外側に向けて前記仕切体から突出する外側シール部材が設けられ、
    複数の前記筒状ロータの回転に伴って、前記内周側湾曲面に対して前記内側シール部材が摺動し、前記外周側湾曲面に対して前記外側シール部材が摺動することにより、複数の
    前記空間部の一部が前記内周側流路形成部材および前記外周側流路形成部材に対して気密または液密に連通する、請求項1から3のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
  5. 前記第1領域に導入される流体は、加熱流体であり、
    前記第2領域に導入される流体は、被処理物質が含まれる被処理流体であり、
    前記第2領域に前記被処理流体が導入されることにより、前記被処理物質が前記第2領域に位置する前記吸着体によって前記被処理流体から吸着除去され、
    前記第1領域に加熱流体が導入されることにより、前記吸着体に吸着された前記被処理物質が前記第1領域に位置する前記吸着体から脱着される、請求項1からのいずれか1項に記載の吸着処理装置。
  6. 前記第2領域を通過する前記被処理流体が流れる方向と、前記第1領域を通過する前記加熱流体が流れる方向とが、前記筒状ロータの径方向の向きにおいて逆方向である、請求項に記載の吸着処理装置。
  7. 前記被処理流体は、前記筒状ロータの外周側から内周側に導入される、請求項5または6に記載の吸着処理装置。
  8. 前記被処理流体は、排気ガスであり、
    前記加熱流体は、加熱空気である、請求項5から7のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
  9. 前記被処理物質は有機溶剤である、請求項5から8のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
  10. 前記吸着体は、ハニカム構造を有する、請求項5から9のいずれか1項に記載の吸着処理装置。
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