具体实施方式
以下,关于本发明的实施方式,参照附图详细说明。此外,以下的实施方式中,对于同样或共通的部分,在附图中用同一符号表示,不再重复其说明。此外,以下存在多个实施方式时,除非有特别记载,适当组合各个实施方式的特征部分是包含在发明内容中的。
(实施方式1)
图1为本实施方式涉及的吸附处理装置的纵向截面图。图2为沿着图1所示的II-II线的截面图。图3是图1所示的筒状转子的主要部分的放大截面图。参照图1至图3,说明本实施方式涉及的吸附处理装置100。
如图1所示,本实施方式涉及的吸附处理装置100中,将向处理室1内供给的大风量的被处理流体F1所含的被处理物质,用后述的吸附体30吸附除去,排出洁净化的洁净流体F2。此外,吸附装置100中,通过向含有被吸附除去的被处理物质的吸附体30吹附加热流体F3,从该吸附体30使被处理物质脱附,作为浓缩流体F4排出。
被处理物质的吸附处理在后述的第2区域R2(参考图2)中进行。被处理物质的脱附处理在后述的第1区域R1(参考图2)中进行。筒状转子90通过围绕筒轴C旋转,对通过第1区域R1、位于第2区域R2的吸附体30进行吸附处理,吸附处理后对通过第2区域R2、位于第1区域R1的吸附体30进行脱附处理。如此,在吸附处理装置100中,连续实施吸附处理和脱附处理。
如图1至图3所示,吸附处理装置100具备筒状转子90、第1流路形成部件2、内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5。
筒状转子90设置在处理室1内。筒状转子90是中空的转子,例如,具有大致圆筒状的形状。此外,筒状转子90的形状并不限于圆筒形,可以是方筒形等的棱柱筒形,也可以是椭圆筒形。
圆筒状转子90具有一端闭塞,另一端开口的筒孔90a。筒孔90a被筒状转子90的内周所界定。筒状转子90被设置为流体可在径向流动。筒状转子90被设置为可绕着筒轴C旋转。使筒轴C方向朝向水平方向配置筒状转子90。此外,在筒轴C配置为水平方向的状态下的铅直方向的筒状转子90的高度为,运送上不会出现障碍的高度。另外,在筒轴C配置为水平方向的状态下的水平方向的筒状转子的宽度也是运送上不会出现障碍的宽度。
圆筒状转子90被与一对板状部件10的圆周端面对接的多个支持轮7可旋转地支持着。多个支持轮7设置在支持部件6上。作为支持轮7,可举出一侧设有法兰部的车轮、两侧都设有法兰部的车轮等。将水平方向作为轴向,通过驱动支持轮7绕轴旋转,可让圆筒状转子90绕筒轴C旋转。支持轮7的旋转通过电机等驱动装置(未图示)和传动轴以及齿轮等传动装置(未图示)进行。
另外,也可以不旋转支持轮7,使缠绕筒状转子90的带子或链条等(未图示)通过电机等驱动装置(未图示)和传动轴以及齿轮等传动装置(未图示)旋转,由此使筒状转子90旋转。
筒状转子90通过多个吸附体30被配置成具有筒孔90a的筒状而构成。多个吸附体30被配置为例如圆筒状。多个吸附体30以指定的间隔在圆周方向上并列。多个吸附体30分别相互独立地被收容在后述的多个空间部S中。多个吸附体30被构成为可更换。多个吸附体30例如具有块状形状。
吸附体30由含有活性氧化铝、二氧化硅胶体、活性炭、沸石的任一种的吸附材构成。较合适的是,吸附体30可使用粒状、粉体状、蜂窝状等的活性炭或沸石。活性炭或沸石善于吸附以及脱附低浓度的有机化合物。此外,通过用蜂窝状,可降低流体的压力损失,增大处理能力。进一步地,可抑制垃圾等固体物导致的孔堵塞。
筒状转子90包括一对的板状部件10以及多个分隔体20。一对的板状部件10被配置为相互面对。一对的板状部件10包括第1板状部件11和第2板状部件12。第1板状部件11以及第2板状部件12对应筒状转子90的形状,具有大致的圆形形状。另外,第1板状部件11和第2板状部件12的形状不限于大致圆形,也可以是方形等的多边形、椭圆等的椭圆形状。
第2板状部件12位于筒状转子90的一侧。第2板状部件12具有闭塞部13。第2板状部件12封闭筒孔90a的一端侧。闭塞部13,例如,为第2板状部件12的一部分,为第2板状部件12的中央部。另外,闭塞部13如上所述,只要是能封闭筒孔90a的一端侧,可以是由与第2板状部件12不同的部件构成。例如,第2板状部件12具有与筒孔90a连通的开口部,闭塞部13可以是封闭第2板状部件12的开口部的闭塞部件。
第1板状部件11位于筒状转子90的另一侧。第1板状部件11具有开口部11a。开口部11a与筒孔90a的另一端侧连通。开口部11a设置在第1板状部件11的中央部。
第1板状部件11和第2板状部件12被设置为隔开距离,使它们之间可配置分隔体20和吸附体30。
多个分隔体20各自配置在相互邻接的吸附体30之间。通过多个分隔体20形成分别配置各多个吸附体30的多个空间部S。具体地,多个分隔体20,将一对的板状部件10之间的空间在周向上分隔为相互独立的多个空间部S(参照图3)。多个分隔体20被配置为使它们的中心O(参照图3)以指定间距在周向上并列。多个分隔体20被安装在一对的板状部件10之间,在筒轴C方向上为气密和/或液密。
第1流路形成部件2的一端侧被构成为:第1流路形成部件2的内部和筒状转子90的筒孔90a保持气密,同时允许筒状转子90绕着筒轴C旋转。具体地,例如,第1流路形成部件2的一端侧上设有法兰部,通过该法兰部和位于开口部11a的边缘部分的第1板状部件11,夹持环状的密封部件。第1流路形成部件2的另一端侧被引出处理室1外。
筒状转子90的内周侧上设置的筒孔90a上设置有内周侧流路形成部件4。筒状转子90的外周侧上设有外周侧流路形成部件5。内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5以夹住在圆周方向上的筒状转子90的一部分的方式,在筒状转子90的内周侧以及外周侧上相互相对配置。
内周侧流路形成部件4被设置为在筒孔90a的内部沿着筒轴C方向延伸。内周侧主流路形成部件4被设置为:从筒孔90a的另一端的开口(更特定地,第1板状部件11的开口部11a)向外部延出。
在内周侧流路形成部件4的一端侧上,设有与筒状转子90的内周侧相对的内周侧开口端部4a。内周侧开口端部4a上的开口面设置为在圆周方向上与筒状转子90的内周侧的一部分区域相对。此外,该开口面被设置为横跨内周侧流路形成部件4的第1板状部件11以及第2板状部件12之间,在筒轴C方向上与筒状转子90的内周侧相对。内周侧流路形成部件4的另一端侧,从被设在第1流路形成部件2上的开口部2a向第1流路形成部件2的外侧突出。
外周侧流路形成部件5的一端侧上,设有与筒状转子90的外周侧相对的外周侧开口端部5a。外周侧开口端部5a的开口面被设置为在圆周方向上与筒状转子的外周侧的一部分区域相对。该开口面被设置为横跨第1板状部件11以及第2板状部件12之间,在筒状C方向上与筒状转子90的外周侧相对。
如图2所示,吸附处理装置100具备在圆周方向上被划分出的第1区域R1(见图2)以及第2区域R2(见图2)。多个吸附体30通过筒状转子90绕筒轴C旋转,在第1区域R1以及第2区域R2交替地移动。
如图3所示,第1区域R1是多个吸附体30的一部分气密或液密地连通于内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5的区域,所述多个吸附体30伴随着筒状转子90的旋转而移动。更特定地,第1区域R1是伴随着筒状转子90的旋转而移动的多个空间部S的一部分气密地连通于内周侧流路形成部件4和外周侧流路形成部件5的区域。
此外,第1区域R1是流体被导入吸附体30的区域。如后所述,第1区域R1是流通过内周侧流路形成部件4的内部的流体,从筒状转子90的内周朝向外周侧被导入吸附体30的区域。
此外,流体的流动也可以是逆向的,第1区域R1也可以是流体从筒状转子90的外周侧朝向内周侧被导入吸附体30,以便导入内周侧流路形成部件4的区域。
第2区域R2如后所述,流体通过位于内周侧流路形成部件4周围的筒孔90a,以从筒孔90a的另一端的开口流出的方式,从筒状转子90的外周侧朝向内周侧被导入吸附体30的区域。
此外,第2区域也可以是,流体从筒孔90a的另一端的开口流入、流通过位于内周侧流路形成部件4周围的筒孔90a,从筒状转子90的内周侧朝向外周侧被导入吸附体30的区域。
筒状转子90包含分别设置在多个分隔体20上的密封部件40。多个分隔体20分别包括,本体部21以及用于设置密封部件40的设置部22。本体部21,例如,具有三角筒形状。设置部22有内周侧设置部23以及外周侧设置部24。
内周侧设置部23具有板状形状。内周侧设置部23被设置为在筒轴C方向上延伸。内周侧设置部23被设置为从位于筒状转子90内周侧的本体部21的顶边部,朝向筒状转子90的径向内侧突出。内周侧设置部23可与本体部21构成为一体,也可以构成为本体部21之外的部件。内周侧设置部23具有用于设置后述的内侧密封部件41的内周侧设置面23a。内周侧设置面23a与筒状转子90的旋转方向相交。
外周侧设置部24具有板状形状。外周侧设置部24被设置为在筒轴C方向上延伸。外周侧设置部24被设置为从位于筒状转子90外周侧的本体部21的侧面,朝向筒状转子90的径向外侧突出。外周侧设置部24可与本体部21构成为一体,也可以构成为本体部21之外的部件。此外,外周侧设置部24被构成为本体部21之外的部件时,外周侧设置部24,例如,具有L字形状等的、可安装在本体部21上的形状。外周侧设置部24具有用于设置后述的外侧密封部件42的外周侧设置面24a。外周侧设置面24a与筒状转子90的旋转方向相交。
密封部件40例如由具有弹性的橡胶部件构成。密封部件40包括位于筒状转子90内周侧的内侧密封部件41和位于筒状转子90外周侧的外侧密封部件42。
内侧密封部件41被设置在分隔体20所具有的设置面中位于筒状转子90内周侧的内周侧设置面23a上。内侧密封41从筒孔90a的一端侧向另一端侧延伸。更特定地,内侧密封部件41横跨一对板状部件10之间,从一方的板状部件(第2板状部件12)向另一方的板状部件(第1板状部件11)延伸。内侧密封部件41朝向筒状转子90的径向内侧从分隔体20突出。
外侧密封部件42被设置在分隔体20所具有的设置面中位于筒状转子90外周侧的外周侧设置面24a上。外侧密封部件42从筒孔90a的一端侧向另一端侧延伸。更特定地,外侧密封部件42横跨一对板状部件10之间,从一方的板状部件(第2板状部件12)向另一方的板状部件(第1板状部件11)延伸。外侧密封部件42朝向筒状转子90的径向外侧从分隔体20突出。
内周侧流路形成部件4上,分别在位于筒状转子90的旋转方向前方侧的内周侧开口端部4a的旋转方向前方侧边缘部以及位于筒状转子90的旋转方向后方侧的内周侧开口端部4a的旋转方向后方侧边缘部,设有沿着旋转方向弯曲的内周侧弯曲面4b、4c。
外周侧流路形成部件5上,分别在位于筒状转子90的旋转方向前方侧的外周侧开口端部5a的旋转方向前方侧边缘部以及位于筒状转子90的旋转方向后方侧的外周侧开口端部5a的旋转方向后方侧边缘部,设有沿着旋转方向弯曲的外周侧弯曲面5b、5c。
伴随着筒状转子90的旋转,内侧密封部件41相对于内周侧弯曲面4b、4c滑动,外侧密封部件42相对于外周侧弯曲面5b、5c滑动,据此,多个空间部S的一部分与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通。
具体地,在位于内周侧弯曲面4b以及外周侧弯曲面5b之间的分隔体20和位于内周侧弯曲面4c以及外周侧弯曲面5c之间的分隔体20之间,位于此分隔体之间的空间部S与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通。
如此,吸附处理装置100中,被划分出与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5气密地连通的第1区域R1,和与内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5不连通、与第1区域R1构成不同流路的第2区域R2。
如图1和图3所示,向第1区域R1以及第2区域R2分别导入流体。优选通过第2区域R2的流体流动的方向与通过第1区域R1的流体流动的方向,在筒状转子90的径向方向上是相反方向。
第2区域R2中,以通过位于内周侧流路形成部件4周围的筒状转子90的筒孔90a,从筒孔90a的另一端开口流出的方式,流体被从筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入吸附体30。
另一方面,第1区域R1中,通过内周侧流路形成部件4内部的流体被从筒状转子90的内周侧向外周侧导入吸附体30。
导入第2区域R2的流体是废气等被处理流体。该被处理流体中,作为被处理物质含有有机溶剂。在第2区域R2中,进行被处理流体的洁净化。
洁净化时,首先,对于吸附处理装置100的第2区域R2,从筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入废气。导入第2区域R2的废气沿着径向通过筒状转子90时,通过位于第2区域R2的多个吸附体30吸附除去有机溶剂,据此洁净化。
洁净化后的废气作为洁净空气,从第2区域R2被排出至筒状转子90的筒孔90a。被排出至筒状转子90的筒孔90a的洁净空气,通过位于内周侧流路形成部件4周围的筒孔90a的内部,从筒孔90a的另一端的开口(更特定地,第1板状部件11的开口部11a)流出。即,从筒孔90a的另一端开口流出的洁净空气,通过第1流路形成部件2被排出至处理室1外。
导入第1区域R1的流体是加热空气等加热流体。第1区域R1中,通过让被吸附体30吸附的有机溶剂脱附,进行吸附体30的再生,与此同时,产生有机溶剂的浓度增高的浓缩流体。
为了进行有机溶剂的脱附,从内周侧流路形成部件4的另一端侧导入加热空气。从内周侧流路形成部件4的另一端侧导入的加热空气,从内周侧流路形成部件4的内部通过,从该内周侧流路形成部件4的一端侧被导入第1区域R1。
导入第1区域R1的加热空气,从筒状转子90的内周侧朝向外周侧通过筒状转子90时,利用热量从位于第1区域R1的多个吸附体30使其吸附的有机溶剂脱附。含有有机溶剂的加热空气作为浓缩流体,从第1区域R1排出至外周侧流路形成部件5。排出至外周侧流路形成部件5的浓缩流体,被导入进行回收或燃烧等后处理的后处理装置。
如上那样构成吸附处理装置100,使筒轴C朝向水平方向,配置筒状转子90,通过该结构,旋转轴(筒轴C)稳定,筒状转子90可稳定旋转。
此外,通过让筒轴C朝向水平方向,配置筒状转子90,与将筒轴C朝向铅直方向的多个筒状转子90沿着铅直方向并列配置的情况相比,可抑制铅直方向上的整体高度增加。筒轴C配置在水平方向上的状态下的铅直方向的筒状转子90的高度,被构成为运送上不会带来障碍的高度,因而可以使吸附处理装置100为在运送上不会出现障碍的实用的大小。由此,可以稳定地运送吸附处理装置。
进一步地,通过设计筒状转子90,使筒轴C朝向水平方向,配置筒状转子90的状态下的水平方向的筒状转子90的宽度增加,可使吸附体30的设置个数或吸附体30的体积增加。由此,可使吸附处理装置100的吸附容量增加。其结果是,可处理更多的流体。
此外,本实施方式中,示例说明了导入第2区域R2的流体是含有有机溶剂的废气,导入第1区域R1的流体是加热空气的情况,但并不限于此,导入第2区域R2的流体也可以是含有有机溶剂的废水,导入第1区域R1的流体也可以是水蒸气。如此,让液体流动时,内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5与第1区域R1构成为液密连通。
此外,本实施方式中,第2区域R2中,也可以将被处理流体从筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入吸附体30。
此外,第1区域R1中,也可以将加热流体从筒状转子90的内周侧朝向外周侧导入吸附体30,从而导入内周侧流路形成部件4。
进一步地,也可以让通过第2区域R2的流体流动的方向和通过第1区域R1的流体流动的方向,在筒状转子90的径向方向上为相同方向,将被处理流体导入第2区域R2,加热流体导入第1区域R1。
(实施方式2)
图4是本实施方式涉及的吸附处理装置的纵向截面图。参照图4,对本实施方式涉及的吸附处理装置100A进行说明。
如图4所示,本实施方式中设计的吸附处理装置100A,与实施方式1设计的吸附处理装置100相比时,不同的点是多个筒状转子90A,90B,90C并列配置。另外,不特别区分筒状转子90A,90B,90C时,将它们称为筒状转子90。
多个筒状转子90A,90B,90C别配置为在水平方向上并列,使筒轴C呈直线状并列。该状态下,多个筒状转子90A,90B,90C分别具有的筒孔90a是相互连通的。
水平方向上并列的多个筒状转子90A,90B,90C中,位于一端的筒状转子90C的筒孔90a,在不存在邻接筒状转子的一端闭塞,在存在邻接筒状转子的另一端开口。筒状转子90C中的一对的板状部件10中的位于一侧的第2板状部件12,具有封闭筒孔90a的不存在邻接筒状转子的一端侧的闭塞部13,筒状转子90C中的一对板状部件10中,位于另一侧的第1板状部件11,具有与筒孔90a的邻接筒状转子90B所处一侧的该筒孔90a的另一端连通的开口部11a。
在水平方向上并列的多个筒状转子90A,90B,90C中,位于一端的筒状转子90C以外的多个筒状转子90A,90B的筒孔90a呈两端开口。多个筒状转子90A,90B分别所具有的一对板状部件10,具有使在水平方向上并列的多个筒孔90a连通的开口部11a、12a。
多个筒状转子90A,90B,90C并列配置,使相邻的筒状转子90的筒孔90a之间维持气密。例如,多个一对的板状部件10中,相互相邻的板状部件10之间,设有使相邻的筒孔90a之间维持气密的密封部件8。
第1流路形成部件2的一端侧被构成为:在多个筒状转子90A,90B,90C并列的方向上,位于两侧的2个筒状转子90A,90C中,位于另一侧的筒状转子90A的筒孔90a和第1流路形成部件2的内部保持气密,同时允许筒状转子90A绕筒轴C旋转。具体地例如,第1流路形成部件2的一端侧设有法兰部,通过该法兰部和位于另一端的筒状转子90A的开口部11a的边缘部分的第1板状部件11,夹持环状的密封部件。第1流路形成部件2的另一端侧被引出至处理室1外。
气密地相连通的多个筒孔90a中,设置有内周侧流路形成部件4A。多个筒状转子90A,90B,90C的外周侧上,分别设置有作为流路形成部件的外周侧流路形成部件5。各多个外周侧流路形成部件5分别与多个筒状转子90A,90B,90C对应设置。多个外周侧流路形成部件5分别和内周侧流路形成部件4A以将各筒状转子90A,90B,90C的周向上的一部分夹入的方式设置为相互面对。
内周侧流路形成部件4A被设置为,在气密地相连通的多个圆筒90a内沿着筒轴C方向延伸,从位于另一侧的筒状转子90A的开口部11a向着该筒状转子90A的外侧延伸。
内周侧流路形成部件4A的一端侧(具体地,在多个筒孔90a内沿筒轴C方向延伸的部分的内周侧流路形成部件4A)上,与多个筒状转子90的内周侧相对地设置有内周侧开口端部4a。内周侧开口端部4a上的开口面被设置为,与多个筒状转子90的内周侧的周向上的一部分的区域相对。内周侧流路形成部件4A的另一端侧,从在第1流路形成部件2上设置的开口部2a向第1流路形成部件2的外侧突出。
多个外周侧流路形成部件5的各自的一端侧上设有与对应的筒状转子90a的外周侧相对的外周侧开口端部5a。外周侧开口端部5a的开口面被设置为,在周向上与筒状转子90的外周侧的一部分的区域相对。该开口面被设置为,横跨对应的筒状转子90的第1板状部件11和第2板状部件12之间,在筒轴C方向上与筒状转子90的外周侧相对。
多个筒状转子90分别被划分为:与内周侧流路形成部件4A和外周侧流路形成部件5气密地连通的第1区域R1,和不与内周侧流路形成部件4A和外周侧流路形成部件5连通,与第1区域R1构成不同流路的第2区域R2。
第1区域R1是,多个筒状转子90A,90B,90C中含有的多个吸附体30的一部分气密或液密地连通于相连通的多个筒孔90a中横跨多个筒状转子90A,90B,90C的部分而设的内周侧流路形成部件4A以及与内周侧流路形成部件4A相对、配置于多个筒状转子90A,90B,90C的外周侧的外周侧流路形成部件5的区域,所述多个吸附体30伴随着多个筒状转子90A,90B,90C的旋转而移动。更特定地,第1区域R1是多个筒状转子90A,90B,90C所含的多个空间部S的一部分气密或液密地连通于内周侧流路形成部件4A和外周侧流路形成部件5的区域。
本实施方式中,相对于吸附处理装置100A的第2区域R2,从筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入废气气体。
即,第2区域R2是:流体从多个筒状转子90A,90B,90C的外周侧朝向内周侧被导入吸附体30的区域,该流体在相连通的多个筒孔90a中,通过位于内周侧流路形成部件4A的周围的部分,从在水平方向并列的多个筒状转子90A,90B,90C中位于另一端的筒状转子90A中的筒孔90a的、不存在邻接筒状转子90一侧的开口(更特定地,第1板状部件11的开口部11a)流出。
在导入第2区域R2的废气气体沿着径向分别通过筒状转子90A,90B,90C时,通过位于第2区域R2的多个吸附体30将有机溶剂吸附除去,从而洁净化。
洁净化的废气气体,作为洁净空气从第2区域R2,从各筒状转子90A,90B,90C的筒孔90a排出。分别从筒状转子90A,90B,90C的筒孔90a排出的洁净空气,从位于内周侧流路形成部件4A的周围的部分中,气密连通的多个圆筒90a内通过,从位于上述另一侧的筒状转子90A的开口部11a流出。
从位于上述另一侧的筒状转子90A的开口部11a流出的洁净空气,通过第1流路形成部件2排出处理室1外。
另一方面,吸附处理装置100A的第1区域R1是:通过内周侧流路形成部件4A的内部的加热空气,从筒状转子90的内周侧朝向外周侧,被导入吸附体30的区域。第1区域R1中,从筒状转子90的内周侧朝向外周侧导入加热空气。
导入第1区域R1的加热空气,从筒状转子90的内周侧朝向外周侧,分别通过各筒状转子90A,90B,90C时,经由热量从位于第1区域R1的多个吸附体30上,使其吸附的有机溶剂脱附。含有有机溶剂的加热空气作为浓缩流体,从第1区域R1排出至各外周侧流路形成部件5。排出至各外周侧流路形成部件5的浓缩流体,被导入进行回收或者燃烧等后处理的后处理装置。
如上,本实施方式涉及的吸附处理装置100A中,通过筒轴C朝向水平方向的多个筒状转子90并列配置在水平方向,与筒轴C朝向铅直方向的多个筒状转子90在铅直方向上并排配置的情况相比,可抑制铅直方向上的整体高度增加。
筒轴C配置在水平方向的状态下的铅直方向的筒状转子90的高度,被构成为运送上不会出现障碍的高度,因而可使吸附处理装置100A为运送上不会出现障碍的实用的大小。由此,可稳定运送。另外,可抑制铅直方向上的整体高度增加,因而可抑制多个筒状转子90的摇晃,让多个筒状转子90稳定旋转。
此外,通过做成将多个筒状转子90并列的结构,与实施方式1涉及的吸附处理装置100相比,吸附容量和处理量可大幅增加。
此外,上述的本实施方式中,示例说明了设有多个外周侧流路形成部件5的情况,但并不限于此。外周侧流路形成部件5可以是单个。此时,外周侧流路形成部件5被设为,在多个筒状转子90并列的方向上从一侧向另一侧延伸。此时,外周侧流路形成部件5的另一端侧上可以分支为多个。
进一步地,上述情况下,内周侧流路形成部件4A以及单个外周侧流路形成部件,具有与实施方式1涉及的内周侧流路形成部件4以及外周侧流路形成部件5基本相同的结构。
内周侧流路形成部件4A含有与多个筒状转子90A,90B,90C的内周侧相对的内周侧开口端部4a,分别在位于筒状转子90的转子旋转方向前方侧的内周侧开口端部4a的旋转方向前方侧边缘部以及位于筒状转子90的旋转方向后方侧的内周侧开口端部的旋转方向后方侧边缘部上,设有沿着所述旋转方向弯曲的内周侧弯曲面。进一步地,外周侧流路形成部件含有与多个筒状转子90A,90B,90C的外周侧相对的外周侧开口端部,分别在位于筒状转子90的旋转方向前方侧的外周侧开口端部的旋转方向前方侧边缘部以及位于筒状转子90的旋转方向后方侧的外周侧开口端部的旋转方向后方侧边缘部上,设有沿着旋转方向弯曲的外周侧弯曲面。在各多个筒状转子90A、90B、90C中,位于筒状转子90内周侧的部分的分隔体20上分别设有,从筒孔90a的一端侧向另一端侧延伸,朝向筒状转子90的径向内侧、从分隔体20突出的内侧密封部件。此外,在各多个筒状转子90A,90B,90C中,位于筒状转子90的外周侧部分的分隔体20上分别设有,从筒孔90a的一端侧向另一端侧延伸,朝向筒状转子90的径向外侧、从分隔体20突出的外侧密封部件。伴随着多个筒状转子90A、90B、90C的旋转,内侧密封部件相对于内周侧弯曲面滑动,外侧密封部件相对于外周侧弯曲面滑动,据此,多个空间部S的一部分与内周侧流路形成部件4A以及外周侧流路形成部件气密或液密地连通。
此外,对于多个筒状转子90的各第2区域R2,可从筒状转子90的内周侧朝向外周侧导入废气。此时,第2区域R2为以下的区域:流体从水平方向并列的多个筒状转子90A,90B,90C中,位于另一端的筒状转子90A中的筒孔90a的、不存在邻接筒状转子90的一侧的开口(更特定地,第1板状部件11的开口部11a)流入,通过相连通的多个筒孔90a中位于内周侧流路形成部件4A周围的部分的流体,从多个筒状转子90A,90B,90C的内周侧朝向外周侧导入吸附体30。
另外,上述的本实施方式中,第1区域R1中,流体可从筒状转子90的外周侧朝向内周侧导入吸附体30,从而导入内周侧流路形成部件4A。
另外,上述的本实施方式中,示例说明了多个筒状转子90的个数为3个的情况,但不限于此,也可以是2个,还可以是4个以上。
该情况下,通过多个筒状转子90并列配置,多个筒状转子90的一部分超出在运送上被限制的宽度时,可分别运送多个筒状转子90的一部分和多个筒状转子90的其他部分,在设置场所组装它们,由此,可以解决运送的问题。
(实施方式3)
图5是本实施方式涉及的吸附处理装置的纵向截面图。参照图5,说明本实施方式涉及的吸附处理装置100B。
如图5所示,本实施方式涉及的吸附处理装置100B,与实施方式1涉及的吸附处理装置100相比时,有以下不同点:一对板状部件10之间被多个盘9在筒轴C方向上分隔,以及与此同时,增加支持筒状转子90的支持轮7。关于其他结构,基本是相同的。
盘9具有与第1板状部件11和第2板状部件12对应的形状。盘9配置在一对板状部件10之间。多个盘9在筒轴C方向上分隔出空间部S。在筒轴C方向上分割出的空间部S中分别收容着与被分割的空间部S的尺寸相符的吸附体30。
筒状转子90被与一对板状部件10的外围端面相接的多个支持轮7以及与多个盘9的外围端面相接的多个支持轮7可旋转地支持。
即便是如上构成,也可使筒轴C朝向水平方向地配置筒状转子90。因此,即便是实施方式3涉及的吸附处理装置100B,也能获得与实施方式1涉及的吸附处理装置100几乎同样的效果。
此外,设有多个盘9,再加上一对板状部件10,将这些多个盘9用多个支持轮7可旋转地支持,据此,可比实施方式1更稳定地旋转筒状转子90。
此外,本实施方式中,示例说明了通过多个盘9在筒轴C方向上将一对板状部件10之间分隔的情况,但并不限于此,也可以通过单个盘9将一对板状部件10间在筒轴C方向上分割。
此外,上述的实施方式1到3中,示例说明了分隔体20具有大致三角筒形状的情况,但不限于此,只要具有可支持一对板状部件10的强度,且可设置密封部件40,其形状也可以是板状形状等,可以适当变化。
以上,说明了本发明的实施方式。本次公开的实施方式中,全部的点都是示例而非限制性。本发明的范围由专利权利要求所示,包含与专利权利要求同等的意思以及范围内的全部变更。