JPH10146514A - 排ガス処理装置 - Google Patents

排ガス処理装置

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JPH10146514A
JPH10146514A JP8309599A JP30959996A JPH10146514A JP H10146514 A JPH10146514 A JP H10146514A JP 8309599 A JP8309599 A JP 8309599A JP 30959996 A JP30959996 A JP 30959996A JP H10146514 A JPH10146514 A JP H10146514A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 排ガス中の有害物質の除去効率及び除去され
た有害物質の濃縮効率を向上させる。 【解決手段】 回転ロータ式吸着濃縮装置の浄化領域
7、再生領域8及び冷却領域9のガス流入方向を何れも
同じとし、各領域のガス入口に圧力を調整する入口圧力
調整バルブ33と、ガス分配区画10内に各領域の開口
面積比を調整する仕切板23、仕切板24、仕切板25
を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、排ガス中の有害物
質を連続して吸着除去する排ガス処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】排ガス中に含まれる有害物質を無害化処
理する場合、排ガス量が多く有害物質の濃度が低い条件
下では排ガスと有害物質を同一工程で処理するよりも、
排ガスから有害物質を分離、濃縮し少量の高濃度ガスと
して処理する方が処理装置の小型化、運転費、保守費の
低減の点で有利となる。排ガスから有害物質を分離、濃
縮するために回転するロータ型の吸着材を用いたものは
回転ロータ式吸着濃縮装置と呼ばれている。その典型的
な従来の回転ロータ式吸着濃縮装置の構成を次に示す。
【0003】図5は従来の回転ロータ式吸着濃縮装置の
構成を示す斜視図である。
【0004】本図に示すように回転ロータ式吸着濃縮装
置はロータ2をタイミングベルト3とモータ4で回転中
心軸5の回りに回転させるロータ駆動装置6、ロータ2
の内部を浄化領域7、再生領域8及び冷却領域9に分け
るガス分配区画10及びガス分配区画11、浄化領域7
に有害物質を含む被処理ガス12を流通させる被処理ガ
ス吸引ファン13、再生領域8に再生ガス14を流通さ
せる再生ガス吸引ファン15、外気を175℃まで加熱
し再生ガス14とするガス加熱装置16、冷却領域9に
冷却ガス17を流通させる冷却ガス吸引ファン18及び
被処理ガス12から吸着、再生及び濃縮した濃縮ガス3
1中の有害物質を焼却する触媒燃焼装置19から構成さ
れる。
【0005】図6は従来の回転ロータ式吸着濃縮装置の
ロータ構成を示す斜視図である。本図に示すようにロー
タ2は金属製円筒20にハニカム形吸着材1を充填し、
回転中心軸5を貫通するシャフト21でロータ2を支持
して回転中心軸5の回りに回転可能な構造としている。
【0006】図7は従来の回転ロータ式吸着濃縮装置の
ガス分配区画の構成を示す斜視図である。
【0007】本図に示すようにガス分配区画10はガス
分配区画11と面対称構造である。ガス分配区画10は
直方体の中空の箱でロータ2と対向する面はロータ2と
径が同じ円形穴22が切り抜いてある。ガス分配区画1
0の中に円形穴22の開口面に対し垂直に仕切板23、
仕切板24及び仕切板25を配置しガス分配区画10内
を浄化領域7、再生領域8及び冷却領域9の三つの領域
に分割する。仕切板23、仕切板24及び仕切板25が
ロータ2と当接する部分と円形穴22の周囲にシール材
26を貼り付け、分割した三つの領域の間、外気とガス
分配区画10、ロータ2の内部の間の気密を保持する。
円形穴22がある面と反対側の面には分割した三つの領
域にそれぞれ異なる種類のガスを流通させる接続口27
が配置されている。
【0008】図8は従来の回転ロータ式吸着濃縮装置内
のガス流通状態を示す説明図である。 有害物質を含む
常温の被処理ガス12を回転中心軸5に対し平行に浄化
領域7へ供給すると被処理ガス12中の有害物質はハニ
カム形吸着材1に吸着されて被処理ガス12は浄化ガス
30となる。浄化ガス30はガス分配区画11を経て被
処理ガス吸引ファン13により大気へ放出される。ハニ
カム形吸着材1は浄化領域7内で有害物質を吸着し次第
に吸着能力は低下するが、ロータ2は回転しているので
再生領域8へ移動する。
【0009】ガス加熱装置16により175℃まで加熱
された再生ガス14が再生領域8に流れているので再生
領域8に移動したハニカム形吸着材1の温度は上昇し、
有害物質はハニカム形吸着材1から脱離する。脱離した
有害物質は再生ガス14により搬送され濃縮ガス31と
なるが、再生ガス14の流量は被処理ガス12の流量の
1/10程度なので濃縮ガス31中の有害物質の濃度は
被処理ガス12の10倍となる。この濃縮ガス31をガ
ス分配区画10を経て再生ガス吸引ファン15により触
媒燃焼装置19へ供給し有害物質を燃焼させる。再生領
域8で有害物質を脱離したハニカム形吸着材1はロータ
2の回転により冷却領域9へ移動する。冷却領域9の中
は冷却ガス吸引ファン18により常温の冷却ガス17が
流れているのでハニカム形吸着材1は冷却ガス17と接
触して常温に冷却される。冷却されたハニカム形吸着材
1は吸着能力を回復し、吸着に適した温度になっている
のでロータ2の回転により浄化領域7へ移動し吸着に用
いられる。
【0010】このように回転ロータ式吸着濃縮装置のハ
ニカム形吸着材1は吸着能力を飽和させることなく被処
理ガス12中の有害物質の吸着を連続して行うことがで
きる。また、濃縮ガス31中の有害物質の濃度は被処理
ガス12より高く、流量は少なくなるので有害物質の処
理は直接被処理ガス12に対して行うより有利となる。
例えば、有害物質が可燃性の場合濃縮ガス31を再生ガ
ス吸引ファン15から直接触媒燃焼装置19へ導き燃焼
させればよく、濃縮ガス31を燃焼温度まで予熱する熱
量は被処理ガス12の全量を燃焼温度まで予熱する熱量
に比較すれば遥かに少なく経済的である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】回転ロータ式吸着濃縮
装置の特徴はハニカム形吸着材1を充填したロータ2を
回転させ、回転位置によって被処理ガス12中の有害物
質の吸着、ハニカム形吸着材1の再生及び冷却という異
なる工程が同時に進行していることにある。従ってロー
タ2の浄化領域7、再生領域8及び冷却領域9の各領域
間の気密は重要であり、例えば再生領域8から浄化領域
7へ濃縮ガス31が漏洩するとハニカム形吸着材1の吸
着能力が低下する。また、逆に浄化領域7の浄化ガス3
0が再生領域8へ漏洩したり冷却領域9の冷却ガス17
が再生領域8へ漏洩したりすると濃縮ガス31の流量が
増加し、触媒燃焼装置19の負担が増加する。図7に示
した仕切板23、仕切板24及び仕切板25に取り付け
られたシール材26により各領域間の気密は保持される
が、シール材26が接触する摺動面はハニカム形吸着材
1で構成され、平面度と強度に限界があるので各領域間
の完全な気密保持は困難である。従って従来の回転ロー
タ式吸着濃縮装置は被処理ガス12中の有害物質の除去
効率、有害物質の濃縮効率が必ずしも満足できる値では
無い。
【0012】本発明の目的は、排ガス中の有害物質の除
去効率及び除去された有害物質の濃縮効率を向上させる
ことにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的は、通気性を有
する吸着材を充填した円筒形ロータと、円筒形ロータを
回転させる円筒形ロータ回転手段と、円筒形ロータの軸
方向両端面に摺動自在に配置し円筒形ロータの回転につ
れて吸着材が排ガス中の有害物質を吸着浄化する浄化工
程と吸着した有害物質を高温ガスにより脱離する再生工
程と低温ガスにより吸着温度まで冷却される冷却工程の
各工程となるように設定する工程区画設定手段と、工程
区画設定手段に有害物質を含む排ガスを供給する排ガス
供給手段と、工程区画設定手段に高温ガスを供給する高
温ガス供給手段と、工程区画設定手段に低温ガスを供給
する低温ガス供給手段とを備えた排ガス処理装置におい
て、高温ガス供給手段と低温ガス供給手段のガス供給方
向が排ガス供給手段と同方向となるように配置し、工程
区画設定手段入口における有害物質を含む排ガスと高温
ガスと低温ガスのそれぞれの入口圧力が等しくなるよう
に調整する入口圧力調整手段と、浄化工程、再生工程、
冷却工程における吸着材の開口面積比を調整する開口面
積比調整手段とを設けたことにより達成される。
【0014】上記構成によれば、各ガス流の流れの方向
を同じにして吸着材入口の各ガス流の静圧分布の方向を
同じとし、各領域のガス入口を圧力調整手段により調整
して吸着材入口の各ガス流の静圧を等しくし、各領域の
開口面積比を調整して温度、体積流量が異なる各ガス流
の線速度が等しくなるようにして各領域を通過するガス
流の圧力損失を等しくし吸着材の各領域間の静圧差を無
くすることにより、領域間のガス漏洩を防止し排ガス中
の有害物質の除去効率及び除去された有害物質の濃縮効
率を向上させることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図に
より説明する。
【0016】図1は本発明の実施の形態の全体構成を示
す斜視図である。
【0017】本実施の形態の回転ロータ式吸着濃縮装置
は図5に示したものと基本的な構成は同じであるが、浄
化領域7、再生領域8及び冷却領域9の各領域間のガス
入口は何れもガス分配区画10(特許請求の範囲の工程
区画設定手段に該当)側に配置し各領域を通過するガス
流の方向は何れも同じである。ロータ2は図6に示した
ものと基本的な構成は同じで直径が250mm、長さ4
00mmの円筒形であり200個/6.45cm2(1i
nch2)のセルを有するハニカム構造の吸着材1が充填さ
れている。このハニカム形吸着材1に見かけ容積1リッ
トル当り約100gのペンタシル型ゼオライトが担持し
てある。ロータ2の中心にシャフト21が貫通してお
り、さらにシャフト21はガス分配区画10,11の回
転中心軸5を貫通し両端を軸受28で支持しロータ駆動
装置6により6r.p.hの速度で回転させる。
【0018】図2は本発明の実施の形態のガス分配区画
の構成を示す斜視図である。
【0019】ガス分配区画10は外径が350mm、長
さ250mmの中空円筒形でありロータ2と同軸に配置
されている。ロータ2と対向する端面はロータ2と同じ
直径250mmの円形穴22となっている。ガス分配区
画10の内部に円形穴22の開口面に対し垂直に仕切板
23、仕切板24及び仕切板25を配置し、ガス分配区
画10の内部を三つの領域に分割する。仕切板23、仕
切板24及び仕切板25がロータ2と接触する部分と円
形穴22の周囲にシール材26を接着し、分割した三つ
の領域間と外気とガス分配区画10及びロータ2の内部
の間の気密を保持する。使用したシール材26は幅15
mm、厚さ18mmのシリコンゴムにテフロンシールテ
ープを接着したものである。ガス分配区画10の円形穴
22と反対側の端面にはロータ2の分割した三つの領域
にそれぞれに接続口27が配置され、各領域に異なった
種類のガス流通させることができる。なお、ガス分配区
画11はガス分配区画10と面対称の構造である。
【0020】図3は本発明の実施の形態の仕切板の構成
を示す正面図である。
【0021】本図は仕切板23、仕切板24及び仕切板
25をロータ2側から見たもので、再生領域8と冷却領
域9の間の仕切板24はガス分配区画10の外周壁と中
心部に溶接されている。一方、浄化領域7と再生領域8
の間の仕切板25(特許請求の範囲の開口面積比調整手
段に該当)及び冷却領域9と浄化領域7の間の仕切板2
3(特許請求の範囲の開口面積比調整手段に該当)は断
面がI字形であり、ガス分配区画10の外周壁と仕切板
23及び仕切板25、中心部と仕切板23及び仕切板2
5間にシリシコンゴムのシール材29を挿入し半固定の
状態にしてある。このため従来の回転ロータ式吸着濃縮
装置と異なり仕切板23及び仕切板25を円周方向に移
動させて浄化領域7、再生領域8及び冷却領域9の開口
面積比を任意の値に調整できる。開口面積比を調整する
のは各領域を通過するガスの線速度を等しくするため
で、ガスの線速度は領域を通過するガスの体積流量を領
域の開口面積で割ったものであるからロータ2の端面を
浄化領域7、再生領域8、冷却領域9に割り振る時にそ
の開口面積比を各領域を通過するガスの体積流量と一致
させればよい。浄化領域7のガス温度は例えば外気温と
同じで領域を通過中に変化しないの対し再生領域8及び
冷却領域9のガス温度はハニカム形吸着材1の再生のた
めに温度が高くなり、ガスの熱膨張で領域入口の体積流
量より領域通過中の体積流量が多い。例えば、流量20
0Nm3/hの被処理ガス12を回転ロータ式吸着濃縮
装置で吸着処理し、流量20Nm3/hの再生ガス14
を175℃で再生を行い、流量20Nm3/hの冷却ガ
ス17で冷却を行う場合にロータ2の開口面積比は浄化
領域7、再生領域8及び冷却領域9の順に10:1:1
では無く10:1.4:1.2としている。その結果ロ
ータ2の全開口面積の79.4%を浄化領域7に、1
1.1%を再生領域8に、9.5%を冷却領域9に割り
当てた。再生領域8若しくは冷却領域9を流れるガスの
温度はロータ2の回転速度、ハニカム形吸着材1の熱容
量と熱拡散係数、再生ガス温度、被処理ガス12の温度
と流量によって変化し、領域通過中にもガス温度は変化
しているので一義的にガスの熱膨張による流量補正を行
うことは困難である。従って図3に示すようにロータ2
を浄化領域7、再生領域8及び冷却領域9に分割する時
に開口面積比を調整可能な構造にして、実際の運転条件
に応じて調整する方が実用的である。 図4は図1に示
した回転ロータ式吸着濃縮装置内のガス流通状態を示す
説明図である。
【0022】装置の動作は図5に示した従来のものと同
じであるが、ガスは何れもフイルタ32を通過させダス
ト、異物を除去した後ガス分配区画10から浄化領域
7、再生領域8及び冷却領域9の各領域に供給され、さ
らにガス分配区画11へと全て同方向に流れる。再生ガ
ス14は外気をガス加熱装置16で175℃に昇温した
ものを用い、冷却ガス17は外気をそのまま用いる。被
処理ガス12、再生ガス14及び冷却ガス17の経路に
はそれぞれフイルタ32の直後に入口圧調整バルブ33
(特許請求の範囲の入口圧力調整手段に該当)を配置し
ているので被処理ガス吸引ファン13、再生ガス吸引フ
ァン15及び冷却ガス吸引ファン18と共に調整してガ
ス分配区画10における各領域のガス入口の静圧を等し
くできる。但し、本発明は実施の形態に記載のロータ2
の寸法、形状、回転方法、回転速度、充填したハニカム
形吸着材1の形状、ハニカム形吸着材1に担持した物質
の種類と量、ハニカムのセル密度、各領域を通過するガ
スの種類と温度に限定されるものでは無い。これらの条
件は装置の使用状態に応じて最適なものを選択すべきも
のである。また、各領域のガス入口の静圧を等しくする
手段は、入口圧力調整バルブ33の開度調整に限られる
ものでは無く運転時のガス流量が安定しているならばフ
イルタ32の厚さ、面積、空隙率を適宜選択してしても
良く、被処理ガス12の一部を再生ガス14、冷却ガス
17に流用してガス入口を連結することも可能である。
本実施の形態では再生ガス14を独立してガス加熱装置
16で昇温したがそれに限定されるものでは無く触媒燃
焼装置19の排気から熱交換器により熱を回収して再生
ガス14の昇温に用いても良く、触媒燃焼装置19の排
気の一部を再生領域8に循環させても良い。そして、使
用後の冷却ガス17を再生ガス14に用いて装置の熱効
率を高めても良い。濃縮ガス31中の有害物質の処理も
触媒燃焼装置19に限らず直接燃焼式、畜熱式の燃焼装
置を用いても良く、濃縮ガス31を有害物質の露点以下
に冷却して液体として回収しても良く、適当な吸着材に
吸着させて廃棄しても良い。何れにしても装置の運転条
件を考慮して最適なものを選択すべきである。
【0023】次に本実施の形態の装置と従来の装置との
性能比較を行った結果を説明する。従来の装置は比較例
1で表される装置と、比較例2で表される装置とがあり
比較例1は本実施の形態の装置と基本的に同じであるが
図5及び図8に示されるように再生ガス14の流れる方
向が他のガスと反対方向となっている。また、比較例2
も本実施の形態の装置と基本的に同じであるがガス分配
区画10とガス分配区画11だけは図7に示されるもの
を用いた。このためロータ2の全開口面積の75.0%
を浄化領域7に、12.5%を再生領域8に、12.5
%を冷却領域9に割り当てた。比較例2では各領域を流
れるガスの流量比と開口面積比が一致していないので領
域によりガスの圧力損失が異なる。
【0024】比較試験方法1 本実施の形態の装置と比較例1で表される装置の両方
を、有害物質としてトルエンを100ppm含む20℃
の被処理ガス12を流量200Nm3/hで浄化領域7
に供給し、20℃で流量20Nm3/hの外気をガス加
熱装置16により175℃に昇温して再生領域8に再生
ガス14として供給し、20℃で流量20Nm3/hの
外気をそのまま冷却領域9に冷却ガス17として供給す
る条件で運転し、定常状態に達した時に両装置の浄化ガ
ス30、濃縮ガス31の濃度を測定しガス分配区画10
及びガス分配区画11における浄化領域7、再生領域8
及び冷却領域9出入口の静圧を測定した。各ガスの流量
は装置の入口で測定し、浄化領域7における被処理ガス
12の空間速度(SV)は14,000/hであった。
比較試験結果1 表1に比較試験結果を示す。本実施の形態の浄化ガス3
0中の残留トルエン濃度は約2ppmであり、被処理ガ
ス12に対する除去効率は98%に達する。比較例1の
浄化ガス30中の残留トルエン濃度は約8ppmであ
り、本実施の形態の4倍の残留トルエン濃度である。そ
して、本実施の形態の濃縮ガス31中のトルエン濃度は
960ppmであるが、比較例1の濃縮ガス31中のト
ルエン濃度は約820ppmである。本実施の形態のガ
ス分配区画10における浄化領域7、再生領域8及び冷
却領域9の静圧は同じ−18mmAqであり、ガス分配
区画11における各領域の静圧も同じ−61mmAqで
ある。故にガス分配区画10及びガス分配区画11の仕
切板23におけるガス漏洩は無視できる。比較例1では
浄化ガス30と冷却ガス17に対し再生ガス14は逆行
しているので再生領域8は−61mmAqとなり他の領
域より低くなっている。ガス分配区画11における浄化
領域7と冷却領域9の静圧は同じ−61mmAqである
が、再生領域8では−18mmAqと他の領域より高く
なっている。従ってガス分配区画10及びガス分配区画
11の仕切板23付近における再生領域8と他の領域間
でガス漏洩が起り、比較例1では本実施の形態より被処
理ガス12のトルエン除去率も濃縮ガス31の濃縮性能
も低下する。このように装置内でガスの流れ方向を一致
させると隣接する領域の静圧が等しくなるのでガス漏洩
が解消しトルエン除去率と濃縮性能は向上する。
【0025】
【表1】
【0026】比較試験方法2 本実施の形態の装置と比較例2で表される装置の両方
を、有害物質としてトルエンを100ppm含む20℃
の被処理ガス12を流量190Nm3/hで浄化領域7
に供給し、20℃で流量19Nm3/hの外気をガス加
熱装置16により175℃に昇温して再生領域8に再生
ガス14として供給し、20℃で流量19Nm3/hの
外気をそのまま冷却領域9に冷却ガス17として供給す
る条件で運転し、定常状態に達した時に両装置の浄化ガ
ス30、濃縮ガス31の濃度を測定しガス分配区画10
及びガス分配区画11における浄化領域7、再生領域8
及び冷却領域9出入口の静圧を測定した。各ガスの流量
は装置の入口で測定し、浄化領域7における被処理ガス
12の空間速度は(SV)は14,000/hであっ
た。
【0027】各ガス流量が比較例1より少ないのは比較
例2のロータ2における浄化領域の開口面積比が本実施
の形態より小さいので浄化領域7における被処理ガス1
2の空間速度(SV)を同じ14,000/hとするた
めに被処理ガス12の流量を調整したためである。
【0028】比較試験結果2 表2に比較試験結果を示す。本実施の形態の浄化ガス3
0中の残留トルエン濃度は約2ppmであり、被処理ガ
ス12に対する除去効率は98%に達する。比較例1の
浄化ガス30中の残留トルエン濃度は約10ppmであ
り、本実施の形態の5倍の残留トルエン濃度である。そ
して、本実施の形態の濃縮ガス31中のトルエン濃度は
960ppmであるが、比較例1の濃縮ガス31中のト
ルエン濃度は約965ppmである。本実施の形態と比
較例2のガス分配区画10における浄化領域7、再生領
域8及び冷却領域9の静圧は全て同じ−18mmAqで
ある。ガス分配区画11における各領域の静圧も本実施
の形態では同じ−61mmAqであるが、比較例2では
ロータ2における各領域の開口面積比が流量比と一致し
ていないので各領域の圧力損失も一致せず、浄化領域7
の静圧が再生領域8、冷却領域9の静圧より低くなる。
故にガス分配区画11中で静圧の高い再生領域8から静
圧の低い浄化領域7へ高濃度のトルエンを含む濃縮ガス
31が漏洩しトルエン除去率が低下する。このように領
域間のガス漏洩を防止するにはガスの流れ方向のみなら
ず各領域の圧力損失も一致させる必要がある。
【0029】
【表2】
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、各ガス流の流れの方向
を同じにし、各領域のガス入口に圧力調整手段と各領域
の開口面積比を調整する手段を設けることにより、各領
域のガス入口圧力と各領域を通過するガス流の圧力損失
を等しくして領域間のガス漏洩を防止し、排ガス中の有
害物質の除去効率及び除去された有害物質の濃縮効率を
向上させる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の全体構成を示す斜視図で
ある。
【図2】本発明の実施の形態のガス分配区画の構成を示
す斜視図である。
【図3】本発明の実施の形態の仕切板の構成を示す正面
図である。
【図4】図1に示した回転ロータ式吸着濃縮装置内のガ
ス流通状態を示す説明図である。
【図5】従来の回転ロータ式吸着濃縮装置の構成を示す
斜視図である。
【図6】従来の回転ロータ式吸着濃縮装置のロータ構成
を示す斜視図である。
【図7】従来の回転ロータ式吸着濃縮装置のガス分配区
画の構成を示す斜視図である。
【図8】従来の回転ロータ式吸着濃縮装置内のガス流通
状態を示す説明図である。
【符号の説明】
1 ハニカム形吸着材 2 ロータ 3 タイミングベルト 4 モータ 5 回転中心軸 6 ロータ駆動装置 7 浄化領域 8 再生領域 9 冷却領域 10 ガス分配区画 11 ガス分配区画 12 被処理ガス 13 被処理ガス吸引ファン 14 再生ガス 15 再生ガス吸引ファン 16 ガス加熱装置 17 冷却ガス 18 冷却ガス吸引ファン 19 触媒燃焼装置 20 金属製円筒 21 シャフト 22 円形穴 23 仕切板 24 仕切板 25 仕切板 26 シール材 27 接続口 28 軸受 29 シール材 30 浄化ガス 31 濃縮ガス 32 フィルタ 33 入口圧調整バルブ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 通気性を有する吸着材を充填した円筒形
    ロータと、該円筒形ロータを回転させる円筒形ロータ回
    転手段と、前記円筒形ロータの軸方向両端面に摺動自在
    に配置し前記円筒形ロータの回転につれて前記吸着材が
    排ガス中の有害物質を吸着浄化する浄化工程と吸着した
    有害物質を高温ガスにより脱離する再生工程と低温ガス
    により吸着温度まで冷却される冷却工程の各工程となる
    ように設定する工程区画設定手段と、前記工程区画設定
    手段に前記有害物質を含む排ガスを供給する排ガス供給
    手段と、前記工程区画設定手段に前記高温ガスを供給す
    る高温ガス供給手段と、前記工程区画設定手段に前記低
    温ガスを供給する低温ガス供給手段とを備えた排ガス処
    理装置において、 前記高温ガス供給手段と前記低温ガス供給手段のガス供
    給方向が前記排ガス供給手段と同方向となるように配置
    し、前記工程区画設定手段入口における前記有害物質を
    含む排ガスと前記高温ガスと前記低温ガスのそれぞれの
    入口圧力が等しくなるように調整する入口圧力調整手段
    と、前記浄化工程、前記再生工程、前記冷却工程におけ
    る前記吸着材の開口面積比を調整する開口面積比調整手
    段とを設けたことを特徴とする排ガス処理装置。
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