WO2014091779A1

WO2014091779A1 - 有機溶剤含有ガス処理システム

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Publication number: WO2014091779A1
Application number: PCT/JP2013/066818
Authority: WO
Inventors: 杉浦　勉; 和之川田; 彰成木村
Original assignee: 東洋紡株式会社
Priority date: 2012-12-14
Filing date: 2013-06-19
Publication date: 2014-06-19
Also published as: KR20150093697A; CN104853829B; KR102071097B1; CN104853829A

Abstract

　有機溶剤含有ガス処理システム（１Ａ）は、キャリアガスが通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置（１１００）、凝縮回収装置（１２００）および第２吸脱着処理装置（１３００）とを備える。第１吸脱着処理装置（１１００）は、第１吸脱着素子（１１２１，１１３１）を含み、第２吸脱着処理装置（１３００）は、第２吸脱着素子（１３２１）と、温度調節機構（１３３０Ａ）とを含む。温度調節機構（１３３０Ａ）は、第１吸脱着素子（１１２１，１１３１）から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、凝縮回収装置（１２００）から排出されたキャリアガスを高温の状態にして第２吸脱着素子（１３２１）に供給し、上記脱着処理期間の終わりの段階において、キャリアガスを低温の状態にして第２吸脱着素子（１３２１）に供給する。

Description

有機溶剤含有ガス処理システム

　本発明は、有機溶剤含有ガス処理システムに関し、より特定的には、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムに関する。

　従来、吸脱着素子としての吸着材を用いて有機溶剤の吸着処理および脱着処理を行なって有機溶剤を原ガスからキャリアガスに移動させることにより、原ガスの清浄化と有機溶剤の回収とを可能にした有機溶剤含有ガス処理システムが知られている。

　この種の有機溶剤含有ガス処理システムは、一般に、原ガスおよび高温の状態にあるキャリアガスを時間的に交互に吸着材に接触させるための吸脱着処理装置と、当該吸脱着処理装置から排出される高温の状態にあるキャリアガスを冷却することによって有機溶剤を凝縮させて回収する凝縮回収装置とを備えている。

　たとえば、実公平７－２０２８号公報（特許文献１）には、キャリアガスとして水蒸気を使用した有機溶剤含有ガス処理システムが開示されている。また、特開平７－６８１２７号公報（特許文献２）には、キャリアガスとして高温に加熱された不活性ガスを使用した有機溶剤含有ガス処理システムが開示されている。

実公平７－２０２８号公報特開平７－６８１２７号公報

　上述した有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率を向上させるためには、脱着処理における有機溶剤の脱着、すなわち吸着材の再生が、十分に行なわれることが必要になる。

　また、有機溶剤含有ガス処理システムのランニングコストを抑制するためには、キャリアガスを一度使用したのみで使い捨てるのではなく、可能な限りこれを再利用すべく、有機溶剤含有ガス処理システム内においてキャリアガスを循環させて使用するように構成することが好ましい。

　しかしながら、凝縮回収装置において有機溶剤をキャリアガスから完全に分離させることは困難であり、そのため、凝縮回収装置から排出されるキャリアガスには、未凝縮の有機溶剤が一定量含まれることになる。したがって、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて吸脱着処理装置に戻す構成とした場合には、吸着材の再生が不十分となってしまい、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上に自ずと限界が生じてしまう問題があった。

　さらに、再生後の吸着材は高温の状態にあり、これにすぐに原ガスを導入すると、原ガスが低温であるために吸着材が冷却されていくことになるが、初期は高温の状態のままである。従来のスチームで脱着処理を行なう方式では、再生後の状態において吸着材に水分が付着しているため、原ガスが導入されると水分の気化熱によって吸着材が急速に冷却されることになるが、キャリアガスで脱着処理を行なう方式を採用した場合には、水分が少ないためにすぐには吸着材の温度が低下しない。そのため、特に吸着初期において有機溶剤が吸着し難く、除去性能が悪くなる問題があった。

　したがって、本発明は、上述した問題点を解決すべくなされたものであり、ランニングコストが抑制可能であるとともに、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られた有機溶剤含有ガス処理システムを提供することを目的とする。

　本発明の第１の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記第１吸脱着処理装置は、上記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含んでおり、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記凝縮回収装置は、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含んでおり、上記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、上記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２温度調節手段は、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する。

　本発明の第２の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記第１吸脱着処理装置は、上記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含んでおり、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記凝縮回収装置は、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する処理と、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを上記凝縮回収装置を経由させずに低温の状態に温度調節する処理とを、時間的に交互に行なう第２温度調節手段をさらに含んでおり、上記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、上記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２温度調節手段は、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを上記凝縮回収装置を経由させずに低温の状態に温度調節する。

　本発明の第３の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記第１吸脱着処理装置は、上記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段と、上記第１吸脱着素子を冷却する冷却手段とをさらに含んでおり、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、上記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に上記冷却手段を用いて上記第１吸脱着素子を冷却させるものである。上記凝縮回収装置は、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含んでおり、上記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、上記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２温度調節手段は、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する。

　上記本発明の第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記冷却手段が、外気を上記第１吸脱着素子に送り込む外気送気手段にて構成されていてもよい。その場合には、上記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、上記外気送気手段によって送り込まれる外気とを、時間的にこの順で繰り返し上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、上記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に上記第１吸脱着素子に外気を接触させることで上記第１吸脱着素子を冷却させることになる。

　上記本発明の第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第１温度調節手段が、上記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節可能に構成されていてもよく、上記冷却手段が、当該第１温度調節手段にて構成されていてもよい。その場合には、上記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的にこの順で繰り返し上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスからキャリアガスに移動させるとともに、上記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に上記第１吸脱着素子に低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで上記第１吸脱着素子を冷却させることになる。

　上記本発明の第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記冷却手段が、上記第１吸脱着素子を間接的に冷却する第１吸脱着素子冷却設備にて構成されていてもよい。その場合には、上記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、上記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に上記第１吸脱着素子冷却設備を用いて上記第１吸脱着素子を冷却させることになる。

　上記本発明の第１ないし第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記キャリアガスが、不活性ガスであることが好ましい。

　上記本発明の第１ないし第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維であることが好ましい。

　上記本発明の第１ないし第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着素子が、活性炭素繊維であることが好ましい。

　上記本発明の第１ないし第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第１吸脱着素子および上記第２吸脱着素子が、いずれも活性炭素繊維である場合において、上記第２吸脱着素子としての活性炭素繊維の比表面積が、上記第１吸脱着素子としての活性炭素繊維の比表面積よりも大きいことが好ましい。

　本発明の第４の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記第１吸脱着処理装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ上記凝縮回収装置に至る部分の上記循環経路上に設けられた第１処理部と、上記凝縮回収装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ上記第１吸脱着処理装置に至る部分の上記循環経路上に設けられた第２処理部とを有している。上記第２吸脱着素子は、その任意の部分が上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている。上記第１吸脱着処理装置は、上記第２吸脱着処理装置の上記第２処理部から排出された低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含んでおり、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを上記第１処理部において上記第２吸脱着素子に接触させるとともに、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを上記第２処理部において上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記凝縮回収装置は、上記第２吸脱着処理装置の上記第１処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。

　本発明の第５の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記第１吸脱着処理装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ上記凝縮回収装置に至る部分の上記循環経路上に設けられた第１処理部と、上記凝縮回収装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ上記第１吸脱着処理装置に至る部分の上記循環経路上に設けられた第２処理部とを有している。上記第２吸脱着素子は、その任意の部分が上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている。上記第１吸脱着処理装置は、上記第２吸脱着処理装置の上記第２処理部から排出された低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含んでおり、原ガスと、上記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含んでおり、上記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスまたは上記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスを上記第１処理部において上記第２吸脱着素子に接触させるとともに、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを上記第２処理部において上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２温度調節手段は、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階においてキャリアガスを高温の状態に温度調節し、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階においてキャリアガスを低温の状態に温度調節する。上記凝縮回収装置は、上記第２吸脱着処理装置の上記第１処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。

　上記本発明の第４および第５の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記キャリアガスが、不活性ガスであることが好ましい。

　上記本発明の第４および第５の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着素子が、略円柱状の外形を有するように形成されるとともに、その中心軸周りに回転可能に構成されていることが好ましい。その場合には、上記第２吸脱着素子が上記中心軸周りに回転することにより、上記第２吸脱着素子の上記任意の部分が、上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されていることが好ましい。

　上記本発明の第４および第５の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着素子が、ハニカム構造を有していることが好ましい。

　上記本発明の第４および第５の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維であることが好ましい。

[規則91に基づく訂正 15.10.2013]　
　本発明の第６の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤の吸着を行なう第１処理部と、有機溶剤の脱着を行なう第２処理部とを有しており、上記第２吸脱着素子は、その任意の部分が上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている。上記循環経路は、上記第１吸脱着処理装置から排出されたキャリアガスが上記凝縮回収装置および上記第１処理部をこの順で経由して再び上記第１吸脱着処理装置に供給されるように構成された主経路と、上記第１処理部から排出されたキャリアガスが上記第１吸脱着処理装置を経由することなく上記第２処理部を経由して再び上記凝縮回収装置に供給されるように構成された分岐経路と、上記第１処理部から排出されたキャリアガスを高温の状態に温度調節する温度調節手段とを有している。上記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、上記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記第２吸脱着処理装置は、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを上記第１処理部において上記第２吸脱着素子に接触させるとともに、上記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスを上記第２処理部において上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるものである。上記凝縮回収装置は、上記第１吸脱着処理装置および上記第２処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させるものである。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記温度調節手段が、上記第１処理部と上記第１吸脱着処理装置とを結ぶ部分の上記主経路のうちの、上記主経路に対して上記分岐経路が接続された接続点よりも第１処理部側に位置する部分に設けられていることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記温度調節手段が、上記第１処理部と上記第１吸脱着処理装置とを結ぶ部分の上記主経路のうちの、上記主経路に対して上記分岐経路が接続された接続点よりも第１吸脱着処理装置側に位置する部分に設けられた第１温度調節手段と、上記分岐経路のうちの、上記第２処理部から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側の部分に設けられた第２温度調節手段とを含んでいてもよい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記循環経路が、上記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスが上記第１処理部を経由することなく上記第１処理部から見て上記キャリアガスの通流方向に沿った下流側に位置する部分の上記主経路に再び供給されるように構成されたバイパス経路と、上記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスを上記第１処理部に供給するか、または上記バイパス経路に供給するかを時間的に交互に切り替える切替手段とをさらに有していることが好ましい。その場合には、上記切替手段が、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の初めの段階において上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを上記バイパス経路に供給し、上記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを上記第１処理部に供給するように切り替わることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記キャリアガスが、不活性ガスであることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着素子が、略円柱状の外形を有するように形成されるとともに、その中心軸周りに回転可能に構成されていることが好ましい。その場合には、上記第２吸脱着素子が上記中心軸周りに回転することにより、上記第２吸脱着素子の上記任意の部分が、上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されていることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着処理装置が、上記第２処理部から上記第１処理部に移動する部分の第２吸脱着素子の冷却を行なうパージ部をさらに有していることが好ましい。その場合には、上記循環経路が、上記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスの一部が上記第１処理部を経由することなく上記パージ部を経由して上記第２処理部から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側に位置する部分の上記分岐経路に供給されるように構成されたパージ経路をさらに有していることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第２吸脱着素子が、ハニカム構造を有していることが好ましい。

　上記本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにあっては、上記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維であることが好ましい。

　本発明によれば、ランニングコストが抑制可能であるとともに、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られた有機溶剤含有ガス処理システムとすることができる。

本発明の実施の形態１－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図１に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。本発明の実施の形態１－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。本発明の実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図４に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。本発明の実施の形態２－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。本発明の実施の形態２－３における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。本発明の実施の形態３－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図８に示す第２吸脱着処理装置の模式外観図である。図８に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。本発明の実施の形態３－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図１１に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。本発明の実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図１３に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。本発明の実施の形態４－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。本発明の実施の形態４－３における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。本発明の実施の形態４－４における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。

　以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態おいては、本発明が適用された有機溶剤含有ガス処理システムをそのシステム構成に基づいて第１ないし第４実施の形態グループに大別することとし、これらについて順に説明する。

　＜第１実施の形態グループ（実施の形態１－１，１－２）＞
　まず、本発明の実施の形態１－１，１－２について説明する。実施の形態１－１は、上述した本発明の第１の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものであり、実施の形態１－２は、上述した本発明の第２の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものである。なお、以下に示す実施の形態１－１，１－２においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

　（実施の形態１－１）
　図１は、本発明の実施の形態１－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。まず、この図１を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａの構成について説明する。

　図１に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置１１００、凝縮回収装置１２００、第２吸脱着処理装置１３００およびブロワ１４００とを主として備えている。

　ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＡ３～ＬＡ７によって主として構成されており、ブロワ１４００は、当該循環経路中においてキャリアガスを通流させるための送風手段である。なお、キャリアガスとしては、水蒸気、加熱空気、高温に加熱した不活性ガス等、様々な種類のガスを利用することが可能であるが、特に水分を含まないガスである不活性ガスを利用することとすれば、有機溶剤含有ガス処理システムをより簡素に構成することができる。

　第１吸脱着処理装置１１００は、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０を有する第１吸脱着処理塔１１１０と、第１温度調節手段としてのヒータ１１４０とを含んでいる。第１処理槽１１２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子１１２１が収容されており、第２処理槽１１３０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子１１３１が収容されている。

　ヒータ１１４０は、第１吸脱着処理装置１１００に供給されるキャリアガスを高温の状態に温度調節するためのものであり、より具体的には、第２吸脱着処理装置１３００から排出されてブロワ１４００を経由した高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１吸脱着処理塔１１１０に供給するためのものである。ここで、ヒータ１１４０は、第１吸脱着素子１１２１，１１３１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　第１吸脱着素子１１２１，１１３１は、原ガスを接触させることで原ガスに含有される有機溶剤を吸着する。したがって、第１吸脱着処理装置１１００においては、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に原ガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子１１２１，１１３１によって吸着され、これにより原ガスから有機溶剤が分離されることで原ガスが清浄化されて清浄ガスとして第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０から排出されることになる。

　また、第１吸脱着素子１１２１，１１３１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第１吸脱着処理装置１１００においては、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子１１２１，１１３１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０から排出されることになる。

　第１吸脱着素子１１２１，１１３１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第１吸脱着素子１１２１，１１３１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第１吸脱着処理装置１１００には、配管ラインＬＡ１，ＬＡ２がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＡ１は、有機溶剤を含有する原ガスを第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＡ１０１，ＶＡ１０２によって第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＡ２は、清浄ガスを第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＡ１０３，ＶＡ１０４によって第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　また、第１吸脱着処理装置１１００には、配管ラインＬＡ３，ＬＡ４がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＡ３は、キャリアガスを上記ヒータ１１４０を介して第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＡ１０５，ＶＡ１０６によって第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＡ４は、キャリアガスを第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＡ１０１，ＶＡ１０２によって第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０のそれぞれには、上述したバルブＶＡ１０１～ＶＡ１０６の開閉を操作することにより、原ガスと、ヒータ１１４０にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。なお、具体的には、第１処理槽１１２０が吸着槽として機能している場合には、第２処理槽１１３０が脱着槽として機能し、第１処理槽１１２０が脱着槽として機能している場合には、第２処理槽１１３０が吸着槽として機能する。

　ここで、配管ラインＬＡ１は、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽に原ガスを供給し、配管ラインＬＡ２は、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽から清浄ガスを排出する。また、配管ラインＬＡ３は、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽にキャリアガスを供給し、配管ラインＬＡ４は、第１処理槽１１２０および第２処理槽１１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽からキャリアガスを排出する。

　凝縮回収装置１２００は、コンデンサ１２１０と、回収タンク１２２０とを含んでいる。コンデンサ１２１０は、高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することによってキャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮させるものであり、具体的には、冷却水等を用いてキャリアガスを冷却することで有機溶剤を液化させるクーラにて構成される。また、回収タンク１２２０は、コンデンサ１２１０にて液化された有機溶剤を凝縮液として貯留するものである。また、必要に応じて、比重差の異なる溶剤と溶剤とを、または、溶剤と水とを分離するセパレータをコンデンサ１２１０と回収タンク１２２０との間に設けてもよい。

　凝縮回収装置１２００には、配管ラインＬＡ４，ＬＡ５がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＡ４は、第１吸脱着処理装置１１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ１２１０に供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＡ５は、コンデンサ１２１０内に残留する未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ１２１０から排出するための配管ラインである。

　また、凝縮回収装置１２００には、配管ラインＬＡ８，ＬＡ９がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＡ８は、回収タンク１２２０に貯留された有機溶剤の凝縮液を外部に向けて排出するための配管ラインであり、配管ラインＬＡ９は、回収タンク１２２０中において揮発した有機溶剤を原ガスが搬送される配管ラインＬＡ１に戻すための配管ラインである。

　第２吸脱着処理装置１３００は、単体の処理槽１３２０を有する吸脱着処理塔１３１０と、第２温度調節手段としての温度調節機構１３３０Ａとを含んでいる。処理槽１３２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子１３２１が収容されている。

　温度調節機構１３３０Ａは、第２吸脱着処理装置１３００に供給されるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節するためのものであり、より具体的には、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節して第２吸脱着処理塔１３１０に供給するためのものである。

　温度調節機構１３３０Ａは、配管ラインＬＡ５上に設けられたヒータ１３３１と、配管ラインＬＡ５から分岐して再び配管ラインＬＡ５に合流するように設けられたバイパスラインとしての配管ラインＬＡ６と、配管ラインＬＡ５に設けられたバルブＶＡ３０１と、配管ラインＬＡ６に設けられたバルブＶＡ３０２とを含んでいる。なお、ヒータ１３３１およびバルブＶＡ３０１は、いずれも配管ラインＬＡ５から分岐して設けられた配管ラインＬＡ６に並走する部分の配管ラインＬＡ５に設けられている。

　ここで、ヒータ１３３１は、未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔１３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子１３２１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、処理槽１３２０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　一方、配管ラインＬＡ６は、未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔１３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子１３２１が所定の吸着温度に維持されることとなるように、処理槽１３２０に導入されるキャリアガスをそのまま搬送するかあるいは必要に応じて冷却するための配管ラインである。なお、キャリアガスを配管ラインＬＡ６において冷却する場合には、当該配管ラインＬＡ６に別途クーラを設けることとすれば効率的である。

　第２吸脱着素子１３２１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第２吸脱着処理装置１３００においては、処理槽１３２０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子１３２１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが処理槽１３２０から排出されることになる。

　また、第２吸脱着素子１３２１は、低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで有機溶剤を吸着する。したがって、第２吸脱着処理装置１３００においては、処理槽１３２０に低温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子１３２１によって吸着され、これによりキャリアガスから有機溶剤が分離されることでキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が低下し、この有機溶剤の濃度が低下した低温のキャリアガスが処理槽１３２０から排出されることになる。

　第２吸脱着素子１３２１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第２吸脱着素子１３２１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第２吸脱着処理装置１３００には、配管ラインＬＡ５，ＬＡ７がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＡ５は、キャリアガスを上記温度調節機構１３３０Ａに供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＡ７は、キャリアガスを処理槽１３２０から排出するための配管ラインである。

　処理槽１３２０には、上述したバルブＶＡ３０１，ＶＡ３０２の開閉を操作することにより、温度調節機構１３３０Ａにて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、温度調節機構１３３０Ａにて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、処理槽１３２０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。

　ここで、温度調節機構１３３０Ａは、処理槽１３２０を脱着槽として機能させる場合に当該処理槽１３２０に、ヒータ１３３１を接続させて高温の状態にあるキャリアガスを処理槽１３２０に供給し、処理槽１３２０を吸着槽として機能させる場合に、当該処理槽１３２０に配管ラインＬＡ６を接続させて低温の状態にあるキャリアガスを処理槽１３２０に供給する。

　第２吸脱着処理装置１３００から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスは、配管ラインＬＡ７を介してブロワ１４００へと搬送され、ブロワ１４００を通過した後に配管ラインＬＡ３を経由して第１吸脱着処理装置１１００に供給される。

　なお、上述した配管ラインＬＡ３には、キャリアガスを循環経路に外部から導入するための配管ラインＬＡ０が設けられている。当該配管ラインＬＡ０は、上述した有機溶剤含有ガス処理システム１Ａの初期設置時においてキャリアガスを循環経路に導入したり、メンテナンス時等において必要に応じてキャリアガスを循環経路に補充したりするためのものである。

　図２は、図１に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図２を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細について説明する。

　図２を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａは、図中に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施さることにより、有機溶剤含有ガスの処理が連続して行なわれるものである。

　上記１サイクルの前半（図中に示す時刻ｔ０～ｔ２の間）においては、第１吸脱着素子１１２１が設置された第１吸脱着処理装置１１００の第１処理槽１１２０において吸着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子１１３１が設置された第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０において脱着処理が実施される。

　さらに、当該１サイクルの前半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、第２吸脱着素子１３２１が設置された第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの前半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）においては、当該処理槽１３２０において吸着処理が実施される。

　また、上記１サイクルの後半（図中に示す時刻ｔ２～ｔ４の間）においては、第１吸脱着素子１１２１が設置された第１吸脱着処理装置１１００の第１処理槽１１２０において脱着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子１１３１が設置された第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０において吸着処理が実施される。

　さらに、当該１サイクルの後半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ２～ｔ３の間）においては、第２吸脱着素子１３２１が設置された第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの後半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ３～ｔ４の間）においては、当該処理槽１３２０において吸着処理が実施される。

　すなわち、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａにあっては、一対の第１吸脱着素子１１２１，１１３１のいずれかにおいて脱着処理が実施される脱着処理期間の始めの段階において第２吸脱着素子１３２１において脱着処理が実施され、一対の第１吸脱着素子１１２１，１１３１のいずれかにおいて脱着処理が実施される脱着処理期間の終わりの段階において第２吸脱着素子１３２１において吸着処理が実施される。

　なお、上述した１サイクル中においては、凝縮回収装置１２００において常時キャリアガスから有機溶剤が回収されることになる。

　次に、上述した有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａにおいて実施される操作について、図１を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置１１００の第１処理槽１１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽１１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図１に示すように、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の始めの段階（すなわち、図２中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、温度調節機構１３３０Ａに設けられたバルブＶＡ３０１が開放されるとともにバルブＶＡ３０２が閉塞されることにより、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスがヒータ１３３１に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節され、これが第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に供給されることで第２吸脱着素子１３２１に接触させられる。

　これにより、第２吸脱着素子１３２１の吸着済みの有機溶剤が当該高温の状態あるキャリアガスによって第２吸脱着素子１３２１から脱着されることになり、処理槽１３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に上昇する。これに伴って、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に上昇することになるが、当該第１吸脱着素子１１３１の脱着処理自体には殆ど影響はなく、相当程度にまで当該第１吸脱着素子１１３１の再生が行なわれる。当該操作は、第１吸脱着素子１１３１からの有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　次に、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の終わりの段階（すなわち、図２中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）においては、温度調節機構１３３０Ａに設けられたバルブＶＡ３０１が閉塞されるとともにバルブＶＡ３０２が開放されることにより、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスが配管ラインＬＡ６を経由してそのまま第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に供給されることで第２吸脱着素子１３２１に接触させられる。

　これにより、第２吸脱着素子１３２１によってキャリアガスに含有された有機溶剤が吸着されることになり、処理槽１３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に低下する。これに伴って、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に低下することになり、当該第１吸脱着素子１１３１の再生がさらに促進されることになる。当該操作は、第１吸脱着素子１１３１による有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置１１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子１１２１，１１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際により効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られることになり、従来に比して高性能の有機溶剤含有ガス処理システムとすることができる。

　また、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａは、循環経路を構築することでキャリアガスを繰り返し使用できるように構成されたものであるため、経済性にも優れたものとすることができる。したがって、窒素ガス等に代表される不活性ガスをキャリアガスとして使用した場合に、特にランニングコストを抑制できる効果が得られる。

　なお、第２吸脱着処理装置１３００に具備される第２吸脱着素子１３２１の吸着能力を第１吸脱着処理装置１１００に具備される第１吸脱着素子１１２１，１１３１の吸着能力よりも高く設定することとすれば、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が安定的に実現されることになる。これは、上述した第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の終わりの段階において第２吸脱着素子１３２１に供給されるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が、第１吸脱着素子１１２１，１１３１に供給される原ガス中に含まれる有機溶剤の濃度よりも高いためである。ここで、第２吸脱着素子１３２１の吸着能力を第１吸脱着素子１１２１，１１３１の吸着能力よりも高く設定する方法としては、第２吸脱着素子１３２１の比表面積を第１吸脱着素子１１２１，１１３１の比表面積よりも大きくすること等が想定される。

　（実施の形態１－２）
　図３は、本発明の実施の形態１－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図３を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂの構成について説明する。

　図３に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂは、上述した実施の形態１－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａと同様に、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置１１００、凝縮回収装置１２００、第２吸脱着処理装置１３００およびブロワ１４００とを主として備えている。ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＡ３～ＬＡ７によって主として構成されている。

　このうち、第１吸脱着処理装置１１００、凝縮回収装置１２００、第２吸脱着処理装置１３００の吸脱着処理塔１３１０およびブロワ１４００の構成やこれらの循環経路上における配設位置等は、上述した実施の形態１－１の場合と同様である。これに対し、第２吸脱着処理装置１３００に具備される第２温度調節手段としての温度調節機構１３３０Ｂの構成および循環経路上における配設位置が、上述した実施の形態１－１の場合と相違している。

　温度調節機構１３３０Ｂは、第２吸脱着処理装置１３００に供給されるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節するためのものであり、より具体的には、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する処理と、第１吸脱着処理装置１１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する処理とを、時間的に交互に行なって第２吸脱着処理塔１３１０に供給するためのものである。

　温度調節機構１３３０Ｂは、配管ラインＬＡ５上に設けられたヒータ１３３１と、配管ラインＬＡ４から分岐して配管ラインＬＡ５に合流するように設けられたバイパスラインとしての配管ラインＬＡ６と、配管ラインＬＡ６に設けられたクーラ１３３２と、配管ラインＬＡ４に設けられたバルブＶＡ３０３と、配管ラインＬＡ６に設けられたバルブＶＡ３０４とを含んでいる。なお、バルブＶＡ３０３は、配管ラインＬＡ４から分岐して設けられた配管ラインＬＡ６に並走する部分の配管ラインＬＡ４に設けられており、ヒータ１３３１は、配管ラインＬＡ４から分岐して設けられた配管ラインＬＡ６に並走する部分の配管ラインＬＡ５に設けられている。また、クーラ１３３２およびバルブＶＡ３０４は、いずれも配管ラインＬＡ６に設けられている。

　ここで、ヒータ１３３１は、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔１３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子１３２１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、処理槽１３２０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　一方、クーラ１３３２は、第１吸脱着処理装置１１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔１３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子１３２１が所定の吸着温度に維持されることとなるように、処理槽１３２０に導入されるキャリアガスを冷却する。

　ここで、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細については、上述した実施の形態１－１に準ずるものであるため、その説明はここでは省略する。ただし、当該有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂにおいて実施される操作については、上述した実施の形態１－１におけるそれと多少異なるため、図３を参照してこの点について詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置１１００の第１処理槽１１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽１１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図２に示すように、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の始めの段階（すなわち、図２中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、温度調節機構１３３０Ｂに設けられたバルブＶＡ３０３が開放されるとともにバルブＶＡ３０４が閉塞されることにより、凝縮回収装置１２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスがヒータ１３３１に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節され、これが第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に供給されることで第２吸脱着素子１３２１に接触させられる。

　次に、第１吸脱着処理装置１１００の第２処理槽１１３０に収容された第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の終わりの段階（すなわち、図２中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）においては、温度調節機構１３３０Ｂに設けられたバルブＶＡ３０３が閉塞されるとともにバルブＶＡ３０４が開放されることにより、第１吸脱着処理装置１１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスがクーラ１３３２に導入されて低温の状態にまで冷却されて温度調節され、これが第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に供給されることで第２吸脱着素子１３２１に接触させられる。

　なお、その際、クーラ１３３２にて第１吸脱着処理装置１１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスが冷却されることにより、当該キャリアガスに含有された有機溶剤が凝縮する可能性もあるが、上述した第１吸脱着素子１１３１の脱着処理期間の始めの段階において第１吸脱着素子１１３１からの有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達していれば、凝縮回収装置１２００のコンデンサ１２１０による凝縮処理によって冷却後の温度状態における有機溶剤の気液平衡状態が既に維持されることとなっているため、当該クーラ１３３２による冷却後においてもキャリアガス中に含まれる有機溶剤の気液平衡状態が維持されて有機溶剤が凝縮することはなくなる。

　ただし、コンデンサ１２１０による冷却後のキャリアガスの温度よりもクーラ１３３２による冷却後のキャリアガスの温度を低く設定した場合には、当該クーラ１３３２において有機溶剤が凝縮する可能性が生じるため、その場合には、当該クーラ１３３２を回収タンク１２２０に接続すれば、凝縮後の有機溶剤を回収タンク１２２０にて回収することが可能になる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂとした場合にも、上述した実施の形態１－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａとした場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂとすることにより、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られることになり、従来に比して高性能の有機溶剤含有ガス処理システムとすることができるとともに、経済性にも優れたものとすることができる。

　（実施例Ａ）
　以下においては、上述した本発明の実施の形態１－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｂを実際に試作し、これを用いて原ガスの処理を行なった場合を実施例Ａとして説明する。

　実施例Ａにおいては、原ガスとして酢酸エチルを２０００ｐｐｍの濃度で含有する３０℃のガスを使用し、キャリアガスとして１３０℃の窒素ガスを使用し、第１吸脱着素子１１２１，１１３１として比表面積が１５００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用し、第２吸脱着素子１３２１として比表面積が２０００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用した。

　まず、初期段階における処理として、上記原ガスを図示しない送風機を用いて第１吸脱着処理装置１１００の一方の処理槽に風量１００ｍ³／ｍｉｎで２０分間送風することによって吸着処理を行なった。

　上記初期段階における処理が終了した後に、以下において説明する一連の処理を１サイクルとして連続的に繰り返して実施することにより、原ガスの処理を行なった。

　具体的には、バルブＶＡ１０１～ＶＡ１０６を切り替え操作し、上記一方の処理槽を脱着槽に切り替えるとともに、残る処理槽を吸着槽とした。脱着槽においては、窒素ガスを風量３４ｍ³／ｍｉｎで導入することで第１吸脱着素子の脱着処理を行ない、吸着槽においては、上述した条件と同様の条件で吸着処理を行なった。なお、凝縮回収装置１２００においては、脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１３０℃の窒素ガスを１０℃にまで冷却することとした。

　ここで、脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの１０分間については、コンデンサ１２１０から排出される未凝縮の酢酸エチルを含む１０℃の窒素ガスをヒータ１３３１を用いて１３０℃にまで加熱して第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に導入し、さらに処理槽１３２０から排出されるガスを第１吸脱着処理装置１１００の脱着槽に導入することとした。

　また、脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間については、バルブＶＡ３０３，ＶＡ３０４を切り替え操作することで脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１３０℃の窒素ガスをクーラ１３３２を用いて１０℃にまで冷却して第２吸脱着処理装置１３００の処理槽１３２０に導入し、さらに処理槽１３２０から排出されるガスを第１吸脱着処理装置１１００の脱着槽に導入することとした。

　以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返して実施した場合において、第１吸脱着処理装置１１００から排出される清浄ガスに含有される酢酸エチルの濃度が、約２０ｐｐｍにまで低減されていることが確認された。すなわち、実施例Ａにおいては、約９９％の高い除去率で酢酸エチルを除去できることが確認された。

　また、上述した脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの１０分間が終了した時点においては、凝縮回収装置１２００に導入される部分の配管ラインＬＡ４を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約６５０００ｐｐｍにまで上昇していることが確認された。また、その際に、凝縮回収装置１２００から排出される部分の配管ラインＬＡ５を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、第２吸脱着処理装置１３００から排出される部分の配管ラインＬＡ７を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認された。

　一方、上述した脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間が終了した時点においては、第２吸脱着処理装置１３００から排出される部分の配管ラインＬＡ７を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約２０００ｐｐｍにまで低下していることが確認された。すなわち、脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間において、第１吸脱着素子１１３１の再生が促進されることが確認された。

　以上の結果より、本発明の適用によって、高い除去率で原ガス中に含まれる有機溶剤としての酢酸エチルを除去することが可能になるとともに、当該酢酸エチルの回収効率の向上が図られることが実験的に確認された。

　なお、上述した本発明の実施の形態１－１，１－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａ，１Ｂにおいては、ブロワやポンプ等の流体搬送手段やストレージタンク等の流体貯留手段などの構成要素を必要最低限のみ図示して説明を行なったが、これら構成要素は必要に応じて適宜の位置に配置すればよい。

　また、上述した本発明の実施の形態１－１，１－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ａ，１Ｂにおいては、第１吸脱着処理装置として、第１吸脱着素子が収容された処理槽を２つ具備し、これらが時間的に交互に吸着槽および脱着槽に切り替えられることで連続的に被処理ガスの処理が可能に構成されたものを例示して説明を行なったが、必ずしも連続的に被処理ガスを処理する必要がない場合には、吸脱着処理装置を単一の処理槽を具備したもので構成してもよい。また、被処理ガスを連続的に処理する必要がある場合にも、上述の切り替え式の第１吸脱着処理装置に代えて、第１吸着素子の一部分を吸着処理ゾーンとして使用するとともに、第１吸着素子の残る部分を脱着処理ゾーンとして使用し、これら吸着処理ゾーンおよび脱着処理ゾーンが吸着材の回転動作に伴って徐々に移動するように構成した回転式の吸着材を具備した吸脱着処理装置にてこれを構成することとしてもよい。

　＜第２実施の形態グループ（実施の形態２－１，２－２，２－３）＞
　次に、本発明の実施の形態２－１，２－２，２－３について説明する。実施の形態２－１，２－２，２－３は、上述した本発明の第３の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものである。なお、以下に示す実施の形態２－１，２－２，２－３においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

　（実施の形態２－１）
　図４は、本発明の実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。まず、この図４を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃの構成について説明する。

　図４に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置２１００、凝縮回収装置２２００、第２吸脱着処理装置２３００、ブロワ２４００および第１温度調節手段２６００と、第１吸脱着処理装置２１００に外気を導入する冷却手段である外気送気手段としての外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）とを主として備えている。なお、第１温度調節手段２６００および外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）は、第１吸脱着処理装置２１００の一部に含まれる。

　ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＢ３～ＬＢ７によって主として構成されており、ブロワ２４００は、当該循環経路中においてキャリアガスを通流させるための送風手段である。なお、キャリアガスとしては、水蒸気、加熱空気、高温に加熱した不活性ガス等、様々な種類のガスを利用することが可能であるが、特に水分を含まないガスである不活性ガスを利用することとすれば、有機溶剤含有ガス処理システムをより簡素に構成することができる。

　第１吸脱着処理装置２１００は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０を有する第１吸脱着処理塔２１１０を含んでいる。第１処理槽２１２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子２１２１が収容されており、第２処理槽２１３０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子２１３１が収容されている。

　第１温度調節手段２６００として備えているヒータ２６１０は、第１吸脱着処理装置２１００に供給されるキャリアガスを高温の状態に温度調節するためのものであり、より具体的には、第２吸脱着処理装置２３００から排出されてブロワ２４００を経由した高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１吸脱着処理塔２１１０に供給するためのものである。ここで、ヒータ２６１０は、第１吸脱着素子２１２１，２１３１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　第１吸脱着素子２１２１，２１３１は、原ガスを接触させることで原ガスに含有される有機溶剤を吸着する。したがって、第１吸脱着処理装置２１００においては、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に原ガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子２１２１，２１３１によって吸着され、これにより原ガスから有機溶剤が分離されることで原ガスが清浄化されて清浄ガスとして第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０から排出されることになる。

　また、第１吸脱着素子２１２１，２１３１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第１吸脱着処理装置２１００においては、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子２１２１，２１３１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０から排出されることになる。

　さらに、第１吸脱着素子２１２１，２１３１は、外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）より外気を導入することで、高温の状態から冷却される。この操作により、第１吸脱着処理装置２１００においては、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０を高温の状態から低温の状態にさせることで、次に原ガスを接触させたときに吸着能力を十分に発揮することができる。

　第１吸脱着素子２１２１，２１３１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第１吸脱着素子２１２１，２１３１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第１吸脱着処理装置２１００には、配管ラインＬＢ１，ＬＢ２がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＢ１は、有機溶剤を含有する原ガスを第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＢ１０１，ＶＢ１０２によって第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＢ２は、清浄ガスを第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＢ１０３，ＶＢ１０４によって第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　また、第１吸脱着処理装置２１００には、配管ラインＬＢ３，ＬＢ４がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＢ３は、キャリアガスを上記ヒータ２６１０を介して第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＢ１０５，ＶＢ１０６によって第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＢ４は、キャリアガスを第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＢ１０１，ＶＢ１０２によって第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０のそれぞれには、上述したバルブＶＢ１０１～ＶＢ１０６の開閉を操作することにより、原ガスと、ヒータ２６１０にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。なお、具体的には、第１処理槽２１２０が吸着槽として機能している場合には、第２処理槽２１３０が脱着槽として機能し、第１処理槽２１２０が脱着槽として機能している場合には、第２処理槽２１３０が吸着槽として機能する。

　ここで、配管ラインＬＢ１は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽に原ガスを供給し、配管ラインＬＢ２は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽から清浄ガスを排出する。また、配管ラインＬＢ３は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽にキャリアガスを供給し、配管ラインＬＢ４は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽からキャリアガスを排出する。

　凝縮回収装置２２００は、コンデンサ２２１０と、回収タンク２２２０とを含んでいる。コンデンサ２２１０は、高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することによってキャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮させるものであり、具体的には、冷却水等を用いてキャリアガスを冷却することで有機溶剤を液化させるクーラにて構成される。また、回収タンク２２２０は、コンデンサ２２１０にて液化された有機溶剤を凝縮液として貯留するものである。また、必要に応じて、比重差の異なる溶剤と溶剤とを、または、溶剤と水とを分離するセパレータをコンデンサ２２１０と回収タンク２２２０との間に設けてもよい。

　凝縮回収装置２２００には、配管ラインＬＢ４，ＬＢ５がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＢ４は、第１吸脱着処理装置２１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ２２１０に供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＢ５は、コンデンサ２２１０内に残留する未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ２２１０から排出するための配管ラインである。

　また、凝縮回収装置２２００には、配管ラインＬＢ８，ＬＢ９がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＢ８は、回収タンク２２２０に貯留された有機溶剤の凝縮液を外部に向けて排出するための配管ラインであり、配管ラインＬＢ９は、回収タンク２２２０中において揮発した有機溶剤を原ガスが搬送される配管ラインＬＢ１に戻すための配管ラインである。

　第２吸脱着処理装置２３００は、単体の処理槽２３２０を有する吸脱着処理塔２３１０と、第２温度調節手段としての温度調節機構２３３０Ａとを含んでいる。処理槽２３２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子２３２１が収容されている。

　温度調節機構２３３０Ａは、第２吸脱着処理装置２３００に供給されるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節するためのものであり、より具体的には、凝縮回収装置２２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節して第２吸脱着処理塔２３１０に供給するためのものである。

　温度調節機構２３３０Ａは、配管ラインＬＢ５上に設けられたヒータ２３３１と、配管ラインＬＢ５から分岐して再び配管ラインＬＢ５に合流するように設けられたバイパスラインとしての配管ラインＬＢ６と、配管ラインＬＢ５に設けられたバルブＶＢ３０１と、配管ラインＬＢ６に設けられたバルブＶＢ３０２とを含んでいる。なお、ヒータ２３３１およびバルブＶＢ３０１は、いずれも配管ラインＬＢ５から分岐して設けられた配管ラインＬＢ６に並走する部分の配管ラインＬＢ５に設けられている。

　ここで、ヒータ２３３１は、未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔２３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子２３２１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、処理槽２３２０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　一方、配管ラインＬＢ６は、未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節して第２吸脱着処理塔２３１０に供給する場合に、第２吸脱着素子２３２１が所定の吸着温度に維持されることとなるように、処理槽２３２０に導入されるキャリアガスをそのまま搬送するかあるいは必要に応じて冷却するための配管ラインである。なお、キャリアガスを配管ラインＬＢ６において冷却する場合には、当該配管ラインＬＢ６に別途クーラを設けることとすれば効率的である。

　第２吸脱着素子２３２１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第２吸脱着処理装置２３００においては、処理槽２３２０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子２３２１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが処理槽２３２０から排出されることになる。

　また、第２吸脱着素子２３２１は、低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで有機溶剤を吸着する。したがって、第２吸脱着処理装置２３００においては、処理槽２３２０に低温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子２３２１によって吸着され、これによりキャリアガスから有機溶剤が分離されることでキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が低下し、この有機溶剤の濃度が低下した低温のキャリアガスが処理槽２３２０から排出されることになる。

　第２吸脱着素子２３２１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第２吸脱着素子２３２１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第２吸脱着処理装置２３００には、配管ラインＬＢ５，ＬＢ７がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＢ５は、キャリアガスを上記温度調節機構２３３０Ａに供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＢ７は、キャリアガスを処理槽２３２０から排出するための配管ラインである。

　処理槽２３２０には、上述したバルブＶＢ３０１，ＶＢ３０２の開閉を操作することにより、温度調節機構２３３０Ａにて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、温度調節機構２３３０Ａにて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、処理槽２３２０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。

　ここで、温度調節機構２３３０Ａは、処理槽２３２０を脱着槽として機能させる場合に当該処理槽２３２０に、ヒータ２３３１を接続させて高温の状態にあるキャリアガスを処理槽２３２０に供給し、処理槽２３２０を吸着槽として機能させる場合に、当該処理槽２３２０に配管ラインＬＢ６を接続させて低温の状態にあるキャリアガスを処理槽２３２０に供給する。

　第２吸脱着処理装置２３００から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスは、配管ラインＬＢ７を介してブロワ２４００へと搬送され、ブロワ２４００を通過した後に配管ラインＬＢ３を経由して第１吸脱着処理装置２１００に供給される。

　なお、上述した配管ラインＬＢ３には、キャリアガスを循環経路に外部から導入するための配管ラインＬＢ０が設けられている。当該配管ラインＬＢ０は、上述した有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃの初期設置時においてキャリアガスを循環経路に導入したり、メンテナンス時等において必要に応じてキャリアガスを循環経路に補充したりするためのものである。

　また、第１吸脱着処理装置２１００は、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０を循環経路から切り離すことで配管ラインＬＢ３と配管ラインＬＢ４とをバイパスさせるバイパス経路（配管ラインＬＢ１０）を有していることが好ましい。これは、連続処理運転時においては、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０を交互に原ガス導入路（すなわち配管ラインＬＢ１）および循環経路に接続することで吸脱着処理を繰り返すことになるが、第１吸脱着処理装置２１００がバイパス経路（配管ラインＬＢ１０）を有することにより、第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０と上記原ガス導入路および循環経路との接続状態の切り替え時にブロワ２４００を停止せずともその切り替えが可能になるためである。

　図５は、図４に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図５を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細について説明する。

　図５を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃは、図中に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施さることにより、有機溶剤含有ガスの処理が連続して行なわれるものである。

　上記１サイクルの前半（図中に示す時刻ｔ０～ｔ３の間）においては、第１吸脱着素子２１２１が設置された第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０において吸着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子２１３１が設置された第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０において脱着処理と冷却処理とが、脱着処理、冷却処理の順番で実施される。

　さらに、当該１サイクルの前半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、第２吸脱着素子２３２１が設置された第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの前半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ１～ｔ３の間）においては、当該処理槽２３２０において吸着処理が実施される。なお、上述した第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０における脱着処理と冷却処理との切り替えは、上記１サイクルの前半の終わりの段階の所定のタイミング（図中に示す時刻ｔ２）において実施される。

　また、上記１サイクルの後半（図中に示す時刻ｔ３～ｔ６の間）においては、第１吸脱着素子２１２１が設置された第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０において脱着処理と冷却処理とが、脱着処理、冷却処理の順番で実施され、これと並行して、第１吸脱着素子２１３１が設置された第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０において吸着処理が実施される。

　さらに、当該１サイクルの後半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ３～ｔ４の間）においては、第２吸脱着素子２３２１が設置された第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの後半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ４～ｔ６の間）においては、当該処理槽２３２０において吸着処理が実施される。なお、上述した第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１３０における脱着処理と冷却処理との切り替えは、上記１サイクルの後半の終わりの段階の所定のタイミング（図中に示す時刻ｔ５）において実施される。

　すなわち、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃにあっては、一対の第１吸脱着素子２１２１，２１３１のいずれかにおいて脱着処理と冷却処理とが実施される脱着冷却処理期間の始めの段階において第２吸脱着素子２３２１において脱着処理が実施され、一対の第１吸脱着素子２１２１，２１３１のいずれかにおいて脱着処理と冷却処理とが実施される脱着冷却処理期間の終わりの段階において第２吸脱着素子２３２１において吸着処理が実施される。

　なお、上述した１サイクル中においては、凝縮回収装置２２００において常時キャリアガスから有機溶剤が回収されることになる。

　次に、上述した有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃにおいて実施される操作について、図４を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽２１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図４に示すように、第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０に収容された第１吸脱着素子２１３１の脱着冷却処理期間の始めの段階（すなわち、図５中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、温度調節機構２３３０Ａに設けられたバルブＶＢ３０１が開放されるとともにバルブＶＢ３０２が閉塞されることにより、凝縮回収装置２２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスがヒータ２３３１に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節され、これが第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０に供給されることで第２吸脱着素子２３２１に接触させられる。

　これにより、第２吸脱着素子２３２１の吸着済みの有機溶剤が当該高温の状態あるキャリアガスによって第２吸脱着素子２３２１から脱着されることになり、処理槽２３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に上昇する。これに伴って、第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０に収容された第１吸脱着素子２１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に上昇することになるが、当該第１吸脱着素子２１３１の脱着処理自体には殆ど影響はなく、相当程度にまで当該第１吸脱着素子２１３１の再生が行なわれる。当該操作は、第１吸脱着素子２１３１からの有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　次に、第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０に収容された第１吸脱着素子２１３１の脱着冷却処理期間の終わりの段階（すなわち、図５中に示す時刻ｔ１～ｔ３の間）においては、温度調節機構２３３０Ａに設けられたバルブＶＢ３０１が閉塞されるとともにバルブＶＢ３０２が開放されることにより、凝縮回収装置２２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスが配管ラインＬＢ６を経由してそのまま第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０に供給されることで第２吸脱着素子２３２１に接触させられる。

　これにより、第２吸脱着素子２３２１によってキャリアガスに含有された有機溶剤が吸着されることになり、処理槽２３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に低下する。これに伴って、第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０に収容された第１吸脱着素子２１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に低下することになり、当該第１吸脱着素子２１３１の再生がさらに促進されることになる。当該操作は、第１吸脱着素子２１３１による有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　ここで、第１吸脱着処理装置２１００の第２処理槽２１３０に収容された第１吸脱着素子２１３１の脱着冷却処理期間の終わりの段階であって有機溶剤の脱着が完了した所定のタイミング（すなわち、図５に示す時刻ｔ２）において、第１吸脱着素子２１３１への原ガスの供給が停止され、第１吸脱着素子２１３１に外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）を介して外気が導入される。当該外気の導入は、第１吸脱着素子２１３１の脱着冷却処理期間が完了するまで（すなわち、図５に示す時刻ｔ３まで）実施され、これにより第１吸脱着素子２１３１の冷却が行なわれる。その結果、外気を第１吸脱着素子２１３１に導入する段階（すなわち、図５に示す時刻ｔ２～ｔ３の間）においては、高温状態となっている第１吸脱着素子２１３１が迅速に冷却されることになる。なお、上述したように、第１吸脱着素子２１３１からは有機溶剤が既に脱着されているため、排出されるガスは有機溶剤を含まず、第１処理槽２１２０に導入した外気を配管ラインＬＢ２を介してそのまま外部に放出しても問題はない。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置２１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子２１２１，２１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際においても、その前に第１吸脱着素子２１２１，２１３１が冷却されているため、効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られることになり、従来に比して高性能の有機溶剤含有ガス処理システムとすることができる。

　また、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃは、循環経路を構築することでキャリアガスを繰り返し使用できるように構成されたものであるため、経済性にも優れたものとすることができる。したがって、窒素ガス等に代表される不活性ガスをキャリアガスとして使用した場合に、特にランニングコストを抑制できる効果が得られる。

　なお、第２吸脱着処理装置２３００に具備される第２吸脱着素子２３２１の吸着能力を第１吸脱着処理装置２１００に具備される第１吸脱着素子２１２１，２１３１の吸着能力よりも高く設定することとすれば、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が安定的に実現されることになる。これは、上述した第１吸脱着素子２１３１の脱着処理期間の終わりの段階において第２吸脱着素子２３２１に供給されるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が、第１吸脱着素子２１２１，２１３１に供給される原ガス中に含まれる有機溶剤の濃度よりも高いためである。ここで、第２吸脱着素子２３２１の吸着能力を第１吸脱着素子２１２１，２１３１の吸着能力よりも高く設定する方法としては、第２吸脱着素子２３２１の比表面積を第１吸脱着素子２１２１，２１３１の比表面積よりも大きくすること等が想定される。

　（実施の形態２－２）
　図６は、本発明の実施の形態２－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図６を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄの構成について説明する。

　図６に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置２１００、凝縮回収装置２２００、第２吸脱着処理装置２３００、ブロワ２４００および第１温度調節手段２６００を主として備えている。ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＢ３～ＬＢ７によって主として構成されている。

　このうち、第１吸脱着処理装置２１００、凝縮回収装置２２００、第２吸脱着処理装置２３００およびブロワ２４００の構成やこれらの循環経路上における配設位置等は、上述した実施の形態２－１の場合と同様である。これに対し、第１温度調節手段２６００の構成が異なる点や外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）が設けられていない点等において、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄは、上述した実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃと相違している。なお、第１温度調節手段２６００は、第１吸脱着処理装置２１００の一部に含まれ、第１吸脱着素子２１２１，２１３１を冷却するための冷却手段としても機能する。

　第１温度調節手段２６００は、ヒータ２６１０と、当該ヒータ２６１０を循環経路から切り離すためのヒータバイパス経路（配管ラインＬＢ１２）とを含んでいる。ヒータ２６１０およびヒータバイパス経路（配管ラインＬＢ１２）は、第１吸脱着処理装置２１００に供給されるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節するためのものであり、より具体的には、第２吸脱着処理装置２３００から排出された高温または低温のキャリアガスを高温の状態に温度調節する処理と、第１吸脱着処理装置２１００から排出された高温または低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する処理とを、時間的に交互に行なって第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０または第２処理槽２１３０に供給するためのものである。

　上記の第１温度調節手段２６００は、配管ラインＬＢ３上に設けられたヒータ２６１０と、配管ラインＬＢ３から分岐して配管ラインＬＢ３に合流するように設けられたバイパスラインとしての配管ラインＬＢ１２とに加え、配管ラインＬＢ３に設けられたバルブＶＢ６０１と、配管ラインＬＢ１２に設けられたバルブＶＢ６０２とを含んでいる。

　ここで、ヒータ２６１０は、第２吸脱着処理装置２３００から排出されたキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０または第２処理槽２１３０に供給する場合に、第１吸脱着素子２１２１または第１吸脱着素子２１３１が所定の脱着温度に維持されることとなるようにキャリアガスを加熱する。

　一方、配管ラインＬＢ１２は、第２吸脱着処理装置２３００から排出されたキャリアガスを低温の状態に温度調節して第１吸脱着処理装置２１００の第１処理槽２１２０または第２処理槽２１３０に供給する場合に、第１吸脱着素子２１２１または第１吸脱着素子２１３１が所定の温度まで冷却されるように、キャリアガスを冷却する。このとき、キャリアガスは、ヒータ２６１０を通らないことによって、ヒータ２６１０の温度よりも低下することで冷却されるが、さらに配管ラインＬＢ１２に別途クーラを設けた場合には、冷却効果を高めることができ、より効率的にキャリアガスを冷却することができる。

　なお、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細については、上述した実施の形態２－１に準ずるものであるため、その説明はここでは省略する。また、当該有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄにおいて実施される操作については、上述した実施の形態２－１におけるそれと多少異なる点はあるものの、図５に示すタイムチャートと同様の処理が実現されるようにその操作が行なわれるものであるため、その説明はここでは省略する。

　このように構成した場合には、上述した実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃにおいて具備された外気送気手段としての外気導入路（配管ラインＬＢ１１）に代えて、上述した第１温度調節手段２６００のヒータバイパス経路（配管ラインＬＢ１２）が、第１吸脱着素子２１２１または第１吸脱着素子２１３１を冷却する冷却手段として機能することになる。そのため、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｄとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置２１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子２１２１，２１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際においても、その前に第１吸脱着素子２１２１，２１３１が冷却されているため、効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、上述した実施の形態２－１において説明した効果と同様の効果を得ることができる。

　（実施の形態２－３）
　図７は、本発明の実施の形態２－３における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図７を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅの構成について説明する。

　図７に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置２１００、凝縮回収装置２２００、第２吸脱着処理装置２３００、ブロワ２４００および第１温度調節手段２６００を主として備えている。ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＢ３～ＬＢ７によって主として構成されている。なお、第１温度調節手段２６００は、第１吸脱着処理装置２１００の一部に含まれる。

　このうち、凝縮回収装置２２００、第２吸脱着処理装置２３００、ブロワ２４００および第１温度調節手段２６００の構成やこれらの循環経路上における配設位置等は、上述した実施の形態２－１の場合と同様である。これに対し、外気導入経路（配管ラインＬＢ１１）が設けられていない点や第１吸脱着処理装置２１００に具備される第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０における構成等において、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅは、上述した実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃと相違している。

　第１吸脱着処理装置２１００に具備される第１処理槽２１２０および第２処理槽２１３０においては、第１吸脱着素子２１２１，２１３１を冷媒を用いて間接的に冷却する冷却手段としての間接冷却設備が設けられている。当該間接冷却設備としては、たとえば図示する如くの冷却回路（配管ラインＬＢ１３）が利用できる（図においては、第１吸脱着素子２１２１に設けられた冷却回路のみを図示し、第１吸脱着素子２１３１に設けられた冷却回路の図示は省略している）。当該冷却回路（配管ラインＬＢ１３）は、第１吸脱着素子２１２１，２１３１の中に巻き回されて埋設された中空状の銅管部分を有し、当該中空状の銅管部分に低温に冷却した冷媒としての水を通流すことにより、第１吸脱着素子２１２１，２１３１を冷却するものである。

　ここで、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細については、上述した実施の形態２－１に準ずるものであるため、その説明はここでは省略する。また、当該有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅにおいて実施される操作については、上述した実施の形態２－１におけるそれと多少異なる点はあるものの、図５に示すタイムチャートと同様の処理が実現されるようにその操作が行なわれるものであるため、その説明はここでは省略する。

　このように構成した場合には、上述した実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃにおいて具備された外気送気手段としての外気導入路（配管ラインＬＢ１１）に代えて、上述した間接冷却設備としての冷却回路（配管ラインＬＢ１３）が、第１吸脱着素子２１２１または第１吸脱着素子２１３１を冷却する冷却手段として機能することになる。そのため、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置２１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子２１２１，２１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際においても、その前に第１吸脱着素子２１２１，２１３１が冷却されているため、効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、上述した実施の形態２－１において説明した効果と同様の効果を得ることができる。

　なお、上述した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｅにおいては、間接冷却設備の冷却回路に通流される冷媒として水を利用した場合を例示したが、当該冷媒としては、他の液体や気体を用いることも当然に可能である。さらには、設備の簡素化の観点から、第１吸脱着処理装置２１００に供給される前の原ガスを冷媒として用いることも可能であるし、第１吸脱着処理装置２１００から排出された清浄ガスを冷媒として用いることもできる。

　（実施例Ｂ）
　以下においては、上述した本発明の実施の形態２－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃを実際に試作し、これを用いて原ガスの処理を行なった場合を実施例Ｂとして説明する。

　実施例Ｂにおいては、原ガスとして酢酸エチルを２０００ｐｐｍの濃度で含有する３０℃のガスを使用し、キャリアガスとして１３０℃の窒素ガスを使用し、第１吸脱着素子２１２１，２１３１として比表面積が１５００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用し、第２吸脱着素子２３２１として比表面積が１８００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用した。

　まず、初期段階における処理として、上記原ガスを図示しない送風機を用いて第１吸脱着処理装置２１００の一方の処理槽に風量１００ｍ³／ｍｉｎで２５分間送風することによって吸着処理を行なった。

　具体的には、バルブＶＢ１０１～ＶＢ１０６を切り替え操作し、上記一方の処理槽を脱着槽に切り替えるとともに、残る処理槽を吸着槽とした。脱着槽においては、窒素ガスを風量３３ｍ³／ｍｉｎで導入することで第１吸脱着素子の脱着処理を行ない、吸着槽においては、上述した条件と同様の条件で吸着処理を行なった。なお、凝縮回収装置２２００においては、脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１３０℃の窒素ガスを１０℃にまで冷却することとした。

　ここで、脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの１０分間については、コンデンサ２２１０から排出される未凝縮の酢酸エチルを含む１０℃の窒素ガスをヒータ２３３１を用いて１３０℃にまで加熱して第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０に導入し、さらに処理槽２３２０から排出されるガスを第１吸脱着処理装置２１００の脱着槽に導入することとした。

　また、脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間については、バルブＶＢ３０１，ＶＢ３０２を切り替え操作することで脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１３０℃の窒素ガスを配管ラインＬＢ６に図示していない別途設けたクーラを用いて１０℃にまで冷却して第２吸脱着処理装置２３００の処理槽２３２０に導入し、さらに処理槽２３２０から排出されるガスを第１吸脱着処理装置２１００の脱着槽に導入することとした。

　さらに、脱着処理が完了した後の冷却処理は、図示していない送風機を用いて外気を脱着槽に５分間導入することで、１３０℃から５０℃にまで第１吸脱着処理装置２１００の脱着槽を冷却することとした。

　以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返して実施した場合において、第１吸脱着処理装置２１００から排出される清浄ガスに含有される酢酸エチルの濃度が、平均で約２０ｐｐｍにまで低減されており、吸着初期においても高いピークは検出されないことが確認された。すなわち、実施例Ｂにおいては、約９９％の高い除去率で酢酸エチルを除去できることが確認された。

　また、上述した脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの１０分間が終了した時点においては、凝縮回収装置２２００に導入される部分の配管ラインＬＢ４を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約６５０００ｐｐｍにまで上昇していることが確認された。また、その際に、凝縮回収装置２２００から排出される部分の配管ラインＬＢ５を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、第２吸脱着処理装置２３００から排出される部分の配管ラインＬＢ７を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認された。

　一方、上述した脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間が終了した時点においては、第２吸脱着処理装置２３００から排出される部分の配管ラインＬＢ７を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約２０００ｐｐｍにまで低下していることが確認された。すなわち、脱着槽における脱着を開始した時点から１０分経過した後を始期とする終わりの１０分間において、第１吸脱着素子２１３１の再生が促進されることが確認された。

　なお、上述した本発明の実施の形態２－１，２－２，２－３における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃ，１Ｄ，１Ｅにおいては、ブロワやポンプ等の流体搬送手段やストレージタンク等の流体貯留手段などの構成要素を必要最低限のみ図示して説明を行なったが、これら構成要素は必要に応じて適宜の位置に配置すればよい。

　また、上述した本発明の実施の形態２－１，２－２，２－３における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｃ，１Ｄ，１Ｅにおいては、第１吸脱着処理装置として、第１吸脱着素子が収容された処理槽を２つ具備し、これらが時間的に交互に吸着槽および脱着槽に切り替えられることで連続的に被処理ガスの処理が可能に構成されたものを例示して説明を行なったが、必ずしも連続的に被処理ガスを処理する必要がない場合には、吸脱着処理装置を単一の処理槽を具備したもので構成してもよい。また、被処理ガスを連続的に処理する必要がある場合にも、上述の切り替え式の第１吸脱着処理装置に代えて、第１吸着素子の一部分を吸着処理ゾーンとして使用するとともに、第１吸着素子の残る部分を脱着処理ゾーンとして使用し、これら吸着処理ゾーンおよび脱着処理ゾーンが吸着材の回転動作に伴って徐々に移動するように構成した回転式の吸着材を具備した吸脱着処理装置にてこれを構成することとしてもよい。

　＜第３実施の形態グループ（実施の形態３－１，３－２）＞
　次に、本発明の実施の形態３－１，３－２について説明する。実施の形態３－１は、上述した本発明の第４の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものであり、実施の形態３－２は、上述した本発明の第５の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものである。なお、以下に示す実施の形態３－１，３－２においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

　（実施の形態３－１）
　図８は、本発明の実施の形態３－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。図９は、図８に示す第２吸脱着処理装置の模式外観図である。まず、これら図８および図９を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆの構成について説明する。

　図８に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置３１００、第２吸脱着処理装置３２００、凝縮回収装置３３００およびブロワ３４００とを主として備えている。

　ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＣ３～ＬＣ８によって主として構成されており、ブロワ３４００は、当該循環経路中においてキャリアガスを通流させるための送風手段である。なお、キャリアガスとしては、水蒸気、加熱空気、高温に加熱した不活性ガス等、様々な種類のガスを利用することが可能であるが、特に水分を含まないガスである不活性ガスを利用することとすれば、有機溶剤含有ガス処理システムをより簡素に構成することができる。

　第１吸脱着処理装置３１００は、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０を有する吸脱着処理塔３１１０と、第１温度調節手段としてのヒータ３１４０とを含んでいる。第１処理槽３１２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子３１２１が収容されており、第２処理槽３１３０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子３１３１が収容されている。

　ヒータ３１４０は、第１吸脱着処理装置３１００に供給されるキャリアガスを高温の状態に温度調節するためのものであり、より具体的には、第２吸脱着処理装置３２００から排出されてブロワ３４００を経由した低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して吸脱着処理塔３１１０に供給するためのものである。ここで、ヒータ３１４０は、第１吸脱着素子３１２１，３１３１が所定の脱着温度に維持されることとなるように、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　第１吸脱着素子３１２１，３１３１は、原ガスを接触させることで原ガスに含有される有機溶剤を吸着する。したがって、第１吸脱着処理装置３１００においては、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に原ガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子３１２１，３１３１によって吸着され、これにより原ガスから有機溶剤が分離されることで原ガスが清浄化されて清浄ガスとして第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０から排出されることになる。

　また、第１吸脱着素子３１２１，３１３１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第１吸脱着処理装置３１００においては、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子３１２１，３１３１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０から排出されることになる。

　第１吸脱着素子３１２１，３１３１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第１吸脱着素子３１２１，３１３１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第１吸脱着処理装置３１００には、配管ラインＬＣ１，ＬＣ２がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＣ１は、有機溶剤を含有する原ガスを第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＣ１０１，ＶＣ１０２によって第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＣ２は、清浄ガスを第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＣ１０３，ＶＣ１０４によって第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　また、第１吸脱着処理装置３１００には、配管ラインＬＣ３，ＬＣ４がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＣ３は、キャリアガスを上記ヒータ３１４０を介して第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＣ１０５，ＶＣ１０６によって第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＣ４は、キャリアガスを第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＣ１０１，ＶＣ１０２によって第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０のそれぞれには、上述したバルブＶＣ１０１～ＶＣ１０６の開閉を操作することにより、原ガスと、ヒータ３１４０にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。なお、具体的には、第１処理槽３１２０が吸着槽として機能している場合には、第２処理槽３１３０が脱着槽として機能し、第１処理槽３１２０が脱着槽として機能している場合には、第２処理槽３１３０が吸着槽として機能する。

　ここで、配管ラインＬＣ１は、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽に原ガスを供給し、配管ラインＬＣ２は、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽から清浄ガスを排出する。また、配管ラインＬＣ３は、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽にキャリアガスを供給し、配管ラインＬＣ４は、第１処理槽３１２０および第２処理槽３１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽からキャリアガスを排出する。

　図８および図９に示すように、第２吸脱着処理装置３２００は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子３２１０を含んだロータ式の吸脱着処理装置にて構成されており、第１処理部３２２０と、第２処理部３２３０と、パージ部３２４０と、配管ラインＬＣ８とを主として有している。

　第１処理部３２２０は、第１吸脱着処理装置３１００から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ凝縮回収装置３３００に至る部分の循環経路上に設けられており、配管ラインＬＣ４，ＬＣ５にそれぞれ接続されている。

　第２処理部３２３０は、凝縮回収装置３３００から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ第１吸脱着処理装置３１００に至る部分の循環経路上に設けられており、配管ラインＬＣ６，ＬＣ７にそれぞれ接続されている。

　配管ラインＬＣ８は、配管ラインＬＣ７から分岐して配管ラインＬＣ６に合流するように設けられたバイパスラインにて構成されており、パージ部３２４０は、この配管ラインＬＣ８上に設けられている。

　図９に示すように、第２吸脱着素子３２１０は、略円柱状の外形を有する吸着材からなり、その軸中心に中心軸３２１５が設けられている。第２吸脱着処理装置３２００には、図示しないアクチュエータが付設されており、当該アクチュエータによって中心軸３２１５が回転駆動される。中心軸３２１５が回転駆動されることにより、第２吸脱着素子３２１０は、図中に示す矢印Ａ方向に回転する。

　第２吸脱着素子３２１０の回転に伴い、第２吸脱着素子３２１０の任意の部分は、第１処理部３２２０と第２処理部３２３０との間で時間的に交互に移動することになる。より詳細には、第２吸脱着素子３２１０の任意の部分は、第１処理部３２２０、パージ部３２４０、第２処理部３２３０の順に移行し、再び第１処理部３２２０に移行する。

　第２吸脱着素子３２１０は、有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第２吸脱着処理装置３２００においては、配管ラインＬＣ４を介して第１処理部３２２０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子３２１０から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第１処理部３２２０から配管ラインＬＣ５を介して排出されることになる。

　また、第２吸脱着素子３２１０は、低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで有機溶剤を吸着する。したがって、第２吸脱着処理装置３２００においては、配管ラインＬＣ６を介して第２処理部３２３０に未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子３２１０によって吸着され、これによりキャリアガスから有機溶剤が分離されることでキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が低下し、この有機溶剤の濃度が低下した低温の状態にあるキャリアガスが第２処理部３２３０から配管ラインＬＣ７を介して排出されることになる。

　なお、パージ部３２４０においては、第２処理部３２３０にて吸着処理が実施された後の低温の状態にあるキャリアガスの一部が配管ラインＬＣ７，ＬＣ８を介して第２吸脱着素子３２１０に接触させられる。これにより、パージ部３２４０においては、第１処理部３２２０において脱着処理に使用された部分の第２吸脱着素子３２１０が冷却されることになり、第２処理部３２３０において速やかに第２吸脱着素子３２１０の吸着性能が発揮されることになる。

　第２吸脱着素子３２１０は、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭およびゼオライトのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第２吸脱着素子３２１０は、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用される。活性炭やゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着および脱着する機能に優れている。

　図８に示すように、凝縮回収装置３３００は、コンデンサ３３１０と、回収タンク３３２０とを含んでいる。コンデンサ３３１０は、高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することによってキャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮させるものであり、具体的には、冷却水等を用いてキャリアガスを冷却することで有機溶剤を液化させるクーラにて構成される。また、回収タンク３３２０は、コンデンサ３３１０にて液化された有機溶剤を凝縮液として貯留するものである。また、必要に応じて、比重差の異なる溶剤と溶剤とを、または、溶剤と水とを分離するセパレータをコンデンサ３３１０と回収タンク３３２０との間に設けてもよい。

　凝縮回収装置３３００には、配管ラインＬＣ５，ＬＣ６がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＣ５は、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０から排出された高温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ３３１０に供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＣ６は、コンデンサ３３１０内に残留する未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ３３１０から排出して第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に供給するための配管ラインである。

　また、凝縮回収装置３３００には、配管ラインＬＣ９，ＬＣ１０がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＣ９は、回収タンク３３２０に貯留された有機溶剤の凝縮液を外部に向けて排出するための配管ラインであり、配管ラインＬＣ１０は、回収タンク３３２０中において揮発した有機溶剤を原ガスが搬送される配管ラインＬＣ１に戻すための配管ラインである。

　なお、上述した配管ラインＬＣ３には、キャリアガスを循環経路に外部から導入するための配管ラインＬＣ０が設けられている。当該配管ラインＬＣ０は、上述した有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆの初期設置時においてキャリアガスを循環経路に導入したり、メンテナンス時等において必要に応じてキャリアガスを循環経路に補充したりするためのものである。

　図１０は、図８に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図１０を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細について説明する。

　図１０を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆは、図中に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施さることにより、有機溶剤含有ガスの処理が連続して行なわれるものである。

　上記１サイクルの前半（図中に示す時刻ｔ０～ｔ２の間）においては、第１吸脱着素子３１２１が設置された第１吸脱着処理装置３１００の第１処理槽３１２０において吸着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子３１３１が設置された第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０において脱着処理が実施される。

　また、上記１サイクルの後半（図中に示す時刻ｔ２～ｔ４の間）においては、第１吸脱着素子３１２１が設置された第１吸脱着処理装置３１００の第１処理槽３１２０において脱着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子３１３１が設置された第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０において吸着処理が実施される。

　さらに、当該１サイクル中の全期間（図中に示す時刻ｔ０～ｔ４の間）にわたって、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において脱着処理が継続的に実施され、これと並行して、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において吸着処理が継続的に実施される。

　なお、上述した１サイクル中においては、凝縮回収装置３３００において常時キャリアガスから有機溶剤が回収されることになる。

　次に、上述した有機溶剤含有ガスの処理について、図８を参照してより詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置３１００の第１処理槽３１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽３１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図８に示すように、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０において実施される脱着処理により当該第２処理槽３１３０から排出されることとなる有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスは、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に供給されることで第２吸脱着素子３２１０に接触させられる。当該第１処理部３２２０においては、脱着処理が実施され、これにより第２吸脱着素子３２１０に吸着済みの有機溶剤が当該高温の状態あるキャリアガスによって第２吸脱着素子３２１０から脱着されることになる。

　第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０から排出された有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスは、凝縮回収装置３３００に供給されることで冷却されて低温の状態に温度調節され、これにより有機溶剤の一部が液化して凝縮液として回収される。

　凝縮回収装置３３００から排出される未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスは、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に供給されることで第２吸脱着素子３２１０に再び接触させられる。当該第２処理部３２３０においては、吸着処理が実施され、これにより第２吸脱着素子３２１０よって低温の状態にあるキャリアガスに含有された有機溶剤が吸着されることになる。

　第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０から排出された低温の状態にあるキャリアガスは、ヒータ３１４０に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節され、これが第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に供給される。

　上記処理が所定期間にわたって継続して実施されることにより、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０にて吸着された有機溶剤が、その後、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０において脱着されることになる。そのため、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度は、大幅に低下することになる。

　これに伴い、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に収容された第１吸脱着素子３１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も大幅に低下することになる。したがって、当該第１吸脱着素子３１３１の再生が促進されることになる。以上の処理は、第１吸脱着素子３１３１による有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置３１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子３１２１，３１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際により効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られることになり、従来に比して高性能の有機溶剤含有ガス処理システムとすることができる。

　また、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆは、循環経路を構築することでキャリアガスを繰り返し使用できるように構成されたものであるため、経済性にも優れたものとすることができる。したがって、窒素ガス等に代表される不活性ガスをキャリアガスとして使用した場合に、特にランニングコストを抑制できる効果が得られる。

　なお、上述した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆにおいては、第１吸脱着処理装置３１００から排出されることとなる有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスを配管ラインＬＣ４を介してそのまま第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に供給するように構成した場合を例示したが、当該第１処理部３２２０における第２吸脱着素子３２１０の脱着性能を高める目的で、必要に応じて配管ラインＬＣ４上にヒータを設けることとしてもよい。

　（実施例Ｃ）
　以下においては、上述した本発明の実施の形態３－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆを実際に試作し、これを用いて原ガスの処理を行なった場合を実施例Ｃとして説明する。

　実施例Ｃにおいては、原ガスとして酢酸エチルを２０００ｐｐｍの濃度で含有する３０℃のガスを使用し、キャリアガスとして１４０℃の窒素ガスを使用し、第１吸脱着素子３１２１，３１３１として比表面積が１５００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用し、第２吸脱着素子３２１０としてゼオライトからなるハニカム状の吸着材を使用した。

　まず、初期段階における処理として、上記原ガスを図示しない送風機を用いて第１吸脱着処理装置３１００の一方の処理槽に風量９０ｍ³／ｍｉｎで１０分間送風することによって吸着処理を行なった。

　上記初期段階における処理が終了した後に、以下において説明する１０分間にわたる一連の処理を１サイクルとして連続的に繰り返して実施することにより、原ガスの処理を行なった。

　具体的には、バルブＶＣ１０１～ＶＣ１０６を切り替え操作し、上記一方の処理槽を脱着槽に切り替えるとともに、残る処理槽を吸着槽とした。脱着槽においては、窒素ガスを風量３０ｍ³／ｍｉｎで導入することで第１吸脱着素子の脱着処理を行ない、吸着槽においては、上述した条件と同様の条件で吸着処理を行なった。なお、凝縮回収装置３３００においては、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０から排出される酢酸エチルを含有する窒素ガスを１０℃にまで冷却することとした。

　以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返して実施した場合において、第１吸脱着処理装置３１００から排出される清浄ガスに含有される酢酸エチルの濃度が、約２０ｐｐｍにまで低減されていることが確認された。すなわち、実施例Ｃにおいては、約９９％の高い除去率で酢酸エチルを除去できることが確認された。

　なお、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に導入される部分の配管ラインＬＣ４を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約３１０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、凝縮回収装置３３００に導入される部分の配管ラインＬＣ５を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約６５０００ｐｐｍであることが確認された。

　また、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に導入される部分の配管ラインＬＣ６を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、第１吸脱着処理装置３１００に導入される部分の配管ラインＬＣ３を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約２５０００ｐｐｍであることが確認された。

　以上において説明した本実施例により、本発明の適用によって、高い除去率で原ガス中に含まれる有機溶剤としての酢酸エチルを除去することが可能になるとともに、当該酢酸エチルの回収効率の向上が図られることが実験的に確認された。

　（実施の形態３－２）
　図１１は、本発明の実施の形態３－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図１１を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇの構成について説明する。

　図１１に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇは、上述した実施の形態３－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆと同様に、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置３１００、第２吸脱着処理装置３２００、凝縮回収装置３３００およびブロワ３４００とを主として備えている。ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＣ３～ＬＣ８，ＬＣ１１によって主として構成されている。

　本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇは、第２吸脱着処理装置３２００が第２温度調節手段としての温度調節機構３２５０を含んでいる点において、上述した実施の形態３－１の場合と相違している。

　温度調節機構３２５０は、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に供給されるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節するためのものであり、より具体的には、第１吸脱着処理装置３１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節して第１処理部３２２０に供給するためのものである。

　温度調節機構３２５０は、配管ラインＬＣ４から分岐して再び配管ラインＬＣ４に合流するように設けられたバイパスラインとしての配管ラインＬＣ１１と、配管ラインＬＣ１１上に設けられたクーラ３２５１と、配管ラインＬＣ４に設けられたバルブＶＣ２０１と、配管ラインＬＣ１１に設けられたバルブＶＣ２０２とを含んでいる。なお、バルブＶＣ２０１は、配管ラインＬＣ４から分岐して設けられた配管ラインＬＣ１１に並走する部分の配管ラインＬＣ４に設けられている。

　ここで、配管ラインＬＣ４は、有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１処理部３２２０に供給する場合に、第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０が所定の脱着温度に維持されることとなるように、第１処理部３２２０に導入されるキャリアガスをそのまま搬送するか、あるいは必要に応じて配管ラインＬＣ１１に並走する部分の配管ラインＬＣ４に別途設けられたヒータを用いて加熱して搬送するための配管ラインである。

　一方、クーラ３２５１は、有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節して第１処理部３２２０に供給する場合に、第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０が所定の吸着温度に維持されることとなるように、第１処理部３２２０に導入されるキャリアガスを冷却する。

　図１２は、図１１に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図１２を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細について説明する。

　図１２を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇは、図中に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施さることにより、有機溶剤含有ガスの処理が連続して行なわれるものである。

　さらに、当該１サイクル中の全期間（図中に示す時刻ｔ０～ｔ４の間）にわたって、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において脱着処理が継続的に実施される。

　一方、当該１サイクルの前半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの前半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）においては、当該第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において吸着処理が実施される。

　また、当該１サイクルの後半の始めの段階（図中に示す時刻ｔ２～ｔ３の間）においては、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において脱着処理が実施され、当該１サイクルの後半の終わりの段階（図中に示す時刻ｔ３～ｔ４の間）においては、当該第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において吸着処理が実施される。

　すなわち、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇにあっては、一対の第１吸脱着素子３１２１，３１３１のいずれかにおいて脱着処理が実施される脱着処理期間の始めの段階において第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において脱着処理が実施され、一対の第１吸脱着素子３１２１，３１３１のいずれかにおいて脱着処理が実施される脱着処理期間の終わりの段階において第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０において吸着処理が実施される。

　次に、上述した有機溶剤含有ガスの処理を具体的に実現するために、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇにおいて実施される操作について、図１１を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置３１００の第１処理槽３１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽３１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図１１に示すように、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に収容された第１吸脱着素子３１３１の脱着処理期間の始めの段階（すなわち、図１２中に示す時刻ｔ０～ｔ１の間）においては、温度調節機構３２５０に設けられたバルブＶＣ２０１が開放されるとともにバルブＶＣ２０２が閉塞されることにより、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０から排出された有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが配管ラインＬＣ４を経由してそのまま第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に供給されることで当該第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０に接触させられる。

　これにより、第２吸脱着素子３２１０の吸着済みの有機溶剤が当該高温の状態あるキャリアガスによって第２吸脱着素子３２１０から脱着されることになり、第１処理部３２２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に上昇する。これに伴って、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に供給されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度も徐々に上昇し、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に収容された第１吸脱着素子３１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に上昇することになるが、当該第１吸脱着素子３１３１の脱着処理自体には殆ど影響はなく、相当程度にまで当該第１吸脱着素子３１３１の再生が行なわれる。当該操作は、第１吸脱着素子３１３１からの有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　次に、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に収容された第１吸脱着素子３１３１の脱着処理期間の終わりの段階（すなわち、図１１中に示す時刻ｔ１～ｔ２の間）においては、温度調節機構３２５０に設けられたバルブＶＣ２０１が閉塞されるとともにバルブＶＣ２０２が開放されることにより、第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０から排出された有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスがクーラ３２５１に導入されて低温の状態にまで冷却されて温度調節され、これが第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に供給されることで当該第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０に接触させられる。

　これにより、第１処理部３２２０に位置する部分の第２吸脱着素子３２１０によってキャリアガスに含有された有機溶剤が吸着されることになり、当該第１処理部３２２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度が徐々に低下する。これに伴って、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に供給されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度も徐々に低下し、さらには第１吸脱着処理装置３１００の第２処理槽３１３０に収容された第１吸脱着素子３１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も徐々に低下することになる。したがって、当該第１吸脱着素子３１３１の再生がさらに促進されることになる。当該操作は、第１吸脱着素子３１３１による有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　なお、その際、クーラ３２５１にて第１吸脱着処理装置３１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスが冷却されることにより、当該キャリアガスに含有された有機溶剤が凝縮する可能性もあるが、上述した第１吸脱着素子３１３１の脱着処理期間の始めの段階において第１吸脱着素子３１３１からの有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達していれば、凝縮回収装置３３００のコンデンサ３３１０による凝縮処理によって冷却後の温度状態における有機溶剤の気液平衡状態が既に維持されることとなっているため、当該クーラ３２５１による冷却後においてもキャリアガス中に含まれる有機溶剤の気液平衡状態が維持されて有機溶剤が凝縮することはなくなる。

　ただし、コンデンサ３３１０による冷却後のキャリアガスの温度よりもクーラ３２５１による冷却後のキャリアガスの温度を低く設定した場合には、当該クーラ３２５１において有機溶剤が凝縮する可能性が生じるため、その場合には、当該クーラ３２５１を回収タンク３３２０に接続すれば、凝縮後の有機溶剤を回収タンク３３２０にて回収することが可能になる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇとした場合にも、上述した実施の形態３－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆとした場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置３１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子３１２１，３１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際により効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。

　（実施例Ｄ）
　以下においては、上述した本発明の実施の形態３－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｇを実際に試作し、これを用いて原ガスの処理を行なった場合を実施例Ｄとして説明する。

　実施例Ｄにおいては、原ガスとして酢酸エチルを２０００ｐｐｍの濃度で含有する３０℃のガスを使用し、キャリアガスとして１３０℃の窒素ガスを使用し、第１吸脱着素子３１２１，３１３１として比表面積が１５００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用し、第２吸脱着素子３２１０としてゼオライトからなるハニカム状の吸着材を使用した。

　まず、初期段階における処理として、上記原ガスを図示しない送風機を用いて第１吸脱着処理装置３１００の一方の処理槽に風量１００ｍ³／ｍｉｎで１０分間送風することによって吸着処理を行なった。

　具体的には、バルブＶＣ１０１～ＶＣ１０６を切り替え操作し、上記一方の処理槽を脱着槽に切り替えるとともに、残る処理槽を吸着槽とした。脱着槽においては、窒素ガスを風量２０ｍ³／ｍｉｎで導入することで第１吸脱着素子の脱着処理を行ない、吸着槽においては、上述した条件と同様の条件で吸着処理を行なった。なお、凝縮回収装置３３００においては、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０から排出される酢酸エチルを含有する窒素ガスを１０℃にまで冷却することとした。

　ここで、脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの５分間については、脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１４０℃の窒素ガスをそのまま第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に導入することとした。

　また、脱着槽における脱着を開始した時点から５分経過した後を始期とする終わりの５分間については、バルブＶＣ２０１，ＶＣ２０２を切り替え操作することで脱着槽から排出される酢酸エチルを含有する１４０℃の窒素ガスをクーラ３２５１を用いて１０℃にまで冷却して第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に導入することとした。

　以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返して実施した場合において、第１吸脱着処理装置３１００から排出される清浄ガスに含有される酢酸エチルの濃度が、約２０ｐｐｍにまで低減されていることが確認された。すなわち、実施例Ｄにおいては、約９９％の高い除去率で酢酸エチルを除去できることが確認された。

　また、上述した脱着槽における脱着を開始した時点を始期とする始めの５分間が終了した時点においては、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に導入される部分の配管ラインＬＣ４を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約４５０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、凝縮回収装置３３００に導入される部分の配管ラインＬＣ５を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約６５０００ｐｐｍであることが確認された。

　さらに、その際、第２吸脱着処理装置３２００の第２処理部３２３０に導入される部分の配管ラインＬＣ６を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約５９０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、第１吸脱着処理装置３１００に導入される部分の配管ラインＬＣ３を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約３５０００ｐｐｍであることが確認された。

　一方、上述した脱着槽における脱着を開始した時点から５分経過した後を始期とする終わりの５分間が終了した時点においては、第１吸脱着処理装置３１００に導入される部分の配管ラインＬＣ３を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約２０００ｐｐｍであることが確認されるとともに、第２吸脱着処理装置３２００の第１処理部３２２０に導入される部分の配管ラインＬＣ４を通流する窒素ガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が約２０００ｐｐｍであることが確認された。

　なお、上述した本発明の実施の形態３－１，３－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆ，１Ｇにおいては、ブロワやポンプ等の流体搬送手段やストレージタンク等の流体貯留手段などの構成要素を必要最低限のみ図示して説明を行なったが、これら構成要素は必要に応じて適宜の位置に配置すればよい。

　また、上述した本発明の実施の形態３－１，３－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｆ，１Ｇにおいては、第１吸脱着処理装置として、第１吸脱着素子が収容された処理槽を２つ具備し、これらが時間的に交互に吸着槽および脱着槽に切り替えられることで連続的に被処理ガスの処理が可能に構成されたものを例示して説明を行なったが、必ずしも連続的に被処理ガスを処理する必要がない場合には、吸脱着処理装置を単一の処理槽を具備したもので構成してもよい。また、被処理ガスを連続的に処理する必要がある場合にも、上述の切り替え式の第１吸脱着処理装置に代えて、ロータ式の吸脱着処理装置としてもよい。

　＜第４実施の形態グループ（実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４）＞
　次に、本発明の実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４について説明する。実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４は、上述した本発明の第６の局面に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムを具現化したものである。なお、以下に示す実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。

　（実施の形態４－１）
　図１３は、本発明の実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。まず、この図１３を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈの構成について説明する。

　図１３に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈは、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、当該循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置４１００、凝縮回収装置４２００、第２吸脱着処理装置４３００、ブロワ４４００、および、温度調節手段としてのヒータ４５００とを主として備えている。

　ここで、循環経路は、図中に示す配管ラインＬＤ３～ＬＤ９によって主として構成されており、ブロワ４４００は、当該循環経路中においてキャリアガスを通流させるための送風手段である。なお、キャリアガスとしては、水蒸気、加熱空気、高温に加熱した不活性ガス等、様々な種類のガスを利用することが可能であるが、特に水分を含まず、爆発の危険性のないガスである不活性ガスを利用することとすれば、有機溶剤含有ガス処理システムをより簡素にかつ安全に構成することができる。

　循環経路は、上述した配管ラインＬＤ３～ＬＤ９のうちの配管ラインＬＤ３～ＬＤ７によって構成される主経路と、上述した配管ラインＬＤ３～ＬＤ９のうちの配管ラインＬＤ８，ＬＤ９によって構成される分岐経路とを有している。

　配管ラインＬＤ３～ＬＤ７によって構成される主経路は、第１吸脱着処理装置４１００から排出されたキャリアガスが凝縮回収装置４２００および第２吸脱着処理装置４３００の後述する第１処理部４３２０をこの順で経由して再び第１吸脱着処理装置４１００に供給されるように、これら第１吸脱着処理装置４１００、凝縮回収装置４２００および第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０を接続している。

　配管ラインＬＤ８，ＬＤ９によって構成される分岐経路は、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されたキャリアガスが第１吸脱着処理装置４１００を経由することなく第２吸脱着処理装置４３００の後述する第２処理部４３３０を経由して再び凝縮回収装置４２００に供給されるように、上記主経路のうちの第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０および第１吸脱着処理装置４１００を結ぶ部分と、上記主経路のうちの第１吸脱着処理装置４１００および凝縮回収装置４２００を結ぶ部分とを接続している。

　第１吸脱着処理装置４１００は、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０を有する吸脱着処理塔４１１０を含んでいる。第１処理槽４１２０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子４１２１が収容されており、第２処理槽４１３０には、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子４１３１が収容されている。

　第１吸脱着素子４１２１，４１３１は、原ガスを接触させることで原ガスに含有される有機溶剤を吸着する。したがって、第１吸脱着処理装置４１００においては、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に原ガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子４１２１，４１３１によって吸着され、これにより原ガスから有機溶剤が分離されることで原ガスが清浄化されて清浄ガスとして第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０から排出されることになる。

　また、吸脱着素子４１２１，４１３１は、高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第１吸脱着処理装置４１００においては、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に高温の状態にあるキャリアガスが供給されることで有機溶剤が第１吸脱着素子４１２１，４１３１から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０から排出されることになる。

　第１吸脱着素子４１２１，４１３１は、活性炭、活性炭素繊維、ゼオライトおよびシリカゲルのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第１吸脱着素子４１２１，４１３１としては、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用されるが、より好適には、活性炭素繊維が利用される。活性炭素繊維は、表面にミクロ孔を有する繊維状構造を有しているため、ガスとの接触効率が高く、さらにフェルトの形態等を有することで成形が容易で充填密度が高いため、他の吸着材に比べて高い吸着効率を実現する。

　第１吸脱着処理装置４１００には、配管ラインＬＤ１，ＬＤ２がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＤ１は、有機溶剤を含有する原ガスを第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＤ１０１，ＶＤ１０２によって第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＤ２は、清浄ガスを第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＤ１０３，ＶＤ１０４によって第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　また、第１吸脱着処理装置４１００には、配管ラインＬＤ３，ＬＤ４がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＤ３は、キャリアガスを第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に供給するための配管ラインであり、バルブＶＤ１０５，ＶＤ１０６によって第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管ラインＬＤ４は、キャリアガスを第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０から排出するための配管ラインであり、バルブＶＤ１０１，ＶＤ１０２によって第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。

　第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０のそれぞれには、上述したバルブＶＤ１０１～ＶＤ１０６の開閉を操作することにより、原ガスと、後述するヒータ４５００にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとが、時間的に交互に供給される。これにより、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０は、時間的に交互に吸着槽および脱着槽として機能することになり、これに伴って有機溶剤が原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動されることになる。なお、具体的には、第１処理槽４１２０が吸着槽として機能している場合には、第２処理槽４１３０が脱着槽として機能し、第１処理槽４１２０が脱着槽として機能している場合には、第２処理槽４１３０が吸着槽として機能する。

　ここで、配管ラインＬＤ１は、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽に原ガスを供給し、配管ラインＬＤ２は、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０のうち、吸着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽から清浄ガスを排出する。また、配管ラインＬＤ３は、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽にキャリアガスを供給し、配管ラインＬＤ４は、第１処理槽４１２０および第２処理槽４１３０のうち、脱着槽として機能している処理槽に接続されて当該処理槽からキャリアガスを排出する。

　凝縮回収装置４２００は、コンデンサ４２１０と、回収タンク４２２０とを含んでいる。コンデンサ４２１０は、高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することによってキャリアガスに含有される有機溶剤を凝縮させるものであり、具体的には、冷却水等を用いてキャリアガスを冷却することで有機溶剤を液化させるクーラにて構成される。また、回収タンク４２２０は、コンデンサ４２１０にて液化された有機溶剤を凝縮液として貯留するものである。また、必要に応じて、比重差の異なる溶剤と溶剤とを、または、溶剤と水とを分離するセパレータをコンデンサ４２１０と回収タンク４２２０との間に設けてもよい。

　凝縮回収装置４２００には、配管ラインＬＤ４，ＬＤ５がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＤ４は、第１吸脱着処理装置４１００から排出された高温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ４２１０に供給するための配管ラインであり、配管ラインＬＤ５は、コンデンサ４２１０内に残留する未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスをコンデンサ４２１０から排出するための配管ラインである。

　また、凝縮回収装置４２００には、配管ラインＬＤ１０，ＬＤ１１がそれぞれ接続されている。配管ラインＬＤ１０は、回収タンク４２２０に貯留された有機溶剤の凝縮液を外部に向けて排出するための配管ラインであり、配管ラインＬＤ１１は、回収タンク４２２０中において揮発した有機溶剤を原ガスが搬送される配管ラインＬＤ１に戻すための配管ラインである。

　第２吸脱着処理装置４３００は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子４３１０を含んだロータ式の吸脱着処理装置にて構成されており、上述したように第１処理部４３２０と第２処理部４３３０とを主として有している。

　第１処理部４３２０は、循環経路のうちの上述した主経路上に設けられており、配管ラインＬＤ５，ＬＤ６にそれぞれ接続されている。

　第２処理部４３３０は、循環経路のうちの上述した分岐経路上に設けられており、配管ラインＬＤ８，ＬＤ９にそれぞれ接続されている。

　第２吸脱着素子４３１０は、略円柱状の外形を有する吸着材からなる。第２吸脱着処理装置４３００には、モータ４３４０が付設されており、当該モータ４３４０が駆動されることによって第２吸脱着素子４３１０が図中に示す矢印方向に向けて回転する。

　第２吸脱着素子４３１０の回転に伴い、第２吸脱着素子４３１０の任意の部分は、第１処理部４３２０と第２処理部４３３０との間で時間的に交互に移動することになる。より詳細には、第２吸脱着素子４３１０の任意の部分は、第１処理部４３２０、第２処理部４３３０の順に移行し、再び第１処理部４３２０に移行する。

　第２吸脱着素子４３１０は、低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで有機溶剤を吸着する。したがって、第２吸脱着処理装置４３００においては、未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスが配管ラインＬＤ５を介して第１処理部４３２０に供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子４３１０によって吸着され、これによりキャリアガスから有機溶剤が分離されることでキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度が低下し、この有機溶剤の濃度が低下した低温の状態にあるキャリアガスが第１処理部４３２０から配管ラインＬＤ６を介して排出されることになる。

　また、第２吸脱着素子４３１０は、有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスを接触させることで吸着済みの有機溶剤を脱着する。したがって、第２吸脱着処理装置４３００においては、後述するヒータ４５００によって温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスが配管ラインＬＤ８を介して第２処理部４３２０に供給されることで有機溶剤が第２吸脱着素子４３１０から脱着され、これにより有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスが第２処理部４３３０から配管ラインＬＤ９を介して排出されることになる。

　第２吸脱着素子４３１０は、活性アルミナ、シリカゲル、活性炭、ゼオライトのいずれかを含む吸着材にて構成される。好適には、第２吸脱着素子４３１０は、粒状、粉体状、ハニカム状等の活性炭やゼオライトが利用される。活性炭やゼオライトは、低濃度の有機化合物を吸着および脱着する機能に優れている。

　ヒータ４５００は、第１吸脱着処理装置４１００に供給されるキャリアガスおよび第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０に供給されるキャリアガスを高温の状態に温度調節するためのものであり、配管ラインＬＤ７，ＬＤ３に接続されている。

　より具体的には、ヒータ４５００は、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されてブロワ４４００を経由した低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１吸脱着処理装置４１００の吸脱着処理塔４１１０および第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０に供給するためのものである。ここで、ヒータ４５００は、第１吸脱着素子４１２１，４１３１が所定の脱着温度に維持されるとともに、第２吸脱着素子４３１０の第２処理部４３３０に位置する部分が所定の脱着温度に維持されることとなるように、第１処理槽４１２０、第２処理槽４１３０および第２処理部４３３０に導入されるキャリアガスを加熱する。

　なお、上述した配管ラインＬＤ７には、キャリアガスを循環経路に外部から導入するための配管ラインＬＤ０が設けられている。当該配管ラインＬＤ０は、上述した有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈの初期設置時においてキャリアガスを循環経路に導入したり、メンテナンス時等において必要に応じてキャリアガスを循環経路に補充したりするためのものである。

　図１４は、図１３に示す有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、一対の第１吸脱着素子および第２吸脱着素子を用いた吸着処理および脱着処理の時間的な切り替えの様子を示すタイムチャートである。次に、この図１４を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈにおいて行なわれる有機溶剤含有ガスの処理の詳細について説明する。

　図１４を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈは、図中に示す１サイクルを単位期間として当該サイクルが繰り返し実施させることにより、有機溶剤含有ガスの処理が連続して行なわれるものである。

　上記１サイクルの前半（図中に示す時刻ｔ０～ｔ２の間）においては、第１吸脱着素子４１２１が設置された第１吸脱着処理装置４１００の第１処理槽４１２０において吸着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子４１３１が設置された第１吸脱着処理装置４１００の第２処理槽４１３０において脱着処理が実施される。

　また、上記１サイクルの後半（図中に示す時刻ｔ２～ｔ４の間）においては、第１吸脱着素子４１２１が設置された第１吸脱着処理装置４１００の第１処理槽４１２０において脱着処理が実施され、これと並行して、第１吸脱着素子４１３１が設置された第１吸脱着処理装置４１００の第２処理槽４１３０において吸着処理が実施される。

　さらに、当該１サイクル中の全期間（図中に示す時刻ｔ０～ｔ４の間）にわたって、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に位置する部分の第２吸脱着素子４３１０において吸着処理が継続的に実施され、これと並行して、第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０に位置する部分の第２吸脱着素子４３１０において脱着処理が継続的に実施される。

　なお、上述した１サイクル中においては、凝縮回収装置４２００において常時キャリアガスから有機溶剤が回収されることになる。

　次に、上述した有機溶剤含有ガスの処理について、図１３を参照してより詳細に説明する。なお、以下の説明は、第１吸脱着処理装置４１００の第１処理槽４１２０が吸着槽として機能し、第２処理槽４１３０が脱着槽として機能している状態に基づいたものであるが、これら吸着槽と脱着槽とが入れ替わった場合にも、同様の操作が行なわれることになる。

　図１３に示すように、第１吸脱着処理装置４１００の第２処理槽４１３０において実施される脱着処理により当該第２処理槽４１３０から排出されることとなる有機溶剤を含有する高温の状態にあるキャリアガスは、凝縮回収装置４２００に供給されることで冷却されて低温の状態に温度調節され、これにより有機溶剤の一部が液化して凝縮液として回収される。

　凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスは、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に供給されることで第２吸脱着素子４３１０に接触させられる。当該第１処理部４３２０においては、吸着処理が実施され、これにより第２吸脱着素子４３１０よって低温の状態にあるキャリアガスに含有された有機溶剤が吸着されるとともに、含有される有機溶剤の濃度が低下したキャリアガスが第１処理部４３２０から排出される。

　第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出された、含有される有機溶剤の濃度が低下した低温の状態にあるキャリアガスは、ブロワ４４００を経由してヒータ４５００に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節され、これが第１吸脱着処理装置４１００の第２処理槽４１３０に供給される。

　また、これと同時に、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出された、含有される有機溶剤の濃度が低下した低温の状態にあるキャリアガスのうちの一部は、ブロワ４４００を経由してヒータ４５００に導入されて高温の状態にまで加熱されて温度調節された後に分岐経路に導入され、これが第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０に供給されることで第２吸脱着素子４３１０に接触させられる。

　当該第２処理部４３３０においては、脱着処理が実施され、これにより第２吸脱着素子４３１０に吸着済みの有機溶剤が当該高温の状態あるキャリアガスによって第２吸脱着素子４３１０から脱着されることになる。当該第２処理部４３３０から排出された、含有される有機溶剤の濃度が上昇した高温の状態にあるキャリアガスは、凝縮回収装置４２００に供給されることで冷却されて低温の状態に温度調節され、これにより有機溶剤の一部が液化して凝縮液として回収される。

　上記処理が所定期間にわたって継続して実施されることにより、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０にて吸着された有機溶剤が、その後、第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０において脱着されることになる。そのため、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度は、大幅に低下することになる。

　これに伴い、第１吸脱着処理装置４１００の第２処理槽４１３０に収容された第１吸脱着素子４１３１に接触させられるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度も大幅に低下することになる。したがって、当該第１吸脱着素子４１３１の再生が促進されることになる。以上の処理は、第１吸脱着素子４１３１による有機溶剤の脱着が概ね完了して平衡状態に達するまで行なわれる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈとすることにより、未凝縮の有機溶剤を含有するキャリアガスをそのまま循環させて第１吸脱着処理装置４１００に戻す構成とした場合に比べ、第１吸脱着素子４１２１，４１３１の再生が促進される結果となり、その後において実施される吸着処理の際により効率的に原ガスから有機溶剤が吸着できるようになる。したがって、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率の向上が図られることになり、従来に比して高性能の有機溶剤含有ガス処理システムとすることができる。

　また、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈは、循環経路を構築することでキャリアガスを繰り返し使用できるように構成されたものであるため、経済性にも優れたものとすることができる。したがって、窒素ガス等に代表される不活性ガスをキャリアガスとして使用した場合に、特にランニングコストを抑制できる効果が得られる。

　（実施例Ｅ）
　以下においては、上述した本発明の実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈを実際に試作し、これを用いて原ガスの処理を行なった場合を実施例Ｅとして説明する。

　実施例Ｅにおいては、原ガスとして酢酸エチルを２０００ｐｐｍの濃度で含有する３５℃のガスを使用し、キャリアガスとして１２０℃の窒素ガスを使用し、第１吸脱着素子４１２１，４１３１として比表面積が１５００ｍｇ／ｍ²の活性炭素繊維を使用し、第２吸脱着素子４３１０として活性炭からなるハニカム状の吸着材を使用した。

　まず、初期段階における処理として、上記原ガスを図示しない送風機を用いて第１吸脱着処理装置４１００の一方の処理槽に風量８ｍ³／ｍｉｎで１０分間送風することによって吸着処理を行なった。

　具体的には、バルブＶＤ１０１～ＶＤ１０６を切り替え操作し、上記一方の処理槽を脱着槽に切り替えるとともに、残る処理槽を吸着槽とした。脱着槽においては、窒素ガスを風量２ｍ³／ｍｉｎで導入することで第１吸脱着素子４１２１，４１３１の脱着処理を行ない、吸着槽においては、上述した条件と同様の条件で吸着処理を行なった。なお、凝縮回収装置４２００においては、第１吸脱着処理装置４１００から排出される酢酸エチルを含有する窒素ガスを１０℃にまで冷却することとした。

　以上において説明した１サイクルを連続的に繰り返して実施した場合において、第１吸脱着処理装置４１００から排出される清浄ガスに含有される酢酸エチルの濃度が、１００ｐｐｍ以下にまで低減されていることが確認された。すなわち、実施例Ｅにおいては、９５％以上の高い除去率で酢酸エチルを除去できることが確認された。

　また、凝縮回収装置４２００から排出されるキャリアガス中に含まれる酢酸エチルの濃度が３５０００ｐｐｍであったのに対し、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されるキャリアガス中に含まれる酢酸エチルの濃度は、平均で５０００ｐｐｍ以下にまで低下していることが確認された。すなわち、実施例Ｅにおいては、第１処理部４３２０から排出されたキャリアガス中の酢酸エチルの濃度が低濃度化されているため、第１吸脱着素子４１２１，４１３１の再生処理が促進され、その結果、原ガスから有機溶剤を高い除去率で除去することができたものと判断できる。

　（実施の形態４－２）
　図１５は、本発明の実施の形態４－２における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図１５を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉの構成について説明する。

　図１５に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉは、上述した実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈと比較した場合に、循環経路上に設けられる温度調節手段の構成において相違している。より具体的には、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉにおいては、温度調節手段が、循環経路のうちの主経路上に設けられた第１温度調節手段としての第１ヒータ４５１０と、循環経路のうちの分岐経路上に設けられた第２温度調節手段としての第２ヒータ４５２０とによって構成されている。

　より詳細には、第１ヒータ４５１０は、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０と第１吸脱着処理装置４１００とを結ぶ部分の主経路のうちの、主経路に対して分岐経路が接続された接続点よりも第１吸脱着処理装置４１００側に位置する部分（すなわち、配管ラインＬＤ３上の位置）に設けられており、第２ヒータ４５２０は、分岐経路のうちの、第２処理部４３３０から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側の部分（すなわち、配管ラインＬＤ８上の位置）に設けられている。

　このように構成した場合には、第１ヒータ４５１０が、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されてブロワ４４００を経由した低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第１吸脱着処理装置４１００の吸脱着処理塔４１１０に供給するためのものとして機能するとともに、第２ヒータ４５２０が、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されてブロワ４４００を経由した低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節して第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０に供給するためのものとして機能することになる。

　以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉとした場合にも、上述した実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈとした場合と同様の効果を得ることができる。

　（実施の形態４－３）
　図１６は、本発明の実施の形態４－３における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図１６を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｊの構成について説明する。

　図１６に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｊは、上述した実施の形態４－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉと比較した場合に、循環経路が、配管ラインＬＤ１２によって構成されたバイパス経路を有している点において主として相違している。

　バイパス経路は、凝縮回収装置４２００から排出されたキャリアガスが第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０を経由することなく当該第１処理部４３２０から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側に位置する部分の循環経路の主経路に再び供給されるように構成されたものである。

　ここで、循環経路は、上述した配管ラインＬＤ１２にて構成されたバイパス経路に加え、切替手段としての、配管ラインＬＤ５に設けられたバルブＶＤ３０１と、配管ラインＬＤ１２に設けられたバルブＶＤ３０２とを含んでいる。当該切替手段としてのバルブＶＤ３０１，ＶＤ３０２は、凝縮回収装置４２００から排出されたキャリアガスを第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に供給するか、またはバイパス経路としての配管ラインＬＤ１２に供給するかを時間的に交互に切り替えるものである。

　ここで、切替手段としてのバルブＶＤ３０１，ＶＤ３０２は、第１吸脱着素子４１２１，４１３１から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の初めの段階において凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスをバイパス経路としての配管ラインＬＤ１２に供給し、第１吸脱着素子４１２１，４１３１から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に供給するように切り替わる。

　このように構成することにより、凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含んだ低温の状態のキャリアガスをバイパス経路としての配管ラインＬＤ１２に供給することにより、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に有機溶剤が一時的に供給されなくなってしまうが、第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０には、高温のキャリアガスが絶えず供給されているため、第２吸脱着素子４３１０の脱着効率が向上することになる。そのため、所定時間経過後に上記切替手段としてのバルブＶＤ３０１，ＶＤ３０２を切り替えることによって凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０に供給することにより、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０における吸着性能が向上することになる。その結果、第２吸脱着処理装置４３００の第１処理部４３２０から排出されるキャリアガス中の有機溶剤の濃度をより低下させることが可能になる。

　したがって、以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｊとすることにより、上述した実施の形態４－２における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｉとした場合と同様の効果が得られるばかりでなく、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率のさらなる向上が図られることになる。

　なお、上述した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｊにおいては、図示するように、第２ヒータ４５２０が設けられた部分よりもキャリアガスの通流方向に沿った上流側に位置する部分の分岐経路にストップ弁としてのバルブＶＤ４０１が設けられていてもよい。当該バルブＶＤ４０１は、凝縮回収装置４２００から排出された未凝縮の有機溶剤を含んだ低温の状態のキャリアガスをバイパス経路としての配管ラインＬＤ１２に供給している際に、必要に応じて第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０へのキャリアガスの供給が遮断されるようにするものである。

　このように構成した場合には、当該バルブＶＤ４０１によって第２吸脱着処理装置４３００の第２処理部４３３０へのキャリアガスの供給が遮断されている際に、第２ヒータ４５２０によるキャリアガスの加熱が不要になるため、ランニングコストを抑えることが可能となり、より経済的な運転が実現できる。

　（実施の形態４－４）
　図１７は、本発明の実施の形態４－４における有機溶剤含有ガス処理システムのシステム構成図である。以下、この図１７を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｋの構成について説明する。

　図１７に示すように、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｋは、上述した実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈと比較した場合に、第２吸脱着処理装置４３００がパージ部４３６０を有している点、および、循環経路が配管ラインＬＤ１３，ＬＤ１４によって構成されるパージ経路を有している点において相違している。

　パージ部４３６０は、上述した第１処理部４３２０および第２処理部４３３０に加えて、第１処理部４３２０の回転方向上流側であって第２処理部４３３０の回転方向下流側に位置するように第２吸脱着処理装置４３００に設けられている。一方、パージ経路は、凝縮回収装置４２００から排出されたキャリアガスの一部が第１処理部４３２０を経由することなくパージ部４３６０を経由して第２処理部４３３０から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側に位置する部分の分岐経路に供給されるように、配管ラインＬＤ１３の上流側の端部が配管ラインＬＤ５に接続されるとともに配管ラインＬＤ１４の下流側の端部が配管ラインＬＤ８に接続されている。

　このように構成することにより、第２吸脱着素子４３１０の回転に伴い、第２吸脱着素子４３１０の任意の部分は、第１処理部４３２０、第２処理部４３３０、パージ部４３６０の順に移行し、再び第１処理部４３２０に移行することになり、パージ部４３６０においては、凝縮回収装置４２００から排出された低温の状態にあるキャリアガスの一部が配管ラインＬＤ５，ＬＤ１３を介して第２吸脱着素子４３１０に接触させられることになる。これにより、パージ部４３６０においては、第２処理部４３３０において脱着処理に使用された部分の第２吸脱着素子４３１０が冷却されることになり、第１処理部４３２０において速やかに第２吸脱着素子４３１０の吸着性能が発揮されることになる。そのため、第１処理部４３２０から排出されるキャリアガス中に含まれる有機溶剤の濃度を確実に低下させることが可能になる。

　したがって、以上において説明した本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｋとすることにより、上述した実施の形態４－１における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈとした場合と同様の効果が得られるばかりでなく、原ガスに対する浄化能力および有機溶剤の回収効率のさらなる向上が図られることになる。

　以上において説明した本発明の実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈ，１Ｉ，１Ｊ，１Ｋにおいては、ブロワやポンプ等の流体搬送手段やストレージタンク等の流体貯留手段などの構成要素を必要最低限のみ図示して説明を行なったが、これら構成要素は必要に応じて適宜の位置に配置すればよい。

　また、上述した本発明の実施の形態４－１，４－２，４－３，４－４における有機溶剤含有ガス処理システム１Ｈ，１Ｉ，１Ｊ，１Ｋにおいては、第１吸脱着処理装置として、第１吸脱着素子が収容された処理槽を２つ具備し、これらが時間的に交互に吸着槽および脱着槽に切り替えられることで連続的に被処理ガスの処理が可能に構成されたものを例示して説明を行なったが、必ずしも連続的に被処理ガスを処理する必要がない場合には、吸脱着処理装置を単一の処理槽を具備したもので構成してもよい。また、被処理ガスを連続的に処理する必要がある場合にも、上述の切り替え式の第１吸脱着処理装置に代えて、ロータ式の吸脱着処理装置としてもよい。

　以上において説明した第１ないし第４実施の形態グループに属する各実施の形態において開示した特徴的な構成は、本発明の趣旨に照らして逸脱しない範囲で相互に組み合わせることが当然に可能である。

　今回開示した上記各実施の形態および実施例はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は請求の範囲によって画定され、また請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。

　１Ａ～１Ｋ　有機溶剤含有ガス処理システム、１１００　第１吸脱着処理装置、１１１０　第１吸脱着処理塔、１１２０　第１処理槽、１１２１　第１吸脱着素子、１１３０　第２処理槽、１１３１　第１吸脱着素子、１１４０　ヒータ、１２００　凝縮回収装置、１２１０　コンデンサ、１２２０　回収タンク、１３００　第２吸脱着処理装置、１３１０　第２吸脱着処理塔、１３２０　処理槽、１３２１　第２吸脱着素子、１３３０Ａ，１３３０Ｂ　温度調節機構、１３３１　ヒータ、１３３２　クーラ、１４００　ブロワ、２１００　第１吸脱着処理装置、２１１０　第１吸脱着処理塔、２１２０　第１処理槽、２１２１　第１吸脱着素子、２１３０　第２処理槽、２１３１　第１吸脱着素子、２２００　凝縮回収装置、２２１０　コンデンサ、２２２０　回収タンク、２３００　第２吸脱着処理装置、２３１０　第２吸脱着処理塔、２３２０　処理槽、２３２１　第２吸脱着素子、２３３０Ａ　温度調節機構、２３３１　ヒータ、２４００　ブロワ、２６００　第１温度調節手段、２６１０　ヒータ、３１００　第１吸脱着処理装置、３１１０　吸脱着処理塔、３１２０　第１処理槽、３１２１　第１吸脱着素子、３１３０　第２処理槽、３１３１　第１吸脱着素子、３１４０　ヒータ、３２００　第２吸脱着処理装置、３２１０　第２吸脱着素子、３２１５　中心軸、３２２０　第１処理部、３２３０　第２処理部、３２４０　パージ部、３２５０　温度調節機構、３２５１　クーラ、３３００　凝縮回収装置、３３１０　コンデンサ、３３２０　回収タンク、３４００　ブロワ、４１００　第１吸脱着処理装置、４１１０　吸脱着処理塔、４１２０　第１処理槽、４１２１　第１吸脱着素子、４１３０　第２処理槽、４１３１　第１吸脱着素子、４２００　凝縮回収装置、４２１０　コンデンサ、４２２０　回収タンク、４３００　第２吸脱着処理装置、４３１０　第２吸脱着素子、４３２０　第１処理部、４３３０　第２処理部、４３４０　モータ、４３６０　パージ部、４４００　ブロワ、４５００　ヒータ、４５１０　第１ヒータ、４５２０　第２ヒータ、ＬＡ０～ＬＡ９，ＬＢ０～ＬＢ１２，ＬＣ０～ＬＣ１１，ＬＤ０～ＬＤ１４　配管ライン、ＶＡ１０１～ＶＡ１０６，ＶＡ３０１～ＶＡ３０４，ＶＢ１０１～ＶＢ１０６，ＶＢ３０１，ＶＢ３０２，ＶＢ６０１，ＶＢ６０２，ＶＣ１０１～ＶＣ１０６，ＶＣ２０１，ＶＣ２０２，ＶＤ１０１～ＶＤ１０６，ＶＤ３０１，ＶＤ３０２，ＶＤ４０１　バルブ。

Claims

　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置とを備え、
　前記第１吸脱着処理装置は、前記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含み、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記凝縮回収装置は、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含み、前記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、前記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２温度調節手段は、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する、有機溶剤含有ガス処理システム。
　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置とを備え、
　前記第１吸脱着処理装置は、前記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含み、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記凝縮回収装置は、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する処理と、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを前記凝縮回収装置を経由させずに低温の状態に温度調節する処理とを、時間的に交互に行なう第２温度調節手段をさらに含み、前記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、前記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２温度調節手段は、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを前記凝縮回収装置を経由させずに低温の状態に温度調節する、有機溶剤含有ガス処理システム。
　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置とを備え、
　前記第１吸脱着処理装置は、前記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段と、前記第１吸脱着素子を冷却する冷却手段とをさらに含み、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、前記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に前記冷却手段を用いて前記第１吸脱着素子を冷却させ、
　前記凝縮回収装置は、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含み、前記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、前記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２温度調節手段は、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階において、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節し、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節する、有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記冷却手段は、外気を前記第１吸脱着素子に送り込む外気送気手段にて構成され、
　前記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、前記外気送気手段によって送り込まれる外気とを、時間的にこの順で繰り返し前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、前記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に前記第１吸脱着素子に外気を接触させることで前記第１吸脱着素子を冷却させる、請求項３に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第１温度調節手段は、前記第２吸脱着処理装置から排出された高温の状態または低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節可能であり、
　前記冷却手段は、前記第１温度調節手段にて構成され、
　前記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスとを、時間的にこの順で繰り返し前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスからキャリアガスに移動させるとともに、前記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に前記第１吸脱着素子に低温の状態にあるキャリアガスを接触させることで前記第１吸脱着素子を冷却させる、請求項３に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記冷却手段は、前記第１吸脱着素子を間接的に冷却する第１吸脱着素子冷却設備にて構成され、
　前記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させるとともに、前記第１吸脱着素子へ接触させるガスを高温の状態にあるキャリアガスから原ガスに切り替える前に前記第１吸脱着素子冷却設備を用いて前記第１吸脱着素子を冷却させる、請求項３に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記キャリアガスが、不活性ガスである、請求項１から６のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維である、請求項１から７のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着素子が、活性炭素繊維である、請求項１から８のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第１吸脱着素子および前記第２吸脱着素子が、いずれも活性炭素繊維であり、
　前記第２吸脱着素子としての活性炭素繊維の比表面積が、前記第１吸脱着素子としての活性炭素繊維の比表面積よりも大きい、請求項１から７のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置とを備え、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記第１吸脱着処理装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ前記凝縮回収装置に至る部分の前記循環経路上に設けられた第１処理部と、前記凝縮回収装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ前記第１吸脱着処理装置に至る部分の前記循環経路上に設けられた第２処理部とを有し、
　前記第２吸脱着素子は、その任意の部分が前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成され、
　前記第１吸脱着処理装置は、前記第２吸脱着処理装置の前記第２処理部から排出された低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含み、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを前記第１処理部において前記第２吸脱着素子に接触させるとともに、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを前記第２処理部において前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記凝縮回収装置は、前記第２吸脱着処理装置の前記第１処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させる、有機溶剤含有ガス処理システム。
　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置とを備え、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記第１吸脱着処理装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ前記凝縮回収装置に至る部分の前記循環経路上に設けられた第１処理部と、前記凝縮回収装置から見てキャリアガスの通流方向に沿った下流側であってかつ前記第１吸脱着処理装置に至る部分の前記循環経路上に設けられた第２処理部とを有し、
　前記第２吸脱着素子は、その任意の部分が前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成され、
　前記第１吸脱着処理装置は、前記第２吸脱着処理装置の前記第２処理部から排出された低温の状態にあるキャリアガスを高温の状態に温度調節する第１温度調節手段をさらに含み、原ガスと、前記第１温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記第１吸脱着処理装置から排出された高温の状態にあるキャリアガスを高温の状態および低温の状態のいずれかに時間的に交互に温度調節する第２温度調節手段をさらに含み、前記第２温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスまたは前記第２温度調節手段にて温度調節されて低温の状態にあるキャリアガスを前記第１処理部において前記第２吸脱着素子に接触させるとともに、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを前記第２処理部において前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２温度調節手段は、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の始めの段階においてキャリアガスを高温の状態に温度調節し、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階においてキャリアガスを低温の状態に温度調節し、
　前記凝縮回収装置は、前記第２吸脱着処理装置の前記第１処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させる、有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記キャリアガスが、不活性ガスである、請求項１１または１２に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着素子が、略円柱状の外形を有するように形成されるとともに、その中心軸周りに回転可能に構成され、
　前記第２吸脱着素子が前記中心軸周りに回転することにより、前記第２吸脱着素子の前記任意の部分が、前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている、請求項１１から１３のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着素子が、ハニカム構造を有している、請求項１１から１４のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維である、請求項１１から１５のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
[規則91に基づく訂正 15.10.2013]　
　有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
　キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置と、
　前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置とを備え、
　前記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤の吸着を行なう第１処理部と、有機溶剤の脱着を行なう第２処理部とを有し、
　前記第２吸脱着素子は、その任意の部分が前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成され、
　前記循環経路は、前記第１吸脱着処理装置から排出されたキャリアガスが前記凝縮回収装置および前記第１処理部をこの順で経由して再び前記第１吸脱着処理装置に供給されるように構成された主経路と、前記第１処理部から排出されたキャリアガスが前記第１吸脱着処理装置を経由することなく前記第２処理部を経由して再び前記凝縮回収装置に供給されるように構成された分岐経路と、前記第１処理部から排出されたキャリアガスを高温の状態に温度調節する温度調節手段とを有し、
　前記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、前記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記第２吸脱着処理装置は、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを前記第１処理部において前記第２吸脱着素子に接触させるとともに、前記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスを前記第２処理部において前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
　前記凝縮回収装置は、前記第１吸脱着処理装置および前記第２処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させる、有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記温度調節手段が、前記第１処理部と前記第１吸脱着処理装置とを結ぶ部分の前記主経路のうちの、前記主経路に対して前記分岐経路が接続された接続点よりも第１処理部側に位置する部分に設けられている、請求項１７に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記温度調節手段が、前記第１処理部と前記第１吸脱着処理装置とを結ぶ部分の前記主経路のうちの、前記主経路に対して前記分岐経路が接続された接続点よりも第１吸脱着処理装置側に位置する部分に設けられた第１温度調節手段と、前記分岐経路のうちの、前記第２処理部から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側の部分に設けられた第２温度調節手段とを含んでいる、請求項１７に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記循環経路は、前記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスが前記第１処理部を経由することなく前記第１処理部から見て前記キャリアガスの通流方向に沿った下流側に位置する部分の前記主経路に再び供給されるように構成されたバイパス経路と、前記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスを前記第１処理部に供給するか、または前記バイパス経路に供給するかを時間的に交互に切り替える切替手段とをさらに有し、
　前記切替手段は、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の初めの段階において前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを前記バイパス経路に供給し、前記第１吸脱着素子から有機溶剤を脱着させる脱着処理期間の終わりの段階において前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温のキャリアガスを前記第１処理部に供給するように切り替わる、請求項１７から１９のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記キャリアガスが、不活性ガスである、請求項１７から２０のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着素子が、略円柱状の外形を有するように形成されるとともに、その中心軸周りに回転可能に構成され、
　前記第２吸脱着素子が前記中心軸周りに回転することにより、前記第２吸脱着素子の前記任意の部分が、前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている、請求項１７から２１のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着処理装置は、前記第２処理部から前記第１処理部に移動する部分の第２吸脱着素子の冷却を行なうパージ部をさらに有し、
　前記循環経路は、前記凝縮回収装置から排出されたキャリアガスの一部が前記第１処理部を経由することなく前記パージ部を経由して前記第２処理部から見てキャリアガスの通流方向に沿った上流側に位置する部分の前記分岐経路に供給されるように構成されたパージ経路をさらに有している、請求項１７から２２のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第２吸脱着素子が、ハニカム構造を有している、請求項１７から２３のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
　前記第１吸脱着素子が、活性炭素繊維である、請求項１７から２４のいずれかに記載の有機溶剤含有ガス処理システム。