WO2022176560A1

WO2022176560A1 - 超音波モータ

Info

Publication number: WO2022176560A1
Application number: PCT/JP2022/003140
Authority: WO
Inventors: 嗣治上林; 宏志浅野; 英秋樫浦
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2021-02-17
Filing date: 2022-01-27
Publication date: 2022-08-25
Also published as: JPWO2022176560A1; US20230364645A1; CN116802986A

Abstract

バネ部材及び軸部材の間において位置ずれが生じ難い、超音波モータを提供する。　超音波モータ１は、対向し合う第１，第２の主面３ａ，３ｂを含む板状の振動体３と、圧電素子とを有するステータ２と、振動体３の第２の主面３ｂに直接的または間接的に接触しているロータ４と、ロータ４に対して、ロータ４側からステータ２側に向かう方向に弾性力を付与しており、開口部６ｃを有するバネ部材６と、バネ部材６の開口部６ｃに挿通され、嵌合部７ａを有する軸部材７とを備える。バネ部材６の開口部６ｃの形状は、平面視において非円形状である。バネ部材６は、ステータ２側からロータ４側に向かう方向に曲げられた凸部６ｄを有する。凸部６ｄの先端部６ｅである開口部６ｃの開口端縁部と軸部材７の嵌合部７ａとが嵌合している。

Description

超音波モータ

　本発明は、超音波モータに関する。

　従来、圧電素子によりステータを振動させる超音波モータが種々提案されている。下記の特許文献１には、超音波モータの一例が開示されている。この超音波モータにおいては、皿バネがロータを押圧することにより、ロータ及びステータを密着させる。ロータの中央にはカラーが組み付けられている。カラーには複数の凸部が設けられている一方で、皿バネには複数の凹部が設けられている。カラーの複数の凸部及び皿バネの複数の凹部が嵌合しており、皿バネが位置決めされている。これにより、ロータ及びステータに、円周方向において均一に圧力を加えることが図られている。さらに、ロータは、カラーを介して回転軸に固定されている。

特開２００１－０５４２８８号公報

　特許文献１の超音波モータにおいては、回転軸、ロータ、カラー及び皿バネが複雑に組み合わされている。しかしながら、長期の使用において、振動や熱によるストレスが加わり続けた場合には、各部材が密着した部位に緩みが生じ、回転軸及び皿バネの間などにおいて位置ずれが生じる場合がある。そのため、各部材間の接触による異音が生じるおそれがある。

　本発明の目的は、バネ部材及び軸部材の間において位置ずれが生じ難い、超音波モータを提供することにある。

　本発明に係る超音波モータは、対向し合う第１の主面及び第２の主面を含む板状の振動体と、前記振動体の前記第１の主面上に設けられている圧電素子とを有するステータと、前記振動体の前記第２の主面に直接的または間接的に接触しているロータと、前記ロータに対して、前記ロータ側から前記ステータ側に向かう方向に弾性力を付与しており、開口部を有する板状のバネ部材と、前記バネ部材の前記開口部に挿通され、嵌合部を有する軸部材とを備え、前記バネ部材の前記開口部の形状が、平面視において非円形状であり、前記バネ部材が、前記ステータ側から前記ロータ側に向かう方向に曲げられた凸部を有し、前記凸部の先端部である前記開口部の開口端縁部と、前記軸部材の前記嵌合部とが嵌合している。

　本発明に係る超音波モータによれば、バネ部材及び軸部材の間において位置ずれが生じ難い。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータの正面断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータの分解斜視図である。図３は、本発明の第１の実施形態におけるバネ部材の平面図である。図４は、図１における、バネ部材及び軸部材が嵌合している部分を拡大した図である。図５は、本発明の第１の実施形態におけるステータの底面図である。図６は、本発明の第１の実施形態における第１の圧電素子の正面断面図である。図７（ａ）～図７（ｃ）は、本発明の第１の実施形態において励振される進行波を説明するための、ステータの模式的底面図である。図８は、本発明の第１の実施形態の第１の変形例におけるバネ部材の平面図である。図９は、本発明の第１の実施形態の第２の変形例におけるバネ部材の正面断面図である。図１０は、本発明の第１の実施形態の第３の変形例における圧電素子の平面図である。図１１は、本発明の第１の実施形態の第４の変形例に係る超音波モータの、軸部材及び第１の軸受け部付近を示す正面断面図である。図１２は、本発明の第２の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。図１３は、本発明の第１の実施形態の第５の変形例に係る超音波モータの正面断面図である。図１４は、本発明の第１の実施形態の第６の変形例におけるバネ部材の平面図である。図１５は、本発明の第１の実施形態の第７の変形例におけるバネ部材の平面図である。図１６は、本発明の第３の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。図１７は、本発明の第３の実施形態におけるバネ部材の位置決めを行う際の、バネ部材の移動を説明するための、バネ部材の断面図及び軸部材の正面図を用いた模式図である。図１８は、本発明の第３の実施形態の変形例におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。図１９は、本発明の第４の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。図２０は、本発明の第５の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る超音波モータの正面断面図である。図２は、第１の実施形態に係る超音波モータの分解斜視図である。

　図１に示すように、超音波モータ１は、ステータ２と、ロータ４と、板状のバネ部材６と、軸部材７とを有する。ステータ２とロータ４とは接触している。ロータ４には、バネ部材６により、ステータ２側に向かい弾性力が付与されている。これにより、ロータ４がステータ２に押し当てられている。ステータ２において生じた進行波により、ロータ４が回転する。ここで、バネ部材６及び軸部材７は嵌合している。バネ部材６を介して、ロータ４及び軸部材７が一体となっている。そのため、ロータ４の回転に伴い軸部材７も回転する。以下において、超音波モータ１の具体的な構成を説明する。

　図２に示すように、ステータ２は振動体３を有する。振動体３は円板状である。振動体３は第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂを有する。第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂは対向し合っている。本明細書において、軸方向Ｚとは、第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂを結ぶ方向であって、回転中心に沿う方向をいう。本実施形態では、軸方向Ｚは、軸部材７が延びる方向と平行である。振動体３の中央部には貫通孔３ｃが設けられている。もっとも、貫通孔３ｃの位置は上記に限定されない。貫通孔３ｃは、軸方向中心を含む領域に位置していればよい。さらに、振動体３の形状は円板状には限定されない。軸方向Ｚから見た振動体３の形状は、例えば、正六角形、正八角形または正十角形などの正多角形であってもよい。本明細書において、多角形は、頂点の部分が曲線の形状である場合、及び面取りされた形状である場合も含むものとする。振動体３は適宜の金属からなる。なお、振動体３は必ずしも金属からなっていなくともよい。振動体３は、例えば、セラミックス、シリコン材料または合成樹脂などの他の弾性体により構成されていてもよい。

　本明細書においては、軸方向Ｚから見る方向を、平面視または底面視と記載することがある。なお、平面視は、図１における上方から見る方向であり、底面視は、下方から見る方向である。例えば、振動体３の第２の主面３ｂ側から第１の主面３ａ側に見る方向が平面視であり、第１の主面側３ａから第２の主面３ｂ側に見る方向が底面視である。

　図１に示すように、振動体３の第２の主面３ｂにロータ４が接触している。ロータ４は円板状である。ロータ４の中央部には貫通孔４ｃが設けられている。もっとも、貫通孔４ｃの位置は上記に限定されない。貫通孔４ｃは、軸方向中心を含む領域に位置していればよい。さらに、ロータ４の形状は上記に限定されない。ロータ４の形状は、軸方向Ｚから見て、例えば、正六角形、正八角形または正十角形などの正多角形であってもよい。

　ロータ４は、弾性部材５を介してバネ部材６から弾性力を付与されている。もっとも、弾性部材５は必ずしも設けられていなくともよい。

　バネ部材６の中央部には、開口部６ｃが設けられている。開口部６ｃを囲むように、凸部６ｄが設けられている。凸部６ｄは、バネ部材６における、ステータ２側からロータ４側に向かう方向に曲げられた部分である。より具体的には、凸部６ｄはすり鉢状の形状を有する。凸部６ｄの先端部６ｅは、開口部６ｃの開口端縁部である。

　図３は、第１の実施形態におけるバネ部材の平面図である。

　バネ部材６の開口部６ｃは、平面視において、六角形状の形状を有する。開口部６ｃの六角形状の形状における各頂点の部分からそれぞれ、凸部６ｄにスリット部６ｇが延びている。もっとも、凸部６ｄにはスリット部６ｇは設けられていなくともよい。開口部６ｃの形状は上記に限定されず、平面視において非円形状であればよい。非円形とは、例えば、多角形、楕円、曲線と直線とが接続された形状、あるいは曲線と曲線とが接続された形状などを指す。

　バネ部材６は、複数の梁部６ｆを有する。複数の梁部６ｆは、平面視において放射状に配置されている。複数の梁部６ｆの変位による弾性力が、ロータ４に付与される。もっとも、複数の梁部６ｆは設けられていなくともよい。バネ部材６は、平面視において、例えば、円形または正多角形などの形状を有していてもよい。

　図４は、図１における、バネ部材及び軸部材が嵌合している部分を拡大した図である。

　図４に示すように、軸部材７は嵌合部７ａを有する。嵌合部７ａは、バネ部材６と嵌合している部分である。嵌合部７ａは六角柱状の形状を有する。もっとも、嵌合部７ａの形状は上記に限定されない。嵌合部７ａの平面視における形状は、例えば、多角形、楕円、曲線と直線とが接続された形状、あるいは曲線と曲線とが接続された形状などであってもよい。嵌合部７ａは溝部７ｂを含む。溝部７ｂ内に、バネ部材６における凸部６ｄの先端部６ｅが位置している。これにより、バネ部材６及び軸部材７が嵌合している。なお、厳密には、嵌合部７ａは、溝部７ｂ以外の部分である、バネ部材６と嵌合していない部分も含んでいる。なお、バネ部材６及び軸部材７が嵌合しているとは、バネ部材６の開口部６ｃの形状及び軸部材７の嵌合部７ａの断面形状が略相似であり、バネ部材６の凸部６ｄが嵌合部７ａに当接していることをいう。より具体的には、開口部６ｃの形状は、開口部６ｃの平面視における形状である。嵌合部７ａの断面形状は、軸部材７が延びる方向と直交する方向に沿う、嵌合部７ａの断面の形状である。もっとも、開口部６ｃの形状及び嵌合部７ａの断面形状が相似であることが好ましい。本明細書において、相似の関係は、一方の形状の角部に相当する他方の形状の部分が、曲線の形状である場合及び面取りされた形状である場合を含む。

　本実施形態の特徴は、バネ部材６の開口部６ｃの形状が、軸方向Ｚから見たときに非円形状であり、凸部６ｄが、ステータ２側からロータ４側に向かう方向に突出しており、凸部６ｄの先端部６ｅと軸部材７の嵌合部７ａとが嵌合していることにある。それによって、バネ部材６及び軸部材７の間において位置ずれが生じ難い。

　より詳細には、開口部６ｃが非円形状であるため、バネ部材６及び軸部材７の間において、周回方向における位置ずれが生じ難い。さらに、バネ部材６からロータ４に弾性力が付与されていることにより、バネ部材６には、ロータ４側から抗力が加えられている。ここで、バネ部材６の凸部６ｄが突出している方向は、ロータ４に弾性力が付与されている方向とは反対側である。すなわち、バネ部材６に抗力が加えられている方向に、凸部６ｄが突出している。これにより、凸部６ｄの先端部６ｅが、軸部材７の嵌合部７ａに押し当てられる。このように、バネ部材６及び軸部材７が一体化するように常に力が付与されている。よって、超音波モータ１が長期にわたり使用され、部材の摩耗が生じたとしても、バネ部材６及び軸部材７が嵌合している部分において緩みが生じ難い。従って、バネ部材６及び軸部材７の間において位置ずれが生じ難い。

　以下において、本実施形態の構成をさらに詳細に説明する。

　図１に示すように、超音波モータ１は、第１のケース部材８及び第２のケース部材９を有する。第２のケース部材９はキャップ状であり、第１のケース部材８は蓋状である。第１のケース部材８及び第２のケース部材９により、ケースが構成されている。ケースの内部に、バネ部材６、ロータ４及びステータ２が配置されている。

　第１のケース部材８は、第１の円筒突出部８ａ及び第２の円筒突出部８ｂを有する。第１の円筒突出部８ａは、ケースの外側に突出している。第２の円筒突出部８ｂは、ケースの内側に突出している。第２の円筒突出部８ｂは、ステータ２の振動体３における貫通孔３ｃに挿通されている。

　第１の円筒突出部８ａ及び第２の円筒突出部８ｂには、連続して貫通孔８ｃが設けられている。貫通孔８ｃにおける、第１の円筒突出部８ａに位置する部分の幅は、第２の円筒突出部８ｂに位置する部分の幅よりも広い。本明細書においては、特に断りのない限りは、貫通孔または開口部の幅は、該貫通孔または開口部の軸方向Ｚと垂直な方向に沿う寸法である。貫通孔８ｃ内における、第１の円筒突出部８ａに位置する部分に、第１の軸受け部１８が設けられている。軸部材７は、貫通孔８ｃ及び第１の軸受け部１８に挿通されている。軸部材７は、第１のケース部材８の貫通孔８ｃから、ケースの外側に突出している。なお、第１のケース部材８の構成は上記に限定されない。

　第２のケース部材９は円筒突出部９ａを有する。円筒突出部９ａはケースの外側に突出している。円筒突出部９ａには貫通孔９ｃが設けられている。貫通孔９ｃ内に第２の軸受け部１９が設けられている。軸部材７は、貫通孔９ｃ及び第２の軸受け部１９に挿通されている。軸部材７は、第２のケース部材９の貫通孔９ｃから、ケースの外側に突出している。なお、第２のケース部材９の構成は上記に限定されない。第１の軸受け部１８及び第２の軸受け部１９には、例えば、ベアリングなどを用いてもよい。

　図１に示すように、ロータ４は、凹部４ａと、側壁部４ｂとを有する。凹部４ａは、軸方向Ｚから見たときに円形である。側壁部４ｂは、凹部４ａを囲んでいる部分である。ロータ４は側壁部４ｂの端面４ｄにおいて、ステータ２と接触している。もっとも、凹部４ａ及び側壁部４ｂは設けられていなくともよい。

　ロータ４におけるステータ２側の面には、摩擦材が固定されていてもよい。それによって、ステータ２の振動体３とロータ４との間に加わる摩擦力を安定化させることができる。この場合には、ロータ４を効率的に回転させることができ、超音波モータ１を効率的に回転駆動することができる。

　振動体３の第２の主面３ｂ上において、複数の突起３ｄが設けられている。複数の突起３ｄは、振動体３における、ロータ４に接触している部分である。各突起３ｄは、振動体３の第２の主面３ｂから軸方向Ｚに突出している。軸方向Ｚから見たときに、複数の突起３ｄは円環状に並んでいる。複数の突起３ｄは、第２の主面３ｂから軸方向Ｚに突出しているため、振動体３において進行波が生じたとき、複数の突起３ｄの先端はより一層大きく変位する。よって、ステータ２において生じさせた進行波によって、ロータ４を効率的に回転させることができる。なお、複数の突起３ｄは必ずしも設けられていなくともよい。

　図５は、第１の実施形態におけるステータの底面図である。

　振動体３の第１の主面３ａには、複数の圧電素子が設けられている。より具体的には、複数の圧電素子は、第１の圧電素子１３Ａ、第２の圧電素子１３Ｂ、第３の圧電素子１３Ｃ及び第４の圧電素子１３Ｄである。複数の圧電素子は、軸方向Ｚに平行な軸を中心として周回する進行波を発生させるように、該進行波の周回方向に沿って分散配置されている。軸方向Ｚから見たときに、第１の圧電素子１３Ａ及び第３の圧電素子１３Ｃは軸を挟んで対向し合っている。第２の圧電素子１３Ｂ及び第４の圧電素子１３Ｄは軸を挟んで対向し合っている。

　図６は、第１の実施形態における第１の圧電素子の正面断面図である。

　第１の圧電素子１３Ａは圧電体１４を有する。圧電体１４は第３の主面１４ａ及び第４の主面１４ｂを有する。第３の主面１４ａ及び第４の主面１４ｂは対向し合っている。第１の圧電素子１３Ａは、第１の電極１５Ａ及び第２の電極１５Ｂを有する。圧電体１４の第３の主面１４ａ上に第１の電極１５Ａが設けられており、第４の主面１４ｂ上に第２の電極１５Ｂが設けられている。第２の圧電素子１３Ｂ、第３の圧電素子１３Ｃ、及び第４の圧電素子１３Ｄも、第１の圧電素子１３Ａと同様に構成されている。上記各圧電素子の平面視における形状は矩形である。なお、各圧電素子の平面視における形状は上記に限定されず、例えば楕円形などであってもよい。

　ここで、第１の電極１５Ａは、振動体３の第１の主面３ａに接着剤により貼り付けられている。この接着剤の厚みは非常に薄い。従って、第１の電極１５Ａは振動体３に電気的に接続される。

　なお、進行波を発生させるためには、ステータ２は、少なくとも第１の圧電素子１３Ａ及び第２の圧電素子１３Ｂを有していればよい。あるいは、複数の領域に分割された、１個の圧電素子を有していてもよい。この場合には、例えば、圧電素子の各領域が互いに異なる方向に分極されていてもよい。

　ステータ２において、複数の圧電素子を周回方向に分散配置し、駆動することにより進行波を発生させる構造については、例えば、ＷＯ２０１０／０６１５０８Ａ１に開示されている。なお、この進行波を発生させる構造については、以下の説明だけでなく、ＷＯ２０１０／０６１５０８Ａ１に記載の構成を本明細書に援用することにより、詳細な説明は省略することとする。

　図７（ａ）～図７（ｃ）は、第１の実施形態において励振される進行波を説明するための、ステータの模式的底面図である。なお、図７（ａ）～図７（ｃ）では、グレースケールにおいて、黒色に近いほど一方の方向の応力が大きく、白色に近いほど他方の方向の応力が大きいことを示す。図７における実線及び破線の曲線は、振動のエネルギーの大きさを模式的に示す。

　図７（ａ）には、三波の定在波Ｘが示されており、図７（ｂ）には、三波の定在波Ｙが示されている。第１～第４の圧電素子１３Ａ～１３Ｄが、中心角９０°の角度を隔てて配置されているとする。この場合、三波の定在波Ｘ，Ｙが励振されるため、進行波の波長に対する中心角は１２０°となる。中心角は、一波の角度１２０°に３／４を掛けた角度９０°で決定する。三波の定在波Ｘの振幅が大きい所定の場所に第１の圧電素子１３Ａを配置し、中心角９０°間隔で第２～第４の圧電素子１３Ｂ～１３Ｄを配置する。この場合、振動の位相が９０°異なる三波の定在波Ｘ，Ｙが励振され、両者が合成されて、図７（ｃ）に示す進行波が生じる。

　なお、図７（ａ）～図７（ｃ）における、Ａ＋、Ａ－、Ｂ＋、Ｂ－は、圧電体１４の分極方向を示す。＋は、厚み方向において、第３の主面１４ａから第４の主面１４ｂに向けて分極されていることを意味する。－は、逆方向に分極されていることを示す。Ａは、第１の圧電素子１３Ａ及び第３の圧電素子１３Ｃであることを示し、Ｂは、第２の圧電素子１３Ｂ及び第４の圧電素子１３Ｄであることを示す。

　なお、三波の例を示したが、これに限定されず六波、九波、十二波などの場合も同様に位相が９０°異なる２つの定在波が励振され、両者の合成により進行波が生じる。本発明において、進行波を発生させる構成は、図７（ａ）～図７（ｃ）に示した構成に限らず、従来より公知の様々な進行波を発生させる構成を用いることができる。

　以下において、本発明における好ましい構成を説明する。

　図１に示すように、軸部材７はロータ４と接触していないことが好ましい。本実施形態では、軸部材７は、ロータ４の貫通孔４ｃに挿通されているが、軸部材７はロータ４の開口端縁部に接触していない。それによって、ロータ４の振動が軸部材７に伝搬し難い。従って、超音波モータ１を安定的に駆動させることができる。

　本実施形態においては、軸部材７における、ロータ４に挿通されている部分の形状は円柱状である。ロータ４の貫通孔４ｃの、軸方向Ｚから見たときの形状は円形である。もっとも、軸部材７の上記部分の形状及びロータ４の貫通孔４ｃの形状は上記に限定されない。

　バネ部材６のヤング率は、軸部材７のヤング率よりも高いことが好ましい。または、バネ部材６のビッカース硬度は、軸部材７のビッカース硬度よりも高いことが好ましい。本実施形態においては、バネ部材６の凸部６ｄの先端部６ｅが、軸部材７の溝部７ｂ内に位置している。上記のようなヤング率またはビッカース硬度の関係であることにより、凸部６ｄの先端部６ｅを、軸部材７により一層食い込ませることができる。それによって、バネ部材６及び軸部材７をより一層強固に嵌合させることができる。従って、バネ部材６及び軸部材７の間において、より一層位置ずれが生じ難い。

　さらに、上記のようなヤング率またはビッカース硬度の関係である場合には、軸部材７の嵌合部７ａに溝部７ｂを予め設けていなくともよい。バネ部材６の凸部６ｄにおける先端部６ｅは軸部材７よりも硬いため、先端部６ｅは軸部材７の嵌合部７ａに食い込む。より詳細には、バネ部材６及び軸部材７を嵌合させるに際し、軸方向から見たときに、バネ部材６は図１に示すように変位する。軸方向Ｚから見たときに、バネ部材６は、中央に圧縮されるように変位する。このとき、バネ部材６の開口部６ｃの幅が狭くなるように変位する。これにより、バネ部材６の先端部６ｅが軸部材７の嵌合部７ａに食い込む。そして、嵌合部７ａに溝部７ｂが形成され、かつバネ部材６及び軸部材７が嵌合する。

　バネ部材６の材料としては、例えば、ＳＵＳ３０４－ＣＳＰやＳＵＳ３０１ＣＳＰ－Ｈなどのステンレスバネ材、リン青銅または洋白などを用いることができる。軸部材７の材料としては、例えば、ＳＵＳ４３０、アルミニウム、真鍮または樹脂などを用いることができる。これらの場合には、バネ部材６のヤング率が軸部材７のヤング率よりも高いという関係を満たすことができる。さらに、例えば、軸部材７の材料としてＳＵＳ４３０を用いた場合、ビッカース硬度はＨＶ２００以下であり、バネ部材６の材料としてＳＵＳ３０１ＣＳＰ－Ｈを用いた場合、ビッカース硬度はＨＶ４３０以上である。このように、バネ部材６のビッカース硬度が軸部材７のビッカース硬度よりも高いという関係を満たすことができる。そして、上記のように、軸部材７の嵌合部７ａに予め溝部を設ける必要がないため、生産性を高めることができる。

　軸部材７の軸方向Ｚと垂直な方向に沿う寸法を軸部材７の幅としたときに、バネ部材６及び軸部材７を嵌合させていない状態におけるバネ部材６の開口部６ｃの幅が、軸部材７の嵌合部７ａにおける溝部７ｂが設けられていない部分の幅よりも狭いことが好ましい。それによって、バネ部材６及び軸部材７を嵌合させたときに、バネ部材６の凸部６ｄの先端部６ｅを、軸部材７の嵌合部７ａにより一層強く押し当てることができる。従って、バネ部材６及び軸部材７をより一層強固に嵌合させることができる。

　なお、バネ部材６の変位に伴い、開口部６ｃの幅は変化する。上記のように、開口部６ｃの幅が狭い場合にも、開口部６ｃの幅は変化するため、軸部材７を開口部６ｃに挿通させることができる。バネ部材６における凸部６ｄの先端部６ｅを軸部材７の嵌合部７ａに当接させた後に、図１に示すようにバネ部材６を変位させることにより、バネ部材６及び軸部材７を好適に嵌合させることができる。

　バネ部材６の開口部６ｃの形状は、軸方向Ｚから見たときに、多角形状であることが好ましい。さらに、軸部材７の嵌合部７ａの形状は、軸方向Ｚから見たときに、多角形状であることが好ましい。バネ部材６の開口部６ｃ及び軸部材７の嵌合部７ａの、軸方向Ｚから見たときの形状が、同じ頂点の個数の多角形であることがより好ましい。それによって、バネ部材６及び軸部材７を、上記多角形状の形状における辺同士の部分において接触させることができる。従って、バネ部材６及び軸部材７において、周回方向における位置ずれがより一層生じ難い。

　本実施形態では、バネ部材６及び軸部材７は、他の部材を介さず、直接的に嵌合している。従って、部品の点数を少なくすることができ、コストを低減することができる。

　加えて、バネ部材６は、凸部６ｄの先端部６ｅにおいて軸部材７と接触している。そのため、バネ部材６及び軸部材７が接触している面積は小さい。よって、ロータ４の振動が軸部材７により一層伝搬し難い。従って、超音波モータ１をより一層安定的に駆動させることができる。

　バネ部材６の凸部６ｄに、複数のスリット部６ｇが設けられていることが好ましい。この場合には、製造工程において、凸部６ｄを容易に形成することができる。よって、生産性を高めることができる。

　複数のスリット部６ｇが設けられている場合には、凸部６ｄは、複数の先端部６ｅを有する。この場合には、軸部材７の嵌合部７ａには、複数の溝部７ｂが設けられていることが好ましい。複数の溝部７ｂは、周回方向に分散配置されており、各溝部７ｂ及び各先端部６ｅが嵌合していることが好ましい。この場合には、各先端部６ｅが軸部材７に埋め込まれた状態とすることができる。よって、各先端部６ｅが、周回方向に移動し難い。従って、バネ部材６及び軸部材７の間において、より一層位置ずれが生じ難い。

　バネ部材６が複数の梁部６ｆを有することが好ましい。これにより、バネ部材６の変位を容易に大きくすることができる。よって、バネ部材６によりロータ４に付与する弾性力を容易に、かつより確実に大きくすることができる。従って、ロータ４及びステータ２をより確実に密着させることができ、超音波モータ１をより確実に、効率的に駆動させることができる。

　複数の梁部６ｆは、周回方向において均等に配置されていることがより好ましい。これにより、ロータ４に付与される弾性力を、周回方向において均一にすることができる。よって、超音波モータ１を安定的に駆動させることができる。

　複数の梁部６ｆの個数が、進行波の波数の整数倍ではなく、かつ素数であることがさらに好ましい。より具体的には、本実施形態では、三波の進行波を利用している。これに対して、梁部６ｆは７個である。これにより、バネ部材６が振動し難い。よって、軸部材７に振動が伝搬し難い。従って、超音波モータ１をより一層安定的に駆動させることができる。加えて、バネ部材６の振動による異音の発生を抑制することもできる。

　軸方向Ｚから見たときに、バネ部材６の梁部６ｆ同士の間の部分の形状は、曲線状である。それによって、応力の集中が生じ難く、バネ部材６の破損が生じ難い。もっとも、バネ部材６の形状は上記に限定されない。例えば、バネ部材６は必ずしも梁部６ｆを有していなくともよい。

　バネ部材６及びロータ４の間に、弾性部材５が設けられていることが好ましい。これにより、ロータ４の振動が弾性部材５に吸収される。よって、ロータ４の振動がバネ部材６及び軸部材７に伝搬し難い。従って、超音波モータ１を安定的に駆動させることができる。弾性部材５の材料としては、例えば、ゴムまたは樹脂などを用いることができる。

　図２に示すように、弾性部材５はリング状である。弾性部材５は内周端縁部５ａを有する。一方で、バネ部材６は外周端縁部６ｈを有する。本実施形態では、外周端縁部６ｈは、各梁部６ｆの先端部を含む。バネ部材６は、複数の梁部６ｆの変位による弾性力をロータ４に付与している。よって、図１に示すように、超音波モータ１においては、バネ部材６は、複数の梁部６ｆが変位した状態において配置されている。より具体的には、複数の梁部６ｆの先端部が、ロータ４から遠ざかるように変位している。

　バネ部材６は、弾性部材５の内周端縁部５ａに接触している。さらに、バネ部材６の外周端縁部６ｈは弾性部材５に接触していない。これにより、バネ部材６及び弾性部材５が接触している面積を小さくすることができる。よって、ロータ４側からの振動が、バネ部材６及び軸部材７に伝搬し難い。従って、超音波モータ１をより一層安定的に駆動させることができる。

　以下において、バネ部材、圧電素子または軸部材などの構成が第１の実施形態と異なる、第１の実施形態の第１～第４の変形例を示す。各変形例においても、第１の実施形態と同様に、バネ部材及び軸部材の間において位置ずれが生じ難い。

　図８に示す第１の変形例においては、バネ部材２６Ａの梁部２６ｆ及び凸部２６ｄの形状が第１の実施形態と異なる。より具体的には、軸方向Ｚから見て、梁部２６ｆが延びる方向と垂直な方向に沿う梁部２６ｆの寸法を、梁部２６ｆの幅としたときに、バネ部材２６Ａの中央から遠ざかるにつれて、梁部２６ｆの幅が狭くなっている。それによって、梁部２６ｆに加わる応力を均一化することができる。従って、バネ部材２６Ａがより一層破損し難い。なお、本変形例では、凸部２６ｄには、スリット部は設けられていない。

　図９に示す第２の変形例においては、バネ部材２６Ｂが弾性体層２５を有する点において、第１の実施形態と異なる。より具体的には、バネ部材２６Ｂは、本体部２６ｉを有する。本体部２６ｉは第１の実施形態のバネ部材６と同様の構成を有する。なお、本体部２６ｉは、第１の面２６ａ及び第２の面２６ｂを有する。第１の面２６ａ及び第２の面２６ｂは、軸方向Ｚにおいて対向し合っている。第１の面２６ａ及び第２の面２６ｂのうち、第２の面２６ｂがロータ４側に位置する。本変形例では、第１の面２６ａの全面に弾性体層２５が設けられている。これにより、バネ部材２６Ｂの振動を抑制することができる。よって、バネ部材２６Ｂの振動による異音の発生をより一層抑制することができる。さらに、軸部材７に振動がより一層伝搬し難い。もっとも、本体部２６ｉの表面の少なくとも一部に、弾性体層２５が設けられていればよい。例えば、本体部２６ｉの第２の面２６ｂの一部に弾性体層２５が設けられていてもよく、あるいは、本体部２６ｉの表面の全面を弾性体層２５が覆っていてもよい。

　図１０に示す第３の変形例においては、圧電素子２３の構成が第１の実施形態と異なる。より具体的には、圧電素子２３は、複数に分極された１つの圧電素子である。圧電素子２３は円環状である。圧電素子２３は複数の領域を有する。図１０においては、異なる領域を、異なるハッチングにより示している。圧電素子２３は、領域毎に異なる分極方向を有する。これにより、圧電素子２３は、互いに異なる領域では、互いに異なる位相において振動する。複数の領域は圧電素子２３における周回方向に並んでいる。より具体的には、複数の領域は、複数の第１のＡ相領域と、複数の第２のＡ相領域と、複数の第１のＢ相領域と、複数の第２のＢ相領域とを含む。圧電素子２３は上記各領域を３箇所ずつ含む。なお、圧電素子２３は、上記各領域を少なくとも１箇所ずつ含んでいればよい。

　圧電素子２３の圧電体は、第１のＡ相領域及び第２のＡ相領域においては、互いに逆方向に分極されている。同様に、圧電素子２３の圧電体は、第１のＢ相領域及び第２のＢ相領域においては、互いに逆方向に分極されている。つまり、圧電素子２３は、複数に分極された圧電素子である。

　圧電素子２３は、一点鎖線で示す複数の第１の電極１５Ａを有する。各第１の電極１５Ａは円弧状である。圧電素子２３の隣接する領域に設けられている第１の電極１５Ａ同士は、接触していない。これにより、複数の第１のＡ相領域及び複数の第２のＡ相領域と、複数の第１のＢ相領域及び複数の第２のＢ相領域とに、異なる相の信号を印加することができる。なお、第１の電極１５Ａと圧電体を挟んで対向するように、第２の電極が設けられている。複数の第２の電極が複数の第１の電極１５Ａと同様に設けられていてもよく、あるいは１個の円環状の第２の電極が設けられていてもよい。

　図１１に示す第４の変形例においては、軸部材２７及び第１の軸受け部２８が嵌合している点において第１の実施形態と異なる。軸部材２７は溝部２７ｄを有する。第１の軸受け部２８は止め輪２８ａを有する。止め輪２８ａは、第１の軸受け部２８の、軸方向Ｚにおける外側の端部に位置している。もっとも、止め輪２８ａの配置は上記に限定されない。止め輪２８ａの内周端縁部は、軸部材２７の溝部２７ｄ内に位置している。それによって、軸部材２７及び第１の軸受け部２８が嵌合している。上記構成を有することにより、軸部材２７の軸方向Ｚにおける位置ずれを効果的に抑制することができる。

　図１２は、第２の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。

　本実施形態は、バネ部材６の開口部６ｃの幅、及び軸部材３７の構成が第１の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の超音波モータは第１の実施形態の超音波モータ１と同様の構成を有する。

　軸部材３７の嵌合部３７ａは溝部を有しない。嵌合部３７ａは突起部３７ｅを有する。突起部３７ｅは周回方向全体にわたり、軸方向Ｚと垂直な方向に突出している。突起部３７ｅに、バネ部材６の凸部６ｄの先端部６ｅが当接している。それによって、バネ部材６及び軸部材３７が嵌合している。なお、バネ部材６の開口部６ｃの幅は、軸部材３７の嵌合部３７ａにおける、突起部３７ｅが設けられていない部分の幅と同じである。

　本実施形態においても、バネ部材６の凸部６ｄが突出している方向は、ロータ４に弾性力が付与されている方向とは反対側である。すなわち、バネ部材６に、ロータ４側から抗力が加えられている方向に、凸部６ｄが突出している。これにより、凸部６ｄの先端部６ｅが、軸部材３７の嵌合部３７ａに押し当てられる。よって、長期の使用においても、バネ部材６及び軸部材３７が嵌合している部分において緩みが生じ難い。従って、第１の実施形態と同様に、バネ部材６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。

　軸部材３７の嵌合部３７ａは、溝部及び突起部３７ｅの双方を有していてもよい。第１の実施形態と同様に、バネ部材６の凸部６ｄの先端部６ｅが溝部内に位置していてもよい。凸部６ｄの先端部６ｅ以外の部分が、突起部３７ｅに当接していてもよい。この場合においても、バネ部材６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。

　ところで、図１に示したロータ４の形状は上記に限定されない。例えば、図１３に示す第１の実施形態の第５の変形例においては、ロータ２４は１対の凹部４ａを有する。一方の凹部４ａは、第１の実施形態と同様に、ステータ２側に設けられている。他方の凹部４ａは、バネ部材６側に設けられている。

　上記では、第１の実施形態やその第１の変形例及び第２の変形例において、バネ部材の例を示した。以下において、バネ部材のさらなる例を示す。

　図１４に示す第１の実施形態の第６の変形例においては、複数の梁部６ｆの外周端縁部６ｈ同士を接続するように、枠状部２６ｊが設けられている。本変形例においては、枠状部２６ｊは、複数の梁部６ｆとは別体として設けられている。より具体的には、枠状部２６ｊは第１の面２６ａに設けられている。枠状部２６ｊは円環状の形状を有する。本変形例においては、枠状部２６ｊが設けられているため、バネ部材２６Ｃの姿勢を安定化することができる。従って、バネ部材２６Ｃ及び軸部材７の間における位置ずれをより確実に抑制することができる。

　なお、枠状部２６ｊは、第１の面２６ａではなく、第２の面２６ｂに設けられていてもよい。あるいは、枠状部２６ｊは、複数の梁部６ｆと一体として設けられていてもよい。枠状部２６ｊは、必ずしも各梁部６ｆの外周端縁部６ｈに至っていなくともよい。枠状部２６ｊは、梁部６ｆ同士を接続していればよい。枠状部２６ｊの外周縁の形状は円形に限定されず、非円形であってもよい。同様に、枠状部２６ｊの内周縁の形状は円形に限定されず、非円形であってもよい。

　図１５に示す第１の実施形態の第７の変形例においては、各梁部６ｆの外周端縁部６ｈを含む部分にそれぞれ、幅広部２６ｋが設けられている。幅広部２６ｋの幅は、梁部６ｆの他の部分の幅よりも広い。本変形例においては、幅広部２６ｋは、梁部６ｆとは別体として設けられている。より具体的には、複数の幅広部２６ｋは第１の面２６ａに設けられている。幅広部２６ｋは矩形状の形状を有する。本変形例においては、各梁部６ｆに幅広部２６ｋが設けられているため、バネ部材２６Ｄの姿勢を安定化することができる。従って、バネ部材２６Ｄ及び軸部材７の間における位置ずれをより確実に抑制することができる。

　なお、複数の幅広部２６ｋは、第１の面２６ａではなく、第２の面２６ｂに設けられていてもよい。あるいは、幅広部２６ｋは、梁部６ｆと一体として設けられていてもよい。幅広部２６ｋは、必ずしも梁部６ｆの外周端縁部６ｈに至っていなくともよい。幅広部２６ｋの形状は矩形に限定されず、例えば、円形や、矩形以外の非円形などであってもよい。本変形例における幅広部２６ｋ及び第６の変形例における枠状部２６ｊは、第１の実施形態以外の本発明の構成にも適用することができる。

　上記の第１の実施形態や第２の実施形態においては、バネ部材６における凸部６ｄの先端は平面状である。図４や図１２などに示すように、先端部６ｅの断面における２箇所のコーナー部は、いずれも直線と直線とが接続された形状である。もっとも、先端部６ｅの上記コーナー部は、曲線状であってもよい。この例を以下において示す。

　図１６は、第３の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。

　本実施形態は、バネ部材４６における凸部４６ｄの先端が曲面状である点において第２の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の超音波モータは第２の実施形態の超音波モータと同様の構成を有する。

　本実施形態においても、第２の実施形態と同様に、軸部材３７の突起部３７ｅに、バネ部材４６の凸部４６ｄの先端部４６ｅが当接している。それによって、バネ部材４６及び軸部材３７が嵌合している。そして、バネ部材４６にロータ４側から抗力が加えられていることによって、先端部４６ｅが突起部３７ｅに押し当てられる。これにより、バネ部材４６及び軸部材３７が嵌合している部分において緩みが生じ難い。従って、バネ部材４６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。

　さらに、本実施形態においては、凸部４６ｄの先端部４６ｅが曲面状である。そのため、図１７に示すように、バネ部材４６及び軸部材３７を嵌合させるに際し、先端部４６ｅを嵌合部３７ａの表面上において容易に滑らせることができる。それによって、先端部４６ｅを突起部３７ｅに、より確実に到達させることができ、バネ部材４６の位置決めをより確実に行うことができる。

　本実施形態の構成では、バネ部材４６及び軸部材３７が、バネ部材４６のヤング率が軸部材３７のヤング率よりも低い関係、及びバネ部材４６のビッカース硬度が軸部材３７のビッカース硬度よりも低い関係のうち少なくとも一方の関係を有することが好ましい。この場合には、バネ部材４６の先端部４６ｅが軸部材３７に食い込み難い。よって、先端部４６ｅを軸部材３７の嵌合部３７ａの表面上において、より確実に滑らせることができる。従って、バネ部材４６の位置決めをより一層確実に行うことができる。なお、例えば、軸部材３７の材料としてＳＵＳ４３０を用いた場合、バネ部材４６の材料として、Ｃ５１９１－１／２Ｈ（りん青銅２種）またはＣ７５２１－１／２Ｈ（洋白２種）などを用いることができる。これらの場合、バネ部材４６のビッカース硬度は軸部材３７のビッカース硬度よりも低い。もっとも、バネ部材４６のヤング率が軸部材３７のヤング率よりも高く、かつバネ部材４６のビッカース硬度が軸部材３７のビッカース硬度よりも高くても構わない。

　図１６に示すように、本実施形態においては、先端部４６ｅの断面における２箇所のコーナー部は、いずれも曲線状である。より具体的には、軸方向Ｚと平行であり、かつ軸部材３７の中央を通る断面において、先端部４６ｅの第１の面２６ａ側のコーナー部及び第２の面２６ｂ側のコーナー部の双方が曲線状である。なお、上記断面における、少なくとも第２の面２６ｂ側のコーナー部の形状が曲線状であればよい。

　例えば、図１８に示す第３の実施形態の変形例においては、先端部５６ｅの断面における、第１の面２６ａ側のコーナー部は、直線と直線とが接続された形状を有する。他方、第２の面２６ｂ側のコーナー部は曲線の形状を有する。バネ部材５６においては、軸部材３７に当接する部分は、第２の面２６ｂ側のコーナー部である。よって、該コーナー部が曲線の形状であれば、バネ部材５６の先端部５６ｅを、軸部材３７の嵌合部３７ａの表面上において容易に滑らせることができる。従って、第３の実施形態と同様に、バネ部材５６の位置決めをより確実に行うことができる。加えて、バネ部材５６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。

　さらに、本変形例においては、バネ部材５６における、曲面状の形状を含む先端部５６ｅを、プレス抜き加工によって容易に形成することができる。従って、生産性を高めることができる。

　図１９は、第４の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。

　本実施形態は、バネ部材６６の凸部６６ｄの先端部６６ｅを含む部分において、折り返し部６６ｌが設けられている点で、第３の実施形態と異なる。本実施形態は、折り返し部６６ｌにおける屈曲した部分が、凸部６６ｄの先端部６６ｅである点においても、第３の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の超音波モータは第３の実施形態の超音波モータと同様の構成を有する。

　折り返し部６６ｌにおいては、第１の面２６ａ同士が対向している部分が、内側に位置している。凸部６６ｄの先端部６６ｅにおける第２の面２６ｂの部分が、軸部材３７に当接している。本実施形態においても、先端部６６ｅは曲面状である。よって、第３の実施形態と同様に、バネ部材６６の位置決めをより確実に行うことができる。加えて、バネ部材６６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。

　折り返し部６６ｌは、第１の部分６６ｍ及び第２の部分６６ｎを有する。第１の部分６６ｍ及び第２の部分６６ｎは、折り返し部６６ｌにおける屈曲した部分により接続されている。第１の部分６６ｍは、凸部６６ｄの基端部側の部分である。軸方向Ｚと平行であり、かつ軸部材３７の中央を通る断面において、第１の部分６６ｍの延長線Ｃ１及び第２の部分６６ｌの延長線Ｃ２がなす角の角度をθとしたときに、本実施形態では、θ＝０°である。言い換えれば、折り返し部６６ｌの曲げ角は１８０°である。なお、角度θは０°に限定されない。もっとも、角度θは、第１の部分６６ｍの延長線Ｃ１、及び軸方向Ｚと垂直な面がなす角の角度以下であることが好ましい。それによって、軸部材３７の突起部３７ｅに、凸部６６ｄの先端部６６ｅを容易に当接させることができる。

　図２０は、第５の実施形態におけるバネ部材及び軸部材が嵌合している部分を示す正面断面図である。

　本実施形態は、軸部材７７の嵌合部７７ａにおける突起部３７ｅ以外の部分の幅が、軸部材７７における嵌合部７７ａ以外の部分の幅よりも狭い点において、第３の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の超音波モータは第３の実施形態の超音波モータと同様の構成を有する。なお、嵌合部７７ａにおける突起部３７ｅ以外の部分は、第２の実施形態及び第３の実施形態と同様に、六角柱状である。

　本実施形態においても、第３の実施形態と同様に、バネ部材４６の位置決めをより確実に行うことができる。加えて、バネ部材４６及び軸部材３７の間において位置ずれが生じ難い。さらに、嵌合部７７ａを形成する際に、突起部３７ｅも同時に形成することができるため、加工が容易となる。従って、生産性を高めることができる。

　１…超音波モータ
　２…ステータ
　３…振動体
　３ａ，３ｂ…第１，第２の主面
　３ｃ…貫通孔
　３ｄ…突起
　４…ロータ
　４ａ…凹部
　４ｂ…側壁部
　４ｃ…貫通孔
　４ｄ…端面
　５…弾性部材
　５ａ…内周端縁部
　６…バネ部材
　６ｃ…開口部
　６ｄ…凸部
　６ｅ…先端部
　６ｆ…梁部
　６ｇ…スリット部
　６ｈ…外周端縁部
　７…軸部材
　７ａ…嵌合部
　７ｂ…溝部
　８…第１のケース部材
　８ａ，８ｂ…第１，第２の円筒突出部
　８ｃ…貫通孔
　９…第２のケース部材
　９ａ…円筒突出部
　９ｃ…貫通孔
　１３Ａ～１３Ｄ…第１～第４の圧電素子
　１４…圧電体
　１４ａ，１４ｂ…第３，第４の主面
　１５Ａ，１５Ｂ…第１，第２の電極
　１８，１９…第１，第２の軸受け部
　２３…圧電素子
　２４…ロータ
　２５…弾性体層
　２６Ａ，２６Ｂ，２６Ｃ，２６Ｄ…バネ部材
　２６ａ，２６ｂ…第１，第２の面
　２６ｄ…凸部
　２６ｆ…梁部
　２６ｉ…本体部
　２６ｊ…枠状部
　２６ｋ…幅広部
　２７…軸部材
　２７ｄ…溝部
　２８…第１の軸受け部
　２８ａ…止め輪
　３７…軸部材
　３７ａ…嵌合部
　３７ｅ…突起部
　４６…バネ部材
　４６ｄ…凸部
　４６ｅ…先端部
　５６…バネ部材
　５６ｅ…先端部
　６６…バネ部材
　６６ｄ…凸部
　６６ｅ…先端部
　６６ｌ…折り返し部
　６６ｍ，６６ｎ…第１，第２の部分
　７７…軸部材
　７７ａ…嵌合部

Claims

　対向し合う第１の主面及び第２の主面を含む板状の振動体と、前記振動体の前記第１の主面上に設けられている圧電素子と、を有するステータと、
　前記振動体の前記第２の主面に直接的または間接的に接触しているロータと、
　前記ロータに対して、前記ロータ側から前記ステータ側に向かう方向に弾性力を付与しており、開口部を有する板状のバネ部材と、
　前記バネ部材の前記開口部に挿通され、嵌合部を有する軸部材と、
を備え、
　前記バネ部材の前記開口部の形状が、平面視において非円形状であり、
　前記バネ部材が、前記ステータ側から前記ロータ側に向かう方向に曲げられた凸部を有し、前記凸部の先端部である前記開口部の開口端縁部と、前記軸部材の前記嵌合部とが嵌合している、超音波モータ。
　前記軸部材が前記ロータと接触していない、請求項１に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材及び前記軸部材が、前記バネ部材のヤング率が前記軸部材のヤング率よりも高い関係、及び前記バネ部材のビッカース硬度が前記軸部材のビッカース硬度よりも高い関係のうち少なくとも一方の関係を有する、請求項１または２に記載の超音波モータ。
　前記軸部材の前記嵌合部が溝部を有し、前記バネ部材の前記凸部の前記先端部が前記溝部内に位置していることにより、前記バネ部材及び前記軸部材が嵌合している、請求項１～３のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材の前記開口部の形状が、平面視において多角形状である、請求項１～４のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材の前記凸部に、前記開口部の多角形状の形状における複数の頂点の部分から延びる、複数のスリット部が設けられている、請求項５に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材が、平面視において放射状に配置されている複数の梁部を有し、前記バネ部材が、前記複数の梁部により前記ロータに弾性力を付与している、請求項１～６のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記振動体の前記第１の主面及び前記第２の主面を結ぶ方向であって、回転中心に沿う方向を軸方向とし、前記軸方向を中心として周回する方向を周回方向としたときに、前記バネ部材の前記複数の梁部が、前記周回方向において均等に配置されている、請求項７に記載の超音波モータ。
　前記圧電素子が、前記振動体を振動させることにより進行波を発生させ、
　前記複数の梁部の個数が、前記進行波の波数の整数倍ではなく、かつ素数である、請求項７または８に記載の超音波モータ。
　平面視において、前記梁部が延びる方向と垂直な方向に沿う前記梁部の寸法を、前記梁部の幅としたときに、前記バネ部材の中央から遠ざかるにつれて、前記梁部の前記幅が狭くなっている、請求項７～９のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材が、本体部と、前記本体部の表面の少なくとも一部に設けられている弾性体層と、を有する、請求項１～１０のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記バネ部材及び前記ロータの間に設けられている弾性部材をさらに備え、
　前記バネ部材が、前記弾性部材を介して前記ロータに弾性力を付与している、請求項１～１１のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　前記弾性部材がリング状であり、かつ内周端縁部を有し、
　前記バネ部材が外周端縁部を有し、
　前記バネ部材が前記弾性部材の前記内周端縁部に接触しており、かつ前記バネ部材の前記外周端縁部が前記弾性部材に接触していない、請求項１２に記載の超音波モータ。
　前記軸部材の前記嵌合部が突起部を有し、該突起部に前記バネ部材の前記凸部が当接している、請求項１～１３のいずれか１項に記載の超音波モータ。
　一方の形状及び他方の形状が相似であるとする関係を、前記一方の形状の角部に相当する前記他方の形状の部分が、曲線の形状である場合及び面取りされた形状である場合を含む関係としたときに、前記バネ部材の前記開口部の平面視における形状、及び前記軸部材の前記嵌合部の、前記軸部材が延びる方向と直交する方向に沿う断面の形状が相似である、請求項１～１４のいずれか１項に記載の超音波モータ。