WO2022091954A1 - 高周波モジュール及び通信装置 - Google Patents

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Abstract

電子部品に含まれる回路素子の素子値を大きくする。高周波モジュール(100)では、導電層(6)は、樹脂層(5)における実装基板(9)側とは反対側の主面(51)と、電子部品(1)における実装基板(9)側とは反対側の主面(11)と、を覆っている。電子部品(1)は、電子部品本体(2)と、複数の外部電極(3)と、を有する。電子部品本体(2)は、電気絶縁体部(21)と、電気絶縁体部(21)内に設けられており電子部品(1)の回路素子(15)の少なくとも一部を構成する導体部(14)と、を含む。電子部品本体(2)は、互いに対向する第3主面(23)及び第4主面(24)と、外周面(25)と、を有する。第3主面(23)が、電子部品(1)の主面(11)を構成し、かつ導電層(6)に接している。複数の外部電極(3)の各々は、電子部品本体(2)の第4主面(24)に設けられており、第3主面(23)には至っていない。

Description

高周波モジュール及び通信装置
 本発明は、一般に高周波モジュール及び通信装置に関し、より詳細には、電子部品を備える高周波モジュール、及び、それを備える通信装置に関する。
 特許文献1には、モジュール基板(実装基板)と、チップコイル(電子部品)と、樹脂層と、金属膜(導電層)と、を備えるモジュール(高周波モジュール)が開示されている。
 特許文献1に開示されたモジュールでは、チップコイルは、モジュール基板の実装面上に設けられた電極に実装されている。
国際公開第2014/013831号
 特許文献1に開示されたモジュールのような高周波モジュールでは、チップコイルのような電子部品の2つの外部電極と金属膜との短絡を防ぐためにモジュール基板の厚さ方向において電子部品と金属膜との間に樹脂層の一部を介在させる必要がある。このため、特許文献1に開示された高周波モジュールでは、電子部品に含まれる回路素子(例えば、インダクタ又はキャパシタ)の素子値(例えば、インダクタンス又はキャパシタンス)を大きくするのが難しかった。
 本発明の目的は、電子部品に含まれる回路素子の素子値を大きくすることが可能な高周波モジュール及び通信装置を提供することにある。
 本発明の一態様に係る高周波モジュールは、実装基板と、電子部品と、樹脂層と、導電層と、を備える。前記実装基板は、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する。前記電子部品は、前記実装基板の前記第1主面に実装されている。前記樹脂層は、前記実装基板の前記第1主面に配置されており、前記電子部品の外周面の少なくとも一部を覆っている。前記導電層は、前記樹脂層における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部と、前記電子部品における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部と、を覆っている。前記電子部品は、電子部品本体と、複数の外部電極と、を有する。前記電子部品本体は、電気絶縁体部と、前記電気絶縁体部内に設けられており前記電子部品の回路素子の少なくとも一部を構成する導体部と、を含む。前記電子部品本体は、互いに対向する第3主面及び第4主面と、外周面と、を有する。前記電子部品では、前記電子部品本体の前記第3主面が、前記電子部品の前記主面を構成し、かつ前記導電層に接している。前記複数の外部電極の各々は、前記電子部品本体の前記第4主面に設けられており、前記第3主面には至っていない。
 本発明の一態様に係る通信装置は、上記高周波モジュールと、信号処理回路と、を備える。前記信号処理回路は、前記高周波モジュールに接続されている。
 本発明の上記態様に係る高周波モジュール及び通信装置は、電子部品に含まれる回路素子の素子値を大きくすることが可能となる。
図1は、実施形態1に係る高周波モジュールの平面図である。 図2は、同上の高周波モジュールを示し、図1のX-X線断面図である。 図3は、同上の高周波モジュールを示し、図1のY-Y線断面図である。 図4は、同上の高周波モジュールの一部拡大断面図である。 図5は、同上の高周波モジュールを備える通信装置の回路構成図である。 図6は、実施形態1の変形例1に係る高周波モジュールの断面図である。 図7は、実施形態1の変形例2に係る高周波モジュールの一部拡大断面図である。 図8は、実施形態1の変形例3に係る高周波モジュールの回路図である。 図9は、同上の高周波モジュールの一部破断した平面図である。 図10は、同上の高周波モジュールを示し、図9のX-X線断面図である。 図11は、同上の高周波モジュールを示し、図9のY-Y線断面図である。 図12は、実施形態2に係る高周波モジュールの断面図である。 図13は、同上の高周波モジュールの一部拡大断面図である。 図14は、第1電子部品の別の例を示すLCフィルタの下面側から見た斜視図である。
 以下の実施形態等において参照する図1~4、6、7、9~14は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
 (実施形態1)
 実施形態1に係る高周波モジュール100は、例えば、図1及び2に示すように、実装基板9と、電子部品1と、樹脂層5(図2参照)と、導電層6(図2参照)と、を備える。図2に示すように、実装基板9は、互いに対向する第1主面91及び第2主面92を有する。電子部品1は、実装基板9の第1主面91に実装されている。樹脂層5は、実装基板9の第1主面91に配置されており、電子部品1の外周面13を覆っている。導電層6は、樹脂層5における実装基板9側とは反対側の主面51と、電子部品1における実装基板9側とは反対側の主面11と、を覆っている。電子部品1は、図3に示すように、電子部品本体2と、複数の外部電極3と、を有する。電子部品1は、SMD(Surface Mount Device)である。
 また、実施形態1に係る高周波モジュール100は、図1及び2に示すように、電子部品1(以下、第1電子部品1ともいう)とは別に実装基板9の第1主面91に実装されている第2電子部品4を更に備える。図2に示すように、樹脂層5は、第2電子部品4の外周面43を覆っている。導電層6は、第2電子部品4における実装基板9側とは反対側の主面41を覆っている。
 また、高周波モジュール100は、図1及び2に示すように、第3電子部品7を更に備える。第3電子部品7は、実装基板9の第1主面91に実装されている。図2に示すように、第3電子部品7は、第1電子部品1及び第2電子部品4よりも背が低い。樹脂層5は、第3電子部品7の外周面73を覆っている。また、樹脂層5は、第3電子部品7における実装基板9側とは反対側の主面71も覆っている。
 また、高周波モジュール100は、図1及び2に示すように、第4電子部品10を更に備える。第4電子部品10は、実装基板9の第1主面91に実装されている。図2に示すように、樹脂層5は、第4電子部品10の外周面103を覆っている。導電層6は、第4電子部品10における実装基板9側とは反対側の主面101を覆っている。
 以下、実施形態1に係る高周波モジュール100及び通信装置300について、図1~5を参照して、より詳細に説明する。
 (1)高周波モジュール及び通信装置
 (1.1)高周波モジュール及び通信装置の回路構成
 実施形態1に係る高周波モジュール100及び通信装置300の回路構成について、図5を参照して説明する。
 高周波モジュール100は、例えば、通信装置300に用いられる。通信装置300は、例えば、携帯電話(例えば、スマートフォン)であるが、これに限らず、例えば、ウェアラブル端末(例えば、スマートウォッチ)等であってもよい。高周波モジュール100は、例えば、4G(第4世代移動通信)規格、5G(第5世代移動通信)規格等に対応可能なモジュールである。4G規格は、例えば、3GPP(Third Generation Partnership Project) LTE(Long Term Evolution)規格である。5G規格は、例えば、5G NR(New Radio)である。高周波モジュール100は、例えば、キャリアアグリゲーション及びデュアルコネクティビティに対応可能なモジュールである。
 高周波モジュール100は、例えば、信号処理回路301から入力された送信信号を増幅してアンテナ310に出力できるように構成されている。また、高周波モジュール100は、アンテナ310から入力された受信信号を増幅して信号処理回路301に出力できるように構成されている。信号処理回路301は、高周波モジュール100の構成要素ではなく、高周波モジュール100を備える通信装置300の構成要素である。実施形態1に係る高周波モジュール100は、例えば、通信装置300の備える信号処理回路301によって制御される。通信装置300は、高周波モジュール100と、信号処理回路301と、を備える。通信装置300は、アンテナ310を更に備える。通信装置300は、高周波モジュール100が実装された回路基板を更に備える。回路基板は、例えば、プリント配線板である。回路基板は、グランド電位が与えられるグランド電極を有する。
 信号処理回路301は、例えば、RF信号処理回路302と、ベースバンド信号処理回路303と、を含む。RF信号処理回路302は、例えばRFIC(Radio Frequency Integrated Circuit)であり、高周波信号に対する信号処理を行う。RF信号処理回路302は、例えば、ベースバンド信号処理回路303から出力された高周波信号(送信信号)に対してアップコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号を出力する。また、RF信号処理回路302は、例えば、高周波モジュール100から出力された高周波信号(受信信号)に対してダウンコンバート等の信号処理を行い、信号処理が行われた高周波信号をベースバンド信号処理回路303へ出力する。ベースバンド信号処理回路303は、例えばBBIC(Baseband Integrated Circuit)である。ベースバンド信号処理回路303は、ベースバンド信号からI相信号及びQ相信号を生成する。ベースバンド信号は、例えば、外部から入力される音声信号、画像信号等である。ベースバンド信号処理回路303は、I相信号とQ相信号とを合成することでIQ変調処理を行って、送信信号を出力する。この際、送信信号は、所定周波数の搬送波信号を、当該搬送波信号の周期よりも長い周期で振幅変調した変調信号(IQ信号)として生成される。ベースバンド信号処理回路303で処理された受信信号は、例えば、画像信号として画像表示のために、又は、音声信号として通信装置300のユーザの通話のために使用される。高周波モジュール100は、アンテナ310と信号処理回路301のRF信号処理回路302との間で高周波信号(受信信号、送信信号)を伝達する。
 高周波モジュール100は、複数(例えば、3つ)の送信フィルタ131、132、133を備える。また、高周波モジュール100は、パワーアンプ111と、出力整合回路113と、を備える。また、高周波モジュール100は、複数(例えば、3つ)の受信フィルタ171、172、173を備える。また、高周波モジュール100は、ローノイズアンプ121と、入力整合回路123と、を備える。入力整合回路123は、例えば、1つのインダクタを含む。また、高周波モジュール100は、コントローラ115を更に備える。また、高周波モジュール100は、第1スイッチ104と、第2スイッチ105と、第3スイッチ106と、を備える。高周波モジュール100では、入力整合回路123に含まれるインダクタが第1電子部品1を構成している。また、高周波モジュール100では、送信フィルタ131が、上述の第2電子部品4を構成している。また、高周波モジュール100では、パワーアンプ111が、上述の第3電子部品7を構成している。また、高周波モジュール100では、受信フィルタ171が、上述の第4電子部品10を構成している。
 また、高周波モジュール100は、複数の外部接続端子8を備えている。複数の外部接続端子8は、アンテナ端子81と、信号入力端子82と、信号出力端子83と、制御端子84と、複数のグランド端子85(図2参照)と、を含む。複数のグランド端子85は、通信装置300の備える上述の回路基板のグランド電極と電気的に接続されてグランド電位が与えられる端子である。
 以下、高周波モジュール100の回路構成について、図5に基づいて、より詳細に説明する。
 複数の送信フィルタ131、132、133は、互いに異なる周波数帯域を通過帯域とする送信フィルタである。以下では、3つの送信フィルタ131、132、133を区別して説明する場合に、3つの送信フィルタ131、132、133をそれぞれ、第1送信フィルタ131、第2送信フィルタ132、第3送信フィルタ133と称することもある。
 第1送信フィルタ131は、例えば、第1通信バンドの送信帯域を通過帯域とするフィルタである。第2送信フィルタ132は、例えば、第2通信バンドの送信帯域を通過帯域とするフィルタである。第3送信フィルタ133は、例えば、第3通信バンドの送信帯域を通過帯域とするフィルタである。第1通信バンドは、第1送信フィルタ131を通る送信信号に対応する。第2通信バンドは、第2送信フィルタ132を通る送信信号に対応する。第3通信バンドは、第3送信フィルタ133を通る送信信号に対応する。第1通信バンド~第3通信バンドの各々は、例えば、3GPP LTE規格の通信バンド又は5G NR規格の通信バンドである。
 パワーアンプ111は、入力端子及び出力端子を有する。パワーアンプ111は、入力端子に入力された送信信号を増幅して出力端子から出力する。パワーアンプ111の入力端子は、信号入力端子82に接続されている。パワーアンプ111の入力端子は、信号入力端子82を介して信号処理回路301に接続される。信号入力端子82は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの高周波信号(送信信号)を高周波モジュール100に入力するための端子である。高周波モジュール100では、パワーアンプ111の出力端子と第1~第3送信フィルタ131~133とが出力整合回路113及び第2スイッチ105を介して接続可能となっている。第2スイッチ105は、共通端子150と、複数(例えば、3つ)の選択端子151~153と、を有している。高周波モジュール100では、パワーアンプ111の出力端子が、出力整合回路113を介して第2スイッチ105の共通端子150に接続され、第2スイッチ105の3つの選択端子151、152、153が3つの送信フィルタ131、132、133と一対一に接続されている。パワーアンプ111は、コントローラ115によって制御される。
 パワーアンプ111は、例えば、ドライバ段増幅器と、最終段増幅器と、を含む多段増幅器である。パワーアンプ111では、ドライバ段増幅器の入力端子が信号入力端子82に接続され、ドライバ段増幅器の出力端子が最終段増幅器の入力端子に接続され、最終段増幅器の出力端子が出力整合回路113に接続される。パワーアンプ111は、多段増幅器に限らず、例えば、同相合成増幅器、差動合成増幅器又はドハティ増幅器であってもよい。
 コントローラ115は、例えば、信号処理回路301からの制御信号にしたがってパワーアンプ111を制御する。コントローラ115は、例えば、パワーアンプ111のドライバ段増幅器及び出力段増幅器と接続されている。コントローラ115は、複数(例えば、4つ)の制御端子84を介して信号処理回路301に接続される。制御端子84は、外部回路(例えば、信号処理回路301)からの制御信号をコントローラ115に入力するための端子である。コントローラ115は、制御端子84から取得した制御信号に基づいてパワーアンプ111を制御する。制御端子84からコントローラ115が取得する制御信号は、デジタル信号である。制御端子84の数は、例えば、4つであるが、図5には1つのみ図示してある。コントローラ115は、信号処理回路301からの制御信号に基づいて、例えば、ドライバ段増幅器に第1のバイアス電流を供給し、出力段増幅器に第2のバイアス電流を供給する。
 出力整合回路113は、パワーアンプ111の出力端子と第2スイッチ105の共通端子150との間の信号経路に設けられている。出力整合回路113は、パワーアンプ111と3つ送信フィルタ131、132、133とのインピーダンス整合をとるための回路である。出力整合回路113は、例えば、パワーアンプ111の出力端子と第2スイッチ105の共通端子150との間に接続された第1インダクタL1(図1参照)を含む。出力整合回路113は、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含んでもよい。
 また、複数の受信フィルタ171、172、173は、互いに異なる周波数帯域を通過帯域とする受信フィルタである。以下では、3つの受信フィルタ171、172、173を区別して説明する場合に、3つの受信フィルタ171、172、173をそれぞれ、第1受信フィルタ171、第2受信フィルタ172、第3受信フィルタ173と称することもある。
 第1受信フィルタ171は、例えば、第1通信バンドの受信帯域を通過帯域とするフィルタである。第2受信フィルタ172は、例えば、第2通信バンドの受信帯域を通過帯域とするフィルタである。第3受信フィルタ173は、例えば、第3通信バンドの受信帯域を通過帯域とするフィルタである。第1通信バンドは、第1受信フィルタ171を通る受信信号に対応する。第2通信バンドは、第2受信フィルタ172を通る受信信号に対応する。第3通信バンドは、第3受信フィルタ173を通る受信信号に対応する。第1通信バンド~第3通信バンドの各々は、例えば、3GPP LTE規格の通信バンド又は5G NR規格の通信バンドである。なお、高周波モジュール100では、第1送信フィルタ131と第1受信フィルタ171とで第1デュプレクサを構成している。また、高周波モジュール100では、第2送信フィルタ132と第2受信フィルタ172とで第2デュプレクサを構成している。また、高周波モジュール100では、第3送信フィルタ133と受信フィルタ173とで第3デュプレクサを構成している。
 ローノイズアンプ121は、入力端子及び出力端子を有する。ローノイズアンプ121は、入力端子に入力された受信信号を増幅して出力端子から出力する。ローノイズアンプ121の入力端子は、入力整合回路123を介して第3スイッチ106の共通端子160に接続されている。ローノイズアンプ121の出力端子は、信号出力端子83に接続されている。ローノイズアンプ121の出力端子は、例えば、信号出力端子83を介して信号処理回路301に接続される。信号出力端子83は、ローノイズアンプ121からの高周波信号(受信信号)を外部回路(例えば、信号処理回路301)へ出力するための端子である。高周波モジュール100では、ローノイズアンプ121の入力端子と第1~第3受信フィルタ171~173とが入力整合回路123及び第3スイッチ106を介して接続可能となっている。第3スイッチ106は、共通端子160と、複数(例えば、3つ)の選択端子161~163と、を有している。高周波モジュール100では、ローノイズアンプ121の入力端子が、入力整合回路123を介して第3スイッチ106の共通端子160に接続され、第3スイッチ106の3つの選択端子161、162、163が3つの受信フィルタ171、172、173と一対一に接続されている。
 入力整合回路123は、ローノイズアンプ121と3つ受信フィルタ171、172、173とのインピーダンス整合をとるための回路である。入力整合回路123は、例えば、ローノイズアンプ121の入力端子と第3スイッチ106の共通端子160との間に接続されている第2インダクタL2(図1参照)を含む。入力整合回路123は、例えば、複数のインダクタ及び複数のキャパシタを含んでもよい。また、高周波モジュール100は、入力整合回路123を複数(3つ)備えていてもよく、この場合、3つの入力整合回路123が、ローノイズアンプ121と3つの受信フィルタ171、172、173それぞれとの間に1つずつ設けられていてもよい。
 第1スイッチ104は、共通端子140と、複数(例えば、3つ)の選択端子141~143と、を有する。第1スイッチ104では、共通端子140が、アンテナ端子81に接続されている。高周波モジュール100は、共通端子140とアンテナ端子81とが他の回路素子を介さずに接続される場合に限らず、例えば、ローパスフィルタ及びカプラを介して接続されてもよい。選択端子141は、第1送信フィルタ131の出力端子と第1受信フィルタ171の入力端子との接続点に接続されている。選択端子142は、第2送信フィルタ132の出力端子と第2受信フィルタ172の入力端子との接続点に接続されている。選択端子143は、第3送信フィルタ133の出力端子と第3受信フィルタ173の入力端子との接続点に接続されている。第1スイッチ104は、例えば、共通端子140に3つの選択端子141~143のうち少なくとも1つ以上を接続可能なスイッチである。ここで、第1スイッチ104は、例えば、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。
 第1スイッチ104は、例えば、信号処理回路301によって制御される。第1スイッチ104は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号にしたがって、共通端子140と3つの選択端子141~143との接続状態を切り替える。第1スイッチ104は、例えば、スイッチIC(Integrated Circuit)である。
 第2スイッチ105は、共通端子150と、複数(例えば、3つ)の選択端子151、152、153と、を有する。第2スイッチ105では、共通端子150が、出力整合回路113を介してパワーアンプ111の出力端子に接続されている。選択端子151は、第1送信フィルタ131の入力端子に接続されている。選択端子152は、第2送信フィルタ132の入力端子に接続されている。選択端子153は、第3送信フィルタ133の入力端子に接続されている。第2スイッチ105は、例えば、共通端子150に3つの選択端子151~153のうち少なくとも1つ以上を接続可能なスイッチである。ここで、第2スイッチ105は、例えば、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。
 第2スイッチ105は、例えば、信号処理回路301によって制御される。第2スイッチ105は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号にしたがって、共通端子150と3つの選択端子151~153との接続状態を切り替える。第2スイッチ105は、例えば、スイッチICである。
 第3スイッチ106は、共通端子160と、複数(例えば、3つ)の選択端子161、162、163と、を有する。第3スイッチ106では、共通端子160が、入力整合回路123を介してローノイズアンプ121の入力端子に接続されている。選択端子161は、第1受信フィルタ171の出力端子に接続されている。選択端子162は、第2受信フィルタ172の出力端子に接続されている。選択端子163は、第3受信フィルタ173の出力端子に接続されている。第3スイッチ106は、例えば、共通端子160に3つの選択端子161~163のうち少なくとも1つ以上を接続可能なスイッチである。ここで、第3スイッチ106は、例えば、一対一及び一対多の接続が可能なスイッチである。
 第3スイッチ106は、例えば、信号処理回路301によって制御される。第3スイッチ106は、信号処理回路301のRF信号処理回路302からの制御信号にしたがって、共通端子160と3つの選択端子161~163との接続状態を切り替える。第3スイッチ106は、例えば、スイッチICである。
 (1.2)高周波モジュールの構造
 高周波モジュール100は、図1に示すように、実装基板9と、3つの送信フィルタ131、132、133と、を備える。また、高周波モジュール100は、パワーアンプ111と、出力整合回路113(図5参照)と、コントローラ115(図2参照)と、を備える。また、高周波モジュール100は、3つの受信フィルタ171、172、173と、ローノイズアンプ121と、入力整合回路123(図5参照)と、第1スイッチ104(図5参照)と、第2スイッチ105(図5参照)と、第3スイッチ106(図5参照)と、を備える。また、高周波モジュール100は、複数の外部接続端子8(図2参照)を備える。
 実装基板9は、図2に示すように、実装基板9の厚さ方向D1において互いに対向する第1主面91及び第2主面92を有する。実装基板9は、例えば、複数の誘電体層及び複数の導電層を含む多層基板である。複数の誘電体層及び複数の導電層は、実装基板9の厚さ方向D1において積層されている。複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。複数の導電層の各々は、実装基板9の厚さ方向D1に直交する一平面内において1つ又は複数の導体部を含む。各導電層の材料は、例えば、銅である。複数の導体パターン層は、グランド層を含む。高周波モジュール100では、複数のグランド端子85とグランド層とが、実装基板9の有するビア導体等を介して電気的に接続されている。実装基板9は、例えば、LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)基板である。実装基板9は、LTCC基板に限らず、例えば、プリント配線板、HTCC(High Temperature Co-fired Ceramics)基板、樹脂多層基板であってもよい。
 また、実装基板9は、LTCC基板に限らず、例えば、配線構造体であってもよい。配線構造体は、例えば、多層構造体である。多層構造体は、少なくとも1つの絶縁層と、少なくとも1つの導電層とを含む。絶縁層は、所定パターンに形成されている。絶縁層が複数の場合は、複数の絶縁層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、絶縁層の所定パターンとは異なる所定パターンに形成されている。導電層が複数の場合は、複数の導電層は、層ごとに定められた所定パターンに形成されている。導電層は、1つ又は複数の再配線部を含んでもよい。配線構造体では、多層構造体の厚さ方向において互いに対向する2つの面のうち第1面が実装基板9の第1主面91であり、第2面が実装基板9の第2主面92である。配線構造体は、例えば、インタポーザであってもよい。インタポーザは、シリコン基板を用いたインタポーザであってもよいし、多層で構成された基板であってもよい。
 実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、実装基板9の厚さ方向D1において離れており、実装基板9の厚さ方向D1に交差する。実装基板9における第1主面91は、例えば、実装基板9の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、厚さ方向D1に直交しない面として導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9における第2主面92は、例えば、実装基板9の厚さ方向D1に直交しているが、例えば、厚さ方向D1に直交しない面として、導体部の側面等を含んでいてもよい。また、実装基板9の第1主面91及び第2主面92は、微細な凹凸又は凹部又は凸部が形成されていてもよい。例えば、実装基板9の第1主面91に凹部が形成されている場合、凹部の内面は、第1主面91に含まれる。
 実施形態1に係る高周波モジュール100では、第1群の回路部品が実装基板9の第1主面91に実装されている。第1群の回路部品は、図1に示すように、3つの送信フィルタ131、132、133と、パワーアンプ111と、出力整合回路113の第1インダクタL1と、3つの受信フィルタ171、172、173と、入力整合回路123の第2インダクタL2と、を含む。「回路部品が実装基板9の第1主面91に実装されている」とは、回路部品が実装基板9の第1主面91に配置されていること(機械的に接続されていること)と、回路部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。高周波モジュール100では、複数の回路部品のうち第2群の回路部品が実装基板9の第2主面92に実装されている。第2群の回路部品は、コントローラ115と、ローノイズアンプ121と、第1スイッチ104と、第2スイッチ105と、第3スイッチ106と、を含む。「回路部品が実装基板9の第2主面92に実装されている」とは、回路部品が実装基板9の第2主面92に配置されていること(機械的に接続されていること)と、回路部品が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。実施形態1に係る高周波モジュール100では、上述のように、第2インダクタL2、送信フィルタ131、パワーアンプ111、及び受信フィルタ171が、それぞれ、第1電子部品1、第2電子部品4、第3電子部品7、及び第4電子部品10を構成している。
 3つの送信フィルタ131、132、133の各々は、例えば、ラダー型フィルタであり、複数(例えば、4つ)の直列腕共振子と、複数(例えば、3つ)の並列腕共振子と、を有する。3つの送信フィルタ131、132、133の各々は、例えば、弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々が弾性波共振子により構成されている。弾性波フィルタは、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。表面弾性波フィルタでは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々は、例えば、SAW(Surface Acoustic Wave)共振子である。
 3つの送信フィルタ131、132、133は、図1に示すように、実装基板9の第1主面91に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、3つの送信フィルタ131、132、133の各々の外周形状は、四角形状である。第2電子部品4を構成している送信フィルタ131は、例えば、図4に示すように、基板401と、回路部414と、を備える。基板401は、基板401の厚さ方向において対向する第1主面411及び第2主面412を有する。回路部414は、基板401の第1主面411上に形成されている複数のIDT(Interdigital Transducer)電極415を含む。また、送信フィルタ131は、パッケージ構造の構成要素として、スペーサ層417と、カバー部材418と、複数の外部電極45と、を含む。送信フィルタ131は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、長方形状であるが、これに限らず、例えば、正方形状であってもよい。送信フィルタ131では、基板401は、圧電基板であり、例えば、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である。
 スペーサ層417は、基板401の第1主面411側に設けられている。スペーサ層417は、基板401の厚さ方向からの平面視で、複数のIDT電極415を囲んでいる。基板401の厚さ方向からの平面視で、スペーサ層417は、矩形枠状である。スペーサ層417は、電気絶縁性を有する。スペーサ層417の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。カバー部材418は、平板状である。カバー部材418は、基板401の厚さ方向において基板401に対向するようにスペーサ層417上に配置されている。カバー部材418は、基板401の厚さ方向において複数のIDT電極415と重複し、かつ、基板401の厚さ方向において複数のIDT電極415から離れている。カバー部材418は、電気絶縁性を有する。カバー部材418の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。送信フィルタ131は、基板401とスペーサ層417とカバー部材418とで囲まれた空間S1を有する。空間S1には、気体が入っている。気体は、空気、不活性ガス(例えば、窒素ガス)等である。複数の外部電極45は、カバー部材418から露出している。
 第2送信フィルタ132及び第3送信フィルタ133の構造は、第1送信フィルタ131の構造と同様である。
 パワーアンプ111は、電力増幅用ICチップである。パワーアンプ111は、図1及び2に示すように、実装基板9の第1主面91に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、パワーアンプ111の外周形状は、四角形状である。パワーアンプ111は、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する基板と、この基板の第1主面側に形成された回路部と、を含むICチップである。基板は、例えば、ガリウム砒素基板である。回路部は、パワーアンプ111の入力端子に接続されたドライバ段増幅器と、ドライバ段増幅器の出力端に接続された最終段増幅器と、を含む。ドライバ段増幅器及び最終段増幅器の各々は、増幅用トランジスタを含む、増幅用トランジスタは、例えば、HBT(Heterojunction Bipolar Transistor)である。パワーアンプ111は、例えば、直流カット用のキャパシタを含んでいてもよい。パワーアンプ111は、基板の第1主面及び第2主面のうち第1主面が実装基板9の第1主面91側となるように実装基板9の第1主面91にフリップチップ実装されている。したがって、パワーアンプ111により構成される第3電子部品7では、パワーアンプ111の有する基板(ガリウム砒素基板)の第2主面が、第3電子部品7における実装基板9側とは反対側の主面71を構成している。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、パワーアンプ111を含むICチップの外周形状は、四角形状である。パワーアンプ111における基板は、ガリウム砒素基板に限らず、例えば、シリコン基板、シリコンゲルマニウム基板又は窒化ガリウム基板であってもよい。また、増幅用トランジスタは、HBTに限らず、例えば、バイポーラトランジスタ又はFET(Field Effect Transistor)であってもよい。FETは、例えば、MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)である。
 出力整合回路113に含まれる第1インダクタL1は、実装基板9の第1主面91に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第1インダクタL1の外周形状は、四角形状である。第1インダクタL1は、チップインダクタである。出力整合回路113は、第1インダクタL1のみを含む場合に限らず、インダクタとキャパシタとを含んでもよい。また、パワーアンプ111が差動合成増幅器の場合、出力整合回路113は、トランスを含んでもよい。
 コントローラ115は、図2に示すように、実装基板9の第2主面92に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、コントローラ115の外周形状は、四角形状である。コントローラ115は、例えば、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する基板と、この基板の第1主面側に形成された回路部と、を含むICチップである。基板は、例えば、シリコン基板である。回路部は、信号処理回路301からの制御信号に応じてパワーアンプ111を制御する制御回路を含む。
 3つの受信フィルタ171、172、173の各々は、例えば、ラダー型フィルタであり、複数(例えば、4つ)の直列腕共振子と、複数(例えば、3つ)の並列腕共振子と、を有する。3つの受信フィルタ171、172、173の各々は、例えば、弾性波フィルタである。弾性波フィルタは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々が弾性波共振子により構成されている。弾性波フィルタは、例えば、弾性表面波を利用する表面弾性波フィルタである。表面弾性波フィルタでは、複数の直列腕共振子及び複数の並列腕共振子の各々は、例えば、SAW共振子である。
 3つの受信フィルタ171、172、173は、図1に示すように、実装基板9の第1主面91に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、3つの受信フィルタ171、172、173の各々の外周形状は、四角形状である。第4電子部品10を構成している受信フィルタ171は、例えば、図4に示すように、基板1001と、回路部1014と、を備える。基板1001は、基板1001の厚さ方向において対向する第1主面1011及び第2主面1012を有する。回路部1014は、基板1001の第1主面1011上に形成されている複数のIDT電極1015を含む。また、受信フィルタ171は、パッケージ構造の構成要素として、スペーサ層1017と、カバー部材1018と、複数の外部電極1045と、を含む。受信フィルタ171は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、長方形状であるが、これに限らず、例えば、正方形状であってもよい。受信フィルタ171では、基板1001は、圧電基板であり、例えば、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である。
 スペーサ層1017は、基板1001の第1主面1011側に設けられている。スペーサ層1017は、基板1001の厚さ方向からの平面視で、複数のIDT電極1015を囲んでいる。基板1001の厚さ方向からの平面視で、スペーサ層1017は、矩形枠状である。スペーサ層1017は、電気絶縁性を有する。スペーサ層1017の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。カバー部材1018は、平板状である。カバー部材1018は、基板1001の厚さ方向において基板1001に対向するようにスペーサ層1017上に配置されている。カバー部材1018は、基板1001の厚さ方向において複数のIDT電極1015と重複し、かつ、基板1001の厚さ方向において複数のIDT電極1015から離れている。カバー部材1018は、電気絶縁性を有する。カバー部材1018の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。受信フィルタ171は、基板1001とスペーサ層1017とカバー部材1018とで囲まれた空間S2を有する。空間S2には、気体が入っている。気体は、空気、不活性ガス(例えば、窒素ガス)等である。複数の外部電極1045は、カバー部材1018から露出している。
 第2受信フィルタ172及び第3受信フィルタ173の構造は、第1受信フィルタ171の構造と同様である。
 ローノイズアンプ121は、図2に示すように、実装基板9の第2主面92に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、ローノイズアンプ121の外周形状は、四角形状である。ローノイズアンプ121は、例えば、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する基板と、この基板の第1主面側に形成された回路部と、を含むICチップである。基板は、例えば、シリコン基板である。回路部は、ローノイズアンプ121の入力端子に入力された受信信号を増幅する増幅用トランジスタとしてFETを含んでいる。増幅用トランジスタは、FETに限らず、例えば、バイポーラトランジスタであってもよい。ローノイズアンプ121は、基板の第1主面及び第2主面のうち第1主面が実装基板9の第2主面92側となるように実装基板9の第2主面92にフリップチップ実装されている。
 入力整合回路123(図5参照)に含まれる第2インダクタL2は、図1及び2に示すように、実装基板9の第1主面91に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第2インダクタL2の外周形状は、四角形状である。第2インダクタL2は、チップインダクタである。入力整合回路123は、第2インダクタL2のみを含む場合に限らず、インダクタとキャパシタとを含んでもよい。
 図5に示した第1スイッチ104、第2スイッチ105及び第3スイッチ106は、実装基板9の第2主面92に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、第1スイッチ104、第2スイッチ105及び第3スイッチ106の各々の外周形状は、四角形状である。第1スイッチ104、第2スイッチ105及び第3スイッチ106の各々は、例えば、互いに対向する第1主面及び第2主面を有する基板と、この基板の第1主面側に形成された回路部と、を含むICチップである。基板は、例えば、シリコン基板である。回路部は、複数のスイッチング素子として複数のFETを含んでいる。複数のスイッチング素子の各々は、FETに限らず、例えば、バイポーラトランジスタであってもよい。第1スイッチ104、第2スイッチ105及び第3スイッチ106の各々は、基板の第1主面及び第2主面のうち第1主面が実装基板9の第2主面92側となるように実装基板9の第2主面92にフリップチップ実装されている。高周波モジュール100では、第1スイッチ104と、第2スイッチ105と、第3スイッチ106とのうち2つ又は3つが1つのICチップに含まれていてもよい。
 複数の外部接続端子8は、図2に示すように、実装基板9の第2主面92に配置されている。「外部接続端子8が実装基板9の第2主面92に配置されている」とは、外部接続端子8が実装基板9の第2主面92に機械的に接続されていることと、外部接続端子8が実装基板9(の適宜の導体部)と電気的に接続されていることと、を含む。複数の外部接続端子8の材料は、例えば、金属(例えば、銅、銅合金等)である。複数の外部接続端子8の各々は、柱状電極である。柱状電極は、例えば、円柱状の電極である。複数の外部接続端子8は、実装基板9の導体部に対して、例えば、はんだにより接合されているが、これに限らず、例えば、導電性接着剤(例えば、導電性ペースト)を用いて接合されていてもよいし、直接接合されていてもよい。
 複数の外部接続端子8は、図2及び5に示すように、アンテナ端子81と、信号入力端子82と、信号出力端子83と、複数(図5では1つのみ図示)の制御端子84と、複数のグランド端子85と、を含んでいる。複数のグランド端子85は、実装基板9のグランド層と電気的に接続されている。グランド層は高周波モジュール100の回路グランドであり、高周波モジュール100の複数の回路部品は、グランド層と電気的に接続されている回路部品を含む。
 樹脂層5(以下、第1樹脂層5とも称する)は、図2に示すように、実装基板9の第1主面91に配置されている。第1樹脂層5は、複数の回路部品のうち実装基板9の第1主面91に実装されている第1群の回路部品それぞれの外周面を覆っている。ここで、第1樹脂層5は、第1電子部品1(第2インダクタL2)の外周面13と、第2電子部品4(送信フィルタ131)の外周面43と、第3電子部品7(パワーアンプ111)の外周面73と、第4電子部品10(受信フィルタ171)の外周面103と、を覆っている。第1樹脂層5は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第1樹脂層5は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。
 また、高周波モジュール100は、実装基板9の第2主面92に配置されている第2樹脂層19を更に備える。第2樹脂層19は、実装基板9の第2主面92に実装されている第2群の回路部品と、複数の外部接続端子8それぞれの外周面と、を覆っている。第2樹脂層19は、樹脂(例えば、エポキシ樹脂)を含む。第2樹脂層19は、樹脂の他にフィラーを含んでいてもよい。第2樹脂層19の材料は、第1樹脂層5の材料と同じ材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。
 導電層6は、第1樹脂層5を覆っている。導電層6は、導電性を有する。高周波モジュール100では、導電層6は、高周波モジュール100の内外の電磁シールドを目的として設けられている。導電層6は、複数の金属層を積層した多層構造を有しているが、これに限らず、1つの金属層であってもよい。金属層は、1又は複数種の金属を含む。導電層6は、第1樹脂層5における実装基板9側とは反対側の主面51と、第1樹脂層5の外周面53と、実装基板9の外周面93と、を覆っている。また、導電層6は、第2樹脂層19の外周面193も覆っている。導電層6は、実装基板9の有するグランド層の外周面の少なくとも一部と接触している。これにより、導電層6の電位をグランド層の電位と同じにすることができる。
 導電層6は、第1電子部品1における実装基板9側の主面11と、第2電子部品4における実装基板9側の主面41と、第4電子部品10における実装基板9側の主面101と、を覆っている。導電層6は、第1電子部品1における実装基板9側の主面11と、第2電子部品4における実装基板9側の主面41と、第4電子部品10における実装基板9側の主面101と、に接している。
 (1.3)高周波モジュールの詳細構造
 第1電子部品1は、図3に示すように、電子部品本体2と、複数(例えば、2つ)の外部電極3と、を有する。電子部品本体2は、実装基板9の厚さ方向D1(図2参照)において互いに対向する第3主面23及び第4主面24と、外周面25と、を有する。電子部品本体2は、第3主面23、第4主面24及び外周面25において電気絶縁性を有する。第1電子部品1では、電子部品本体2の第3主面23が、第1電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接している。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24に設けられており、第3主面23には至っていない。複数の外部電極3の各々が第3主面23に至っていないとは、複数の外部電極3の各々が電子部品本体2の第3主面23には設けられていないことを意味する。これにより、第1電子部品1では、複数の外部電極3は、導電層6とは接していない。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24と電子部品本体2の外周面25とに跨って設けられている。言い換えれば、複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24に設けられている第1部分と、電子部品本体2の外周面25に設けられており、第1部分につながっている第2部分と、を含む。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第3主面23と外周面25との稜線にも至っていない。第1電子部品1は、SMDであり、複数の外部電極3が実装基板9に対して複数の外部電極3に一対一に対応する接合部39により接合されることで、実装基板9に表面実装されている。接合部39の材料は、例えば、はんだである。
 電子部品本体2の材料は、セラミックを含む。電子部品本体2の第3主面23は、電子部品本体2においてセラミックにより形成された部分の一部である。第1電子部品1を構成するインダクタ(第2インダクタL2)は、積層セラミックインダクタである。電子部品本体2は、多層セラミック構造20を有する。第2インダクタL2は、2つの外部電極3の間に接続されている巻線部26を有する。巻線部26は、多層セラミック構造20の内部に設けられている。巻線部26は、複数の導体層27と、実装基板9の厚さ方向D1において隣接する2つの導体層27同士をつないでいるビア導体と、を含む。複数の導体層27は、実装基板9の厚さ方向D1から見て、例えばC字状である。第1電子部品1では、多層セラミック構造20が電子部品本体2における電気絶縁体部21を構成し、巻線部26と2つの外部電極3とで、第1電子部品1に含まれる回路素子15を構成し、巻線部26が、電子部品本体2において電気絶縁体部21内に設けられており回路素子15の一部を構成する導体部14を構成している。第2インダクタL2の巻回軸は、巻線部26の巻回軸である。第2インダクタL2の巻回軸は、実装基板9の厚さ方向D1(図2参照)に沿っている。第2インダクタL2の巻回軸と実装基板9の厚さ方向D1とは、平行であるが、厳密に平行である場合に限らず、略平行であればよい。略平行とは、巻回軸と厚さ方向D1とのなす角度が10度以下であることを意味する。第2インダクタL2の巻回軸は、実装基板9の厚さ方向D1に沿った方向に限らず、厚さ方向D1に直交する一方向に沿った方向であってもよい。実施形態1に係る高周波モジュール100における電子部品1では、「電子部品本体2」とは、電子部品1の複数の外部電極3以外の部分であり、電子部品1の主面11を構成する第3主面23及び電子部品1の外周面13の一部を構成する外周面25を有する電気絶縁体部21と、電気絶縁体部21内に設けられている巻線部26と、を含む構造体である。電子部品本体2の大きさは、電子部品1の大きさと略同じである。電気絶縁体部21の形状は、例えば、直方体状である。電気絶縁体部21は、積層された複数の誘電体層(セラミック層)により構成されている。
 以下では、説明の便宜上、図2に示すように、実装基板9の厚さ方向D1に直交し実装基板9の第1主面91の少なくとも一部を含む平面を基準面RP1と規定する。高周波モジュール100では、第1電子部品1は、その厚さ方向が実装基板9の厚さ方向D1と揃うように実装基板9の第1主面91に実装されている。第2電子部品4は、その厚さ方向が実装基板9の厚さ方向D1と揃うように実装基板9の第1主面91に実装されている。第1電子部品1の主面11及び第2電子部品4の主面41の各々は、基準面RP1と略平行である。高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1における基準面RP1と第1電子部品1の主面11との第1距離H1と、実装基板9の厚さ方向D1における基準面RP1と第2電子部品4の主面41との第2距離H2と、が同じである。第1距離H1と第2距離H2とが同じであるとは、厳密に同じである場合だけに限らず、第2距離H2が第1距離H1±15%の範囲内であればよく、第1距離H1±10%の範囲内であるのがより好ましく、第1距離H1±5%の範囲内であるのが更に好ましい。
 高周波モジュール100では、第1電子部品1の主面11及び第2電子部品4の主面41の各々は、粗面である。言い換えれば、高周波モジュール100では、第1電子部品1の主面11及び第2電子部品4の主面41の各々に、微細な凹凸が形成されている。第1電子部品1の主面11は、第1電子部品1の外周面13よりも粗い状態であってもよい。第2電子部品4の主面41は、第2電子部品4の外周面43よりも粗い状態であってもよい。
 高周波モジュール100では、第1電子部品1、第2電子部品4及び第3電子部品7が実装基板9の第1主面91に実装されており、第3電子部品7は、第1電子部品1及び第2電子部品4よりも背が低い。言い換えれば、実装基板9の厚さ方向D1における基準面RP1と第3電子部品7の主面71との第3距離H3は、第1距離H1及び第2距離H2のいずれよりも短い。樹脂層5は、第3電子部品7の主面71を覆っている。高周波モジュール100では、第1電子部品1の主面11及び第2電子部品4の主面41の各々の最大高さ粗さ(Rz)が、第3電子部品7の主面71の最大高さ粗さよりも大きい。第1電子部品1の主面11、第2電子部品4の主面41及び第3電子部品7の主面71の各々の最大高さ粗さは、高周波モジュール100の断面をSTEM(Scanning Transmission Electron Microscope)により観察したときのSTEM像から測定した値である。最大高さ粗さは、STEM像において、電子部品1の主面11、第2電子部品4の主面41及び第3電子部品7の主面71の各々において、山高さの最大値と谷深さの最大値との和である。つまり、最大高さ粗さは、電子部品1の主面11、第2電子部品4の主面41及び第3電子部品7の主面71の各々において、凹凸のPeak to Valleyの値である。電子部品1の主面11及び第2電子部品4の主面41の各々の表面粗さは、例えば、高周波モジュール100の製造時に第1電子部品1及び第2電子部品4を研削等によって粗面化する処理の条件によって変えることができる。最大高さ粗さの相対的な大小関係を議論する上では、最大高さ粗さは、STEM像から求めた値に限らず、例えば、SEM(Scanning Electron Microscope)像から求めた値でもよい。
 また、高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1における基準面RP1と第4電子部品10の主面101との第4距離H4と、第1距離H1と、が同じである。第4距離H4と第1距離H1とが同じであるとは、厳密に同じである場合だけに限らず、第4距離H4が第1距離H1±15%の範囲内であればよく、第1距離H1±10%の範囲内であるのがより好ましく、第1距離H1±5%の範囲内であるのが更に好ましい。
 また、高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1における基準面RP1と樹脂層5の主面51との第5距離H5と、第1距離H1と、が同じである。第5距離H5と第1距離H1とが同じであるとは、厳密に同じである場合だけに限らず、第5距離H5が第1距離H1±15%の範囲内であればよく、第1距離H1±10%の範囲内であるのがより好ましく、第1距離H1±5%の範囲内であるのが更に好ましい。
 高周波モジュール100では、第1電子部品1の主面11と第2電子部品4の主面41と第4電子部品10の主面101と樹脂層5の主面51とが略面一である。
 高周波モジュール100では、第1電子部品1と第2電子部品4とは、導電層6に接している部分の材料が互いに異なる。第1電子部品1において導電層6に接している部分の材料は、セラミックであり、第2電子部品4において導電層6に接している部分の材料は、リチウムタンタレート又はリチウムニオベイトである。実施形態1に係る高周波モジュール100では、第4電子部品10において導電層6に接している部分の材料は、第2電子部品4において導電層6に接している部分の材料と同じであるが、異なっていてもよい。
 実施形態1に係る高周波モジュール100では、放熱性の向上を図る観点から、導電層6が複数の送信フィルタ131、132、133の各々における実装基板9側とは反対側の主面の全域にわたって接しているのが好ましい。
 (1.4)高周波モジュールにおける回路部品のレイアウト
 高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1(図2参照)からの平面視で、図1に示すように、パワーアンプ111と出力整合回路113(図5参照)の第1インダクタL1とが並んでいる方向と平行な方向において、第1送信フィルタ131、第2送信フィルタ132及び第3送信フィルタ133が、パワーアンプ111から第1インダクタL1に向かう方向において、第1送信フィルタ131、第2送信フィルタ132及び第3送信フィルタ133の順に並んでいる。
 また、高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、図1に示すように、第1送信フィルタ131、第2送信フィルタ132及び第3送信フィルタ133が並んでいる方向と平行な方向において、第1受信フィルタ171、第2受信フィルタ172及び第3受信フィルタ173が、第1送信フィルタ131から第3送信フィルタ133に向かう方向において、第1受信フィルタ171、第2受信フィルタ172及び第3受信フィルタ173の順に並んでいる。
 実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、入力整合回路123(図5参照)の第2インダクタL2は、受信フィルタ171に隣接している(図1参照)。「第2インダクタL42は、受信フィルタ171に隣接している」とは、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で第2インダクタL2と受信フィルタ171との間に実装基板9の第1主面91に実装されている他の回路部品がなく、第2インダクタL2と受信フィルタ171とが隣り合っていることを意味する。
 高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、受信フィルタ171とローノイズアンプ121とが重なる(図2参照)。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、受信フィルタ171の一部がローノイズアンプ121の一部に重なっているが、これに限らず、受信フィルタ171の全部がローノイズアンプ121の全部に重なっていてもよい。また、受信フィルタ171の全部がローノイズアンプ121の一部に重なっていてもよいし、ローノイズアンプ121の全部が受信フィルタ171の一部に重なっていてもよい。
 高周波モジュール100では、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、パワーアンプ111がローノイズアンプ121に重ならない(図2参照)。
 (1.5)高周波モジュールの製造方法
 高周波モジュール100の製造方法としては、例えば、第1工程と、第2工程と、第3工程と、第4工程と、第5工程と、を備える製造方法を採用することができる。第1工程は、実装基板9に複数の回路部品を実装するとともに複数の外部接続端子8を配置する工程である。第2工程は、第1群の回路部品等を覆い、第1樹脂層5の元になる第1樹脂材料層を実装基板9の第1主面91側に形成するとともに、第2樹脂層19の元になる第2樹脂材料層を実装基板9の第2主面92側に形成する工程である。第3工程は、第1樹脂材料層における実装基板9側とは反対側の主面から第1樹脂材料層を研削し更に第1樹脂材料層と第1電子部品1、第2電子部品4及び第4電子部品10とを研削することで、第1樹脂層5を形成するとともに第1電子部品1、第2電子部品4及び第4電子部品10それぞれを薄くする工程である。第3工程は、第1電子部品1、第2電子部品4及び第4電子部品10を研削することで、第1電子部品1の主面11、第2電子部品4の主面41及び第4電子部品10の主面101を粗面化している(荒らしている)。第4工程は、第2樹脂材料層における実装基板9側とは反対側の主面から第2樹脂材料層を研削し複数の外部接続端子8の先端を露出させた後、第2樹脂材料層と各外部接続端子8を研削することで、第2樹脂層19を形成する工程である。第5工程は、第1樹脂層5の主面51と第1電子部品1、第2電子部品4及び第4電子部品10それぞれにおける実装基板9側とは反対側の主面11、41及び101とに接する導電層6を例えばスパッタ法、蒸着法、又は印刷法によって形成する工程である。
 上述の第3工程を含む製造方法で製造された高周波モジュール100では、第1樹脂層5の主面51と第1電子部品1、第2電子部品4及び第4電子部品10それぞれにおける実装基板9側とは反対側の主面11、41及び101は、粗面であり、研削痕を有することがある。高周波モジュール100の製造方法では、第3工程において第1電子部品1において回路素子15を構成する部分が研削されないように、研削前の電子部品本体2における多層セラミック構造20の厚さを厚くしてある。多層セラミック構造20の厚さ方向は、実装基板9の厚さ方向D1に沿った方向である。研削前の第1電子部品1では、回路素子15を構成する部分(巻線部26及び複数の外部電極3)は、多層セラミック構造20の厚さ方向において、実装基板9側に位置している。言い換えれば、多層セラミック構造20の厚さ方向における多層セラミック構造20の実装基板9側とは反対側の面と巻線部26との最短距離は、多層セラミック構造20の厚さ方向における多層セラミック構造20の実装基板9側の面と巻線部26との最短距離よりも長い。また、多層セラミック構造20の厚さ方向における多層セラミック構造20の実装基板9側とは反対側の面と複数の外部電極3との最短距離は、多層セラミック構造20の厚さ方向における多層セラミック構造20の実装基板9側の面と複数の外部電極3との最短距離よりも長い。
 (2)効果
 (2.1)高周波モジュール
 実施形態1に係る高周波モジュール100は、実装基板9と、電子部品1と、樹脂層5と、導電層6と、を備える。実装基板9は、互いに対向する第1主面91及び第2主面92を有する。電子部品1は、実装基板9の第1主面91に実装されている。樹脂層5は、実装基板9の第1主面91に配置されており、電子部品1の外周面13を覆っている。導電層6は、樹脂層5における実装基板9側とは反対側の主面51と、電子部品1における実装基板9側とは反対側の主面11と、を覆っている。電子部品1は、電子部品本体2と、複数の外部電極3と、を有する。電子部品本体2は、電気絶縁体部21と、電気絶縁体部21内に設けられており電子部品1の回路素子15の少なくとも一部を構成する導体部14と、を含む。電子部品本体2は、互いに対向する第3主面23及び第4主面24と、外周面25と、を有する。複数の外部電極3は、電子部品本体2に設けられている。電子部品1では、電子部品本体2の第3主面23が、電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接している。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24に設けられており、第3主面23には至っていない。
 実施形態1に係る高周波モジュール100は、電子部品1に含まれる回路素子15の素子値を大きくすることが可能となる。電子部品の複数の外部電極が電子部品本体の第3主面まで至っている場合、複数の外部電極が導電層と接し、導電層に接している複数の外部電極が導電層を介して短絡されてしまう。また、上述のような高周波モジュールの製造方法を採用した場合に、第3工程での研削時に複数の外部電極の各々の一部を研削する必要があり、研削が難しくなる。実施形態1に係る高周波モジュール100は、電子部品1における実装基板9側とは反対側の主面11と導電層6とが接していても複数の外部電極3が導電層6に接していないので、実装基板9の厚さ方向D1における高周波モジュール100の低背化を図りつつ、電子部品1に含まれる回路素子15の素子値を大きくすることが可能となる。実施形態1に係る高周波モジュール100では、電子部品1に含まれる回路素子15の素子値は、インダクタンスである。実施形態1に係る高周波モジュール100では、電子部品本体2の第3主面23が、電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接しているので、電子部品1が導電層6に接していない場合と比べて、電気絶縁体部21の厚さを厚くできる。これにより、実施形態1に係る高周波モジュール100は、回路素子15の一部を構成する導体部14である巻線部26の巻き数を多くすることが可能となり(巻線部26に含まれる導体層27及びビア導体の数を増やすことが可能となり)、回路素子15のインダクタンスを大きくすることが可能となる。
 (2.2)通信装置
 実施形態1に係る通信装置300は、信号処理回路301と、高周波モジュール100と、を備える。信号処理回路301は、高周波モジュール100に接続されている。
 実施形態1に係る通信装置300は、高周波モジュール100を備えるので、電子部品1に含まれる回路素子15の素子値を大きくすることが可能となる。
 信号処理回路301を構成する複数の電子部品は、例えば、上述の回路基板に実装されていてもよいし、高周波モジュール100が実装された回路基板(第1回路基板)とは別の回路基板(第2回路基板)に実装されていてもよい。
 (3)高周波モジュールの変形例
 (3.1)変形例1
 実施形態1の変形例1に係る高周波モジュール100aについて、図6を参照して説明する。変形例1に係る高周波モジュール100aに関し、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 変形例1に係る高周波モジュール100aは、複数の外部接続端子8がボールバンプである点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。また、変形例1に係る高周波モジュール100aは、実施形態1に係る高周波モジュール100の第2樹脂層19(図2参照)を備えていない点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。変形例1に係る高周波モジュール100aは、実装基板9の第2主面92に実装されている第2群の回路部品(例えば、コントローラ115、ローノイズアンプ121)と実装基板9の第2主面92との間の隙間に設けられたアンダーフィル部を備えていてもよい。
 複数の外部接続端子8の各々を構成するボールバンプの材料は、例えば、金、銅、はんだ等である。
 複数の外部接続端子8は、ボールバンプにより構成された外部接続端子8と、柱状電極により構成された外部接続端子8と、が混在してもよい。
 (3.2)変形例2
 実施形態1の変形例2に係る高周波モジュール100bについて、図7を参照して説明する。変形例2に係る高周波モジュール100bに関し、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 変形例2に係る高周波モジュール100bは、コントローラ115が実装基板9の第1主面91に実装されている点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。
 変形例2に係る高周波モジュール100bでは、コントローラ115が第4電子部品10を構成している。樹脂層5は、第4電子部品10の外周面103を覆っている。導電層6は、第4電子部品10における実装基板9側とは反対側の主面101を覆っている。第4電子部品10は、第4電子部品10の主面101が導電層6に接している。
 コントローラ115は、基板1150と、回路部1154と、を含むICチップである。基板1150は、互いに対向する第1主面1151及び第2主面1152を有する。回路部1154は、基板1150の第1主面1151側に形成されている。基板1150は、例えば、シリコン基板である。回路部1154は、信号処理回路301からの制御信号に応じてパワーアンプ111を制御する制御回路を含む。
 変形例2に係る高周波モジュール100bでは、第1電子部品1(図2参照)と第2電子部品4(図2参照)と第4電子部品10とは、導電層6に接している部分の材料が互いに異なる。第1電子部品1において導電層6に接している部分の材料は、セラミックである。第2電子部品4において導電層6に接している部分の材料は、圧電材料(リチウムタンタレート又はリチウムニオベイト)である。第4電子部品10において導電層6に接している部分の材料は、シリコンである。
 (3.3)変形例3
 実施形態1の変形例3に係る高周波モジュール100cについて、図8~11を参照して説明する。変形例3に係る高周波モジュール100cに関し、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
 変形例3に係る高周波モジュール100cは、図8に示すように、送信フィルタ131の出力端子と受信フィルタ171の入力端子との接続点と第1スイッチ104との間に接続された整合回路114を備える点で、実施形態1に係る高周波モジュール100と相違する。
 整合回路114は、送信フィルタ131及び受信フィルタ171と第1スイッチ104との間のインピーダンス整合をとるための回路である。整合回路114は、送信フィルタ131の出力端子と受信フィルタ171の入力端子との接続点T1と第1スイッチ104との間の信号経路r1に設けられたキャパシタC3と、信号経路r1とグランドとの間に接続される第3インダクタL3と、を含む。
 変形例3に係る高周波モジュール100cでは、図9及び10に示すように、出力整合回路113の第1インダクタL1が実装基板9の第2主面92に実装されている。また、高周波モジュール100cでは、入力整合回路123の第2インダクタL2が実装基板9の第1主面91に実装されている。また、高周波モジュール100cでは、整合回路114のキャパシタC3が、実装基板9の第1主面91に実装されている。また、高周波モジュール100cでは、整合回路114の第3インダクタL3が実装基板9の第2主面92に実装されている。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、キャパシタC3は、送信フィルタ131と受信フィルタ171との間に位置している。変形例3に係る高周波モジュール100cでは、第1インダクタL1及び第3インダクタL3それぞれにおける実装基板9側とは反対側の主面SL1及びSL3が、第2樹脂層19における実装基板9側とは反対側の主面191から露出している。
 変形例3に係る高周波モジュール100cでは、キャパシタC3が、第1電子部品1を構成している。第1電子部品1は、図11に示すように、電子部品本体2と、複数(例えば、2つ)の外部電極3と、を有する。電子部品本体2は、実装基板9の厚さ方向D1において互いに対向する第3主面23及び第4主面24と、外周面25と、を有する。電子部品本体2は、第3主面23、第4主面24及び外周面25において電気絶縁性を有する。第1電子部品1では、電子部品本体2の第3主面23が、第1電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接している。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24に設けられており、第3主面23には至っていない。これにより、第1電子部品1では、複数の外部電極3は、導電層6とは接していない。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24と電子部品本体2の外周面25とに跨って設けられている。複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第3主面23と外周面25との稜線にも至っていない。
 電子部品本体2の材料は、セラミックを含む。電子部品本体2の第3主面23は、電子部品本体2においてセラミックにより形成された部分の一部である。第1電子部品1を構成するキャパシタC3は、積層セラミックキャパシタである。電子部品本体2は、多層セラミック構造20と、複数の第1内部電極28と、複数の第2内部電極29と、を有する。キャパシタC3では、複数の第1内部電極28が2つの外部電極3のうち一方の外部電極3に接続され、複数の第2内部電極29が2つの外部電極3のうち他方の外部電極3に接続されている。キャパシタC3は、複数の第1内部電極28と複数の第2内部電極29とが、実装基板9の厚さ方向D1において、1つずつ交互に互いに離隔して並んでいる。第1電子部品1では、多層セラミック構造20が電子部品本体2における電気絶縁体部21を構成し、複数の第1内部電極28及び複数の第2内部電極29と2つの外部電極3とで、第1電子部品1に含まれる回路素子15を構成している。回路素子15の素子値は、キャパシタンスである。第1電子部品1では、多層セラミック構造20が電子部品本体2における電気絶縁体部21を構成し、複数の第1内部電極28及び複数の第2内部電極29と2つの外部電極3とで、第1電子部品1に含まれる回路素子15を構成し、複数の第1内部電極28及び複数の第2内部電極29が、電子部品本体2において電気絶縁体部21内に設けられており回路素子15の一部を構成する導体部14を構成している。変形例3に係る高周波モジュール100cにおける電子部品1では、「電子部品本体2」とは、電子部品1の複数の外部電極3以外の部分であり、電子部品1の主面11を構成する第3主面23及び電子部品1の外周面13の一部を構成する外周面25を有する電気絶縁体部21と、電気絶縁体部21内に設けられている複数の第1内部電極28及び複数の第2内部電極29と、を含む構造体である。電子部品本体2の大きさは、電子部品1の大きさと略同じである。電気絶縁体部21の形状は、例えば、直方体状である。電気絶縁体部21は、積層された複数の誘電体層(セラミック層)により構成されている。
 また、変形例3に係る高周波モジュール100cは、ローノイズアンプ121と第1スイッチ104とを含むICチップ108(図9及び10参照)を備えている。ICチップ108は、図10に示すように、実装基板9の第2主面92に実装されている。また、図示はしていないが、ローノイズアンプ121等へ電源を供給する経路に配置されるバイパスコンデンサの機能を有するキャパシタが、実装基板9の第2主面92に実装されている。図10に記載の変形例3の構成において、実装基板9の第2主面92に実装されている第1インダクタL1、第3インダクタL3及びバイパスコンデンサ等、言い換えると、実装基板9の第2主面92に実装されているSMDにおける実装基板9側とは反対側の主面は、第2樹脂層19における実装基板9側とは反対側の主面191と同一面にあり、SMDにおける実装基板9側とは反対側の主面が第2樹脂層19の主面191から露出するように配置されている。このような構成にすることにより、高周波モジュール100cを低背化することができる。また、高周波モジュール100cは、その製造時に、第2樹脂層19、実装基板9の第2主面92に配置されたSMD及び複数の外部接続端子8の各々を実装基板9側とは反対側から研削することで、高周波モジュール100cを更に低背化することができる。
 実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、図9に示すように、受信フィルタ171は、ICチップ108と重なる。実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、受信フィルタ171の全部がICチップ108の一部に重なっているが、これに限らず、受信フィルタ171の全部がICチップ108の全部に重なっていてもよい。また、受信フィルタ171の一部がICチップ108の全部に重なっていてもよいし、受信フィルタ171の一部がICチップ108の一部に重なっていてもよい。また、変形例3に係る高周波モジュール100cでは、3つの受信フィルタ171、172、173がICチップ108に重なっていてもよい。
 高周波モジュール100cでは、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、図9に示すように、送信フィルタ131がICチップ108に重ならない。
 変形例3に係る高周波モジュール100cは、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様、電子部品1における電子部品本体2の第3主面23が、電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接している。また、複数の外部電極3の各々が、電子部品本体2の第4主面24に設けられており、第3主面23には至っていない。これにより、変形例3に係る高周波モジュール100cは、電子部品1に含まれる回路素子15の素子値(キャパシタンス)を大きくすることが可能となる。変形例3に係る高周波モジュール100cでは、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様、電子部品本体2の第3主面23が、電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接しているので、電子部品1が導電層6に接していない場合と比べて、電気絶縁体部21の厚さを厚くできる。これにより、変形例3に係る高周波モジュール100cは、回路素子15の一部を構成する導体部14に含まれる第1内部電極28及び第2内部電極29の数を増やすことが可能となり(第1内部電極28と第2内部電極29とのペア数を増やすことが可能となり)、回路素子15のキャパシタンスを大きくすることが可能となる。
 (実施形態2)
 実施形態2に係る高周波モジュール100dについて、図12及び13を参照して説明する。実施形態2に係る高周波モジュール100dに関し、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。なお、実施形態2に係る高周波モジュール100dは、実施形態1の変形例3に係る高周波モジュール100cと同様、ローノイズアンプ121と第1スイッチ104とを含むICチップ108を備えている。ICチップ108は、図12に示すように、実装基板9の第2主面92に実装されている。
 実施形態2に係る高周波モジュール100dでは、第2電子部品4の複数の外部電極45のうち一部の外部電極45が導電層6に接している。導電層6に接している外部電極45は、第2電子部品4の厚さ方向に貫通している。
 実施形態2に係る高周波モジュール100dでは、図13に示すように、送信フィルタ131及び受信フィルタ171の構造が、実施形態1に係る高周波モジュール100における送信フィルタ131及び受信フィルタ171の構造と相違する。
 実施形態2に係る高周波モジュール100dにおける送信フィルタ131は、基板401がシリコン基板であり、基板401の第1主面411上に設けられている低音速膜420と、低音速膜420上に設けられている圧電体層430と、を含む。送信フィルタ131は、基板401と低音速膜420と圧電体層430とで圧電性基板を構成している。送信フィルタ131では、圧電体層430上に複数のIDT電極415を含む回路部414が形成されている。
 低音速膜420は、基板401の厚さ方向からの平面視で、基板401の外周から離れて位置している。送信フィルタ131は、基板401の第1主面411のうち低音速膜420に覆われていない領域を覆う絶縁層450を更に含む。絶縁層450は、電気絶縁性を有する。絶縁層450は、基板401の第1主面411上において基板401の外縁に沿って形成されている。絶縁層450は、複数のIDT電極415を囲んでいる。基板401の厚さ方向からの平面視で、絶縁層450は、枠形状(例えば、矩形枠状)である。絶縁層450の一部は、基板401の厚さ方向において圧電体層430の外周部に重なっている。圧電体層430の外周面及び低音速膜420の外周面は、絶縁層450により覆われている。絶縁層450の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。
 圧電体層430の材料は、例えば、リチウムニオベイト又はリチウムタンタレートである。低音速膜420は、圧電体層430を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜420を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。低音速膜420の材料は、例えば、酸化ケイ素であるが、酸化ケイ素に限定されない。基板401では、圧電体層430を伝搬する弾性波の音速よりも、基板401を伝搬するバルク波の音速が高速である。ここにおいて、基板401を伝搬するバルク波は、基板401を伝搬する複数のバルク波のうち最も低音速なバルク波である。
 送信フィルタ131は、基板401と低音速膜420との間に設けられている高音速膜を更に有していてもよい。高音速膜は、圧電体層430を伝搬する弾性波の音速よりも、高音速膜を伝搬するバルク波の音速が高速となる膜である。高音速膜の材料は、例えば、窒化ケイ素であるが、窒化ケイ素に限定されず、ダイヤモンドライクカーボン、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、シリコン、サファイア、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、水晶、ジルコニア、コージライト、ムライト、ステアタイト、フォルステライト、マグネシア及びダイヤモンドからなる群から選択される少なくとも1種の材料からなってもよい。
 圧電体層430の厚さは、例えば、IDT電極415の電極指周期で定まる弾性波の波長をλとしたときに、3.5λ以下である。低音速膜420の厚さは、例えば、2.0λ以下である。
 送信フィルタ131は、例えば低音速膜420と圧電体層430との間に介在する密着層を含んでいてもよい。密着層は、例えば、樹脂(エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂)からなる。また、送信フィルタ131は、低音速膜420と圧電体層430との間、圧電体層430上、又は低音速膜420下のいずれかに誘電体膜を備えていてもよい。
 導電層6に接している外部電極45は、基板401と絶縁層450とスペーサ層417とカバー部材418とを貫通している。導電層6に接している外部電極45のうち基板401を貫通している部分は、例えば、TSV(through-silicon via)である。
 実施形態2に係る高周波モジュール100dにおける受信フィルタ171は、基板1001がシリコン基板であり、基板1001の第1主面1011上に設けられている低音速膜1020と、低音速膜1020上に設けられている圧電体層1030と、を含む。受信フィルタ171は、基板1001と低音速膜1020と圧電体層1030とで圧電性基板を構成している。受信フィルタ171では、圧電体層1030上に複数のIDT電極1015を含む回路部1014が形成されている。
 低音速膜1020は、基板1001の厚さ方向からの平面視で、基板1001の外周から離れて位置している。受信フィルタ171は、基板1001の第1主面1011のうち低音速膜1020に覆われていない領域を覆う絶縁層1050を更に含む。絶縁層1050は、電気絶縁性を有する。絶縁層1050は、基板1001の第1主面1011上において基板1001の外縁に沿って形成されている。絶縁層1050は、複数のIDT電極1015を囲んでいる。基板1001の厚さ方向からの平面視で、絶縁層1050は、枠形状(例えば、矩形枠状)である。絶縁層1050の一部は、基板1001の厚さ方向において圧電体層1030の外周部に重なっている。圧電体層1030の外周面及び低音速膜1020の外周面は、絶縁層1050により覆われている。絶縁層1050の材料は、エポキシ樹脂、ポリイミド等である。
 圧電体層1030の材料は、例えば、リチウムニオベイト又はリチウムタンタレートである。低音速膜1020は、圧電体層1030を伝搬するバルク波の音速よりも、低音速膜1020を伝搬するバルク波の音速が低速となる膜である。低音速膜1020の材料は、例えば、酸化ケイ素であるが、酸化ケイ素に限定されず、酸化タンタル及び酸化ケイ素にフッ素、炭素またはホウ素を加えた化合物からなる群から選択される少なくとも1種の材料からなってもよい。
 受信フィルタ171は、基板1001と低音速膜1020との間に設けられている高音速膜を更に有していてもよい。
 実施形態2に係る高周波モジュール100dは、実施形態1に係る高周波モジュール100と同様、電子部品1における電子部品本体2の第3主面23(図3参照)が、電子部品1の主面11を構成し、かつ導電層6に接している。また、複数の外部電極3の各々が、電子部品本体2の第4主面24に設けられており、第3主面23には至っていない(図3参照)。これにより、実施形態2に係る高周波モジュール100dは、電子部品1に含まれる回路素子15(図3参照)の素子値(インダクタンス)を大きくすることが可能となる。
 また、実施形態2に係る高周波モジュール100dは、導電層6に接している外部電極45は、第2電子部品4の厚さ方向に貫通しているので、第2電子部品4を構成する送信フィルタ131のグランドを強くすることが可能となる。
 (その他の変形例)
 上記の実施形態1~2等は、本発明の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記の実施形態1~2等は、本発明の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能であり、互いに異なる実施形態の互いに異なる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
 例えば、第1電子部品1では、複数の外部電極3の各々は、電子部品本体2の第4主面24と外周面25とに跨って設けられている場合に限らず、第4主面24と外周面25とのうち第4主面24に設けられていればよい。
 また、第1電子部品1は、インダクタ又はキャパシタに限らず、例えば、図14に示すようなLCフィルタであってもよい。図14に示したLCフィルタにより構成される第1電子部品1は、電子部品本体2の第4主面24と外周面25とに跨って設けられる外部電極3を4つ有している。4つの外部電極3は、LCフィルタの入力端子に相当する外部電極3と、LCフィルタの出力端子に相当する外部電極3と、LCフィルタの2つのグランド端子に相当する2つの外部電極3と、を含む。第1電子部品1がLCフィルタの場合、第1電子部品1に含まれる回路素子は、インダクタ及びキャパシタである。LCフィルタは、例えば、ローパスフィルタ又はハイパスフィルタである。LCフィルタが例えばローパスフィルタの場合、LCフィルタは、アンテナ端子81(図5参照)と第1スイッチ104(図5参照)との間の信号経路に設けられる。
 高周波モジュール100a、100b、100c、100dでは、樹脂層5は、第1電子部品1の外周面13の全部を覆っている場合だけに限らず、外周面13の少なくとも一部を覆っていればよい。また、樹脂層5は、第2電子部品4の外周面43の全部を覆っている場合だけに限らず、外周面43の少なくとも一部を覆っていればよい。また、樹脂層5は、第3電子部品7の外周面73の全部を覆っている場合だけに限らず、外周面73の少なくとも一部を覆っていればよい。また、樹脂層5は、第3電子部品7の主面71の全部を覆っている場合だけに限らず、主面71の少なくとも一部を覆っていればよい。また、樹脂層5は、第4電子部品10の外周面103の全部を覆っている場合だけに限らず、少なくとも一部を覆っていればよい。
 また、高周波モジュール100a、100b、100c、100dでは、導電層6は、樹脂層5の主面51の全部を覆っている場合だけに限らず、樹脂層5の主面51の少なくとも一部を覆っていればよい。また、導電層6は、第1電子部品1の主面11の全部を覆っている場合だけに限らず、第1電子部品1の主面11の少なくとも一部を覆っていればよい。また、導電層6は、第2電子部品4の主面41の全部を覆っている場合だけに限らず、第2電子部品4の主面41の少なくとも一部を覆っていればよい。また、導電層6は、第4電子部品10の主面101の全部を覆っている場合だけに限らず、第4電子部品10の主面101の少なくとも一部を覆っていればよい。
 また、高周波モジュール100では、第1電子部品1は、実装基板9の厚さ方向D1からの平面視で、出力整合回路113に含まれる第1インダクタL1と入力整合回路123に含まれる第2インダクタL2との間に位置していてもよい。この場合、高周波モジュール100では、出力整合回路113に含まれる第1インダクタL1と入力整合回路123に含まれる第2インダクタL2との電磁結合を抑制することが可能となる。
 また、高周波モジュール100a、100b、100c、100dでは、実装基板9の第2主面92に実装されている第2群の回路部品が、実装基板9の第2主面92ではなく第1主面91に実装されていてもよい。この場合、高周波モジュール100a、100b、100c、100dでは、実装基板9の第2主面92には1つも回路部品が実装されないことになる。
 また、高周波モジュール100、100b、100dでは、高周波モジュール100cと同様、実装基板9の第2主面92に実装されている回路部品(第2主面側電子部品)における実装基板9側とは反対側の主面が、第2樹脂層19における実装基板9側とは反対側の主面191から露出していてもよい。これにより、高周波モジュール100、100b、100dは、低背化を図ることが可能となる。実装基板9の第2主面92に実装され実装基板9側とは反対側の主面が露出していて回路部品は、例えば、キャパシタ、インダクタ、LCフィルタ、弾性波フィルタ又はICチップのいずれかである。また、実装基板9の第2主面92に実装され実装基板9側とは反対側の主面が露出していて回路部品は、積層セラミックキャパシタ、又は、シリコン基板上に形成されたキャパシタである。
 また、複数の送信フィルタ131~133及び複数の受信フィルタ171~173の各々は、表面弾性波フィルタに限らず、例えば、BAW(Bulk Acoustic Wave)フィルタであってもよい。BAWフィルタにおける共振子は、例えば、FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)又はSMR(Solidly Mounted Resonator)である。BAWフィルタは、基板を有する。基板は、例えば、シリコン基板である。
 また、複数の送信フィルタ131~133及び複数の受信フィルタ171~173の各々は、ラダー型フィルタに限らず、例えば、縦結合共振子型弾性表面波フィルタでもよい。
 また、上述の弾性波フィルタは、表面弾性波又はバルク弾性波を利用する弾性波フィルタであるが、これに限らず、例えば、弾性境界波、板波等を利用する弾性波フィルタであってもよい。
 高周波モジュール100~100dの回路構成は、上述の例に限らない。また、高周波モジュール100~100dは、回路構成として、例えば、MIMO(Multi Input Multi Output)対応の高周波フロントエンド回路を有していてもよい。
 また、実施形態1に係る通信装置300は、高周波モジュール100の代わりに、高周波モジュール100a、100b、100c、100dのいずれかを備えてもよい。
 (態様)
 本明細書には、以下の態様が開示されている。
 第1の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、実装基板(9)と、電子部品(1)と、樹脂層(5)と、導電層(6)と、を備える。実装基板(9)は、互いに対向する第1主面(91)及び第2主面(92)を有する。電子部品(1)は、実装基板(9)の第1主面(91)に実装されている。樹脂層(5)は、実装基板(9)の第1主面(91)に配置されており、電子部品(1)の外周面(13)の少なくとも一部を覆っている。導電層(6)は、樹脂層(5)における実装基板(9)側とは反対側の主面(51)の少なくとも一部と、電子部品(1)における実装基板(9)側とは反対側の主面(11)の少なくとも一部と、を覆っている。電子部品(1)は、電子部品本体(2)と、複数の外部電極(3)と、を有する。電子部品本体(2)は、電気絶縁体部(21)と、電気絶縁体部(21)内に設けられており電子部品(1)の回路素子(15)の少なくとも一部を構成する導体部(14)と、を含む。電子部品本体(2)は、互いに対向する第3主面(23)及び第4主面(24)と、外周面(25)と、を有する。電子部品(1)では、電子部品本体(2)の第3主面(23)が、電子部品(1)の主面(11)を構成し、かつ導電層(6)に接している。複数の外部電極(3)の各々は、電子部品本体(2)の第4主面(24)に設けられており、第3主面(23)には至っていない。
 第1の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、電子部品(1)に含まれる回路素子(15)の素子値を大きくすることが可能となる。
 第2の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第1の態様において、複数の外部電極(3)の各々は、電子部品本体(2)の第4主面(24)と電子部品本体(2)の外周面(25)とに跨って設けられている。
 第2の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、実装基板(9)と電子部品(1)との接合強度の向上を図れる。
 第3の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第1又は2の態様において、電子部品(1)は、キャパシタ、インダクタ又はLCフィルタのいずれかである。
 第3の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、電子部品(1)がキャパシタ(C3)の場合、キャパシタンスを大きくでき、電子部品(1)がインダクタ(第2インダクタL2)の場合、インダクタンスを大きくでき、電子部品(1)がLCフィルタの場合、LCフィルタに含まれるインダクタのインダクタンスとLCフィルタに含まれるキャパシタのキャパシタンスとの少なくとも一方を大きくすることが可能となる。
 第4の態様に係る高周波モジュールでは、第3の態様において、電気絶縁体部(多層セラミック構造20)の材料は、セラミックを含む。電子部品本体(2)の第3主面(23)は、電子部品本体(2)においてセラミックにより形成された部分の一部である。
 第5の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第4の態様において、電子部品(1)は、積層セラミックキャパシタ、積層セラミックインダクタ又は積層セラミックLCフィルタである。
 第6の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1~5の態様のいずれか一つにおいて、電子部品(1)である第1電子部品(1)とは別に実装基板(9)の第1主面(91)に実装されている第2電子部品(4)を更に備える。樹脂層(5)は、第2電子部品(4)の外周面(43)の少なくとも一部を覆っている。導電層(6)は、第2電子部品(4)における実装基板(9)側とは反対側の主面(41)の少なくとも一部とを覆っている。第2電子部品(4)は、第2電子部品(4)の主面(41)が導電層(6)に接している。
 第6の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)の低背化を図ることが可能となる。
 第7の態様に係る高周波モジュール(100d)では、第6の態様において、第2電子部品(4)は、複数の外部電極(45)を有する。第2電子部品(4)の複数の外部電極(45)のうち一部の外部電極(45)が導電層(6)に接している。
 第7の態様に係る高周波モジュール(100d)は、第2電子部品(4)の一部の外部電極(45)を導電層(6)と電気的に接続することができる。
 第8の態様に係る高周波モジュール(100d)では、第7の態様において、複数の外部電極(45)のうち一部の外部電極(45)は、第2電子部品(4)の厚さ方向に貫通している。
 第8の態様に係る高周波モジュール(100d)は、第2電子部品(4)のグランドを強くすることが可能となる。
 第9の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第6~8の態様のいずれか一つにおいて、第2電子部品(4)は、基板(401)と、回路部(414)と、を含む。基板(401)は、互いに対向する第1主面(411)及び第2主面(412)を有する。回路部(414)は、基板(401)の第1主面(411)側に形成されている。第2電子部品(4)では、基板(401)の第2主面(412)が第2電子部品(4)の主面(41)を構成している。第2電子部品(4)は、弾性波フィルタ又はICチップである。
 第10の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c)では、第9の態様において、第2電子部品(4)は、弾性波フィルタである。基板(401)は、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である。
 第11の態様に係る高周波モジュール(100d)では、第9の態様において、基板(401)は、シリコン基板である。
 第12の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第6~11の態様のいずれか一つにおいて、実装基板(9)の厚さ方向(D1)に直交し第1主面(91)の少なくとも一部を含む平面を基準面(RP1)としたときに、基準面(RP1)と第1電子部品(1)の主面(11)との第1距離(H1)と、基準面(RP1)と第2電子部品(4)の主面(41)との第2距離(H2)と、が同じである。
 第12の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、実装基板(9)の厚さ方向(D1)における低背化を図ることが可能となる。
 第13の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第6~12の態様のいずれか一つにおいて、第1電子部品(1)の主面(11)及び第2電子部品(4)の主面(41)の各々は、粗面である。
 第13の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1電子部品(1)の主面(11)及び第2電子部品(4)の主面(41)と導電層(6)との密着性を向上させることが可能となる。
 第14の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第13の態様において、第3電子部品(7)を更に備える。第3電子部品(7)は、実装基板(9)の第1主面(91)に実装されており、第1電子部品(1)及び第2電子部品(4)よりも背が低い。樹脂層(5)は、第3電子部品(7)における実装基板(9)側とは反対側の主面(71)を覆っている。第1電子部品(1)の主面(11)及び第2電子部品(4)の主面(41)の各々の最大高さ粗さが、第3電子部品(7)の主面(71)の最大高さ粗さよりも大きい。
 第14の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1電子部品(1)の主面(11)及び第2電子部品(4)の主面(41)と導電層(6)との密着性を向上させることが可能となる。
 第15の態様に係る高周波モジュール(100b)は、第14の態様において、実装基板(9)の第1主面(91)に実装されている第4電子部品(10)を更に備える。樹脂層(5)は、第4電子部品(10)の外周面(103)の少なくとも一部を覆っている。導電層(6)は、第4電子部品(10)における実装基板(9)側とは反対側の主面(101)の少なくとも一部とを覆っている。第4電子部品(10)は、第4電子部品(10)の主面(101)が導電層(6)に接している。第1電子部品(1)と第2電子部品(4)と第4電子部品(10)とは、導電層(6)に接している部分の材料が互いに異なる。
 第16の態様に係る高周波モジュール(100c)は、第6~14の態様のいずれか一つにおいて、第4電子部品(10)を更に備える。第4電子部品(10)は、実装基板(9)の第1主面(91)に実装されている。第2電子部品(4)は、送信フィルタ(131)である。第4電子部品(10)は、受信フィルタ(171)である。第1電子部品(1)は、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で第2電子部品(4)と第4電子部品(10)との間に位置している。
 第16の態様に係る高周波モジュール(100c)は、第2電子部品(4)を構成する送信フィルタ(131)と第4電子部品(10)を構成する受信フィルタ(171)との電磁結合を抑制することが可能となる。また、第16の態様に係る高周波モジュール(100c)は、第2電子部品(4)としての送信フィルタ(131)が導電層(6)に接しているので、送信フィルタ(131)の温度上昇を抑制することが可能となる。これにより、高周波モジュール(100c)は、送信フィルタ(131)の温度特性の安定化を図ることが可能となり、高周波モジュール(100c)の特性の安定化を図ることが可能となる。
 第17の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1~16の態様のいずれか一つにおいて、パワーアンプ(111)と、出力整合回路(113)と、ローノイズアンプ(121)と、入力整合回路(123)と、を更に備える。パワーアンプ(111)は、実装基板(9)の第1主面(91)に実装されている。出力整合回路(113)は、パワーアンプ(111)の出力端子に接続されている。ローノイズアンプ(121)は、実装基板(9)の第2主面(92)に実装されている。入力整合回路(123)は、ローノイズアンプ(121)の入力端子に接続されている。出力整合回路(113)は、第1インダクタ(L1)を含む。入力整合回路(123)は、第2インダクタ(L2)を含む。電子部品(1)は、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視で、第1インダクタ(L1)と第2インダクタ(L2)との間に位置している。
 第17の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、出力整合回路(113)に含まれる第1インダクタ(L1)と入力整合回路(123)に含まれる第2インダクタ(L2)との電磁結合を抑制することが可能となる。
 第18の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1~17の態様のいずれか一つにおいて、複数の外部接続端子(8)を更に備える。複数の外部接続端子(8)は、実装基板(9)の第2主面(92)に配置されている。複数の外部接続端子(8)は、導電層(6)に接続されているグランド端子(85)を含む。
 第18の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、導電層(6)の電位をグランド端子(85)の電位と略同じにすることが可能となる。
 第19の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、第1~18の態様のいずれか一つにおいて、実装基板(9)の第2主面(92)に実装されている回路部品(第1インダクタL1,第3インダクタL3)を更に備える。
 第19の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)は、実装基板(9)の厚さ方向(D1)からの平面視での高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)の小型化を図ることが可能となる。
 第20の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第19の態様において、回路部品は、キャパシタ、インダクタ、LCフィルタ、弾性波フィルタ又はICチップである。
 第20の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、回路部品がキャパシタの場合、キャパシタンスを大きくでき、回路部品がインダクタ(第1インダクタL1,第3インダクタL3)の場合、インダクタンスを大きくでき、回路部品がLCフィルタの場合、LCフィルタに含まれるインダクタのインダクタンスとLCフィルタに含まれるキャパシタのキャパシタンスとの少なくとも一方を大きくすることが可能となる。
 第21の態様に係る高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)では、第20の態様において、回路部品は、積層セラミックキャパシタ、又は、シリコン基板上に形成したキャパシタである。
 第22の態様に係る高周波モジュール(100;100b;100c;100d)は、第19~21の態様のいずれか一つにおいて、樹脂層(5)である第1樹脂層(5)とは別の第2樹脂層(19)を更に備える。第2樹脂層(19)は、実装基板(9)の第2主面(92)に配置されており、回路部品の外周面の少なくとも一部を覆っている。
 第22の態様に係る高周波モジュール(100;100b;100c;100d)は、回路部品を第2樹脂層(19)によって保護することが可能となる。
 第23の態様に係る高周波モジュール(100;100b;100c;100d)では、第22の態様において、回路部品(第1インダクタL1,第3インダクタL3)における実装基板(9)側とは反対側の主面(SL1,SL3)が、第2樹脂層(19)における実装基板(9)側とは反対側の主面(191)から露出している。
 第23の態様に係る高周波モジュール(100;100b;100c;100d)は、低背化を図ることが可能となる。
 第24の態様に係る通信装置(300)は、第1~23の態様のいずれか一つの高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)と、信号処理回路(301)と、を備える。信号処理回路(301)は、高周波モジュール(100;100a;100b;100c;100d)に接続されている。
 第24の態様に係る通信装置(300)では、電子部品(1)に含まれる回路素子(15)の素子値を大きくすることが可能となる。
 1 電子部品(第1電子部品)
 11 主面(第1主面)
 13 外周面
 14 導体部
 15 回路素子
 2 電子部品本体
 20 多層セラミック構造
 21 電気絶縁体部
 23 第3主面
 24 第4主面
 25 外周面
 26 巻線部
 27 導体層
 28 第1内部電極
 29 第2内部電極
 3 外部電極
 4 第2電子部品
 41 主面
 43 外周面
 45 外部電極
 401 基板
 411 第1主面
 412 第2主面
 414 回路部
 415 IDT電極
 417 スペーサ層
 418 カバー部材
 420 低音速膜
 430 圧電体層
 5 樹脂層(第1樹脂層)
 51 主面
 53 外周面
 6 導電層
 7 第3電子部品
 8 外部接続端子
 81 アンテナ端子
 82 信号入力端子
 83 信号出力端子
 84 制御端子
 85 グランド端子
 9 実装基板
 91 第1主面
 92 第2主面
 93 外周面
 10 第4電子部品
 101 主面
 103 外周面
 1045 外部電極
 1001 基板
 1011 第1主面
 1012 第2主面
 1014 回路部
 1015 IDT電極
 1017 スペーサ層
 1018 カバー部材
 19 第2樹脂層
 191 主面
 193 外周面
 104 第1スイッチ
 140 共通端子
 141、142、143 選択端子
 105 第2スイッチ
 150 共通端子
 151、152、153 選択端子
 106 第3スイッチ
 160 共通端子
 161、162、163 選択端子
 108 ICチップ
 111 パワーアンプ
 113 出力整合回路
 114 整合回路
 115 コントローラ
 1150 基板
 1151 第1主面
 1152 第2主面
 1154 回路部
 121 ローノイズアンプ
 123 入力整合回路
 131 送信フィルタ(第1送信フィルタ)
 132 送信フィルタ(第2送信フィルタ)
 133 送信フィルタ(第3送信フィルタ)
 171 受信フィルタ(第1受信フィルタ)
 172 受信フィルタ(第2受信フィルタ)
 173 受信フィルタ(第3受信フィルタ)
 100、100a、100b、100c、100d 高周波モジュール
 300 通信装置
 301 信号処理回路
 302 RF信号処理回路
 303 ベースバンド信号処理回路
 310 アンテナ
 C3 キャパシタ
 D1 厚さ方向
 H1 第1距離
 H2 第2距離
 H3 第3距離
 H4 第4距離
 H5 第5距離
 L1 第1インダクタ
 SL1 主面
 L2 第2インダクタ
 L3 第3インダクタ
 SL3 主面
 r1 信号経路
 T1 接続点

Claims (24)

  1.  互いに対向する第1主面及び第2主面を有する実装基板と、
     前記実装基板の前記第1主面に実装されている電子部品と、
     前記実装基板の前記第1主面に配置されており、前記電子部品の外周面の少なくとも一部を覆っている樹脂層と、
     前記樹脂層における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部と前記電子部品における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部とを覆っている導電層と、を備え、
     前記電子部品は、
      電気絶縁体部と前記電気絶縁体部内に設けられており前記電子部品の回路素子の少なくとも一部を構成する導体部とを含み、互いに対向する第3主面及び第4主面と、外周面と、を有する電子部品本体と、
      複数の外部電極と、を有し、
     前記電子部品では、
      前記電子部品本体の前記第3主面が、前記電子部品の前記主面を構成し、かつ前記導電層に接しており、
     前記複数の外部電極の各々は、前記電子部品本体の前記第4主面に設けられており、前記第3主面には至っていない、
     高周波モジュール。
  2.  前記複数の外部電極の各々は、前記電子部品本体の前記第4主面と前記電子部品本体の前記外周面とに跨って設けられている、
     請求項1に記載の高周波モジュール。
  3.  前記電子部品は、キャパシタ、インダクタ又はLCフィルタのいずれかである、
     請求項1又は2に記載の高周波モジュール。
  4.  前記電気絶縁体部の材料は、セラミックを含み、
     前記電子部品本体の前記第3主面は、前記電子部品本体においてセラミックにより形成された部分の一部である、
     請求項3に記載の高周波モジュール。
  5.  前記電子部品は、積層セラミックキャパシタ、積層セラミックインダクタ又は積層セラミックLCフィルタである、
     請求項4に記載の高周波モジュール。
  6.  前記電子部品である第1電子部品とは別に前記実装基板の前記第1主面に実装されている第2電子部品を更に備え、
     前記樹脂層は、前記第2電子部品の外周面の少なくとも一部を覆っており、
     前記導電層は、前記第2電子部品における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部とを覆っており、
     前記第2電子部品は、前記第2電子部品の前記主面が前記導電層に接している、
     請求項1~5のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  7.  前記第2電子部品は、複数の外部電極を有し、
     前記第2電子部品の前記複数の外部電極のうち一部の外部電極が前記導電層に接している、
     請求項6に記載の高周波モジュール。
  8.  前記複数の外部電極のうち前記一部の外部電極は、前記第2電子部品の厚さ方向に貫通している、
     請求項7に記載の高周波モジュール。
  9.  前記第2電子部品は、
      互いに対向する第1主面及び第2主面を有する基板と、
      前記基板の前記第1主面側に形成されている回路部と、を含み、
     前記第2電子部品では、前記基板の前記第2主面が前記第2電子部品の前記主面を構成しており、
      前記第2電子部品は、弾性波フィルタ又はICチップである、
     請求項6~8のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  10.  前記第2電子部品は、弾性波フィルタであり、
     前記基板は、リチウムタンタレート基板又はリチウムニオベイト基板である、
     請求項9に記載の高周波モジュール。
  11.  前記基板は、シリコン基板である、
     請求項9に記載の高周波モジュール。
  12.  前記実装基板の厚さ方向に直交し前記第1主面の少なくとも一部を含む平面を基準面としたときに、
      前記基準面と前記第1電子部品の前記主面との第1距離と、前記基準面と前記第2電子部品の前記主面との第2距離と、が同じである、
     請求項6~11のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  13.  前記第1電子部品の前記主面及び前記第2電子部品の前記主面の各々は、粗面である、
     請求項6~12のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  14.  前記実装基板の前記第1主面に実装されており、前記第1電子部品及び前記第2電子部品よりも背の低い第3電子部品を更に備え、
     前記樹脂層は、前記第3電子部品における前記実装基板側とは反対側の主面を覆っており、
     前記第1電子部品の前記主面及び前記第2電子部品の前記主面の各々の最大高さ粗さが、前記第3電子部品の前記主面の最大高さ粗さよりも大きい、
     請求項13に記載の高周波モジュール。
  15.  前記実装基板の前記第1主面に実装されている第4電子部品を更に備え、
     前記樹脂層は、前記第4電子部品の外周面の少なくとも一部を覆っており、
     前記導電層は、前記第4電子部品における前記実装基板側とは反対側の主面の少なくとも一部とを覆っており、
     前記第4電子部品は、前記第4電子部品の前記主面が前記導電層に接しており、
     前記第1電子部品と前記第2電子部品と前記第4電子部品とは、前記導電層に接している部分の材料が互いに異なる、
     請求項14に記載の高周波モジュール。
  16.  前記実装基板の前記第1主面に実装されている第4電子部品を更に備え、
     前記第2電子部品は、送信フィルタであり、
     前記第4電子部品は、受信フィルタであり、
     前記第1電子部品は、前記実装基板の厚さ方向からの平面視で前記第2電子部品と前記第4電子部品との間に位置している、
     請求項6~14のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  17.  前記実装基板の前記第1主面に実装されているパワーアンプと、
     前記パワーアンプの出力端子に接続されている出力整合回路と、
     前記実装基板の前記第2主面に実装されているローノイズアンプと、
     前記ローノイズアンプの入力端子に接続されている入力整合回路と、を更に備え、
     前記出力整合回路は、第1インダクタを含み、
     前記入力整合回路は、第2インダクタを含み、
     前記電子部品は、前記実装基板の厚さ方向からの平面視で、前記第1インダクタと前記第2インダクタとの間に位置している、
     請求項1~16のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  18.  前記実装基板の前記第2主面に配置されている複数の外部接続端子を更に備え、
     前記複数の外部接続端子は、前記導電層に接続されているグランド端子を含む、
     請求項1~17のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  19.  前記実装基板の前記第2主面に実装されている回路部品を更に備える、
     請求項1~18のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  20.  前記回路部品は、キャパシタ、インダクタ、LCフィルタ、弾性波フィルタ又はICチップである、
     請求項19に記載の高周波モジュール。
  21.  前記回路部品は、積層セラミックキャパシタ、又は、シリコン基板上に形成されたキャパシタである、
     請求項20に記載の高周波モジュール。
  22.  前記樹脂層である第1樹脂層とは別の第2樹脂層を更に備え、
     前記第2樹脂層は、前記実装基板の前記第2主面に配置されており、前記回路部品の外周面の少なくとも一部を覆っている、
     請求項19~21のいずれか一項に記載の高周波モジュール。
  23.  前記回路部品における前記実装基板側とは反対側の主面が、前記第2樹脂層における前記実装基板側とは反対側の主面から露出している、
     請求項22に記載の高周波モジュール。
  24.  請求項1~23のいずれか一項に記載の高周波モジュールと、
     前記高周波モジュールに接続されている信号処理回路と、を備える、
     通信装置。
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