WO2022045053A1 - 接着性基体、接合体、多層接合体および接着方法 - Google Patents

接着性基体、接合体、多層接合体および接着方法 Download PDF

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WO2022045053A1
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adhesive substrate
reactive
adhesive
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敬二 田中
大輔 川口
匡康 戸谷
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国立大学法人九州大学
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    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B7/00Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
    • B32B7/04Interconnection of layers
    • B32B7/12Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
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    • C09J7/30Adhesives in the form of films or foils characterised by the adhesive composition
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    • C09J133/00Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof; Adhesives based on derivatives of such polymers
    • C09J133/04Homopolymers or copolymers of esters
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J163/00Adhesives based on epoxy resins; Adhesives based on derivatives of epoxy resins
    • C09J163/04Epoxynovolacs

Definitions

  • the present invention relates to an adhesive technique such as an adhesive substrate, a bonded body, a multi-layered bonded body, and an adhesive method.
  • Adhesive technology is positioned as one of the important basic technologies in such technological development. Adhesive technology applied to next-generation mobility that affects human life requires a high degree of reliability. It is essential to achieve adhesive strength and durability that are several steps higher than those of conventional adhesive technology. Further, there is a demand for a technique capable of adhering an adherend, which has been difficult to sufficiently adhere with the conventional bonding technique.
  • Patent Document 1 describes a modified silane coupling agent comprising a reaction product of a silane coupling agent having an epoxy group and an amino alcohol. According to the description of Patent Document 1, this modified silane coupling agent has excellent adhesion promoting property to inorganic substances.
  • Patent Document 2 describes a wet substrate layer, a metal layer having a metal oxide surface, a compound layer having a benzophenone skeleton represented by a specific general formula and a silane coupling group, and a thermoplastic polymer layer in this order.
  • the etching substrate is described. According to the description of Patent Document 2, it is said that a metal layer having a metal oxide surface and a thermoplastic polymer layer can be firmly adhered to each other.
  • Patent Document 3 the surface of a metal is coated with a triazinethiol compound, an epoxy adhesive mixed with a curing agent is applied to the surface of the metal, and the surface of the metal is coated with the epoxy adhesive.
  • an epoxy containing at least two or more epoxy groups in one molecule on the surface of the metal coated with the triazinethiol compound before applying the epoxy adhesive is described. According to the description of Patent Document 3, it is said that the epoxy adhesive can be firmly adhered to the metal by this bonding method.
  • Patent Document 4 describes a primer composition containing an organic titanium compound and a solvent. According to the description of Patent Document 4, it is said that the silicone rubber can be satisfactorily adhered to various adherends by using this primer composition.
  • Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-192619 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-11136 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-273955 Japanese Patent No. 6191571
  • the failure at the bonding interface between the adhesive and the adherend is distinguished from “interface failure”, and the failure inside the adhesive is distinguished from “aggregate failure”, and “aggregate failure” is used. It is believed that the fracture mode exhibits stronger adhesion. In order to increase the adhesive force, it is considered important to strengthen the bond between the adherend and the adhesive so that the fracture mode of "aggregate fracture” occurs.
  • the present inventor considered that the key factor was located at a place other than the interface between the adherend and the adhesive in order to enhance the adhesive strength.
  • the present inventor has conducted a lot of research on the analysis of the surface of the adherend after breaking the bonded body of the adhesive and the adherend, and the analysis of the morphology inside the cured adhesive. As a result, the new findings shown in (i) and (ii) below were obtained.
  • interface fracture Most of the fracture modes conventionally referred to as "interface fracture” are not fractures at the junction interface between the adhesive and the adherend, but fractures at a location distant from the junction interface in the internal direction of the adhesive. Is. The constituent material of the adhesive remains on the surface of the adherend after fracture at the molecular level (nanometer order).
  • a layered region with weak adhesive force is located at a position typically 1 to 20 nm away from the bonding interface in the internal direction of the adhesive, specifically 1 to 10 nm away. (Hereinafter, in the present specification, this layered region is also referred to as an “easily destructive layer”).
  • the "easy-breaking layer” is broken instead of the interface between the adhesive and the adherend. It has not been conventionally known that the above-mentioned easy-to-destruct layer is generated and that the easy-to-destruct layer causes destruction. Based on the above findings found by the present inventor, the present inventor has concluded that increasing the strength of the fragile layer is a key factor for increasing the adhesive strength. INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention enhances the adhesive strength by increasing the strength of the easily broken layer.
  • An adhesive substrate used for the purpose of forming a structure by adhering to an adherend With the substrate A bound polymer layer having a thickness of 1 to 20 nm, which is composed of a thermoplastic resin that is adsorbed or bonded to the surface of the substrate and bound to the surface.
  • the thermoplastic resin contains a reactive thermoplastic resin having a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group. The reactive group is distributed on the surface of the bound polymer layer to form a reaction active portion, and an adhesive substrate is provided.
  • the adhesive substrate is provided with a bound polymer layer tightly bound to the surface of the substrate, and is distributed on the surface of the bound polymer layer to form reaction active portions. Therefore, when the structure is formed by adhering to the adherend, the obtained structure has a structure in which the substrate and the adherend are bonded via a bound polymer layer having a thickness of 1 to 20 nm. As described above, a layered region (easy-to-break layer) having a weak adhesive force is formed inside the adhesive at a position 1 to 20 nm away from the bonding interface in the internal direction of the adhesive. In the above structure, this easily broken layer is strongly reinforced by binding via the reaction active portion, and a high adhesive force exceeding that of the prior art is exhibited.
  • the adhesive substrate is the adhesive substrate
  • the surface of the binding polymer layer of the adhesive substrate and one surface of the adherend are adhered to each other.
  • the adherend is provided with a compound containing a functional group having reactivity with the reactive group in the adhesive substrate on the one surface.
  • a conjugate, wherein the reactive group reacts with the functional group to form a covalent bond. Is provided.
  • It is a multilayer bonded body in which a first adhesive substrate, a second adhesive substrate, and an adherend interposed between these adhesive substrates are laminated.
  • the first adhesive substrate and the second adhesive substrate are the adhesive substrates.
  • the surface of the bound polymer layer of the first adhesive substrate and one surface of the adherend are adhered to each other.
  • the adherend is provided with a first compound having a functional group reactive with the reactive group in the first adhesive substrate on the one surface.
  • the reactive group of the first adhesive substrate and the functional group of the first compound react to form a covalent bond.
  • the surface of the bound polymer layer of the second adhesive substrate and the other surface of the adherend are adhered to each other.
  • the adherend is provided with a second compound having a functional group reactive with the reactive group in the second adhesive substrate on the other surface.
  • a multilayer bonded body in which the reactive group of the second adhesive substrate and the functional group of the second compound react to form a covalent bond. is provided.
  • the reactive group reacts with the surface of the adherend by heating or irradiation with energy rays to achieve the adhesiveness.
  • Adhesion method for adhering the substrate and the adherend Is provided.
  • the easily broken layer is strongly reinforced by the bond via the reaction active portion, and a high adhesive force exceeding that of the prior art is exhibited.
  • the present invention provides an adhesive system different from the conventional one. Further, according to the present invention, it is possible to adhere an adherend which has not been satisfactorily adhered in the past.
  • alkyl group includes not only an alkyl group having no substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
  • the notation “(meth) acrylic” herein represents a concept that includes both acrylic and methacrylic. The same applies to similar notations such as "(meth) acrylate”.
  • the adhesive substrate is used for the purpose of adhering to an adherend to form a structure.
  • the adhesive substrate is composed of a substrate and a binding polymer layer. The opposite side of the bound polymer layer to the substrate is typically exposed.
  • the adhesive substrate of the present embodiment is based on the above-mentioned novel concept of adhesion proposed by the present inventor.
  • Inside the cured adhesive there is a fragile layer with weak adhesive strength at a location 1 to 20 nm away from the interface with the adherend in the internal direction of the adhesive, typically 1 to 10 nm. Generated. Increasing the strength of this fragile layer is a key factor for increasing the adhesive strength.
  • the adhesive strength is increased by increasing the strength of the easily broken layer.
  • the strength of the interface between the bound polymer layer and the adherend is improved by introducing a functional group that reacts with the adherend into the bound polymer layer provided on the surface of the substrate.
  • a reactive thermoplastic resin in which the binding polymer layer has a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group is used. Containing and reactive groups were distributed on the surface of the bound polymer layer to form reactive parts. When this reactive group reacts with the adherend to form a bond, the strength of the interface between the bound polymer layer and the adherend is improved, and the adhesive strength is increased.
  • FIG. 1 is a schematic diagram for explaining an adhesive development mechanism when the reactive group is a benzophenone group of a radical reactive group and the adherend contains a polymer having a CH bond in the present embodiment.
  • the bound polymer layer is bound to the substrate by adsorbing or binding to the surface of the substrate. That is, the strength of the interface between the substrate and the bound polymer layer is very high.
  • radicals are generated from the benzophenone group.
  • a covalent bond is formed between the bound polymer layer and the adherend by the radical abstracting the hydrogen atom of the adherend. This also increases the strength of the interface between the bound polymer layer and the adherend. That is, the bound polymer layer strongly bound to the substrate forms a bond with the adherend, so that the substrate and the adherend are strongly adhered to each other.
  • the adhesive substrate of the present embodiment has an adherend, for example, polypropylene, which has not been able to obtain a satisfactory adhesive strength in the past. It is also preferably used for adhesion of.
  • the adhesive substrate of the present embodiment is preferably applied to, for example, for adhering components of an electronic device due to its strong adhesive force with an adherend.
  • the adhesive substrate of the present embodiment can be preferably applied to the adhesion between members during manufacturing such as a semiconductor chip, an element mounting substrate / interposer substrate, a motherboard, a heat dissipation member, and a lead frame.
  • the adhesive substrate of the present embodiment can be preferably applied to adhesion between members of different materials such as bonding of resin and metal.
  • the adhesive substrate of the present embodiment can be preferably applied to the production of, for example, automobile parts.
  • the shape of the substrate is not particularly limited.
  • the substrate can be a particle substrate or a non-particle substrate. Of these, when applied to a non-particle substrate, the effect of the present invention can be obtained more remarkably. This is because, in the case of a non-particle substrate, the effect of improving the adhesive force by the easily broken layer becomes more remarkable.
  • the size of the surface of the substrate is not particularly limited, but when applied to a surface having a region of 1 mm ⁇ 1 mm or more, the effect of the present invention can be obtained more remarkably.
  • the particle substrate examples include inorganic particles such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, titanium oxide, aluminum nitride, and boron nitride; metal oxide particles; and magnetic powder.
  • non-particle substrates include plate-shaped or sheet-shaped members, three-dimensional parts having a flat surface or a curved surface, and the like.
  • a non-particle substrate is a fiber substrate. Specific examples thereof include organic or inorganic fibers known as fibrous fillers in the field of resin molding materials. More specifically, aramid fiber, glass fiber, total aromatic polyester, wollastonite and the like can be mentioned.
  • the material of the substrate is not particularly limited.
  • the substrate can be made of an organic polymer, ceramics, semiconductor or metal. More specifically, as the material of the substrate, inorganic materials such as single crystal silicon, glass, ceramics, silicon nitride, silicon dioxide (quartz, crystal); metal materials such as copper, aluminum, iron, various alloys; epoxy resin, phenol Thermocurable resins such as resins and polyimide resins; thermoplastic resins such as polyethylene, polypropylene, polystyrene and nylon; and the like can be mentioned.
  • the substrate is not carbon black particles. Further, it is preferable that the substrate does not contain a carbon material such as carbon nanotubes.
  • Foreign matter / contamination on the surface of the substrate should be removed by cleaning the surface of the substrate before the bound polymer layer is formed, for the purpose of enhancing the adsorption / binding property of the bound polymer layer, or for other purposes. Is preferable. Further, for the purpose of enhancing the adsorption / binding property of the bound polymer layer or for other purposes, the surface of the substrate before the bound polymer layer is formed may be subjected to any surface treatment. Examples of cleaning or surface treatment include treatment with a mixture of sulfuric acid and hydrogen peroxide (piranha treatment).
  • the binding polymer layer is a layer composed of the binding polymer.
  • the binding polymer means a polymer that is adsorbed or bonded to the surface of a substrate and exists in a state of being bound to the surface of the substrate.
  • the binding polymer layer usually has a form as a layer formed so as to cover the surface of the substrate.
  • the surface of the bound polymer layer opposite to the substrate is usually exposed.
  • an easily peelable / removable protective layer, protective film, or the like may be provided for the purpose of surface protection or the like.
  • adsorption refers to physical adsorption by van der Waals force or the like, and means that the binding polymer is physically adsorbed to the material constituting the surface of the substrate.
  • bonding means that the binding polymer chemically bonds to the material constituting the surface of the substrate.
  • the type of bond is not particularly limited and may be a covalent bond, a hydrogen bond, or an ionic bond.
  • the binding polymer is adsorbed or bonded to the surface of the substrate
  • one or more functional groups contained in the binding polymer are adsorbed to the material constituting the surface of the substrate itself or the material attached to the surface of the substrate.
  • a mode of binding may be mentioned.
  • the bound polymer layer preferably has a molecular structure that adheres firmly to the substrate. Examples of such a molecular structure include a molecular structure having a binding group that adsorbs or covalently binds to a substrate. It is more preferable to use a multisite type thermoplastic resin having a plurality of bonding groups in the molecule.
  • the degree to which the bound polymer is bound to the surface of the substrate is quantified by the chloroform dissolution index R. The details of the chloroform dissolution index R will be described later.
  • the bound polymer layer may have a portion that is not firmly adhered to the substrate, but it is preferable that the entire bound polymer layer is firmly adhered to the substrate.
  • thermoplastic resins constituting the binding polymer layer it is preferable that all of them are firmly adhered to the substrate.
  • the thickness of the bound polymer layer is 1 nm or more, preferably 3 nm or more, and more preferably 5 nm or more.
  • the thickness of the bound polymer layer is 20 nm or less, preferably 15 nm or less, and more preferably 12 nm or less. With such a thickness, it is easy to obtain sufficient adhesive force between the substrate and the binding polymer layer, and when another layer is adhered on the binding polymer layer, the binding polymer layer-with the other layer. Sufficient interfacial adhesion is likely to occur between them.
  • the binding polymer layer may have the above thickness at least in a part of the region.
  • the bound polymer layer has the above thickness in a region of 1 mm ⁇ 1 mm or more, the bound polymer layer in at least that region can be well bonded to the adherend, resulting in high adhesive strength. It will be realized.
  • the thickness of the bound polymer layer can be determined based on, for example, X-ray reflectance measurement and ellipsometry measurement.
  • the binding polymer layer contains a thermoplastic resin.
  • Thermoplastic resin is a general term for resins that soften and have plasticity when heated to an appropriate temperature, and solidify when cooled. Thermoplastics usually soften when they reach the glass transition temperature or melting point.
  • the thermoplastic resin includes a reactive thermoplastic resin having a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group.
  • the thermoplastic resin may contain a thermoplastic resin other than the reactive thermoplastic resin.
  • the bound polymer layer is composed of the thermoplastic resin
  • the polymer chains of each thermoplastic resin in the bound polymer layer are thermodynamic. A stable formation can be obtained, and as a result, the internal stress accumulated in the bound polymer layer is reduced.
  • the reactive thermoplastic resin is adsorbed or bonded to the surface of the substrate and bound to the surface of the substrate, and has a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group in its molecular structure.
  • the reactive group is a functional group having reactivity with the material constituting the surface of the adherend to be adhered to the adhesive substrate. A strong adhesive force is developed by reacting with the surface of the adherend via this reactive group to form a covalent bond.
  • the silane coupling agent described in the section of background art is different from the reactive thermoplastic resin of the present embodiment.
  • the silane coupling agent has 3 Si—O—CH groups and 5 Si—O— C 2H groups in the molecule that bind to the inorganic material, and also has functional groups such as an amino group and an epoxy group that bind to the organic material. ..
  • the silane coupling agent is different from the reactive thermoplastic resin of the present embodiment in that it is not a thermoplastic resin. Due to the property of thermoplasticity, the reactive thermoplastic resin in the present embodiment is interposed between the substrate and the adherend and functions as a stress relaxation layer for both, thereby providing a high degree of adhesive strength.
  • the silane coupling agent has 3 Si—O—CH groups and 5 Si—O— C 2H groups as bonding groups with the surface of the substrate.
  • the methyl group and ethyl group of these groups are desorbed to generate SiOH, which adsorbs or reacts with the surface of the substrate and binds in the form of Si—O— [surface of the substrate].
  • this form of bonding has a problem that when water invades the bonding interface, hydrolysis is likely to occur and the adhesive force is lowered.
  • the reactive thermoplastic resin of the present embodiment does not contain a molecular structure having an —MO— group (M is Si or Ti) at the terminal.
  • the weight average molecular weight of the reactive thermoplastic resin is preferably 10,000 to 1,000,000, more preferably 30,000 to 500,000.
  • the molecular weight distribution Mw / Mn of the reactive thermoplastic resin is preferably 1 to 5, more preferably 1 to 3.
  • the main component of the resin constituting the bound polymer layer is a thermoplastic resin.
  • the proportion of the thermoplastic resin in the resin constituting the bound polymer layer is preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, most preferably 90% by mass or more, and may be 100% by mass. .. In this way, since the bound polymer layer is substantially composed of the thermoplastic resin, the stress generated by the bonding of the interface between the substrate and the bound polymer layer of different materials can be effectively relieved.
  • the binding polymer layer may be composed of a reactive thermoplastic resin and a thermoplastic resin other than the reactive thermoplastic resin. In this way, while the reactive thermoplastic resin binds to the adherend, the stress generated by the bonding of the dissimilar material interface between the substrate and the bound polymer layer due to the portion occupied by the thermoplastic resin other than the reactive thermoplastic resin is further increased. It can be effectively mitigated.
  • thermoplastic resin is not particularly limited. Any thermoplastic resin can be used as long as it can be adsorbed or bonded to the surface of the substrate to form a bound polymer layer. Specific examples of the thermoplastic resin include polyethylene, polypropylene, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polystyrene, polyurethane, polytetrafluoroethylene, ABS resin (acrylonitrile butadiene styrene resin), styrene acrylonitrile copolymer, poly (meth) acrylic acid, and the like.
  • polyester such as polyethylene terephthalate, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyhydroxystyrene, novolak type phenol resin and the like.
  • thermoplastic resin Part or all of the thermoplastic resin is a reactive thermoplastic resin having a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group.
  • a reactive thermoplastic resin having a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group.
  • the radical-reactive groups and addition-reactive groups that the reactive thermoplastic resin can have will be described in detail later.
  • the thermoplastic resin can include a reactive thermoplastic resin and a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin.
  • the bound polymer layer can be composed of a reactive thermoplastic resin and a bound polymer other than the reactive thermoplastic resin.
  • the binding polymer is preferably a thermoplastic resin having a main chain skeleton common to the reactive thermoplastic resin.
  • the binding polymer has a main chain skeleton common to the reactive thermoplastic resin, that is, the skeleton of the structural unit having the largest molar ratio among the structural units constituting the main chain of the binding polymer and the main chain of the reactive thermoplastic resin. It means that it is common with the skeleton of the structural unit having the largest molar ratio among the structural units constituting.
  • the reactive thermoplastic resin preferably has an adsorptive group that interacts with the substrate.
  • the presence of the adsorptive group facilitates binding of the reactive thermoplastic resin to the substrate.
  • the reactive thermoplastic resin is a group represented by -COOR 1 (R 1 is a methyl group or an ethyl group), an ester bond, a hydroxy group, a mercapto group, an amino group, an amide group, an epoxy group, or an isocyanate.
  • these adsorptive groups are present in the side chain and / or the terminal of the reactive thermoplastic resin.
  • the adsorptive group may be one that is physically adsorbed on the substrate or one that is chemically adsorbed.
  • a covalent bond may be formed between the adsorptive group and the substrate.
  • the reactive thermoplastic resin As a preferable form of the reactive thermoplastic resin, it has a plurality of functional groups that adsorb or bond to the substrate, and the reactive thermoplastic resin is adsorbed or bonded to the substrate via these multiple functional groups, which is a multisite type reactivity.
  • Examples include thermoplastic resins. By using such a reactive thermoplastic resin, the reactive thermoplastic resin strongly adheres to the surface of the substrate, and it is easy to obtain excellent adhesiveness, water / moisture resistance, heat cycle resistance, and the like.
  • examples of the reactive thermoplastic resin include poly (meth) acrylic acid esters such as methyl poly (meth) acrylate and ethyl poly (meth) acrylate, poly (meth) acrylic acid, and polyvinyl alcohol.
  • polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyhydroxystyrene, novolak type phenol resin and the like are preferable.
  • these reactive thermoplastics may be copolymers.
  • the poly (meth) acrylic acid ester may be a homopolymer of the (meth) acrylic acid ester monomer, or may be a copolymer of the (meth) acrylic acid ester monomer and other monomers. You may.
  • polyvinyl acetate may contain only vinyl acetate structural units, or may contain vinyl acetate structural units and other structural units such as vinyl chloride.
  • polyester such as polyethylene terephthalate is also preferable.
  • the ester bond in the polyester main chain is considered to act as a functional group that adsorbs or binds to the substrate.
  • a reactive group is introduced into at least one of the main chain, side chain, and terminal of these reactive thermoplastic resins.
  • thermoplastic adhesive hot melt type adhesive
  • the reactive thermoplastic resin contains a reactive thermoplastic resin having a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group, and is adsorbed or bonded to the surface of a substrate to chloroform.
  • Those having a dissolution index R of 3% or less can be appropriately selected and used.
  • the thermoplastic adhesive include vinyl acetate resin, polyvinyl alcohol, ethylene vinyl acetate resin, vinyl chloride resin, polyolefin, acrylic resin, polyester, polyamide, cellulose, polyvinylpyrrolidone, and polystyrene. Cyanoacrylate-based and polyvinyl acetal-based are known.
  • Chloroform dissolution index R In the present embodiment, the degree to which the polymer is bound to the substrate can be quantified by the chloroform dissolution index R obtained by the following procedure.
  • the chloroform dissolution index R is preferably 3% or less, more preferably 2% or less, still more preferably 1% or less.
  • the following procedure can be performed at room temperature (25 ° C.).
  • ⁇ Procedure> ⁇ Process 1 Let D be a measured value obtained by measuring the layer thickness of the bound polymer layer.
  • Chloroform treatment is performed according to the following procedure. (I) Chloroform is placed in a container and the temperature of chloroform is maintained at 25 ° C.
  • steps 1 and 3 the values of D and D'can be obtained based on the X-ray reflectance measurement and the ellipsometry measurement.
  • the type of container and the amount of chloroform may be appropriately selected according to the size and shape of the substrate. That is, a container large enough to hold the substrate may contain a sufficient amount of chloroform to dissolve the polymer not bound to the substrate. In the examples described later, 50 mL of chloroform is placed in a 250 mL glass beaker in consideration of the size of the substrate and the like. In step 2 (ii), at least the bound polymer layer may be in contact with chloroform. At this time, stirring is not necessary as long as the bound polymer layer is in contact with chloroform.
  • step 2 (iii) chloroform remaining on the surface is sucked up using a non-woven cloth, for example, Bencot Clean Wipe manufactured by Asahi Kasei Corporation. At this time, pressure should not be applied to the bound polymer layer as much as possible.
  • the conditions for vacuum drying in step 2 (iii) are not particularly limited as long as chloroform is sufficiently removed.
  • the binding polymer layer can be composed of, for example, a reactive thermoplastic resin and a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin, as described later.
  • the chloroform dissolution index R of the layer (S chain, for example, the PMMA adsorption layer of Example 1 described later) provided by the binding polymer other than the reactive thermoplastic resin in the binding polymer layer is from the viewpoint of adhesive strength. It is preferably 3% or less, but may exceed 3%. "The value of the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer is 3% or less" means that the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer "as a whole", which may be composed of a plurality of types of polymers, is 3% or less. Means that.
  • reaction active portion refers to a site having reactivity with an adherend located on the upper part of the bound polymer layer.
  • the reaction active portion can react with the adherend by, for example, heating or irradiation with light.
  • a bound polymer layer made of a thermoplastic resin other than the reactive thermoplastic resin is formed, and then the reactive group is formed on the bound polymer layer.
  • a method of forming a bound polymer layer with a thermoplastic resin is a method of forming a bound polymer layer with a thermoplastic resin.
  • the reactive group contained in the reactive thermoplastic resin can be a radical reactive group, that is, a group capable of reacting with an adherend by generating radicals by the action of heat and / or light.
  • the generated radicals react with the chemical structure in the adherend (eg, CH bond) to form a covalent bond between the bound polymer layer and the adherend.
  • the reactive group may be present in any of the main chain, side chain, and terminal of the reactive thermoplastic resin.
  • a group containing at least one of the skeletons selected from the group consisting of a benzophenone skeleton, a benzoyl skeleton, an anthraquinone skeleton, and a thioxanthone skeleton (benzoyl skeleton-containing group) can be mentioned. Irradiation with light (typically ultraviolet light) produces radicals from these groups.
  • radical reactive group a thiol group, a vinyl group, a group containing an alkoxyamine skeleton and the like can be mentioned.
  • heat typically produces radicals.
  • Yet another preferred radical reactive group may include a group containing at least one of the bonds selected from the group consisting of disulfide bonds, peroxy bonds and azo bonds.
  • bonds selected from the group consisting of disulfide bonds, peroxy bonds and azo bonds.
  • radicals are typically generated by heat or light.
  • azo bonds radicals are typically generated by irradiation with light.
  • radical reactive group an example of the structural skeleton is described below for reference.
  • the following is merely an indication of the "skeleton", and may have any substituents or may be bonded to other atomic groups as long as radicals are generated by light or heat.
  • the addition-reactive group is a group capable of forming a covalent bond by causing an addition reaction with a functional group in an adherend.
  • the addition reactive group is selected from the group consisting of an amino group, an amide group, a carboxyl group, a hydroxyl group, an epoxy group, an oxetanyl group, a thiol group, an isocyanate group, an acid anhydride group and a maleimide group.
  • the addition reactive group may be an azide group (-N 3 ), a thiol group, or the like.
  • the azide group undergoes a cycloaddition reaction with an alkyne (carbon-carbon triple bond) to form a 1,2,3-triazole ring.
  • Thiol groups react with alkenes (carbon-carbon double bonds). That is, by adopting an azido group (-N 3 ) or a thiol group as the reactive group of the adhesive substrate and including the alkyne structure or the alkene structure in the adherend, the adhesive substrate and the adherend are strongly strengthened. Can be glued.
  • an alkene or alkyne structure as a reactive group on the side of the adhesive substrate and introduce an azide group or a thiol group on the side of the adherend.
  • the addition-reactive group include an azide group (particularly a phenyl azide group) and a group containing a diazirine skeleton.
  • azide groups nitrene (similar to carbene) is generated by the action of light or heat, and this nitrene reacts with carbon-carbon double bonds, CH bonds, NH bonds, etc. of the adherend. Can form covalent bonds.
  • a group containing an azido group or a diazirine skeleton is characterized by being easily introduced into the polymer terminal.
  • the binding polymer layer can be composed of a reactive thermoplastic resin and a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin.
  • the reactive thermoplastic resin is adsorbed or bonded to the substrate surface region other than the region where the binding polymer other than the reactive thermoplastic resin is adsorbed. This will be described with reference to FIG.
  • the bound polymer layer has a weaker interaction with the substrate than the polymer chain (S chain) whose molecular motion is restricted by particularly strongly interacting (adsorbing or binding) with the substrate.
  • a polymer chain (L chain) capable of some degree of molecular motion can be included.
  • the magnitude of the interaction of the L chain with the substrate is smaller than the magnitude of the interaction between the S chain and the substrate, but a part of the L chain itself can be adsorbed or bonded to the substrate. That is, in the bound polymer layer, the L chain can be adsorbed or bonded to the substrate surface region other than the region where the S chain is adsorbed or bonded.
  • the L chain can move molecularly relatively freely while a part of it is adsorbed or bonded to the substrate. Therefore, it is considered that by using at least the L chain as the reactive thermoplastic resin, the reactive groups of the reactive thermoplastic resin can easily react with the chemical structure in the adherend, and stronger adhesive force can be obtained. Be done.
  • the S chain may be a reactive thermoplastic resin or a resin other than the reactive thermoplastic resin.
  • thermoplastic resin As a method for adsorbing or binding the reactive thermoplastic resin to the substrate surface region other than the region where the binding polymer other than the reactive thermoplastic resin is adsorbed in the substrate surface region, for example, as in the examples below, first As a thermoplastic resin, a method of forming a bound polymer layer on the surface of a substrate using only a thermoplastic resin that is not a reactive thermoplastic resin and then forming a bound polymer layer using a reactive thermoplastic resin is possible. Can be mentioned. By such a method, an adhesive substrate in which the S chain in FIG. 2 is a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin and the L chain is a reactive thermoplastic resin can be obtained.
  • Another method is to prepare a composition in which a reactive thermoplastic resin and a thermoplastic resin that is not a reactive thermoplastic resin are blended, and apply this composition to the substrate.
  • the reactive thermoplastic resin migrates to the surface during coating more than the non-reactive thermoplastic resin. Specifically, by making the molecular weight of the reactive thermoplastic resin smaller than the molecular weight of the thermoplastic resin that is not the reactive thermoplastic resin, migration can be promoted.
  • the thickness of the reactive thermoplastic resin ( L chain) is TL.
  • the thickness TS of the binding polymer ( S chain) preferably satisfies 1 or 2 or more of the following. By appropriately adjusting these values, the interaction with the substrate and the interaction with the adherend can be highly balanced.
  • -TL preferably 0.5 to 10 nm, more preferably 0.5 to 5 nm, still more preferably 0.5 to 3 nm.
  • TS preferably 0.5 to 10 nm, more preferably 0.5 to 8 nm, still more preferably 1 to 5 nm.
  • -TL / TS preferably 0.1 to 2, more preferably 0.2 to 1.5, still more preferably 0.3 to 1.5.
  • a binding polymer (S) other than the reactive thermoplastic resin (L chain) and the reactive thermoplastic resin is used.
  • the chain can be adsorbed to the substrate together.
  • the reactive thermoplastic resin (L chain) and the bound polymer (S chain) other than the reactive thermoplastic resin are "mixed” and react with the reactive thermoplastic resin (L chain).
  • the binding polymer (S chain) other than the thermoplastic resin does not necessarily form a clearly separated "layer".
  • TL and TS as a kind of "mean" within a region of constant size provided with a bound polymer layer.
  • the thickness of each layer described in the examples below is also a kind of "mean value" based on the X-ray reflectance measurement and the ellipsometry measurement.
  • a binding polymer (S chain) other than the reactive thermoplastic resin is first adsorbed on the substrate as the first step, and then the reactive thermoplastic resin (L) is used as the second step. The chain) is adsorbed.
  • the sum of TS and TL can be measured by performing X-ray reflectance measurement and ellipsometry measurement after the completion of the first step, and the sum of TS and TL is obtained after the completion of the first step.
  • the T L can be obtained by subtracting the T T.
  • the values of TL , TS and TL / TS can be adjusted, for example, by changing the type and molecular weight of the resin (polymer) constituting each layer.
  • the usual tendency is that as the molecular weight of the resin (polymer) increases, the thickness of the layer increases.
  • the values of TL , TS and TL / TS can also be adjusted by sufficiently heating after applying the resin (polymer) to the substrate. According to the findings of the present inventors, the adsorption of the resin (polymer) and the substrate is further promoted by heating, and the film thickness tends to increase.
  • the heating is preferably performed at about T to T + 100 ° C., where the glass transition temperature of the resin (polymer) used is T ° C.
  • the heating time can be, for example, in the range of 1 to 48 hours.
  • the atmosphere during heating is preferably under vacuum or reduced pressure, but may be under normal pressure.
  • the adherend is an object to be adhered to the adhesive substrate.
  • the adherend is not particularly limited as long as it can react with reactive groups distributed on the surface of the bound polymer layer in the adhesive substrate to form a bond.
  • the adherend may be either non-particulate or particulate, but is typically a non-particulate solid. When applied to non-particles, the effects of the present invention are more pronounced.
  • Examples of the adherend include, for example, a plate-shaped or sheet-shaped member, a three-dimensional component having a flat surface or a curved surface, and the like.
  • the adherend may be a laminated body in which a plurality of layers are laminated.
  • the size of the surface of the adherend is not particularly limited, but when applied to a surface having a region of 1 mm ⁇ 1 mm or more, the effect of the present invention can be obtained more remarkably.
  • the adherend is appropriately selected according to the type of reactive group contained in the adhesive substrate. It is preferable that an active group that reacts with a reactive group on the adhesive substrate side to form a covalent bond is present on the adhesive surface of the adherend with the adhesive substrate. That is, when the adhesive substrate has a radical reactive group as a reactive group, it is preferable that an active group forming a covalent bond with the radical reactive group is present in the adherend. When the adhesive substrate has an addition-reactive group as a reactive group, it is preferable that the adherend has an active group that forms a covalent bond with the addition-reactive group. The presence of such an active group stably improves the adhesive force between the adhesive substrate and the adherend.
  • an active group is a CH bond.
  • a covalent bond can be formed by extracting hydrogen from the radical generated from the radical reactive group. High adhesive strength is obtained by forming a covalent bond. From this viewpoint, it is preferable that the surface of the adherend (adhesive surface to the adhesive substrate) is formed of a polymer having a CH bond (organic polymer or the like).
  • the radical-reactive group is a benzoyl skeleton-containing group such as the above-mentioned group containing a benzophenone skeleton, it easily reacts with a CH bond to form a covalent bond due to the high reactivity of the radical. As a result, high adhesive strength is obtained.
  • the adherend contains an organic polymer containing ⁇ -hydrogen.
  • ⁇ -hydrogen is a hydrogen atom bonded to ⁇ -carbon.
  • ⁇ -hydrogen has good reactivity with radicals.
  • the adherend preferably contains at least one of the following hydrogens (i) to (iv), and the following (i) to (iii). ) Is more preferably contained, the hydrogen of the following (i) and / or (ii) is further preferably contained, and the hydrogen of the following (i) is particularly preferable. These hydrogens are easily extracted by radicals to form covalent bonds.
  • Hydrogen (ii) tertiary hydrogen possessed by a carbon atom bonded to a nitrogen atom, that is, hydrogen (iii) secondary hydrogen bonded to a tertiary carbon, that is, hydrogen (iv) primary bonded to a secondary carbon. Hydrogen, that is, hydrogen bonded to primary carbon
  • the adherend may contain any polymer of poly (N-alkyl (meth) acrylamide), poly (N, N-dialkyl (meth) acrylamide), nylon (polyamide) and the like. preferable. Further, it may be a film of an unreacted product or a semi-cured product (B stage state) of a resin composition containing an epoxy resin and a curing agent. Examples of the curing agent in this case include an amine compound and a compound having a carboxy group. As a preferred example, the adherend can be nylon (polyamide). The hydrogen atom in the amide bond reacts with the reactive group (specifically, an addition reactive group such as an epoxy group) contained in the adhesive substrate to develop the adhesive force.
  • the reactive group specifically, an addition reactive group such as an epoxy group
  • the adherend may contain a polymer other than the above.
  • polymers include epoxy resins, polyesters, polyolefins such as poly ( ⁇ -olefin), poly (meth) acrylates and the like.
  • the adherend preferably contains a polymer different from the reactive thermoplastic resin contained in the bound polymer layer in the adhesive substrate.
  • "different” specifically means one or both of the following (i) and (ii).
  • the polymer contained in the adherend does not have the reactive group (radical reactive group or addition reactive group) of the reactive thermoplastic resin.
  • the reactive thermoplastic resin has an epoxy group as a reactive group
  • the polymer contained in the adherend does not have an epoxy group.
  • the main chain skeleton of the polymer contained in the adherend is different from the main chain skeleton of the reactive thermoplastic resin.
  • the skeleton of the unit is different.
  • the adherend may be an organic polymer containing a functional group having reactivity with the addition-reactive group.
  • a functional group having reactivity with the addition-reactive group preferable.
  • An example of a combination of an addition-reactive group and a functional group that reacts with the addition-reactive group will be given in the following first embodiment.
  • the bonded body is a bonded body formed by adhering an adhesive substrate and an adherend.
  • the adherend comprises a compound having a functional group reactive with the reactive group in the adhesive substrate on one surface.
  • the reactive group in the adhesive substrate reacts with the functional group in the adherend to form a covalent bond, whereby the adhesive substrate and the adherend are bonded to each other.
  • Adhesion between the adhesive substrate and the adherend is typically performed by light (preferably ultraviolet light) and / or heat.
  • the conditions of light irradiation and heating are not particularly limited as long as the reactive group consisting of the radical reactive group or the addition reactive group of the bound polymer layer is activated to form a bond with the adherend.
  • the adhesive substrate and the adherend are adhered by light, it is preferable that at least one of the adhesive substrate and the adherend has translucency.
  • Examples of the method for producing the bonded body include a method of producing an adhesive substrate having a bound polymer layer formed on the surface thereof, and then adhering the adhesive substrate to the adherend. Further, a composition containing the binding polymer layer forming material and the adherend forming material is adhered to the substrate surface, then the binding polymer layer forming material is migrated to the substrate surface, and then the reactive group of the binding polymer layer is formed. It is also possible to produce a bonded body in which the adhesive substrate and the adherend are adhered to each other by activating the above to form a covalent bond with the adherend forming material. A more specific aspect of the bonded body will be described in detail in the third embodiment described later.
  • Multilayer joint Between the first adhesive substrate, the second adhesive substrate, and these adhesive substrates, for example, by interposing an adherend between the first adhesive substrate and the second adhesive substrate. It is possible to obtain a multi-layered bonded body in which the adherends interposed therein are laminated.
  • the first adhesive substrate and the second adhesive substrate are the above-mentioned adhesive substrates.
  • the adherend is provided with a first compound having a functional group reactive with the reactive group in the first adhesive substrate on one surface.
  • the reactive group of the first adhesive substrate and the functional group of the first compound react to form a covalent bond.
  • the surface of the bound polymer layer of the second adhesive substrate is adhered to the other surface of the adherend.
  • the adherend comprises a second compound having a functional group reactive with the reactive group in the second adhesive substrate on the other surface.
  • the reactive group of the second adhesive substrate and the functional group of the second compound react to form a covalent bond.
  • the adhesive substrate 1 includes a substrate 11 and a binding polymer layer 12 provided in contact with one surface of the substrate 11.
  • the substrate 11 can be a substrate made of an organic polymer, ceramics, semiconductor or metal.
  • the binding polymer layer 12 is made of a thermoplastic resin that is adsorbed and bound to one surface of the substrate 11.
  • the portion having a thickness of 1 to 20 nm is called a bound polymer layer.
  • the entire layer has a thickness of 1 to 20 nm. Therefore, as shown in the figure, the entire layer provided in contact with one surface of the substrate 11 is used as the binding polymer layer 12.
  • the average thickness of the bound polymer layer 12 in the first embodiment is preferably 1 to 20 nm.
  • the binding polymer layer is a layer that is insoluble or sparingly soluble in a solvent.
  • the value of the chloroform dissolution index R is 3% or less.
  • the thermoplastic resin constituting the binding polymer layer 12 contains a reactive thermoplastic resin.
  • the reactive thermoplastic resin has a plurality of adsorptive groups adsorbed on the substrate 11 and a reactive group composed of a radical reactive group or an addition reactive group in the molecule. Therefore, the reactive thermoplastic resin is adsorbed and fixed to the substrate 11 via a plurality of adsorptive groups, and the reactive groups at the sites not fixed to the substrate 11 are distributed on the surface of the bound polymer layer 12. To form a reactive active part.
  • the reactive group is preferably present at or near the end of the polymer chain of the reactive thermoplastic resin. Further, as another example, it is preferable that the reactive group is present in the loop chain portion of the polymer chain of the reactive thermoplastic resin (the “loop chain portion” is the substrate 11 via a plurality of adsorptive groups. A loop-shaped chain between adsorbing groups adjacent to each other in a polymer chain that is adsorbed and fixed to.). By following these examples, the reactive groups are more easily distributed on the surface of the bound polymer layer 12, and the reaction active portion can be effectively formed.
  • the adhesive substrate 1 is used for forming a structure by adhering it to an adherend.
  • Adhesive The two can be adhered to each other by heating the substrate 1 with the adherend (adhesive) in contact with the substrate 1 or by performing an adhesive treatment such as irradiating an energy ray such as ultraviolet light. ..
  • the adhesion treatment is appropriately selected depending on the type of reactive group and adherend.
  • Examples of the combination of the reactive group and the surface material of the adherend include the following.
  • Example 1 Reactive group Substrate surface material containing at least one skeleton selected from the group consisting of benzophenone skeleton, benzoyl skeleton, anthraquinone skeleton, and thioxanthone skeleton: (I) Compound having ⁇ -hydrogen (hydrogen bonded to ⁇ carbon) (ii) Compound having radically polymerizable double bond
  • radicals are generated by irradiation or heat treatment of reactive groups with light (typically ultraviolet rays).
  • this radical acts on the ⁇ -hydrogen of (i) or the radically polymerizable double bond of (ii), the reactive group and the adherend surface material are covalently bonded.
  • Example 2 Reactive group Any group selected from the group consisting of an amino group (primary amine or secondary amine), a carboxy group, a hydroxyl group, an epoxy group, an oxetanyl group, and a thiol group.
  • a compound having a functional group that reacts with the above reactive group is any group selected from the group consisting of an amino group (primary amine or secondary amine), a carboxy group, a hydroxyl group, an epoxy group, an oxetanyl group, and a thiol group.
  • Example 2 Specific combinations of Example 2 include, for example, the following.
  • Example 2 the reactive group of the reactive thermoplastic resin and the functional group of the adherend surface material undergo an addition reaction to form a covalent bond.
  • the reactive group reacts with the adherend to form a covalent bond, and as a result, the strength of the interface between the bound polymer layer and the adherend is improved. As a result, the adhesive substrate of the present embodiment exhibits a strong adhesive force with the adherend.
  • the adhesive substrate of this embodiment can be produced as follows.
  • a resin composition containing a reactive thermoplastic resin is applied to the surface of the substrate 11.
  • This resin composition may be made of a reactive thermoplastic resin, or may be a reactive thermoplastic resin dissolved or dispersed in a solvent. Further, it may contain a thermoplastic resin other than the reactive thermoplastic resin or another polymer, or may contain other additives, an inorganic filler, or the like as appropriate.
  • the coating method may be any method as long as it can form a thin film, and for example, a method such as spin coating, dispenser, inkjet, slit coating, or screen printing can be used.
  • the wet coating film formed on the surface of the substrate 11 is dried and then heat-treated to obtain a thin film of the reactive thermoplastic resin.
  • the thin film of the reactive thermoplastic resin is washed with a solvent a plurality of times until the film thickness hardly changes.
  • the thin film of the reactive thermoplastic resin is left in contact with the solvent for a predetermined time, for example, about 30 minutes to 5 hours, and then washed with a cleaning liquid such as pure water.
  • a cleaning liquid such as pure water.
  • the solvent for example, chloroform or toluene can be used.
  • an adhesive substrate having a binding polymer layer made of a reactive thermoplastic resin can be obtained.
  • the layer structure in the second embodiment, in which the second embodiment is described with reference to FIGS. 4 and 5, is the same as that shown in FIG.
  • the difference between the adhesive substrate of the second embodiment and the adhesive substrate of the first embodiment is the structure of the binding polymer layer 12.
  • the adhesive substrate 1 includes a substrate 11 and a binding polymer layer 12 provided in contact with one surface of the substrate 11.
  • the substrate 11 can be a substrate made of an organic polymer, ceramics, semiconductor or metal.
  • the binding polymer layer 12 is made of a thermoplastic resin that is adsorbed and bound to one surface of the substrate 11.
  • the average thickness of the bound polymer layer 12 is preferably 1 to 20 nm.
  • the binding polymer layer is a layer that is insoluble or sparingly soluble in a solvent.
  • the value of the chloroform dissolution index R is 3% or less.
  • the binding polymer layer 12 contains a first thermoplastic resin 41 and a second thermoplastic resin 42 that are adsorbed and bound to one surface of the substrate 11.
  • the first thermoplastic resin 41 has an adsorptive group A adsorbed on one surface of the substrate 11 in its molecule, but does not have a reactive group consisting of a radical reactive group or an addition reactive group. good.
  • the second thermoplastic resin 42 has a reactive group B composed of a radical reactive group or an addition reactive group in its molecule, and also has an adsorptive group A adsorbed on one surface of the substrate 11.
  • the first thermoplastic resin 41 is adsorbed on the first region on one surface of the substrate 11, and the second thermoplastic resin 42 is adsorbed on the second region other than the first region on the same surface. Since the second thermoplastic resin 42 having a reactive group is adsorbed on a limited region of a part of the surface of the substrate 11, a part of the molecular chain of the second thermoplastic resin 42 is adsorbed on the surface of the substrate 11. It becomes easy to take a form in which the remaining portion is separated from the surface of the substrate 11. As a result, as shown in FIG. 4, the reactive group B of the second thermoplastic resin 42 is located at a position away from the surface of the substrate 11.
  • the second thermoplastic resin 42 is adsorbed and fixed to the substrate 11 via a plurality of adsorptive groups A, and the reactive group B at a portion not fixed to the substrate 11 is attached to the surface of the bound polymer layer 12. It is distributed to form a reactive part.
  • a preferred example of the second thermoplastic resin 42 is a polymer having a structural unit having an adsorptive group (in the case of a poly (meth) acrylic acid ester, an ester group) such as a poly (meth) acrylic acid ester. Be done. As described above, such a polymer functions as a multi-site type polymer having a plurality of sites adsorbed on the surface of the substrate, and strongly adsorbs on the surface of the substrate 11. However, when such a multisite type polymer is used, if only the second thermoplastic resin 42 is adsorbed on the surface of the substrate 11 as it is, the form of the second thermoplastic resin 42 adsorbed on the substrate 11 is shown in FIG. It tends to be the form shown in a).
  • the second thermoplastic resin 42 is adsorbed on the substrate 11.
  • the form of the second thermoplastic resin 42 is likely to be the form shown in FIG. 5 (b). That is, a plurality of adsorptive groups contained in a part of the polymer chain of the second thermoplastic resin 42 are adsorbed on the substrate 11, and the other part of the polymer chain is not bound to the substrate 11 and becomes a free state.
  • the reactive group is present in the portion of the polymer chain of the second thermoplastic resin 42 that is not bound to the substrate 11, the reactivity with the functional group existing on the surface of the adherend is remarkably improved. As a result, the adhesive force between the substrate 11 and the adherend is improved. Further, in the structure shown in FIG. 4, the portion occupied by the second thermoplastic resin 42 can effectively relieve the stress caused by the bonding of the interface between the different materials of the substrate 11 and the bound polymer layer, and from this point as well, the substrate can be effectively relaxed. The adhesive force between 11 and the adherend is improved.
  • the first thermoplastic resin 41 and the second thermoplastic resin 42 are both multisite type polymers.
  • the multisite type polymer By using the multisite type polymer, a bound polymer layer that is strongly adhered to the surface of the substrate 11 can be realized, and as a result, the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer is significantly reduced. Examples of such multisite polymers are as described above.
  • the form in which the first thermoplastic resin 41 is adsorbed on the surface of the substrate 11 and the second thermoplastic resin 42 is adsorbed in a limited manner in the region where the first thermoplastic resin 41 is not adsorbed is as follows. Can be made. First, the resin composition containing the first thermoplastic resin 41 is applied to the surface of the substrate 11. This resin composition may consist of the first thermoplastic resin 41, or the first thermoplastic resin 41 may be dissolved or dispersed in a solvent. Further, it may contain a thermoplastic resin other than the first thermoplastic resin 41 or another polymer, or may contain other additives or inorganic fillers as appropriate.
  • the coating method may be any method as long as it can form a thin film, and for example, a method such as spin coating, dispenser, inkjet, slit coating, or screen printing can be used.
  • the wet coating film formed on the surface of the substrate 11 is dried and then heat-treated to obtain a thin film of the first thermoplastic resin 41.
  • the thin film of the first thermoplastic resin 41 is washed with a solvent multiple times until the film thickness hardly changes. As a result, the binding layer made of the first thermoplastic resin 41 is formed.
  • the solvent for example, chloroform can be used.
  • a resin composition containing the second thermoplastic resin 42 is applied to the surface of the substrate 11 from above the binding layer.
  • This resin composition may be made of the second thermoplastic resin 42, or the second thermoplastic resin 42 may be dissolved or dispersed in a solvent. Further, it may contain a thermoplastic resin other than the second thermoplastic resin 42 or another polymer, or may contain other additives or inorganic fillers as appropriate.
  • the coating method may be any method as long as it can form a thin film, and for example, a method such as spin coating, dispenser, inkjet, slit coating, or screen printing can be used.
  • the coating film of the second thermoplastic resin 42 is dried and then heat-treated to obtain a thin film of the second thermoplastic resin 42.
  • the binding layer made of the first thermoplastic resin 41 has a gap when viewed on a molecular scale, and a thin film of the second thermoplastic resin 42 is formed in a form in which the polymer chain of the second thermoplastic resin 42 penetrates into the gap.
  • the thin film of the second thermoplastic resin 42 is washed with a solvent a plurality of times until the film thickness hardly changes.
  • a solvent for example, chloroform can be used.
  • the bound polymer layer 12 composed of the first thermoplastic resin 41 and the second thermoplastic resin 42 is formed.
  • the obtained bound polymer layer 12 has the structure schematically shown in FIG.
  • the binding layer made of the first thermoplastic resin 41 has a gap on the molecular scale, and the polymer chain of the second thermoplastic resin 42 penetrates into this gap. Therefore, a plurality of adsorptive groups contained in a part of the polymer chain of the second thermoplastic resin 42 are adsorbed on the substrate 11, and the other part of the polymer chain is not bound to the substrate 11 and becomes a free state. ..
  • FIG. 6 is a diagram for exemplifying the layer structure of the bonded body.
  • the bonded body 300 has a layered structure including an adhesive substrate 100 and an adherend 150 bonded to the adhesive substrate 100.
  • the adhesive substrate 1 described in the second embodiment is prepared, and the adherend is bonded to the adhesive substrate 1.
  • a reaction active portion made of a reactive group of the second thermoplastic resin 42 is formed on the surface of the adhesive substrate 1 described in the second embodiment.
  • the adherend 150 there is a compound having a functional group that reacts with the above-mentioned reactive group to form a chemical bond. Therefore, by preparing the adhesive substrate described in the second embodiment and irradiating or heat-treating the adherend with the adherend in contact with the adhesive substrate, the reaction active portion and the adherend of the adhesive substrate are subjected to light irradiation or heat treatment. Reacts with the functional groups on the surface of the to form a covalent bond.
  • the structure thus obtained is the bonded body 300 of the present embodiment.
  • Examples of the method for manufacturing the bonded body 300 include a method of producing an adhesive substrate 100 having a bound polymer layer formed on its surface and then adhering the adhesive substrate 100 and the adherend 150.
  • the binding polymer layer forming material is migrated to the substrate surface, and further, the binding polymer layer is further subjected to.
  • the adhesive resin composition containing the binding polymer layer forming material and the adherend forming material includes the binding polymer layer forming component and the adherend forming component. This resin composition may be either liquid or solid.
  • the adhesive resin composition When the adhesive resin composition is a liquid composition, it may be a one-component composition containing both a binding polymer layer forming material and an adherend forming material, or may be adhered to a liquid A containing a binding polymer layer forming material. It may be a two-component composition containing a liquid B containing a body-forming material.
  • the adhesive resin composition When the adhesive resin composition is a liquid composition, the adhesive resin composition may be a varnish-like composition in which a binding polymer layer forming material and / or an adherend forming material is dissolved or dispersed in a solvent. These may be a composition suspended in water or dispersed in the form of an emulsion.
  • the adhesive resin composition When the adhesive resin composition is a solid composition, examples thereof include sheets, plates, particles and the like.
  • FIG. 7 is a diagram for exemplifying the layer structure of the multilayer bonded body according to the fourth embodiment.
  • the multilayer bonded body 400 has a layered structure including a first adhesive substrate 100, a second adhesive substrate 200, and an adherend 150 interposed between these adhesive substrates.
  • the multilayer bonded body 300 is obtained by preparing two adhesive substrates described in the second embodiment and adhering them with an adherend sandwiched between them. That is, both the first adhesive substrate 100 and the second adhesive substrate 200 have basically the same structure as the adhesive substrate described in the second embodiment and are present on the surface of the adhesive substrate.
  • the reactive group reacts with the surface of the adherend 150.
  • a reaction active portion made of a reactive group of the second thermoplastic resin 42 is formed on the surface of the adhesive substrate 1 described in the second embodiment.
  • the adherend sandwiched between them there are compounds having functional groups that react with the above-mentioned reactive groups to form chemical bonds. Therefore, two adhesive substrates described in the second embodiment are prepared, and an adherend is sandwiched between them and irradiated with light or heat-treated to cover the reaction active portion of the adhesive substrate and the surface of the adherend. It reacts with a functional group to form a covalent bond.
  • the structure thus obtained is the multilayer joint 400 of the fourth embodiment.
  • the field of application of the adhesive technique described in the present specification is not particularly limited.
  • the adhesive substrate described in the present specification can be applied to all products for joining a substrate and an organic resin.
  • Typical examples of applicable fields include the following.
  • Adhesion of parts and components used in transportation equipment such as automobiles, railroads, and aircraft
  • Adhesion of building components such as building materials and materials
  • Adhesion of components used in structures such as roads and bridges
  • Semiconductor elements Adhesion of parts and components when manufacturing packages and semiconductor products including these
  • Adhesion of parts and components when manufacturing electronic parts such as wiring boards and electronic circuit units ⁇ Manufacturing electrical appliances, daily necessities, furniture, etc.
  • Adhesion of parts and components and components are used in transportation equipment such as automobiles, railroads, and aircraft .
  • Adhesion of building components such as building materials and materials
  • Adhesion of components used in structures such as roads and bridges
  • Semiconductor elements Adhesion of parts and components when manufacturing packages and semiconductor products including these
  • TSKgel guard column MP (XL) (inner diameter 6.0 mm x length 4 cm, manufactured by Tosoh), TSKgel Multipore HXL-M x 3 (inner diameter 7.8 mm x length 30 cm, manufactured by Tosoh)
  • Eluent Tetrahydrofuran
  • Detector Differential refractometer, UV-visible absorbance detector
  • Example 1 (Overview) In Example 1, the following adhesive substrate and the adherend were adhered to each other.
  • -Adhesive substrate An adhesive substrate is formed on the surface of a Si substrate, which is a substrate, by using a thermoplastic resin layer (including a radical reactive group) composed of L-chain and S-chain PMMA as a binding polymer layer.
  • Adhesive polypropylene sheet
  • a PMMA adsorption layer (PMMA of S chain) was first formed, and then a PBP adsorption layer having a reactive group (containing a benzophenone structure) was formed on the surface thereof.
  • PMMA of S chain a PMMA adsorption layer
  • PBP adsorption layer having a reactive group containing a benzophenone structure
  • the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer was 3% or less.
  • the bound polymer layer is schematically considered to have the structure shown in FIG. That is, reactive groups (containing a benzophenone structure) are distributed on the surface of the bound polymer layer to form a reactive active portion, and adhesiveness is exhibited.
  • PMMA polymethylmethacrylate
  • PMMA polymethylmethacrylate
  • the number average molecular weight of this was 300 k, and the degree of dispersion was 1.05.
  • the methacrylate polymer (PBP) containing a benzophenone group the one obtained by performing monomer synthesis and polymer synthesis as follows was used.
  • Monomer synthesis The monomer 3-methacryloxy-2-hydroxybenzophenone (BP) was synthesized from the reaction of the epoxy group of glycodyl methyllate (GMA) with the hydroxy group of 4-hydroxybenzophenone (4-HBP). Specifically, GMA (0.2 mol, 28.4 g), 4-HBP (0.22 mol, 43.6 g) and tetramethylammonium chloride (TMC) (1.0 wt%, 0.72 g) are placed in an eggplant flask. The mixture was stirred at 358 K for 5 hours.
  • GMA glycodyl methyllate
  • 4-HBP 4-hydroxybenzophenone
  • TMC tetramethylammonium chloride
  • BP 10 mmol, 3.4 g
  • AIBN 9.9 mg, 0.06 mmol
  • anisole 16 mL
  • these mixtures were stirred at 343 K for 2 hours in an oil bath to allow the polymerization to proceed.
  • it was dissolved in chloroform and precipitated in hexane.
  • the reprecipitation operation was repeated twice, and finally the product was dried under reduced pressure for 5 hours.
  • the number average molecular weight of the obtained polymer was 65.4 k, and the dispersity was 2.22.
  • PMMA adsorption layer A toluene solution of PMMA (polymer concentration 3 wt%) was applied onto the evaluation substrate by a spin coating method at 2000 rpm and 60 s, and heat-treated at 455 K (PMMA glass transition temperature + 50 ° C.) for 24 hours under vacuum. .. As a result, a PMMA thin film having a film thickness of about 100 nm was provided on the Si substrate. The PMMA thin film was washed with toluene at least 4 times until the film thickness remained almost unchanged. As described above, the PMMA adsorption layer was provided on the surface of the evaluation substrate. The thickness of the PMMA adsorption layer evaluated based on the X-ray reflectance measurement and the ellipsometry measurement was 7 nm.
  • the PBP adsorption layer was formed. That is, by first providing the PMMA adsorption layer having no reactive group and then providing the PBP adsorption layer having the reactive group, the substrate surface region other than the region where PMMA is adsorbed (PMMA adsorption layer is viewed on a molecular scale).
  • the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer (the chloroform dissolution index R of the bound polymer layer as a whole) is such that PBP is adsorbed on the gap portion) and the reactive groups (containing the benzophenone structure) are distributed on the surface to form the reaction active portion. 3% or less) was obtained.
  • the thickness of this bound polymer layer evaluated based on X-ray reflectance measurement and ellipsometry measurement was 11 nm.
  • Example 1 The treatment of the Si substrate, the preparation and evaluation of the adhesive sample, and the like were carried out in the same procedure as in Example 1 except that the PBP adsorption layer was not formed. That is, an attempt was made to bond the polypropylene sheet molded by hot press and the PMMA adsorption layer. However, when the adhesive sample was slowly cooled to room temperature, the polypropylene sheet was immediately peeled off.
  • Example 2 (Overview) In Example 2, the adherend was sandwiched between the following first adhesive substrate and the second adhesive substrate and adhered to obtain a multilayer bonded body.
  • a silicon substrate was used as the first adhesive substrate, and a thermoplastic resin layer composed of L-chain and S-chain PMMA was used as the binding polymer layer to form the first adhesive substrate.
  • -Second adhesive substrate A quartz substrate was used as a substrate, and a thermoplastic resin layer composed of L-chain and S-chain PMMA was used as a binding polymer layer to form a second adhesive substrate.
  • -Applied body A nylon sheet was used as the adherend.
  • Both the first adhesive substrate and the second adhesive substrate are produced by the following procedure. First, a PMMA adsorption layer (PMMA of S chain) is formed, and then a PBP adsorption layer having a reactive group (containing a benzophenone structure) is formed on the surface thereof. This gives a bound polymer layer. Reactive groups (containing a benzophenone structure) are distributed on the surfaces of the bound polymer layer of the first adhesive substrate and the second adhesive substrate to form a reaction active portion, and adhesiveness is exhibited. As will be described later, the chloroform dissolution index R of each bound polymer layer was 0%.
  • This bonded body includes the adhesive interface between the first adhesive substrate and the adherend, and the adhesive interface between the second adhesive substrate and the adherend.
  • the silicon substrate and the quartz substrate are a pair of adherends, and the portion sandwiched between them is an adhesive layer. That is, the silicon substrate is formed by an adhesive layer made of a laminate of a thermoplastic resin layer made of PMMA contained in the first adhesive substrate, nylon, and a thermoplastic resin layer made of PMMA contained in the second adhesive base. It can also be grasped as a structure in which a quartz substrate is adhered.
  • a bound polymer layer composed of a PMMA adsorption layer and a PBP adsorption layer was provided on a quartz substrate according to the procedure of Example 1. Further, in the same manner as in Example 1, a bound polymer layer composed of a PMMA adsorption layer and a PBP adsorption layer was provided on the Si substrate treated with piranha. The value of the chloroform dissolution index R of both the bound polymer layer on the quartz substrate and the bound polymer layer on the Si substrate was 0%.
  • Nylon 6 film was sandwiched between the above-mentioned adsorption layer provided on the quartz substrate and the above-mentioned adsorption layer provided on the Si substrate to obtain a laminated structure.
  • a solution having a dry film thickness of 23.9 ⁇ 0.8 ⁇ m prepared by a solvent casting method from a solution of hexafluoro-2-propanol (HFIP) having a polymer concentration of 3 wt% was used.
  • HFIP hexafluoro-2-propanol
  • the quartz substrate and the Si substrate were strongly adhered to each other via Nylon6.
  • a shearing force was applied to pull them off with tweezers, cohesive fracture of the quartz substrate and the Si substrate occurred.
  • the bound polymer layer was formed by reversing the formation order of the PMMA adsorption layer and the PBP adsorption layer in Example 1. Formed.
  • the specific procedure is as follows. The PMMA and PBP used below are the same as in Example 1.
  • the PMMA adsorption layer was formed. That is, by first providing a PBP adsorption layer having a reactive group and then providing a PMMA adsorption layer having no reactive group, a substrate surface region other than the region where PBP is adsorbed (PBP adsorption layer is viewed on a molecular scale). PMMA was adsorbed on the gap portion) to obtain a bound polymer layer (chloroform dissolution index R of 3% or less) in which the reactive group (containing a benzophenone structure) was not distributed on the surface.
  • the total thickness of the bound polymer layer including the PBP adsorption layer and the PMMA adsorption layer which was evaluated based on the X-ray reflectance measurement and the polarization analysis measurement, was 4.8 nm.
  • Example 3 (Overview) In Examples 1 and 2, the adhesive substrate was constructed by using a thermoplastic resin layer containing a radical reactive group, but in Example 3, an addition reactive group (specifically, an epoxy) was used as the thermoplastic resin layer. An adhesive substrate was constructed using the one containing the group). That is, in Example 3, the following adhesive substrate and the adherend were adhered to each other. -Adhesive substrate An adhesive substrate provided with a binding polymer layer on the surface of the Si substrate, which is a substrate, was produced. The binding polymer layer includes a polystyrene adsorption layer having no reactive group and a polyglycidyl methacrylate adsorption layer having a reactive group. ⁇ Adhesive nylon 6 film
  • polystyrene a standard polystyrene manufactured by Polymer Source was prepared. The number average molecular weight of this was 235 k, and the dispersity based on GPC measurement was 1.05.
  • the polystyrene toluene solution (polymer concentration 3 wt%) was applied onto the evaluation substrate and heat-treated at 417 K (polystyrene glass transition temperature + 30 ° C.) under vacuum for 24 hours. As a result, a polystyrene thin film was provided on the Si substrate. The Si substrate provided with the polystyrene thin film was immersed in chloroform for 30 minutes repeatedly 7 times.
  • a polystyrene adsorption layer having a chloroform dissolution index R of 0% was provided on the surface of the evaluation substrate.
  • the thickness of the polystyrene adsorption layer evaluated based on the X-ray reflectance measurement and the ellipsometry measurement was 4.1 nm.
  • Polymer synthesis to form a polyglycidyl methacrylate adsorption layer Polyglycidyl methacrylate (PGMA) was synthesized by free radical polymerization using azobis (isobutyrontile) (AIBN) as an initiator.
  • AIBN azobis (isobutyrontile)
  • the specific procedure is as follows. First, commercially available glycidyl methacrylate (GMA) monomer (150 mmol, 21.3 g) and AIBN (0.25 mg, 1.5 mmol) were added to tetrahydrofuran (66.8 mL), and bubbling was performed with nitrogen gas. This gave a mixture. Next, the obtained mixture was stirred in an oil bath at 333K for 2 hours to allow the polymerization to proceed.
  • GMA glycidyl methacrylate
  • AIBN azobis (isobutyrontile)
  • the polyglycidyl methacrylate adsorption layer was formed. That is, by first providing a polystyrene adsorption layer having no reactive group and then providing a polyglycidyl methacrylate adsorption layer having a reactive group, a substrate surface region other than the region on which the polystyrene is adsorbed (the polystyrene adsorption layer is molecular scale). Polyglycidyl methacrylate is adsorbed on the gap portion when viewed in (1), and reactive groups (epoxide groups) are distributed on the surface to form a reaction active part.
  • the index R is 3% or less).
  • this bound polymer layer (total of polystyrene adsorption layer and polyglycidyl methacrylate adsorption layer) evaluated based on X-ray reflectance measurement and polarization analysis measurement was 15.1 nm.
  • Adhesive test 1 A nylon 6 film was placed on the polyglycidyl methacrylate adsorption layer of the adhesive substrate obtained above. Further, from above, the substrate having the polystyrene adsorption layer obtained as described above (formation of the polystyrene adsorption layer) is placed so that the polystyrene adsorption layer is in contact with the nylon 6 film, and the nylon 6 film is placed 2 It was sandwiched between sheets of substrate. Then, it was heat-treated at 200 ° C. for 10 minutes. In this way, an evaluation joint was obtained.
  • an evaluation bonded body having a layer structure of [base-polystyrene adsorption layer-polyglycidyl methacrylate adsorption layer]-[nylon 6]-[polystyrene adsorption layer-base] was obtained.
  • the obtained evaluation joint was attempted to be peeled (broken) with tweezers. Peeling (breaking) occurred between the nylon 6 film-polystyrene adsorption layer and not between the nylon 6 film-polyglycidyl methacrylate adsorption layer.
  • the nylon 6 film was firmly adhered to the polyglycidyl methacrylate adsorption layer.
  • Adhesive test 2 An evaluation bonded body was obtained in the same manner as in Adhesion Test 1 above, except that a piranha-treated Si wafer (a polymer layer was not formed) was used instead of the substrate having the polystyrene adsorption layer. That is, an evaluation bonded body having a layer structure of [base-polystyrene adsorption layer-polyglycidyl methacrylate adsorption layer]-[nylon 6]-[base] was obtained. The obtained evaluation joint was attempted to be peeled (broken) with tweezers.
  • Example 4 In Example 4, as in Example 3, an adhesive substrate was formed by using a thermoplastic resin layer containing an addition-reactive group (specifically, an epoxy group). An adhesive substrate was obtained in the same manner as in Example 3 except that a phenol novolac type epoxy resin (“EPICLON® N-775” manufactured by DIC Corporation) was used instead of polyglycidyl methacrylate. That is, on the Si substrate, the phenol novolac type epoxy resin is adsorbed on the substrate surface region (the gap portion when the polystyrene adsorption layer is viewed on a molecular scale) other than the region where the polystyrene is adsorbed, and the reactive group (epoxy group) is adsorbed.
  • a phenol novolac type epoxy resin (“EPICLON® N-775” manufactured by DIC Corporation) was used instead of polyglycidyl methacrylate. That is, on the Si substrate, the phenol novolac type epoxy resin is adsorbed on the substrate surface region (the gap portion when
  • This bound polymer layer (total of polystyrene adsorption layer and phenol novolac type epoxy resin adsorption layer) evaluated based on X-ray reflectance measurement and polarization analysis measurement was 4.1 nm. It is considered that the phenol novolac type epoxy resin adsorption layer was formed extremely thinly.
  • the chloroform dissolution index R of this bound polymer layer was 0%.
  • the adhesive test 1 and the adhesive test 2 were carried out in the same manner as in (Preparation and evaluation of the adhesive sample) in Example 3.
  • peeling (breaking) occurred between the nylon 6 film and the polystyrene adsorption layer, and not between the nylon 6 film and the phenol novolac type epoxy resin adsorption layer.
  • the nylon 6 film was firmly adhered to the phenol novolac type epoxy resin adsorption layer.
  • peeling (breaking) occurred between the nylon 6 film and the Si wafer, and did not occur between the nylon 6 film and the phenol novolac type epoxy resin adsorption layer.
  • the nylon 6 film was firmly adhered to the phenol novolac type epoxy resin adsorption layer.
  • Comparative Example 2 shows that if the bound polymer layer is too thick, satisfactory adhesiveness cannot be obtained. The details will be described below.
  • Example 5 (Overview)
  • the thermoplastic resin contains a reactive thermoplastic resin and a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin
  • the thickness of the binding polymer (S chain) is changed. The details will be described below.
  • the thickness of the PMMA adsorption layer changed within the range of approximately 2.0 to 3.4 nm. Basically, when the treatment time was lengthened, the PMMA adsorption layer tended to become thicker.
  • Example 2 Using the evaluation substrates having PMMA adsorption layers of various thicknesses obtained as described above, the adhesiveness was evaluated in the same manner as in Example 1 (preparation and evaluation of adhesive sample). Similar to Example 1, the result was that the polypropylene sheet adhered strongly to the Si substrate. That is, even in Example 5, excellent adhesive strength was obtained.
  • thermoplastic resin contains a reactive thermoplastic resin and a binding polymer other than the reactive thermoplastic resin
  • the thickness of the reactive thermoplastic resin (L chain) and / or the binding is shown. The details will be described below.
  • the spin coat rotation speed was changed to 3000 rpm instead of 2000 rpm
  • the heat treatment time was changed to 0 to 80 hours instead of 24 hours
  • the PMMA thin film was washed with toluene.
  • the chloroform dissolution index R of the PMMA adsorption layer was also 0%.
  • the table below shows the thickness of the PMMA adsorption layer, the thickness of the PBP adsorption layer, and the ratio of these thicknesses (PBP adsorption layer / PMMA adsorption layer) in the adhesive substrate formed as described above.
  • the spin coat rotation speed was changed to 3000 rpm instead of 2000 rpm
  • the heat treatment time was changed to 0 to 80 hours instead of 24 hours
  • the PMMA thin film was formed.
  • the same as in Example 1 the materials used were all the same as in Example 1) except that the washing was performed with chloroform instead of toluene, and the bound polymer layer having a chloroform dissolution index R value of 0% was formed.
  • the formed adhesive substrate was obtained.
  • the chloroform dissolution index R of the PMMA adsorption layer was also 0%.
  • the thickness of the PMMA adsorption layer, the thickness of the PBP adsorption layer, and the ratio of these thicknesses (PBP adsorption layer / PMMA adsorption layer) in the obtained adhesive substrate are shown in the table below.
  • the thickness of the PMMA adsorption layer could be changed by changing the heat treatment time when forming the PMMA adsorption layer. Specifically, the longer the heat treatment time, the thicker the PMMA layer could be obtained. It is considered that this is because the heat treatment promoted the adsorption and adsorption of PMMA on the substrate.
  • the thickness of the PBP adsorption layer in Table 2 was about twice the thickness of the PBP adsorption layer in Table 3. It is understood that the thickness of the PBP adsorption layer (L chain) can be changed by changing the molecular weight of the polymer used.
  • Example 6 Using the evaluation substrate having the PMMA adsorption layer and the PBP adsorption layer of various thicknesses described above, the adhesiveness was evaluated in the same manner as in Example 1 (Preparation and evaluation of adhesive sample). Similar to Example 1, the result was that the polypropylene sheet adhered strongly to the Si substrate. That is, even in Example 6, excellent adhesive strength was obtained.
  • Adhesive substrate 11 Substrate 12 Bound polymer layer 41 First thermoplastic resin 42 Second thermoplastic resin 100
  • Adhesive substrate (first adhesive substrate) 150
  • Adhesive body 200
  • Adhesive substrate (second adhesive substrate) 300
  • Bonded body 400
  • Multilayer bonded body A Adsorbent group B Reactive group

Landscapes

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Abstract

被着体に接着させて構造体を形成する用途に用いられる接着性基体。この接着性基体は、基体と、基体の表面に吸着または結合して表面に束縛された熱可塑性樹脂により構成された、厚み1~20nmの束縛ポリマー層と、を含む。ここでの熱可塑性樹脂は、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含む。反応性基は、束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成している。

Description

接着性基体、接合体、多層接合体および接着方法
 本発明は、接着性基体、接合体、多層接合体、接着方法などの接着技術に関する。
 近年、先進的運転者支援システムや自動運転等の次世代モビリティの技術開発が盛んに進められている。こうした技術開発において、接着技術は重要な基盤技術の一つとして位置付けられている。
 人命に関わる次世代モビリティに適用される接着技術には、高度な信頼性が求められる。従来の接着技術よりも数段高い接着強度と耐久性を実現することが必須となる。また、従来の接着技術では十分に接着することが困難であった被着体も接着できる技術が求められる。
 接着の技術分野においては、接着力を向上させるための様々な検討が行われてきた。
 特許文献1には、エポキシ基を有するシランカップリング剤とアミノアルコールの反応生成物からなることを特徴とする変性シランカップリング剤が記載されている。特許文献1の記載によれば、この変性シランカップリング剤は、無機物への優れた接着促進性を有するとされている。
 特許文献2には、基板層、金属酸化物表面を有する金属層、特定の一般式で表されるベンゾフェノン骨格とシランカップリング基を有する化合物層および熱可塑性高分子層とをこの順で有するウェットエッチング用基板が記載されている。特許文献2の記載によれば、金属酸化物表面を有する金属層と熱可塑性高分子層間を強固に接着することができるとされている。
 特許文献3には、金属の表面にトリアジンチオール化合物を被覆した後、その金属の表面に硬化剤を混合したエポキシ接着剤を塗布し、その金属の表面に上記エポキシ接着剤を介して被着材を接着する金属と被着材との接着方法において、上記エポキシ接着剤を塗布する前に、上記トリアジンチオール化合物を被覆した金属の表面に、1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ基を含むエポキシ化合物を塗布し、次に、そのエポキシ化合物を加熱処理することを特徴とする金属と被着材との接着方法が記載されている。特許文献3の記載によれば、この接着方法により、金属に対してエポキシ接着剤を強固に接着できるとされている。
 特許文献4には、有機チタン化合物および溶媒を含むプライマー組成物が記載されている。特許文献4の記載によれば、このプライマー組成物を用いることで、シリコーンゴムを各種被着体に良好に接着させることができるとされている。
特開2001-192619号公報 特開2011-111636号公報 特開2006-273955号公報 特許第6191571号公報
 しかしながら、特許文献1~4に記載された従来の接着技術では、次世代モビリティに求められるような高い接着強度を実現することは困難である。また、これらの従来の接着技術は、接着困難な素材を接着させるという技術課題に対して充分な解決を提供するものではなかった。
 以上を踏まえ、本発明は、従来にない高い接着強度を実現する、または、接着困難な素材を接着させることのできる、新規な接着システムを提供することを目的とする。
 接着の技術分野においては、破壊モードとして、接着剤と被着体の接合界面での破壊を「界面破壊」、接着剤の内部での破壊を「凝集破壊」と区別し、「凝集破壊」の破壊モードがより強い接着を示すと考えられている。接着力を高めるためには、被着体と接着剤の界面の結合を強めて「凝集破壊」の破壊モードが生じるようにすることが重要であると考えられている。
 これに対して、本発明者は、接着力を高めるためにキーファクターは、被着体と接着剤の界面以外の場所にあると考えた。本発明者は、これまで、接着剤と被着体の接合体を破壊した後の被着体表面の分析や、接着剤硬化体の内部のモルホロジ解析等について多くの研究を行ってきた。この結果、以下の(i)および(ii)に示す新規な知見を得た。
 (i)従来、「界面破壊」とされている破壊モードの多くは、接着剤と被着体の接合界面での破壊ではなく、その接合界面から接着剤の内部方向に離れた箇所での破壊である。破壊後の被着体表面には接着剤の構成材料が分子レベルの厚み(ナノメートルオーダー)で残存する。
 (ii)接着剤の内部には、接合界面から接着剤の内部方向に、典型的には1~20nm離れた箇所、具体的には1~10nm離れた箇所に、接着力の弱い層状の領域が生成される(以下、本明細書では、この層状の領域を「易破壊層」とも記載する)。接着剤と被着体の接合体が界面破壊モードで破壊するとき、接着剤と被着体の接合界面ではなく、「易破壊層」が破壊していると考えられる。
 上記のような易破壊層が生成されることや、易破壊層で破壊が起こることは、従来、知られていなかった。
 本発明者によって見いだされた上記知見を踏まえ、本発明者は、易破壊層の強度を高めることが、接着力を高めるためのキーファクターであるとの結論に至った。
 本発明は、上記易破壊層の強度を高めることにより、接着力を高めるものである。
 本発明によれば、
 被着体に接着させて構造体を形成する用途に用いられる接着性基体であって、
 基体と、
 前記基体の表面に吸着または結合して前記表面に束縛された熱可塑性樹脂により構成された、厚み1~20nmの束縛ポリマー層と、
を含み、
 前記熱可塑性樹脂は、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含み、
 前記反応性基は、前記束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成している、接着性基体
が提供される。
 この接着性基体は、基体の表面に強固に束縛された束縛ポリマー層を備えるとともに、この束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部が形成されている。このため、被着体に接着させて構造体を形成すると、得られる構造体は、基体と、被着体とが厚み1~20nmの束縛ポリマー層を介して接合する構造を有するものとなる。
 前述したとおり、接着剤の内部には、接合界面から接着剤の内部方向に1~20nm離れた箇所に、接着力の弱い層状の領域(易破壊層)が生成される。上記構造体においては、この易破壊層が反応活性部を介した結合により強固に補強され、従来技術を超える高い接着力が発現する。
 また、本発明によれば、
 接着性基体と被着体とが接着してなる接合体であって、
 前記接着性基体が上記接着性基体であり、
 前記接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の一表面とが接着しており、
 前記被着体は、前記接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する化合物を前記一表面に備え、
 前記反応性基と前記官能基が反応して共有結合を形成している、接合体、
が提供される。
 また、本発明によれば、
 第1の接着性基体と、第2の接着性基体と、これらの接着性基体の間に介在する被着体とが積層した多層接合体であって、
 前記第1の接着性基体および前記第2の接着性基体は、上記接着性基体であり、
 前記第1の接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の一表面と、が接着しており、
 前記被着体は、前記第1の接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第1化合物を前記一表面に備え、
 前記第1の接着性基体の反応性基と前記第1化合物の官能基とが反応して共有結合を形成しており、
 前記第2の接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の他の表面とが接着しており、
 前記被着体は、前記第2の接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第2化合物を前記他の表面に備え、
 前記第2の接着性基体の反応性基と前記第2化合物の官能基とが反応して共有結合を形成している、多層接合体、
が提供される。
 また、本発明によれば、
 上記接着性基体における前記束縛ポリマー層の露出面と、被着体とを当接させた状態で、加熱またはエネルギー線照射により前記反応性基と前記被着体表面とを反応させて前記接着性基体と前記被着体とを接着する、接着方法、
が提供される。
 上記接合体および多層接合体においては、易破壊層が反応活性部を介した結合により強固に補強され、従来技術を超える高い接着力が発現する。
 本発明により、従来とは異なる接着システムが提供される。また、本発明により、従来満足に接着できなかった被着体を接着させることができる。
接着機構を説明するための図である。 束縛ポリマー層の形態について説明するための図である。 第1実施形態について説明するための図である。 第2実施形態について説明するための図である。 第2実施形態について説明するための図である。 第3実施形態について説明するための図である。 第4実施形態について説明するための図である。
 以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図面はあくまで説明用のものであり、必ずしも現実と対応しないことに留意されたい。
 本明細書中、数値範囲の説明における「X~Y」との表記は、特に断らない限り、X以上Y以下のことを表す。例えば、「1~5質量%」とは「1質量%以上5質量%以下」を意味する。
 本明細書における基(原子団)の表記において、置換か無置換かを記していない表記は、置換基を有しないものと置換基を有するものの両方を包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
 本明細書における「(メタ)アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「(メタ)アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
[接着性基体]
 はじめに、本発明の基本構成である接着性基体の実施形態について説明する。
 接着性基体は、被着体に接着させて構造体を形成する用途に用いられる。接着性基体は、基体と、束縛ポリマー層とにより構成されている。束縛ポリマー層の、基体とは反対側の面は、典型的には露出している。
 本実施形態の接着性基体は、前述した本発明者の提唱する新規な接着の考え方に基づく。
 硬化した接着剤の内部には、被着体との接合界面から接着剤の内部方向に1~20nm離れた箇所、典型的には1~10nm離れた箇所に、接着力の弱い易破壊層が生成される。この易破壊層の強度を高めることが、接着力を高めるためのキーファクターとなる。
 本実施形態では、上記易破壊層の強度を高めることにより、接着力を高める。本実施形態においては、基体表面に設けられた束縛ポリマー層に、被着体と反応する官能基を導入することで、束縛ポリマー層-被着体間の界面の強度を向上させることとした。具体的な設計としては、基体と束縛ポリマー層とにより構成されている接着性基体において、束縛ポリマー層が、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含み、かつ、反応性基が、束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成するようにした。この反応性基が被着体と反応して結合が形成されることにより、束縛ポリマー層-被着体間の界面の強度が向上し、接着強度が高まる。
 上記内容について、図1を参照しつつ説明を加える。
 図1は、本実施形態において、反応性基がラジカル反応性基のベンゾフェノン基であり、被着体がC-H結合を有するポリマーを含有する場合の接着性発現メカニズムを説明するための模式図である。
 図1において、束縛ポリマー層は、基体の表面に吸着または結合して、基体に束縛されている。つまり、基体-束縛ポリマー層の間の界面の強度は非常に大きい。
 束縛ポリマー層の上に被着体を接触させて光を照射すると、ベンゾフェノン基からラジカルが発生する。そのラジカルが被着体の水素原子を引き抜くなどすることで、束縛ポリマー層-被着体の間に共有結合が形成される。これにより、束縛ポリマー層-被着体の間の界面の強度も大きくなる。
 すなわち、基体に強く束縛された束縛ポリマー層が、被着体と結合形成することにより、基体と被着体とが強く接着される。
 上記のような「束縛ポリマー層と被着体との間の結合形成」による接着メカニズムにより、本実施形態の接着性基体は、従来は満足な接着強度が得られなかった被着体、例えばポリプロピレンの接着にも好ましく用いられる。
 本実施形態の接着性基体は、被着体との強い接着力により、例えば、電子装置の構成部品の接着に好ましく適用される。具体的には、半導体チップ、素子搭載基板/インターポーザ基板、マザーボード、放熱部材、リードフレームなどの製造の際の部材同士の接着に、本実施形態の接着性基体を好ましく適用することができる。
 また、本実施形態の接着性基体は、樹脂と金属の接合など、異種素材の部材間の接着にも好ましく適用されうる。本実施形態の接着性基体は、例えば自動車部品などの製造に好ましく適用することができる。
 本実施形態の接着性基体に関する説明を続ける。
(基体)
 基体の形状は特に限定されない。基体は、粒子基体または非粒子基体であることができる。
 このうち非粒子基体に適用した場合、本発明の効果がより顕著に得られる。非粒子基体の場合、易破壊層による接着力の向上効果がより顕著となるからである。基体の表面の大きさについては特に制限がないが、1mm×1mm以上の領域を有する面に適用した場合、本発明の効果がより顕著に得られる。
 粒子基体としては、酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、窒化アルミ、窒化ホウ素等の無機粒子;金属酸化物粒子;磁性粉などが挙げられる。
 非粒子基体の一例としては、板状またはシート状の部材、平面または曲面を有する立体形状の部品等が挙げられる。
 非粒子基体の別の例としては、繊維基体を挙げることができる。具体的には、樹脂成形材料の分野で繊維状フィラーとして知られている有機または無機繊維を挙げることができる。より具体的には、アラミド繊維、ガラス繊維、全芳香族ポリエステル、ウォラストナイトなどを挙げることができる。
 基体の素材は特に限定されない。基体は、有機ポリマー、セラミックス、半導体または金属により形成されたものであることができる。基体の素材としてより具体的には、単結晶シリコン、ガラス、セラミックス、窒化ケイ素、二酸化ケイ素(石英、水晶)などの無機素材;銅、アルミニウム、鉄、各種合金などの金属素材;エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂などの熱硬化性樹脂;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ナイロンなどの熱可塑性樹脂;などを挙げることができる。
 ちなみに、基体は、カーボンブラック粒子ではないことが好ましい。また、基体は、カーボンナノチューブ等の炭素材を含まないことが好ましい。
 束縛ポリマー層の吸着/結合性を高める目的や、その他の目的のために、束縛ポリマー層が形成される前の基体の表面を洗浄するなどにより、基体表面の異物/汚染を除去しておくことが好ましい。また、束縛ポリマー層の吸着/結合性を高める目的や、その他の目的のために、束縛ポリマー層が形成される前の基体の表面に任意の表面処理を施してもよい。
 洗浄または表面処理の例としては、硫酸と過酸化水素の混合物による処理(ピラニア処理)を挙げることができる。
(束縛ポリマー層)
 束縛ポリマー層は、束縛ポリマーにより構成された層である。束縛ポリマーとは、基体の表面に吸着または結合して、基体の表面に束縛された状態で存在するポリマーをいう。束縛ポリマー層は、通常、基体の表面を覆う形態で形成された層としての形態を有する。本実施形態の接着性基体において、束縛ポリマー層の基体とは反対側の面は、通常、露出している。別の言い方として、本実施形態の接着性基体(被着体と接着させる前のもの)において、束縛ポリマー層の基体とは反対側の面には、通常、他の層は存在しない。ただし、表面保護などを目的に、易剥離/除去性の保護層、保護フィルムなどが設けられていてもよい。
 ここで、「吸着」とは、ファンデルワールス力等による物理吸着をいい、基体の表面を構成する材料に対して束縛ポリマーが物理的に吸着することをいう。また、「結合」とは、束縛ポリマーが基体の表面を構成する材料に対して束縛ポリマーが化学的に結合することをいう。結合の種類については、特に制限はなく、共有結合、水素結合、イオン結合のいずれであってもよい。
 束縛ポリマーが基体の表面に吸着または結合する態様としては、例えば、束縛ポリマーに含まれる一または二以上の官能基が、基体自体の表面を構成する材料または基体表面に付着した材料に対して吸着または結合する態様が挙げられる。束縛ポリマー層は、基体に対して強固に接着する分子構造を有していることが好ましい。そのような分子構造として、基体に対して吸着または共有結合する結合基を有する分子構造が挙げられる。分子内に結合基を複数有する、マルチサイト型の熱可塑性樹脂とすればより好適である。
 本実施形態においては、束縛ポリマーが基体の表面に束縛されている程度を、クロロホルム溶解指数Rで定量化している。クロロホルム溶解指数Rの詳細については後述する。
 束縛ポリマー層は、基体に対して強固に接着していない部分があってもよいが、束縛ポリマー層全体が基体に対して強固に接着していることが好ましい。束縛ポリマー層を構成する熱可塑性樹脂が複数種類である場合、それらのいずれもが基体に対して強固に接着していることが好ましい。
 束縛ポリマー層の厚みは、1nm以上、好ましくは3nm以上、より好ましくは5nm以上である。また、束縛ポリマー層の厚みは、20nm以下、好ましくは15nm以下、より好ましくは12nm以下である。このような厚みであることにより、基体-束縛ポリマー層の間の十分な接着力を得やすく、また、束縛ポリマー層の上に他の層が接着した際、束縛ポリマー層-他の層との間で充分な界面接着がなされやすい。
 束縛ポリマー層は、少なくともその一部領域において上記厚みを有していればよい。例えば、1mm×1mmかそれ以上の領域において束縛ポリマー層が上記厚みを有していれば、少なくともその領域における束縛ポリマー層は被着体と良好に接合することができ、結果、高い接着強度が実現される。
 束縛ポリマー層の厚みは、例えば、X線反射率測定および偏光解析測定に基づき求めることができる。
(熱可塑性樹脂/反応性熱可塑性樹脂)
 束縛ポリマー層は、熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性樹脂とは、適当な温度に加熱すると軟化して可塑性を持ち、冷却すると固化する樹脂の総称である。熱可塑性樹脂は、通常、ガラス転移温度または融点に達すると軟化する。
 熱可塑性樹脂は、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含む。熱可塑性樹脂は反応性熱可塑性樹脂以外の熱可塑性樹脂を含んでいてもよい。
 束縛ポリマー層が熱可塑性樹脂を含むことにより、例えば、接着の際の加熱により束縛ポリマーが適度に運動することができ、束縛ポリマー層-被着体間の反応が促進される。また、基体と被着体とが接合した後の構造体においては、束縛ポリマー層が熱可塑性樹脂を含んで構成されているため、束縛ポリマー層中の各熱可塑性樹脂の高分子鎖が熱力学的に安定なコンフォーメーションをとることができ、この結果、束縛ポリマー層中に蓄積される内部応力が低減される。
 反応性熱可塑性樹脂は、基体の表面に吸着または結合して基体表面に束縛されており、その分子構造中に、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する。反応性基は、接着性基体と接着させる対象の被着体の表面を構成する材料に対して反応性を有する官能基である。この反応性基を介して被着体の表面と反応し共有結合を形成することで強固な接着力が発現する。
 基体の表面を修飾するとともに反応性基を有する化合物ではあるが、本実施形態の反応性熱可塑性樹脂とは異なるものとして、背景技術の項で述べたシランカップリング剤がある。シランカップリング剤は、分子内に無機材料と結合するSi-O-CH基やSi-O-C基を有するとともに有機材料と結合するアミノ基、エポキシ基等の官能基を有する。シランカップリング剤は、熱可塑性樹脂ではない点で本実施形態の反応性熱可塑性樹脂とは異なる。本実施形態における反応性熱可塑性樹脂は、熱可塑性という性質により、基体と被着体との間に介在して両者の応力緩和層として機能するため、高度な接着力をもたらす。
 また、シランカップリング剤は、基体表面との結合基としてSi-O-CH基やSi-O-C基を有する。これらの基のメチル基やエチル基が脱離してSiOHが生じ、これが基体表面に対して吸着または反応し、Si-O-[基体表面]の形態で結合する。しかし、この形態の結合は、結合界面に水分が侵入すると加水分解を起こしやすく、接着力が低下するという課題を有していた。
 本実施形態の反応性熱可塑性樹脂は、末端に-M-O-基(Mは、SiまたはTi)を有する分子構造のものを含まないことが好ましい。
 反応性熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、好ましくは1万~100万、より好ましくは3万~50万である。反応性熱可塑性樹脂の分子量分布Mw/Mnは、好ましくは1~5、より好ましくは1~3である。
 束縛ポリマー層を構成する樹脂の主成分は熱可塑性樹脂であることが好ましい。束縛ポリマー層を構成する樹脂のうち熱可塑性樹脂が占める割合は、好ましくは60質量%以上、より好ましくは70質量%以上、最も好ましくは90質量%以上であり、100質量%であってもよい。このようにすれば、束縛ポリマー層が実質的に熱可塑性樹脂により構成されることとなるため、基体-束縛ポリマー層の異種材料界面の接合によって生じる応力を効果的に緩和できる。
 束縛ポリマー層は、反応性熱可塑性樹脂と反応性熱可塑性樹脂以外の熱可塑性樹脂とを含んで構成されていてもよい。このようにすれば、反応性熱可塑性樹脂が被着体と結合する一方、反応性熱可塑性樹脂以外の熱可塑性樹脂が占める部分によって基体-束縛ポリマー層の異種材料界面の接合によって生じる応力をさらに効果的に緩和することができる。
 熱可塑性樹脂の種類は特に限定されない。基体の表面に吸着または結合して束縛ポリマー層を形成可能である限り任意の熱可塑性樹脂を用いることができる。
 熱可塑性樹脂の具体例としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリテトラフルオロエチレン、ABS樹脂(アクリロニトリルブタジエンスチレン樹脂)、スチレンアクリロニトリルコポリマー、ポリ(メタ)アクリル酸、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル、ポリヒドロキシスチレン、ノボラック型フェノール樹脂などを挙げることができる。
 熱可塑性樹脂の一部または全部は、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂である。反応性熱可塑性樹脂が有することができるラジカル反応性基および付加反応性基については、追って詳細に説明する。
 熱可塑性樹脂は、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーとを含むことができる。別の言い方として、束縛ポリマー層は、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーとにより構成されることができる。
 良好な混ざりやすさなどの観点から、束縛ポリマーは、反応性熱可塑性樹脂と共通の主鎖骨格を有する熱可塑性樹脂であることが好ましい。束縛ポリマーが反応性熱可塑性樹脂と共通の主鎖骨格を有するとは、束縛ポリマーの主鎖を構成する構造単位のうちモル比が最も大きな構造単位の骨格と、反応性熱可塑性樹脂の主鎖を構成する構造単位のうちモル比が最も大きな構造単位の骨格と、が共通することを意味する。
(反応性熱可塑性樹脂が有する官能基)
 反応性熱可塑性樹脂は、基体と相互作用する吸着性基を有することが好ましい。吸着性基の存在により、反応性熱可塑性樹脂が基体に束縛されやすくなる。
 具体的には、反応性熱可塑性樹脂は、-COOR(Rはメチル基またはエチル基)で表される基、エステル結合、ヒドロキシ基、メルカプト基、アミノ基、アミド基、エポキシ基、イソシアネート基(-NCO)、酸無水物基(具体的には、無水マレイン酸骨格のような環状酸無水物骨格を有する基)、マレイミド基(5員環のマレイミド骨格を含む基)およびベンゼン環含有基(フェニル基、フェニレン基など)からなる群から選ばれる一または二以上の吸着性基を、分子内に少なくとも二以上有することが好ましい。なお、吸着性基は、後述する反応性基(特に、付加反応性基)を兼ねることがある。
 これら吸着性基は、反応性熱可塑性樹脂のいずれの位置に存在してもよい。基体との相互作用を一層高める観点では、これら吸着性基は、反応性熱可塑性樹脂の側鎖および/または末端に存在することが好ましい。
 吸着性基は、基体に物理吸着するものでも、化学吸着するものでもよい。吸着性基と基体との間に共有結合が形成されてもよい。
 反応性熱可塑性樹脂の好ましい形態として、基体と吸着ないし結合する官能基を複数有し、これらの複数の官能基を介して反応性熱可塑性樹脂が基体に吸着ないし結合する、マルチサイト型反応性熱可塑性樹脂が挙げられる。このような反応性熱可塑性樹脂を用いることで、基体表面に対して反応性熱可塑性樹脂が強力に付着し、優れた接着性、耐水・耐湿性、ヒートサイクル性などを得やすい。
 上記のような観点で、反応性熱可塑性樹脂としては、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリ(メタ)アクリル酸エチルなどのポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポリ(メタ)アクリル酸、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビニル、ポリヒドロキシスチレン、ノボラック型フェノール樹脂などが好ましい。念のため述べておくと、これら反応性熱可塑性樹脂は、共重合体であってもよい。一例として、ポリ(メタ)アクリル酸エステルは、(メタ)アクリル酸エステルモノマーの単独重合体であってもよいし、(メタ)アクリル酸エステルモノマーと、それ以外のモノマーとの共重合体であってもよい。また一例として、ポリ酢酸ビニルは、酢酸ビニル構造単位のみを含んでもよいし、酢酸ビニル構造単位と、塩化ビニル等の他の構造単位を含んでもよい。
 また、反応性熱可塑性樹脂としては、ポリエチレンテレフタレートなどのポリエステルも好ましい。ポリエステルの主鎖中のエステル結合は、基体と吸着ないし結合する官能基として働くと考えられる。
 これら反応性熱可塑性樹脂の主鎖、側鎖、末端の少なくともいずれかに反応性基が導入される。
 また、反応性熱可塑性樹脂として、公知または市販の熱可塑性接着剤(ホットメルト型接着剤)を利用することも考えられる。すなわち、公知または市販の熱可塑性接着剤の中から、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含み、かつ、基体の表面に吸着または結合してクロロホルム溶解指数Rが3%以下となりうるものを適宜選択して用いることもできる。
 熱可塑性接着剤としては、酢酸ビニル樹脂系、ポリビニルアルコール系、エチレン酢酸ビニル樹脂系、塩化ビニル樹脂系、ポリオレフィン系、アクリル樹脂系、ポリエステル系、ポリアミド系、セルロース系、ポリビニルピロリドン系、ポリスチレン系、シアノアクリレート系、ポリビニルアセタール系などが知られている。
(クロロホルム溶解指数R)
 本実施形態においては、ポリマーが基体に束縛されている程度を、以下手順で求められるクロロホルム溶解指数Rによって定量化することができる。クロロホルム溶解指数Rは、好ましくは3%以下、より好ましくは2%以下、さらに好ましくは1%以下である。
 以下手順は、室温(25℃)で行うことができる。
<手順>
・工程1
 束縛ポリマー層の層厚を測定して得られた測定値をDとする。
・工程2 
 以下の手順によりクロロホルム処理を行う。
 (i)容器内にクロロホルムを収容し、クロロホルムの温度を25℃に維持する。
 (ii)束縛ポリマー層の表面を上記クロロホルムに接液させた状態で30分間保持する。
 (iii)上記(ii)の状態から前記束縛ポリマー層の表面をクロロホルムから離隔させ、次いでその表面をクロロホルムで洗い流した後、その表面に残ったクロロホルムをウエスで吸い取り、そして真空乾燥させる。
・工程3
 工程2を実施した後に残る束縛ポリマー層の膜厚を測定して得られた測定値をD'とし、{(D-D')/D}×100をクロロホルム溶解指数R(%)とする。
 工程1および3において、DおよびD'の値は、X線反射率測定および偏光解析測定に基づき求めることができる。
 工程2の(i)において、容器の種類やクロロホルムの量は、基体の大きさや形状に応じて適宜選択すればよい。すなわち、基体が入る十分な大きさの容器に、基体に束縛されていないポリマーが溶解するのに十分な量のクロロホルムが収容されればよい。後掲の実施例においては、基体の大きさなどを考慮し、250mLのガラスビーカーにクロロホルムを50mL入れている。
 工程2の(ii)においては、少なくとも束縛ポリマー層がクロロホルムに接した状態にあればよい。このとき、束縛ポリマー層がクロロホルムに接液している限り、攪拌は必要ではない。
 工程2の(iii)においては、不織布ウエス、例えば旭化成社のベンコットクリーンワイプを用いて、表面に残ったクロロホルムを吸い取る。このとき、できるだけ束縛ポリマー層に圧力がかからないようにする。
 工程2の(iii)における真空乾燥の条件は、クロロホルムが十分に除去される限り特に限定されない。
 束縛ポリマー層は、例えば後述のように、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーとにより構成されることができる。この場合、束縛ポリマー層中の、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーにより設けられる層(S鎖、例えば後掲の実施例1のPMMA吸着層)のクロロホルム溶解指数Rは、接着力の観点から好ましくは3%以下であるが、3%を超えてもよい。「束縛ポリマー層のクロロホルム溶解指数Rの値は3%以下である」とは、複数種のポリマーで構成されることがある束縛ポリマー層「全体として」のクロロホルム溶解指数Rが3%以下であることを意味する。
(反応性基および反応活性部)
 反応性熱可塑性樹脂が含む反応性基の少なくとも一部は、束縛ポリマー層の表面に位置し、反応活性部を形成することが好ましい。束縛ポリマー層の表面に反応性基が位置することで、束縛ポリマー層と、その上方に位置する他の層との間の接着性が一層向上する。
 反応活性部とは、束縛ポリマー層の上部に位置する被着体との反応性を有する部位をいう。反応活性部は、例えば加熱や光照射により被着体と反応しうる。
 束縛ポリマー層の表面に反応性基を位置させる方法としては、例えば、まず、反応性熱可塑性樹脂ではない熱可塑性樹脂による束縛ポリマー層を形成し、その後、その束縛ポリマー層の上に、反応性熱可塑性樹脂による束縛ポリマー層を形成する方法がある。
(ラジカル反応性基)
 反応性熱可塑性樹脂が有する反応性基は、ラジカル反応性基、すなわち、熱および/または光の作用によりラジカルが生成されて被着体と反応しうる基であることができる。発生したラジカルが被着体中の化学構造(例えばC-H結合)と反応することで、束縛ポリマー層と被着体との間に共有結合が形成される。
 反応性基は、反応性熱可塑性樹脂の主鎖、側鎖、末端のいずれに存在してもよい。
 好ましいラジカル反応性基として、ベンゾフェノン骨格、ベンゾイル骨格、アントラキノン骨格、チオキサントン骨格からなる群より選ばれる少なくともいずれかの骨格を含む基(ベンゾイル骨格含有基)を挙げることができる。光(典型的には紫外線)の照射により、これら基からはラジカルが発生する。
 別の好ましいラジカル反応性基としては、チオール基、ビニル基、アルコキシアミン骨格を含む基などを挙げることができる。これら基については、典型的には熱によりラジカルが発生する。
 さらに別の好ましいラジカル反応性基としては、ジスルフィド結合、パーオキシ結合、アゾ結合からなる群より選ばれる少なくともいずれかの結合を含む基を挙げることができる。ジスルフィド結合とパーオキシ結合については、典型的には熱または光によりラジカルが発生する。アゾ結合については、典型的には光の照射によりラジカルが発生する。
 上述したラジカル反応性基について、参考のため、以下に構造骨格の例を記載しておく。以下はあくまで「骨格」を示すものであり、光または熱によりラジカルを発生する限り、任意の置換基を有していたり、他の原子団と結合したりしていてもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
(付加反応性基)
 付加反応性基とは、被着体中の官能基と付加反応を起こすことで共有結合を形成することができる基である。具体的には、付加反応性基は、アミノ基、アミド基、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、オキセタニル基、チオール基、イソシアネート基、酸無水物基およびマレイミド基からなる群から選択されるいずれかの官能基であることができる。
 付加反応性基については、いわゆるクリックケミストリーの知見を応用することもできる。具体的には、付加反応性基は、アジド基(-N)、チオール基などであることもできる。アジド基はアルキン(炭素-炭素三重結合)と付加環化反応を起こして1,2,3-トリアゾール環を形成する。チオール基はアルケン(炭素-炭素二重結合)と反応する。すなわち、接着性基体の反応性基としてアジド基(-N)やチオール基を採用し、被着体にアルキン構造やアルケン構造を含めておくことで、接着性基体と被着体とが強く接着されうる。一方、接着性基体の側に反応性基としてアルケンまたはアルキン構造を導入し、被着体の側にアジド基やチオール基を導入することも考えられる。
 また、付加反応性基としては、アジド基(特にフェニルアジド基)や、ジアジリン骨格を含む基なども挙げることができる。アジド基については、光または熱を作用させることでナイトレン(カルベンに類似)が生じ、このナイトレンが、被着体の炭素-炭素二重結合、C-H結合、N-H結合などと反応して共有結合を形成しうる。ジアジリン骨格を含む基については、光または熱を作用させることでカルベンが生じ、このカルベンが、被着体の炭素-炭素二重結合、C-H結合、N-H結合などと反応して共有結合を形成しうる。アジド基やジアジリン骨格を含む基は、ポリマー末端への導入が容易であるという特徴を有する。
(束縛ポリマー層の形態)
 前述のように、束縛ポリマー層は、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーとにより構成されることができる。
 基体表面領域においては、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーが吸着した領域以外の基体表面領域に、反応性熱可塑性樹脂が吸着ないし結合していることが好ましい。
 これについて、図2を参照しつつ説明する。
 過去の知見によれば、束縛ポリマー層は、基体と特に強く相互作用(吸着ないし結合)して分子運動が制限されているポリマー鎖(S鎖)と、それよりは基体との相互作用が弱く、ある程度の分子運動が可能なポリマー鎖(L鎖)とを含むことができる。L鎖の基体との相互作用の大きさは、S鎖と基体との相互作用の大きさよりも小さいが、L鎖自体もその一部が基体と吸着ないし結合しうる。つまり、束縛ポリマー層においては、S鎖が吸着ないし結合した領域以外の基体表面領域に、L鎖が吸着ないし結合しうる。
 L鎖は、その一部が基体と吸着ないし結合しつつも、比較的自由に分子運動しうる。よって、少なくともL鎖を反応性熱可塑性樹脂とすることで、反応性熱可塑性樹脂が有する反応性基が、被着体中の化学構造と反応しやすくなり、より強い接着力が得られると考えられる。この場合、S鎖は、反応性熱可塑性樹脂であってもよいし、反応性熱可塑性樹脂ではない樹脂であってもよい。
 基体表面領域において、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーが吸着した領域以外の基体表面領域に、反応性熱可塑性樹脂を吸着ないし結合させる方法としては、例えば後掲の実施例のように、まず、熱可塑性樹脂としては反応性熱可塑性樹脂ではない熱可塑性樹脂のみを用いて、基体表面に、束縛ポリマー層を形成し、その後、反応性熱可塑性樹脂を用いて束縛ポリマー層を形成する方法が挙げられる。このような方法により、図2におけるS鎖が反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーであり、L鎖が反応性熱可塑性樹脂である接着性基体を得ることができる。
 別の方法としては、反応性熱可塑性樹脂と反応性熱可塑性樹脂ではない熱可塑性樹脂とをブレンドした組成物を準備し、この組成物を基体に塗布する方法が挙げられる。2つの樹脂を適切に選択することにより、塗布の際に反応性熱可塑性樹脂が反応性熱可塑性樹脂ではない熱可塑性樹脂よりも表面にマイグレートする。具体的には、反応性熱可塑性樹脂の分子量を、反応性熱可塑性樹脂ではない熱可塑性樹脂の分子量よりも小さくすることで、マイグレートを促進できる。
 束縛ポリマー層が、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマー(S鎖)とにより構成される場合、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)の厚みTと、束縛ポリマー(S鎖)の厚みTは、以下のうちの1または2以上を満たすことが好ましい。これら値を適切に調整することにより、基体との相互作用と、被着体との相互作用とを高度にバランスさせることができる。
・T:好ましくは0.5~10nm、より好ましくは0.5~5nm、さらに好ましくは0.5~3nm
・T:好ましくは0.5~10nm、より好ましくは0.5~8nm、さらに好ましくは1~5nm
・T/T:好ましくは0.1~2、より好ましくは0.2~1.5、さらに好ましくは0.3~1.5
 念のため述べておくと、本実施形態の接着性基体のミクロな描像としては、図2に示されるとおり、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)と反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマー(S鎖)とは、ともに基体に吸着することができる。換言すると、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)と反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマー(S鎖)とは「混ざりあっている」ということもでき、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)と反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマー(S鎖)とは、必ずしも、それぞれ明確に分離された「層」とはならないと考えられる。
 ただし、X線反射率測定および偏光解析測定に基づけば、束縛ポリマー層が設けられた一定の広さの領域の中での一種の「平均値」としてTおよびTを測定することが可能である。後掲の実施例に記載した各層の厚みも、X線反射率測定および偏光解析測定に基づく、一種の「平均値」である。ちなみに、後掲の実施例においては、基体に、まず第1工程として、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマー(S鎖)を吸着させ、その後の第2工程として、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)を吸着させている。この場合、第1工程終了後にX線反射率測定および偏光解析測定を行うことで、Tを測定することが可能である。また、第1工程終了後にX線反射率測定および偏光解析測定を行うことで、TとTの和を測定することができ、このTとTの和から第1工程終了後に求めたTを引き算することでTを求めることができる。
 T、TおよびT/Tの値は、例えば、各層を構成する樹脂(ポリマー)の種類や分子量を変更することで調整することができる。通常の傾向としては、樹脂(ポリマー)の分子量を大きくすると、層の厚みは大きくなる。
 また、樹脂(ポリマー)を基体に塗布した後に、十分に加熱することによっても、T、TおよびT/Tの値を調整することができる。本発明者らの知見によれば、加熱により、樹脂(ポリマー)と基体との吸着がより促進されて、膜厚は増加する傾向がある。加熱は、用いる樹脂(ポリマー)のガラス転移温度をT℃としたとき、T~T+100℃程度で行うことが好ましい。また、加熱時間は、例えば1~48時間の範囲内とすることができる。加熱の際の雰囲気は、好ましくは真空または減圧下であるが、常圧下であってもよい。
[被着体]
 本実施形態において、被着体は、接着性基体と接着させる対象である。
 被着体は、接着性基体における束縛ポリマー層の表面に分布する反応性基と反応して結合を形成しうるものである限り、特に限定されない。
 被着体は、非粒子状または粒子状のいずれであってもよいが、代表的には非粒子状の固形状のものである。非粒子に適用した場合、本発明の効果がより顕著に得られる。
 被着体の例としては、例えば、板状またはシート状の部材、平面または曲面を有する立体形状の部品等が挙げられる。
 被着体は、複数の層が積層した積層体であってもよい。また、接着性基体との接着面において複数の異種材料が露出したものであってもよい。
 被着体の表面の大きさについては特に制限がないが、1mm×1mm以上の領域を有する面に適用した場合、本発明の効果がより顕著に得られる。
 被着体は、接着性基体に含まれる反応性基の種類に応じて適宜に選択される。
 被着体における接着性基体との接着面には、接着性基体側の反応性基と反応して共有結合を形成する活性基が存在していることが好ましい。すなわち、接着性基体が反応性基としてラジカル反応性基を有する場合には、そのラジカル反応性基と共有結合を形成する活性基が被着体に存在することが好ましい。また、接着性基体が反応性基として付加反応性基を有する場合には、その付加反応性基と共有結合を形成する活性基が被着体に存在することが好ましい。このような活性基が存在すると、接着性基体と被着体との接着力が安定的に向上する。
 活性基の一例として、C-H結合が挙げられる。具体的には、接着性基体における反応性熱可塑性樹脂が、反応性基としてラジカル反応性基を有する場合、ラジカル反応性基から発生したラジカルが水素を引き抜くことで共有結合が形成されうる。共有結合が形成されることで高い接着力が得られる。この観点で、被着体の表面(接着性基体との接着面)は、C-H結合を有するポリマー(有機ポリマーなど)により形成されていることが好ましい。
 特に、ラジカル反応性基が、前述のベンゾフェノン骨格を含む基などのようなベンゾイル骨格含有基である場合、そのラジカルの反応性の高さからC-H結合と容易に反応して共有結合が形成され、その結果高い接着強度が得られる。
 別観点として、被着体は、α水素を含有する有機ポリマーを含むことが好ましい。α水素とは、α炭素に結合した水素原子のことである。一般的な傾向として、α水素はラジカルとの反応性が良好である。
 さらに別観点として、Christensen,S.K.;Chiappelli,M.C.;Hayward,R.C. Macromolecules 2012,45,5237-5246に記載された知見などに基づけば、被着体は、以下(i)~(iv)の少なくともいずれかの水素を含むことが好ましく、以下(i)~(iii)の少なくともいずれかの水素を含むことがより好ましく、以下(i)および/または(ii)の水素を含むことがさらに好ましく、以下(i)の水素を含むことが特に好ましい。これら水素はラジカルにより容易に引き抜かれて共有結合を形成しやすい。
(i)窒素原子に結合した炭素原子が有する水素
(ii)3級水素、すなわち、3級炭素に結合した水素
(iii)2級水素、すなわち、2級炭素に結合した水素
(iv)1級水素、すなわち、1級炭素に結合した水素
 上記観点に基づけば、被着体は、ポリ(N-アルキル(メタ)アクリルアミド)、ポリ(N,N-ジアルキル(メタ)アクリルアミド)、ナイロン(ポリアミド)などのうちいずれかのポリマーを含むことが好ましい。また、エポキシ樹脂と硬化剤を含む樹脂組成物の未反応物または半硬化物(Bステージ状態)の膜であってもよい。この場合の硬化剤としては、アミン化合物やカルボキシ基を有する化合物などが挙げられる。
 好ましい例として、被着体は、ナイロン(ポリアミド)であることができる。アミド結合中の水素原子と、接着性基体に含まれる反応性基(具体的にはエポキシ基などの付加反応性基)とが反応して接着力が発現する。
 また、被着体は、上記以外のポリマーを含んでもよい。そのようなポリマーとしては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリ(α-オレフィン)などのポリオレフィン、ポリ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
 被着体は、好ましくは、接着性基体における束縛ポリマー層が含む反応性熱可塑性樹脂とは異なるポリマーを含む。ここで、「異なる」とは、具体的には、以下(i)および(ii)の一方または両方を意味する。
(i)被着体が含むポリマーは、反応性熱可塑性樹脂が有する反応性基(ラジカル反応性基または付加反応性基)を有しない。例えば、反応性熱可塑性樹脂が反応性基としてエポキシ基を有する場合、被着体が含むポリマーは、エポキシ基を有しない。
(ii)被着体が含むポリマーの主鎖骨格と、反応性熱可塑性樹脂との主鎖骨格とが異なる。すなわち、被着体が含むポリマーの主鎖を構成する構造単位のうちモル比が最も大きな構造単位の骨格と、反応性熱可塑性樹脂の主鎖を構成する構造単位のうちモル比が最も大きな構造単位の骨格と、が異なる。
 接着性基体における反応性熱可塑性樹脂が、反応性基として付加反応性基を有する場合、被着体は、付加反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する有機ポリマーであることが好ましい。付加反応性基と、その付加反応性基と反応する官能基との組み合わせ例については、以下の第1実施形態で挙げる。
[接合体]
 接合体は、接着性基体と被着体とが接着してなる接合体である。この接合体においては、上述の接着性基体の束縛ポリマー層の表面と、被着体の一表面とが接着している。
 被着体は、接着性基体における反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する化合物を一表面に備える。
 接着性基体における反応性基と、被着体における官能基とが反応して共有結合を形成することで、接着性基体と被着体とは接合する。
 接着性基体と被着体との接着は、典型的には光(好ましくは紫外線)および/または熱により行う。光照射や加熱の条件については、束縛ポリマー層のラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基が活性化して被着体と結合が形成される限り、特に限定されない。なお、光により接着性基体と被着体とを接着する場合、接着性基体と被着体との少なくとも一方は透光性を有することが好ましい。
 接合体の製造方法としては、表面に束縛ポリマー層が形成された接着性基体を作製した後、この接着性基体と被着体とを接着させる方法が挙げられる。また、基体表面に束縛ポリマー層形成材料と被着体形成材料とを含む組成物を付着させ、その後、束縛ポリマー層形成材料を基体表面にマイグレートさせ、さらにその後、束縛ポリマー層の反応性基を活性化させて被着体形成材料との間で共有結合を形成させることで、接着性基体と被着体とが接着してなる接合体を作製することもできる。
 接合体に関するより具体的な態様については、後掲の第3実施形態において詳述する。
[多層接合体]
 第1の接着性基体と第2の接着性基体との間に被着体を介在させることなどにより、第1の接着性基体と、第2の接着性基体と、これらの接着性基体の間に介在する被着体とが積層した多層接合体を得ることができる。
 多層接合体において、第1の接着性基体および第2の接着性基体は、上述の接着性基体である。
 被着体は、第1の接着性基体における反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第1化合物を一表面に備える。
 多層接合体においては、第1の接着性基体の反応性基と第1化合物の官能基とが反応して共有結合を形成している。
 多層接合体においては、第2の接着性基体の束縛ポリマー層の表面と、被着体の他の表面とが接着している。
 被着体は、第2の接着性基体における反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第2化合物を他の表面に備える。
 多層接合体においては、第2の接着性基体の反応性基と第2化合物の官能基とが反応して共有結合を形成している。
 多層接合体に関するより具体的な態様については、後掲の第4実施形態において詳述する。
[第1実施形態]
 接着性基体の一例を図3に示す。
 図3において、接着性基体1は、基板11と、基板11の一表面に接して設けられた束縛ポリマー層12とを備える。
 基板11は、有機ポリマー、セラミックス、半導体または金属により形成された基板とすることができる。
 束縛ポリマー層12は、基板11の一表面に吸着して束縛された熱可塑性樹脂により構成されている。基板11の一表面に吸着して束縛された熱可塑性樹脂により構成された層のうち、厚みが1~20nmである箇所を束縛ポリマー層とよぶ。本実施形態では、上記層全体が厚み1~20nmとなっているので、図示したように、基板11の一表面に接して設けられた層全体を束縛ポリマー層12としている。第1実施形態における束縛ポリマー層12の平均厚みは、好ましくは1~20nmである。
 束縛ポリマー層は、溶剤に不溶ないし難溶の層である。クロロホルム溶解指数Rの値は、3%以下である。
 束縛ポリマー層12を構成する熱可塑性樹脂は、反応性熱可塑性樹脂を含んでいる。反応性熱可塑性樹脂は、分子中に、基板11に吸着する複数の吸着性基と、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基とを有している。このため、反応性熱可塑性樹脂は、複数の吸着性基を介して基板11に吸着して固定されるとともに、基板11に固定されない部位にある反応性基が束縛ポリマー層12の表面に分布して反応活性部を形成する。
 一例として、反応性基は、反応性熱可塑性樹脂の高分子鎖の末端または末端近傍に存在することが好ましい。また、別の例として、反応性基は、反応性熱可塑性樹脂の高分子鎖のループ鎖部に存在することが好ましい(「ループ鎖部」とは、複数の吸着性基を介して基板11に吸着して固定されている高分子鎖において、互いに隣接する吸着性基間にあるループ状の鎖部のことをいう)。これら例のようにすれば、反応性基がより一層、束縛ポリマー層12の表面に分布しやすくなり、効果的に反応活性部を形成することができる。
 接着性基体1は、被着体に接着させて構造体を形成する用途に用いられる。接着性基体1に被着体(被着体)を当接させた状態で、加熱する、あるいは、紫外光などのエネルギー線を照射する等の接着処理を施すことで両者を接着させることができる。接着処理は、反応性基および被着体の種類に応じて適宜に選択される。
 反応性基および被着体表面材料の組合せとしては、以下のものが挙げられる。
・例1
 反応性基:
 ベンゾフェノン骨格、ベンゾイル骨格、アントラキノン骨格、チオキサントン骨格からなる群より選ばれる少なくともいずれかの骨格を含む基
 被着体表面材料:
 (i)α水素(α炭素に結合した水素)を有する化合物
 (ii)ラジカル重合性二重結合を有する化合物
 この例では、反応性基に対して、光(典型的には紫外線)の照射または加熱処理によりラジカルが発生する。このラジカルが(i)のα水素または(ii)のラジカル重合性二重結合に作用することで、反応性基と被着体表面材料とが共有結合する。
・例2
 反応性基:
 アミノ基(1級アミンまたは2級アミン)、カルボキシ基、水酸基、エポキシ基、オキセタニル基、チオール基からなる群より選ばれるいずれかの基
 被着体表面材料:
 上記反応性基と反応する官能基を有する化合物
 例2の具体的組合せとして、例えば以下のものが挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
 例2では、反応性熱可塑性樹脂の反応性基と被着体表面材料の上記官能基とが付加反応して共有結合を生成する。
 本実施形態の接着性基体においては、反応性基が被着体と反応することで共有結合が形成され、この結果、束縛ポリマー層-被着体間の界面の強度が向上する。これにより、本実施形態の接着性基体は、被着体との強い接着力を示す。
 本実施形態の接着性基体は、以下のようにして作製することができる。
 まず、反応性熱可塑性樹脂を含む樹脂組成物を基板11表面に塗布する。この樹脂組成物は、反応性熱可塑性樹脂からなるものとしてもよいし、反応性熱可塑性樹脂を溶剤に溶解ないし分散させたものとしてもよい。また、反応性熱可塑性樹脂以外の他の熱可塑性樹脂や他のポリマーを含んでいてもよいし、適宜、他の添加剤や無機フィラーなどを含んでいてもよい。塗布の方式は、薄膜を形成できる方式であればよく、例えば、スピンコート、ディスペンサー、インクジェット、スリットコート、スクリーン印刷等の手法を用いることができる。
 次いで、基板11表面に形成されたウエット状態の塗布膜を乾燥させた後、加熱処理して反応性熱可塑性樹脂の薄膜を得る。
 その後、反応性熱可塑性樹脂の薄膜を、膜厚がほとんど変わらなくなるまで溶剤で複数回洗浄する。あるいは、反応性熱可塑性樹脂の薄膜を溶剤に接触させた状態で所定時間、例えば30分~5時間程度放置し、この後、純水などの洗浄液を用いて洗浄する。溶剤としては、例えばクロロホルムやトルエンを用いることができる。
 以上により、反応性熱可塑性樹脂により構成された束縛ポリマー層を備える接着性基体が得られる。
[第2実施形態]
 第2実施形態について図4および図5に基づいて説明する第2実施形態における層構造は図3に示したものと同様である。第2実施形態の接着性基体が第1実施形態の接着性基体と異なる点は、束縛ポリマー層12の構成である。
 図4において、接着性基体1は、基板11と、基板11の一表面に接して設けられた束縛ポリマー層12とを備える。
 基板11は、有機ポリマー、セラミックス、半導体または金属により形成された基板とすることができる。
 束縛ポリマー層12は、基板11の一表面に吸着して束縛された熱可塑性樹脂により構成されている。束縛ポリマー層12の平均厚みは、好ましくは1~20nmである。
 束縛ポリマー層は、溶剤に不溶ないし難溶の層である。クロロホルム溶解指数Rの値は、3%以下である。
 束縛ポリマー層12は、基板11の一表面に吸着して束縛された、第1熱可塑性樹脂41および第2熱可塑性樹脂42を含む。
 第1熱可塑性樹脂41は、その分子内に、基板11の一表面に吸着する吸着性基Aを有するが、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基は有していなくてもよい。一方、第2熱可塑性樹脂42は、その分子内に、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基Bを有するとともに、基板11の一表面に吸着する吸着性基Aを有する。
 基板11の一表面における第1領域に第1熱可塑性樹脂41が吸着しており、同表面における第1領域以外の第2領域に第2熱可塑性樹脂42が吸着している。反応性基を有する第2熱可塑性樹脂42が、基板11表面の一部の限られた領域に吸着しているため、第2熱可塑性樹脂42の分子鎖の一部が基板11表面に吸着して束縛され、残りの部分が基板11表面から離れた形態をとりやすくなる。これにより、図4に示すように、第2熱可塑性樹脂42の反応性基Bが基板11表面と離れた場所に位置する形態となる。すなわち、第2熱可塑性樹脂42は、複数の吸着性基Aを介して基板11に吸着して固定されるとともに、基板11に固定されない部位にある反応性基Bが束縛ポリマー層12の表面に分布して反応活性部を形成する。
 第2熱可塑性樹脂42の好ましい例として、例えばポリ(メタ)アクリル酸エステルのような、吸着性基(ポリ(メタ)アクリル酸エステルの場合は、エステル基)を有する構造単位を備えるポリマーが挙げられる。
 このようなポリマーは、前述したように、基板表面に吸着するサイトを複数備えるマルチサイト型のポリマーとして機能し、基板11表面に強力に吸着する。しかし、このようなマルチサイト型のポリマーを用いた場合、第2熱可塑性樹脂42のみをそのまま基板11表面に吸着させると、基板11に吸着する第2熱可塑性樹脂42の形態は、図5(a)に示す形態となりやすい。一方、基板11の表面に対して第1熱可塑性樹脂41を吸着させ、第1熱可塑性樹脂41の吸着していない領域に第2熱可塑性樹脂42を制限的に吸着させると、基板11に吸着する第2熱可塑性樹脂42の形態は図5(b)に示す形態となりやすい。すなわち、第2熱可塑性樹脂42の高分子鎖の一部分に含まれる複数の吸着性基が基板11に吸着し、高分子鎖の他の部分が基板11に束縛されずにフリーな状態となる。
 第2熱可塑性樹脂42の高分子鎖のうち、基板11に束縛されない部分に反応性基が存在するため、被着体の表面に存在する官能基との反応性が顕著に向上する。この結果、基板11と被着体との間の接着力が向上する。
 また、図4に示される構造では、第2熱可塑性樹脂42が占める部分によって基板11-束縛ポリマー層の異種材料界面の接合によって生じる応力を効果的に緩和することができ、この点からも基板11と被着体との間の接着力が向上する。
 第2実施形態において、第1熱可塑性樹脂41および第2熱可塑性樹脂42は、いずれもマルチサイト型のポリマーであることが好ましい。マルチサイト型のポリマーを用いれば、基板11表面に強く密着した束縛ポリマー層を実現することができ、この結果、束縛ポリマー層のクロロホルム溶解指数Rが顕著に低減する。このようなマルチサイト型のポリマーの例は前述したとおりである。
 基板11の表面に対して第1熱可塑性樹脂41を吸着させ、第1熱可塑性樹脂41の吸着していない領域に第2熱可塑性樹脂42を制限的に吸着させる形態は、以下のようにして作製することができる。
 まず、第1熱可塑性樹脂41を含む樹脂組成物を基板11表面に塗布する。この樹脂組成物は、第1熱可塑性樹脂41からなるものとしてもよいし、第1熱可塑性樹脂41を溶剤に溶解ないし分散させたものとしてもよい。また、第1熱可塑性樹脂41以外の他の熱可塑性樹脂や他のポリマーを含んでいてもよいし、適宜、他の添加剤や無機フィラーを含んでいてもよい。
 塗布の方式は、薄膜を形成できる方式であればよく、例えば、スピンコート、ディスペンサー、インクジェット、スリットコート、スクリーン印刷等の手法を用いることができる。
 次いで、基板11表面に形成されたウエット状態の塗布膜を乾燥させた後、加熱処理して第1熱可塑性樹脂41の薄膜を得る。
 その後、第1熱可塑性樹脂41の薄膜に対して、膜厚がほとんど変わらなくなるまで溶剤で複数回洗浄する。以上により、第1熱可塑性樹脂41からなる束縛層が形成される。溶剤としては、たとえばクロロホルムを用いることができる。
 上記の束縛層の上から、第2熱可塑性樹脂42を含む樹脂組成物を基板11表面に塗布する。この樹脂組成物は、第2熱可塑性樹脂42からなるものとしてもよいし、第2熱可塑性樹脂42を溶剤に溶解ないし分散させたものとしてもよい。また、第2熱可塑性樹脂42以外の他の熱可塑性樹脂や他のポリマーを含んでいてもよいし、適宜、他の添加剤や無機フィラーを含んでいてもよい。
 塗布の方式は、薄膜を形成できる方式であればよく、例えば、スピンコート、ディスペンサー、インクジェット、スリットコート、スクリーン印刷等の手法を用いることができる。
 次いで、第2熱可塑性樹脂42の塗布膜を乾燥させた後、加熱処理して第2熱可塑性樹脂42の薄膜を得る。
 第1熱可塑性樹脂41からなる束縛層は、分子スケールでみれば間隙があり、この間隙に第2熱可塑性樹脂42の高分子鎖が侵入した形態で第2熱可塑性樹脂42の薄膜が形成される。
 次に、第2熱可塑性樹脂42の薄膜に対して、膜厚がほとんど変わらなくなるまで溶剤で複数回洗浄する。溶剤としては、たとえばクロロホルムを用いることができる。
 以上により、第1熱可塑性樹脂41および第2熱可塑性樹脂42により構成された束縛ポリマー層12が形成される。
 得られた束縛ポリマー層12は、図4に模式的に示した構造を備える。前述したとおり、第1熱可塑性樹脂41からなる束縛層は、分子スケールでみれば間隙があり、この間隙に第2熱可塑性樹脂42の高分子鎖が侵入する。このため、第2熱可塑性樹脂42の高分子鎖の一部分に含まれる複数の吸着性基が基板11に吸着し、高分子鎖の他の部分が基板11に束縛されずにフリーな状態となる。
[第3実施形態]
 第3実施形態について図6に基づいて説明する。第3実施形態は、接合体に関する。
 図6は、接合体の層構造を模試的に説明する図である。同図において、接合体300は、接着性基体100と、接着性基体100と接合する被着体150からなる層構造を有する。
 接合体300は、第2実施形態で説明した接着性基体1を用意し、この接着性基体に被着体を接合させたものである。
 第2実施形態で説明した接着性基体1の表面には、第2熱可塑性樹脂42の有する反応性基からなる反応活性部が形成されている。
 一方、被着体150の少なくとも一表面には、上記反応性基と反応して化学結合を形成する官能基を有する化合物が存在する。
 したがって、第2実施形態で説明した接着性基体を用意し、この接着性基体に被着体を当接させた状態で光照射または熱処理させることで、接着性基体の反応活性部と被着体の表面にある官能基とが反応して共有結合を形成する。このようにして得られた構造体が本実施形態の接合体300である。
 接合体300の製造方法としては、表面に束縛ポリマー層が形成された接着性基体100を作製した後、この接着性基体100と被着体150とを接着させる方法が挙げられる。
 また、束縛ポリマー層形成材料と、被着体形成材料とを含む接着性樹脂組成物を基体表面に付着させた後、束縛ポリマー層形成材料を基体表面にマイグレートさせ、さらに、束縛ポリマー層の反応性基を活性化させて被着体形成材料との間で共有結合を形成させることで、接着性基体と被着体とが接着してなる接合体300を作製することもできる。
 束縛ポリマー層形成材料と被着体形成材料とを含む接着性樹脂組成物とは、束縛ポリマー層形成成分および被着体形成成分を含むものである。この樹脂組成物は、液状または固体のいずれであってもよい。
 接着性樹脂組成物が液状組成物である場合、束縛ポリマー層形成材料と被着体形成材料の両方を含む一液型組成物としてもよいし、束縛ポリマー層形成材料を含むA液と被着体形成材料を含むB液とを含む二液型組成物としてもよい。
 接着性樹脂組成物が液状組成物である場合、接着性樹脂組成物は、束縛ポリマー層形成材料および/または被着体形成材料を溶剤に溶解ないし分散したワニス状組成物であってよいし、これらが水中に懸濁ないしエマルジョンの形態で分散した組成物であってもよい。
 接着性樹脂組成物が固体組成物である場合、その形態としては、シート、板状、粒子等が挙げられる。
[第4実施形態]
 図7は、第4実施形態である多層接合体の層構造を模試的に説明する図である。同図において、多層接合体400は、第1の接着性基体100と、第2の接着性基体200と、これらの接着性基体の間に介在する被着体150からなる層構造を有する。
 多層接合体300は、第2実施形態で説明した接着性基体を2枚用意し、これらの間に被着体を挟んで接着させたものである。すなわち、第1の接着性基体100および第2の接着性基体200は、いずれも、第2実施形態で説明した接着性基体と基本的には同一の構造を有し、接着性基体表面に存在する反応性基が被着体150表面と反応したものである。
 第2実施形態で説明した接着性基体1の表面には、第2熱可塑性樹脂42の有する反応性基からなる反応活性部が形成されている。
 一方、これらの間に挟む被着体の両表面には、上記反応性基と反応して化学結合を形成する官能基を有する化合物が存在する。
 したがって、第2実施形態で説明した接着性基体を2枚用意し、これらの間に被着体を挟んで光照射または熱処理することで、接着性基体の反応活性部と被着体の表面にある官能基とが反応して共有結合を形成する。
 このようにして得られる構造体が第4実施形態の多層接合体400である。
[適用分野]
 本明細書に記載した接着技術の適用分野は特に限定されない。例えば、本明細書に記載した接着性基体は、基体と有機樹脂を接合する製品全般に適用できる。
 適用分野の代表例としては、以下が挙げられる。もちろん、これら以外の適用分野にも本明細書に記載した接着技術を適用することは可能である。
・自動車、鉄道、航空機等の輸送機器に用いられる部品や部材の接着
・建築用建材、建築用資材等の建築用部材の接着
・道路、橋梁等の構造物に用いられる部材の接着
・半導体素子・パッケージおよびこれらを含む半導体製品を製造する際の部品や部材の接着
・配線基板、電子回路ユニット等の電子部品を製造する際の部品や部材の接着
・電化製品、日用品、家具等を製造する際の部品や部材の接着
 以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
 本発明の実施態様を、実施例および比較例に基づき詳細に説明する。念のため述べておくと、本発明は実施例のみに限定されない。
[GPC測定条件]
 用いた試料の重量平均分子量、数平均分子量およびそれらの分子量分布は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)装置(日本分光社製、型式:EXTREMA)および標準ポリメタクリル酸メチル検量線を用いたGPC測定により決定した。GPC測定の具体的条件は以下のとおりである。
 カラム:TSKgel guard column MP(XL)(内径6.0mm×長さ4cm、東ソー社製)、TSKgel MultiporeHXL-M×3(内径7.8mm×長さ30cm、東ソー社製)
 カラム温度:40℃
 溶離液:テトラヒドロフラン
 サンプル注入量:100μL
 検出器:示差屈折検出器、紫外可視吸光度検出器
[実施例1]
(概要)
 実施例1では、以下の接着性基体と、被着体とを接着した。
・接着性基体
 基体であるSi基板の表面に、束縛ポリマー層として、L鎖およびS鎖のPMMAからなる熱可塑性樹脂層(ラジカル反応性基を含む)を用いて接着性基体を構成したもの
・被着体
 ポリプロピレンシート
 本実施例では、まず、PMMA吸着層(S鎖のPMMA)を形成し、次いでその表面に反応性基(ベンゾフェノン構造含有)を有するPBP吸着層を形成した。これにより、束縛ポリマー層を形成した。束縛ポリマー層のクロロホルム溶解指数Rは3%以下であった。
 束縛ポリマー層は、模式的には、図1に示される構造であると考えられる。つまり、束縛ポリマー層の表面には、反応性基(ベンゾフェノン構造含有)が分布して反応活性部が形成され、接着性が発現する。
 以下、詳細を説明する。
(使用素材について)
 PMMA(ポリメチルメタクリレート)として、Polymer Source社製のElectronicsグレードのものを用いた。これの数平均分子量は300k、分散度は1.05であった。
 また、ベンゾフェノン基を含有するメタクリレートポリマー(PBP)として、以下のようにモノマー合成およびポリマー合成を行って得られたものを用いた。
・モノマー合成
 モノマーである3-methacryloxy-2-hydroxy-4-oxybenzophenone(BP)は、glycidyl methacrylate(GMA)のエポキシ基と4-hydroxybenzophenone(4-HBP)のヒドロキシ基の反応より合成した。具体的には、GMA(0.2mol、28.4g)、4-HBP(0.22mol、43.6g)、tetramethylammonium chloride(TMAC)(1.0wt%、0.72g)をナスフラスコ中に入れ、358Kにて5h撹拌した。得られた黄色の液体に100mLのジクロロメタンを添加して撹拌した後、0.10mol・L-1のNaOH水溶液400mLおよび水400mLを用いた分液操作により有機相を回収した。さらに、再度分液操作を行い、得られた有機相を硫酸ナトリウムで脱水すると、黄色の液体となった。その後、エバポレーターによりジクロロメタンを減圧留去すると、黄色の粘性液体が得られた。
・ポリマー合成
 ポリマーであるPBPは、azobis(isobutyronitrile)(AIBN)を開始剤としたフリーラジカル重合にて合成した。具体的には、まず、アニソール(16mL)に、上記モノマー合成で得られたBP(10mmol、3.4g)とAIBN(9.9mg、0.06mmol)とを加え、窒素ガスでバブリングした。次に、これらの混合物をオイルバス中で343Kで2h撹拌し、重合を進行させた。その後、クロロホルムに溶解させ、ヘキサンに沈殿させた。再沈殿操作を2回繰り返し、最後に5h減圧乾燥した。
 得られたポリマーの数平均分子量は65.4k、分散度は2.22であった。
(評価用基体の準備)
 4cm×1cmのSi基板を準備した。これを、HSO/H=7:3のピラニア腐蝕液に80℃で120分間浸漬してピラニア処理を施し、その後、純水で十分に洗浄した。このようにして評価用基体を得た。
(PMMA吸着層の形成)
 評価用基体上に、スピンコート法により、2000rpm、60sの条件で、PMMAのトルエン溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、455K(PMMAのガラス転移温度+50℃)で24時間熱処理した。これによりSi基板上に膜厚約100nmのPMMA薄膜を設けた。このPMMA薄膜を、膜厚がほとんど変わらなくなるまでトルエンで少なくとも4回洗浄した。
 以上により、評価用基体の表面にPMMA吸着層を設けた。X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したPMMA吸着層の厚みは7nmであった。
(PBP吸着層の形成)
 上記のPMMA吸着層上に、スピンコート法により、2000rpm、60sの条件で、PBPのメチルエチルケトン溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、室温で12時間静置してメチルエチルケトンを乾燥させた。これによりPMMA吸着層上に膜厚約100nmのPBP薄膜を設けた。このPBP薄膜を、膜厚がほとんど変わらなくなるまでクロロホルムで少なくとも4回洗浄した。洗浄後、前述の手順によりクロロホルム溶解指数Rを求め、Rの値が0であることを確認した。
 以上により、PMMA吸着層形成後、PBP吸着層を形成した。すなわち、まず反応性基を有しないPMMA吸着層を設け、その次に反応性基を有するPBP吸着層を設けることで、PMMAが吸着した領域以外の基体表面領域(PMMA吸着層を分子スケールで見たときの間隙部分)にPBPが吸着し、そして反応性基(ベンゾフェノン構造含有)が表面に分布して反応活性部を形成している束縛ポリマー層(束縛ポリマー層全体としてのクロロホルム溶解指数Rは3%以下である)を得た。X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したこの束縛ポリマー層の厚みは11nmであった。 
(接着試料の作製と評価)
 ホットプレス成形したポリプロピレン製シート(日本ポリプロ社製のイソタクチックポリプロピレン「ノバテックPP」、厚み0.6mm)と、上記のPBP吸着層とを貼り合わせ、大気中、443Kにて、紫外光(365nm、120W)を15秒間照射した。これにより接着試料を作製した。その後、接着試料を室温まで徐冷した。
 室温まで徐冷した後においても、接着試料の接着は維持された。ピンセットを用いてPBP吸着層-ポリプロピレン製シート間の剥離を試みたところ、Si基板が破断し、ポリプロピレン製シート上にSi基板が残存した。つまり、通常はSi基板に接着しにくいポリプロピレンがSi基板に強く接着したことが確認された。
[比較例1]
 PBP吸着層を形成しなかったこと以外は実施例1と同様の手順で、Si基板の処理、接着試料の作製と評価などを行った。すなわち、ホットプレス成形したポリプロピレン製シートと、PMMA吸着層とを貼り合わせることを試みた。しかし、接着試料を室温まで徐冷すると、ポリプロピレン製シートは直ちに剥離してしまった。
[実施例2]
(概要)
 実施例2では、以下の第1接着性基体と第2接着性基体とにより被着体を挟み、接着することで、多層接合体を得た。
・第1接着性基体
 基体としてシリコン基板を用い、束縛ポリマー層としてL鎖およびS鎖のPMMAからなる熱可塑性樹脂層を用いて第1接着性基体を構成した。
・第2接着性基体
 基体として石英基板を用い、束縛ポリマー層としてL鎖およびS鎖のPMMAからなる熱可塑性樹脂層を用いて第2接着性基体を構成した。
・被着体
 ナイロンシートを被着体として用いた。
 第1接着性基体および第2接着性基体は、いずれも、以下の手順で作製される。まず、PMMA吸着層(S鎖のPMMA)を形成し、次いでその表面に反応性基(ベンゾフェノン構造含有)を有するPBP吸着層を形成する。これにより、束縛ポリマー層が得られる。
 第1接着性基体および第2接着性基体の束縛ポリマー層の表面には、反応性基(ベンゾフェノン構造含有)が分布して反応活性部が形成され、接着性が発現する。後述するように、各束縛ポリマー層のクロロホルム溶解指数Rは、いずれも0%であった。
 この接合体は、第1接着性基体と被着体の接着界面と、第2接着性基体と被着体の接着界面とを含む。見方を変えると、シリコン基板と石英基板が一対の被着体であり、これらに挟まれる部分が接着剤層であると把握することもできる。すなわち、第1接着性基体に含まれるPMMAからなる熱可塑性樹脂層、ナイロン、および、第2接着性基体に含まれるPMMAからなる熱可塑性樹脂層の積層体からなる接着剤層によって、シリコン基板と石英基板が接着された構造体であると把握することもできる。
 以下、詳細を説明する。
(吸着層の形成)
 石英基板上に、実施例1の手順に準じて、PMMA吸着層とPBP吸着層からなる束縛ポリマー層を設けた。
 また、実施例1と同様にして、ピラニア処理が施されたSi基板上に、PMMA吸着層とPBP吸着層からなる束縛ポリマー層を設けた。
 石英基板上の束縛ポリマー層、Si基板上の束縛ポリマー層、ともにクロロホルム溶解指数Rの値は0%であった。
(接着試料の作製と評価)
 石英基板上に設けた上記の吸着層と、Si基板上に設けた上記の吸着層の間に、Nylon6膜を挟んで積層構造を得た。Nylon6としては、ヘキサフルオロ-2-プロパノール(HFIP)のポリマー濃度3wt%の溶液から溶媒キャスト法により調製された、乾燥膜厚23.9±0.8μmのものを用いた。
 上記積層構造を、大気中、210℃で10分間保持した(Nylon6の結晶が融解し、膜が透明になった)。
 その後、210℃の加熱を維持したまま、石英基板の側から、波長365nmの光を10分間照射した。光源と石英基板との間の距離は7.4cmとした。
 光照射の後、室温下で30分間放置し、徐冷した。
 以上の手順により得られた積層体において、石英基板とSi基板とは、Nylon6を介して強力に接着していた。ピンセットで両者を引きはがそうとせん断力を印加すると、石英基板およびSi基板の凝集破壊が起こった。
[参考例]
 反応性基が、束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成することによる効果を検証するため、実施例1におけるPMMA吸着層とPBP吸着層の形成順序を逆にして束縛ポリマー層を形成した。具体的な手順は以下のとおりである。
 以下において用いたPMMAとPBPは、実施例1と同様である。
(評価用基体の準備)
 実施例1と同様の、ピラニア処理が施されたSi基板を評価用基体とした。
(PBP吸着層の形成)
 評価用基体上に、スピンコート法により、2000rpm、60sの条件で、PBPのメチルエチルケトン溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、室温で12時間静置してメチルエチルケトンを乾燥させた。これにより膜厚約100nmのPBP薄膜を設けた。このPBP薄膜を、膜厚がほとんど変わらなくなるまでメチルエチルケトンで少なくとも4回洗浄した。
 以上により、評価用基体の表面にPBP吸着層を設けた。X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したPBP吸着層の厚みは3.7nmであった。
(PMMA吸着層の形成)
 上記のPBP吸着層上に、スピンコート法により、2000rpm、60sの条件で、PMMAのトルエン溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、455K(PMMAのガラス転移温度+50℃)で60時間熱処理した。これによりPBP吸着層上に膜厚約100nmのPMMA薄膜を設けた。このPMMA薄膜を、膜厚がほとんど変わらなくなるまでクロロホルムで少なくとも4回洗浄した。複数回の洗浄後、前述の手順によりクロロホルム溶解指数Rを求め、Rの値が3%以下であることを確認した。
 以上により、PBP吸着層形成後、PMMA吸着層を形成した。すなわち、まず反応性基を有するPBP吸着層を設け、その次に反応性基を有しないPMMA吸着層を設けることで、PBPが吸着した領域以外の基体表面領域(PBP吸着層を分子スケールで見たときの間隙部分)にPMMAが吸着し、反応性基(ベンゾフェノン構造含有)が表面に分布していない束縛ポリマー層(クロロホルム溶解指数Rは3%以下)を得た。
 X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価した、PBP吸着層とPMMA吸着層とをあわせた束縛ポリマー層全体の厚みは4.8nmであった。
(接着試料の作製と評価)
 ホットプレス成形したポリプロピレン製シート(日本ポリプロ社製のイソタクチックポリプロピレン「ノバテックPP」、厚み0.6mm)と、上記のPBP吸着層とを貼り合わせ、大気中、443Kにて、紫外光(365nm、120W)を15秒間照射した。これにより接着試料を作製した。その後、接着試料を室温まで徐冷した。
 室温まで徐冷した後、ポリプロピレン製シートは容易に剥離した。剥離のしやすさは比較例1と同程度であった。この結果から、反応性基が束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成することが、高い接着強度に関係していることが理解される。
[実施例3]
(概要)
 実施例1および2では、熱可塑性樹脂層としてラジカル反応性基を含むものを用いて接着性基体を構成したが、実施例3では、熱可塑性樹脂層として付加反応性基(具体的にはエポキシ基)を含むものを用いて接着性基体を構成した。つまり、実施例3では、以下の接着性基体と、被着体とを接着した。
・接着性基体
 基体であるSi基板の表面に、束縛ポリマー層を設けた接着性基体を作製した。
 束縛ポリマー層は、反応性基を有しないポリスチレン吸着層と、反応性基を有するポリグリシジルメタクリレート吸着層とを含む。
・被着体
 ナイロン6フィルム
 以下、詳細を説明する。
(評価用基体の準備)
 実施例1と同様にしてピラニア処理などを行い、評価用基体を得た。
(ポリスチレン吸着層の形成)
 まず、ポリスチレンとして、Polymer Source社製のスタンダードのものを準備した。これの数平均分子量は235k、GPC測定に基づく分散度は1.05であった。
 評価用基体上に、上記ポリスチレンのトルエン溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、417K(ポリスチレンのガラス転移温度+30℃)で24時間熱処理した。これによりSi基板上にポリスチレン薄膜を設けた。このポリスチレン薄膜が設けられたSi基板を、クロロホルムに30分浸漬することを7回繰り返した。このようにして、評価用基体の表面に、クロロホルム溶解指数Rが0%であるポリスチレン吸着層を設けた。X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したポリスチレン吸着層の厚みは4.1nmであった。
(ポリグリシジルメタクリレート吸着層を形成するためのポリマー合成)
 ポリグリシジルメタクリレート(PGMA)を、azobis(isobutyronitrile)(AIBN)を開始剤として用いるフリーラジカル重合にて合成した。具体的な手順は以下のとおりである。
 まず、テトラヒドロフラン(66.8mL)に、市販のグリシジルメタクリレート(GMA)モノマー(150mmol、21.3g)とAIBN(0.25mg、1.5mmol)とを加え、窒素ガスでバブリングした。これにより混合物を得た。
 次に、得られた混合物を、オイルバス中で、333K、2h撹拌し、重合を進行させた。これにより粗ポリマーを得た。
 その後、得られた粗ポリマーをテトラヒドロフランに溶解させて溶液とした。この溶液を貧溶媒であるヘキサンに投入して再沈殿させた。この再沈殿操作を2回繰り返した。最後に得られた沈殿物を12h減圧乾燥した。以上によりポリマー(ポリグリシジルメタクリレート)を得た。
 得られたポリマーの数平均分子量は95k、分散度は1.58であった。
(ポリグリシジルメタクリレート吸着層の形成)
 上記のポリスチレン吸着層上に、スピンコート法により、2000rpm、60sの条件で、ポリグリシジルメタクリレートのクロロホルム溶液(ポリマー濃度3wt%)を塗布し、真空下、377K(PGMAのガラス転移温度+30℃)で12時間静置してクロロホルムを乾燥させた。このようにして設けたポリグリシジルメタクリレート薄膜について、クロロホルムに30分浸漬することを7回繰り返して、クロロホルム溶解指数Rが0%となるようにした。
 以上により、基体の表面にポリスチレン吸着層を形成後、ポリグリシジルメタクリレート吸着層を形成した。すなわち、まず反応性基を有しないポリスチレン吸着層を設け、その次に反応性基を有するポリグリシジルメタクリレート吸着層を設けることで、ポリスチレンが吸着した領域以外の基体表面領域(ポリスチレン吸着層を分子スケールで見たときの間隙部分)にポリグリシジルメタクリレートが吸着し、そして反応性基(エポキシ基)が表面に分布して反応活性部を形成している束縛ポリマー層(束縛ポリマー層全体としてのクロロホルム溶解指数Rは3%以下である)を得た。X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したこの束縛ポリマー層の厚み(ポリスチレン吸着層とポリグリシジルメタクリレート吸着層の合計)は15.1nmであった。
(接着試料の作製と評価)
・接着性試験1
 上記で得られた接着性基体のポリグリシジルメタクリレート吸着層の上に、ナイロン6フィルムを置いた。さらにその上から、上記(ポリスチレン吸着層の形成)に記載のようにして得た、ポリスチレン吸着層を有する基体を、そのポリスチレン吸着層がナイロン6フィルムと接するようにして置き、ナイロン6フィルムを2枚の基体で挟み込んだ。そして、200℃、10分間熱処理した。このようにして評価用接合体を得た。すなわち、[基体-ポリスチレン吸着層-ポリグリシジルメタクリレート吸着層]-[ナイロン6]-[ポリスチレン吸着層-基体]の層構成を備える評価用接合体を得た。
 得られた評価用接合体について、ピンセットで剥離(破壊)を試みた。剥離(破壊)はナイロン6フィルム-ポリスチレン吸着層の間で起こり、ナイロン6フィルム-ポリグリシジルメタクリレート吸着層の間では起こらなかった。ナイロン6フィルムはポリグリシジルメタクリレート吸着層と強固に接着していた。
・接着性試験2
 ポリスチレン吸着層を有する基体の代わりに、ピラニア処理されたSiウエハ(ポリマー層は形成されていない)を用いた以外は、上記接着性試験1と同様にして、評価用接合体を得た。すなわち、[基体-ポリスチレン吸着層-ポリグリシジルメタクリレート吸着層]-[ナイロン6]-[基体]の層構成を備える評価用接合体を得た。
 得られた評価用接合体について、ピンセットで剥離(破壊)を試みた。剥離(破壊)はナイロン6フィルム-Siウエハ間で起こり、ナイロン6フィルム-ポリグリシジルメタクリレート吸着層の間では起こらなかった。ナイロン6フィルムはポリグリシジルメタクリレート吸着層と強固に接着していた。
 以上の試験結果から、熱可塑性樹脂層のエポキシ基とナイロン6フィルムのアミド基とが反応して結合が形成され、強い接着力が得られたことが理解される。
[実施例4]
 実施例4は、実施例3と同様、熱可塑性樹脂層として付加反応性基(具体的にはエポキシ基)を含むものを用いて接着性基体を構成した。
 ポリグリシジルメタクリレートの代わりにフェノールノボラック型エポキシ樹脂(DIC社製「EPICLON(登録商標)N-775」)を用いた以外は、実施例3と同様にして、接着性基体を得た。すなわち、Si基板上に、ポリスチレンが吸着した領域以外の基体表面領域(ポリスチレン吸着層を分子スケールで見たときの間隙部分)にフェノールノボラック型エポキシ樹脂が吸着し、そして反応性基(エポキシ基)が表面に分布して反応活性部を形成している束縛ポリマー層を得た。
 X線反射率測定および偏光解析測定に基づき評価したこの束縛ポリマー層の厚み(ポリスチレン吸着層とフェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層の合計)は4.1nmであった。フェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層は極めて薄く形成されたと考えられる。また、この束縛ポリマー層のクロロホルム溶解指数Rは0%であった。
 上記で得られた接着性基体を用いて、実施例3における(接着試料の作製と評価)と同様に、接着性試験1および接着性試験2を行った。
 接着性試験1において、剥離(破壊)はナイロン6フィルム-ポリスチレン吸着層で起こり、ナイロン6フィルム-フェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層の間では起こらなかった。ナイロン6フィルムはフェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層と強固に接着していた。
 また、接着性試験2において、剥離(破壊)はナイロン6フィルム-Siウエハ間で起こり、ナイロン6フィルム-フェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層の間では起こらなかった。ナイロン6フィルムはフェノールノボラック型エポキシ樹脂吸着層と強固に接着していた。
 以上の試験結果から、実施例4においても、熱可塑性樹脂層のエポキシ基とナイロン6フィルムのアミド基とが反応して結合が形成され、強い接着力が得られたものと理解される。
[補足]
 実施例1および2においては、束縛ポリマー層の反応性基としてラジカル反応性基を採用することで良好な結果を得ることができた。また、実施例3および4においては、束縛ポリマー層の反応性基として付加反応性基を採用することで良好な結果を得ることができた。
 これらの結果から、束縛ポリマー層の反応性基としては、被着体と反応して結合形成可能なものである限り、幅広い化学構造を採用することができるといえる。
[比較例2]
(概要)
 比較例2では、束縛ポリマー層が厚すぎる場合には満足な接着性が得られないことを示す。
 以下、詳細を説明する。
(評価用基体の準備)
 実施例1と同様にしてピラニア処理などを行い、評価用基体を得た。
(PMMA膜の形成)
 トルエンでの洗浄を全く行わなかったこと以外は、実施例1の(PMMA吸着層の形成)と同様にして、Si基板上に膜厚100nmのPMMA膜を設けた。
(PBP膜の形成)
(1)Si基板(上記の評価用基体とは異なる)に、2wt%ポリスチレンスルホン酸水溶液を3000rpm、60sの条件でスピンコートした。室温、真空の下で水を蒸発させて、水溶性のポリスチレンスルホン酸膜を形成した(この膜は、後述のように「犠牲膜」として機能する)。
(2)上記ポリスチレンスルホン酸膜の上に、PBP(実施例1で用いたものと同じ)の1wt%溶液(溶媒:2-ブタノン)を、3000rpm、60sの条件でスピンコートした。室温、真空の下で溶媒を蒸発させた。これにより、ポリスチレンスルホン酸膜の上に、厚さ20nmのPBP膜を設けた。
(3)上記(2)で得られた、ポリスチレンスルホン酸膜およびPBP膜が設けられたSi基板を、純水中に静かに浸漬した。これにより、ポリスチレンスルホン酸膜は水に溶解して、PBP膜が純水に「浮く」ようにした。
(4)上記(3)で純水に浮いたPBP膜を、上記(PMMA膜の形成)で形成したPMMA膜の上に移しとった。
 以上により、評価用基体の表面に、厚さ100nmのPMMA膜と、厚さ20nmのPBP膜と、がこの順に設けられた接着性基体を得た。
(接着試料の作製と評価)
 ホットプレス成形したポリプロピレン製シート(日本ポリプロ社製のイソタクチックポリプロピレン「ノバテックPP」、厚み0.6mm)と、上記のPBP膜とを貼り合わせ、大気中、443Kにて、紫外光(365nm、120W)を10分間照射した。これにより接着試料を作製した。その後、接着試料を室温まで徐冷した。
 ピンセットを用いてPBP膜-ポリプロピレン製シート間の剥離を試みたところ、実施例1とは異なり、Si基板(評価用基体)を破壊することなく、ポリプロピレン製シートを剥離することができた。つまり、実施例1と比べて接着力は劣っていた。
 比較例2の結果から、束縛ポリマー層が厚すぎると満足な接着力が得られないことが理解される。
[実施例5]
(概要)
 この実施例では、熱可塑性樹脂が、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーと、を含む場合において、束縛ポリマー(S鎖)の厚みを変えた例を示す。
 以下、詳細を説明する。
(具体的手順)
 (PMMA吸着層の形成)において以下3点を変更した以外は実施例1と同様にして、評価用基体の表面に、クロロホルム溶解指数Rの値が0%である束縛ポリマー層が形成された接着性基体を得た。ちなみに、以下(iii)の条件変更により、PMMA吸着層のクロロホルム溶解指数Rも0%となった。
(i)スピンコートの回転数を2000rpmではなく3000rpmにしたこと
(ii)熱処理時間を24時間ではなく0~80時間に変更したこと
(iii)PMMA薄膜の洗浄を、トルエンではなくクロロホルムで行ったこと
 処理時間の変更により、PMMA吸着層の厚みはおおよそ2.0~3.4nmの範囲内で変化した。基本的に処理時間を長くするとPMMA吸着層は厚くなる傾向がみられた。
 上記のようにして得られた、様々な厚みのPMMA吸着層を有する評価用基体を用いて、実施例1の(接着試料の作製と評価)と同様にして接着性を評価した。実施例1と同様、ポリプロピレン製シートがSi基板に強く接着する結果が得られた。つまり、実施例5においても、優れた接着力が得られた。
[実施例6]
(概要)
 この実施例では、熱可塑性樹脂が、反応性熱可塑性樹脂と、反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーと、を含む場合において、反応性熱可塑性樹脂(L鎖)の厚み、および/または、束縛ポリマー(S鎖)の厚みを変えた例を示す。
 以下、詳細を説明する。
(具体的手順)
 以下(i)および(ii)を変更したこと以外は実施例1と同様にして、評価用基体の表面に、クロロホルム溶解指数Rの値が0%である束縛ポリマー層が形成された接着性基体を得た。
(i)PBPとして、実施例1で用いた数平均分子量が65.4kで分散度が2.22のものではなく、数平均分子量が119kで分散度が2.11のものを用いたこと
(ii)(PMMA吸着層の形成)において、スピンコートの回転数を2000rpmではなく3000rpmにしたこと、熱処理時間を24時間ではなく0~80時間に変更したこと、および、PMMA薄膜の洗浄を、トルエンではなくクロロホルムで行ったこと
 ちなみに、PMMA薄膜の洗浄をクロロホルムで行ったことにより、PMMA吸着層のクロロホルム溶解指数Rも0%となった。
 上記のようにして形成した接着性基体における、PMMA吸着層の厚み、PBP吸着層の厚みおよびこれら厚みの比(PBP吸着層/PMMA吸着層)を下表に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
 また、上記とは別に、(PMMA吸着層の形成)において、スピンコートの回転数を2000rpmではなく3000rpmにしたこと、熱処理時間を24時間ではなく0~80時間に変更したこと、および、PMMA薄膜の洗浄を、トルエンではなくクロロホルムで行ったこと以外は、実施例1と同様(用いた材料は実施例1とすべて同じ)にして、クロロホルム溶解指数Rの値が0%である束縛ポリマー層が形成された接着性基体を得た。ちなみに、PMMA薄膜の洗浄をクロロホルムで行ったことで、PMMA吸着層のクロロホルム溶解指数Rも0%となった。
 得られた接着性基体における、PMMA吸着層の厚み、PBP吸着層の厚みおよびこれら厚みの比(PBP吸着層/PMMA吸着層)を下表に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
 表2および表3のそれぞれから理解されるとおり、PMMA吸着層の形成の際の熱処理時間を変えることで、PMMA吸着層の厚みを変えることができた。具体的には、熱処理時間を長くするほど厚いPMMA層を得ることができた。これは、熱処理により基体へのPMMAの吸着吸着が促進されたためと考えられる。
 また、表2におけるPBP吸着層の厚みは、表3におけるPBP吸着層の厚みの2倍程度であった。用いるポリマーの分子量を変更することでPBP吸着層(L鎖)の厚みを変えられることが理解される。
 上記の様々な厚みのPMMA吸着層およびPBP吸着層を有する評価用基体を用いて、実施例1の(接着試料の作製と評価)と同様にして接着性を評価した。実施例1と同様、ポリプロピレン製シートがSi基板に強く接着する結果が得られた。つまり、実施例6においても、優れた接着力が得られた。
 この出願は、2020年8月28日に出願された日本出願特願2020-144312号を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
1    接着性基体
11   基板
12   束縛ポリマー層
41   第1熱可塑性樹脂
42   第2熱可塑性樹脂
100  接着性基体(第1の接着性基体)
150  被着体
200  接着性基体(第2の接着性基体)
300  接合体
400  多層接合体
A    吸着性基
B    反応性基

Claims (22)

  1.  被着体に接着させて構造体を形成する用途に用いられる接着性基体であって、
     基体と、
     前記基体の表面に吸着または結合して前記表面に束縛された熱可塑性樹脂により構成された、厚み1~20nmの束縛ポリマー層と、
    を含み、
     前記熱可塑性樹脂は、ラジカル反応性基または付加反応性基からなる反応性基を有する反応性熱可塑性樹脂を含み、
     前記反応性基は、前記束縛ポリマー層の表面に分布して反応活性部を形成している、接着性基体。
  2.  請求項1に記載の接着性基体であって、
     前記束縛ポリマー層の、以下の工程1~3からなる手順で得られるクロロホルム溶解指数Rの値は3%以下である、接着性基体。
    <手順>
    ・工程1
     前記束縛ポリマー層の層厚を測定して得られた測定値をDとする。
    ・工程2
     以下の手順によりクロロホルム処理を行う。
     (i)容器内にクロロホルムを収容し、クロロホルムの温度を25℃に維持する。
     (ii)前記束縛ポリマー層の表面を上記クロロホルムに接液させた状態で30分間保持する。
     (iii)上記(ii)の状態から前記束縛ポリマー層の表面をクロロホルムから離隔させ、次いで前記表面をクロロホルムで洗い流した後、前記表面に残ったクロロホルムをウエスで吸い取り、そして真空乾燥させる。
    ・工程3
     前記工程2を実施した後に残る束縛ポリマー層の膜厚を測定して得られた測定値をD'とし、{(D-D')/D}×100をクロロホルム溶解指数R(%)とする。
  3.  請求項1または2に記載の接着性基体であって、
     前記反応性基はラジカル反応性基であり、
     前記ラジカル反応性基は、ベンゾフェノン骨格、ベンゾイル骨格、アントラキノン骨格、チオキサントン骨格からなる群より選ばれる少なくともいずれかの骨格を含む、接着性基体。
  4.  請求項1または2に記載の接着性基体であって、
     前記反応性基が付加反応性基であり、
     前記付加反応性基は、アミノ基、アミド基、カルボキシル基、水酸基、エポキシ基、オキセタニル基、チオール基、イソシアネート基、酸無水物基およびマレイミド基からなる群から選択されるいずれかの官能基である、接着性基体。
  5.  請求項1~4のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記基体が、有機ポリマー、セラミックス、半導体または金属により形成されたものである、接着性基体。
  6.  請求項1~5のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記反応性基は、ラジカル反応性基であり、
     前記被着体の表面が、C-H結合を有するポリマーにより形成されている、接着性基体。
  7.  請求項1~6のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記反応性基は、付加反応性基であり、
     前記被着体の表面が、前記付加反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する熱可塑性樹脂により形成されている、接着性基体。
  8.  請求項1~7のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記反応性熱可塑性樹脂は、-COOR(Rはメチル基またはエチル基)で表される基、エステル結合、ヒドロキシ基、メルカプト基、アミノ基、アミド基、エポキシ基、イソシアネート基、酸無水物基、マレイミド基およびベンゼン環含有基からなる群から選ばれる一または二以上の吸着性基を、分子内に少なくとも二以上有する、接着性基体。
  9.  請求項1~8のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記反応性熱可塑性樹脂は、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、ポリエステルおよびノボラック型フェノール樹脂からなる群より選ばれる少なくともいずれかを含む、接着性基体。
  10.  請求項1~9のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記基体の表面に吸着または結合して前記表面に束縛された前記熱可塑性樹脂は、前記反応性熱可塑性樹脂と、前記反応性熱可塑性樹脂以外の束縛ポリマーと、を含み、
     前記束縛ポリマーが吸着または結合した領域以外の基体表面領域に、前記反応性熱可塑性樹脂が吸着ないし結合している、接着性基体。
  11.  請求項10に記載の接着性基体であって、
     前記束縛ポリマーは、前記反応性熱可塑性樹脂と共通の主鎖骨格を有する熱可塑性樹脂である、接着性基体。
  12.  請求項10または11に記載の接着性基体であって、
     X線反射率測定および偏光解析測定に基づき求められる、前記基体上の前記反応性熱可塑性樹脂の厚みTは0.5~10nmである、接着性基体。
  13.  請求項10~12のいずれか1項に記載の接着性基体であって、
     X線反射率測定および偏光解析測定に基づき求められる、前記基体上の前記束縛ポリマーの厚みTは0.5~10nmである、接着性基体。
  14.  請求項10~13のいずれか1項に記載の接着性基体であって、
     X線反射率測定および偏光解析測定に基づき求められる、前記基体上の前記束縛ポリマーの厚みTに対する、前記基体上の前記反応性熱可塑性樹脂の厚みTの比(T/T)は、0.1~2である、接着性基体。
  15.  請求項1~14のいずれか一項に記載の接着性基体であって、
     前記基体は、非粒子基体である、接着性基体。
  16.  接着性基体と被着体とが接着してなる接合体であって、
     前記接着性基体が請求項1~15のいずれか一項に記載の接着性基体であり、
     前記接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の一表面とが接着しており、
     前記被着体は、前記接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する化合物を前記一表面に備え、
     前記反応性基と前記官能基とが反応して共有結合を形成している、接合体。
  17.  請求項16に記載の接合体であって、
     前記反応性基は、ベンゾフェノン骨格、ベンゾイル骨格、アントラキノン骨格、チオキサントン骨格からなる群より選ばれる少なくともいずれかの骨格を含む基であり、
     前記官能基は、α水素を含む基およびラジカル重合性二重結合を含む基からなる群より選ばれる少なくともいずれかの基である接合体。
  18.  請求項16に記載の接合体であって、
     前記反応性基と前記官能基の組み合わせが、下表の1~11のいずれかである接合体。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
  19.  第1の接着性基体と、第2の接着性基体と、これらの接着性基体の間に介在する被着体とが積層した多層接合体であって、
     前記第1の接着性基体および前記第2の接着性基体は、請求項1~15のいずれか一項に記載の接着性基体であり、
     前記第1の接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の一表面と、が接着しており、
     前記被着体は、前記第1の接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第1化合物を前記一表面に備え、
     前記第1の接着性基体の反応性基と前記第1化合物の官能基とが反応して共有結合を形成しており、
     前記第2の接着性基体の前記束縛ポリマー層の表面と、前記被着体の他の表面とが接着しており、
     前記被着体は、前記第2の接着性基体における前記反応性基に対して反応性を有する官能基を含有する第2化合物を前記他の表面に備え、
     前記第2の接着性基体の反応性基と前記第2化合物の官能基とが反応して共有結合を形成している、多層接合体。
  20.  請求項19に記載の多層接合体であって、
     前記反応性基は、ベンゾフェノン骨格、ベンゾイル骨格、アントラキノン骨格、チオキサントン骨格からなる群より選ばれる少なくともいずれかの骨格を含む基であり、
     前記官能基は、α水素を含む基およびラジカル重合性二重結合を含む基からなる群より選ばれる少なくともいずれかの基である多層接合体。
  21.  請求項19に記載の多層接合体であって、
     前記反応性基と前記官能基の組み合わせが、下表の1~11のいずれかである多層接合体。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
  22.  請求項1~15のいずれか一項に記載の接着性基体における前記束縛ポリマー層の露出面と、被着体とを当接させた状態で、加熱またはエネルギー線照射により前記反応性基と前記被着体表面とを反応させて前記接着性基体と前記被着体とを接着する、接着方法。
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